CN104395207B - 桥式行驶车系统以及桥式行驶车系统中的移载控制方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供桥式行驶车系统以及桥式行驶车系统中的移载控制方法。为使桥式行驶车(4)不将本地台车(8)的轨道(10)等误检测为障碍物。桥式行驶车(4)具备升降机(22)和监视下方的障碍物的第一传感器(38)，本地台车(8)具备升降机(27)并沿上述轨道(10)行驶。缓冲区(12)从上述轨道(10)通过铅垂向下的支柱(32)垂下，并且在装货港(16、17)的正上方部不设置缓冲区(12)的部件。在上述轨道(10)，设置有对装货港(16、17)附近处并且与处理装置(13)相反的一侧的通路侧区域的障碍物进行监视的第二传感器(36)，向桥式行驶车(4)以及本地台车(8)发送障碍物检测信号。若桥式行驶车(4)以及本地台车(8)接收到第二传感器(36)的障碍物检测信号，则使升降机(22、27)停止，并且桥式行驶车(4)不通过第一传感器(38)监视通路侧区域的障碍物。

Description

桥式行驶车系统以及桥式行驶车系统中的移载控制方法
技术领域
本发明涉及桥式行驶车系统，尤其是涉及在装货港(loadport)的上部上下重叠配置桥式行驶车的轨道和本地台车的轨道的系统。
背景技术
发明人提出了使桥式行驶车的轨道、本地台车的轨道以及缓冲区上下重叠地配置在装货港的上部的技术(专利文献1：JP2012-111635A)。这样，能够将相对于装货港搬入搬出的物品贮存于缓冲区。专利文献1中，缓冲区在本地台车的轨道的正下方，配置于装货港的上游侧和下游侧，并通过与轨道平行的框架连结。而且，在该框架，设置有对装货港的通路侧的区域进行监视的障碍物传感器，以使升降机等不会与访问装货港的作业者等接触。
然而该配置中，若升降机和物品横向摆动，则有可能在装货港的上部与框架接触。并且，桥式行驶车一般具备对装货港附近的障碍物进行检测的传感器，但该传感器有可能将本地台车的轨道或者缓冲区的框架误检测为障碍物。
专利文献1：JP2012-111635A
发明内容
本发明的课题在于，能够一边容易地相对于装货港进行物品的搬入搬出，一边可靠地检测装货港附近的障碍物，并且桥式行驶车不会将本地台车的轨道等误检测为障碍物。
本发明的桥式行驶车系统设置有如下部件：
桥式行驶车，其具有使物品升降的升降机、和监视下方的障碍物的第一传感器；
上述桥式行驶车的轨道；
装货港，其设置于处理装置的前面；
本地台车的轨道，其在上述装货港的上部并且在桥式行驶车的轨道的正下方设置；
本地台车，其具备使物品升降的升降机，并且沿上述本地台车的轨道行驶；
缓冲区，其能够供桥式行驶车以及本地台车均通过升降机搬入搬出物品；
第二传感器，其安装于上述本地台车的轨道，并且对上述装货港的附近处并且与处理装置相反的一侧的通路侧区域的障碍物进行监视；以及
通信终端，其向上述桥式行驶车以及上述本地台车发送第二传感器的障碍物检测信号，
桥式行驶车以及本地台车均能够通过升降机相对于装货港自如搬入搬出物品，
上述缓冲区从本地台车的轨道通过铅垂向下的支柱垂下，并且在上述装货港的正上方部不存在缓冲区的部件。
上述桥式行驶车以及上述本地台车构成为若经由上述通信终端接收到来自第二传感器的障碍物检测信号，则使升降机停止，
并且上述桥式行驶车构成为不通过第一传感器监视上述通路侧区域的障碍物。
本发明中，为了桥式行驶车系统而对移载进行控制，上述桥式行驶车系统具有：
桥式行驶车，其具有使物品升降的升降机、和监视下方的障碍物的第一传感器；
上述桥式行驶车的轨道；
装货港，其设置于处理装置的前面；
本地台车的轨道，其在上述装货港的上部并且在桥式行驶车的轨道的正下方设置；
本地台车，其具备使物品升降的升降机，并且沿上述本地台车的轨道行驶；以及
缓冲区，其能够供桥式行驶车以及本地台车均通过升降机搬入搬出物品，
桥式行驶车以及本地台车能够均通过升降机相对于装货港自如搬入搬出物品，
上述缓冲区从本地台车的轨道通过铅垂向下的支柱垂下，并且在上述装货港的正上方部不存在缓冲区的部件。
在本发明的用于桥式行驶车系统的移载控制方法中，执行如下步骤：
在上述本地台车的轨道安装对上述装货港的附近处并且与处理装置相反的一侧的通路侧区域的障碍物进行监视的第二传感器的步骤；
设置向上述桥式行驶车以及上述本地台车发送第二传感器的障碍物检测信号的通信终端的步骤；
当上述桥式行驶车以及上述本地台车经由上述通信终端接收到来自第二传感器的障碍物检测信号时使升降机停止的步骤；以及
使上述桥式行驶车不通过第一传感器监视上述通路侧区域的障碍物的步骤。
本发明中，由于缓冲区从本地台车的轨道通过铅垂向下的支柱垂下，并且在上述装货港的正上方部不设置缓冲区的部件，所以能够不被缓冲区的框架等妨碍地，相对于装货港搬入搬出升降机以及由升降机支承的物品。而且，由于在装货港的正上方部不存在框架等，所以在本地台车的轨道设置第二传感器，例如铅垂向下地监视装货港的通路侧的障碍物。因此，能够可靠地检测装货港侧的障碍物。另外，桥式行驶车以及本地台车构成为，若从第二传感器接收到障碍物检测信号，则使升降机停止，所以是安全的。此外，障碍物主要是访问装货港的作业者的臂、安全帽等，能够由另外的传感器简单地检测装货港上的物品。由于桥式行驶车构成为不通过第一传感器监视通路侧区域的障碍物，所以不会误检测本地台车的轨道等而使移载停止。
优选，上述本地台车的轨道由处理装置侧和通路侧这一对平行的轨道构成，在上述一对轨道之间设置有供上述物品沿铅垂方向自如通过的间隙，上述第二传感器设置在通路侧的轨道。由于第二传感器设置在通路侧的轨道，所以不会误检测升降机以及由升降机支承的物品。因此能够可靠地检测通路侧区域的障碍物。
尤其是优选，还设置有开关，该开关与上述第二传感器连接，并且以上述第二传感器未检测到障碍物为条件，建立桥式行驶车或本地台车与上述通信终端的通信，
上述通信终端分别设置在上述桥式行驶车的轨道以及本地台车的轨道，并且与对物品相对于上述装货港的搬入搬出进行管理的处理装置侧的控制器连接，
桥式行驶车以及本地台车一边与上述通信终端进行通信，一边进行物品相对于装货港的搬入搬出，
上述桥式行驶车以及上述本地台车切断与上述通信终端的通信作为上述障碍物检测信号而作用。
这样，由于第二传感器检测到障碍物，而使桥式行驶车以及本地台车与通信终端的通信不成立，所以桥式行驶车以及本地台车能够自动地使升降机停止。并且，与向桥式行驶车以及本地台车发送移载停止请求信号等相比，以通信的成立为条件进行移载且在异常时断开通信的情况能够更加可靠地使移载停止。并且不经由控制器而能够可靠地使移载停止。
附图说明
图1是实施例的桥式行驶车系统的主要部件侧视图。
图2是实施例的桥式行驶车系统的主要部件主视图。
图3是实施例的桥式行驶车系统的主要部件放大俯视图，除去桥式行驶车的轨道而示出。
图4是实施例中的从地面侧终端至地面侧控制器的框图。
图5是实施例中的桥式行驶车的框图。
图6是实施例中的本地台车的框图。
图7是表示与装货港以及缓冲区的移载协议的图。
具体实施方式
以下表示用于实施本发明的最佳实施例。本发明的范围应该基于权利要求书的记载、参考说明书的记载和本领域的公知技术并根据本领域技术人员的理解来决定。
实施例
图1～图7表示实施例的桥式行驶车系统2。4是桥式行驶车，沿桥式行驶车的轨道6行驶，8是本地台车，沿本地台车的轨道10行驶。本地台车的轨道10仅设置在装货港16、17的周围，按照桥式行驶车的轨道6、本地台车的轨道10、装货港16、17的顺序上下重叠配置。并且，如图2、图3所示，本地台车的轨道10由通路18侧的轨道10b和处理装置13侧的轨道10a左右一对轨道构成。由于轨道10a、10b间的间隙比物品14的在图2中的左右的宽度宽，所以物品14和后述的升降台24、26能够上下通过轨道10a、10b间的间隙。此外，也可以在处理装置13设置一个或者三个以上装货港。
12是缓冲区，在本地台车的轨道10的正下方，设置于除装货港16、17的正上方部之外的位置，对FOUP等物品14进行载置。虽然也可以在除此之外的位置设置缓冲区，但轨道10的正下方的除缓冲区12以外的缓冲区与实施例没有直接关系。另外，18是作业者等的通路，以装货港16、17为基准，水平面内的一方是处理装置13侧，另一方是通路18侧。并且，装货港16、17的通路侧是下方监视传感器36的监视区域。
桥式行驶车4具备横向移动装置20、转动装置21以及升降机22，横向移动装置20使转动装置21以及升降机22向相对于轨道6在水平面内成直角的方向横向移动，而能够对设置于轨道6的左右的未图示的缓冲区进行访问。转动装置21使升降机22旋转，而使物品14的朝向变化。升降机22使升降台24升降，而在装货港16、17以及缓冲区12等之间移载物品14。此外，也可以不设置横向移动装置20和转动装置21。25是带，对升降台24进行支承，例如由前后左右四根带构成，也可以使用线、绳等其它吊挂件来代替带25。
本地台车8具有用于在轨道10a、10b上行驶的车轮和行驶马达等，由升降机27使升降台26升降，而在缓冲区12与装货港16、17之间移载物品14。桥式行驶车系统2中，桥式行驶车4和本地台车8能够均相对于缓冲区12和装货港16、17移载物品14。但是，也可以以使桥式行驶车4向缓冲区12搬入物品14和从装货港16、17搬出物品14，并且使本地台车8从缓冲区12向装货港16、17搬入物品等的方式，运用桥式行驶车系统2。
轨道6、10通过支柱28、30例如从天花板侧垂下，缓冲区12通过铅垂向下的支柱32从轨道10垂下。而且，缓冲区12沿轨道6、10的长边方向(桥式行驶车4和本地台车8的行驶方向)例如设置于装货港16、17的上游侧和下游侧双方，但也可以仅设置于其中一侧。另外，在装货港16、17的正上方部，没有水平的框架等缓冲区12的部件，从而缓冲区12不妨碍物品14相对于装货港的搬入搬出。
在每个装货港16、17的正上方部分别设置有下方监视传感器36，对装货港16、17的通路侧的障碍物进行监视。障碍物例如是使胳膊、安全帽等接近装货港16、17的作业者，下方监视传感器36是例如扇状地投射光束37来检测来自障碍物的反射光的激光束传感器。图1～图3中示出光束37的形状，除物品14相对于装货港16、17的升降路径以及装货港16、17以外，还监视相比装货港16、17靠通路18的区域。桥式行驶车4为了检测装货港16、17的障碍物，而具备相同的下方监视传感器38，但误检测本地台车8的轨道10的可能性较高。因此，相对于装货港16、17，使桥式行驶车4的下方监视传感器38的信号无效。此外，实施例中在每个装货港16、17分别设置有下方监视传感器36，但也可以由一个下方监视传感器监视邻接的装货港16、17。
除对从装货港16、17侧观察位于通路18侧的障碍物进行监视之外，还对支承于升降台24、26的物品14的横摆进行检测。即，由于物品14通过轨道10a、10b的间隙，所以若向与本地台车的轨道10的长边方向在水平面内成直角的方向横向摆动，则有与轨道10a、10b接触的可能性。尤其当使物品14上升时，若四根带25的卷绕不同步，则开始横向摆动的可能性较高。另外，在使物品14从装货港16、17上升时横向摆动的可能性较高，在使之从缓冲区12上升时横向摆动的可能性较低。因此，例如通过在轨道10的上下并且俯视时与轨道10a的内侧端部相同或稍微靠内侧的位置的监视线是否与物品14接触，来检测横向摆动。为了进行检测，在监视线的两端配置具备发光元件和受光元件的投受光传感器40和反射镜41。至少在装货港16、17的上部且在本地台车的轨道10的下部设置监视线L1，优选在本地台车的轨道10的上部也设置监视线L2。除此以外，也可以在缓冲区12的上部且在本地台车的轨道10的下部追加监视线L3。
图3表示各传感器36、40的配置，利用轨道10b侧的下方监视传感器36以光束37对装货港16、17的通路侧的区域进行监视。另外，利用投受光传感器40和反射镜41对俯视时与轨道10a的内侧的端部相同或稍微靠内侧(轨道10b侧)的监视线L2进行监视。并且，以与监视线L2上下重叠的方式设置监视线L1，并利用安装于支柱32等的投受光传感器40和反射镜41对其进行监视。此外，也可以使用发光元件和受光元件的组合来代替投受光传感器40和反射镜41。并且，也可以在轨道10b侧设置投受光传感器40和反射镜41。另外，也可以使用监视与地面之间的静电电容并根据静电电容的变化检测物品14接近的情况的接近传感器43等，来代替投受光传感器40和反射镜41。例如也可以在轨道10a安装朝向上下方向的杆(pole)43’，并在该杆43’安装接近传感器43。
如图1所示，在轨道6的各移载位置设置有地面侧终端42，而与桥式行驶车4的通信终端进行通信，并在轨道10的各移载位置设置有地面侧终端44，而与本地台车8的通信终端进行通信。此外，图2、图3中省略了终端42、44。图4中表示移载时的通信和监视。桥式行驶车4具备通信终端56，本地台车8具备通信终端64。34是本地台车控制器，对本地台车和物品相对于缓冲区的搬入搬出进行管理，48是处理装置侧控制器，对物品相对于装货港的搬入搬出进行管理。开关46设置于每对缓冲区以及装货港，连接控制器34、48和通信终端42、44，并能够仅使通信终端42、44中的一方与桥式行驶车4或本地台车8进行通信。另外，向开关46输入下方监视传感器36和上下的投受光传感器40的信号，若这些传感器中的任一个检测到障碍物，则开关46禁止通信终端42、44与桥式行驶车4以及本地台车8的通信。
当在桥式行驶车4和本地台车8、与缓冲区或者装货港之间移载物品时，向终端42、44发送移载请求信号。若与此相对接收到移载确认信号(许可移载的信号)，则能够开始移载。另外，在至移载结束为止的期间，维持通信，若在该期间通信中断，则中止升降台的升降，并等待通信的再开始。而且，直至移载结束为止，在桥式行驶车4和本地台车8、与终端42、44之间交换信号。此外，也可以代替切断通信，而根据下方监视传感器36和上下的投受光传感器40的信号，向桥式行驶车4或本地台车8发送障碍物检测信号，但由于增加信号的种类，从而控制变得复杂。
图5表示桥式行驶车4的控制系统，通信部50与未图示的桥式行驶车控制器进行通信并接收搬运指令，机载控制器51对桥式行驶车4的整体进行控制，图表(map)52存储轨道6的配置数据，该数据包括移载位置、和移载时下方监视传感器38所进行的监视的可否等。而且，对于设置有下方监视传感器36的装货港16、17，根据图表52的数据不需要下方监视，断开下方监视传感器38或无视其信号。通信终端56与地面侧终端42进行通信，根据移载的协议交换信号，并且在移载中维持通信。行驶控制部53控制桥式行驶车4的行驶，移载控制部54控制升降机22等。
图6表示本地台车8的控制系统，通信部60与本地台车控制器34进行通信并接收指令。通信终端64与地面侧终端44进行通信，根据移载的协议交换信号，并在移载中维持通信。行驶控制部61控制本地台车8的行驶，移载控制部62控制升降机27。
图7中表示移载的协议。桥式行驶车4以及本地台车8在相对于缓冲区12以及装货港16、17移载前，确立与地面侧终端42、44的通信(步骤1)。以下，地面侧终端42、44是相对于相同的缓冲区12或者相同的装货港16、17的终端。由于开关46能够仅相对于地面侧终端42、44中的一方进行通信，所以桥式行驶车4和本地台车8不会同时相对于相同的缓冲区12或者相同的装货港16、17开始移载。另外在默认情况下，地面侧终端42能够进行通信，地面侧终端44无法进行通信，而相对于本地台车8行驶的范围，本地台车控制器34以能够与地面侧终端44进行通信的方式切换开关46的状态。而且从通信的开始直至移载的结束，地面侧终端42、44的通信的可否无法变更。这样，本地台车8无法进入桥式行驶车4开始通信的位置的下方。另外，在本地台车8开始通信的位置的上方，桥式行驶车4无法请求通信。
桥式行驶车4以及本地台车8在开始移载前在与地面侧终端42、44之间交换移载请求信号和移载确认信号，接着使升降台下降开始移载。例如在开始移载时，安装于本地台车的轨道10的下方监视传感器36开始进行监视(步骤2)，若检测到欲访问装货港16、17的作业者等障碍物，则开关46禁止地面侧终端42、44的通信。若切断通信，则桥式行驶车4以及本地台车8使升降台的升降停止，等待下方监视传感器36不会检测到障碍物。另外，根据图表的数据，断开桥式行驶车4的下方监视传感器38、或者桥式行驶车4无视下方监视传感器38的信号。
当物品14通过本地台车的轨道10的上部时和通过本地台车的轨道10的下部时，由投受光传感器40监视物品的横向摆动(步骤3、4)，若投受光传感器检测到横向摆动的物品，则使升降机停止，等待横向摆动平息。该监视为了防止物品与本地台车的轨道10干涉而进行，在升降台下降时也可以省略轨道10的下部处的监视。此外，相对于缓冲区12，在上升开始之后不久通过轨道10等，所以也可以省略轨道10的下部处的监视。
若相对于装货港16、17或者缓冲区12交接物品(步骤5)，则使升降台上升。继续下方监视传感器36的监视，当物品通过本地台车的轨道10的下部时和通过本地台车的轨道10的上部时，由投受光传感器40监视物品的横向摆动(步骤3、4)。另外，在升降台上升时，也可以省略轨道10的上部处的监视。
若升降台复原，则结束下方监视传感器的监视(步骤6)，桥式行驶车4以及本地台车8在与地面侧终端42、44之间交换移载结束的信号，结束通信(步骤7)。此外，下方监视传感器的监视也可以在例如物品上升到了轨道10附近时等结束。
实施例中得到以下的效果。
1)由于在装货港16、17的正上方部不存在缓冲区12的框架等，所以物品14的移载容易。
2)由于利用安装于轨道10b的下方监视传感器36对正下方的障碍物进行检测，所以能够可靠地检测装货港16、17的通路侧的障碍物。
3)由于不使用桥式行驶车4的下方监视传感器38，所以不会将本地台车的轨道10等误检测为障碍物。
4)由于在物品14通过本地台车的轨道10之前，由投受光传感器40检测物品14的横向摆动，所以能够防止物品14与本地台车的轨道10接触。
5)能够将下方监视传感器36以及投受光传感器40用于桥式行驶车4和本地台车8双方。
6)在下方监视传感器36检测到障碍物的情况下，在投受光传感器40检测到横向摆动的情况下，均禁止地面侧终端42、44的通信，从而能够使升降台的升降停止。
7)根据下方监视传感器36或者投受光传感器40的信号，不经由控制器34、48而通过开关46禁止通信，因此能够更加可靠地使移载停止。
附图标记的说明：
2...桥式行驶车系统；4...桥式行驶车；6...桥式行驶车的轨道；8...本地台车；10...本地台车的轨道；12...缓冲区；13...处理装置；14...物品；16、17...装货港；18...通路；20...横向移动装置；21...转动装置；22、27...升降机；24、26...升降台；25...带；28～32...支柱；34...本地台车控制器；36、38...下方监视传感器；37...激光束；40...投受光传感器；41...反射镜；42、44...地面侧终端；43...接近传感器；46...开关；48...处理装置侧控制器；50、60...通信部；51...机载控制器；52...图表；53、61...行驶控制部；54、62...移载控制部；56、64...通信终端；L1～L3...监视线。

Claims (4)

1.一种桥式行驶车系统，具有：
桥式行驶车，其具有使物品升降的升降机；
上述桥式行驶车的轨道；
装货港，其设置于处理装置的前面；
本地台车的轨道，其在上述装货港的上部并且在桥式行驶车的轨道的正下方设置；
本地台车，其具备使物品升降的升降机，并且沿上述本地台车的轨道行驶；以及
缓冲区，其能够供桥式行驶车以及本地台车均通过升降机搬入搬出物品，
桥式行驶车以及本地台车能够均通过升降机相对于装货港自如搬入搬出物品，
所述桥式行驶车系统的特征在于，
所述桥式行驶车还具有监视下方的障碍物的第一传感器，
所述桥式行驶车系统还具有：
第二传感器，其安装于上述装货港的正上方，并且对上述装货港的附近处并且与处理装置相反的一侧的通路侧区域的障碍物进行监视；以及
通信终端，其向上述桥式行驶车以及上述本地台车发送第二传感器的障碍物检测信号，
上述缓冲区从本地台车的轨道通过铅垂向下的支柱垂下，并且在上述装货港的正上方不存在缓冲区的部件，
上述桥式行驶车以及上述本地台车构成为若经由上述通信终端接收到来自第二传感器的障碍物检测信号，则使升降机停止，
并且上述桥式行驶车构成为不通过第一传感器监视上述通路侧区域的障碍物。
2.根据权利要求1所述的桥式行驶车系统，其特征在于，
上述本地台车的轨道由处理装置侧和通路侧这一对平行的轨道构成，在上述一对轨道之间设置有供上述物品沿铅垂方向自如通过的间隙，
上述第二传感器设置在通路侧的轨道。
3.根据权利要求1或2所述的桥式行驶车系统，其特征在于，
构成为：还设置有开关，该开关与上述第二传感器连接，并且以上述第二传感器未检测到障碍物为条件，建立桥式行驶车或本地台车与上述通信终端的通信，
上述通信终端分别设置在上述桥式行驶车的轨道以及本地台车的轨道，并且与对物品相对于上述装货港的搬入搬出进行管理的处理装置侧的控制器连接，
桥式行驶车以及本地台车一边与上述通信终端进行通信，一边进行物品相对于装货港的搬入搬出，
上述桥式行驶车以及上述本地台车切断与上述通信终端的通信作为上述障碍物检测信号而作用。
4.一种用于桥式行驶车系统的移载控制方法，上述桥式行驶车系统具有：
桥式行驶车，其具有使物品升降的升降机、和监视下方的障碍物的第一传感器；
上述桥式行驶车的轨道；
装货港，其设置于处理装置的前面；
本地台车的轨道，其在上述装货港的上部并且在桥式行驶车的轨道的正下方设置；
本地台车，其具备使物品升降的升降机，并且沿上述本地台车的轨道行驶；以及
缓冲区，其能够供桥式行驶车以及本地台车均通过升降机搬入搬出物品，
桥式行驶车以及本地台车能够均通过升降机相对于装货港自如搬入搬出物品，
上述缓冲区从本地台车的轨道通过铅垂向下的支柱垂下，并且在上述装货港的正上方不存在缓冲区的部件，
上述用于桥式行驶车系统的移载控制方法的特征在于，执行如下步骤：
在上述装货港的正上方安装对上述装货港的附近处并且与处理装置相反的一侧的通路侧区域的障碍物进行监视的第二传感器的步骤；
设置向上述桥式行驶车以及上述本地台车发送第二传感器的障碍物检测信号的通信终端的步骤；
当上述桥式行驶车以及上述本地台车经由上述通信终端接收到来自第二传感器的障碍物检测信号时使升降机停止的步骤；以及
使上述桥式行驶车不通过第一传感器监视上述通路侧区域的障碍物的步骤。
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Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
PT2620391E (pt) * 2012-01-30 2014-08-26 Carefusion Germany 326 Gmbh Método para retirar de armazenamento embalagens de medicamentos
TWI520258B (zh) * 2013-09-27 2016-02-01 華亞科技股份有限公司 起吊裝置及自動化搬運系統
CN106463443B (zh) * 2014-06-19 2019-09-24 村田机械株式会社 载体的临时保管装置以及保管方法
EP3159923B1 (en) * 2014-06-19 2021-06-16 Murata Machinery, Ltd. Carrier buffering device and buffering method
EP3192751B1 (en) * 2014-09-10 2021-06-16 Murata Machinery, Ltd. Temporary storage system, conveyance system using same, and temporary storage method
SG11201804595XA (en) * 2015-12-08 2018-06-28 Murata Machinery Ltd Conveyance system
KR102062548B1 (ko) * 2015-12-08 2020-01-06 무라다기카이가부시끼가이샤 반송 시스템 및 반송 방법
JP6614330B2 (ja) * 2016-03-03 2019-12-04 村田機械株式会社 一時保管システム
JP6617832B2 (ja) * 2016-05-20 2019-12-11 村田機械株式会社 搬送車及び搬送方法
KR102020227B1 (ko) * 2017-08-24 2019-09-10 세메스 주식회사 캐리어 이송 장치 및 방법
US10622236B2 (en) 2017-08-30 2020-04-14 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Apparatus and method for handling wafer carrier doors
GB201803771D0 (en) * 2018-03-09 2018-04-25 Ocado Innovation Ltd Transporting device position determining apparatus and method
KR102080877B1 (ko) * 2018-05-28 2020-02-24 세메스 주식회사 레이스웨이 유닛 및 이를 갖는 oht
SG11202104302QA (en) * 2018-10-29 2021-05-28 Murata Machinery Ltd Ceiling traveling vehicle, ceiling traveling vehicle system, and method for detecting obstacle
CN113371614B (zh) * 2020-03-10 2023-01-31 长鑫存储技术有限公司 自动化天车防撞系统及方法
CN115028103B (zh) * 2022-06-09 2024-01-09 长鑫存储技术有限公司 一种装载装置及自动物料搬送系统
JP2024017825A (ja) 2022-07-28 2024-02-08 株式会社ダイフク 物品搬送設備

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005294614A (ja) * 2004-04-01 2005-10-20 Asyst Shinko Inc 警報および通報装置
JP2006298567A (ja) * 2005-04-20 2006-11-02 Murata Mach Ltd 天井走行車
CN101088905A (zh) * 2006-06-16 2007-12-19 村田机械株式会社 桥式吊车系统
CN101219731A (zh) * 2007-01-12 2008-07-16 村田机械株式会社 桥式输送系统
CN101837871A (zh) * 2009-03-17 2010-09-22 村田机械株式会社 桥式输送系统及物品的移载方法
CN102556559A (zh) * 2010-11-04 2012-07-11 村田自动化机械有限公司 搬送系统及搬送方法

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4465415B2 (ja) 2000-03-15 2010-05-19 ムラテックオートメーション株式会社 天井走行搬送装置
JP5388045B2 (ja) * 2007-07-24 2014-01-15 北陽電機株式会社 搬送台車及び光測距装置
KR101015225B1 (ko) * 2008-07-07 2011-02-18 세메스 주식회사 기판 처리장치 및 이의 기판 이송 방법
JP5445015B2 (ja) 2009-10-14 2014-03-19 シンフォニアテクノロジー株式会社 キャリア移載促進装置
JP2011114406A (ja) * 2009-11-24 2011-06-09 Sony Corp 撮像装置、撮像方法およびプログラム
JP5429570B2 (ja) * 2010-03-08 2014-02-26 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP5382470B2 (ja) * 2010-11-04 2014-01-08 村田機械株式会社 搬送システム及び搬送方法

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005294614A (ja) * 2004-04-01 2005-10-20 Asyst Shinko Inc 警報および通報装置
JP2006298567A (ja) * 2005-04-20 2006-11-02 Murata Mach Ltd 天井走行車
CN101088905A (zh) * 2006-06-16 2007-12-19 村田机械株式会社 桥式吊车系统
CN101219731A (zh) * 2007-01-12 2008-07-16 村田机械株式会社 桥式输送系统
CN101837871A (zh) * 2009-03-17 2010-09-22 村田机械株式会社 桥式输送系统及物品的移载方法
CN102556559A (zh) * 2010-11-04 2012-07-11 村田自动化机械有限公司 搬送系统及搬送方法

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Publication number Publication date
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