JP7224728B2 - 搬送システム - Google Patents

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Description

本発明は、加工装置に対して被加工物を搬送する搬送システムに関する。
電子機器等に組み込まれるデバイスチップの製造工程では、半導体ウェーハや樹脂パッケージ基板に代表される板状の被加工物が様々な加工装置によって加工される。この加工装置に対して被加工物を搬送する際には、通常、複数の被加工物を収容できる搬送用のカセットが用いられる。
ところで、カセットに複数の被加工物を収容して一度に加工装置へと搬送する上述の方法では、何らかの原因で加工装置が停止すると、カセットに収容されている未加工の被加工物を一律に待機させることになる。つまり、未加工の被加工物を他の加工装置で加工することもできなくなるので、加工の能率が大幅に低下する。
この問題を解消するには、例えば、加工装置の稼働状況に合わせて被加工物を１枚ずつ加工装置へと搬送すれば良い。そこで、複数の加工装置を搬送用の経路で繋ぎ、各加工装置に対して任意のタイミングで被加工物を搬送できる搬送システムが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
特開平６－１７７２４４号公報
しかしながら、各加工装置の側面には、配管が接続される配管接続部やメンテナンス用の扉等が設けられており、上述した搬送システムを構築する際には、これらと干渉しないように搬送用の経路を設計する必要がある。そのため、搬送システムの構築は必ずしも容易でなく、また、搬送用の経路も長くなりがちであった。
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、複数の加工装置のそれぞれに対して被加工物を搬送でき、構築も容易な搬送システムを提供することである。
本発明の一態様によれば、複数の加工装置のそれぞれに対して被加工物を搬送する搬送システムであって、複数の該加工装置に渡って該加工装置の真上の空間に設置される搬送通路と、該被加工物を収容する収容空間を有する収容部、該収容部を格納する格納空間を有する走行部、該走行部に設けられた走行機構、該走行部に配置され該収容部を上方から吊り下げて昇降させる昇降機構、及び制御信号を受信する受信機を備え、該搬送通路を走行する無人搬送車と、該被加工物が収容された被加工物ストッカーから該無人搬送車の該収容部に対して該被加工物を受け渡す際に該収容部を保持する収容部保持台、及び制御信号を受信する受信機を備えるストックユニットと、該加工装置、該無人搬送車、及び該ストックユニットに制御信号を送信する送信機、該加工装置から送信される通知信号を受信する受信機、及び該送信機から送信される制御信号を生成する制御信号生成部を備える制御ユニットと、を含み、該制御ユニットの該制御信号生成部は、該制御ユニットの該受信機が受信した通知信号に基づき該制御ユニットの該送信機から送信される制御信号を生成し、該制御ユニットの該送信機は、該制御ユニットの該制御信号生成部で生成された制御信号を、該加工装置、該無人搬送車、及び該ストックユニットに送信し、該無人搬送車は、該受信機で受信した制御信号に基づき、該収容部を該格納空間に格納した状態で該搬送通路を走行し、該搬送通路の該加工装置の上方に相当する第１停車領域、又は該搬送通路の該ストックユニットの上方に相当する第２停車領域で停車すると、該収容部を昇降させて、該第１停車領域と該加工装置の内部との間、又は該第２停車領域と該ストックユニットの該収容部保持台との間で該収容部を搬送する搬送システムが提供される。
この搬送システムにおいて、該搬送通路は、該加工装置の上面に設置されることが好ましい。
本発明の一態様に係る搬送システムは、複数の加工装置に渡って設置される搬送通路と、被加工物を収容する収容空間を有する収容部、収容部を格納する格納空間を有する走行部、走行部に設けられた走行機構、走行部に配置され収容部を上方から吊り下げて昇降させる昇降機構、及び制御信号を受信する受信機を備え、搬送通路を走行する無人搬送車と、被加工物が収容された被加工物ストッカーから無人搬送車の収容部に対して被加工物を受け渡す際に収容部を保持する収容部保持台、及び制御信号を受信する受信機を備えるストックユニットと、を含んでいる。
そのため、無人搬送車は、収容部を格納空間に格納した状態で搬送通路を走行できる。また、無人搬送車は、搬送通路の加工装置の上方に相当する第１停車領域、又は搬送通路のストックユニットの上方に相当する第２停車領域で停車して、収容部を昇降させることにより、第１停車領域と加工装置の内部との間、又は第２停車領域とストックユニットの収容部保持台との間で収容部を搬送できる。
また、本発明の一態様に係る搬送システムでは、搬送通路が、加工装置の真上の空間に設置される。そのため、この搬送通路を設計する際に各加工装置の側面の構造を考慮する必要がない。すなわち、搬送システムの構築が容易になる。
実施形態１に係る搬送システムの構成例を示す平面図である。 実施形態１に係る搬送システムの接続関係の例を示す機能ブロック図である。 実施形態１に係るストックユニットの構成例を模式的に示す側面図である。 図４（Ａ）は、実施形態１に係る無人被加工物搬送車の構成例を示す斜視図であり、図４（Ｂ）は、無人被加工物搬送車の収容部を昇降させる様子を示す斜視図である。 実施形態１に係る切削装置や搬送通路等の外観を示す斜視図である。 切削装置の構成例を示す斜視図である。 切削装置に搬送通路が設置される様子を示す斜視図である。 図８（Ａ）、図８（Ｂ）、及び図８（Ｃ）は、通路モジュールの構成例を示す平面図である。 通路モジュールから搬送通路が形成される様子を示す斜視図である。 図１０（Ａ）、及び図１０（Ｂ）は、通路モジュールが連結される様子を示す断面図である。 通路モジュールの構成例を示す底面図である。 図１２（Ａ）は、無人被加工物搬送車を開口の直上に移動させる際の様子をＹ軸方向から見た一部断面側面図であり、図１２（Ｂ）は、収容部を下降させる際の様子をＹ軸方向から見た一部断面側面図である。 図１３（Ａ）は、図１２（Ａ）に示す状態をＸ軸方向から見た一部断面側面図であり、図１３（Ｂ）は、図１２（Ｂ）に示す状態をＸ軸方向から見た一部断面側面図である。 実施形態１に係る搬送システムの制御方法の例を説明するための機能ブロック図である。 実施形態２に係る無人被加工物搬送車の構成例を示す斜視図である。 図１６（Ａ）は、無人被加工物搬送車を開口の直上に移動させる際の様子をＺ軸方向から見た平面図であり、図１６（Ｂ）は、収容部を下降させる際の様子をＺ軸方向から見た平面図である。 図１７（Ａ）は、図１６（Ａ）に示す状態をＸ軸方向から見た一部断面側面図であり、図１７（Ｂ）は、図１６（Ｂ）に示す状態をＸ軸方向から見た一部断面側面図である。 実施形態３に係るストックユニットの構成例を模式的に示す側面図である。 実施形態３に係るストックユニットの内部の構造を模式的に示す平面図である。 実施形態３に係るストックユニットの第１仮置き台と第２仮置き台とを第２方向に移動させて、第１仮置き台の位置と第２仮置き台の位置とを入れ替える様子を模式的に示す側面図である。 図２１（Ａ）及び図２１（Ｂ）は、実施形態３に係るストックユニットの動作の例を示す模式的に示す平面図である。 図２２（Ａ）及び図２２（Ｂ）は、実施形態３に係るストックユニットの動作の例を示す模式的に示す平面図である。
添付図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。なお、以下の各実施形態では、複数の切削装置に対して被加工物等を搬送する搬送システムについて説明するが、本発明の搬送システムは、複数の加工装置に対して被加工物等を搬送できるように構成されていれば良い。すなわち、被加工物等の搬送先は、切削装置以外の加工装置でも良い。
例えば、本発明の搬送システムは、複数のレーザー加工装置に対して被加工物を搬送できるように構成されることがある。また、本発明の搬送システムは、例えば、一連の加工に使用される複数の種類の加工装置に対して順に被加工物を搬送できるように構成されることもある。なお、本明細書では、被加工物を加工するための一連の工程で用いられ得る全ての装置を加工装置と表現する。つまり、本発明の加工装置には、必ずしも被加工物の加工を目的としないテープ貼付装置、紫外線照射装置、洗浄装置等が含まれる。
（実施形態１）
図１は、本実施形態に係る搬送システム２の構成例を示す平面図であり、図２は、搬送システム２の接続関係の例を示す機能ブロック図である。図１に示すように、本実施形態に係る搬送システム２は、切削装置（加工装置）４によって加工される板状の被加工物１１（図４（Ａ）、図４（Ｂ）等参照）を搬送するための搬送通路６を含んでいる。
被加工物１１は、例えば、シリコン等の半導体材料でなる円盤状のウェーハである。この被加工物１１の表面側は、互いに交差する複数の分割予定ライン（ストリート）によって複数の小領域に区画されており、各小領域には、ＩＣ（Integrated Circuit）、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）等のデバイスが形成されている。
被加工物１１の裏面側には、被加工物１１よりも径の大きいテープ（ダイシングテープ）１３が貼付されている。テープ１３の外周部分は、被加工物１１を囲む環状のフレーム１５に固定されている。被加工物１１は、このテープ１３を介してフレーム１５に支持された状態で切削装置４へと搬送される。
なお、本実施形態では、シリコン等の半導体材料でなる円盤状のウェーハを被加工物１１としているが、被加工物１１の材質、形状、構造、大きさ等に制限はない。例えば、他の半導体、セラミックス、樹脂、金属等の材料でなる基板等を被加工物１１として用いることもできる。
同様に、デバイスの種類、数量、形状、構造、大きさ、配置等にも制限はない。被加工物１１には、デバイスが形成されていなくても良い。更に、本実施形態では、テープ１３を介してフレーム１５に支持された状態の被加工物１１を搬送の対象としているが、テープ１３が貼付されていない被加工物１１や、フレーム１５に支持されていない被加工物１１等が搬送の対象となることもある。
また、この被加工物１１を加工する切削装置４は、被加工物１１の搬送先として搬送システム２に接続されているが、必ずしも搬送システム２の構成要素ではない。よって、切削装置４は、上述のように、搬送システム２の使用の態様に合わせて変更、省略されても良い。
そして、図１では、説明の便宜上、１台の切削装置４ａのみを示し、図２では、２台の切削装置４ａ，４ｂを示しているが、本実施形態では、被加工物１１の搬送先として、２台以上の切削装置４が必要になる。すなわち、搬送システム２に接続される加工装置の台数は、２台以上である。
搬送通路６は、各切削装置４に対して被加工物１１を搬送できるように、複数の切削装置４に渡って設置される。すなわち、複数の切削装置４は、搬送通路６を介して互いに連結されている。また、搬送通路６は、切削装置４の真上の空間に設けられている。そのため、各切削装置４の側面に接続される配管２１等に対して搬送通路６が干渉することはない。
搬送通路６の下方には、切削装置４の他に、複数の被加工物１１を収容できるストックユニット８が設けられている。ストックユニット８に収容されている被加工物１１は、任意のタイミングで無人被加工物搬送車（無人搬送車）１０へと搬入される。無人被加工物搬送車１０は、搬送通路６上を走行して被加工物１１を各切削装置４へと搬送する。なお、図１では、３台の無人被加工物搬送車１０ａ，１０ｂ，１０ｃを示し、図２では、２台の無人被加工物搬送車１０ａ，１０ｂを示しているが、無人被加工物搬送車１０の台数に制限はない。
図２に示すように、切削装置４、ストックユニット８、無人被加工物搬送車１０には、これらの動作を制御する制御ユニット１２が無線で接続されている。ただし、制御ユニット１２は、切削装置４、ストックユニット８、無人被加工物搬送車１０の動作を制御できるように構成されていれば良く、これらに対して有線で接続されることもある。
図３は、ストックユニット８の構成例を模式的に示す側面図である。図３に示すように、ストックユニット８は、各種の構成要素を収容する筐体１６を含む。なお、この図３では、説明の便宜上、筐体１６の輪郭のみが示されている。
筐体１６内には、例えば、ボールねじ式の第１昇降機構（不図示）によって昇降するカセット保持台１８が設けられている。カセット保持台１８の上面には、複数の被加工物１１を収容できるカセット（被加工物ストッカー）２０が載せられる。なお、このカセット２０は、上述のように、テープ１３を介してフレーム１５に支持された状態の被加工物１１を収容する。
カセット保持台１８の側方には、フレーム１５を把持して移動できるプッシュプルアーム２２が配置されている。例えば、カセット２０に収容されているフレーム１５の高さを第１昇降機構でプッシュプルアーム２２の高さに合わせ、このプッシュプルアーム２２によってカセット２０内のフレーム１５を把持すれば、フレーム１５をカセット２０の外部へと引き出せる。
プッシュプルアーム２２を挟む位置には、互いに平行な状態を維持しながら接近、離隔される一対のガイドレール２４が設けられている。各ガイドレール２４は、フレーム１５を下方から支持する支持面と、支持面に概ね垂直な側面とを備え、プッシュプルアーム２２によってカセット２０から引き出されたフレーム１５を挟み込んで所定の位置に合わせる。
プッシュプルアーム２２及び一対のガイドレール２４の更に側方には、例えば、ボールねじ式の第２昇降機構（不図示）によって昇降する収容部保持台２６が設けられている。この収容部保持台２６の上面には、被加工物１１（フレーム１５）を収容できる無人被加工物搬送車１０の収容部３８（図４（Ａ）、図４（Ｂ）等参照）が載せられる。
一対のガイドレール２４によって所定の位置に合わせられたフレーム１５は、プッシュプルアーム２２によって再び把持され、第２昇降機構によって高さが調整された収容部保持台２６上の収容部３８に側方から挿入される。なお、収容部保持台２６の上面には、収容部３８の位置を規定する位置規定部（不図示）が設けられている。よって、被加工物１１が収容されたカセット２０から無人被加工物搬送車１０の収容部３８に被加工物１１を受け渡す際には、収容部３８は、収容部保持台２６上の位置規定部によって決まる所定の位置に位置付けられる。
収容部保持台２６の直上の領域には、筐体１６の天井１６ａを上下に貫通する開口１６ｂが設けられている。この開口１６ｂは、少なくとも、収容部保持台２６に載せられる無人被加工物搬送車１０の収容部３８を通過できる形状、大きさに形成されている。収容部３８は、この開口１６ｂを通じて筐体１６の外部から内部へと搬送され、又は、この開口１６ｂを通じて筐体１６の内部から外部へと搬送される。
第１昇降機構、プッシュプルアーム２２、一対のガイドレール２４、第２昇降機構等の構成要素には、ストックユニット８の動作を制御するための制御装置３２が接続されている。制御装置３２は、代表的には、ＣＰＵ（Central Processing Unit）等の処理装置や、フラッシュメモリ等の記憶装置を含むコンピュータによって構成される。記憶装置に記憶されるソフトウェアに従い処理装置等を動作させることによって、制御装置３２の機能が実現されている。
制御装置３２には、更に、搬送システム２の制御ユニット１２から送信される制御用の信号（制御信号）を受信する受信機３４と、制御ユニット１２に対して通知用の信号（通知信号）を送信する送信機３６とが接続されている。制御装置３２は、受信機３４で受信した信号に基づきストックユニット８の動作を制御する。また、制御装置３２は、送信機３６を通じて必要な信号を制御ユニット１２に送信する。
図４（Ａ）は、無人被加工物搬送車１０の構成例を示す斜視図であり、図４（Ｂ）は、無人被加工物搬送車１０の収容部３８を昇降させる様子を示す斜視図である。図４（Ａ）及び図４（Ｂ）に示すように、無人被加工物搬送車１０は、例えば、直方体状のシャシ（走行部）３７を含む。シャシ３７には、その下面３７ａ（図１３（Ａ）等参照）で開口する凹部３７ｂ（図１３（Ａ）等参照）が設けられている。
凹部３７ｂの内側の空間（格納空間）３７ｃには、例えば、１枚の被加工物１１（及びフレーム１５）を収容できるように構成された直方体状の収容部３８が格納される。凹部３７ｂの開口３７ｄは、この収容部３８を通過させることのできる大きさに形成されている。
収容部３８の内部には、被加工物１１（及びフレーム１５）を収容するための空間（収容空間）３８ａが形成されている。収容部３８の一対の側面３８ｂには、それぞれ、被加工物１１（及びフレーム１５）を通過させることのできる大きさの開口３８ｃが設けられており、収容部３８の空間３８ａは、この開口３８ｃを介して外部に接続される。よって、被加工物１１（及びフレーム１５）は、開口３８ｃを通じて収容部３８の空間３８ａに搬入され、また、開口３８ｃを通じて収容部３８の空間３８ａから搬出される。
シャシ３７の互いに平行な一対の側面３７ｅには、それぞれ、この側面３７ｅに対して概ね垂直な回転軸を持つ２個の車輪（走行機構）３９が設けられている。すなわち、無人被加工物搬送車１０は、合計で４個の車輪３９を有している。各車輪３９は、モータ等の回転駆動源に連結されており回転する。
この車輪３９を回転駆動源によって回転させることで、無人被加工物搬送車１０（シャシ３７）は、搬送通路６上を走行する。なお、車輪３９としては、傾斜した樽状（筒状）の複数の回転体が搬送通路６と接触する外周面に取り付けられた、いわゆるメカナムホイール等を用いると良い。この場合、各車輪３９の回転量を調整するだけで、無人被加工物搬送車１０を任意の方向に移動させることができるようになる。
シャシ３７と収容部３８とは、凹部３７ｂの内側の空間３７ｃに配置される複数（本実施形態では、４個）の昇降機構４０を介して互いに連結されている。各昇降機構４０は、ワイヤ４０ａと、ワイヤ４０ａを巻き取るためのウインチ４０ｂ（図１３（Ａ）等参照）と、を含み、収容部３８を上方から吊り下げて昇降させることができる。
具体的には、ウインチ４０ｂは、例えば、凹部３７ｂの底に相当する上面３７ｆに固定されており、ワイヤ４０ａの基端部と接続される。ワイヤ４０ａの先端部は、収容部３８の上面３８ｄに接続されている。そのため、ワイヤ４０ａを引き出すようにウインチ４０ｂを動作させれば、図４（Ｂ）に示すように、収容部３８を下降させて空間３７ｃから搬出できる。また、このワイヤ４０ａを巻き取るようにウインチ４０ｂを動作させれば、収容部３８を上昇させて空間３７ｃに格納できる。
シャシ３７の内部には、無人被加工物搬送車１０の動作を制御する制御装置４２が設けられている。制御装置４２は、代表的には、ＣＰＵ等の処理装置や、フラッシュメモリ等の記憶装置を含むコンピュータによって構成される。記憶装置に記憶されるソフトウェアに従い処理装置等を動作させることによって、制御装置４２の機能が実現されている。
この制御装置４２には、搬送システム２の制御ユニット１２から送信される制御用の信号（制御信号）を受信する受信機４４と、制御ユニット１２に対して通知用の信号（通知信号）を送信する送信機４６とが接続されている。制御装置４２は、受信機４４で受信した信号に基づき無人被加工物搬送車１０の動作を制御する。また、制御装置４２は、送信機４６を通じて必要な信号を制御ユニット１２に送信する。
上述した回転駆動源、昇降機構４０（ウインチ４０ｂ）、制御装置４２、受信機４４、送信機４６等の構成要素には、例えば、二次電池が接続されており、この二次電池から供給される電力によって、無人被加工物搬送車１０の各構成要素が動作する。二次電池への給電（充電）は、非接触（ワイヤレス、無接点）方式で行われることが望ましいが、接触方式で行われても良い。
図５は、切削装置４や搬送通路６等の外観を示す斜視図であり、図６は、切削装置４の構成例を示す斜視図である。図５及び図６に示すように、切削装置４は、各構成要素を支持する基台４８を備えている。基台４８の角部には、開口４８ａが形成されており、この開口４８ａには、昇降機構（不図示）によって昇降する収容部保持台５０が設けられている。
この収容部保持台５０の上面には、上述した無人被加工物搬送車１０の収容部３８が載せられる。なお、収容部保持台５０の上面には、収容部３８の位置を規定する位置規定部（不図示）が設けられており、収容部保持台５０上の収容部３８は、位置規定部によって決まる所定の位置に位置付けられる。
図６に示すように、開口４８ａの側方には、Ｘ軸方向（前後方向、加工送り方向）に長い開口４８ｂが形成されている。開口４８ｂ内には、ボールねじ式のＸ軸移動機構（加工送りユニット）５２と、Ｘ軸移動機構５２の上部を覆う防塵防滴カバー５４とが配置されている。Ｘ軸移動機構５２は、Ｘ軸移動テーブル５２ａを備えており、このＸ軸移動テーブル５２ａをＸ軸方向に移動させる。
Ｘ軸移動テーブル５２ａ上には、被加工物１１を吸引、保持するチャックテーブル（保持テーブル）５６が設けられている。チャックテーブル５６は、モータ等の回転駆動源（不図示）に連結されており、Ｚ軸方向（鉛直方向、切り込み送り方向）に概ね平行な回転軸の周りに回転する。また、チャックテーブル５６は、上述したＸ軸移動機構５２によってＸ軸方向に移動する（加工送り）。
チャックテーブル５６の上面は、被加工物１１を保持するための保持面５６ａになっている。保持面５６ａは、チャックテーブル５６の内部に形成された吸引路（不図示）等を介して吸引源（不図示）に接続されている。また、チャックテーブル５６の周囲には、被加工物１１を支持するフレーム１５を四方から固定するための４個のクランプ５８が設けられている。
開口４８ｂの上方には、Ｙ軸方向（左右方向、割り出し送り方向）に平行な状態を維持しながら接近、離隔される一対のガイドレール（仮置き領域）６０が設けられている。一対のガイドレール６０は、それぞれ、フレーム１５を下方から支持する支持面と、支持面に概ね垂直な側面とを備え、収容部３８から引き出されたフレーム１５をＸ軸方向において挟み込んで所定の位置に合わせる。
基台４８の上方には、門型の第１支持構造６２が開口４８ｂを跨ぐように配置されている。第１支持構造６２の前面（ガイドレール６０側の面）には、Ｙ軸方向に沿う第１レール６４が固定されており、この第１レール６４には、第１移動機構６６等を介して第１保持ユニット６８が連結されている。
第１保持ユニット６８は、例えば、フレーム１５の上面に接触してこのフレーム１５を吸着、保持し、第１移動機構６６によって昇降するとともに、第１レール６４に沿ってＹ軸方向に移動する。第１保持ユニット６８の開口４８ａ側には、フレーム１５を把持するための把持機構６８ａが設けられている。
例えば、把持機構６８ａでフレーム１５を把持して第１保持ユニット６８をＹ軸方向に移動させれば、収容部３８内のフレーム１５を一対のガイドレール６０に引き出し、又は、一対のガイドレール６０上のフレーム１５を収容部３８に挿入できる。なお、一対のガイドレール６０でフレーム１５の位置を合わせた後には、第１保持ユニット６８でこのフレーム１５（被加工物１１）を吸着、保持してチャックテーブル５６へと搬入する。
また、第１支持構造６２の前面には、Ｙ軸方向に沿う第２レール７０が第１レール６４の上方に固定されている。この第２レール７０には、第２移動機構７２等を介して第２保持ユニット７４が連結されている。第２保持ユニット７４は、例えば、フレーム１５の上面に接触してこのフレーム１５を吸着、保持し、第２移動機構７２によって昇降するとともに、第２レール７０に沿ってＹ軸方向に移動する。
第１支持構造６２の後方には、門型の第２支持構造７６が配置されている。第２支持構造７６の前面（第１支持構造６２側の面）には、それぞれＹ軸Ｚ軸移動機構（割り出し送りユニット、切り込み送りユニット）７８を介して２組の切削ユニット（加工ユニット）８０が設けられている。各切削ユニット８０は、対応するＹ軸Ｚ軸移動機構７８によってＹ軸方向に移動する（割り出し送り）とともに、Ｚ軸方向に移動する（切り込み送り）。
各切削ユニット８０は、Ｙ軸方向に概ね平行な回転軸となるスピンドル（不図示）を備えている。各スピンドルの一端側には、円環状の切削ブレード８２が装着されている。各スピンドルの他端側には、モータ等の回転駆動源（不図示）が連結されている。また、切削ブレード８２の傍には、被加工物１１や切削ブレード８２に純水等の切削液を供給するためのノズルが配置されている。
このノズルから切削液を供給しながら、回転させた切削ブレード８２をチャックテーブル５６に保持された被加工物１１に切り込ませることで、被加工物１１を切削できる。切削ユニット８０に隣接する位置には、チャックテーブル５６に保持された被加工物１１等を撮像するための撮像ユニット（カメラ）８４が設けられている。この撮像ユニット８４も、Ｙ軸Ｚ軸移動機構７８によってＹ軸方向に移動するとともに、Ｚ軸方向に移動する。
開口４８ｂに対して開口４８ａと反対側の位置には、洗浄ユニット８６が配置されている。洗浄ユニット８６は、筒状の洗浄空間内で被加工物１１を吸引、保持するスピンナテーブル８８を備えている。スピンナテーブル８８の下部には、スピンナテーブル８８を所定の速さで回転させる回転駆動源（不図示）が連結されている。
スピンナテーブル８８の上方には、スピンナテーブル８８により保持された被加工物１１に向けて洗浄用の流体（代表的には、水とエアーとを混合した混合流体）を噴射する噴射ノズル９０が配置されている。被加工物１１を保持したスピンナテーブル８８を回転させて、噴射ノズル９０から洗浄用の流体を噴射することで、被加工物１１を洗浄できる。
切削ユニット８０で被加工物１１を切削した後には、例えば、第２保持ユニット７４でフレーム１５を吸着、保持して洗浄ユニット８６へと搬入する。洗浄ユニット８６で被加工物１１を洗浄した後には、例えば、第１保持ユニット６８でフレーム１５を吸着、保持して一対のガイドレール６０に載せ、その後、このフレーム１５を把持機構６８ａで把持して収容部３８に収容する。
図５に示すように、基台４８の上面側は、カバー９２によって覆われており、上述した各構成要素は、カバー９２の内側に収容される。開口４８ａの直上の領域には、カバー９２の天井９２ａを上下に貫通する開口９２ｂ（図７参照）が設けられている。無人被加工物搬送車１０の収容部３８は、この開口９２ｂを通じてカバー９２の外部から内部へと搬送され、又は、この開口９２ｂを通じてカバー９２の内部から外部へと搬送される。開口９２ｂの形状や大きさに特段の制限はないが、この開口９２ｂは、少なくとも収容部３８を通過できるように構成される必要がある。
上述した切削装置４の各構成要素は、制御装置９６に接続されている（図５）。制御装置９６は、代表的には、ＣＰＵ等の処理装置や、フラッシュメモリ等の記憶装置を含むコンピュータによって構成される。記憶装置に記憶されるソフトウェアに従い処理装置等を動作させることによって、制御装置９６の機能が実現されている。
制御装置９６には、搬送システム２の制御ユニット１２から送信される制御用の信号（制御信号）を受信する受信機９８と、制御ユニット１２に対して通知用の信号（通知信号）を送信する送信機１００と、が更に接続されている。制御装置９６は、例えば、受信機９８で受信した信号等に基づき、上述した切削装置４の各構成要素を制御する。
基台４８の側壁には、各種の配管２１を接続する配管接続部４８ｃ（図５）が設けられている。また、カバー９２の側壁には、メンテナンス等の際に開閉される扉９２ｃ（図５）が設けられている。更に、カバー９２の側壁には、操作パネル（不図示）やディスプレイ（不図示）等が設けられていても良い。
図７は、切削装置４に搬送システム２の搬送通路６が設置される様子を示す斜視図である。図７等に示すように、本実施形態に係る搬送システム２の搬送通路６は、切削装置４が備えるカバー９２の天井９２ａの上面側に装着される。すなわち、搬送通路６は、切削装置４の真上の空間に設置される。
これにより、切削装置４の側面に設けられている配管接続部４８ｃや扉９２ｃ等の構造に対して、搬送通路６が干渉することはなくなる。つまり、搬送通路６を設計する際に、切削装置４の側面の構造を考慮する必要がない。そのため、搬送システム２の構築が容易になる。
図８（Ａ）は、搬送通路６に使用される通路モジュール６ａの構成例を示す平面図であり、図８（Ｂ）は、通路モジュール６ｂの構成例を示す平面図であり、図８（Ｃ）は、通路モジュール６ｃの構成例を示す平面図である。搬送通路６は、例えば、図８（Ａ）、図８（Ｂ）、及び図８（Ｃ）に示す複数の通路モジュール６ａ，６ｂ，６ｃを組み合わせて構成される。
各通路モジュール６ａ，６ｂ，６ｃは、それぞれ、無人被加工物搬送車１０の走行に適した平坦性の高い上面を持つ通路部１０２と、通路部１０２の幅方向の端に設けられこの通路部１０２に沿うガイド部１０４と、を含む。ガイド部１０４の上端の通路部１０２からの高さは、例えば、無人被加工物搬送車１０の車輪３９の高さよりも高くなっている。これにより、通路部１０２を走行する無人被加工物搬送車１０が通路部１０２から脱落するのを防止できる。
図８（Ａ）の通路モジュール６ａは、無人被加工物搬送車１０を待機させるための待機部１０６を更に有しており、例えば、切削装置４やストックユニット８等の直上に設置される。この待機部１０６には、収容部３８を通過させることのできる大きさの開口１０６ａが設けられている。通路モジュール６ａが適切に設置された状態で、開口１０６ａは、切削装置４の開口９２ｂやストックユニット８の開口１６ｂの直上に位置付けられる。
一方で、図８（Ｂ）の通路モジュール６ｂは、直線状に形成されており、図８（Ｃ）の通路モジュール６ｃは、曲がり角に適した直角状に形成されている。通路モジュール６ｂ，６ｃは、例えば、隣接する２つの通路モジュール６ａの間を繋ぐために用いられる。
ただし、搬送通路６を構成する通路モジュールの種類、数量、配置（接続の関係）等に制限はない。例えば、２つの通路モジュール６ａの間を、更に別の通路モジュール６ａで繋いでも良い。また、例えば、直角状の通路モジュール６ｃの代わりに、円弧状（曲線状）の通路モジュールを用いることもできる。通路モジュール６ａの待機部１０６等には、無人被加工物搬送車１０の二次電池に給電する給電設備（充電器）を設けても良い。
図９は、通路モジュール６ａ及び通路モジュール６ｂから搬送通路６が形成される様子を示す斜視図である。図１０（Ａ）、及び図１０（Ｂ）は、通路モジュール６ａ及び通路モジュール６ｂが連結される様子を示す断面図である。また、図１１は、通路モジュール６ｂの構成例を示す底面図である。
図９に示すように、通路部１０２の下面の長さ方向の端部（搬送通路６に沿う方向の端部）には、断面がＬ字状の一対のアングル（ブラケット）１０８が設けられている。各アングル１０８は、概ね水平な支持面１０８ａと、支持面１０８ａに対して概ね垂直な側面１０８ｂとを備え、各アングル１０８の長手方向が搬送通路６に沿うように通路部１０２の下面に固定される。
通路モジュール６ａと通路モジュール６ｂとを連結する際には、まず、図１０（Ａ）に示すように、通路モジュール６ａを構成する通路部１０２の長手方向の端部と、通路モジュール６ｂを構成する通路部１０２の長手方向の端部とを十分に近付ける。そして、図１０（Ｂ）に示すように、通路モジュール６ａを構成する通路部１０２に設けられているアングル１０８と、通路モジュール６ｂを構成する通路部１０２に設けられているアングル１０８と、に連結具１１０を挿入する。
連結具１１０は、例えば、通路モジュール６ａのアングル１０８の長さと通路モジュール６ｂのアングル１０８の長さとを合わせた長さよりも長いロッド部１１０ａと、ロッド部１１０ａの両端に設けられ中央に開口を有するリング部１１０ｂと、を含んでいる。アングル１０８には、この連結具１１０のロッド部１１０ａが挿入される。
アングル１０８にロッド部１１０ａを挿入した後には、リング部１１０ｂの開口を通じて通路部１０２の下面側のボルト孔（不図示）にボルト１１２を締め込む。これにより、連結具１１０を介して通路モジュール６ａと通路モジュール６ｂとを連結できる。なお、通路モジュール６ｃも、同様の手順で他の通路モジュール（通路モジュール６ａや通路モジュール６ｂ等）に連結される。
切削装置４に対する通路モジュール６ａ，６ｂ，６ｃの装着は、例えば、図９、図１１等に示す脚部材１１４を介して行われる。脚部材１１４は、板状の基部１１４ａと、基部１１４ａの一方側の面の中央付近から突出する柱状の柱部１１４ｂと、柱部１１４ｂの先端に装着された吸盤状の吸着部１１４ｃ（図１１）と、を含んでいる。
基部１１４ａの柱部１１４ｂと重ならない領域には、この基部１１４ａを厚み方向に貫通する４個の開口１１４ｄが形成されている。また、通路モジュール６ａ，６ｂ，６ｃを構成する通路部１０２の下面には、各開口１１４ｄに対応するボルト孔１０２ａ（図１１）が形成されている。
そのため、基部１１４ａの他方側の面を通路部１０２の下面に接触させ、開口１１４ｄを通じてボルト孔１０２ａにボルト１１６を締め込めば、通路モジュール６ａ，６ｂ，６ｃに脚部材１１４を固定できる。なお、開口１１４ｄ及びボルト孔１０２ａの数量や配置等に制限はない。
図１１に示すように、本実施形態の通路モジュール６ｂには、通路部１０２の下面の複数の領域のそれぞれに基部１１４ａの４個の開口１１４ｄに対応する４個のボルト孔１０２ａが形成されており、任意の領域に脚部材１１４を装着できる。他の通路モジュール６ａ，６ｃについても同様である。
すなわち、脚部材１１４は、通路部１０２の下面の複数の領域から選択されたいずれかの領域に装着される。なお、各通路モジュール６ａ，６ｂ，６ｃには、複数の脚部材１１４を装着することが望ましい。これにより、切削装置４に対する搬送通路６の位置が安定し易くなる。
切削装置４に対して通路モジュール６ａ，６ｂ，６ｃを装着する際には、例えば、切削装置４のカバー９２に対して通路モジュール６ａ，６ｂ，６ｃの位置を合わせ、図７に示すように、脚部材１１４の吸着部１１４ｃをカバー９２の天井９２ａの上面に押し当てる。これにより、カバー９２の天井９２ａの上面に吸着部１１４ｃを吸着させて、任意の通路モジュール６ａ，６ｂ，６ｃをカバー９２に装着できる。つまり、任意の通路モジュール６ａ，６ｂ，６ｃが、脚部材１１４を介して切削装置４のカバー９２に装着される。
なお、必ずしも全ての通路モジュール６ａ，６ｂ，６ｃを切削装置４に対して装着しなくて良い。例えば、２台の切削装置４の間に位置する通路モジュールは、連結具１１０を介して隣接する通路モジュールのみに支持されることがある。また、切削装置４やストックユニット８等に対して装着される通路モジュールの通路部１０２には、図１に示すように、２次元コードに代表される識別コードや無線タグ等の情報提供部１０２ｂが設けられている。この情報提供部１０２ｂによって提供される情報は、例えば、無人被加工物搬送車１０の位置の確認等に使用される。
次に、搬送通路６の切削装置４の上方に相当する第１停車領域と切削装置４の収容部保持台５０との間で無人被加工物搬送車１０の収容部３８を搬送する際の動作について詳述する。図１２（Ａ）は、無人被加工物搬送車１０を開口１０６ａの直上に移動させる際の様子をＹ軸方向から見た一部断面側面図であり、図１２（Ｂ）は、収容部３８を下降させる際の様子をＹ軸方向から見た一部断面側面図である。
また、図１３（Ａ）は、図１２（Ａ）に示す状態をＸ軸方向から見た一部断面側面図であり、図１３（Ｂ）は、図１２（Ｂ）に示す状態をＸ軸方向から見た一部断面側面図である。搬送通路６の切削装置４の上方に相当する第１停車領域から切削装置４の収容部保持台５０へと収容部３８を搬送する際には、図１２（Ａ）及び図１３（Ａ）に示すように、まず、無人被加工物搬送車１０を開口１０６ａの側方に位置付ける。
次に、車輪３９を回転させて、無人被加工物搬送車１０を開口１０６ａの上方に移動させる。具体的には、例えば、４個の車輪３９の回転軸の向きを無人被加工物搬送車１０の移動方向（本実施形態では、Ｘ軸方向）に対して垂直に合わせた上で、これら４個の車輪３９で開口１０６ａを跨ぐように無人被加工物搬送車１０を移動させ、凹部３７ｂ（空間３７ｃ）を開口１０６ａの直上に位置付ける。
図１２（Ｂ）及び図１３（Ｂ）に示すように、凹部３７ｂが開口１０６ａの直上に位置付けられる第１停車位置に無人被加工物搬送車２１０を停車させた状態で、昇降機構４０のウインチ４０ｂを動作させて、ワイヤ４０ａを引き出す。これにより、開口１０６ａ及び開口９２ｂを通過するように収容部３８を下降させて、収容部保持台５０に収容部３８を載せることができる。
収容部保持台５０に収容部３８を載せた後には、被加工物１１（フレーム１５）が収容部３８から搬出される。また、被加工物１１の切削が完了した後には、被加工物１１（フレーム１５）が収容部３８に搬入される。
切削装置４の収容部保持台５０から搬送通路６の切削装置４の上方に相当する第１停車領域へと収容部３８を搬送する際には、まず、昇降機構４０のウインチ４０ｂを動作させて、ワイヤ４０ａを巻き取る。これにより、開口９２ｂ及び開口１０６ａを通過するように収容部３８を上昇させて、切削装置４のカバー９２の外部に収容部３８を搬出し、この収容部３８を凹部３７ｂの内側の空間３７ｃに格納できる。
収容部３８を凹部３７ｂの内側の空間３７ｃに格納した後には、車輪３９を回転させて、無人被加工物搬送車１０を第１停車領域から移動させれば良い。なお、ここでは、搬送通路６の切削装置４の上方に相当する第１停車領域と切削装置４の収容部保持台５０との間で収容部３８を搬送する際の動作について説明したが、搬送通路６のストックユニット８の上方に相当する第２停車領域とストックユニット８の収容部保持台２６との間で収容部３８を搬送する際の動作も同様である。
次に、本実施形態に係る搬送システム２の制御方法の例を説明する。図１４は、搬送システム２の制御方法の例を説明するための機能ブロック図である。例えば、切削装置４の制御装置９６は、新たな被加工物１１（未加工の被加工物１１）が必要な状況になると、その旨を通知するための通知信号（被加工物要求信号）を生成する。制御装置９６で生成された通知信号（被加工物要求信号）は、送信機１００から制御ユニット１２へと送信される。
図１４に示すように、制御ユニット１２は、各種の制御を行うための制御信号を生成する制御部（制御信号生成部）１３２を備えている。この制御部１３２は、代表的には、ＣＰＵ等の処理装置や、フラッシュメモリ等の記憶装置を含むコンピュータによって構成される。記憶装置に記憶されるソフトウェアに従い処理装置等を動作させることによって、制御部１３２の機能が実現されている。
この制御部１３２には、切削装置４、ストックユニット８、無人被加工物搬送車１０等から送信される通知信号を受信する受信機１３４と、切削装置４、ストックユニット８、無人被加工物搬送車１０等に対して制御信号を送信する送信機１３６とが接続されている。
制御ユニット１２の受信機１３４は、切削装置４の送信機１００から送信された通知信号（被加工物要求信号）を受信すると、これを制御部１３２へと送る。制御部１３２は、切削装置４からの通知信号（被加工物要求信号）を確認すると、無人被加工物搬送車１０に対して、ストックユニット８の傍に移動し、収容部３８をストックユニット８の収容部保持台２６へと搬送するように指示を出す。具体的には、制御部１３２は、この指示に相当する制御信号（第１搬送指示信号）を生成し、送信機１３６から無人被加工物搬送車１０へと送信する。
無人被加工物搬送車１０の受信機４４は、制御ユニット１２からの制御信号（第１搬送指示信号）を受信すると、これを制御装置４２へと送る。制御装置４２は、この制御信号（第１搬送指示信号）に基づき車輪（走行機構）３９等の動作を制御し、無人被加工物搬送車１０を搬送通路６に沿って走行させる。
なお、図１４に示すように、無人被加工物搬送車１０の制御装置４２には、搬送通路６に設けられている情報提供部１０２ｂの情報を読み取るための読み取り機１３８が接続されている。そのため、読み取り機１３８によって情報提供部１０２ｂの情報を読み取ることで、制御装置４２は、自身（無人被加工物搬送車１０）の位置を確認できる。
制御装置４２は、自身（無人被加工物搬送車１０）がストックユニット８の傍に移動したことを確認すると、車輪３９等の動作を再び制御して、開口１６ｂと重なる開口１０６ａを複数の車輪３９で跨ぐことのできる第２停車領域に無人被加工物搬送車１０を移動させる。その結果、収容部３８を格納する空間３７ｃが開口１０６ａの直上に位置付けられる。
このように、無人被加工物搬送車１０を第２停車領域に停車させた状態で、制御装置４２は、昇降機構４０のウインチ４０ｂを動作させて、ワイヤ４０ａを引き出す。これにより、開口１０６ａ及び開口１６ｂを通過するように収容部３８を下降させて、収容部保持台２６に収容部３８を載せることができる。
収容部保持台２６に収容部３８を載せた後には、制御装置４２は、ストックユニット８への収容部３８の搬送が完了した旨を通知するための通知信号（第１搬送完了信号）を生成する。制御装置４２で生成された通知信号（第１搬送完了信号）は、送信機４６から制御ユニット１２へと送信される。
制御ユニット１２の受信機１３４は、無人被加工物搬送車１０の送信機４６から送信された通知信号（第１搬送完了信号）を受信すると、これを制御部１３２へと送る。制御部１３２は、無人被加工物搬送車１０からの通知信号（第１搬送完了信号）を確認すると、ストックユニット８に対して、収容部保持台２６上の収容部３８に新たな被加工物１１を搬入するように指示を出す。具体的には、制御部１３２は、この指示に相当する制御信号（第１搬入指示信号）を生成し、送信機１３６からストックユニット８へと送信する。
ストックユニット８の受信機３４は、制御ユニット１２からの制御信号（第１搬入指示信号）を受信すると、これを制御装置３２へと送る。制御装置３２は、この制御信号（第１搬入指示信号）に基づき第１昇降機構、プッシュプルアーム２２、一対のガイドレール２４、第２昇降機構等の動作を制御して、新たな被加工物１１を収容部３８に搬入する。
新たな被加工物１１が収容部３８に搬入されると、制御装置３２は、収容部３８への被加工物１１の搬入が完了した旨を通知するための通知信号（第１搬入完了信号）を生成する。制御装置３２で生成された通知信号（第１搬入完了信号）は、送信機３６から制御ユニット１２へと送信される。
制御ユニット１２の受信機１３４は、ストックユニット８の送信機３６から送信された通知信号（第１搬入完了信号）を受信すると、これを制御部１３２へと送る。制御部１３２は、ストックユニット８からの通知信号（第１搬入完了信号）を確認すると、無人被加工物搬送車１０に対して、切削装置４の傍に移動し、シャシ３７を切削装置４の収容部保持台５０へと搬送するように指示を出す。具体的には、制御部１３２は、この指示に相当する制御信号（第２搬送指示信号）を生成し、送信機１３６から無人被加工物搬送車１０へと送信する。
無人被加工物搬送車１０の受信機４４は、制御ユニット１２からの制御信号（第２搬送指示信号）を受信すると、これを制御装置４２へと送る。制御装置４２は、この制御信号（第２搬送指示信号）に基づき収容部３８を上昇させて、シャシ３７の内部の空間３７ｃに格納する。その後、車輪３９等の動作を制御して、無人被加工物搬送車１０を搬送通路６に沿って走行させる。
制御装置４２は、自身（無人被加工物搬送車１０）が切削装置４の傍に移動したことを確認すると、車輪３９等の動作を再び制御して、開口９２ｂと重なる開口１０６ａを複数の車輪３９で跨ぐことのできる第１停車領域に無人被加工物搬送車１０を移動させる。その結果、収容部３８を格納する空間３７ｃが開口１０６ａの直上に位置付けられる。
このように、無人被加工物搬送車１０を第１停車領域に停車させた状態で、制御装置４２は、昇降機構４０のウインチ４０ｂを動作させて、ワイヤ４０ａを引き出す。これにより、開口１０６ａ及び開口９２ｂを通過するように収容部３８を下降させて、収容部保持台５０に収容部３８を載せることができる。
収容部保持台５０に収容部３８を載せた後には、制御装置４２は、切削装置４への収容部３８の搬送が完了した旨を通知するための通知信号（第２搬送完了信号）を生成する。制御装置４２で生成された通知信号（第２搬送完了信号）は、送信機４６から制御ユニット１２へと送信される。
制御ユニット１２の受信機１３４は、無人被加工物搬送車１０の送信機４６から送信された通知信号（第２搬送完了信号）を受信すると、これを制御部１３２へと送る。制御部１３２は、無人被加工物搬送車１０からの通知信号（第２搬送完了信号）を確認すると、切削装置４に対して、収容部保持台５０上の収容部３８から新たな被加工物１１を搬出するように指示を出す。具体的には、制御部１３２は、この指示に相当する制御信号（第１搬出指示信号）を生成し、送信機１３６から切削装置４へと送信する。
切削装置４の受信機９８は、制御ユニット１２からの制御信号（第１搬出指示信号）を受信すると、これを制御装置９６へと送る。制御装置９６は、この制御信号（第１搬出指示信号）に基づき各構成要素の動作を制御して、新たな被加工物１１を収容部３８から搬出する。
新たな被加工物１１が収容部３８から搬出されると、例えば、制御装置９６は、収容部３８からの被加工物１１の搬出が完了した旨を通知するための通知信号（第１搬出完了信号）を生成する。制御装置９６で生成された通知信号（第１搬出完了信号）は、送信機１００から制御ユニット１２へと送信される。
このような手順により、ストックユニット８に収容されている被加工物１１を任意の切削装置４に対して搬送できる。なお、ここでは、ストックユニット８から切削装置４に対して被加工物１１を搬送する際の手順について主に説明したが、切削装置４からストックユニット８に対して被加工物１１を搬送する際の手順等も同様である。
具体的には、例えば、切削装置４の制御装置９６は、被加工物１１の加工が完了すると、その旨を通知するための通知信号（加工完了信号）を生成する。制御装置９６で生成された通知信号（加工完了信号）は、送信機１００から制御ユニット１２へと送信される。制御ユニット１２の受信機１３４は、切削装置４の送信機１００から送信された通知信号（加工完了信号）を受信すると、これを制御部１３２へと送る。
制御部１３２は、切削装置４からの通知信号（加工完了信号）を確認すると、無人被加工物搬送車１０に対して、切削装置４の傍に移動し、収容部３８を切削装置４の収容部保持台５０へと搬送するように指示を出す。具体的には、制御部１３２は、この指示に相当する制御信号（第３搬送指示信号）を生成し、送信機１３６から無人被加工物搬送車１０へと送信する。
無人被加工物搬送車１０の受信機４４は、制御ユニット１２からの制御信号（第３搬送指示信号）を受信すると、これを制御装置４２へと送る。制御装置４２は、この制御信号（第３搬送指示信号）に基づき車輪（走行機構）３９等の動作を制御し、無人被加工物搬送車１０を搬送通路６に沿って走行させる。
制御装置４２は、自身（無人被加工物搬送車１０）が切削装置４の傍に移動したことを確認すると、車輪３９等の動作を再び制御して、開口９２ｂと重なる開口１０６ａを複数の車輪３９で跨ぐことのできる第１停車領域に無人被加工物搬送車１０を移動させる。その結果、収容部３８を格納する空間３７ｃが開口１０６ａの直上に位置付けられる。
このように、無人被加工物搬送車１０を第１停車領域に停車させた状態で、制御装置４２は、昇降機構４０のウインチ４０ｂを動作させて、ワイヤ４０ａを引き出す。これにより、開口１０６ａ及び開口９２ｂを通過するように収容部３８を下降させて、収容部保持台５０に収容部３８を載せることができる。
収容部保持台５０に収容部３８を載せた後には、制御装置４２は、切削装置４への収容部３８の搬送が完了した旨を通知するための通知信号（第３搬送完了信号）を生成する。制御装置４２で生成された通知信号（第３搬送完了信号）は、送信機４６から制御ユニット１２へと送信される。
制御ユニット１２の受信機１３４は、無人被加工物搬送車１０の送信機４６から送信された通知信号（第３搬送完了信号）を受信すると、これを制御部１３２へと送る。制御部１３２は、無人被加工物搬送車１０からの通知信号（第３搬送完了信号）を確認すると、切削装置４に対して、収容部保持台５０上の収容部３８に加工後の被加工物１１を搬入するように指示を出す。具体的には、制御部１３２は、この指示に相当する制御信号（第２搬入指示信号）を生成し、送信機１３６から切削装置４へと送信する。
切削装置４の受信機９８は、制御ユニット１２からの制御信号（第２搬入指示信号）を受信すると、これを制御装置９６へと送る。制御装置９６は、この制御信号（第２搬入指示信号）に基づき各構成要素の動作を制御して、加工後の被加工物１１を収容部３８に搬入する。
加工後の被加工物１１が収容部３８に搬入されると、制御装置９６は、収容部３８への被加工物１１の搬入が完了した旨を通知するための通知信号（第２搬入完了信号）を生成する。制御装置９６で生成された通知信号（第２搬入完了信号）は、送信機１００から制御ユニット１２へと送信される。
制御ユニット１２の受信機１３４は、切削装置４の送信機１００から送信された通知信号（第２搬入完了信号）を受信すると、これを制御部１３２へと送る。制御部１３２は、切削装置４からの通知信号（第２搬入完了信号）を確認すると、無人被加工物搬送車１０に対して、ストックユニット８の傍に移動した上で、収容部３８をストックユニット８の収容部保持台２６へと搬送するように指示を出す。具体的には、制御部１３２は、この指示に相当する制御信号（第４搬送指示信号）を生成し、送信機１３６から無人被加工物搬送車１０へと送信する。
無人被加工物搬送車１０の受信機４４は、制御ユニット１２からの制御信号（第４搬送指示信号）を受信すると、これを制御装置４２へと送る。制御装置４２は、この制御信号（第４搬送指示信号）に基づき収容部３８を上昇させて、シャシ３７の内部の空間３７ｃに格納する。その後、車輪３９等の動作を制御して、無人被加工物搬送車１０を搬送通路６に沿って走行させる。
制御装置４２は、自身（無人被加工物搬送車１０）がストックユニット８の傍に移動したことを確認すると、車輪３９等の動作を再び制御して、開口１６ｂと重なる開口１０６ａを複数の車輪３９で跨ぐことのできる第２停車領域に無人被加工物搬送車１０を移動させる。その結果、収容部３８を格納する空間３７ｃが開口１０６ａの直上に位置付けられる。
このように、無人被加工物搬送車１０を第２停車領域に停車させた状態で、制御装置４２は、昇降機構４０のウインチ４０ｂを動作させて、ワイヤ４０ａを引き出す。これにより、開口１０６ａ及び開口１６ｂを通過するように収容部３８を下降させて、収容部保持台２６に収容部３８を載せることができる。
収容部保持台２６に収容部３８を載せた後には、制御装置４２は、ストックユニット８への収容部３８の搬送が完了した旨を通知するための通知信号（第４搬送完了信号）を生成する。制御装置４２で生成された通知信号（第４搬送完了信号）は、送信機４６から制御ユニット１２へと送信される。
制御ユニット１２の受信機１３４は、無人被加工物搬送車１０の送信機４６から送信された通知信号（第４搬送完了信号）を受信すると、これを制御部１３２へと送る。制御部１３２は、無人被加工物搬送車１０からの通知信号（第４搬送完了信号）を確認すると、ストックユニット８に対して、収容部保持台２６上の収容部３８から加工後の被加工物１１を搬出するように指示を出す。具体的には、制御部１３２は、この指示に相当する制御信号（第２搬出指示信号）を生成し、送信機１３６からストックユニット８へと送信する。
ストックユニット８の受信機３４は、制御ユニット１２からの制御信号（第２搬出指示信号）を受信すると、これを制御装置３２へと送る。制御装置３２は、この制御信号（第２搬出指示信号）に基づき第１昇降機構、プッシュプルアーム２２、一対のガイドレール２４、第２昇降機構等の動作を制御して、加工後の被加工物１１を収容部３８から搬出する。
加工後の被加工物１１が収容部３８から搬出されると、例えば、制御装置３２は、収容部３８からの被加工物１１の搬出が完了した旨を通知するための通知信号（第２搬出完了信号）を生成する。制御装置３２で生成された通知信号（第２搬出完了信号）は、送信機３６から制御ユニット１２へと送信される。このような手順により、切削装置４で加工された後の被加工物１１をストックユニット８に対して搬送できる。
また、上述した手順は、被加工物１１を適切に搬送できる範囲内で任意に変更できる。例えば、上述した手順に含まれている複数のステップを同時に行っても良いし、被加工物１１の搬送に支障が出ない範囲内でステップの順序を入れ替えても良い。同様に、被加工物１１の搬送に支障が出ない範囲内で任意のステップを追加、変更、省略して良い。
以上のように、本実施形態に係る搬送システム２は、複数の切削装置（加工装置）４に渡って設置される搬送通路６と、被加工物１１を収容する空間（収容空間）３８ａを有する収容部３８、収容部３８を格納する空間（格納空間）３７ｃを有するシャシ（走行部）３７、シャシ３７に設けられた車輪（走行機構）３９、シャシ３７の空間３７ｃに配置され収容部３８を上方から吊り下げて昇降させる昇降機構４０、及び制御信号を受信する受信機４４を備え、搬送通路６を走行する無人被加工物搬送車（無人搬送車）１０と、被加工物１１が収容されたカセット（被加工物ストッカー）２０から無人被加工物搬送車１０の収容部３８に対して被加工物１１を受け渡す際に収容部３８を保持する収容部保持台２６、及び制御信号を受信する受信機３４を備えるストックユニット８と、を含んでいる。
そのため、無人被加工物搬送車１０は、収容部３８を空間３７ｃに格納した状態で搬送通路６を走行できる。また、無人被加工物搬送車１０は、搬送通路６の切削装置（加工装置）４の上方に相当する第１停車領域、又は搬送通路６のストックユニット８の上方に相当する第２停車領域で停車して、収容部３８を昇降させることにより、第１停車領域と切削装置４の内部の収容部保持台５０との間、又は第２停車領域とストックユニット８の内部の収容部保持台２６との間で収容部３８を搬送できる。
また、本実施形態に係る搬送システム２では、搬送通路６が、切削装置４の真上の空間に設置される。そのため、この搬送通路６を設計する際に各切削装置４の側面の構造を考慮する必要がない。すなわち、搬送システムの構築が容易になる。
（実施形態２）
本実施形態では、実施形態１の無人被加工物搬送車（無人搬送車）１０とは異なる構造の無人被加工物搬送車（無人搬送車）について説明する。なお、本実施形態に係る無人被加工物搬送車の基本的な構造は、実施形態１に係る無人被加工物搬送車１０の基本的な構造と同じである。よって、共通する構造には同じ符号を付して詳細な説明を省略する。同様に、実施形態１の搬送システム２等と共通する構成要素には同じ符号を付して詳細な説明を省略する。
図１５は、本実施形態に係る無人被加工物搬送車（無人搬送車）２１０の構成例を示す斜視図である。図１５に示すように、無人被加工物搬送車２１０が備える直方体状のシャシ（走行部）３７の４つの側面３７ｅのそれぞれには、各側面３７ｅに対して概ね垂直な回転軸を持つ車輪（走行機構）２３９が設けられている。すなわち、無人被加工物搬送車２１０は、合計で４個の車輪２３９を有している。
各車輪２３９は、モータ等の回転駆動源に連結されており回転する。この車輪２３９を回転駆動源によって回転させることで、無人被加工物搬送車２１０（シャシ３７）は、搬送通路６上を走行する。なお、車輪２３９としては、傾斜した樽状（筒状）の複数の回転体が搬送通路６と接触する外周面に取り付けられた、いわゆるメカナムホイール等を用いると良い。この場合、各車輪２３９の回転量を調整するだけで、無人被加工物搬送車２１０を任意の方向に移動させることができるようになる。
シャシ３７の下面３７ａには、いずれか２個の車輪２３９の回転軸に対して概ね平行な回転軸を持つ２個のサブ車輪２４０が設けられている。２個のサブ車輪２４０の間隔は、凹部３７ｂの開口３７ｄの幅よりも広い。また、２個のサブ車輪２４０の径は、無人被加工物搬送車２１０が車輪２３９によって搬送通路６の通路部１０２等を走行する際に、通路部１０２等と接触しない程度に小さくなっている。
各サブ車輪２４０は、モータ等の回転駆動源に連結されておらず、自由に回転できる。ただし、各サブ車輪２４０は、回転駆動源に連結されても良い。サブ車輪２４０の数にも特段の制限はない。無人被加工物搬送車２１０は、いずれか２個の車輪２３９に対して概ね平行な回転軸を持つ１個のサブ車輪２４０を備えても良いし、同様の回転軸を持つ３個以上のサブ車輪２４０を備えても良い。
次に、搬送通路６の切削装置４の上方に相当する第１停車領域と切削装置４の収容部保持台５０との間で無人被加工物搬送車２１０の収容部３８を搬送する際の動作について詳述する。図１６（Ａ）は、無人被加工物搬送車２１０を開口１０６ａの直上に移動させる際の様子をＺ軸方向から見た平面図であり、図１６（Ｂ）は、収容部３８を下降させる際の様子をＺ軸方向から見た平面図である。
また、図１７（Ａ）は、図１６（Ａ）に示す状態をＸ軸方向から見た一部断面側面図であり、図１７（Ｂ）は、図１６（Ｂ）に示す状態をＸ軸方向から見た一部断面側面図である。搬送通路６の切削装置４の上方に相当する第１停車領域から切削装置４の収容部保持台５０へと収容部３８を搬送する際には、図１６（Ａ）及び図１７（Ａ）に示すように、まず、無人被加工物搬送車２１０を開口１０６ａの側方に位置付ける。
次に、車輪２３９を回転させて、無人被加工物搬送車２１０を開口１０６ａの上方に移動させる。具体的には、例えば、いずれか２個の車輪２３９の回転軸の向きと２個のサブ車輪２４０の回転軸の向きとを無人被加工物搬送車２１０の移動方向（本実施形態では、Ｘ軸方向）に対して垂直に合わせた上で、この２個の車輪２３９で開口１０６ａを跨ぐように無人被加工物搬送車２１０を移動させ、凹部３７ｂ（空間３７ｃ）を開口１０６ａの直上に位置付ける。
より具体的には、開口１０６ａの直上を通過することになる車輪２３９側に２個のサブ車輪２４０が位置付けられるように無人被加工物搬送車２１０の向きを調整してから、無人被加工物搬送車２１０を開口１０６ａの直上に移動させる。すなわち、２個のサブ車輪２４０は、無人被加工物搬送車２１０を開口１０６ａの直上に移動させる際に、この開口１０６ａの直上を通過することになる車輪２３９側（すなわち、進行方向側、前方側）に設けられている。
図１６（Ａ）、図１６（Ｂ）、図１７（Ａ）、及び図１７（Ｂ）に示すように、本実施形態では、搬送通路６の開口１０６ａの縁に、サブ車輪２４０用の２本の通路１０６ｂが設けられている。２本の通路１０６ｂは、それぞれ、２個のサブ車輪２４０が通過する領域に配置されている。また、各通路１０６ｂの上面の高さは、サブ車輪２４０と接触できる程度に高くなっている。
そのため、無人被加工物搬送車２１０を開口１０６ａの上方に移動させる際に、進行方向側（前方側）に位置する車輪２３９が開口１０６ａの直上を通過する状況になったとしても、サブ車輪２４０と通路１０６ｂとが接触し、シャシ３７の一部はサブ車輪２４０によって支持される。よって、無人被加工物搬送車２１０を開口１０６ａの上方に移動させる際に、シャシ３７が大きく傾いてしまうことはない。
図１６（Ｂ）及び図１７（Ｂ）に示すように、凹部３７ｂが開口１０６ａの直上に位置付けられる第１停車位置に無人被加工物搬送車２１０を停車させた後には、昇降機構４０のウインチ４０ｂを動作させて、ワイヤ４０ａを引き出す。これにより、開口１０６ａ及び開口９２ｂを通過するように収容部３８を下降させて、収容部保持台５０に収容部３８を載せることができる。
収容部保持台５０に収容部３８を載せた後には、被加工物１１（フレーム１５）が収容部３８から搬出される。また、被加工物１１の切削が完了した後には、被加工物１１（フレーム１５）が収容部３８に搬入される。
切削装置４の収容部保持台５０から搬送通路６の切削装置４の上方に相当する第１停車領域へと収容部３８を搬送する際には、まず、昇降機構４０のウインチ４０ｂを動作させて、ワイヤ４０ａを巻き取る。これにより、開口９２ｂ及び開口１０６ａを通過するように収容部３８を上昇させて、切削装置４のカバー９２の外部に収容部３８を搬出し、この収容部３８を凹部３７ｂの内側の空間３７ｃに格納できる。
収容部３８を凹部３７ｂの内側の空間３７ｃに格納した後には、車輪２３９を回転させて、無人被加工物搬送車２１０を第１停車領域から移動させれば良い。なお、ここでは、搬送通路６の切削装置４の上方に相当する第１停車領域と切削装置４の収容部保持台５０との間で収容部３８を搬送する際の動作について説明したが、搬送通路６のストックユニット８の上方に相当する第２停車領域とストックユニット８の収容部保持台２６との間で収容部３８を搬送する際の動作も同様である。
（実施形態３）
本実施形態では、ストックユニット８とは異なる構造のストックユニットについて説明する。なお、本実施形態のストックユニットが組み込まれる搬送システム等の基本的な構成は、実施形態１に係る搬送システム２等と同じである。よって、共通する構成要素には同じ符号を付して詳細な説明を省略する。
図１８は、本実施形態に係るストックユニット３０８の構成例を模式的に示す側面図であり、図１９は、ストックユニット３０８の内部の構造を模式的に示す平面図である。図１８に示すように、ストックユニット３０８は、各種の構成要素を収容する筐体３１６を含む。なお、図１８では、説明の便宜上、筐体３１６の輪郭のみが示されている。
筐体３１６内には、例えば、ボールねじ式の第１昇降機構（不図示）によって昇降するカセット保持台３１８が設けられている。カセット保持台３１８の上面には、複数の被加工物１１を収容できるカセット（被加工物ストッカー）２０が載せられる。なお、このカセット２０は、例えば、上述のように、テープ１３を介してフレーム１５に支持された状態の被加工物１１を収容する。
図１９に示すように、カセット保持台３１８（カセット２０）に対面する第１位置には、フレーム１５を把持して移動させる第１被加工物移動ユニット３２０が配置されている。第１被加工物移動ユニット３２０は、フレーム１５を上下に把持する把持部３２２と、把持部３２２を概ね水平な方向に移動させる駆動部３２４とを含む。
駆動部３２４の上面には、カセット保持台３１８に向かって概ね水平に伸びるスリット状の開口３２４ａが形成されており、駆動部３２４は、この開口３２４ａに沿う第１方向に把持部３２２を移動させる。つまり、把持部３２２は、カセット保持台３１８に対して接近し、又はカセット保持台３１８から離隔するように移動する。
そのため、例えば、カセット２０に収容されているフレーム１５の高さを第１昇降機構によって把持部３２２の高さに合わせ、把持部３２２をカセット保持台３１８に接近させれば、把持部３２２によってカセット２０内のフレーム１５を把持できる。また、把持部３２２によってカセット２０内のフレーム１５を把持した後に、把持部３２２をカセット保持台３１８から離隔させれば、フレーム１５をカセット２０の外部に引き出せる。
第１被加工物移動ユニット３２０の周囲には、カセット２０から搬出されたフレーム１５が仮置きされる第１仮置き台３２６が配置されている。第１仮置き台３２６は、それぞれ第１方向に長い一対のガイド部３２６ａと、第１方向に垂直かつ水平な第２方向に長い基部３２６ｂと、を含む。一対のガイド部３２６ａは、互いの長手方向が平行になるように基部３２６ｂを介して連結されている。第１被加工物移動ユニット３２０でカセット２０から引き出されたフレーム１５は、一対のガイド部３２６ａに載せられる。
第１仮置き台３２６は、この第１仮置き台３２６を第２方向に移動させる第１仮置き台移動部３２８によって支持されている。第１仮置き台移動部３２８は、第２方向に長いガイドレール３３０を備えている。ガイドレール３３０には、移動部材３３２がスライド可能に取り付けられている。
移動部材３３２には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、ガイドレール３３０に概ね平行なボールねじ（不図示）が螺合されている。ボールねじの一端には、パルスモータ３３４が連結されている。パルスモータ３３４でボールねじを回転させると、移動部材３３２は、ガイドレール３３０に沿って第２方向に移動する。
移動部材３３２の上部には、第１仮置き台３２６の基部３２６ｂが固定されている。そのため、第１仮置き台３２６は、移動部材３３２とともに第２方向に移動する。なお、第１仮置き台移動部３２８は、第１位置と、この第１位置の隣の第２位置との間で第１仮置き台３２６を移動させることができるように構成されている。
第２位置には、フレーム１５を把持して移動させる第２被加工物移動ユニット３３６が配置されている。つまり、第２被加工物移動ユニット３３６は、第１被加工物移動ユニット３２０の隣に配置されている。第２被加工物移動ユニット３３６の構造は、第１被加工物移動ユニット３２０の構造と同様である。
具体的には、第２被加工物移動ユニット３３６は、フレーム１５を上下に把持する把持部３３８と、把持部３３８を概ね水平な方向に移動させる駆動部３４０とを含む。駆動部３４０の上面には、第１方向に長いスリット状の開口３４０ａが形成されており、駆動部３４０は、この開口３４０ａに沿って把持部３３８を移動させる。
第２被加工物移動ユニット３３６の周囲には、第１仮置き台３２６と同様の構造を持つ第２仮置き台３４２が配置されている。つまり、第２仮置き台３４２は、それぞれ第１方向に長い一対のガイド部３４２ａと、第１方向に垂直かつ水平な第２方向に長い基部３４２ｂとを含む。一対のガイド部３４２ａは、互いの長手方向が平行になるように基部３４２ｂを介して連結されている。
第２仮置き台３４２は、この第２仮置き台３４２を第２方向及び鉛直方向に移動させる第２仮置き台移動部３４４によって支持されている。第２仮置き台移動部３４４は、第２方向に長いガイドレール３４６を備えている。ガイドレール３４６には、移動部材３４８がスライド可能に取り付けられている。
移動部材３４８には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、ガイドレール３４６に概ね平行なボールねじ（不図示）が螺合されている。ボールねじの一端には、パルスモータ３５０が連結されている。パルスモータ３５０でボールねじを回転させると、移動部材３４８は、ガイドレール３４６に沿って第２方向に移動する。
移動部材３４８の上部には、エアシリンダ等で構成される昇降機構３５２を介して第２仮置き台３４２の基部３４２ｂが固定されている。そのため、第２仮置き台３４２は、移動部材３４８及び昇降機構３５２とともに第２方向に移動し、昇降機構３５２によって昇降する。なお、第２仮置き台移動部３４４は、第２位置と、この第２位置の隣の第１位置との間で第２仮置き台３４２を移動させることができるように構成されている。
図２０は、第１仮置き台３２６と第２仮置き台３４２とを第２方向に移動させて、第１仮置き台３２６の位置と第２仮置き台３４２の位置とを入れ替える様子を模式的に示す側面図である。第１仮置き台３２６の位置と第２仮置き台３４２の位置とを入れ替える際には、まず、第２仮置き台３４２を昇降機構３５２によって上昇させる。具体的には、第２仮置き台３４２の下端の高さが第１仮置き台３２６の上端の高さよりも高くなる上昇位置に第２仮置き台３４２を位置付ける。
その後、第２仮置き台３４２を上昇位置に位置付けた状態で、第２仮置き台３４２を第２仮置き台移動部３４４によって第１位置側に移動させる。また、同様のタイミングで、第１仮置き台３２６を第１仮置き台移動部３２８によって第２位置側に移動させる。なお、図２０では、第１仮置き台３２６を第１位置から第２位置まで移動させ、第２仮置き台３４２を第２位置から第１位置まで移動させる様子を示している。
第１仮置き台３２６及び第２仮置き台３４２の移動が完了した後には、第２仮置き台３４２を昇降機構３５２によって下降させ、第２仮置き台３４２の下端の高さが第１仮置き台３２６の下端の高さと概ね等しくなる基準位置に第２仮置き台３４２を位置付ける。このように、ストックユニット３０８では、第１仮置き台移動部３２８と第２仮置き台移動部３４４とによって、第１位置と第２位置との間で第１仮置き台３２６と第２仮置き台３４２とを入れ替えるように移動させることができる。
第２被加工物移動ユニット３３６が配置されている第２位置と対面する位置には、ボールねじ式の第２昇降機構（不図示）によって昇降する収容部保持台３５４が設けられている。この収容部保持台３５４の上面には、無人被加工物搬送車１０や無人被加工物搬送車２１０（以下、無人被加工物搬送車１０等）の収容部３８が載せられる。図１８に示すように、収容部保持台３５４の直上の領域には、筐体３１６の天井３１６ａを上下に貫通する開口３１６ｂが設けられている。この開口３１６ｂは、収容部保持台３５４に載せられる収容部３８を通過できる形状、大きさに形成されている。
カセット保持台３１８を昇降する第１昇降機構、第１被加工物移動ユニット３２０、第１仮置き台移動部３２８、第２被加工物移動ユニット３３６、第２仮置き台移動部３４４、昇降機構３５２、収容部保持台３５４を昇降する第２昇降機構等の構成要素には、ストックユニット３０８の動作を制御するための制御装置３６２が接続されている。制御装置３６２は、代表的には、ＣＰＵ等の処理装置や、フラッシュメモリ等の記憶装置を含むコンピュータによって構成され、記憶装置に記憶されるソフトウェアに従い処理装置等を動作させることによって、制御装置３６２の機能が実現される。
制御装置３６２には、更に、搬送システムの制御ユニット１２から送信される制御用の信号（制御信号）を受信する受信機３６４と、制御ユニット１２に対して通知用の信号（通知信号）を送信する送信機３６６とが接続されている。制御装置３６２は、受信機３６４で受信した信号に基づきストックユニット３０８の動作を制御する。また、制御装置３６２は、送信機３６６を通じて必要な信号を制御ユニット１２に送信する。
次に、本実施形態に係るストックユニット３０８の動作を説明する。図２１（Ａ）、図２１（Ｂ）、図２２（Ａ）、及び図２２（Ｂ）は、ストックユニット３０８の動作の例を模式的に示す平面図である。なお、本実施形態では、第１仮置き台３２６が第１位置に位置付けられ、第２仮置き台３４２が第２位置に位置付けられている場合の動作について説明するが、第１仮置き台３２６が第２位置に位置付けられ、第２仮置き台３４２が第１位置に位置付けられている場合の動作も同様である。
例えば、無人被加工物搬送車１０等は、加工後の被加工物１１（フレーム１５）が収容されている収容部３８を収容部保持台３５４に載せる。なお、カセット保持台３１８には、加工前の被加工物１１（フレーム１５）が収容されているカセット２０を予め載せておく。
その後、図２１（Ａ）に示すように、カセット保持台３１８上のカセット２０に対して把持部３２２を接近させ、カセット２０に収容されているフレーム１５を把持部３２２で把持する。同様のタイミングで、収容部保持台３５４上の収容部３８に対して把持部３３８を接近させ、収容部３８に収容されているフレーム１５を把持部３３８で把持する。
カセット２０内のフレーム１５を把持部３２２で把持した後には、図２１（Ｂ）に示すように、把持部３２２をカセット保持台３１８から離隔させる。同様に、収容部３８内のフレーム１５を把持部３３８で把持した後には、図２１（Ｂ）に示すように、把持部３３８を収容部保持台３５４から離隔させる。これにより、加工前の被加工物１１がカセット２０から第１仮置き台３２６に引き出され、加工後の被加工物１１が収容部３８から第２仮置き台３４２に引き出される。
次に、図２２（Ａ）に示すように、第１位置と第２位置との間で第１仮置き台３２６と第２仮置き台３４２とを入れ替えるように移動させる。すなわち、第２仮置き台３４２を昇降機構３５２によって上昇させ、上昇位置に位置付ける。そして、第２仮置き台３４２を第２方向に沿って第１位置側に移動させる。
また、同様のタイミングで、第１仮置き台３２６を第２方向に沿って第２位置側に移動させる。第１仮置き台３２６及び第２仮置き台３４２の移動が完了した後には、第２仮置き台３４２を昇降機構３５２によって下降させ、基準位置に位置付ける。その結果、第１仮置き台３２６が収容部保持台３５４と対面する第２位置に位置付けられ、第２仮置き台３４２がカセット保持台３１８と対面する第１位置に位置付けられる。
その後、図２２（Ｂ）に示すように、第１仮置き台３２６上のフレーム１５を把持部３３８で把持し、収容部保持台３５４上の収容部３８に対して把持部３３８を接近させる。これにより、加工前の被加工物１１を支持する第１仮置き台３２６上のフレーム１５が収容部保持台３５４上の収容部３８に収容される。
同様のタイミングで、第２仮置き台３４２上のフレーム１５を把持部３２２で把持し、カセット保持台３１８上のカセット２０に対して把持部３３８を接近させる。これにより、加工後の被加工物１１を支持する第２仮置き台３４２上のフレーム１５がカセット保持台３１８上のカセット２０に収容される。
無人被加工物搬送車１０等は、第１仮置き台３２６上のフレーム１５が収容部保持台３５４上の収容部３８に収容された後に、この収容部３８を収容部保持台３５４から搬送する。以上により、無人被加工物搬送車１０等からストックユニット３０８に加工後の被加工物１１を搬送し、ストックユニット３０８から無人被加工物搬送車１０等に加工前の被加工物１１を搬送できる。
なお、第１仮置き台３２６と第２仮置き台３４２とは同じ機能を備えており、カセット２０から搬出されるフレーム１５は、第１仮置き台３２６と第２仮置き台３４２とのいずれに対しても仮置きされ得る。例えば、第２仮置き台３４２が第１位置に位置付けられている場合には、カセット２０から搬出されるフレーム１５は、第２仮置き台３４２に仮置きされることになる。
また、上述した第１被加工物移動ユニット３２０は、第１位置に位置付けられた第１仮置き台３２６又は第２仮置き台３４２と、カセット保持台３１８（カセット２０）との間で被加工物１１を移動させる。同様に、第２被加工物移動ユニット３３６は、第２位置に位置付けられた第２仮置き台３４２又は第１仮置き台３２６と、収容部保持台３５４（収容部３８）との間で被加工物１１を移動させる。
なお、本発明は、上述した実施形態の記載に制限されず種々変更して実施可能である。例えば、搬送通路６は、２台の無人被加工物搬送車１０等が行き違うためのスペース（待機領域）を有していても良い。更に、搬送通路６は、無人被加工物搬送車１０等の一方向への走行のみを許容する、いわゆる一方通行に設定されても良い。この場合には、切削装置（加工装置）の上に、往路用の搬送通路６と、復路用の搬送通路６とを設けても良い。
また、上述した実施形態では、識別コードや無線タグ等の情報提供部１０２ｂを通路部１０２に設けているが、情報提供部をガイド部１０４に対して取り付けることもできる。この場合には、例えば、ガイド部１０４の内側の壁面や上端部等に情報提供部を取り付けると良い。
その他、上述した実施形態や変形例等に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。
２ ：搬送システム
４ ：切削装置（加工装置）
４ａ ：切削装置（加工装置）
４ｂ ：切削装置（加工装置）
６ ：搬送通路
６ａ ：通路モジュール
６ｂ ：通路モジュール
６ｃ ：通路モジュール
８ ：ストックユニット
１０ ：無人被加工物搬送車（無人搬送車）
１０ａ ：無人被加工物搬送車（無人搬送車）
１０ｂ ：無人被加工物搬送車（無人搬送車）
１０ｃ ：無人被加工物搬送車（無人搬送車）
１２ ：制御ユニット
１６ ：筐体
１６ａ ：天井
１６ｂ ：開口
１８ ：カセット保持台
２０ ：カセット（被加工物ストッカー）
２２ ：プッシュプルアーム
２４ ：ガイドレール
２６ ：収容部保持台
３２ ：制御装置
３４ ：受信機
３６ ：送信機
３７ ：シャシ
３７ａ ：下面
３７ｂ ：凹部
３７ｃ ：空間（格納空間）
３７ｄ ：開口
３７ｅ ：側面
３７ｆ ：上面
３８ ：収容部
３８ａ ：空間（収容空間）
３８ｂ ：側面
３８ｃ ：開口
３８ｄ ：上面
３９ ：車輪（走行機構）
４０ ：昇降機構
４０ａ ：ワイヤ
４０ｂ ：ウインチ
４２ ：制御装置
４４ ：受信機
４６ ：送信機
５０ ：収容部保持台
９２ ：カバー
９２ａ ：天井
９２ｂ ：開口
９２ｃ ：扉
９６ ：制御装置
９８ ：受信機
１００ ：送信機
１０２ ：通路部
１０２ａ ：ボルト孔
１０２ｂ ：情報提供部
１０４ ：ガイド部
１０６ ：待機部
１０６ａ ：開口
１０６ｂ ：通路
１３２ ：制御部
１３４ ：受信機
１３６ ：送信機
１３８ ：読み取り機
２１０ ：無人被加工物搬送車
２３９ ：車輪
２４０ ：サブ車輪
１１ ：被加工物
１３ ：テープ（ダイシングテープ）
１５ ：フレーム
２１ ：配管

Claims (2)

  1. 複数の加工装置のそれぞれに対して被加工物を搬送する搬送システムであって、
    複数の該加工装置に渡って該加工装置の真上の空間に設置される搬送通路と、
    該被加工物を収容する収容空間を有する収容部、該収容部を格納する格納空間を有する走行部、該走行部に設けられた走行機構、該走行部に配置され該収容部を上方から吊り下げて昇降させる昇降機構、及び制御信号を受信する受信機を備え、該搬送通路を走行する無人搬送車と、
    該被加工物が収容された被加工物ストッカーから該無人搬送車の該収容部に対して該被加工物を受け渡す際に該収容部を保持する収容部保持台、及び制御信号を受信する受信機を備えるストックユニットと、
    該加工装置、該無人搬送車、及び該ストックユニットに制御信号を送信する送信機、該加工装置から送信される通知信号を受信する受信機、及び該送信機から送信される制御信号を生成する制御信号生成部を備える制御ユニットと、を含み、
    該制御ユニットの該制御信号生成部は、該制御ユニットの該受信機が受信した通知信号に基づき該制御ユニットの該送信機から送信される制御信号を生成し、
    該制御ユニットの該送信機は、該制御ユニットの該制御信号生成部で生成された制御信号を、該加工装置、該無人搬送車、及び該ストックユニットに送信し、
    該無人搬送車は、該受信機で受信した制御信号に基づき、該収容部を該格納空間に格納した状態で該搬送通路を走行し、該搬送通路の該加工装置の上方に相当する第１停車領域、又は該搬送通路の該ストックユニットの上方に相当する第２停車領域で停車すると、該収容部を昇降させて、該第１停車領域と該加工装置の内部との間、又は該第２停車領域と該ストックユニットの該収容部保持台との間で該収容部を搬送することを特徴とする搬送システム。
  2. 該搬送通路は、該加工装置の上面に設置されることを特徴とする請求項１に記載の搬送システム。
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