WO2020153041A1 - 搬送システム - Google Patents

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WO2020153041A1
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WO
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article
track
unit
ceiling track
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PCT/JP2019/048872
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栄治 和田
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村田機械株式会社
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    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0297—Wafer cassette

Definitions

  • the present invention relates to a transportation system.
  • a ceiling transport vehicle that transports semiconductor wafers or reticle pods that store reticles are transported by a ceiling transport vehicle to a transfer destination such as a load port of a processing device.
  • a transfer destination such as a load port of a processing device.
  • a transfer system for example, a configuration is known in which ceiling tracks are laid in two steps on the ceiling, and articles are transferred between ceiling transfer vehicles traveling on the respective ceiling tracks (for example, refer to Patent Document 1). ).
  • a ceiling transfer vehicle that travels on an upper ceiling track and a ceiling transfer vehicle that travels on a lower ceiling track are each provided with a loading unit that can transfer articles. Articles are delivered via the storage section.
  • the transport system described in Patent Document 1 shows a configuration in which the traveling direction of the upper ceiling transport vehicle and the traveling direction of the lower ceiling transport vehicle match, but the traveling direction of the upper ceiling transport vehicle is shown. It may be assumed that the traveling direction of the ceiling transport vehicle below is different.
  • the front and rear directions are determined for the articles conveyed by the ceiling transport vehicle.
  • the articles placed on the placement section by the upper ceiling transport vehicle are transferred to the lower ceiling transport vehicle. Even if the vehicle receives it, the front and rear direction of the article may change, and thus it may not be possible to place the article as it is on the transportation destination by the ceiling transportation vehicle below. Therefore, the placing portion that can be transferred between the upper ceiling transport vehicle and the lower ceiling transport vehicle is limited, and the efficiency of transporting articles is reduced.
  • An object of the present invention is to provide a transfer system capable of improving the transfer efficiency of an item by smoothly transferring the item between ceiling transfer vehicles traveling on different tracks.
  • a transport system is a transport system that transports articles whose front and rear directions are defined, and includes a first ceiling track whose traveling direction is defined as a first direction and a first ceiling track.
  • a first ceiling carrier having a first traveling unit that travels by traveling, a first holding unit that holds an article, and a first elevating drive unit that elevates and lowers the first holding unit, and a traveling direction is set to a second direction.
  • a second ceiling track, a third ceiling track which is provided in parallel with the second ceiling track and is defined in a third direction whose traveling direction is opposite to the second direction, and a second ceiling track and a third ceiling track.
  • a second traveling unit that travels, a second holding unit that holds an article, a second elevating drive unit that elevates and lowers the second holding unit, and a second horizontal ejection mechanism that horizontally moves the second elevating drive unit,
  • Two-ceiling carrier vehicles a first placing section for delivering articles by the second ceiling vehicle in the second ceiling track, and a second placing section for delivering articles by the second ceiling carrier vehicle in the third ceiling track.
  • the first ceiling transport vehicle is capable of delivering and receiving articles to and from the first placing section with the first elevating and lowering drive section being positioned directly above the first placing section.
  • Articles can be transferred to and from the second placement unit with the drive unit positioned directly above the second placement unit.
  • the first ceiling transport vehicle, the second ceiling transport vehicle, the first placement unit, At least one of the second mounting portion is provided with a rotation mechanism that rotates the article about the vertical axis.
  • the first ceiling is provided with a shelf having a plurality of storage sections in the vertical direction and a crane that travels along a track including a first ceiling track to transfer articles between the plurality of storage sections.
  • the transport vehicle includes a first laterally moving mechanism that moves the first elevating and lowering drive unit in the lateral direction, and the first laterally moving mechanism allows the first elevating and lowering drive unit to be laterally extended between the storage unit and the storage unit.
  • the articles can be delivered and received, and the second ceiling track and the third ceiling track may be provided below the lower ends of the crane and the shelf. Further, a plurality of at least one of the first placing section and the second placing section may be provided.
  • the rotation mechanism may be provided on the first ceiling guided vehicle and rotate the article held by the first holding unit about the vertical axis. Further, the rotation mechanism may be provided in at least one of the first placing section and the second placing section and rotate the placed article about the vertical axis.
  • the first direction is the same as the second direction in plan view, and the rotation mechanism may rotate the article by 180° around the vertical axis. Further, the first direction is a direction orthogonal to the second direction in a plan view, and the rotation mechanism may rotate the article by 90° around the vertical axis.
  • the rotation mechanism arranged in at least one of the first ceiling transport vehicle, the second ceiling transport vehicle, the first placing portion, and the second placing portion causes the article to rotate about the vertical axis. Can be rotated to. Therefore, it is possible to convey the article by the second ceiling transport vehicle in a state where the front-back direction of the article delivered from the first ceiling transport vehicle is specified, and the first track on which the first ceiling transport vehicle travels, Even if the directions of the second ceiling track and the third ceiling track on which the two-ceiling carrier travels are different, the article can be delivered through the article placement section, and the article transfer efficiency can be improved. it can.
  • the first ceiling is provided with a shelf having a plurality of storage sections in the vertical direction and a crane that travels along a track including a first ceiling track to transfer articles between the plurality of storage sections.
  • the carrier is provided with a first side-out mechanism for moving the first elevating and lowering drive unit in the lateral direction, and is provided between the storage unit and the storage unit in a state in which the first side-out mechanism directly extends the first elevating and lowering drive unit directly above the storage unit.
  • the second ceiling track and the third ceiling track are provided below the lower end of the crane and the shelf, a large number of articles can be stored by the shelf and the first ceiling carrier vehicle can be stored. It is possible to efficiently transfer the article between the second ceiling guided vehicle and the second ceiling guided vehicle.
  • the number of articles transferred between the first ceiling transport vehicle and the second ceiling transport vehicle increases, so that the articles are efficiently transferred. Can be handed over well.
  • the rotation mechanism is provided on the first ceiling guided vehicle and rotates the article held by the first holding unit around the vertical axis, the rotation mechanism is provided for each of the first placement unit and the second placement unit. As compared with the case where the transport system is provided, the number of devices provided with the rotation mechanism can be reduced, so that the manufacturing cost of the transport system can be reduced.
  • the first ceiling carrier vehicle or the second ceiling carrier Since it is not necessary to dispose the rotating mechanism in the vehicle, it is possible to suppress the size increase of the first ceiling transport vehicle or the second ceiling transport vehicle.
  • the first direction is the same as the second direction in a plan view and the rotating mechanism rotates the article by 180° about the vertical axis
  • the first mounting portion or the second mounting portion is mounted. By rotating the placed article by 180° around the vertical axis, the front-back orientation of the article can be easily set to an appropriate orientation.
  • the first mechanism is mounted on the first mounting part or the second mounting part.
  • FIG. 11 is a plan view showing a part of the transport system shown in FIG. 10. It is the figure which looked at some transport systems shown in FIG. 10 from the Y direction.
  • (A)-(C) is a top view which shows an example which rotates an article in a 1st ceiling guided vehicle or a 2nd ceiling guided vehicle.
  • (A)-(C) is a top view which shows typically an example which rotates an article in the 1st mounting part and the 2nd mounting part.
  • the direction indicated by the arrow is appropriately expressed as a + direction (for example, +X direction), and the direction opposite to the direction indicated by the arrow is a ⁇ direction (for example, ⁇ X direction).
  • + direction for example, +X direction
  • ⁇ X direction for example, ⁇ X direction
  • FIG. 1 is a diagram of an example of the transport system SYS1 according to the first embodiment viewed from the X direction.
  • FIG. 2 is a diagram showing an example of the transport system SYS1 shown in FIG. 1 as viewed from the Y direction.
  • FIG. 3 is a diagram schematically showing the transport system SYS1 shown in FIG. 1 in a plan view.
  • FIG. 1 is a view on arrow AA in FIG. Note that, in FIG. 3, the load port LP of the processing device TL is illustrated by being painted in black in order to make the drawing easy to distinguish.
  • the transport system SYS1 is included in the storage system SYS.
  • the storage system SYS is provided in, for example, a semiconductor device manufacturing factory or the like, and stores an article 2 such as a FOUP containing a semiconductor wafer used for manufacturing a semiconductor device or a reticle pod containing a reticle.
  • an example in which the article 2 is FOUP will be described, but the article 2 may be other than FOUP.
  • the storage system SYS is applicable to equipment other than the semiconductor manufacturing field, and the article 2 may be another article that can be stored in the storage system SYS.
  • the article 2 has a lid portion 2a.
  • the surface of the article 2 on which the lid portion 2a is arranged is the front surface. That is, the front and rear directions of the article 2 are determined by the lid portion 2a.
  • the transfer system SYS1 is configured to include the components of the ceiling stocker 100, the ceiling transfer vehicle system 200, and the transfer device 300.
  • the ceiling stocker 100 includes a shelf 10 including a plurality of storage units 11, an upper ceiling track 20, and a crane 40.
  • the shelf 10 is arranged along the upper ceiling track 20 on which the crane 40 travels in a plan view (see FIG. 3 ).
  • the plurality of storage units 11 provided on the shelf 10 are provided on the frame 13 and are arranged in three stages in the vertical direction (Z direction). The number of stages of the storage unit 11 can be set arbitrarily. Further, the plurality of storage units 11 are arranged side by side along the traveling direction (Y direction) of the crane 40 described below.
  • the plurality of storage units 11 are provided with shelf boards 11a on which the articles 2 are placed. Each shelf 11a is held by the frame 13.
  • placing the article 2 in the storage unit 11 means placing the article 2 in the shelf 11 a of the storage unit 11.
  • the shelf 11a of the storage unit 11 may be provided with a plurality of pins that enter the grooves provided on the bottom surface of the article 2 when the article 2 is placed on the shelf 11a. By inserting the pin into the groove of the article 2, the article 2 is positioned with respect to the storage unit 11.
  • the shelf 10 is suspended by the frame 13 from the system ceiling SC1 via the suspension metal fitting 3A.
  • the system ceiling SC1 is suspended from the ceiling C of the building by the suspension fitting 3.
  • the frame 13 may be directly hung from the ceiling C instead of being hung from the system ceiling SC1 via the hanging metal fitting 3A.
  • the lower end of the shelf 10 is set to be higher than the height of the upper end of the processing device TL from the floor surface F.
  • the processing apparatus TL performs various processes such as a film forming process or an etching process on a semiconductor wafer contained in the FOUP that is the article 2. Further, the height of the lower end of the crane 40 described later is set to be higher than the height of the upper end of the processing device TL.
  • the ceiling stocker 100 is arranged above the upper end of the processing device TL.
  • the lower end of the crane 40 is set to a height at which a worker or the like can pass through the floor surface F without any trouble.
  • a part of the space below the ceiling stocker 100 can be used as the worker passage PS.
  • the article 2 is placed on the storage unit 11 by the crane 40, and the article 2 is taken out. Further, in a part of the storage unit 11, the article 2 is placed by the first ceiling transport vehicle 60 described later, and the article 2 is taken out.
  • the storage unit 11 to which the article 2 is delivered by the first ceiling transport vehicle 60 is the storage unit 11 at the uppermost stage of the shelf 10.
  • the vertical size of the storage unit 11 (the size from the upper surface of the shelf plate 11a to the lower surface of the shelf plate 11a of the storage unit 11 above) is raised by the transfer device 42 of the crane 40, which will be described later, supporting the article 2 from the lower surface side. It is set to the required dimensions.
  • the transfer device 42 of the crane 40 is configured to support and lift the article 2 from the lower surface side, for example, and does not require a large space above the article 2.
  • the vertical dimension of the storage unit 11 can be set to a dimension that adds a few centimeters to the vertical dimension of the article 2.
  • the upper ceiling track 20 is suspended from the system ceiling SC1 by the suspension fitting 5.
  • the upper ceiling track 20 may be directly suspended from the ceiling C instead of being suspended from the system ceiling SC1 by the suspension fitting 5.
  • the upper ceiling track 20 includes linear portions 21 and 22 extending in the Y direction and a first ceiling track 23 that connects the linear portions 21 and 22 on the ⁇ Y side of the linear portions 21 and 22. And a connecting portion 24 that connects the linear portions 21 and 22 on the +Y side of the linear portions 21 and 22.
  • the traveling direction of the first ceiling carrier vehicle 60 of the first ceiling track 23 is set to the first direction D1 ( ⁇ X direction).
  • the upper ceiling track 20 has a higher height from the floor surface F than the lower ceiling track 30 of the ceiling guided vehicle system 200.
  • the above-mentioned shelf 10 is provided on the +X side and the ⁇ X side with respect to the linear portions 21 and 22. That is, the shelves 10 are arranged inside and outside the upper ceiling track 20 which is a circular track on which the crane 40 travels in plan view. Further, as described above, the lower end of the shelf 10 is set higher than the height of the upper end of the processing device TL. Therefore, the shelf 10 can be arranged above the processing device TL.
  • the space above the processing device TL is a space that has been conventionally regarded as a dead space, and by arranging the shelves 10 in such a space, the space inside the building can be effectively used.
  • the crane 40 holds the article 2 and travels along the upper ceiling track 20 to move.
  • the crane 40 conveys the article 2 between the storage unit 11 and another storage unit 11.
  • the crane 40 travels around the upper ceiling track 20.
  • the number of cranes 40 arranged on one upper ceiling track 20 is not limited to one.
  • two or more cranes 40 may be arranged on one upper ceiling track 20.
  • the crane 40 is suspended from the upper ceiling track 20 as shown in FIGS. 1 and 2.
  • the crane 40 includes two traveling units 41 and a transfer device 42. Below the traveling portion 41, an upper support portion 47 is attached via a mounting portion 46, and the two traveling portions 41 are connected by the upper support portion 47.
  • Each traveling unit 41 includes a traveling drive unit (not shown) and a plurality of wheels 41 a, and travels along the upper ceiling track 20.
  • the traveling drive unit (not shown) included in the traveling unit 41 may be, for example, an electric motor that is provided in the traveling unit 41 and drives the wheels 41a, or a linear motor. Since the crane 40 of the present embodiment is provided with the two traveling parts 41, the transfer device 42 and the article 2 which are heavy objects can be reliably supported.
  • the crane 40 is not limited to the configuration including the two traveling units 41, and may include one or three or more traveling units 41.
  • the transfer device 42 includes a mast 43, a lift base 44, a lift drive unit 45, a telescopic unit 48, and a mounting base 49.
  • the mast 43 is suspended from the upper support portion 47 and extends in the vertical direction.
  • One mast 43 is provided at each of the front and rear sides of the traveling portion 41 in the traveling direction.
  • the number of masts 43 is not limited to two in total, and may be one.
  • the mast 43 is provided such that the height of the lower end of the mast 43 from the floor surface F is higher than the height of the processing device TL.
  • the lower end of the mast 43 is the lower end of the crane 40.
  • Extending/contracting portion 48 is composed of a plurality of arms that are extendable/contractible in a direction orthogonal to the traveling direction of traveling portion 41.
  • the mounting table 49 is provided at the tip of the expandable portion 48.
  • the mounting table 49 is a triangular plate-shaped member on which the article 2 can be mounted.
  • the mounting table 49 holds the article 2 mounted on the mounting table 49 by supporting the article 2 from below.
  • On the upper surface of the mounting table 49 there is provided a pin that is inserted into a groove provided on the bottom surface of the article 2 to position the article 2.
  • the shelf 11a of the storage unit 11 is provided with a notch (not shown) through which the mounting table 49 can pass in the vertical direction.
  • the transfer unit 42 When the transfer device 42 receives the article 2 from the storage unit 11, the transfer unit 42 extends the expansion/contraction section 48 to position the mounting table 49 below the article 2 and raises the elevating table 44, so that the article 2 is transferred to the mounting table 49. Scoop up.
  • the transfer device 42 arranges the mounting table 49 on which the article 2 is mounted by placing the mounting table 49 on which the article 2 is mounted by contracting the expansion/contraction portion 48 while the article 2 is mounted on the mounting table 49. Further, when the transfer device 42 delivers the article 2 to the storage section 11, the reverse operation is performed.
  • the transfer device 42 is not limited to the above-described configuration, and may have another configuration such as a configuration for holding and lifting a part of the article 2 (for example, a flange portion provided on the upper portion of the FOUP). Good.
  • the two elevator drive units 45 are, for example, hoists, and move the elevators 44 up and down along the mast 43.
  • Each elevating/lowering drive unit 45 includes a suspension member 45a and a drive unit (not shown).
  • the suspending member 45a is, for example, a belt, a wire, or the like, and the lifting platform 44 is suspended from the upper support portion 47 by the suspending member 45a.
  • a drive unit (not shown) included in the lift drive unit 45 is provided, for example, on the upper support unit 47, and extends and winds the hanging member 45a.
  • the elevating table 44 is guided by the mast 43 and descends when an unillustrated driving unit included in the elevating and lowering driving unit 45 unwinds the suspension member 45a.
  • the lift base 44 is guided by the mast 43 to move up.
  • the lift drive unit 45 is controlled by a control device (not shown) or the like to lower or raise the lift base 44 at a predetermined speed.
  • the lifting drive unit 45 is controlled by a control device (not shown) or the like to hold the lifting platform 44 at a target height.
  • the lift drive unit 45 is provided on the upper support unit 47.
  • the elevating/lowering drive unit 45 may be provided, for example, on the elevating table 44 instead of being provided on the upper support unit 47.
  • a belt or wire hung from the upper support 47 is wound or unwound by a hoist mounted on the lifting/lowering base 44 to lift/lower the lifting/lowering base 44. It may be configured to be.
  • an electric motor or the like for driving the pinion gear is mounted on the lift base 44, a rack in which the pinion gear meshes is formed on the mast 43, and the lift base 44 is lifted by rotating the pinion gear by the electric motor or the like. It may be.
  • the transfer device 300 transfers the article 2 in the vertical direction between the ceiling stocker 100 and the ceiling transfer vehicle system 200 described later.
  • the transfer device 300 is the first ceiling transfer vehicle 60.
  • FIG. 4 is a diagram showing an example of the first ceiling guided vehicle 60. As shown in FIG. 4, the first ceiling guided vehicle 60 has a first traveling portion 61 and a first main body portion 62. The same configuration as the traveling unit 41 of the crane 40 is applied to the first traveling unit 61, which includes a traveling drive unit (not shown) and a plurality of wheels 61a, and travels along the upper ceiling track 20.
  • the traveling drive unit (not shown) included in the first traveling unit 61 may be, for example, an electric motor that is provided in the first traveling unit 61 and drives the wheels 61a, or may be a linear motor. Since the first ceiling guided vehicle 60 travels on the upper ceiling track 20, it is not necessary to provide a separate track, and the manufacturing cost of the storage system SYS can be reduced.
  • the first main body portion 62 is attached to the lower portion of the first traveling portion 61 via the attachment portion 62a.
  • the first main body 62 includes a first holding part 63 that holds the article 2, a first elevating drive part 64 that suspends and elevates the first holding part 63, and a first elevating drive part 64 on the side of the track. It has the 1st sideways-out mechanism 65 which moves.
  • the first holding portion 63 holds and holds the article 2 by grasping and grasping the flange portion of the article 2 from above.
  • the first holding portion 63 is, for example, a chuck having a plurality of claw portions 63a that can advance and retreat in the horizontal direction, and allows the claw portions 63a to enter below the flange portion of the article 2 and raise the first holding portion 63.
  • the article 2 is suspended and held by.
  • the first holding portion 63 is connected to a suspending member 63b such as a wire or a belt.
  • the first holding unit 63 is suspended from the first elevating/lowering driving unit 64 via the suspending member 63b, and is lifted/lowered by the first elevating/lowering driving unit 64.
  • the first elevating/lowering drive unit 64 is, for example, a hoist, and lowers the first holding unit 63 by feeding out the hanging member 63b, and raises the first holding unit 63 by winding the hanging member 63b.
  • the first elevating/lowering drive unit 64 is controlled by a control device (not shown) or the like, and lowers or raises the first holding unit 63 at a predetermined speed.
  • the first elevating/lowering drive unit 64 is controlled by a control device (not shown) or the like, and holds the first holding unit 63 at a target height.
  • the first laterally moving mechanism 65 has, for example, movable plates that are arranged one above the other in the vertical direction.
  • the movable plate is movable to the side of the traveling direction of the first traveling unit 61 (direction orthogonal to the traveling direction, lateral direction).
  • a first lifting drive unit 64 is attached to the movable plate.
  • the first main body portion 62 has a guide (not shown) that guides the first horizontal ejection mechanism 65, a drive unit (not shown) that drives the first horizontal ejection mechanism 65, and the like.
  • the first laterally moving mechanism 65 moves the first elevating and lowering drive unit 64 and the first holding unit 63 along the guide between the projecting position and the storage position by a driving force from a driving unit such as an electric motor.
  • the protruding position is a position where the first holding portion 63 laterally protrudes from the first main body portion 62.
  • the storage position is a position where the first holding portion 63 is stored in the first main body portion 62.
  • a rotation mechanism 66 for rotating the first elevating and lowering drive unit 64 around the vertical axis with respect to the first laterally elongating mechanism 65 is provided between the first laterally elongating mechanism 65 and the first elevating and lowering drive unit 64.
  • the rotation mechanism 66 is provided between the first elevating and lowering drive unit 64 and the first holding unit 63, and rotates the first holding unit 63 about the vertical axis with respect to the first elevating and lowering drive unit 64. It may be.
  • FIGS. 5A and 5B are plan views showing an example of rotating an article in the first ceiling carrier 60 or the second ceiling carrier 50 described later.
  • the rotation mechanisms 66 and 56 rotate the first elevating/lowering drive unit 64 or the second elevating/lowering drive unit 54 around the axis of rotation AX1 that is a vertical axis.
  • the rotation mechanisms 66 and 56 include a drive source (not shown) such as an electric motor, and the drive source rotates the first elevating drive section 64 or the second elevating drive section 54.
  • the rotation mechanisms 66 and 56 can rotate the first elevating/lowering drive section 64 or the second elevating/lowering drive section 54 by 180°, for example, under the control of a control device (not shown).
  • Articles gripped by the first holding unit 63 or the second holding unit 53 by rotating the first lifting drive unit 64 or the second lifting drive unit 180 by 180 degrees around the rotation axis AX1 by the rotation mechanisms 66 and 56. 2 is opposite in the direction in which the lid portion 2a is orthogonal to the traveling direction.
  • the first sideways mechanism 65 moves the first elevating/lowering drive unit 64 (first holding unit 63) above at least one storage unit 11 of the plurality of storage units 11.
  • the first holding unit 63 article 2 is moved up and down by the first lifting drive unit 64, and the article 2 can be transferred to and from the storage unit 11 located below the first lifting drive unit 64.
  • the first ceiling transport vehicle 60 can transfer the article 2 to and from the uppermost storage unit 11 of the shelf 10.
  • the storage unit 11 to be delivered to and from the first ceiling guided vehicle 60 may be a storage unit 11 other than the uppermost stage.
  • the ceiling guided vehicle system 200 travels along the lower ceiling track 30 and delivers the article 2 to the load port LP of the processing device TL which is a predetermined transfer destination disposed below the lower ceiling track 30.
  • the second ceiling transfer vehicle 50 for performing As shown in FIGS. 1 and 2, the second ceiling guided vehicle 50 has a second traveling portion 51 and a second main body portion 52.
  • the second main body part 52 holds the article 2 by a second holding part 53, a second elevating and lowering drive part 54 for elevating and lowering the held product 2, and a second elevating and lowering drive part 54 laterally with respect to the second traveling part 51.
  • a second laterally moving mechanism 55 for moving in the direction and a rotating mechanism 56 for rotating the second lifting drive unit 54 or the second holding unit 53 around a vertical axis are provided.
  • the second traveling unit 51, the second main body unit 52, the second holding unit 53, the second elevating/lowering drive unit 54, the second side-out mechanism 55, and the rotating mechanism 56 are the first of the above-described first ceiling guided vehicle 60.
  • the configurations similar to those of the traveling unit 61, the first main body unit 62, the first holding unit 63, the first elevating drive unit 64, the first lateral ejection mechanism 65, and the rotation mechanism 66 are applied. Therefore, the second ceiling transport vehicle 50 of the ceiling transport vehicle system 200 can be directly applied as the first ceiling transport vehicle 60.
  • the second ceiling transfer vehicle 50 can transfer the article 2 to and from the load port LP by moving the second holding unit 53 (article 2) up and down by the second lifting drive unit 54.
  • the load ports LP are arranged to face each other in the Y direction, for example.
  • the load port LP arranged on the ⁇ Y side may be referred to as a load port LPa
  • the load port LP arranged on the +Y side may be referred to as a load port LPb for distinction.
  • the lower ceiling track 30 is attached to the lower surface side of the system ceiling SC2, as shown in FIG.
  • the system ceiling SC2 is suspended from the system ceiling SC1 by a suspension fitting 4.
  • the lower ceiling track 30 may be suspended from the system ceiling SC1 instead of being suspended from the system ceiling SC2, or may be directly suspended from the ceiling C.
  • the lower ceiling track 30 is arranged between the inter-beirut (track between bays) R1 and the inter-beirut R2 in a plan view.
  • the lower ceiling tracks 30 are respectively provided in the bay (intrabay), and the inter-beirut route R1 and the like are provided to connect a plurality of lower ceiling tracks 30.
  • the bay (intra-bay) is, for example, between the load ports LP provided so that the load ports LP in the plurality of processing devices TL are opposed to each other in a plan view. Indicates a range (area) in which the worker passage PS is provided.
  • the lower ceiling track 30 is connected to the interbay route R1 via two branch lines S1 for entry or exit, and to the interbay route R2 via two branch lines S2 for entry or exit. It is connected.
  • the lower ceiling track 30 is arranged below the crane 40 (mast 43) which is the lower end of the ceiling stocker 100. Therefore, the lower ceiling track 30 is arranged below the lower end of the ceiling stocker 100. Further, the second ceiling transport vehicle 50 traveling on the lower ceiling track 30 travels below the lower end of the ceiling stocker 100.
  • the second ceiling guided vehicle 50 enters the lower ceiling track 30 from the interbay routes R1 and R2 via the branch lines S1 and S2, or from the lower ceiling track 30 to the interbay routes R1 and R2 through the branch lines S1 and S2. Leave.
  • the second ceiling transport vehicle 50 travels along the lower ceiling track 30 and transfers the article 2 to and from the load port LP of the processing device TL.
  • the second ceiling transport vehicle 50 transfers the article 2 to and from a first placing section 14a or a second placing section 14b described later.
  • the lower ceiling track 30 has a second ceiling track 31, a third ceiling track 32, and a connecting portion 33, as shown in FIG.
  • the second ceiling track 31 and the third ceiling track 32 are linear and are provided parallel to the X direction.
  • the second ceiling track 31 is arranged on the ⁇ Y side
  • the third ceiling track 32 is arranged on the +Y side.
  • the connection portions 33 are arranged at both ends of the second ceiling track 31 and the third ceiling track 32 on the +X side and the ⁇ X side, and connect the second ceiling track 31 and the third ceiling track 32.
  • the lower ceiling track 30 constitutes an annular orbit by the second ceiling track 31, the third ceiling track 32, and the connecting portion 33.
  • the second ceiling guided vehicle 50 is capable of traveling in one direction (for example, a clockwise direction in plan view) along the second ceiling track 31, the third ceiling track 32, and the connecting portion 33.
  • the traveling direction of the second ceiling guided vehicle 50 of the second ceiling track 31 is set to the second direction D2 ( ⁇ X direction).
  • the second direction D2 is a traveling direction that is the same as the first direction D1 that is the traveling direction of the first ceiling track 23 on which the first ceiling guided vehicle 60 travels, and is parallel to the first direction D1.
  • the traveling direction of the second ceiling guided vehicle 50 is set to the third direction D3 (+X direction).
  • the third ceiling track 32 is provided in parallel with the second ceiling track 31.
  • the traveling direction of the second ceiling guided vehicle 50 is opposite to the second direction D2, and is parallel to the second direction D2.
  • the third direction D3 is opposite to the first direction D1, which is the traveling direction of the first ceiling track 23 on which the first ceiling guided vehicle 60 travels, and is parallel to the first direction D1.
  • the second ceiling track 31 and the third ceiling track 32 may be arranged directly above the load port LP.
  • the transport system SYS1 includes a first placing section 14a and a second placing section 14b for transferring the article 2 between the first ceiling transport vehicle 60 and the second ceiling transport vehicle 50.
  • the 1st mounting part 14a and the 2nd mounting part 14b are supported in the state suspended by the suspending metal 6 from the system ceiling SC1 or the ceiling C, for example.
  • Each of the 1st mounting part 14a and the 2nd mounting part 14b is arrange
  • each of the first mounting portion 14 a and the second mounting portion 14 b is arranged laterally and below the second ceiling track 31 and the third ceiling track 32.
  • FIG. 6 is a plan view showing a part of the transport system SYS1.
  • the first ceiling track 23 on which the first ceiling guided vehicle 60 travels is arranged directly above the second mounting portion 14b. Therefore, the first ceiling transport vehicle 60 moves the first holding unit 63 (article 2) up and down with the first lifting drive unit 64 positioned immediately above the second loading unit 14b, thereby causing the second loading The article 2 can be delivered to and from the section 14b.
  • the first mounting portion 14a is arranged laterally ( ⁇ Y direction) and below the first ceiling track 23. Therefore, the first ceiling transport vehicle 60 laterally extends the first elevating drive section 64 in the ⁇ Y direction with respect to the first ceiling track 23, and positions the first elevating drive section 64 directly above the first mounting section 14a.
  • the article 2 can be delivered to and from the first placing portion 14a.
  • the first ceiling track 23 may be arranged directly above the first mounting portion 14a instead of being arranged directly above the second mounting portion 14b.
  • the second ceiling transport vehicle 50 traveling on the second ceiling track 31 laterally extends the second elevating and lowering drive unit 54 in the +Y direction by the second lateral ejection mechanism 55, and places the second elevating and lowering drive unit 54 on the first mounting position.
  • the article 2 By moving the second holding portion 53 (article 2) up and down while being positioned directly above the portion 14a, the article 2 can be delivered to and from the first placing portion 14a.
  • the second ceiling guided vehicle 50 traveling on the third ceiling track 32 laterally extends the second elevating/lowering drive unit 54 in the ⁇ Y direction by the second laterally elongating mechanism 55, and the second elevating/lowering drive unit 54 is placed on the second placing unit.
  • the article 2 By moving the second holding portion 53 (article 2) up and down while being positioned directly above 14b, the article 2 can be delivered to and from the second mounting portion 14b.
  • the first placing portion 14a and the second placing portion 14b are not limited to one place each.
  • one or both of the first placing portion 14a and the second placing portion 14b may be arranged side by side in the X direction.
  • FIG. 7A is a side view schematically showing an example of the first placing part 14a and the second placing part 14b
  • FIGS. 7B and 7C are the first placing part 14a and the second placing part.
  • It is a top view which shows typically an example which rotates the article 2 in the part 14b.
  • the first placing section 14a and the second placing section 14b use the vertical axis to place the article 2 placed on the first placing section 14a and the second placing section 14b.
  • a rotation mechanism 15 for rotating about a certain rotation axis AX2 is provided.
  • the rotation mechanism 15 includes a drive source (not shown) such as an electric motor, and rotates the first placement portion 14a and the second placement portion 14b by a drive source (not shown) such as an electric motor.
  • the rotating mechanism 15 is capable of driving the first placing portion 14a and the second placing portion 14b by, for example, control of a control device (not shown) to rotate the article 2 by at least 180°.
  • the rotation mechanism 15 rotates the article 2 by 180° about the axis of the rotation axis AX2, whereby the direction of the lid portion 2a is opposite in the direction orthogonal to the traveling direction. It becomes the direction.
  • the transfer system SYS1 includes the above-described first ceiling track 23, first ceiling transfer vehicle 60, second ceiling track 31, third ceiling track 32, second ceiling transfer vehicle 50, and first placement unit. 14a and the 2nd mounting part 14b are comprised at least.
  • the transport system SYS1 is not limited to the configuration in which the first ceiling transport vehicle 60, the second ceiling transport vehicle 50, the first placing portion 14a, and the second placing portion 14b are provided with the rotating mechanisms 15, 56, 66. ..
  • the transport system SYS1 includes, for example, a rotation mechanism (15, 56, 66) in at least one of the first ceiling transport vehicle 60, the second ceiling transport vehicle 50, the first placement section 14a, and the second placement section 14b. Any configuration may be used.
  • the first ceiling transport vehicle 60 is provided with the rotation mechanism 66.
  • the rotation mechanism 66 is provided in the first ceiling transport vehicle 60
  • the number of the second ceiling transport vehicles 50 is larger than that of the first ceiling transport vehicles 60
  • the rotation mechanism is provided in the second ceiling transport vehicle 50.
  • the number of rotating mechanisms can be reduced, and the manufacturing cost of the transport system SYS1 can be reduced.
  • the rotation mechanisms 66 and 56 are not provided on the first ceiling transport vehicle 60 or the second ceiling transport vehicle 50. Therefore, it is possible to prevent the first ceiling carrier 60 or the second ceiling carrier 50 from increasing in size. That is, when the article 2 having a substantially rectangular shape in plan view is rotated, it is necessary to increase the size of the first ceiling transport vehicle 60 or the second ceiling transport vehicle 50 in order to allow the rotation of the article 2 (see FIG. 5). See the dashed-dotted circle). As described above, since the rotation mechanism 15 is provided in the first mounting portion 14a or the second mounting portion 14b, it is possible to prevent the first ceiling transport vehicle 60 or the second ceiling transport vehicle 50 from increasing in size.
  • the article 2 is placed on the storage section 11 so that the lid section 2a faces the opposite side of the first ceiling transport vehicle 60, for example (see FIG. 2).
  • the storage units 11 are arranged on both sides of the upper ceiling track 20. Therefore, when the first ceiling transport vehicle 60 receives the article 2 from the storage unit 11 on the left side with respect to the traveling direction, the lid portion 2a of the article 2 in the first ceiling transport vehicle 60 has the left side in the traveling direction. It is in a facing state (see the article 2A in FIG. 6).
  • the lid portion 2a of the article 2 in the first ceiling transport vehicle 60 faces the right side in the traveling direction. It is in a facing state (see the article 2B in FIG. 6).
  • the lid portion 2a of the article 2 is required to be oriented in a predetermined direction, while as shown in FIG. 6, the article held by the first ceiling transport vehicle 60 traveling on the first ceiling track 23.
  • the direction of 2 is that the direction of the lid portion 2a is either left or right in the traveling direction.
  • the second ceiling guided vehicle 50 traveling on the second ceiling track 31 receives the article 2 placed on the first placing section 14a, or the second ceiling guided vehicle 50 traveling on the third ceiling track 32.
  • the direction of the lid portion 2a is either the left side or the right side in the traveling direction, and is determined by the load port LP. It is also assumed that the direction is different from the direction of the lid portion 2a.
  • the article 2 can be aligned with the direction of the lid portion 2a required by the load port LP by rotating the article 2 with the rotating mechanism (15, 56, 66).
  • the second ceiling guided vehicle 50 can deliver the article 2 to the load port LP in the same direction as long as the lid portion 2a faces the left side with respect to the traveling direction.
  • the second rotation will be described as being performed by the first ceiling carrier 60. 8: is a figure which shows the case where the article 2 of the storage part 11 is handed over from the 2nd ceiling conveyance vehicle 50 of the 3rd ceiling track 32 to the +Y side load port LPb.
  • the control device controls the first ceiling transport vehicle 60 to receive the article 2 to be transported from the uppermost storage section 11, and instructs the second placing section 14b to deliver the article 2. ..
  • the crane 40 of the ceiling stocker 100 transfers the article 2 to be conveyed to the uppermost storage section 11.
  • the first ceiling transport vehicle 60 travels along the upper ceiling track 20 and stops to the side of the storage unit 11 on which the article 2 to be transported is placed, and after the first horizontal loading mechanism 65 is projected.
  • the first lifting unit 63 lowers the first holding unit 63, and the first holding unit 63 grips the article 2.
  • the first ceiling guided vehicle 60 raises the first holding part 63 by the first elevating/lowering drive part 64, and then contracts the first side-feeding mechanism 65 to return the first holding part 63 to the storage position.
  • the article 2 is housed in the first main body 62.
  • the first ceiling carrier 60 holds the article 2 by the first holding unit 63, travels on the first ceiling track 23 (upper ceiling track 20), and stops immediately above the second placing unit 14b.
  • the lid portion 2a faces the left side in the traveling direction (see article 2A in FIG. 6), and the second loading is performed as it is.
  • the lid portion 2a faces the -Y side. In this state, even if the second ceiling guided vehicle 50 on the third ceiling track 32 receives the article 2 on the second placement portion 14b, the lid portion 2a faces the right side in the traveling direction, and the load port LPb determines the state. It will be different from the direction in which it is given.
  • the first ceiling guided vehicle 60 drives the rotating mechanism 66 to rotate the article 2 by 180° around the vertical axis (see FIG. 5). Then, as shown in FIG. 8, the first ceiling guided vehicle 60 drives the first elevating and lowering drive unit 64 to lower the first holding unit 63 and the article 2, and the article 2 is placed on the second placing unit 14b. After being placed, the article 2 is transferred to the second placing portion 14b by releasing the holding by the first holding portion 63.
  • the lid section 2a faces the right side in the traveling direction (see article 2B in FIG. 6). Therefore, even if the article 2 is placed on the second placing section 14b as it is, the lid portion 2a faces the +Y side, and therefore the rotation of the article 2 by the rotating mechanism 66 is not necessary.
  • the control device controls the second ceiling transport vehicle 50 to receive the article 2 from the second placement unit 14b and instruct the article 2 to be transferred to the designated +Y side load port LPb.
  • the second ceiling transport vehicle 50 travels on the third ceiling track 32, and stops on the +Y side of the second mounting portion 14b on which the article 2 is mounted.
  • the second elevating/lowering drive unit 54 is laterally extended in the ⁇ Y direction by the second lateral ejection mechanism 55
  • the second holding unit 53 is lowered to grip the article 2.
  • the second raising/lowering drive unit 54 raises the second holding unit 53, and then the second side-out mechanism 55 is contracted to return the second holding unit 53 to the storage position.
  • the article 2 is housed in the second main body 52. Subsequently, the second ceiling guided vehicle 50 travels along the lower ceiling track 30, stops above the load port LPb, and lowers the second holding unit 53 by the second lifting drive unit 54, so that the article 2 Is placed on the load port LPb. As a result, the article 2 is placed on the load port LPb in the orientation of the lid portion 2a required by the load port LPb (the lid portion 2a faces the +Y side).
  • the article 2 when the article 2 is transported from the load port LPb to the storage unit 11, the article 2 is transferred from the load port LPb via the second placement unit 14b by performing the reverse operation of the series of operations described above. It is transported to the storage unit 11.
  • FIG. 9 is a diagram showing a case where the article 2 in the storage unit 11 is delivered from the second ceiling transport vehicle 50 on the second ceiling track 31 to the ⁇ Y side load port LPa.
  • the operation of receiving the article 2 from the storage unit 11 by the first ceiling transport vehicle 60 is the same as above.
  • the first ceiling transport vehicle 60 holds the article 2 by the first holding unit 63, travels on the first ceiling track 23 (upper ceiling track 20), and is located at a position above the first placing unit 14a and in the lateral direction. Stop.
  • the first ceiling guided vehicle 60 if the article 2 is placed on the first placing section 14a with the lid portion 2a of the article 2 facing the right side in the traveling direction (see the article 2B in FIG.
  • the lid portion 2a faces the +Y side. In this state, even if the second ceiling guided vehicle 50 on the second ceiling track 31 receives the article 2 on the first placing section 14a, the lid section 2a faces the right side in the traveling direction, and the load port LPa determines the state. It will be different from the direction in which it is given.
  • the first ceiling guided vehicle 60 drives the rotating mechanism 66 to rotate the article 2 by 180° around the vertical axis (see FIG. 5). Subsequently, as shown in FIG. 9, the first ceiling guided vehicle 60 drives the first elevating/lowering drive unit 64 after horizontally ejecting the first elevating/lowering drive unit 64 in the ⁇ Y direction by the first laterally extending mechanism 65. Then, the first holding unit 63 and the article 2 are lowered, and the article 2 is placed on the first placing section 14a. Then, the first ceiling guided vehicle 60 releases the grip by the first holding unit 63 to transfer the article 2 to the first placing unit 14a. In the first ceiling guided vehicle 60, when the lid portion 2a of the article 2 faces the left side in the traveling direction (see article 2A in FIG. 6), the article 2 is placed on the first placing section 14a as it is. However, since the lid portion 2a faces the ⁇ Y side, the rotation of the article 2 by the rotation mechanism 66 is unnecessary.
  • the control device controls the second ceiling transport vehicle 50 to receive the article 2 from the first placing section 14a and deliver the article 2 to the designated ⁇ Y side load port LPa.
  • the second ceiling guided vehicle 50 travels on the second ceiling track 31 and stops on the ⁇ Y side of the first placing portion 14a on which the article 2 is placed.
  • the second elevating and lowering drive unit 54 is horizontally extended in the +Y direction by the second horizontal ejection mechanism 55, the second holding unit 53 is lowered to grip the article 2.
  • the second raising/lowering drive unit 54 raises the second holding unit 53, and then the second side-out mechanism 55 is contracted to return the second holding unit 53 to the storage position.
  • the article 2 is housed in the second main body 52. Subsequently, the second ceiling transport vehicle 50 travels along the lower ceiling track 30, stops above the load port LPa, and lowers the second holding unit 53 by the second lifting drive unit 54, so that the article 2 Is placed on the load port LPa. As a result, the article 2 is placed on the load port LPa in the orientation of the lid portion 2a required by the load port LPa (with the lid portion 2a facing the ⁇ Y side).
  • the article 2 When the article 2 is conveyed from the load port LPa to the storage unit 11, the article 2 is transferred from the load port LPa via the first placing section 14a by performing the reverse operation of the series of operations described above. It is transported to the storage unit 11.
  • the rotation mechanism at least one of the second ceiling transport vehicle 50, the first ceiling transport vehicle 60, the first placing portion 14a, and the second placing portion 14b ( 56, 66, 15), the article 2 can be rotated, so that the front and rear direction of the article 2 transferred between the first ceiling transport vehicle 60 and the second ceiling transport vehicle 50 can be changed by the load port LP.
  • the desired orientation can be set, and the transport efficiency of the article 2 can be improved.
  • the rotation mechanism ( 56, 66, 15) to rotate the article 2 about the vertical axis by 180°, the front-back direction of the article 2 (the direction of the lid portion 2a) can be easily set to an appropriate direction.
  • FIG. 10 is a diagram showing an example of the transport system SYS2 according to the second embodiment as viewed from the X direction.
  • FIG. 10 is a view on arrow BB in FIG.
  • configurations that are the same as or equivalent to those of the first embodiment described above will be assigned the same reference numerals and description thereof will be omitted or simplified.
  • the transport system SYS2 is included in the storage system SYS, as shown in FIG. As shown in FIG. 10, the transfer system SYS2 is configured to include the components of the ceiling stocker 100, the ceiling transfer vehicle system 200, and the transfer device 300.
  • the ceiling guided vehicle system 200 and the carrier device 300 have the same configurations as in the first embodiment.
  • the ceiling stocker 100 includes a shelf 10, an upper ceiling track 25, and a crane 40.
  • the shelves 10 are arranged inside and outside the upper ceiling track 25 on which the crane 40 travels in a plan view (see FIG. 3 ).
  • the upper ceiling track 25 is provided in a state of being suspended from the system ceiling SC1 by the suspension fitting 5.
  • the upper ceiling track 25 may be directly suspended from the ceiling C instead of being suspended from the system ceiling SC1.
  • the upper ceiling track 25 includes two linear first ceiling tracks 26 and 27 extending in the Y direction, and a first ceiling track 26 and a second ceiling track on the ⁇ Y side and the +Y side of the first ceiling tracks 26 and 27. It is a circular orbit having a connecting portion 28 that connects between one ceiling track 26 and 27.
  • the traveling direction of the first ceiling guided vehicle 60 is set to the first direction D11 (-Y direction).
  • the upper ceiling track 25 is provided with two branch portions 29 on the inner side in a plan view. The two branch portions 29 connect the first ceiling tracks 26 and 27 inside the upper ceiling track 25, respectively. Due to the branch portion 29, the upper ceiling track 25 includes two orbits.
  • the traveling direction of the first ceiling guided vehicle 60 is set to the first direction D12 (+Y direction).
  • the first ceiling tracks 26 and 27 intersect the second ceiling track 31 and the third ceiling track 32 of the lower ceiling track 30 in plan view.
  • the upper ceiling track 25 has a higher height from the floor surface F than the lower ceiling track 30.
  • the above-mentioned shelf 10 is provided on the +X side and the ⁇ X side with respect to the first ceiling tracks 26 and 27. That is, the shelves 10 are arranged inside and outside the upper ceiling track 25, which is a circular track on which the crane 40 travels, in plan view.
  • the first ceiling carrier 60 which is the carrier 300, travels on the upper ceiling track 25.
  • the transport system SYS2 includes a first placing section 14a and a second placing section 14b for delivering the article 2 between the first ceiling transport vehicle 60 and the second ceiling transport vehicle 50.
  • the first placing portion 14a and the second placing portion 14b are provided at six places in a state of being aligned in the X direction.
  • the first placement portion 14a and the second placement portion 14b at three locations on the +X side of the six locations correspond to the first ceiling track 26.
  • the first placement portion 14a and the second placement portion 14b at the three positions on the ⁇ X side correspond to the first ceiling track 27.
  • FIG. 11 is a plan view showing a part of the transport system SYS2.
  • FIG. 11 shows the first ceiling track 27.
  • the first mounting portions 14a1, 14a2, and 14a3 are sequentially arranged from the +X side in correspondence with the first ceiling track 27, and similarly, the second mounting portion 14b1 is sequentially arranged from the +X side. 14b2 and 14b3 are arranged.
  • the first ceiling track 27 on which the first ceiling guided vehicle 60 travels is arranged directly above the first placing portion 14a2 and the second placing portion 14b2.
  • the first placement parts 14a1, 14a2, 14a3 and the second placement parts 14b1, 14b2, 14b3 are arranged in the same manner as above.
  • FIG. 12 is a view of the transport system SYS2 viewed from the Y direction.
  • the first ceiling guided vehicle 60 raises and lowers the first holding unit 63 (article 2) with the first lifting drive unit 64 positioned right above the first placement unit 14a2.
  • the article 2 can be delivered to and from the first placing portion 14a2.
  • the first mounting portion 14a1 is arranged laterally (+X direction) and below the first ceiling track 27. Therefore, the first ceiling transport vehicle 60 laterally extends the first elevating and lowering drive unit 64 in the +X direction with respect to the first ceiling track 27, and positions the first elevating and lowering drive unit 64 directly above the first placement unit 14a1.
  • the article 2 By raising and lowering the first holding portion 63 (article 2) in this state, the article 2 can be delivered to and from the first placing portion 14a1.
  • the first mounting portion 14a3 is arranged laterally ( ⁇ X direction) and below the first ceiling track 27. Therefore, the first ceiling transport vehicle 60 laterally extends the first elevating drive unit 64 in the ⁇ X direction with respect to the first ceiling track 27, and positions the first elevating drive unit 64 directly above the first mounting unit 14a3.
  • the 1st ceiling conveyance vehicle 60 can deliver the article 2 to the 2nd mounting parts 14b1, 14b2, and 14b3 similarly to the above.
  • FIGS. 13A to 13C are plan views showing an example of rotating the article 2 in the first ceiling transport vehicle 60 or the second ceiling transport vehicle 50.
  • the first ceiling transport vehicle 60 or the second ceiling transport vehicle 50 causes the rotating mechanisms 66 and 56 to rotate the first elevating drive unit 64 or the second elevating drive unit 54 to the axis of the rotation axis AX1 that is a vertical axis.
  • the rotation mechanisms 66 and 56 can rotate the first elevating/lowering drive unit 64 or the second elevating/lowering drive unit 54 within a range of 180°.
  • the lid portion 2a faces the left side or the right side with respect to the traveling direction (in the figure, the lid portion 2a faces the left side).
  • the article 2 is being conveyed. From this state, as shown in FIG. 13B, a state in which the lid portion 2a of the article 2 is directed forward in the traveling direction by rotating the article 2 by 90° clockwise about the vertical axis by the rotation mechanism 66. Can be Therefore, when the first ceiling guided vehicle 60 travels on the first ceiling track 27 and places the article 2 on the second placing sections 14b1, 14b2, 14b3, as shown in FIG. 11, the lid section 2a is +Y. The article 2 can be placed with the side facing. In addition, as shown in FIG.
  • FIGS. 14A to 14C are plan views schematically showing an example of rotating the article 2 on the first placing parts 14a1, 14a2, 14a3 and the second placing parts 14b1, 14b2, 14b3.
  • the first ceiling transport vehicle 60 transports the article 2 with the lid portion 2a facing left in the traveling direction, and in that state, the first placing portion 14a1 and the like.
  • the orientation of the lid portion 2a is directed forward or backward with respect to the traveling direction. Becomes Therefore, as shown in FIGS.
  • the lid portion 2a of the article 2 is moved to the second ceiling. It can be in a state of facing left or right with respect to the traveling direction of the carrier vehicle 50.
  • the transfer system SYS2 includes the above-described first ceiling tracks 26 and 27, the first ceiling transfer vehicle 60, the second ceiling track 31, the third ceiling track 32, the second ceiling transfer vehicle 50, and the first mounting track.
  • the mounting portions 14a1, 14a2, 14a3 and the second mounting portions 14b1, 14b2, 14b3 are included at least.
  • the transport system SYS2 includes rotating mechanisms 15, 56 in the first ceiling transport vehicle 60, the second ceiling transport vehicle 50, the first placement sections 14a1, 14a2, 14a3, and the second placement sections 14b1, 14b2, 14b3. It is not limited to the configuration including 66.
  • the transport system SYS2 includes, for example, at least one of the first ceiling transport vehicle 60, the second ceiling transport vehicle 50, the first placement sections 14a1, 14a2, 14a3, and the second placement sections 14b1, 14b2, 14b3. Any configuration may be used as long as it has (15, 56, 66).
  • the transport system SYS2 as described above, at least one of the first ceiling transport vehicle 60, the second ceiling transport vehicle 50, the first placement sections 14a1, 14a2, 14a3, and the second placement sections 14b1, 14b2, 14b3.
  • the first ceiling carrier 60 First, the first ceiling guided vehicle 60 travels along the upper ceiling track 25 and receives the article 2 from the storage unit 11. Subsequently, the first ceiling carrier 60 holds the article 2 and travels on the first ceiling track 26 or the first ceiling track 27, and then the first placing section 14a2 or the second placing section 14b2 (see FIG. 11). Stop right above.
  • the first ceiling transport vehicle 60 has the lid 2a facing the ⁇ Y side when the article 2 is placed on the first placing parts 14a1, 14a2, 14a3, and the second placing parts 14b1, 14b2, When placing the article 2 on 14b3, the article 2 is rotated by the rotating mechanism 66 so that the lid portion 2a faces the +Y side.
  • the 1st ceiling conveyance vehicle 60 makes the 1st mounting part 14a1, 14a2, 14a3, or 2nd by making the 1st raising/lowering drive part 64 sideways, or lowering
  • the article 2 is placed on any of the placement sections 14b1, 14b2, 14b3 (see FIG. 12).
  • the second ceiling guided vehicle 50 travels on the second ceiling track 31 or the third ceiling track 32, and any of the first placement parts 14a1, 14a2, 14a3 or the second placement parts 14b1, 14b2, 14b3.
  • the article 2 is received in a state in which the second raising/lowering drive unit 54 is laterally extended in the +Y direction or the ⁇ Y direction by the second lateral ejection mechanism 55.
  • the second ceiling carrier 50 holding the article 2 travels on the upper ceiling track 25 and stops immediately above the designated load port LP, and the second lifting drive unit 54 moves the second holding unit 53 (article 2).
  • the second lifting drive unit 54 moves the second holding unit 53 (article 2).
  • the article 2 is placed on the load port LP.
  • the lid portion 2a of the article 2 is in the direction required by the load port LP.
  • the article 2 when the article 2 is conveyed from the load port LP to the storage unit 11, the article 2 is transferred to the first placement units 14a1, 14a2, 14a3, and the second placement unit by performing the reverse operation of the series of operations described above. It is conveyed from the load port LP to the storage unit 11 via any of the placement units 14b1, 14b2, and 14b3.
  • the transport system SYS2 at least the second ceiling transport vehicle 50, the first ceiling transport vehicle 60, the first placing portions 14a1, 14a2, 14a3, and the second placing portions 14b1, 14b2, 14b3. Since the article 2 can be rotated by the rotating mechanism (56, 66, 15) provided in one, the front and rear of the article 2 delivered between the first ceiling transport vehicle 60 and the second ceiling transport vehicle 50. Can be set to the direction required by the load port LP, and the transport efficiency of the article 2 can be improved. Further, the second direction D2 of the second ceiling track 31 and the third direction D3 of the third ceiling track 32 are orthogonal to the first directions D11 and D12 of the first ceiling tracks 26 and 27 in a plan view.
  • the front-back direction of the article 2 (the direction of the lid portion 2a) is adjusted to an appropriate direction. Can be set easily.
  • the present invention is not limited to the above description, and various modifications can be made without departing from the gist of the present invention.
  • the upper ceiling tracks 20, 25 first ceiling tracks 23, 26, 27
  • the lower ceiling tracks 30 second ceiling track 31, third ceiling track 32.
  • the upper ceiling tracks 20 and 25 and the lower ceiling track 30 may be connected via a connection track or the like.
  • the upper ceiling tracks 20, 25 (first ceiling tracks 23, 26, 27), the lower ceiling track 30 (second ceiling track 31, third ceiling track 32).
  • the configuration is not limited to this configuration.
  • at least one of the upper ceiling tracks 20 and 25 and the lower ceiling track 30 is supported by a pillar or frame provided on the floor surface F, a pedestal, or the like, and the load is received by the floor surface F. It may be.
  • Second side-loading mechanism 60 First ceiling transport vehicle 61 ⁇ First traveling part 63 ⁇ First holding part 64 ⁇ First lifting drive part 65 ⁇ First horizontal ejection mechanism 100 ⁇ Ceiling stocker 200 ⁇ Ceiling carrier system 300 ⁇ Conveyor

Landscapes

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Abstract

【課題】異なる軌道を走行する天井搬送車間で物品を円滑に受け渡すことにより、物品の搬送効率を向上させる。 【解決手段】搬送システムＳＹＳ１は、第１天井軌道２３を走行する第１天井搬送車６０と、第２天井軌道３１及び第３天井軌道３２を走行する第２天井搬送車５０と、第１天井搬送車６０及び第２天井搬送車５０との間で物品の受け渡しが可能な第１載置部１４ａ及び第２載置部１４ｂとを備え、第１天井搬送車６０、第２天井搬送車５０、第１載置部１４ａ、及び第２載置部１４ｂのうち少なくとも１つには、物品２を垂直軸まわりに回転させる回転機構（１５、５６、６６）が設けられる。

Description

搬送システム
　本発明は、搬送システムに関する。
　半導体製造工場等では、半導体ウエハを収容するＦＯＵＰ（Front‐Opening　Unified　Pod）又はレチクルを収容するレチクルポッド等の物品を天井搬送車により搬送して、処理装置のロードポート等の移載先に対して物品の受け渡しを行っている。このような搬送システムとして、例えば天井において上下２段に天井軌道を敷設し、それぞれの天井軌道を走行する天井搬送車の間で物品を受け渡す構成が知られている（例えば、特許文献１参照）。この搬送システムでは、上方の天井軌道を走行する天井搬送車と、下方の天井軌道を走行する天井搬送車とのそれぞれが物品の受け渡しを行うことができる載置部が設けられており、この載置部を介して物品の受け渡しを行っている。
国際公開第２０１７／０２９８７１号
　特許文献１に記載の搬送システムでは、上方の天井搬送車の走行方向と下方の天井搬送車の走行方向とが一致している場合の構成を示しているが、上方の天井搬送車の走行方向と下方の天井搬送車の走行方向とが異なる場合も想定される。また、天井搬送車により搬送される物品には、前後の向きが定められている場合がある、この場合、例えば上方の天井搬送車により載置部に載置された物品を、下方の天井搬送車が受け取っても、物品の前後の向きが変わるため、そのまま下方の天井搬送車により搬送先に載置できない可能性がある。従って、上方の天井搬送車と下方の天井搬送車との間で受け渡し可能な載置部が限られてしまい、物品の搬送効率を低下させることになる。
　本発明は、異なる軌道を走行する天井搬送車間で物品を円滑に受け渡すことにより、物品の搬送効率を向上させることが可能な搬送システムを提供することを目的とする。
　本発明の態様に係る搬送システムは、前後の向きが定められている物品を搬送する搬送システムであって、走行方向が第１方向に定められた第１天井軌道と、第１天井軌道に沿って走行する第１走行部、物品を保持する第１保持部、及び第１保持部を昇降させる第１昇降駆動部、を有する第１天井搬送車と、走行方向が第２方向に定められた第２天井軌道と、第２天井軌道と平行に設けられ走行方向が第２方向とは逆方向である第３方向に定められた第３天井軌道と、第２天井軌道及び第３天井軌道を走行する第２走行部、物品を保持する第２保持部、第２保持部を昇降させる第２昇降駆動部、及び第２昇降駆動部を横方向へ移動させる第２横出し機構、を有する第２天井搬送車と、第２天井軌道における第２天井搬送車が、物品を受け渡しする第１載置部と、第３天井軌道における第２天井搬送車が、物品を受け渡しする第２載置部と、を備え、第１天井搬送車は、第１昇降駆動部を第１載置部の直上に位置させた状態で第１載置部との間で物品を受け渡し可能であり、第１昇降駆動部を第２載置部の直上に位置させた状態で第２載置部との間で物品を受け渡し可能であり、第１天井搬送車、第２天井搬送車、第１載置部、及び第２載置部のうち少なくとも１つには、物品を垂直軸まわりに回転させる回転機構が設けられる。
　また、上下方向に複数段の保管部を備えた棚と、第１天井軌道を含む軌道に沿って走行し、物品を複数段の保管部の間で受け渡しするクレーンと、を備え、第１天井搬送車は、第１昇降駆動部を横方向へ移動させる第１横出し機構を備え、第１横出し機構により保管部の直上に第１昇降駆動部を横出しした状態で保管部との間で物品を受け渡し可能であり、第２天井軌道及び第３天井軌道は、クレーン及び棚の下端よりも下方に設けられてもよい。また、第１載置部及び第２載置部の少なくとも一方は複数設けられてもよい。また、回転機構は、第１天井搬送車に設けられ、第１保持部により保持された物品を垂直軸まわりに回転させてもよい。また、回転機構は、第１載置部及び第２載置部のうち少なくとも一方に設けられ、載置された物品を垂直軸まわりに回転させてもよい。また、第１方向は、平面視において第２方向と同一の方向であり、回転機構は、物品を垂直軸まわりに１８０°回転させてもよい。また、第１方向は、平面視において第２方向と直交する方向であり、回転機構は、物品を垂直軸まわりに９０°回転させてもよい。
　上記した搬送システムによれば、第１天井搬送車、第２天井搬送車、第１載置部、及び第２載置部のうち少なくとも１つに配置される回転機構により、物品を垂直軸まわりに回転させることができる。そのため、第１天井搬送車から渡された物品の前後の向きを特定した状態で、第２天井搬送車により物品を搬送することができ、第１天井搬送車が走行する第１軌道と、第２天井搬送車が走行する第２天井軌道及び第３天井軌道との向きが異なる場合でも、物品の載置部を介して物品の受け渡しを行うことができ、物品の搬送効率を向上させることができる。
　また、上下方向に複数段の保管部を備えた棚と、第１天井軌道を含む軌道に沿って走行し、物品を複数段の保管部の間で受け渡しするクレーンと、を備え、第１天井搬送車が、第１昇降駆動部を横方向へ移動させる第１横出し機構を備え、第１横出し機構により保管部の直上に第１昇降駆動部を横出しした状態で保管部との間で物品を受け渡し可能であり、第２天井軌道及び第３天井軌道が、クレーン及び棚の下端よりも下方に設けられる構成では、棚によって多くの物品の保管を実現しつつ、第１天井搬送車と第２天井搬送車との間の物品の受け渡しを効率よく行うことができる。また、第１載置部及び第２載置部の少なくとも一方が複数設けられる構成では、第１天井搬送車と第２天井搬送車との間で受け渡しされる物品が多くなるので、物品を効率よく受け渡すことができる。また、回転機構が、第１天井搬送車に設けられ、第１保持部により保持された物品を垂直軸まわりに回転させる構成では、第１載置部及び第２載置部のそれぞれに回転機構を備える場合に比べて、回転機構を備える装置が少なくて済むので、搬送システムの製造コストを低減できる。また、回転機構が、第１載置部及び第２載置部のうち少なくとも一方に設けられ、載置された物品を垂直軸まわりに回転させる構成では、第１天井搬送車又は第２天井搬送車に回転機構を配置しなくてもよいため、第１天井搬送車又は第２天井搬送車の大型化を抑制できる。また、第１方向が、平面視において第２方向と同一の方向であり、回転機構が、物品を垂直軸まわりに１８０°回転させる構成では、第１載置部又は第２載置部に載置される物品を垂直軸まわりに１８０°回転させることで、物品の前後の向きを適切な向きに容易に設定できる。また、第１方向が、平面視において第２方向と直交する方向であり、回転機構が、物品を垂直軸まわりに９０°回転させる構成では、第１載置部又は第２載置部に載置される物品を垂直軸まわりに９０°回転させることで、物品の前後の向きを容易に設定できる。
第１実施形態に係る搬送システムの一例をＸ方向から見た図である。 図１に示す搬送システムをＹ方向から見た図である。 図１に示す搬送システムを平面視で模式的に示した図である。 第１天井搬送車の一例を示す図である。 （Ａ）及び（Ｂ）は、第１天井搬送車又は第２天井搬送車において物品を回転させる一例を示す平面図である。 図１に示す搬送システムの一部を示す平面図である。 （Ａ）は、第１載置部及び第２載置部の一例を模式的に示す側面図、（Ｂ）及び（Ｃ）は、第１載置部及び第２載置部において物品を回転させる一例を模式的に示す平面図である。 物品をロードポートに渡す動作の一例を示す図である。 物品をロードポートに渡す動作の他の例を示す図である。 第２実施形態に係る搬送システムの一例をＸ方向から見た図である。 図１０に示す搬送システムの一部を示す平面図である。 図１０に示す搬送システムの一部をＹ方向から見た図である。 （Ａ）から（Ｃ）は、第１天井搬送車又は第２天井搬送車において物品を回転させる一例を示す平面図である。 （Ａ）から（Ｃ）は、第１載置部及び第２載置部において物品を回転させる一例を模式的に示す平面図である。
　以下、実施形態について図面を参照しながら説明する。ただし、本発明は以下に説明する実施形態に限定されない。また、図面においては実施形態を説明するため、一部分を大きく又は強調して記載する等、適宜縮尺を変更して表現している。以下の各図においては、ＸＹＺ座標系により図中の方向を説明する。このＸＹＺ座標系では、鉛直方向をＺ方向とし、水平方向をＸ方向、Ｙ方向とする。Ｘ方向は、水平方向内における一方向である。Ｙ方向は、Ｘ方向と直交する方向である。また、Ｘ、Ｙ、Ｚ方向の各方向について、適宜、矢印が指す向きを＋方向（例えば、＋Ｘ方向）と表現し、矢印が指す向きとは反対方向を－方向（例えば、－Ｘ方向）と表現する。
［第１実施形態］
　図１は、第１実施形態に係る搬送システムＳＹＳ１の一例をＸ方向から見た図である。図２は、図１に示す搬送システムＳＹＳ１の一例をＹ方向から見た図である。図３は、図１に示す搬送システムＳＹＳ１を平面視で模式的に示した図である。図１は、図３におけるＡ－Ａ矢視図である。なお、図３では、図を判別しやすくするため、処理装置ＴＬのロードポートＬＰを黒で塗って示している。
　搬送システムＳＹＳ１は、保管システムＳＹＳに含まれる。保管システムＳＹＳは、例えば、半導体デバイスの製造工場等に設けられ、半導体デバイスの製造に用いられる半導体ウエハを収容したＦＯＵＰ、又はレチクルを収容したレチクルポッド等の物品２を保管する。本実施形態では、物品２がＦＯＵＰである例を説明するが、物品２は、ＦＯＵＰ以外であってもよい。また、保管システムＳＹＳは、半導体製造分野以外の設備に適用可能であり、物品２は、保管システムＳＹＳで保管可能な他の物品でもよい。物品２は、蓋部２ａを有する。物品２は、蓋部２ａが配置される面が前面となる。つまり、物品２は、蓋部２ａによって前後の向きが定められている。
　搬送システムＳＹＳ１は、図１から図３に示すように、天井ストッカ１００、天井搬送車システム２００、及び搬送装置３００における構成要素を含んで構成される。天井ストッカ１００は、複数の保管部１１を備える棚１０と、上側天井軌道２０と、クレーン４０とを備える。棚１０は、平面視において、クレーン４０が走行する上側天井軌道２０に沿って配置される（図３参照）。また、棚１０に備える複数の保管部１１は、図２に示すように、フレーム１３に設けられて、上下方向（Ｚ方向）に３段配置されている。なお、保管部１１の段数は任意に設定できる。また、複数の保管部１１は、後述するクレーン４０の走行方向（Ｙ方向）に沿って複数並んで配置される。
　複数の保管部１１は、物品２を載置する棚板１１ａを備えている。各棚板１１ａは、フレーム１３に保持されている。以下の説明において、保管部１１に物品２を置くことは、保管部１１の棚板１１ａに物品２を置くことを意味する。なお、保管部１１の棚板１１ａには、それぞれ物品２を載置した際に物品２の底面に設けられた溝部に入り込む複数のピンが設けられてもよい。このピンが物品２の溝部に入り込むことにより、物品２は、保管部１１に対して位置決めされる。
　棚１０は、フレーム１３によりシステム天井ＳＣ１から吊り金具３Ａを介して吊り下げられている。システム天井ＳＣ１は、吊り金具３により建屋の天井Ｃから吊り下げられている。なお、フレーム１３は、システム天井ＳＣ１から吊り金具３Ａを介して吊り下げられることに代えて、天井Ｃから直接吊り下げられてもよい。棚１０の下端は、床面Ｆからの処理装置ＴＬの上端の高さよりも高くなるように設定されている。処理装置ＴＬは、例えば、物品２であるＦＯＵＰに収容されている半導体ウエハに対して成膜処理又はエッチング処理等の各種処理を行う。また、後述するクレーン４０の下端の高さも処理装置ＴＬの上端の高さよりも高くなるように設定されている。すなわち、天井ストッカ１００は、処理装置ＴＬの上端よりも上方に配置されている。なお、クレーン４０の下端は、作業者等が床面Ｆを支障なく通行することが可能な高さに設定される。その結果、天井ストッカ１００の下方の空間の一部を、作業者用通路ＰＳとして利用可能となる。
　保管部１１は、クレーン４０により物品２が載置され、また、物品２が取り出される。また、保管部１１のうち一部は、後述する第１天井搬送車６０により物品２が載置され、また物品２が取り出される。第１天井搬送車６０により物品２が受け渡される保管部１１は、棚１０のうち最上段の保管部１１である。保管部１１の上下寸法（棚板１１ａの上面から上方の保管部１１の棚板１１ａの下面までの寸法）は、後述するクレーン４０の移載装置４２が物品２を下面側から支持して持ち上げるために必要な寸法に設定される。クレーン４０の移載装置４２は、例えば、物品２を下面側から支持して持ち上げる構成が採用されており、物品２の上方に大きなスペースを必要としない。例えば、保管部１１の上下寸法は、物品２の上下寸法に数センチ加える程度の寸法とすることも可能である。
　上側天井軌道２０は、図１及び図２に示すように、システム天井ＳＣ１から吊り金具５により吊り下げられている。なお、上側天井軌道２０は、システム天井ＳＣ１から吊り金具５により吊り下げられることに代えて、天井Ｃから直接吊り下げられてもよい。上側天井軌道２０は、図３に示すように、Ｙ方向に延在する直線部２１、２２と、直線部２１、２２の－Ｙ側において直線部２１、２２間を接続する第１天井軌道２３と、直線部２１、２２の＋Ｙ側において直線部２１、２２間を接続する接続部２４と、を有する環状の周回軌道である。上側天井軌道２０において、第１天井軌道２３は、第１天井搬送車６０の走行方向が第１方向Ｄ１（－Ｘ方向）に定められている。上側天井軌道２０は、図１及び図２に示すように、天井搬送車システム２００の下側天井軌道３０よりも床面Ｆからの高さが高い。
　上記した棚１０は、直線部２１、２２に対して＋Ｘ側及び－Ｘ側に設けられる。すなわち、棚１０は、平面視において、クレーン４０が走行する周回軌道である上側天井軌道２０の内側及び外側に配置される。また、上記したように、棚１０の下端は、処理装置ＴＬの上端の高さよりも高く設定されている。従って、棚１０は、処理装置ＴＬよりも上方に配置することが可能である。処理装置ＴＬよりも上方の空間は、従来デッドスペースとされてきた空間であり、このような空間に棚１０を配置することにより、建屋内の空間を有効に利用することができる。
　クレーン４０は、物品２を保持し、上側天井軌道２０を走行して移動する。クレーン４０は、保管部１１と他の保管部１１との間で物品２を搬送する。クレーン４０は、上側天井軌道２０を周回走行する。なお、１つの上側天井軌道２０に配置されるクレーン４０は、１台に限定されない。例えば、１つの上側天井軌道２０に２台以上のクレーン４０が配置されてもよい。クレーン４０は、図１及び図２に示すように、上側天井軌道２０から吊り下げられている。
　クレーン４０は、２台の走行部４１と、移載装置４２と、を備える。走行部４１の下方には、取付部４６を介して上部支持部４７が取り付けられ、上部支持部４７により２台の走行部４１が連結されている。各走行部４１は、不図示の走行駆動部及び複数の車輪４１ａを備え、上側天井軌道２０に沿って走行する。走行部４１が備える不図示の走行駆動部は、例えば、走行部４１に備えられて車輪４１ａを駆動する電動モータであってもよいし、リニアモータであってもよい。なお、本実施形態のクレーン４０では、２台の走行部４１を備えていることにより、重量物である移載装置４２及び物品２を確実に支持することができる。なお、クレーン４０は、２台の走行部４１を備える構成に限定されず、１台又は３台以上の走行部４１を備えてもよい。
　移載装置４２は、マスト４３と、昇降台４４と、昇降駆動部４５と、伸縮部４８と、載置台４９とを備える。マスト４３は、上部支持部４７から吊り下げられて上下方向に延在する。マスト４３は、走行部４１の走行方向の前後にそれぞれ１本ずつ設けられている。なお、マスト４３は、合計２本であることに限定されず、１本であってもよい。マスト４３は、上記したように、マスト４３の下端の床面Ｆからの高さが処理装置ＴＬの高さよりも高くなるように設けられている。例えば、マスト４３の下端がクレーン４０の下端である。
　伸縮部４８は、走行部４１の走行方向と直交する方向に伸縮可能な複数のアームにより構成されている。載置台４９は、伸縮部４８の先端に設けられている。載置台４９は、物品２を載置可能な三角形状の板状部材である。載置台４９は、その載置台４９に載置された物品２を下側から支持することにより保持する。載置台４９の上面には、物品２の底面に備える溝部に挿入して物品２を位置決めするピンが設けられている。なお、上記した保管部１１の棚板１１ａには、載置台４９が上下方向に通過可能な不図示の切り欠きが設けられている。
　移載装置４２は、保管部１１から物品２を受け取る際、伸縮部４８を伸ばして載置台４９を物品２の下方に位置させて昇降台４４を上昇させることにより、載置台４９で物品２をすくい上げる。移載装置４２は、載置台４９に物品２を載置したまま伸縮部４８を縮めることにより、物品２を載置した載置台４９を昇降台４４の上方に配置させる。また、移載装置４２により物品２を保管部１１に渡す際は、上記の逆の動作により行う。なお、移載装置４２は、上記した構成に限定されず、例えば物品２の一部（例えば、ＦＯＵＰの上部に設けられたフランジ部等）を保持して持ち上げる構成等、他の構成であってもよい。
　２台の昇降駆動部４５は、例えば、ホイストであり、マスト４３に沿って昇降台４４を昇降させる。各昇降駆動部４５は、吊り下げ部材４５ａ及び不図示の駆動部を備える。吊り下げ部材４５ａは、例えば、ベルト又はワイヤ等であり、昇降台４４は、この吊り下げ部材４５ａによって上部支持部４７から吊り下げられている。昇降駆動部４５が備える不図示の駆動部は、例えば上部支持部４７に設けられ、吊り下げ部材４５ａの繰り出し、巻き取りを行う。昇降台４４は、昇降駆動部４５が備える不図示の駆動部が吊り下げ部材４５ａを繰り出すと、マスト４３に案内されて下降する。また、昇降台４４は、昇降駆動部４５が備える不図示の駆動部が吊り下げ部材４５ａを巻き取ると、マスト４３に案内されて上昇する。昇降駆動部４５は、不図示の制御装置等により制御されて、所定の速度で昇降台４４を下降又は上昇させる。また、昇降駆動部４５は、不図示の制御装置等により制御されて、昇降台４４を目標の高さに保持する。
　昇降駆動部４５は、上部支持部４７に設けられる。なお、昇降駆動部４５は、上部支持部４７に設けられることに代えて、例えば、昇降台４４に設けられてもよい。昇降台４４に昇降駆動部４５が設けられる構成としては、例えば、上部支持部４７から吊り下げたベルト又はワイヤ等を昇降台４４に搭載したホイスト等により巻き上げ又は繰り出しを行って昇降台４４を昇降させる構成であってもよい。また、昇降台４４にピニオンギアを駆動する電動モータ等が搭載され、このピニオンギアが噛み合うラックがマスト４３に形成され、電動モータ等によりピニオンギアを回転させることで昇降台４４を昇降させる構成であってもよい。
　搬送装置３００は、天井ストッカ１００と、後述する天井搬送車システム２００との間で上下方向に物品２を搬送する。搬送装置３００は、第１天井搬送車６０である。図４は、第１天井搬送車６０の一例を示す図である。第１天井搬送車６０は、図４に示すように、第１走行部６１と、第１本体部６２とを有する。第１走行部６１は、クレーン４０の走行部４１と同様の構成が適用されており、不図示の走行駆動部及び複数の車輪６１ａを備え、上側天井軌道２０に沿って走行する。第１走行部６１が備える不図示の走行駆動部は、例えば、第１走行部６１に備えられて車輪６１ａを駆動する電動モータであってもよいし、リニアモータであってもよい。第１天井搬送車６０は、上側天井軌道２０を走行するので別途軌道を設ける必要がなく、保管システムＳＹＳの製造コストを低減できる。
　第１本体部６２は、取付部６２ａを介して第１走行部６１の下部に取り付けられている。第１本体部６２は、物品２を保持する第１保持部６３と、第１保持部６３を吊り下げて昇降させる第１昇降駆動部６４と、第１昇降駆動部６４を軌道の側方に移動させる第１横出し機構６５とを有する。第１保持部６３は、物品２のフランジ部を上方からつかんで把持することにより、物品２を吊り下げて保持する。第１保持部６３は、例えば、水平方向に進退可能な複数の爪部６３ａを有するチャックであり、爪部６３ａを物品２のフランジ部の下方に進入させ、第１保持部６３を上昇させることにより物品２を吊り下げて保持する。第１保持部６３は、ワイヤ又はベルト等の吊り下げ部材６３ｂと接続されている。第１保持部６３は、吊り下げ部材６３ｂを介して第１昇降駆動部６４から吊り下げられ、その第１昇降駆動部６４により昇降する。
　第１昇降駆動部６４は、例えばホイストであり、吊り下げ部材６３ｂを繰り出すことにより第１保持部６３を下降させ、吊り下げ部材６３ｂを巻き取ることにより第１保持部６３を上昇させる。第１昇降駆動部６４は、不図示の制御装置等により制御され、所定の速度で第１保持部６３を下降又は上昇させる。また、第１昇降駆動部６４は、不図示の制御装置等により制御され、第１保持部６３を目標の高さに保持する。
　第１横出し機構６５は、例えば上下方向に重ねて配置された可動板を有する。可動板は、第１走行部６１の走行方向の側方（走行方向に直交する方向、横方向）に移動可能である。可動板には、第１昇降駆動部６４が取り付けられている。第１本体部６２は、第１横出し機構６５を案内する不図示のガイド、及び第１横出し機構６５を駆動する不図示の駆動部等を有する。第１横出し機構６５は、電動モータ等の駆動部からの駆動力によって、第１昇降駆動部６４及び第１保持部６３をガイドに沿って、突出位置と格納位置との間で移動させる。突出位置は、第１保持部６３が第１本体部６２から側方に突出する位置である。格納位置は、第１本体部６２内に第１保持部６３を格納する位置である。なお、第１横出し機構６５と第１昇降駆動部６４との間には、第１横出し機構６５に対して第１昇降駆動部６４を垂直軸まわりに回転させるための回転機構６６が設けられている。なお、回転機構６６は、第１昇降駆動部６４と第１保持部６３との間に設けられて、第１昇降駆動部６４に対して第１保持部６３を垂直軸まわりに回転させる構成であってもよい。
　図５（Ａ）及び（Ｂ）は、第１天井搬送車６０又は後述する第２天井搬送車５０において物品を回転させる一例を示す平面図である。図５（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、回転機構６６、５６は、第１昇降駆動部６４又は第２昇降駆動部５４を垂直軸である回転軸ＡＸ１の軸まわりに回転させる。回転機構６６、５６は、電動モータ等の不図示の駆動源を備え、この駆動源により第１昇降駆動部６４又は第２昇降駆動部５４を回転させる。回転機構６６、５６は、例えば不図示の制御装置の制御により、第１昇降駆動部６４又は第２昇降駆動部５４を１８０°回転させることが可能である。回転機構６６、５６が第１昇降駆動部６４又は第２昇降駆動部５４を回転軸ＡＸ１の軸まわりに１８０°回転させることにより、第１保持部６３又は第２保持部５３に把持される物品２は、蓋部２ａの向きが走行方向に直交する方向において、反対向きとなる。
　第１天井搬送車６０は、第１横出し機構６５により第１昇降駆動部６４（第１保持部６３）を複数段の保管部１１のうちの少なくとも１つの保管部１１の上方に移動させた状態で、第１昇降駆動部６４により第１保持部６３（物品２）を昇降させて、第１昇降駆動部６４の下方に存在する保管部１１との間で物品２を受け渡し可能である。本実施形態では、第１天井搬送車６０は、棚１０のうち最上段の保管部１１との間で物品２を受け渡し可能である。なお、第１天井搬送車６０との受け渡し対象の保管部１１が最上段以外の保管部１１であってもよい。
　天井搬送車システム２００は、下側天井軌道３０に沿って走行し、下側天井軌道３０より下方に配置された所定の移載先である処理装置ＴＬのロードポートＬＰに対して物品２の受け渡しを行う第２天井搬送車５０を備える。第２天井搬送車５０は、図１及び図２に示すように、第２走行部５１と、第２本体部５２とを有する。第２本体部５２は、物品２を保持する第２保持部５３と、保持した物品２を昇降させる第２昇降駆動部５４と、第２走行部５１に対して第２昇降駆動部５４を横方向に移動させる第２横出し機構５５と、第２昇降駆動部５４又は第２保持部５３を垂直軸まわりに回転させる回転機構５６と、を備える。これら第２走行部５１、第２本体部５２、第２保持部５３、第２昇降駆動部５４、第２横出し機構５５、及び回転機構５６は、上記した第１天井搬送車６０の第１走行部６１、第１本体部６２、第１保持部６３、第１昇降駆動部６４、第１横出し機構６５、及び回転機構６６と同様の構成が適用される。従って、天井搬送車システム２００の第２天井搬送車５０を第１天井搬送車６０としてそのまま適用可能である。
　第２天井搬送車５０は、第２昇降駆動部５４により第２保持部５３（物品２）を昇降させて、ロードポートＬＰとの間で物品２を受け渡し可能である。ロードポートＬＰは、図１に示すように、例えばＹ方向に対向して配置される。以降の説明において、－Ｙ側に配置されるロードポートＬＰをロードポートＬＰａと表記し、＋Ｙ側に配置されるロードポートＬＰをロードポートＬＰｂと表記して区別する場合がある。下側天井軌道３０は、図２に示すように、システム天井ＳＣ２の下面側に取り付けられている。システム天井ＳＣ２は、システム天井ＳＣ１から吊り金具４により吊り下げられている。なお、下側天井軌道３０は、システム天井ＳＣ２から吊り下げられることに代えて、システム天井ＳＣ１から吊り下げられてもよいし、天井Ｃから直接吊り下げられてもよい。
　下側天井軌道３０は、平面視でインターベイルート（ベイ間軌道）Ｒ１とインターベイルートＲ２との間に配置されている。下側天井軌道３０は、ベイ内（イントラベイ内）にそれぞれ設けられており、インターベイルートＲ１等は、複数の下側天井軌道３０を接続するために設けられている。本実施形態において、ベイ（イントラベイ）とは、例えば、平面視において、複数の処理装置ＴＬにおけるロードポートＬＰが互いに対向するように設けられ、互いに対向するように設けられたロードポートＬＰの間に作業者用通路ＰＳが設けられている範囲（領域）を指す。下側天井軌道３０は、インターベイルートＲ１に対して進入用又は退出用の２本の支線Ｓ１を介して接続され、インターベイルートＲ２に対して進入用又は退出用の２本の支線Ｓ２を介して接続されている。
　下側天井軌道３０は、天井ストッカ１００の下端であるクレーン４０（マスト４３）より下方に配置される。従って、下側天井軌道３０は、天井ストッカ１００の下端より下方に配置される。また、この下側天井軌道３０を走行する第２天井搬送車５０は、天井ストッカ１００の下端より下方において走行する。
　第２天井搬送車５０は、インターベイルートＲ１、Ｒ２から支線Ｓ１、Ｓ２を介して下側天井軌道３０に進入し、又は下側天井軌道３０から支線Ｓ１、Ｓ２を介してインターベイルートＲ１、Ｒ２に退出する。第２天井搬送車５０は、下側天井軌道３０に沿って走行し、処理装置ＴＬのロードポートＬＰとの間で物品２の受け渡しを行う。また、第２天井搬送車５０は、後述する第１載置部１４ａ又は第２載置部１４ｂとの間で物品２の受け渡しを行う。
　下側天井軌道３０は、図３に示すように、第２天井軌道３１と、第３天井軌道３２と、接続部３３とを有する。第２天井軌道３１及び第３天井軌道３２は、直線状であってＸ方向に平行に設けられる。第２天井軌道３１が－Ｙ側、第３天井軌道３２が＋Ｙ側に配置される。接続部３３は、第２天井軌道３１及び第３天井軌道３２の＋Ｘ側及び－Ｘ側の両端に配置され、第２天井軌道３１と第３天井軌道３２とを接続する。下側天井軌道３０は、第２天井軌道３１、第３天井軌道３２、及び接続部３３により環状の周回軌道を構成する。第２天井搬送車５０は、第２天井軌道３１、第３天井軌道３２、接続部３３に沿って一方向（例えば平面視で時計まわりの方向）に周回走行することが可能である。
　下側天井軌道３０において、第２天井軌道３１は、第２天井搬送車５０の走行方向が第２方向Ｄ２（－Ｘ方向）に定められている。第２方向Ｄ２は、第１天井搬送車６０が走行する第１天井軌道２３の走行方向である第１方向Ｄ１と同じ向きの走行方向であり、第１方向Ｄ１と平行である。第３天井軌道３２は、第２天井搬送車５０の走行方向が第３方向Ｄ３（＋Ｘ方向）に定められている。第３天井軌道３２は、第２天井軌道３１と平行に設けられている。第３方向Ｄ３は、第２天井搬送車５０の走行方向が第２方向Ｄ２とは逆方向であり、第２方向Ｄ２と平行である。また、第３方向Ｄ３は、第１天井搬送車６０が走行する第１天井軌道２３の走行方向である第１方向Ｄ１と逆方向であり、第１方向Ｄ１と平行である。第２天井軌道３１及び第３天井軌道３２は、ロードポートＬＰの直上に配置されてもよい。
　搬送システムＳＹＳ１は、第１天井搬送車６０と第２天井搬送車５０との間で物品２を受け渡すための第１載置部１４ａ及び第２載置部１４ｂを備える。第１載置部１４ａ及び第２載置部１４ｂは、例えばシステム天井ＳＣ１又は天井Ｃから吊り金具６により吊り下げられた状態で支持される。第１載置部１４ａ及び第２載置部１４ｂのそれぞれは、第１天井搬送車６０が走行する第１天井軌道２３の下方に配置される。また、第１載置部１４ａ及び第２載置部１４ｂのそれぞれは、第２天井軌道３１及び第３天井軌道３２に対して横方向かつ下方に配置される。
　図６は、搬送システムＳＹＳ１の一部を示す平面図である。図６に示すように、第１天井搬送車６０が走行する第１天井軌道２３は、第２載置部１４ｂの直上に配置されている。従って、第１天井搬送車６０は、第１昇降駆動部６４を第２載置部１４ｂの直上に位置させた状態で第１保持部６３（物品２）を昇降させることにより、第２載置部１４ｂとの間で物品２の受け渡しが可能である。また、第１載置部１４ａは、第１天井軌道２３に対して横方向（－Ｙ方向）かつ下方に配置されている。従って、第１天井搬送車６０は、第１天井軌道２３に対して第１昇降駆動部６４を－Ｙ方向に横出しし、第１昇降駆動部６４を第１載置部１４ａの直上に位置させた状態で第１保持部６３（物品２）を昇降させることにより、第１載置部１４ａとの間で物品２の受け渡しが可能である。なお、第１天井軌道２３は、第２載置部１４ｂの直上に配置されることに代えて、第１載置部１４ａの直上に配置されてもよい。
　また、第２天井軌道３１を走行する第２天井搬送車５０は、第２横出し機構５５により第２昇降駆動部５４を＋Ｙ方向に横出しし、第２昇降駆動部５４を第１載置部１４ａの直上に位置させた状態で第２保持部５３（物品２）を昇降させることにより、第１載置部１４ａとの間で物品２の受け渡しが可能である。第３天井軌道３２を走行する第２天井搬送車５０は、第２横出し機構５５により第２昇降駆動部５４を－Ｙ方向に横出しし、第２昇降駆動部５４を第２載置部１４ｂの直上に位置させた状態で第２保持部５３（物品２）を昇降させることにより、第２載置部１４ｂとの間で物品２の受け渡しが可能である。なお、第１載置部１４ａ及び第２載置部１４ｂは、それぞれ１カ所であることに限定されない。例えば、第１天井軌道２３がＸ方向に長い場合は、第１載置部１４ａ及び第２載置部１４ｂの一方又は双方は、Ｘ方向に複数並べて設けられてもよい。
　図７（Ａ）は、第１載置部１４ａ及び第２載置部１４ｂの一例を模式的に示す側面図、（Ｂ）及び（Ｃ）は、第１載置部１４ａ及び第２載置部１４ｂにおいて物品２を回転させる一例を模式的に示す平面図である。図７（Ａ）に示すように、第１載置部１４ａ及び第２載置部１４ｂは、第１載置部１４ａ及び第２載置部１４ｂ上に載置される物品２を垂直軸である回転軸ＡＸ２の軸まわりに回転させる回転機構１５を備える。回転機構１５は、電動モータ等の不図示の駆動源を備え、電動モータ等の不図示の駆動源により第１載置部１４ａ及び第２載置部１４ｂを回転させる。回転機構１５は、例えば不図示の制御装置の制御により第１載置部１４ａ及び第２載置部１４ｂを駆動し、物品２を少なくとも１８０°回転させることが可能である。図７（Ｂ）及び（Ｃ）に示すように、回転機構１５が物品２を回転軸ＡＸ２の軸まわりに１８０°回転させることにより、蓋部２ａの向きが走行方向に直交する方向において、反対向きとなる。
　搬送システムＳＹＳ１は、上記した、第１天井軌道２３と、第１天井搬送車６０と、第２天井軌道３１と、第３天井軌道３２と、第２天井搬送車５０と、第１載置部１４ａと、第２載置部１４ｂとを少なくとも含んで構成される。なお、搬送システムＳＹＳ１は、第１天井搬送車６０、第２天井搬送車５０、第１載置部１４ａ、及び第２載置部１４ｂにおいて回転機構１５、５６、６６を備えた構成に限定されない。搬送システムＳＹＳ１は、例えば、第１天井搬送車６０、第２天井搬送車５０、第１載置部１４ａ、及び第２載置部１４ｂの少なくとも１つに回転機構（１５、５６、６６）を備えた構成であればよい。
　第１天井搬送車６０、第２天井搬送車５０、第１載置部１４ａ、及び第２載置部１４ｂのうち第１天井搬送車６０に回転機構６６を設ける構成では、第１載置部１４ａ及び第２載置部１４ｂのそれぞれに回転機構１５を備える構成に比べて、回転機構の数が少なくて済み、搬送システムＳＹＳ１の製造コストを低減できる。さらに、上記の第１天井搬送車６０に回転機構６６を設ける構成において、第１天井搬送車６０よりも第２天井搬送車５０の台数が多い場合には、第２天井搬送車５０に回転機構５６を設ける構成に比べて、回転機構の数が少なくて済み、搬送システムＳＹＳ１の製造コストを低減できる。
　また、第１載置部１４ａ及び第２載置部１４ｂのうち少なくとも一方に回転機構１５が設けられる場合、第１天井搬送車６０又は第２天井搬送車５０に回転機構６６、５６を設けなくてもよいので、第１天井搬送車６０又は第２天井搬送車５０の大型化を抑制できる。すなわち、平面視で略矩形状の物品２を回転させる場合、物品２の回転を許容するために、第１天井搬送車６０又は第２天井搬送車５０の大型化が必要となる（図５の一点鎖線の円を参照）。上記のように、第１載置部１４ａ又は第２載置部１４ｂに回転機構１５が設けられることで、第１天井搬送車６０又は第２天井搬送車５０の大型化を回避できる。
　続いて、搬送システムＳＹＳ１において保管部１１からロードポートＬＰに物品２を渡す場合について説明する。本実施形態において、物品２は、例えば、第１天井搬送車６０に対して反対側に蓋部２ａが向くように保管部１１に載置されている（図２参照）。また、保管部１１は、上側天井軌道２０の両側に配置されている。従って、第１天井搬送車６０が走行方向に対して左側の保管部１１から物品２を受け取った場合には、第１天井搬送車６０において物品２の蓋部２ａの向きが走行方向の左側を向いた状態（図６の物品２Ａ参照）となる。一方、第１天井搬送車６０が走行方向に対して右側の保管部１１から物品２を受け取った場合には、第１天井搬送車６０において物品２の蓋部２ａの向きが走行方向の右側を向いた状態（図６の物品２Ｂ参照）となる。
　ロードポートＬＰにおいては物品２の蓋部２ａが所定の向きとされることが求められる一方で、図６に示すように、第１天井軌道２３を走行する第１天井搬送車６０が保持する物品２の向きは、蓋部２ａの向きが走行方向の左側又は右側かいずれかとなる。また、第２天井軌道３１を走行する第２天井搬送車５０が第１載置部１４ａに載置された物品２を受け取った場合、又は第３天井軌道３２を走行する第２天井搬送車５０が第２載置部１４ｂに載置された物品２を受け取った場合のいずれであっても、蓋部２ａの向きが走行方向の左側又は右側かのいずれかとなり、ロードポートＬＰで求められている蓋部２ａの向きと異なることも想定される。
　搬送システムＳＹＳ１は、上記のように、第１天井搬送車６０、第２天井搬送車５０、第１載置部１４ａ、及び第２載置部１４ｂの少なくとも１つに回転機構（１５、５６、６６）を備えるので、物品２を回転機構（１５、５６、６６）により回転させることで、ロードポートＬＰで求められている蓋部２ａの向きに物品２を合わせることが可能となる。
　続いて、保管部１１からロードポートＬＰに物品２を渡す場合について図面を用いて説明する。なお、以下の説明において、第２天井搬送車５０は、走行方向に対して蓋部２ａが左側を向いていれば、そのままの向きでロードポートＬＰに物品２を渡すことができるものとし、物品２の回転は、第１天井搬送車６０により行うものとして説明する。図８は、保管部１１の物品２を、第３天井軌道３２の第２天井搬送車５０から＋Ｙ側のロードポートＬＰｂに物品２を渡す場合を示す図である。
　まず、不図示の制御装置は、第１天井搬送車６０を制御して、最上段の保管部１１から搬送対象の物品２を受け取り、第２載置部１４ｂに物品２を渡すように指示する。なお、搬送対象の物品２が最上段以外の保管部１１にある場合、天井ストッカ１００のクレーン４０は、搬送対象の物品２を最上段の保管部１１に移載する。第１天井搬送車６０は、上側天井軌道２０に沿って走行し、搬送対象の物品２が載置された保管部１１の側方に停止して、第１横出し機構６５を突出させた後に第１昇降駆動部６４により第１保持部６３を下降させ、第１保持部６３により物品２を把持する。続いて、第１天井搬送車６０は、第１昇降駆動部６４により第１保持部６３を上昇させた後、第１横出し機構６５を収縮させて第１保持部６３を格納位置に戻すことにより、物品２を第１本体部６２内に収容する。
　続いて、第１天井搬送車６０は、第１保持部６３により物品２を保持して第１天井軌道２３（上側天井軌道２０）を走行し、第２載置部１４ｂの直上で停止する。このとき、第１天井搬送車６０は、左側の保管部１１から物品２を受け取った場合は、蓋部２ａが走行方向の左側に向いており（図６の物品２Ａ参照）、そのまま第２載置部１４ｂに物品２を載置すると蓋部２ａが－Ｙ側に向くことになる。この状態では、第３天井軌道３２の第２天井搬送車５０が第２載置部１４ｂの物品２を受け取っても、蓋部２ａが走行方向の右側に向いた状態となり、ロードポートＬＰｂで求められる向きと異なってしまう。
　従って、第１天井搬送車６０は、回転機構６６を駆動して物品２を垂直軸まわりに１８０°回転させる（図５参照）。続いて、図８に示すように、第１天井搬送車６０は、第１昇降駆動部６４を駆動して第１保持部６３及び物品２を下降させ、物品２を第２載置部１４ｂに載置させた後に第１保持部６３による把持を解放することにより物品２を第２載置部１４ｂに渡す。なお、第１天井搬送車６０が、右側の保管部１１から物品２を受け取った場合は、蓋部２ａが走行方向の右側に向いている（図６の物品２Ｂ参照）。従って、そのまま第２載置部１４ｂに物品２を載置しても蓋部２ａが＋Ｙ側に向くので、回転機構６６による物品２の回転は不要である。
　次に、不図示の制御装置は、第２天井搬送車５０を制御して、第２載置部１４ｂから物品２を受け取り、指定された＋Ｙ側のロードポートＬＰｂに物品２を渡すように指示する。第２天井搬送車５０は、第３天井軌道３２を走行し、物品２が載置された第２載置部１４ｂの＋Ｙ側に停止する。続いて、第２横出し機構５５により第２昇降駆動部５４を－Ｙ方向に横出しした後、第２保持部５３を下降させて物品２を把持させる。その後、第２天井搬送車５０は、第２昇降駆動部５４により第２保持部５３を上昇させた後、第２横出し機構５５を収縮させて第２保持部５３を格納位置に戻すことにより、物品２を第２本体部５２内に収容する。続いて、第２天井搬送車５０は、下側天井軌道３０に沿って走行し、ロードポートＬＰｂの上方で停止して、第２昇降駆動部５４により第２保持部５３を下降させ、物品２をロードポートＬＰｂ上に載置する。この結果、ロードポートＬＰｂで求められる蓋部２ａの向きで（蓋部２ａを＋Ｙ側に向けて）、物品２がロードポートＬＰｂに載置される。
　また、ロードポートＬＰｂから保管部１１に物品２を搬送する場合は、上記した一連の動作の逆の動作を行うことにより、物品２は、第２載置部１４ｂを経由してロードポートＬＰｂから保管部１１に搬送される。
　図９は、保管部１１の物品２を、第２天井軌道３１の第２天井搬送車５０から－Ｙ側のロードポートＬＰａに物品２を渡す場合を示す図である。なお、第１天井搬送車６０により保管部１１から物品２を受け取る動作については上記と同様である。第１天井搬送車６０は、第１保持部６３により物品２を保持して第１天井軌道２３（上側天井軌道２０）を走行し、第１載置部１４ａの上方かつ横方向となる位置で停止する。このとき、第１天井搬送車６０において、物品２の蓋部２ａが走行方向の右側に向いた状態（図６の物品２Ｂ参照）のまま第１載置部１４ａに物品２を載置すると、蓋部２ａが＋Ｙ側に向くことになる。この状態では、第２天井軌道３１の第２天井搬送車５０が第１載置部１４ａの物品２を受け取っても、蓋部２ａが走行方向の右側に向いた状態となり、ロードポートＬＰａで求められる向きと異なってしまう。
　従って、第１天井搬送車６０は、回転機構６６を駆動して物品２を垂直軸まわりに１８０°回転させる（図５参照）。続いて、図９に示すように、第１天井搬送車６０は、第１横出し機構６５により第１昇降駆動部６４を－Ｙ方向に横出しした後、第１昇降駆動部６４を駆動して第１保持部６３及び物品２を下降させ、物品２を第１載置部１４ａに載置させる。そして、第１天井搬送車６０は、第１保持部６３による把持を解放することにより物品２を第１載置部１４ａに渡す。なお、第１天井搬送車６０において、物品２の蓋部２ａが走行方向の左側に向いている場合（図６の物品２Ａ参照）は、そのまま第１載置部１４ａに物品２を載置しても蓋部２ａが－Ｙ側に向くので、回転機構６６による物品２の回転は不要である。
　次に、不図示の制御装置は、第２天井搬送車５０を制御して、第１載置部１４ａから物品２を受け取り、指定された－Ｙ側のロードポートＬＰａに物品２を渡すように指示する。第２天井搬送車５０は、第２天井軌道３１を走行し、物品２が載置された第１載置部１４ａの－Ｙ側に停止する。続いて、第２横出し機構５５により第２昇降駆動部５４を＋Ｙ方向に横出しした後、第２保持部５３を下降させて物品２を把持させる。その後、第２天井搬送車５０は、第２昇降駆動部５４により第２保持部５３を上昇させた後、第２横出し機構５５を収縮させて第２保持部５３を格納位置に戻すことにより、物品２を第２本体部５２内に収容する。続いて、第２天井搬送車５０は、下側天井軌道３０に沿って走行し、ロードポートＬＰａの上方で停止して、第２昇降駆動部５４により第２保持部５３を下降させ、物品２をロードポートＬＰａ上に載置する。この結果、ロードポートＬＰａで求められる蓋部２ａの向きで（蓋部２ａを－Ｙ側に向けて）、物品２がロードポートＬＰａに載置される。
　また、ロードポートＬＰａから保管部１１に物品２を搬送する場合は、上記した一連の動作の逆の動作を行うことにより、物品２は、第１載置部１４ａを経由してロードポートＬＰａから保管部１１に搬送される。
　このように、搬送システムＳＹＳ１によれば、第２天井搬送車５０、第１天井搬送車６０、第１載置部１４ａ、及び第２載置部１４ｂのうち少なくとも１つに設けられる回転機構（５６、６６、１５）により、物品２を回転させることができるので、第１天井搬送車６０と第２天井搬送車５０との間で受け渡される物品２の前後の向きを、ロードポートＬＰで求められる向きに設定でき、物品２の搬送効率を向上させることができる。また、第１天井軌道２３における第１方向Ｄ１に対して、平面視で第２天井軌道３１における第２方向Ｄ２、及び第３天井軌道３２における第３方向Ｄ３が平行であるので、回転機構（５６、６６、１５）により物品２を垂直軸まわりに１８０°回転させることにより、物品２の前後の向き（蓋部２ａの向き）を適切な向きに容易に設定できる。
［第２実施形態］
　上記した第１実施形態では、第１方向Ｄ１が第２方向Ｄ２及び第３方向Ｄ３と平行である場合を示しているが、この構成に限定されない。図１０は、第２実施形態に係る搬送システムＳＹＳ２の一例をＸ方向から見た図である。図１０は、図３におけるＢ－Ｂ矢視図である。なお、以下の説明において、上記した第１実施形態と同一又は同等の構成については同一の符号を付けて説明を省略又は簡略化する。
　搬送システムＳＹＳ２は、図３に示すように、保管システムＳＹＳに含まれる。搬送システムＳＹＳ２は、図１０に示すように、天井ストッカ１００、天井搬送車システム２００、及び搬送装置３００における構成要素を含んで構成される。なお、天井搬送車システム２００及び搬送装置３００については、第１実施形態と同様の構成である。天井ストッカ１００は、棚１０と、上側天井軌道２５と、クレーン４０とを備える。棚１０は、平面視において、クレーン４０が走行する上側天井軌道２５の内側及び外側に配置される（図３参照）。
　上側天井軌道２５は、図１０に示すように、システム天井ＳＣ１から吊り金具５により吊り下げられた状態で設けられる。なお、上側天井軌道２５は、システム天井ＳＣ１から吊り下げられることに代えて、天井Ｃから直接吊り下げられてもよい。上側天井軌道２５は、図３に示すように、Ｙ方向に延在する２本の直線状の第１天井軌道２６、２７と、第１天井軌道２６、２７の－Ｙ側及び＋Ｙ側において第１天井軌道２６、２７間を接続する接続部２８とを有する環状の周回軌道である。第１天井軌道２６は、第１天井搬送車６０の走行方向が第１方向Ｄ１１（－Ｙ方向）に定められている。また、上側天井軌道２５は、平面視において内側に２つの分岐部２９が設けられている。２つの分岐部２９は、それぞれ上側天井軌道２５の内側において第１天井軌道２６、２７間を接続する。この分岐部２９により、上側天井軌道２５は、２つの周回軌道を含んで構成される。
　第１天井軌道２７は、第１天井搬送車６０の走行方向が第１方向Ｄ１２（＋Ｙ方向）に定められている。第１天井軌道２６、２７は、図３に示すように、平面視において下側天井軌道３０の第２天井軌道３１及び第３天井軌道３２と交差している。
　なお、上側天井軌道２５は、図１０に示すように、下側天井軌道３０よりも床面Ｆからの高さが高い。上記した棚１０は、第１天井軌道２６、２７に対して＋Ｘ側及び－Ｘ側に設けられる。すなわち、棚１０は、平面視において、クレーン４０が走行する周回軌道である上側天井軌道２５の内側及び外側に配置される。搬送装置３００である第１天井搬送車６０は、上側天井軌道２５を走行する。
　搬送システムＳＹＳ２は、第１天井搬送車６０と第２天井搬送車５０との間で物品２を受け渡すための第１載置部１４ａ及び第２載置部１４ｂを備える。第１載置部１４ａ及び第２載置部１４ｂは、図３に示すように、それぞれＸ方向に並んだ状態で６カ所設けられている。第１載置部１４ａ及び第２載置部１４ｂをそれぞれ６カ所配置することにより、第１天井搬送車６０と第２天井搬送車５０との間で物品２を効率よく受け渡すことができる。６カ所のうち＋Ｘ側の３カ所の第１載置部１４ａ及び第２載置部１４ｂは、第１天井軌道２６に対応する。－Ｘ側の３カ所の第１載置部１４ａ及び第２載置部１４ｂは、第１天井軌道２７に対応する。
　図１１は、搬送システムＳＹＳ２の一部を示す平面図である。図１１では第１天井軌道２７について示している。図１１に示すように、第１天井軌道２７に対応して、＋Ｘ側から順に第１載置部１４ａ１、１４ａ２、１４ａ３が配置されており、同様に＋Ｘ側から順に第２載置部１４ｂ１、１４ｂ２、１４ｂ３が配置されている。第１天井搬送車６０が走行する第１天井軌道２７は、第１載置部１４ａ２及び第２載置部１４ｂ２の直上に配置されている。なお、第１天井軌道２６についても上記と同様に、第１載置部１４ａ１、１４ａ２、１４ａ３、及び第２載置部１４ｂ１、１４ｂ２、１４ｂ３が配置されている。
　図１２は、搬送システムＳＹＳ２をＹ方向から見た図である。図１２に示すように、第１天井搬送車６０は、第１昇降駆動部６４を第１載置部１４ａ２の直上に位置させた状態で第１保持部６３（物品２）を昇降させることにより、第１載置部１４ａ２との間で物品２の受け渡しが可能である。また、第１載置部１４ａ１は、第１天井軌道２７に対して横方向（＋Ｘ方向）かつ下方に配置されている。従って、第１天井搬送車６０は、第１天井軌道２７に対して第１昇降駆動部６４を＋Ｘ方向に横出しし、第１昇降駆動部６４を第１載置部１４ａ１の直上に位置させた状態で第１保持部６３（物品２）を昇降させることにより、第１載置部１４ａ１との間で物品２の受け渡しが可能である。また、第１載置部１４ａ３は、第１天井軌道２７に対して横方向（－Ｘ方向）かつ下方に配置されている。従って、第１天井搬送車６０は、第１天井軌道２７に対して第１昇降駆動部６４を－Ｘ方向に横出しし、第１昇降駆動部６４を第１載置部１４ａ３の直上に位置させた状態で第１保持部６３（物品２）を昇降させることにより、第１載置部１４ａ３との間で物品２の受け渡しが可能である。なお、第１天井搬送車６０は、第２載置部１４ｂ１、１４ｂ２、１４ｂ３に対しても、上記と同様に、物品２の受け渡しが可能である。
　第２天井軌道３１を走行する第２天井搬送車５０は、第２横出し機構５５により第２昇降駆動部５４を＋Ｙ方向に横出しし、第２昇降駆動部５４を第１載置部１４ａ１、１４ａ２、１４ａ３のいずれかの直上に位置させた状態で第２保持部５３（物品２）を昇降させることにより、第１載置部１４ａ１、１４ａ２、１４ａ３との間で物品２の受け渡しが可能である。第３天井軌道３２を走行する第２天井搬送車５０は、第２横出し機構５５により第２昇降駆動部５４を－Ｙ方向に横出しし、第２昇降駆動部５４を第２載置部１４ｂ１、１４ｂ２、１４ｂ３のいずれかの直上に位置させた状態で第２保持部５３（物品２）を昇降させることにより、第２載置部１４ｂ１、１４ｂ２、１４ｂ３との間で物品２の受け渡しが可能である。
　図１３（Ａ）から（Ｃ）は、第１天井搬送車６０又は第２天井搬送車５０において物品２を回転させる一例を示す平面図である。搬送システムＳＹＳ２において、第１天井搬送車６０又は第２天井搬送車５０は、回転機構６６、５６により、第１昇降駆動部６４又は第２昇降駆動部５４を垂直軸である回転軸ＡＸ１の軸まわりにおいて、時計まわり又は反時計まわりに９０°回転させることが可能である。すなわち、回転機構６６、５６は、１８０°の範囲で第１昇降駆動部６４又は第２昇降駆動部５４を回転させることができる。
　図１３（Ａ）に示すように、例えば、第１天井搬送車６０は、走行方向に対して蓋部２ａが左側又は右側を向いた状態（図示では蓋部２ａが左側を向いた状態）で物品２を搬送している。この状態から、図１３（Ｂ）に示すように、回転機構６６により物品２を垂直軸まわりにおいて時計まわりに９０°回転させることで、物品２の蓋部２ａを走行方向の前方に向けた状態とすることができる。従って、第１天井搬送車６０が第１天井軌道２７を走行して第２載置部１４ｂ１、１４ｂ２、１４ｂ３に物品２を載置する場合は、図１１に示すように、蓋部２ａを＋Ｙ側に向けた状態で物品２を載置することができる。また、図１３（Ｃ）に示すように、回転機構６６により物品２を垂直軸まわりにおいて反時計まわりに９０°回転させることで、物品２の蓋部２ａを走行方向の後方に向けた状態とすることができる。従って、第１天井搬送車６０が第１天井軌道２７を走行して第１載置部１４ａ１、１４ａ２、１４ａ３に物品２を載置する場合は、図１１に示すように、蓋部２ａを－Ｙ側に向けた状態で物品２を載置することができる。
　図１４（Ａ）から（Ｃ）は、第１載置部１４ａ１、１４ａ２、１４ａ３及び第２載置部１４ｂ１、１４ｂ２、１４ｂ３において物品２を回転させる一例を模式的に示す平面図である。図１４（Ａ）に示すように、例えば、第１天井搬送車６０が走行方向に対して蓋部２ａを左側に向けた状態で物品２を搬送し、その状態で第１載置部１４ａ１等又は第２載置部１４ｂ１等に物品２を載置すると、第２天井搬送車５０がそのまま物品２を受け取った際に、蓋部２ａの向きが走行方向に対して前方又は後方に向いた状態となる。従って、図１４（Ｂ）及び（Ｃ）に示すように、第１載置部１４ａ１等及び第２載置部１４ｂ１等は、回転機構１５（図７参照）により第１載置部１４ａ１等又は第２載置部１４ｂ１等に載置される物品２を垂直軸である回転軸ＡＸ２の軸まわりにおいて時計まわり又は反時計まわりに９０°回転させることで、物品２の蓋部２ａを第２天井搬送車５０の走行方向に対して左側又は右側に向けた状態とすることができる。
　搬送システムＳＹＳ２は、上記した、第１天井軌道２６、２７と、第１天井搬送車６０と、第２天井軌道３１と、第３天井軌道３２と、第２天井搬送車５０と、第１載置部１４ａ１、１４ａ２、１４ａ３と、第２載置部１４ｂ１、１４ｂ２、１４ｂ３とを少なくとも含んで構成される。なお、搬送システムＳＹＳ２は、第１天井搬送車６０、第２天井搬送車５０、第１載置部１４ａ１、１４ａ２、１４ａ３、及び第２載置部１４ｂ１、１４ｂ２、１４ｂ３において回転機構１５、５６、６６を備えた構成に限定されない。搬送システムＳＹＳ２は、例えば、第１天井搬送車６０、第２天井搬送車５０、第１載置部１４ａ１、１４ａ２、１４ａ３、及び第２載置部１４ｂ１、１４ｂ２、１４ｂ３の少なくとも１つに回転機構（１５、５６、６６）を備えた構成であればよい。
　続いて、搬送システムＳＹＳ２において保管部１１からロードポートＬＰに物品２を渡す場合について説明する。上記した実施形態の同様の説明については、その説明を省略又は簡略化する。第１天井搬送車６０が保管部１１から物品２を受け取った場合、第１天井搬送車６０において物品２の蓋部２ａの向きが走行方向の左側を向いた状態（図１１の物品２Ａ参照）と、蓋部２ａの向きが走行方向の右側を向いた状態（図１１の物品２Ｂ参照）とが生じる。搬送システムＳＹＳ２では、上記のように、第１天井搬送車６０、第２天井搬送車５０、第１載置部１４ａ１、１４ａ２、１４ａ３、及び第２載置部１４ｂ１、１４ｂ２、１４ｂ３の少なくとも１つに備える回転機構（１５、５６、６６）により物品２を回転させることで、ロードポートＬＰで求められている蓋部２ａの向きに物品２を合わせることが可能となる。
　保管部１１からロードポートＬＰに物品２を渡す場合について説明する。なお、以下の説明において、物品２の回転は、第１天井搬送車６０により行うものとして説明する。まず、第１天井搬送車６０は、上側天井軌道２５に沿って走行し、保管部１１から物品２を受け取る。続いて、第１天井搬送車６０は、物品２を保持して第１天井軌道２６又は第１天井軌道２７を走行し、第１載置部１４ａ２又は第２載置部１４ｂ２（図１１参照）の直上で停止する。第１天井搬送車６０は、第１載置部１４ａ１、１４ａ２、１４ａ３に物品２を載置する場合は蓋部２ａが－Ｙ側を向くように、また、第２載置部１４ｂ１、１４ｂ２、１４ｂ３に物品２を載置する場合は蓋部２ａが＋Ｙ側を向くように、回転機構６６により物品２を回転させる。
　続いて、第１天井搬送車６０は、第１昇降駆動部６４を横出しして、又は横出しせずに物品２を下降させることにより、第１載置部１４ａ１、１４ａ２、１４ａ３又は第２載置部１４ｂ１、１４ｂ２、１４ｂ３のいずれかに物品２を載置する（図１２参照）。続いて、第２天井搬送車５０は、第２天井軌道３１又は第３天井軌道３２を走行して、第１載置部１４ａ１、１４ａ２、１４ａ３又は第２載置部１４ｂ１、１４ｂ２、１４ｂ３のいずれかに対応して停止し、第２横出し機構５５により第２昇降駆動部５４を＋Ｙ方向又は－Ｙ方向に横出しした状態で物品２を受け取る。物品２を保持した第２天井搬送車５０は、上側天井軌道２５を走行して指定されたロードポートＬＰの直上に停止し、第２昇降駆動部５４により第２保持部５３（物品２）を下降させることでロードポートＬＰに物品２を載置させる。このとき、物品２の蓋部２ａは、ロードポートＬＰで求められる向きとなっている。
　また、ロードポートＬＰから保管部１１に物品２を搬送する場合は、上記した一連の動作の逆の動作を行うことにより、物品２は、第１載置部１４ａ１、１４ａ２、１４ａ３、及び第２載置部１４ｂ１、１４ｂ２、１４ｂ３のいずれかを経由してロードポートＬＰから保管部１１に搬送される。
　このように、搬送システムＳＹＳ２によれば、第２天井搬送車５０、第１天井搬送車６０、第１載置部１４ａ１、１４ａ２、１４ａ３、及び第２載置部１４ｂ１、１４ｂ２、１４ｂ３のうち少なくとも１つに設けられる回転機構（５６、６６、１５）により、物品２を回転させることができるので、第１天井搬送車６０と第２天井搬送車５０との間で受け渡される物品２の前後の向きを、ロードポートＬＰで求められる向きに設定でき、物品２の搬送効率を向上させることができる。また、第１天井軌道２６、２７における第１方向Ｄ１１、Ｄ１２に対して、平面視で第２天井軌道３１における第２方向Ｄ２、及び第３天井軌道３２における第３方向Ｄ３が直交しているので、回転機構（５６、６６、１５）により物品２を垂直軸まわりにおいて時計まわり又は反時計まわりに９０°回転させることにより、物品２の前後の向き（蓋部２ａの向き）を適切な向きに容易に設定できる。
　以上、実施形態について説明したが、本発明は、上述した説明に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。例えば、上記した実施形態では、搬送システムＳＹＳ１、ＳＹＳ２において、上側天井軌道２０、２５（第１天井軌道２３、２６、２７）と下側天井軌道３０（第２天井軌道３１、第３天井軌道３２）とが接続されない構成を例に挙げて説明したが、この構成に限定されない。例えば、上側天井軌道２０、２５と下側天井軌道３０とが接続軌道等を介して接続されてもよい。
　また、上記した実施形態では、搬送システムＳＹＳ１、ＳＹＳ２において、上側天井軌道２０、２５（第１天井軌道２３、２６、２７）、下側天井軌道３０（第２天井軌道３１、第３天井軌道３２）が、天井Ｃ又はシステム天井ＳＣ１、ＳＣ２から吊り下げられた構成を例に挙げて説明したが、この構成に限定されない。例えば、上側天井軌道２０、２５、及び下側天井軌道３０の少なくとも一つが、床面Ｆ上に設けられた支柱又はフレーム、架台等によって支持され、その荷重を床面Ｆで受けるような構成であってもよい。
　なお、上述の実施形態などで説明した要件の１つ以上は、省略されることがある。また、上述の実施形態などで説明した要件は、適宜組み合わせることができる。また、法令で許容される限りにおいて、日本特許出願である特願２０１９－０１１２８２、及び、上述の実施形態などで引用した全ての文献の開示を援用して本文の記載の一部とする。
Ｃ・・・天井
Ｆ・・・床面
ＡＸ１，ＡＸ２・・・回転軸
ＬＰ、ＬＰａ、ＬＰｂ・・・ロードポート
ＴＬ・・・処理装置
ＳＹＳ１、ＳＹＳ２・・・搬送システム
２・・・物品
２ａ・・・蓋部
１０・・・棚
１１・・・保管部
１４ａ、１４ａ１、１４ａ２、１４ａ３・・・第１載置部
１４ｂ、１４ｂ１、１４ｂ２、１４ｂ３・・・第２載置部
１５、５６、６６・・・回転機構
２０、２５・・・上側天井軌道（軌道）
２３、２６、２７・・・第１天井軌道
３１・・・第２天井軌道
３２・・・第３天井軌道
４０・・・クレーン
４２・・・移載装置
４５・・・昇降駆動部
５０・・・第２天井搬送車
５１・・・第２走行部
５３・・・第２保持部
５４・・・第２昇降駆動部
５５・・・第２横出し機構
６０・・・第１天井搬送車
６１・・・第１走行部
６３・・・第１保持部
６４・・・第１昇降駆動部
６５・・・第１横出し機構
１００・・・天井ストッカ
２００・・・天井搬送車システム
３００・・・搬送装置

Claims (7)

  1. 　前後の向きが定められている物品を搬送する搬送システムであって、
    　走行方向が第１方向に定められた第１天井軌道と、
    　前記第１天井軌道に沿って走行する第１走行部、前記物品を保持する第１保持部、及び前記第１保持部を昇降させる第１昇降駆動部、を有する第１天井搬送車と、
    　走行方向が第２方向に定められた第２天井軌道と、
    　前記第２天井軌道と平行に設けられ走行方向が前記第２方向とは逆方向である第３方向に定められた第３天井軌道と、
    　前記第２天井軌道及び前記第３天井軌道を走行する第２走行部、前記物品を保持する第２保持部、前記第２保持部を昇降させる第２昇降駆動部、及び前記第２昇降駆動部を横方向へ移動させる第２横出し機構、を有する第２天井搬送車と、
    　前記第２天井軌道における前記第２天井搬送車が、前記物品を受け渡しする第１載置部と、
    　前記第３天井軌道における前記第２天井搬送車が、前記物品を受け渡しする第２載置部と、を備え、
    　前記第１天井搬送車は、前記第１昇降駆動部を前記第１載置部の直上に位置させた状態で前記第１載置部との間で前記物品を受け渡し可能であり、前記第１昇降駆動部を前記第２載置部の直上に位置させた状態で前記第２載置部との間で前記物品を受け渡し可能であり、
    　前記第１天井搬送車、前記第２天井搬送車、前記第１載置部、及び前記第２載置部のうち少なくとも１つには、前記物品を垂直軸まわりに回転させる回転機構が設けられる、搬送システム。
  2. 　上下方向に複数段の保管部を備えた棚と、
    　前記第１天井軌道を含む軌道に沿って走行し、前記物品を前記複数段の保管部の間で受け渡しするクレーンと、を備え、
    　前記第１天井搬送車は、前記第１昇降駆動部を横方向へ移動させる第１横出し機構を備え、前記第１横出し機構により前記保管部の直上に前記第１昇降駆動部を横出しした状態で前記保管部との間で前記物品を受け渡し可能であり、
    　前記第２天井軌道及び前記第３天井軌道は、前記クレーン及び前記棚の下端よりも下方に設けられる、請求項１に記載の搬送システム。
  3. 　前記第１載置部及び前記第２載置部の少なくとも一方は複数設けられる、請求項１又は請求項２に記載の搬送システム。
  4. 　前記回転機構は、前記第１天井搬送車に設けられ、前記第１保持部により保持された前記物品を垂直軸まわりに回転させる、請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の搬送システム。
  5. 　前記回転機構は、前記第１載置部及び第２載置部のうち少なくとも一方に設けられ、載置された物品を垂直軸まわりに回転させる、請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の搬送システム。
  6. 　前記第１方向は、平面視において前記第２方向と同一の方向であり、
    　前記回転機構は、前記物品を垂直軸まわりに１８０°回転させる、請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の搬送システム。
  7. 　前記第１方向は、平面視において前記第２方向と直交する方向であり、
    　前記回転機構は、前記物品を垂直軸まわりに９０°回転させる、請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の搬送システム。
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