KR102062179B1 - 반송 시스템 - Google Patents

반송 시스템 Download PDF

Info

Publication number
KR102062179B1
KR102062179B1 KR1020187006739A KR20187006739A KR102062179B1 KR 102062179 B1 KR102062179 B1 KR 102062179B1 KR 1020187006739 A KR1020187006739 A KR 1020187006739A KR 20187006739 A KR20187006739 A KR 20187006739A KR 102062179 B1 KR102062179 B1 KR 102062179B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
ceiling
track
ceiling carrier
carrier
device port
Prior art date
Application number
KR1020187006739A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20180039129A (ko
Inventor
요이치 모토오리
Original Assignee
무라다기카이가부시끼가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 무라다기카이가부시끼가이샤 filed Critical 무라다기카이가부시끼가이샤
Publication of KR20180039129A publication Critical patent/KR20180039129A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102062179B1 publication Critical patent/KR102062179B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733—Overhead conveying
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B65G1/0457—Storage devices mechanical with suspended load carriers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B65G1/137—Storage devices mechanical with arrangements or automatic control means for selecting which articles are to be removed
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67724—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations by means of a cart or a vehicule
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67736—Loading to or unloading from a conveyor
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67769—Storage means

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)

Abstract

반송 시스템(1)은, 일방의 측방 또한 하방에 장치 포트(101)가 위치하도록 상하로 병설된 제 1 궤도(11A) 및 제 2 궤도(11B)와, 제 1 궤도(11A) 및 제 2 궤도(11B)의 각각을 따라 주행하고 FOUP(90)를 반송하는 복수의 천장 반송차(20A, 20B)와, 제 1 궤도(11A) 및 제 2 궤도(11B)에 대하여 일방과는 타방인 측방 또한 하방에 마련되고 FOUP(90)가 재치되는 보관 선반(40)을 구비하고, 천장 반송차(20A, 20B)는 FOUP(90)를 파지 가능한 파지부(21)와, 장치 포트(101) 및 보관 선반(40)의 각각의 상방에 파지부(21)를 이동 가능한 이동 기구(23)와, 이동 기구(23)에 의해 장치 포트(101) 및 보관 선반(40)의 각각의 상방에 이동된 파지부(21)를 장치 포트(101) 및 보관 선반(40)의 각각에 대하여 승강 가능한 승강 기구(22)를 가진다.

Description

반송 시스템
본 발명의 일형태는 반송 시스템에 관한 것이다.
예를 들면 반도체 제조 공장에 적용되는 반송 시스템으로서, 상하로 병설된 제 1 궤도 및 제 2 궤도와, 제 1 궤도 및 제 2 궤도의 각각을 따라 주행하는 천장 반송차와, 제 1 궤도 및 제 2 궤도의 각각의 측방에 마련된 보관 선반을 구비하는 것이 알려져 있다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조).
일본특허공개공보 2007-331906호
상술한 바와 같은 반송 시스템에는, 반도체 처리 장치의 가동률을 향상시키는 관점으로부터, 천장 반송차의 정체를 억제하여, 반도체 처리 장치의 장치 포트에 대하여 피반송물을 효율 좋게 반송하는 것이 요구되고 있다.
따라서, 본 발명의 일형태는, 장치 포트에 대한 피반송물의 반송 효율을 향상시킬 수 있는 반송 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 일형태의 반송 시스템은, 일방의 측방 또한 하방에 장치 포트가 위치하도록 마련된 제 1 궤도와, 일방의 측방 또한 하방에 장치 포트가 위치하도록, 제 1 궤도를 따라 제 1 궤도에 대하여 하방으로 또한 연직 방향으로 나열되어 마련된 제 2 궤도와, 제 1 궤도 및 제 2 궤도의 각각을 따라 주행하고, 피반송물을 반송하는 복수의 천장 반송차와, 제 1 궤도 및 제 2 궤도에 대하여 일방과는 타방인 측방 또한 하방에 마련되고, 피반송물이 재치되는 보관부를 구비하고, 천장 반송차는 피반송물을 파지 가능한 파지부와, 장치 포트 및 보관부의 각각의 상방에 파지부를 이동 가능한 이동 기구와, 이동 기구에 의해 장치 포트 및 보관부의 각각의 상방에 이동된 파지부를 장치 포트 및 보관부의 각각에 대하여 승강 가능한 승강 기구를 가진다.
이 반송 시스템에서는, 제 1 궤도 상의 천장 반송차 및 제 2 궤도 상의 천장 반송차의 양방의 천장 반송차가 동일한 장치 포트에 대해서 뿐만 아니라, 동일한 보관부에 대해서도 피반송물을 이동 재치할 수 있다. 이에 의해, 예를 들면, 제 1 궤도 상의 천장 반송차 및 제 2 궤도 상의 천장 반송차의 일방의 천장 반송차가 보관부에 재치한 피반송물을 타방의 천장 반송차가 보관부로부터 취득하여 장치 포트로 재치하는 동작을 실행하는 것이 가능해진다. 따라서, 이 반송 시스템에 따르면, 장치 포트에 대한 피반송물의 반송 효율을 향상시킬 수 있다.
본 발명의 일형태의 반송 시스템은, 천장 반송차의 동작을 제어하는 컨트롤러를 더 구비하고, 컨트롤러는, 제 1 궤도 상의 천장 반송차 및 제 2 궤도 상의 천장 반송차의 양방의 천장 반송차가 동일한 장치 포트에 대하여 피반송물을 이동 재치하는 장치 포트측 이동 재치 동작을 실행해야 하는 상황에 있는 경우에는, 상기 제 1 궤도 상의 상기 천장 반송차 및 상기 제 2 궤도 상의 상기 천장 반송차의 일방의 상기 천장 반송차에 의한 상기 장치 포트측 이동 재치 동작의 동안 타방의 상기 천장 반송차에 의한 상기 장치 포트측 이동 재치 동작의 실행을 금지하고, 제 1 궤도 상의 천장 반송차 및 제 2 궤도 상의 천장 반송차의 양방이 동일한 보관부에 대하여 피반송물을 이동 재치하는 보관부측 이동 재치 동작을 실행해야 하는 상황에 있는 경우에는, 상기 제 1 궤도 상의 상기 천장 반송차 및 상기 제 2 궤도 상의 상기 천장 반송차의 일방의 상기 천장 반송차에 의한 상기 보관부측 이동 재치 동작의 동안 타방의 상기 천장 반송차에 의한 상기 보관부측 이동 재치 동작의 실행을 금지해도 된다. 이에 의해, 제 1 궤도 상의 천장 반송차 및 제 2 궤도 상의 천장 반송차의 양방의 천장 반송차가 동일한 장치 포트에 대하여 동시에 피반송물의 장치 포트측 이동 재치 동작을 실행하는 것 및 제 1 궤도 상의 천장 반송차 및 제 2 궤도 상의 천장 반송차의 양방의 천장 반송차가 동일한 보관부에 대하여 동시에 피반송물의 보관부측 이동 재치 동작을 실행하는 것을 확실하게 방지할 수 있다.
본 발명의 일형태의 반송 시스템에서는, 천장 반송차의 동작을 제어하는 컨트롤러를 더 구비하고, 컨트롤러는, 동일한 장치 포트에 대하여, 제 1 궤도 상의 천장 반송차 및 제 2 궤도 상의 천장 반송차의 일방의 천장 반송차가 당해 장치 포트로부터 회수되는 측의 피반송물을 당해 장치 포트로부터 취득하고, 제 1 궤도 상의 천장 반송차 및 제 2 궤도 상의 천장 반송차의 타방의 천장 반송차가 당해 장치 포트에 공급되는 측의 피반송물을 당해 장치 포트에 재치해야 하는 상황에 있는 경우에 있어서, 타방의 천장 반송차가 일방의 천장 반송차보다 앞서 당해 장치 포트에 대한 이동 재치 영역에 도착했을 때에는, 일방의 천장 반송차가 이동 재치 영역에 도착하여 회수되는 측의 피반송물을 당해 장치 포트로부터 취득할 때까지 타방의 천장 반송차가 이동 재치 영역에 있어서 대기하도록 천장 반송차의 동작을 제어하고, 타방의 천장 반송차가 이동 재치 영역에 있어서 대기한 상태에서 이동 재치 영역에 도착한 일방의 천장 반송차가 회수되는 측의 피반송물을 당해 장치 포트로부터 취득하도록 천장 반송차의 동작을 제어하고, 일방의 천장 반송차가 회수되는 측의 피반송물을 당해 장치 포트로부터 취득한 후에 타방의 천장 반송차가 공급되는 측의 피반송물을 당해 장치 포트에 재치하도록 천장 반송차의 동작을 제어해도 된다. 이에 의해, 예를 들면, 일방의 천장 반송차가 이동 재치 영역에 도착할 때까지의 시간이 비교적 짧은 경우 등에, 타방의 천장 반송차가 위치하는 궤도 상에서의 정체의 발생을 억제하면서, 회수되는 측의 피반송물을 장치 포트로부터 취득하고 또한 공급되는 측의 피반송물을 장치 포트에 재치할 수 있다.
본 발명의 일형태의 반송 시스템에서는, 컨트롤러는 일방의 천장 반송차가 이동 재치 영역에 도착할 때까지의 예상 시간을 취득하고, 당해 예상 시간이 정해진 시간보다 짧은 경우에, 일방의 천장 반송차가 이동 재치 영역에 도착하여 회수되는 측의 피반송물을 당해 장치 포트로부터 취득할 때까지 타방의 천장 반송차가 이동 재치 영역에 있어서 대기하도록 천장 반송차의 동작을 제어해도 된다. 이에 의해, 일방의 천장 반송차가 이동 재치 영역에 도착할 때까지의 시간에 대하여 객관적으로 판단하여, 타방의 천장 반송차가 위치하는 궤도 상에서의 정체의 발생을 보다 확실하게 억제할 수 있다.
본 발명의 일형태의 반송 시스템에서는, 천장 반송차의 동작을 제어하는 컨트롤러를 더 구비하고, 컨트롤러는, 동일한 장치 포트에 대하여, 제 1 궤도 상의 천장 반송차 및 제 2 궤도 상의 천장 반송차의 일방의 천장 반송차가 당해 장치 포트로부터 회수되는 측의 피반송물을 당해 장치 포트로부터 취득하고, 제 1 궤도 상의 천장 반송차 및 제 2 궤도 상의 천장 반송차의 타방의 천장 반송차가 당해 장치 포트에 공급되는 측의 피반송물을 당해 장치 포트에 재치해야 하는 상황에 있는 경우에 있어서, 타방의 천장 반송차가 일방의 천장 반송차보다 앞서 당해 장치 포트에 대한 이동 재치 영역에 도착했을 때에는, 타방의 천장 반송차가 공급되는 측의 피반송물을 보관부에 재치하고 회수되는 측의 피반송물을 당해 장치 포트로부터 취득하도록 천장 반송차의 동작을 제어하고, 이동 재치 영역에 도착한 일방의 천장 반송차가 공급되는 측의 피반송물을 보관부로부터 취득하고 공급되는 측의 피반송물을 당해 장치 포트에 재치하도록 천장 반송차의 동작을 제어해도 된다. 이에 의해, 예를 들면, 일방의 천장 반송차가 이동 재치 영역에 도착할 때까지의 시간이 비교적 긴 경우 등에, 타방의 천장 반송차가 위치하는 궤도 상에서의 정체의 발생을 억제하면서, 회수되는 측의 피반송물을 장치 포트로부터 취득하고 또한 공급되는 측의 피반송물을 장치 포트에 재치할 수 있다.
본 발명의 일형태의 반송 시스템에서는, 컨트롤러는 일방의 천장 반송차가 이동 재치 영역에 도착할 때까지의 예상 시간을 취득하고, 당해 예상 시간이 정해진 시간보다 긴 경우에, 타방의 천장 반송차가 공급되는 측의 피반송물을 보관부에 재치하고 회수되는 측의 피반송물을 당해 장치 포트로부터 취득하도록 천장 반송차의 동작을 제어해도 된다. 이에 의해, 일방의 천장 반송차가 이동 재치 영역에 도착할 때까지의 시간에 대하여 객관적으로 판단하여, 타방의 천장 반송차가 위치하는 궤도 상에서의 정체의 발생을 보다 확실하게 억제할 수 있다.
본 발명의 일형태에 따르면, 장치 포트에 대한 피반송물의 반송 효율을 향상시킬 수 있는 반송 시스템을 제공하는 것이 가능해진다.
도 1은 본 발명의 일실시 형태의 반송 시스템의 평면도이다.
도 2는 도 1의 반송 시스템의 일부의 정면도이다.
도 3은 도 1의 반송 시스템에 있어서의 제 1 처리 제어를 설명하기 위한 도이다.
도 4는 도 1의 반송 시스템에 있어서의 제 1 처리 제어를 설명하기 위한 도이다.
도 5는 도 1의 반송 시스템에 있어서의 제 1 처리 제어를 설명하기 위한 도이다.
도 6은 도 1의 반송 시스템에 있어서의 제 1 처리 제어를 설명하기 위한 도이다.
도 7은 도 1의 반송 시스템에 있어서의 제 1 처리 제어를 설명하기 위한 도이다.
도 8은 도 1의 반송 시스템에 있어서의 제 2 처리 제어를 설명하기 위한 도이다.
도 9는 도 1의 반송 시스템에 있어서의 제 2 처리 제어를 설명하기 위한 도이다.
도 10은 도 1의 반송 시스템에 있어서의 제 2 처리 제어를 설명하기 위한 도이다.
도 11은 도 1의 반송 시스템에 있어서의 제 2 처리 제어를 설명하기 위한 도이다.
도 12는 도 1의 반송 시스템에 있어서의 제 2 처리 제어를 설명하기 위한 도이다.
도 13은 도 1의 반송 시스템에 있어서의 제 2 처리 제어를 설명하기 위한 도이다.
도 14는 도 1의 반송 시스템에 있어서의 제 2 처리 제어를 설명하기 위한 도이다.
도 15는 도 1의 반송 시스템에 있어서의 제 2 처리 제어를 설명하기 위한 도이다.
도 16은 도 1의 반송 시스템에 있어서의 제 1 인터록 제어를 설명하기 위한 도이다.
도 17은 도 1의 반송 시스템에 있어서의 제 1 인터록 제어를 설명하기 위한 도이다.
도 18은 도 1의 반송 시스템에 있어서의 제 2 인터록 제어를 설명하기 위한 도이다.
도 19는 도 1의 반송 시스템에 있어서의 제 2 인터록 제어를 설명하기 위한 도이다.
이하, 본 발명의 적합한 실시 형태에 대하여 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 또한, 각 도에 있어서 동일 또는 상당 부분에는 동일한 부호를 부여하고, 중복되는 설명을 생략한다.
[반송 시스템의 구성]
도 1 및 도 2에 나타내어지는 바와 같이, 반송 시스템(1)은 궤도(10A, 10B)와, 복수의 천장 반송차(20A, 20B)와, 복수의 보관 선반(40)과, 컨트롤러(50)를 구비하고 있다. 궤도(10A, 10B)는 복수의 반도체 처리 장치(100)를 구비하는 반도체 제조 공장의 천장 부근에 부설되어 있다. 천장 반송차(20A, 20B)는 OHT(Overhead Hoist Transfer)이며, 궤도(10A, 10B)에 현수된 상태로 궤도(10A, 10B)를 따라 일방향으로 주행한다. 즉, 천장 반송차(20A, 20B)는 궤도(10A, 10B) 상을 각각의 연장 방향으로 주행한다. 또한, 이하의 설명에 있어서, 궤도(10A)를 따라 주행하는 천장 반송차를 천장 반송차(제 1 천장 반송차)(20A)라고 부르기로 하고, 궤도(10B)를 따라 주행하는 천장 반송차를 천장 반송차(제 2 천장 반송차)(20B)라고 부르기로 한다. 천장 반송차(20A, 20B)는, 복수의 반도체 웨이퍼가 수용된 FOUP(Front Opening Unified Pod)를 각 반도체 처리 장치(100)의 장치 포트(101)에 대하여 반송한다. 보관 선반(40)은 각 반도체 처리 장치(100)에 대응하도록 설치되어 있다. 예를 들면, 궤도(10A, 10B)의 연장 방향에 관하여, 각 반도체 처리 장치(100)의 장치 포트(101)에 대응하는 위치에 적어도 하나의 보관 선반(40)이 설치되어 있다. 보관 선반(40)은, 궤도(10A, 10B)의 연장 방향에 관하여 각 반도체 처리 장치(100)의 장치 포트(101)와 동일한 위치에 설치된 것이다. 또는, 각 반도체 처리 장치(100)에 대응하는 보관 선반(40)이, 궤도(10A, 10B)의 연장 방향에 관하여, 당해 반도체 처리 장치(100)의 장치 포트(101)보다 상류측(천장 반송차(20A, 20B)의 주행 방향 상류측)에 설치된 것이다. 컨트롤러(50)는 천장 반송차(20A, 20B)의 동작을 제어한다.
궤도(10A, 10B)는 각각 공정간 궤도(13A, 13B), 공정 내 궤도(14A, 14B) 및 분기 궤도(15A, 15B)를 구성하고 있다. 천장 반송차(20A, 20B)는 분기 궤도(15A, 15B)를 통하여 공정간 궤도(13A, 13B)와 공정 내 궤도(14A, 14B)의 사이를 왕래할 수 있다. 공정 내 궤도(14A, 14B)는 연직 방향으로부터 본 경우에 루프 형상이다.
반송 시스템(1)에서는, 공정 내 궤도(14A)의 일부에 의해 제 1 궤도(11A)가 구성되고, 공정 내 궤도(14B)의 일부에 의해 제 2 궤도(11B)가 구성되어 있다. 제 1 궤도(11A) 및 제 2 궤도(11B)는 공정 내 궤도(14A, 14B) 중에 마련된 직선 부분에 의해 구성되어 있다. 제 2 궤도(11B)는 제 1 궤도(11A)를 따라 마련되어 있다. 즉, 제 1 궤도(11A)와 제 2 궤도(11B)는 천장 반송차(20)의 주행 방향이 동일 방향이 되도록 평행하게 마련되어 있다. 제 2 궤도(11B)는 제 1 궤도(11A)의 하방(바로 아래)에, 그 제 1 궤도(11A)와 연직 방향을 따라 나열되어 마련되어 있다. 즉, 도 2 등에 나타내는 바와 같이, 제 2 궤도(11B)는 제 1 궤도(11A)에 대하여 하방으로 또한 연직 방향으로 나열되어, 연직 방향으로부터 본 경우에 제 1 궤도(11A)와 제 2 궤도(11B)가 일치하는 위치에 마련되어 있다. 제 1 궤도(11A) 및 제 2 궤도(11B)의 측면에는 각각 천장 반송차(20A, 20B)와 통신하기 위한 복수의 송수신부(12A, 12B)가 마련되어 있다(도 3 참조).
복수의 장치 포트(101)는, 공정 내 궤도(14A, 14B)의 외측(연직 방향으로부터 본 경우에 있어서, 루프 형상을 나타내는 공정 내 궤도(14A, 14B)보다 외주측)에 있어서, 제 1 궤도(11A) 및 제 2 궤도(11B)가 연장되는 방향을 따라 배치되어 있다. 한 쌍의 제 1 궤도(11A) 및 제 2 궤도(11B)에 착목하면, 복수의 장치 포트(101)는, 상하로 병설된 제 1 궤도(11A) 및 제 2 궤도(11B)의 일방의 측방 또한 하방에 위치하도록 마련되어 있다.
복수의 장치 포트(101)는, 그 위에 천장 반송차(20A, 20B)의 피반송물인 FOUP(90)가 재치되고, 당해 FOUP(90)를 반도체 처리 장치(100)에 이동 재치한다. 또한, 복수의 장치 포트(101)는, FOUP(90)에 수용된 반도체 웨이퍼가 반도체 처리 장치(100)에서 처리되면, 당해 FOUP(90)를 반도체 처리 장치(100)로부터 이동 재치하여, 그 위에 FOUP(90)가 재치된 상태가 된다.
반도체 처리 장치(100)는, 장치 컨트롤러(102)에 의해 그 동작이 제어되고 있다(도 3 참조). 장치 컨트롤러(102)는, 천장 반송차(20A, 20B)와의 사이에서 통신을 행하고, 천장 반송차(20A, 20B)에 대하여 장치 포트(101)에 대한 FOUP(90)의 이동 재치 허가를 준다. 본 실시예에 있어서, 장치 포트(101)에 대한 FOUP(90)의 이동 재치란, 천장 반송차(20A, 20B)가 보지(保持)(적재)하고 있는 FOUP(90)를 장치 포트(101)에 공급(재치)하는 경우와, 장치 포트(101)에 재치된 FOUP(90)를 천장 반송차(20A, 20B)가 회수(취득)하는 경우를 포함한다. 본 실시예에 있어서, 보관 선반(40)에 대한 FOUP(90)의 이동 재치란, 천장 반송차(20A, 20B)가 보지하고 있는 FOUP(90)를 보관 선반(40)에 공급하는 경우와, 보관 선반(40)에 재치된 FOUP(90)를 천장 반송차(20A, 20B)가 회수하는 경우를 포함한다.
복수의 보관 선반(40)에는 FOUP(90)가 재치된다. 즉, 복수의 보관 선반(40)은 FOUP(90)를 지지한다. 보관 선반(40) 상의 영역은 그 위에 FOUP(90)를 재치 가능한 보관부(40a)로서 기능한다. 보관부(40a)는, 제 1 궤도(11A) 및 제 2 궤도(11B)에 있어서 정지한 천장 반송차(20A, 20B)가 FOUP(90)를 이동 재치 가능한 일시 보관 영역이다.
한 쌍의 제 1 궤도(11A) 및 제 2 궤도(11B)에 착목하면, 복수의 보관 선반(40)은, 제 1 궤도(11A) 및 제 2 궤도(11B)에 대하여, 복수의 장치 포트(101)가 마련되어 있는 일방과는 타방인 측방 또한 하방에 마련되어 있다. 즉, 복수의 보관 선반(40)은, 연직 방향으로부터 본 경우에, 제 1 궤도(11A) 및 제 2 궤도(11B)를 개재하여 복수의 장치 포트(101)와 대향하는 측방에 마련되어 있다. 복수의 장치 포트(101)는 루프 형상을 나타내는 공정 내 궤도(14A, 14B)의 내측에 마련되어 있다. 복수의 장치 포트(101)는, 제 1 궤도(11A) 및 제 2 궤도(11B)가 연장되는 방향을 따라 마련되어 있고, 연직 방향에 있어서 제 2 궤도(11B)보다 하방에 마련되어 있다.
이와 같이, 반송 시스템(1)은 모두, 일방의 측방 또한 하방에 장치 포트(101)가 위치하도록 상하로 병설된 제 1 궤도(11A) 및 제 2 궤도(11B)와, 제 1 궤도(11A) 및 제 2 궤도(11B)의 각각을 따라 주행하고, FOUP(90)를 반송하는 천장 반송차(제 1 천장 반송차)(20A) 및 천장 반송차(제 2 천장 반송차)(20B)와, 제 1 궤도(11A) 및 제 2 궤도(11B)에 대하여 일방과는 타방인 측방 또한 하방에 마련되고, FOUP(90)가 재치되는 보관 선반(40)을 구비하고 있다.
천장 반송차(20A)는 제 1 궤도(11A)를 따라 주행하고, FOUP(90)를 반송한다. 천장 반송차(20B)는 제 2 궤도(11B)를 따라 주행하고, FOUP(90)를 반송한다. 천장 반송차(20A, 20B)는 FOUP(90)를, 예를 들면 장치 포트(101, 101) 사이, 보관 선반(40, 40) 사이, 장치 포트(101) 및 보관 선반(40) 사이에 있어서 반송한다.
천장 반송차(20A, 20B)는 모두, FOUP(90)를 장치 포트(101) 및 보관 선반(40)에 대하여 이동 재치하는 피반송물 이동 재치 기구를 가지고 있다. 피반송물 이동 재치 기구는 파지부(21)와, 승강 기구(22)와, 이동 기구(23)를 포함하고 있다. 또한, 천장 반송차(20A, 20B)는 각각 송수신부(24A, 24B)를 가지고 있다.
파지부(21)는 FOUP(90)의 플랜지부(91)를 파지 및 해제하는 장치이다. 파지부(21)는 FOUP(90)의 플랜지부(91)를 파지 가능하다. 파지부(21)는, 천장 반송차(20A, 20B)가 장치 포트(101) 및 보관 선반(40)으로부터 FOUP(90)를 취득할 때에, FOUP(90)의 플랜지부(91)를 파지한다. 파지부(21)는, 천장 반송차(20A, 20B)가 장치 포트(101) 및 보관 선반(40)으로 FOUP(90)를 재치할 때에, FOUP(90)의 플랜지부(91)를 해제한다.
승강 기구(22)는 파지부(21)를 연직 방향으로 승강시키는 장치이다. 승강 기구(22)는 파지부(21)를 연직 방향으로 승강 가능하다. 승강 기구(22)는 호이스트 기구(22a)와 벨트(22b)를 포함하고 있다. 호이스트 기구(22a)는 이동 기구(23)에 의해 보지되어 있다. 호이스트 기구(22a)는 벨트(22b)를 연직 방향으로 감아 올림 및 감아 내리는 장치이다. 호이스트 기구(22a)는 벨트(22b)를 연직 방향으로 감아 올림 및 감아 내림 가능하다. 벨트(22b)는 호이스트 기구(22a)로부터 수하(垂下)되고, 그 하단에 있어서 파지부(21)를 보지하고 있다. 승강 기구(22)는 파지부(21)에 의해 파지된 FOUP(90)가 적어도 장치 포트(101) 및 보관 선반(40)에 도달할 만큼의 거리를 감아 올림 및 감아 내림 가능하다.
이동 기구(23)는, 천장 반송차(20A, 20B)로부터 양방의 측방에 대하여 파지부(21) 및 승강 기구(22)를 이동시키는 장치이다. 천장 반송차(20A, 20B)로부터 양방의 측방에 대하여 파지부(21) 및 승강 기구(22)를 이동 가능하다. 즉, 이동 기구(23)는, 천장 반송차(20A, 20B)로부터, 천장 반송차(20A, 20B)의 진행 방향에 대하여 수직인 수평 방향에 대하여 파지부(21) 및 승강 기구(22)를 이동 가능하다. 이동 기구(23)는 파지부(21) 및 승강 기구(22)를 장치 포트(101) 및 보관 선반(40)의 각각의 상방으로 이동 가능하다. 파지부(21)에 의해 FOUP(90)가 파지되어 있는 경우, 이동 기구(23)는 당해 FOUP(90)를 장치 포트(101) 및 보관 선반(40)의 연직 방향 상방에 대하여 이동 가능하다.
제 1 궤도(11A) 및 제 2 궤도(11B)의 각각에 있어서 정지한 천장 반송차(20A, 20B)는, 당해 제 1 궤도(11A) 및 제 2 궤도(11B)의 측방 또한 하방에 위치하고 있는 장치 포트(101) 및 보관 선반(40)의 양방에 대하여 FOUP(90)를 이동 재치할 수 있다. 환언하면, 천장 반송차(20A) 및 천장 반송차(20B)는 동일한 장치 포트(101) 및 동일한 보관 선반(40)에 대하여 FOUP(90)를 이동 재치 가능하다. 즉, 제 1 궤도(11A)에 있어서의 천장 반송차(20A) 및 제 2 궤도(11B)에 있어서의 천장 반송차(20B)의 어느 것에 있어서도, 장치 포트(101)와의 사이에서 FOUP(90)의 전달(이동 재치)이 가능하게 되어 있다. 또한, 제 1 궤도(11A)에 있어서의 천장 반송차(20A) 및 제 2 궤도(11B)에 있어서의 천장 반송차(20B)의 어느 것에 있어서도, 보관 선반(40)과의 사이에서 FOUP(90)의 전달이 가능하게 되어 있다. 즉, 보관 선반(40)은, 제 1 궤도(11A) 상을 주행하는 천장 반송차(20A) 및 제 2 궤도(11B) 상을 주행하는 천장 반송차(20B)에 공용되는 보관부(40a)를 구비하고 있다.
구체적으로는, 천장 반송차(20A, 20B)는, 제 1 궤도(11A) 및 제 2 궤도(11B)의 바로 아래에 있어서 파지부(21)가 FOUP(90)의 플랜지부(91)를 파지하고 있는 상태로부터, 이동 기구(23)를 동작시켜 FOUP(90)를 장치 포트(101) 및 보관 선반(40)의 각각의 상방에 이동시킨다. 계속해서, 천장 반송차(20A, 20B)는, 호이스트 기구(22a)를 동작시켜 벨트(22b)를 감아 내리고, FOUP(90)를 강하시켜 장치 포트(101) 상 또는 보관 선반(40) 상에 재치한다. 이상에 의해, 천장 반송차(20A, 20B)는 장치 포트(101) 및 보관 선반(40)으로 FOUP(90)를 이동 재치(재치)한다.
또한, 천장 반송차(20A, 20B)는, 장치 포트(101) 상 또는 보관 선반(40) 상에 재치된 상태의 FOUP(90)의 플랜지부(91)를 파지부(21)에 의해 파지한다. 계속해서, 천장 반송차(20A, 20B)는, 호이스트 기구(22a)를 동작시켜 벨트(22b)를 감아 올리고, FOUP(90)를 상승시킨다. 계속해서, 천장 반송차(20A, 20B)는, 이동 기구(23)를 동작시켜 FOUP(90)를 제 1 궤도(11A) 및 제 2 궤도(11B)의 바로 아래로 이동시킨다. 이상에 의해, 천장 반송차(20A, 20B)는 장치 포트(101) 또는 보관 선반(40)으로부터 FOUP(90)를 이동 재치(취득)한다.
송수신부(24A, 24B)는 천장 반송차(20A, 20B)의 각 상면에 각각 마련되어 있다(도 3 참조). 송수신부(24A)는 제 1 궤도(11A)에 마련된 송수신부(12A)와 통신 가능하다. 송수신부(12A, 24A)는 SEMI 규격 E84에 따라 서로 통신하는 8 비트 센서의 송수신부이다. 송수신부(24B)는 제 2 궤도(11B)에 마련된 송수신부(12B)와 통신 가능하다. 송수신부(12B, 24B)는, SEMI 규격 E84에 따라 서로 통신하는 8 비트 센서의 송수신부이다. 송수신부(24A, 24B)는, 송수신부(12A, 12B)와의 사이에서 통신 가능한 위치에 천장 반송차(20A, 20B)가 위치하고 있을 때에는, 송수신부(12A, 12B)를 개재하여 장치 컨트롤러(102)에 접속되어 있다.
컨트롤러(50)는 복수의 천장 반송차(20A, 20B)의 동작을 제어한다. 컨트롤러(50)는, 각 에어리어에 위치하는 천장 반송차(20A, 20B)의 동작을 제어하는 로컬 컨트롤러(52A, 52B)와, 각 로컬 컨트롤러(52A, 52B)와 통신하고 각 로컬 컨트롤러(52A, 52B)를 통괄하는 상위 컨트롤러(51)를 가지고 있다(도 3 참조). 각 로컬 컨트롤러(52A, 52B)에 의해 관할되는 에어리어는, 제 1 궤도와 제 2 궤도에서 상이한 에어리어로 되고, 또한, 반도체 처리 장치(100)마다 상이한 에어리어로 되어 있다. 또한, 각 로컬 컨트롤러(52A, 52B)에 의해 관할되는 에어리어는 이와 같은 구분 방식에 한정되지 않는다.
[반송 시스템에 있어서의 처리 제어]
이상과 같이 구성된 반송 시스템(1)에서는, 예를 들면, 다음과 같은 처리 제어를 실행할 수 있다. 또한, 이하의 설명에 있어서의 장치 포트(101)에 대한 이동 재치 영역(R)이란, 제 1 궤도(11A) 상 및 제 2 궤도(11B) 상에 있어서, 천장 반송차(20A, 20B)가 정지하여 당해 장치 포트(101)에 대하여 FOUP(90)를 이동 재치할 수 있는 영역을 의미한다. 장치 포트(101)에 대한 이동 재치 영역(R)은, 제 1 궤도(11A) 상 및 제 2 궤도(11B) 상으로서, 제 1 궤도(11A) 및 제 2 궤도(11B)의 각각을 따르는 방향에 있어서 장치 포트(101) 및 보관 선반(40)과 동일 위치가 되는 영역이다. 혹은, 당해 방향에 관하여, 장치 포트(101)에 대응하는 보관 선반(40)이 그 장치 포트(101)보다 상류측에 마련된 태양에 있어서는, 장치 포트(101)에 대한 이동 재치 영역(R)은, 당해 방향에 있어서 그 장치 포트(101)에 대응하는 보관 선반(40)과 동일 위치가 되는 영역을 포함한다.
먼저, 제 1 처리 제어에 대하여 설명한다. 제 1 처리 제어에 있어서, 컨트롤러(50)는, 동일한 장치 포트(101)에 대하여, 천장 반송차(20A, 20B)의 일방의 천장 반송차가 FOUP(90)를 장치 포트(101)로부터 취득하고, 타방의 천장 반송차가 다른 FOUP(90)를 빈 장치 포트(101)에 재치하는 경우에 있어서, 타방의 천장 반송차가 일방의 천장 반송차보다 앞서 장치 포트(101)에 대한 이동 재치 영역(R)에 도착했을 때에는, 일방의 천장 반송차가 이동 재치 영역(R)에 도착하여 FOUP(90)를 장치 포트(101)로부터 취득할 때까지 타방의 천장 반송차가 이동 재치 영역(R)에 있어서 대기하도록 제어하고, 타방의 천장 반송차가 이동 재치 영역(R)에 있어서 대기한 상태에서 이동 재치 영역(R)에 도착한 일방의 천장 반송차가 FOUP(90)를 장치 포트(101)로부터 취득하도록 제어하고, 일방의 천장 반송차가 FOUP(90)를 장치 포트(101)로부터 취득한 후에 타방의 천장 반송차가 다른 FOUP(90)를 장치 포트(101)에 재치하도록 제어한다.
구체적으로는, 도 3에 나타내어지는 바와 같이, 예를 들면, 동일한 장치 포트(101)에 대하여, FOUP(90)가 적재되어 있지 않은 상태(즉, 빈 상태)의 천장 반송차(20B)(즉, 공대차(空臺車))가 당해 장치 포트(101)로부터 회수되는 측의 FOUP(90)인 FOUP(90B)를 당해 장치 포트(101)로부터 취득하고, FOUP(90)가 적재된 상태(즉, 채워진 상태)의 천장 반송차(20A)(즉, 실대차(實臺車))가 당해 장치 포트(101)에 공급되는 측의 FOUP(90)인 FOUP(90A)를 당해 장치 포트(101)에 재치해야 하는 상황에 있는 경우에 있어서, 천장 반송차(20A)가 천장 반송차(20B)보다 앞서 당해 장치 포트(101)에 대한 이동 재치 영역(R)(도 1 참조)에 도착했을 때에는, 컨트롤러(50)는, 천장 반송차(20B)가 이동 재치 영역(R)에 도착하여 당해 장치 포트(101)로부터 FOUP(90B)를 취득할 때까지 천장 반송차(20A)가 이동 재치 영역(R)에 있어서 대기하도록, 천장 반송차(20A, 20B)의 동작을 제어한다. 계속해서, 도 4 및 도 5에 나타내어지는 바와 같이, 컨트롤러(50)는 이동 재치 영역(R)에 도착한 천장 반송차(20B)가 당해 장치 포트(101)로부터 FOUP(90B)를 취득하도록 천장 반송차(20A, 20B)의 동작을 제어한다. 계속해서, 도 6에 나타내어지는 바와 같이, 컨트롤러(50)는 천장 반송차(20B)가 이동 재치 영역(R)으로부터 다음 목적지를 향하여 주행하도록 천장 반송차(20A, 20B)의 동작을 제어한다. 계속해서, 도 7에 나타내어지는 바와 같이, 컨트롤러(50)는 천장 반송차(20A)가 당해 장치 포트(101)에 FOUP(90A)를 재치하도록 천장 반송차(20A, 20B)의 동작을 제어한다.
다음에, 제 2 처리 제어에 대하여 설명한다. 제 2 처리 제어에 있어서, 컨트롤러(50)는, 동일한 장치 포트(101)에 대하여, 천장 반송차(20A, 20B)의 일방의 천장 반송차가 FOUP(90)를 당해 장치 포트(101)로부터 취득하고, 타방의 천장 반송차가 당해 장치 포트(101)에 다른 FOUP(90)를 빈 장치 포트(101)에 재치하는 경우에 있어서, 타방의 천장 반송차가 일방의 천장 반송차보다 앞서 당해 장치 포트(101)에 대한 이동 재치 영역(R)에 도착했을 때에는, 타방의 천장 반송차가 다른 FOUP(90)를 보관 선반(40)에 재치하여 FOUP(90)를 장치 포트(101)로부터 취득하도록 제어하고, 이동 재치 영역(R)에 도착한 일방의 천장 반송차가 다른 FOUP(90)를 보관 선반(40)으로부터 취득하여 다른 FOUP(90)를 장치 포트(101)에 재치하도록 제어한다.
구체적으로는, 도 8 및 도 9에 나타내어지는 바와 같이, 예를 들면, 동일한 장치 포트(101)에 대하여, 빈 상태의 천장 반송차(20B)가 당해 장치 포트(101)로부터 회수되는 측의 FOUP(90)인 FOUP(90B)를 당해 장치 포트(101)로부터 취득하고, 채워진 상태의 천장 반송차(20A)가 당해 장치 포트(101)에 공급되는 측의 FOUP(90)인 FOUP(90A)를 당해 장치 포트(101)에 재치해야 하는 상황에 있는 경우에 있어서, 천장 반송차(20A)가 천장 반송차(20B)보다 앞서 당해 장치 포트(101)에 대한 이동 재치 영역(R)(도 1 참조)에 도착했을 때에는, 컨트롤러(50)는 천장 반송차(20A)가 보관 선반(40)에 FOUP(90A)를 재치하도록 천장 반송차(20A, 20B)의 동작을 제어한다. 계속해서, 도 10 및 도 11에 나타내어지는 바와 같이, 컨트롤러(50)는 천장 반송차(20A)가 당해 장치 포트(101)로부터 FOUP(90B)를 취득하도록 천장 반송차(20A, 20B)의 동작을 제어한다. 계속해서, 도 12에 나타내어지는 바와 같이, 컨트롤러(50)는 천장 반송차(20A)가 이동 재치 영역(R)으로부터 다음 목적지를 향하여 주행하도록 천장 반송차(20A, 20B)의 동작을 제어한다. 계속해서, 도 13 및 도 14에 나타내어지는 바와 같이, 컨트롤러(50)는 이동 재치 영역(R)에 도착한 천장 반송차(20B)가 보관 선반(40)으로부터 FOUP(90A)를 취득하도록 천장 반송차(20A, 20B)의 동작을 제어한다. 계속해서, 도 15에 나타내어지는 바와 같이, 컨트롤러(50)는, 천장 반송차(20B)가 보관 선반(40)으로부터 취득한 FOUP(90A)를 당해 장치 포트(101)에 재치하도록 천장 반송차(20A, 20B)의 동작을 제어한다.
반송 시스템(1)에서는, 컨트롤러(50)는 상기 일방의 천장 반송차가 이동 재치 영역(R)에 도착할 때까지의 예상 시간을 취득하고, 당해 예상 시간이 정해진 시간보다 짧은 경우에, 일방의 천장 반송차가 이동 재치 영역(R)에 도착하여 FOUP(90)를 장치 포트(101)로부터 취득할 때까지, 상기 타방의 천장 반송차가 이동 재치 영역(R)에 있어서 대기하도록 제어한다. 또한, 반송 시스템(1)에 있어서, 컨트롤러(50)는 상기 일방의 천장 반송차가 이동 재치 영역(R)에 도착할 때까지의 예상 시간을 취득하고, 당해 예상 시간이 정해진 시간보다 긴 경우에, 상기 타방의 천장 반송차가 다른 FOUP(90)를 보관 선반(40)에 재치하고 FOUP(90)를 장치 포트(101)로부터 취득하도록 제어한다.
구체적으로는, 반송 시스템(1)에서는, 컨트롤러(50)는, 제 1 처리 제어 또는 제 2 처리 제어를 실행하기 전에 있어서, 천장 반송차(20A)가 천장 반송차(20B)보다 앞서 당해 장치 포트(101)에 대한 이동 재치 영역(R)(도 1 참조)에 도착하고 나서 천장 반송차(20B)가 도착할 때까지의 예상 시간을 취득한다. 보다 구체적으로는, 로컬 컨트롤러(52A)로부터의 문의에 대하여 상위 컨트롤러(51)가 예상 시간을 산출한다. 계속해서, 컨트롤러(50)는 예상 시간이 정해진 시간 이하인지의 여부를 판정한다. 계속해서, 컨트롤러(50)는 예상 시간이 정해진 시간 이하라고 판정했을 때에는 제 1 처리 제어를 실행하고, 예상 시간이 정해진 시간보다 길다고 판정했을 때에는 제 2 처리 제어를 실행한다.
[반송 시스템에 있어서의 인터록 제어]
또한, 반송 시스템(1)에서는, 예를 들면, 다음과 같은 인터록 제어를 실행할 수 있다.
먼저, 제 1 인터록 제어에 대하여 설명한다. 제 1 인터록 제어에 있어서, 컨트롤러(50)는, 천장 반송차(20A, 20B)의 양방이 동일한 장치 포트(101)에 대하여 FOUP(90)를 이동 재치하는 경우에, 일방의 천장 반송차에 의한 이동 재치 동작을 허가하고, 그 동안의 타방의 천장 반송차에 의한 이동 재치 동작을 금지한다.
구체적으로는, 도 16 및 도 17에 나타내어지는 바와 같이, 컨트롤러(50)는 상위 컨트롤러(51)와 로컬 컨트롤러(52A, 52B)의 사이에서 통신을 행한다. 그리고, 컨트롤러(50)는, 동일한 장치 포트(101)에 대하여, 동시에, 천장 반송차(20A, 20B)의 양방이 FOUP(90)를 이동 재치하는 장치 포트측 이동 재치 동작을 실행해야 하는 상황에 있는 경우에는, 천장 반송차(20A, 20B) 중 어느 하나에 대해서만 장치 컨트롤러(102)와의 통신을 허가한다. 그 결과, 장치 컨트롤러(102)와의 통신이 허가되지 않은 천장 반송차에 대해서는 장치 컨트롤러(102)로부터의 이동 재치 허가가 나오는 경우는 없다. 장치 컨트롤러(102)와의 통신이 허가된 천장 반송차가 장치 포트측 이동 재치 동작을 종료한 후, 장치 컨트롤러(102)와의 통신이 허가되지 않은 천장 반송차에 대하여 장치 컨트롤러(102)와의 통신을 허가한다. 컨트롤러(50)는 반드시 천장 반송차(20A, 20B) 중의 이동 재치 영역(R)에 먼저 도착한 천장 반송차에 대하여 장치 컨트롤러(102)와의 통신을 허가하지는 않아도 된다. 도시하는 예에서, 컨트롤러(50)는, 천장 반송차(20A)에 의해 장치 포트측 이동 재치 동작이 실행되고 있는 동안은 천장 반송차(20B)에 의해 장치 포트측 이동 재치 동작이 실행되는 것을 금지하도록, 천장 반송차(20A, 20B)의 동작을 제어한다. 구체적으로는, 컨트롤러(50)는, 천장 반송차(20A)의 파지부(21)가 이동 기구(23)에 의해 이동 재치 대상이 되는 장치 포트(101)의 상방으로 이동되고 있는 동안은 천장 반송차(20B)의 파지부(21)를 이동 기구(23)에 의해 이동 재치 대상이 되는 장치 포트(101)의 상방으로 이동시키는 것을 금지하도록, 천장 반송차(20A, 20B)의 동작을 제어한다.
다음에, 제 2 인터록 제어에 대하여 설명한다. 제 2 인터록 제어에 있어서, 컨트롤러(50)는, 천장 반송차(20A, 20B)의 양방이 동일한 보관 선반(40)에 대하여 FOUP(90)를 이동 재치하는 경우에, 일방의 천장 반송차에 의한 이동 재치 동작을 허가하고, 그 동안의 타방의 천장 반송차에 의한 이동 재치 동작을 금지한다.
구체적으로는, 도 18 및 도 19에 나타내어지는 바와 같이, 컨트롤러(50)는 상위 컨트롤러(51)와 로컬 컨트롤러(52A, 52B)의 사이에서 통신을 행한다. 그리고, 컨트롤러(50)는, 동일한 보관 선반(40)에 대하여 동시에 천장 반송차(20A, 20B)의 양방이 FOUP(90)를 이동 재치하는 보관부측 이동 재치 동작을 실행해야 하는 상황에 있는 경우에는, 천장 반송차(20A, 20B) 중 어느 하나에 대해서만 당해 보관 선반(40)에 대한 FOUP(90)의 이동 재치를 허가한다. 컨트롤러(50)는, 반드시 천장 반송차(20A, 20B) 중의 이동 재치 영역(R)에 먼저 도착한 천장 반송차에 대하여 장치 컨트롤러(102)와의 통신을 허가하지는 않아도 된다. 도시하는 예에서는, 컨트롤러(50)는, 천장 반송차(20A)에 의해 보관부측 이동 재치 동작이 실행되고 있는 동안은 천장 반송차(20B)에 의해 보관부측 이동 재치 동작이 실행되는 것을 금지하도록, 천장 반송차(20A, 20B)의 동작을 제어한다. 구체적으로는, 컨트롤러(50)는, 천장 반송차(20A)의 파지부(21)가 이동 기구(23)에 의해 이동 재치 대상이 되는 보관 선반(40)의 상방으로 이동되고 있는 동안은 천장 반송차(20B)의 파지부(21)를 이동 기구(23)에 의해 이동 재치 대상이 되는 보관 선반(40)의 상방으로 이동시키는 것을 금지하도록, 천장 반송차(20A, 20B)의 동작을 제어한다.
[작용 및 효과]
이상 설명한 바와 같이, 반송 시스템(1)에서는, 제 1 궤도(11A) 상의 천장 반송차(20A) 및 제 2 궤도(11B) 상의 천장 반송차(20B)의 양방의 천장 반송차가 동일한 장치 포트(101)에 대해서뿐만 아니라, 동일한 보관 선반(40)에 대해서도 FOUP(90)를 이동 재치할 수 있다. 이에 의해, 예를 들면, 제 1 궤도(11A) 상의 천장 반송차(20A) 및 제 2 궤도(11B) 상의 천장 반송차(20B)의 일방의 천장 반송차가 보관 선반(40)에 재치한 FOUP(90)를 타방의 천장 반송차가 보관 선반(40)으로부터 취득하여 장치 포트(101)로 재치하는 동작을 실행하는 것이 가능해진다. 따라서, 이 반송 시스템(1)에 따르면, 장치 포트(101)에 대한 FOUP(90)의 반송 효율을 향상시킬 수 있다.
반송 시스템(1)에서는, 천장 반송차(20A, 20B)의 동작을 제어하는 컨트롤러(50)를 더 구비하고, 컨트롤러(50)는, 천장 반송차(20A, 20B)의 양방의 천장 반송차가 동일한 장치 포트(101)에 대하여 FOUP(90)를 이동 재치하는 장치 포트측 이동 재치 동작을 실행해야 하는 상황에 있는 경우에는, 천장 반송차(20A, 20B)의 일방에 의한 장치 포트측 이동 재치 동작의 동안 타방에 의한 장치 포트측 이동 재치 동작의 실행을 금지하고, 천장 반송차(20A, 20B)의 양방이 동일한 보관 선반(40)에 대하여 FOUP(90)를 이동 재치하는 보관부측 이동 재치 동작을 실행해야 하는 상황에 있는 경우에는, 천장 반송차(20A, 20B)의 일방에 의한 보관부측 이동 재치 동작의 동안 타방에 의한 보관부측 이동 재치 동작의 실행을 금지한다. 이에 의해, 천장 반송차(20A, 20B)의 양방의 천장 반송차가 동일한 장치 포트(101)에 대하여 동시에 FOUP(90)의 장치 포트측 이동 재치 동작을 실행하는 것 및 천장 반송차(20A, 20B)의 양방의 천장 반송차가 동일한 보관 선반(40)에 대하여 동시에 FOUP(90)의 보관부측 이동 재치 동작을 실행하는 것을 확실하게 방지할 수 있다.
반송 시스템(1)에서는, 천장 반송차(20A, 20B)의 동작을 제어하는 컨트롤러(50)를 더 구비하고, 컨트롤러(50)는, 동일한 장치 포트(101)에 대하여, 천장 반송차(20B)가 당해 장치 포트(101)로부터 회수되는 측의 FOUP(90)인 FOUP(90B)를 당해 장치 포트(101)로부터 취득하고, 천장 반송차(20A)가 당해 장치 포트(101)에 공급되는 측의 FOUP(90)인 FOUP(90A)를 당해 장치 포트(101)에 재치해야 하는 상황에 있는 경우에 있어서, 천장 반송차(20A)가 천장 반송차(20B)보다 앞서 당해 장치 포트(101)에 대한 이동 재치 영역(R)에 도착했을 때에는, 천장 반송차(20B)가 이동 재치 영역(R)에 도착하여 회수되는 측의 FOUP(90B)를 당해 장치 포트(101)로부터 취득할 때까지 천장 반송차(20A)가 이동 재치 영역(R)에 있어서 대기하도록 천장 반송차(20A, 20B)의 동작을 제어하고, 천장 반송차(20A)가 이동 재치 영역(R)에 있어서 대기한 상태에서, 이동 재치 영역(R)에 도착한 천장 반송차(20B)가 회수되는 측의 FOUP(90B)를 당해 장치 포트(101)로부터 취득하도록 천장 반송차(20A, 20B)의 동작을 제어하고, 천장 반송차(20B)가 회수되는 측의 FOUP(90B)를 당해 장치 포트(101)로부터 취득한 후에 천장 반송차(20A)가 공급되는 측의 FOUP(90A)를 당해 장치 포트(101)에 재치하도록 천장 반송차(20A, 20B)의 동작을 제어한다. 이에 의해, 예를 들면, 천장 반송차(20B)가 이동 재치 영역(R)에 도착할 때까지의 시간이 비교적 짧은 경우 등에, 천장 반송차(20A)가 위치하는 제 1 궤도(11A) 상에서의 정체의 발생을 억제하면서, 회수되는 측의 FOUP(90B)를 장치 포트(101)로부터 취득하고 또한 공급되는 측의 FOUP(90A)를 장치 포트(101)에 재치할 수 있다.
반송 시스템(1)에서는, 컨트롤러(50)는 천장 반송차(20B)가 이동 재치 영역(R)에 도착할 때까지의 예상 시간을 취득하고, 당해 예상 시간이 정해진 시간 이하인 경우에, 천장 반송차(20B)가 이동 재치 영역(R)에 도착하여 회수되는 측의 FOUP(90B)를 당해 장치 포트(101)로부터 취득할 때까지 천장 반송차(20A)가 이동 재치 영역(R)에 있어서 대기하도록 천장 반송차(20A, 20B)의 동작을 제어한다. 이에 의해, 천장 반송차(20B)가 이동 재치 영역(R)에 도착할 때까지의 시간에 대하여 객관적으로 판단하여, 천장 반송차(20A)가 위치하는 제 1 궤도(11A) 상에서의 정체의 발생을 보다 확실하게 억제할 수 있다.
반송 시스템(1)에서는, 천장 반송차(20A, 20B)의 동작을 제어하는 컨트롤러(50)를 더 구비하고, 컨트롤러(50)는, 동일한 장치 포트(101)에 대하여, 천장 반송차(20B)가 당해 장치 포트(101)로부터 회수되는 측의 FOUP(90)인 FOUP(90B)를 당해 장치 포트(101)로부터 취득하고, 천장 반송차(20A)가 당해 장치 포트(101)에 공급되는 측의 FOUP(90)인 FOUP(90A)를 당해 장치 포트(101)에 재치해야 하는 상황에 있는 경우에 있어서, 천장 반송차(20A)가 천장 반송차(20B)보다 앞서 당해 장치 포트(101)에 대한 이동 재치 영역(R)에 도착했을 때에는, 천장 반송차(20A)가 공급되는 측의 FOUP(90A)를 보관 선반(40)에 재치하고 당해 장치 포트(101)로부터 회수되는 측의 FOUP(90B)를 취득하도록 천장 반송차(20A, 20B)의 동작을 제어하고, 이동 재치 영역(R)에 도착한 천장 반송차(20B)가 공급되는 측의 FOUP(90A)를 보관 선반(40)으로부터 취득하고 공급되는 측의 FOUP(90A)를 당해 장치 포트(101)에 재치하도록 천장 반송차(20A, 20B)의 동작을 제어한다. 이에 의해, 예를 들면, 천장 반송차(20B)가 이동 재치 영역(R)에 도착할 때까지의 시간이 비교적 긴 경우 등에, 천장 반송차(20A)가 위치하는 제 1 궤도(11A) 상에서의 정체의 발생을 억제하면서, 회수되는 측의 FOUP(90B)를 장치 포트(101)로부터 취득하고 또한 공급되는 측의 FOUP(90A)를 장치 포트(101)에 재치할 수 있다.
반송 시스템(1)에서는, 컨트롤러(50)는, 천장 반송차(20B)가 이동 재치 영역(R)에 도착할 때까지의 예상 시간을 취득하고, 당해 예상 시간이 정해진 시간보다 긴 경우에, 천장 반송차(20A)가 공급되는 측의 FOUP(90A)를 보관 선반(40)에 재치하고 회수되는 측의 FOUP(90B)를 당해 장치 포트(101)로부터 취득하도록, 천장 반송차(20A, 20B)의 동작을 제어한다. 이에 의해, 천장 반송차(20B)가 이동 재치 영역(R)에 도착할 때까지의 시간에 대하여 객관적으로 판단하여, 천장 반송차(20A)가 위치하는 제 1 궤도(11A) 상에서의 정체의 발생을 보다 확실하게 억제할 수 있다.
[변형예]
이상, 본 발명의 일실시 형태에 대하여 설명했지만, 본 발명은 상기 일실시 형태에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 제 1 궤도(11A) 및 제 2 궤도(11B)는 천장 반송차(20A, 20B)가 서로 진입 가능하게 구성되어 있어도 된다.
또한, 상기 실시 형태에서는, 처리 제어에 있어서, 천장 반송차(20B)를 공대차로 하고 천장 반송차(20A)를 실대차로 하여, 천장 반송차(20B)보다 앞서 천장 반송차(20A)가 장치 포트(101)의 이동 재치 영역(R)에 도착한다고 했지만, 반대로 천장 반송차(20A)를 공대차로 하고 천장 반송차(20B)를 실대차로 하여, 천장 반송차(20A)보다 앞서 천장 반송차(20B)가 장치 포트(101)의 이동 재치 영역(R)에 도착한다고 해도 된다. 이 경우에도, 상술한 처리 제어와 비교하여 채워진 상태의 천장 반송차 및 빈 상태의 천장 주행차의 주행하는 궤도가 바뀌는 것 이외에는 동일한 처리 제어가 실행된다.
또한, 상기 실시 형태에 있어서, 채워진 상태의 천장 반송차(20A)가 이동 재치 영역(R)에 도착하고 나서 빈 상태의 천장 반송차(20B)가 이동 재치 영역(R)에 도착할 때까지의 예상 시간을 컨트롤러(50)에 의해 취득하는 방법으로서는, 상위 컨트롤러(51)가 예상 시간을 산출하는 방법에 한하지 않고, 예를 들면, 컨트롤러(50)가 보다 상위의 컨트롤러에 대하여 문의를 행하고, 보다 상위의 컨트롤러로부터 예상 시간의 정보를 수취해도 된다.
또한, 상기 실시 형태에서는, 컨트롤러(50)는 예상 시간이 정해진 시간 이하라고 판정했을 때에 제 1 처리 제어를 실행하고, 예상 시간이 정해진 시간보다 길다고 판정했을 때에 제 2 처리 제어를 실행한다고 했지만, 예상 시간이 정해진 시간보다 짧다고 판정했을 때에 제 1 처리 제어를 실행하고, 예상 시간이 정해진 시간 이상이라고 판정했을 때에 제 2 처리 제어를 실행한다고 해도 된다.
또한, 상기 실시 형태에서는, 컨트롤러(50)는 예상 시간을 취득하고, 당해 예상 시간이 정해진 시간 이하라고 판정했을 때에는 제 1 처리 제어를 실행하고, 당해 예상 시간이 정해진 시간보다 길다고 판정했을 때에는 제 2 처리 제어를 실행한다고 하였다. 그러나, 컨트롤러(50)는 당해 예상 시간의 취득을 행하지 않고, 천장 반송차(20A)가 이동 재치 영역(R)에 도착한 시점에서 제 2 처리 제어를 실행한다고 해도 된다. 즉, 제 2 처리 제어를 제 1 처리 제어보다 우선적으로 실행한다고 해도 된다.
또한, 상기 실시 형태에서는, 당해 예상 시간의 취득을 행하지 않고, 천장 반송차(20A)가 이동 재치 영역(R)에 도착하고 나서 정해진 시간(예를 들면, 10 초) 대기시키고, 천장 반송차(20A)가 이동 재치 영역(R)에 있어서 대기하고 있는 동안에 천장 반송차(20B)가 이동 재치 영역(R)에 도착하지 않았을 때에는, 제 2 처리 제어를 실행한다고 해도 된다. 이 때, 제 2 처리 제어 대신에 천장 반송차(20B)가 다음 동작(예를 들면, 보관 선반(40)에 FOUP(90A)를 재치하는 동작 혹은 FOUP(90A)를 보지한 채 궤도 상을 일주하는 동작)을 개시하도록 천장 반송차(20A, 20B)의 동작을 제어해도 된다.
또한, 인터록 제어에 있어서, 상기 실시 형태에서는, 컨트롤러(50)는 천장 반송차(20A)에 의해 장치 포트측 이동 재치 동작 또는 보관부측 이동 재치 동작이 실행되고 있는 동안은 천장 반송차(20B)에 의해 장치 포트측 이동 재치 동작 또는 보관부측 이동 재치 동작이 실행되는 것을 금지하도록, 천장 반송차(20A, 20B)의 동작을 제어한다고 하였다. 그러나, 컨트롤러(50)는 천장 반송차(20B)에 의해 장치 포트측 이동 재치 동작 또는 보관부측 이동 재치 동작이 실행되고 있는 동안은 천장 반송차(20A)에 의해 장치 포트측 이동 재치 동작 또는 보관부측 이동 재치 동작이 실행되는 것을 금지하도록, 천장 반송차(20A, 20B)의 동작을 제어한다고 해도 된다.
또한, 상기 실시 형태에서는, 상위 컨트롤러(51)를 개재하지 않고 로컬 컨트롤러(52A, 52B)에 의해 실행되는 것이어도 된다. 즉, 인터록 제어는 로컬 컨트롤러(52A, 52B)가 서로 통신을 행하고, 그러한 로컬 컨트롤러(52A, 52B)에 의해 천장 반송차(20A, 20B)를 제어하는 것이어도 된다.
또한, 상기 실시 형태에서는, 제 1 궤도(11A) 및 제 2 궤도(11B)에 추가로, 제 3 궤도가 연직 방향으로 본 경우에 제 1 궤도 및 제 2 궤도와 일치하는 위치에 마련된 것이어도 된다. 즉, 3 개의 궤도가 연직 방향으로 병설된 것이어도 된다. 구체적으로는, 제 3 궤도가, 일방의 측방 또한 하방에 장치 포트(101)가 위치하도록, 제 1 궤도(11A) 및 제 2 궤도(11B)를 따라 제 2 궤도(11B)에 대하여 하방으로 또한 연직 방향으로 나열되어 마련되어 있어도 된다. 이러한 구성에 있어서도, 상술한 처리 제어 및 인터록 제어를 상기 실시 형태와 동일하게 적용 가능하다.
또한, 상기 실시 형태에서는, 4 개 이상의 궤도가 연직 방향으로 병설된 것이어도 된다. 이러한 구성에 있어서도, 상술한 처리 제어 및 인터록 제어를 상기 실시 형태와 동일하게 적용 가능하다.
또한, 상기 실시 형태에서는, 본 발명의 반송 시스템이 반송하는 피반송물은 복수의 반도체 웨이퍼가 수용된 FOUP(90)에 한정되지 않고, 유리 웨이퍼, 레티클 등이 수용된 기타 용기여도 된다. 또한, 본 발명의 반송 시스템은 반도체 제조 공장에 한정되지 않고, 기타 시설에도 적용 가능하다.
1 : 반송 시스템
11A : 제 1 궤도
11B : 제 2 궤도
20A, 20B : 천장 반송차
21 : 파지부
22 : 승강 기구
23 : 이동 기구
40a : 보관부
50 : 컨트롤러
90, 90A, 90B : FOUP(피반송물)
101 : 장치 포트
R : 이동 재치 영역

Claims (6)

  1. 일방의 측방 또한 하방에 장치 포트가 위치하도록 마련된 제 1 궤도와,
    일방의 측방 또한 하방에 상기 장치 포트가 위치하도록, 상기 제 1 궤도를 따라 상기 제 1 궤도에 대하여 하방으로 또한 연직 방향으로 나열되어 마련된 제 2 궤도와,
    상기 제 1 궤도 및 상기 제 2 궤도의 각각을 따라 주행하고, 피반송물을 반송하는 복수의 천장 반송차와,
    상기 제 1 궤도 및 상기 제 2 궤도에 대하여 상기 일방과는 타방인 측방 또한 하방에 마련되고, 상기 피반송물이 재치되는 보관부와,
    상기 천장 반송차의 동작을 제어하는 컨트롤러를 구비하고,
    상기 보관부는, 상기 제 1 궤도 및 상기 제 2 궤도의 어느 것에 대하여도 하방에 위치하도록 마련되어 있고,
    상기 천장 반송차는,
    상기 피반송물을 파지 가능한 파지부와,
    상기 장치 포트 및 상기 보관부의 각각의 상방에 상기 파지부를 이동 가능한 이동 기구와,
    상기 이동 기구에 의해 상기 장치 포트 및 상기 보관부의 각각의 상방에 이동된 상기 파지부를 상기 장치 포트 및 상기 보관부의 각각에 대하여 승강 가능한 승강 기구를 가지고,
    상기 제 1 궤도 상의 상기 천장 반송차 및 상기 제 2 궤도 상의 상기 천장 반송차의 양방이 동일한 상기 보관부에 대하여 상기 피반송물을 이동 재치 가능하며,
    상기 컨트롤러는,
    동일한 상기 장치 포트에 대하여, 상기 제 1 궤도 상의 상기 천장 반송차 및 상기 제 2 궤도 상의 상기 천장 반송차의 일방의 상기 천장 반송차가 상기 장치 포트로부터 회수되는 측의 상기 피반송물을 상기 장치 포트로부터 취득하고, 상기 제 1 궤도 상의 상기 천장 반송차 및 상기 제 2 궤도 상의 상기 천장 반송차의 타방의 상기 천장 반송차가 상기 장치 포트에 공급되는 측의 상기 피반송물을 상기 장치 포트에 재치해야 하는 상황에 있는 경우에 있어서, 타방의 상기 천장 반송차가 일방의 상기 천장 반송차보다 앞서 상기 장치 포트에 대한 이동 재치 영역에 도착했을 때에는,
    타방의 상기 천장 반송차가 상기 이동 재치 영역에 도착해 정해진 시간 동안 타방의 상기 천장 반송차가 상기 이동 재치 영역에 있어서 대기하도록 상기 천장 반송차의 동작을 제어하고,
    타방의 상기 천장 반송차가 상기 이동 재치 영역에 있어서 대기하고 있는 동안에 일방의 상기 천장 반송차가 상기 이동 재치 영역에 도착한 상황에서는,
    상기 이동 재치 영역에 도착한 일방의 상기 천장 반송차가 상기 회수되는 측의 피반송물을 상기 장치 포트로부터 취득하도록 상기 천장 반송차의 동작을 제어하고,
    일방의 상기 천장 반송차가 상기 회수되는 측의 피반송물을 상기 장치 포트로부터 취득한 후에, 타방의 상기 천장 반송차가 상기 공급되는 측의 피반송물을 상기 장치 포트에 재치하도록, 상기 천장 반송차의 동작을 제어하고,
    타방의 상기 천장 반송차가 상기 이동 재치 영역에 있어 대기하고 있는 동안에 일방의 상기 천장 반송차가 상기 이동 재치 영역에 도착하지 않은 상황에서는,
    타방의 상기 천장 반송차가 상기 공급되는 측의 피반송물을 상기 보관부에 재치하여 상기 회수되는 측의 피반송물을 상기 장치 포트로부터 취득하도록 상기 천장 반송차의 동작을 제어하고,
    상기 이동 재치 영역에 도착한 일방의 상기 천장 반송차가 상기 공급되는 측의 피반송물을 상기 보관부로부터 취득하여 상기 공급되는 측의 피반송물을 상기 장치 포트에 재치하도록, 상기 천장 반송차의 동작을 제어하는, 반송 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 컨트롤러는,
    상기 제 1 궤도 상의 상기 천장 반송차 및 상기 제 2 궤도 상의 상기 천장 반송차의 양방의 상기 천장 반송차가 동일한 상기 장치 포트에 대하여 상기 피반송물을 이동 재치하는 장치 포트측 이동 재치 동작을 실행해야 하는 상황에 있는 경우에는, 상기 제 1 궤도 상의 상기 천장 반송차 및 상기 제 2 궤도 상의 상기 천장 반송차의 일방의 상기 천장 반송차에 의한 상기 장치 포트측 이동 재치 동작의 동안 타방의 상기 천장 반송차에 의한 상기 장치 포트측 이동 재치 동작의 실행을 금지하고,
    상기 제 1 궤도 상의 상기 천장 반송차 및 상기 제 2 궤도 상의 상기 천장 반송차의 양방이 동일한 상기 보관부에 대하여 상기 피반송물을 이동 재치하는 보관부측 이동 재치 동작을 실행해야 하는 상황에 있는 경우에는, 상기 제 1 궤도 상의 상기 천장 반송차 및 상기 제 2 궤도 상의 상기 천장 반송차의 일방의 상기 천장 반송차에 의한 상기 보관부측 이동 재치 동작의 동안 타방의 상기 천장 반송차에 의한 상기 보관부측 이동 재치 동작의 실행을 금지하는, 반송 시스템.
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 삭제
KR1020187006739A 2015-08-14 2016-06-17 반송 시스템 KR102062179B1 (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015160166 2015-08-14
JPJP-P-2015-160166 2015-08-14
PCT/JP2016/068100 WO2017029871A1 (ja) 2015-08-14 2016-06-17 搬送システム

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20180039129A KR20180039129A (ko) 2018-04-17
KR102062179B1 true KR102062179B1 (ko) 2020-01-03

Family

ID=58050736

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020187006739A KR102062179B1 (ko) 2015-08-14 2016-06-17 반송 시스템

Country Status (9)

Country Link
US (1) US10734267B2 (ko)
EP (1) EP3336018B1 (ko)
JP (1) JP6642577B2 (ko)
KR (1) KR102062179B1 (ko)
CN (1) CN107922116B (ko)
IL (1) IL257409B (ko)
SG (1) SG11201801076VA (ko)
TW (1) TWI671250B (ko)
WO (1) WO2017029871A1 (ko)

Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102206058B1 (ko) * 2016-06-27 2021-01-20 무라다기카이가부시끼가이샤 반송 시스템
JP6712036B2 (ja) * 2017-04-26 2020-06-17 サイレックス・テクノロジー株式会社 通信装置、バッファ装置、移載システム、及び、通信装置の制御方法
US10532884B2 (en) * 2017-05-24 2020-01-14 Hall Labs Llc Mechanical end effector for planar motion mechanism
JP6822567B2 (ja) * 2017-06-30 2021-01-27 村田機械株式会社 搬送システム及び搬送方法
JP6849065B2 (ja) * 2017-06-30 2021-03-24 村田機械株式会社 搬送システム及び搬送方法
US11239102B2 (en) 2018-03-22 2022-02-01 Murata Machinery, Ltd. Stocker system
CN112639649B (zh) * 2018-09-04 2024-04-12 村田机械株式会社 输送车系统
CN112930312B (zh) * 2018-11-06 2022-08-30 村田机械株式会社 桥式输送车
CN113348140B (zh) * 2019-01-25 2023-08-29 村田机械株式会社 保管系统
KR102509136B1 (ko) 2019-01-25 2023-03-14 무라다기카이가부시끼가이샤 반송 시스템
KR102531956B1 (ko) * 2019-01-25 2023-05-12 무라다기카이가부시끼가이샤 보관 시스템
CN113573991B (zh) 2019-03-22 2022-10-21 村田机械株式会社 搬送车系统
CN114269668B (zh) * 2019-08-29 2023-04-18 村田机械株式会社 行驶车系统
US11551959B2 (en) * 2019-10-29 2023-01-10 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. System and method for automated wafer carrier handling
CN113830469B (zh) 2020-06-24 2022-05-17 长鑫存储技术有限公司 活动式存储装置、物料传送系统及相应的天车
KR20230113806A (ko) 2020-12-10 2023-08-01 무라다기카이가부시끼가이샤 반송 시스템
US20240025637A1 (en) * 2020-12-16 2024-01-25 Murata Machinery, Ltd. Transport system
WO2023203911A1 (ja) * 2022-04-19 2023-10-26 村田機械株式会社 搬送システム
WO2024122138A1 (ja) * 2022-12-05 2024-06-13 村田機械株式会社 搬送車システム

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006054389A (ja) * 2004-08-16 2006-02-23 Murata Mach Ltd 搬送システム
JP2007207078A (ja) * 2006-02-03 2007-08-16 Murata Mach Ltd 搬送システム
JP2007331906A (ja) * 2006-06-16 2007-12-27 Murata Mach Ltd 天井走行車システム
WO2013183384A1 (ja) * 2012-06-08 2013-12-12 村田機械株式会社 搬送システム及び搬送車システムでの排他制御方法

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101475662B1 (ko) * 2002-10-11 2014-12-24 무라다기카이가부시끼가이샤 오버헤드 호이스트를 탑재한 오버헤드 호이스트 수송 차량
JP4543338B2 (ja) * 2007-11-13 2010-09-15 村田機械株式会社 天井走行車システムとそのバッファの施工方法
KR101015225B1 (ko) 2008-07-07 2011-02-18 세메스 주식회사 기판 처리장치 및 이의 기판 이송 방법
JP5369560B2 (ja) 2008-09-10 2013-12-18 村田機械株式会社 搬送装置
JP5212200B2 (ja) * 2009-03-17 2013-06-19 村田機械株式会社 天井搬送システム
US8882433B2 (en) * 2009-05-18 2014-11-11 Brooks Automation, Inc. Integrated systems for interfacing with substrate container storage systems
WO2011070868A1 (ja) * 2009-12-07 2011-06-16 国立大学法人東京大学 自動倉庫
JP5382470B2 (ja) * 2010-11-04 2014-01-08 村田機械株式会社 搬送システム及び搬送方法
US9385019B2 (en) * 2012-06-21 2016-07-05 Globalfoundries Inc. Overhead substrate handling and storage system
CN104428217A (zh) * 2012-07-26 2015-03-18 村田机械株式会社 高架行走车系统以及高架行走车系统的控制方法
US9837293B2 (en) * 2013-10-30 2017-12-05 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Mechanisms for charging gas into cassette pod
CN106663649B (zh) * 2014-06-19 2019-05-21 村田机械株式会社 载具的搬运系统以及搬运方法
EP3159920B1 (en) * 2014-06-19 2021-06-16 Murata Machinery, Ltd. Carrier buffering device and buffering method
WO2016047260A1 (ja) * 2014-09-25 2016-03-31 村田機械株式会社 パージ装置及びパージ方法
JP6048686B2 (ja) * 2014-09-25 2016-12-21 村田機械株式会社 一時保管装置と搬送システム及び一時保管方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006054389A (ja) * 2004-08-16 2006-02-23 Murata Mach Ltd 搬送システム
JP2007207078A (ja) * 2006-02-03 2007-08-16 Murata Mach Ltd 搬送システム
JP2007331906A (ja) * 2006-06-16 2007-12-27 Murata Mach Ltd 天井走行車システム
WO2013183384A1 (ja) * 2012-06-08 2013-12-12 村田機械株式会社 搬送システム及び搬送車システムでの排他制御方法

Also Published As

Publication number Publication date
TWI671250B (zh) 2019-09-11
JP6642577B2 (ja) 2020-02-05
US10734267B2 (en) 2020-08-04
CN107922116B (zh) 2019-11-22
KR20180039129A (ko) 2018-04-17
WO2017029871A1 (ja) 2017-02-23
EP3336018B1 (en) 2021-12-15
JPWO2017029871A1 (ja) 2018-02-22
US20190006217A1 (en) 2019-01-03
TW201711936A (zh) 2017-04-01
EP3336018A4 (en) 2019-04-17
IL257409B (en) 2021-09-30
EP3336018A1 (en) 2018-06-20
IL257409A (en) 2018-04-30
CN107922116A (zh) 2018-04-17
SG11201801076VA (en) 2018-03-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102062179B1 (ko) 반송 시스템
CN108001979B (zh) 物品搬运设备
TWI505980B (zh) Transfer system
KR101463473B1 (ko) 이송 장치
KR102069778B1 (ko) 반송차 시스템
EP3159922B1 (en) Carrier transport system and transport method
JP6460260B2 (ja) 搬送システム及び搬送方法
TWI722208B (zh) 搬送系統
EP3159923B1 (en) Carrier buffering device and buffering method
TWI763871B (zh) 搬運系統及搬運方法
US11952026B2 (en) Conveyance vehicle system
KR20140049542A (ko) 처리 설비
US7806648B2 (en) Transportation system and transportation method
WO2017043234A1 (ja) 搬送システム及び搬送方法
KR101655887B1 (ko) 반송 장치
JP5713096B2 (ja) キャリア移載促進装置
JP2016189497A (ja) キャリア移載促進装置
JP2015046646A (ja) キャリア移載促進装置
JP5700107B2 (ja) キャリア搬送システム

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E90F Notification of reason for final refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right