JP7322801B2

JP7322801B2 - 容器取扱設備

Info

Publication number: JP7322801B2
Application number: JP2020084499A
Authority: JP
Inventors: 恵三山本; 和晃松田; 晶広吉岡; 肇白瀧
Original assignee: Daifuku Co Ltd
Current assignee: Daifuku Co Ltd
Priority date: 2020-05-13
Filing date: 2020-05-13
Publication date: 2023-08-08
Anticipated expiration: 2040-05-13
Also published as: JP2021178711A; CN113666038A

Description

本発明は、対象容器を取り扱う容器取扱装置と、容器取扱装置の動作を制御する制御部と、を備えた容器取扱設備に関する。

特開２０００－６２９１３号公報（特許文献１）には、荷を搬送する自走台車と、自走台車の動作を制御する制御装置と、を備えた自走台車システムが開示されている。特許文献１の自走台車システムでは、荷の種類等に関わらず常に自走台車の加減速度を一定にすると、搬送中に荷が転倒したりすることを課題としており、この課題を解決するために、自走台車の加減速度を設定するための加減速度設定手段を制御装置に設けている。

特開２０００－６２９１３号公報

ところで、特許文献１に記載されている課題は、対象容器を取り扱う容器取扱装置と、容器取扱装置の動作を制御する制御部と、を備えた容器取扱設備においても発生し得る。そのため、例えば、容器取扱装置が、対象容器を支持した状態で移動経路に沿って移動する移動動作を行う場合、対象容器に収容されている荷の種類に応じて移動動作の動作速度を設定する（速度自体だけでなく、加減速度等の速度に関わる物理量を設定することを含む）ことが考えられる。しかしながら、容器取扱装置が行う動作は移動動作に限られないため、このように構成することのみでは、対象容器に収容されている荷の保護が不十分となるおそれがある。しかしながら、特許文献１にはこの点についての記載はない。

そこで、対象容器に収容されている荷を適切に保護することが可能な容器取扱設備の実現が望まれる。

本開示に係る容器取扱設備は、対象容器を取り扱う容器取扱装置と、前記容器取扱装置の動作を制御する制御部と、を備えた容器取扱設備であって、前記対象容器には、少なくとも厚さが異なる複数種類の基板のうちのいずれかの種類の基板である、対象基板が収容され、前記対象容器は、複数枚の前記対象基板を収容可能に構成され、前記容器取扱装置は、前記対象容器を支持した状態で移動経路に沿って移動する移動動作と、前記対象容器を昇降させる昇降動作と、前記対象容器を上下方向に沿う軸心周りに回転させる旋回動作と、前記対象容器の移載対象箇所に向けて前記対象容器を移動させる移載動作とのうちの、少なくとも２つの動作である対象動作を行うように構成され、前記制御部は、前記対象動作のそれぞれについて、前記対象容器に収容されている前記対象基板の種類毎に異なる動作速度を設定可能に構成されている。

本構成では、容器取扱装置が取り扱う対象容器に収容される荷が基板であるため、容器取扱装置の動作速度によっては、対象容器の振動や風圧によって基板がばたついたり浮き上がったりするおそれがある。そして、本構成では、対象容器に収容される基板（対象基板）が、少なくとも厚さが異なる複数種類の基板のうちのいずれかの種類の基板であるため、基板のばたつきや浮き上がりの発生しやすさは、基板の種類に応じて異なり得る。本構成によれば、移動動作、昇降動作、旋回動作、及び移載動作のうちの少なくとも２つの動作である対象動作のそれぞれについて、対象容器に収容されている対象基板の種類毎に異なる動作速度を設定することができる。よって、対象基板のばたつきや浮き上がりが発生しにくいように、対象動作のそれぞれについての適切な動作速度を、対象基板の種類毎の厚さや形状等に応じて適切に設定することができる。このように、対象基板の種類毎の動作速度の設定を、容器取扱装置の１つの動作だけでなく２つ以上の動作のそれぞれについて行うことにより、対象基板のばたつきや浮き上がりの発生を効果的に抑制して、対象基板を適切に保護することができる。以上のように、本構成によれば、対象容器に収容されている荷である基板を適切に保護することが可能である。

容器取扱設備の更なる特徴と利点は、図面を参照して説明する実施形態についての以下の記載から明確となる。

容器取扱設備の一例を示す平面図容器取扱設備の一例を示す側面図容器取扱装置の一例を示す斜視図制御ブロック図容器取扱設備の別例を示す平面図容器取扱装置が複数の対象動作を並行して行う様子を示す図対象容器が対象姿勢とは異なる姿勢で容器取扱装置に支持されている状態を示す図対象容器が対象姿勢で容器取扱装置に支持されている状態を示す図

容器取扱設備の実施形態について、図面を参照して説明する。

図１、図２、及び図４に示すように、容器取扱設備１００は、対象容器３０を取り扱う容器取扱装置１０と、容器取扱装置１０の動作を制御する制御部４０と、を備えている。対象容器３０は、対象基板２を収容する容器である。本実施形態では、容器取扱設備１００は、例えば有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイ等のディスプレイを製造する設備に用いられる。そして、本実施形態では、対象基板２は、ディスプレイに用いられるガラス基板である。なお、対象基板２は、他の用途に用いられるガラス基板であってもよく、ガラス基板以外の基板（例えば、半導体基板やプリント回路基板等）であってもよい。すなわち、容器取扱設備１００は、ディスプレイを製造する設備以外の設備に用いられてもよい。

容器取扱装置１０は、移動動作Ｍ１と昇降動作Ｍ２と旋回動作Ｍ３と移載動作Ｍ４とのうちの、少なくとも２つの動作である対象動作を行うように構成されている（図３参照）。ここで、移動動作Ｍ１は、対象容器３０を支持した状態で移動経路Ｐに沿って移動する動作であり、昇降動作Ｍ２は、対象容器３０を昇降させる動作であり、旋回動作Ｍ３は、対象容器３０を上下方向Ｚに沿う軸心Ａ周りに回転させる動作であり、移載動作Ｍ４は、対象容器３０の移載対象箇所１に向けて対象容器３０を移動させる動作である。なお、移動経路Ｐは、レール等によって形成されるものに限られず、仮想的に設定されてもよい。本実施形態では、容器取扱装置１０は、移動動作Ｍ１、昇降動作Ｍ２、旋回動作Ｍ３、及び移載動作Ｍ４の全てを行うように構成されている。すなわち、本実施形態では、移動動作Ｍ１、昇降動作Ｍ２、旋回動作Ｍ３、及び移載動作Ｍ４の全てが、対象動作とされている。本実施形態では、これらの移動動作Ｍ１、昇降動作Ｍ２、旋回動作Ｍ３、及び移載動作Ｍ４は、対象容器３０を支持体１５によって支持した状態で行われる。

本実施形態では、容器取扱装置１０は、床に沿う移動経路Ｐに沿って移動して対象容器３０を搬送する搬送装置である。具体的には、図１～図３に示すように、容器取扱装置１０は、スタッカークレーンであり、走行台車１１と、昇降体１２と、旋回台１３と、移載装置１４と、を備えている。容器取扱装置１０の移動経路Ｐは、床に設置された走行レールＲによって形成されており、走行台車１１は、走行レールＲ上を転動する走行輪１１ａを備えている。本実施形態では、走行レールＲは、後述する横幅方向Ｘに沿って延びるように設置されている。容器取扱装置１０は、走行輪１１ａを駆動する走行用モータ２１（駆動力源の一例、図４参照）を備えており、走行輪１１ａを走行用モータ２１により駆動して走行台車１１を走行レールＲに沿って走行させることで、移動動作Ｍ１を行う。図３に示すように、移動動作Ｍ１には、容器取扱装置１０が移動経路Ｐの長手方向（ここでは、横幅方向Ｘ）の一方側に移動する動作と、容器取扱装置１０が移動経路Ｐの長手方向の他方側に移動する動作とが含まれる。

昇降体１２は、走行台車１１に立設されたマスト１６に沿って昇降する。容器取扱装置１０は、昇降体１２を昇降させるための昇降用モータ２２（駆動力源の一例、図４参照）を備えており、昇降用モータ２２を駆動して昇降体１２を昇降させることで、昇降動作Ｍ２を行う。例えば、一端が昇降体１２に連結されたワイヤ等の索状体が巻回されたドラムを、昇降用モータ２２により回転させて索状体を巻き取り又は繰り出すことで、昇降体１２が昇降される構成とすることができる。

旋回台１３は、軸心Ａ周りに回転可能に昇降体１２に支持されている。容器取扱装置１０は、旋回台１３を昇降体１２に対して軸心Ａ周りに回転させるための旋回用モータ２３（駆動力源の一例、図４参照）を備えており、旋回用モータ２３を駆動して旋回台１３を回転させることで、旋回動作Ｍ３を行う。

移載装置１４は、旋回台１３に支持されている。移載装置１４は、対象容器３０を支持する支持体１５を水平方向（ここでは、後述する奥行方向Ｙ）に出退移動（移載対象箇所１に近づく側への出移動、及び移載対象箇所１から離れる側への退移動）させるように構成されている。容器取扱装置１０は、支持体１５を出退移動させるための移載用モータ２４（駆動力源の一例、図４参照）を備えており、移載用モータ２４を駆動して支持体１５を出退移動させることで、移載動作Ｍ４を行う。

本実施形態では、容器取扱装置１０は、移載装置１４により支持体１５を移載対象箇所１に近づく側へ出移動させた状態（すなわち、支持体１５を移載対象箇所１に近づく側へ昇降体１２から突出させた状態）で、昇降体１２を昇降させて支持体１５（具体的には、支持体１５を含む移載装置１４の全体）を昇降させることで、支持体１５と移載対象箇所１との間で対象容器３０を移載する。具体的には、容器取扱装置１０は、支持体１５を移載対象箇所１に近づく側へ突出させた状態で昇降体１２を上昇させることで、移載対象箇所１に置かれている対象容器３０を支持体１５にて掬い、支持体１５を移載対象箇所１に近づく側へ突出させた状態で昇降体１２を下降させることで、支持体１５に支持されていた対象容器３０を移載対象箇所１に降ろす。

本実施形態では、移載装置１４が、アームを備えたリンク機構を用いて支持体１５を水平方向に出退移動させるように構成されているが、これに限らず、例えば、移載装置１４が、スライド機構（直動機構）を用いて支持体１５を水平方向に出退移動させる構成とすることもできる。また、本実施形態では、支持体１５が、対象容器３０を下側Ｚ２（上下方向Ｚの下側）から支持するように構成されているが、これに限らず、例えば、支持体１５が、対象容器３０を上側Ｚ１（上下方向Ｚの上側）から支持する構成とし、或いは、支持体１５が、対象容器３０を水平方向の両側から挟持する構成とすることができる。

図１及び図２に示すように、本実施形態では、容器取扱設備１００は、対象容器３０を収納する収納棚５０を備えている。収納棚５０は、対象容器３０を収納する収納部５１を複数備えている。ここでは、複数の収納部５１は、横幅方向Ｘ（水平方向）に複数列配置されていると共に、上下方向Ｚ（鉛直方向）に複数段配置されている。ここで、横幅方向Ｘは、収納棚５０の奥行方向Ｙ（水平方向）に直交する方向である。容器取扱装置１０の移動経路Ｐは、収納棚５０に対して前面側Ｙ１（奥行方向Ｙの一方側）に形成されており、容器取扱装置１０は、移載対象箇所１としての収納部５１に対して前面側Ｙ１から対象容器３０を移載する。すなわち、容器取扱装置１０は、支持体１５を背面側Ｙ２（奥行方向Ｙの他方側）に突出させた状態で昇降体１２を昇降させることで、支持体１５と収納部５１との間で対象容器３０を移載する。

本実施形態では、収納棚５０は、移動経路Ｐを間に挟んで奥行方向Ｙに対向するように一対設置されている。本実施形態では、上述したように旋回台１３が容器取扱装置１０に設けられており、移載装置１４による支持体１５の突出方向を旋回台１３の回転により切り替えることで、一対の収納棚５０のいずれの収納部５１に対しても対象容器３０を移載することが可能となっている。

図１及び図２に示すように、対象容器３０は、対象基板２を水平面に沿う姿勢（水平姿勢）で収容するように構成されている。また、対象容器３０は、複数枚の対象基板２を収容可能に構成されている。具体的には、対象容器３０は、水平面に沿う姿勢の複数枚の対象基板２を、上下方向Ｚに並べて収容可能に構成されている。本実施形態では、対象容器３０は、対象基板２を下側Ｚ２から支持するように構成されている。すなわち、対象容器３０は、対象基板２を下側Ｚ２から支持する支持部を備えている。また、本実施形態では、対象容器３０は、開口部を備えるオープンカセットとされている。具体的には、対象容器３０は、枠材を組み合わせて構成されている。本実施形態では、対象基板２はガラス基板であるため、対象容器３０として、バックサポートタイプのカセットやワイヤーカセット等の種々のタイプのガラス基板用カセットを用いることができる。

容器取扱装置１０が行う各動作は、制御部４０の制御を受けて行われる。制御部４０は、ＣＰＵ等の演算処理装置を備えると共にメモリ等の周辺回路を備え、これらのハードウェアと、演算処理装置等のハードウェア上で実行されるプログラムとの協働により、制御部４０の各機能が実現される。図４に示すように、本実施形態では、制御部４０は、容器取扱装置１０とは別に設けられており、容器取扱装置１０に、制御部４０からの指令に応じて容器取扱装置１０の動作を制御する機器コントローラが設けられている。すなわち、制御部４０は、容器取扱装置１０に設けられた機器コントローラを介して、容器取扱装置１０の動作を制御する。なお、制御部４０が容器取扱装置１０に設けられる構成とすることもできる。

制御部４０は、走行用モータ２１の駆動を制御することで、容器取扱装置１０に移動動作Ｍ１を行わせ、昇降用モータ２２の駆動を制御することで、容器取扱装置１０に昇降動作Ｍ２を行わせ、旋回用モータ２３の駆動を制御することで、容器取扱装置１０に旋回動作Ｍ３を行わせ、移載用モータ２４の駆動を制御することで、容器取扱装置１０に移載動作Ｍ４を行わせる。

容器取扱装置１０に移載対象箇所１（例えば、収納部５１）に対する対象容器３０の移載動作を行わせる場合、制御部４０は、移載対象箇所１に対応する位置に移載装置１４（支持体１５）が配置されるように、移動動作Ｍ１及び昇降動作Ｍ２を容器取扱装置１０に行わせると共に、必要に応じて旋回動作Ｍ３を容器取扱装置１０に行わせる。具体的には、制御部４０は、移載対象箇所１に対応する水平方向（ここでは、横幅方向Ｘ）の位置に容器取扱装置１０（具体的には、走行台車１１）が移動するように、容器取扱装置１０に移動動作Ｍ１を行わせると共に、移載対象箇所１に対応する上下方向Ｚの位置に移載装置１４（支持体１５）が昇降するように、容器取扱装置１０に昇降動作Ｍ２を行わせる。また、制御部４０は、必要に応じて、移載装置１４による支持体１５の突出方向が移載対象箇所１に向かう方向となるように、容器取扱装置１０に旋回動作Ｍ３を行わせる。

そして、制御部４０は、支持体１５を移載対象箇所１に近づく側（ここでは、背面側Ｙ２）に突出させるように、容器取扱装置１０に移載動作Ｍ４を行わせることで、支持体１５と移載対象箇所１との間で対象容器３０を移載させる。本実施形態では、制御部４０は、支持体１５を移載対象箇所１に近づく側に突出させるように、容器取扱装置１０に移載動作Ｍ４を行わせた後、支持体１５を上昇又は下降させるように、容器取扱装置１０に昇降動作Ｍ２を行わせることで、支持体１５と移載対象箇所１との間で対象容器３０を移載させる。

対象容器３０には、少なくとも厚さが異なる複数種類の基板のうちのいずれかの種類の基板である、対象基板２が収容される。すなわち、対象容器３０は、少なくとも厚さが異なる複数種類の基板を対象基板２として収容可能に構成されている。基板の厚さの種類は、例えば、基板の厚さ範囲を複数に分割した場合の分割領域に対応する。例えば、基板の厚さ範囲が４つの領域（分割領域）に分割される場合、基板の厚さの種類は４つに分類される。本実施形態では、複数種類の基板は、いずれもガラス基板（具体的には、組成及び化学構造が互いに等しい或いは同等のガラス基板）であり、平面視（基板の厚さ方向に沿う方向視）での形状及び大きさも互いに等しくなっている。そのため、対象基板２は、厚さのみが異なる複数種類の基板のうちのいずれかの種類の基板とされる。なお、対象基板２が、厚さに加えて他の要素（平面視での形状、平面視での大きさ、組成、化学構造等）が異なる複数種類の基板のうちのいずれかの種類の基板とされる構成とすることもできる。

対象容器３０には対象基板２が収容されるため、容器取扱装置１０の動作速度によっては、対象容器３０の振動や対象基板２が受ける風圧によって、対象基板２がばたついたり浮き上がったりするおそれがある。そして、このような対象基板２のばたつきや浮き上がりの発生しやすさは、対象基板２の種類に応じて異なり得る。この点に鑑みて、制御部４０は、対象動作のそれぞれについて（本実施形態では、移動動作Ｍ１、昇降動作Ｍ２、旋回動作Ｍ３、及び移載動作Ｍ４のそれぞれについて）、対象容器３０に収容されている対象基板２の種類毎に異なる動作速度を設定可能に構成されている。制御部４０は、設定した動作速度で対象動作を行うように、容器取扱装置１０を制御する。本実施形態では、制御部４０は、対象動作のそれぞれについて、対象容器３０に収容されている対象基板２の厚さの種類毎に異なる動作速度を設定可能に構成されている。これにより、対象基板２のばたつきを効果的に抑制することが可能となっている。本実施形態では、更に、制御部４０は、対象動作のそれぞれについて、支持体１５が対象容器３０を支持しているか否かに応じて、異なる動作速度を設定可能に構成されている。

なお、制御部４０は、対象動作のそれぞれについて対象基板２の種類毎に異なる動作速度を設定可能に構成されていればよく、必ずしも全ての対象動作について対象基板２の種類毎に異なる動作速度が設定されていなくてもよい。本実施形態では、制御部４０は、対象動作のそれぞれについて、対象基板２の種類毎に異なる動作速度を設定するように構成されている。また、「動作速度を設定」とは、動作の速度自体を設定することだけでなく、動作の速度に関わる物理量（例えば、加減速度）を設定することを含む概念である。本実施形態では、動作の速度自体が設定される。そして、動作の加減速度は、例えば、固定値が用いられ、或いは、加減速期間と設定された速度とに基づき導出される値が用いられる。

制御部４０は、記憶部（図示せず）に記憶されている対象動作のそれぞれについての動作速度に基づき、対象動作のそれぞれについての動作速度を設定するように構成されている。制御部４０が参照する当該記憶部には、対象動作のそれぞれについて、作業者により或いは自動で設定された動作速度が、対象基板２の種類（ここでは、対象基板２の厚さの種類）に関連付けて記憶されている。動作速度は、例えば、絶対値で設定され、或いは、基準となる速度（例えば、定格速度）に対する割合（速度割合）で設定される。ある対象動作について、対象基板２の種類毎に異なるように設定された動作速度が記憶部に記憶されている場合には、制御部４０は、当該対象動作について、対象基板２の種類毎に異なる動作速度を設定する。

図４に示すように、本実施形態では、制御部４０は、当該制御部４０の上位の制御部である上位制御部４１から、取り扱いの対象となる対象容器３０に収容されている対象基板２の種類の情報（ここでは、対象基板２の厚さの情報、又は対象基板２の厚さの種類の情報）を取得する。具体的には、上位制御部４１は、搬送の対象となる対象容器３０についての、搬送元の移載対象箇所１の位置（すなわち、対象容器３０の現在位置）の情報と、搬送先の移載対象箇所１の位置の情報と、収容されている対象基板２の種類の情報と、を含む搬送データを、制御部４０に送信する。制御部４０は、搬送データから、対象容器３０に収容されている対象基板２の種類の情報を取得する。制御部４０は、上位制御部４１から受信した搬送データに応じた対象容器３０の搬送処理を行うように、容器取扱装置１０の動作を制御する。具体的には、制御部４０は、搬送元の移載対象箇所１から支持体１５に対象容器３０を移載し、当該対象容器３０を支持体１５から搬送先の移載対象箇所１に移載するように、容器取扱装置１０の動作を制御する。

基板の厚さが小さくなるに従って、一般に、基板のばたつきや浮き上がりが発生しやすくなる。この点を考慮して、例えば、制御部４０が、対象基板２の厚さが小さくなるに従って低くなるように、対象動作のそれぞれについての動作速度を設定する構成とすると好適である。この場合、制御部４０が参照する記憶部には、対象動作のそれぞれについて、対象基板２の厚さが小さくなるに従って低くなるように設定された動作速度が記憶されている。

容器取扱装置１０が、大きさ（少なくとも１つの方向の寸法）が異なる複数種類の容器を対象容器３０として取り扱い可能に構成される場合がある。図５はこのような構成の一例を示しており、図５に示す例では、容器取扱装置１０は、大きさが異なる２種類の容器を対象容器３０として取り扱うように構成されている。図５に示す例では、容器取扱装置１０は、上下方向Ｚに沿う方向視（平面視）での大きさが少なくとも異なる２種類の容器を対象容器３０として取り扱うように構成されている。そして、図５に示す例では、対象容器３０の種類に応じて、対象容器３０に収容される対象基板２の平面視での大きさも異なっている。このような場合、例えば、制御部４０が、対象動作のそれぞれについて、対象容器３０に収容されている対象基板２の種類と対象容器３０の種類との組み合わせ毎に異なる動作速度を設定可能に構成されていると好適である。対象基板２の種類がＭ個（Ｍは自然数）あり、対象容器３０の種類がＮ個（Ｎは自然数）ある場合、対象基板２の種類と対象容器３０の種類との組み合わせは、Ｍ×Ｎ個存在する。この場合、制御部４０が参照する記憶部には、対象動作のそれぞれについて、作業者により或いは自動で設定された動作速度が、対象基板２の種類と対象容器３０の種類との組み合わせに関連付けて記憶される。すなわち、制御部４０が参照する記憶部には、対象動作のそれぞれについて、動作速度が、少なくとも対象基板２の種類に関連付けて記憶され、ここでは、対象基板２の種類と対象容器３０の種類との組み合わせに関連付けて記憶される。例えば、制御部４０が、対象容器３０の種類の情報を管理する構成とし、或いは、制御部４０が、対象容器３０の種類の情報を上位制御部４１から取得する構成とすることができる。

例えば、対象容器３０として取り扱われる容器の構造が、容器が大きくなるに従って基板の支持間隔が大きくなるような構造である場合、容器が大きくなるに従って基板のばたつきや浮き上がりが発生しやすくなり得る。対象容器３０として取り扱われる容器の構造が、容器が大きくなるに従って基板のばたつきや浮き上がりが発生しやすくなるような構造である場合には、例えば、制御部４０が、対象容器３０が大きくなる（例えば、平面視での大きさが大きくなる）に従って低くなるように、対象動作のそれぞれについての動作速度を設定する構成とすると好適である。この場合、制御部４０が参照する記憶部には、対象動作のそれぞれについて、対象容器３０が大きくなるに従って低くなるように設定された動作速度が記憶されている。

本実施形態では、対象動作に昇降動作Ｍ２が含まれる。そして、本実施形態では、対象容器３０は、対象基板２を下側Ｚ２から支持する。よって、対象容器３０を下降させる場合には、対象容器３０を上昇させる場合に比べて、昇降動作Ｍ２に伴う対象基板２の浮き上がりが発生しやすくなる。この点を考慮して、例えば、制御部４０が、昇降動作Ｍ２について、対象容器３０を下降させる場合の動作速度を、対象容器３０を上昇させる場合の動作速度よりも低く設定する構成とすると好適である。この場合、例えば、制御部４０が参照する記憶部には、昇降動作Ｍ２の動作速度として、対象容器３０を下降させる場合の下降用動作速度と、対象容器３０を上昇させる場合の上昇用動作速度（下降用動作速度よりも高い動作速度）とが記憶されている。これらの下降用動作速度及び上昇用動作速度は、少なくとも対象基板２の種類に関連付けて記憶される。

ところで、制御部４０が、容器取扱装置１０に複数の対象動作を並行して行わせる場合がある。図６は容器取扱装置１０が複数の対象動作を並行して行う様子の一例を示しており、図６に示す例では、容器取扱装置１０が、移動動作Ｍ１と昇降動作Ｍ２とを並行して行っている。このように、制御部４０が容器取扱装置１０に複数の対象動作を並行して行わせる場合に、例えば、制御部４０が、複数の対象動作の全てを、複数の対象動作のそれぞれに設定された動作速度の中の最も低い動作速度で行わせる構成とすると好適である。

なお、複数の対象動作の間での設定された動作速度の比較は、絶対値での比較ではなく、上述した速度割合（すなわち、基準速度に対する割合）での比較とすることもできる。この場合、上記の「最も低い動作速度」は、「最も低い速度割合」となり、対象動作のそれぞれは、各対象動作の基準速度に最も低い速度割合を乗算した動作速度で行われる。旋回動作Ｍ３の動作速度は角速度であるため、移動動作Ｍ１、昇降動作Ｍ２、及び移載動作Ｍ４の動作速度とそのまま（すなわち、絶対値で）比較することはできない。そのため、容器取扱装置１０が並行して行う複数の対象動作の中に、旋回動作Ｍ３が含まれる場合には、複数の対象動作の間での設定された動作速度の比較を、速度割合での比較とするとよい。

本実施形態では、対象動作に移動動作Ｍ１が含まれる。そして、図７及び図８に一例を示すように、対象容器３０が、対象基板２の収容空間３１の内部と外部とを連通する開口部３２を備える場合、具体的には、対象容器３０が、開口部３２が形成された側面と、開口部３２が形成されていない側面（開口部が閉じられている側面を含む）との双方を備える場合には、対象容器３０が対象姿勢で容器取扱装置１０（具体的には、支持体１５）に支持されている場合（図８参照）には、対象容器３０が対象姿勢とは異なる姿勢で容器取扱装置１０（具体的には、支持体１５）に支持されている場合（図７参照）に比べて、移動動作Ｍ１に伴う対象基板２の浮き上がりが発生しやすくなる。

ここで、対象姿勢は、図８に示すように、開口部３２が容器取扱装置１０の移動方向Ｔの前側Ｔ１となる対象容器３０の姿勢である。図７及び図８に示す例では、対象容器３０は、互いに平行な２つの側面のそれぞれに開口部３２を備えており、図８に示す対象容器３０の姿勢と、図８に示す対象容器３０を上下方向Ｚに沿う軸心周りに１８０度回転させた対象容器３０の姿勢との双方が、対象姿勢となる。上記の点を考慮して、例えば、制御部４０が、移動動作Ｍ１について、対象容器３０が対象姿勢で容器取扱装置１０に支持されている場合の動作速度を、対象容器３０が対象姿勢とは異なる姿勢で容器取扱装置１０に支持されている場合の動作速度よりも低く設定する構成とすると好適である。この場合、例えば、制御部４０が参照する記憶部には、移動動作Ｍ１の動作速度として、対象容器３０が対象姿勢で容器取扱装置１０に支持されている場合の対象姿勢用動作速度と、対象容器３０が対象姿勢とは異なる姿勢で容器取扱装置１０に支持されている場合の非対象姿勢用動作速度（対象姿勢用動作速度よりも高い動作速度）とが記憶されている。これらの対象姿勢用動作速度及び非対象姿勢用動作速度は、少なくとも対象基板２の種類に関連付けて記憶される。なお、図７及び図８では、移動動作Ｍ１に伴う空気の流れを矢印Ｆで示している。

〔その他の実施形態〕
次に、容器取扱設備のその他の実施形態について説明する。

（１）上記の実施形態では、対象容器３０が、水平姿勢の複数枚の対象基板２を、上下方向Ｚに並べて収容可能な構成を例として説明した。しかし、本開示はそのような構成に限定されず、対象基板２が水平姿勢とは異なる姿勢（例えば、鉛直面に沿う姿勢）で対象容器３０に収容される構成とすることや、対象容器３０が対象基板２を１枚のみ収容可能な構成とすることも可能である。

（２）上記の実施形態では、移動動作Ｍ１、昇降動作Ｍ２、旋回動作Ｍ３、及び移載動作Ｍ４の全てが、対象動作とされる構成を例として説明した。しかし、本開示はそのような構成に限定されず、移動動作Ｍ１、昇降動作Ｍ２、旋回動作Ｍ３、及び移載動作Ｍ４の４つの動作のうちの２つ又は３つの動作のみが、対象動作とされる構成とすることもできる。容器取扱装置１０が、移動動作Ｍ１、昇降動作Ｍ２、旋回動作Ｍ３、及び移載動作Ｍ４の全てを行うように構成される場合であっても、これら４つの動作のうちの２つ又は３つの動作のみを対象動作としてもよい。

（３）上記の実施形態では、容器取扱装置１０がスタッカークレーンである構成を例として説明した。しかし、本開示はそのような構成に限定されず、例えば、容器取扱装置１０を、床に沿って仮想的に設定される移動経路Ｐに沿って自律走行して対象容器３０を搬送する搬送装置とすること、天井に沿って形成された移動経路Ｐに沿って走行して対象容器３０を搬送する搬送装置（天井搬送装置）とすること、或いは、収納棚５０の各段に対応して水平方向に沿って形成された移動経路Ｐを走行する搬送装置とすることもできる。

（４）なお、上述した各実施形態で開示された構成は、矛盾が生じない限り、他の実施形態で開示された構成と組み合わせて適用すること（その他の実施形態として説明した実施形態同士の組み合わせを含む）も可能である。その他の構成に関しても、本明細書において開示された実施形態は全ての点で単なる例示に過ぎない。従って、本開示の趣旨を逸脱しない範囲内で、適宜、種々の改変を行うことが可能である。

〔上記実施形態の概要〕
以下、上記において説明した容器取扱設備の概要について説明する。

対象容器を取り扱う容器取扱装置と、前記容器取扱装置の動作を制御する制御部と、を備えた容器取扱設備であって、前記対象容器には、少なくとも厚さが異なる複数種類の基板のうちのいずれかの種類の基板である、対象基板が収容され、前記容器取扱装置は、前記対象容器を支持した状態で移動経路に沿って移動する移動動作と、前記対象容器を昇降させる昇降動作と、前記対象容器を上下方向に沿う軸心周りに回転させる旋回動作と、前記対象容器の移載対象箇所に向けて前記対象容器を移動させる移載動作とのうちの、少なくとも２つの動作である対象動作を行うように構成され、前記制御部は、前記対象動作のそれぞれについて、前記対象容器に収容されている前記対象基板の種類毎に異なる動作速度を設定可能に構成されている。

ここで、前記制御部は、前記対象基板の厚さが小さくなるに従って低くなるように、前記対象動作のそれぞれについての動作速度を設定すると好適である。

本構成によれば、基板の厚さが小さくなるに従って、一般に、基板のばたつきや浮き上がりが発生しやすくなることを考慮して、対象動作のそれぞれについての動作速度を適切に設定することができる。

また、前記容器取扱装置は、大きさが異なる複数種類の容器を前記対象容器として取り扱い可能に構成され、前記制御部は、前記対象動作のそれぞれについて、前記対象容器に収容されている前記対象基板の種類と前記対象容器の種類との組み合わせ毎に異なる動作速度を設定可能に構成されていると好適である。

基板の支持形態（例えば、支持間隔）等の基板の容器内での収容形態は、基板のばたつきや浮き上がりの発生しやすさに影響を与えるが、基板の容器内での収容形態は、一般に、容器の大きさによって異なる。本構成では、容器取扱装置が、大きさが異なる複数種類の容器を対象容器として取り扱い可能に構成されるため、基板のばたつきや浮き上がりの発生しやすさは、対象容器の大きさによって異なり得る。本構成では、この点を考慮して、対象動作のそれぞれについて、対象容器に収容されている対象基板の種類と対象容器の種類との組み合わせ毎に異なる動作速度を設定することができるため、基板のばたつきや浮き上がりの発生をより一層抑制することが可能となっている。

上記のように、前記制御部が、前記対象動作のそれぞれについて、前記対象容器に収容されている前記対象基板の種類と前記対象容器の種類との組み合わせ毎に異なる動作速度を設定可能な構成において、前記制御部は、前記対象容器が大きくなるに従って低くなるように、前記対象動作のそれぞれについての動作速度を設定すると好適である。

容器の構造によっては、容器が大きくなるに従って、基板のばたつきや浮き上がりが発生しやすくなる場合がある。本構成によれば、このような場合に、対象動作のそれぞれについての動作速度を適切に設定することができる。

上記の各構成の容器取扱設備において、前記制御部は、前記容器取扱装置に複数の前記対象動作を並行して行わせる場合に、複数の前記対象動作の全てを、複数の前記対象動作のそれぞれに設定された動作速度の中の最も低い動作速度で行わせると好適である。

例えば昇降動作と旋回動作とを並行して行う場合など、容器取扱装置が複数の対象動作を並行して行う場合における、基板のばたつきや浮き上がりの発生しやすさは、各対象動作を単独で行う場合における、最も基板のばたつきや浮き上がりが発生しやすい動作を行う場合と同じであると想定した方がそのような問題が生じにくい。本構成によれば、容器取扱装置が複数の対象動作を並行して行う場合に、複数の対象動作の全てが、複数の対象動作のそれぞれに設定された動作速度の中の最も低い動作速度で行われるため、基板のばたつきや浮き上がりを効果的に抑制することができる。

また、前記対象動作に、前記移動動作が含まれ、前記対象容器は、前記対象基板の収容空間の内部と外部とを連通する開口部を備え、前記開口部が前記容器取扱装置の移動方向の前側となる前記対象容器の姿勢を対象姿勢として、前記制御部は、前記移動動作について、前記対象容器が前記対象姿勢で前記容器取扱装置に支持されている場合の動作速度を、前記対象容器が前記対象姿勢とは異なる姿勢で前記容器取扱装置に支持されている場合の動作速度よりも低く設定すると好適である。

本構成によれば、対象容器が対象姿勢で容器取扱装置に支持されている場合には、対象容器が対象姿勢とは異なる姿勢で容器取扱装置に支持されている場合に比べて、移動動作に伴う基板の浮き上がりが発生しやすくなることを考慮して、移動動作の動作速度を適切に設定することができる。

また、前記対象動作に、前記昇降動作が含まれ、前記制御部は、前記昇降動作について、前記対象容器を下降させる場合の動作速度を、前記対象容器を上昇させる場合の動作速度よりも低く設定すると好適である。

一般的に、対象基板は対象容器が備える支持部によって下側から支持された状態で対象容器に収容される。このような構成では、対象容器を下降させる場合には、対象容器を上昇させる場合に比べて、昇降動作に伴う基板の浮き上がりが発生しやすくなる。本構成によれば、このことを考慮して、基板の浮き上がりが発生しにくいように、昇降動作の動作速度を適切に設定することができる。

本開示に係る容器取扱設備は、上述した各効果のうち、少なくとも１つを奏することができればよい。

１：移載対象箇所
２：対象基板
１０：容器取扱装置
３０：対象容器
３１：収容空間
３２：開口部
４０：制御部
１００：容器取扱設備
Ｍ１：移動動作
Ｍ２：昇降動作
Ｍ３：旋回動作
Ｍ４：移載動作
Ｐ：移動経路
Ｔ：移動方向
Ｔ１：前側
Ｚ：上下方向

Claims

対象容器を取り扱う容器取扱装置と、前記容器取扱装置の動作を制御する制御部と、を備えた容器取扱設備であって、
前記対象容器には、少なくとも厚さが異なる複数種類の基板のうちのいずれかの種類の基板である、対象基板が収容され、
前記対象容器は、複数枚の前記対象基板を収容可能に構成され、
前記容器取扱装置は、前記対象容器を支持した状態で移動経路に沿って移動する移動動作と、前記対象容器を昇降させる昇降動作と、前記対象容器を上下方向に沿う軸心周りに回転させる旋回動作と、前記対象容器の移載対象箇所に向けて前記対象容器を移動させる移載動作とのうちの、少なくとも２つの動作である対象動作を行うように構成され、
前記制御部は、前記対象動作のそれぞれについて、前記対象容器に収容されている前記対象基板の種類毎に異なる動作速度を設定可能に構成されている、容器取扱設備。
前記制御部は、前記対象基板の厚さが小さくなるに従って低くなるように、前記対象動作のそれぞれについての動作速度を設定する、請求項１に記載の容器取扱設備。
前記容器取扱装置は、大きさが異なる複数種類の容器を前記対象容器として取り扱い可能に構成され、
前記制御部は、前記対象動作のそれぞれについて、前記対象容器に収容されている前記対象基板の種類と前記対象容器の種類との組み合わせ毎に異なる動作速度を設定可能に構成されている、請求項１又は２に記載の容器取扱設備。
前記制御部は、前記対象容器が大きくなるに従って低くなるように、前記対象動作のそれぞれについての動作速度を設定する、請求項３に記載の容器取扱設備。
前記制御部は、前記容器取扱装置に複数の前記対象動作を並行して行わせる場合に、複数の前記対象動作の全てを、複数の前記対象動作のそれぞれに設定された動作速度の中の最も低い動作速度で行わせる、請求項１から４のいずれか一項に記載の容器取扱設備。
前記対象動作に、前記移動動作が含まれ、
前記対象容器は、前記対象基板の収容空間の内部と外部とを連通する開口部を備え、
前記開口部が前記容器取扱装置の移動方向の前側となる前記対象容器の姿勢を対象姿勢として、
前記制御部は、前記移動動作について、前記対象容器が前記対象姿勢で前記容器取扱装置に支持されている場合の動作速度を、前記対象容器が前記対象姿勢とは異なる姿勢で前記容器取扱装置に支持されている場合の動作速度よりも低く設定する、請求項１から５のいずれか一項に記載の容器取扱設備。
前記対象動作に、前記昇降動作が含まれ、
前記制御部は、前記昇降動作について、前記対象容器を下降させる場合の動作速度を、前記対象容器を上昇させる場合の動作速度よりも低く設定する、請求項１から６のいずれか一項に記載の容器取扱設備。
前記制御部は、上位制御部から受信した搬送データに応じた前記対象容器の搬送処理を行うように、前記容器取扱装置の動作を制御し、
前記搬送データには、前記対象容器の搬送元の情報と、前記対象容器の搬送先の情報と、前記対象容器に収容されている前記対象基板の種類の情報と、が含まれ、
前記制御部は、前記搬送データに含まれる前記対象基板の種類に対して設定された動作速度で前記対象動作を行うように、前記容器取扱装置を制御する、請求項１から７のいずれか一項に記載の容器取扱設備。