JPWO2012060291A1 - 搬送システム及び搬送方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 3
- 239000000872 buffer Substances 0.000 claims abstract description 77
- 230000032258 transport Effects 0.000 claims description 31
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 6
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 4
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 4
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
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Abstract
Description
この発明の追加の課題は、バッファとの間で物品を受け渡しする際の昇降量をできる限り小さくすることにある。
前記天井走行車の軌道よりも低い高さレベルに配置され、少なくとも前記天井走行車の軌道の直下まで延び、かつ前記天井走行車の軌道と平面視で直角な方向を向くローカル軌道と、
前記ローカル軌道に沿って走行し、かつ物品を昇降させるホイストを備えるローカル台車と、
前記ローカル軌道の下部に、前記ローカル台車との間で物品を受け渡し自在に配置され、かつ少なくとも前記天井走行車の軌道の直下まで延びるバッファ、
とを備えることを特徴とする。
処理装置のロードポートの上部を通過する天井走行車の軌道と、
前記天井走行車の軌道に沿って走行し、かつホイストを備える複数の天井走行車と、
前記天井走行車の軌道よりも低い高さレベルに配置され、少なくとも前記天井走行車の軌道の直下まで延び、かつ前記天井走行車の軌道と平面視で直角な方向を向くローカル軌道と、
前記ローカル軌道に沿って走行し、かつ物品を昇降させるホイストを備えるローカル台車と、
前記ローカル軌道の下部に、前記ローカル台車との間で物品を受け渡し自在に配置され、かつ少なくとも前記天井走行車の軌道の直下まで延びるバッファ、
とが設けられ、
ロードポートへ第1の物品を荷下ろしするために、
第1の物品を、前記バッファの天井走行車の軌道の直下の第1の位置へ、第1の天井走行車が荷下ろしするステップと、
次いで、前記第1の位置から前記バッファの第2の位置へ、第1の物品を前記ローカル台車が搬送するステップと、
次いで、前記第2の位置から前記第1の位置へ、第1の物品を前記ローカル台車が搬送するステップと、
次いで、前記第1の位置から第1の物品を第2の天井走行車が荷積みし、ロードポートへ荷下ろしするステップとを実行し、
ロードポートから第2の物品を搬出するために、
ロードポートから第3の天井走行車が第2の物品を荷積みし、前記第1の位置へ荷下ろしするステップと、
次いで、前記第1の位置から前記バッファの第2の位置へ、第2の物品を前記ローカル台車が搬送するステップと、
次いで、前記第2の位置から前記第1の位置へ、第2の物品を前記ローカル台車が搬送するステップと、
次いで、前記第1の位置から第2の物品を第4の天井走行車が搬出するステップとを実行する。
ローカル軌道と、
前記ローカル軌道に沿って走行し、かつ物品を昇降させるホイストを備えるローカル台車と、
前記ローカル軌道の下部に、前記ローカル台車との間で物品を受け渡し自在に配置されているバッファ、とを備え、
前記ローカル軌道と前記バッファとが、前記天井走行車の軌道の直下まで延びるように配置されていることを特徴とする。
第1の種類の載置位置に物品が載置されている際に、載置された物品の上部に、他の物品を支持するローカル台車は進入できないが、物品を支持しないローカル台車は進入でき、
第2の種類の載置位置に物品が載置されている際に、載置された物品の上部に、他の物品を支持するローカル台車及び他の物品を支持しないローカル台車が進入できるようにされ、さらに第1の種類の載置位置は天井走行車の軌道の直下の位置を含む。このようにすると、第1の種類の載置位置との間でローカル台車が物品を受け渡しする場合、昇降量が小さく、また天井走行車もバッファとの間で小さな昇降量で物品を受け渡しできる。さらに第2の種類の載置位置は多数設けることができるので、物品を保管する個数を増すことができる。
1) 処理装置4間の隙間を利用してバッファ26,50,60を配置でき、また搬送システム2を全て頭上スペースに配置できるので、省スペースである。
2) ローカル軌道20の走行レール20a,b間の間隙21を用いて、載置位置26a等へ天井走行車12もローカル台車22もアクセスできる。
3) バッファ26,50,60は直線状の簡単な構造で、ローカル台車22も短いローカル軌道20を往復動する簡単な台車でよい。
4) バッファ26の場合、多数の物品18を保管できる。
5) バッファ50の場合、物品18の昇降量を最小にし、短時間で移載できる。
6) バッファ60の場合、物品18の保管個数を増しながら、物品18の昇降量を小さくできる。
7) バッファ50,60の場合、載置位置51,61aへは、天井走行車12もローカル台車22も短い昇降量で物品18を移載できる。
11 支柱 12 天井走行車 14 ホイスト 16 昇降台
18 物品 20 ローカル軌道 20a,b レール
21 間隙 22 ローカル台車 23 昇降台 26 バッファ
26a 載置位置 27 支柱 30 充電装置
32 コントローラ 34 走行車輪 36 走行モータ
38 ホイスト 40 チャック 42 ローカル台車
44 ローカル軌道 45〜47 ガイドローラ
50,60 バッファ 51,52 載置位置
61a,61b,62 載置位置
Claims (8)
- 複数の処理装置間で物品を搬送するため、処理装置のロードポートの上部を通過する天井走行車の軌道と、前記天井走行車の軌道に沿って走行し、かつホイストを備える天井走行車とを備える搬送システムであって、
前記天井走行車の軌道よりも低い高さレベルに配置され、少なくとも前記天井走行車の軌道の直下まで延び、かつ前記天井走行車の軌道と平面視で直角な方向を向くローカル軌道と、
前記ローカル軌道に沿って走行し、かつ物品を昇降させるホイストを備えるローカル台車と、
前記ローカル軌道の下部に、前記ローカル台車との間で物品を受け渡し自在に配置され、かつ少なくとも前記天井走行車の軌道の直下まで延びるバッファ、
とを備えることを特徴とする、搬送システム。 - 前記ローカル軌道と前記バッファとの一端とが前記天井走行車の軌道の直下に配置され、 前記ローカル軌道と前記バッファとの他端とが処理装置間の隙間に配置されることを特徴とする、請求項1の搬送システム。
- 前記バッファ上に物品が載置されている際に、載置された物品の上部に他の物品を支持するローカル台車が進入できるように、前記バッファと前記ローカル軌道との高さレベルの差が定められていることを特徴とする、請求項1の搬送システム。
- 前記バッファ上に物品が載置されている際に、載置された物品の上部に他の物品を支持するローカル台車は進入できず、他の物品を支持しないローカル台車は進入できるように、前記バッファと前記ローカル軌道との高さレベルの差が定められていることを特徴とする、請求項1の搬送システム。
- 前記バッファは物品の載置位置を高さレベルを異ならせて2種類備え、
第1の種類の載置位置に物品が載置されている際に、載置された物品の上部に、他の物品を支持するローカル台車は進入できないが、物品を支持しないローカル台車は進入でき、
第2の種類の載置位置に物品が載置されている際に、載置された物品の上部に、他の物品を支持するローカル台車及び他の物品を支持しないローカル台車が進入できるようにされ、
さらに第1の種類の載置位置は天井走行車の軌道の直下の位置を含む、ことを特徴とする、請求項1の搬送システム。 - 前記ローカル軌道は左右一対のレールから成り、かつレールの長手方向に水平面内で直角な方向での物品の長さよりも、前記一対のレール間の間隙が大きくされていることを特徴とする、請求項1の搬送システム。
- 既設の天井走行車システムでの天井走行車の軌道よりも低い高さレベルに、天井走行車の軌道と平面視で直角な方向に後付けされる搬送システムであって、
ローカル軌道と、
前記ローカル軌道に沿って走行し、かつ物品を昇降させるホイストを備えるローカル台車と、
前記ローカル軌道の下部に、前記ローカル台車との間で物品を受け渡し自在に配置されているバッファ、とを備え、
前記ローカル軌道と前記バッファとが、前記天井走行車の軌道の直下まで延びるように配置されていることを特徴とする、搬送システム。 - 天井走行車とローカル台車とにより複数の処理装置間で物品を搬送する方法であって、
処理装置のロードポートの上部を通過する天井走行車の軌道と、
前記天井走行車の軌道に沿って走行し、かつホイストを備える複数の天井走行車と、
前記天井走行車の軌道よりも低い高さレベルに配置され、少なくとも前記天井走行車の軌道の直下まで延び、かつ前記天井走行車の軌道と平面視で直角な方向を向くローカル軌道と、
前記ローカル軌道に沿って走行し、かつ物品を昇降させるホイストを備えるローカル台車と、
前記ローカル軌道の下部に、前記ローカル台車との間で物品を受け渡し自在に配置され、かつ少なくとも前記天井走行車の軌道の直下まで延びるバッファ、
とが設けられ、
第1のロードポート側から第2のロードポート側へ物品を搬送するために、
第1のロードポート側から第1の天井走行車が物品を荷積みし、前記バッファの天井走行車の軌道の直下の第1の位置へ、第1の天井走行車が物品を荷下ろしするステップと、
次いで、前記第1の位置から前記バッファの第2の位置へ、物品を前記ローカル台車が搬送するステップと、
次いで、前記第2の位置から前記第1の位置へ、物品を前記ローカル台車が搬送するステップと、
次いで、前記第1の位置から物品を第2の天井走行車が搬出し、第2のロードポート側へ荷下ろしするステップ、とを実行することを特徴とする、搬送方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012541833A JP5648983B2 (ja) | 2010-11-04 | 2011-10-28 | 搬送システム及び搬送方法 |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010247554 | 2010-11-04 | ||
JP2010247554 | 2010-11-04 | ||
PCT/JP2011/074923 WO2012060291A1 (ja) | 2010-11-04 | 2011-10-28 | 搬送システム及び搬送方法 |
JP2012541833A JP5648983B2 (ja) | 2010-11-04 | 2011-10-28 | 搬送システム及び搬送方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2012060291A1 true JPWO2012060291A1 (ja) | 2014-05-12 |
JP5648983B2 JP5648983B2 (ja) | 2015-01-07 |
Family
ID=46024405
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012541833A Active JP5648983B2 (ja) | 2010-11-04 | 2011-10-28 | 搬送システム及び搬送方法 |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9187260B2 (ja) |
EP (1) | EP2636614A4 (ja) |
JP (1) | JP5648983B2 (ja) |
KR (1) | KR101533366B1 (ja) |
CN (1) | CN103201198B (ja) |
SG (1) | SG189232A1 (ja) |
TW (1) | TWI513641B (ja) |
WO (1) | WO2012060291A1 (ja) |
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-
2011
- 2011-10-28 SG SG2013024567A patent/SG189232A1/en unknown
- 2011-10-28 EP EP11837941.1A patent/EP2636614A4/en not_active Withdrawn
- 2011-10-28 CN CN201180052964.5A patent/CN103201198B/zh active Active
- 2011-10-28 WO PCT/JP2011/074923 patent/WO2012060291A1/ja active Application Filing
- 2011-10-28 KR KR1020137013551A patent/KR101533366B1/ko active IP Right Grant
- 2011-10-28 JP JP2012541833A patent/JP5648983B2/ja active Active
- 2011-10-28 US US13/877,889 patent/US9187260B2/en active Active
- 2011-11-02 TW TW100139959A patent/TWI513641B/zh active
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Publication number | Publication date |
---|---|
CN103201198A (zh) | 2013-07-10 |
SG189232A1 (en) | 2013-05-31 |
KR20130108400A (ko) | 2013-10-02 |
US20130199892A1 (en) | 2013-08-08 |
WO2012060291A1 (ja) | 2012-05-10 |
CN103201198B (zh) | 2015-03-11 |
TWI513641B (zh) | 2015-12-21 |
KR101533366B1 (ko) | 2015-07-02 |
EP2636614A1 (en) | 2013-09-11 |
TW201233612A (en) | 2012-08-16 |
US9187260B2 (en) | 2015-11-17 |
EP2636614A4 (en) | 2017-02-22 |
JP5648983B2 (ja) | 2015-01-07 |
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