JP6617832B2 - 搬送車及び搬送方法 - Google Patents

Description

本発明は、搬送車及び搬送方法に関する。

半導体製造工場等の製造工場では、例えば半導体ウエハの搬送容器（ＦＯＵＰ）またはレチクル搬送用のレチクルポッドなどの物品を搬送するため、天井に敷設されたレールに沿って走行する搬送車が用いられている。搬送車は、本体部と、本体部に対して昇降可能な昇降台と、昇降台を昇降させる昇降駆動部と、を備えており、さらに、昇降駆動部を本体部に対して走行方向の側方に突出させる横出し機構を備えている。この搬送車は、工場内に設けられる物品の受け渡し位置で停止し、横出し機構によって昇降駆動部を側方に突出させた状態で、昇降駆動部による昇降台の昇降と、昇降台に備えたグリッパ装置による物品の把持または開放により物品の受け渡しを行う。このような搬送車の昇降駆動部には、下方の所定位置に向けてレーザ光などの指向性を有する検出波を照射し、下方の状態を検出するセンサが設けられる（例えば、特許文献１参照）。

特許第５８２１１７１号公報

上記した搬送車では、横出し機構によって昇降駆動部を本体部から側方に突出するので、昇降駆動部または物品の重量等により横出し機構が下方に撓み、この撓みによって検出波の照射方向にズレを生じさせる。その結果、検出波が所定の照射領域から外れた位置に照射され、センサの誤検出を招く可能性がある。

以上のような事情に鑑み、本発明は、センサの誤検出を抑制して物品の受け渡しを適切に行うことが可能な搬送車及び搬送方法を提供することを目的とする。

本発明に係る搬送車は、本体部と、物品を保持する保持部を有しかつ本体部に対して昇降可能な昇降台と、可撓性を有する吊持部材の繰り出し及び巻き取りにより昇降台を昇降させる昇降駆動部と、昇降駆動部に設けられ、下方の所定位置に向けて指向性を有する検出波を照射するセンサと、昇降駆動部を片持ち支持した状態で本体部の側方に突出させる横出し機構と、横出し機構により昇降駆動部を本体部の側方に突出させた状態において、横出し機構の撓みにより生じる検出波の照射方向のズレを補正する補正機構と、を備える。

また、補正機構は、昇降駆動部に対するセンサの角度を変化させてもよい。また、補正機構は、センサの角度を変化させるアクチュエータを有してもよい。また、補正機構は、重力によってセンサの角度を変化させてもよい。また、補正機構は、横出し機構による昇降駆動部の突出動作に連動してセンサの角度を変化させてもよい。また、センサは、昇降台を昇降させる際に検出波が昇降台の所定範囲 に照射されるか否かを検出する揺れ検出センサ、及び昇降台の降下先の近傍に向けて検出波を照射して異物が存在するか否かを検出するルックダウンセンサのうち、少なくとも一方であってもよい。

本発明に係る搬送方法は、本体部と、物品を保持する保持部を有しかつ本体部に対して昇降可能な昇降台と、可撓性を有する吊持部材の繰り出し及び巻き取りにより昇降台を昇降させる昇降駆動部と、昇降駆動部に設けられ、下方の所定位置に向けて指向性を有する検出波を照射するセンサと、昇降駆動部を片持ち支持した状態で本体部の側方に突出させる横出し機構と、を備える搬送車により物品を搬送する方法であって、横出し機構により昇降駆動部を本体部の側方に突出させる場合に、横出し機構の撓みにより生じる検出波の照射方向のズレを補正することを含む。

本発明に係る搬送車は、横出し機構の撓みにより検出波の照射方向にズレが生じる場合であっても、補正機構により検出波の照射方向のズレを補正するため、検出波が所定の照射領域から外れた位置に照射されることを抑制できる。これにより、センサの誤検出を抑制でき、物品の受け渡しを適切に行うことができる。

また、補正機構が、昇降駆動部に対するセンサの角度を変化させる構成では、簡単な構成で検出波の照射方向を補正できる。また、補正機構が、センサの角度を変化させるアクチュエータを有する構成では、アクチュエータにより、容易に検出波の照射方向を補正できる。また、補正機構が、重力によってセンサの角度を変化させる構成では、重力を利用した簡単な構成により、検出波の照射方向を補正できる。また、補正機構が、横出し機構による昇降駆動部の突出動作に連動してセンサの角度を変化させる構成では、昇降駆動部の突出動作に連動して検出波の照射方向を補正するので、検出波の照射方向のズレを確実に補正できる。また、センサが、昇降台を昇降させる際に検出波が昇降台の所定範囲に照射されるか否かを検出する揺れ検出センサ、及び昇降台の降下先の近傍に向けて検出波を照射して異物が存在するか否かを検出するルックダウンセンサのうち、少なくとも一方である場合、補正機構により検出波の照射方向を補正するので、昇降台の昇降あるいは物品の受け渡しを適切に行うことができる。

また、本発明に係る搬送方法は、横出し機構の撓みにより生じる検出波の照射方向のズレを補正するので、センサによる誤検出を抑制し、昇降台の昇降、及び物品の受け渡しを適切に行うことができ、物品を安定して搬送することができる。

本実施形態に係る搬送車の一例を示す図である。 第１補正機構の一例を示す斜視図である。 第１補正機構の一例を示す図である。 第２補正機構の一例を示す斜視図である。 第２補正機構の一例を示す図である。 本実施形態に係る搬送方法の動作の一例を示すフローチャートである。 本実施形態に係る搬送車の他の例を示す図である。 補正機構の他の例を示す斜視図である。 図８の補正機構を＋Ｙ側から見た例を示す図である。 （Ａ）〜（Ｃ）は、補正機構の他の例を示す斜視図である。 （Ａ）〜（Ｃ）は、補正機構の他の例を示す斜視図である。 補正機構の他の例を示す図である。

以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。ただし、本発明はこれに限定されない。また、図面においては実施形態を説明するため、一部分を大きくまたは強調して記載するなど適宜縮尺を変更して表現している。以下の各図において、ＸＹＺ座標系を用いて図中の方向を説明する。このＸＹＺ座標系においては、水平面に平行な平面をＸＹ平面とする。このＸＹ平面において搬送車１００の走行方向をＹ方向と表記し、Ｙ方向に直交する水平な方向をＸ方向と表記する。また、ＸＹ平面に垂直な方向はＺ方向と表記する。Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向のそれぞれは、図中の矢印の方向が＋方向であり、矢印の方向とは反対の方向が−方向であるとして説明する。また、Ｘ軸周りの回転方向をθＸ方向、Ｙ軸周りの回転方向をθＹ方向、Ｚ軸周りの回転方向をθＺ方向と表記する。

図１は、本実施形態に係る搬送車の一例を示す図である。図１に示すように、例えばクリーンルームなどの処理室ＰＲにおいて、搬送車１００が配置される。処理室ＰＲには、不図示の半導体処理装置などが床面上に配置されている。処理室ＰＲの天井部分には、搬送車１００を案内する軌道であるレールＲが設けられる。レールＲは、走行レール及び給電レールを含んで構成される。

搬送車１００は、レールＲに沿って例えば−Ｙ方向に走行する。搬送車１００は、図１に示すように、走行駆動部１０と、連結部３０と、移載装置４０と、を有している。搬送車１００の各部の駆動は、不図示の制御装置によって制御される。走行駆動部１０は、レールＲの内側に配置され、レールＲの内面に当接する複数のローラ１１と、これら複数のローラ１１を回転させる駆動装置１２とを有している。搬送車１００は、レールＲのうち給電レールに設けられた非接触給電線を介して受電し、走行駆動部１０などの搬送車１００に備える駆動部に電力を供給する受電部を備える。連結部３０は、走行駆動部１０の下側（−Ｚ側）に取り付けられ、走行駆動部１０と移載装置４０とを連結する。

移載装置４０は、本体部４１と、昇降台４２と、昇降駆動部４３と、センサ４４と、横出し機構４５と、補正機構４６とを備える。本体部４１は、連結部３０を介して走行駆動部１０に連結されている。本体部４１は、走行駆動部１０と一体となってレールＲに沿って移動する。

昇降台４２は、本体部４１に対して昇降可能（Ｚ方向へ移動可能）である。昇降台４２は、物品ＦＰを保持する保持部としてグリッパ４２ａを有する。物品ＦＰは、例えば、半導体ウエハを収容する容器（ＦＯＵＰ）あるいはレチクルを収容するレチクルポッドなどである。グリッパ４２ａは、物品ＦＰの頂部（＋Ｚ側の面）に設けられるフランジＦＰａを把持または解放可能である。

昇降駆動部４３は、昇降台４２を昇降（Ｚ方向に移動）させる。昇降駆動部４３は、可撓性を有する複数（例えば４本）のベルト（吊持部材）４３ａを介して昇降台４２を吊り下げている。昇降駆動部４３は、ベルト４３ａの繰り出し、または巻き取りを行うことにより、昇降台４２を昇降させる。

センサ４４は、昇降駆動部４３に設けられる。センサ４４は、揺れ検出センサ（スイングセンサ）４７及びルックダウンセンサ４８を含む。揺れ検出センサ４７及びルックダウンセンサ４８は、下方（−Ｚ方向）の所定位置に向けて、例えばレーザ光等の指向性を有する検出波を照射する。以下、本実施形態では、揺れ検出センサ４７及びルックダウンセンサ４８が検出波としてレーザ光を照射する構成を例に挙げて説明する。なお、揺れ検出センサ４７及びルックダウンセンサ４８は、レーザ光の他に、超音波など、指向性を有する他の検出波を照射する構成であってもよい。

揺れ検出センサ４７は、昇降台４２の上面（＋Ｚ側の面）に設けられる反射板４９に向けてレーザ光Ｌ１を射出する。揺れ検出センサ４７は、昇降台４２を昇降させる際に、レーザ光Ｌ１を反射板４９に照射し、その反射光から昇降台４２の揺れを検出する。ルックダウンセンサ４８は、昇降台４２の降下先の近傍に向けてレーザ光Ｌ２を照射する。ルックダウンセンサ４８は、レーザ光Ｌ２を照射し、その反射光から昇降台４２の降下先である物品載置台Ｓの近傍に異物が存在するか否かを検出する。例えば、物品載置台Ｓよりも通路側に、作業者などの障害物が存在するか否かを検出する。

横出し機構４５は、昇降駆動部４３を片持ち支持した状態で本体部４１の側方（Ｘ方向）に突出させる。横出し機構４５は、上段部５１と、中段部５２と、下段部５３とを有している。上段部５１は、本体部４１の上部に固定される。中段部５２は、上段部５１の下側に取り付けられている。中段部５２は、不図示のガイドにより、本体部４１の側方である＋Ｘ方向または−Ｘ方向に移動する。下段部５３は、中段部５２の下側に取り付けられている。下段部５３は、中段部５２に対して＋Ｘ方向または−Ｘ方向に移動する。中段部５２及び下段部５３は、不図示の駆動装置によって移動する。図１には、中段部５２及び下段部５３が本体部４１に対してそれぞれ−Ｘ側に移動する場合を例に挙げて示しているが、これに限定されず、本体部４１に対してそれぞれ＋Ｘ側に移動することも可能である。

下段部５３の下面には、昇降駆動部４３が取り付けられる。なお、昇降駆動部４３をθＺ方向に旋回可能な不図示の旋回駆動部が設けられてもよい。図１に示すように、横出し機構４５は、中段部５２及び下段部５３を本体部４１の側方（−Ｘ側）に突出させた状態において、中段部５２及び下段部５３の重量、並びに昇降駆動部４３、昇降台４２及び物品ＦＰ等の重量により、Ｘ方向の先端側が下方に撓んだ状態となる。このとき、昇降駆動部４３は、下段部５３の傾きによりθＹ方向に傾いた状態となる。ただし、ベルト４３ａが可撓性を有するため、昇降駆動部４３がθＹ方向に傾いた状態であっても、昇降台４２は昇降駆動部４３の鉛直下方に位置する。

また、揺れ検出センサ４７及びルックダウンセンサ４８（センサ４４）は、昇降駆動部４３の傾きにより本来の照射方向からずれた方向にレーザ光Ｌ１及びＬ２を照射する。補正機構４６は、横出し機構４５により昇降駆動部４３を本体部の側方に突出させた状態において、横出し機構４５の撓みにより生じるレーザ光Ｌ１及びＬ２の照射方向のズレを補正する。補正機構４６は、第１補正機構６０と、第２補正機構７０とを有する。第１補正機構６０は、揺れ検出センサ４７についてレーザ光Ｌ１の照射方向のズレを補正する。第２補正機構７０は、ルックダウンセンサ４８についてレーザ光Ｌ２の照射方向のズレを補正する。

図２は、第１補正機構６０の一例を示す斜視図である。図３は、第１補正機構６０を＋Ｙ側から見たときの一例を示す図である。図２及び図３に示すように、第１補正機構６０は、フレーム６１と、軸部６２と、可動部６３と、傾き調整部６４と、回転規制部６５と、第１補正駆動部６６と、を有している。

フレーム６１は、金属板などで形成され、昇降駆動部４３にボルト等により固定される。軸部６２は、フレーム６１から突出して形成される。軸部６２は、Ｙ方向に平行な中心軸ＡＸ１を有する。可動部６３は、軸部６２を中心にフレーム６１に対してθＹ方向に回転（揺動）可能である。可動部６３は、吊り下げ部材６３ａと、支持部材６３ｂとを有する。吊り下げ部材６３ａは、軸部６２から下方に延びて形成され、軸部６２の中心軸ＡＸ１に対してθＹ方向に回転可能に支持される。支持部材６３ｂは、吊り下げ部材６３ａと一体で中心軸ＡＸ１を中心としてθＹ方向に回転可能である。支持部材６３ｂは、図２に示すように開口部を有し、後述のセンサ固定部材６４ａを介して揺れ検出センサ４７を支持する。

傾き調整部６４は、支持部材６３ｂに対する揺れ検出センサ４７の傾きを調整する。傾き調整部６４は、センサ固定部材６４ａと、ネジ部６４ｂと、ナット６４ｃとを有する。センサ固定部材６４ａは、所定の固定部材によって揺れ検出センサ４７を固定する。センサ固定部材６４ａは、Ｚ方向から見てコ字状の部材である。

ネジ部６４ｂは、揺れ検出センサ４７を挟んでＸ方向の両側に配置される。本実施形態では、ネジ部６４ｂは、センサ固定部材６４ａの両端に配置される。ネジ部６４ｂは、支持部材６３ｂに形成されたタップとネジ結合しており、支持部材６３ｂから上方（＋Ｚ方向）に延びて、先端がセンサ固定部材６４ａの下面に当接している。ナット６４ｃは、支持部材６３ｂの下面においてネジ部６４ｂの下端とネジ結合する。２つのネジ部６４ｂを個別に調整することにより、センサ固定部材６４ａと支持部材６３ｂとの間隔を個別に調整して、揺れ検出センサ４７のθＹ方向の傾き（レーザ光Ｌ１の照射方向）が鉛直下方（−Ｚ方向）となるように調整可能である。

回転規制部６５は、中心軸ＡＸ１を中心とする可動部６３のθＹ方向の回転範囲を規定する。回転規制部６５は、基部６５ａと、ネジ部６５ｂと、ナット６５ｃとを有する。基部６５ａは、フレーム６１に固定される。ネジ部６５ｂは、図３に示すように、支持部材６３ｂにおいて揺れ検出センサ４７をＸ方向に挟んだ両側に配置される。ネジ部６５ｂは、支持部材６３ｂを貫通して配置され、基部６５ａに向けて突出した状態でナット６５ｃにより保持されている。ネジ部６５ｂの突出量はナット６５ｃとのネジ結合位置により調整可能である。可動部６３が中心軸ＡＸ１を中心としてθＹ方向に回転する場合、ネジ部６５ｂの先端が基部６５ａに当接することにより可動部６３の回転範囲を規定する。なお、ネジ部６５ｂの先端の位置は、昇降駆動部４３がθＹ方向に傾く角度に応じて予め設定される。また、回転規制部６５は、３点（−Ｘ側でネジ部６５ｂが基部６５ａに当接する位置、真ん中、＋Ｘ側でネジ部６５ｂが基部６５ａに当接する位置）での位置決めを行うことにより、横出し機構４５の両側出し（−Ｘ方向への横出し、または＋Ｘ方向への横出し）に対応することが可能である。

第１補正駆動部６６は、可動部６３に対してＸ方向の駆動力を付与する。第１補正駆動部６６は、アクチュエータ６６ａ及び伝達機構６６ｂを有する。アクチュエータ６６ａは、例えばソレノイド等が用いられる。伝達機構６６ｂは、アクチュエータ６６ａの駆動力を支持部材６３ｂに伝達する。なお、伝達機構６６ｂは、弾性部材を含んで構成されてもよい。第１補正駆動部６６を駆動することにより、支持部材６３ｂにＸ方向の駆動力が作用する。これにより、可動部６３が中心軸ＡＸ１を中心としてθＹ方向に回転し、揺れ検出センサ４７の姿勢が変化し、可動部６３の回転位置に応じて揺れ検出センサ４７から照射されるレーザ光Ｌ１の照射方向が変動する。

なお、横出し機構４５によるＸ方向の突出量は、予め設定された値でほぼ一定である。このため、横出し機構４５が突出した状態において、昇降駆動部４３のθＹ方向の傾きは、ほぼ一定の値となる。したがって、本実施形態では、横出し機構４５が突出した場合、第１補正駆動部６６を駆動し、上記のように可動部６３を回転して回転規制部６５によって所定位置に保持することにより、揺れ検出センサ４７から照射されるレーザ光Ｌ１の照射方向を反射板４９に照射するように設定することができる。また、第１補正駆動部６６は、駆動するまたは駆動しない、といった２種類の制御だけで昇降駆動部４３の傾きに応じて揺れ検出センサ４７からのレーザ光Ｌ１の照射方向を補正できる。なお、第１補正駆動部６６を駆動しない場合、第１補正駆動部６６であるソレノイド内に配置されたバネ等の弾性体により伝達機構６６ｂを所定位置に保持する。これにより、可動部６３は、所定位置に保持され、揺れ検出センサ４７からのレーザ光Ｌ１の照射方向は、下方に向くように設定される。

図４は、第２補正機構７０の一例を示す斜視図である。図５は、第２補正機構７０を−Ｙ側から見たときの一例を示す図である。図４及び図５に示すように、第２補正機構７０は、フレーム７１と、軸部７２と、可動部７３と、傾き調整部７４と、回転規制部７５と、第２補正駆動部７６とを有している。

フレーム７１は、金属板などで形成され、昇降駆動部４３にボルト等により固定される。フレーム７１は、下方に延びる帯状部７１ａを備える。軸部７２は、帯状部７１ａから突出して形成される。軸部７２は、Ｙ方向に平行な中心軸ＡＸ２を有する。可動部７３は、軸部７２を中心にフレーム７１に対してθＹ方向に回転する。可動部７３は、駆動片７３ａと、作用片７３ｂとを有する。駆動片７３ａは、軸部７２から−Ｘ方向に延びてかつ上方に向けて屈曲して形成される。作用片７３ｂは、軸部７２に対して＋Ｘ側に配置される（図５参照）。駆動片７３ａ及び作用片７３ｂは、一体で中心軸ＡＸ２を中心としてθＹ方向に回動可能である。駆動片７３ａは、後述のセンサ固定部材７４ａを介してルックダウンセンサ４８を支持する。

傾き調整部７４は、駆動片７３ａに対するルックダウンセンサ４８の傾きを調整する。傾き調整部７４は、センサ固定部材７４ａと、取付ネジ７４ｂと、調整ネジ７４ｃとを有する。センサ固定部材７４ａは、取付ネジ７４ｂによって駆動片７３ａに取り付けられる。センサ固定部材７４ａの上端は、作用片７３ｂとの間でＸ方向に回転規制部７５を挟むように配置される。センサ固定部材７４ａの下端は、軸部７２の下方に突出して配置される。

調整ネジ７４ｃは、センサ固定部材７４ａの下端に取り付けられる。調整ネジ７４ｃは、ルックダウンセンサ４８をセンサ固定部材７４ａに固定し、かつ、センサ固定部材７４ａに対するルックダウンセンサ４８のθＹ方向の傾きを調整する。図４に示すように、本実施形態では、例えば＋Ｘ方向に見た場合に、ルックダウンセンサ４８の−Ｙ側かつ＋Ｚ側の角部と、＋Ｙ側かつ−Ｚ側の角部と、の２個所に調整ネジ７４ｃが配置される。２つの調整ネジ７４ｃを調整することにより、ルックダウンセンサ４８とセンサ固定部材７４ａとの距離を調整し、センサ固定部材７４ａに対するルックダウンセンサ４８のθＹ方向の傾きに（レーザ光Ｌ２が所定方向に照射されるように）調整可能である。

回転規制部７５は、中心軸ＡＸ２を中心とする可動部７３のθＹ方向の回転範囲を規定する。回転規制部７５は、基部７５ａと、ネジ部７５ｂと、ナット７５ｃとを有する。基部７５ａは、帯状部７１ａにおいて軸部７２の上方に固定される。２つのネジ部７５ｂは、図５に示すように、基部７５ａをＸ方向に挟む２個所に配置される。一方のネジ部７５ｂは、作用片７３ｂに配置され、他方のネジ部７５ｂは、センサ固定部材７４ａの上端に配置される。各ネジ部７５ｂは、先端が基部７５ａに向けて突出する状態でナット７５ｃにより固定される。ネジ部７５ｂの突出量はナット７５ｃとのネジ結合位置により調整可能である。可動部７３が中心軸ＡＸ２を中心としてθＹ方向に回転する場合、ネジ部７５ｂの先端が基部７５ａに当接することにより可動部７３の回転範囲を規定する。なお、ネジ部７５ｂの先端の位置は、昇降駆動部４３がθＹ方向に傾く角度に応じて予め設定される。また、回転規制部７５は、３点（−Ｘ側でネジ部７５ｂが基部７５ａに当接する位置、真ん中、＋Ｘ側でネジ部７５ｂが基部７５ａに当接する位置）での位置決めを行うことにより、横出し機構４５の両側出し（−Ｘ方向への横出し、または＋Ｘ方向への横出し）に対応することが可能である。

第２補正駆動部７６は、可動部７３に対してＸ方向の駆動力を付与する。第２補正駆動部７６は、アクチュエータ７６ａ及び伝達機構７６ｂを有する。アクチュエータ７６ａは、例えばソレノイド等が用いられる。伝達機構７６ｂは、アクチュエータ７６ａの駆動力を駆動片７３ａに伝達する。なお、伝達機構７６ｂは、弾性部材を含んで構成されてもよい。第２補正駆動部７６を駆動することにより、駆動片７３ａにＸ方向の駆動力が作用する。これにより、可動部７３が中心軸ＡＸ２を中心としてθＹ方向に回転し、ルックダウンセンサ４８の姿勢が変化し、可動部７３の回転位置に応じてルックダウンセンサ４８から照射されるレーザ光Ｌ２の照射方向が変動する。

なお、上記したように、横出し機構４５が突出した状態において、昇降駆動部４３のθＹ方向の傾きは、ほぼ一定の値となる。したがって、本実施形態では、横出し機構４５が突出した場合、第２補正駆動部７６を駆動し、上記のように可動部７３を回転して回転規制部７５によって所定位置に保持することにより、ルックダウンセンサ４８から照射されるレーザ光Ｌ２の照射方向を補正することができる。また、第２補正駆動部７６は、駆動するまたは駆動しない、といった２種類の制御だけで昇降駆動部４３の傾きに応じてルックダウンセンサ４８からのレーザ光Ｌ２の照射方向を補正できる。なお、第２補正駆動部７６を駆動しない場合、第２補正駆動部７６であるソレノイド内に配置されたバネ等の弾性体により伝達機構７６ｂを所定位置に保持する。これにより、可動部７３は、所定位置に保持され、ルックダウンセンサ４８からのレーザ光Ｌ２を所定の照射方向に向けるように設定される。

なお、上記したアクチュエータ６６ａ及び７６ａは、ソレノイドであることに限定されない。例えば、電動モータを用いたボールねじ機構、あるいは油圧または空圧シリンダ機構、リニアモータなどが使用されてもよい。

次に、上記のように構成された搬送車１００の動作を説明する。搬送車１００の各動作は、不図示の制御装置により行う。図６は、本実施形態に係る搬送方法の動作の一例を示すフローチャートである。図６では、搬送車１００の動作のうち昇降台４２の昇降動作の一例を示している。制御装置は、走行駆動部１０を駆動させることで搬送車１００をレールＲに沿って走行させる。搬送車１００を走行させる場合、制御装置は、横出し機構４５を＋Ｘ側又は−Ｘ側に突出させることなく、本体部４１に収容した状態としている。

制御装置は、例えばグリッパ４２ａで既に把持している物品ＦＰを物品載置台Ｓに載置する場合、または物品載置台Ｓ（図１参照）に載置された物品ＦＰをグリッパ４２ａで把持する場合、先ず、搬送車１００を所定位置に停止させる（ステップＳ０１）。ステップＳ０１において、搬送車１００の停止位置は、例えば、物品載置台Ｓなどの搬送先または受取先の位置から横にずれた位置の上方である。

次に、制御装置は、横出し機構４５により昇降駆動部４３を本体部４１の側方に突出させる（ステップＳ０２）。ステップＳ０２において、制御装置は、物品ＦＰの搬送先または受取先がレール下方から横にずれている情報を予め所得しており、この情報に基づいて横出し機構４５の下段部５３及び中段部５２を＋Ｘ側または−Ｘ側に突出させる。このとき、横出し機構４５は、Ｘ方向の先端側が下方に撓んだ状態となり、昇降駆動部４３がθＹ方向に傾いた状態となる。一方、ベルト４３ａは可撓性を有するため、昇降駆動部４３がθＹ方向に傾いた場合でも、昇降台４２は昇降駆動部４３の鉛直下方（−Ｚ方向）に位置する。

制御装置は、昇降駆動部４３を本体部４１の側方に突出させた後、または突出させる途中において、センサによる検出波の照射方向のズレを補正する（ステップＳ０３）。ステップＳ０３において、制御装置は、第１補正駆動部６６のアクチュエータ６６ａを駆動し、中心軸ＡＸ１を中心として可動部６３をθＹ方向に回転させる。可動部６３は、所定角度回転した位置で回転規制部６５により、それ以上の回転が規制され、揺れ検出センサ４７の傾きが調整される。これにより、揺れ検出センサ４７から照射されるレーザ光Ｌ１は、破線で示すように、下方またはほぼ下方に向けて照射され、反射板４９に向けられる（図１参照）。

また、ステップＳ０３において、制御装置は、第２補正駆動部７６のアクチュエータ７６ａを駆動し、可動部７３をθＹ方向に回転させる。可動部７３は、所定角度回転した位置で回転規制部７５により、それ以上の回転が規制され、ルックダウンセンサ４８の傾きが調整される。これにより、ルックダウンセンサ４８から照射されるレーザ光Ｌ２は、破線で示すように、物品載置台Ｓの近傍に向けて照射される（図１参照）。

次に、制御装置は、検出波の照射方向のズレの補正を行った後、昇降台４２を昇降させる（ステップＳ０４）。ステップＳ０４において、制御装置は、昇降駆動部４３を駆動してベルト４３ａを送り出し、昇降台４２を下降させる。これにより、グリッパ４２ａで把持している物品ＦＰを物品載置台Ｓに載置することができ、または、物品載置台Ｓに載置された物品ＦＰをグリッパ４２ａで把持することができる。

次に、制御装置は、昇降台４２を上昇させた後、横出し機構４５を収容して搬送車１００を走行させる（ステップＳ０５）。ステップＳ０５において、制御装置は、昇降台４２の上昇後、横出し機構４５を本体部４１に収容する。続いて、制御装置は、走行駆動部１０を駆動することにより、搬送車１００をレールＲに沿って走行させる。

このように、本実施形態によれば、横出し機構４５の撓みによりレーザ光Ｌ１、Ｌ２の照射方向がずれる場合であっても、第１補正駆動部６６及び第２補正駆動部７６によりレーザ光Ｌ１、Ｌ２の照射方向のズレを補正する。このため、レーザ光Ｌ１、Ｌ２が所定の照射領域から外れた位置に照射されることを抑制できる。これにより、揺れ検出センサ４７またはルックダウンセンサ４８による誤検出を抑制でき、物品ＦＰの受け渡しを適切に行うことができる。

図７は、本実施形態に係る搬送車の他の例を示す図である。図７に示すように、処理室ＰＲ分には、上下２段のレールＲが設けられ、各レールＲに搬送車１００が走行する。この構成において、上方の搬送車１００に搭載されるルックダウンセンサ４８から照射されるレーザ光Ｌ２の照射方向が補正されない場合、レーザ光Ｌ２が下方の搬送車１００に照射され、ルックダウンセンサ４８によって異常と誤検出する可能性があり、搬送車１００の動作を無駄に停止させる場合がある。本実施形態では、ルックダウンセンサ４８から照射されるレーザ光Ｌ２の照射方向が図７矢印に示すように補正されるため、ルックダウンセンサ４８による誤検出を抑制できる。

また、上記した実施形態では、第１補正機構６０及び第２補正機構７０がアクチュエータ６６ａ及び７６ａを用いて揺れ検出センサ４７及びルックダウンセンサ４８の姿勢を変化させる構成を例に挙げて説明したが、これに限定されない。

図８は、補正機構の他の例を示す斜視図である。図９は、図８の補正機構を＋Ｙ側から見た例を示す図である。以下、上記した実施形態と同様の部材については同一の符号を付して説明を省略または簡略化する。なお、図８及び図９に示す補正機構６０Ａは、上記した第１補正機構６０の他の例として記載しているが、第２補正機構７０の他の例であっても同様である。この場合、揺れ検出センサ４７に代えてルックダウンセンサ４８が配置される。後述する図１０及び図１１についても同様である。

図８及び図９に示すように、補正機構６０Ａは、フレーム６１と、軸部６２と、可動部６３と、傾き調整部６４と、錘部６７とを有している。補正機構６０Ａは、上記した実施形態に対して、回転規制部６５及び第１補正駆動部６６に代えて錘部６７が設けられる点で相違している。錘部６７は、所定の重量を備えており、支持部材６３ｂの下面に取り付けられる。これにより、可動部６３の重心が軸部６２の下方に形成される。

この構成において、昇降駆動部４３を本体部４１の側方に突出させ、上記のように昇降駆動部４３がθＹ方向に傾いた場合、補正機構６０Ａも傾くが、可動部６３は下方（−Ｚ方向）向いた状態が維持される。これにより、揺れ検出センサ４７も下方に向いた状態が維持され、レーザ光Ｌ１の照射方向が補正された状態となる。このように、重力によって揺れ検出センサ４７の姿勢を維持（昇降駆動部４３に対しては姿勢を変化）させるため、アクチュエータ等を用いることなく、重力を利用した簡単な構成により、レーザ光Ｌ１の照射方向を補正できる。

なお、補正機構６０Ａにおいて、可動部６３は常時回転可能な状態とすることに限定されない。例えば、横出し機構４５を駆動しない場合は、揺れ検出センサ４７が下方に向いた状態で可動部６３の姿勢を固定してもよい。可動部６３の姿勢の固定は、例えば、電磁石などが使用されてもよい。この電磁石による可動部６３の保持または解放は、不図示の制御装置によって制御されてもよい。

図１０（Ａ）〜（Ｃ）は、補正機構の他の例を示す斜視図である。図１０（Ａ）及び（Ｃ）は、補正機構６０Ｂを＋Ｙ側から見た図であり、図１０（Ｂ）は、補正機構６０Ｂを＋Ｚ側から見た図である。図１０（Ａ）〜（Ｃ）では、昇降駆動部４３を省略している。図１０（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、補正機構６０Ｂは、可動部８１と、軸部８２と、固定片８３、８４と、スライダ８５、８６と、連結部８７、８８と、を有している。可動部８１は、軸部８２の中心軸ＡＸ３を中心としてθＹ方向に回転可能に支持されている。可動部８１は、軸部８２から上方に延びる突出部８１ａと、軸部８２から下方に延びて揺れ検出センサ４７を固定するセンサ固定部８１ｂとを有する。軸部８２は、Ｙ方向に平行に設けられており、不図示の固定部材によって昇降駆動部４３に固定されている。

固定片８３、８４は、可動部８１をＸ方向に挟んで、下段部５３の下面側に固定される。なお、固定片８３、８４は、昇降駆動部４３に固定されてもよい。固定片８３、８４は、Ｘ方向に沿ったガイド溝８３ａ、８４ａを有する。図１０（Ｂ）に示すように、＋Ｘ側の固定片８３と、−Ｘ側の固定片８４とは、Ｙ方向にずれた位置に配置される。

スライダ８５、８６は、それぞれ固定片８３、８４の外側に配置される。スライダ８５、８６は、それぞれＺ方向に延びる当接部８５ａ、８６ａと、当接部８５ａ、８６ａからそれぞれＸ方向に延びてガイド溝８３ａ、８４ａに沿ってガイドされる棒状部８５ｂ、８６ｂと、を有する。したがって、スライダ８５、８６は、それぞれＸ方向に移動可能である。当接部８５ａ、８６ａは、中段部５２に設けられるブロック部５５、５６に当接可能である。図１０（Ｂ）に示すように、ブロック部５５、５６は、中段部５２においてＸ方向の両端に配置される。ブロック部５５とブロック部５６とは、Ｙ方向にずれた位置に配置される。

このような配置により、中段部５２と下段部５３とがＸ方向に相対的に移動する場合、スライダ８５は、＋Ｘ側のブロック部５６には当接せず、−Ｘ側のブロック部５５に当接可能である。また、スライダ８６は、−Ｘ側のブロック部５５には当接せず、＋Ｘ側のブロック部５６に当接可能である。

連結部８７は、可動部８１の突出部８１ａとスライダ８５の棒状部８５ｂとの間を連結する。連結部８８は、突出部８１ａとスライダ８６の棒状部８６ｂとの間を連結する。連結部８７、８８は、コイルスプリング等の弾性部材８７ａ、８８ａを有する。弾性部材８７ａ、８８ａにより、横出し機構４５を駆動しない場合、スライダ８５、８６が固定片８３、８４に押し付けられた状態で保持され、可動部８１は所定位置に保持される。このとき、可動部８１に固定される揺れ検出センサ４７は、レーザ光Ｌ１を下方に向けて照射するように調整されている。

図１０（Ｃ）は、横出し機構４５を駆動して中段部５２及び下段部５３を−Ｘ側に突出した場合の補正機構６０Ｂの例を示す図である。図１０（Ｃ）に示すように、下段部５３が中段部５２に対して−Ｘ側に突出すると、中段部５２のブロック部５５がスライダ８５と当接し、スライダ８５を＋Ｘ方向に移動させる。これにより、弾性部材８７ａを介して可動部８１の突出部８１ａが＋Ｘ方向に引っ張られる。一方、突出部８１ａが＋Ｘ方向に引っ張られることにより、弾性部材８８ａが＋Ｘ方向に引っ張られる。これにより、可動部８１は、軸部８２の中心軸ＡＸ３を中心として、弾性部材８７ａ、８８ａが伸びた位置までθＹ方向に回転する。

その結果、センサ固定部８１ｂが一体でθＹ方向に回転し、揺れ検出センサ４７からレーザ光Ｌ１が下方（図１等に示す反射板４９）に照射される位置に補正される。すなわち、下段部５３の突出動作に連動して、揺れ検出センサ４７から照射されるレーザ光Ｌ１の照射方向が補正される。これにより、アクチュエータ等を用いることなく、横出し機構４５の突出動作に連動して、簡単な構成によりレーザ光Ｌ１の照射方向を補正できる。

また、図１０（Ｃ）では、下段部５３が−Ｘ側に突出する場合を例に挙げて説明しているが、下段部５３が＋Ｘ側に突出する場合についても同様である。この場合、中段部５２の＋Ｘ側のブロック部５６が−Ｘ側のスライダ８６に当接し、スライダ８６を−Ｘ方向に移動させる。これにより、突出部８１ａが−Ｘ方向に引っ張られ、可動部８１がθＹ方向に回転して、揺れ検出センサ４７から照射されるレーザ光Ｌ１の照射方向が補正される。

図１１（Ａ）〜（Ｃ）は、補正機構の他の例を示す斜視図である。図１１（Ａ）及び（Ｃ）は、補正機構６０Ｃを＋Ｙ側から見た図であり、図１１（Ｂ）は、補正機構６０Ｃを＋Ｚ側から見た図である。図１１（Ａ）〜（Ｃ）では、昇降駆動部４３の図示を省略している。図１１（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、補正機構６０Ｃは、可動部９１と、軸部９２と、ローラ９３、９４と、連結部９５とを有している。可動部９１は、軸部９２の中心軸ＡＸ４を中心としてθＹ方向に回動可能に設けられている。

可動部９１は、軸部９２から上方に延びる突出部９１ａと、軸部９２から下方に延びて形成され、かつ揺れ検出センサ４７を固定するセンサ固定部９１ｂと、を有する。軸部９２は、Ｙ方向に平行に設けられており、不図示の固定部材によって昇降駆動部４３に固定されている。

ローラ９３、９４は、可動部９１をＸ方向に挟んで配置され、それぞれ中段部５２に設けられるブロック部５７、５８に当接可能である。ローラ９３、９４は、中段部５２の下面から離れて配置されているが、中段部５２の下面と接触した状態で配置されてもよい。連結部９５は、ローラ９３、９４を保持する棒状であって、突出部９１ａの上端に固定される。なお、連結部９５は、例えば弾性部材を介して昇降駆動部４３に連結されてもよい。この弾性部材により、ローラ９３、９４が中段部５２の下面に接触しない場合でも、連結部９５を水平方向に保持することが可能である。なお、連結部９５が水平状態にある場合、可動部９１に固定される揺れ検出センサ４７は、レーザ光Ｌ１を下方に向けて照射するように調整されている。

ブロック部５７、５８は、図１１（Ｂ）に示すように、それぞれ中段部５２においてＸ方向の両端に配置される。ブロック部５７とブロック部５８とは、Ｙ方向にずれた位置に配置される。ブロック部５７、５８は、斜面５７ａ、５８ａを有する。斜面５７ａは、−Ｘ方向に向けて下方（−Ｚ側）に傾いている。斜面５８ａは、＋Ｘ方向に向けて下方に傾いている。これにより、中段部５２と下段部５３とがＸ方向に相対的に移動する場合、ローラ９３は、−Ｘ側のブロック部５７の下面に接触してガイドされる。また、ローラ９４は、＋Ｘ側のブロック部５８の下面に接触してガイドされる。

図１１（Ｃ）は、下段部５３が−Ｘ側に突出する場合の補正機構６０Ｃを示す図である。図１１（Ｃ）に示すように、下段部５３が中段部５２に対して−Ｘ側に突出する場合、ローラ９３が中段部５２のブロック部５７に接触する。これにより、ローラ９３は、斜面５７ａにガイドされて滑らかに押し下げられる。その結果、下段部５３の先端が下方に撓んだ場合でも連結部９５は水平状態となる。したがって、可動部９１は、軸部９２の中心軸ＡＸ４を中心としてθＹ方向に回転し、センサ固定部９１ｂもθＹ方向に回転することにより、揺れ検出センサ４７から照射されるレーザ光Ｌ１が所定位置（図１等に示す反射板４９）に照射するように補正される。

すなわち、下段部５３の突出動作に連動して、揺れ検出センサ４７から照射されるレーザ光Ｌ１の照射方向が補正される。これにより、アクチュエータ等を用いることなく、横出し機構４５の突出動作に連動して、簡単な構成によりレーザ光Ｌ１の照射方向を補正できる。なお、下段部５３が突出した際の連結部９５の姿勢（補正後のレーザ光Ｌ１の照射方向）は、ブロック部５７、５８の厚さ（Ｚ方向の寸法）により設定可能である。

また、図１１（Ｃ）では、下段部５３が−Ｘ側に突出する場合を例に挙げて説明しているが、これに限定されず、中段部５２及び下段部５３が＋Ｘ側に突出する場合についても同様である。この場合、中段部５２の＋Ｘ側のブロック部５８が−Ｘ側のローラ９４を押し下げ、連結部９５を水平状態に移動させる。これにより、可動部９１がθＹ方向に回転して、揺れ検出センサ４７から照射されるレーザ光Ｌ１の照射方向が補正される。

図１２は、補正機構の他の例を示す図である。図１２に示すように、昇降駆動部４３には、昇降駆動部４３の傾斜を検出する傾斜センサＡＳが取り付けられている。傾斜センサＡＳの検出結果に基づいて、不図示の制御装置は、第１補正機構６０Ｄ及び第２補正機構７０Ｄにそれぞれ制御信号を送信する。

第１補正機構６０Ｄは、電動モータ等のアクチュエータを有する。アクチュエータは、傾斜センサＡＳの検出結果に応じて、揺れ検出センサ４７から照射されるレーザ光Ｌ１が反射板４９に照射されるように、揺れ検出センサ４７の傾きを調整可能である。また、第２補正機構７０Ｄは、電動モータ等のアクチュエータを有する。アクチュエータは、傾斜センサＡＳの検出結果に応じて、ルックダウンセンサ４８から照射されるレーザ光Ｌ２が昇降台４２の降下先の近傍に照射されるように、ルックダウンセンサ４８の傾きを調整可能である。

このように、傾斜センサＡＳによって昇降駆動部４３の傾きを検出し、昇降駆動部４３の傾きに応じて揺れ検出センサ４７の姿勢及びルックダウンセンサ４８の傾きを調整するので、揺れ検出センサ４７及びルックダウンセンサ４８から照射されるレーザ光Ｌ１、Ｌ２の照射方向のずれを容易に補正できる。

以上、実施形態について説明したが、本発明は、上述した説明に限定されるず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。例えば、上記した補正機構は一例であって、他の構成を持つ補正機構が適用されてもよい。また、センサ４４は、揺れ検出センサ４７及びルックダウンセンサ４８に限定されず、指向性を持つ検出波を照射する任意のセンサであってもよい。また、法令で許容される限りにおいて、日本特許出願である特願２０１６−１０１３３８、及び本明細書で引用した全ての文献、の内容を援用して本文の記載の一部とする。

Ｌ１、Ｌ２・・・レーザ光（検出波）
ＦＰ・・・物品
４０・・・移載装置
４１・・・本体部
４２・・・昇降台
４２ａ・・・グリッパ（保持部）
４３・・・昇降駆動部
４３ａ・・・ベルト（吊持部材）
４４・・・センサ
４５・・・横出し機構
４６、６０Ａ、６０Ｂ、６０Ｃ・・・補正機構
４７・・・揺れ検出センサ（センサ）
４８・・・ルックダウンセンサ（センサ）
６０、６０Ｄ・・・第１補正機構（補正機構）
６６ａ、７６ａ・・・アクチュエータ
７０、７０Ｄ・・・第２補正機構（補正機構）
１００・・・搬送車

Claims (7)

1. 本体部と、
   物品を保持する保持部を有しかつ前記本体部に対して昇降可能な昇降台と、
   可撓性を有する吊持部材の繰り出し及び巻き取りにより前記昇降台を昇降させる昇降駆動部と、
   前記昇降駆動部に設けられ、下方の所定位置に向けて指向性を有する検出波を照射するセンサと、
   前記昇降駆動部を片持ち支持した状態で前記本体部の側方に突出させる横出し機構と、
   前記横出し機構により前記昇降駆動部を前記本体部の側方に突出させた状態において、前記横出し機構の撓みにより生じる前記検出波の照射方向のズレを補正する補正機構と、を備える搬送車。
2. 前記補正機構は、前記昇降駆動部に対する前記センサの角度を変化させる、請求項１に記載の搬送車。
3. 前記補正機構は、前記センサの角度を変化させるアクチュエータを有する、請求項２に記載の搬送車。
4. 前記補正機構は、重力によって前記センサの角度を変化させる、請求項２に記載の搬送車。
5. 前記補正機構は、前記横出し機構による前記昇降駆動部の突出動作に連動して前記センサの角度を変化させる、請求項２に記載の搬送車。
6. 前記センサは、前記昇降台を昇降させる際に前記検出波が前記昇降台の所定範囲に照射されるか否かを検出する揺れ検出センサ、及び前記昇降台の降下先の近傍に向けて前記検出波を照射して異物が存在するか否かを検出するルックダウンセンサのうち、少なくとも一方である、請求項１〜５のいずれか一項に記載の搬送車。
7. 本体部と、
   物品を保持する保持部を有しかつ前記本体部に対して昇降可能な昇降台と、
   可撓性を有する吊持部材の繰り出し及び巻き取りにより前記昇降台を昇降させる昇降駆動部と、
   前記昇降駆動部に設けられ、下方の所定位置に向けて指向性を有する検出波を照射するセンサと、
   前記昇降駆動部を片持ち支持した状態で前記本体部の側方に突出させる横出し機構と、を備える搬送車により物品を搬送する方法であって、
   前記横出し機構により前記昇降駆動部を前記本体部の側方に突出させる場合に、前記横出し機構の撓みにより生じる前記検出波の照射方向のズレを補正することを含む、搬送方法。
   

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