KR20210106549A - 보관 시스템 - Google Patents

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에이지 와다
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무라다기카이가부시끼가이샤
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Abstract

천장 궤도에 대한 크레인의 반출 및 반입을 확실하고 또한 용이하게 행한다. 보관 시스템(SYS)은, 제 1 천장 궤도(20)와, 상하 방향으로 복수 단의 보관부(11)를 구비한 선반(10)과, 제 1 천장 궤도(20)를 따라 주행하고, 복수 단의 보관부(11)의 사이에서 물품(2)을 전달하는 크레인(40)을 가지는 천장 스토커(100)와, 천장 스토커(100)의 하단보다 하방에 마련된 제 2 천장 궤도(30)와, 제 2 천장 궤도(30)를 따라 주행하여 로드 포트(LP)에 대하여 물품(2)을 전달하는 천장 반송차(50)를 가지는 천장 반송차 시스템을 구비하고, 제 1 천장 궤도(20)는, 평면에서 봤을 때 제 2 천장 궤도(30)로부터 벗어난 부분에, 주행을 정지하고 있는 크레인(40)을 지지하여 하강 가능한 승강 궤도(25)를 가진다.

Description

보관 시스템
본 발명은 보관 시스템에 관한 것이다.
반도체 제조 공장 등에서는, 반도체 웨이퍼를 수용하는 FOUP(Front­Opening　Unified　Pod) 또는 레티클을 수용하는 레티클 포드 등의 물품을 천장 반송차에 의해 반송하여, 처리 장치의 로드 포트 등의 이동 재치(載置)처에 대하여 물품의 전달을 행하고 있다. 이 천장 반송차로 반송되는 물품은, 이 천장 반송차와의 사이에서 물품을 전달 가능한 보관 시스템에 보관되는 것이 알려져 있다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조). 특허 문헌 1에서는, 물품을 재치하는 보관부가 상하 방향으로 복수 단 마련되어 있고, 이 보관부의 사이에서 물품을 이동 재치 가능하게 하고 있다. 또한, 복수 단의 보관부에 있어서의 물품의 이동 재치는, 천장 궤도를 따라 주행하고, 복수의 보관부의 사이에서 물품을 전달하는 크레인을 적용 가능한 것이 알려져 있다(예를 들면, 특허 문헌 2 참조).
일본특허공개공보 2017-030944호 국제공개 제2018/074130호
특허 문헌 2에 기재된 크레인은, 메인터넌스 등에 있어서 천장 궤도에 대하여 반출 및 반입시킬 필요가 있다. 예를 들면, 이 크레인이 주행하는 천장 궤도의 하방에 각종 시스템, 장치 또는 보관부 등이 마련되는 경우, 그 각종 시스템 등의 배치를 피해 천장 궤도에 대한 크레인의 반입 및 반출을 행하는 것이 필요해진다.
본 발명은, 천장 궤도에 대한 크레인의 반출 및 반입을 확실하고 또한 용이하게 행하는 것이 가능한 보관 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 태양에 따른 보관 시스템은, 제 1 천장 궤도와, 상하 방향으로 복수 단의 보관부를 구비한 선반과, 제 1 천장 궤도를 따라 주행하고, 복수 단의 보관부의 사이에서 물품을 전달하는 크레인을 가지는 천장 스토커와, 천장 스토커의 하단보다 하방에 마련된 제 2 천장 궤도와, 제 2 천장 궤도를 따라 주행하여 정해진 이동 재치처에 대하여 물품을 전달하는 천장 반송차를 가지는 천장 반송차 시스템을 구비하고, 제 1 천장 궤도는, 평면에서 봤을 때 제 2 천장 궤도로부터 벗어난 부분에, 주행을 정지하고 있는 크레인을 지지하여 하강 가능한 승강 궤도를 가진다.
또한, 승강 궤도는, 작업자용 통로의 직상(直上)에 마련되어도 된다. 또한, 승강 궤도를 매달아 보지(保持)하는 현수 부재와, 현수 부재를 감거나 또는 풂으로써 승강 궤도를 승강시키는 승강 궤도 구동부를 구비해도 된다. 또한, 천장 스토커와 천장 반송차 시스템과의 사이에서 상하 방향으로 물품을 반송하는 반송 장치를 구비하고, 승강 궤도의 직하(直下)에는, 천장 반송차 및 반송 장치 모두가 물품을 전달 가능한 재치부가 마련되고, 재치부는, 승강 궤도의 직하로부터 퇴피 가능해도 된다. 또한, 재치부는, 한 쌍의 다른 재치부의 사이에 걸쳐져 배치되고, 천장 반송차는, 다른 재치부와의 사이에서 물품을 전달 가능해도 된다.
상기한 보관 시스템에 의하면, 제 1 천장 궤도가, 평면에서 봤을 때 제 2 천장 궤도로부터 벗어난 부분에, 주행을 정지하고 있는 크레인을 지지하여 하강 가능한 승강 궤도를 가지기 때문에, 이 승강 궤도에 의해, 제 1 천장 궤도에 대한 크레인의 반출 및 반입을 천장 반송차 시스템과 간섭하지 않고 확실하고 또한 용이하게 행할 수 있다.
또한, 승강 궤도가, 작업자용 통로의 직상에 마련되는 구성에서는, 통상, 작업자용 통로에는 장치 등이 놓여지지 않으므로, 이 작업자용 통로를 이용함으로써, 크레인의 반출 및 반입을 용이하게 행할 수 있다. 또한, 승강 궤도를 매달아 보지하는 현수 부재와, 현수 부재를 감거나 또는 풂으로써 승강 궤도를 승강시키는 승강 궤도 구동부를 구비하는 구성에서는, 현수 부재 및 승강 궤도 구동부에 의해, 승강 궤도를 용이하게 승강시킬 수 있다. 또한, 천장 스토커와 천장 반송차 시스템과의 사이에서 상하 방향으로 물품을 반송하는 반송 장치를 구비하고, 승강 궤도의 직하에는, 천장 반송차 및 반송 장치 모두가 물품을 전달 가능한 재치부가 마련되고, 재치부가, 승강 궤도의 직하로부터 퇴피 가능한 구성에서는, 승강 궤도를 하강시키는 경우에 승강 궤도의 직하로부터 재치부를 퇴피시킴으로써, 반출 및 반입되는 크레인과 재치부가 간섭하는 것을 회피하면서, 천장 반송차와 반송 장치가 물품을 전달하는 장소를 늘릴 수 있다. 또한, 재치부가, 한 쌍의 다른 재치부의 사이에 걸쳐져 배치되고, 천장 반송차가, 다른 재치부와의 사이에서 물품을 전달 가능한 구성에서는, 퇴피시키는 재치부에 있어서 천장으로부터의 현수 부재 또는 바닥면으로부터의 지지 부재가 없으므로, 이 재치부를 승강 궤도의 직하로부터 용이하게 퇴피시킬 수 있다.
도 1은 제 1 실시 형태에 따른 보관 시스템의 일례를 X 방향에서 본 도이다.
도 2는 도 1에 나타내는 보관 시스템의 일례를 Y 방향에서 본 도이다.
도 3은 도 1에 나타내는 보관 시스템을 평면에서 봤을 때 모식적으로 나타낸 도이다.
도 4는 승강 궤도의 동작의 일례를 나타내고, (A)는 승강 궤도의 하강 전의 상태를 나타내는 도, (B)는 승강 궤도의 하강 시의 상태를 나타내는 도이다.
도 5는 크레인을 반출하는 동작의 일례를 나타내고, 크레인이 승강 궤도에 배치된 상태를 나타내는 도이다.
도 6은 도 5에 이어, 재치부를 퇴피한 상태를 나타내는 도이다.
도 7은 도 6에 이어, 승강 궤도를 하강시킨 상태를 나타내는 도이다.
도 8은 도 7에 이어, 크레인 반송 대차를 승강 궤도에 접속하는 상태를 나타내는 도이다.
도 9는 도 8에 이어, 크레인을 크레인 반송 대차로 이동 재치한 상태를 나타내는 도이다.
도 10은 도 9에 이어, 승강 궤도를 상승시키는 상태를 나타내는 도이다.
도 11은 제 2 실시 형태에 따른 보관 시스템의 일례를 Y 방향에서 본 도이다.
도 12는 도 11에 나타내는 보관 시스템을 평면에서 봤을 때 모식적으로 나타낸 도이다.
이하, 실시 형태에 대하여 도면을 참조하여 설명한다. 단, 본 발명은 이하에 설명하는 실시 형태에 한정되지 않는다. 또한, 도면에 있어서는 실시 형태를 설명하기 위하여, 일부분을 크게 또는 강조하여 기재하는 등, 적절히 축척을 변경하여 표현하고 있다. 이하의 각 도면에 있어서는, XYZ 좌표계에 의해 도면 중의 방향을 설명한다. 이 XYZ 좌표계에서는, 연직 방향을 Z 방향이라 하고, 수평 방향을 X 방향, Y 방향이라 한다. Y 방향은, 수평 방향 내에 있어서의 일방향이다. X 방향은, Y 방향과 직교하는 방향이다. 또한, X, Y, Z 방향의 각 방향에 대하여, 적절히, 화살표가 가리키는 방향을 + 방향(예를 들면, +X 방향)이라 표현하고, 화살표가 가리키는 방향과는 반대 방향을 - 방향(예를 들면, -X 방향)이라 표현한다.
[제 1 실시 형태]
도 1은 제 1 실시 형태에 따른 보관 시스템(SYS)의 일례를 X 방향에서 본 도이다. 도 2는 보관 시스템(SYS)을 Y 방향에서 본 도이다. 도 3은 보관 시스템(SYS)을 평면에서 봤을 때 모식적으로 나타낸 도이다. 또한 도 3에서는, 도면을 판별하기 쉽게 하기 위하여, 물품(2)을 해칭으로 나타내고 있다.
도 1에서 도 3에 나타내는 보관 시스템(SYS)은, 예를 들면, 반도체 디바이스의 제조 공장 등에 마련되고, 반도체 디바이스의 제조에 이용되는 반도체 웨이퍼를 수용한 FOUP, 또는 레티클을 수용한 레티클 포드 등의 물품(2)을 보관한다. 본 실시 형태에서는, 물품(2)이 FOUP인 예를 설명하지만, 물품(2)은, FOUP 이외여도 된다. 또한, 보관 시스템(SYS)은, 반도체 제조 분야 이외의 설비에 적용 가능하며, 물품(2)은, 보관 시스템(SYS)에서 보관 가능한 다른 물품이라도 된다.
보관 시스템(SYS)은, 도 1에서 도 3에 나타내는 바와 같이, 천장 스토커(100)와, 천장 반송차 시스템(200)과, 반송 장치(300)를 구비한다. 천장 스토커(100)는, 복수의 보관부(11)를 구비하는 선반(10)과, 제 1 천장 궤도(20)와, 크레인(40)을 구비한다. 선반(10)은, 평면에서 봤을 때, 크레인(40)이 주행하는 제 1 천장 궤도(20)를 따라 배치된다(도 3 참조). 또한, 선반(10)에 구비하는 복수의 보관부(11)는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 프레임(13)에 마련되어, 상하 방향(Z 방향)으로 3 단 배치되어 있다. 또한, 보관부(11)의 단수는 임의로 설정할 수 있다. 또한, 복수의 보관부(11)는, 후술하는 크레인(40)의 주행 방향(Y 방향)을 따라 복수 배열되어 배치된다.
복수의 보관부(11)는, 물품(2)을 재치하는 선반판(11a)을 구비하고 있다. 각 선반판(11a)은, 프레임(13)에 보지되어 있다. 이하의 설명에 있어서, 보관부(11)에 물품(2)을 두는 것은, 보관부(11)의 선반판(11a)에 물품(2)을 두는 것을 의미한다. 또한 보관부(11)의 선반판(11a)에는, 각각 물품(2)을 재치했을 시에 물품(2)의 저면에 마련된 홈부에 들어가는 복수의 핀이 마련되어도 된다. 이 핀이 물품(2)의 홈부에 들어감으로써, 물품(2)은, 보관부(11)(선반판(11a))에 대하여 위치 결정된다.
선반(10)은, 프레임(13)에 의해 시스템 천장(SC1)으로부터 매달려 있다. 시스템 천장(SC1)은, 매달기 부재(3)에 의해 건물의 천장(C)으로부터 매달려 있다. 또한 프레임(13)은, 시스템 천장(SC1)으로부터 매달리는 것 대신에, 천장(C)으로부터 직접 매달려도 된다. 선반(10)의 하단은, 바닥면(F)으로부터의 처리 장치(TL)의 상단의 높이보다 높게 되도록 설정되어 있다. 처리 장치(TL)는, 예를 들면, 물품(2)인 FOUP에 수용되어 있는 반도체 웨이퍼에 대하여 제막 처리 또는 에칭 처리 등의 각종 처리를 행한다. 또한, 후술하는 크레인(40)의 하단의 높이도 처리 장치(TL)의 상단의 높이보다 높게 되도록 설정되어 있다. 즉, 천장 스토커(100)는, 처리 장치(TL)의 상단보다 상방에 배치되어 있다. 또한 크레인(40)의 하단은, 작업자 등이 바닥면(F)을 지장 없이 통행하는 것이 가능한 높이로 설정된다. 그 결과, 천장 스토커(100)의 하방의 공간의 일부를, 작업자용 통로(PS)로서 이용 가능하게 된다.
보관부(11)는, 크레인(40)에 의해 물품(2)이 재치되고, 또한, 물품(2)이 취출된다. 또한, 보관부(11) 중 일부는, 후술하는 상측 천장 반송차(60)에 의해 물품(2)이 재치되고, 또한 물품(2)이 취출된다. 상측 천장 반송차(60)에 의해 물품(2)이 전달되는 보관부(11)는, 선반(10) 중 최상단의 보관부(11)이다. 보관부(11)의 상하 치수(선반판(11a)의 상면으로부터 상방의 보관부(11)의 선반판(11a)의 하면까지의 치수)는, 후술하는 크레인(40)의 이동 재치 장치(42)가 물품(2)을 하면측으로부터 지지하여 들어올리기 위하여 필요한 치수로 설정된다. 크레인(40)의 이동 재치 장치(42)는, 예를 들면, 물품(2)을 하면측으로부터 지지하여 들어올리는 구성이 채용되어 있어, 물품(2)의 상방에 큰 스페이스를 필요로 하지 않는다. 예를 들면, 보관부(11)의 상하 치수는, 물품(2)의 상하 치수에 수 센치 더하는 정도의 치수로 하는 것도 가능하다.
제 1 천장 궤도(20)는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 시스템 천장(SC1)으로부터 매달기 부재(5)에 의해 매달려도 있다. 또한 제 1 천장 궤도(20)는, 시스템 천장(SC1)으로부터 매달리는 것 대신에, 천장(C)으로부터 직접 매달려도 된다. 제 1 천장 궤도(20)는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 천장 반송차 시스템(200)의 제 2 천장 궤도(30)보다 바닥면(F)으로부터의 높이가 높다.
제 1 천장 궤도(20)는, 도 3에 나타내는 바와 같이, 직선부(21, 22)와, 곡선부(23)를 가지는 주회 궤도이다. 크레인(40)은, 직선부(21, 22) 및 곡선부(23)를 따라 일방향(예를 들면 평면에서 봤을 때 반시계 방향의 방향)으로 주회 주행하는 것이 가능하다. 직선부(21)는, 도 3에 있어서 Y 방향을 따라 배치된다. 직선부(22)는, 도 3에 있어서 X 방향을 따라 배치된다. 직선부(21)와 직선부(22)는 서로 직교하는 방향으로 각각 연장된다. 곡선부(23)는, 직선부(21)와 직선부(22)를 접속한다. 제 1 천장 궤도(20)는, 평면에서 봤을 때, 주회 궤도인 제 1 천장 궤도(20)의 내측에 분기부(24)가 마련된다. 분기부(24)는, 2 개의 직선부(22)끼리를 접속한다.
상기한 선반(10)은, 직선부(22)의 +Y측 및 -Y측에 마련된다. 또한, 선반(10)은, 분기부(24)의 +X측 및 -X측에 마련된다. 이들 선반(10)은, 처리 장치(TL)의 상방에 배치되어 있다. 처리 장치(TL)의 상방은, 천장 반송차 시스템(200)의 제 2 천장 궤도(30)가 마련되지 않으므로, 이러한 데드 스페이스에 선반(10)을 배치함으로써, 건물 내의 공간을 유효하게 이용할 수 있다.
또한, 제 1 천장 궤도(20)는, 평면에서 봤을 때 제 2 천장 궤도(30)로부터 벗어난 부분(제 2 천장 궤도(30)와 중첩되지 않는 위치)에, 승강 궤도(25)를 가진다. 도 4는 승강 궤도의 동작의 일례를 나타내며, (A)는 승강 궤도의 하강 전의 상태를 나타내는 도, (B)는 승강 궤도의 하강 시의 상태를 나타내는 도이다. 도 4에 나타내는 바와 같이, 제 1 천장 궤도(20)의 직선부(21)는, 후술하는 승강 궤도(25)에 대응하는 구간이 노치되어 있다. 직선부(21)는, 노치 부분에 있어서 서로 대향하는 단부(21a)와 단부(21b)를 구비한다. 이 노치 부분(단부(21a) 및 단부(21b))은, 후술하는 재치부(14)의 직상이다(도 3 참조). 승강 궤도(25)는, 도 4에 나타내는 바와 같이, 하우징부(26)와, 현수 부재(27)와, 승강 궤도 구동부(28)를 구비한다. 하우징부(26)는, 직선부(21)의 단부(21a)와 단부(21b)와의 사이에 걸쳐지고, 단부(21a)와 단부(21b)와의 사이를 상방으로부터 덮은 상태로 배치된다. 하우징부(26)는, 매달기 부재 등에 의해 천장(C)에 지지되지만(도 1 참조), 시스템 천장(SC1) 또는 제 1 천장 궤도(20)에 지지되어도 된다.
하우징부(26)는, 현수 부재(27) 및 승강 궤도 구동부(28)를 개재하여 승강 궤도(25)를 지지한다. 승강 궤도(25)는, 직선 형상이며, 제 1 천장 궤도(20)의 직선부(21)의 일부에 마련된다. 즉, 승강 궤도(25)는, 주회 궤도인 제 1 천장 궤도(20)를 구성하는 직선부(21)의 일부로서 마련되어 있다. 승강 궤도(25)는, 가장 상승했을 때에 단부(21a)와 단부(21b)와의 사이에 배치되고, 단부(21a) 및 단부(21b)의 쌍방에 접속된다. 승강 궤도(25)는, 직선 방향의 치수가, 예를 들면, 크레인(40)에 구비하는 2 대의 주행부(41)의 전체가 그 승강 궤도(25) 내에 들어가도록 설정된다.
현수 부재(27)는, 예를 들면 와이어, 벨트 등이며, 승강 궤도(25)를 매달아 보지한다. 현수 부재(27)는, 승강 궤도(25)의 직선 방향으로 복수, 예를 들면 2 개 배열되어 배치된다. 현수 부재(27)는, 승강 궤도 구동부(28)에 의해 감겨 보지된다. 현수 부재(27)는, 승강 궤도(25)를 하강시켰을 때에, 바닥면(F)에 가까운 정해진 높이까지 하강시키는 것이 가능한 길이를 가진다.
승강 궤도 구동부(28)는, 하우징부(26)에 보지되어, 현수 부재(27)의 감기 및 풀기를 행함으로써 승강 궤도(25)를 승강시킨다. 승강 궤도 구동부(28)는, 예를 들면 모터 장치 등의 미도시의 구동원과, 현수 부재(27)를 감는 회전 가능한 미도시의 권취축과, 구동원의 구동력을 권취축으로 전달하는 미도시의 전달 기구를 가진다. 승강 궤도 구동부(28)는, 구동원의 구동력이 권취축으로 전달됨으로써 권취축을 회전시켜, 현수 부재(27)의 감기 및 풀기를 행한다. 또한 승강 궤도 구동부(28)의 동작은, 미도시의 제어 장치 등에 의해 제어된다.
승강 궤도(25)는, 주행을 정지하고 있는 크레인(40)을 지지하여 하강 가능(승강 가능)하다. 도 3에 나타내는 바와 같이, 평면에서 봤을 때, 승강 궤도(25)가 제 2 천장 궤도(30)로부터 벗어나 있으므로, 승강 궤도(25)에 크레인(40)이 정지한 상태에서, 승강 궤도(25)를 승강시킴으로써, 천장 반송차 시스템(200)과 간섭하지 않고 크레인(40)을 승강시킬 수 있다. 또한, 승강 궤도(25)는, 작업자용 통로(PS)의 직상에 배치된다. 이 작업자용 통로(PS)는, 평면에서 봤을 때 제 2 천장 궤도(30)의 직하로부터 벗어나 마련되어 있다. 작업자용 통로(PS)는, 작업자의 통행을 가능하게 하기 위하여 처리 장치(TL) 및 처리 장치(TL)의 로드 포트(LP) 등의 각종 장치, 기기 등이 설치되어 있지 않은 영역이다. 이 때문에, 메인터넌스 시 등에 이 작업자용 통로(PS)를 일시적으로 이용함으로써, 크레인(40)을 바닥면(F)의 근방까지 확실하게 내리는 것이 가능해진다. 또한, 승강 궤도(25)를 승강시키는 구성은, 상기한 구성에 한정되지 않고, 승강 궤도(25)를 승강시키는 임의의 구성을 적용 가능하다.
크레인(40)은, 도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 물품(2)을 보지하고, 제 1 천장 궤도(20)를 주행하여 이동한다. 크레인(40)은, 보관부(11)와 다른 보관부(11)와의 사이에서 물품(2)을 반송한다. 또한, 1 개의 제 1 천장 궤도(20)에 배치되는 크레인(40)은, 1 대에 한정되지 않는다. 예를 들면, 1 개의 제 1 천장 궤도(20)에 2 대 이상의 크레인(40)이 배치되어도 된다. 크레인(40)은, 도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 제 1 천장 궤도(20)로부터 매달려 있다.
크레인(40)은, 2 대의 주행부(41)와, 이동 재치 장치(42)를 구비한다. 주행부(41)의 하방에는, 장착부(46)를 개재하여 상부 지지부(47)가 장착되고, 상부 지지부(47)에 의해 2 대의 주행부(41)가 연결되어 있다. 각 주행부(41)는, 미도시의 주행 구동부 및 복수의 차륜(41a)을 구비하고, 제 1 천장 궤도(20)를 따라 주행한다. 주행부(41)가 구비하는 미도시의 주행 구동부는, 예를 들면, 주행부(41)에 구비되어 차륜(41a)을 구동하는 전동 모터여도 되며, 리니어 모터여도 된다. 또한 본 실시 형태의 크레인(40)에서는, 2 대의 주행부(41)를 구비하고 있음으로써, 중량물인 이동 재치 장치(42) 및 물품(2)을 확실하게 지지할 수 있다. 또한 크레인(40)은, 2 대의 주행부(41)를 구비하는 구성에 한정되지 않고, 1 대 또는 3 대 이상의 주행부(41)를 구비해도 된다.
이동 재치 장치(42)는, 마스트(43)와, 승강대(44)와, 승강 구동부(45)와, 신축부(48)와, 재치대(49)를 구비한다. 마스트(43)는, 상부 지지부(47)로부터 매달린 상태로 상하 방향으로 연장된다. 마스트(43)는, 주행부(41)의 주행 방향의 전후에 각각 1 개씩 마련되어 있다. 또한 마스트(43)는, 합계 2 개인 것에 한정되지 않고, 1 개여도 된다. 마스트(43)는, 상기한 바와 같이, 마스트(43)의 하단의 바닥면(F)으로부터의 높이가 처리 장치(TL)의 상단의 높이보다 높게 되도록 마련되어 있다. 예를 들면, 마스트(43)의 하단이 크레인(40)의 하단이다.
신축부(48)는, 주행부(41)의 주행 방향과 직교하는 방향으로 신축 가능한 복수의 암에 의해 구성되어 있다. 재치대(49)는, 신축부(48)의 선단에 마련되어 있다. 재치대(49)는, 물품(2)을 재치 가능한 삼각형 형상의 판 형상 부재이다. 재치대(49)는, 그 재치대(49)에 재치된 물품(2)을 하측으로부터 지지함으로써 보지한다. 재치대(49)의 상면에는, 물품(2)의 저면에 구비하는 홈부에 삽입하여 물품(2)을 위치 결정하는 핀이 마련되어 있다. 또한 상기한 보관부(11)의 선반판(11a)에는, 재치대(49)가 상하 방향으로 통과 가능한 미도시의 노치가 마련되어 있다.
이동 재치 장치(42)는, 보관부(11)로부터 물품(2)을 수취할 시, 신축부(48)를 늘려 재치대(49)를 물품(2)의 하방에 위치시키고 승강대(44)를 상승시킴으로써, 재치대(49)로 물품(2)을 퍼올린다. 이동 재치 장치(42)는, 재치대(49)에 물품(2)을 재치한 채로 신축부(48)를 줄임으로써, 물품(2)을 재치한 재치대(49)를 승강대(44)의 상방에 배치시킨다. 또한, 이동 재치 장치(42)에 의해 물품(2)을 보관부(11)로 전달할 시에는, 상기의 반대의 동작에 의해 행한다. 또한 이동 재치 장치(42)는, 상기한 구성에 한정되지 않으며, 예를 들면 물품(2)의 일부(예를 들면, FOUP의 상부에 마련된 플랜지부(2a))를 보지하여 들어올리는 구성 등, 다른 구성이어도 된다.
2 대의 승강 구동부(45)는, 예를 들면, 호이스트이며, 마스트(43)를 따라 승강대(44)를 승강시킨다. 각 승강 구동부(45)는, 현수 부재(45a) 및 미도시의 구동부를 구비한다. 현수 부재(45a)는, 예를 들면, 벨트 또는 와이어 등이며, 승강대(44)는, 이 현수 부재(45a)에 의해 상부 지지부(47)로부터 매달려 있다. 승강 구동부(45)가 구비하는 미도시의 구동부는, 예를 들면 상부 지지부(47)에 마련되고, 현수 부재(45a)의 풀기, 감기를 행한다. 승강대(44)는, 승강 구동부(45)가 구비하는 미도시의 구동부가 현수 부재(45a)를 풀면, 마스트(43)로 안내되어 하강한다. 또한, 승강대(44)는, 승강 구동부(45)가 구비하는 미도시의 구동부가 현수 부재(45a)를 감으면, 마스트(43)로 안내되어 상승한다. 승강 구동부(45)는, 미도시의 제어 장치 등에 의해 제어되어, 정해진 속도로 승강대(44)를 하강 또는 상승시킨다. 또한, 승강 구동부(45)는, 미도시의 제어 장치 등에 의해 제어되어, 승강대(44)를 목표의 높이로 보지한다.
승강 구동부(45)는, 상부 지지부(47)에 마련된다. 또한 승강 구동부(45)는, 상부 지지부(47)에 마련되는 것 대신에, 예를 들면, 승강대(44)에 마련되어도 된다. 승강대(44)에 승강 구동부(45)가 마련되는 구성으로서는, 예를 들면, 상부 지지부(47)로부터 매단 벨트 또는 와이어 등을 승강대(44)에 탑재한 호이스트에 의해 감아올림 및 풀기를 행하여 승강대(44)를 승강시키는 구성이어도 된다. 또한, 승강대(44)에 피니언 기어를 구동하는 전동 모터 등이 탑재되고, 이 피니언 기어가 서로 맞물리는 랙이 마스트(43)에 형성되어, 전동 모터 등에 의해 피니언 기어를 회전시킴으로써 승강대(44)를 승강시키는 구성이어도 된다.
천장 반송차 시스템(200)은, 제 2 천장 궤도(30)와, 천장 반송차(50)를 구비한다. 천장 반송차(50)는, 제 2 천장 궤도(30)를 따라 주행하고, 제 2 천장 궤도(30)보다 하방에 배치된 정해진 이동 재치처인 처리 장치(TL)의 로드 포트(LP)에 대하여 물품(2)의 전달을 행한다. 제 2 천장 궤도(30)는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 시스템 천장(SC2)의 하면측에 장착된다. 시스템 천장(SC2)은, 천장(C)으로부터 매달기 부재(4)에 의해 매달려 있다. 또한 제 2 천장 궤도(30)는, 시스템 천장(SC2)으로부터 매달리는 것 대신에, 시스템 천장(SC1)으로부터 매달려도 되고, 천장(C)으로부터 직접 매달려도 된다.
제 2 천장 궤도(30)는, 도 3에 나타내는 바와 같이, 평면에서 봤을 때 인터 베이 루트(베이 간 궤도)(R1)와 인터 베이 루트(R2)와의 사이에 배치되어 있다. 제 2 천장 궤도(30)는, 베이 내(인트라 베이 내)에 각각 마련되어 있고, 인터 베이 루트(R1) 등은, 복수의 제 2 천장 궤도(30)를 접속하기 위하여 마련되어 있다. 본 실시 형태에 있어서, 베이(인트라 베이)란, 예를 들면, 평면에서 봤을 때, 복수의 처리 장치(TL)에 있어서의 로드 포트(LP)가 서로 대향하도록 마련되고, 서로 대향하도록 마련된 로드 포트(LP)의 사이에 작업자용 통로(PS)가 마련되어 있는 범위(영역)를 가리킨다. 제 2 천장 궤도(30)는, 인터 베이 루트(R1)로부터 진입용 또는 퇴출용의 2 개의 지선(S1)을 개재하여 접속되고, 인터 베이 루트(R2)로부터 진입용 또는 퇴출용의 2 개의 지선(S2)을 개재하여 접속되어 있다.
제 2 천장 궤도(30)는, 직선부(31)와, 접속부(32)를 가진다. 천장 반송차(50)는, 직선부(31) 및 접속부(32)를 따라 일방향(예를 들면 평면에서 봤을 때 시계 방향의 방향)으로 주회 주행한다. 직선부(31)는, 로드 포트(LP)의 직상에 있어서, 복수의 로드 포트(LP)를 따라 Y 방향으로 배치된다. 2 개의 직선부(31)는, 평면에서 봤을 때 제 1 천장 궤도(20)의 직선부(21)와 병행하도록(평행하게) 배치되어 있다. 접속부(32)는, 곡선부를 포함하여 +Y측 및 -Y측의 양단에 배치되고, 2 개의 직선부(31)끼리를 접속한다. 제 2 천장 궤도(30)는, 천장 스토커(100)의 크레인(40)(마스트(43)) 및 선반(10)보다 하방에 배치된다. 이 제 2 천장 궤도(30)를 주행하는 천장 반송차(50)는, 천장 스토커(100)보다 하방에 있어서 주행한다.
천장 반송차(50)는, 인터 베이 루트(R1, R2)에 대하여 지선(S1, S2)을 거쳐 제 2 천장 궤도(30)에 진입하고, 또는 제 2 천장 궤도(30)에 대하여 지선(S1, S2)을 개재하여 인터 베이 루트(R1, R2)로 퇴출한다. 천장 반송차(50)는, 제 2 천장 궤도(30)를 따라 주행하고, 직선부(31)에 있어서 처리 장치(TL)의 로드 포트(LP)와, 후술하는 재치부(14)와의 사이에서 물품(2)의 이동 재치를 행한다.
제 2 천장 궤도(30)의 직선부(31)는, 정해진 간격(작업자용 통로(PS))을 두고 서로 대향하는 복수의 로드 포트(LP)의 직상을 따라 마련되어 있다. 본 실시 형태에서는, 로드 포트(LP)가, 1 대의 처리 장치(TL)에 있어서 4 개소 마련되어 있지만(도 3 참조), 이 형태에 한정되지 않는다. 예를 들면, 1 대의 처리 장치(TL)에 있어서 1 개소에서 3 개소의 로드 포트(LP)가 마련되어도 되고, 5 개소 이상의 로드 포트(LP)가 마련되어도 된다. 단, 로드 포트(LP)에 재치 가능한 물품(2)의 수는 처리 장치(TL)마다 미리 정해져 있다. 제 2 천장 궤도(30)는, 로드 포트(LP)의 직상에 마련되어 있고, 제 2 천장 궤도(30)를 주행하는 천장 반송차(50)가 정지하여 물품(2)을 승강시키는 것만으로 로드 포트(LP)와의 사이에서 물품(2)의 전달을 행하고, 후술하는 재치부(14)(전달 포트(12))에 대해서는 파지부(53)를 횡으로 돌출시켜(횡이동 재치에 의해) 물품(2)의 전달을 행한다.
천장 반송차(50)는, 도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 주행부(51)와, 본체부(52)를 가진다. 주행부(51)는, 미도시의 주행 구동부 및 복수의 차륜(51a)을 구비하고, 제 2 천장 궤도(30)를 따라 주행한다. 주행부(51)가 구비하는 미도시의 주행 구동부는, 예를 들면, 주행부(51)에 구비되어 차륜(51a)을 구동하는 전동 모터여도 되고, 리니어 모터여도 된다.
본체부(52)는, 장착부(52a)를 개재하여 주행부(51)의 하부에 장착되어 있다. 본체부(52)는, 물품(2)을 보지하는 파지부(53)와, 파지부(53)를 매달아 승강시키는 승강 구동부(54)와, 승강 구동부(54)를 궤도의 측방으로 이동시키는 횡돌출 기구(55)를 가진다. 파지부(53)는, 물품(2)의 플랜지부(2a)를 상방으로부터 잡아 파지함으로써, 물품(2)을 매달아 보지한다. 파지부(53)는, 예를 들면, 수평 방향으로 진퇴 가능한 복수의 클로부를 가지는 척이며, 클로부를 물품(2)의 플랜지부(2a)의 하방으로 진입시키고, 파지부(53)를 상승시킴으로써 물품(2)을 매달아 보지한다. 파지부(53)는, 와이어 또는 벨트 등의 현수 부재와 접속되어 있다. 파지부(53)는, 승강 구동부(54)로부터 매달리고, 그 승강 구동부(54)에 의해 승강된다.
승강 구동부(54)는, 예를 들면 호이스트이며, 현수 부재를 풂으로써 파지부(53)를 하강시키고, 현수 부재를 감음으로써 파지부(53)를 상승시킨다. 승강 구동부(54)는, 미도시의 제어 장치 등에 의해 제어되어, 정해진 속도로 파지부(53)를 하강 또는 상승시킨다. 또한, 승강 구동부(54)는, 미도시의 제어 장치 등에 의해 제어되어, 파지부(53)를 목표의 높이로 보지한다.
횡돌출 기구(55)는, 예를 들면 상하 방향으로 중첩되어 배치된 가동판을 가진다. 가동판은, 주행부(51)의 주행 방향의 측방(주행 방향에 직교하는 방향, 횡방향)으로 이동 가능하다. 가동판에는, 승강 구동부(54)가 장착되어 있다. 본체부(52)는, 횡돌출 기구(55)를 안내하는 미도시의 가이드, 및 횡돌출 기구(55)를 구동하는 미도시의 구동부 등을 가진다. 횡돌출 기구(55)는, 전동 모터 등의 구동부로부터의 구동력에 의해, 승강 구동부(54) 및 파지부(53)를 돌출 위치와 저장 위치와의 사이에서 이동시킨다. 돌출 위치는, 파지부(53)가 본체부(52)로부터 측방으로 돌출하는 위치이다. 저장 위치는, 본체부(52) 내에 파지부(53)를 저장하는 위치이다. 또한, 승강 구동부(54) 또는 파지부(53)를 상하 방향의 축 둘레로 회전시키기 위한 회전 기구가 마련되어도 된다.
천장 반송차(50)는, 상기와 같이 승강 구동부(54)에 의해 파지부(53)(물품(2))를 승강시켜, 로드 포트(LP)와의 사이에서 물품(2)의 전달을 행한다. 또한, 천장 반송차(50)는, 횡돌출 기구(55)에 의해 승강 구동부(54)(파지부(53))를 복수의 재치부(14)(전달 포트(12)를 포함함) 중 어느 하나의 상방으로 이동시킨 상태에서, 승강 구동부(54)에 의해 파지부(53)(물품(2))를 승강시켜, 그 재치부(14)와의 사이에서 물품(2)을 전달하는 것이 가능하다.
반송 장치(300)는, 천장 스토커(100)와 천장 반송차 시스템(200)과의 사이에서 상하 방향으로 물품(2)을 반송한다. 본 실시 형태에서는, 반송 장치(300)는, 상측 천장 반송차(60)이다. 또한, 보관 시스템(SYS)은, 천장 반송차 시스템(200)과 반송 장치(300)(상측 천장 반송차(60))와의 사이에서 물품을 전달하기 위한 전달 포트(12)를 구비한다. 전달 포트(12)는, 물품(2)을 재치 가능한 재치부(14)의 일부이다. 전달 포트(12)에는, 복수의 물품(2)을 재치 가능하다. 전달 포트(12)는, 상측 천장 반송차(60)가 주행하는 제 1 천장 궤도(20)의 직선부(21)의 하방에 배치된다. 또한, 전달 포트(12)는, 제 2 천장 궤도(30)에 대하여 횡방향 또한 하방에 배치된다. 그 결과, 상기와 같이, 천장 반송차(50)는 전달 포트(12)에 대하여 횡이동 재치에 의해 물품(2)의 전달이 가능하다.
재치부(14)는, 평면에서 봤을 때, 주회 궤도인 제 2 천장 궤도(30)의 내측에 배치되고, Y 방향을 따라 직선 형상으로 마련된다. 재치부(14)는, 물품(2)을 예를 들면 1 열로 배열하여 재치 가능하다. 재치부(14)는, 고정부(14a)와, 전달 포트(12)인 착탈부(14b)를 가진다. 착탈부(14b)는, 승강 궤도(25)의 직하에 마련된다. 고정부(14a)는, 재치부(14)의 일부인 착탈부(14b)(전달 포트(12))에 대하여, 한 쌍의 다른 재치부(14)이다. 고정부(14a)는, 예를 들면 판 형상의 부재 또는 2 개의 빔 형상의 부재이며, 시스템 천장(SC2)으로부터 매달려, 판 형상의 부재 상 또는 2 개의 빔 형상의 부재 상에 물품(2)이 재치된다. 한 쌍의 고정부(14a)는, 승강 궤도(25)의 직하에 위치하는 부분에 간극을 두고 배치된다. 간극의 치수, 즉 한 쌍의 고정부(14a)끼리의 간격은, 승강 궤도(25)(및 크레인(40))가 상하 방향으로 통과 가능한 치수로 설정된다. 고정부(14a)는, 간극을 사이에 두고 대향하는 단부에, 착탈부(14b)를 연결하기 위한 연결부(14d)를 가진다. 또한 고정부(14a)는, 물품(2)을 재치 가능하며, 천장 반송차(50)에 의해 물품(2)을 전달 가능한 버퍼이다.
재치부(14) 중 착탈부(14b)는, 천장 반송차 시스템(200)의 천장 반송차(50), 및 반송 장치(300)인 상측 천장 반송차(60) 모두가 물품(2)을 전달 가능하다. 이 착탈부(14b)는, 천장 반송차(50)와 상측 천장 반송차(60)(반송 장치(300))와의 사이에서 물품(2)을 전달하기 위한 전달 포트(12)이다. 착탈부(14b)는, 고정부(14a)와 마찬가지로 판 형상의 부재 또는 2 개의 빔 형상의 부재이다. 착탈부(14b)는, 승강 궤도(25)의 직하에 있어서, 고정부(14a)의 사이에 걸쳐져 배치된다. 착탈부(14b)는, 긴 방향의 양측의 단부가 고정부(14a)의 양측의 연결부(14d)에 각각 연결되어 보지된다. 이 구성에 의해, 착탈부(14b)는, 천장(C) 또는 시스템 천장(SC2) 등으로부터의 현수 부재, 바닥면(F)으로부터의 지지 부재가 불필요해져, 현수 부재 등이 천장 반송차(50) 또는 상측 천장 반송차(60)의 주행, 또는 크레인(40)(승강 궤도(25))의 승강의 지장이 되는 것 등을 회피하면서, 착탈부(14b)를 용이하게 착탈시킬 수 있다. 착탈부(14b)는, 고정부(14a)의 연결부(14d)로부터 분리됨으로써, 승강 궤도(25)의 직하로부터 퇴피 가능하다.
상측 천장 반송차(60)는, 천장 스토커(100)와, 전달 포트(12)(재치부(14) 중 착탈부(14b))와의 사이에서 상하 방향으로 물품(2)을 반송한다. 상측 천장 반송차(60)는, 제 2 주행부(61)와, 제 2 본체부(62)를 가진다. 제 2 주행부(61)는, 크레인(40)의 주행부(41)와 동일한 구성이 적용되어 있고, 미도시의 주행 구동부 및 복수의 차륜(61a)을 구비하고, 제 1 천장 궤도(20)를 따라 주행한다. 제 2 본체부(62)는, 부착부(62a)를 개재하여 제 2 주행부(61)의 하부에 장착되어 있다. 제 2 본체부(62)는, 물품(2)을 보지하는 제 2 파지부(63)와, 제 2 파지부(63)를 매달아 승강시키는 제 2 승강 구동부(64)와, 제 2 승강 구동부(64)를 궤도의 측방으로 이동시키는 제 2 횡돌출 기구(65)를 가진다.
이들 제 2 주행부(61), 제 2 본체부(62), 제 2 파지부(63), 제 2 승강 구동부(64) 및 제 2 횡돌출 기구(65)는, 상기한 천장 반송차(50)의 주행부(51), 본체부(52), 파지부(53), 승강 구동부(54) 및 횡돌출 기구(55)와 동일한 구성이 적용된다. 따라서, 상측 천장 반송차(60)는, 천장 반송차 시스템(200)의 천장 반송차(50)를 그대로 적용 가능하다. 또한, 상측 천장 반송차(60)는, 제 1 천장 궤도(20)를 주행하므로 별도 궤도를 마련할 필요가 없어, 보관 시스템(SYS)의 제조 코스트를 저감시킬 수 있다.
상측 천장 반송차(60)는, 제 2 승강 구동부(64)에 의해 제 2 파지부(63)(물품(2))를 승강시켜, 전달 포트(12)인 재치부(14)의 착탈부(14b)와의 사이에서 물품(2)을 전달 가능하다. 또한, 상측 천장 반송차(60)는, 제 2 횡돌출 기구(65)에 의해 제 2 승강 구동부(64)를 복수 단의 보관부(11) 중 하나의 보관부(11)의 상방으로 이동시킨 상태에서, 제 2 승강 구동부(64)에 의해 제 2 파지부(63)(물품(2))를 승강시켜, 제 2 승강 구동부(64)의 하방에 존재하는 보관부(11)와의 사이에서 물품(2)을 전달 가능하다. 본 실시 형태에서는, 상측 천장 반송차(60)는, 선반(10) 중 최상단의 보관부(11)와의 사이에서 물품(2)을 전달 가능하다. 또한, 상측 천장 반송차(60)와의 전달 대상의 보관부(11)가 최상단 이외의 보관부(11)여도 된다. 또한, 반송 장치(300)는, 상측 천장 반송차(60)인 것에 한정되지 않고, 예를 들면, 컨베이어 장치 등, 물품(2)을 보관부(11)와 전달 포트(12)와의 사이에서 반송 가능한 다른 장치여도 된다.
도 3에 나타내는 바와 같이, 본 실시 형태에서는, 선반(10)의 일부와, 정해진 이동 재치처인 처리 장치(TL)의 로드 포트(LP)가, 평면에서 봤을 때 중첩되어 있다. 따라서, 선반(10)을 로드 포트(LP)의 상방까지 수평 방향으로 확장할 수 있어, 많은 물품(2)을 보관할 수 있다. 또한, 선반(10)은, 천장 반송차 시스템(200)의 제 2 천장 궤도(30)의 배치에 관계없이, 선반(10)을 마련할 수 있으므로, 선반(10)의 배치의 자유도가 높아, 물품(2)의 수납 효율이 좋은 선반(10)의 배치를 용이하게 실현할 수 있다.
또한, 보관 시스템(SYS)은, 미도시의 제어 장치를 가진다. 이 미도시의 제어 장치는, 보관 시스템(SYS)을 통괄하여 제어한다. 미도시의 제어 장치는, 무선 또는 유선에 의한 통신에 의해 크레인(40), 천장 반송차(50) 및 상측 천장 반송차(60)의 동작을 제어한다. 또한 미도시의 제어 장치는, 크레인(40)을 제어하는 제어 장치와, 천장 반송차(50)를 제어하는 제어 장치와, 상측 천장 반송차(60)를 제어하는 제어 장치로 분할되어도 된다.
보관 시스템(SYS)에 있어서 보관부(11)로부터 로드 포트(LP)로 물품(2)을 반송하는 경우, 미도시의 제어 장치는, 상측 천장 반송차(60)(반송 장치(300))를 제어하여, 최상단의 보관부(11)로부터 반송 대상의 물품(2)을 수취하고, 지정된 전달 포트(12)로 물품(2)을 전달하도록 지시한다. 반송 대상의 물품(2)이 최상단 이외의 보관부(11)에 있는 경우, 천장 스토커(100)의 크레인(40)은, 반송 대상의 물품(2)을 선반(10)에 있어서의 최상단의 보관부(11)로 이동 재치한다.
이어서, 상측 천장 반송차(60)는, 제 1 천장 궤도(20)를 따라 주행하고, 반송 대상의 물품(2)이 재치된 보관부(11)의 측방에 정지하여, 제 2 횡돌출 기구(65)를 돌출시킨 후에 제 2 승강 구동부(64)에 의해 제 2 파지부(63)를 하강시켜, 제 2 파지부(63)에 의해 물품(2)을 파지한다. 이어서, 상측 천장 반송차(60)는, 제 2 승강 구동부(64)에 의해 제 2 파지부(63)를 상승시킨 후, 제 2 횡돌출 기구(65)를 수축시켜 제 2 파지부(63)를 저장 위치로 되돌림으로써, 물품(2)을 제 2 본체부(62) 내에 수용한다.
이어서, 상측 천장 반송차(60)는, 제 2 파지부(63)에 의해 물품(2)을 보지하여 제 1 천장 궤도(20)를 따라 주행하고, 지정된 전달 포트(12)(착탈부(14b))의 직상에서 정지한다. 이어서, 상측 천장 반송차(60)는, 제 2 승강 구동부(64)를 구동하여 제 2 파지부(63) 및 물품(2)을 하강시켜, 물품(2)을 전달 포트(12)에 재치시킨 후에 제 2 파지부(63)에 의한 파지를 해제함으로써 물품(2)을 전달 포트(12)로 전달한다.
이어서, 미도시의 제어 장치는, 천장 반송차 시스템(200)의 천장 반송차(50)를 제어하여, 전달 포트(12)로부터 물품(2)을 수취하고, 지정된 로드 포트(LP)로 물품(2)을 전달하도록 지시한다. 천장 반송차(50)는, 제 2 천장 궤도(30)를 따라 주행하고, 물품(2)이 재치된 전달 포트(12)의 측방에 정지하여, 횡돌출 기구(55)를 돌출시킨 후에 승강 구동부(54)에 의해 파지부(53)를 하강시켜, 파지부(53)에 의해 물품(2)을 파지한다. 이 후, 천장 반송차(50)는, 승강 구동부(54)에 의해 파지부(53)를 상승시킨 후, 횡돌출 기구(55)를 수축시켜 파지부(53)를 저장 위치로 되돌림으로써, 물품(2)을 본체부(52) 내에 수용한다.
이어서, 천장 반송차(50)는, 파지부(53)에 의해 물품(2)을 보지하여 제 2 천장 궤도(30)를 따라 주행하고, 지정된 로드 포트(LP)의 직상에서 정지한다. 이어서, 천장 반송차(50)는, 승강 구동부(54)를 구동하여 파지부(53) 및 물품(2)을 하강시켜, 물품(2)을 로드 포트(LP)에 재치시킨 후에 파지부(53)에 의한 파지를 해제함으로써 물품(2)을 로드 포트(LP)로 전달한다. 이상의 일련의 동작에 의해, 물품(2)은, 보관부(11)로부터 로드 포트(LP)로 반송된다.
또한, 처리 장치(TL)의 로드 포트(LP)로부터 천장 스토커(100)의 보관부(11)로 물품(2)을 반송하는 경우에는, 상기한 일련의 동작의 반대의 동작을 행함으로써, 물품(2)은, 전달 포트(12)를 경유하여 처리 장치(TL)의 로드 포트(LP)로부터 천장 스토커(100)의 보관부(11)로 반송된다. 또한, 물품(2)의 이동 재치처가 로드 포트(LP) 이외여도 상기와 동일하며, 로드 포트(LP) 이외로부터 물품(2)을 받는 경우에 대해서도 상기와 동일하다.
도 5에서 도 10은, 보관 시스템(SYS)에 있어서 크레인(40)의 반출 동작의 일례를 나타내는 도이다. 제 1 천장 궤도(20)로부터 크레인(40)을 반출하는 경우, 먼저, 도 5에 나타내는 바와 같이, 반출 대상이 되는 크레인(40)을, 승강 궤도(25)에 배치한다. 이 경우, 크레인(40)은, 2 개의 주행부(41)가 승강 궤도(25) 내에 수용되는 위치까지 이동하여 정지한다. 크레인(40)의 정지 위치는, 미도시의 제어 장치에 의해 제어된다. 또한, 크레인(40)의 주행부(41)는, 차륜(41a)이 전동하지 않도록, 미도시의 브레이크 장치에 의해 차륜(41a)을 록해도 되며, 미도시의 주행 구동부에 의해 정지 위치에서 차륜(41a)을 보지시켜도 된다. 또한, 승강 궤도(25)의 직하의 착탈부(14b) 상에는 물품(2)이 재치되지 않도록, 미리, 천장 반송차(50) 또는 상측 천장 반송차(60)에 의해 착탈부(14b) 상의 물품(2)을 다른 재치부(14)(고정부(14a)) 또는 천장 스토커(100)의 보관부(11)로 반송해 둔다.
이어서, 도 6에 나타내는 바와 같이, 착탈부(14b)는, 고정부(14a)의 사이로부터 분리되어, 승강 궤도(25)의 직하로부터 퇴피된다. 착탈부(14b)의 분리 작업은, 예를 들면 작업자가 수작업에 의해 연결부(14d)에 의한 연결을 해제해도 되고, 연결부(14d)가 전동의 연결 장치인 경우에는, 이 연결 장치를 구동시켜 연결을 해제해도 된다. 분리된 착탈부(14b)는, 정해진 보관 장소로 반송되어 일시적으로 보관된다. 또한, 양측의 연결부(14d)의 일방을 힌지로 하고, 타방의 연결부(14d)에 의한 연결을 해제함으로써, 착탈부(14b)를 힌지로부터 수하시켜, 착탈부(14b)를 퇴피시키는 구성이어도 된다.
이어서, 도 7에 나타내는 바와 같이, 승강 궤도 구동부(28)를 구동시켜 현수 부재(27)를 풂으로써, 크레인(40)을 재치한 채로 승강 궤도(25)를 하강시킨다. 승강 궤도(25)의 하강에 의해, 승강 궤도(25) 및 크레인(40)은, 대향하는 고정부(14a)의 간극을 통과하고, 승강 궤도(25)가 바닥면(F)으로부터 정해진 높이에 달한 단계에서 승강 궤도 구동부(28)의 구동을 정지시킨다. 또한 승강 궤도 구동부(28)의 구동은, 미도시의 제어 장치에 의해 제어되어도 되고, 작업자가 조작부를 조작함으로써 행해도 된다. 승강 궤도(25)를 정지시키는 정해진 높이는, 크레인(40)의 하단이 바닥면(F)에 접촉하지 않는 높이이다. 또한, 승강 궤도(25)를 정지시키는 정해진 높이는, 후술하는 크레인 반송 대차(70)의 이동 재치용 궤도(71)(도 8 참조)의 높이와 동일한 높이여도 된다.
이어서, 도 8에 나타내는 바와 같이, 승강 궤도(25)의 일방의 단부측에 크레인 반송 대차(70)를 배치시킨다. 크레인 반송 대차(70)는, 이동 재치용 궤도(71)와, 크레인 수용부(72)와, 차륜(73)을 가진다. 이동 재치용 궤도(71)는, 예를 들면 단면 형상 및 치수가 승강 궤도(25)의 단면 형상 및 치수와 동일 또는 대략 동일한 부재이다. 따라서, 이동 재치용 궤도(71)로 크레인(40)을 이동 재치한 경우, 크레인(40)의 2 대의 주행부(41)를 이동 재치용 궤도(71) 내에 수용할 수 있다. 크레인 수용부(72)는, 크레인(40)의 이동 재치 장치(42) 및 마스트(43)를 수용 가능한 치수로 형성되어 있다. 차륜(73)은, 예를 들면 캐스터이며, 크레인 반송 대차(70)를 바닥면(F) 상에 있어서 이동시킨다. 또한, 차륜(73)의 적어도 하나는, 전동 모터 등의 구동원에 의한 구동을 받아 전동하는 구동륜이어도 된다.
크레인 반송 대차(70)를 승강 궤도(25)의 일방의 단부측에 배치한 후, 주행부(41)의 차륜(41a)의 록을 해제하여, 도 9에 나타내는 바와 같이, 크레인(40)을 승강 궤도(25)로부터 이동 재치용 궤도(71)측으로 이동시킨다. 승강 궤도(25)가 이동 재치용 궤도(71)와 동일한 높이 위치에 배치되기 때문에, 크레인(40)을 순조롭게 승강 궤도(25)로부터 이동 재치용 궤도(71)로 이동시킬 수 있다. 또한, 이동 재치용 궤도(71)에 수용된 주행부(41)가 이동하지 않도록, 차륜(41a)에 대한 회전 방지, 또는 주행부(41)의 일부를 이동 재치용 궤도(71)에 보지하기 위한 연결구를 구비해도 된다. 또한, 크레인 수용부(72)가 마스트(43)를 수용 가능한 치수로 형성되어 있기 때문에, 크레인(40)을 이동 재치용 궤도(71)로 이동시키는 것만으로 마스트(43) 및 이동 재치 장치(42)가 크레인 수용부(72)에 수용된다.
크레인(40)이 크레인 반송 대차(70)에 수용된 후, 도 10에 나타내는 바와 같이, 크레인 반송 대차(70)는, 작업자 등에 밀리는 것에 의해, 작업자용 통로(PS)를 통하여 정해진 메인터넌스 에어리어 또는 보관 시설 등까지 이동한다. 또한, 승강 궤도 구동부(28)는, 현수 부재(27)를 감음으로써, 승강 궤도(25)를 상승시킨다. 승강 궤도(25)는, 대향하는 고정부(14a)의 간극을 통과하여, 제 1 천장 궤도(20)의 직선부(21)의 노치 부분에 배치된다. 승강 궤도(25)가 직선부(21)에 배치된 후, 작업자 등에 의해, 착탈부(14b)를 고정부(14a)의 사이에 장착한다. 이 일련의 동작에 의해, 제 1 천장 궤도(20)의 크레인(40)을 반출할 수 있다.
또한, 제 1 천장 궤도(20)로 크레인(40)을 반입하는 경우에는, 상기한 동작의 반대의 동작에 의해 행한다. 먼저, 착탈부(14b)를 고정부(14a)의 사이로부터 분리하여, 승강 궤도(25)를 상기한 높이까지 하강시킨다. 승강 궤도(25)의 하강 후, 크레인(40)을 수용한 크레인 반송 대차(70)를 승강 궤도(25)의 일방의 단부측에 배치시키고, 크레인(40)을 이동 재치용 궤도(71)로부터 승강 궤도(25)로 이동시킨다. 크레인(40)을 승강 궤도(25)로 이동시킨 후, 승강 궤도(25)를 상승시켜, 승강 궤도(25)를 직선부(21)에 배치시킨다. 승강 궤도(25)가 직선부(21)에 배치된 후, 착탈부(14b)를 고정부(14a)의 사이에 장착한다.
이와 같이, 보관 시스템(SYS)에 의하면, 크레인(40)을 재치하여 승강 가능한 승강 궤도(25)가, 제 1 천장 궤도(20)의 일부에 마련되고, 또한, 평면에서 봤을 때 제 2 천장 궤도(30)로부터 벗어난 부분에 배치되므로, 크레인(40)을 제 1 천장 궤도(20)에 대하여 반출 또는 반입하기 위한 전용의 궤도를 마련할 필요가 없고, 천장 반송차 시스템(200)과 간섭하지 않고, 크레인(40)의 반출 및 반입을 확실하고 또한 용이하게 행할 수 있다.
[제 2 실시 형태]
상기한 제 1 실시 형태에서는, 전달 포트(12)인 착탈부(14b)가, 복수의 물품(2)을 Y 방향으로 1 열로 배열하여 재치 가능한 구성을 나타내고 있지만, 이 구성에 한정되지 않는다. 도 11 및 도 12는 제 2 실시 형태에 따른 보관 시스템(SYS2)의 일례를 나타내는 도이다. 도 11은 측면도, 도 12는 평면도를 나타내고 있다. 또한 이하의 설명에 있어서, 상기한 제 1 실시 형태와 동일 또는 동등한 구성에 대해서는 동일한 부호를 부여하여 설명을 생략 또는 간략화한다.
도 11 및 도 12에 나타내는 바와 같이, 보관 시스템(SYS2)은, 물품(2)을 재치하는 재치부(114)를 가진다. 재치부(114)는, 평면에서 봤을 때 제 2 천장 궤도(30)의 주회 부분의 내측에 배치되고, Y 방향을 따라 직선 형상으로 마련된다. 재치부(114)는, 복수의 물품(2)을 X 방향으로 2 열로 배열하여 재치 가능하다. 이 경우, 재치부(114) 중 +X측의 열에 대해서는, 재치부(114)의 +X측에 배치되는 직선부(31)를 주행하는 상측 천장 반송차(60)에 의해 물품(2)의 전달이 가능하다. 또한, 재치부(114) 중 -X측의 열에 대해서는, 재치부(114)의 -X측에 배치되는 직선부(31)를 주행하는 상측 천장 반송차(60)에 의해 물품(2)의 전달이 가능하다.
재치부(114)는, 고정부(114a)와, 전달 포트(12)인 착탈부(114b)를 가진다. 고정부(114a) 및 착탈부(114b)는, X 방향의 치수가 제 1 실시 형태에 기재된 고정부(14a) 및 착탈부(14b)보다 크게 되어 있는 점에서 제 1 실시 형태와는 상이하며, 다른 구성에 대해서는 제 1 실시 형태와 동일하다. 또한, 전달 포트(12)인 착탈부(114b)에 대해서도, 2 열분 만큼 확보되어 있고, 제 1 실시 형태의 착탈부(14b)보다 많은 물품(2)을 재치 가능하게 되어 있다. 따라서, 천장 스토커(100)와 천장 반송차 시스템(200)과의 사이에서 전달되는 물품(2)의 수(전달 포트(12)에 재치되는 물품(2)의 수)가 많아져, 천장 스토커(100)와 천장 반송차 시스템(200)과의 사이의 물품(2)의 반송 효율을 향상시킬 수 있다.
또한, 상측 천장 반송차(60)는, 재치부(114) 중 +X측 및 -X측의 열의 쌍방에 대하여, 제 2 횡돌출 기구(65)에 의해 제 2 승강 구동부(64)를 +X측 또는 -X측으로 횡돌출시켜, 제 2 파지부(63)를 +X측의 열 또는 -X측의 열의 직상에 배치시킴으로써 착탈부(114b)와의 사이에서 물품(2)의 전달이 가능하다. 또한 +X측의 열 및 -X측의 열의 어느 일방은, 제 2 횡돌출 기구(65)에 의한 횡돌출을 행하지 않고 제 2 파지부(63)를 승강시킴으로써 물품(2)의 전달이 가능해지도록, 재치부(114)가 배치되어도 된다.
보관 시스템(SYS2)에 있어서, 제 1 천장 궤도(20)로부터 크레인(40)을 반출하는 경우에는, 제 1 실시 형태와 마찬가지로, 크레인(40)을 승강 궤도(25)에 배치시키고, 착탈부(114b)를 고정부(114a)의 사이로부터 분리하여, 주행을 정지하고 있는 크레인(40)을 지지하여 승강 궤도(25)를 하강시킨다. 하강한 승강 궤도(25)로부터 크레인 반송 대차(70)(도 5 등 참조)의 이동 재치용 궤도(71)로 크레인(40)을 이동시키고, 크레인 반송 대차(70)에 의해 크레인(40)을 다른 장소로 이송한다. 승강 궤도(25)를 상승시켜 직선부(21)에 배치한 후, 착탈부(114b)를 고정부(114a)의 사이에 장착한다. 이 일련의 동작에 의해, 제 1 천장 궤도(20)의 크레인(40)을 반출할 수 있다.
또한, 제 1 천장 궤도(20)로 크레인(40)을 반입하는 경우에는, 상기한 동작의 반대의 동작에 의해 행한다. 먼저, 착탈부(114b)를 고정부(114a)의 사이로부터 분리하여, 승강 궤도(25)를 하강시킨다. 승강 궤도(25)의 하강 후, 크레인(40)을 크레인 반송 대차(70)의 이동 재치용 궤도(71)로부터 승강 궤도(25)로 이동시킨다. 크레인(40)을 승강 궤도(25)로 이동시킨 후, 승강 궤도(25)를 상승시켜, 승강 궤도(25)를 직선부(21)에 배치시킨다. 승강 궤도(25)가 직선부(21)에 배치된 후, 착탈부(114b)를 고정부(114a)의 사이에 장착한다.
이와 같이, 보관 시스템(SYS2)에 의하면, 상기한 보관 시스템(SYS)과 마찬가지로, 크레인(40)을 제 1 천장 궤도(20)에 대하여 반출 또는 반입하기 위한 전용의 궤도를 마련할 필요가 없으며, 천장 반송차 시스템(200)과 간섭하지 않고, 크레인(40)의 반출 및 반입을 확실하고 또한 용이하게 행할 수 있다. 또한, 전달 포트(12)(착탈부(114b))에 재치 가능한 물품(2)의 수가 많아지므로, 천장 스토커(100)와 천장 반송차 시스템(200)과의 사이의 물품(2)의 반송 효율을 향상시켜, 시스템 전체적으로의 물품(2)의 반송 효율을 향상시킬 수 있다.
이상, 실시 형태에 대하여 설명했지만, 본 발명은, 상술한 설명에 한정되지 않고, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에 있어서 각종 변경이 가능하다. 예를 들면, 상기한 실시 형태에서는, 보관 시스템(SYS, SYS2)에 있어서, 제 1 천장 궤도(20)와 제 2 천장 궤도(30)가 접속되지 않는 구성을 예로 들어 설명했지만, 이 구성에 한정되지 않는다. 예를 들면, 제 1 천장 궤도(20)와 제 2 천장 궤도(30)가 접속 궤도 등을 개재하여 접속되어도 된다.
또한, 상기한 실시 형태에서는, 보관 시스템(SYS, SYS2)에 있어서, 선반(10), 제 1 천장 궤도(20), 제 2 천장 궤도(30)가, 천장(C) 또는 시스템 천장(SC1, SC2)으로부터 매달린 구성을 예로 들어 설명했지만, 이 구성에 한정되지 않는다. 예를 들면, 선반(10), 제 1 천장 궤도(20) 및 제 2 천장 궤도(30) 중 적어도 1 개가, 바닥면(F) 상에 마련된 지주 또는 프레임, 가대 등에 의해 지지되어, 선반(10) 등의 하중을 바닥면(F)으로 받는 것과 같은 구성이어도 된다.
또한, 상술한 실시 형태 등에서 설명한 요건 중 하나 이상은, 생략되는 경우가 있다. 또한, 상술한 실시 형태 등에서 설명한 요건은, 적절히 조합할 수 있다. 또한, 법령으로 허용되는 한에 있어서, 일본특허출원인 특허출원 2019-011280, 및, 상술한 실시 형태 등에서 인용한 모든 문헌의 개시를 원용하여 본문의 기재의 일부로 한다.
C : 천장
F : 바닥면
LP : 로드 포트
TL : 처리 장치
PS : 작업자용 통로
SYS, SYS2 : 보관 시스템
2 : 물품
10 : 선반
11 : 보관부
12 : 전달 포트
14, 114 : 재치부
14a, 114a : 고정부
14b, 114b : 착탈부
20 : 제 1 천장 궤도
25 : 승강 궤도
27 : 현수 부재
28 : 승강 궤도 구동부
30 : 제 2 천장 궤도
40 : 크레인
50 : 천장 반송차
60 : 상측 천장 반송차
70 : 크레인 반송 대차
71 : 반입반출용 궤도
72 : 크레인 수용부
73 : 이동부
100 : 천장 스토커
200 : 천장 반송차 시스템
300 : 반송 장치

Claims (5)

  1. 제 1 천장 궤도와, 상하 방향으로 복수 단의 보관부를 구비한 선반과, 상기 제 1 천장 궤도를 따라 주행하고, 상기 복수 단의 보관부의 사이에서 물품을 전달하는 크레인을 가지는 천장 스토커와,
    상기 천장 스토커의 하단보다 하방에 마련된 제 2 천장 궤도와, 상기 제 2 천장 궤도를 따라 주행하여 정해진 이동 재치처에 대하여 물품을 전달하는 천장 반송차를 가지는 천장 반송차 시스템을 구비하고,
    상기 제 1 천장 궤도는, 평면에서 봤을 때 상기 제 2 천장 궤도로부터 벗어난 부분에, 주행을 정지하고 있는 상기 크레인을 지지하여 하강 가능한 승강 궤도를 가지는, 보관 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 승강 궤도는, 작업자용 통로의 직상에 마련되는, 보관 시스템.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 승강 궤도를 매달아 보지하는 현수 부재와, 상기 현수 부재를 감거나 또는 풂으로써 상기 승강 궤도를 승강시키는 승강 궤도 구동부를 구비하는, 보관 시스템.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 천장 스토커와 상기 천장 반송차 시스템과의 사이에서 상하 방향으로 물품을 반송하는 반송 장치를 구비하고,
    상기 승강 궤도의 직하에는, 상기 천장 반송차 및 상기 반송 장치가 모두 물품을 전달 가능한 재치부가 마련되고,
    상기 재치부는 상기 승강 궤도의 직하로부터 퇴피 가능한, 보관 시스템.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 재치부는, 한 쌍의 다른 재치부의 사이에 걸쳐져 배치되고,
    상기 천장 반송차는, 상기 다른 재치부와의 사이에서 물품을 전달 가능한, 보관 시스템.
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