KR101664238B1 - 반송 시스템 및 반송 시스템에서의 물품의 일시 보관 방법 - Google Patents

반송 시스템 및 반송 시스템에서의 물품의 일시 보관 방법 Download PDF

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Abstract

천정주행차의 궤도의 수직 하방에 로컬 대차(臺車)의 궤도가 설치되어 있는 반송 시스템에 있어서, 버퍼의 용량을 크게 한다. 천정주행차(2)의 궤도(6)의 수직 하방에 로컬 대차(4)의 궤도(8)가 설치되어, 천정주행차(2)와 로컬 대차(4)가 모두 동일한 이재처(移載處, transfer destination ;14)와의 사이에서 물품(20)을 이재한다. 반송 로컬 대차(4)의 궤도(8)와 접속되어 로컬 대차(4)와의 사이에서 물품(20)을 전달가능하고, 또한 천정주행차(2)의 궤도(6)의 하방에 반출입용 셀(40)을 가지며 천정주행차(2)와의 사이에서도 물품(20)을 전달가능한 버퍼(10)가, 로컬 대차(4)의 궤도(8)의 수직 하방 이외에 설치되어 있다.

Description

반송 시스템 및 반송 시스템에서의 물품의 일시 보관 방법{CONVEYANCE SYSTEM AND TEMPORARY STORAGE METHOD OF ARTICLES IN CONVEYANCE SYSTEM}
본 발명은, 반송 시스템 및 반송 시스템에서의 물품의 일시 보관 방법에 관한 것이며, 특히, 천정주행차와 로컬 대차와 버퍼 및 로드 포트를 구비한 반송 시스템에서의 물품의 일시 보관에 관한 것이다.
발명자는, 천정주행차의 주행 레일의 수직 하방이며 또한 로드 포트의 수직 상방에 로컬 대차의 궤도를 배치하는 동시에, 로드 포트의 수직상방부(直上部)를 제외하고 로컬 대차의 궤도의 수직 하방에 버퍼를 배치하는 반송 시스템을 제안하였다(특허 문헌 1： EP2450297A). 이 시스템에서는, 로컬 대차가 로드 포트에 물품을 반출입하므로, 천정주행차가 도착하는 것을 기다리지 않고 로드 포트로부터 물품을 반출입할 수 있다. 그리고 예컨대 천정주행차는 버퍼와의 사이에서 물품을 반출입하고, 로컬 대차는 버퍼와 로드 포트와의 사이에서 물품을 반출입한다. 특허 문헌 2(JP2011-207621A)도 유사한 시스템을 제안하고 있다.
물품의 일시 보관에 관한 다른 선행 기술을 설명하자면, 특허 문헌 3(US2011/31091A)은, 선반의 개구(開口)를 상하로 배열하고, 엘리베이터에 탑재한 달리 대차(dolly carriage)를 개구에 출입시키도록 한 버퍼를 개시하고 있다. 천정주행차가 물품을 반출입할 수 있도록, 상기 버퍼를 로드 포트의 부근에 배치하여, 몇 개의 물품을 보관한다. 이와 같이 하면, 처리 장치가 필요로 하는 물품을 미리 버퍼까지 반입해둘 수 있다. 특허 문헌 4(JP2009-62153A)는, 버퍼 내에 승강가능한 레일을 설치하고, 레일을 따라 포크를 구비한 대차를 주행시키는 것을 개시하고 있다. 상기 버퍼에서는, 상하로 선반의 개구를 배열하여, 레일의 승강과 대차의 주행에 의해, 선반에 물품을 반출입할 수 있다. 특허 문헌 4도, 상기 버퍼를 천정주행차 시스템에 접속하여, 로드 포트의 부근에 배치하는 것을 개시하고 있다.
EP2450297A JP2011-207621A US2011/31091A JP2009-62153A
그러나 특허 문헌 1의 시스템에서 버퍼의 용량을 크게 하면, 로컬 대차의 궤도가 길어진다. 이 때문에 버퍼의 용량에 한계가 있다. 이 점에 대해 특허 문헌 2는, 천정주행차로부터 물품을 가로이동시켜 반출입하는 버퍼를 설치하는 것을 제안하고 있다. 그러나, 상기 버퍼에 로컬 대차가 액세스할 수 있도록 하려면, 로컬 대차에 물품을 가로이동시키는 기구가 필요하다. 한편, 특허 문헌 3 및 4의 버퍼는 로컬 대차와 접속하도록 구성되어 있지 않다.
본 발명의 과제는, 천정주행차의 궤도의 수직 하방에 로컬 대차의 궤도가 설치되어 있는 반송 시스템에 있어서, 버퍼의 용량을 크게 하는 데 있다.
본 발명의 추가의 과제는, 천정주행차의 버퍼로의 물품의 반출입과, 로컬 대차에 의한 로드 포트와 버퍼 간의 물품의 반송이 경합하지 않도록 하는 데 있다.
본 발명의 반송 시스템에서는, 천정주행차와 로컬 대차가 모두 동일한 이재처(移載處, transfer destination)와의 사이에서 물품을 이재하며,
천정주행차의 궤도와,
천정주행차의 궤도의 수직 하방에 있는 로컬 대차의 궤도와,
천정주행차의 궤도와 로컬 대차의 궤도의 쌍방의 수직 하방에 있는 이재처와,
천정주행차의 궤도를 주행하는 동시에, 물품을 지지하면서 승강시키는 승강대를 가지는 천정주행차와,
로컬 대차의 궤도를 주행하는 동시에, 물품을 지지하면서 승강시키는 승강대를 가지는 로컬 대차와,
로컬 대차의 궤도의 수직 하방 이외에 설치되어, 상기 로컬 대차의 궤도와 접속되어, 상기 로컬 대차와의 사이에서 물품을 전달가능한 버퍼가 설치되며,
상기 버퍼는,
물품을 수용하는 복수의 셀과,
상기 천정주행차의 궤도의 하방에 설치되어, 천정주행차가 물품을 반출입하기 위한 반출입용 셀과,
셀 사이에서 물품을 반송하기 위한 반송 수단을 구비하고 있다.
본 발명의 반송 시스템에서의 물품의 일시 보관 방법에서는,
천정주행차의 궤도와,
천정주행차의 궤도의 수직 하방에 있는 로컬 대차의 궤도와,
천정주행차의 궤도와 로컬 대차의 궤도의 쌍방의 수직 하방에 있는 이재처와,
천정주행차의 궤도를 주행하는 동시에, 물품을 지지하면서 승강시키는 승강대를 가지는 천정주행차와,
로컬 대차의 궤도를 주행하는 동시에, 물품을 지지하면서 승강시키는 승강대를 가지는 로컬 대차를 구비하며,
천정주행차와 로컬 대차가 모두 동일한 이재처와의 사이에서 물품을 이재하는, 반송 시스템을 위해,
로컬 대차의 궤도의 수직 하방 이외의 위치에, 상기 로컬 대차의 궤도와 접속되어 상기 로컬 대차와의 사이에서 물품을 전달가능하며, 복수의 셀과, 버퍼 내에서의 물품의 반송 수단을 가지는 버퍼가 설치되고,
천정주행차는 버퍼의 물품 반출입용 셀과의 사이에서 물품을 반출입하고,
버퍼 내의 반송 수단은 버퍼의 셀 사이에서 물품을 반송하고,
로컬 대차는 버퍼의 셀과 상기 이재처와의 사이에서 물품을 반송한다.
본 발명에서는, 로컬 대차의 궤도의 수직 하방 이외에 버퍼를 설치하여, 버퍼의 용량을 증가시킨다. 상기 버퍼는, 로컬 대차의 궤도와 접속되어 로컬 대차와의 사이에서 물품을 전달가능하며, 또한 천정주행차의 궤도의 하방에 반출입용 셀을 가져 천정주행차와의 사이에서도 물품을 전달가능하다. 따라서, 천정주행차-버퍼-로컬 대차의 경로로 물품을 이동시킬 수 있어, 천정주행차와 로컬 대차 간의 버퍼가 된다. 참고로, 본 명세서에서, 반송 시스템에 관한 기재는 그대로 반송 시스템에서의 물품의 일시 보관 방법에도 적용된다.
바람직하게는, 상기 이재처는 물품을 처리하는 처리 장치의 로드 포트이며, 상기 로컬 대차의 궤도가 버퍼 내에 들어가 있다. 처리 장치는 예컨대 반도체의 가공 장치, 검사 장치이다. 이와 같이 하면, 천정주행차와 로컬 대차는 모두 로드 포트와의 사이에서 물품을 이재하고, 또한 다수의 물품을 버퍼에 수용할 수 있다. 그리고 로컬 대차는 버퍼 내로 들어가, 물품을 버퍼와 로드 포트와의 사이에서 이동시킨다.
바람직하게는, 상기 복수의 셀은 상하방향과 수평방향을 따라 상기 버퍼 내에 배열되며, 또한 로컬 대차가 주행가능한 레일을 구비하며, 또한 어느 하나의 셀 내로 상기 로컬 대차의 궤도가 들어가며, 버퍼는, 로컬 대차가 주행가능한 레일을 구비하는 엘리베이터를 가지며, 로컬 대차는 엘리베이터를 통해 셀 간을 이동가능하며, 상기 반송 수단은, 셀의 레일과 엘리베이터와 로컬 대차로 이루어진다. 이와 같이 하면, 로컬 대차는 엘리베이터를 통해 버퍼 내의 각 셀로 들어가서, 물품을 반출입할 수 있다. 그리고 셀을 예컨대 상하좌우에 배치할 수 있으므로, 커다란 용량의 버퍼를 얻을 수 있다.
또한 바람직하게는, 상기 복수의 셀은 상하방향과 수평방향을 따라 상기 버퍼 내에 배열되며, 또한 어느 하나의 셀 내로 상기 로컬 대차의 궤도가 들어가며, 버퍼는, 연직(鉛直)방향의 가이드를 따라 승강하는 수평인 가이드와, 상기 수평인 가이드를 따라 이동하는 포크를 구비하며, 상기 반송 수단은, 상기 수평인 가이드와, 상기 포크로 이루어진다. 상하방향과 수평방향으로 이동하는 포크에 의해, 셀 사이에서의 물품 반송이 가능하며, 어느 하나의 셀에 로컬 대차의 궤도가 들어가도록 함으로써, 로컬 대차와 각 셀 사이에서 물품을 이동시킬 수 있다.
보다 바람직하게는, 상기 로컬 대차의 궤도가 들어가 있는 셀은, 상기 반출입용 셀보다 하방의 셀이다. 이와 같이 하면, 천정주행차에 의한 물품의 반출입과, 로컬 대차에 의한 로드 포트로의 물품의 반출입이 경합하지 않게 된다.
또한 바람직하게는, 상기 로컬 대차의 궤도를 제 1 궤도로 하고, 상기 버퍼는, 상기 제 1 궤도와 평행하게 배치된 로컬 대차의 제 2 궤도와, 상기 제 2 궤도의 수직 하방에 설치된 셀을 구비하며, 또한 상기 제 1 궤도와 상기 제 2 궤도 사이에서 로컬 대차를 이동시키는 시프터를 구비하고 있다. 이와 같이 하면, 제 2 궤도의 길이에 따른 용량의 버퍼를 구비한 시스템을 얻을 수 있다.
도 1은, 실시예에 따른 반송 시스템의 측면도로서, 버퍼의 용기를 잘라내고 도시한 것이다.
도 2는, 실시예에 따른 반송 시스템의 평면도로서, 천정주행차의 궤도를 잘라내어, 로컬 대차의 궤도 상의 버퍼를 제외하고 나타낸 것이다.
도 3은, 변형예에 따른 반송 시스템의 측면도이다.
도 4는, 변형예에 따른 반송 시스템의 평면도로서, 천정주행차의 궤도를 잘라내고 도시한 것이다.
도 5는, 제 2 실시예에 따른 반송 시스템의 부분 절결부를 포함하는 측면도로서, 버퍼의 용기를 잘라내고 도시한 것이다.
도 6은, 제 2 변형예에 따른 반송 시스템의 평면도로서, 천정주행차의 궤도를 잘라내고 도시한 것이다.
도 7은, 제 3 실시예에 따른 반송 시스템의 평면도로서, 천정주행차의 궤도를 잘라내고 도시한 것이다.
이하에서는, 본 발명을 실시하기 위한 최적의 실시예에 대해 나타낸다. 본 발명의 범위는, 특허청구의 범위에 기재된 바에 근거하며, 명세서의 기재와 본 발명의 분야에서의 주지기술을 참작하여, 당업자의 이해에 따라 정해져야 하는 것이다.
[실시예]
도 1∼도 7에는 반송 시스템의 실시예와 변형예가 도시되며, 도 1 및 도 2에는 최초의 실시예가 도시된다. 각 도면에 있어서, 천정주행차(2)는 예컨대 반도체 공장 내에서 FOUP 등의 물품(20)을 반송하며, 로컬 대차(4)는, 1개 혹은 복수 개의 처리 장치(12)에 대해, 물품(20)의 공급과 반출을 행한다. 6은 천정주행차의 궤도이며, 주행 레일과 급전레일로 이루어지고, 8은 로컬 대차(4)의 궤도이며, 도 2 등에 나타낸 한 쌍의 레일(26, 26)로 이루어진다. 또한 처리 장치(12)는, 1개∼복수 개의 로드 포트(14)를 구비하고 있다. 16은 클린 룸 등의 천정이며, 지지기둥(支柱; 45∼47)에 의해, 궤도(6, 8)와 버퍼(10)가 지지되어 있다. 천정주행차의 궤도(6)가 가장 높은 위치에 있고, 그 수직 하방에 로컬 대차의 궤도(8)가 있으며, 로드 포트(14)는 궤도(6, 8)의 수직 하방에 있다.
처리 장치(12)는 여기서는 가공 장치 외에 검사 장치도 포함하는 것으로 하며, 처리 장치(12)의 전면(前面)에는 로드 포트(14)가 설치되어, 로드 포트(14)와의 사이에서, 천정주행차(2), 로컬 대차(4), 및 지상(地上)을 이동하는 사람이 물품(20)을 전달한다. 처리 장치(12)의 전면에는 로드 포트(14) 외에, 도시하지 않은 디스플레이와 조작 패널 등이 설치되어, 처리 장치(12)의 가동 상황을 감시하며, 또한 사람의 손으로 처리 장치(12)를 제어할 수 있도록 한다. 또한, 천정주행차(2), 로컬 대차(4)는, 서스펜딩 부재(suspending material; 24)에 의해 물품(20)의 머리부(頭部)를 척킹하는 승강대(18, 22)를 승강시켜, 물품(20)을 이재한다.
로컬 대차의 궤도(8)는 모노레일이어도 되지만, 바람직하게는 한 쌍의 레일(26, 26)로 이루어지며, 레일(26, 26) 간의 틈새(28)의 폭은 물품(20)의 안길이보다 크고, 물품(20)은, 천정주행차(2)의 승강대(18)와 함께, 레일(26, 26) 간의 틈새(28)를 연직방향으로 통과할 수 있다. 이러한 것들 때문에, 궤도(6, 8)와 로드 포트(14)가 연직방향으로 겹쳐지도록 배치하더라도, 천정주행차(2)는 로드 포트(14) 및 버퍼(10)에 대해 물품의 전달이 가능하다.
버퍼(10)는 엘리베이터(34)와 선반 받이(36)를 구비하며, 38은 로컬 대차(4)가 버퍼(10) 내를 이동하기 위한 레일로서, 엘리베이터(34)와 선반 받이(36)에 설치되어 있다. 로컬 대차(4)는, 엘리베이터(34)에 의해 버퍼(10) 내를 승강하며, 레일(38)을 따라 주행하여 선반 받이(36)와 엘리베이터(34) 간을 출입한다. 로컬 대차(4)는, 승강대(22)를 승강시켜, 선반 받이(36)와의 사이에서 물품(20)을 이재한다. 그리고 로컬 대차(4)는, 로드 포트(14)의 수직상방부와 버퍼(10) 내부의 선반 받이(36)와의 사이를 주행한다. 천정주행차(2)는 반입 셀(40)에 물품(20)을 반입하고, 반출 셀(42)로부터 물품(20)을 반출한다. 도 1의 굵은 화살표는 엘리베이터(34)의 승강방향을 나타내고, 가느다란 화살표는 천정주행차(2)와의 사이에서의 물품(20)의 반출입방향을 나타낸다. 또한, 44는 버퍼(10)의 용기이다. 버퍼(10)는, 선반 받이(36)를 상하좌우에 배열할 수 있으므로, 대용량이다.
버퍼(10)의 예컨대 위로부터 2단째의 셀(37)에, 보다 일반적으로는 최상단(最上段)의 셀을 제외한 셀에 궤도(8)가 연장되어 있다. 반입 셀(40)과 반출 셀(42)을 제외한 셀에 궤도(8)를 접속시킴으로써, 천정주행차(2)에 의한 물품(20)의 반출입과, 로컬 대차(4)에 의한 로드 포트로의 물품(20)의 반출입이 경합하지 않게 된다. 이와 같이 하면, 궤도(8)의 상부에 물품(20)의 예컨대 1단 분(分)의 빈 스페이스가 생기므로, 천정주행차(2)가 이 스페이스를 버퍼(35)로서 사용한다. 참고로, 버퍼(10)를 복수의 처리 장치 간에 공유하는 경우, 도 1의 쇄선(鎖線)의 궤도(30)를 설치한다. 또한, 로드 포트(14)와 궤도(8) 간의 높이의 차이를 크게 하고자 하는 경우, 반입 셀(40)에 궤도(8)를 접속한다. 반출 셀(42)에 궤도(8)를 접속하면, 로컬 대차(4)가 로드 포트(14)의 상부로 주행할 경우, 반출용으로 준비해 놓은 물품을 반출 셀(42)로부터 먼저 반출하고, 이어서 로컬 대차(4)가 로드 포트(14)의 상부로 주행하게 된다. 이에 반해, 반입 셀(40)에 궤도(8)를 접속하면, 이러한 수고로움이 발생되지 않는다.
도 1 및 도 2의 실시예에서는, 버퍼(10) 내에서의 로컬 대차(4)의 주행방향과, 궤도(8)의 방향(버퍼(10)의 길이방향)이 평행이다. 이에 반해, 이들을 직교시킨 변형예의 버퍼(50)를 도 3 및 도 4에 나타내었으며, 버퍼(50)는 처리 장치 간의 틈새 등에 설치하는데 적합하다. 변형예의 버퍼(50)는, 특별히 지적하는 점 이외에는, 도 1 및 도 2의 버퍼(10)와 동일하다. 로컬 대차(4)의 주행방향은 버퍼(50)의 내외에서 90° 변화한다. 따라서, 궤도(8)에 접속한 위로부터 제2단의 셀(37)에 턴테이블(52)을 설치하여, 레일(38)을 지지시키고, 셀(37) 내의 레일(38)을 90° 회전시킨다. 또한, 천정주행차(2)의 궤도(6)와 상하로 겹쳐지는 셀은 1개이므로, 천정주행차(2)는 반출입 셀(54)로부터 물품의 반입과 반출을 행한다.
도 5는 제 2 실시예를 나타낸 것이며, 60은 새로운 버퍼로서, 예컨대 상하방향과 좌우방향으로 선반 받이(62)가 배열되어, 물품(20)을 지지한다. 버퍼(60) 내에 선반 받이(62)가 없는 빈 스페이스가 존재하며, 이 스페이스에 승강 가이드(64)가 설치되어, 수평 가이드(66)를 부착한 승강체(65)가 승강한다. 수평 가이드(66)를 따라, 포크(70)를 구비한 이동부(68)가 이동한다. 이동부(68)는 전체적으로 상하좌우로 이동하며, 포크(70)를 이동부(68)와 함께 승강시킴으로써, 임의의 선반 받이(62)와의 사이에서 물품(20)을 이재할 수 있다.
도 5의 지면(紙面)에 수직인 방향을 따라, 승강 가이드(64), 수평 가이드(66) 등은 안쪽에, 선반 받이(62)는 앞쪽에 배치되어 있다. 그리고 이동부(68)를 승강체(65)측으로 복귀시키면, 포크(70)는 선반 받이(62) 상의 물품(20)과 간섭하지 않고 승강할 수 있다. 또한, 포크(70)의 상면(上面)을 선반 받이(62)의 바닥면(底面)보다 낮게 하여, 포크(70)를 수평이동시키면, 포크(70)를 원하는 선반 받이(62)의 하부에 배치할 수 있다. 그리고 포크(70)를 상승시킴으로써, 물품(20)을 선반 받이(62)로부터 포크(70) 상에 싣는다. 그런 다음, 포크(70)를 승강 가이드(64) 부근으로 복귀시키고, 승강체(65)를 승강시킴으로써, 포크(70)를 원하는 높이로 이동시킬 수 있다. 선반 받이(62)에 물품을 내리는 경우, 포크(70)의 바닥면을 선반 받이(62)의 상면보다 높게 하여, 포크를 선반 받이(62) 상으로 이동시키고, 그런 다음에 하강시키면, 물품(20)을 선반 받이(62) 상에 내릴 수 있다. 이곳으로부터의 복귀는, 물품을 싣는 경우와 동일하다. 이동부(68)는 로컬 대차를 겸용할 수 없기 때문에, 예컨대 위로부터 2단째의 셀(37) 내로 궤도(8)를 연장시키고, 셀(37)을 통해 이동부(68)와 로컬 대차(4) 사이에서 물품(20)을 옮겨 싣는다.
도 6은 제 2 변형예를 나타낸 것이며, 특별히 지적하는 점 이외에는 도 5의 실시예와 동일하다. 버퍼(60')는 처리 장치(12, 12) 간의 틈새에 배치되어 있다. 그리고 버퍼(60')의 경우는, 도 3 및 도 4의 변형예와는 달리, 턴테이블이 불필요하다. 선반 받이(62)는 연직방향과 처리 장치(12, 12) 간의 안길이방향(도 6의 좌우방향)으로, 각각 복수 개씩 배치한다.
도 7은 제 3 실시예를 나타낸 것이며, 특별히 지적하는 점 이외에는 도 1 및 도 2의 실시예와 동일하다. 클린 룸의 통로 내의 천정 부근에, 궤도(8)와 평행하며 동일한 높이에, 버퍼(80)가 설치되어 있다. 버퍼(80)의 상단(上段)에 레일(26)이 설치되어, 로컬 대차(4)가 주행하며, 선반 받이를 구비하는 도시하지 않은 셀이 하단(下段)에 복수 설치되어, 물품(20)을 지지한다. 처리 장치(12)의 전면(前面)의 궤도(8)와 버퍼(80)를 접속하기 위해, 브리지(82)가 설치되어, 레일(26)을 구비하는 시프터(84)가 궤도(8)측과 버퍼(80)측 사이에서, 브리지(82) 내를 이동한다. 본 실시예에서는, 궤도(8)의 수직 하방의 버퍼와 버퍼(80)를 이용할 수 있으므로, 버퍼의 용량을 크게 할 수 있다. 특히 버퍼(80)에서는, 로드 포트(14) 때문에 버퍼를 설치할 수 없는 위치가 없기 때문에, 대용량이다.
실시예에 따르면, 이하의 효과를 얻을 수 있다.
1) 버퍼의 용량을 크게 할 수 있다.
2) 천정주행차(2)와의 반출입용 셀(40, 42, 54) 이외의, 셀(37) 등에 궤도(8)를 접속하면, 천정주행차(2)에 의한 물품의 반출입과, 로컬 대차(4)에 의한 로드 포트로의 반출입이 경합하지 않는다.
3) 또한, 천정주행차로부터의 물품의 반입용 셀(40)에 궤도(8)를 접속하더라도, 천정주행차(2)와 로컬 대차(4)와의 경합을 줄일 수 있다.
물품의 반출입은, 로드 포트에는 로컬 대차만이 물품을 반출입하고, 로컬 대차(4)와 천정주행차(2)가 버퍼를 통해 물품을 주고받는 예를 설명하였다. 그러나, 천정주행차(2)나 로컬 대차(4)도, 모두 버퍼와 로드 포트에 물품을 반출입하도록 해도 된다. 이 경우, 로드 포트(14)의 수직상방부에서는, 궤도(8)의 상부에 버퍼(35)를 설치하지 않도록 한다.
2 : 천정주행차
4 : 로컬 대차
6 : 천정주행차의 궤도
8 : 로컬 대차의 궤도
9 : 레일
10 : 버퍼
12 : 처리 장치
14 : 로드 포트
16 : 천정
18, 22 : 승강대
20 : 물품
24 : 서스펜딩 부재
26 : 레일
28 : 틈새
30 : 궤도
34 : 엘리베이터
35 : 버퍼
36 : 선반 받이
37 : 셀
38 : 레일
40 : 반입 셀
42 : 반출 셀
44 : 용기
45∼47 : 지지기둥
50 : 버퍼
52 : 턴테이블
54 : 반출입 셀
60 : 버퍼
62 : 선반 받이
64 : 승강 가이드
65 : 승강체
66 : 수평 가이드
68 : 이동부
70 : 포크
80 : 버퍼
82 : 브리지
84 : 시프터

Claims (8)

  1. 천정주행차와 로컬 대차가 모두 동일한 이재처(移載處, transfer destination)와의 사이에서 물품을 이재하는 반송 시스템으로서,
    천정주행차의 궤도와,
    천정주행차의 궤도의 수직 하방에 있는 로컬 대차의 궤도와,
    천정주행차의 궤도와 로컬 대차의 궤도의 쌍방의 수직 하방에 있는 이재처와,
    천정주행차의 궤도를 주행하는 동시에, 물품을 지지하면서 승강시키는 승강대를 가지는 천정주행차와,
    로컬 대차의 궤도를 주행하는 동시에, 물품을 지지하면서 승강시키는 승강대를 가지는 로컬 대차와,
    로컬 대차의 궤도의 수직 하방 이외에 설치되어, 상기 로컬 대차의 궤도와 접속되어, 상기 로컬 대차와의 사이에서 물품을 전달가능한 버퍼를 구비하며,
    상기 버퍼는,
    상기 천정주행차의 궤도의 하방에 설치되며, 버퍼의 최상단에 위치되어 천정주행차가 물품을 반출입하기 위한 반출입용 셀과,
    상기 반출입용 셀의 연직 하방에 있어서, 상방에서 볼 때 겹치는 위치에 설치된 물품을 수용하는 복수의 셀과,
    셀 사이에서 물품을 반송하기 위한 반송 수단을 구비하고,
    상기 버퍼에 있어서의, 상기 반출입용 셀을 제외한 셀 내에 로컬 대차의 궤도가 연장되어 들어가 있으며, 상기 로컬 대차는 상기 셀과 이재처와의 사이에서 물품을 반송하는, 반송 시스템.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 이재처는 물품을 처리하는 처리 장치의 로드 포트인 것을 특징으로 하는, 반송 시스템.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 복수의 셀은 상하방향과 수평방향을 따라 상기 버퍼 내에 배열되며, 또한 로컬 대차가 주행가능한 레일을 구비하며,
    버퍼는, 로컬 대차가 주행가능한 레일을 구비하는 엘리베이터를 가지며, 로컬 대차는 엘리베이터를 통해 셀 간을 이동가능하며,
    상기 반송 수단은, 셀의 레일과 엘리베이터와 로컬 대차로 이루어지는 것을 특징으로 하는, 반송 시스템.
  4. 제 2항에 있어서,
    상기 복수의 셀은 상하방향과 수평방향을 따라 상기 버퍼 내에 배열되며,
    버퍼는, 연직방향의 가이드를 따라 승강하는 수평인 가이드와, 상기 수평인 가이드를 따라 이동하는 포크를 구비하며,
    상기 반송 수단은, 상기 수평인 가이드와 상기 포크로 이루어지는 것을 특징으로 하는, 반송 시스템.
  5. 제 3항에 있어서,
    상기 로컬 대차의 궤도가 들어가 있는 셀은, 상기 반출입용 셀보다 하방의 셀인 것을 특징으로 하는, 반송 시스템.
  6. 제 4항에 있어서,
    상기 로컬 대차의 궤도가 들어가 있는 셀은, 상기 반출입용 셀보다 하방의 셀인 것을 특징으로 하는, 반송 시스템.
  7. 제 2항에 있어서,
    상기 로컬 대차의 궤도를 제 1 궤도로 하고, 상기 버퍼는, 상기 제 1 궤도와 평행하게 배치된 로컬 대차의 제 2 궤도와, 상기 제 2 궤도의 수직 하방에 설치된 셀을 구비하며, 또한 상기 제 1 궤도와 상기 제 2 궤도 사이에서 로컬 대차를 이동시키는 시프터를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는, 반송 시스템.
  8. 천정주행차의 궤도와,
    천정주행차의 궤도의 수직 하방에 있는 로컬 대차의 궤도와,
    천정주행차의 궤도와 로컬 대차의 궤도의 쌍방의 수직 하방에 있는 이재처와,
    천정주행차의 궤도를 주행하는 동시에, 물품을 지지하면서 승강시키는 승강대를 가지는 천정주행차와,
    로컬 대차의 궤도를 주행하는 동시에, 물품을 지지하면서 승강시키는 승강대를 가지는 로컬 대차를 구비하며,
    천정주행차와 로컬 대차가 모두 동일한 이재처와의 사이에서 물품을 이재하는, 반송 시스템을 위해,
    로컬 대차의 궤도의 수직 하방 이외의 위치에, 상기 로컬 대차의 궤도와 접속되어 상기 로컬 대차와의 사이에서 물품을 전달가능하며, 복수의 셀과, 버퍼 내에서의 물품의 반송 수단을 가지는 버퍼가 설치되고,
    천정주행차는, 상기 복수의 셀 중에서, 버퍼의 최상단에 위치된 물품 반출입용 셀과의 사이에서 물품을 반출입하고,
    버퍼 내의 반송 수단은 버퍼의 셀 사이에서 물품을 반송하며,
    상기 버퍼에 있어서의, 상기 물품 반출입용 셀을 제외한 셀 내에 로컬 대차의 궤도가 연장되어 들어가 있으며, 상기 로컬 대차는 상기 버퍼의 셀과 상기 이재처와의 사이에서 물품을 반송하는, 반송 시스템에서의 물품의 일시 보관 방법.
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