CN113348140B - 保管系统 - Google Patents

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Abstract

可靠且容易地进行吊车相对于空中轨道的搬出及搬入。保管系统(SYS)具备：空中仓储装置(100)，该空中仓储装置(100)具有第1空中轨道(20)、在上下方向上具备多层保管部(11)的置物架(10)、和沿着第1空中轨道(20)行进且在多层保管部(11)之间交接物品(2)的吊车(40)；以及空中搬送车系统，该空中搬送车系统具有与空中仓储装置(100)的下端相比设在下方的第2空中轨道(30)、和沿着第2空中轨道(30)行进且相对于装载口(LP)交接物品(2)的空中搬送车(50)，第1空中轨道(20)在俯视时从第2空中轨道(30)偏离的部分具有能够支承着停止行进的吊车(40)而下降的升降轨道(25)。

Description

保管系统
技术领域
本发明涉及保管系统。
背景技术
在半导体制造工厂等中，通过空中搬送车对收容半导体晶圆的FOUP(Front-Opening Unified Pod，前开式晶圆传送盒)或收容掩模的掩模盒(reticule pot)等物品进行搬送，相对于处理装置的装载口等移载目的地进行物品的交接。已知由该空中搬送车搬送的物品被保管于能够在与该空中搬送车之间交接物品的保管系统(例如参照专利文献1)。在专利文献1中，载置物品的保管部沿上下方向设有多层，能够在该保管部之间移载物品。另外，已知多层保管部中的物品的移载能够适用沿着空中轨道行进而在多个保管部之间交接物品的吊车(例如参照专利文献2)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2017-030944号公报
专利文献2：国际公开第2018/074130号
发明内容
专利文献2所记载的吊车需要在维护等中相对于空中轨道搬出及搬入。例如，在该吊车所行进的空中轨道的下方设有各种系统、装置或保管部等的情况下，需要避开该各种系统等的配置地进行吊车相对于空中轨道的搬入及搬出。
本发明的目的在于提供一种能够可靠且容易地进行吊车相对于空中轨道的搬出及搬入的保管系统。
本发明的方案的保管系统具备：空中仓储装置，该空中仓储装置具有第1空中轨道、在上下方向上具备多层保管部的置物架、和沿着第1空中轨道行进且在多层保管部之间交接物品的吊车；以及空中搬送车系统，该空中搬送车系统具有与空中仓储装置的下端相比设在下方的第2空中轨道、和沿着第2空中轨道行进且相对于规定的移载目的地交接物品的空中搬送车，第1空中轨道在俯视时从第2空中轨道偏离的部分具有能够支承着停止行进的吊车而下降的升降轨道。
另外，也可以是，升降轨道被设在作业者用通道的正上方。另外，也可以具备将升降轨道悬吊并保持的悬吊部件、和通过卷绕或放出悬吊部件而使升降轨道升降的升降轨道驱动部。另外，也可以是，具备在空中仓储装置与空中搬送车系统之间沿上下方向搬送物品的搬送装置，在升降轨道的正下方设有能够供空中搬送车及搬送装置中的任一方交接物品的载置部，载置部能够从升降轨道的正下方退避。另外，也可以是，载置部以架设在一对其他载置部之间的方式配置，空中搬送车能够在与其他载置部之间交接物品。
发明效果
根据上述保管系统，由于第1空中轨道在俯视时从第2空中轨道偏离的部分具有能够支承着停止行进的吊车而下降的升降轨道，所以能够通过该升降轨道不与空中搬送车系统发生干涉地可靠且容易地进行吊车相对于第1空中轨道的搬出及搬入。
另外，在升降轨道被设在作业者用通道的正上方的结构中，通常不会在作业者用通道放置装置等，因此通过利用该作业者用通道，能够容易地进行吊车的搬出及搬入。另外，在具备将升降轨道悬吊并保持的悬吊部件、和通过卷绕或放出悬吊部件而使升降轨道升降的升降轨道驱动部的结构中，能够通过悬吊部件及升降轨道驱动部使升降轨道容易升降。另外，在具备在空中仓储装置与空中搬送车系统之间沿上下方向搬送物品的搬送装置、在升降轨道的正下方设有能够供空中搬送车及搬送装置中的任一方交接物品的载置部、且载置部能够从升降轨道的正下方退避的结构中，通过在使升降轨道下降的情况下使载置部从升降轨道的正下方退避，能够避免被搬出及搬入的吊车与载置部发生干涉、且能够增加空中搬送车和搬送装置交接物品的场所。另外，在载置部以架设在一对其他载置部之间的方式配置、且空中搬送车能够在与其他载置部之间交接物品的结构中，由于在要退避的载置部中没有从顶棚悬吊的悬吊部件或从地面支承的支承部件，所以能够容易地使该载置部从升降轨道的正下方退避。
附图说明
图1是第1实施方式的保管系统的一个例子的从X方向观察到的图。
图2是图1所示的保管系统的一个例子的从Y方向观察到的图。
图3是在俯视下示意地表示图1所示的保管系统的图。
图4示出了升降轨道的动作的一个例子，图4的(A)是表示升降轨道下降前的状态的图，图4的(B)是表示升降轨道下降时的状态的图。
图5示出了搬出吊车的动作的一个例子，是表示吊车配置于升降轨道的状态的图。
图6是表示继图5之后将载置部退避后的状态的图。
图7是表示继图6之后使升降轨道下降后的状态的图。
图8是表示继图7之后将吊车搬送台车与升降轨道连接的状态的图。
图9是表示继图8之后将吊车移载到吊车搬送台车后的状态的图。
图10是表示继图9之后使升降轨道上升的状态的图。
图11是第2实施方式的保管系统的一个例子的从Y方向观察到的图。
图12是在俯视下示意地表示图11所示的保管系统的图。
具体实施方式
以下一边参照附图一边说明实施方式。但是，本发明并不限定于以下要说明的实施方式。另外，为了对实施方式进行说明，在附图中以适当改变比例尺的方式表现，如将一部分放大或强调地进行记载等。在以下的各图中，利用XYZ坐标系说明图中的方向。在该XYZ坐标系中，将铅垂方向设为Z方向，将水平方向设为X方向、Y方向。Y方向是水平方向内的一个方向。X方向是与Y方向正交的方向。另外，关于X、Y、Z方向这些各方向，适当将箭头所指的朝向表现为+方向(例如+X方向)，将与箭头所指的朝向相反的方向表现为-方向(例如-X方向)。
[第1实施方式]
图1是第1实施方式的保管系统SYS的一个例子的从X方向观察到的图。图2是保管系统SYS的从Y方向观察到的图。图3是在俯视下示意地表示保管系统SYS的图。此外，在图3中，为了容易辨别图，以阴影示出了物品2。
图1至图3所示的保管系统SYS例如设在半导体器件的制造工厂等，对收容了在半导体器件的制造中所使用的半导体晶圆的FOUP、或收容了掩模的掩模盒等物品2进行保管。在本实施方式中，说明物品2为FOUP的例子，但物品2也可以为FOUP以外的物品。另外，保管系统SYS能够适用于半导体制造领域以外的设备，物品2也可以是能够由保管系统SYS保管的其他物品。
如图1至图3所示，保管系统SYS具备空中仓储装置100、空中搬送车系统200和搬送装置300。空中仓储装置100具备具有多个保管部11的置物架10、第1空中轨道20和吊车40。置物架10在俯视时沿着吊车40所行进的第1空中轨道20配置(参照图3)。另外，如图1所示，置物架10所具备的多个保管部11设于框架13，沿上下方向(Z方向)配置有三层。此外，保管部11的层数能够任意设定。另外，多个保管部11沿着后述的吊车40的行进方向(Y方向)排列多个而配置。
多个保管部11具备载置物品2的架板11a。各架板11a被保持于框架13。在以下的说明中，在保管部11中放置物品2表示在保管部11的架板11a上放置物品2。此外，在保管部11的架板11a上也可以设有在分别载置物品2时进入物品2的底面上所设的槽部中的多个销。通过该销进入物品2的槽部，物品2被相对于保管部11(架板11a)定位。
置物架10通过框架13被从系统顶棚SC1悬吊。系统顶棚SC1通过吊具3被从厂房的顶棚C悬吊。此外，框架13也可以代替被从系统顶棚SC1悬吊而直接被从顶棚C悬吊。置物架10的下端设定为比处理装置TL的上端距地面F的高度高。处理装置TL例如对被收容于作为物品2的FOUP的半导体晶圆进行制膜处理或蚀刻处理等各种处理。另外，后述的吊车40的下端的高度也设定为比处理装置TL的上端的高度高。即，空中仓储装置100与处理装置TL的上端相比配置在上方。此外，吊车40的下端被设定为作业者等能够无障碍地在地面F通行的高度。其结果为，能够将空中仓储装置100下方的空间的一部分利用为作业者用通道PS。
保管部11通过吊车40载置物品2以及取出物品2。另外，保管部11中的一部分通过后述的上侧空中搬送车60载置物品2以及取出物品2。通过上侧空中搬送车60交接物品2的保管部11是置物架10中的最上层的保管部11。保管部11的上下尺寸(从架板11a的上表面到上方的保管部11的架板11a的下表面为止的尺寸)被设定成为了供后述的吊车40的移载装置42从下表面侧支承并提起物品2而需要的尺寸。吊车40的移载装置42例如采用从下表面侧支承并提起物品2的结构，在物品2的上方无需大空间。例如，保管部11的上下尺寸也能够设为对物品2的上下尺寸加上几厘米程度的尺寸。
如图1所示，第1空中轨道20通过吊具5被从系统顶棚SC1悬吊。此外，第1空中轨道20也可以代替被从系统顶棚SC1悬吊而直接被从顶棚C悬吊。如图1所示，第1空中轨道20与空中搬送车系统200的第2空中轨道30相比距地面F的高度更高。
如图3所示，第1空中轨道20是具有直线部21、22和曲线部23的环绕轨道。吊车40能够沿着直线部21、22及曲线部23向一个方向(例如在俯视时逆时针的方向)环绕行进。直线部21在图3中沿着Y方向配置。直线部22在图3中沿着X方向配置。直线部21和直线部22分别在相互正交的方向上延伸。曲线部23将直线部21和直线部22连接起来。第1空中轨道20在俯视时在作为环绕轨道的第1空中轨道20的内侧设有分支部24。分支部24将两根直线部22彼此连接。
上述的置物架10设在直线部22的+Y侧及-Y侧。另外，置物架10设在分支部24的+X侧及-X侧。这些置物架10配置在处理装置TL的上方。由于处理装置TL的上方没有设置空中搬送车系统200的第2空中轨道30，所以通过在这样的无效空间配置置物架10，能够有效地利用厂房内的空间。
另外，第1空中轨道20在俯视时从第2空中轨道30偏离的部分(与第2空中轨道30不重叠的位置)具有升降轨道25。图4示出了升降轨道的动作的一个例子，图4的(A)是表示升降轨道下降前的状态的图，图4的(B)是表示升降轨道下降时的状态的图。如图4所示，第1空中轨道20的直线部21切除形成有与后述的升降轨道25相对应的区间。直线部21具备在切口部分中彼此相对的端部21a和端部21b。该切口部分(端部21a及端部21b)是后述的载置部14的正上方(参照图3)。如图4所示，升降轨道25具备框体部26、悬吊部件27和升降轨道驱动部28。框体部26以架设在直线部21的端部21a与端部21b之间、且从上方覆盖端部21a与端部21b之间的状态配置。框体部26通过吊具等支承于顶棚C(参照图1)，但也可以支承于系统顶棚SC1或第1空中轨道20。
框体部26经由悬吊部件27及升降轨道驱动部28支承升降轨道25。升降轨道25呈直线状，设于第1空中轨道20的直线部21的一部分。即，升降轨道25被设为构成作为环绕轨道的第1空中轨道20的直线部21的一部分。升降轨道25在上升到最大时配置在端部21a与端部21b之间，与端部21a及端部21b双方连接。升降轨道25的直线方向的尺寸例如设定为吊车40所具备的两台行进部41整体收于该升降轨道25内。
悬吊部件27是例如线材、带等，将升降轨道25悬吊并保持。悬吊部件27沿升降轨道25的直线方向排列多个、例如两个而配置。悬吊部件27通过升降轨道驱动部28而被卷绕并保持。悬吊部件27具有在使升降轨道25下降时能够使升降轨道25下降至距地面F较近的规定高度的长度。
升降轨道驱动部28被保持于框体部26，通过进行悬吊部件27的卷绕及放出而使升降轨道25升降。升降轨道驱动部28具有例如马达装置等未图示的驱动源、卷绕悬吊部件27的能够旋转的未图示的卷绕轴、和将驱动源的驱动力传递到卷绕轴的未图示的传递机构。升降轨道驱动部28通过将驱动源的驱动力传递到卷绕轴而使卷绕轴旋转，进行悬吊部件27的卷绕及放出。此外，升降轨道驱动部28的动作由未图示的控制装置等控制。
升降轨道25能够支承着停止行进的吊车40而下降(能够升降)。如图3所示，在俯视时，升降轨道25从第2空中轨道30偏离，因此通过在吊车40停止于升降轨道25的状态下使升降轨道25升降，能够不与空中搬送车系统200发生干涉地使吊车40升降。另外，升降轨道25配置在作业者用通道PS的正上方。该作业者用通道PS在俯视时从第2空中轨道30的正下方偏离地设置。作业者用通道PS是为了能够供作业者通行而没有设置处理装置TL及处理装置TL的装载口LP等各种装置、设备等的区域。因此，通过在维护时等暂时利用该作业者用通道PS，能够将吊车40可靠地降下至地面F附近。此外，使升降轨道25升降的结构并不限定于上述结构，能够适用使升降轨道25升降的任意结构。
如图1及图2所示，吊车40保持物品2，在第1空中轨道20上行进移动。吊车40在保管部11与其他保管部11之间搬送物品2。此外，配置于一条第1空中轨道20的吊车40并不限定于一台。例如，也可以在一条第1空中轨道20配置两台以上的吊车40。如图1及图2所示，吊车40被从第1空中轨道20悬吊。
吊车40具备移载装置42和两台行进部41。在行进部41的下方经由安装部46安装有上部支承部47，通过上部支承部47连结两台行进部41。各行进部41具备未图示的行进驱动部及多个车轮41a，沿着第1空中轨道20行进。行进部41所具备的未图示的行进驱动部例如可以是配置于行进部41且驱动车轮41a的电动马达，也可以是线性马达。此外，在本实施方式的吊车40中，具备两台行进部41，由此能够可靠地支承作为重量物的移载装置42及物品2。此外，吊车40并不限定于具备两台行进部41的结构，也可以具备一台或三台以上的行进部41。
移载装置42具备柱杆43、升降台44、升降驱动部45、伸缩部48和载置台49。柱杆43在被从上部支承部47悬吊的状态下沿上下方向延伸。柱杆43在行进部41的行进方向前后分别各设有一根。此外，柱杆43并不限定于合计两根，也可以为一根。柱杆43如上述那样设为柱杆43的下端距地面F的高度比处理装置TL的上端的高度高。例如，柱杆43的下端为吊车40的下端。
伸缩部48由能够在与行进部41的行进方向正交的方向上伸缩的多个臂构成。载置台49设在伸缩部48的前端。载置台49是能够载置物品2的三角形状的板状部件。载置台49通过从下侧支承被载置于该载置台49的物品2而保持该物品2。在载置台49的上表面设有插入到物品2的底面所具备的槽部中而对物品2进行定位的销。此外，在上述的保管部11的架板11a设有能够供载置台49沿上下方向通过的未图示的切口。
移载装置42在从保管部11收取物品2时，使伸缩部48伸长，使载置台49位于物品2的下方之后使升降台44上升，由此以载置台49抄起物品2。移载装置42通过保持在载置台49上载置着物品2的状态地使伸缩部48缩短，从而使载置着物品2的载置台49配置到升降台44的上方。另外，在利用移载装置42将物品2向保管部11交付时，通过上述的相反动作进行。此外，移载装置42并不限定于上述结构，也可以为例如保持物品2的一部分(例如设于FOUP的上部的凸缘部2a)并提起的结构等其他结构。
两台升降驱动部45例如是卷扬机，使升降台44沿着柱杆43升降。各升降驱动部45具备悬吊部件45a及未图示的驱动部。悬吊部件45a例如是带或线材等，升降台44通过该悬吊部件45a被从上部支承部47悬吊。升降驱动部45所具备的未图示的驱动部例如设于上部支承部47，进行悬吊部件45a的放出、卷绕。当升降驱动部45所具备的未图示的驱动部放出悬吊部件45a时，升降台44被柱杆43引导并下降。另外，当升降驱动部45所具备的未图示的驱动部卷绕悬吊部件45a时，升降台44被柱杆43引导并上升。升降驱动部45由未图示的控制装置等控制，以规定的速度使升降台44下降或上升。另外，升降驱动部45由未图示的控制装置等控制，将升降台44保持在目标高度。
升降驱动部45设于上部支承部47。此外，升降驱动部45也可以代替设于上部支承部47而设于例如升降台44。作为在升降台44设置升降驱动部45的结构，例如可以为通过搭载于升降台44的卷扬机对从上部支承部47悬吊的带或线材等进行卷起或放出而使升降台44升降的结构。另外，也可以为如下结构：在升降台44搭载驱动齿轮的电动马达等，在柱杆43形成供该齿轮啮合的齿条，通过利用电动马达等使齿轮旋转而使升降台44升降。
空中搬送车系统200具备第2空中轨道30和空中搬送车50。空中搬送车50沿着第2空中轨道30行进，相对于与第2空中轨道30相比配置在下方的规定的移载目的地即处理装置TL的装载口LP进行物品2的交接。如图1所示，第2空中轨道30安装在系统顶棚SC2的下表面侧。系统顶棚SC2通过吊具4被从顶棚C悬吊。此外，第2空中轨道30代替被从系统顶棚SC2悬吊，可以被从系统顶棚SC1悬吊，也可以直接被从顶棚C悬吊。
如图3所示，第2空中轨道30在俯视时配置在区划间路线(Inter-bay route)(区划间轨道)R1与区划间路线R2之间。第2空中轨道30分别设在区划内(内部区划内)，区划间路线R1等是为了将多个第2空中轨道30连接而设置的。在本实施方式中，区划(内部区划(Intra-bay))是指例如在俯视时多个处理装置TL中的装载口LP以彼此相对的方式设置，在以彼此相对的方式设置的装载口LP之间设有作业者用通道PS的范围(区域)。第2空中轨道30经由相对于区划间路线R1进入用或退出用的两根支线S1而与区划间路线R1连接，且经由相对于区划间路线R2进入用或退出用的两根支线S2而与区划间路线R2连接。
第2空中轨道30具有直线部31和连接部32。空中搬送车50沿着直线部31及连接部32向一个方向(例如在俯视时顺时针的方向)环绕行进。直线部31在装载口LP的正上方，沿着多个装载口LP配置于Y方向。两根直线部31在俯视时以与第1空中轨道20的直线部21并行(平行)的方式配置。连接部32包含曲线部并配置在+Y侧及-Y侧的两端，将两根直线部31彼此连接。第2空中轨道30与空中仓储装置100的吊车40(柱杆43)及置物架10相比配置在下方。在该第2空中轨道30行进的空中搬送车50与空中仓储装置100相比在下方行进。
空中搬送车50相对于区划间路线R1、R2经由支线S1、S2进入第2空中轨道30，或者相对于第2空中轨道30经由支线S1、S2退出到区划间路线R1、R2。空中搬送车50沿着第2空中轨道30行进，在直线部31中在处理装置TL的装载口LP与后述的载置部14之间进行物品2的移载。
第2空中轨道30的直线部31隔开规定间隔(作业者用通道PS)地沿着彼此相对的多个装载口LP的正上方设置。在本实施方式中，装载口LP在一台处理装置TL中设有四处(参照图3)，但并不限定于该形态。例如，在一台处理装置TL中可以设置一到三处的装载口LP，也可以设置五处以上的装载口LP。但是，能够载置于装载口LP的物品2的数量按每个处理装置TL预先确定。第2空中轨道30设在装载口LP的正上方，仅通过使在第2空中轨道30行进的空中搬送车50停止并使物品2升降而在与装载口LP之间进行物品2的交接，相对于后述的载置部14(交接口12)使握持部53横向送出(通过横向移载)而进行物品2的交接。
如图1及图2所示，空中搬送车50具有行进部51和主体部52。行进部51具备未图示的行进驱动部及多个车轮51a，沿着第2空中轨道30行进。行进部51所具备的未图示的行进驱动部例如可以是配置于行进部51且驱动车轮51a的电动马达，也可以是线性马达。
主体部52经由安装部52a安装于行进部51的下部。主体部52具有保持物品2的握持部53；悬吊握持部53并使其升降的升降驱动部54；和使升降驱动部54向轨道的侧方移动的横向送出机构55。握持部53通过从上方抓住物品2的凸缘部2a并握持，从而悬吊物品2并保持。握持部53例如是具有能够沿水平方向进退的多个爪部的夹头，通过使爪部进入物品2的凸缘部2a的下方，并使握持部53上升，从而悬吊物品2并保持。握持部53与线材或带等悬吊部件连接。握持部53被从升降驱动部54悬吊，通过该升降驱动部54升降。
升降驱动部54例如是卷扬机，通过放出悬吊部件而使握持部53下降，通过卷绕悬吊部件而使握持部53上升。升降驱动部54由未图示的控制装置等控制，以规定的速度使握持部53下降或上升。另外，升降驱动部54由未图示的控制装置等控制，将握持部53保持在目标高度。
横向送出机构55例如具有沿上下方向重叠地配置的可动板。可动板能够向行进部51的行进方向的侧方(与行进方向正交的方向、横向)移动。在可动板上安装有升降驱动部54。主体部52具有对横向送出机构55进行引导的未图示的引导件、以及驱动横向送出机构55的未图示的驱动部等。横向送出机构55利用来自电动马达等驱动部的驱动力使升降驱动部54及握持部53在突出位置与存放位置之间移动。突出位置是握持部53从主体部52向侧方突出的位置。存放位置是在主体部52内存放握持部53的位置。此外，也可以设置用于使升降驱动部54或握持部53绕上下方向的轴旋转的旋转机构。
空中搬送车50如上述那样通过升降驱动部54使握持部53(物品2)升降，在与装载口LP之间进行物品2的交接。另外，空中搬送车50能够在通过横向送出机构55使升降驱动部54(握持部53)移动到多个载置部14(包含交接口12)中的某一个的上方的状态下，利用升降驱动部54使握持部53(物品2)升降，在与该载置部14之间交接物品2。
搬送装置300在空中仓储装置100与空中搬送车系统200之间沿上下方向搬送物品2。在本实施方式中，搬送装置300是上侧空中搬送车60。另外，保管系统SYS具备用于在空中搬送车系统200与搬送装置300(上侧空中搬送车60)之间交接物品的交接口12。交接口12是能够载置物品2的载置部14的一部分。在交接口12能够载置多个物品2。交接口12配置在供上侧空中搬送车60行进的第1空中轨道20的直线部21的下方。另外，交接口12相对于第2空中轨道30配置在横向且下方。其结果为，如上述那样，空中搬送车50能够相对于交接口12通过横向移载进行物品2的交接。
载置部14在俯视时配置在作为环绕轨道的第2空中轨道30的内侧，沿着Y方向呈直线状设置。载置部14能够将物品2排列成例如一列而载置。载置部14具有固定部14a、和作为交接口12的装拆部14b。装拆部14b设在升降轨道25的正下方。固定部14a相对于作为载置部14的一部分的装拆部14b(交接口12)是一对其他的载置部14。固定部14a是例如板状部件或两根梁状部件，被从系统顶棚SC2悬吊，在板状部件上或两根梁状部件上载置物品2。一对固定部14a隔开间隙地配置在位于升降轨道25的正下方的部分。间隙的尺寸、即一对固定部14a彼此之间的间隔被设定成能够供升降轨道25(及吊车40)在上下方向上通过的尺寸。固定部14a在隔着间隙相对的端部具有用于连结装拆部14b的连结部14d。此外，固定部14a能够载置物品2，是能够通过空中搬送车50交接物品2的缓冲部。
载置部14中的装拆部14b能够供空中搬送车系统200的空中搬送车50、以及作为搬送装置300的上侧空中搬送车60中的任一方交接物品2。该装拆部14b是用于在空中搬送车50与上侧空中搬送车60(搬送装置300)之间交接物品2的交接口12。装拆部14b与固定部14a同样地是板状部件或两根梁状部件。装拆部14b在升降轨道25的正下方，以架设在固定部14a之间的方式配置。装拆部14b的长度方向的两侧的端部分别与固定部14a的两侧的连结部14d连结并被保持。通过该结构，装拆部14b无需从顶棚C或系统顶棚SC2等悬吊的悬吊部件、从地面F支承的支承部件，能够避免悬吊部件等成为空中搬送车50或上侧空中搬送车60行进、或者吊车40(升降轨道25)升降的阻碍等，且能够使装拆部14b容易装拆。装拆部14b通过被从固定部14a的连结部14d拆下，从而能够从升降轨道25的正下方退避。
上侧空中搬送车60在空中仓储装置100与交接口12(载置部14中的装拆部14b)之间沿上下方向搬送物品2。上侧空中搬送车60具有第2行进部61和第2主体部62。第2行进部61适用与吊车40的行进部41相同的结构，具备未图示的行进驱动部及多个车轮61a，沿着第1空中轨道20行进。第2主体部62经由安装部62a安装于第2行进部61的下部。第2主体部62具有保持物品2的第2握持部63、将第2握持部63悬吊并使其升降的第2升降驱动部64、和使第2升降驱动部64向轨道的侧方移动的第2横向送出机构65。
这些第2行进部61、第2主体部62、第2握持部63、第2升降驱动部64及第2横向送出机构65适用与上述的空中搬送车50的行进部51、主体部52、握持部53、升降驱动部54及横向送出机构55相同的结构。因此，上侧空中搬送车60能够直接适用空中搬送车系统200的空中搬送车50。另外，由于上侧空中搬送车60在第1空中轨道20行进所以无需另行设置轨道，能够减少保管系统SYS的制造成本。
上侧空中搬送车60能够通过第2升降驱动部64使第2握持部63(物品2)升降，在与作为交接口12的载置部14的装拆部14b之间交接物品2。另外，上侧空中搬送车60能够在通过第2横向送出机构65使第2升降驱动部64移动到多层保管部11中的一个保管部11的上方的状态下，利用第2升降驱动部64使第2握持部63(物品2)升降，从而在与存在于第2升降驱动部64下方的保管部11之间交接物品2。在本实施方式中，上侧空中搬送车60能够在与置物架10中的最上层的保管部11之间交接物品2。此外，上侧空中搬送车60的交接对象的保管部11也可以为最上层以外的保管部11。另外，搬送装置300并不限定于上侧空中搬送车60，例如也可以为传送带装置等能够在保管部11与交接口12之间搬送物品2的其他装置。
如图3所示，在本实施方式中，置物架10的一部分与作为规定的移载目的地的处理装置TL的装载口LP在俯视时重叠。因此，能够将置物架10沿水平方向扩张至装载口LP的上方，从而能够保管大量的物品2。另外，关于置物架10，由于无论空中搬送车系统200的第2空中轨道30的配置如何均能够设置置物架10，所以置物架10的配置自由度高，能够容易地实现物品2的收纳效率高的置物架10的配置。
另外，保管系统SYS具有未图示的控制装置。该未图示的控制装置统括地控制保管系统SYS。未图示的控制装置通过基于无线或有线的通信对吊车40、空中搬送车50及上侧空中搬送车60的动作进行控制。此外，未图示的控制装置也可以分割成控制吊车40的控制装置、控制空中搬送车50的控制装置、和控制上侧空中搬送车60的控制装置。
在保管系统SYS中从保管部11向装载口LP搬送物品2的情况下，未图示的控制装置控制上侧空中搬送车60(搬送装置300)，指示其从最上层的保管部11收取搬送对象的物品2并向所指定的交接口12交付物品2。在搬送对象的物品2处于最上层以外的保管部11的情况下，空中仓储装置100的吊车40将搬送对象的物品2移载到置物架10中的最上层的保管部11。
接着，上侧空中搬送车60沿着第1空中轨道20行进，停止在载置有搬送对象的物品2的保管部11的侧方，并在使第2横向送出机构65突出后通过第2升降驱动部64使第2握持部63下降，通过第2握持部63握持物品2。接着，上侧空中搬送车60在通过第2升降驱动部64使第2握持部63上升后，使第2横向送出机构65收缩而使第2握持部63返回到存放位置，由此将物品2收容到第2主体部62内。
接着，上侧空中搬送车60通过第2握持部63保持物品2并沿着第1空中轨道20行进，在所指定的交接口12(装拆部14b)的正上方停止。接着，上侧空中搬送车60驱动第2升降驱动部64而使第2握持部63及物品2下降，在使物品2载置到交接口12后释放基于第2握持部63对物品2的握持，由此将物品2交付到交接口12。
接下来，未图示的控制装置控制空中搬送车系统200的空中搬送车50，指示其从交接口12收取物品2并向所指定的装载口LP交付物品2。空中搬送车50沿着第2空中轨道30行进，停止在载置有物品2的交接口12的侧方，并在使横向送出机构55突出后通过升降驱动部54使握持部53下降，通过握持部53握持物品2。然后，空中搬送车50在通过升降驱动部54使握持部53上升后，使横向送出机构55收缩而使握持部53返回到存放位置，由此将物品2收容到主体部52内。
接着，空中搬送车50通过握持部53保持物品2并沿着第2空中轨道30行进，在所指定的装载口LP的正上方停止。接着，空中搬送车50驱动升降驱动部54而使握持部53及物品2下降，在使物品2载置到装载口LP后释放基于握持部53对物品2的握持，由此将物品2交付到装载口LP。通过以上的一系列动作，物品2被从保管部11搬送到装载口LP。
另外，在从处理装置TL的装载口LP向空中仓储装置100的保管部11搬送物品2的情况下，通过进行上述一系列动作的相反动作，物品2经由交接口12被从处理装置TL的装载口LP搬送到空中仓储装置100的保管部11。此外，即使物品2的移载目的地为装载口LP以外的目的地，也与上述相同，对于与从装载口LP以外的地方收取物品2的情况也与上述相同。
图5至图10是表示在保管系统SYS中吊车40的搬出动作的一个例子的图。在从第1空中轨道20搬出吊车40的情况下，首先，如图5所示那样，将成为搬出对象的吊车40配置于升降轨道25。该情况下，吊车40移动至两个行进部41被收容于升降轨道25内的位置并停止。吊车40的停止位置由未图示的控制装置控制。另外，吊车40的行进部41为了使车轮41a不转动，可以通过未图示的制动装置锁定车轮41a，也可以通过未图示的行进驱动部在停止位置处保持车轮41a。另外，预先通过空中搬送车50或上侧空中搬送车60将装拆部14b上的物品2搬送到其他载置部14(固定部14a)或空中仓储装置100的保管部11，以使升降轨道25的正下方的装拆部14b上不会载置物品2。
接着，如图6所示，装拆部14b被从固定部14a之间拆下，从升降轨道25的正下方退避。装拆部14b的拆下作业例如可以是作业者通过手工作业解除基于连结部14d的连结，也可以是在连结部14d为电动的连结装置的情况下，使该连结装置驱动而解除连结。被拆下的装拆部14b被搬送到规定的保管场所并被暂时保管。另外，也可以为通过将两侧的连结部14d中的一方设为铰链、并解除基于另一方的连结部14d的连结而使装拆部14b从铰链垂下来使装拆部14b退避的结构。
接着，如图7所示，通过使升降轨道驱动部28驱动来放出悬吊部件27，从而保持载置着吊车40的状态地使升降轨道25下降。通过升降轨道25的下降，升降轨道25及吊车40从相对的固定部14a的间隙通过，在升降轨道25到达了距地面F规定高度的阶段使升降轨道驱动部28的驱动停止。此外，升降轨道驱动部28的驱动可以由未图示的控制装置控制，也可以通过作业者对操作部进行操作来进行。使升降轨道25停止的规定高度是吊车40的下端不会与地面F接触的高度。另外，使升降轨道25停止的规定高度也可以是与后述的吊车搬送台车70的移载用轨道71(参照图8)的高度相等的高度。
接着，如图8所示，使吊车搬送台车70配置于升降轨道25的一个端部侧。吊车搬送台车70具有移载用轨道71、吊车收容部72和车轮73。移载用轨道71是例如截面形状及尺寸与升降轨道25的截面形状及尺寸相同或大致相同的部件。因此，在将吊车40移载到移载用轨道71的情况下，能够将吊车40的两台行进部41收容到移载用轨道71内。吊车收容部72形成为能够收容吊车40的移载装置42及柱杆43的尺寸。车轮73例如是滚动轮，使吊车搬送台车70在地面F上移动。此外，车轮73中的至少一个也可以是受到基于电动马达等驱动源的驱动而转动的驱动轮。
在将吊车搬送台车70配置到升降轨道25的一个端部侧后，解除对行进部41的车轮41a的锁定，如图9所示，使吊车40从升降轨道25向移载用轨道71侧移动。由于升降轨道25被配置在与移载用轨道71相等的高度位置，所以能够使吊车40顺利地从升降轨道25移动到移载用轨道71。此外，也可以具备针对车轮41a的止转件、或用于将行进部41的一部分保持于移载用轨道71的连结件，以使得收容于移载用轨道71的行进部41不会移动。另外，由于吊车收容部72形成为能够收容柱杆43的尺寸，所以仅通过使吊车40移动到移载用轨道71就会将柱杆43及移载装置42收容于吊车收容部72。
在吊车40被收容于吊车搬送台车70后，如图10所示，吊车搬送台车70通过被作业者等推动，从而从作业者用通道PS穿过并移动至规定的维护区域或保管设施等。另外，升降轨道驱动部28通过卷绕悬吊部件27，使升降轨道25上升。升降轨道25从相对的固定部14a的间隙通过，被配置于第1空中轨道20的直线部21的切口部分。在升降轨道25被配置于直线部21后，由作业者等将装拆部14b安装到固定部14a之间。通过这一系列的动作，能够搬出第1空中轨道20的吊车40。
另外，在向第1空中轨道20搬入吊车40的情况下，通过上述动作的相反动作进行。首先，将装拆部14b从固定部14a之间拆下，使升降轨道25下降至上述高度。在升降轨道25下降后，使收容了吊车40的吊车搬送台车70配置于升降轨道25的一个端部侧，使吊车40从移载用轨道71向升降轨道25移动。在使吊车40移动到升降轨道25后，使升降轨道25上升，将升降轨道25配置到直线部21。在升降轨道25被配置于直线部21后，将装拆部14b安装到固定部14a之间。
像这样，根据保管系统SYS，由于能够载置着吊车40而升降的升降轨道25被设于第1空中轨道20的一部分、且配置于在俯视时从第2空中轨道30偏离的部分，所以无需设置用于将吊车40相对于第1空中轨道20搬出或搬入的专用轨道，能够不与空中搬送车系统200发生干涉地、可靠且容易地进行吊车40的搬出及搬入。
[第2实施方式]
在上述的第1实施方式中，作为交接口12的装拆部14b示出了能够将多个物品2沿Y方向排列成一列而载置的结构，但并不限定于该结构。图11及图12是表示第2实施方式的保管系统SYS2的一个例子的图。图11示出了侧视图，图12示出了俯视图。此外，在以下的说明中，对与上述的第1实施方式相同或同等的结构标注相同的附图标记并省略或简化说明。
如图11及图12所示，保管系统SYS2具有载置物品2的载置部114。载置部114在俯视时配置在第2空中轨道30的环绕部分的内侧，沿着Y方向设成直线状。载置部114能够将多个物品2沿X方向排列成两列而载置。该情况下，对于载置部114中的+X侧的列，能够通过在配置于载置部114的+X侧的直线部31行进的空中搬送车50进行物品2的交接。另外，对于载置部114中的-X侧的列，能够通过在配置于载置部114的-X侧的直线部31行进的空中搬送车50进行物品2的交接。
载置部114具有固定部114a和作为交接口12的装拆部114b。固定部114a及装拆部114b在X方向上的尺寸比第1实施方式所记载的固定部14a及装拆部14b大，这一方面与第1实施方式不同，其他结构与第1实施方式相同。另外，对于作为交接口12的装拆部114b，也确保两列，与第1实施方式的装拆部14b相比能够载置更多的物品2。因此，在空中仓储装置100与空中搬送车系统200之间进行交接的物品2的数量(向交接口12载置的物品2的数量)变多，能够提高物品2在空中仓储装置100与空中搬送车系统200之间的搬送效率。
另外，空中搬送车50对于载置部114中的+X侧及-X侧的列双方，通过横向送出机构55使升降驱动部54向+X侧或-X侧横向送出，从而使握持部53配置在+X侧的列或-X侧的列的正上方，由此能够在与装拆部114b之间进行物品2的交接。此外，也可以将载置部114配置成，+X侧的列及-X侧的列中的某一方不进行基于横向送出机构55的横向送出，而是通过使握持部53升降能够进行物品2的交接。
在保管系统SYS2中从第1空中轨道20搬出吊车40的情况下，与第1实施方式同样地，使吊车40配置于升降轨道25，将装拆部114b从固定部114a之间拆下，支承着停止行进的吊车40而使升降轨道25下降。使吊车40从下降后的升降轨道25向吊车搬送台车70(参照图5等)的移载用轨道71移动，通过吊车搬送台车70将吊车40向其他场所移送。在使升降轨道25上升而配置到直线部21后，将装拆部114b安装到固定部114a之间。通过这一系列的动作，能够搬出第1空中轨道20的吊车40。
另外，在向第1空中轨道20搬入吊车40的情况下，通过上述动作的相反动作进行。首先，将装拆部114b从固定部114a之间拆下，使升降轨道25下降。在升降轨道25下降后，使吊车40从吊车搬送台车70的移载用轨道71向升降轨道25移动。在使吊车40移动到升降轨道25后，使升降轨道25上升，使升降轨道25配置到直线部21。在升降轨道25被配置到直线部21后，将装拆部114b安装到固定部114a之间。
像这样，根据保管系统SYS2，与上述的保管系统SYS同样地，无需设置用于将吊车40相对于第1空中轨道20搬出或搬入的专用轨道，能够不与空中搬送车系统200发生干涉地、可靠且容易地进行吊车40的搬出及搬入。另外，由于能够载置于交接口12(装拆部114b)的物品2的数量变多，所以能够提高物品2在空中仓储装置100与空中搬送车系统200之间的搬送效率，从而提高作为系统整体的物品2的搬送效率。
以上，说明了实施方式，但本发明并不限定于上述说明，能够在不脱离本发明的要旨的范围内进行各种变更。例如，在上述实施方式中，列举了在保管系统SYS、SYS2中第1空中轨道20和第2空中轨道30不被连接的结构为例进行了说明，但并不限定于该结构。例如，也可以是第1空中轨道20和第2空中轨道30经由连接轨道等而连接。
另外，在上述实施方式中，列举了在保管系统SYS、SYS2中置物架10、第1空中轨道20、第2空中轨道30被从顶棚C或系统顶棚SC1、SC2悬吊的结构为例进行了说明，但并不限定于该结构。例如，也可以为置物架10、第1空中轨道20及第2空中轨道30中的至少一方由设在地面F上的支柱或框架、架台等支承而通过地面F承接置物架10等的荷载的结构。
此外，上述实施方式等中所说明的要件中的一个以上要件有时会被省略。另外，上述实施方式等中所说明的要件能够适当组合。另外，在法令所允许的范围内，对作为日本专利申请的特愿2019-011280、以及在上述实施方式等中引用的所有文献的公开内容进行援引并作为本文记载的一部分。
附图标记说明
C…顶棚
F…地面
LP…装载口
TL…处理装置
PS…作业者用通道
SYS、SYS2…保管系统
2…物品
10…置物架
11…保管部
12…交接口
14、114…载置部
14a、114a…固定部
14b、114b…装拆部
20…第1空中轨道
25…升降轨道
27…悬吊部件
28…升降轨道驱动部
30…第2空中轨道
40…吊车
50…空中搬送车
60…上侧空中搬送车
70…吊车搬送台车
71…移载用轨道
72…吊车收容部
73…车轮
100…空中仓储装置
200…空中搬送车系统
300…搬送装置。

Claims (6)

1.一种保管系统，其特征在于，具备：
空中仓储装置，该空中仓储装置具有第1空中轨道、在上下方向上具备多层保管部的置物架、和沿着所述第1空中轨道行进且在所述多层保管部之间交接物品的吊车；
空中搬送车系统，该空中搬送车系统具有与所述空中仓储装置的下端相比设在下方的第2空中轨道、和沿着所述第2空中轨道行进且相对于规定的移载目的地交接物品的空中搬送车；以及
搬送装置，该搬送装置在所述空中仓储装置与所述空中搬送车系统之间沿上下方向搬送物品，
所述第1空中轨道在俯视时从所述第2空中轨道偏离的部分具有能够支承着停止行进的所述吊车而下降的升降轨道，
在所述第1空中轨道的下方，设有能够供所述空中搬送车及所述搬送装置中的任一方交接物品的载置部。
2.如权利要求1所述的保管系统，其特征在于，
所述升降轨道被设在作业者用通道的正上方。
3.如权利要求1所述的保管系统，其特征在于，
具备将所述升降轨道悬吊并保持的悬吊部件、和通过卷绕或放出所述悬吊部件而使所述升降轨道升降的升降轨道驱动部。
4.如权利要求2所述的保管系统，其特征在于，
具备将所述升降轨道悬吊并保持的悬吊部件、和通过卷绕或放出所述悬吊部件而使所述升降轨道升降的升降轨道驱动部。
5.如权利要求1至4中任一项所述的保管系统，其特征在于，
所述载置部设置在所述升降轨道的正下方，
所述载置部能够从所述升降轨道的正下方退避。
6.如权利要求5所述的保管系统，其特征在于，
所述载置部以架设在一对其他载置部之间的方式配置，
所述空中搬送车能够在与所述其他载置部之间交接物品。
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