TWI758504B - 搬運系統及搬運方法 - Google Patents

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Abstract

[課題] 不需要使用特別的搬運機材，就可將懸吊式起重機在貯藏區域內及規定區域之間容易地移動。 　　[技術內容] 具備：貯藏庫(10)，是設有：起重機用空架軌道(20)、及在保管部(11)及收授通口(12)之間將物品(2)搬運的懸吊式起重機(30)；及高架搬運車用空架軌道(40)，是在貯藏區域(10A)外，沿著收授通口(12)及處理裝置(LT)的裝載埠(LP)設置且至貯藏區域(規定區域)(10B)為止延伸；及高架搬運車(50)，是在收授通口(12)及裝載埠(LP)之間將物品(2)搬運；及連結軌道(60A、60B)；起重機用行走部(31)，可透過連結軌道(60A、60B)，從起重機用空架軌道(20)進入高架搬運車用空架軌道(40)直到貯藏區域(10B)為止行走。

Description

搬運系統及搬運方法
本發明，是有關於搬運系統及搬運方法。
在半導體製造工場等的製造工場中，被配置有保管收容半導體晶圓的FOUP(前開口式通用容器)或是收容光柵的光柵Pod等的物品的貯藏庫。貯藏庫，是具備在複數保管棚及收授通口之間移載物品用的起重機。此起重機，已知是行走於被配置於空架的軌道的懸吊式起重機，為了提高物品的移載效率，已被提案使2種類的懸吊式起重機可行走於共通的軌道的構成(例如專利文獻1參照)。 [習知技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1] 國際公開第2016/178347號
專利文獻1的貯藏庫，雖是使2種類的懸吊式起重機行走於共通的軌道，但是其行走範圍仍停留在配置有貯藏庫的1個貯藏區域內。因此，將此懸吊式起重機朝別的貯藏區域移動的情況時，或是為了維修而將懸吊式起重機朝維修區域移動的情況時，有必要從軌道將懸吊式起重機取下地搬運。但是，從軌道將懸吊式起重機取下的作業是麻煩且需要勞力和時間，作業者的負擔會增大。進一步，因為使用特別的搬運機材將取下的懸吊式起重機搬運所以不只花費成本，且具有在搬運花費時間的問題。
本發明的目的是提供一種搬運系統及搬運方法，不需要使用特別的搬運機材，就可將懸吊式起重機在貯藏區域內及規定區域之間容易地移動。
本發明的搬運系統，是具備：貯藏庫，是被配置於貯藏區域內，且具備：上下方向複數層設置地保管物品的保管部；及將物品收授用的收授通口、及沿著保管部及收授通口被設置的起重機用空架軌道、及具有沿著起重機用空架軌道行走的起重機用行走部和從起重機用行走部下垂的柱和被柱導引地昇降的物品移載部且在保管部及收授通口之間將物品搬運的懸吊式起重機；及設於貯藏區域外，沿著收授通口及處理裝置的裝載埠直到規定區域為止延伸的高架搬運車用空架軌道；及高架搬運車，是具有：沿著高架搬運車用空架軌道行走的搬運車用行走部、及將物品保持地昇降的物品保持部，且在收授通口及裝載埠之間將物品搬運；及將起重機用空架軌道及高架搬運車用空架軌道連結的連結軌道；起重機用行走部，是可從起重機用空架軌道通過連結軌道地進入高架搬運車用空架軌道，將高架搬運車用空架軌道直到前述規定區域為止地行走，或是可從前述規定區域進入高架搬運車用空架軌道直到連結軌道為止行走，通過連結軌道進入起重機用空架軌道地行走。
且起重機用空架軌道、高架搬運車用空架軌道、及連結軌道，其與起重機用行走部所行走的方向垂直交叉的剖面形狀是相同或是幾乎相同也可以。且，起重機用行走部及搬運車用行走部，是具備安裝有共通的車輪及車輪的行走部本體也可以。且，高架搬運車，是從停止狀態開始由搬運車用行走部進行行走時，將物品保持部直到最高上昇位置為止上昇之後，開始行走也可以。且，起重機用空架軌道，是設於懸吊式起重機的柱會通過且禁止作業者進入的作業者進入禁止區域的上方，高架搬運車用空架軌道，是設於作業者的通行被許可的作業者通路的上方，當懸吊式起重機進入高架搬運車用空架軌道時，禁止作業者進入柱會通過的作業者通路也可以。且，規定區域，是與上述的貯藏庫不同的貯藏庫被配置的其他的貯藏區域也可以。
且高架搬運車用空架軌道，是具備：第1區域內周轉軌道、及第2區域內周轉軌道、及與第1區域內周轉軌道及第2區域內周轉軌道的各一方的端部連結的第1區域間軌道、及與第1區域內周轉軌道及第2區域內周轉軌道 的各另一方的端部連結的第2區域間軌道，貯藏庫中的起重機用空架軌道，是藉由第1連結軌道與第1區域間軌道連結，其他的貯藏庫中的起重機用空架軌道，是藉由第2連結軌道與第2區域間軌道連結也可以。且，規定區域，是維修區域也可以。且，規定區域，是包含懸吊式起重機的初期投入部也可以。
且本發明的搬運方法，是搬運系統的搬運方法，該搬運系統，具備：貯藏庫，是被配置於貯藏區域內，具備：上下方向複數層設置地保管物品的保管部、及將物品收授用的收授通口、及沿著保管部及收授通口被設置的起重機用空架軌道、及具有沿著起重機用空架軌道行走的起重機用行走部和從起重機用行走部下垂的柱和被柱導引地昇降的物品移載部且在保管部及收授通口之間將物品搬運的懸吊式起重機；及設於貯藏區域外，沿著收授通口及處理裝置的裝載埠直到規定區域為止延伸的高架搬運車用空架軌道；及具有沿著高架搬運車用空架軌道行走的搬運車用行走部和將物品保持地昇降的物品保持部且在收授通口及裝載埠之間將物品搬運的高架搬運車；及將起重機用空架軌道及高架搬運車用空架軌道連結的連結軌道；該搬運方法，包含：將起重機用行走部，從起重機用空架軌道通過連結軌道地進入高架搬運車用空架軌道，將高架搬運車用空架軌道直到規定區域為止地行走；或是從規定區域進入高架搬運車用空架軌道直到連結軌道為止地行走，通過連結軌道進入起重機用空架軌道地行走。
依據本發明的搬運系統及搬運方法的話，平常時雖是沿著貯藏區域內的起重機用空架軌道行走，且在貯藏區域內在保管部及收授通口之間移載物品的懸吊式起重機，但是可以依據需要，通過連結軌道及高架搬運車用空架軌道直到貯藏區域外的規定區域為止移動。藉由此構成，不需要使用特別的搬運機材，就可將懸吊式起重機在貯藏區域內及規定區域之間容易且不花時間地移動，且從軌道將懸吊式起重機取下的麻煩的作業是成為不需要，進一步，因為將取下的懸吊式起重機搬運用的特別的搬運機材也成為不需要所以可以抑制成本的增加。
且起重機用空架軌道、高架搬運車用空架軌道、及連結軌道，其與起重機用行走部所行走的方向垂直交叉的剖面形狀是相同或是幾乎相同的情況時，藉由將這些的軌道作成同一的規格，就可以將軌道的設置由低成本進行。且，起重機用行走部及搬運車用行走部，是具備安裝有共通的車輪及車輪的行走部本體的情況時，藉由將懸吊式起重機及高架搬運車的行走部作成同一的規格，就可以將起重機用行走部及搬運車用行走部由低成本製造。且，高架搬運車，是從停止狀態開始由搬運車用行走部進行行走時，直到最高上昇位置為止將物品保持部上昇之後，開始行走的情況時，在高架搬運車的行走時，可防止高架搬運車的一部分與高架搬運車用空架軌道的下方的障礙物接 觸。且，起重機用空架軌道，是設於上述的作業者進入禁止區域的上方，高架搬運車用軌道，是設於上述的作業者通路的上方，當懸吊式起重機進入高架搬運車用空架軌道時，禁止作業者進入柱會通過的作業者通路的情況時，可以透過被設置在作業者的通行被許可的作業者通路上的高架搬運車用空架軌道，將在作業者的進入被禁止的作業者進入禁止區域內運轉的懸吊式起重機，適切地移動。
且規定區域，是與上述的貯藏庫不同的貯藏庫被配置的其他的貯藏區域的情況時，在貯藏區域內及其他的貯藏區域內之間，可以將懸吊式起重機，容易地移動。且，高架搬運車用空架軌道，是具備：上述的第1區域內周轉軌道、及第2區域內周轉軌道、及第1區域間軌道、及第2區域間軌道，貯藏庫中的起重機用空架軌道，是藉由第1連結軌道與第1區域間軌道連結，其他的貯藏庫中的起重機用空架軌道，是藉由第2連結軌道與第2區域間軌道連結的情況時，可以將懸吊式起重機，透過第1及第2區域內周轉軌道以及第1及第2區域間軌道，在貯藏庫及其他的貯藏庫之間確實地移動。且，規定區域，是維修區域的情況時，可以將懸吊式起重機，在貯藏區域內及維修區域之間容易地移動。且，規定區域，是包含懸吊式起重機的初期投入部的情況時，藉由將懸吊式起重機，從初期投入部朝各貯藏區域內移動，在各貯藏庫中將懸吊式起重機安裝在起重機用空架軌道的作業是成為不需要，可以提高作業性。
以下，對於本發明的實施例一邊參照圖面一邊說明。但是，本發明不限定於此實施例。且，在圖面為了說明實施例，加大一部分或是強調地記載等適宜將縮尺變更地顯示。
第1圖，是顯示本實施例的搬運系統100的一例的俯視圖。第1圖所示的搬運系統100，是例如，被設置在半導體裝置的製造工場等，搬運：將半導體裝置的製造所使用的半導體晶圓收容的FOUP(前開口式通用容器)、或是將光柵等收容的光柵容器等的物品2。在此，物品2雖是說明FOUP(前開口式通用容器)，但是物品2，是FOUP(前開口式通用容器)以外也可以。且，搬運系統100，可適用在半導體製造領域以外的設備，物品2，是在設有搬運系統100的設備中所處理的各種的物品也可以。
搬運系統100，是如第1圖所示，具有：貯藏庫10、及高架搬運車用空架軌道40、及高架搬運車50、及第1及第2連結軌道60A、60B、及控制裝置80。貯藏庫10，是被配置於貯藏區域10A及其他的貯藏區域(規定區域)10B內。第2圖，是顯示貯藏區域10A的一例的圖。如第2圖所示，貯藏庫10，是具備：保管部11、及收授通口12、及起重機用空架軌道20、及懸吊式起重機30。
保管部11，是上下方向被設置複數層，且在沿著懸吊式起重機30的移動方向的左右方向並列的狀態下保管物品2。保管部11，是使用可將物品2載置的棚部等。在將物品2載置的棚部中，設有可進入設於物品2底面的溝部的複數銷也可以。藉由將此銷進入物品2的溝部，使物品2被定位於棚部。複數保管部11，雖是在各貯藏區域10A、10B，被配置於3處，但是不限定於此構成，保管部11的數量是任意。收授通口12，是作為在與高架搬運車50等之間進行物品2的收授的場所被設置。收授通口12，是在貯藏區域10A被設置複數。起重機用空架軌道20，是沿著保管部11及收授通口12被設置。起重機用空架軌道20，是設於懸吊式起重機30的運轉中作業者的進入被禁止的作業者進入禁止區域10F的上方。進一步，懸吊式起重機30的運轉中，是對於貯藏區域10A、10B整體禁止作業者進入也可以。
第3圖，是顯示規定區域的一例的圖。第3圖所示的規定區域，是與貯藏區域10A不同配置的其他的貯藏區域10B。如第3圖所示，在本實施例中，貯藏區域10B，雖是成為與上述的貯藏區域10A同樣的構成，但是其他的構成也可以。在貯藏區域10B中，配置有貯藏庫10。貯藏庫10，是與貯藏區域10A同樣，具備：複數保管部11、及複數收授通口12、及起重機用空架軌道20、及懸吊式起重機30。
懸吊式起重機30，是在保管部11及收授通口12之間將物品2搬運。且，懸吊式起重機30，是在保管部11內也進行將物品2從現在的棚部朝別的棚部的移載。第4圖，是顯示懸吊式起重機30的一例的圖。如第4圖所示，懸吊式起重機30，是具備：起重機用行走部31、及柱32、及物品移載部34。物品移載部34，是具備：昇降台33、及昇降驅動部35。起重機用行走部31，是具備未圖示的行走驅動部及複數車輪71a(第6圖參照)，沿著起重機用空架軌道20行走。行走驅動部，是例如，設在起重機用行走部31將車輪71a驅動的電動馬達也可以，使用起重機用空架軌道20設置的線性馬達也可以。
柱32，是從起重機用行走部31下垂地朝上下方向延伸，導引昇降台33。柱32，是形成中空或是中實的棒狀，剖面是形成圓形狀、橢圓形狀、長圓形狀、或是四角形狀等的多角形狀。柱32的下端，是設定成從底面空出規定間隔的狀態。在第4圖中，在起重機用行走部31的下方透過安裝部36安裝有上部支撐體37。柱32，是被安裝於上部支撐體37的下面側，成為從起重機用行走部31被吊下的狀態。柱32朝上部支撐體37的安裝，是例如，使用螺栓及螺帽等的結合構件也可以，使用焊接等也可以。又，柱32，是1根也可以，例如，各別設置在起重機用行走部31的行走方向的前後也可以。
昇降台33，是在上面搭載物品移載部34，可沿著柱32昇降。昇降台33，是具備將柱32挾持地配置的導引滾子33a，將沿著柱32的昇降動作圓滑地進行。且，在柱32的下部安裝有下部支撐體32a，昇降台33，可下降至與此下部支撐體32a上抵接的位置為止。又，下部支撐體32a，是防止昇降台33從柱32朝下方脫落。
物品移載部34，是被搭載於昇降台33，被柱32導引地昇降。物品移載部34，是具備：朝與起重機用行走部31的行走方向垂直交叉的方向可伸縮的臂部38、及設於臂部38的先端可將物品2載置的載置部39。物品移載部34，當將物品2收取時，是將臂部38延伸將載置部39配置於物品2下，藉由將昇降台33上昇，而由載置部39將物品2挖起。又，在保管部11中，設有可讓載置部39上下通過的未圖示的缺口部。接著，物品移載部34，是藉由在將物品2載置於載置部39上的狀態下將臂部38縮短，而將載置了物品2的載置部39配置於昇降台33上。
且物品移載部34，是朝移載終點將物品2傳送時，朝移載終點的上方將臂部38延伸，將載置部39配置於移載終點的上方。接著，藉由將昇降台33下降，而使載置部39通過上述的保管部11的缺口部，此時物品2是從載置部39朝移載終點傳遞。且，物品移載部34，可取代將物品2載置在載置部39的構成，而使用將物品2的凸緣部2a把持的構成也可以，將物品2的側面把持的構成也可以。
昇降驅動部35，是例如，使用吊車等，沿著柱32將昇降台33昇降。昇降驅動部35，是具備吊下構件35a及驅動部35b。吊下構件35a，是例如，皮帶或是金屬線等，昇降台33，是藉由此吊下構件35a而從上部支撐體37被吊下。驅動部35b，是設於上部支撐體37，進行吊下構件35a的吐出、捲取。昇降台33，是驅動部35b將吊下構件吐出的話，被柱32導引地降下。且，昇降台33，是驅動部35b將吊下構件35a捲取的話，被柱32導引地上昇。驅動部35b，是被控制裝置80等控制，由規定的速度將昇降台33降下或是上昇。且，驅動部35b，是被控制裝置80等控制，將昇降台33保持於目標的高度。
昇降驅動部35，是設於上部支撐體37(起重機用行走部31)，但是不限定於此構成。昇降驅動部35，是例如，設於昇降台33也可以。在昇降台33設有昇降驅動部35的構成，是例如，將從上部支撐體37吊下的皮帶或是金屬線等藉由被搭載於昇降台33的吊車等進行捲起或是吐出將昇降台33昇降也可以。且，在昇降台33搭載將小齒輪驅動的電動馬達等，此小齒輪嚙合的齒條是形成於柱32，藉由將電動馬達等驅動將小齒輪旋轉而將昇降台33昇降也可以。
如第1圖～第3圖所示，高架搬運車用空架軌道40，是被配置於貯藏區域10A外。高架搬運車用空架軌道40，是沿著處理裝置TL的裝載埠LP被設置，直到貯藏區域(規定區域)10B為止延伸。高架搬運車用空架軌道40，是設於除了懸吊式起重機30的駛入時以外在高架搬運車50的運轉中作業者的通行被許可的作業者通路10G的上方。且，高架搬運車用空架軌道40，是懸吊式起重機30的起重機用行走部31可行走。藉由此構成，可以透過被設置在作業者的通行被許可的作業者通路10G上的高架搬運車用空架軌道40，將在作業者的進入被禁止的作業者進入禁止區域10F內運轉的懸吊式起重機30，適切地移動。
高架搬運車用空架軌道40，是具備：第1區域內周轉軌道41、及第2區域內周轉軌道42、及第1區域間軌道43、及第2區域間軌道44。第1區域內周轉軌道41及第2區域內周轉軌道42，是只有貯藏區域10A及貯藏區域10B的分被分離配置，成為彼此平行並列的狀態。又，將貯藏區域10A、10B的外周各別圍起來地設有未圖示的壁部。藉由此壁部，是區劃貯藏區域10A、10B的內外，在懸吊式起重機30的運轉時，禁止作業者進入貯藏區域10A、10B內。又，懸吊式起重機30從貯藏區域10A、10B朝規定區域移動時，以使懸吊式起重機30從貯藏區域10A、10B朝外突出的方式，使對應連絡軌道41c、42c的壁部的一部分被取下。
第1區域內周轉軌道41，是具有外周圍軌道41a及繞內周軌道41b。繞外周軌道41a，是形成環狀，在長度方向的兩端，與後述的第1區域間軌道43及第2區域間軌道44連接。繞外周軌道41a，從俯視看，是通過貯藏區域10A、10B中的收授通口12的側方。行走於繞外周軌道41a的高架搬運車50，可對於收授通口12進行物品2的收授。外周圍軌道41a，是被配置於處理裝置TL的裝載埠LP的正上方。繞內周軌道41b，是形成環狀，被配置於繞外周軌道41a的內側。
第2區域內周轉軌道42，是具有繞外周軌道42a及繞內周軌道42b。繞外周軌道42a，是形成環狀，在長度方向的兩端，與後述的第1區域間軌道43及第2區域間軌道44連接。繞外周軌道42a，從俯視看，是通過貯藏區域10A、10B中的收授通口12的側方。但是，此收授通口12，是與對應第1區域內周轉軌道41的繞外周軌道41a的收授通口12相異的收授通口12。行走於繞外周軌道42a的高架搬運車50，是可對於收授通口12進行物品2的收授。外周圍軌道42a，是被配置於處理裝置TL的裝載埠LP的正上方。繞內周軌道42b，是形成環狀，被配置於繞外周軌道42a的內側。又，繞內周軌道41b、42b，從俯視看，是被設置在從裝載埠LP的正上方偏離的位置。藉由此構成，懸吊式起重機30，是成為從後述的貯藏區域10A朝規定區域移動時，從起重機用行走部31下垂的柱32不會與裝載埠LP干涉地行走。
繞內周軌道41b，是透過連絡軌道41c與繞外周軌道41a連接。且，繞內周軌道42b，是透過連絡軌道42c與繞外周軌道42a連接。又，在外周圍軌道41a、42a及繞內周軌道41b、42b之間，是各別沿著外周圍軌道41a、42a等配置有複數暫存區ST。暫存區ST，是例如，具有可載置物品2的棚部，在從建屋的空架被吊下的狀態下被設置。又，是否配置暫存區ST可任意，沒有暫存區ST也可以。
第1區域間軌道43，是與第1區域內周轉軌道41及第2區域內周轉軌道42的各一方的端部連結。第2區域間軌道44，是與第1區域內周轉軌道41及第2區域內周轉軌道42的各一方的端部連結。第1區域間軌道43及第2區域間軌道44，其各直線狀的2條的軌道是並行地延伸，2條的軌道之間設有複數連絡軌道。
高架搬運車50，是沿著高架搬運車用空架軌道40移動，在處理裝置TL的裝載埠LP、及貯藏區域10A、10B的收授通口12之間，進行物品2的收授。且，高架搬運車50，是除了裝載埠LP及收授通口12以外，在與沿著高架搬運車用空架軌道40(外周圍軌道41a、42a等)設置的暫存區ST之間，進行物品2的移載。處理裝置TL，是例如，曝光裝置、塗抹顯像裝置、製膜裝置、或是蝕刻裝置等，對於被收容於搬運系統100所搬運的物品2中的半導體晶圓施加各種處理。
第5圖，是顯示高架搬運車50的一例的圖。如第5圖所示，高架搬運車50，是具有：搬運車用行走部51、及本體部52。搬運車用行走部51，是與起重機用行走部31同樣，具備未圖示的行走驅動部及複數車輪71a(第6圖參照)，沿著高架搬運車用空架軌道40行走。行走驅動部，是例如，設在搬運車用行走部51且將車輪71a驅動的電動馬達也可以，使用高架搬運車用空架軌道40地設置的線性馬達也可以。
本體部52，是透過安裝部52a被安裝於搬運車用行走部51的下部。本體部52，是具有：將物品2吊下地保持的物品保持部53、及將物品保持部53朝垂直方向昇降的昇降驅動部54、及將昇降驅動部54移動的橫出機構55。物品保持部53，是藉由將物品2的凸緣部2a把持，而將物品2吊下地保持。物品保持部53，是例如，具有可朝 水平方向移動的爪部53a的挾盤，藉由將爪部53a侵入物品2的凸緣部的下方，將物品保持部53上昇，而將物品2保持。物品保持部53，是與金屬線或是皮帶等的吊下構件53b連接。如此，在高架搬運車50中，未設置如懸吊式起重機30的柱32導引昇降的構成。因此，物品保持部53，是成為對於本體部52可晃動的狀態。
昇降驅動部54，是例如吊車，藉由將吊下構件53b吐出而將物品保持部53降下，藉由將吊下構件53b捲取而將物品保持部53上昇。昇降驅動部54，是被控制裝置80等控制，由規定的速度將物品保持部53降下或是上昇。且，昇降驅動部54，是被控制裝置80等控制，將物品保持部53保持於目標的高度。高架搬運車50，是從停止狀態開始由搬運車用行走部51進行行走時，藉由昇降驅動部54將物品保持部53上昇至最高上昇位置為止之後，開始行走。因此，在高架搬運車50的行走時，可防止高架搬運車50的一部分，與高架搬運車用空架軌道40的下方的障礙物接觸。
橫出機構55，是例如具有上下方向重疊配置的可動板。可動板，是朝搬運車用行走部51的行走方向的側方可移動。在可動板中，安裝有轉動部及昇降驅動部54。本體部52，是具有：導引橫出機構55的未圖示的導引部、及將橫出機構55驅動的未圖示的驅動部等。橫出機構55，是藉由來自電動馬達等的驅動部的驅動力，而將昇降驅動部54及物品保持部53沿著導引部，在突出位置及存儲位置之間移動。突出位置，是從本體部52朝側方突出的位置。存儲位置，是被存儲於本體部52內的位置。
轉動部，是具有未圖示的轉動構件及轉動驅動部。轉動構件，是繞上下方向的軸周圍可轉動地設置。轉動構件，是與昇降驅動部54或是物品保持部53連接。轉動驅動部，是使用電動馬達等，將轉動構件繞上下方向的軸周圍轉動。轉動部，是藉由來自轉動驅動部的驅動力而將轉動軸轉動，將昇降驅動部54或是物品保持部53繞上下方向的軸周圍可轉動。藉由此轉動部就可以改變由物品保持部53保持的物品2的方向。又，高架搬運車50不具備轉動部也可以。
第6圖，是顯示起重機用行走部31及搬運車用行走部51的一例的圖。起重機用行走部31及搬運車用行走部51，是例如，採用共通(相同或是幾乎相同)的構成。且，起重機用空架軌道20及高架搬運車用空架軌道40，其與行走方向垂直交叉的平面的剖面是相同或是幾乎相同，成為起重機用行走部31及搬運車用行走部51皆可行走。如此，起重機用行走部31及搬運車用行走部51因為是共通的構成，所以不需要將起重機用行走部31及搬運車用行走部51由別的構成製造，可以減少懸吊式起重機30及高架搬運車50的製造成本。又，起重機用行走部31，是在1台的懸吊式起重機30使用複數台(例如2台)也可以。藉由此構成，可以透過柱32，將重量物也就是載置部39及物品2等適切地保持。
起重機用行走部31及搬運車用行走部51，是具備安裝有共通的車輪71a及車輪71a的行走部本體71b。複數車輪71a，是各別與起重機用空架軌道20或是高架搬運車用空架軌道40的下方的內面抵接。安裝有複數車輪71a的行走部本體71b，是具備：將車輪71a驅動用的行走驅動部、或是各種感測器。起重機用空架軌道20及高架搬運車用空架軌道40是具備供電部70。供電部70，是具有：供電軌道75、及設於供電軌道75的非接觸供電線76。供電部70，是被配置於起重機用空架軌道20及高架搬運車用空架軌道40的下方，沿著起重機用空架軌道20及高架搬運車用空架軌道40連續地或是間斷地設置。且，在懸吊式起重機30的安裝部36及高架搬運車50的安裝部52a中，設有受電部73。受電部73，是透過非接觸供電線76受電，朝行走部本體71b等供給電力。
如第1圖所示，控制裝置80，是將搬運系統100總括地控制。控制裝置80，是藉由由無線或是有線所進行的通訊將懸吊式起重機30及高架搬運車50的動作控制。又，控制裝置80，是被分割成：將懸吊式起重機30控制的控制裝置、及將高架搬運車50控制的控制裝置也可以。且，懸吊式起重機30用的控制裝置，是被分割成各貯藏區域10A地配置也可以，將複數貯藏區域10A、10B整批地控制也可以。且，將高架搬運車50控制的控制裝置，是將行走於規定區域內的複數高架搬運車50控制也可以。
如第1圖～第3圖所示，第1連結軌道60A，是將：貯藏區域10A的起重機用空架軌道20、及高架搬運車用空架軌道40的第1區域間軌道43連結。且，第2連結軌道60B，是將：貯藏區域10B的起重機用空架軌道20、及高架搬運車用空架軌道40的第2區域間軌道44連結。第1及第2連結軌道60A、60B，是起重機用行走部31可行走。懸吊式起重機30的起重機用行走部31，是透過第1連結軌道60A，可從起重機用空架軌道20進入高架搬運車用空架軌道40，直到其他的貯藏區域10B為止地行走。且，起重機用行走部31，是透過第2連結軌道60B，可從高架搬運車用空架軌道40進入起重機用空架軌道20地行走。
第1及第2連結軌道60A、60B，是搬運車用行走部51可行走也可以。又，第1及第2連結軌道60A、60B，其與起重機用行走部31的行走方向垂直交叉的平面的剖面，是與起重機用空架軌道20及高架搬運車用空架軌道40相同或是幾乎相同(第6圖參照)。因此，起重機用行走部31或是搬運車用行走部51，可在第1及第2連結軌道60A、60B無障礙地行走。如此，藉由將這些的軌道作成同一的剖面形狀，就可以實現軌道的規格化，可以將軌道的設置由低成本進行。
在上述的搬運系統100中，懸吊式起重機30，是在貯藏區域10A或是貯藏區域10B內，沿著起重機用空架軌道20行走，在保管部11、及收授通口12之間將物品2搬運。例如，懸吊式起重機30，可以將被保管在保管部11的物品2藉由物品移載部34(第4圖參照)進行收取，沿著起重機用空架軌道20直到收授通口12為止行走，將物品2載置在收授通口12。且，物品2是藉由高架搬運車50被載置在收授通口12的情況時，懸吊式起重機30，是沿著起重機用空架軌道20直到收授通口12為止行走，藉由物品移載部34將物品2收取之後，沿著起重機用空架軌道20直到移載終點的保管部11為止行走，可以藉由物品移載部34而將物品2載置在保管部11。
且在搬運系統100中，高架搬運車50，是藉由懸吊式起重機30而將物品2載置在收授通口12的情況時，沿著高架搬運車用空架軌道40直到貯藏區域10A的收授通口12為止行走。其後，將物品2由物品保持部53(第5圖參照)保持，藉由行走於高架搬運車用空架軌道40，直到其他的貯藏區域10B的收授通口12、處理裝置LT的裝載埠LP、或是暫存區ST為止將物品2搬運，可以對於各部將物品2載置。且，高架搬運車50，可以從其他的貯藏區域10B的收授通口12、處理裝置LT的裝載埠LP，或是暫存區ST，將物品2收取的情況時，沿著高架搬運車用空架軌道40直到貯藏區域10A的收授通口12為止行走，將物品2載置在收授通口12。
高架搬運車50是行走於第1區域內周轉軌道41的情況時，位於繞外周軌道41a的高架搬運車50，可以對於收授通口12進行物品2的收授。高架搬運車50，是在對於收授通口12的物品2的收授中，在藉由橫出機構55將昇降驅動部54朝繞外周軌道41a的側方突出的狀態下將物品保持部53昇降(第5圖參照)。且，位於繞外周軌道41a的高架搬運車50，是可以對於處理裝置LT的裝載埠LP進行物品2的收授。高架搬運車50，是在對於裝載埠LP的物品2的收授中，不驅動或是幾乎不驅動橫出機構55地將物品保持部53昇降(第5圖參照)。
且位於繞外周軌道41a或是繞內周軌道41b的高架搬運車50，可以對於暫存區ST進行物品2的收授。高架搬運車50，是在對於暫存區ST的物品2的收授中，在藉由橫出機構55將昇降驅動部54朝繞外周軌道41a或是繞內周軌道41b軌道的側方突出的狀態下將物品保持部53昇降。對於暫存區ST的物品2的收授，是繞外周軌道41a或是繞內周軌道41b的其中任一也可以，高架搬運車50，是藉由改變橫出機構55的突出方向就可對應(第5圖參照)。又，將對於暫存區ST的物品2的收授，限定於繞外周軌道41a或是繞內周軌道41b的其中任一也可以。
第7圖～第10圖，是顯示將懸吊式起重機30從貯藏區域10A朝規定區域也就是貯藏區域10B移動時的移動路徑的一例的圖。在本實施例中，將懸吊式起重機30從貯藏區域10A朝其他的貯藏區域(規定區域)10B移動的情況時，不必要從起重機用空架軌道20將懸吊式起重機30取下，可以沿著第1及第2連結軌道60A、60B及高架搬運車用空架軌道40移動。此情況，將懸吊式起重機30由作業者等手動地移動也可以，藉由控制裝置80(第1圖參照)自動地移動也可以。
如第7圖所示，懸吊式起重機30，是存在於貯藏區域10A內的起重機用空架軌道20。首先，將懸吊式起重機30，從起重機用空架軌道20透過第1連結軌道60A朝第1區域間軌道43移動(第7圖的箭頭參照)。懸吊式起重機30，是藉由此移動而從貯藏區域10A內朝貯藏區域10A外移動。又，懸吊式起重機30是行走於高架搬運車用空架軌道40直到其他的區域為止移動時，與柱32(第4圖參照)干涉的機材等是從懸吊式起重機30的移動路徑退避。且，起重機用空架軌道20及第1連結軌道60A，如上述，因為各剖面形狀是相同，所以懸吊式起重機30的起重機用行走部31可從起重機用空架軌道20朝第1連結軌道60A無障礙地進入。
接著，如第8圖所示，將懸吊式起重機30，從第1區域間軌道43朝第1區域內周轉軌道41的繞外周軌道41a移動，透過連絡軌道41c朝繞內周軌道41b移動(第8圖的箭頭參照)。繞外周軌道41a，因為是被配置於處理裝置TL的裝載埠LP的正上方，所以懸吊式起重機30是直接行走於繞外周軌道41a的話，具有柱32與裝載埠LP接觸的可能性。因此，懸吊式起重機30，是從繞外周軌道41a朝繞內周軌道41b移位地移動。其後，將懸吊式起重機30，沿著繞內周軌道41b朝向貯藏區域10B移動。
起重機用行走部31是行走於繞內周軌道41b(高架搬運車用空架軌道40)的情況時，懸吊式起重機30的柱32是成為通過作業者通路10G上。此時，作業者等朝作業者通路10G的進入被禁止，且以使作業者等無法進入作業者通路10G的方式，從被設置在懸吊式起重機30或是作業者通路10G的附近的喇叭(揚聲器)將警報等發出也可以，將被設置在作業者通路10G的附近的燈泡等亮燈或是點滅也可以。
接著，如第9圖所示，將懸吊式起重機30，直到繞內周軌道41b的端部側為止移動，從繞內周軌道41b透過連絡軌道41c朝繞外周軌道41a移動。接著，將懸吊式起重機30，從繞外周軌道41a朝第2區域間軌道44移動，將第2區域間軌道44朝貯藏區域10B側移動(第9圖的箭頭參照)。
接著，如第10圖所示，將懸吊式起重機30沿著第2區域間軌道44直到第2連結軌道60B為止移動，透過第2連結軌道60B朝貯藏區域10B內的起重機用空架軌道20移動(第9圖的箭頭參照)。第2區域間軌道44、第2連結軌道60B及起重機用空架軌道20，因為是各剖面形狀為相同，所以懸吊式起重機30的起重機用行走部31可從第2區域間軌道44透過第2連結軌道60B無障礙地進入起重機用空架軌道20。
懸吊式起重機30，是構成被設置在貯藏區域10B的貯藏庫10的一部分，可以在貯藏區域10B內的保管部11及收授通口12之間進行物品2的收授。又，在懸吊式起重機30的移動中，從現在的軌道至下一個軌道轉移時，或是在曲線狀移動時將移動速度變慢，防止下垂的柱32藉由振動或是離心力等朝外側晃動也可以。
且懸吊式起重機30，是從貯藏區域10B朝貯藏區域10A移動的情況時，與上述同樣，首先，從貯藏區域10B內的起重機用空架軌道20C透過第2連結軌道60B朝第2區域間軌道44移動。接著，懸吊式起重機30，是朝第2區域內周轉軌道42的繞外周軌道42a移動，透過連絡軌道42c朝繞內周軌道42b移動。接著，懸吊式起重機30，是從第1區域間軌道43側的連絡軌道42c朝繞外周軌道42a移動，從繞外周軌道42a朝第1區域間軌道43移動，從第1區域間軌道43透過第1連結軌道60A朝貯藏區域10A內的起重機用空架軌道20移動。
如以上，依據本實施例的搬運系統100的話，平常時雖是沿著貯藏區域10A內的起重機用空架軌道20行走，且在貯藏區域10A內且在保管部11及收授通口12之間移載物品的懸吊式起重機30，但是可以依據需要，透過第1及第2連結軌道60A、60B及高架搬運車用空架軌道40直到貯藏區域10A外的規定區域(貯藏區域10B)為止移動。藉由此構成，不需要使用特別的搬運機材，就可以將懸吊式起重機30在貯藏區域10A內及規定區域(貯藏區域10B)之間容易且不花時間地移動。其結果，從軌道將懸吊式起重機30取下的麻煩的作業是成為不需要，進一步，將取下的懸吊式起重機30搬運用的特別的搬運機材因為也成為不需要所以可以抑制成本的增加。
在上述的實施例中，規定區域雖舉例說明了其他的貯藏區域10B的情況的例，但是不限定於此構成。第11圖及第12圖，是顯示規定區域的其他例的圖。在以下的說明中，對於與上述的實施例相同或是同等的構成部分是附加同一符號省略說明或是簡略化。如第11圖所示，規定區域，是維修區域10C也可以。維修區域10C，是具有：起重機用空架軌道20C、及複數維修裝置MN。複數維修裝置MN，是沿著起重機用空架軌道20C配置。
在此構成中，將懸吊式起重機30從貯藏區域10A朝維修區域10C移動的情況時，與上述的實施例同樣，將懸吊式起重機30，從貯藏區域10A沿著第1區域間軌道43、第1區域內周轉軌道41、及第2區域間軌道44移動，透過維修區域10C側的第2連結軌道60B朝起重機用空架軌道20C移動。在維修區域10C中，在將懸吊式起重機30保持在起重機用空架軌道20C的狀態下進行維修也可以，從起重機用空架軌道20C將懸吊式起重機30取下地進行維修也可以。且，將懸吊式起重機30藉由維修裝置MN進行維修也可以，藉由其他的器具等進行維修也可以。藉由維修裝置MN進行維修的情況時，例如，藉由控制裝置80自動地進行也可以。
將懸吊式起重機30從維修區域10C朝貯藏區域10A移動的情況時，與上述的實施例同樣，將懸吊式起重機30，沿著起重機用空架軌道20C、第2連結軌道60B、及第2區域間軌道44移動，從第2區域內周轉軌道42側朝貯藏區域10A移動。如此，可以將懸吊式起重機30，在貯藏區域10A內及維修區域10C之間容易地移動，可以迴避維修時將懸吊式起重機30從起重機用空架軌道20取下地搬運的麻煩且花費成本的作業。
且如第12圖所示，規定區域10D，是具有：懸吊式起重機30的初期投入部90、及保管複數懸吊式起重機30的起重機保管部91也可以。又，在規定區域10D中，雖配置有維修裝置MN，但是可取代維修裝置MN，而配置有保管部11也可以，配置有起重機保管部91也可以。起重機保管部91，是讓可使用的複數懸吊式起重機30待機。規定區域10D，是保管維修終了的懸吊式起重機30也可以。
初期投入部90，是設於被設置在規定區域10D中的起重機用空架軌道20D的端部，例如，藉由昇降機等而將懸吊式起重機30保持地擧升，藉由將起重機用行走部31進入起重機用空架軌道20D而將懸吊式起重機30投入起重機用空架軌道20D。被投入起重機用空架軌道20C的懸吊式起重機30，是從起重機用空架軌道20C透過第2連結軌道60B沿著第2區域間軌道44移動，與上述的實施例同樣，藉由從第2區域內周轉軌道42側朝貯藏區域10A移動，就可以在貯藏區域10A使用。
如此，規定區域10D，是包含懸吊式起重機30的初期投入部90的情況時，藉由將懸吊式起重機30，從初期投入部90朝各貯藏區域10A內移動，在各貯藏庫10中成為不需要將懸吊式起重機30安裝在起重機用空架軌道20的作業，可以提高便利性。
以上，雖說明了實施例，但是本發明，不限定於上述的說明，在不脫離本發明的實質範圍可進行各種變更。例如，在上述的實施例中，在從貯藏區域10A朝規定區域(10B、10C、10D)將懸吊式起重機30移動的情況時使用第1區域內周轉軌道41，從規定區域朝貯藏區域10A將懸吊式起重機30移動的情況時雖使用第2區域內周轉軌道42，但是不限定於此構成。例如，在從貯藏區域10A朝規定區域(10B、10C、10D)將懸吊式起重機30移動的情況時使用第2區域內周轉軌道42，在從規定區域朝貯藏區域10A將懸吊式起重機30移動的情況時使用第1區域內周轉軌道41也可以。且，在從貯藏區域10A朝規定區域(10B、10C、10D)將懸吊式起重機30移動的情況、及從規定區域朝貯藏區域10A將懸吊式起重機30移動的情況時，使用同一的區域內周轉軌道也可以。且，只要法令容許，援用日本專利申請的日本特願2017-128569、及本說明書所引用的全部的文獻的內容，作為本文的記載的一部分。
LP‧‧‧裝載埠MN‧‧‧維修裝置ST‧‧‧暫存區TL‧‧‧處理裝置2‧‧‧物品10‧‧‧貯藏庫10A‧‧‧貯藏區域10B‧‧‧貯藏區域(規定區域)10C‧‧‧維修區域(規定區域)10D‧‧‧規定區域10F‧‧‧作業者進入禁止區域10G‧‧‧作業者通路11‧‧‧保管部12‧‧‧收授通口20、20C、20D‧‧‧起重機用空架軌道30‧‧‧懸吊式起重機31‧‧‧起重機用行走部32‧‧‧柱33‧‧‧昇降台34‧‧‧物品移載部35‧‧‧昇降驅動部40‧‧‧高架搬運車用空架軌道41‧‧‧第1區域內周轉軌道41a、42a‧‧‧繞外周軌道41b、42b‧‧‧繞內周軌道41c、42c‧‧‧連絡軌道42‧‧‧第2區域內周轉軌道43‧‧‧第1區域間軌道44‧‧‧第2區域間軌道50‧‧‧高架搬運車51‧‧‧搬運車用行走部53‧‧‧物品保持部54‧‧‧昇降驅動部60A‧‧‧第1連結軌道(連結軌道)60B‧‧‧第2連結軌道(連結軌道)71a‧‧‧車輪71b‧‧‧行走部本體80‧‧‧控制裝置90‧‧‧初期投入部100‧‧‧搬運系統
[第1圖] 顯示本實施例的搬運系統的一例的俯視圖。 　　[第2圖] 對於第1圖將貯藏區域擴大顯示的俯視圖。 　　[第3圖] 對於第1圖將規定區域擴大顯示的俯視圖。 　　[第4圖] 顯示懸吊式起重機的一例的圖。 　　[第5圖] 顯示高架搬運車的一例的圖。 　　[第6圖] 顯示起重機用行走部及搬運車用行走部的一例的圖。 　　[第7圖] 顯示將懸吊式起重機從貯藏區域朝規定區域移動時的移動路徑的一例的圖。 　　[第8圖] 接著第7圖，顯示將懸吊式起重機從貯藏區域朝規定區域移動時的移動路徑的一例的圖。 　　[第9圖] 接著第8圖，顯示將懸吊式起重機從貯藏區域朝規定區域移動時的移動路徑的一例的圖。 　　[第10圖] 接著第9圖，顯示將懸吊式起重機從貯藏區域朝規定區域移動時的移動路徑的一例的圖。 　　[第11圖] 顯示規定區域是維修區域的一例的俯視圖。 　　[第12圖] 顯示包含初期投入部的規定區域的一例的俯視圖。
LP‧‧‧裝載埠
ST‧‧‧暫存區
TL‧‧‧處理裝置
10‧‧‧貯藏庫
10A‧‧‧貯藏區域
10B‧‧‧貯藏區域(規定區域)
10F‧‧‧作業者進入禁止區域
10G‧‧‧作業者通路
11‧‧‧保管部
12‧‧‧收授通口
20‧‧‧起重機用空架軌
30‧‧‧懸吊式起重機
40‧‧‧高架搬運車用空架軌道
41‧‧‧第1區域內周轉軌道
41a、42a‧‧‧繞外周軌道
41b、42b‧‧‧繞內周軌道
41c、42c‧‧‧連絡軌道
42‧‧‧第2區域內周轉軌道
43‧‧‧第1區域間軌道
44‧‧‧第2區域間軌道
50‧‧‧高架搬運車
60A‧‧‧第1連結軌道(連結軌道)
60B‧‧‧第2連結軌道(連結軌道)
80‧‧‧控制裝置
100‧‧‧搬運系統

Claims (10)

  1. 一種搬運系統，具備：貯藏庫，是被配置於貯藏區域內，具備：上下方向複數層設置地保管物品的保管部、及將前述物品收授用的收授通口、及沿著前述保管部及前述收授通口被設置的起重機用空架軌道、及懸吊式起重機是具有沿著前述起重機用空架軌道行走的起重機用行走部和從前述起重機用行走部下垂的柱和被前述柱導引地昇降的物品移載部且在前述保管部及前述收授通口之間將物品搬運；及高架搬運車用空架軌道，是設於前述貯藏區域外，沿著前述收授通口及處理裝置的裝載埠直到規定區域為止延伸；及高架搬運車，具有：沿著前述高架搬運車用空架軌道行走的搬運車用行走部、及將物品保持地昇降的物品保持部，在前述收授通口及前述裝載埠之間將物品搬運；及連結軌道，是將前述起重機用空架軌道及前述高架搬運車用空架軌道連結；前述起重機用行走部，是可從前述起重機用空架軌道通過前述連結軌道進入前述高架搬運車用空架軌道，將前述高架搬運車用空架軌道直到前述規定區域為止地行走，或是可從前述規定區域進入前述高架搬運車用空架軌道直到前述連結軌道為止行走，通過前述連結軌道進入前述起重機用空架軌道地行走。
  2. 如申請專利範圍第1項的搬運系統，其中，前述起重機用空架軌道、前述高架搬運車用空架軌道、及前述連結軌道，其與前述起重機用行走部所行走的方向垂直交叉的剖面形狀是相同或是幾乎相同。
  3. 如申請專利範圍第2項的搬運系統，其中，前述起重機用行走部及前述搬運車用行走部，是具備：共通的車輪、及安裝前述車輪的行走部本體。
  4. 如申請專利範圍第1至3項中任一項的搬運系統，其中，前述高架搬運車，是具有昇降驅動部，當從停止狀態開始由前述搬運車用行走部進行行走時，是先藉由前述昇降驅動部將前述物品保持部上昇至最高上昇位置之後，才開始行走。
  5. 如申請專利範圍第4項的搬運系統，其中，前述起重機用空架軌道，是設於：前述懸吊式起重機的前述柱會通過，禁止作業者進入的作業者進入禁止區域的上方，前述高架搬運車用空架軌道，是設於作業者的通行被許可的作業者通路的上方，在前述懸吊式起重機進入前述高架搬運車用空架軌道 時，禁止作業者進入前述柱會通過的前述作業者通路。
  6. 如申請專利範圍第1項的搬運系統，其中，前述規定區域，是與前述貯藏庫不同的貯藏庫被配置的其他的貯藏區域。
  7. 如申請專利範圍第6項的搬運系統，其中，前述高架搬運車用空架軌道，是具備：第1區域內周轉軌道、及第2區域內周轉軌道、及與前述第1區域內周轉軌道及前述第2區域內周轉軌道的各一方的端部連結的第1區域間軌道、及與前述第1區域內周轉軌道及前述第2區域內周轉軌道的各另一方的端部連結的第2區域間軌道，前述貯藏庫中的前述起重機用空架軌道，是藉由第1前述連結軌道與前述第1區域間軌道連結，前述其他的貯藏庫中的前述起重機用空架軌道，是藉由第2前述連結軌道與前述第2區域間軌道連結。
  8. 如申請專利範圍第1項的搬運系統，其中，前述規定區域，是維修區域。
  9. 如申請專利範圍第1項的搬運系統，其中，前述規定區域，是包含前述懸吊式起重機的初期投入部。
  10. 一種搬運方法，是搬運系統的搬運方法，該搬運系統，具備：貯藏庫，是被配置於貯藏區域內，具備：上下方向複數層設置地保管物品的保管部、及將前述物品收授用的收授通口、及沿著前述保管部及前述收授通口設置的起重機用空架軌道、及具有沿著前述起重機用空架軌道行走的起重機用行走部和從前述起重機用行走部下垂的柱和被前述柱導引地昇降的物品移載部且在前述保管部及前述收授通口之間將物品搬運的懸吊式起重機；及高架搬運車用空架軌道，是設於前述貯藏區域外，沿著前述收授通口及處理裝置的裝載埠直到規定區域為止延伸；及高架搬運車，具有：沿著前述高架搬運車用空架軌道行走的搬運車用行走部、及將物品保持地昇降的物品保持部，在前述收授通口及前述裝載埠之間將物品搬運；及將前述起重機用空架軌道及前述高架搬運車用空架軌道連結的連結軌道；該搬運方法，包含：將前述起重機用行走部，從前述起重機用空架軌道通過前述連活軌道進入前述高架搬運車用空架軌道，將前述高架搬運車用空架軌道直到前述規定區域為止地行走；或是從前述規定區域進入前述高架搬運車用空架軌道直到前述連結軌道為止地行走，通過前述連結軌道進入前述起重機用空架軌道地行走。
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