CN110753667B - 搬运系统以及搬运方法 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及搬运系统以及搬运方法。容易使悬挂式起重机在存储库区域内与规定区域之间移动而不使用特殊的搬运机械。搬运系统具备：具备起重机轨道、以及在保管部与交接口之间搬运物品的悬挂式起重机的存储库；在存储库区域外，沿着交接口以及处理装置的装载端口设置并延伸至存储库区域(规定区域)的高架搬运车轨道；在交接口与装载端口之间搬运物品的高架搬运车；以及连结轨道，起重机用行驶部能够经由连结轨道从起重机轨道进入高架搬运车轨道行驶至存储库区域。

Description

搬运系统以及搬运方法
技术领域
本发明涉及搬运系统以及搬运方法。
背景技术
在半导体制造工厂等制造工厂中，配置有保管收纳半导体晶圆的FOUP或者收纳中间掩膜的中间掩膜盒等物品的存储库。存储库具备用于在多个保管架与交接口之间移载物品的起重机。作为该起重机公知有在被配置于顶棚的轨道上行驶的悬挂式起重机，为了提高物品的移载效率，提出了两种悬挂式起重机在共用的轨道上行驶的构成(例如，参照专利文献1)。
专利文献1：国际公开第2016/178347号
对于专利文献1所记载的存储库，两种悬挂式起重机虽在共用的轨道上行驶，但其行驶范围被限制在配置了存储库的一个存储库区域内。因此，在使该悬挂式起重机向其它的存储库区域移动时，或者为了维护而使悬挂式起重机向维护区域移动时，需要从轨道取下并搬运悬挂式起重机。但是，从轨道取下悬挂式起重机的作业麻烦且费事，作业者的负担大。并且，由于使用特殊的搬运设备搬运已取下的悬挂式起重机，所以不仅成本提高，而且存在搬运也需要时间这样的问题。
发明内容
本发明目的是提供一种能够容易地使悬挂式起重机在存储库区域内与规定区域之间移动而不使用特殊的搬运设备的搬运系统以及搬运方法。
本发明的搬运系统具备：被配置于存储库区域内的存储库，所述存储库具备：在上下方向设置多层来保管物品的保管部、用于交接物品的交接口、沿着保管部以及交接口设置的起重机轨道、沿着起重机轨道行驶的起重机用行驶部、从起重机用行驶部垂下的桅杆、以及具有被桅杆引导地升降的物品移载部并且在保管部与交接口之间搬运物品的悬挂式起重机；高架搬运车轨道，其被设置于存储库区域之外，沿着交接口以及处理装置的装载端口延伸至规定区域；高架搬运车，其具有沿着高架搬运车轨道行驶的搬运车用行驶部、以及保持并升降物品的物品保持部，并且在交接口与装载端口之间搬运物品；以及连结轨道，其连结起重机轨道与高架搬运车轨道，起重机用行驶部能够从起重机轨道通过连结轨道进入高架搬运车轨道，在高架搬运车轨道行驶至规定区域，或者能够从规定区域进入高架搬运车轨道行驶至连结轨道，通过连结轨道进入起重机轨道而在起重机轨道行驶。
另外，起重机轨道、高架搬运车轨道、以及连结轨道的与起重机用行驶部行驶的方向正交的剖面形状也可相同或者大致相同。另外，起重机用行驶部与搬运车用行驶部也可具备共用的车轮以及供车轮安装的行驶部主体。另外，高架搬运车在从停止状态开始基于搬运车用行驶部的行驶时，也可使物品保持部上升到最上方位置之后，开始行驶。另外，起重机轨道也可被设置于使悬挂式起重机的桅杆通过，且禁止作业者的进入的作业者进入禁止区域的上方，高架搬运车轨道也可被设置于允许作业者的通行的作业者通路的上方，在悬挂式起重机进入高架搬运车轨道时，也可禁止作业者向桅杆通过的作业者通路的进入。另外，规定区域也可是配置有与存储库不同的存储库的其它存储库区域。
另外，高架搬运车轨道也可具备：第一机架内环绕轨道、第二机架内环绕轨道、与第一机架内环绕轨道以及第二机架内环绕轨道各自的一方的端部连结的第一机架间轨道、以及与第一机架内环绕轨道以及第二机架内环绕轨道各自的另一方的端部连结的第二机架间轨道，存储库的起重机轨道也可利用第一连结轨道与第一机架间轨道连结，其它存储库的起重机轨道也可利用第二连结轨道与第二机架间轨道连结。另外，规定区域也可是维护区域。另外，规定区域也可包含悬挂式起重机的初始投入部。
另外，本发明的搬运系统的搬运方法中，搬运系统具备：被配置于存储库区域内的存储库，所述存储库具备：在上下方向设置多层来保管物品的保管部、用于交接物品的交接口、沿着保管部以及交接口设置的起重机轨道、沿着起重机轨道行驶的起重机用行驶部、从起重机用行驶部垂下的桅杆、以及具有被桅杆引导地升降的物品移载部并且在保管部与交接口之间搬运物品的悬挂式起重机；高架搬运车轨道，其被设置于存储库区域之外，沿着交接口以及处理装置的装载端口延伸至规定区域；高架搬运车，其具有沿着高架搬运车轨道行驶的搬运车用行驶部、以及保持并升降物品的物品保持部，并且在交接口与装载端口之间搬运物品；以及连结轨道，其连结起重机轨道与高架搬运车轨道，所述搬运方法包含以下步骤：使起重机用行驶部从起重机轨道通过连结轨道进入高架搬运车轨道，在高架搬运车轨道行驶至规定区域，或者使起重机用行驶部从规定区域进入高架搬运车轨道行驶至连结轨道，通过连结轨道进入起重机轨道而在起重机轨道行驶。
根据本发明的搬运系统以及搬运方法，通常沿着存储库区域内的起重机轨道行驶并且在存储库区域内在保管部与交接口之间移载物品的悬挂式起重机能够根据需要，通过连结轨道以及高架搬运车轨道移动到存储库区域外的规定区域。根据该结构，不使用特殊的搬运设备就能够容易且不花费时间地使悬挂式起重机在存储库区域内与规定区域之间移动，不需要从轨道取下悬挂式起重机这样的麻烦的作业，并且也不需要用于搬运已取下的悬挂式起重机的特殊的搬运设备，所以能够抑制成本的增加。
另外，在起重机轨道、高架搬运车轨道以及连结轨道的与起重机用行驶部行驶的方向正交的剖面形状相同或者大致相同的情况下，能够将上述轨道设为相同的规格，由此能够以低成本进行轨道的设置。另外，在起重机用行驶部与搬运车用行驶部具备共用的车轮以及供车轮安装的行驶部主体的情况下，将悬挂式起重机以及高架搬运车的行驶部设为相同的规格，从而能够以低成本制造起重机用行驶部以及搬运车用行驶部。另外，在高架搬运车从停止状态开始基于搬运车用行驶部的行驶时，使物品保持部上升至最上方位置后，开始行驶的情况下，在高架搬运车行驶时，能够防止高架搬运车的一部分与高架搬运车轨道的下方的障碍物接触的情况。另外，在起重机轨道被设置于上述作业者进入禁止区域的上方，高架搬运车用轨道被设置于上述作业者通路的上方，悬挂式起重机进入高架搬运车轨道时，禁止作业者向桅杆通过的作业者通路的进入的情况下，能够使在作业者的进入被禁止的作业者进入禁止区域内运转的悬挂式起重机、经由被设置于允许作业者的通行的作业者通路上的高架搬运车轨道适当地移动。
另外，在规定区域是配置有与上述存储库不同的存储库的其它存储库区域的情况下，能够使悬挂式起重机容易在存储库区域内与其它存储库区域内之间移动。另外，在高架搬运车轨道基于上述第一机架内环绕轨道、第二机架内环绕轨道、第一机架间轨道以及第二机架间轨道，存储库的起重机轨道利用第一连结轨道与第一机架间轨道连结，其它存储库的起重机轨道利用第二连结轨道与第二机架间轨道连结的情况下，能够使悬挂式起重机经由第一以及第二机架内环绕轨道以及第一以及第二机架间轨道，可靠地在存储库与其它存储库之间移动。另外，在规定区域是维护区域的情况下，能够使悬挂式起重机容易在存储库区域内与维护区域之间移动。另外，在规定区域包含悬挂式起重机的初始投入部的情况下，使悬挂式起重机从初始投入部向各存储库区域内移动，由此不需要在各存储库中将悬挂式起重机安装于起重机轨道的作业，能够提高作业性。
附图说明
图1是表示本实施方式的搬运系统的一个例子的俯视图。
图2是放大表示图1中的存储库区域的俯视图。
图3是放大表示图1中的规定区域的俯视图。
图4是表示悬挂式起重机的一个例子的图。
图5是表示高架搬运车的一个例子的图。
图6是表示起重机用行驶部以及搬运车用行驶部的一个例子的图。
图7是表示使悬挂式起重机从存储库区域向规定区域移动时的移动路径的一个例子的图。
图8是表示与图7接续、使悬挂式起重机从存储库区域向规定区域移动时的移动路径的一个例子的图。
图9是表示与图8接续、使悬挂式起重机从存储库区域向规定区域移动时的移动路径的一个例子的图。
图10是表示与图9接续、使悬挂式起重机从存储库区域向规定区域移动时的移动路径的一个例子的图。
图11是表示规定区域是维护区域的一个例子的俯视图。
图12是表示包含初始投入部的规定区域的一个例子的俯视图。
具体实施方式
以下，参照附图来说明本发明的实施方式。但是，本发明并不限于该实施方式。另外，在附图中为了说明实施方式，放大或强调地记载一部分等适当地改变比例尺来表示。
图1是表示本实施方式的搬运系统100的一个例子的俯视图。图1所示的搬运系统100例如被设置于半导体设备的制造工厂等，搬运收纳有在半导体设备的制造中被使用的半导体晶圆的FOUP，或者收纳有中间掩膜等的中间掩膜盒等物品2。这里虽说明了物品2是FOUP的情况，但物品2也可是FOUP以外的物品。另外，搬运系统100也能够应用于半导体制造领域以外的设备，物品2也可以是由设置搬运系统100的设备处理的各种物品。
如图1所示，搬运系统100具有：存储库10、高架搬运车轨道40、高架搬运车50、第一以及第二连结轨道60A、60B以及控制装置80。存储库10被配置于存储库区域10A以及其它存储库区域(规定区域)10B内。图2是表示存储库区域10A的一个例子的图。如图2所示，存储库10具备：保管部11、交接口12、起重机轨道20以及悬挂式起重机30。
保管部11在上下方向被设置多层，并且在沿着悬挂式起重机30的移动方向的左右方向排列的状态下保管物品2。保管部11使用能够载置物品2的货架部等。也可在载置物品2的货架部设置有进入到被设置于物品2的底面的槽部的多个销。该销进入到物品2的槽部，由此物品2被定位于货架部。多个保管部11在各存储库区域10A、10B中被设置于三个位置，但并不限于该结构，保管部11的数量是任意的。交接口12作为在与高架搬运车50等之间进行物品2的交接的场所设置。交接口12在存储库区域10A中设置多个。起重机轨道20沿着保管部11以及交接口12设置。起重机轨道20被设置于在悬挂式起重机30的运转中禁止作业者的进入的作业者禁止进入区域10F的上方。并且，在悬挂式起重机30的运转中也可以禁止作业者向存储库区域10A、10B整体的进入。
图3是表示规定区域的一个例子的图。图3所示的规定区域是与存储库区域10A不同地分开配置的其它存储库区域10B。如图3所示，在本实施方式中，存储库区域10B是与上述存储库区域10A相同的结构，但也可是其它结构。存储库10被配置于存储库区域10B。存储库10与存储库区域10A相同，具备多个保管部11、多个交接口12、起重机轨道20以及悬挂式起重机30。
悬挂式起重机30在保管部11与交接口12之间搬运物品2。另外，悬挂式起重机30也在保管部11内进行将物品2从当前的货架部向其它的货架部的移载。图4是表示悬挂式起重机30的一个例子的图。如图4所示，悬挂式起重机30具备起重机用行驶部31、桅杆32以及物品移载部34。物品移载部34具备升降台33、以及升降驱动部35。起重机用行驶部31具备未图示的行驶驱动部以及多个车轮71a(参照图6)，沿着起重机轨道20行驶。行驶驱动部例如也可是被设置于起重机用行驶部31并驱动车轮71a的电动马达，也可是使用起重机轨道20设置的线性马达。
桅杆32从起重机用行驶部31下垂并沿上下方向延伸，引导升降台33。桅杆32形成为中空或者实心的棒状，剖面形成为圆形、椭圆形、长圆形、或者四边形等多边形。桅杆32的下端被设定为从地面空开规定机架的状态。在图4中，上部支承体37经由安装部36而被安装于起重机用行驶部31的下方。桅杆32被安装于上部支承体37的下表面侧，成为从起重机用行驶部31悬吊的状态。桅杆32向上部支承体37的安装例如可以使用螺栓以及螺母等紧固部件，也可以使用焊接等。此外，桅杆32可以是一根，例如分别被设置于起重机用行驶部31的行驶方向的前后。
升降台33在上表面搭载有物品移载部34，能够沿着桅杆32升降。升降台33具备夹着桅杆32配置的引导辊33a，顺畅地进行沿着桅杆32的升降动作。另外，在桅杆32的下部安装有下部支承体32a，升降台33能够下降到与该下部支承体32a上抵接的位置。此外，下部支承体32a防止升降台33从桅杆32向下方的脱落的情况。
物品移载部34被搭载于升降台33，被桅杆32引导而升降。物品移载部34具备能够在与起重机用行驶部31的行驶方向正交的方向伸缩的臂部38、以及被设置于臂部38的前端并能够载置物品2的载置部39。物品移载部34在接受物品2时，使臂部38伸长而将载置部39配置于物品2的下方，使升降台33上升，由此利用载置部39抬起物品2。此外，在保管部11设置有能够使载置部39在上下通过的未图示的切口部。接着，物品移载部34保持将物品2载置于载置部39上的状态收缩臂部38，由此将载置了物品2的载置部39配置于升降台33之上。
另外，物品移载部34在向移载目的地交付物品2时，使臂部38向移载目的地的上方伸长，将载置部39配置于移载目的地的上方。接着，使升降台33下降，由此使载置部39通过上述保管部11的切口部，此时物品2被从载置部39向移载目的地转移。另外，物品移载部34也可代替将物品2载置于载置部39的构成，是把持物品2的凸缘部2a的构成，也可是把持物品2的侧面的构成。
升降驱动部35例如使用升降机等，沿着桅杆32使升降台33升降。升降驱动部35具备悬挂部件35a以及驱动部35b。悬挂部件35a例如是带状物或者线材等，升降台33利用该悬挂部件35a而被悬挂于上部支承体37。驱动部35b被设置于上部支承体37，进行悬挂部件35a的抽出、卷绕。升降台33在驱动部35b放出悬挂部件时，被桅杆32引导而下降。另外，升降台33在驱动部35b卷绕悬挂部件35a时，被桅杆32引导而上升。驱动部35b被控制装置80等控制，以规定的速度使升降台33下降或者上升。另外，驱动部35b被控制装置80等控制，将升降台33保持在目标的高度。
升降驱动部35虽被设置于上部支承体37(起重机用行驶部31)，但并不限于该结构。升降驱动部35例如也可被设置于升降台33。作为升降驱动部35被设置于升降台33的构成例如，也可以将从上部支承体37吊挂下来的带状物或者线材等通过搭载于升降台33的升降机等进行卷绕或抽出而使升降台33升降。另外，也可将驱动小齿轮的电动马达等搭载于升降台33，将该小齿轮啮合的齿条形成于桅杆32，驱动电动马达等使小齿轮旋转，由此使升降台33升降。
如图1～图3所示，高架搬运车轨道40被配置于存储库区域10A外。高架搬运车轨道40沿着处理装置TL的装载端口LP设置，延伸到存储库区域(规定区域)10B。高架搬运车轨道40除了悬挂式起重机30的载入时都被设置于在高架搬运车50的运转中允许作业者的通行的作业者通路10G的上方。另外，悬挂式起重机30的起重机用行驶部31能够在高架搬运车轨道40行驶。根据该结构，能够使在作业者的进入被禁止的作业者进入禁止区域10F内运转的悬挂式起重机30、经由被设置于作业者的通行被允许的作业者通路10G上的高架搬运车轨道40而适当地移动。
高架搬运车轨道40具备：第一机架内环绕轨道41、第二机架内环绕轨道42、第一机架间轨道43以及第二机架间轨道44。第一机架内环绕轨道41以及第二机架内环绕轨道42以存储库区域10A以及存储库区域10B的距离分离而配置，成为相互平行排列的状态。此外，以分别包围存储库区域10A、10B的外周的方式设置有未图示的壁部。利用该壁部划分存储库区域10A、10B的内外，在悬挂式起重机30的运转时禁止作业者向存储库区域10A、10B内的进入。此外，在悬挂式起重机30从存储库区域10A、10B向规定区域移动时，以将悬挂式起重机30从存储库区域10A、10B向外取出的方式，取下与连结轨道60A、60B对应的壁部的一部分。
第一机架内环绕轨道41具有外绕轨道41a以及内绕轨道41b。外绕轨道41a被形成为环状，在长边方向的两端与后述的第一机架间轨道43以及第二机架间轨道44连接。外绕轨道41a在俯视图中，通过存储库区域10A、10B的交接口12的侧方。在外绕轨道41a行驶的高架搬运车50能够相对于交接口12进行物品2的交接。外绕轨道41a被配置于处理装置TL的装载端口LP的正上方。内绕轨道41b被形成为环状，被配置于外绕轨道41a的内侧。
第二机架内环绕轨道42具有外绕轨道42a以及内绕轨道42b。外绕轨道42a被形成为环状，在长边方向的两端与后述的第一机架间轨道43以及第二机架间轨道44连接。外绕轨道42a在俯视时通过存储库区域10A、10B的交接口12的侧方。但是，该交接口12是与对应于第一机架内环绕轨道41的外绕轨道41a的交接口12不同的交接口12。在外绕轨道42a行驶的高架搬运车50能够相对于交接口12进行物品2的交接。外绕轨道42a被配置于处理装置TL的装载端口LP的正上方。内绕轨道42b被形成为环状，被配置于外绕轨道42a的内侧。此外，内绕轨道41b、42b在俯视图时被配置于偏离了装载端口LP的正上方的位置。根据该结构，悬挂式起重机30在从后述的存储库区域10A向规定区域移动时，能够使从起重机用行驶部31垂下的桅杆32不与装载端口LP干涉地行驶。
内绕轨道41b经由连接轨道41c与外绕轨道41a连接。另外，内绕轨道42b经由连接轨道42c与外绕轨道42a连接。此外，在外绕轨道41a、42a与内绕轨道41b、42b之间分别沿着外绕轨道41a、42a等配置多个暂存区ST。暂存区ST例如具有能够载置物品2的货架部，以悬挂于建筑物的顶棚的状态设置。此外，是否配置暂存区ST是任意的，也可以没有暂存区ST。
第一机架间轨道43与第一机架内环绕轨道41以及第二机架内环绕轨道42各自的一方的端部连结。第二机架间轨道44与第一机架内环绕轨道41以及第二机架内环绕轨道42各自的一方的端部连结。第一机架间轨道43以及第二机架间轨道44分别使直线状的两根轨道并行地延伸，在两根轨道之间设置有多个连接轨道。
高架搬运车50沿着高架搬运车轨道40移动，将物品2在处理装置TL的装载端口LP、与存储库区域10A、10B的交接口12之间进行物品2的交接。另外，高架搬运车50除了装载端口LP以及交接口12之外，还在与沿着高架搬运车轨道40(外绕轨道41a、42a等)设置的暂存区ST之间进行物品2的移载。处理装置TL例如是曝光装置、涂布机显影载置、制膜装置或者蚀刻装置等，对被收纳于搬运系统100搬运的物品2的半导体晶圆实施各种处理。
图5是表示高架搬运车50的一个例子的图。如图5所示，高架搬运车50具有搬运车用行驶部51和主体部52。搬运车用行驶部51与起重机用行驶部31相同，具备未图示的行驶驱动部以及多个车轮71a(参照图6)，沿着高架搬运车轨道40行驶。行驶驱动部例如也可是被设置于搬运车用行驶部51并驱动车轮71a的电动马达，也可是使用高架搬运车轨道40设置的线性马达。
主体部52经由安装部52a被安装于搬运车用行驶部51的下部。主体部52具有：悬挂地保持物品2的物品保持部53、使物品保持部53沿铅垂方向升降的升降驱动部54以及使升降驱动部54移动的侧出机构55。物品保持部53把持物品2的凸缘部2a，由此悬挂地保持物品2。物品保持部53例如是具有能够在水平方向移动的爪部53a的卡盘，通过使爪部53a进入物品2的凸缘部的下方使物品保持部53上升而保持物品2。物品保持部53与线材或者带状物等悬挂部件53b连接。这样，没有如悬挂式起重机30的桅杆32那样在高架搬运车50设置引导升降的构成。因此，物品保持部53成为能够相对于主体部52摆动的状态。
升降驱动部54例如是升降机，通过放出悬挂部件53b而使物品保持部53下降，通过卷绕悬挂部件53b而使物品保持部53上升。升降驱动部54被控制装置80等控制，以规定的速度使物品保持部53下降或者上升。另外，升降驱动部54被控制装置80等控制，将物品保持部53保持为目标的高度。高架搬运车50在从停止状态开始基于搬运车用行驶部51的行驶时，通过升降驱动部54将物品保持部53上升至最上方位置之后，开始行驶。因此，在高架搬运车50行驶时，能够防止高架搬运车50的一部分与高架搬运车轨道40的下方的障碍物的接触。
侧出机构55例如具有在上下方向重叠地配置的可动板。可动板安能够向搬运车用行驶部51的行驶方向的侧方移动。在可动板安装有转动部以及升降驱动部54。主体部52具有引导侧出机构55的未图示的引导件、以及驱动侧出机构55的未图示的驱动部等。侧出机构55利用来自电动马达等驱动部的驱动力，使升降驱动部54以及物品保持部53沿着引导件在突出位置与储存位置之间移动。突出位置是从主体部52向侧方突出的位置。储存位置是被储存于主体部52内的位置。
转动部具有未图示的转动部件以及转动驱动部。转动部件被设置为能够绕上下方向的轴转动。转动部件与升降驱动部54或者物品保持部53连接。转动驱动部使用电动马达等，使转动部件绕上下方向的轴转动。转动部利用来自转动驱动部的驱动力使转动轴转动，能够使升降驱动部54或者物品保持部53绕上下方向的轴转动。能够利用该转动部改变由物品保持部53保持的物品2的朝向。此外，高架搬运车50也可以不具备转动部。
图6是表示起重机用行驶部31以及搬运车用行驶部51的一个例子的图。起重机用行驶部31以及搬运车用行驶部51例如采用共用的(相同或者大致相同的)构成。另外，起重机轨道20以及高架搬运车轨道40的与行驶方向正交的平面的剖面相同或者大致相同，起重机用行驶部31以及搬运车用行驶部51均能在起重机轨道20以及高架搬运车轨道40行驶。这样，起重机用行驶部31以及搬运车用行驶部51是共用的结构，所以不需要以与起重机用行驶部31及搬运车用行驶部51不同的其他结构进行制造，能够减少悬挂式起重机30以及高架搬运车50的制造成本。此外，可以由一台悬挂式起重机30使用多台(例如两台)起重机用行驶部31。根据该结构，能够经由桅杆32适当地保持作为重量物的载置部39以及物品2等。
起重机用行驶部31以及搬运车用行驶部51具备共用的车轮71a以及供车轮71a安装的行驶部主体71b。多个车轮71a分别与起重机轨道20或者高架搬运车轨道40的下方的内表面抵接。供多个车轮71a安装的行驶部主体71b具备用于驱动车轮71a的行驶驱动部、或者各种传感器。起重机轨道20以及高架搬运车轨道40具备供电部70。供电部70具有供电导轨75、以及被设置于供电导轨75的非接触供电线76。供电部70被配置于起重机轨道20以及高架搬运车轨道40的下方，沿着起重机轨道20以及高架搬运车轨道40连续地或者断续地设置。另外，在悬挂式起重机30的安装部36以及高架搬运车50的安装部52a设置有受电部73。受电部73经由非接触供电线76而受电，向行驶部主体71b等供给电力。
如图1所示，控制装置80统一控制搬运系统100。控制装置80通过无线或者有线的通信控制悬挂式起重机30以及高架搬运车50的动作。此外，控制装置80也可分为控制悬挂式起重机30的控制装置、和控制高架搬运车50的控制装置。另外，悬挂式起重机30用的控制装置可以以存储库区域10A、10B为单位分开地配置，也可统一控制多个存储库区域10A、10B。另外，控制高架搬运车50的控制装置也可以控制在规定区域内行驶的多个高架搬运车50。
如图1～图3所示，第一连结轨道60A连结存储库区域10A的起重机轨道20与高架搬运车轨道40的第一机架间轨道43。另外，第二连结轨道60B连结存储库区域10B的起重机轨道20与高架搬运车轨道40的第二机架间轨道44。起重机用行驶部31能够在第一以及第二连结轨道60A、60B行驶。悬挂式起重机30的起重机用行驶部31能够经由第一连结轨道60A从起重机轨道20进入高架搬运车轨道40，并行驶到其它存储库区域10B。另外，起重机用行驶部31能够经由第二连结轨道60B从高架搬运车轨道40进入起重机轨道20行驶。
搬运车用行驶部51能够在第一以及第二连结轨道60A、60B行驶。此外，第一以及第二连结轨道60A、60B的与起重机用行驶部31的行驶方向正交的平面的剖面与起重机轨道20以及高架搬运车轨道40相同或者大致相同(参照图6)。因此，起重机用行驶部31或者搬运车用行驶部51能够无障碍地在第一以及第二连结轨道60A、60B行驶。这样，将上述轨道设为相同的剖面形状，由此能够实现轨道的标准化，能够以低成本进行轨道的设置。
在上述搬运系统100中，悬挂式起重机30在存储库区域10A或者存储库区域10B内，沿着起重机轨道20行驶，在保管部11与交接口12之间搬运物品2。例如，悬挂式起重机30能够通过物品移载部34(参照图4)接受被保管部11保管的物品2，沿着起重机轨道20行驶至交接口12，将物品2载置于交接口12。另外，在利用高架搬运车50将物品2载置于交接口12的情况下，悬挂式起重机30能够沿着起重机轨道20行驶到交接口12，利用物品移载部34接受物品2之后，沿着起重机轨道20行驶到移载目的地的保管部11，通过物品移载部34将物品2载置于保管部11。
另外，在搬运系统100中，高架搬运车50在利用悬挂式起重机30将物品2载置在交接口12的情况下，沿着高架搬运车轨道40行驶至存储库区域10A的交接口12。然后，能够由物品保持部53(参照图5)保持物品2，在高架搬运车轨道40行驶，由此将物品2搬运到其它存储库区域10B的交接口12、处理装置TL的装载端口LP或者暂存区ST，在他们各自处载置物品2。另外，高架搬运车50在从其它存储库区域10B的交接口12、处理装置TL的装载端口LP或者暂存区ST接受了物品2的情况下，能够沿着高架搬运车轨道40行驶至存储库区域10A的交接口12，在交接口12载置物品2。
在高架搬运车50在第一机架内环绕轨道41行驶的情况下，位于外绕轨道41a的高架搬运车50能够进行物品2相对于交接口12的交接。高架搬运车50在物品2相对于交接口12的交接中，在利用侧出机构55使升降驱动部54向外绕轨道41a的侧方突出了的状态下，使物品保持部53升降(参照图5)。另外，位于外绕轨道41a的高架搬运车50能够进行物品2相对于处理装置LT的装载端口LP的交接。高架搬运车50在物品2相对于装载端口LP的交接中，不驱动或者基本不驱动侧出机构55而使物品保持部53升降(参照图5)。
另外，位于外绕轨道41a或者内绕轨道41b的高架搬运车50能够进行物品2相对于暂存区ST的交接。高架搬运车50在物品2相对于暂存区ST的交接中，在通过侧出机构55使升降驱动部54向外绕轨道41a或者内绕轨道41b的侧方突出了的状态下使物品保持部53升降。物品2相对于暂存区ST的交接在外绕轨道41a或者内绕轨道41b的任一个中都能够进行，高架搬运车50通过改变侧出机构55的突出方向就能够对应(参照图5)。此外，也可将物品2相对于暂存区ST的交接限定为外绕轨道41a或者内绕轨道41b的任一个。
图7～图10是表示使悬挂式起重机30从存储库区域10A向规定区域亦即存储库区域10B移动时的移动路径的一个例子的图。在本实施方式中，在使悬挂式起重机30从存储库区域10A向其它存储库区域(规定区域)10B移动的情况下，不需要从起重机轨道20取下悬挂式起重机30，能够沿着第一以及第二连结轨道60A、60B以及高架搬运车轨道40移动。在该情况下，也可通过作业者等的手动操作来移动悬挂式起重机30，也可通过控制装置80(参照图1)自动地移动。
如图7所示，悬挂式起重机30存在于存储库区域10A内的起重机轨道20。首先，使悬挂式起重机30从起重机轨道20经由第一连结轨道60A向第一机架间轨道43移动(参照图7的箭头)。通过该移动，悬挂式起重机30从存储库区域10A内向存储库区域10A外移动。此外，悬挂式起重机30在高架搬运车轨道40行驶而移动到其它区域时，使与桅杆32(参照图4)干涉的设备等避开悬挂式起重机30的移动路径。另外，起重机轨道20以及第一连结轨道60A如上所述，各自剖面形状相同，所以悬挂式起重机30的起重机用行驶部31能够无障碍地从起重机轨道20进入第一连结轨道60A。
接下来，如图8所示，使悬挂式起重机30从第一机架间轨道43向第一机架内环绕轨道41的外绕轨道41a移动，并经由连接轨道41c向内绕轨道41b移动(参照图8的箭头)。外绕轨道41a被配置于处理装置TL的装载端口LP的正上方，所以若悬挂式起重机30保持原样地在外绕轨道41a行驶，则存在桅杆32与装载端口LP接触的可能性。因此，悬挂式起重机30从外绕轨道41a向内绕轨道41b移动。然后，使悬挂式起重机30沿着内绕轨道41b朝向存储库区域10B移动。
在起重机用行驶部31在内绕轨道41b(高架搬运车轨道40)行驶的情况下，悬挂式起重机30的桅杆32在作业者通路10G上通过。此时，也可以以禁止作业者等向作业者通路10G的进入、作业者等不进入作业者通路10G的方式，由被设置于悬挂式起重机30或者作业者通路10G的附近的扬声器发出警报等，也可以使被设置于作业者通路10G的附近的灯等点亮或者闪烁。
接下来，如图9所示，使悬挂式起重机30移动到内绕轨道41b的端部侧，从内绕轨道41b经由连接轨道41c向外绕轨道41a移动。接着，使悬挂式起重机30从外绕轨道41a向第二机架间轨道44移动，在第二机架间轨道44向存储库区域10B侧移动(参照图9的箭头)。
接下来，如图10所示，使悬挂式起重机30沿着第二机架间轨道44移动到第二连结轨道60B，经由第二连结轨道60B向存储库区域10B内的起重机轨道20移动(参照图10的箭头)。第二机架间轨道44、第二连结轨道60B以及起重机轨道20各自剖面形状相同，所以悬挂式起重机30的起重机用行驶部31能够无障碍地从第二机架间轨道44经由第二连结轨道60B进入起重机轨道20。
悬挂式起重机30构成被设置于存储库区域10B的存储库10的一部分，能够在存储库区域10B内的保管部11与交接口12之间进行物品2的交接。此外，在悬挂式起重机30的移动中，在从当前的轨道向下一个轨道换乘时、或者以曲线状移动时也可降低移动速度，防止下垂的桅杆32因振动或者离心力等向外侧摆动。
另外，悬挂式起重机30走从存储库区域10B向存储库区域10A移动的情况下，与上述相同，首先，从存储库区域10B内的起重机轨道20经由第二连结轨道60B向第二机架间轨道44移动。接着，悬挂式起重机30向第二机架内环绕轨道42的外绕轨道42a移动，经由连接轨道42c向内绕轨道42b移动。接着，悬挂式起重机30从第一机架间轨道43侧的连接轨道42c向外绕轨道42a移动，从外绕轨道42a向第一机架间轨道43移动，从第一机架间轨道43经由第一连结轨道60A向存储库区域10A内的起重机轨道20移动。
如上所述，根据本实施方式的搬运系统100，通常沿着存储库区域10A内的起重机轨道20行驶并且在存储库区域10A内在保管部11与交接口12之间移载物品的悬挂式起重机30，根据需要能够经由第一以及第二连结轨道60A、60B以及高架搬运车轨道40而移动到存储库区域10A外的规定区域(存储库区域10B)。根据该结构，不使用特殊的搬运设备就能够容易且不花费时间地使悬挂式起重机30在存储库区域10A内与规定区域(存储库区域10B)之间移动。其结果是，不需要从轨道取下悬挂式起重机30这样的麻烦的作业，并且也不需要用于搬运已被取下的悬挂式起重机30的特殊的搬运设备，所以能够抑制成本的增加。
在上述实施方式中，以规定区域是其它存储库区域10B的情况为例进行了说明，但并不限于该结构。图11以及图12是表示规定区域的其它例子的图。在以下的说明中，对于上述实施方式相同或者等同的结构部分标注相同的符号并省略或者简化说明。如图11所示，规定区域也可是维护区域10C。维护区域10C具有起重机轨道20C、以及多个维护装置MN。多个维护装置MN沿着起重机轨道20C配置。
在该结构中，在使悬挂式起重机30从存储库区域10A向维护区域10C移动的情况下，与上述实施方式相同，使悬挂式起重机30从存储库区域10A沿着第一机架间轨道43、第一机架内环绕轨道41以及第二机架间轨道44移动，经由维护区域10C侧的第二连结轨道60B向起重机轨道20C移动。在维护区域10C中，也可保持将悬挂式起重机30保持于起重机轨道20C的状态来进行维护，也可从起重机轨道20C取下悬挂式起重机30来进行维护。另外，可以利用维护装置MN维护悬挂式起重机30，也可利用其它器具等进行维护。在利用维护装置MN进行维护的情况下，例如也可通过控制装置80自动地进行。
在使悬挂式起重机30从维护区域10C向存储库区域10A移动的情况下，与上述实施方式相同，使悬挂式起重机30沿着起重机轨道20C、第二连结轨道60B以及第二机架间轨道44移动，从第二机架内环绕轨道42侧向存储库区域10A移动。这样，能够容易使悬挂式起重机30在存储库区域10A内与维护区域10C之间移动，能够避免在维护时将悬挂式起重机30从起重机轨道20取下并搬运这样的麻烦并且能够避免提高成本的作业。
另外，如图12所示，规定区域10D也可具有悬挂式起重机30的初始投入部90、以及保管多个悬挂式起重机30的起重机保管部91。此外，虽在规定区域10D配置有维护装置MN，但也可代替维护装置MN而配置有保管部11，也可配置有起重机保管部91。起重机保管部91使能够使用的多个悬挂式起重机30待机。规定区域10D也可保管维护已结束的悬挂式起重机30。
初始投入部90被设置于在规定区域10D设置的起重机轨道20D的端部，例如利用升降器等保持并抬起悬挂式起重机30，使起重机用行驶部31进入起重机轨道20D，由此将悬挂式起重机30投入到起重机轨道20D。被投入到起重机轨道20D的悬挂式起重机30从起重机轨道20D经由第二连结轨道60B沿着第二机架间轨道44移动，与上述实施方式相同，从第二机架内环绕轨道42侧向存储库区域10A移动，从而能够在存储库区域10A中使用。
这样，在规定区域10D包含悬挂式起重机30的初始投入部90的情况下，使悬挂式起重机30从初始投入部90向各存储库区域10A内移动，由此不需要在各存储库10中将悬挂式起重机30安装于起重机轨道20这样的作业，能够提高便利性。
以上，虽对实施方式进行了说明，但本发明并不限于上述说明，在不脱离本发明的宗旨的范围内能够进行各种改变。例如，在上述实施方式中，在使悬挂式起重机30从存储库区域10A向规定区域(10B、10C、10D)移动的情况下使用第一机架内环绕轨道41，在使悬挂式起重机30从规定区域向存储库区域10A移动的情况下使用了第二机架内环绕轨道42，但并不限于该结构。例如，也可在使悬挂式起重机30从存储库区域10A向规定区域(10B、10C、10D)移动的情况下使用第二机架内环绕轨道42，在使悬挂式起重机30从规定区域向存储库区域10A移动的情况下使用第一机架内环绕轨道41。另外，也可在使悬挂式起重机30从存储库区域10A向规定区域(10B、10C、10D)移动的情况下，以及在使悬挂式起重机30从规定区域向存储库区域10A移动的情况下，使用相同的机架内环绕轨道。另外，在法律允许的范围内，引用作为日本专利申请的特愿2017-128569以及本说明书所引用的全部的文献的内容并作为正文记载的一部分。
附图标记的说明
LP…装载端口、MN…维护装置；ST…暂存区；TL…处理装置；2…物品；10…存储库；10A…存储库区域；10B…存储库区域(规定区域)；10C…维护区域(规定区域)；10D…规定区域；10F…作业者进入禁止区域；10G…作业者通路；11…保管部；12…交接口；20，20C，20D…起重机轨道；30…悬挂式起重机；31…起重机用行驶部；32…桅杆；33…升降台；34…物品移载部；35…升降驱动部；40…高架搬运车轨道；41…第一机架内环绕轨道；41a、42a…外绕轨道；41b、42b…内绕轨道；41c、42c…连接轨道；42…第二机架内环绕轨道；43…第一机架间轨道；44…第二机架间轨道；50…高架搬运车；51…搬运车用行驶部；53…物品保持部；54…升降驱动部；60A…第一连结轨道(连结轨道)；60B…第二连结轨道(连结轨道)；71a…车轮；71b…行驶部主体；80…控制装置；90…初始投入部；100…搬运系统。

Claims (11)

1.一种搬运系统，其具备：
被配置于存储库区域内的存储库，所述存储库具备：在上下方向设置多层来保管物品的保管部、用于交接物品的交接口、沿着上述保管部以及上述交接口设置的起重机轨道、沿着上述起重机轨道行驶的起重机用行驶部、从上述起重机用行驶部垂下的桅杆、以及具有被上述桅杆引导地升降的物品移载部并且在上述保管部与上述交接口之间搬运物品的悬挂式起重机；
高架搬运车轨道，其被设置于上述存储库区域之外，沿着上述交接口以及处理装置的装载端口延伸至规定区域；
高架搬运车，其具有沿着上述高架搬运车轨道行驶的搬运车用行驶部、以及保持并升降物品的物品保持部，并且在上述交接口与上述装载端口之间搬运物品；以及
连结轨道，其连结上述起重机轨道与上述高架搬运车轨道，
上述起重机用行驶部能够从上述起重机轨道通过上述连结轨道进入上述高架搬运车轨道，在上述高架搬运车轨道行驶至上述规定区域，或者能够从上述规定区域进入上述高架搬运车轨道行驶至上述连结轨道，通过上述连结轨道进入上述起重机轨道而在上述起重机轨道行驶。
2.根据权利要求1所述的搬运系统，其中，
上述起重机轨道、上述高架搬运车轨道、以及上述连结轨道的与上述起重机用行驶部行驶的方向正交的剖面形状相同或者大致相同。
3.根据权利要求1所述的搬运系统，其中，
上述起重机用行驶部与上述搬运车用行驶部具备共用的车轮以及供上述车轮安装的行驶部主体。
4.根据权利要求1所述的搬运系统，其中，
上述高架搬运车在从停止状态开始基于上述搬运车用行驶部的行驶时，使上述物品保持部上升到最上方位置之后，开始行驶。
5.根据权利要求4所述的搬运系统，其中，
上述起重机轨道被设置于使上述悬挂式起重机的上述桅杆通过，且禁止作业者的进入的作业者进入禁止区域的上方，
上述高架搬运车轨道被设置于允许作业者的通行的作业者通路的上方，
在上述悬挂式起重机进入上述高架搬运车轨道时，禁止作业者向上述桅杆通过的上述作业者通路的进入。
6.根据权利要求1～5中任一项所述的搬运系统，其中，
上述规定区域是配置有与上述存储库不同的存储库的其他存储库区域。
7.根据权利要求6所述的搬运系统，其中，
上述高架搬运车轨道具备：第一机架内环绕轨道、第二机架内环绕轨道、与上述第一机架内环绕轨道以及上述第二机架内环绕轨道各自的一方的端部连结的第一机架间轨道、以及与上述第一机架内环绕轨道以及上述第二机架内环绕轨道各自的另一方的端部连结的第二机架间轨道，
上述存储库的上述起重机轨道利用第一上述连结轨道与上述第一机架间轨道连结，上述其他存储库的上述起重机轨道利用第二上述连结轨道与上述第二机架间轨道连结。
8.根据权利要求7所述的搬运系统，其中，上述存储库与上述其他存储库配置在上述第一机架内环绕轨道、上述第二机架内环绕轨道和上述第一机架间轨道、上述第二机架间轨道所围起的区域，
上述交接口设置于以下四处，即，沿上述存储库内的上述起重机轨道与上述第一机架内环绕轨道的位置、沿上述存储库内的上述起重机轨道与上述第二机架内环绕轨道的位置、沿上述其他存储库内的上述起重机轨道与上述第一机架内环绕轨道的位置、沿上述其他储库内的上述起重机轨道与上述第二机架内环绕轨道的位置。
9.根据权利要求1～5中任一项所述的搬运系统，其中，
上述规定区域是维护区域。
10.根据权利要求1～5中任一项所述的搬运系统，其中，
上述规定区域包含上述悬挂式起重机的初始投入部。
11.一种搬运系统的搬运方法，所述搬运系统具备：
被配置于存储库区域内的存储库，所述存储库具备：在上下方向设置多层来保管物品的保管部、用于交接物品的交接口、沿着上述保管部以及上述交接口设置的起重机轨道、沿着上述起重机轨道行驶的起重机用行驶部、从上述起重机用行驶部垂下的桅杆、以及具有被上述桅杆引导地升降的物品移载部并且在上述保管部与上述交接口之间搬运物品的悬挂式起重机；
高架搬运车轨道，其被设置于上述存储库区域之外，沿着上述交接口以及处理装置的装载端口延伸至规定区域；
高架搬运车，其具有沿着上述高架搬运车轨道行驶的搬运车用行驶部、以及保持并升降物品的物品保持部，并且在上述交接口与上述装载端口之间搬运物品；以及
连结轨道，其连结上述起重机轨道与上述高架搬运车轨道，
所述搬运方法包含以下步骤：
使上述起重机用行驶部从上述起重机轨道通过上述连结轨道进入上述高架搬运车轨道，在上述高架搬运车轨道行驶至上述规定区域，或者使上述起重机用行驶部从上述规定区域进入上述高架搬运车轨道行驶至上述连结轨道，通过上述连结轨道进入上述起重机轨道而在上述起重机轨道行驶。
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Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3915901A4 (en) 2019-01-25 2022-09-28 Murata Machinery, Ltd. STORAGE SYSTEM
US11615975B2 (en) 2019-01-25 2023-03-28 Murata Machinery, Ltd. Storage system
US20210242057A1 (en) * 2020-01-30 2021-08-05 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Automated material handling systems
JP7481466B2 (ja) 2020-08-24 2024-05-10 株式会社Fuji 部品実装システム
US20230373716A1 (en) * 2020-10-06 2023-11-23 Murata Machinery, Ltd. Stocker
CN113978991A (zh) * 2021-11-17 2022-01-28 江苏智库智能科技有限公司 一种高密度穿梭车存储系统及存储方法
CN116081461B (zh) * 2023-03-06 2023-06-16 新乡学院 一种能够实现急转弯的天车及其实现方法

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3669057B2 (ja) * 1996-06-03 2005-07-06 アシスト シンコー株式会社 ストッカへの搬送システム
JP4267742B2 (ja) * 1999-03-12 2009-05-27 平田機工株式会社 天井搬送装置及びこれを用いた物流ラインシステム
TWI233913B (en) * 2002-06-06 2005-06-11 Murata Machinery Ltd Automated guided vehicle system
JP2006051886A (ja) * 2004-08-12 2006-02-23 Murata Mach Ltd 天井走行車システム
JP4337683B2 (ja) * 2004-08-16 2009-09-30 村田機械株式会社 搬送システム
US7637708B2 (en) * 2006-01-09 2009-12-29 Sumco Corporation Production system for wafer
KR100743194B1 (ko) * 2006-03-22 2007-07-27 삼성전자주식회사 이송시스템
JP5088468B2 (ja) * 2007-03-09 2012-12-05 村田機械株式会社 懸垂式搬送台車を用いた搬送システム
PL2868315T3 (pl) 2007-12-04 2018-06-29 Biogen Chesapeake Llc Udoskonalone preparaty i sposoby liofilizacji oraz uzyskiwane liofilizaty
JP5686501B2 (ja) * 2009-03-27 2015-03-18 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP5375345B2 (ja) * 2009-06-08 2013-12-25 村田機械株式会社 天井搬送車の軌道設備
JP5110405B2 (ja) * 2010-04-07 2012-12-26 村田機械株式会社 走行台車システム
JP5382470B2 (ja) * 2010-11-04 2014-01-08 村田機械株式会社 搬送システム及び搬送方法
US9633879B2 (en) * 2014-05-14 2017-04-25 Murata Machinery, Ltd. Storage system in the ceiling space and storage method for goods thereby
US9415934B2 (en) * 2014-05-14 2016-08-16 Murata Machinery, Ltd. Transport system and transport method
WO2016031351A1 (ja) 2014-08-26 2016-03-03 村田機械株式会社 ピッキングシステムとピッキング方法
JP6168476B2 (ja) * 2015-03-19 2017-07-26 村田機械株式会社 搬送台車と搬送台車システム
KR101993402B1 (ko) 2015-05-01 2019-06-26 무라다기카이가부시끼가이샤 자동 창고 및 현수식(懸垂式) 스태커 크레인
KR102062179B1 (ko) * 2015-08-14 2020-01-03 무라다기카이가부시끼가이샤 반송 시스템
WO2019003799A1 (ja) * 2017-06-30 2019-01-03 村田機械株式会社 搬送システム及び搬送方法

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