WO2012060291A1 - 搬送システム及び搬送方法 - Google Patents

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達司 太田
正純 福島
靖久 伊藤
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ムラテックオートメーション株式会社
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    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0297—Wafer cassette

Definitions

  • the present invention relates to a transport system, and more particularly to a transport system that supplies and unloads articles without waiting for a processing apparatus.
  • the overhead traveling vehicle for long-distance conveyance delivers articles between the buffers
  • the overhead traveling vehicle for short-distance conveyance delivers articles between the buffers and the load port.
  • a buffer having a transport device is provided on the front surface of the processing device, the overhead traveling vehicle delivers articles to and from the buffer, and the transport device in the buffer is between the load port and the vehicle. Deliver goods.
  • a display showing the operating status, an operation panel for manual operation, and the like are provided, and it is not preferable to block these with a buffer.
  • the load port is not used only by the automatic conveyance device, and may manually supply and carry out articles. If the front surface of the processing device is covered with a buffer, it is difficult to access the load port manually.
  • An object of the present invention is to temporarily store an article without blocking the front surface of the processing apparatus and effectively using an empty space between the processing apparatuses.
  • An additional problem of the present invention is to make the lifting / lowering amount as small as possible when delivering an article to / from a buffer.
  • the present invention relates to an overhead traveling vehicle track that passes over an upper portion of a load port of a processing device, and a ceiling that travels along the track of the overhead traveling vehicle and includes a hoist to transport articles between a plurality of processing devices.
  • a transport system comprising a traveling vehicle, A local track disposed at a height level lower than the track of the overhead traveling vehicle, extending at least directly below the track of the overhead traveling vehicle, and facing a direction perpendicular to the track of the overhead traveling vehicle in plan view;
  • a local carriage including a hoist that travels along the local track and moves the article up and down;
  • a buffer that is disposed at the lower part of the local track so as to be able to deliver and receive articles to and from the local carriage, and extends at least directly below the track of the overhead traveling vehicle; It is characterized by providing.
  • the local track and the buffer are arranged at right angles to the track of the overhead traveling vehicle, most of the local track and the buffer can be arranged in the gap between the processing devices, which saves space.
  • the track of the overhead traveling vehicle passing through the top of the load port of the processing device;
  • a plurality of overhead traveling vehicles that travel along the track of the overhead traveling vehicle and that include a hoist;
  • a local track disposed at a height level lower than the track of the overhead traveling vehicle, extending at least directly below the track of the overhead traveling vehicle, and facing a direction perpendicular to the track of the overhead traveling vehicle in plan view;
  • a local carriage including a hoist that travels along the local track and moves the article up and down;
  • a buffer that is disposed at the lower part of the local track so as to be able to deliver and receive articles to and from the local carriage, and extends at least directly below the track of the overhead traveling vehicle;
  • the first overhead vehicle unloads the first article to a first position directly below the track of the overhead vehicle of the buffer;
  • the local cart then transports a first article from the first position to
  • a third overhead traveling vehicle loads a second article from a load port and unloads it to the first position;
  • the local carriage then transports a second article from the first position to a second position of the buffer;
  • the local cart transports a second article from the second position to the first position;
  • the fourth overhead traveling vehicle carries out the second article from the first position.
  • the present invention is also a transport system retrofitted in a direction perpendicular to the track of the overhead traveling vehicle to a height level lower than the track of the overhead traveling vehicle in the existing overhead traveling vehicle system, Local orbit,
  • a local carriage including a hoist that travels along the local track and moves the article up and down;
  • a buffer disposed in a lower part of the local track so as to be able to deliver and receive articles to and from the local carriage,
  • the local track and the buffer are arranged so as to extend directly below the track of the overhead traveling vehicle.
  • the existing overhead traveling vehicle system can be retrofitted with a system consisting of a local track, a local carriage and a buffer, and most of this system can be placed in the gap between the processing devices, thus saving space.
  • the local track and one end of the buffer are arranged immediately below the track of the overhead traveling vehicle, and the local track and the other end of the buffer are arranged in a gap between the processing devices.
  • one end of the buffer protrudes from the gap between the processing devices, and both the local carriage and the overhead traveling vehicle can access the one end of the buffer, and the local track and the other part of the buffer are arranged in the gap between the processing devices and saved. Space. *
  • the height of the buffer and the local track is such that a local carriage supporting another article can enter above the placed article.
  • a level difference is defined. In this way, since a long linear buffer can be provided in the gap between the processing apparatuses, a large number of articles can be stored.
  • a local carriage that supports another article cannot enter the upper part of the placed article, and a local carriage that does not support another article can enter.
  • a difference in height level between the buffer and the local trajectory is determined. In this way, the difference in height level between the local track and the buffer is minimized, and when the overhead traveling vehicle and the local carriage deliver the buffer and the article, the amount of lifting of the article is minimized, and the article is received in a short time. Can pass.
  • the buffer includes two types of article placement positions with different height levels,
  • a local carriage that supports other articles cannot enter the upper part of the placed article, but a local carriage that does not support an article can enter.
  • the first type placement position includes a position directly below the track of the overhead traveling vehicle. In this way, when the local cart delivers the article to and from the first type placement position, the lift is small, and the overhead traveling vehicle can also deliver the article with a small lift from the buffer.
  • the number of articles stored can be increased.
  • the local track is composed of a pair of left and right rails, and the gap between the pair of rails is larger than the length of the article in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the rails in the horizontal plane.
  • the overhead traveling vehicle can deliver the article to a position directly below the local track of the buffer.
  • 1 to 8 show a transport system of the embodiment and its modifications.
  • 2 is a transfer system and 4 is a processing apparatus, for example, a semiconductor processing apparatus and a semiconductor inspection apparatus.
  • the transport system 2 is provided in a clean room.
  • the processing device 4 includes one or a plurality of load ports 6, and a track 10 of the overhead traveling vehicle 12 is provided on the upper portion of the processing device 4, and is supported by a support 11 from the ceiling.
  • the overhead traveling vehicle 12 is provided with a hoist 14 as shown in FIG.
  • the article 18 is, for example, a FOUP containing a semiconductor wafer, but the type of the article 18 is arbitrary.
  • the overhead traveling vehicle 12 may include a device for laterally feeding the hoist 14, a device for rotating the hoist 14 around a vertical axis, and the like.
  • An overhead traveling vehicle system is constituted by the track 10 and the overhead traveling vehicle 12, and this system itself is known.
  • the local track 20 is provided in the ceiling space of the passage where the load port 6 is not provided in the gap between the processing devices 4 and 4.
  • One end of the local track 20 is directly below the track 10 of the overhead traveling vehicle 12, and the other end is in the gap between the processing devices 4 and 4.
  • the one end may be extended so as to exceed the track 10 of the overhead traveling vehicle 12.
  • the local track is composed of a pair of rails 20a and 20b, and the width of the gap 21 between the rails 20a and 20b is larger than the length of the article 18, and the article 18 has the gap 21 therebetween. It can pass vertically.
  • the width of the gap 21 is determined along a direction perpendicular to the longitudinal direction of the rails 20a and 20b in the horizontal plane.
  • Reference numeral 22 denotes a local carriage which reciprocates along the local track 20 and raises and lowers the elevator 23 shown in FIG. 2 by a suspension material (not shown) such as a belt, a wire, and a rope.
  • a buffer 26 is provided directly below the local track 20, and a mounting position 26a immediately below the track 10 is set as a position where both the overhead traveling vehicle 12 and the local carriage 12 can access, that is, deliver goods. Only the local carriage 22 accesses the position.
  • the local track 20, the local carriage 22, and the buffer 26 constitute a second transport system, which can be retrofitted to an existing overhead traveling vehicle system.
  • Reference numeral 27 denotes a support that supports the local track 20 and the buffer 26.
  • the local cart 22 is driven by, for example, a battery and is charged by the charging device 30 that also serves as the controller of the local cart 22.
  • the charging device 30 also serving as a controller communicates with the controller 32 of the entire overhead traveling vehicle system 2 to receive an instruction
  • the overhead traveling vehicle 12 also communicates with the controller 32 to receive an instruction.
  • the local carriage 22 communicates with the charging device 30 and receives an instruction. Note that power may be supplied by non-contact power supply or the like without providing a battery in the local cart.
  • the signal line and the power supply line to the charging device 30 are arranged along the support column 27, for example.
  • the charging device 30 avoids the position where the overhead traveling vehicle 12 and the local track 20 cross, that is, the upper portion of the mounting position 26a, and charging of the local carriage 22 and access to the buffer 26 of the overhead traveling vehicle 12 do not interfere. Like that. This also applies to the modified examples of FIGS.
  • FIG. 3 shows the structure of the local carriage 22, 34 is a traveling wheel, which is driven by a traveling motor 36, has a battery (not shown), and is charged by the charging device 30.
  • Power supply to the battery may be, for example, non-contact power supply or contact charging using a connector or a charging coupler.
  • Reference numeral 38 denotes a hoist that raises and lowers the elevator 23, and reference numeral 36 denotes a chuck that grips and releases the upper flange of the article 18.
  • the local track 20 includes two rails 20a and 20b, but is not limited to this. Such an example is shown in FIG. 4, and the same reference numerals as those in the embodiment denote the same components.
  • Reference numeral 44 denotes a new local track, which is arranged below the track 10 so as to avoid a position immediately below the track 10, and 42 is a new local carriage.
  • the local carriage 62 travels while being supported on the local track 44 by guide rollers 45 to 47, and is otherwise the same as the embodiment of FIGS.
  • the buffer 50 delivers the article 18 to and from the overhead traveling vehicle 12 using the placement position 51, and can store, for example, one article 18 in the placement position 52. Note that, as indicated by a chain line in FIG. 5, three or more articles 18 may be placed.
  • the lifting / lowering amount of the article 18 when delivering the article 18 to and from the buffer 50 can be minimized, and delivery can be performed at high speed.
  • the placement position 51 is first, and the placement position 52 is later.
  • the buffer 60 includes two types of placement positions 61 a, 61 b, 62 having different height levels, and the height level between the placement surface of the placement positions 61 a, 61 b and the local carriage 22.
  • the difference is more than one article and less than two articles, and the height level difference between the placement surface of the placement position 62 and the local carriage 22 is more than two articles. Therefore, when the article 18 is placed on the placement positions 61a, 61b, and 62, the local carriage 22 that supports the article 18 can pass over the placement position 62, but the placement positions 61a and 61b are not. I cannot enter.
  • each of the placement positions 61 a and 61 b can place one article 18, and the placement position 62 can place two articles 18, for example, but only one article 18 can be placed at the placement position 62. Alternatively, three or more may be placed.
  • the amount of elevation when the placement positions 61 a and 61 b and the article 18 are delivered is minimized, and the number of articles 18 that can be stored can be increased by adding the placement positions 62.
  • the first overhead traveling vehicle 12 conveys the first article 18 required by the load port 6 to the mounting position 26 a of the buffer 26 in advance.
  • the local carriage 22 conveys the first article 18 from the placement position 26 a and the like to other placement positions of the buffers 26, 50, 60.
  • the local carriage 22 Prior to the time when the load port 6 needs the article 18, the local carriage 22 returns the article 18 to the mounting position 26a accessible by the overhead traveling vehicle 12 according to an instruction from the controller 32.
  • the second overhead traveling vehicle 12 picks up the article 18 and transfers it to the load port 6.
  • the third overhead traveling vehicle 12 transports the article to a placement position 26a such as a buffer 26 as shown in FIG.
  • the local carriage 22 conveys the article 18 from the placement position 26a or the like to another placement position of the buffers 26, 50, 60.
  • the local carriage 22 places the article 18 accessible to the overhead traveling vehicle 12 according to an instruction from the controller 32. Return to position 26a or the like.
  • the fourth overhead traveling vehicle 12 picks up the article 18 and conveys it to the next processing device 4.
  • the following effects can be obtained. 1) Space can be saved because the buffers 26, 50, and 60 can be arranged using the gaps between the processing devices 4 and the entire transport system 2 can be arranged in an overhead space. 2) Using the gap 21 between the traveling rails 20a, 20b of the local track 20, both the overhead traveling vehicle 12 and the local carriage 22 can access the mounting position 26a. 3) The buffers 26, 50, 60 have a simple straight structure, and the local carriage 22 may be a simple carriage that reciprocates on the short local track 20. 4) In the case of the buffer 26, a large number of articles 18 can be stored. 5) In the case of the buffer 50, the lifting / lowering amount of the article 18 can be minimized, and transfer can be performed in a short time.
  • the lifting / lowering amount of the article 18 can be reduced while increasing the number of articles 18 stored.
  • the article 18 can be transferred to the placement positions 51 and 61a with a short lifting amount by both the overhead traveling vehicle 12 and the local carriage 22.

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Abstract

　複数の処理装置（４）間で物品（１８）を搬送するため、処理装置（４）のロードポート（６）の上部を通過する天井走行車（１２）の軌道（１０）と、天井走行車（１２）の軌道（１０）に沿って走行し、かつホイスト（１４）を備える天井走行車（１２）とを設ける。天井走行車（１２）の軌道（１０）よりも低い高さレベルに配置され、少なくとも天井走行車（１２）の軌道（１０）の直下まで延び、かつ天井走行車（１２）の軌道（１０）と平面視で直角な方向を向くローカル軌道（２０）と、ローカル軌道（２０）に沿って走行し、かつ物品（１８）を昇降させるホイスト（３８）を備えるローカル台車（２２）と、ローカル軌道（２０）の下部に、ローカル台車（２２）との間で物品（１８）を受け渡し自在に配置され、かつ少なくとも天井走行車（１２）の軌道（１０）の直下まで延びるバッファ（２６、５０、６０）、とをさらに設ける。

Description

搬送システム及び搬送方法
　この発明は搬送システムに関し、特に処理装置を待たせずに物品を供給搬出する搬送システムに関する。
　半導体加工装置及び半導体の検査装置等の処理装置を待たせずに、FOUP（半導体ウェハーを搬送するための密閉型カセット）等の物品を、これらの装置のロードポートに供給及び搬出する必要がある。そこで、処理装置の付近にバッファを設け、かつバッファと処理装置間の搬送を行うために、追加の搬送装置を設けることが提案されている。例えば特許文献１（JP2006-224944A）では、天井走行車の軌道を天井スペースに平行に複数配置し、一方を長距離搬送用、他方を短距離搬送用とする。そして長距離搬送用の軌道の直下にバッファを、短距離搬送用の軌道の直下に処理装置のロードポートを配置する。長距離搬送用の天井走行車はバッファとの間で物品を受け渡しし、短距離搬送用の天井走行車はバッファとロードポートとの間で物品を受け渡しする。しかしながらこのようにすると、処理装置の前面に複数の軌道を配置する必要がある。
　特許文献２（JP2005-150129A）では、処理装置の前面に搬送装置を備えたバッファを設け、天井走行車はバッファとの間で物品を受け渡しし、バッファ内の搬送装置がロードポートとの間で物品を受け渡しする。しかしながら処理装置の前面には、稼働状況を示すディスプレイ、マニュアル操作用の操作パネル等が設けられ、バッファでこれらを塞ぐことは好ましくない。またロードポートは自動搬送装置のみが用いるものではなく、人手で物品を供給搬出することもあり、処理装置の前面をバッファで覆うと、人手でのアクセスが難しくなる。
JP2006-224944A JP2005-150129A
　この発明の課題は、処理装置の前面を塞ぐことなく、かつ処理装置間の空スペースを有効利用しながら、物品を一時的に保管することにある。
　この発明の追加の課題は、バッファとの間で物品を受け渡しする際の昇降量をできる限り小さくすることにある。
　この発明は、複数の処理装置間で物品を搬送するため、処理装置のロードポートの上部を通過する天井走行車の軌道と、前記天井走行車の軌道に沿って走行し、かつホイストを備える天井走行車とを備える搬送システムであって、
　前記天井走行車の軌道よりも低い高さレベルに配置され、少なくとも前記天井走行車の軌道の直下まで延び、かつ前記天井走行車の軌道と平面視で直角な方向を向くローカル軌道と、
　前記ローカル軌道に沿って走行し、かつ物品を昇降させるホイストを備えるローカル台車と、
　前記ローカル軌道の下部に、前記ローカル台車との間で物品を受け渡し自在に配置され、かつ少なくとも前記天井走行車の軌道の直下まで延びるバッファ、
とを備えることを特徴とする。
　この発明では、ローカル軌道とバッファとを天井走行車の軌道とを直角に配置するので、ローカル軌道とバッファの大部分を処理装置間の隙間に配置することができ、省スペースである。
　この発明では、天井走行車とローカル台車とにより複数の処理装置間で物品を搬送するために、
　処理装置のロードポートの上部を通過する天井走行車の軌道と、
　前記天井走行車の軌道に沿って走行し、かつホイストを備える複数の天井走行車と、
　前記天井走行車の軌道よりも低い高さレベルに配置され、少なくとも前記天井走行車の軌道の直下まで延び、かつ前記天井走行車の軌道と平面視で直角な方向を向くローカル軌道と、
　前記ローカル軌道に沿って走行し、かつ物品を昇降させるホイストを備えるローカル台車と、
　前記ローカル軌道の下部に、前記ローカル台車との間で物品を受け渡し自在に配置され、かつ少なくとも前記天井走行車の軌道の直下まで延びるバッファ、
とが設けられ、
　ロードポートへ第１の物品を荷下ろしするために、
　　第１の物品を、前記バッファの天井走行車の軌道の直下の第１の位置へ、第１の天井走行車が荷下ろしするステップと、
　　次いで、前記第１の位置から前記バッファの第２の位置へ、第１の物品を前記ローカル台車が搬送するステップと、
　　次いで、前記第２の位置から前記第１の位置へ、第１の物品を前記ローカル台車が搬送するステップと、
　　次いで、前記第１の位置から第１の物品を第２の天井走行車が荷積みし、ロードポートへ荷下ろしするステップとを実行し、
　ロードポートから第２の物品を搬出するために、
　　ロードポートから第３の天井走行車が第２の物品を荷積みし、前記第１の位置へ荷下ろしするステップと、
　　次いで、前記第１の位置から前記バッファの第２の位置へ、第２の物品を前記ローカル台車が搬送するステップと、
　　次いで、前記第２の位置から前記第１の位置へ、第２の物品を前記ローカル台車が搬送するステップと、
　　次いで、前記第１の位置から第２の物品を第４の天井走行車が搬出するステップとを実行する。
　このようにすると、処理装置の前面をバッファで塞ぐことなく、バッファを経由してロードポートと天井走行車の間で物品を受け渡しできる。　
　この発明はまた、既設の天井走行車システムでの天井走行車の軌道よりも低い高さレベルに、天井走行車の軌道と平面視で直角な方向に後付けされる搬送システムであって、
　ローカル軌道と、
　前記ローカル軌道に沿って走行し、かつ物品を昇降させるホイストを備えるローカル台車と、
　前記ローカル軌道の下部に、前記ローカル台車との間で物品を受け渡し自在に配置されているバッファ、とを備え、
　前記ローカル軌道と前記バッファとが、前記天井走行車の軌道の直下まで延びるように配置されていることを特徴とする。　
　このようにすると、既存の天井走行車システムにローカル軌道とローカル台車とバッファとから成るシステムを後付けでき、しかもこのシステムの大部分は処理装置間の隙間に配置できるので、省スペースである。
　好ましくは、前記ローカル軌道と前記バッファとの一端とが前記天井走行車の軌道の直下に配置され、前記ローカル軌道と前記バッファとの他端とが処理装置間の隙間に配置される。このようにすると、バッファの一端が処理装置間の隙間から突き出し、バッファの一端にローカル台車も天井走行車もアクセスでき、ローカル軌道とバッファの他の部分は処理装置間の隙間に配置されて省スペースである。　
　また好ましくは、前記バッファ上に物品が載置されている際に、載置された物品の上部に他の物品を支持するローカル台車が進入できるように、前記バッファと前記ローカル軌道との高さレベルの差が定められている。このようにすると、処理装置間の隙間に直線状の長いバッファを設けることができるので、多数の物品を保管できる。
　好ましくは、前記バッファ上に物品が載置されている際に、載置された物品の上部に他の物品を支持するローカル台車は進入できず、他の物品を支持しないローカル台車は進入できるように、前記バッファと前記ローカル軌道との高さレベルの差が定められている。このようにすると、ローカル軌道とバッファとの高さレベルの差を最小にし、天井走行車及びローカル台車がバッファと物品を受け渡す際に、物品の昇降量を最小にし、短時間で物品を受け渡すことができる。
　好ましくは、前記バッファは物品の載置位置を高さレベルを異ならせて２種類備え、
　第１の種類の載置位置に物品が載置されている際に、載置された物品の上部に、他の物品を支持するローカル台車は進入できないが、物品を支持しないローカル台車は進入でき、
　第２の種類の載置位置に物品が載置されている際に、載置された物品の上部に、他の物品を支持するローカル台車及び他の物品を支持しないローカル台車が進入できるようにされ、さらに第１の種類の載置位置は天井走行車の軌道の直下の位置を含む。このようにすると、第１の種類の載置位置との間でローカル台車が物品を受け渡しする場合、昇降量が小さく、また天井走行車もバッファとの間で小さな昇降量で物品を受け渡しできる。さらに第２の種類の載置位置は多数設けることができるので、物品を保管する個数を増すことができる。
　 好ましくは、前記ローカル軌道は左右一対のレールから成り、かつレールの長手方向に水平面内で直角な方向での物品の長さよりも、前記一対のレール間の間隙が大きくされている。このようにすると、一対のレール間の間隙を物品が通過できるので、バッファのローカル軌道の直下の位置へ天井走行車は物品を受け渡しできる。
実施例の搬送システムの要部平面図 実施例の搬送システムの要部側面図 ローカル台車の構造を示す正面図 変形例のローカル台車の正面図 変形例の搬送システムの要部側面図 第２の変形例の搬送システムの要部側面図 実施例での天井走行車からロードポートへの荷下ろしアルゴリズムを示すフローチャート 実施例でのロードポートから天井走行車への荷積みアルゴリズムを示すフローチャート
　以下に本発明を実施するための最適実施例を示す。この発明の範囲は、特許請求の範囲の記載に基づき、明細書の記載とこの分野での周知技術とを参酌し、当業者の理解に従って定められるべきである。
　図１～図８に、実施例の搬送システムとその変形とを示す。各図において、２は搬送システムで、４は処理装置で、例えば半導体処理装置及び半導体の検査装置などである。また搬送システム２はクリーンルーム内に設けられている。処理装置４は１個あるいは複数個のロードポート６を備え、その上部に天井走行車１２の軌道１０が設けられて、天井から支柱１１で支持されている。天井走行車１２は図２に示すようにホイスト１４を備えて、昇降台１６を物品１８と共に昇降させる。物品１８は例えば半導体ウェハーを収容したFOUPであるが、物品１８の種類は任意である。また天井走行車１２は、ホイスト１４以外に、ホイスト１４を横送りする装置及びホイスト１４を鉛直軸回りに回動させる装置などを備えていてもよい。軌道１０と天井走行車１２により天井走行車システムを構成し、このシステム自体は公知である。
　処理装置４，４間の隙間の、ロードポート６が設けられていない通路の天井スペースに、ローカル軌道２０が設けられている。ローカル軌道２０は一端が天井走行車１２の軌道１０の直下にあり、他端が処理装置４，４間の隙間内にある。しかし図１に鎖線で示すように、前記の一端を天井走行車１２の軌道１０を越えるように延長しても良い。また図１の鎖線の円内に示すように、ローカル軌道は一対のレール２０ａ，ｂから成り、レール２０ａ，ｂ間の間隙２１の幅は物品１８の長さよりも大きく、物品１８は間隙２１を鉛直方向に通過できる。ここで間隙２１の幅は、レール２０ａ，２０ｂの長手方向に水平面内で直角な方向に沿って定める。２２はローカル台車で、ローカル軌道２０に沿って往復動し、図２に示す昇降台２３をベルト，ワイヤ，ロープなどの図示しない吊持材により昇降させる。ローカル軌道２０の直下にバッファ２６を設け、その内、軌道１０の直下に有る載置位置２６ａを、天井走行車１２とローカル台車１２の双方がアクセス、即ち物品を受け渡しできる位置とし、他の載置位置にはローカル台車２２のみがアクセスする。ローカル軌道２０，ローカル台車２２，バッファ２６により、第２の搬送システムを構成し、このシステムは既設の天井走行車システムに後付けできる。２７は支柱で、ローカル軌道２０とバッファ２６とを支持する。
　ローカル台車２２は例えばバッテリーで駆動され、ローカル台車２２のコントローラを兼用する充電装置３０により充電される。そして図２に示すように、コントローラ兼用の充電装置３０は天井走行車システム２全体のコントローラ３２と通信して指示を受け、天井走行車１２もコントローラ３２と通信して指示を受ける。またローカル台車２２は充電装置３０と通信して指示を受ける。なおローカル台車にバッテリーを設けず、非接触給電等で電力を供給しても良い。そして充電装置３０への信号線と給電線とは例えば支柱２７に沿って配置する。さらに充電装置３０は、天井走行車１２とローカル軌道２０とがクロスする位置、即ち載置位置２６ａの上部を避け、ローカル台車２２の充電と天井走行車１２のバッファ２６へのアクセスとが干渉しないようにする。この点は図５，図６の変形例でも同様である。
　図３はローカル台車２２の構造を示し、３４は走行車輪で、走行モータ３６により駆動され、図示しないバッテリーを備えて、充電装置３０により充電される。バッテリーへの給電は、例えば非接触給電、コネクタあるいは充電カプラなどによる接触充電の何れでもよい。３８はホイストで、昇降台２３を昇降させ、３６はチャックで、物品１８の上部のフランジを把持及び解放する。
　ローカル軌道２０は２本のレール２０ａ，ｂから成るが、このようなものには限らない。このような例を図４に示し、実施例と同じ符号は同じものを表す。４４は新たなローカル軌道で、軌道１０の直下を避けるようにその下方に配置され、４２は新たなローカル台車である。ローカル台車６２はガイドローラ４５～４７によりローカル軌道４４に支持されて走行し、他の点では図１～図３の実施例と同様である。
　図５，図６はバッファの配置の変形例を示し、５０は新たなバッファで、バッファ５０での物品の載置位置５１，５２とローカル台車２２との間の高さレベルの差は、物品１個分超で物品２個分未満である。バッファ５０は、天井走行車１２との間では載置位置５１を用いて物品１８を受け渡しし、他に例えば１個の物品１８を載置位置５２に保管できる。なお図５の鎖線のように、３個以上の物品１８を載置できるようにしても良い。図５の変形例では、バッファ５０との間で物品１８を受け渡しする際の、物品１８の昇降量を最小にでき、高速で受け渡しができる。しかしながら図５の変形例では、載置位置５１，５２に共に物品１８がある場合、物品１８の入れ替えができない。また物品１８を搬出する場合に順序が有り、載置位置５１が先、載置位置５２が後となる。
　図６の変形例では、バッファ６０は高さレベルの異なる２種類の載置位置６１ａ，６１ｂ，６２を備え、載置位置６１ａ，６１ｂの載置面とローカル台車２２との間の高さレベルの差は物品１個分超で物品２個分未満、載置位置６２の載置面とローカル台車２２との間の高さレベルの差は物品２個分超である。従って、載置位置６１ａ，６１ｂ，６２上に物品１８が載置されている場合、物品１８を支持するローカル台車２２は載置位置６２上を通過できるが、載置位置６１ａ，６１ｂ上には進入できない。載置位置６１ａ，６１ｂは例えば各１個の物品１８を載置でき、載置位置６２は例えば物品１８を２個載置できるが、載置位置６２に物品１８を１個のみ載置できるようにしても、あるいは３個以上載置できるようにしても良い。図６の変形例では、載置位置６１ａ，６１ｂと物品１８を受け渡す際の昇降量が最小で、物品１８を保管できる個数は載置位置６２を増設することにより大きくできる。
　実施例（図１～図３）と変形例（図４～図６）の動作を、図７，図８に示す。ロードポートへの荷下ろしでは、第１の天井走行車１２がロードポート６が必要とする第１の物品１８を予めバッファ２６の載置位置２６ａ等へ搬送する。ローカル台車２２は載置位置２６ａ等から第１の物品１８をバッファ２６，５０，６０の他の載置位置へ搬送する。ロードポート６が物品１８を必要とする時刻の前に、コントローラ３２からの指示によりローカル台車２２は物品１８を天井走行車１２がアクセスできる載置位置２６ａ等に戻す。次いで例えば第２の天井走行車１２が物品１８をピックアップしてロードポート６に移し替える。
　処理装置４からロードポート６に搬出された物品１８を搬送する場合、図８に示すように、第３の天井走行車１２はバッファ２６等の載置位置２６ａ等へ物品を搬送する。ローカル台車２２は載置位置２６ａ等から物品１８をバッファ２６，５０，６０の他の載置位置へ搬送する。バッファ２６，５０，６０から次の処理装置４へ物品１８を搬送する天井走行車１２が到着する前に、コントローラ３２からの指示によりローカル台車２２は物品１８を天井走行車１２がアクセスできる載置位置２６ａ等に戻す。次いで第４の天井走行車１２が物品１８をピックアップして、次の処理装置４へと搬送する。
　実施例では以下の効果が得られる。
1)　処理装置４間の隙間を利用してバッファ２６，５０，６０を配置でき、また搬送システム２を全て頭上スペースに配置できるので、省スペースである。
2)　ローカル軌道２０の走行レール２０ａ，ｂ間の間隙２１を用いて、載置位置２６ａ等へ天井走行車１２もローカル台車２２もアクセスできる。
3)　バッファ２６，５０，６０は直線状の簡単な構造で、ローカル台車２２も短いローカル軌道２０を往復動する簡単な台車でよい。
4)　バッファ２６の場合、多数の物品１８を保管できる。
5)　バッファ５０の場合、物品１８の昇降量を最小にし、短時間で移載できる。
6)　バッファ６０の場合、物品１８の保管個数を増しながら、物品１８の昇降量を小さくできる。
7)　バッファ５０，６０の場合、載置位置５１，６１ａへは、天井走行車１２もローカル台車２２も短い昇降量で物品１８を移載できる。
２　搬送システム　　４　処理装置　　６　ロードポート　１０　軌道
１１　支柱　　１２　天井走行車　　１４　ホイスト　　１６　昇降台
１８　物品　　２０　ローカル軌道　　２０ａ，ｂ　レール
２１　間隙　　２２　ローカル台車　　２３　昇降台　　２６　バッファ
２６ａ　載置位置　　２７　支柱　　３０　充電装置
３２　コントローラ　　３４　走行車輪　　３６　走行モータ
３８　ホイスト　　４０　チャック　　４２　ローカル台車
４４　ローカル軌道　　４５～４７　ガイドローラ
５０，６０　バッファ　　５１，５２　載置位置
６１ａ，６１ｂ，６２　載置位置

Claims (8)

  1. 　複数の処理装置間で物品を搬送するため、処理装置のロードポートの上部を通過する天井走行車の軌道と、前記天井走行車の軌道に沿って走行し、かつホイストを備える天井走行車とを備える搬送システムであって、
    　前記天井走行車の軌道よりも低い高さレベルに配置され、少なくとも前記天井走行車の軌道の直下まで延び、かつ前記天井走行車の軌道と平面視で直角な方向を向くローカル軌道と、
    　前記ローカル軌道に沿って走行し、かつ物品を昇降させるホイストを備えるローカル台車と、
    　前記ローカル軌道の下部に、前記ローカル台車との間で物品を受け渡し自在に配置され、かつ少なくとも前記天井走行車の軌道の直下まで延びるバッファ、
    とを備えることを特徴とする、搬送システム。
  2. 　前記ローカル軌道と前記バッファとの一端とが前記天井走行車の軌道の直下に配置され、　前記ローカル軌道と前記バッファとの他端とが処理装置間の隙間に配置されることを特徴とする、請求項１の搬送システム。　
  3. 　前記バッファ上に物品が載置されている際に、載置された物品の上部に他の物品を支持するローカル台車が進入できるように、前記バッファと前記ローカル軌道との高さレベルの差が定められていることを特徴とする、請求項１の搬送システム。
  4. 　前記バッファ上に物品が載置されている際に、載置された物品の上部に他の物品を支持するローカル台車は進入できず、他の物品を支持しないローカル台車は進入できるように、前記バッファと前記ローカル軌道との高さレベルの差が定められていることを特徴とする、請求項１の搬送システム。
  5. 　前記バッファは物品の載置位置を高さレベルを異ならせて２種類備え、
    　第１の種類の載置位置に物品が載置されている際に、載置された物品の上部に、他の物品を支持するローカル台車は進入できないが、物品を支持しないローカル台車は進入でき、
    　第２の種類の載置位置に物品が載置されている際に、載置された物品の上部に、他の物品を支持するローカル台車及び他の物品を支持しないローカル台車が進入できるようにされ、
    　さらに第１の種類の載置位置は天井走行車の軌道の直下の位置を含む、ことを特徴とする、請求項１の搬送システム。
  6. 　前記ローカル軌道は左右一対のレールから成り、かつレールの長手方向に水平面内で直角な方向での物品の長さよりも、前記一対のレール間の間隙が大きくされていることを特徴とする、請求項１の搬送システム。
  7. 　既設の天井走行車システムでの天井走行車の軌道よりも低い高さレベルに、天井走行車の軌道と平面視で直角な方向に後付けされる搬送システムであって、
    　ローカル軌道と、
    　前記ローカル軌道に沿って走行し、かつ物品を昇降させるホイストを備えるローカル台車と、
    　前記ローカル軌道の下部に、前記ローカル台車との間で物品を受け渡し自在に配置されているバッファ、とを備え、
    　前記ローカル軌道と前記バッファとが、前記天井走行車の軌道の直下まで延びるように配置されていることを特徴とする、搬送システム。　
  8. 　天井走行車とローカル台車とにより複数の処理装置間で物品を搬送する方法であって、
    　処理装置のロードポートの上部を通過する天井走行車の軌道と、
    　前記天井走行車の軌道に沿って走行し、かつホイストを備える複数の天井走行車と、
    　前記天井走行車の軌道よりも低い高さレベルに配置され、少なくとも前記天井走行車の軌道の直下まで延び、かつ前記天井走行車の軌道と平面視で直角な方向を向くローカル軌道と、
    　前記ローカル軌道に沿って走行し、かつ物品を昇降させるホイストを備えるローカル台車と、
    　前記ローカル軌道の下部に、前記ローカル台車との間で物品を受け渡し自在に配置され、かつ少なくとも前記天井走行車の軌道の直下まで延びるバッファ、
    とが設けられ、
    　第１のロードポート側から第２のロードポート側へ物品を搬送するために、
    　　第１のロードポート側から第１の天井走行車が物品を荷積みし、前記バッファの天井走行車の軌道の直下の第１の位置へ、第１の天井走行車が物品を荷下ろしするステップと、
    　　次いで、前記第１の位置から前記バッファの第２の位置へ、物品を前記ローカル台車が搬送するステップと、
    　　次いで、前記第２の位置から前記第１の位置へ、物品を前記ローカル台車が搬送するステップと、
    　　次いで、前記第１の位置から物品を第２の天井走行車が搬出し、第２のロードポート側へ荷下ろしするステップ、とを実行することを特徴とする、搬送方法。
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