JP2007287877A - 搬送システム - Google Patents

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Abstract

【課題】大形物品用の搬送システムと小形物品用の搬送システムとの間で小形物品用の搬送システムを待たせることなく小形物品を搬送できる搬送システムを提供する。
【解決手段】 レチクルカセット18を搬送するコンベヤ4を設け、有軌道台車14のリフタ16でレチクルカセット18をリフトさせて、ダミーFOUP22の内部とコンベヤ4との間で受け渡しする。
【効果】 FOUP搬送用の搬送システムとレチクル搬送用の搬送システムを接続できる。
【選択図】 図1

Description

この発明は、レチクルカセットなどの小形物品を、半導体カセット(FOUP)などの大形物品の搬送システムで搬送するシステムに関する。
半導体工場等では、FOUPなどの大形物品の搬送システムと、レチクルカセットなどの小形物品の搬送システムとを別個に設ける例が多い。ここでレチクルは露光用のマスクで、例えばレチクルマガジンと露光装置との間で搬送される。ここで品種の変更などでレチクルマガジンに無いレチクルが必要になると、人手などでレチクルを搬送する必要が生じる。これはFOUPに比べて搬送量の少ないレチクルカセットの搬送システムは搬送ルートがベイ内などに限られ、長距離搬送ができるようにされていないからである。
この発明の課題は、大形物品用の搬送システムと小形物品用の搬送システムとの間で、小形物品を搬送することにある。
請求項2の発明での追加の課題は、小形物品の姿勢を変えずに、かつ比較的小さな開口から、容器とコンベヤとの間で小形物品を移載できるようにすることにある。
請求項3の発明での追加の課題は、小形物品用の搬送システムを待たせることを少なくすることにある。
この発明の搬送システムは、小形物品を搬送するための第1の搬送システムと、大形物品を搬送するための第2の搬送システムとの間で、小形物品を搬送するシステムであって、前記小形物品を収納するための、第2の搬送システムで搬送自在な容器であって、前記小形物品の出入りを許容する開口を備えたものを設けると共に、第1の搬送システム側と第2の搬送システム側との間で、前記小形物品を搬送するためのコンベヤと、第2の搬送システムとの間で前記容器を受け渡し自在なステーションと、該ステーションの前記容器と前記コンベヤとの間で、前記小形物品を受け渡しするための移載手段とを設け、該移載手段は、前記小形物品をリフトアップするための昇降手段と、リフトアップされた小形物品を前記開口を通して前記容器内と前記コンベヤとの間で移動させるための移動手段、とを備えたものであることを特徴とする。
好ましくは、前記容器の側面に前記開口を設けると共に、前記移載手段を、前記移動手段としてのレールにガイドされる台車と、前記昇降手段としての昇降台とで構成する。
また好ましくは、前記コンベヤを前記小形物品のバッファに兼用する。
この発明では、小形物品は、容器の開口を通じて移載手段により容器内とコンベヤとの間を移載される。この発明では、小形物品をリフトアップして移動させるので、プッシャーで押し込む場合などに比べ滑らかに移載できる。そして小形物品はコンベヤにより、移載手段と小形物品側の搬送システムとの間で搬送される。この発明では、小形物品を容器に収納して大形物品用の搬送システム(第2の搬送システム)で搬送できるので、小形物品用の搬送システム(第1の搬送システム)では物品を搬送できない区間を、大形物品用の搬送システムを利用して搬送できる。
請求項2の発明では、小形物品は昇降台によりリフトアップされて、台車の移動により容器の側面の開口から容器内とコンベヤとの間を移動する。台車で移動させるので、スカラアームなどを用いる場合に比べて、比較的狭い開口から小形物品を出し入れできる。また台車で移動させるので、スライドフォークなどを用いる場合に比べて、容器への載置位置やコンベヤへの載置位置が正確になる。
請求項3の発明では、コンベヤを小形物品のバッファに兼用するので、小形物品用の搬送システムを待たせることが少ない。例えば小形物品の搬送システムで先に小形物品が搬送されてきた場合、バッファに小形物品を収容すれば良く、また小形物品の搬送システムが遅れた場合、バッファで小形物品を待たせればよい。
以下に本発明を実施するための最適実施例を示す。
図1〜図7に、実施例の搬送システム2を示す。各図において、4はコンベヤで、レチクル側ステーション6とコンベヤユニット7並びにFOUP側ユニット8の、3種類のユニットから成り、各ユニット6〜8は独立して動作し、ユニット6〜8の単位でレチクルカセット18を1物品ずつ保持するバッファとして動作する。コンベヤ4のFOUP側ユニット8に接続してステーション10が設けられ、12はステーション10に設けた溝で、その内部を有軌道台車14が走行する。有軌道台車14は台車15とリフタ16とから成り、図4に示す走行レール34にガイドされて走行し、モータを搭載して自走しても、チェーンなどで牽引走行してもよい。リフタ16は昇降アーム17により昇降し、実施例ではリフタ16の走行方向中心部に昇降アーム17を設けているが、ステーション10とは反対側のコンベヤ4寄りに昇降アーム17を設けても良い。
レチクルカセット18は、半導体や液晶ディスプレイパネルなどの露光用のレチクルを収納したカセットで、搬送対象の小形物品はレチクルカセットに限らず、スパッタリング用のターゲットのカセットなどでも良い。レチクルカセット18の上部にはフランジ20を設けて、図4の天井走行車42で把持して搬送できるようにする。22はダミーFOUPで、ステーション10に載置されて、図4の天井走行車52でフランジ24を把持して搬送する。ダミーFOUP22の外形は、半導体ウェハの搬送用の正規のFOUPに類似である。半導体ウェハ搬送用の正規のFOUPが特許請求の範囲での大形物品の例で、ダミーFOUP22が小形物品を収納して搬送するための容器の例である。
搬送システム2の各コンベヤユニット6〜8並びに有軌道台車14は、制御部26により制御され、制御部26は通信部28を介して上位コントローラ30と通信する。そして上位コントローラ30は、第1の搬送システムのコントローラであるレチクル搬送車コントローラ32や、第2の搬送システムのコントローラであるFOUP搬送車コントローラ33と通信する。ここでは制御部26は、通信部28や上位コントローラ30を介して、コントローラ32,33と通信する。これ以外にレチクル側ステーション6やステーション10に、図4の天井走行車42,52と通信するための通信ユニットを設けて、天井走行車42,52とステーション6,10が直接通信しても良い。
図2に搬送システム2の制御系を示すと、有軌道台車14は台車15とリフタ16とから成り、コンベヤ4はFOUP側ユニット8と複数のコンベヤユニット7並びにレチクル側ステーション6から成り、ユニット7,8並びにステーション6がそれぞれ独立に動作することによってアキュムレーションコンベヤとして動作する。
図3に実施例の搬送システム2の使用環境を示すと、38はFOUP搬送システムで、特許請求の範囲での、大形物品を搬送するための第2の搬送システムの例である。FOUP搬送システム38は図4の天井走行車52を用いたシステムで構成され、複数のイントラベイルート38aと、イントラベイルート38a,38a間を接続するインターベイルート38bで構成され、天井走行車52は図3の矢印の走行方向で走行する。レチクル搬送システム36は、1つのベイ内で、レチクルマガジン39と図示しない露光装置との間で、レチクルをレチクルカセットに収納して搬送するシステムで、特許請求の範囲での、小形物品を搬送するための第1の搬送システムの例である。レチクル搬送システム36は、図4の天井走行車42を用いたシステムで構成され、天井走行車42は図3の矢印方向に周回走行し、異なるベイの間では、搬送システム2とFOUP搬送システム38を用いてレチクルカセットを搬送する。搬送システム36,38間には、実施例の搬送システム2を並列に少なくとも一対設けて、搬送システム2,2間でレチクルカセットの搬送方向を異ならせることが好ましい。
図4に移り、40,50は走行レールで、例えばクリーンルームの建屋などに支柱41,51により支持される。レチクル搬送用の天井走行車42は、走行台車44並びに走行レール40から給電を受ける給電台車45と、θドライブ47及びそれよりも下側の部分を走行レール40に対して横送りするための横送り部46を備えている。θドライブ47は、昇降駆動部48を水平面内で旋回させて、レチクルカセット18の姿勢を制御する。昇降駆動部48は、レチクルカセット18を把持した昇降台49を昇降させて、露光装置やレチクルマガジンのステーション、あるいはレチクル側ステーション6との間で、レチクルカセット18を受け渡す。なお横送り部46やθドライブ47は設けなくても良い。
FOUP搬送用の天井走行車52では、走行台車54が走行レール50内を走行し、給電台車55で給電を受け、横送り部56でθドライブ57及びそれよりも下側の部分を走行レール50に対して横方向に移動させる。θドライブ57は昇降駆動部58及びそれよりも下側の部分を水平面内で旋回させる。昇降台59は、ダミーFOUP22や半導体カセットを収納した正規のFOUPを、フランジ24の部分でチャックし、昇降駆動部58により昇降する。このようにして、ステーション10との間でダミーFOUP22の受け渡しを行う。
図5〜図7にダミーFOUP22の形状を示すと、その形状は半導体ウェハの搬送用のFOUPに類似であり、側面に開口60を設けると共に、底部に穴62を設けてある。レチクルカセット18は、ダミーFOUP22内の例えば4箇所に設けた台64上に載置される。なお台64間の隙間は、リフタの幅よりも広くしてある。
ダミーFOUP22とコンベヤとの間で、有軌道台車によりレチクルカセット18を移載する場合、昇降アーム17を上昇させてリフタ16をリフトアップし、これによってコンベヤ上もしくはダミーFOUP22内のレチクルカセット18をリフトアップする。そして昇降アームが穴62を通過し、リフタやレチクルカセットが開口60を通過して、ダミーFOUP22の内外へレチクルカセット18を移動させる。
実施例では、図4の昇降アーム17がリフタ16の走行方向中心部にあるため、ダミーFOUP22に穴62が必要である。しかし昇降アーム17をリフタ16のコンベヤ4寄りに設けると、穴62を設ける必要が無く、あるいは穴62の長さを短くできる。実施例では有軌道台車14をコンベヤ4の下側に配置したが、コンベヤ4の上側に走行レール34や有軌道台車14を設け、フランジ20を把持してリフトアップしながら、ダミーFOUP22の内外へレチクルカセット18を横移動させても良い。さらに有軌道台車14に代えて、スカラアームやスライドフォークを用いて、レチクルカセット18を移載しても良い。この場合も、スカラアームやスライドフォークを図示しないリフタに取り付け、スカラアームやスライドフォークでフランジ20を把持してリフトアップすると共に、横移動させる。但しスカラアームを用いると、ダミーFOUP22の開口60内をアームが通過できるように、開口60を広くする必要がある。またスライドフォークでは、レチクルカセット18を受け渡しする位置が、有軌道台車14やスカラアームに比べて不正確になりやすい。
実施例の動作を示す。FOUP搬送システム38側からレチクル搬送システム36側へレチクルカセット18を搬送する場合、レチクルカセットを収納したダミーFOUP22を天井走行車52からステーション10へ荷下ろしする。次いで有軌道台車14が図4の右側に走行し、昇降アーム17がダミーFOUP22の底面の穴62を通過し、リフタ16が開口60を通過して、リフタ16がダミーFOUP22の内部に進入する。ここでリフタ16をリフトアップさせることにより、レチクルカセット18を台64からリフタ16へ移し替える。その後、有軌道台車14を復帰させ、リフタ16を下降させると、コンベヤ4のFOUP側ユニット8へ、レチクルカセット18を受け渡しできる。コンベヤ4は複数のユニット7を備え、各ユニットをバッファとして、レチクル搬送システム36の天井走行車42へカセット18を移載するまでの間、コンベヤ4上でカセット18を待機させる。
レチクル搬送システム36からFOUP搬送システム38へ、レチクルカセット18を搬送する場合、コンベヤ4の各ユニット7をバッファとして、ステーション10に空のダミーFOUP22が到着するまでレチクルカセット18を待機させる。そしてFOUP側ユニット8上で、リフタ16をリフトアップさせてレチクルカセット18をピックアップし、有軌道台車14を図4の右側へ走行させて、リフタ16をダウンさせて、ダミーFOUP22の台64へレチクルカセット18を荷下ろしする。
実施例では以下の効果が得られる。
(1) レチクル搬送システム36,36間で、FOUP搬送システム38を用いてレチクルカセット18を搬送できる。
(2) 有軌道台車14を用いると、ダミーFOUP22に設けた比較的小さな開口60により、レチクルカセット18を簡単かつ正確に移載できる。
(3) コンベヤ4をレチクルカセット18のバッファとして利用できる。
実施例では小形物品の例としてレチクルカセット18を、大形物品の例としてFOUPを示したがこれに限るものではない。またレチクル搬送システム36やFOUP搬送システム38の種類は任意で、天井走行車のシステム以外に、有軌道台車のシステムや長距離コンベヤのシステム、スタッカークレーンのシステムなどとしてもよい。
実施例の搬送システムのレイアウトを模式的に示す平面図 実施例の搬送システムを制御面から見たブロック図 実施例の搬送システムの使用環境を模式的に示す平面図 実施例の搬送システムをFOUPステーション側を切り欠いて示す正面図 実施例で用いるレチクル搬送用ダミーFOUPの平面図 図5のダミーFOUPの正面図 図6のVII−VII方向断面図
符号の説明
2 搬送システム
4 コンベヤ
6 レチクル側ステーション
7 コンベヤユニット
8 FOUP側ユニット
10 ステーション
12 溝
14 有軌道台車
15 台車
16 リフタ
17 昇降アーム
18 レチクルカセット
20,24 フランジ
22 ダミーFOUP
26 制御部
28 通信部
30 上位コントローラ
32 レチクル搬送車コントローラ
33 FOUP搬送車コントローラ
34 走行レール
36 レチクル搬送システム
38 FOUP搬送システム
39 レチクルマガジン
40,50 走行レール
41,51 支柱
42,52 天井走行車
44,54 走行台車
45,55 給電台車
46,56 横送り部
47,57 θドライブ
48,58 昇降駆動部
49,59 昇降台
60 開口
62 穴
64 台

Claims (3)

  1. 小形物品を搬送するための第1の搬送システムと、大形物品を搬送するための第2の搬送システムとの間で、小形物品を搬送するシステムであって、
    前記小形物品を収納するための、第2の搬送システムで搬送自在な容器であって、前記小形物品の出入りを許容する開口を備えたものを設けると共に、
    第1の搬送システム側と第2の搬送システム側との間で、前記小形物品を搬送するためのコンベヤと、
    第2の搬送システムとの間で前記容器を受け渡し自在なステーションと、
    該ステーションの前記容器と前記コンベヤとの間で、前記小形物品を受け渡しするための移載手段とを設け、
    該移載手段は、前記小形物品をリフトアップするための昇降手段と、リフトアップされた小形物品を前記開口を通して前記容器内と前記コンベヤとの間で移動させるための移動手段、とを備えたものであることを特徴とする、搬送システム。
  2. 前記容器の側面に前記開口を設けると共に、前記移載手段を、前記移動手段としてのレールにガイドされる台車と、前記昇降手段としての昇降台とで構成したことを特徴とする、請求項1の搬送システム。
  3. 前記コンベヤを前記小形物品のバッファに兼用することを特徴とする、請求項1または2の搬送システム。
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