JP6304084B2 - 物品搬送設備及び検査用治具 - Google Patents

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Description

本発明は、搬送物を保持する保持部と、前記保持部を鉛直方向及び水平方向に沿って移動させる移動操作部と、前記保持部に保持されている前記搬送物を搬送対象箇所に搬送するべく前記移動操作部及び前記保持部の作動を制御する搬送制御部と、を備えた物品搬送設備、及び、このような物品搬送設備において用いられる検査用治具に関する。
かかる物品搬送設備及び検査用治具の従来例が、特開２００５−１７０５４４号公報（特許文献１）に記載されている。
特許文献１の物品搬送設備では、物品を保持した保持部を搬送用位置まで移動させて、物品を移載対象箇所に移載するように構成されている。
また、特許文献１の物品搬送設備では、搬送用位置に対して真上に設定量だけ離れた検出用位置が設定されており、検査用治具を保持した保持部を検出用位置に移動させた後、検査用治具に備えられた検出装置にて検査対象箇所に備えられた被検出部の水平方向の位置を検出している。そして、検出装置の検出情報に基づいて、ずれ量計測部が搬送対象箇所と検出用位置に位置する保持部との水平方向でのずれ量を計測し、このずれ量計測部の計測結果に基づいて、位置更新部が搬送用位置を更新するように構成されている。
このように、特許文献１の物品搬送設備では、保持部を検出用位置に移動させてその保持部にて保持されている検査用治具から、搬送対象箇所に備えられた被検出部の位置を検出して、搬送対象箇所と保持部との水平方向でのずれ量を計測するように構成されている。
特開２００５−１７０５４４号公報
しかし、特許文献１の物品搬送設備及び検査用治具では、搬送対象箇所に被検出部を備える必要がある。そのため、搬送対象箇所に被検出部を常時備えることが難しい場合は、検査用治具にてずれ量を計測するときに、作業者が搬送対象箇所に被検出部を設置する必要がある。また、搬送対象箇所が多数存在する場合は、作業者は多数の搬送対象箇所の夫々に被検出部を備える必要がある。そのため、保持部を検査用位置に位置させた状態での搬送対象箇所に対する保持部の水平方向でのずれ量を計測する作業の効率が悪いものであった。
そこで、搬送対象箇所に対する保持部の水平方向でのずれ量を効率よく計測できる物品搬送設備及び検査用治具が求められる。
本発明に係る物品搬送設備の特徴構成は、搬送物を保持する保持部と、前記保持部を鉛直方向及び水平方向に沿って移動させる移動操作部と、前記保持部に保持されている前記搬送物を搬送対象箇所に搬送するべく前記移動操作部及び前記保持部の作動を制御する搬送制御部と、を備えた物品搬送設備において、
前記搬送物が前記搬送対象箇所に移載される際又は前記搬送対象箇所に移載された後に、前記搬送物の位置を移載後の適正な支持位置である適正支持位置に位置合わせする位置合わせ部と、前記搬送物を前記搬送対象箇所に移載する際の前記適正支持位置に対する前記保持部の水平方向でのずれ量を計測するずれ量計測部と、を更に備え、前記保持部は、前記搬送物として、搬送作業対象の物品に代えて検査用治具を保持可能であると共に、前記保持部に、被検出部が設けられ、前記検査用治具に、前記被検出部の位置を検出する位置検出装置と、前記保持部にて保持される被保持部と、が一体的に備えられ、前記搬送制御部が、前記保持部に保持されている前記検査用治具を前記搬送対象箇所に移載して前記保持部による前記検査用治具に対する保持を解除した後、前記保持部を、前記検査用治具の保持を解除した位置である解除位置又は当該解除位置に対して予め定められた方向及び量だけ移動した位置である解除移動位置に位置させる検査用搬送制御を実行し、前記ずれ量計測部が、前記位置合わせ部により前記検査用治具が前記適正支持位置に位置合わせされ且つ前記保持部が前記解除位置又は前記解除移動位置に位置している状態における前記位置検出装置の検出情報に基づいて、前記適正支持位置に対する前記保持部の前記解除位置又は前記解除移動位置の水平方向でのずれ量を計測する点にある。
この特徴構成によれば、物品を保持した保持部を移動操作部にて移動させて当該物品を搬送対象箇所に搬送することや、検査用治具を保持した保持部を移動操作部にて移動させて当該検査用治具を搬送対象箇所に搬送することができる。
これら搬送対象箇所に搬送される搬送物（物品及び検査用治具）は、搬送物が搬送対象箇所に搬送される際又は搬送対象箇所に搬送された後に位置合わせ部により適正支持位置に位置合わせされる。
搬送制御部が検査用搬送制御を実行することで、検査用治具は搬送対象箇所に移載された後、保持部は搬送対象箇所に対応する解除位置又は解除移動位置に移動する。そして、このように保持部が解除位置又は解除移動位置に位置した状態では、検査用治具は、上述の如く、位置合わせ部による位置合わせ作用により適正支持位置に位置している。
保持部の解除位置は、検査用治具を搬送対象箇所に移載した後に検査用治具に対する保持を解除した位置である。このように検査用治具に対する保持を解除することで適正支持位置に位置する検査用治具と保持部は離間させることができる。また、保持部が解除位置に位置する状態でも、検査用治具が位置合わせ部により水平方向に移動する等により検査用治具と保持部とが接触している場合がある。そのような場合は、保持部を解除移動位置に移動させることにより適正支持位置に位置する検査用治具と保持部とを離間させることができる。
このように、保持部を解除位置又は解除移動位置に位置させることで、保持部が適正支持位置に位置する検査用治具から離間して検査用治具に干渉しないようにできるため、搬送対象箇所に対して予め設定されている解除位置や解除移動位置に適切に保持部を位置させることができる。
そして、検査用治具を搬送対象箇所の適正支持位置に位置する状態で、その検査用治具が備える検出装置にて、解除位置又は解除移動位置に位置する保持部に備えられている被検出部の位置を検出して、ずれ量計測部にて、搬送対象箇所の適正支持位置に対する保持部の水平方向でのずれ量が計測される。このようにずれ量を計測することで、被検出部を搬送対象箇所に備える必要がなくなり、作業者が搬送対象箇所に被検出部を設置する必要がないため作業者の負担を軽減できるため、搬送対象箇所に対する保持部の水平方向でのずれ量を効率よく計測できる。
ここで、前記搬送制御部が、前記搬送対象箇所に物品を移載する前の前記保持部の基準位置である水平設定位置に停止させた後、前記保持部を下降させて物品を前記搬送対象箇所に移載する物品用搬送制御を実行し、前記ずれ量計測部にて計測された前記保持部の水平方向でのずれ量に基づいて前記水平設定位置を更新する位置更新部が備えられていると好適である。
この構成によれば、物品を保持している保持部が水平停止位置に位置した後、その保持部が下降して物品が搬送対象箇所に移載される。そして、水平停止位置は、ずれ量計測部にて計測された保持部の水平方向でのずれ量に基づいて位置更新部にて自動的に更新されるので、計測されたずれ量に基づいて作業者が水平設定位置を手動で更新する場合に比べて、作業者の負担を軽減できる。
また、前記保持部が、前記搬送物を下方から支持する下方支持具を備え、前記検査用治具が、当該検査用治具が前記下方支持具にて支持されているか否かを検出する支持検出装置を備え、前記検査用搬送制御が、前記保持部を前記水平設定位置に移動させた状態で前記保持部を下降させ、その保持部の下降中に前記検査用治具が前記下方支持具にて支持されていない状態が前記支持検出装置にて検出されると前記保持部の下降を停止させて、前記検査用治具を前記搬送対象箇所に移載する制御であり、前記搬送制御部が、前記物品用搬送制御として、前記保持部を前記水平設定位置に移動させた状態で前記保持部を下降設定位置まで下降させることで、物品の前記搬送対象箇所への搬送を完了するべく、前記移動操作部の作動を制御し、前記位置更新部が、前記検査用搬送制御における前記保持部の下降量に基づいて前記下降設定位置を更新すると好適である。
この構成によれば、検査用搬送制御により、保持部を水平設定位置に移動させた状態で保持部を下降させると、その下降により搬送用治具が搬送対象箇所に移載される。さらに保持部を下降させると、搬送対象箇所に移載された検査用治具に対して保持部が下方に移動して、下方支持具により下方から支持していた保持具による検査用治具に対する保持が解除される。このように検査用治具に対する保持部の保持が解除されるとそのことが支持検出装置にて検出され、支持検出装置の検出情報に基づいて保持部の下降が停止する。
そして、物品用搬送制御により、水平方向において保持部を水平設定位置に位置させた状態でその保持部を下降設定位置まで下降させることで、物品を搬送対象箇所に移載することができる。この下降設定位置は、当該搬送対象箇所に検査用治具を移載するときの保持部の下降量に基づいて更新されるため、物品用搬送制御において更新後の下降設定位置まで下降させることで保持部を搬送対象箇所に対して適切な高さまで下降させることができる。
また、前記搬送対象箇所より上方に設定された走行経路に沿って走行自在な走行部が設けられ、前記移動操作部が、前記走行部を走行経路に沿って走行させる走行駆動部と、前記走行部に対して前記保持部を昇降させる昇降駆動部と、を備えて構成され、前記保持部が、前記搬送物を吊り下げ支持するように構成されていると好適である。
この構成によれば、走行部を搬送対象箇所に対して予め設定された停止位置に走行させた状態で昇降部を下降させることにより、保持部を解除位置に移動させることができる。そして、ずれ量計測部にて計測されたずれ量に基づいて、走行部の停止位置を更新することができる。
また、前記走行部が走行する走行方向に対して平面視で交差する方向を横方向として、
前記走行部に前記横方向に移動自在に支持された中継部と、当該中継部に昇降自在に支持され且つ前記搬送物を吊り下げ支持する前記保持部と、前記走行部に対して前記中継部を前記横方向に沿って移動させる横駆動部と、前記中継部に対して前記保持部を昇降移動させる前記昇降駆動部と、を備え、前記移動操作部が、前記横駆動部を備えて構成されていると好適である。
この構成によれば、走行部を搬送対象箇所に対して予め設定された停止位置に走行させ且つ中継部を搬送対象箇所に対して設定された横移動位置に横方向に移動させた状態で昇降部を下降させることにより、保持部を解除位置に移動させることができる。そして、ずれ量計測部にて計測されたずれ量に基づいて、走行部の停止位置や中継部の移動位置を更新することができる。
また、前記搬送物の上部に、第１被係合部が備えられ、前記保持部に、前記第１被係合部に上方から係合する第１係合部が備えられ、前記第１係合部が、前記第１被係合部に係合するときに前記保持部が前記搬送物に対して水平方向にずれている場合に、前記第１被係合部に接触して前記保持部の水平方向での位置を前記搬送物に対して適した位置に案内する第１案内部分を備え、前記被検出部が、前記保持部における前記第１係合部に備えられ、前記位置検出装置が、前記被検出部を撮像する撮像装置にて構成され、前記ずれ量計測部が、前記撮像装置にて撮像された撮像情報に基づいて前記ずれ量を計測するように構成され、前記撮像装置が、前記検査用治具における前記第１被係合部の直下に備えられ、前記第１被係合部に、当該第１被係合部の直上に位置する前記被検出部を前記撮像装置にて撮像可能とする検出用孔が形成されていると好適である。
この構成によれば、保持部の第１被係合部は、検査用治具の第１被係合部に上方から係合する部分である。そのため、撮像装置にて第１被係合部に備えた被検出部の位置を撮像し、その撮像装置の撮像情報に基づいてずれ量を計測することで、適正支持位置に対する保持部の水平方向でのずれ量を適切に計測し易い。
また、第１被係合部に検出用孔を形成することで、第１被係合部の直下に撮像装置を設置しながら保持部の被検出部を撮像できるため、第１被係合部に備えた被検出部を撮像装置にて撮像し易くなる。
また、前記解除移動位置が、前記第１係合部の下端が前記適正支持位置に位置する前記検査用治具における前記第１被係合部の上端より上方に位置する高さに設定されていると好適である。
この構成によれば、解除移動位置が、第１係合部の下端が第１被係合部の上端より上方に位置する高さに設定されているため、保持部を解除移動位置に移動させることで保持部を適正支持位置に位置する検査用治具から適切に離間させることができる。
また、前記搬送物の底部に、第２被係合部が備えられ、前記位置合わせ部が、前記第２被係合部に下方から係合する第２係合部を備え、前記第２係合部が、前記保持部の下降移動により前記搬送対象箇所に移載される前記搬送物の前記第２被係合部に接触して前記搬送物の水平方向での位置を前記適正支持位置に案内する第２案内部分を備えていると好適である。
この構成によれば、搬送物を搬送対象箇所に移載するときに搬送物が搬送適正箇所に対して水平方向にずれている場合は、第２被係合部が第２被係合部の第２案内部分に接触して案内されることで、物品が適正支持位置に位置合わせされる。
このように、搬送物を搬送対象箇所に移載するときの搬送物の下降移動を利用して搬送物の位置を適正支持位置に位置合わせすることで、例えば、位置合わせ部を、搬送対象箇所に降ろされた搬送物を水平方向に押し操作して搬送物の位置を搬送適正箇所に位置合わせするように構成したものに比べて、位置合わせ部を簡素に構成できる。
また、前記検査用治具が、当該検査用治具の水平方向に対する傾きを検出する傾き検出装置を備え、前記搬送制御部が、前記傾き検出装置の検出情報に基づいて、前記検査用搬送制御の実行中に前記傾き検出装置にて予め設定された設定値以上の傾きが検出されると、前記検査用搬送制御を中断すると好適である。
この構成によれば、検査用治具が第２係合部に乗り上げたときの検査用治具の傾き以下の値を設定値として設定しておくことで、搬送制御部が検査用搬送制御を実行して検査用治具を搬送対象箇所に降ろしたときに、検査用治具が第２係合部に乗り上げて第２被係合部に第２係合部が適切に係合しなかった場合に、傾きセンサ装置にて設定値以上の傾きが検出されて検査用搬送制御を中断させることができる。
このように検査用治具が第２係合部に乗り上げて第２被係合部に第２係合部が適切に係合しなかった場合では、検査用治具が搬送適正位置に位置していないので、検査用治具が搬送適正位置に位置していない状態でずれ量を計測することを回避できる。
本発明に係る検査用治具の特徴構成は、搬送装置の保持部にて支持される被保持部と、前記被保持部より下方に位置する治具本体部と、を一体的に備え、前記治具本体部の底部に、前記被保持部を支持した前記保持部の下降移動により前記治具本体部が搬送対象箇所に移載される際に、当該搬送対象箇所に備えられた係合部に上方から係合する被係合部が備えられ、前記被係合部が、前記保持部の下降移動により前記治具本体部が前記搬送対象箇所に移載される際に前記係合部に接触して前記治具本体部の水平方向での位置を移載後の適正な支持位置である適正支持位置に案内する被案内部分を備え、前記治具本体部が、前記保持部が前記被保持部の保持を解除した位置である解除位置又は当該解除位置に対して予め定められた方向及び量だけ移動した位置である解除移動位置に位置した状態で、前記治具本体部と前記保持部との相対的な位置関係を計測するための情報を取得する計測用情報取得部を備えている点にある。
この特徴構成によれば、検査用治具を搬送対象箇所に移載する際に検査用治具が搬送適正箇所に対して水平方向にずれている場合は、被係合部が被係合部の被案内部分に接触して案内されることで、検査用治具を適正支持位置に位置合わせすることができる。
そして、解除位置は、検査用治具を搬送対象箇所に移載した後に検査用治具に対する保持を解除した位置である。このように検査用治具に対する保持を解除することで適正支持位置に位置する検査用治具と保持部は離間させることができる。また、保持部が解除位置に位置する状態でも、位置合わせ部により水平方向に移動する等により検査用治具と保持部とが接触している場合がある。そのような場合は、保持部を解除移動位置に移動させることにより適正支持位置に位置する検査用治具と保持部とを離間させることができる。
このように、保持部を解除位置又は解除移動位置に位置させることで、保持部が適正支持位置に位置する検査用治具から離間して検査用治具に干渉しないようにできるため、保持部を搬送対象箇所に対して予め設定されている解除位置や解除移動位置に適切に位置させることができる。
そして、計測用情報取得部にて、治具本体部と保持部との相対的な位置関係を計測するための情報を取得することで、計測用情報取得部にて情報を取得するために被検出部を搬送対象箇所に備える必要がなくなり、作業者が搬送対象箇所に被検出部を設置する必要がないため作業者の負担を軽減できる。
天井搬送車が容器を支持している状態を示す物品搬送設備の側面図 支持台が容器を支持している状態を示す物品搬送装置の側面図 容器を支持している天井搬送車の側面図 支持台における容器の適正支持位置を示す平面図 検査用治具を支持している天井搬送車の側面図 支持台における検査用治具の適正支持位置を示す平面図 支持機構及び検査用治具の要部拡大図 制御ブロック図 容器受取処理のフローチャート 容器受渡処理のフローチャート 学習処理のフローチャート 移載直前の検査用治具と支持機構とを示す図 移載後の検査用治具と支持機構とを示す図 支持機構を解除移動位置に移動させた状態を示す図
以下、本発明にかかる物品搬送設備の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１及び図２に示すように、物品搬送設備には、天井近くを走行経路に沿って走行して容器Ｗａを搬送する物品搬送装置としての天井搬送車１と、容器Ｗａに収容されている基板に対して処理を行う処理装置２と、その処理装置２に隣接する状態で床面上に設置された支持台３と、が設けられている。
尚、本実施形態では、半導体基板を収容するＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）を容器Ｗａ（物品）としている。また、天井搬送車１が走行する方向を走行方向とし、その走行方向に対して平面視で直交する方向を横方向と称して説明する。
〔容器〕
図３に示すように、容器Ｗａには、容器Ｗａの上端部に備えられて天井搬送車１の支持機構２４に支持される容器フランジ部６ａと、容器フランジ部６ａより下方に位置して複数枚の半導体基板を収容する容器本体部５ａと、容器本体部５ａの前面に形成された基板出し入れ用の基板出入口を閉じる着脱自在な蓋体（図示せず）と、が備えられている。ちなみに、天井搬送車１は、容器フランジ部６ａを吊り下げ支持した状態で容器Ｗａを搬送するように構成されている。
図３及び図４に示すように、容器本体部５ａの底面（容器Ｗａの底面）には、上方に凹入する３つの溝状の容器底面凹部７ａが備えられている。この３つの容器底面凹部７ａは、底面基準位置を中心に容器底面凹部７ａの長手方向が放射状となるように形成されている。また、３つの容器底面凹部７ａの夫々は、上方ほど細い先細り形状に形成されており、容器底面凹部７ａの内側面が傾斜面に形成されている。
容器底面凹部７ａは、図１に示すように容器Ｗａが支持台３に移載されるときに、支持台３に備えられている位置決め部材９が下方から係合する位置に備えられている。そして、容器フランジ部６ａを支持した支持機構２４が下降移動して容器Ｗａが支持台３に移載される際に、容器Ｗａが支持台３の適正支持位置に対して水平方向にずれている場合は、位置決め部材９が容器底面凹部７ａの内側面に接触して容器Ｗａが水平方向に移動されることで、容器Ｗａの水平方向での位置が支持台３の適正支持位置に修正されるようになっている。
図３に示すように、容器フランジ部６ａの上面（容器Ｗａの上面）には、下方に凹入する円錐形状の容器上面凹部８ａが形成されている。この容器上面凹部８ａは、下方ほど細い先細り形状に形成されており、容器上面凹部８ａの内側面が傾斜面に形成されている。
容器上面凹部８ａは、図２に示すように支持機構２４を下降移動させたときに、支持機構２４に備えられている押圧部２４ｃが上方から係合するように構成されている。そして、天井搬送車１が支持機構２４を下降移動させた際に、支持台３に載置支持されている容器Ｗａに対して支持機構２４が水平方向にずれている場合は、押圧部２４ｃが容器上面凹部８ａの内面に接触して案内されることで、支持機構２４の水平方向での位置を容器Ｗａに対して適した位置に案内されるようになっている。
〔検査用治具〕
図５に示すように、天井搬送車１の支持機構２４は、搬送物Ｗとして搬送作業対象の容器Ｗａに代えて検査用治具Ｗｂを支持可能である。次に、この検査用治具Ｗｂについて説明する。
検査用治具Ｗｂには、検査用治具Ｗｂの上端部に備えられて天井搬送車１の支持機構２４にて支持される被保持部としての治具フランジ部６ｂと、治具フランジ部６ｂより下方に位置して撮像装置１３、支持検出装置１４及び傾き検出装置１５等の検査用装置を支持する治具本体部５ｂと、が備えられている。ちなみに、天井搬送車１は、治具フランジ部６ｂを吊り下げ支持した状態で検査用治具Ｗｂを搬送するように構成されている。
図５及び図６に示すように、治具本体部５ｂの底面（検査用治具Ｗｂの底面）には、上方に凹入する３つの溝状の治具底面凹部７ｂが備えられている。この３つの治具底面凹部７ｂは、底面基準位置を中心に治具底面凹部７ｂの長手方向が放射状となるように形成されている。また、３つの治具底面凹部７ｂの夫々は、上方ほど細い先細り形状に形成されており、治具底面凹部７ｂの内側面が傾斜面に形成されている。
治具底面凹部７ｂは、治具フランジ部６ｂを支持した支持機構２４が下降移動して検査用治具Ｗｂが支持台３に移載される際に、支持台３に備えられている位置決め部材９が下方から係合する位置に備えられている。そして、検査用治具Ｗｂが支持台３に移載される際に、検査用治具Ｗｂが支持台３の適正支持位置に対して水平方向にずれている場合は、位置決め部材９が治具底面凹部７ｂの内側面に接触して検査用治具Ｗｂが水平方向に移動されることで、検査用治具Ｗｂの水平方向での位置が適正支持位置に修正されるようになっている。
図５に示すように、治具フランジ部６ｂの上面（検査用治具Ｗｂの上面）には、下方に凹入する円錐形状の治具上面凹部８ｂが形成されている。この治具上面凹部８ｂは、下方ほど細い先細り形状に形成されており、治具上面凹部８ｂの内側面が傾斜面に形成されている。
治具上面凹部８ｂは、検査用治具Ｗｂが支持台３に載置されている状態で天井搬送車１が支持機構２４を下降移動させたときに、支持機構２４に備えられている押圧部２４ｃが係合するように構成されている。そして、天井搬送車１が支持機構２４を下降移動させた際に、支持台３に載置支持されている検査用治具Ｗｂに対して支持機構２４が水平方向にずれている場合は、押圧部２４ｃが治具上面凹部８ｂの内側面にて接触して案内されることで、支持機構２４の水平方向での位置を検査用治具Ｗｂに対して適した位置に案内されるようになっている。
このように、天井搬送車１にて搬送される搬送物Ｗ（容器Ｗａ及び検査用治具Ｗｂ）の上部に、第１被係合部としての上面凹部８（容器上面凹部８ａ及び治具上面凹部８ｂ）が備えられ、搬送物Ｗの底部に、第２被係合部としての底面凹部７（容器底面凹部７ａ及び治具底面凹部７ｂ）が備えられている。
そして、押圧部２４ｃが、上面凹部８に上方から係合する第１係合部に相当し、押圧部２４ｃにおける容器上面凹部８ａの内面に接触する部分が、第１案内部分に相当する。
また、位置決め部材９が、底面凹部７に下方から係合する第２係合部に相当し、位置決め部材９における容器底面凹部７ａの内面に接触する部分が、第２案内部分に相当する。
位置合わせ部Ｇは、３つの位置決め部材９を備えて構成されており、支持台３に移載される搬送物Ｗが適正支持位置に対して水平方向にずれている場合は、位置合わせ部Ｇにより、搬送物Ｗが支持台３に移載される際に搬送物Ｗの位置が適正支持位置に位置合わせされる。
また、治具底面凹部７ｂが、支持台３に備えられた位置決め部材９が下方から係合する被係合部に相当し、位置決め部材９が、搬送対象箇所に備えられた係合部に相当する。そして、治具底面凹部７ｂにおける位置決め部材９の上端部に接触する部分が、被案内部に相当する。
容器Ｗａ及び検査用治具Ｗｂは、支持台３の適正支持位置に位置する状態において、容器フランジ部６ａと治具フランジ部６ｂとが同じ高さに位置するように形成されている。
検査用治具Ｗｂについて説明を加えると、図５に示すように、検査用治具Ｗｂには、天井搬送車１の支持機構２４の下端部に備えられているターゲットプレート３１（図７参照）を撮像する撮像装置１３と、検査用治具Ｗｂが支持機構２４の把持爪２４ａにて支持されているか否かを検出する支持検出装置１４と、検査用治具Ｗｂの水平方向に対する傾きを検出する傾き検出装置１５と、が備えられている。また、検査用治具Ｗｂには、天井搬送車１との間で無線通信により各種情報を送受信するための治具通信部１０ｂと、撮像装置１３や治具通信部１０ｂの作動を制御する治具制御部１１ｂ（図８参照）と、が備えられている。
図７に示すように、治具フランジ部６ｂに形成されている治具上面凹部８ｂは、押圧部２４ｃが嵌合する頂点が下方に向く円錐形状の嵌合部分１７と上下方向に貫通する検出用孔１６とが形成されている。この検出用孔１６は、嵌合部分１７の中央箇所に位置するように形成されており、嵌合部分１７と検出用孔１６とにより漏斗状の孔が形成されている。
撮像装置１３は、治具上面凹部８ｂの直下、詳しくは治具上面凹部８ｂの中央に形成されている検出用孔１６の直下に設けられている。そして、撮像装置１３は、その直上に位置する検出用孔１６の全体が撮像範囲内に収まるように、撮像方向が直上を向く姿勢で設けられている。そのため、撮像装置１３から鉛直上向きに沿う方向視で見てターゲットプレート３１が検出用孔１６内に収まる位置に存在する状態では、撮像装置１３にてターゲットプレート３１を撮像できるようになっている。このように、ターゲットプレート３１を支持機構２４の押圧部２４ｃに備え、治具フランジ部６ｂに検出用孔１６を形成することで、治具上面凹部８ｂの直上に位置するターゲットプレート３１を撮像装置１３にて撮像可能となっている。
尚、撮像装置１３が、ターゲットプレート３１の位置を検出する位置検出装置に相当する。
図５に示すように、支持検出装置１４は、当該支持検出装置１４から支持機構２４の把持爪２４ａまでの距離を検出する距離センサにて構成されている。この支持検出装置１４は、支持機構２４の把持爪２４ａにて検査用治具Ｗｂが支持されている状態において、その把持爪２４ａの直下に位置するように治具本体部５ｂに備えられている。
傾き検出装置１５は、検査用治具Ｗｂの水平方向に対する傾きを検出する角度センサにて構成されている。
〔天井搬送車〕
図３及び図５に示すように、天井搬送車１は、支持台３より上方に設定された走行経路に沿って走行自在な走行部２２と、走行レール２１の下方に位置するように走行部２２に吊り下げ支持され且つ搬送物Ｗを支持する支持機構２４を横方向及び上下方向に沿って移動させる本体部２３と、を備えている。
走行部２２には、走行経路に沿って設置された走行レール２１上を転動する走行車輪２２ａと、その走行車輪２２ａを回転駆動させる走行用モータ２２ｂと、が備えられている。走行部２２は、走行用モータ２２ｂの駆動により走行車輪２２ａを回転駆動させることによって、走行経路に沿って走行するように構成されている。
本体部２３には、搬送物Ｗを吊り下げ支持する支持部としての支持機構２４と、支持機構２４を走行部２２に対して昇降移動させる昇降操作機構２５と、支持機構２４を走行部２２に対して横方向にスライド移動させるスライド操作機構２６と、支持機構２４を走行部２２に対して縦軸心周りに回転させる回転操作機構２７と、上昇設定位置（図１等に示す位置）に上昇している支持機構２４にて支持された搬送物Ｗの上方側及び経路前後側を覆うカバー体２８と、を備えている。尚、支持機構２４が、搬送物Ｗを保持する保持部に相当する。
スライド操作機構２６には、走行部２２に横方向に沿ってスライド移動自在に支持された中継部２６ａと、中継部２６ａを横方向に沿ってスライド移動させるスライド用モータ２６ｂ（図８参照）と、が備えられている。スライド操作機構２６は、スライド用モータ２６ｂの駆動により中継部２６ａを横方向に沿ってスライド移動させることで、支持機構２４及び昇降操作機構２５を横方向に沿って移動させるように構成されている。
回転操作機構２７には、中継部２６ａに対して縦軸心周りに回転自在に支持された回転部２７ａと、回転部２７ａを縦軸心周りに回転させる回転用モータ２７ｂ（図８参照）と、が備えられている。回転操作機構２７は、回転用モータ２７ｂの駆動により回転部２７ａを回転させることで、支持機構２４及び昇降操作機構２５を縦軸心周りに沿って回転させるように構成されている。
昇降操作機構２５には、回転部２７ａに支持された巻回体２５ａと、巻回体２５ａに巻回されて先端部に支持機構２４を連結支持した巻き取りベルト２５ｂと、巻回体２５ａを回転駆動させる昇降用モータ２５ｃ（図８参照）と、が備えられている。昇降操作機構２５は、昇降用モータ２５ｃにて巻回体２５ａを正逆に回転駆動させて、巻き取りベルト２５ｂを巻き取り及び繰り出し操作することで、支持機構２４及びそれに支持された搬送物Ｗを昇降移動させるように構成されている。
支持機構２４には、水平方向に沿って互いに遠近離間移動自在な揺動自在な一対の把持爪２４ａと、一対の把持爪２４ａの夫々を互いに遠近離間移動させる把持用モータ２４ｂ（図７参照）と、が備えられている。そして、支持機構２４は、一対の把持用モータ２４ｂにて一対の把持爪２４ａを互いに接近移動させることで一対の把持爪２４ａが搬送物Ｗのフランジ部６を支持する支持状態（図１参照）に切り換えられ、把持爪２４ａを互いに離間移動させることで一対の把持爪２４ａによる搬送物Ｗのフランジ部６に対する支持を解除する支持解除状態（図２参照）に切り換えられる。このように、支持機構２４は、支持状態と支持解除状態とに切換自在に構成されている。
一対の把持爪２４ａの夫々は、その下端部にてフランジ部６を下方から支持するよう平面視でＬ字状に形成されており、一対の把持爪２４ａが、搬送物Ｗを下方から支持する下方支持具に相当する。このように、支持機構２４は、走行部２２に昇降自在に支持され且つ搬送物Ｗを吊り下げ支持するように構成されている。
また、支持機構２４には、図２に示すように支持機構２４を下降移動させたときに、支持台３上に位置する搬送物Ｗの上面凹部８に上方から嵌合する押圧部２４ｃが備えられている。
押圧部２４ｃは下方に膨出する円錐形状に形成されている。この押圧部２４ｃの下端には被検出部としてのターゲットプレート３１が備えられている。そのため、支持機構２４にて検査用治具Ｗｂを支持した状態では、押圧部２４ｃが検査用治具Ｗｂの治具上面凹部８ｂに嵌合し、その嵌合した押圧部２４ｃのターゲットプレート３１が、平面視において検出用孔１６の中心に位置するようになっている。
上述の如く、走行部２２の駆動により支持機構２４が走行方向に沿って移動し、昇降操作機構２５の駆動により支持機構２４が鉛直方向に沿って移動し、スライド操作機構２６の駆動により支持機構２４が横方向に移動するように構成されている。
つまり、これら走行部２２、昇降操作機構２５及びスライド操作機構２６により、支持機構２４を鉛直方向及び水平方向に沿って移動させる移動操作部２９が構成されており、この移動操作部２９は天井搬送車１に備えられている。
尚、走行用モータ２２ｂが、走行部２２を走行経路に沿って走行させる走行駆動部に相当する。昇降用モータ２５ｃが、走行部２２に対して支持機構２４を昇降させる昇降駆動部に相当する。スライド用モータ２６ｂが、走行部２２に対して横方向に沿って移動させる横駆動部に相当する。
図５に示すように、天井搬送車１には、検査用治具Ｗｂの治具通信部１０ｂとの間で無線通信により各種情報を送受信するための搬送通信部１０ａと、天井搬送車１に備えられている移動操作部２９や支持機構２４や搬送通信部１０ａの作動を制御する搬送制御部１１ａ（図８参照）と、が備えられている。
複数の支持台３の夫々に対して、走行部２２が停止する走行設定位置、走行部２２に対する支持機構２４の縦軸心周りの回転位置を規定する回転設定位置、走行部２２に対する支持機構２４の横方向での位置を規定する横設定位置、及び、走行部２２に対する支持機構２４の上下方向での位置を規定する下降設定位置が予め設定されている。搬送制御部１１ａには、これらの走行設定位置、回転設定位置、横設定位置及び下降設定位置の夫々を示す情報が記憶されている。
そして、走行設定位置及び横設定位置により規定される支持機構２４の位置が、支持台３に搬送物Ｗを移載する前の支持機構２４の基準位置である水平設定位置に相当する。
走行部２２が走行するときの支持機構２４の縦軸心周りの位置を回転基準位置とし、走行部２２が走行するときの支持機構２４の横方向での位置を横基準位置とし、走行部２２が走行するときの支持機構２４の上下方向での位置を上昇設定位置としている。
そして、支持機構２４が縦軸心周りで回転機基準位置に位置し且つ横方向で横基準位置に位置し且つ上下方向で上昇設定位置に位置する位置を、支持機構２４の走行用位置としており、支持機構２４が走行用位置に位置する状態で走行部２２は走行する。
搬送制御部１１ａは、地上側に設置される上位コントローラＨからの搬送指令に基づいて、容器Ｗａを搬送元の支持台３から受け取る容器受取処理と、容器Ｗａを搬送先の支持台３に受け渡す容器受渡処理と、を実行するべく、天井搬送車１に設けられているモータ類の作動を制御するように構成されている。天井搬送車１は、容器受取処理を実行して搬送元の支持台３から物品を受け取り、容器受渡処理を実行して搬送先の支持台３に物品を受け渡すことで、搬送元の支持台３から搬送先の支持台３に容器Ｗａを搬送する。
図９に示すフローチャートに基づいて容器受取処理について説明する。
容器受取処理では、走行制御、下降準備制御、下降制御、爪接近制御、上昇制御、基準移動制御の順で実行する。
容器受取処理の走行制御は、走行部２２を搬送元の支持台３に対応する走行設定位置に走行させるべく走行用モータ２２ｂの作動を制御する。ちなみに、容器受取処理における走行制御は、支持機構２４にて搬送物Ｗを支持していない状態で実行される。
下降準備制御は、支持機構２４を搬送元の支持台３に対応する横設定位置にスライド移動させるべくスライド用モータ２６ｂの作動を制御し、その後、支持機構２４を搬送元の支持台３に対応する回転設定位置に回転させるべく回転用モータ２７ｂの作動を制御する。このように、搬送制御部１１ａが走行制御の後に下降準備制御を実行することで、支持機構２４を搬送元の支持台３に対応する下降準備位置に位置する。
下降制御は、支持機構２４を搬送用下降速度で搬送元の支持台３に対応する下降設定位置に下降させるべく昇降用モータ２５ｃの作動を制御する。爪接近制御は、支持機構２４を支持解除状態から支持状態に切り換えるべく把持用モータ２４ｂの作動を制御する。
このように、搬送制御部１１ａが下降制御と爪接近制御とを実行することで、把持爪２４ａの先端部が支持台３に支持されている容器Ｗａの容器本体部５ａと容器フランジ部６ａとの間に挿入される。
上昇制御は、支持機構２４を上昇設定位置に上昇させるべく昇降用モータ２５ｃの作動を制御する。このように、搬送制御部１１ａが上昇制御を実行することで、支持機構２４が下降設定位置から上昇設定位置に上昇する途中で、容器Ｗａは把持爪２４ａにて掬われて支持機構２４にて支持される。
基準移動制御は、支持機構２４を回転基準位置に回転させるべく回転用モータ２７ｂの作動を制御した後、支持機構２４を横基準位置にスライド移動させるべくスライド用モータ２６ｂの作動を制御する。このように、搬送制御部１１ａが基準移動制御を実行することで、容器Ｗａを支持した支持機構２４が走行用位置に位置する。
図１０に示すフローチャートに基づいて容器受渡処理について説明する。
容器受渡処理では、走行制御、下降準備制御、下降制御、爪離間制御、上昇制御、基準移動制御の順で実行する。尚、容器受渡処理における走行制御、下降準備制御、下降制御、上昇制御及び基準移動制御については、制御内容が容器受取処理の各制御と同様であるため説明は省略する。
容器受渡処理では、走行制御の後に下降準備制御を実行することで、容器Ｗａを支持した支持機構２４が搬送先の支持台３に対応する下降準備位置に位置する。そして、搬送制御部１１ａが下降制御を実行することで、支持機構２４が下降設定位置に下降する途中で容器Ｗａが支持台３に移載され、更に支持機構２４が下降して下降設定位置まで下降することで、把持爪２４ａが容器Ｗａの容器フランジ部６ａに対して下方に離間し、支持機構２４による容器Ｗａに対する支持が解除される。
爪離間制御は、支持機構２４を支持状態から支持解除状態に切り換えるべく把持用モータ２４ｂの作動を制御する。
そして、搬送制御部１１ａが上昇制御の後に基準移動制御を実行することで、容器Ｗａを支持しない支持機構２４が走行用位置に位置する。
搬送制御部１１ａは、容器受取処理及び容器受渡処理の他に、上位コントローラＨからの検査指令に基づいて学習処理を実行するように構成されている。この学習処理は、検査用治具Ｗｂを学習対象の支持台３に搬送して、学習対象の支持台３の適正支持位置に対する支持機構２４の水平方向でのずれ量を学習する学習する処理である。そして、この学習処理を複数の支持台３の夫々に対して行うことで、複数の支持台３に対する支持機構２４の水平方向でのずれ量を学習できる。
図１０に示すフローチャートに基づいて学習処理について説明する。
学習処理では、走行制御、下降準備制御、治具下降制御、爪離間制御、離間上昇制御、接近下降制御、爪接近制御、上昇制御、基準移動制御の順で実行する。尚、学習処理における走行制御、下降準備制御、爪離間制御、爪接近制御、上昇制御及び基準移動制御については、制御内容が容器受取処理や容器受渡処理の各制御と同様であるため説明は省略する。
学習処理では、搬送制御部１１ａが走行制御の後に下降準備制御を実行することで、支持機構２４を搬送先の支持台３に対応する下降準備位置に位置する。
治具下降制御は、支持機構２４を治具下降速度にて下降させ、この支持機構２４の下降中に検査用治具Ｗｂから支持解除情報を受信すると支持機構２４の下降を停止させるべく、昇降用モータ２５ｃの作動を制御する。ちなみに、治具下降速度は、搬送下降速度より遅い速度に設定されている。
この治具下降制御について説明を加えると、治具下降制御により支持機構２４を治具下降速度にて下降させると、その下降途中において支持機構２４にて支持されている検査用治具Ｗｂが支持台３に移載される。そして、治具下降制御により支持機構２４が治具下降速度にて更に下降されると、治具フランジ部６ｂを支持していた把持爪２４ａが、治具フランジ部６ｂに対して下方に移動して治具フランジ部６ｂから下方に離間して、支持機構２４による検査用治具Ｗｂに対する支持が解除される。
このように把持爪２４ａが治具フランジ部６ｂから下方に離間するまで支持機構２４が下降すると、後述のように検査用治具Ｗｂから天井搬送車１に向けて支持解除情報が送信され、搬送制御部１１ａは、検査用治具Ｗｂから送信された支持解除情報に基づいて治具下降制御を終了させる。ちなみに、この治具下降制御を終了させたときに支持機構２４が停止している位置が、検査用治具Ｗｂの保持を解除した位置である解除位置である。
離間移動制御は、解除位置より設定量だけ高い位置に設定されている離間位置に支持機構２４を移動させるべく、昇降用モータ２５ｃの作動を制御した後、検査用治具Ｗｂに向けて離間完了情報を送信する。この離間位置が、解除位置に対して予め定められた方向及び量だけ移動した位置である解除移動位置に相当する。
そして、治具下降制御により検査用治具Ｗｂを支持台３に移載するときに、図１２に示すように、検査用治具Ｗｂが支持台３の適正支持位置に対して水平方向にずれている場合は、図１３に示すように、位置合わせ部Ｇにより検査用治具Ｗｂの水平方向での位置が支持台３の適正支持位置に修正される。そして、この検査用治具Ｗｂの位置修正に伴って支持機構２４も検査用治具Ｗｂと一体に水平方向に移動するが、図１４に示すように、離間移動制御により支持機構２４が検査用治具Ｗｂに干渉しない高さとなる離間位置に移動させることで、支持機構２４の水平方向での位置を下降準備位置の直下の位置（解除位置）に復帰する。
離間位置は、押圧部２４ｃの下端が支持台３の適正支持位置に位置する検査用治具Ｗｂにおける上面凹部８の上端より上方に位置する高さに設定されている。また、離間位置は、支持機構２４の下端（支持解除姿勢の把持爪２４ａの下端）が上述のように位置する検査用治具Ｗｂの上端（治具フランジ部６ｂの上端）より上方に位置する高さに設定されている。
接近下降制御は、支持機構２４を搬送用下降速度で解除位置に下降させるべく昇降用モータ２５ｃの作動を制御する。ちなみに、搬送制御部１１ａが接近下降制御を実行するときに、支持機構２４が支持台３の適正支持位置に位置する検査用治具Ｗｂに対して水平方向にずれている場合は、押圧部２４ｃが検査用治具Ｗｂの治具フランジ部６ｂにおける上面凹部８に係合することで、水平方向における支持機構２４の位置が検査用治具Ｗｂに対して適正な位置に修正される。
そして、搬送制御部１１ａが接近下降制御と爪接近制御とを実行することで、把持爪２４ａの先端部が支持台３に支持されている検査用治具Ｗｂの治具本体部５ｂと治具フランジ部６ｂとの間に挿入される。
そして、搬送制御部１１ａが上昇制御の後に基準移動制御を実行することで、検査用治具Ｗｂを支持する支持機構２４が走行用位置に位置する。
搬送制御部１１ａは、後述する検査用治具Ｗｂからのずれ量情報を受信すると、学習処理中又は学習処理が完了した後に、ずれ量情報に基づいて走行停止位置、水平停止位置、角度を更新するとともに、上昇設定位置から解除位置までの下降量に基づいて下降停止位置を更新する更新処理を実行する。つまり、搬送制御部１１ａは、ずれ量計測部にて計測された支持機構２４の水平方向でのずれ量に基づいて水平設定位置を更新し、検査用搬送制御における支持機構２４の下降量に基づいて下降設定位置を更新する位置更新部としての機能が備えられている。
また、学習処理中に検査用治具Ｗｂの傾き検出装置１５にて設定値以上の傾きが検出されると検査用治具Ｗｂから傾斜情報が送信され、搬送制御部１１ａは、検査用治具Ｗｂからの傾斜情報を受信すると天井搬送車１を非常停止させて学習処理を中断する非常停止処理を実行する。このように、搬送制御部１１ａは、傾き検出装置１５の検出情報に基づいて、学習処理の実行中に傾き検出装置１５にて予め設定された設定値以上の傾きが検出されると、学習処理を中断するように構成されている。
治具制御部１１ｂには、支持機構２４が検査用治具Ｗｂに対して適切な位置及び姿勢で撮像装置１３にてターゲットプレート３１が撮像されたマスター画像情報が予め記憶されている。
治具制御部１１ｂは、天井搬送車１からの離間完了情報を受信すると、撮像装置１３にてターゲットプレート３１を撮像するべく撮像装置１３の作動を制御するとともに、その撮像装置１３が撮像した撮像情報と予め記憶されているマスター画像情報とに基づいてずれ量を計測し、そのずれ量を示すずれ量情報を天井搬送車１に向けて直ちに送信するべく、治具通信部１０ｂの作動を制御するように構成されている。
つまり、治具制御部１１ｂは、ずれ量計測部としての機能が備えられており、位置合わせ部Ｇにより検査用治具Ｗｂが適正支持位置に位置合わせされ且つ支持機構２４が解除移動位置に位置している状態における撮像装置１３の撮像情報に基づいて、検査用治具Ｗｂを支持台３に移載する際の適正支持位置に対する支持機構２４の水平方向でのずれ量を計測するように構成されている。
尚、撮像装置１３が、支持機構２４が解除位置に位置した状態で、治具本体部５ｂと支持機構２４との相対的な位置関係を計測するための情報を取得する計測用情報取得部に相当する。
治具制御部１１ｂには、天井搬送車１の支持機構２４にて検査用治具Ｗｂが支持されている状態における支持検出装置１４から支持機構２４の把持爪２４ａまでの距離を示す距離情報が予め記憶されている。そして、治具制御部１１ｂは、距離情報が示す距離より設定値以上短い距離が支持検出装置１４にて検出されると、支持機構２４による検査用治具Ｗｂの支持が解除されたと判断して、支持が解除されたことを示す支持解除情報を天井搬送車１に向けて直ちに送信するべく、治具通信部１０ｂの作動を制御するように構成されている。
治具制御部１１ｂには、検査用治具Ｗｂが支持台３の搬送適正位置に支持されている姿勢における検査用治具Ｗｂの水平方向に対する傾きを基準角度として、その基準角度を示す角度情報が予め記憶されている。そして、治具制御部１１ｂは、傾き検出装置１５にて基準角度より設定値以上傾いた角度が検出されると、検査用治具Ｗｂが異常な傾きになったことを示す傾斜情報を天井搬送車１に向けて直ちに送信するべく、治具通信部１０ｂの作動を制御するように構成されている。
治具制御部１１ｂは、離間完了情報を受信すると、撮像装置１３にてターゲットプレート３１を撮像してずれ量を計測し、そのずれ量を示すずれ量情報を送信するべく、撮像装置１３及び治具通信部１０ｂの作動を制御するように構成されている。
尚、学習処理における走行制御から離間上昇制御までの制御が、支持機構２４を水平設定位置に移動させた状態で支持機構２４を下降させ、その支持機構２４の下降中に検査用治具Ｗｂが把持爪２４ａにて支持されていない状態が支持検出装置１４にて検出されると支持機構２４の下降を停止させて、検査用治具Ｗｂを支持台３に移載し、その後、支持機構２４を解除移動位置に位置させる検査用搬送制御に相当する。
また、容器受渡処理における走行制御から爪離間制御までの制御が、支持台３に容器Ｗａを移載する前の支持機構２４の基準位置である水平設定位置に停止させた後、支持機構２４が平面視で水平設定位置に位置する状態で支持機構２４を下降設定位置まで下降させることで、容器Ｗａの搬送対象箇所への搬送を完了するべく、移動操作部２９の作動を制御する物品用搬送制御に相当する。
このように、検査用治具Ｗｂを支持台３の適正支持位置に位置する状態で、その検査用治具Ｗｂの撮像装置１３にて、解除移動位置に位置する支持機構２４に備えられているターゲットプレート３１の位置を検出し、治具制御部１１ｂにて、支持台３の適正支持位置に対する支持機構２４の水平方向でのずれ量を計測するように構成されている。このようにずれ量を計測することで、ターゲットプレート３１を支持台３に備える必要がなくなり、作業者が支持台３にターゲットプレート３１を設置する必要がないため作業者の負担を軽減できる。
〔別実施形態〕
（１）上記実施形態では、物品搬送装置にスライド操作機構２６（中継部２６ａ及び横駆動部）を備えて、走行部２２の走行とスライド操作機構２６のスライド移動とにより支持機構２４を水平設定位置に移動させるようにしたが、水平設定位置を平面視で走行部２２の移動経路上に設定して、走行部２２の走行のみで支持機構２４を水平設定位置に移動させるようにしてもよい。
また、上記実施形態では、走行レール２１の直下に搬送対象箇所を位置させたが、走行レール２１に対して平面視で横側方に位置するように搬送対象箇所を位置させてもよい。つまり、上記実施形態では、走行レール２１の設置誤差や天井搬送車１の経年劣化による歪み等により、移動用位置に対して水平設定位置が横方向に僅かにずれている場合に、支持機構２４を移動用位置から水平設定位置に微調節するべく、スライド用モータ２６ｂにより中継部２６ａを横方向に移動させたが、支持機構２４を移動用位置からその移動用位置から積極的に横方向にずらして設定されている水平設定位置に調節するべく、スライド用モータ２６ｂにより中継部２６ａを横方向に移動させるようにしてもよい。
（２）上記実施形態では、被検出部を支持機構２４の第１係合部に備え、第１被係合部の直下に撮像装置１３を備えるとともに、撮像装置１３にて被検出部を撮像できるように第１被係合部に検出用孔１６を形成したが、被検出部を支持機構２４における第１被係合部に対して水平方向で外れた箇所に備えて、支持機構２４にて検査用治具Ｗｂが支持されている状態で被検出部の直下に撮像装置１３を備えるようにして、第１被係合部に検出用孔１６を形成しなくても撮像装置１３にて被検出部を撮像できるようにしてもよい。
また、位置検出装置を撮像装置１３にて構成したが、例えば、位置検出装置を距離センサや光電センサにて構成する等、位置検出装置を他の検出装置にて構成してもよい。
ちなみに、位置検出装置を距離センサにて構成した場合では、被検出部の検出面を走行方向や横方向に傾けた状態で設置して、被検出部に対して距離センサが水平方向にずれることで距離センサにて検出される被検出部の検出面までの距離が異なるようして、ずれ量計測部が距離センサにて検出された被検出部までの距離に基づいてずれ量を計測してもよい。また、位置検出装置を光電センサにて構成した場合では、複数の光電センサを走行方向や横方向に並べて設け、複数の光電センサにて被検出部が検出される組み合わせが異なるようにして、ずれ量計測部が複数の光電センサにて検出された検出情報に基づいてずれ量を計測してもよい。
（３）上記実施形態では、解除移動位置に位置している状態で位置検出装置にて被検出部の位置を検出したが、押圧部２４ｃを設けない場合や離間位置の把持爪２４ａが適正支持位置の検査用治具Ｗｂに対して接触する虞がない場合は、解除位置に位置している状態で位置検出装置にて被検出部の位置を検出するようにしてもよい。
（４）上記実施形態では、第１係合部を下方に突出する形状に形成し、第１被係合部を下方に凹入する形状に形成したが、第１係合部を上方に凹入する形状に形成し、第１被係合部を上方に突出する形状に形成してもよい。また、第２係合部を上方に凹入する形状に形成し、第２被係合部を上方に突出する形状に形成したが、第２係合部を下方に突出する形状に形成し、第２被係合部を上方に突出する形状に形成してもよい。
（５）上記実施形態では、位置合わせ部Ｇを、搬送物Ｗに備えられた第２被係合部に下方から係合する第２係合部を備えて構成し、搬送物Ｗが搬送対象箇所に移載される際に、第２係合部が第２被係合部に係合することで搬送物Ｗの位置を適正支持位置に位置合わせするように構成したが、位置合わせ部Ｇを、搬送物Ｗを側方から押し操作する押し操作部を備えて構成し、搬送物Ｗが搬送対象箇所に移載された後に、押し操作部にて搬送物Ｗを押し操作することで搬送物Ｗの位置を適正支持位置に位置合わせするように構成してもよい。
（６）上記実施形態では、検査用治具Ｗｂに傾き検出装置１５を備えて、検査用治具Ｗｂを搬送対象箇所に移載したときに検査用治具Ｗｂが傾いて適切に移載されなかった場合に検査用搬送制御を中断するように構成したが、検査用治具Ｗｂに当該検査用治具Ｗｂが搬送対象箇所に適切に着座したことを検出する着座センサを備えて、検査用治具Ｗｂを搬送対象箇所に移載したときに検査用治具Ｗｂが位置合わせ部Ｇに乗り上げる等により水平姿勢であるものの移載対象箇所に適切に着座しなかった場合に検査用搬送制御を中断するように構成してもよい。
（７）上記実施形態では、保持部を、天井搬送車１に備えられた支持機構２４として、搬送物Ｗのフランジ部６を吊り下げ支持するように構成したが、保持部を、スタッカークレーンの移載装置として、移載装置の物品支持部にて搬送物Ｗの本体部２３を下方から支持するように構成してもよい。
（８）上記実施形態では、治具制御部１１ｂにずれ量計測部としての機能を備えたが、搬送制御部１１ａにずれ量計測部としての機能を備えてもよい。また、治具制御部１１ｂは、天井搬送車１からの離間完了情報を受信するに伴って、位置検出手段にて被検出部の位置を検出するべく位置検出手段の作動を制御したが、治具制御部１１ｂを、支持機構２４による検査用治具Ｗｂの支持が解除されたと判断してから設定時間後に、位置検出手段にて被検出部の位置を検出するべく位置検出装置の作動を制御するようにしてもよい。
（９）上記実施形態では、天井搬送車１に搬送通信部１０ａを備え、検査用治具Ｗｂに治具通信部１０ｂを備えて、天井搬送車１と検査用治具Ｗｂとの間での情報の送受信を無線通信により行ったが、天井搬送車１と検査用治具Ｗｂとを通信ケーブルにて接続して、天井搬送車１と検査用治具Ｗｂとの間での情報の送受信を有線通信により行ってもよい。
３ 支持台（搬送対象箇所）
５ｂ 治具本体部
６ｂ 治具フランジ部（被保持部）
７ 底面凹部（第２被係合部、被係合部）
８ 上面凹部（第１被係合部）
９ 位置決め部材（第２係合部、係合部）
１１ａ 搬送制御部（位置更新部）
１１ｂ ずれ量計測部
１３ 撮像装置（位置検出装置）
１４ 支持検出装置
１５ 傾き検出装置
１６ 検出用孔
２２ 走行部
２２ｂ 走行用モータ（走行駆動部、移動操作部）
２４ 支持機構（保持部）
２４ａ 把持爪（下方支持具）
２４ｃ 押圧部（第１係合部）
２５ｃ 昇降用モータ（昇降駆動部、移動操作部）
２６ａ 中継部
２６ｂ スライド用モータ（横駆動部、移動操作部）
２７ａ 回転部（保持部）
３１ ターゲットプレート（被検出部）
Ｇ 位置合わせ部
Ｗ 搬送物
Ｗａ 容器（物品）
Ｗｂ 検査用治具

Claims (10)

  1. 搬送物を保持する保持部と、前記保持部を鉛直方向及び水平方向に沿って移動させる移動操作部と、前記保持部に保持されている前記搬送物を搬送対象箇所に搬送するべく前記移動操作部及び前記保持部の作動を制御する搬送制御部と、を備えた物品搬送設備であって、
    前記搬送物が前記搬送対象箇所に移載される際又は前記搬送対象箇所に移載された後に、前記搬送物の位置を移載後の適正な支持位置である適正支持位置に位置合わせする位置合わせ部と、前記搬送物を前記搬送対象箇所に移載する際の前記適正支持位置に対する前記保持部の水平方向でのずれ量を計測するずれ量計測部と、を更に備え、
    前記保持部は、前記搬送物として、搬送作業対象の物品に代えて検査用治具を保持可能であると共に、前記保持部に、被検出部が設けられ、
    前記検査用治具に、前記被検出部の位置を検出する位置検出装置と、前記保持部にて保持される被保持部と、が一体的に備えられ、
    前記搬送制御部が、前記保持部に保持されている前記検査用治具を前記搬送対象箇所に移載して前記保持部による前記検査用治具に対する保持を解除した後、前記保持部を、前記検査用治具の保持を解除した位置である解除位置又は当該解除位置に対して予め定められた方向及び量だけ移動した位置である解除移動位置に位置させる検査用搬送制御を実行し、
    前記ずれ量計測部が、前記位置合わせ部により前記検査用治具が前記適正支持位置に位置合わせされ且つ前記保持部が前記解除位置又は前記解除移動位置に位置している状態における前記位置検出装置の検出情報に基づいて、前記適正支持位置に対する前記保持部の前記解除位置又は前記解除移動位置の水平方向でのずれ量を計測する物品搬送設備。
  2. 前記搬送制御部が、前記搬送対象箇所に物品を移載する前の前記保持部の基準位置である水平設定位置に停止させた後、前記保持部を下降させて物品を前記搬送対象箇所に移載する物品用搬送制御を実行し、
    前記ずれ量計測部にて計測された前記保持部の水平方向でのずれ量に基づいて前記水平設定位置を更新する位置更新部が備えられている請求項１記載の物品搬送設備。
  3. 前記保持部が、前記搬送物を下方から支持する下方支持具を備え、
    前記検査用治具が、当該検査用治具が前記下方支持具にて支持されているか否かを検出する支持検出装置を備え、
    前記検査用搬送制御が、前記保持部を前記水平設定位置に移動させた状態で前記保持部を下降させ、その保持部の下降中に前記検査用治具が前記下方支持具にて支持されていない状態が前記支持検出装置にて検出されると前記保持部の下降を停止させて、前記検査用治具を前記搬送対象箇所に移載する制御であり、
    前記搬送制御部が、前記物品用搬送制御として、前記保持部を前記水平設定位置に移動させた状態で前記保持部を下降設定位置まで下降させることで、物品の前記搬送対象箇所への搬送を完了するべく、前記移動操作部の作動を制御し、
    前記位置更新部が、前記検査用搬送制御における前記保持部の下降量に基づいて前記下降設定位置を更新する請求項２記載の物品搬送設備。
  4. 前記搬送対象箇所より上方に設定された走行経路に沿って走行自在な走行部が設けられ、
    前記移動操作部が、前記走行部を走行経路に沿って走行させる走行駆動部と、前記走行部に対して前記保持部を昇降させる昇降駆動部と、を備えて構成され、
    前記保持部が、前記搬送物を吊り下げ支持するように構成されている請求項１〜３のいずれか１項に記載の物品搬送設備。
  5. 前記走行部が走行する走行方向に対して平面視で交差する方向を横方向として、
    前記走行部に前記横方向に移動自在に支持された中継部と、当該中継部に昇降自在に支持され且つ前記搬送物を吊り下げ支持する前記保持部と、前記走行部に対して前記中継部を前記横方向に沿って移動させる横駆動部と、前記中継部に対して前記保持部を昇降移動させる前記昇降駆動部と、を備え、
    前記移動操作部が、前記横駆動部を備えて構成されている請求項４記載の物品搬送設備。
  6. 前記搬送物の上部に、第１被係合部が備えられ、
    前記保持部に、前記第１被係合部に上方から係合する第１係合部が備えられ、
    前記第１係合部が、前記第１被係合部に係合するときに前記保持部が前記搬送物に対して水平方向にずれている場合に、前記第１被係合部に接触して前記保持部の水平方向での位置を前記搬送物に対して適した位置に案内する第１案内部分を備え、
    前記被検出部が、前記保持部における前記第１係合部に備えられ、
    前記位置検出装置が、前記被検出部を撮像する撮像装置にて構成され、
    前記ずれ量計測部が、前記撮像装置にて撮像された撮像情報に基づいて前記ずれ量を計測するように構成され、
    前記撮像装置が、前記検査用治具における前記第１被係合部の直下に備えられ、
    前記第１被係合部に、当該第１被係合部の直上に位置する前記被検出部を前記撮像装置にて撮像可能とする検出用孔が形成されている請求項４又は５記載の物品搬送設備。
  7. 前記解除移動位置が、前記第１係合部の下端が前記適正支持位置に位置する前記検査用治具における前記第１被係合部の上端より上方に位置する高さに設定されている請求項６記載の物品搬送設備。
  8. 前記搬送物の底部に、第２被係合部が備えられ、
    前記位置合わせ部が、前記第２被係合部に下方から係合する第２係合部を備え、
    前記第２係合部が、前記保持部の下降移動により前記搬送対象箇所に移載される前記搬送物の前記第２被係合部に接触して前記搬送物の水平方向での位置を前記適正支持位置に案内する第２案内部分を備えている請求項１〜７のいずれか１項に記載の物品搬送設備。
  9. 前記検査用治具が、当該検査用治具の水平方向に対する傾きを検出する傾き検出装置を備え、
    前記搬送制御部が、前記傾き検出装置の検出情報に基づいて、前記検査用搬送制御の実行中に前記傾き検出装置にて予め設定された設定値以上の傾きが検出されると、前記検査用搬送制御を中断する請求項８記載の物品搬送設備。
  10. 搬送装置の保持部にて支持される被保持部と、
    前記被保持部より下方に位置する治具本体部と、を一体的に備え、
    前記治具本体部の底部に、前記被保持部を支持した前記保持部の下降移動により前記治具本体部が搬送対象箇所に移載される際に、当該搬送対象箇所に備えられた係合部に上方から係合する被係合部が備えられ、
    前記被係合部が、前記保持部の下降移動により前記治具本体部が前記搬送対象箇所に移載される際に前記係合部に接触して前記治具本体部の水平方向での位置を移載後の適正な支持位置である適正支持位置に案内する被案内部分を備え、
    前記治具本体部が、前記保持部が前記被保持部の保持を解除した位置である解除位置又は当該解除位置に対して予め定められた方向及び量だけ移動した位置である解除移動位置に位置した状態で、前記治具本体部と前記保持部との相対的な位置関係を計測するための情報を取得する計測用情報取得部を備えている検査用治具。
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