KR20160111329A

KR20160111329A - 물품 반송 설비 및 검사 유닛

Info

Publication number: KR20160111329A
Application number: KR1020160026204A
Authority: KR
Inventors: 도모타카 기누가와
Original assignee: 가부시키가이샤 다이후쿠
Priority date: 2015-03-16
Filing date: 2016-03-04
Publication date: 2016-09-26
Also published as: TWI687365B; KR102424034B1; US20160276191A1; US10242898B2; JP2016172607A; TW201641412A; JP6304084B2

Abstract

물품 반송 설비는, 반송 대상 개소(3)에 이송탑재되는 검사 유닛(Wb)의 위치를 적정 지지 위치에 맞추는 위치맞춤부(G)를 구비하고, 검사 유닛(Wb)에는, 유지부(24)에 설치된 피검출부(31)의 위치를 검출하는 위치 검출 장치(13)가 구비된다. 검사 유닛(Wb)이 적정 지지 위치에 위치맞춤되고, 또한, 유지부(24)가 해제 위치 또는 해제 이동 위치에 위치하고 있는 상태에서의 위치 검출 장치(13)의 검출 정보에 기초하여, 적정 지지 위치에 대한 유지부(24)의 수평 방향에서의 편차량을 계측한다.

Description

물품 반송 설비 및 검사 유닛{ARTICLE TRANSPORT FACILITY AND INSPECTION UNIT}

본 발명은, 물품 반송(搬送) 설비 및 검사 유닛에 관한 것이다.

물품 반송 설비의 일례로서, 반송물을 유지하는 유지부와, 상기 유지부를 이동시키는 이동 조작부와, 상기 반송물을 반송 대상 개소(箇所)에 반송하기 위해 상기 이동 조작부 및 상기 유지부의 작동을 제어하는 반송 제어부를 구비한 설비가 사용되고 있다. 또한, 이와 같은 물품 반송 설비에 있어서, 검사 유닛이 사용되고 있다. 이러한 물품 반송 설비 및 검사 유닛의 종래예가, 일본공개특허 제2005-170544호 공보(특허 문헌 1)에 기재되어 있다.

특허 문헌 1의 물품 반송 설비에서는, 물품을 유지한 유지부를 반송용 위치까지 이동시켜, 물품을 이송탑재 대상 개소에 이송탑재하도록 구성되어 있다.

또한, 특허 문헌 1의 물품 반송 설비에서는, 반송용 위치에 대하여 바로 위에 설정량만큼 이격된 위치에 검출용 위치가 설정되어 있다. 이 물품 반송 설비에서는, 검사 유닛을 유지한 유지부를 검출용 위치에 이동시킨 후, 검사 유닛에 구비된 검출 장치에 의하여, 검사 대상 개소에 설치된 피검출부의 수평 방향의 위치를 검출한다. 그리고, 검출 장치의 검출 정보에 기초하여, 편차량 계측부가 반송 대상 개소와 검출용 위치에 위치하는 유지부의 수평 방향에서의 편차량을 계측하고, 이 편차량 계측부의 계측 결과에 기초하여, 위치 갱신부가 반송용 위치를 갱신한다.

이와 같이, 특허 문헌 1의 물품 반송 설비에서는, 유지부를 검출용 위치에 이동시켜 그 유지부에 의해 유지되고 있는 검사 유닛으로부터, 반송 대상 개소에 설치된 피검출부의 위치를 검출하여, 반송 대상 개소와 유지부의 수평 방향에서의 편차량을 계측하도록 구성되어 있다.

그러나, 특허 문헌 1의 물품 반송 설비 및 검사 유닛에서는, 반송 대상 개소에 피검출부를 구비할 필요가 있다. 그러므로, 반송 대상 개소에 피검출부를 상시 구비하는 것이 어려운 경우에는, 검사 유닛에 의해 편차량을 계측할 때, 작업자가 반송 대상 개소에 피검출부를 설치할 필요가 있다. 또한, 반송 대상 개소가 다수 존재하는 경우에는, 작업자는 다수의 반송 대상 개소의 각각에 피검출부를 구비할 필요가 있다. 그러므로, 유지부를 검사용 위치에 위치시킨 상태에서의 반송 대상 개소에 대한 유지부의 수평 방향에서의 편차량을 계측하는 작업의 작업 효율이 좋지 않았다.

그래서, 반송 대상 개소에 대한 유지부의 수평 방향에서의 편차량을 효율적으로 계측할 수 있는 물품 반송 설비 및 검사 유닛이 요구된다.

물품 반송 설비는, 반송물을 유지하는 유지부와, 상기 유지부를 연직 방향 및 수평 방향을 따라 이동시키는 이동 조작부와, 상기 유지부에 유지되어 있는 상기 반송물을 반송 대상 개소에 반송하기 위해 상기 이동 조작부 및 상기 유지부의 작동을 제어하는 반송 제어부와, 상기 반송물이 상기 반송 대상 개소에 이송탑재될 때 또는 상기 반송 대상 개소에 이송탑재된 후에, 상기 반송물의 위치를 이송탑재 후의 적정한 지지 위치인 적정 지지 위치에 맞추는 위치맞춤부와, 상기 반송물을 상기 반송 대상 개소에 이송탑재할 때의 상기 적정 지지 위치에 대한 상기 유지부의 수평 방향에서의 편차량을 계측하는 편차량 계측부를 구비한다.

상기 유지부는, 상기 반송물로서 반송 작업 대상의 물품을 유지할 수 있고, 또한 상기 반송 작업 대상의 물품 대신에 검사 유닛을 유지할 수 있다.

상기 유지부에, 피검출부가 설치되어 있다.

상기 검사 유닛에, 상기 피검출부의 위치를 검출하는 위치 검출 장치가 구비되어 있다.

상기 반송 제어부가, 상기 유지부에 유지되어 있는 상기 검사 유닛을 상기 반송 대상 개소에 이송탑재하여 상기 유지부에 의한 상기 검사 유닛에 대한 유지를 해제한 후, 상기 유지부를, 상기 검사 유닛의 유지를 해제한 위치인 해제 위치 또는 상기 해제 위치에 대하여 미리 정해진 방향으로 미리 정해진 양만큼 이동한 위치인 해제 이동 위치에 위치시키는 검사용 반송 제어를 실행한다.

상기 편차량 계측부가, 상기 위치맞춤부에 의해 상기 검사 유닛이 상기 적정 지지 위치에 위치맞춤되고, 또한 상기 유지부가 상기 해제 위치 또는 상기 해제 이동 위치에 위치하고 있는 상태에서의 상기 위치 검출 장치의 검출 정보에 기초하여, 상기 적정 지지 위치에 대한 상기 유지부의 상기 해제 위치 또는 상기 해제 이동 위치의 수평 방향에서의 편차량을 계측한다.

검사 유닛은, 반송 장치의 유지부에 의해 유지되는 피유지부와, 상기 피유지부보다 아래쪽에 위치하는 유닛 본체부를 구비한다.

상기 유닛 본체부의 바닥부에, 상기 피유지부를 유지한 상기 유지부의 하강 이동에 따라 상기 유닛 본체부가 반송 대상 개소에 이송탑재될 때, 상기 반송 대상 개소에 구비된 걸어맞춤부에 위쪽으로부터 걸어맞춰지는 피걸어맞춤부가 구비되어 있다.

상기 피걸어맞춤부가, 상기 유지부의 하강 이동에 따라 상기 유닛 본체부가 상기 반송 대상 개소에 이송탑재될 때 상기 걸어맞춤부에 접촉하여 상기 유닛 본체부의 수평 방향에서의 위치를 이송탑재 후의 적정한 지지 위치인 적정 지지 위치로 안내하는 피안내 부분을 구비하고 있다.

상기 유닛 본체부가, 상기 유지부가 상기 피유지부의 유지를 해제한 위치인 해제 위치 또는 상기 해제 위치에 대하여 미리 정해진 방향으로 미리 정해진 양만큼 이동한 위치인 해제 이동 위치에 위치한 상태에서, 상기 유닛 본체부와 상기 유지부의 상대적인 위치 관계를 계측하기 위한 정보를 취득하는 계측용 정보 취득부를 구비하고 있다.

이들의 구성에 의하면, 반송 대상 개소에 대한 유지부의 수평 방향에서의 편차량을 효율적으로 계측할 수 있다.

본 발명의 추가적인 특징과 이점은, 도면을 참조하여 기술하는 이하의 예시적이고 비한정적인 실시 형태의 설명에 의해 보다 명확해질 것이다.

도 1은 천정 반송차(搬送車)가 용기를 지지하고 있는 상태를 나타낸 물품 반송 설비의 측면도이다.
도 2는 지지대가 용기를 지지하고 있는 상태를 나타낸 물품 반송 장치의 측면도이다.
도 3은 용기를 지지하고 있는 천정 반송차의 측면도이다.
도 4는 지지대에서의 용기의 적정 지지 위치를 나타낸 평면도이다.
도 5는 검사 유닛을 지지하고 있는 천정 반송차의 측면도이다.
도 6은 지지대에서의 검사 유닛의 적정 지지 위치를 나타낸 평면도이다.
도 7은 지지 기구(機構) 및 검사 유닛의 주요부 확대도이다.
도 8은 제어 블록도이다.
도 9는 용기 수취 처리의 플로우차트이다.
도 10은 용기 받아건넴 처리의 플로우차트이다.
도 11은 학습 처리의 플로우차트이다.
도 12는 이송탑재 직전의 검사 유닛과 지지 기구를 나타낸 도면이다.
도 13은 이송탑재 후의 검사 유닛과 지지 기구를 나타낸 도면이다.
도 14는 지지 기구를 해제 이동 위치에 이동시키고 상태를 나타낸 도면이다.

이하, 물품 반송 설비의 실시 형태를 도면을 참조하여 설명한다.

도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 물품 반송 설비는, 천정 부근을 주행 경로를 따라 주행하여 용기(Wa)를 반송하는 물품 반송 장치로서의 천정 반송차(1)와, 용기(Wa)에 수용되어 있는 기판에 대하여 처리를 행하는 처리 장치(2)와, 그 처리 장치(2)에 인접한 상태에서 바닥면 상에 설치된 지지대(3)를 구비하고 있다.

그리고, 본 실시 형태에서는, 반도체 기판을 수용하는 FOUP(Front Opening Unified Pod)를 용기[Wa(물품의 일례)]로 하고 있다. 또한, 천정 반송차(1)가 주행하는 방향을 주행 방향이라고 하고, 그 주행 방향에 대하여 평면에서 볼 때 직교하는 방향을 가로 방향이라 하여 설명한다.

[용기]

도 1에 나타낸 바와 같이, 천정 반송차(1)의 지지 기구(24)는, 반송물(W)로서 반송 작업 대상의 용기(Wa)를 지지할 수 있다. 도 3에 나타낸 바와 같이, 용기(Wa)는, 그 상단부에 구비되어 천정 반송차(1)의 지지 기구(24)에 지지되는 용기 플랜지부(6a)와, 용기 플랜지부(6a)보다 아래쪽에 위치하여 복수 개의 반도체 기판을 수용하는 용기 본체부(5a)를 구비하고 있다. 또한, 용기(Wa)는, 용기 본체부(5a)의 전면(前面)에 형성된 기판 출입용의 기판 출입구를 폐쇄하는 착탈 가능한 커버체(도시하지 않음)를 구비하고 있다. 천정 반송차(1)는, 용기 플랜지부(6a)를 매달아 지지한 상태에서 용기(Wa)를 반송하도록 구성되어 있다.

도 3 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 용기 본체부(5a)의 바닥면[용기(Wa)의 바닥면]에는, 위쪽으로 오목하게 들어간 복수(본 예에서는 3개)의 용기 바닥면 오목부(7a)가 설치되어 있다. 복수의 용기 바닥면 오목부(7a)는, 홈형으로 형성되어 있다. 복수의 용기 바닥면 오목부(7a)는, 각각의 길이 방향이 바닥면 기준 위치를 중심으로 하여 방사상으로 연장되도록 형성되어 있다. 또한, 복수의 용기 바닥면 오목부(7a)의 각각은, 위쪽일수록 선단이 가는 테이퍼형으로 형성되어 있고, 용기 바닥면 오목부(7a)의 내측면이 경사면으로 형성되어 있다.

용기 바닥면 오목부(7a)는, 도 1에 나타낸 바와 같이 용기(Wa)가 지지대(3)에 이송탑재될 때, 지지대(3)에 구비되어 있는 위치 결정 부재(9)가 아래쪽으로부터 걸어맞추어지는 위치에 설치되어 있다. 그리고, 용기 플랜지부(6a)를 지지한 지지 기구(24)가 하강 이동하여 용기(Wa)가 지지대(3)에 이송탑재될 때, 용기(Wa)가 지지대(3)의 적정 지지 위치에 대하여 수평 방향으로 어긋나 있는 경우에는, 위치 결정 부재(9)의 상단부가 용기 바닥면 오목부(7a)의 내측면에 접촉하여 용기(Wa)가 수평 방향으로 이동한다. 이로써, 용기(Wa)의 수평 방향에서의 위치가, 지지대(3)의 적정 지지 위치로 수정되도록 되어 있다.

도 3에 나타낸 바와 같이, 용기 플랜지부(6a)의 상면[용기(Wa)의 상면]에는, 아래쪽에 오목하게 들어간 용기 상면 오목부(8a)가 설치되어 있다. 용기 상면 오목부(8a)는, 원뿔 형상으로 형성되어 있다. 용기 상면 오목부(8a)는, 아래쪽일수록 선단이 가는 테이퍼형으로 형성되어 있고, 용기 상면 오목부(8a)의 내측면이 경사면으로 형성되어 있다.

용기 상면 오목부(8a)는, 도 2에 나타낸 바와 같이 지지 기구(24)를 하강 이동시켰을 때, 지지 기구(24)의 압압부[押壓部(24c)]가 위쪽으로부터 걸어맞추어지도록 구성되어 있다. 그리고, 천정 반송차(1)가 지지 기구(24)를 하강 이동시켰을 때, 지지대(3)에 탑재 지지되어 있는 용기(Wa)에 대하여 지지 기구(24)가 수평 방향으로 어긋나 있는 경우에는, 압압부(24c)의 외측면이 용기 상면 오목부(8a)의 내측면에 접촉하여, 지지 기구(24)가 수평 방향으로 이동한다. 이로써, 지지 기구(24)의 수평 방향에서의 위치가, 용기(Wa)에 대하여 적합한 위치로 안내되도록 되어 있다.

[검사 유닛]

도 5에 나타낸 바와 같이, 천정 반송차(1)의 지지 기구(24)는, 반송물(W)로서, 반송 작업 대상의 용기(Wa) 대신에, 검사 유닛(Wb)도 지지 가능하다. 다음에, 이 검사 유닛(Wb)에 대하여 설명한다.

검사 유닛(Wb)은, 검사 유닛(Wb)의 상단부에 구비되어 천정 반송차(1)의 지지 기구(24)에 의해 지지되는 피유지부로서의 유닛 플랜지부(6b)와, 유닛 플랜지부(6b)보다 아래쪽에 위치하여 검사용 장치를 지지하는 유닛 본체부(5b)를 구비하고 있다. 검사용 장치로서는, 촬상 장치(13), 지지 검출 장치(14), 및 경사 검출 장치(15) 등이 설치되어 있다. 천정 반송차(1)는, 유닛 플랜지부(6b)를 매달아 지지한 상태에서 검사 유닛(Wb)을 반송하도록 구성되어 있다.

도 5 및 도 6에 나타낸 바와 같이, 유닛 본체부(5b)의 바닥면[검사 유닛(Wb)의 바닥면]에는, 위쪽으로 오목하게 들어간 복수[용기 바닥면 오목부(7a)와 같은 수이며, 본 예에서는 3개]의 유닛 바닥면 오목부(7b)가 설치되어 있다. 복수의 유닛 바닥면 오목부(7b)는, 홈형으로 형성되어 있다. 복수의 유닛 바닥면 오목부(7b)는, 각각의 길이 방향이 바닥면 기준 위치를 중심으로 하여 방사상으로 연장되도록 형성되어 있다. 또한, 복수의 유닛 바닥면 오목부(7b)의 각각은, 위쪽일수록 선단이 가는 테이퍼형으로 형성되어 있고, 유닛 바닥면 오목부(7b)의 내측면이 경사면으로 형성되어 있다.

유닛 바닥면 오목부(7b)는, 유닛 플랜지부(6b)를 지지한 지지 기구(24)가 하강 이동하여 검사 유닛(Wb)이 지지대(3)에 이송탑재될 때, 지지대(3)에 구비되어 있는 위치 결정 부재(9)가 아래쪽으로부터 걸어맞추어지는 위치에 설치되어 있다. 그리고, 검사 유닛(Wb)이 지지대(3)에 이송탑재될 때, 검사 유닛(Wb)이 지지대(3)의 적정 지지 위치에 대하여 수평 방향으로 어긋나 있는 경우에는, 위치 결정 부재(9)의 상단부가 유닛 바닥면 오목부(7b)의 내측면에 접촉하여 검사 유닛(Wb)이 수평 방향으로 이동한다. 이로써, 검사 유닛(Wb)의 수평 방향에서의 위치가 적정 지지 위치로 수정되도록 되어 있다.

도 5에 나타낸 바와 같이, 유닛 플랜지부(6b)의 상면[검사 유닛(Wb)의 상면]에는, 아래쪽으로 오목하게 들어간 유닛 상면 오목부(8b)가 설치되어 있다. 유닛 상면 오목부(8b)는, 원뿔 형상으로 형성되어 있다. 유닛 상면 오목부(8b)는, 아래쪽일수록 선단이 가는 테이퍼형으로 형성되어 있고, 유닛 상면 오목부(8b)의 내측면이 경사면으로 형성되어 있다.

유닛 상면 오목부(8b)는, 검사 유닛(Wb)이 지지대(3)에 탑재되어 있는 상태에서 천정 반송차(1)가 지지 기구(24)를 하강 이동시켰을 때, 지지 기구(24)의 압압부(24c)가 걸어맞추어지도록 구성되어 있다. 그리고, 천정 반송차(1)가 지지 기구(24)를 하강 이동시켰을 때, 지지대(3)에 탑재 지지되어 있는 검사 유닛(Wb)에 대하여 지지 기구(24)가 수평 방향으로 어긋나 있는 경우에는, 압압부(24c)의 외측면이 유닛 상면 오목부(8b)의 내측면에 접촉하여, 지지 기구(24)가 수평 방향으로 이동한다. 이로써, 지지 기구(24)의 수평 방향에서의 위치가, 검사 유닛(Wb)에 대하여 적합한 위치로 안내되도록 되어 있다.

이와 같이, 천정 반송차(1)에 의해 반송되는 반송물(W)[용기(Wa) 및 검사 유닛(Wb)]의 상부에, 제1 피걸어맞춤부로서의 상면 오목부(8)[용기 상면 오목부(8a) 및 유닛 상면 오목부(8b)]가 설치되어 있다. 또한, 반송물(W)의 바닥부에, 제2 피걸어맞춤부로서의 바닥면 오목부(7)[용기 바닥면 오목부(7a) 및 유닛 바닥면 오목부(7b)]가 설치되어 있다.

그리고, 압압부(24c)가, 상면 오목부(8)에 위쪽으로부터 걸어맞추어지는 제1 걸어맞춤부에 상당하고, 압압부(24c)에서의 용기 상면 오목부(8a)의 내측면에 접촉하는 부분이, 제1 안내 부분에 상당한다.

또한, 위치 결정 부재(9)가, 바닥면 오목부(7)에 아래쪽으로부터 걸어맞추어지는 제2 걸어맞춤부에 상당하고, 위치 결정 부재(9)에서의 용기 바닥면 오목부(7a)의 내측면에 접촉하는 부분이, 제2 안내 부분에 상당한다.

위치맞춤부(G)는, 복수[용기 바닥면 오목부(7a) 및 유닛 바닥면 오목부(7b)와 같은 수이며, 본 예에서는 3개]의 위치 결정 부재(9)를 구비하여 구성되어 있다. 지지대(3)에 이송탑재되는 반송물(W)이 적정 지지 위치에 대하여 수평 방향으로 어긋나 있는 경우에는, 위치맞춤부(G)에 의하여, 반송물(W)이 지지대(3)에 이송탑재될 때, 반송물(W)의 위치가 적정 지지 위치에 맞춰진다.

위치 결정 부재(9)가, 반송 대상 개소로서의 지지대(3)에 구비된 걸어맞춤부에 상당하고, 유닛 바닥면 오목부(7b)가, 지지대(3)에 구비된 위치 결정 부재(9)가 아래쪽으로부터 걸어맞추어지는 피걸어맞춤부에 상당한다. 또한, 유닛 바닥면 오목부(7b)에서의 위치 결정 부재(9)의 상단부에 접촉하는 부분이, 피안내 부분에 상당한다.

용기(Wa)와 검사 유닛(Wb)은, 지지대(3)의 적정 지지 위치에 위치하는 상태에 있어서, 용기 플랜지부(6a)와 유닛 플랜지부(6b)가 같은 높이에 위치하도록 형성되어 있다.

검사 유닛(Wb)에 대하여 설명을 추가하면, 도 5에 나타낸 바와 같이, 검사 유닛(Wb)은, 촬상 장치(13)와, 지지 검출 장치(14)와, 경사 검출 장치(15)를 구비하고 있다. 촬상 장치(13)는, 천정 반송차(1)의 지지 기구(24)의 하단부에 구비되어 있는 타겟 플레이트(31)(도 7 참조)를 촬상한다. 지지 검출 장치(14)는, 검사 유닛(Wb)이 지지 기구(24)의 파지 클로(claw)(24a)에 의해 지지되어 있는지의 여부를 검출한다. 경사 검출 장치(15)는, 수평 방향에 대한 검사 유닛(Wb)의 경사를 검출한다. 또한, 검사 유닛(Wb)은, 천정 반송차(1)와의 사이에서 무선 통신에 의해 각종 정보를 송수신하기 위한 유닛 통신부(10b)와, 촬상 장치(13)나 유닛 통신부(10b)의 작동을 제어하는 유닛 제어부(11b)(도 8 참조)를 구비하고 있다.

도 7에 나타낸 바와 같이, 유닛 플랜지부(6b)에 형성되어 있는 유닛 상면 오목부(8b)에는, 압압부(24c)가 끼워맞추어지는 끼워맞춤 부분(17)과 상하 방향으로 관통하는 검출용 구멍(16)이 형성되어 있다. 끼워맞춤 부분(17)은, 정점(頂点)이 아래쪽을 향하는 원뿔 형상으로 형성되어 있다. 검출용 구멍(16)은, 끼워맞춤 부분(17)의 중앙 개소에 위치하도록 형성되어 있다. 이와 같이 하여, 끼워맞춤 부분(17)과 검출용 구멍(16)에 의하여, 깔때기 모양의 구멍이 형성되어 있다.

촬상 장치(13)는, 유닛 상면 오목부(8b)의 바로 아래에 설치되어 있다. 상세하게는, 촬상 장치(13)는, 유닛 상면 오목부(8b)의 중앙에 형성되어 있는 검출용 구멍(16)의 바로 아래에 설치되어 있다. 그리고, 촬상 장치(13)는, 그 바로 위에 위치하는 검출용 구멍(16)의 전체가 촬상 범위 내에 들어가도록, 촬상 방향이 바로 위쪽을 향하는 자세로 설치되어 있다. 그러므로, 촬상 장치(13)로부터 연직 상향으로 볼 때 타겟 플레이트(31)가 검출용 구멍(16) 내에 들어가는 위치에 존재하는 상태에서는, 촬상 장치(13)에 의해 타겟 플레이트(31)를 촬상할 수 있게 되어 있다. 이와 같이, 타겟 플레이트(31)를 지지 기구(24)의 압압부(24c)에 구비하고, 유닛 플랜지부(6b)에 검출용 구멍(16)을 형성함으로써, 유닛 상면 오목부(8b)의 바로 위에 위치하는 타겟 플레이트(31)를, 유닛 상면 오목부(8b)의 바로 아래에 위치하는 촬상 장치(13)에 의해 촬상 가능하게 되어 있다.

그리고, 촬상 장치(13)가, 타겟 플레이트(31)의 위치를 검출하는 위치 검출 장치에 상당한다.

도 5에 나타낸 바와 같이, 지지 검출 장치(14)는, 지지 기구(24)의 파지 클로(24a)에 의해 검사 유닛(Wb)이 지지되어 있는 상태에 있어서, 그 파지 클로(24a)의 바로 아래에 위치하도록 유닛 본체부(5b)에 설치되어 있다. 이 지지 검출 장치(14)는, 상기 지지 검출 장치(14)로부터 지지 기구(24)의 파지 클로(24a)까지의 거리를 검출하는 거리 센서에 의해 구성되어 있다.

경사 검출 장치(15)는, 검사 유닛(Wb)의 수평 방향에 대한 경사를 검출하는 각도 센서에 의해 구성되어 있다.

[천정 반송차]

도 3 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 천정 반송차(1)는, 주행부(22)와 본체부(23)를 구비하고 있다. 주행부(22)는, 지지대(3)보다 위쪽으로 설정된 주행 경로를 따라 주행 가능하도록 구성되어 있다. 주행부(22)는, 천정 부근에 설치된 주행 레일(21)을 따라 주행 가능하게 되어 있다. 본체부(23)는, 주행 레일(21)의 아래쪽에 위치하도록 주행부(22)에 매달아 지지되고, 또한 반송물(W)을 지지하는 지지 기구(24)를 가로 방향 및 상하 방향을 따라 이동시킨다.

주행부(22)는, 주행 경로를 따라 설치된 주행 레일(21) 상을 전동하는 주행 차륜(22a)과, 그 주행 차륜(22a)을 회전 구동시키는 주행용 모터(22b)를 구비하고 있다. 주행부(22)는, 주행용 모터(22b)의 구동에 의해 주행 차륜(22a)을 회전 구동시킴으로써, 주행 레일[21(주행 경로)]을 따라 주행하도록 구성되어 있다.

본체부(23)는, 지지 기구(24)와, 승강 조작 기구(25)와, 회전 조작 기구(27)와, 커버체(28)를 구비하고 있다. 지지 기구(24)는, 반송물(W)을 매달아 지지하는 지지부로서의 역할을 수행한다. 승강 조작 기구(25)는, 주행부(22)에 대하여 지지 기구(24)를 승강 이동시킨다. 슬라이딩 조작 기구(26)는, 주행부(22)에 대하여 지지 기구(24)를 가로 방향으로 슬라이딩 이동시킨다. 회전 조작 기구(27)는, 주행부(22)에 대하여 지지 기구(24)를 세로축심 주위로 회전시킨다. 커버체(28)는, 상승 설정 위치(도 1 등에 나타내는 위치)에 위치하고 있는 지지 기구(24)에 의해 지지된 반송물(W)의 상방측 및 주행 방향 양측(앞쪽 및 뒤쪽)을 덮는다. 그리고, 지지 기구(24)가, 반송물(W)을 유지하는 유지부에 상당한다.

슬라이딩 조작 기구(26)는, 주행부(22)에 대하여 가로 방향을 따라 슬라이딩 이동 가능하게 지지된 중계부(26a)와, 중계부(26a)를 가로 방향을 따라 슬라이딩 이동시키는 슬라이딩용 모터(26b)(도 8 참조)를 구비하고 있다. 슬라이딩 조작 기구(26)는, 슬라이딩용 모터(26b)의 구동에 의해 중계부(26a)를 가로 방향을 따라 슬라이딩 이동시킴으로써, 지지 기구(24) 및 승강 조작 기구(25)를 가로 방향을 따라 이동시키도록 구성되어 있다. 이와 같은 슬라이딩 조작 기구(26)를 구비함으로써, 예를 들면, 주행 레일(21)의 설치 오차나 천정 반송차(1)의 경년열화(經年劣化)에 의한 뒤틀림 등에 의하여, 주행용 위치에 대하여 수평 설정 위치가 가로 방향으로 약간 어긋나 있는 경우라도, 지지 기구(24)를 주행용 위치로부터 수평 설정 위치에 미세 조절할 수 있다. 주행용 위치나 수평 설정 위치에 관해서는, 후술한다.

회전 조작 기구(27)는, 중계부(26a)에 대하여 세로축심 주위에 회전 가능하게 지지된 회전부(27a)와, 회전부(27a)를 세로축심 주위에 회전시키는 회전용 모터(27b)(도 8 참조)를 구비하고 있다. 회전 조작 기구(27)는, 회전용 모터(27b)의 구동에 의해 회전부(27a)를 회전시킴으로써, 지지 기구(24) 및 승강 조작 기구(25)를 세로축심 주위를 따라 회전시키도록 구성되어 있다.

승강 조작 기구(25)는, 회전부(27a)에 지지된 권취체(25a)와, 권취체(25a)에 감겨 선단부에 지지 기구(24)를 연결 지지한 권취 벨트(25b)와, 권취체(25a)를 회전 구동시키는 승강용 모터(25c)(도 8 참조)를 구비하고 있다. 승강 조작 기구(25)는, 승강용 모터(25c)에 의해 권취체(25a)를 정방향 또는 역방향으로 회전 구동시켜, 권취 벨트(25b)를 감기 조작 및 풀기 조작함으로써, 지지 기구(24) 및 여기에 지지된 반송물(W)을, 승강 이동시키도록 구성되어 있다.

지지 기구(24)는, 한 쌍의 파지 클로(24a)와, 한 쌍의 파지 클로(24a)의 각각을 수평 방향을 따라 서로 접근 이동 및 이간(離間) 이동시키는 파지용 모터(24b)(도 8 참조)를 구비하고 있다. 그리고, 지지 기구(24)는, 한 쌍의 파지용 모터(24b)에 의해 한 쌍의 파지 클로(24a)를 서로 접근 이동시킴으로써, 한 쌍의 파지 클로(24a)가 반송물(W)의 플랜지부(6)를 지지하는 지지 상태(도 1 참조)를 실현한다. 한편, 지지 기구(24)는, 한 쌍의 파지용 모터(24b)에 의해 한 쌍의 파지 클로(24a)를 서로 이간 이동시킴으로써, 한 쌍의 파지 클로(24a)에 의한 반송물(W)의 플랜지부(6)에 대한 지지를 해제하는 지지 해제 상태(도 2 참조)를 실현한다. 이와 같이, 지지 기구(24)는, 한 쌍의 파지용 모터(24b)를 구동 제어함으로써, 지지 상태와 지지 해제 상태를 전환 가능하게 구성되어 있다.

한 쌍의 파지 클로(24a)의 각각은, 측면에서 볼 때 L자형으로 형성되어 있다. 측면에서 볼 때 L자형의 파지 클로(24a)는, 그 하단부에 의해 플랜지부(6)를 아래쪽으로부터 지지한다. 한 쌍의 파지 클로(24a)가, 반송물(W)을 아래쪽으로부터 지지하는 하방 지지구에 상당한다. 이와 같이, 지지 기구(24)는, 주행부(22)에 승강 가능하게 지지되고, 또한 반송물(W)을 매달아 지지하도록 구성되어 있다.

또한, 지지 기구(24)는, 도 2에 나타낸 바와 같이 지지 기구(24)를 하강 이동시켰을 때, 지지대(3) 상에 위치하는 반송물(W)의 상면 오목부(8)에 위쪽으로부터 끼워맞추어지는 압압부(24c)를 구비하고 있다.

압압부(24c)는, 아래쪽으로 팽출하는 원뿔 형상으로 형성되어 있다. 이 압압부(24c)의 하단부에는, 피검출부로서의 타겟 플레이트(31)가 구비되어 있다. 그러므로, 지지 기구(24)에 의해 검사 유닛(Wb)을 지지한 상태에서는, 압압부(24c)가 검사 유닛(Wb)의 유닛 상면 오목부(8b)에 끼워맞추어지고, 그 끼워맞추어진 압압부(24c)의 타겟 플레이트(31)가, 평면에서 볼 때 검출용 구멍(16)의 중심에 위치하게 되어 있다.

전술한 바와 같이, 주행부(22)의 구동에 의해 지지 기구(24)가 주행 방향을 따라 이동하고, 승강 조작 기구(25)의 구동에 의해 지지 기구(24)가 연직 방향을 따라 이동하고, 슬라이딩 조작 기구(26)의 구동에 의해 지지 기구(24)가 가로 방향으로 이동하도록 구성되어 있다.

즉, 이들의 주행부(22), 승강 조작 기구(25), 및 슬라이딩 조작 기구(26)에 의하여, 지지 기구(24)를 연직 방향 및 수평 방향을 따라 이동시키는 이동 조작부(29)가 구성되어 있다. 이 이동 조작부(29)는, 천정 반송차(1)에 구비되어 있다.

그리고, 주행용 모터(22b)가, 주행부(22)를 주행 경로를 따라 주행시키는 주행 구동부에 상당한다. 승강용 모터(25c)가, 주행부(22)에 대하여 지지 기구(24)를 승강시키는 승강 구동부에 상당한다. 슬라이딩용 모터(26b)가, 주행부(22)에 대하여 중계부(26a)를 가로 방향을 따라 이동시키는 가로 구동부에 상당한다.

도 5에 나타낸 바와 같이, 천정 반송차(1)는, 검사 유닛(Wb)의 유닛 통신부(10b)와의 사이에서 무선 통신에 의해 각종 정보를 송수신하기 위한 반송 통신부(10a)와, 이동 조작부(29), 지지 기구(24), 및 반송 통신부(10a)의 작동을 제어하는 반송 제어부(11a)(도 8 참조)를 구비하고 있다.

복수의 지지대(3)의 각각에 대하여, 주행 설정 위치와, 회전 설정 위치와, 가로 설정 위치와, 하강 설정 위치가 미리 설정되어 있다. 주행 설정 위치는, 주행부(22)가 정지하는 위치이다. 회전 설정 위치는, 주행부(22)에 대한 지지 기구(24)의 세로축심 주위의 회전 위치를 규정하는 위치이다. 가로 설정 위치는, 주행부(22)에 대한 지지 기구(24)의 가로 방향에서의 위치를 규정하는 위치이다. 하강 설정 위치는, 주행부(22)에 대한 지지 기구(24)의 상하 방향에서의 위치를 규정하는 위치이다. 반송 제어부(11a)에는, 이들의 주행 설정 위치, 회전 설정 위치, 가로 설정 위치, 및 하강 설정 위치의 각각을 나타내는 정보가 기억되어 있다.

그리고, 주행 설정 위치 및 가로 설정 위치에 의해 규정되는 지지 기구(24)의 위치가, 지지대(3)에 반송물(W)을 이송탑재하기 전의 지지 기구(24)의 기준 위치인 수평 설정 위치에 상당한다.

또한, 주행부(22)가 주행할 때의 지지 기구(24)의 세로축심 주위의 위치를 회전 기준 위치로 하고, 주행부(22)가 주행할 때의 지지 기구(24)의 가로 방향에서의 위치를 가로 기준 위치로 하고, 주행부(22)가 주행할 때의 지지 기구(24)의 상하 방향에서의 위치를 상승 설정 위치로 하고 있다.

그리고, 지지 기구(24)가 세로축심 주위에서 회전 기준 위치에 위치하고, 또한 가로 방향에서 가로 기준 위치에 위치하고, 또한 상하 방향에서 상승 설정 위치에 위치하는 위치를, 지지 기구(24)의 주행용 위치로 하고 있다. 이 주행용 위치에 지지 기구(24)가 위치하는 상태에서, 주행부(22)가 주행한다.

반송 제어부(11a)는, 지상측에 설치되는 상위 컨트롤러(H)로부터의 반송 지령에 기초하여, 용기 수취 처리와 용기 받아건넴 처리를 실행하기 위하여, 천정 반송차(1)에 설치되어 있는 모터류의 작동을 제어하도록 구성되어 있다. 용기 수취 처리는, 용기(Wa)를 반송처의 지지대(3)로부터 수취하는 처리이다. 용기 받아건넴 처리는, 용기(Wa)를 반송처의 지지대(3)에 받아건네는 처리이다. 천정 반송차(1)는, 용기 수취 처리를 실행하여 반송원(搬送元)의 지지대(3)로부터 물품을 수취하고, 용기 받아건넴 처리를 실행하여 반송처의 지지대(3)에 물품을 받아건넴으로써, 반송원의 지지대(3)로부터 반송처의 지지대(3)에 용기(Wa)를 반송한다.

[용기 수취 처리]

도 9에 나타낸 플로우차트에 기초하여, 용기 수취 처리에 대하여 설명한다.

용기 수취 처리에서는, 주행 제어, 하강 준비 제어, 하강 제어, 클로 접근 제어, 상승 제어, 및 기준 이동 제어가, 기재된 순서로 실행된다.

용기 수취 처리의 주행 제어는, 지지 기구(24)에 의해 반송물(W)을 지지하고 있지 않은 상태에서 실행된다. 이 주행 제어에서는, 반송 제어부(11a)는, 반송원의 지지대(3)에 대응하는 주행 설정 위치에 주행부(22)를 주행시키기 위해, 주행용 모터(22b)의 작동을 제어한다.

하강 준비 제어에서는, 반송 제어부(11a)는, 반송원의 지지대(3)에 대응하는 가로 설정 위치에 지지 기구(24)를 슬라이딩 이동시키기 위하여, 슬라이딩용 모터(26b)의 작동을 제어한다. 그 후, 반송 제어부(11a)는, 반송원의 지지대(3)에 대응하는 회전 설정 위치에 지지 기구(24)를 회전시키기 위하여, 회전용 모터(27b)의 작동을 제어한다. 이와 같이, 반송 제어부(11a)가 주행 제어 후에 하강 준비 제어를 실행함으로써, 지지 기구(24)는, 반송원의 지지대(3)에 대응하는 하강 준비 위치에 위치한다.

하강 제어에서는, 반송 제어부(11a)는, 반송원의 지지대(3)에 대응하는 하강 설정 위치에 지지 기구(24)를 반송용 하강 속도로 하강시키기 위하여, 승강용 모터(25c)의 작동을 제어한다. 클로 접근 제어에서는, 반송 제어부(11a)는, 지지 기구(24)를 지지 해제 상태로부터 지지 상태로 전환하기 위하여, 파지용 모터(24b)의 작동을 제어한다.

이와 같이, 반송 제어부(11a)가 하강 제어와 클로 접근 제어를 실행함으로써, 파지 클로(24a)의 선단부가, 지지대(3)에 지지되어 있는 용기(Wa)의 용기 본체부(5a)와 용기 플랜지부(6a) 사이에 삽입된다.

상승 제어에서는, 반송 제어부(11a)는, 지지 기구(24)를 상승 설정 위치에 상승시키기 위하여, 승강용 모터(25c)의 작동을 제어한다. 이와 같이, 반송 제어부(11a)가 상승 제어를 실행함으로써, 지지 기구(24)가 하강 설정 위치로부터 상승 설정 위치로 상승하는 도중에, 용기(Wa)가 파지 클로(24a)에 의해 들어올려져 지지 기구(24)에 의해 지지된다.

기준 이동 제어에서는, 반송 제어부(11a)는, 지지 기구(24)를 회전 기준 위치에 회전시키기 위하여, 회전용 모터(27b)의 작동을 제어한다. 그 후, 반송 제어부(11a)는, 지지 기구(24)를 가로 기준 위치에 슬라이딩 이동시키기 위하여, 슬라이딩용 모터(26b)의 작동을 제어한다. 이와 같이, 반송 제어부(11a)가 기준 이동 제어를 실행함으로써, 용기(Wa)를 지지한 지지 기구(24)가, 주행용 위치에 위치한다.

[용기 받아건넴 처리]

도 10에 나타낸 플로우차트에 기초하여, 용기 받아건넴 처리에 대하여 설명한다.

용기 받아건넴 처리에서는, 주행 제어, 하강 준비 제어, 하강 제어, 클로 이간 제어, 상승 제어, 및 기준 이동 제어가, 상기 기재된 순서로 실행된다. 그리고, 용기 받아건넴 처리에서의 주행 제어, 하강 준비 제어, 하강 제어, 상승 제어, 및 기준 이동 제어에 대해서는, 제어 내용이 용기 수취 처리에서의 대응하는 각 제어와 같다. 따라서, 여기서는 이들 설명을 생략한다.

용기 받아건넴 처리에서는, 주행 제어 후에 하강 준비 제어를 실행함으로써, 용기(Wa)를 지지한 지지 기구(24)가, 반송처의 지지대(3)에 대응하는 하강 준비 위치에 위치한다. 그리고, 반송 제어부(11a)가 하강 제어를 실행함으로써, 지지 기구(24)가 하강 설정 위치로 하강하는 도중에 용기(Wa)가 지지대(3)에 이송탑재된다. 이 하강 제어에 있어서, 지지 기구(24)가 더 하강하여 하강 설정 위치까지 하강함으로써, 용기(Wa)의 용기 플랜지부(6a)에 대하여 파지 클로(24a)가 아래쪽으로 이간되고, 지지 기구(24)에 의한 용기(Wa)에 대한 지지가 해제된다.

클로 이간 제어에서는, 반송 제어부(11a)는, 지지 기구(24)를 지지 상태로부터 지지 해제 상태로 전환하기 위하여, 파지용 모터(24b)의 작동을 제어한다.

그리고, 반송 제어부(11a)가 상승 제어 후에 기준 이동 제어를 실행함으로써, 용기(Wa)를 지지하고 있지 않은 지지 기구(24)가, 주행용 위치에 위치한다.

[학습 처리]

반송 제어부(11a)는, 용기 수취 처리 및 용기 받아건넴 처리에 더하여, 상위 컨트롤러(H)로부터의 검사 지령에 기초하여 학습 처리를 실행하도록 구성되어 있다. 이 학습 처리는, 검사 유닛(Wb)을 학습 대상의 지지대(3)에 반송하여, 학습 대상의 지지대(3)의 적정 지지 위치에 대한 지지 기구(24)의 수평 방향에서의 편차량을 학습하는 처리이다. 그리고, 이 학습 처리를 복수의 지지대(3)의 각각에 대하여 행함으로써, 복수의 지지대(3)에 대한 지지 기구(24)의 수평 방향에서의 편차량을 개별적으로 학습할 수 있다.

도 11에 나타낸 플로우차트에 기초하여, 학습 처리에 대하여 설명한다.

학습 처리에서는, 주행 제어, 하강 준비 제어, 유닛 하강 제어, 클로 이간 제어, 이간 이동 제어, 접근 하강 제어, 클로 접근 제어, 상승 제어, 및 기준 이동 제어가, 상기 기재된 순서로 실행된다. 그리고, 학습 처리에서의 주행 제어, 하강 준비 제어, 클로 이간 제어, 클로 접근 제어, 상승 제어, 및 기준 이동 제어에 대해서는, 제어 내용이 용기 수취 처리나 용기 받아건넴 처리에서의 대응하는 각 제어와 동일하다. 따라서, 여기서는 이들 설명을 생략한다.

학습 처리는, 전술한 용기 수취 처리와 동일한 처리에 따라 지지 기구(24)에 의해 검사 유닛(Wb)을 지지한 상태에서 실행된다. 학습 처리에서는, 반송 제어부(11a)가 주행 제어 후에 하강 준비 제어를 실행함으로써, 지지 기구(24)는, 반송처의 지지대(3)에 대응하는 하강 준비 위치에 위치한다.

유닛 하강 제어에서는, 반송 제어부(11a)는, 지지 기구(24)를 유닛 하강 속도로 하강시키고, 이 지지 기구(24)의 하강 중에 검사 유닛(Wb)으로부터 지지 해제 정보를 수신하면 지지 기구(24)의 하강을 정지시키기 위하여, 승강용 모터(25c)의 작동을 제어한다. 그리고, 유닛 하강 속도는, 용기 수취 처리의 하강 제어 또는 후술하는 접근 하강 제어에 있어서 지지 기구(24)를 하강시킬 때의 속도인 반송용 하강 속도보다 늦은 속도로 설정되어 있다.

이 유닛 하강 제어에 대하여 설명을 추가하면, 유닛 하강 제어에 의해 지지 기구(24)를 유닛 하강 속도로 하강시키면, 그 하강 도중에, 지지 기구(24)에 의해 지지되어 있는 검사 유닛(Wb)이 지지대(3)에 이송탑재된다. 그리고, 유닛 하강 제어에 의해 지지 기구(24)가 유닛 하강 속도로 더 하강되면, 유닛 플랜지부(6b)를 지지하고 있던 파지 클로(24a)가, 유닛 플랜지부(6b)에 대하여 아래쪽으로 이동하여 유닛 플랜지부(6b)로부터 아래쪽으로 이간된다. 이와 같이 하여, 지지 기구(24)에 의한 검사 유닛(Wb)에 대한 지지가 해제된다.

이와 같이, 파지 클로(24a)가 유닛 플랜지부(6b)로부터 아래쪽으로 이간될 때까지 지지 기구(24)가 하강하면, 후술하는 바와 같이 검사 유닛(Wb)으로부터 천정 반송차(1)를 향해 지지 해제 정보가 송신된다. 반송 제어부(11a)는, 검사 유닛(Wb)으로부터 송신된 지지 해제 정보에 기초하여, 유닛 하강 제어를 종료시킨다. 그리고, 이 유닛 하강 제어가 종료되었을 때 지지 기구(24)가 정지하고 있는 위치가, 검사 유닛(Wb)의 유지를 해제한 위치인 해제 위치이다.

유닛 하강 제어에 있어서, 반송 제어부(11a)는, 상기 유닛 하강 제어 중의 지지 기구(24)의 하강량, 즉, 상승 설정 위치로부터 해제 위치까지의 지지 기구(24)의 하강량을 계측한다. 물품 반송 설비에는, 승강용 모터(25c)의 작동량(회전 각도)과 지지 기구(24)의 하강량의 관계가, 맵 또는 관계식의 형태로 미리 기억되어 있다. 예를 들면, 반송 제어부(11a)는, 승강용 모터(25c)의 작동량과, 상기한 맵 또는 관계식에 기초하여, 승강용 모터(25c)의 작동량에 따른 지지 기구(24)의 하강량을 계측한다.

이간 이동 제어에서는, 반송 제어부(11a)는, 해제 위치보다 설정량만큼 높은 위치에 설정되어 있는 이간 위치로 지지 기구(24)를 이동시키기 위하여, 승강용 모터(25c)의 작동을 제어한다. 그 후, 반송 제어부(11a)는, 검사 유닛(Wb)을 향해, 이간 완료 정보를 송신한다. 이 이간 위치가, 해제 위치에 대하여 미리 정해진 방향(본 예에서는 연직 방향 상향)으로 미리 정해진 양(본 예에서는 전술한 설정량)만큼 이동한 위치인 해제 이동 위치에 상당한다. 이간 위치는, 압압부(24c)의 하단이 지지대(3)의 적정 지지 위치에 위치하는 검사 유닛(Wb)에서의 상면 오목부(8)의 상단보다 위쪽에 위치하는 높이에 설정되어 있다. 또한, 이간 위치는, 지지 기구(24)의 하단[지지 해제 자세의 파지 클로(24a)의 하단]이 전술한 바와 같이 위치하는 검사 유닛(Wb)의 상단[유닛 플랜지부(6b)의 상단]보다 위쪽에 위치하는 높이에 설정되어 있다. 이와 같은 높이에 설정된 이간 위치로 지지 기구(24)를 이동시킴으로써, 검사 유닛(Wb)과 지지 기구(24)가 서로 간섭하지 않는 상태로 된다.

그런데, 유닛 하강 제어에 의해 검사 유닛(Wb)을 지지대(3)에 이송탑재할 때, 지지 기구(24)의 수평 방향의 어긋남에 기인하여, 도 12에 나타낸 바와 같이, 검사 유닛(Wb)이 지지대(3)의 적정 지지 위치에 대하여 수평 방향으로 어긋나는 경우가 있다. 이러한 경우, 도 13에 나타낸 바와 같이, 위치맞춤부(G)의 작용에 의하여, 검사 유닛(Wb)의 수평 방향에서의 위치가 지지대(3)의 적정 지지 위치로 수정된다. 이 때, 검사 유닛(Wb)의 위치 수정에 따라, 일시적으로, 지지 기구(24)도 검사 유닛(Wb)과 일체로 수평 방향으로 이동한다. 그 후, 도 14에 나타낸 바와 같이, 이간 이동 제어에 의해 지지 기구(24)를 이간 위치로 이동시킴으로써, 지지 기구(24)의 수평 방향에서의 위치가 하강 준비 위치의 바로 아래의 위치(해제 위치)로 복귀한다. 이 상태에서, 편차량 계측 처리가 실행된다. 편차량 계측 처리에 대해서는, 후술한다.

접근 하강 제어에서는, 반송 제어부(11a)는, 지지 기구(24)를 반송용 하강 속도로 해제 위치에 하강시키기 위하여, 승강용 모터(25c)의 작동을 제어한다. 그리고, 반송 제어부(11a)가 접근 하강 제어를 실행할 때, 지지 기구(24)가 지지대(3)의 적정 지지 위치에 위치하는 검사 유닛(Wb)에 대하여 수평 방향으로 어긋나 있는 경우가 있다. 이러한 경우는, 압압부(24c)가 검사 유닛(Wb)의 유닛 플랜지부(6b)에서의 상면 오목부(8)에 걸어맞추어짐으로써, 수평 방향에서의 지지 기구(24)의 위치가 검사 유닛(Wb)에 대하여 적정한 위치로 수정된다.

그리고, 반송 제어부(11a)가 접근 하강 제어와 클로 접근 제어를 실행함으로써, 파지 클로(24a)의 선단부가, 지지대(3)에 지지되어 있는 검사 유닛(Wb)의 유닛 본체부(5b)와 유닛 플랜지부(6b) 사이에 삽입된다.

그리고, 반송 제어부(11a)가 상승 제어 후에 기준 이동 제어를 실행함으로써, 검사 유닛(Wb)을 지지하는 지지 기구(24)가, 주행용 위치에 위치한다.

[편차량 계측 처리]

유닛 제어부(11b)는, 이간 이동 제어의 완료에 의해 지지 기구(24)가 이간 위치로 이동한 것을 나타내는 이간 완료 정보를 천정 반송차(1)로부터 수신하면, 편차량 계측 처리를 실행하도록 구성되어 있다. 유닛 제어부(11b)는, 이간 완료 정보를 수신하면, 촬상 장치(13)에 의해 타겟 플레이트(31)를 촬상하기 위하여, 촬상 장치(13)의 작동을 제어하도록 구성되어 있다. 또한, 유닛 제어부(11b)는, 촬상 장치(13)가 촬상한 촬상 정보와, 미리 기억되어 있는 마스터 화상 정보에 기초하여, 편차량을 계측하도록 구성되어 있다. 그리고, 마스터 화상 정보는, 지지 기구(24)가 검사 유닛(Wb)에 대하여 적절한 위치 및 자세로 있는 상태에서 촬상 장치(13)에 의해 촬영한 타겟 플레이트(31)의 화상을 포함하는 정보이다. 이 마스터 화상 정보는, 유닛 제어부(11b)에 미리 기억되어 있다.

편차량은, 마스터 화상 정보에서의 타겟 플레이트(31)의 위치에 대한, 촬상 장치(13)에 의한 촬상 정보에서의 타겟 플레이트(31) 위치의 수평 방향의 편차 폭으로서 계측된다. 이것은, 적정 지지 위치에 있는 검사 유닛(Wb)의 기준 위치가 되는 검출용 구멍(16)의 중심 위치에 대한, 이간 위치에 있는 지지 기구(24)의 타겟 플레이트(31)의 중심점의 수평 방향의 편차 폭에 상당한다. 또한, 편차량을 계측할 때에는, 검출용 구멍(16)의 중심 위치로부터 타겟 플레이트(31)의 중심점으로 향하는 방향이 함께 계측된다. 이와 같이 하여, 유닛 제어부(11b)는, 방향 성분과 편차 폭 성분의 양쪽을 포함하는 벡터량으로서, 편차량을 계측한다.

또한, 유닛 제어부(11b)는, 그 편차량을 나타내는 편차량 정보를 천정 반송차(1)를 향해 즉시 송신하기 위하여, 유닛 통신부(10b)의 작동을 제어하도록 구성되어 있다. 이 때, 유닛 제어부(11b)는, 편차량 정보에 더하여, 지지 기구(24)의 하강량을 나타내는 하강량 정보도 천정 반송차(1)를 향해 송신하기 위하여, 유닛 통신부(10b)의 작동을 제어하도록 구성되어 있다.

유닛 제어부(11b)는, 위치맞춤부(G)에 의해 검사 유닛(Wb)이 적정 지지 위치로 위치맞춤되고, 또한, 지지 기구(24)가 해제 이동 위치에 위치하고 있는 상태에서의 촬상 장치(13)의 촬상 정보에 기초하여, 검사 유닛(Wb)을 지지대(3)에 이송탑재할 때의 적정 지지 위치에 대한 지지 기구(24)의 수평 방향에서의 편차량을 계측하도록 구성되어 있다. 유닛 제어부(11b)에는, 편차량 계측부로서의 기능이 구비되어 있다.

그리고, 촬상 장치(13)가, 지지 기구(24)가 이간 위치(해제 이동 위치)에 위치한 상태에서, 유닛 본체부(5b)와 지지 기구(24)의 상대적인 위치 관계를 계측하기 위한 정보를 취득하는 계측용 정보 취득부에 상당한다.

[지지 해제 검지 처리]

유닛 제어부(11b)에는, 천정 반송차(1)의 지지 기구(24)에 의해 검사 유닛(Wb)이 지지되어 있는 상태에서의 지지 검출 장치(14)로부터 지지 기구(24)의 파지 클로(24a)까지의 거리를 나타낸 기준 거리 정보가 미리 기억되어 있다. 유닛 제어부(11b)는, 기준 거리 정보가 나타내는 거리보다 설정값 이상 짧은 거리가 지지 검출 장치(14)에 의해 검출되면, 지지 기구(24)에 의한 검사 유닛(Wb)의 지지가 해제되었다고 판단한다. 그리고, 유닛 제어부(11b)는, 지지가 해제된 것을 나타내는 지지 해제 정보를 천정 반송차(1)를 향해 즉시 송신하기 위하여, 유닛 통신부(10b)의 작동을 제어하도록 구성되어 있다.

[경사 검지 처리]

유닛 제어부(11b)에는, 검사 유닛(Wb)이 지지대(3)의 적정 지지 위치에 지지되어 있는 자세에서의 검사 유닛(Wb)의 수평 방향에 대한 경사를 기준 각도로서, 그 기준 각도를 나타낸 기준 각도 정보가 미리 기억되어 있다. 유닛 제어부(11b)는, 기준 각도보다 설정값 이상 경사진 각도가 경사 검출 장치(15)에 의해 검출되면, 검사 유닛(Wb)이 이상(異常)한 경사로 되었다고 판단한다. 그리고, 유닛 제어부(11b)는, 검사 유닛(Wb)이 이상한 경사로 된 것을 나타내는 경사 정보를 천정 반송차(1)를 향해 즉시 송신하기 위하여, 유닛 통신부(10b)의 작동을 제어하도록 구성되어 있다.

[갱신 처리]

반송 제어부(11a)는, 검사 유닛(Wb)으로부터의 편차량 정보 및 하강량 정보를 수신하면, 갱신 처리를 실행하도록 구성되어 있다. 그리고, 도 11에는, 일례로서, 학습 처리 중에 갱신 처리가 실행되는 경우의 예를 나타내고 있지만, 이와 같은 구성에 한정되지 않고, 학습 처리가 완료된 후에 갱신 처리가 실행되어도 된다. 이 갱신 처리에서는, 반송 제어부(11a)는, 편차량 정보에 기초하여 주행 정지 위치, 수평 정지 위치, 및 각도를 갱신한다. 또한, 반송 제어부(11a)는, 갱신 처리에 있어서, 하강량 정보에 기초하여 하강 정지 위치를 갱신한다. 즉, 본 실시 형태의 반송 제어부(11a)는, 편차량 계측부에 의해 계측된 지지 기구(24)의 수평 방향에서의 편차량에 기초하여 수평 설정 위치를 갱신하고, 또한 검사용 반송 제어에서의 지지 기구(24)의 하강량에 기초하여 하강 설정 위치를 갱신한다. 반송 제어부(11a)에는, 위치 갱신부로서의 기능이 갖춰져 있다.

또한, 반송 제어부(11a)는, 학습 처리 중(유닛 하강 제어 중)에 검사 유닛(Wb)으로부터의 경사 정보를 수신하면, 천정 반송차(1)를 비상 정지시켜 학습 처리를 중단하는 비상 정지 처리를 실행한다. 이와 같이, 반송 제어부(11a)는, 경사 검출 장치(15)의 검출 정보에 기초하여, 학습 처리의 실행 중에 경사 검출 장치(15)에 의해 미리 설정된 설정값 이상의 경사가 검출되면, 학습 처리를 중단하도록 구성되어 있다. 즉, 학습 처리의 실행 중, 미리 설정된 설정값 이상의 경사가 검출되면, 통상이면 그 후에 실행될 편차량 계측 처리 및 갱신 처리가 중지된다. 이 경우, 그 후, 상승 제어 및 기준 이동 제어를 실행하여 검사 유닛(Wb)을 지지한 지지 기구(24)를 주행용 위치에 위치시킨 후, 에러 정보를 출력하도록 해도 된다.

그리고, 학습 처리에서의 주행 제어로부터 이간 이동 제어까지의 제어가, 지지 기구(24)에 유지되어 있는 검사 유닛(Wb)을 지지대(3)에 이송탑재하여 지지 기구(24)에 의한 검사 유닛(Wb)에 대한 유지를 해제한 후, 지지 기구(24)를, 검사 유닛(Wb)의 유지를 해제한 위치인 해제 위치 또는 상기 해제 위치에 대하여 미리 정해진 방향으로 미리 정해진 양만큼 이동한 위치인 해제 이동 위치에 위치시키는 검사용 반송 제어에 상당한다. 이 검사용 반송 제어에서는, 지지 기구(24)를 수평 설정 위치로 이동시킨 상태에서 지지 기구(24)를 하강시키고, 그 지지 기구(24)의 하강 중에 검사 유닛(Wb)이 파지 클로(24a)에 의해 지지되어 있지 않은 상태가 지지 검출 장치(14)에 의해 검출되면 지지 기구(24)의 하강을 정지시켜, 검사 유닛(Wb)을 지지대(3)에 이송탑재하고, 그 후, 지지 기구(24)를 해제 이동 위치에 위치시킨다.

또한, 용기 받아건넴 처리에서의 주행 제어로부터 클로 이간 제어까지의 제어가, 지지대(3)에 용기(Wa)를 이송탑재하기 전의 지지 기구(24)의 기준 위치인 수평 설정 위치에 지지 기구(24)를 정지시킨 후, 지지 기구(24)를 하강시켜 용기(Wa)를 지지대(3)에 이송탑재하는 물품용 반송 제어에 상당한다. 이 물품용 반송 제어에서는, 수평 설정 위치에 지지 기구(24)를 정지시킨 후, 지지 기구(24)를 수평 설정 위치로 이동시킨 상태에서 지지 기구(24)를 하강 설정 위치까지 하강시킴으로써, 용기(Wa)의 지지대(3)로의 반송을 완료하기 위하여, 이동 조작부(29)의 작동을 제어한다.

이와 같이, 본 실시 형태의 물품 반송 설비에서는, 검사 유닛(Wb)을 지지대(3)의 적정 지지 위치에 위치하는 상태에서, 그 검사 유닛(Wb)에 설치된 촬상 장치(13)에 의하여, 해제 이동 위치에 위치하는 지지 기구(24)에 설치된 타겟 플레이트(31)의 위치를 검출한다. 그리고, 유닛 제어부(11b)에 의하여, 지지대(3)의 적정 지지 위치에 대한 지지 기구(24)의 수평 방향에서의 편차량을 계측하도록 구성되어 있다. 이와 같이 하여 편차량을 계측함으로써, 타겟 플레이트(31)를 지지대(3)에 구비할 필요가 없어지고, 작업자가 지지대(3)에 타겟 플레이트(31)를 설치할 필요가 없어지므로, 작업자의 부담을 경감할 수 있다. 따라서, 지지대(3)에 대한 지지 기구(24)의 수평 방향에서의 편차량을 효율적으로 계측할 수 있다.

그리고, 계측된 지지 기구(24)의 수평 방향에서의 편차량에 기초하여 수평 설정 위치가 갱신되므로, 그 후의 물품용 반송 제어에 있어서, 용기(Wa)를 지지대(3)의 수평 방향의 적절한 위치로 이송탑재하는 것이 용이해진다. 예를 들면, 물품 반송 설비의 경년열화 등에 의해 적정 지지 위치에 대한 지지 기구(24)의 수평 방향에서의 위치가 어긋나는 경우라도, 예를 들면, 정기적으로 학습 처리를 실행함으로써, 그 어긋남을 조기에 수정할 수 있다. 따라서, 물품 반송 설비를 장기간에 걸쳐 적정한 상태로 유지시키기 쉽다. 수평 설정 위치는, 위치 결정 부재(9)에 얹히지 않고 적절하게 착좌된 검사 유닛(Wb)에 의한 계측 데이터에만 기초하여 갱신되므로, 잘못된 위치 갱신이 행해지는 사태를 회피할 수 있고, 수평 설정 위치의 위치 정밀도를 높일 수 있다.

[다른 실시 형태]

(1) 상기 실시 형태에서는, 물품 반송 장치에 슬라이딩 조작 기구(26)[중계부(26a) 및 가로 구동부]를 구비하여, 주행부(22)의 주행과 슬라이딩 조작 기구(26)의 슬라이딩 이동에 의해 지지 기구(24)를 수평 설정 위치로 이동시키도록 하였다. 그러나, 그와 같은 구성에 한정되지 않고, 수평 설정 위치를 평면에서 볼 때 주행부(22)의 이동 경로 상에 설정하여, 주행부(22)의 주행으로만 지지 기구(24)를 수평 설정 위치로 이동시키도록 해도 된다.

(2) 상기 실시 형태에서는, 주행 레일(21)의 바로 아래에 반송 대상 개소를 위치시켰으나, 주행 레일(21)에 대하여 평면에서 볼 때 가로 방향으로 위치하도록 반송 대상 개소를 위치시켜도 된다. 즉, 상기 실시 형태에서는, 주행용 위치에 대하여 수평 설정 위치가 가로 방향으로 약간 어긋나 있는 경우에 지지 기구(24)를 가로 방향으로 미세 조절하기 위하여, 슬라이딩용 모터(26b)에 의해 중계부(26a)를 가로 방향으로 이동시켰다. 그러나, 그와 같은 구성에 한정되지 않고, 지지 기구(24)를 주행용 위치로부터 그 주행용 위치에 대하여 적극적으로 가로 방향으로 어긋나 설정되어 있는 수평 설정 위치로 이동시키기 위하여, 슬라이딩용 모터(26b)에 의해 중계부(26a)를 가로 방향으로 이동시키도록 해도 된다.

(3) 상기 실시 형태에서는, 피검출부를 지지 기구(24)의 제1 걸어맞춤부에 구비하고, 검사 유닛(Wb)의 제1 피걸어맞춤부의 바로 아래에 촬상 장치(13)를 구비하고, 또한 촬상 장치(13)에 의해 피검출부를 촬상할 수 있도록 제1 피걸어맞춤부에 검출용 구멍(16)을 형성하였다. 그러나, 그와 같은 구성에 한정되지 않고, 지지 기구(24)에서의 제1 피걸어맞춤부와는 수평 방향이 상이한 개소에 피검출부를 구비하여, 지지 기구(24)에 의해 검사 유닛(Wb)이 지지되어 있는 상태에서 피검출부의 바로 아래에 촬상 장치(13)를 구비하도록 해도 된다. 이와 같이 하여, 제1 피걸어맞춤부에 검출용 구멍(16)을 형성하지 않아도 촬상 장치(13)에 의해 피검출부를 촬상할 수 있게 해도 된다.

(4) 상기 실시 형태에서는, 위치 검출 장치를 촬상 장치(13)에 의해 구성하였지만, 위치 검출 장치를 예를 들면, 거리 센서나 광전 센서 등의 다른 검출 장치에 의해 구성해도 된다. 예를 들면, 위치 검출 장치를 거리 센서에 의해 구성하는 경우에는, 피검출부의 검출면을 주행 방향이나 가로 방향으로 경사진 상태로 설치하여, 피검출부에 대하여 거리 센서가 수평 방향으로 어긋남으로써 거리 센서에 의해 검출되는 피검출부의 검출면까지의 거리가 상이해지게 한다. 이와 같이 하여, 편차량 계측부가, 거리 센서에 의해 검출된 피검출부까지의 거리에 기초하여 편차량을 계측해도 된다. 또한, 위치 검출 장치를 광전 센서에 의해 구성하는 경우에는, 복수의 광전 센서를 주행 방향이나 가로 방향으로 나란히 설치하여, 복수의 광전 센서에 의해 피검출부가 검출되는 조합이 상이하게 한다. 이와 같이 하여, 편차량 계측부가, 복수의 광전 센서에 의해 검출된 검출 정보에 기초하여 편차량을 계측해도 된다.

(5) 상기 실시 형태에서는, 지지 기구(24)가 해제 이동 위치에 위치하고 있는 상태에서, 위치 검출 장치에 의해 피검출부의 위치를 검출하였다. 그러나, 그와 같은 구성에 한정되지 않고, 압압부(24c)를 설치하지 않는 경우나 이간 위치의 파지 클로(24a)가 적정 지지 위치의 검사 유닛(Wb)에 대하여 접촉될 우려가 없는 경우는, 지지 기구(24)가 해제 위치에 위치하고 있는 상태에서, 위치 검출 장치에 의해 피검출부의 위치를 검출하도록 해도 된다. 즉, 편차량 계측부로서의 반송 제어부(11a)는, 위치맞춤부(G)에 의해 검사 유닛(Wb)이 적정 지지 위치로 위치맞춤되고, 또한, 지지 기구(24)가 해제 위치에 위치하고 있는 상태에서의 촬상 장치(13)의 촬상 정보에 기초하여, 검사 유닛(Wb)을 지지대(3)에 이송탑재할 때의 적정 지지 위치에 대한 지지 기구(24)의 수평 방향에서의 편차량을 계측하도록 구성해도 된다.

(6) 상기 실시 형태에서는, 제1 걸어맞춤부를 아래쪽으로 돌출하는 형상으로 형성하고, 제1 피걸어맞춤부를 아래쪽으로 오목하게 들어간 형상으로 형성하였으나, 제1 걸어맞춤부를 위쪽으로 오목하게 들어간 형상으로 형성하고, 제1 피걸어맞춤부를 위쪽으로 돌출하는 형상으로 형성해도 된다. 또한, 제2 걸어맞춤부를 위쪽으로 오목하게 들어간 형상으로 형성하고, 제2 피걸어맞춤부를 위쪽으로 돌출하는 형상으로 형성하였으나, 제2 걸어맞춤부를 아래쪽으로 돌출하는 형상으로 형성하고, 제2 피걸어맞춤부를 아래쪽에 오목하게 들어간 형상으로 형성해도 된다.

(7) 상기 실시 형태에서는, 위치맞춤부(G)를, 반송물(W)에 구비된 제2 피걸어맞춤부에 아래쪽으로부터 걸어맞추어지는 제2 걸어맞춤부를 구비하여 구성하고, 반송물(W)이 반송 대상 개소에 이송탑재될 때, 제2 걸어맞춤부가 제2 피걸어맞춤부에 걸어맞추어짐으로써 반송물(W)의 위치를 적정 지지 위치에 맞추도록 구성하였다. 그러나, 그와 같은 구성에 한정되지 않고, 위치맞춤부(G)를, 반송물(W)을 측방으로부터 눌러 조작하는 가압 조작부를 구비하여 구성하고, 반송물(W)이 반송 대상 개소에 이송탑재된 후에, 가압 조작부에 의해 반송물(W)을 눌러 조작함으로써 반송물(W)의 위치를 적정 지지 위치에 맞추도록 구성해도 된다.

(8) 상기 실시 형태에서는, 검사 유닛(Wb)에 경사 검출 장치(15)를 구비하여, 검사 유닛(Wb)을 반송 대상 개소에 이송탑재했을 때 검사 유닛(Wb)이 기울어져 적절히 이송탑재되지 않은 경우에 검사용 반송 제어를 중단하도록 구성하였다. 그러나, 그와 같은 구성에 한정되지 않고, 검사 유닛(Wb)에 상기 검사 유닛(Wb)이 반송 대상 개소에 적절히 착좌한 것을 검출하는 착좌 센서를 구비하여, 검사 유닛(Wb)을 반송 대상 개소에 이송탑재했을 때 검사 유닛(Wb)이 위치맞춤부(G)에 얹히는 등에 의해 이송탑재 대상 개소에 적절히 착좌되지 않은 경우에 검사용 반송 제어를 중단하도록 구성해도 된다.

(9) 상기 실시 형태에서는, 유지부를, 천정 반송차(1)에 구비된 지지 기구(24)로 하여, 반송물(W)의 플랜지부(6)를 매달아 지지하도록 구성하였다. 그러나, 그와 같은 구성에 한정되지 않고, 유지부를, 스태커 크레인(stacker crane)의 이송탑재 장치로 하여, 이송탑재 장치의 물품 지지부에 의해 반송물(W)의 본체부(23)를 아래쪽으로부터 지지하도록 구성해도 된다.

(10) 상기 실시 형태에서는, 유닛 제어부(11b)에 편차량 계측부로서의 기능을 구비시켰지만, 편차량 계측부로서의 기능을 반송 제어부(11a)에 구비시켜도 된다. 또한, 유닛 제어부(11b)는, 천정 반송차(1)로부터의 이간 완료 정보를 수신한 후에, 피검출부의 위치를 검출하기 위하여 위치 검출 장치의 작동을 제어하였으나, 유닛 제어부(11b)를, 지지 기구(24)에 의한 검사 유닛(Wb)의 지지가 해제되었다고 판단하고 나서 설정 시간 후에 위치 검출 장치의 작동을 제어하도록 해도 된다.

(11) 상기 실시 형태에서는, 천정 반송차(1)에 반송 통신부(10a)를 구비하고, 검사 유닛(Wb)에 유닛 통신부(10b)를 구비하여, 천정 반송차(1)와 검사 유닛(Wb) 사이에서의 정보의 송수신을 무선 통신에 의해 행하였다. 그러나, 그와 같은 구성에 한정되지 않고, 천정 반송차(1)와 검사 유닛(Wb)을 통신 케이블에 의해 접속하여, 천정 반송차(1)와 검사 유닛(Wb) 사이에서의 정보의 송수신을 유선 통신에 의해 행해도 된다.

(12) 전술한 각 실시 형태(상기 실시 형태 및 다른 실시 형태를 포함함; 이하 동일)에서 개시되는 구성은, 모순이 생기지 않는 한, 다른 실시 형태에서 개시되는 구성과 조합시켜 적용할 수도 있다. 그 외의 구성에 관해서도, 본 명세서에 있어서 개시된 실시 형태는 모든 점에서 예시로서, 본 개시된 취지를 벗어나지 않는 범위 내에서 적절히 개변(改變)할 수 있다.

[실시 형태의 개요]

본 실시 형태의 물품 반송 설비는, 반송물을 유지하는 유지부와, 상기 유지부를 연직 방향 및 수평 방향을 따라 이동시키는 이동 조작부와, 상기 유지부에 유지되어 있는 상기 반송물을 반송 대상 개소로 반송하기 위하여 상기 이동 조작부 및 상기 유지부의 작동을 제어하는 반송 제어부와, 상기 반송물이 상기 반송 대상 개소에 이송탑재될 때 또는 상기 반송 대상 개소에 이송탑재된 후에, 상기 반송물의 위치를 이송탑재 후의 적정한 지지 위치인 적정 지지 위치로 위치맞춤하는 위치맞춤부와, 상기 반송물을 상기 반송 대상 개소에 이송탑재할 때의 상기 적정 지지 위치에 대한 상기 유지부의 수평 방향에서의 편차량을 계측하는 편차량 계측부를 구비하고, 상기 유지부는, 상기 반송물로서 반송 작업 대상의 물품을 유지할 수 있고, 또한 상기 반송 작업 대상의 물품 대신에 검사 유닛을 유지할 수 있고, 상기 유지부에, 피검출부가 설치되고, 상기 검사 유닛에, 상기 피검출부의 위치를 검출하는 위치 검출 장치가 구비되고, 상기 반송 제어부가, 상기 유지부에 유지되어 있는 상기 검사 유닛을 상기 반송 대상 개소에 이송탑재하여 상기 유지부에 의한 상기 검사 유닛에 대한 유지를 해제한 후, 상기 유지부를, 상기 검사 유닛의 유지를 해제한 위치인 해제 위치 또는 상기 해제 위치에 대하여 미리 정해진 방향으로 미리 정해진 양만큼 이동한 위치인 해제 이동 위치에 위치시키는 검사용 반송 제어를 실행하고, 상기 편차량 계측부가, 상기 위치맞춤부에 의해 상기 검사 유닛이 상기 적정 지지 위치에 위치맞춤되고, 또한 상기 유지부가 상기 해제 위치 또는 상기 해제 이동 위치에 위치하고 있는 상태에서의 상기 위치 검출 장치의 검출 정보에 기초하여, 상기 적정 지지 위치에 대한 상기 유지부의 상기 해제 위치 또는 상기 해제 이동 위치의 수평 방향에서의 편차량을 계측한다.

이 구성에 의하면, 물품을 유지한 유지부를 이동 조작부에 의해 이동시켜 상기 물품을 반송 대상 개소에 반송하거나, 검사 유닛을 유지한 유지부를 이동 조작부에 의해 이동시켜 상기 검사 유닛을 반송 대상 개소에 반송할 수 있다.

반송 대상 개소에 반송되는 반송물(물품 및 검사 유닛)은, 반송 대상 개소에 반송될 때 또는 반송 대상 개소에 반송된 후에, 위치맞춤부에 의해 적정 지지 위치로 위치맞춤된다.

반송 제어부가 검사용 반송 제어를 실행함으로써, 검사 유닛이 반송 대상 개소에 이송탑재된 후, 유지부는 반송 대상 개소에 대응하는 해제 위치 또는 해제 이동 위치로 이동한다. 그리고, 이와 같이 유지부가 해제 위치 또는 해제 이동 위치에 위치한 상태에서는, 검사 유닛은, 전술한 바와 같이, 위치맞춤부에 의한 위치맞춤 작용에 의해 적정 지지 위치에 위치하고 있다.

유지부의 해제 위치는, 검사 유닛을 반송 대상 개소에 이송탑재한 후에 검사 유닛에 대한 유지를 해제한 위치이다. 이와 같이, 검사 유닛에 대한 유지를 해제함으로써, 적정 지지 위치에 위치하는 검사 유닛과 유지부를 이간시킬 수 있다. 또한, 유지부가 해제 위치에 위치하는 상태에서도, 검사 유닛이 위치맞춤부에 의해 수평 방향으로 이동하는 등에 의해 검사 유닛과 유지부가 접촉되어 있는 경우가 있다. 그와 같은 경우에는, 유지부를 해제 이동 위치로 이동시킴으로써, 적정 지지 위치에 위치하는 검사 유닛과 유지부를 이간시킬 수 있다. 이와 같이, 유지부를 해제 위치 또는 해제 이동 위치에 위치시킴으로써, 적정 지지 위치에 위치하는 검사 유닛으로부터 유지부를 이간시켜, 유지부가 검사 유닛에 간섭하지 않도록 할 수 있다.

그리고, 검사 유닛이 반송 대상 개소의 적정 지지 위치에 위치하고 있는 상태에서, 그 검사 유닛이 구비하는 위치 검출 장치에 의하여, 해제 위치 또는 해제 이동 위치에 위치하는 유지부에 구비되어 있는 피검출부의 위치를 검출하여, 편차량 계측부에 의하여, 반송 대상 개소의 적정 지지 위치에 대한 유지부의 수평 방향에서의 편차량이 계측된다. 이와 같이 편차량을 계측함으로써, 피검출부를 반송 대상 개소에 구비할 필요가 없어지고, 작업자가 반송 대상 개소에 피검출부를 설치할 필요가 없어지므로, 작업자의 부담을 경감할 수 있다. 따라서, 반송 대상 개소에 대한 유지부의 수평 방향에서의 편차량을 효율적으로 계측할 수 있다.

일 태양(態樣)에 있어서, 상기 반송 제어부가, 상기 반송 대상 개소에 물품을 이송탑재하기 전의 상기 유지부의 기준 위치인 수평 설정 위치에 상기 유지부를 정지시킨 후, 상기 유지부를 하강시켜 물품을 상기 반송 대상 개소에 이송탑재하는 물품용 반송 제어를 실행하고, 상기 물품 반송 설비가, 상기 편차량 계측부에 의해 계측된 상기 유지부의 수평 방향에서의 편차량에 기초하여 상기 수평 설정 위치를 갱신하는 위치 갱신부를 더 구비하고 있는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 물품을 유지하고 있는 유지부가 수평 설정 위치에 위치한 후, 그 유지부가 하강하여 물품이 반송 대상 개소에 이송탑재된다. 그리고, 편차량 계측부에 의해 계측된 유지부의 수평 방향에서의 편차량에 기초하여, 위치 갱신부에 의해 수평 설정 위치가 갱신되므로, 그 후의 물품 반송 제어에 있어서, 장기간에 걸쳐, 물품을 반송 대상 개소의 수평 방향의 적절한 위치로 이송탑재하는 것이 용이해진다. 이 때, 수평 설정 위치는 계측된 편차량에 기초하여 위치 갱신부에 의해 자동적으로 갱신되므로, 작업자가 수평 설정 위치를 수동으로 갱신하는 경우와 비교하여, 작업자의 부담을 경감할 수 있다.

일 태양에 있어서, 상기 유지부가, 상기 반송물을 아래쪽으로부터 지지하는 하방 지지구를 구비하고, 상기 검사 유닛은, 이 검사 유닛이 상기 하방 지지구에 의해 지지되어 있는지의 여부를 검출하는 지지 검출 장치를 구비하고, 상기 검사용 반송 제어가, 상기 유지부를 상기 수평 설정 위치로 이동시킨 상태에서 상기 유지부를 하강시키고, 상기 유지부의 하강 중에 상기 검사 유닛이 상기 하방 지지구에 의해 지지되어 있지 않은 상태가 상기 지지 검출 장치에 의해 검출되면 상기 유지부의 하강을 정지시켜, 상기 검사 유닛을 상기 반송 대상 개소에 이송탑재하는 제어이며, 상기 물품용 반송 제어가, 상기 유지부를 상기 수평 설정 위치로 이동시킨 상태에서 상기 유지부를 하강 설정 위치까지 하강시킴으로써, 물품의 상기 반송 대상 개소로의 반송을 완료하도록, 상기 이동 조작부의 작동을 제어하는 제어이며, 상기 위치 갱신부가, 상기 검사용 반송 제어에서의 상기 유지부의 하강량에 기초하여 상기 하강 설정 위치를 갱신하는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 검사용 반송 제어에 의하여, 유지부를 수평 설정 위치로 이동시킨 상태에서 유지부를 하강시키면, 그 하강에 의해 검사 유닛이 반송 대상 개소에 이송탑재된다. 또한 유지부를 하강시키면, 반송 대상 개소에 이송탑재된 검사 유닛에 대하여 유지부가 아래쪽으로 이동하여, 하방 지지구에 의해 아래쪽으로부터 지지하고 있었던 유지부에 의한 검사 유닛에 대한 유지가 해제된다. 이와 같이 검사 유닛에 대한 유지부의 유지가 해제되면, 그것이 지지 검출 장치에 의해 검출되고, 지지 검출 장치의 검출 정보에 기초하여 유지부의 하강이 정지한다.

그리고, 물품용 반송 제어에 의하여, 수평 방향에 있어서 유지부를 수평 설정 위치에 위치시킨 상태에서 그 유지부를 하강 설정 위치까지 하강시킴으로써, 물품을 반송 대상 개소에 이송탑재할 수 있다. 이 하강 설정 위치는, 상기 반송 대상 개소에 검사 유닛을 이송탑재할 때의 유지부의 하강량에 기초하여 갱신되므로, 그 후의 물품용 반송 제어에 있어서, 장기간에 걸쳐, 유지부를 반송 대상 개소에 대하여 적절한 높이까지 하강시킬 수 있다. 이 때, 하강 설정 위치는 계측된 유지부의 하강량에 기초하여 위치 갱신부에 의해 자동적으로 갱신되므로, 작업자가 하강 설정 위치를 수동으로 갱신하는 경우와 비교하여, 작업자의 부담을 경감할 수 있다.

일 태양에 있어서, 상기 반송 대상 개소보다 위쪽에 설정된 주행 경로를 따라 주행 가능한 주행부를 구비하고, 상기 이동 조작부가, 상기 주행부를 상기 주행 경로를 따라 주행시키는 주행 구동부와, 상기 주행부에 대하여 상기 유지부를 승강시키는 승강 구동부를 구비하여 구성되며, 상기 유지부가, 상기 반송물을 매달아 지지하도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 반송 대상 개소에 대하여 미리 설정된 정지 위치에 주행부를 주행시킨 상태에서 유지부를 하강시킴으로써, 유지부를 해제 위치로 이동시킬 수 있다. 그리고, 편차량 계측부에 의해 계측된 편차량에 기초하여, 주행부의 정지 위치를 갱신할 수 있다.

일 태양에 있어서, 상기 주행부가 주행하는 주행 방향에 대하여 평면에서 볼 때 교차하는 방향을 가로 방향으로 하여, 상기 물품 반송 설비가, 상기 주행부에 상기 가로 방향으로 이동 가능하게 지지된 중계부와, 상기 중계부에 승강 가능하게 지지되고, 또한 상기 반송물을 매달아 지지하는 상기 유지부와, 상기 주행부에 대하여 상기 중계부를 상기 가로 방향을 따라 이동시키는 가로 구동부와, 상기 중계부에 대하여 상기 유지부를 승강 이동시키는 상기 승강 구동부를 구비하고, 상기 이동 조작부가, 상기 가로 구동부를 구비하여 구성되어 있는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 반송 대상 개소에 대하여 미리 설정된 정지 위치로 주행부를 주행시키고, 또한 반송 대상 개소에 대하여 설정된 가로 이동 위치에 중계부를 가로 방향으로 이동시킨 상태에서 유지부를 하강시킴으로써, 유지부를 해제 위치로 이동시킬 수 있다. 그리고, 편차량 계측부에 의해 계측된 편차량에 기초하여, 주행부의 정지 위치나 중계부의 이동 위치를 갱신할 수 있다.

일 태양에 있어서, 상기 반송물의 상부에, 제1 피걸어맞춤부가 구비되고, 상기 유지부에, 상기 제1 피걸어맞춤부에 위쪽으로부터 걸어맞추어지는 제1 걸어맞춤부가 구비되고, 상기 제1 걸어맞춤부가, 상기 제1 피걸어맞춤부에 걸어맞추어질 때 상기 유지부가 상기 반송물에 대하여 수평 방향으로 어긋나 있는 경우에, 상기 제1 피걸어맞춤부에 접촉하여 상기 유지부의 수평 방향에서의 위치를 상기 반송물에 대하여 적합한 위치로 안내하는 제1 안내 부분을 구비하고, 상기 피검출부가, 상기 유지부에서의 상기 제1 걸어맞춤부에 구비되고, 상기 위치 검출 장치가, 상기 피검출부를 촬상하는 촬상 장치에 의해 구성되며, 상기 편차량 계측부가, 상기 촬상 장치에 의해 촬상된 촬상 정보에 기초하여 상기 편차량을 계측하도록 구성되며, 상기 촬상 장치가, 상기 검사 유닛에서의 상기 제1 피걸어맞춤부의 바로 아래에 구비되고, 상기 제1 피걸어맞춤부에, 상기 제1 피걸어맞춤부의 바로 위에 위치하는 상기 피검출부를 상기 촬상 장치에 의해 촬상 가능하게 하는 검출용 구멍이 형성되어 있는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 제1 걸어맞춤부에 구비된 피검출부의 위치를 촬상 장치에 의해 촬상하고, 그 촬상 장치의 촬상 정보에 기초하여 편차량을 계측함으로써, 적정 지지 위치에 대한 유지부의 수평 방향에서의 편차량을 적절히 계측하기 쉽다.

또한, 제1 피걸어맞춤부에 검출용 구멍을 형성함으로써, 제1 피걸어맞춤부의 바로 아래에 촬상 장치를 설치하면서 유지부의 피검출부를 촬상할 수 있으므로, 제1 걸어맞춤부에 구비된 피검출부를 촬상 장치에 의해 촬상하기 쉬워진다.

일 태양에 있어서, 상기 해제 이동 위치가, 상기 제1 걸어맞춤부의 하단이 상기 적정 지지 위치에 위치하는 상기 검사 유닛에서의 상기 제1 피걸어맞춤부의 상단보다 위쪽의 위치에 설정되어 있는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 유지부를 해제 이동 위치로 이동시킴으로써, 적정 지지 위치에 위치하고 있는 검사 유닛으로부터, 유지부를 적절히 이간시킬 수 있다.

일 태양에 있어서, 상기 반송물의 바닥부에, 제2 피걸어맞춤부가 구비되고, 상기 위치맞춤부가, 상기 제2 피걸어맞춤부에 아래쪽으로부터 걸어맞추어지는 제2 걸어맞춤부를 구비하고, 상기 제2 걸어맞춤부가, 상기 유지부의 하강 이동에 따라 상기 반송 대상 개소에 이송탑재되는 상기 반송물의 상기 제2 피걸어맞춤부에 접촉하여 상기 반송물의 수평 방향에서의 위치를 상기 적정 지지 위치로 안내하는 제2 안내 부분을 구비하고 있는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 반송물을 반송 대상 개소에 이송탑재할 때 반송물이 적정 지지 위치에 대하여 수평 방향으로 어긋나 있는 경우는, 제2 피걸어맞춤부가 제2 걸어맞춤부의 제2 안내 부분에 접촉하여 안내됨으로써, 물품이 적정 지지 위치에 위치맞춤된다.

이와 같이, 반송물을 반송 대상 개소에 이송탑재할 때의 반송물의 하강 이동을 이용하여 반송물의 위치를 적정 지지 위치에 위치맞춤할 수 있다. 따라서, 위치맞춤부의 구조의 간소화를 도모할 수 있다. 예를 들면, 위치맞춤부를 반송 대상 개소에 내려 놓인 반송물을 수평 방향으로 가압 조작하여 반송물의 위치를 적정 지지 위치에 위치맞춤하도록 구성한 것에 비하여, 위치맞춤부를 간소하게 구성할 수 있다.

일 태양에 있어서, 상기 검사 유닛이, 상기 검사 유닛의 수평 방향에 대한 경사를 검출하는 경사 검출 장치를 구비하고, 상기 반송 제어부가, 상기 경사 검출 장치의 검출 정보에 기초하여, 상기 검사용 반송 제어의 실행 중에 미리 설정된 설정값 이상의 경사가 검출되면, 상기 검사용 반송 제어를 중단하는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 검사 유닛이 제2 걸어맞춤부에 얹혔을 때의 검사 유닛의 경사 이하의 값을 설정값으로 하여 설정해 둠으로써, 경사 검출 장치에 의한 검출 결과에 기초하여, 검사 유닛이 제2 걸어맞춤부로 얹힘을 판정할 수 있다. 즉, 반송 제어부가 검사용 반송 제어를 실행하여 검사 유닛을 반송 대상 개소에 내려 놓았을 때, 경사 검출 장치에 의해 설정값 이상의 경사가 검출된 경우에는, 검사 유닛이 제2 걸어맞춤부에 얹혀 제2 피걸어맞춤부에 제2 걸어맞춤부가 적절히 걸어맞추어지지 않았다고 판정할 수 있다.

그리고, 제2 피걸어맞춤부에 제2 걸어맞춤부가 적절히 걸어맞추어지지 않았다고 판정된 경우에는 검사용 반송 제어가 중단되므로, 검사 유닛이 적정 지지 위치에 위치하고 있지 않은 상태에서 편차량이 계측되는 것을 회피할 수 있다. 따라서, 예를 들면, 계측된 편차량에 기초하여 수평 설정 위치를 갱신하도록 한 구성을 구비하는 경우에 있어서, 부적정한 상태에서의 계측 데이터에 기초하여 잘못된 위치 갱신이 행해지는 사태를 회피할 수 있다.

본 실시 형태의 검사 유닛은, 반송 장치의 유지부에 의해 유지되는 피유지부와, 상기 피유지부보다 아래쪽에 위치하는 유닛 본체부를 구비하고, 상기 유닛 본체부의 바닥부에, 상기 피유지부를 유지한 상기 유지부의 하강 이동에 의해 상기 유닛 본체부가 반송 대상 개소에 이송탑재될 때, 상기 반송 대상 개소에 구비된 걸어맞춤부에 위쪽으로부터 걸어맞추어지는 피걸어맞춤부가 구비되고, 상기 피걸어맞춤부가, 상기 유지부의 하강 이동에 따라 상기 유닛 본체부가 상기 반송 대상 개소에 이송탑재될 때 상기 걸어맞춤부에 접촉하여 상기 유닛 본체부의 수평 방향에서의 위치를 이송탑재 후의 적정한 지지 위치인 적정 지지 위치로 안내하는 피안내 부분을 구비하고, 상기 유닛 본체부가, 상기 유지부가 상기 피유지부의 유지를 해제한 위치인 해제 위치 또는 상기 해제 위치에 대하여 미리 정해진 방향으로 미리 정해진 양만큼 이동한 위치인 해제 이동 위치에 위치한 상태에서, 상기 유닛 본체부와 상기 유지부와의 상대적인 위치 관계를 계측하기 위한 정보를 취득하는 계측용 정보 취득부를 구비하고 있다.

이 구성에 의하면, 검사 유닛을 반송 대상 개소에 이송탑재할 때 검사 유닛이 적정 지지 위치에 대하여 수평 방향으로 어긋나 있는 경우는, 걸어맞춤부가 피걸어맞춤부의 피안내 부분에 접촉하여 안내됨으로써, 검사 유닛을 적정 지지 위치에 위치맞춤할 수 있다.

그리고, 해제 위치는, 검사 유닛을 반송 대상 개소에 이송탑재한 후에 검사 유닛에 대한 유지를 해제한 위치이다. 이와 같이, 검사 유닛에 대한 유지를 해제함으로써, 적정 지지 위치에 위치하는 검사 유닛과 유지부를 이간시킬 수 있다. 또한, 유지부가 해제 위치에 위치하는 상태에서도, 위치맞춤부에 의해 수평 방향으로 이동하는 등에 의해 검사 유닛과 유지부가 접촉되고 있는 경우가 있다. 그와 같은 경우에는, 유지부를 해제 이동 위치로 이동시킴으로써, 적정 지지 위치에 위치하는 검사 유닛과 유지부를 이간시킬 수 있다. 이와 같이, 유지부를 해제 위치 또는 해제 이동 위치에 위치시킴으로써, 적정 지지 위치에 위치하는 검사 유닛으로부터 유지부를 이간시켜, 유지부가 검사 유닛에 간섭하지 않도록 할 수 있다.

그리고, 계측용 정보 취득부에 의하여, 유닛 본체부와 유지부의 상대적인 위치 관계를 계측하기 위한 정보를 취득함으로써, 계측용 정보 취득부에 의해 정보를 취득하기 위한 피검출부를 반송 대상 개소에 구비할 필요가 없어진다. 작업자가 반송 대상 개소에 피검출부를 설치할 필요가 없어지므로, 작업자의 부담을 경감할 수 있다. 따라서, 반송 대상 개소에 대한 유지부의 수평 방향에서의 편차량을 효율적으로 계측할 수 있다.

그리고, 검사 유닛에 관해서도, 물품 반송 설비에 관하여 전술한 바람직한 구성을 적절히 포함할 수 있다.

3 : 지지대(반송 대상 개소)
5b : 유닛 본체부
6b : 유닛 플랜지부(피유지부)
7 : 바닥면 오목부(제2 피걸어맞춤부, 피걸어맞춤부)
8 : 상면 오목부(제1 피걸어맞춤부)
9 : 위치 결정 부재(제2 걸어맞춤부, 걸어맞춤부)
11a : 반송 제어부(위치 갱신부)
11b : 유닛 제어부(편차량 계측부)
13 : 촬상 장치(위치 검출 장치)
14 : 지지 검출 장치
15 : 경사 검출 장치
16 : 검출용 구멍
22 : 주행부
22b : 주행용 모터(주행 구동부, 이동 조작부)
24 : 지지 기구(유지부)
24a : 파지 클로 (하방 지지구)
24c : 압압부(제1 걸어맞춤부)
25c : 승강용 모터(승강 구동부, 이동 조작부)
26a : 중계부
26b : 슬라이딩용 모터(가로 구동부, 이동 조작부)
27a : 회전부(유지부)
31 : 타겟 플레이트(피검출부)
G : 위치맞춤부
W : 반송물
Wa : 용기(물품)
Wb : 검사 유닛

Claims

반송물을 유지하는 유지부,
상기 유지부를 연직 방향 및 수평 방향을 따라 이동시키는 이동 조작부,
상기 유지부에 유지되어 있는 상기 반송물을 반송 대상 개소로 반송하기 위하여 상기 이동 조작부 및 상기 유지부의 작동을 제어하는 반송 제어부,
상기 반송물이 상기 반송 대상 개소에 이송탑재될 때 또는 상기 반송 대상 개소에 이송탑재된 후에, 상기 반송물의 위치를 이송탑재 후의 적정한 지지 위치인 적정 지지 위치로 위치맞춤하는 위치맞춤부, 및
상기 반송물을 상기 반송 대상 개소에 이송탑재할 때의 상기 적정 지지 위치에 대한 상기 유지부의 수평 방향에서의 편차량을 계측하는 편차량 계측부
를 구비하고,
상기 유지부는, 상기 반송물로서 반송 작업 대상의 물품을 유지 가능하며, 또한 상기 반송 작업 대상의 물품 대신에 검사 유닛을 유지 가능하며,
상기 유지부에, 피검출부가 설치되고,
상기 검사 유닛에, 상기 피검출부의 위치를 검출하는 위치 검출 장치가 구비되고,
상기 반송 제어부가, 상기 유지부에 유지되어 있는 상기 검사 유닛을 상기 반송 대상 개소에 이송탑재하여 상기 유지부에 의한 상기 검사 유닛에 대한 유지를 해제한 후, 상기 유지부를, 상기 검사 유닛의 유지를 해제한 위치인 해제 위치 또는 상기 해제 위치에 대하여 미리 정해진 방향으로 미리 정해진 양만큼 이동한 위치인 해제 이동 위치에 위치시키는 검사용 반송 제어를 실행하고,
상기 편차량 계측부가, 상기 위치맞춤부에 의해 상기 검사 유닛이 상기 적정 지지 위치에 위치맞춤되고, 또한 상기 유지부가 상기 해제 위치 또는 상기 해제 이동 위치에 위치하고 있는 상태에서의 상기 위치 검출 장치의 검출 정보에 기초하여, 상기 적정 지지 위치에 대한 상기 유지부의 상기 해제 위치 또는 상기 해제 이동 위치의 수평 방향에서의 편차량을 계측하는,
물품 반송 설비.
제1항에 있어서,
상기 반송 제어부가, 상기 반송 대상 개소에 물품을 이송탑재하기 전의 상기 유지부의 기준 위치인 수평 설정 위치에 상기 유지부를 정지시킨 후, 상기 유지부를 하강시켜 물품을 상기 반송 대상 개소에 이송탑재하는 물품용 반송 제어를 실행하고,
상기 물품 반송 설비가, 상기 편차량 계측부에 의해 계측된 상기 유지부의 수평 방향에서의 편차량에 기초하여 상기 수평 설정 위치를 갱신하는 위치 갱신부를 더 구비하고 있는, 물품 반송 설비.
제2항에 있어서,
상기 유지부가, 상기 반송물을 아래쪽으로부터 지지하는 하방 지지구를 구비하고,
상기 검사 유닛은, 상기 검사 유닛이 상기 하방 지지구에 의해 지지되어 있는지의 여부를 검출하는 지지 검출 장치를 구비하고,
상기 검사용 반송 제어가, 상기 유지부를 상기 수평 설정 위치로 이동시킨 상태에서 상기 유지부를 하강시키고, 상기 유지부의 하강 중에 상기 검사 유닛이 상기 하방 지지구에 의해 지지되어 있지 않은 상태가 상기 지지 검출 장치에 의해 검출되면 상기 유지부의 하강을 정지시켜, 상기 검사 유닛을 상기 반송 대상 개소에 이송탑재하는 제어이며,
상기 물품용 반송 제어가, 상기 유지부를 상기 수평 설정 위치로 이동시킨 상태에서 상기 유지부를 하강 설정 위치까지 하강시킴으로써, 물품의 상기 반송 대상 개소로의 반송을 완료하도록, 상기 이동 조작부의 작동을 제어하는 제어이며,
상기 위치 갱신부가, 상기 검사용 반송 제어에서의 상기 유지부의 하강량에 기초하여 상기 하강 설정 위치를 갱신하는, 물품 반송 설비.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 반송 대상 개소보다 위쪽에 설정된 주행 경로를 따라 주행 가능한 주행부를 구비하고,
상기 이동 조작부가, 상기 주행부를 상기 주행 경로를 따라 주행시키는 주행 구동부와, 상기 주행부에 대하여 상기 유지부를 승강시키는 승강 구동부를 구비하여 구성되며,
상기 유지부가, 상기 반송물을 매달아 지지하도록 구성되어 있는, 물품 반송 설비.
제4항에 있어서,
상기 주행부가 주행하는 주행 방향에 대하여 평면에서 볼 때 교차하는 방향을 가로 방향으로 하여,
상기 물품 반송 설비가, 상기 주행부에 상기 가로 방향으로 이동 가능하게 지지된 중계부, 상기 중계부에 승강 가능하게 지지되고, 또한 상기 반송물을 매달아 지지하는 상기 유지부, 상기 주행부에 대하여 상기 중계부를 상기 가로 방향을 따라 이동시키는 가로 구동부, 및 상기 중계부에 대하여 상기 유지부를 승강 이동시키는 상기 승강 구동부를 구비하고,
상기 이동 조작부가, 상기 가로 구동부를 구비하여 구성되어 있는, 물품 반송 설비.
제4항에 있어서,
상기 반송물의 상부에, 제1 피걸어맞춤부가 구비되고,
상기 유지부에, 상기 제1 피걸어맞춤부에 위쪽으로부터 걸어맞추어지는 제1 걸어맞춤부가 구비되고,
상기 제1 걸어맞춤부가, 상기 제1 피걸어맞춤부에 걸어맞추어질 때 상기 유지부가 상기 반송물에 대하여 수평 방향으로 어긋나 있는 경우에, 상기 제1 피걸어맞춤부에 접촉하여 상기 유지부의 수평 방향에서의 위치를 상기 반송물에 대하여 적합한 위치로 안내하는 제1 안내 부분을 구비하고,
상기 피검출부가, 상기 유지부에서의 상기 제1 걸어맞춤부에 구비되고,
상기 위치 검출 장치가, 상기 피검출부를 촬상하는 촬상 장치에 의해 구성되며,
상기 편차량 계측부가, 상기 촬상 장치에 의해 촬상된 촬상 정보에 기초하여 상기 편차량을 계측하도록 구성되며,
상기 촬상 장치가, 상기 검사 유닛에서의 상기 제1 피걸어맞춤부의 바로 아래에 구비되고,
상기 제1 피걸어맞춤부에, 상기 제1 피걸어맞춤부의 바로 위에 위치하는 상기 피검출부를 상기 촬상 장치에 의해 촬상 가능하게 하는 검출용 구멍이 형성되어 있는, 물품 반송 설비.
제6항에 있어서,
상기 해제 이동 위치가, 상기 제1 걸어맞춤부의 하단이 상기 적정 지지 위치에 위치하는 상기 검사 유닛에서의 상기 제1 피걸어맞춤부의 상단보다 위쪽의 위치에 설정되어 있는, 물품 반송 설비.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 반송물의 바닥부에, 제2 피걸어맞춤부가 구비되고,
상기 위치맞춤부가, 상기 제2 피걸어맞춤부에 아래쪽으로부터 걸어맞추어지는 제2 걸어맞춤부를 구비하고,
상기 제2 걸어맞춤부가, 상기 유지부의 하강 이동에 의해 상기 반송 대상 개소에 이송탑재되는 상기 반송물의 상기 제2 피걸어맞춤부에 접촉하여 상기 반송물의 수평 방향에서의 위치를 상기 적정 지지 위치로 안내하는 제2 안내 부분을 구비하고 있는, 물품 반송 설비.
제8항에 있어서,
상기 검사 유닛이, 상기 검사 유닛의 수평 방향에 대한 경사를 검출하는 경사 검출 장치를 구비하고,
상기 반송 제어부가, 상기 경사 검출 장치의 검출 정보에 기초하여, 상기 검사용 반송 제어의 실행 중에 미리 설정된 설정값 이상의 경사가 검출되면, 상기 검사용 반송 제어를 중단하는, 물품 반송 설비.
반송 장치의 유지부에 의해 유지되는 피유지부, 및
상기 피유지부보다 아래쪽에 위치하는 유닛 본체부
를 구비하고,
상기 유닛 본체부의 바닥부에, 상기 피유지부를 유지한 상기 유지부의 하강 이동에 의해 상기 유닛 본체부가 반송 대상 개소에 이송탑재될 때, 상기 반송 대상 개소에 구비된 걸어맞춤부에 위쪽으로부터 걸어맞추어지는 피걸어맞춤부가 구비되고,
상기 피걸어맞춤부가, 상기 유지부의 하강 이동에 의해 상기 유닛 본체부가 상기 반송 대상 개소에 이송탑재될 때 상기 걸어맞춤부에 접촉하여 상기 유닛 본체부의 수평 방향에서의 위치를 이송탑재 후의 적정한 지지 위치인 적정 지지 위치로 안내하는 피안내 부분을 구비하고,
상기 유닛 본체부가, 상기 유지부가 상기 피유지부의 유지를 해제한 위치인 해제 위치 또는 상기 해제 위치에 대하여 미리 정해진 방향으로 미리 정해진 양만큼 이동한 위치인 해제 이동 위치에 위치한 상태에서, 상기 유닛 본체부와 상기 유지부의 상대적인 위치 관계를 계측하기 위한 정보를 취득하는 계측용 정보 취득부를 구비하는,
검사 유닛.