KR101533366B1 - 반송 시스템 및 반송 방법 - Google Patents

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마사즈미 후쿠시마
야스히사 이토
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무라다기카이가부시끼가이샤
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Abstract

복수의 처리장치(4) 사이에서 물품(18)을 반송하기 위해, 처리 장치(4)의 로드 포트(6)의 상부를 통과하는 천정주행차(12)의 궤도(10)와, 천정주행차(12)의 궤도(10)를 따라 주행하며, 또한 호이스트(14)를 구비하는 천정주행차(12)를 설치한다. 또한, 천정주행차(12)의 궤도(10)보다 낮은 높이 레벨로 배치되며, 적어도 천정주행차(12)의 궤도(10)의 수직 하방까지 연장되고, 또한 상방에서 보았을 때, 천정주행차(12)의 궤도(10)와 직각인 방향을 향하는 로컬 궤도(20)와; 로컬 궤도(20)를 따라 주행하며, 또한 물품(18)을 승강시키는 호이스트(38)를 구비하는 로컬 대차(22)와; 로컬 궤도(20)의 하부에, 로컬 대차(22)와의 사이에서 물품(18)을 전달 가능하게 배치되며, 또한 적어도 천정주행차(12)의 궤도(10)의 수직 하방까지 연장되는 버퍼(26, 50, 60);를 추가로 설치한다.

Description

반송 시스템 및 반송 방법{CONVEYING SYSTEM AND CONVEYING METHOD}
본 발명은 반송 시스템에 관한 것이며, 특히, 처리 장치를 대기시키는 일 없이 물품을 공급 및 반출하는 반송 시스템에 관한 것이다.
반도체 가공 장치 및 반도체의 검사 장치 등의 처리 장치를 대기시키는 일 없이, FOUP(반도체 웨이퍼를 반송하기 위한 밀폐형 카세트) 등의 물품을, 이들 장치의 로드 포트에 공급 및 반출할 필요가 있다. 따라서, 처리 장치의 부근에 버퍼를 설치하고, 또한 버퍼와 처리 장치 간의 반송을 행하기 위해, 추가의 반송 장치를 설치할 것이 제안된 바 있다. 예컨대 특허문헌 1(JP2006-224944A)에서는, 천정주행차의 궤도를 천정 스페이스에 평행하게 복수 배치하고, 일방을 장거리 반송용으로, 타방을 단거리 반송용으로 한다. 그리고, 장거리 반송용 궤도의 수직 하방에 버퍼를, 단거리 반송용 궤도의 수직 하방에 처리 장치의 로드 포트를 배치한다. 장거리 반송용 천정주행차는 버퍼와의 사이에서 물품을 전달하며, 단거리 반송용 천정주행차는 버퍼와 로드 포트 사이에서 물품을 전달한다. 그러나 이와 같이 하면, 처리 장치의 전면(前面)에 복수의 궤도를 배치할 필요가 있다.
특허문헌 2(JP2005-150129A)에서는, 처리 장치의 전면에 반송 장치를 구비한 버퍼를 설치하고, 천정주행차는 버퍼와의 사이에서 물품을 전달하며, 버퍼 내의 반송 장치가 로드 포트와의 사이에서 물품을 전달한다. 그러나, 처리 장치의 전면에는, 가동 상황을 나타내는 디스플레이, 메뉴얼 조작용의 조작 패널 등이 설치되어 있어, 버퍼로 이것들을 가로막는 것은 바람직하지 않다. 또한, 로드 포트는 자동 반송 장치만이 이용하는 것이 아니라, 사람이 수동으로 물품을 공급 및 반출하는 경우도 있어, 처리 장치의 전면을 버퍼로 덮어버리면, 수동에 의한 액세스가 곤란해진다.
JP2006-224944A JP2005-150129A
본 발명의 과제는, 처리 장치의 전면을 가로막지 않고, 처리 장치 간의 빈 스페이스를 유효하게 이용하면서, 물품을 일시적으로 보관하는 데 있다.
본 발명의 또 다른 과제는, 버퍼와의 사이에서 물품을 전달할 때의 승강량(昇降量)을 가능한 한 작게 하는 데 있다.
본 발명은, 복수의 처리 장치 사이에서 물품을 반송하기 위해, 처리 장치의 로드 포트의 상부를 통과하는 천정주행차의 궤도와, 상기 천정주행차의 궤도를 따라 주행하며, 또한 호이스트를 구비하는 천정주행차를 구비하는 반송 시스템으로서,
상기 천정주행차의 궤도보다 낮은 높이 레벨로 배치되며, 적어도 상기 천정주행차의 궤도의 수직 하방까지 연장되고, 또한 상방에서 보았을 때(平面視), 상기 천정주행차의 궤도와 직각인 방향을 향하는 로컬 궤도;
상기 로컬 궤도를 따라 주행하며, 또한 물품을 승강시키는 호이스트를 구비하는 로컬 대차; 및
상기 로컬 궤도의 하부에, 상기 로컬 대차와의 사이에서 물품을 전달 가능하게 배치되며, 또한 적어도 상기 천정주행차의 궤도의 수직 하방까지 연장되는 버퍼;를 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서는, 로컬 궤도와 버퍼를 천정주행차의 궤도와 직각으로 배치하므로, 로컬 궤도와 버퍼의 대부분을 처리 장치 사이의 틈새에 배치할 수 있어, 공간이 절약된다.
본 발명에서는, 천정주행차와 로컬 대차에 의해 복수의 처리 장치 사이에서 물품을 반송하기 위해,
처리 장치의 로드 포트의 상부를 통과하는 천정주행차의 궤도;
상기 천정주행차의 궤도를 따라 주행하며, 또한 호이스트를 구비하는 복수의 천정주행차;
상기 천정주행차의 궤도보다 낮은 높이 레벨로 배치되며, 적어도 상기 천정주행차의 궤도의 수직 하방까지 연장되고, 또한 상방에서 보았을 때, 상기 천정주행차의 궤도와 직각인 방향을 향하는 로컬 궤도;
상기 로컬 궤도를 따라 주행하며, 또한 물품을 승강시키는 호이스트를 구비하는 로컬 대차; 및
상기 로컬 궤도의 하부에, 상기 로컬 대차와의 사이에서 물품을 전달 가능하게 배치되며, 또한 적어도 상기 천정주행차의 궤도의 수직 하방까지 연장되는 버퍼;가 설치되며,
로드 포트에 제 1 물품을 내리기(offloading) 위해,
제 1 천정주행차가 상기 버퍼의 천정주행차의 궤도의 수직 하방의 제 1 위치에 제 1 물품을 내리는 단계와,
이어서, 상기 로컬 대차가 상기 제 1 위치로부터 상기 버퍼의 제 2 위치로 제 1 물품을 반송하는 단계와,
이어서, 상기 로컬 대차가 상기 제 2 위치로부터 상기 제 1 위치로 제 1 물품을 반송하는 단계와,
이어서, 제 2 천정주행차가 상기 제 1 위치로부터 제 1 물품을 싣고, 로드 포트에 내리는 단계를 실행하고,
로드 포트로부터 제 2 물품을 반출하기 위해,
제 3 천정주행차가 로드 포트로부터 제 2 물품을 싣고, 상기 제 1 위치에 내리는 단계와,
이어서, 상기 로컬 대차가 상기 제 1 위치로부터 상기 버퍼의 제 2 위치로 제 2 물품을 반송하는 단계와,
이어서, 상기 로컬 대차가 상기 제 2 위치로부터 상기 제 1 위치로 제 2 물품을 반송하는 단계와,
이어서, 제 4 천정주행차가 상기 제 1 위치로부터 제 2 물품을 반출하는 단계를 실행한다.
이와 같이 하면, 처리 장치의 전면을 버퍼로 가로막는 일 없이, 버퍼를 경유하여 로드 포트와 천정주행차 사이에서 물품을 전달할 수 있다.
본 발명은 또한, 이미 설치된 천정주행차 시스템에서의 천정주행차의 궤도보다 낮은 높이 레벨로, 상방에서 보았을 때, 천정주행차의 궤도와 직각인 방향으로 추가 부착되는 반송 시스템으로서,
로컬 궤도;
상기 로컬 궤도를 따라 주행하며, 또한 물품을 승강시키는 호이스트를 구비하는 로컬 대차; 및
상기 로컬 궤도의 하부에, 상기 로컬 대차와의 사이에서 물품을 전달 가능하게 배치되어 있는 버퍼;를 구비하며,
상기 로컬 궤도와 상기 버퍼가, 상기 천정주행차의 궤도의 수직 하방까지 연장되도록 배치되어 있는 것을 특징으로 한다.
이와 같이 하면, 기존의 천정주행차 시스템에, 로컬 궤도와 로컬 대차와 버퍼로 이루어진 시스템을 추가로 부착시킬 수 있을 뿐만 아니라, 상기 시스템의 대부분은 처리 장치 사이의 틈새에 배치할 수 있으므로, 공간이 절약된다.
바람직하게는, 상기 로컬 궤도와 상기 버퍼의 일단이 상기 천정주행차의 궤도의 수직 하방에 배치되고, 상기 로컬 궤도와 상기 버퍼의 타단이 처리 장치 사이의 틈새에 배치된다. 이와 같이 하면, 버퍼의 일단이 처리 장치 사이의 틈새로부터 돌출되어, 버퍼의 일단에 로컬 대차도 천정주행차도 액세스가 가능하며, 로컬 궤도와 버퍼의 다른 부분은 처리 장치 사이의 틈새에 배치되어 공간이 절약된다.
또한 바람직하게는, 상기 버퍼 상에 물품이 재치(載置)되어 있을 때, 재치된 물품의 상부에 다른 물품을 지지하는 로컬 대차가 진입할 수 있도록, 상기 버퍼와 상기 로컬 궤도와의 높이 레벨의 차가 정해져 있다. 이와 같이 하면, 처리 장치 사이의 틈새에 직선형상의 긴 버퍼를 설치할 수 있으므로, 다수의 물품을 보관할 수 있다.
바람직하게는, 상기 버퍼 상에 물품이 재치되어 있을 때, 재치된 물품의 상부에 다른 물품을 지지하는 로컬 대차는 진입이 불가능하고, 다른 물품을 지지하지 않는 로컬 대차는 진입이 가능하도록, 상기 버퍼와 상기 로컬 궤도와의 높이 레벨의 차가 정해져 있다. 이와 같이 하면, 로컬 궤도와 버퍼 간의 높이 레벨의 차를 최소로 하여, 천정주행차 및 로컬 대차와 버퍼 간에 물품을 전달할 때, 물품의 승강량을 최소로 함으로써, 단시간에 물품을 전달할 수 있다.
바람직하게는, 상기 버퍼는 물품의 재치 위치를 높이 레벨을 달리하여 2종류를 구비하며,
제 1 종류의 재치 위치에 물품이 재치되어 있을 때에는, 재치된 물품의 상부에, 다른 물품을 지지하는 로컬 대차는 진입이 불가능하되, 물품을 지지하지 않는 로컬 대차는 진입이 가능하고,
제 2 종류의 재치 위치에 물품이 재치되어 있을 때에는, 재치된 물품의 상부에, 다른 물품을 지지하는 로컬 대차 및 다른 물품을 지지하지 않는 로컬 대차가 진입가능하도록 되어 있으며,
더욱이 제 1 종류의 재치 위치는 천정주행차의 궤도의 수직 하방의 위치를 포함한다.
이와 같이 하면, 제 1 종류의 재치 위치와의 사이에서 로컬 대차가 물품을 전달할 경우, 승강량이 작고, 또한 천정주행차도 버퍼와의 사이에서 작은 승강량으로 물품을 전달할 수 있다. 또한, 제 2 종류의 재치 위치는 다수 설치할 수 있으므로, 물품 보관 개수를 증가시킬 수 있다.
바람직하게는, 상기 로컬 궤도는 좌우 한 쌍의 레일로 이루어지며, 또한 레일의 길이방향으로 수평면 내에서 직각인 방향에서의 물품의 길이보다, 상기 한 쌍의 레일 간의 틈새가 크게 되어 있다. 이와 같이 하면, 한 쌍의 레일 간의 틈새로 물품이 통과할 수 있으므로, 천정주행차는 버퍼의 로컬 궤도의 수직 하방의 위치로 물품을 전달할 수 있다.
도 1은, 실시예에 따른 반송 시스템의 주요부의 평면도이다.
도 2는, 실시예에 따른 반송 시스템의 주요부의 측면도이다.
도 3은, 로컬 대차의 구조를 나타낸 정면도이다.
도 4는, 변형예에 따른 로컬 대차의 정면도이다.
도 5는, 변형예에 따른 반송 시스템의 주요부의 측면도이다.
도 6은, 제 2 변형예에 따른 반송 시스템의 주요부의 측면도이다.
도 7은, 실시예에서의 천정주행차로부터 로드 포트로 물품을 내릴 때의 알고리즘을 나타낸 플로우 차트이다.
도 8은, 실시예에서의 로드 포트로부터 천정주행차로 물품을 실을 때의 알고리즘을 나타낸 플로우 차트이다.
이하에서는, 본 발명을 실시하기 위한 최적의 실시예를 나타낸다. 본 발명의 범위는, 특허청구범위의 기재에 근거하며, 명세서의 기재와 해당 분야에서의 주지기술을 참작하여, 당업자의 이해에 따라 정해져야 할 것이다.
실시예
도 1∼도 8에, 실시예의 반송 시스템과 그 변형을 도시하였다. 각 도면에 있어서, 2는 반송 시스템이고, 4는 처리 장치로서, 예컨대 반도체 처리 장치 및 반도체의 검사 장치 등이다. 또한, 반송 시스템(2)은 클린룸(clean room) 내에 설치되어 있다. 처리 장치(4)는 1개 또는 복수 개의 로드 포트(6)를 구비하며, 그 상부에 천정주행차(12)의 궤도(10)가 설치되어, 천정으로부터 지지기둥(11)으로 지지되어 있다. 천정주행차(12)는 도 2에 나타낸 바와 같이 호이스트(14)를 구비하여, 승강대(16)를 물품(18)과 함께 승강시킨다. 물품(18)은 예컨대 반도체 웨이퍼를 수용한 FOUP이나, 물품(18)의 종류는 임의이다. 또한 천정주행차(12)는, 호이스트(14) 이외에, 호이스트(14)를 횡방향으로 이송하는 장치 및 호이스트(14)를 연직축 둘레로 회동시키는 장치 등을 구비하고 있어도 좋다. 궤도(10)와 천정주행차(12)에 의해 천정주행차 시스템을 구성하며, 본 시스템 자체는 공지되어 있다.
처리 장치(4, 4) 사이의 틈새의, 로드 포트(6)가 설치되어 있지 않은 통로의 천정 스페이스에, 로컬 궤도(20)가 설치되어 있다. 로컬 궤도(20)는 일단이 천정주행차(12)의 궤도(10)의 수직 하방에 있고, 타단이 처리 장치(4, 4) 사이의 틈새 내에 있다. 그러나, 도 1에 쇄선(鎖線)으로 나타낸 바와 같이, 상기의 일단을 천정주행차(12)의 궤도(10)를 초과하도록 연장시켜도 좋다. 또한, 도 1의 쇄선으로 이루어진 원 내에 도시한 바와 같이, 로컬 궤도는 한 쌍의 레일(20a, 20b)로 이루어지며, 레일(20a, 20b) 간의 틈새(21)의 폭은 물품(18)의 길이보다 커서, 물품(18)은 틈새(21)를 연직방향으로 통과할 수 있다. 여기서 틈새(21)의 폭은, 레일(20a, 20b)의 길이방향으로 수평면 내에서 직각인 방향을 따라 정한다. 22는 로컬 대차로서, 로컬 궤도(20)를 따라 왕복이동하며, 도 2에 나타낸 승강대(23)를 벨트, 와이어, 로프 등의 매달아 지지시키기 위한 부재(도시 생략)에 의해 승강시킨다. 로컬 궤도(20)의 수직 하방에 버퍼(26)를 설치하고, 그 중, 궤도(10)의 수직 하방에 있는 재치 위치(26a)를, 천정주행차(12)와 로컬 대차(22)의 쌍방이 액세스, 즉 물품을 전달가능한 위치로 하고, 다른 재치 위치에는 로컬 대차(22)만이 액세스한다. 로컬 궤도(20), 로컬 대차(22), 버퍼(26)에 의해, 제 2 반송 시스템을 구성하며, 이 시스템은 이미 설치된 천정주행차 시스템에 추가로 부착시킬 수 있다. 27은 지지기둥으로서, 로컬 궤도(20)와 버퍼(26)를 지지한다.
로컬 대차(22)는 예컨대 배터리로 구동되며, 로컬 대차(22)의 컨트롤러 겸용인 충전 장치(30)에 의해 충전된다. 그리고, 도 2에 나타낸 바와 같이, 컨트롤러 겸용의 충전 장치(30)는 천정주행차 시스템(2) 전체의 컨트롤러(32)와 통신하여 지시를 받고, 천정주행차(12)도 컨트롤러(32)와 통신하여 지시를 받는다. 또한, 로컬 대차(22)는 충전 장치(30)와 통신하여 지시를 받는다. 참고로, 로컬 대차에 배터리를 설치하지 않고, 비접촉 급전(給電) 등에 의해 전력을 공급해도 된다. 그리고, 충전 장치(30)로의 신호선과 급전선은, 예컨대, 지지기둥(27)을 따라 배치한다. 또한, 충전 장치(30)는, 천정주행차(12)와 로컬 궤도(20)가 교차하는 위치, 즉, 재치 위치(26a)의 상부를 피해, 로컬 대차(22)의 충전과 천정주행차(12)의 버퍼(26)로의 액세스가 간섭하지 않도록 한다. 이 점은 도 5 및 도 6의 변형예에서도 동일하다.
도 3은 로컬 대차(22)의 구조를 나타낸 것이다. 동 도면에서, 34는 주행 차륜으로서, 주행 모터(36)에 의해 구동되며, 배터리(도시 생략)를 구비하여, 충전 장치(30)에 의해 충전된다. 배터리로의 급전은, 예컨대 비접촉 급전, 커넥터 혹은 충전 커플러 등에 의한 접촉 충전의 어느 방식이어도 좋다. 38은 호이스트로서, 승강대(23)를 승강시키며, 40은 척으로서, 물품(18) 상부의 플랜지를 파지(把持) 및 해방한다.
로컬 궤도(20)는 2줄의 레일(20a, 20b)로 이루어져 있지만, 이에 한정되는 것은 아니다. 이러한 예를 도 4에 나타내며, 실시예와 동일한 부호는 동일한 것을 의미한다. 44는 새로운 로컬 궤도로서, 궤도(10)의 수직 하방을 피하도록 그 하방에 배치되며, 42는 새로운 로컬 대차이다. 로컬 대차(42)는, 가이드 롤러(45∼47)에 의해 로컬 궤도(44)에 지지되어 주행하며, 다른 점에서는 도 1∼도 3의 실시예와 동일하다.
도 5 및 도 6은, 버퍼의 배치의 변형예를 나타낸 것이다. 동 도면에서, 50은 새로운 버퍼로서, 버퍼(50)에서의 물품의 재치 위치(51, 52)와 로컬 대차(22)와의 사이의 높이 레벨의 차는, 물품 1개 분은 초과하고 물품 2개 분보다는 미만이다. 버퍼(50)는, 천정주행차(12)와의 사이에서는 재치 위치(51)를 이용하여 물품(18)을 전달하며, 그 외에 예컨대 1개의 물품(18)을 재치 위치(52)에 보관할 수 있다. 참고로, 도 5의 쇄선과 같이, 3개 이상의 물품(18)을 재치할 수 있도록 해도 된다. 도 5의 변형예에서는, 버퍼(50)와의 사이에서 물품(18)을 전달할 때의, 물품(18)의 승강량을 최소로 할 수 있어, 고속으로 전달할 수 있다. 그러나, 도 5의 변형예에서는, 재치 위치(51, 52)에 모두 물품(18)이 있는 경우, 물품(18)의 교체가 불가능하다. 또한, 물품(18)을 반출하는 경우에 순서가 있어, 재치 위치(51)가 앞(先), 재치 위치(52)가 뒤(後)가 된다.
도 6의 변형예에서는, 버퍼(60)는 높이 레벨이 상이한 2종류의 재치 위치(61a, 61b, 62)를 구비하며, 재치 위치(61a, 61b)의 재치면과 로컬 대차(22) 간의 높이 레벨의 차는 물품 1개 분은 초과하고 물품 2개 분보다는 미만이며, 재치 위치(62)의 재치면과 로컬 대차(22) 간의 높이 레벨의 차는 물품 2개 분을 초과한다. 따라서, 재치 위치(61a, 61b, 62) 상에 물품(18)이 재치되어 있는 경우, 물품(18)을 지지하는 로컬 대차(22)는 재치 위치(62) 상을 통과할 수 있지만, 재치 위치(61a, 61b) 상으로는 진입이 불가능하다. 재치 위치(61a, 61b)는 예컨대 각각 1개의 물품(18)을 재치할 수 있고, 재치 위치(62)는 예컨대 2개의 물품(18)을 재치할 수 있지만, 재치 위치(62)에 물품(18)을 1개만 재치할 수 있도록 하거나, 혹은 3개 이상 재치할 수 있도록 해도 된다. 도 6의 변형예에서는, 재치 위치(61a, 61b)와의 사이에서 물품(18)을 전달할 때의 승강량이 최소이며, 물품(18)을 보관가능한 개수는 재치 위치(62)를 증설함으로써 증가시킬 수 있다.
실시예(도 1∼도 3)와 변형예(도 4∼도 6)의 동작이, 도 7 및 도 8에 도시되어 있다. 로드 포트에 물품을 내릴 때에 있어서는, 제 1 천정주행차(12)가 로드 포트(6)가 필요로 하는 제 1 물품(18)을 미리 버퍼(26)의 재치 위치(26a) 등으로 반송한다. 로컬 대차(22)는 재치 위치(26a) 등으로부터 제 1 물품(18)을 버퍼(26, 50, 60)의 다른 재치 위치로 반송한다. 로드 포트(6)가 물품(18)을 필요로 하는 시각 전에, 컨트롤러(32)로부터의 지시에 따라 로컬 대차(22)는 물품(18)을 천정주행차(12)가 액세스 가능한 재치 위치(26a) 등으로 돌려보낸다. 그런 다음, 예컨대 제 2 천정주행차(12)가 물품(18)을 픽업하여 로드 포트(6)로 옮겨 놓는다.
처리 장치(4)로부터 로드 포트(6)로 반출된 물품(18)을 반송하는 경우, 도 8에 나타낸 바와 같이, 제 3 천정주행차(12)는 버퍼(26) 등의 재치 위치(26a) 등으로 물품을 반송한다. 로컬 대차(22)는 재치 위치(26a) 등으로부터 물품(18)을 버퍼(26, 50, 60)의 다른 재치 위치로 반송한다. 버퍼(26, 50, 60)로부터 다음 처리 장치(4)로 물품(18)을 반송하는 제 4 천정주행차(12)가 도착하기 전에, 컨트롤러(32)로부터의 지시에 따라 로컬 대차(22)는 물품(18)을 천정주행차(12)가 액세스 가능한 재치 위치(26a) 등으로 돌려보낸다. 그런 다음, 제 4 천정주행차(12)가 물품(18)을 픽업하여, 다음 처리 장치(4)로 반송한다.
실시예 및 변형예에 따르면, 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.
1) 처리 장치(4) 간의 틈새를 이용하여 버퍼(26, 50, 60)를 배치할 수 있고, 또한 반송 시스템(2)을 모두 두상(頭上) 스페이스에 배치할 수 있으므로, 공간이 절약된다.
2) 로컬 궤도(20)의 주행 레일(20a, 20b) 간의 틈새(21)를 이용하여, 재치 위치(26a) 등으로 천정주행차(12)나 로컬 대차(22)를 액세스할 수 있다.
3) 버퍼(26, 50, 60)는 직선형상의 간단한 구조이며, 로컬 대차(22)도 짧은 로컬 궤도(20)를 왕복이동하는 간단한 대차이면 된다.
4) 버퍼(26)의 경우, 다수의 물품(18)을 보관할 수 있다.
5) 버퍼(50)의 경우, 물품(18)의 승강량을 최소한으로 하여, 단시간에 이재(移載)가 가능하다.
6) 버퍼(60)의 경우, 물품(18)의 보관 개수를 증대시키면서, 물품(18)의 승강량을 작게 할 수 있다.
7) 버퍼(50, 60)의 경우, 재치 위치(51, 61a, 61b)에는, 천정주행차(12)나 로컬 대차(22)가 짧은 승강량으로 물품(18)을 이재할 수 있다.
2 : 반송 시스템
4 : 처리 장치
6 : 로드 포트
10 : 궤도
11 : 지지기둥
12 : 천정주행차
14 : 호이스트
16 : 승강대
18 : 물품
20 : 로컬 궤도
20a, 20b : 레일
21 : 틈새
22 : 로컬 대차
23 : 승강대
26 : 버퍼
26a : 재치 위치
27 : 지지기둥
30 : 충전 장치
32 : 컨트롤러
34 : 주행 차륜
36 : 주행 모터
38 : 호이스트
40 : 척
42 : 로컬 대차
44 : 로컬 궤도
45∼47 : 가이드 롤러
50, 60 : 버퍼
51, 52 : 재치 위치
61a, 61b, 62 : 재치 위치

Claims (8)

  1. 복수의 처리 장치 사이에서 물품을 반송하기 위해, 처리 장치의 로드 포트의 상부를 통과하는 천정주행차의 궤도와, 상기 천정주행차의 궤도를 따라 주행하며, 또한 호이스트를 구비하는 천정주행차를 구비하는 반송 시스템으로서,
    상기 천정주행차의 궤도보다 낮은 높이 레벨로 배치되며, 적어도 상기 천정주행차의 궤도의 수직 하방까지 연장되고, 또한 상방에서 보았을 때, 상기 천정주행차의 궤도와 직각인 방향을 향하는 로컬 궤도;
    상기 로컬 궤도를 따라 주행하며, 또한 물품을 승강시키는 호이스트를 구비하는 로컬 대차; 및
    상기 로컬 궤도의 하부에, 상기 로컬 대차와의 사이에서 물품을 전달 가능하게 배치되며, 또한 적어도 상기 천정주행차의 궤도의 수직 하방까지 연장되는 버퍼;를 구비하고,
    상기 천정주행차의 궤도의 수직 하방의 위치에서, 상기 천정주행차와 상기 버퍼의 사이에서 물품을 전달가능하게 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 로컬 궤도와 상기 버퍼의 일단이 상기 천정주행차의 궤도의 수직 하방에 배치되고, 상기 로컬 궤도와 상기 버퍼의 타단이 처리 장치 사이의 틈새에 배치되는 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 버퍼 상에 물품이 재치(載置)되어 있을 때, 재치된 물품의 상부에 다른 물품을 지지하는 로컬 대차가 진입할 수 있도록, 상기 버퍼와 상기 로컬 궤도와의 높이 레벨의 차가 정해져 있는 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 버퍼 상에 물품이 재치되어 있을 때, 재치된 물품의 상부에 다른 물품을 지지하는 로컬 대차는 진입이 불가능하고, 다른 물품을 지지하지 않는 로컬 대차는 진입이 가능하도록, 상기 버퍼와 상기 로컬 궤도와의 높이 레벨의 차가 정해져 있는 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 버퍼는 물품의 재치 위치를 높이 레벨을 달리하여 2종류를 구비하며,
    제 1 종류의 재치 위치에 물품이 재치되어 있을 때에는, 재치된 물품의 상부에, 다른 물품을 지지하는 로컬 대차는 진입이 불가능하되, 물품을 지지하지 않는 로컬 대차는 진입이 가능하고,
    제 2 종류의 재치 위치에 물품이 재치되어 있을 때에는, 재치된 물품의 상부에, 다른 물품을 지지하는 로컬 대차 및 다른 물품을 지지하지 않는 로컬 대차가 진입가능하도록 되어 있으며,
    더욱이, 제 1 종류의 재치 위치는 천정주행차의 궤도의 수직 하방의 위치를 포함하는 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 로컬 궤도는 좌우 한 쌍의 레일로 이루어지며, 또한 상방에서 보았을 때(平面視) 레일의 길이방향에 직각인 방향에서의 물품의 길이보다, 상기 한 쌍의 레일 간의 틈새가 크게 되어 있는 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
  7. 천정주행차 시스템에 부가하여 설치될 수 있는 반송 시스템으로서,
    천정주행차 시스템에서의 천정주행차의 궤도보다 낮은 높이 레벨로, 상방에서 보았을 때 천정주행차의 궤도와 직각인 방향으로 설치되는 로컬 궤도;
    상기 로컬 궤도를 따라 주행하며, 또한 물품을 승강시키는 호이스트를 구비하는 로컬 대차; 및
    상기 로컬 궤도의 하부에, 상기 로컬 대차와의 사이에서 물품을 전달 가능하게 배치되어 있는 버퍼;를 구비하며,
    상기 로컬 궤도와 상기 버퍼가, 상기 천정주행차의 궤도의 수직 하방까지 연장되도록 배치되어, 상기 천정주행차의 궤도의 수직 하방의 위치에서, 상기 천정주행차와 상기 버퍼의 사이에서 물품을 전달가능하게 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
  8. 천정주행차와 로컬 대차에 의해 복수의 처리 장치 사이에서 물품을 반송하는 방법으로서,
    처리 장치의 로드 포트의 상부를 통과하는 천정주행차의 궤도;
    상기 천정주행차의 궤도를 따라 주행하며, 또한 호이스트를 구비하는 복수의 천정주행차;
    상기 천정주행차의 궤도보다 낮은 높이 레벨로 배치되며, 적어도 상기 천정주행차의 궤도의 수직 하방까지 연장되고, 또한 상방에서 보았을 때, 상기 천정주행차의 궤도와 직각인 방향을 향하는 로컬 궤도;
    상기 로컬 궤도를 따라 주행하며, 또한 물품을 승강시키는 호이스트를 구비하는 로컬 대차; 및
    상기 로컬 궤도의 하부에, 상기 로컬 대차와의 사이에서 물품을 전달 가능하게 배치되며, 또한 적어도 상기 천정주행차의 궤도의 수직 하방까지 연장되는 버퍼;
    가 설치되며,
    제 1 로드 포트측으로부터 제 2 로드 포트측으로 물품을 반송하기 위해,
    제 1 천정주행차가 제 1 로드 포트측으로부터 물품을 싣고, 제 1 천정주행차가 상기 버퍼의 천정주행차의 궤도의 수직 하방의 제 1 위치에 물품을 내리는 단계와,
    이어서, 상기 로컬 대차가 상기 제 1 위치로부터 상기 버퍼의 제 2 위치로 물품을 반송하는 단계와,
    이어서, 상기 로컬 대차가 상기 제 2 위치로부터 상기 제 1 위치로 물품을 반송하는 단계와,
    이어서, 제 2 천정주행차가 상기 제 1 위치로부터 물품을 반출하여, 제 2 로드 포트측에 내리는 단계를 실행하는 것을 특징으로 하는 반송 방법.
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