WO2015104887A1 - 移載装置及び移載装置の制御方法 - Google Patents

移載装置及び移載装置の制御方法 Download PDF

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WO2015104887A1
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sensor
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movement
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純一 伊藤
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村田機械株式会社
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Definitions

  • the present invention relates to a transfer device and a control method of the transfer device.
  • the transfer device includes a main body connected to the overhead traveling vehicle, and a moving unit that can move to the side of the traveling direction of the overhead traveling vehicle with respect to the main body.
  • the moving unit is moved by a driving mechanism such as a belt mechanism or a gear mechanism so as to protrude to the side of the main body, and the article is transferred in this state.
  • the moving unit is returned to the main body by the drive mechanism.
  • the moving part for example, after moving the moving part to the side of the main body part, when the belt is cut or the gear is disengaged when returning to the main body part side, the moving part is moved to the opposite side. It may jump out and interfere with other overhead traveling vehicles.
  • an object of the present invention is to provide a transfer device and a control method for the transfer device that can reliably prevent inadvertent popping of the moving unit.
  • a transfer unit that includes a moving unit that is movable with respect to the main body, and that transfers the article in a state in which the moving unit protrudes from the main body. And a second state in which the movement of the moving unit from the reference position in either the first direction or the second direction opposite to the first direction is allowed and the movement of the moving unit to the other is restricted. Equipped with an appropriate movement control unit.
  • the movement restricting unit may be formed to be switchable to a third state that allows the movement of the moving unit in the first direction and the second direction by a predetermined range.
  • the movement restricting portion includes a rotating body having a stopper portion that comes into contact with the engaging portion in the moving direction of the engaging portion provided in the moving portion, and at least in a first state and a second state depending on a rotation position of the rotating body. May be switched.
  • the rotating body may include an outer stopper portion that allows the movement of the engaging portion within a predetermined range on the outer side of the stopper portion.
  • the movement restricting unit includes an index unit that rotates with the rotation of the rotating body, a sensor unit that detects the index unit, a control unit that controls the rotational position of the rotating body based on a detection result from the sensor unit, May be provided.
  • a plurality of sensor units may be arranged along the rotation direction of the index unit, and the control unit may control the rotational position of the rotating body based on detection results from the plurality of sensor units.
  • the main body may be connected to the overhead traveling vehicle, and the moving unit may include a gripper capable of holding an article and a lift driving unit that lifts and lowers the gripper.
  • the first direction and the second direction may be a direction that intersects the traveling direction of the overhead traveling vehicle in the horizontal direction.
  • the transfer device control method is a transfer device control method that includes a moving unit that is movable with respect to the main body, and transfers the article in a state in which the moving unit protrudes from the main body.
  • the moving unit is allowed to move in the first state in which the moving unit is restricted to the reference position and the first direction and the second direction opposite to the first direction from the reference position, and the moving unit moves to the other side. And switching the second state in which the movement is restricted by the movement restriction unit.
  • the movement restricting unit moves the moving unit from the reference position to either the first direction or the second direction opposite to the first direction by restricting the moving unit to the reference position.
  • the moving unit is moved in the first direction and then moved in the second direction in order to return to the reference position, the second state in which the moving unit is allowed to be switched can be switched. Then, the movement restricting portion suppresses jumping out in the second direction. Thereby, inadvertent jumping out of the moving part is surely suppressed.
  • the movement restriction unit is formed to be switchable to a third state that allows movement of the moving unit in the first direction and the second direction by a predetermined range.
  • the position of the moving portion can be finely adjusted within a predetermined range.
  • the movement restricting portion includes a rotating body having a stopper portion that contacts the engaging portion in the moving direction of the engaging portion provided in the moving portion, and at least the first state and the second state depending on the rotation position of the rotating body. In the switching, the movement restricting portion can be easily switched at least between the first state and the second state simply by rotating the rotating body.
  • the movement restricting unit is an index unit that rotates as the rotating body rotates, a sensor unit that detects the index unit, a control unit that controls the rotational position of the rotating body based on a detection result from the sensor unit, With this, the movement restriction unit can be automatically switched.
  • a plurality of sensor units are arranged along the rotation direction of the index unit, and the control unit controls the rotation position of the rotating body based on the detection results from the plurality of sensor units. The rotational position of the rotating body can be reliably controlled.
  • the moving unit is the main body.
  • the moving unit may inadvertently jump out in the direction intersecting the traveling direction of the overhead traveling vehicle. It can be reliably suppressed. Thereby, when the overhead traveling vehicle travels on each of the tracks extending in parallel, the overhead traveling vehicles can be prevented from interfering with each other.
  • FIG. 1 It is a figure which shows an example of the ceiling part of a process chamber. It is a figure which shows an example of a belt mechanism. It is a figure which shows an example of the operation state of a transfer apparatus. It is a perspective view which shows an example of a movement control part. It is a side view which shows an example of a movement control part.
  • (A) is a figure which shows an example of a rotary body
  • (b) is a figure which shows an example of a parameter
  • (A)-(d) is a figure for demonstrating operation
  • the direction of the arrow in the figure is the + direction
  • the direction opposite to the arrow direction is the ⁇ direction.
  • the rotation direction around the X axis is expressed as the ⁇ X direction
  • the rotation direction around the Y axis as the ⁇ Y direction
  • the rotation direction around the Z axis as the ⁇ Z direction.
  • FIG. 1 is a diagram illustrating an example of a ceiling portion of the processing chamber 1.
  • the processing chamber 1 is inside a clean room, for example, and is provided with a semiconductor processing apparatus (not shown).
  • a ceiling member 4, a first support column 6, and a second support column 15 are provided in the ceiling portion of the processing chamber 1.
  • a ceiling surface 4 a is formed on the ceiling member 4.
  • the ceiling surface 4a is formed in parallel to the horizontal plane.
  • the first support column 6 is fixed to the ceiling member 4 and extends downward ( ⁇ Z direction) from the ceiling surface 4a.
  • First support members 8 and 9 are fixed to the ⁇ Z side end of each group of the first support columns 6, respectively.
  • the first support members 8 and 9 are formed to be long in the Y direction.
  • the first support members 8 and 9 are fixed to the ceiling member 4 via the first support column 6.
  • the ⁇ Z side surfaces (support surfaces) 8a and 9a of the first support members 8 and 9 are arranged in parallel to the ceiling surface 4a.
  • the rails 10 are provided adjacent to the support surfaces 8a and 9a, respectively.
  • the rail 10 is a track that guides the overhead traveling vehicle 20.
  • the rail 10 includes a travel rail 11 and a power supply rail 12. At least a part of the rail 10 is provided, for example, along the longitudinal direction (Y direction) of the first support members 8 and 9. Adjacent rails 10 are arranged in parallel to each other. In FIG. 1, the illustration of the overhead traveling vehicle provided on the rail 10 of the first support member 9 is omitted.
  • the overhead traveling vehicle 20 is disposed inside the traveling rail 11.
  • the overhead traveling vehicle 20 travels in the + Y direction along the rail 10.
  • the overhead traveling vehicle 20 includes a traveling drive unit 21, a power receiving unit 22, and a connecting unit 23.
  • the traveling drive unit 21 includes a plurality of rollers 21 a that abut on the inner surface of the traveling rail 11 and a driving device (not shown) that rotates the plurality of rollers 21 a.
  • the power reception unit 22 receives power via a non-contact power supply line provided on the power supply rail 12 and supplies power to the traveling drive unit 21 and the like.
  • the connecting unit 23 is attached to the ⁇ Z side of the travel drive unit 21 and connects the travel drive unit 21 and the transfer device 40.
  • the transfer device 40 includes a base part (main body part) 41, a moving part 42, and a movement restricting part 43.
  • the base part 41 is connected to the overhead traveling vehicle 20 (traveling drive part 21) via the connecting part 23. Therefore, the base portion 41 can move integrally with the overhead traveling vehicle 20.
  • the moving part 42 has a middle part 44 and a top part 45.
  • the middle part 44 is attached to the base part 41.
  • the middle portion 44 moves in the first direction D1 and the second direction D2 along the X direction by a guide (not shown).
  • the top part 45 is attached to the middle part 44.
  • the top portion 45 is movable in the first direction D1 and the second direction D2 along the X direction as the middle portion 44 moves.
  • a turning portion 46 turns the configuration below the lift drive unit 47 (the lift drive unit 47, the lift platform 48, and the gripper 49) with respect to the top portion 45 in the ⁇ Z direction.
  • the elevating drive unit 47 controls the elevating and lowering (movement in the Z direction) of the elevating table 48.
  • the raising / lowering drive part 47 is connected to the raising / lowering stand 48 via the belt 48a (refer FIG. 3) formed in the predetermined length.
  • the elevating drive unit 47 is provided with a drum (not shown) around which the belt 48a is wound.
  • the raising / lowering drive part 47 moves the raising / lowering stand 48 to a Z direction by winding up and sending out the belt 48a.
  • the lifting platform 48 is moved integrally with the gripper 49 in the Z direction by driving of the lifting drive unit 47.
  • the gripper 49 has a pair of claw portions 49a.
  • the claw portion 49a can hold an article FP such as a semiconductor wafer transfer container (FOUP).
  • the pair of claw portions 49a grips the protrusions FPa provided on the + Z side surface of the article FP.
  • the third support column 16 is provided on the support surfaces 8a, 9a of the first support members 8, 9.
  • pillar 16 is arrange
  • the third support column 16 extends in the ⁇ Z direction.
  • Second support members 17 and 18 are fixed to ends of the third support column 16 in the ⁇ Z direction, respectively.
  • the second support member 17 is disposed on the + X side of the first support member 8, and the second support member 18 is disposed on the ⁇ X side of the first support member 8.
  • the second support members 17 and 18 have mounting surfaces 17a and 18a, respectively.
  • the mounting surfaces 17a and 18a are formed in parallel to the horizontal plane.
  • the second support members 17 and 18 can temporarily place articles on the placement surfaces 17a and 18a, and are used as buffers.
  • the second support member 17 is supported by the third support column 16 and the second support column 15 arranged on the + X side.
  • the second support column 15 extends in the ⁇ Z direction from the ceiling surface 4a, and is fixed to the second support member 17 at the ⁇ Z side end.
  • the second support member 18 includes a ⁇ X side column among the third columns 16 provided on the first support member 8 and a + X side column among the third columns 16 provided on the first support member 9. And is supported by.
  • first support member 9, the rail 10, the overhead traveling vehicle 20, and the like disposed on the first support member 9 may not be provided.
  • the second support member 18 may not be provided.
  • FIG. 2 is a diagram schematically illustrating an example of the belt mechanism 30 that drives the base portion 41 and the moving portion 42.
  • the belt mechanism 30 is not limited to the configuration shown in FIG. As shown in FIG. 2, the middle portion 44 and the top portion 45 are driven by the belt mechanism 30.
  • the belt mechanism 30 includes a drive motor 31, drive pulleys 32 and 33, driven pulleys 34 and 35, and drive belts 36 and 37.
  • the drive motor 31, the drive pulley 32, and the driven pulley 34 are fixed to the ⁇ Z side of the base portion 41.
  • the driving pulley 32 is rotated by the driving force of the driving motor 31.
  • the drive belt 36 is hung between the drive pulley 32 and the driven pulley 34, and has a fixed portion 36a.
  • the fixed portion 36 a is fixed to the middle portion 44.
  • the driving pulley 33 and the driven pulley 35 are fixed to the ⁇ Z side of the middle portion 44.
  • the drive pulley 33 is connected to the drive motor 31 or the drive pulley 32 via a rotational force transmission mechanism (not shown).
  • the drive pulley 33 rotates in synchronization with the rotation of the drive pulley 32.
  • the drive belt 37 is hung between the drive pulley 33 and the driven pulley 35, and has a fixed portion 37a.
  • the fixing portion 37 a is fixed to the top portion 45.
  • the drive belts 36 and 37 are rotated via the drive pulleys 32 and 33.
  • the middle portion 44 moves so as to protrude toward the + X side and the ⁇ X side of the base portion 41 (for example, the + X side in FIG. 2).
  • the top portion 45 moves so as to protrude toward the + X side and the ⁇ X side (for example, the + X side in FIG. 2) of the middle portion 44.
  • FIG. 3 is a diagram illustrating an example of an operation state of the transfer device 40.
  • the transfer device 40 does not move the moving unit 42 to the + X side or the ⁇ X side, but is arranged at a predetermined reference position P1, as shown in FIG. (First state).
  • the reference position P1 is the position of the moving unit 42 when the overhead traveling vehicle 20 travels.
  • the base unit 41 and the moving unit 42 the middle unit 44 and the top unit 45.
  • the present invention is not limited to this.
  • the transfer apparatus 40 makes the state (2nd state) which moved the top part 45 among the moving parts 42 to the protrusion position P2 of the 1st direction D1 side or the protrusion position P3 of the 2nd direction D2. .
  • the protruding position P2 is disposed on the + Z direction of the second support member 17.
  • the protruding position P3 is disposed on the + Z direction of the second support member 18.
  • the elevator 48 and the gripper 49 can be moved below by sending out the belt 48a from this 2nd state.
  • the gripper 49 holds the article FP, for example, the article FP can be placed on the second support members 17 and 18. Further, when the gripper 49 does not hold the article FP and the article FP is placed on the second support members 17 and 18, the article FP on the second support members 17 and 18 is moved by the gripper 49. It can be gripped.
  • the article FP gripped by the gripper 49 is to be placed at a predetermined position such as a device disposed below the rail 10, or placed at a predetermined position such as a device disposed below the rail 10.
  • the overhead traveling vehicle 20 is stopped. Then, without moving the moving part 42 to the protruding position P2 and the protruding position P3, the elevator 48 is moved to the ⁇ Z direction (third state).
  • the moving unit 42 can be moved by a predetermined range in the X direction.
  • FIG. 4 is a perspective view showing an example of the movement restricting portion 43.
  • FIG. 5 is a side view showing an example of the movement restricting unit 43.
  • the movement restricting unit 43 includes a drive source 51, a rotation transmission gear 52, a rotating shaft 53, a rotating body 54, an index unit 55, a sensor unit 56, and a control unit 57. And a mechanical stopper 60.
  • the drive source 51 is, for example, a motor and has an output shaft 51a that outputs rotation.
  • the drive source 51 rotates the output shaft 51a in the ⁇ Z direction.
  • the rotation transmission gear 52 includes a first gear 52a and a second gear 52b.
  • the first gear 52 a is fixed to the output shaft 51 a of the drive source 51.
  • the second gear 52b meshes with the first gear 52a, and converts the rotation of the first gear 52a in the ⁇ Z direction into the rotation in the ⁇ Y direction.
  • the rotating shaft 53 is fixed to the second gear 52b.
  • the rotation shaft 53 rotates in the direction around the rotation center axis AX along the Y direction ( ⁇ Y direction) with the rotation of the second gear 52b.
  • the rotating body 54 is provided integrally with the rotating shaft 53. As the rotating shaft 53 rotates, the rotating body 54 rotates in the direction around the rotation center axis AX ( ⁇ Y direction).
  • the rotating body 54 is fixed so that the position does not change in the X direction, the Y direction, and the Z direction.
  • the rotating body 54 includes a first stopper portion (stopper portion) 54a, a second stopper portion (stopper portion) 54b, a third stopper portion (outer stopper portion) 54c, and a fourth stopper portion (outer stopper portion) 54d. Yes.
  • the first stopper portion 54a and the second stopper portion 54b are formed along the same cylindrical surface around the rotation center axis AX of the rotating body 54. Between the first stopper portion 54a and the second stopper portion 54b, gaps 54m and 54n are provided. Further, the third stopper portion 54c and the fourth stopper portion 54d are formed along the same cylindrical surface outside the first stopper portion 54a and the second stopper portion 54b with the rotation center axis AX as the center.
  • an engagement portion 45a protruding in the ⁇ Y direction is provided on the surface of the top portion 45 on the ⁇ Y side.
  • the engaging portion 45a is formed in a columnar shape or a rod shape, for example.
  • the first stopper portion 54a to the fourth stopper portion 54d are disposed around the engaging portion 45a. That is, the distal end portion on the ⁇ Y side of the engaging portion 45a is in a state of being disposed in a portion surrounded by the first stopper portion 54a to the fourth stopper portion 54d.
  • the first stopper portion 54a to the fourth stopper portion 54d are in contact with the engaging portion 45a, thereby restricting the movement of the engaging portion 45a and thereby restricting the movement of the top portion 45.
  • the middle part 44 moves in synchronization with the top part 45, the movement of the middle part 44 is restricted when the movement of the top part 45 is restricted. Therefore, the movement of the moving part 42 (the middle part 44 and the top part 45) can be restricted by restricting the movement of the engaging part 45a.
  • FIG. 6A is a diagram showing an example when the rotating body 54 is viewed in the ⁇ Y direction.
  • the engaging portion 45 a of the top portion 45 is shown together with the rotating body 54.
  • the clockwise direction as viewed in the traveling direction (+ Y direction) will be referred to as + ⁇ Y direction
  • the counterclockwise direction as ⁇ Y direction.
  • the + ⁇ Y direction is shown in the clockwise direction in the figure
  • the ⁇ Y direction is shown in the counterclockwise direction in the figure.
  • the first stopper portion 54a is formed over a range of an angle ⁇ 1 in the ⁇ Y direction with the rotation center axis AX as a reference.
  • the angle ⁇ 1 is set to about 120 °, for example, but is not limited thereto.
  • the second stopper portion 54b is formed over a range of an angle ⁇ 2 in the ⁇ Y direction with the rotation center axis AX as a reference.
  • the angle ⁇ 2 can be set to about 60 °, for example, but is not limited thereto.
  • the gap 54m is formed from the + ⁇ Y side end of the first stopper portion 54a to the ⁇ Y side end of the second stopper portion 54b over a range of an angle ⁇ 3 in the ⁇ Y direction with respect to the rotation center axis AX.
  • the gap 54n is formed from the ⁇ Y side end of the first stopper portion 54a to the + ⁇ Y side end of the second stopper portion 54b over a range of an angle ⁇ 4 in the ⁇ Y direction with respect to the rotation center axis AX.
  • the angle ⁇ 3 is set to be larger than the angle ⁇ 4.
  • the angle ⁇ 4 is set according to the diameter of the engaging portion 45a so that the engaging portion 45a can pass through the gap 54n.
  • the angle ⁇ 4 may be set first, and the diameter of the engaging portion 45a may be set according to the value of the angle ⁇ 4.
  • the angle ⁇ 3 is set to about 120 ° and the angle ⁇ 4 is set to about 60 °, but is not limited thereto.
  • the third stopper portion 54c is formed over a range of an angle ⁇ 5 in the ⁇ Y direction with the rotation center axis AX as a reference.
  • the angle ⁇ 5 is set to about 60 °, for example, but is not limited thereto.
  • the third stopper portion 54c is arranged so as to cover a gap portion provided on the ⁇ Y side of the first stopper portion 54a in the rotation direction of the rotating body 54.
  • the fourth stopper portion 54d is arranged at a position shifted by 180 ° from the third stopper portion 54c with the rotation center axis AX as a reference.
  • the fourth stopper portion 54d is formed over a range of an angle ⁇ 6 in the ⁇ Y direction.
  • the angle ⁇ 5 is set to about 60 °, for example, but is not limited thereto.
  • the fourth stopper portion 54d is disposed so as to cover a part of the gap provided on the + ⁇ Y side of the first stopper portion 54a in the rotation direction of the rotating body 54.
  • FIG. 6B is a diagram illustrating an example when the index unit 55 and the sensor unit 56 are viewed from the + Y side.
  • the clockwise direction when viewed in the traveling direction (+ Y direction) is represented as + ⁇ Y direction
  • the counterclockwise direction is represented as ⁇ Y direction.
  • the indicator portion 55 is formed in a disc shape and is fixed to the second gear 52 b or the rotating shaft 53.
  • the posture of the index unit 55 shown in FIG. 6B corresponds to the posture of the rotating body 54 shown in FIG. That is, when the rotating body 54 is in the posture shown in FIG. 6A, the index unit 55 is in the posture shown in FIG. Conversely, when the index unit 55 assumes the posture shown in FIG.
  • the rotating body 54 assumes the posture shown in FIG.
  • the indicator portion 55 rotates in the ⁇ Y direction integrally with the second gear 52b or the rotation shaft 53. Since the rotating body 54 is fixed to the rotating shaft 53 in addition to the index portion 55, when the rotating shaft 53 rotates, the index portion 55 rotates integrally with the rotating body 54.
  • the indicator portion 55 is disposed on the ⁇ Y side with respect to the second gear 52b.
  • the indicator portion 55 has a base portion 55a and a light shielding portion 55b.
  • the base 55a is a portion formed in a circular shape.
  • the light shielding part 55b is provided on a part of the outer periphery of the base part 55a, and is formed so as to be able to shield the detection light used in the sensor part 56.
  • the light shielding part 55b has end faces 55c and 55d, for example.
  • the end face 55c and the end face 55d are arranged so as to have an angle ⁇ 1 in the ⁇ Y direction around the rotation center axis AX.
  • the angle ⁇ 1 is formed at an angle of less than 120 °, for example, about 116 °, but is not limited thereto.
  • the light shielding portion 55b is disposed on the + X side with respect to the base portion 55a.
  • the sensor unit 56 includes a first sensor 61, a second sensor 62, a third sensor 63, and a fourth sensor 64.
  • each of the first sensor 61 to the fourth sensor 64 has a base portion 56a, a light emitting portion 56b, and a light receiving portion 56c.
  • the base portion 56a is formed in a U shape (or U shape) and has two parallel tip portions (a first end portion 56m and a second end portion 56n).
  • the light emitting part 56b is provided at the first end part 56m.
  • the light emitting unit 56b emits inspection light.
  • the light receiving portion 56c is provided at the second end portion 56n.
  • an LED or the like is used as the light emitting unit 56b, and a photoelectric conversion element such as a photodiode is used as the light receiving unit 56c.
  • the light emitting unit 56b and the light receiving unit 56c are arranged to face each other.
  • a predetermined gap in the Y direction is provided between the light emitting unit 56b and the light receiving unit 56c.
  • the inspection light emitted from the light emitting unit 56b travels through this gap and enters the light receiving unit 56c.
  • the light receiving unit 56c photoelectrically converts the incident inspection light and outputs a light reception signal (electric signal).
  • the first sensor 61 to the fourth sensor 64 are arranged so that the light emitting part 56b and the light receiving part 56c face each other across the track of the light shielding part 55b.
  • the index unit 55 rotates, the light blocking unit 55b enters between the light emitting unit 56b and the light receiving unit 56c depending on the rotation angle.
  • the inspection light is shielded by the light shielding part 55b. For this reason, the light receiving unit 56c does not output a light reception signal.
  • the first sensor 61 to the fourth sensor 64 can detect whether or not there is a light-shielding part 55b between the light-emitting part 56b and the light-receiving part 56c by detecting the presence or absence of this light-receiving signal. ing.
  • the first sensor 61 is arranged on the ⁇ X side of the rotation center axis AX.
  • the second sensor 62 is disposed at an angle ⁇ 2 with respect to the first sensor 61 in the ⁇ Y direction.
  • the third sensor 63 is arranged with respect to the second sensor 62 at an angle ⁇ 3 in the ⁇ Y direction.
  • the fourth sensor 64 is arranged at an angle ⁇ 4 in the ⁇ Y direction with respect to the third sensor 63.
  • the angles ⁇ 2, ⁇ 3, ⁇ 4 are set to about 60 °, for example. With this arrangement, the light shielding portion 55b does not overlap three or more of the first sensor 61 to the fourth sensor 64 at the same time.
  • the first sensor 61 and the third sensor 63 are provided 120 ° apart in the ⁇ Y direction with respect to the rotation center axis AX, and the range in the ⁇ Y direction of the light shielding portion 55b is 116 °. It has become. Accordingly, in a state where the light shielding part 55b is disposed between the first sensor 61 and the third sensor 63, for example, the distance between the + ⁇ Y side end of the light shielding part 55b and the first sensor 61 is about 2 ° in the ⁇ Y direction. However, similarly, the distance between the ⁇ Y side end of the light shielding portion 55b and the third sensor 63 is only about 2 ° in the ⁇ Y direction.
  • the mechanical stopper 60 has a stopper surface 65 and a stopper surface 66.
  • the stopper surface 65 is in contact with the end surface 55c of the light shielding portion 55b. Further, the stopper surface 66 is in contact with the end surface 55d of the light shielding portion 55b.
  • the end surfaces 55c and 55d of the light shielding portion 55b are brought into contact with the stopper surfaces 65 and 66, respectively, so that the rotation of the indicator portion 55 in the ⁇ Y direction is restricted.
  • the end surface 55c is in contact with the stopper surface 65 (the light shielding portion 55b is disposed on the + X side with respect to the base portion 55a), and the end surface 55d is in contact with the stopper surface 66 (The indicator portion 55 is restricted to rotate within a range of 180 ° between the light-shielding portion 55b and the base portion 55a on the ⁇ X side.
  • FIGS. 7A to 7D are diagrams for explaining the operation of the movement restricting unit 43.
  • FIG. Fig.7 (a) has shown the operation
  • the control part 57 includes a second stopper part 54b on the + X side of the engaging part 45a and the engaging part 45a.
  • the posture of the rotating body 54 is adjusted so that the first stopper portion 54a is disposed on the ⁇ X side.
  • this posture is referred to as a first posture.
  • the light shielding portion 55 b of the indicator portion 55 is disposed between the first sensor 61 and the third sensor 63.
  • the inspection light from the light emitting unit 56b is received by the light receiving unit 56c, and a light reception signal is output.
  • the second sensor 62 blocks the inspection light and does not output a light reception signal.
  • control unit 57 adjusts the posture of the index unit 55 so that the light reception signal is output from the first sensor 61, the third sensor 63, and the fourth sensor 64 and the light reception signal is not output from the second sensor 62. By doing so, the posture of the rotating body 54 can be set to the first posture.
  • the control unit 57 detects the light reception signals of the first sensor 61 to the fourth sensor 64 and rotates the index unit 55 in the + ⁇ Y direction or the ⁇ Y direction according to the detection result. For example, when the first sensor 61 detects a light-shielded state, the control unit 57 rotates the indicator unit 55 in the ⁇ Y direction. Then, immediately after the first sensor 61 is switched from light shielding to light receiving, the rotation of the indicator portion 55 is stopped. Thereby, the light shielding part 55 b can be disposed between the first sensor 61 and the third sensor 63.
  • the control unit 57 rotates the indicator unit 55 in the + ⁇ Y direction so that the third sensor 63 is shielded from light. Then, when the control unit 57 detects the state where the third sensor 63 is shielded from light, the control unit 57 further detects the output of the third sensor 63 while rotating the indicator unit 55 in the + ⁇ Y direction, and the third sensor 63 changes from light shielding to light reception. Immediately after switching, the rotation of the indicator portion 55 is stopped. Also in this case, the light shielding part 55 b can be disposed between the first sensor 61 and the third sensor 63.
  • the moving part 42 when moving the moving part 42 to the second state, the moving part 42 is moved to the protruding position P2 in the first direction D1, and the moving part 42 is moved to the protruding position P3 in the second direction D2.
  • the control part 57 when the moving part 42 is moved to the protruding position P2, as shown in FIG. 7B, the control part 57 has a gap 54m disposed on the + X side of the engaging part 45a and is engaged.
  • the posture of the rotating body 54 is adjusted so that the first stopper portion 54a is disposed on the ⁇ X side of the portion 45a.
  • this posture is referred to as a second posture.
  • the rotating body 54 By setting the rotating body 54 to the second posture, when the moving part 42 tries to move in the + X direction, the engaging part 45a passes through the gap 54m, and thus the movement of the engaging part 45a is not restricted. For this reason, the moving part 42 can move in the first direction D1. Further, when the moving part 42 tries to move in the ⁇ X direction, the engaging part 45a is brought into contact with the first stopper part 54a, so that the movement of the engaging part 45a in the ⁇ X direction is restricted. Therefore, for example, when the moving unit 42 tries to return from the protruding position P2 to the reference position P1, it can be restricted from moving in the ⁇ X direction beyond the reference position P1.
  • the end surface 55d of the light shielding portion 55b is brought into contact with the stopper surface 66 as shown in FIG. Further, the light shielding portion 55b is disposed on the + ⁇ Y side of the second sensor 62. Further, the central portion of the light shielding portion 55 b in the ⁇ Y direction is disposed so as to correspond to the first sensor 61. In this case, in the second sensor 62, the third sensor 63, and the fourth sensor 64, the inspection light from the light emitting unit 56b is received by the light receiving unit 56c, and a light reception signal is output. The first sensor 61 blocks the inspection light and does not output a light reception signal.
  • control unit 57 adjusts the posture of the index unit 55 so that the light reception signal is output from the second sensor 62, the third sensor 63, and the fourth sensor 64 and the light reception signal is not output from the first sensor 61. By doing so, the posture of the rotating body 54 can be set to the second posture.
  • the control unit 57 detects the light reception signals of the first sensor 61 to the fourth sensor 64 and rotates the index unit 55 in the + ⁇ Y direction or the ⁇ Y direction according to the detection result. For example, when any of the third sensor 63 and the fourth sensor 64 is detected to be shielded from light, the control unit 57 rotates the indicator unit 55 in the + ⁇ Y direction so that the second sensor 62 is shielded from light. . When the control unit 57 detects the state where the second sensor 62 is shielded from light, the control unit 57 further detects the output of the second sensor 62 while rotating the indicator unit 55 in the + ⁇ Y direction. Immediately after switching, the rotation of the indicator portion 55 is stopped. Thereby, the light shielding part 55b can be arranged on the + ⁇ Y side of the second sensor 62.
  • the stopper surface 66 since the stopper surface 66 is disposed, the rotation of the indicator portion 55 can be restricted by bringing the end surface 55d of the light shielding portion 55b into contact with the stopper surface 66.
  • a sensor having the same function as the first sensor 61 to the fourth sensor 64 may be provided at the position of the stopper surface 66. In this configuration, the control unit 57 can be controlled to stop the rotation of the index unit 55 using the detection result of the sensor.
  • the control part 57 when the moving part 42 is moved to the protruding position P3 in the second direction D2, the control part 57, as shown in FIG. 7C, the first stopper part 54a on the + X side of the engaging part 45a. And the posture of the rotating body 54 is adjusted so that the gap 54m is arranged on the ⁇ X side of the engaging portion 45a.
  • this posture is referred to as a third posture.
  • the moving part 42 when the moving part 42 tries to move in the + X direction, the engaging part 45a is brought into contact with the first stopper part 54a, so that the movement of the engaging part 45a in the + X direction is restricted. Therefore, for example, when the moving unit 42 tries to return from the protruding position P3 to the reference position P1, it can be restricted from moving in the + X direction beyond the reference position P1.
  • the end surface 55c of the light shielding portion 55b is brought into contact with the stopper surface 65 as shown in FIG.
  • the light shielding portion 55b is disposed on the ⁇ Y side of the third sensor 63. Further, the central portion of the light shielding portion 55 b in the ⁇ Y direction is disposed so as to correspond to the fourth sensor 64.
  • the fourth sensor 64 blocks the inspection light and does not output a light reception signal.
  • control unit 57 adjusts the posture of the index unit 55 so that the light reception signal is output from the first sensor 61, the second sensor 62, and the third sensor 63, and the light reception signal is not output from the fourth sensor 64. By doing so, the posture of the rotating body 54 can be set to the third posture.
  • the control unit 57 detects the light reception signals of the first sensor 61 to the fourth sensor 64 and rotates the index unit 55 in the + ⁇ Y direction or the ⁇ Y direction according to the detection result. For example, when one of the first sensor 61 and the second sensor 62 detects a state where the light is shielded from light, the control unit 57 rotates the indicator portion 55 in the ⁇ Y direction so that the third sensor 63 is shielded from light. To do. Then, when the control unit 57 detects the state where the third sensor 63 is shielded from light, the control unit 57 detects the output of the third sensor 63 while further rotating the indicator unit 55 in the ⁇ Y direction, and the third sensor 63 receives light from the light shielding. Immediately after switching to, the rotation of the indicator portion 55 is stopped. Thereby, the light shielding part 55b can be arranged on the ⁇ Y side of the third sensor 63.
  • the rotation of the indicator portion 55 can be regulated by bringing the end surface 55c of the light shielding portion 55b into contact with the stopper surface 65.
  • a sensor having the same function as the first sensor 61 to the fourth sensor 64 may be provided at the position of the stopper surface 65.
  • the control unit 57 can be controlled to stop the rotation of the index unit 55 using the detection result of the sensor.
  • the control unit 57 has a gap 54n disposed on the + X side of the engaging portion 45a and a second portion on the + X side of the gap 54n.
  • the position of the rotating body 54 is adjusted so that the third stopper portion 54c is disposed, the gap 54m is disposed on the ⁇ X side of the engaging portion 45a, and the fourth stopper portion 54d is disposed on the ⁇ X side of the gap 54m.
  • this posture is referred to as a fourth posture.
  • the engaging portion 45a passes through the gap 54n when the moving portion 42 attempts to move in the + X direction, but when the moving portion 42 further attempts to move in the + X direction, the engaging portion. 45a contacts the third stopper portion 54c. Therefore, in the predetermined range L from the gap 54n to the third stopper portion 54c, the engagement portion 45a is allowed to move in the + X direction. Similarly, when the moving portion 42 tries to move in the ⁇ X direction, the engaging portion 45a passes through the gap 54m, and when the moving portion 42 tries to move further in the ⁇ X direction, the engaging portion 45a moves to the fourth stopper portion 54d. Abut.
  • the engagement portion 45a is allowed to move in the ⁇ X direction within a predetermined range from the gap 54m to the fourth stopper portion 54d. For this reason, the movement of the moving part 42 in the X direction is allowed in the range from the third stopper part 54c to the fourth stopper part 54d, and further movement in the X direction is restricted.
  • the light shielding portion 55b of the indicator portion 55 is disposed between the second sensor 62 and the fourth sensor 64.
  • the inspection light from the light emitting unit 56b is received by the light receiving unit 56c, and a light reception signal is output.
  • the third sensor 63 blocks the inspection light and does not output a light reception signal.
  • control unit 57 adjusts the posture of the index unit 55 so that the light reception signal is output from the first sensor 61, the second sensor 62, and the fourth sensor 64 and the light reception signal is not output from the third sensor 63. By doing so, the posture of the rotating body 54 can be set to the fourth posture.
  • the control unit 57 detects the light reception signals of the first sensor 61 to the fourth sensor 64, and rotates the index unit 55 in the + ⁇ Y direction or the ⁇ Y direction according to the detection result. For example, when detecting a state where the first sensor 61 is shielded from light, the control unit 57 rotates the indicator unit 55 in the ⁇ Y direction so that the second sensor 62 is shielded from light. Then, when the control unit 57 detects the state where the second sensor 62 is shielded from light, the control unit 57 detects the output of the second sensor 62 while further rotating the indicator unit 55 in the ⁇ Y direction, and the second sensor 62 receives light from the light shielding. Immediately after switching to, the rotation of the indicator portion 55 is stopped. Thereby, the light shielding part 55 b can be disposed between the second sensor 62 and the fourth sensor 64.
  • the control unit 57 detects the output of the fourth sensor 64 while rotating the indicator 55 in the + ⁇ Y direction, and the fourth sensor 64 receives light from the light shielding. Immediately after switching to, the rotation of the indicator portion 55 is stopped. Also in this case, the light shielding part 55 b can be disposed between the second sensor 62 and the fourth sensor 64.
  • the movement restricting portion 43 restricts the moving portion 42 to the reference position P1, and one of the first direction D1 and the second direction D2 from the reference position P1. Since it is possible to switch between the second state in which the movement of the moving unit 42 is allowed and the movement of the moving unit 42 is restricted to the other, the reference position P1 is moved after the moving unit 42 is moved in the first direction D1. When moving in the second direction D2 to return to the position, the movement restricting portion 43 suppresses the jumping out in the second direction D2. Thereby, inadvertent jumping out of the moving part 42 is surely suppressed.
  • the present invention is not limited to the above description, and various modifications can be made without departing from the gist of the present invention.
  • a case where the posture of the rotating body 54 is detected by using four sensors (first sensor 61 to fourth sensor 64) and the index unit 55 as the sensor unit 56 will be described as an example.
  • the present invention is not limited to this.
  • the sensor unit 56 a part of the first sensor 61 to the fourth sensor 64 may be omitted, or the same sensor may be added separately.
  • the structure which detects the rotation information of the rotating shaft 53 using other sensors, such as a rotary encoder, and adjusts the rotation of the rotating shaft 53 according to the detection result may be sufficient.
  • the configuration in which the control unit 57 that controls the rotation of the drive source 51 according to the detection result of the sensor unit 56 is described as an example.
  • the configuration is not limited thereto.
  • movement may be sufficient.
  • the operation of each unit is stopped by the main control unit, and the operation of the drive source 51 is performed by the control unit 57. May be configured to stop.
  • the configuration in which the belt mechanism 30 is used as the configuration for moving the moving unit 42 has been described as an example.
  • the configuration is not limited to this, and other driving such as a gear mechanism is used.
  • a system may be used.

Abstract

移動部の不用意な飛び出しを確実に抑制することが可能な移載装置を提供する。ベース部（４１）に対して移動可能な移動部（４２）を備え、移動部（４２）がベース部（４１）から突出した状態で物品（ＦＰ）を移載する移載装置（４０）であって、移動部（４２）を基準位置（Ｐ１）に規制する第１状態と、基準位置（Ｐ１）から第１方向（Ｄ１）及び第１方向（Ｄ１）と反対の第２方向（Ｄ２）のいずれか一方への移動部（４２）の移動を許容しかつ他方への移動部（４２）の移動を規制する第２状態と、を切り替え可能な移動規制部（４３）を備える。

Description

移載装置及び移載装置の制御方法
　本発明は、移載装置及び移載装置の制御方法に関する。
　天井に設置された軌道を走行する天井走行車において、物品を移載する移載装置が連結された構成が知られている。この移載装置は、天井走行車に連結される本体部と、この本体部に対して天井走行車の走行方向の側方に移動可能な移動部とを備えている。この移載装置では、例えばベルト機構やギア機構などの駆動機構によって移動部を移動させて本体部の側方に突出させ、この状態で物品を移載する構成となっている。また、物品を移載した後、駆動機構によって移動部を本体部側に戻すようになっている。
　このような移載装置において、ベルトが切れたり、ギアの係合が外れたりすると、移動部が本体部から不用意に側方に飛び出し、他の天井走行車や支柱など、周囲の構造物と干渉するおそれがある。これに対して、例えば特許文献１に示すように、移動部の不用意な飛び出しを防ぐため、天井走行車の走行中には移動部を本体部に係合させ、天井走行車を停止させて物品を移載する場合には移動部と本体部との係合を解除して移動部を本体部の側方に移動させる係合装置が提案されている。
国際公開第２０１１／１４８４５９号
　しかしながら、上記構成においては、例えば移動部を本体部の側方に移動させた後、本体部側に戻す際にベルトが切れたり、ギアの係合が外れたりした場合、移動部が反対側に飛び出してしまい、他の天井走行車と干渉するおそれがある。
　以上のような事情に鑑み、本発明は、移動部の不用意な飛び出しを確実に抑制することが可能な移載装置及び移載装置の制御方法を提供することを目的とする。
　本発明では、本体部に対して移動可能な移動部を備え、移動部が本体部から突出した状態で物品を移載する移載装置であって、移動部を基準位置に規制する第１状態と、基準位置から第１方向及び第１方向と反対の第２方向のいずれか一方への移動部の移動を許容しかつ他方への移動部の移動を規制する第２状態と、を切り替え可能な移動規制部を備える。
　また、移動規制部は、第１状態及び第２状態に加えて、第１方向及び第２方向への移動部の移動を所定範囲だけ許容する第３状態に切り替え可能に形成されてもよい。また、移動規制部は、移動部に設けられた係合部の移動方向において係合部に当接するストッパ部を持つ回転体を備え、回転体の回転位置により少なくとも第１状態と第２状態とを切り替えてもよい。また、回転体は、係合部の移動を所定範囲だけ許容する外側ストッパ部をストッパ部の外側に備えてもよい。また、移動規制部は、回転体の回転に伴って回転する指標部と、指標部を検出するセンサ部と、センサ部からの検出結果に基づいて回転体の回転位置を制御する制御部と、を備えてもよい。また、センサ部は、指標部の回転方向に沿って複数配置され、制御部は、複数のセンサ部からの検出結果に基づいて回転体の回転位置を制御してもよい。また、本体部は、天井走行車に連結され、移動部は、物品を保持可能なグリッパと、グリッパを昇降させる昇降駆動部とを備えてもよい。また、第１方向及び第２方向は、水平方向のうち天井走行車の走行方向と交差する方向であってもよい。
　また、本発明に係る移載装置の制御方法では、本体部に対して移動可能な移動部を備え、移動部が本体部から突出した状態で物品を移載する移載装置の制御方法であって、移動部を基準位置に規制する第１状態と、基準位置から第１方向及び第１方向と反対の第２方向のいずれか一方への移動部の移動を許容しかつ他方への移動部の移動を規制する第２状態と、を移動規制部により切り替えることを含む。
　本発明によれば、移動規制部により、移動部を基準位置に規制する第１状態と、基準位置から第１方向及び第１方向と反対の第２方向のいずれか一方への移動部の移動を許容しかつ他方への移動部の移動を規制する第２状態とを切り替え可能であるため、移動部を第１方向に移動させた後、基準位置に戻すために第２方向に移動させる場合、移動規制部によって第２方向への飛び出しが抑制されることになる。これにより、移動部の不用意な飛び出しが確実に抑制される。
　また、移動規制部が、第１状態及び第２状態に加えて、第１方向及び第２方向への移動部の移動を所定範囲だけ許容する第３状態に切り替え可能に形成されるものでは、移動規制部が第３状態にある場合、移動部の位置を所定範囲において微調整することができる。また、移動規制部が、移動部に設けられた係合部の移動方向において係合部に当接するストッパ部を持つ回転体を備え、回転体の回転位置により少なくとも第１状態と第２状態とを切り替えるものでは、回転体を回転させるだけで、容易に移動規制部を少なくとも第１状態と第２状態とで切り替えることができる。また、回転体が、係合部の移動を所定範囲だけ許容する外側ストッパ部をストッパ部の外側に備えるものでは、外側ストッパ部において係合部の移動を規制することができる。また、移動規制部が、回転体の回転に伴って回転する指標部と、指標部を検出するセンサ部と、センサ部からの検出結果に基づいて回転体の回転位置を制御する制御部と、を備えるものでは、移動規制部の切り替えを自動的に行うことができる。また、センサ部が、指標部の回転方向に沿って複数配置され、制御部は、複数のセンサ部からの検出結果に基づいて回転体の回転位置を制御するものでは、センサ部及び制御部により回転体の回転位置を確実に制御することができる。また、本体部が、天井走行車に連結され、移動部が、物品を保持可能なグリッパと、グリッパを昇降させる昇降駆動部とを備えるものでは、天井走行車の走行する場合、移動部が本体部の側方に移動する場合、移動部がグリッパを昇降させる場合、移動部が本体部側に戻る場合のいずれにおいても、移動部の不用意な飛び出しを確実に抑制できる。また、第１方向及び第２方向は、水平方向のうち天井走行車の走行方向と交差する方向であるものでは、移動部が天井走行車の走行方向と交差する方向に不用意に飛び出すのを確実に抑制できる。これにより、平行に延びる軌道のそれぞれを天井走行車が走行する場合、天井走行車同士が干渉するのを抑制できる。
処理室の天井部分の一例を示す図である。 ベルト機構の一例を示す図である。 移載装置の動作状態の一例を示す図である。 移動規制部の一例を示す斜視図である。 移動規制部の一例を示す側面図である。 （ａ）は回転体の一例を示す図であり、（ｂ）は指標部及びセンサ部の一例を示す図である。 （ａ）～（ｄ）は、移動規制部の動作を説明するための図である。
　以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。ただし、本発明はこれに限定されるものではない。また、図面においては実施形態を説明するため、一部分を大きくまたは強調して記載するなど適宜縮尺を変更して表現している。以下の各図において、ＸＹＺ座標系を用いて図中の方向を説明する。このＸＹＺ座標系においては、水平面に平行な平面をＸＹ平面とする。このＸＹ平面において天井走行車２０の走行方向をＹ方向と表記し、Ｙ方向に直交する方向をＸ方向と表記する。また、ＸＹ平面に垂直な方向はＺ方向と表記する。Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向のそれぞれは、図中の矢印の方向が＋方向であり、矢印の方向とは反対の方向が－方向であるものとして説明する。また、Ｘ軸周りの回転方向をθＸ方向、Ｙ軸周りの回転方向をθＹ方向、Ｚ軸周りの回転方向をθＺ方向と表記する。
　図１は、処理室１の天井部分の一例を示す図である。処理室１は、例えばクリーンルーム内部であり、不図示の半導体処理装置などが設けられている。　
　処理室１の天井部分には、天井部材４と、第１支柱６と、第２支柱１５とが設けられている。天井部材４には、天井面４ａが形成されている。天井面４ａは、水平面に平行に形成される。第１支柱６は、天井部材４に固定されており、天井面４ａから下方（－Ｚ方向）に延びている。
　第１支柱６の各群の－Ｚ側端部には、それぞれ第１支持部材８、９が固定されている。第１支持部材８、９は、Ｙ方向に長手となるように形成されている。第１支持部材８、９は、第１支柱６を介して天井部材４に固定されている。第１支持部材８、９の－Ｚ側の面（支持面）８ａ、９ａは、天井面４ａに平行に配置されている。
　支持面８ａ、９ａには、それぞれレール１０が隣り合って設けられている。レール１０は、天井走行車２０を案内する軌道である。レール１０は、走行レール１１及び給電レール１２を有している。レール１０の少なくとも一部は、例えば第１支持部材８、９の長手方向（Ｙ方向）に沿って設けられている。隣り合うレール１０同士は、互いに平行に配置される。なお、図１では、第１支持部材９のレール１０に設けられる天井走行車の図示を省略している。
　天井走行車２０は、走行レール１１の内側に配置されている。天井走行車２０は、レール１０に沿って＋Ｙ方向に走行する。天井走行車２０は、走行駆動部２１と、受電部２２と、連結部２３とを有している。走行駆動部２１は、走行レール１１の内面に当接する複数のローラー２１ａと、これら複数のローラー２１ａを回転させる不図示の駆動装置とを有している。受電部２２は、給電レール１２に設けられた非接触給電線を介して受電し、走行駆動部２１などに電力を供給する。連結部２３は、走行駆動部２１の－Ｚ側に取り付けられており、走行駆動部２１と移載装置４０とを連結する。
　移載装置４０は、ベース部（本体部）４１と、移動部４２と、移動規制部４３とを備えている。ベース部４１は、連結部２３を介して天井走行車２０（走行駆動部２１）に連結されている。したがって、ベース部４１は、天井走行車２０と一体的に移動可能である。
　移動部４２は、ミドル部４４及びトップ部４５を有している。ミドル部４４は、ベース部４１に取り付けられている。ミドル部４４は、不図示のガイドにより、Ｘ方向に沿った第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２に移動する。トップ部４５は、ミドル部４４に取り付けられている。トップ部４５は、ミドル部４４の移動に伴って、Ｘ方向に沿った第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２に移動可能である。
　また、トップ部４５の下方（－Ｚ側）には、旋回部４６と、昇降駆動部４７と、昇降台４８と、グリッパ４９とが設けられている。旋回部４６は、トップ部４５に対して昇降駆動部４７以下の構成（昇降駆動部４７、昇降台４８及びグリッパ４９）をθＺ方向に旋回させる。
　昇降駆動部４７は、昇降台４８の昇降（Ｚ方向についての移動）を制御する。昇降駆動部４７は、所定の長さに形成されたベルト４８ａ（図３参照）を介して昇降台４８に接続されている。昇降駆動部４７には、ベルト４８ａが巻かれる不図示のドラムが設けられている。昇降駆動部４７は、ベルト４８ａを巻き取ったり送り出したりすることにより、昇降台４８をＺ方向に移動させる。
　昇降台４８は、昇降駆動部４７の駆動により、グリッパ４９と一体的にＺ方向に移動する。グリッパ４９は、一対の爪部４９ａを有している。この爪部４９ａは、例えば半導体ウエハの搬送容器（ＦＯＵＰ）などの物品ＦＰを把持することが可能である。一対の爪部４９ａは、物品ＦＰの＋Ｚ側の面に設けられる突起部ＦＰａを把持している。
　また、第１支持部材８、９の支持面８ａ、９ａには、第３支柱１６が設けられている。第３支柱１６は、Ｘ方向についてレール１０を挟む位置に配置されている。第３支柱１６は、－Ｚ方向に延びている。第３支柱１６の－Ｚ方向の端部には、それぞれ第２支持部材１７、１８が固定されている。第２支持部材１７は第１支持部材８の＋Ｘ側に配置されており、第２支持部材１８は第１支持部材８の－Ｘ側に配置されている。第２支持部材１７、１８は、それぞれ載置面１７ａ、１８ａを有している。載置面１７ａ、１８ａは、水平面に平行に形成されている。第２支持部材１７、１８は、この載置面１７ａ、１８ａに物品などを仮置きできるようになっており、バッファとして用いられる。
　第２支持部材１７は、＋Ｘ側に配置された第３支柱１６と、第２支柱１５とによって支持されている。第２支柱１５は、天井面４ａから－Ｚ方向に延びており、－Ｚ側端部において第２支持部材１７に固定されている。また、第２支持部材１８は、第１支持部材８に設けられた第３支柱１６のうち－Ｘ側の支柱と、第１支持部材９に設けられた第３支柱１６のうち＋Ｘ側の支柱とによって支持されている。
　なお、第２支持部材１７、１８に代えて、適宜の自動倉庫あるいはストッカなどを配置してもよい。また、第１支持部材９及びこの第１支持部材９に配置されるレール１０、天井走行車２０等については、設けなくてもよい。また、第２支持部材１８についても、設けなくてもよい。
　図２は、ベース部４１及び移動部４２を駆動するベルト機構３０の一例を模式的に示す図である。なお、ベルト機構３０は、図２に示す構成に限定されるものではない。　
　図２に示すように、上記のミドル部４４及びトップ部４５は、ベルト機構３０によって駆動される。ベルト機構３０は、駆動モータ３１と、駆動プーリ３２、３３と、従動プーリ３４、３５と、駆動ベルト３６、３７とを有している。駆動モータ３１、駆動プーリ３２及び従動プーリ３４は、ベース部４１の－Ｚ側に固定されている。駆動プーリ３２は、駆動モータ３１の駆動力によって回転する。駆動ベルト３６は、駆動プーリ３２と従動プーリ３４との間に掛けられており、固定部３６ａを有している。固定部３６ａはミドル部４４に固定されている。
　駆動プーリ３３及び従動プーリ３５は、ミドル部４４の－Ｚ側に固定されている。駆動プーリ３３は、不図示の回転力伝達機構を介して駆動モータ３１又は駆動プーリ３２に接続されている。駆動プーリ３３は、駆動プーリ３２の回転と同期して回転する。駆動ベルト３７は、駆動プーリ３３と従動プーリ３５との間に掛けられており、固定部３７ａを有している。固定部３７ａはトップ部４５に固定されている。
　上記のベルト機構３０において、駆動モータ３１を回転させることにより、駆動プーリ３２、３３を介して駆動ベルト３６、３７が回転する。駆動ベルト３６の回転により、ミドル部４４がベース部４１の＋Ｘ側及び－Ｘ側（図２では一例として＋Ｘ側）へ突出するように移動する。また、駆動ベルト３７の回転により、トップ部４５がミドル部４４の＋Ｘ側及び－Ｘ側（図２では一例として＋Ｘ側）へ突出するように移動する。
　図３は、移載装置４０の動作状態の一例を示す図である。　
　天井走行車２０を走行させる場合、移動部４２がレール１０の＋Ｘ側又は－Ｘ側に飛び出すと、周囲の構造物に干渉するおそれがある。これは、グリッパ４９が物品ＦＰを把持している場合も、物品ＦＰを把持していない場合も同様である。そのため、天井走行車２０を走行させる場合、移載装置４０は、移動部４２を＋Ｘ側又は－Ｘ側に移動させることなく、図３に示すように、所定の基準位置Ｐ１に配置させた状態（第１状態）とする。第１状態において、基準位置Ｐ１は、天井走行車２０を走行させる場合の移動部４２の位置であり、本実施形態では、一例としてベース部４１と移動部４２（ミドル部４４及びトップ部４５）とがＺ方向視で重なる位置としているが、これには限定されない。
　一方、グリッパ４９で把持している物品ＦＰを第２支持部材１７、１８に載置しようとする場合や、第２支持部材１７、１８に載置された物品ＦＰをグリッパ４９で把持しようとする場合には、天井走行車２０を停止させた状態とする。そして、移載装置４０は、移動部４２のうちトップ部４５を、第１方向Ｄ１側の突出位置Ｐ２、又は第２方向Ｄ２側の突出位置Ｐ３に移動させた状態（第２状態）とする。突出位置Ｐ２は、第２支持部材１７の＋Ｚ方向上に配置される。また、突出位置Ｐ３は、第２支持部材１８の＋Ｚ方向上に配置される。なお、図３において一点鎖線で示すように、この第２状態から、ベルト４８ａを送り出すことにより、昇降台４８及びグリッパ４９を下方に移動させることができる。グリッパ４９が物品ＦＰを把持している場合には、例えば物品ＦＰを第２支持部材１７、１８上に載置することができる。また、グリッパ４９が物品ＦＰを把持しておらず、第２支持部材１７、１８上に物品ＦＰが載置されている場合には、第２支持部材１７、１８上の物品ＦＰをグリッパ４９で把持することができる。
　更に、グリッパ４９で把持している物品ＦＰをレール１０の下方に配置される装置等の所定位置に載置しようとする場合や、レール１０の下方に配置される装置等の所定位置に載置された物品ＦＰをグリッパ４９で把持しようとする場合にも、天井走行車２０を停止させた状態とする。そして、移動部４２を突出位置Ｐ２及び突出位置Ｐ３に移動させることなく、昇降台４８を－Ｚ方向に移動させた状態（第３状態）にする。第３状態では、グリッパ４９と物品ＦＰとの位置関係を微調整するため、移動部４２がＸ方向に所定範囲だけ移動させることができる。
　図４は、移動規制部４３の一例を示す斜視図である。また、図５は、移動規制部４３の一例を示す側面図である。　
　図４及び図５に示すように、移動規制部４３は、駆動源５１と、回転伝達歯車５２と、回転軸５３と、回転体５４と、指標部５５と、センサ部５６と、制御部５７と、メカストッパ６０とを有している。
　駆動源５１は、例えばモータなどが用いられており、回転を出力する出力軸５１ａを有している。駆動源５１は、出力軸５１ａをθＺ方向に回転させる。回転伝達歯車５２は、第１歯車５２ａ及び第２歯車５２ｂを有している。第１歯車５２ａは、駆動源５１の出力軸５１ａに固定されている。第２歯車５２ｂは、第１歯車５２ａと噛み合っており、第１歯車５２ａのθＺ方向の回転をθＹ方向の回転に変換する。回転軸５３は、第２歯車５２ｂに固定されている。回転軸５３は、第２歯車５２ｂの回転に伴い、Ｙ方向に沿った回転中心軸ＡＸの軸周り方向（θＹ方向）に回転する。回転体５４は、回転軸５３と一体的に設けられている。回転軸５３が回転することにより、回転体５４が回転中心軸ＡＸの軸周り方向（θＹ方向）に回転する。
　回転体５４は、Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向については、位置が変化しないように固定されている。回転体５４は、第１ストッパ部（ストッパ部）５４ａ、第２ストッパ部（ストッパ部）５４ｂ、第３ストッパ部（外側ストッパ部）５４ｃ及び第４ストッパ部（外側ストッパ部）５４ｄを有している。
　第１ストッパ部５４ａ及び第２ストッパ部５４ｂは、回転体５４の回転中心軸ＡＸを中心とした同一円筒面に沿って形成されている。第１ストッパ部５４ａと第２ストッパ部５４ｂとの間には、間隙５４ｍ、５４ｎが設けられている。また、第３ストッパ部５４ｃ及び第４ストッパ部５４ｄは、回転中心軸ＡＸを中心として第１ストッパ部５４ａ及び第２ストッパ部５４ｂよりも外側の同一円筒面に沿って形成されている。
　図４及び図５に示すように、トップ部４５の－Ｙ側の面には、－Ｙ方向に突出する係合部４５ａが設けられている。係合部４５ａは、例えば円柱状または棒状に形成されている。第１ストッパ部５４ａ～第４ストッパ部５４ｄは、係合部４５ａの周囲に配置される。つまり、係合部４５ａの－Ｙ側の先端部は、第１ストッパ部５４ａ～第４ストッパ部５４ｄで囲まれる部分に配置された状態となっている。第１ストッパ部５４ａ～第４ストッパ部５４ｄは、係合部４５ａと当接することにより、係合部４５ａの移動を規制し、これによってトップ部４５の移動を規制する。ミドル部４４はトップ部４５と同期して移動するため、トップ部４５の移動が規制されるとミドル部４４の移動が規制される。したがって、係合部４５ａの移動を規制することにより、移動部４２（ミドル部４４及びトップ部４５）の移動を規制できる。
　図６（ａ）は、回転体５４を－Ｙ方向に見たときの一例を示す図である。図６（ａ）では、回転体５４と併せて、トップ部４５の係合部４５ａを示している。以下、Ｙ軸周りのθＹ方向の正負については、走行方向（＋Ｙ方向）に見て時計回りの方向を＋θＹ方向とし、反時計回りの方向を－θＹ方向として表記する。図６（ａ）では、走行方向とは反対方向に回転体５４を見ているため、＋θＹ方向が図中では右回り、－θＹ方向が図中では左回りの方向に示されている。
　図６（ａ）に示すように、第１ストッパ部５４ａは、回転中心軸ＡＸを基準として、θＹ方向に角度α１の範囲に亘って形成されている。この角度α１は、例えば１２０°程度に設定されているが、これには限定されない。第２ストッパ部５４ｂは、回転中心軸ＡＸを基準として、θＹ方向に角度α２の範囲に亘って形成されている。この角度α２は、例えば６０°程度に設定することができるが、これには限定されない。
　間隙５４ｍは、第１ストッパ部５４ａの＋θＹ側端部から第２ストッパ部５４ｂの－θＹ側端部にかけて、回転中心軸ＡＸを基準としてθＹ方向に角度α３の範囲に亘って形成されている。また、間隙５４ｎは、第１ストッパ部５４ａの－θＹ側端部から第２ストッパ部５４ｂの＋θＹ側端部にかけて、回転中心軸ＡＸを基準としてθＹ方向に角度α４の範囲に亘って形成されている。角度α３は、角度α４よりも大きくなるように設定される。また、角度α４は、係合部４５ａが間隙５４ｎを通過可能となるように、係合部４５ａの径に応じて設定される。なお、角度α４が先に設定され、この角度α４の値に応じて係合部４５ａの径を設定してもよい。本実施形態では、例えば、角度α３は１２０°程度に設定され、角度α４は６０°程度に設定されるが、これには限定されない。
　第３ストッパ部５４ｃは、回転中心軸ＡＸを基準として、θＹ方向に角度α５の範囲に亘って形成されている。この角度α５は、例えば６０°程度に設定されているが、これには限定されない。なお、第３ストッパ部５４ｃは、回転体５４の回転方向について、第１ストッパ部５４ａの－θＹ側に設けられた隙間部分をカバーするように配置されている。
　第４ストッパ部５４ｄは、回転中心軸ＡＸを基準として、第３ストッパ部５４ｃから１８０°ずれた位置に配置されている。第４ストッパ部５４ｄは、θＹ方向に角度α６の範囲に亘って形成されている。この角度α５は、例えば６０°程度に設定されているが、これには限定されない。なお、第４ストッパ部５４ｄは、回転体５４の回転方向について、第１ストッパ部５４ａの＋θＹ側に設けられた隙間部分の一部をカバーするように配置されている。
　図６（ｂ）は、指標部５５及びセンサ部５６を＋Ｙ側から見たときの一例を示す図である。なお、図６（ａ）と同様に、走行方向（＋Ｙ方向）に見て時計回りの方向を＋θＹ方向とし、反時計回りの方向を－θＹ方向として表記する。　
　図６（ｂ）に示すように、指標部５５は、円板状に形成されており、第２歯車５２ｂ又は回転軸５３に固定されている。なお、図６（ｂ）で示す指標部５５の姿勢は、図６（ａ）で示す回転体５４の姿勢と対応している。つまり、回転体５４が図６（ａ）で示す姿勢となる場合、指標部５５は図６（ｂ）に示す姿勢となる。また、逆に指標部５５が図６（ｂ）に示す姿勢となる場合、回転体５４は図６（ａ）に示す姿勢となる。指標部５５は、第２歯車５２ｂ又は回転軸５３と一体的にθＹ方向に回転する。回転軸５３には、指標部５５に加えて回転体５４が固定されているため、回転軸５３が回転する場合、指標部５５は、回転体５４と一体的に回転する。
　指標部５５は、第２歯車５２ｂに対して－Ｙ側に配置されている。指標部５５は、基部５５ａ及び遮光部５５ｂを有している。基部５５ａは、円形に形成された部分である。遮光部５５ｂは、基部５５ａの外周の一部に設けられ、センサ部５６で用いられる検出光を遮光可能に形成されている。遮光部５５ｂは、例えば端面５５ｃ、５５ｄを有している。端面５５ｃ及び端面５５ｄは、回転中心軸ＡＸを中心としてθＹ方向に角度β１となるように配置されている。角度β１は、１２０°未満の角度、例えば１１６°程度に形成されているが、これに限定されない。なお、図６（ｂ）に示す構成では、基部５５ａに対して遮光部５５ｂが＋Ｘ側に配置されている。
　また、センサ部５６は、第１センサ６１、第２センサ６２、第３センサ６３及び第４センサ６４を有している。第１センサ６１～第４センサ６４は、例えば図５に示すように、それぞれ基部５６ａと、発光部５６ｂと、受光部５６ｃとを有している。基部５６ａは、コ字状（又はＵ字状）に形成されており、平行な２つの先端部（第１端部５６ｍ及び第２端部５６ｎ）を有している。発光部５６ｂは、第１端部５６ｍに設けられている。発光部５６ｂは、検査光を射出する。受光部５６ｃは、第２端部５６ｎに設けられている。発光部５６ｂとしては、例えばＬＥＤなどが用いられ、受光部５６ｃとしてはフォトダイオードなどの光電変換素子などが用いられる。
　本実施形態では、発光部５６ｂと受光部５６ｃとが対向して配置されている。発光部５６ｂと受光部５６ｃとの間には、Ｙ方向について所定の間隙が設けられている。発光部５６ｂから射出された検査光は、この間隙を進行して受光部５６ｃに入射することになる。受光部５６ｃは、入射した検査光を光電変換し、受光信号（電気信号）を出力する。
　第１センサ６１～第４センサ６４は、発光部５６ｂ及び受光部５６ｃが遮光部５５ｂの軌道を挟んで対向するように配置される。指標部５５が回転することにより、回転角度によっては、遮光部５５ｂが発光部５６ｂと受光部５６ｃとの間に入り込むことになる。指標部５５の回転によって遮光部５５ｂが発光部５６ｂと受光部５６ｃとの間に入り込む場合、検査光が遮光部５５ｂによって遮光される。このため、受光部５６ｃでは、受光信号は出力されない。第１センサ６１～第４センサ６４では、この受光信号の有無を検出することにより、それぞれ発光部５６ｂと受光部５６ｃとの間に遮光部５５ｂが有るか無いかを検出することが可能となっている。
　また、図６（ｂ）に示すように、第１センサ６１は、回転中心軸ＡＸの－Ｘ側に配置されている。第２センサ６２は、第１センサ６１に対して、－θＹ方向に角度β２をあけて配置されている。第３センサ６３は、第２センサ６２に対して、－θＹ方向に角度β３をあけて配置されている。第４センサ６４は、第３センサ６３対して、－θＹ方向に角度β４をあけて配置されている。角度β２、β３、β４は、例えばそれぞれ６０°程度に設定される。この配置により、遮光部５５ｂが第１センサ６１～第４センサ６４のうち同時に３つ以上に重ならないことになる。
　ここで、本実施形態では、回転中心軸ＡＸを基準として第１センサ６１と第３センサ６３とがθＹ方向において１２０°空けて設けられており、遮光部５５ｂのθＹ方向の範囲が１１６°となっている。したがって、遮光部５５ｂが、例えば第１センサ６１と第３センサ６３との間に配置された状態では、遮光部５５ｂの＋θＹ側端部と第１センサ６１との間がθＹ方向に２°程度しかなく、同様に遮光部５５ｂの－θＹ側端部と第３センサ６３との間がθＹ方向に２°程度しかない。このため、遮光部５５ｂが第１センサ６１と第３センサ６３との間に配置された状態から指標部５５がθＹ方向に２°以上回転すると、遮光部５５ｂのθＹ側のいずれかの端部が第１センサ６１又は第３センサ６３の検査光を遮光される。なお、遮光部５５ｂが第２センサ６２と第４センサ６４との間に配置される場合においても、同様の説明が可能である。
　また、メカストッパ６０は、ストッパ面６５及びストッパ面６６を有している。ストッパ面６５は、遮光部５５ｂの端面５５ｃに当接される。また、ストッパ面６６は、遮光部５５ｂの端面５５ｄに当接される。遮光部５５ｂの端面５５ｃ、５５ｄがストッパ面６５、６６にそれぞれ当接されることにより、指標部５５のθＹ方向の回転が規制されるようになっている。本実施形態では、端面５５ｃがストッパ面６５に当接された状態（遮光部５５ｂが基部５５ａに対して＋Ｘ側に配置された状態）と、端面５５ｄがストッパ面６６に当接された状態（遮光部５５ｂが基部５５ａに対して－Ｘ側に配置された状態）との間で、指標部５５が１８０°の範囲で回転するように規制されている。
　次に、移動規制部４３における動作を説明する。図７（ａ）～（ｄ）は、移動規制部４３の動作を説明するための図である。　
　図７（ａ）は、移載装置４０が第１状態（図３等参照）となる場合の、移動規制部４３の動作を示している。
　移動部４２を第１状態にする場合、図７（ａ）に示すように、制御部５７は、係合部４５ａの＋Ｘ側に第２ストッパ部５４ｂが配置され、かつ、係合部４５ａの－Ｘ側に第１ストッパ部５４ａが配置されるように回転体５４の姿勢を調整する。以下、この姿勢を第１姿勢と表記する。回転体５４を第１姿勢とすることにより、移動部４２（トップ部４５）が＋Ｘ方向に移動しようとすると係合部４５ａが第２ストッパ部５４ｂに当接され、－Ｘ方向に移動しようとすると係合部４５ａが第１ストッパ部５４ａに当接される。このため、係合部４５ａのＸ方向への移動が規制される。したがって、移動部４２のＸ方向への移動が規制され、移動部４２が基準位置Ｐ１に配置された状態となる。
　また、回転体５４の姿勢が上記第１姿勢となる場合、指標部５５の遮光部５５ｂは第１センサ６１と第３センサ６３との間に配置される。この場合、第１センサ６１、第３センサ６３及び第４センサ６４では発光部５６ｂからの検査光が受光部５６ｃで受光され、受光信号が出力される。また、第２センサ６２では検査光が遮光され、受光信号は出力されない。
　したがって、制御部５７は、第１センサ６１、第３センサ６３及び第４センサ６４で受光信号が出力され、第２センサ６２で受光信号が出力されない状態となるように指標部５５の姿勢を調整することにより、回転体５４の姿勢を上記第１姿勢に設定することができる。
　このとき、制御部５７は、第１センサ６１～第４センサ６４の受光信号を検出し、検出結果に応じて指標部５５を＋θＹ方向又は－θＹ方向に回転させる。例えば、第１センサ６１が遮光された状態を検出した場合、制御部５７は、指標部５５を－θＹ方向に回転させる。そして、第１センサ６１が遮光から受光に切り替わった直後に指標部５５の回転を停止させる。これにより、遮光部５５ｂを第１センサ６１と第３センサ６３との間に配置させることができる。
　また、第４センサ６４が遮光の状態を検出した場合、制御部５７は、指標部５５を＋θＹ方向に回転させ、第３センサ６３が遮光された状態とする。そして、制御部５７は、第３センサ６３が遮光された状態を検出したら、指標部５５をさらに＋θＹ方向に回転させつつ第３センサ６３の出力を検出し、第３センサ６３が遮光から受光に切り替わった直後に指標部５５の回転を停止させる。この場合も、遮光部５５ｂを第１センサ６１と第３センサ６３との間に配置させることができる。
　次に、移動部４２を第２状態にする場合としては、移動部４２を第１方向Ｄ１の突出位置Ｐ２に移動させる場合と、移動部４２を第２方向Ｄ２の突出位置Ｐ３に移動させる場合とがある。このうち、移動部４２を突出位置Ｐ２に移動させる場合には、図７（ｂ）に示すように、制御部５７は、係合部４５ａの＋Ｘ側に間隙５４ｍが配置され、かつ、係合部４５ａの－Ｘ側に第１ストッパ部５４ａが配置されるように回転体５４の姿勢を調整する。以下、この姿勢を第２姿勢と表記する。回転体５４を第２姿勢とすることにより、移動部４２が＋Ｘ方向に移動しようとすると、係合部４５ａが間隙５４ｍを通過するため、係合部４５ａの移動は規制されない。このため、移動部４２は第１方向Ｄ１に移動できる。また、移動部４２が－Ｘ方向に移動しようとすると、係合部４５ａが第１ストッパ部５４ａに当接されるため、係合部４５ａの－Ｘ方向への移動は規制される。したがって、例えば移動部４２が突出位置Ｐ２から基準位置Ｐ１に戻ろうとする場合に、基準位置Ｐ１を超えて－Ｘ方向に移動するのを規制できる。
　また、回転体５４の姿勢が上記第２姿勢となる場合、図７（ｂ）に示すように、遮光部５５ｂの端面５５ｄは、ストッパ面６６に当接される。また、遮光部５５ｂは、第２センサ６２の＋θＹ側に配置される。さらに、遮光部５５ｂのθＹ方向の中央部は、第１センサ６１に対応するように配置される。この場合、第２センサ６２、第３センサ６３及び第４センサ６４では発光部５６ｂからの検査光が受光部５６ｃで受光され、受光信号が出力される。また、第１センサ６１では検査光が遮光され、受光信号は出力されない。
　したがって、制御部５７は、第２センサ６２、第３センサ６３及び第４センサ６４で受光信号が出力され、第１センサ６１で受光信号が出力されない状態となるように指標部５５の姿勢を調整することにより、回転体５４の姿勢を上記第２姿勢に設定することができる。
　このとき、制御部５７は、第１センサ６１～第４センサ６４の受光信号を検出し、検出結果に応じて指標部５５を＋θＹ方向又は－θＹ方向に回転させる。例えば、第３センサ６３及び第４センサ６４のいずれかが遮光された状態を検出した場合、制御部５７は、指標部５５を＋θＹ方向に回転させ、第２センサ６２が遮光された状態とする。そして、制御部５７は、第２センサ６２が遮光された状態を検出したら、指標部５５をさらに＋θＹ方向に回転させつつ第２センサ６２の出力を検出し、第２センサ６２が遮光から受光に切り替わった直後に指標部５５の回転を停止させる。これにより、遮光部５５ｂを第２センサ６２の＋θＹ側に配置させることができる。
　本実施形態では、ストッパ面６６が配置されているため、遮光部５５ｂの端面５５ｄをストッパ面６６に当接させることで指標部５５の回転を規制することができる。なお、ストッパ面６６（メカストッパ６０）を配置する代わりに、第１センサ６１～第４センサ６４と同一の機能を有するセンサをストッパ面６６の位置に設けてもよい。この構成においては、該センサの検出結果を用いて、制御部５７が指標部５５の回転を停止させるように制御することができる。
　また、例えば移動部４２を第２方向Ｄ２の突出位置Ｐ３に移動させる場合には、制御部５７は、図７（ｃ）に示すように、係合部４５ａの＋Ｘ側に第１ストッパ部５４ａが配置され、かつ、係合部４５ａの－Ｘ側に間隙５４ｍが配置されるように回転体５４の姿勢を調整する。以下、この姿勢を第３姿勢と表記する。回転体５４を第３姿勢とすることにより、移動部４２が－Ｘ方向に移動しようとすると、係合部４５ａが間隙５４ｍを通過するため、係合部４５ａの移動は規制されない。このため、移動部４２は第２方向Ｄ２に移動できる。また、移動部４２が＋Ｘ方向に移動しようとすると、係合部４５ａが第１ストッパ部５４ａに当接されるため、係合部４５ａの＋Ｘ方向への移動は規制される。したがって、例えば移動部４２が突出位置Ｐ３から基準位置Ｐ１に戻ろうとする場合に、基準位置Ｐ１を超えて＋Ｘ方向に移動するのを規制できる。
　また、回転体５４の姿勢が上記第３姿勢となる場合、図７（ｃ）に示すように、遮光部５５ｂの端面５５ｃは、ストッパ面６５に当接される。また、遮光部５５ｂは、第３センサ６３の－θＹ側に配置される。さらに、遮光部５５ｂのθＹ方向の中央部は、第４センサ６４に対応するように配置される。この場合、第１センサ６１、第２センサ６２及び第３センサ６３では発光部５６ｂからの検査光が受光部５６ｃで受光され、受光信号が出力される。また、第４センサ６４では検査光が遮光され、受光信号は出力されない。
　したがって、制御部５７は、第１センサ６１、第２センサ６２及び第３センサ６３で受光信号が出力され、第４センサ６４で受光信号が出力されない状態となるように指標部５５の姿勢を調整することにより、回転体５４の姿勢を上記第３姿勢に設定することができる。
　このとき、制御部５７は、第１センサ６１～第４センサ６４の受光信号を検出し、検出結果に応じて指標部５５を＋θＹ方向又は－θＹ方向に回転させる。例えば、第１センサ６１及び第２センサ６２のいずれかが遮光された状態を検出した場合、制御部５７は、指標部５５を－θＹ方向に回転させ、第３センサ６３が遮光された状態とする。そして、制御部５７は、第３センサ６３が遮光された状態を検出したら、指標部５５をさらに－θＹ方向に回転させつつ第３センサ６３の出力を検出し、第３センサ６３が遮光から受光に切り替わった直後に指標部５５の回転を停止させる。これにより、遮光部５５ｂを第３センサ６３の－θＹ側に配置させることができる。
　本実施形態では、ストッパ面６５が配置されているため、遮光部５５ｂの端面５５ｃをストッパ面６５に当接させることで指標部５５の回転を規制することができる。なお、ストッパ面６５（メカストッパ６０）を配置する代わりに、第１センサ６１～第４センサ６４と同一の機能を有するセンサをストッパ面６５の位置に設けてもよい。この構成においては、該センサの検出結果を用いて、制御部５７が指標部５５の回転を停止させるように制御することができる。
　次に、移動部４２を第３状態にする場合、制御部５７は、図７（ｄ）に示すように、係合部４５ａの＋Ｘ側に間隙５４ｎが配置され、間隙５４ｎの＋Ｘ側に第３ストッパ部５４ｃが配置され、係合部４５ａの－Ｘ側に間隙５４ｍが配置され、間隙５４ｍの－Ｘ側に第４ストッパ部５４ｄが配置されるように、回転体５４の姿勢を調整する。以下、この姿勢を第４姿勢と表記する。回転体５４を第４姿勢とすることにより、移動部４２が＋Ｘ方向に移動しようとすると係合部４５ａが間隙５４ｎを通過するが、更に移動部４２が＋Ｘ方向に移動しようとすると係合部４５ａが第３ストッパ部５４ｃに当接する。したがって、間隙５４ｎから第３ストッパ部５４ｃまでの所定範囲Ｌにおいて、係合部４５ａの＋Ｘ方向への移動が許容される。同様に、移動部４２が－Ｘ方向に移動しようとすると係合部４５ａが間隙５４ｍを通過し、更に移動部４２が－Ｘ方向に移動しようとすると係合部４５ａが第４ストッパ部５４ｄに当接する。したがって、間隙５４ｍから第４ストッパ部５４ｄまでの所定範囲において、係合部４５ａの－Ｘ方向への移動が許容される。このため、第３ストッパ部５４ｃから第４ストッパ部５４ｄまでの範囲において移動部４２のＸ方向への移動が許容され、それ以上のＸ方向への移動は規制される。
　また、回転体５４の姿勢が上記第４姿勢となる場合、指標部５５の遮光部５５ｂは第２センサ６２と第４センサ６４との間に配置される。この場合、第１センサ６１、第２センサ６２及び第４センサ６４では発光部５６ｂからの検査光が受光部５６ｃで受光され、受光信号が出力される。また、第３センサ６３では検査光が遮光され、受光信号は出力されない。
　したがって、制御部５７は、第１センサ６１、第２センサ６２及び第４センサ６４で受光信号が出力され、第３センサ６３で受光信号が出力されない状態となるように指標部５５の姿勢を調整することにより、回転体５４の姿勢を上記第４姿勢に設定することができる。
　この場合、制御部５７は、第１センサ６１～第４センサ６４の受光信号を検出し、検出結果に応じて指標部５５を＋θＹ方向又は－θＹ方向に回転させる。例えば、第１センサ６１が遮光された状態を検出した場合、制御部５７は、指標部５５を－θＹ方向に回転させ、第２センサ６２が遮光された状態とする。そして、制御部５７は、第２センサ６２が遮光された状態を検出したら、指標部５５をさらに－θＹ方向に回転させつつ第２センサ６２の出力を検出し、第２センサ６２が遮光から受光に切り替わった直後に指標部５５の回転を停止させる。これにより、遮光部５５ｂを第２センサ６２と第４センサ６４との間に配置させることができる。
　また、たとえば第４センサ６４が遮光された状態を検出した場合、制御部５７は、指標部５５を＋θＹ方向に回転させつつ第４センサ６４の出力を検出し、第４センサ６４が遮光から受光に切り替わった直後に指標部５５の回転を停止させる。この場合も、遮光部５５ｂを第２センサ６２と第４センサ６４との間に配置させることができる。
　以上のように、本実施形態によれば、移動規制部４３により、移動部４２を基準位置Ｐ１に規制する第１状態と、基準位置Ｐ１から第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２のいずれか一方への移動部４２の移動を許容しかつ他方への移動部４２の移動を規制する第２状態とを切り替え可能であるため、移動部４２を第１方向Ｄ１に移動させた後、基準位置Ｐ１に戻すために第２方向Ｄ２に移動させる場合、移動規制部４３によって第２方向Ｄ２への飛び出しが抑制されることになる。これにより、移動部４２の不用意な飛び出しが確実に抑制される。
　以上、実施形態について説明したが、本発明は、上述した説明に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。例えば、上記した実施形態では、センサ部５６として、４つのセンサ（第１センサ６１～第４センサ６４）と指標部５５とを用いて、回転体５４の姿勢を検出する場合を例に挙げて説明したが、これに限定されるものではない。例えば、センサ部５６として、第１センサ６１～第４センサ６４のうち一部を省略したり、同一のセンサを別途追加したりしてもよい。また、ロータリーエンコーダなど他のセンサを用いて回転軸５３の回転情報を検出し、その検出結果に応じて回転軸５３の回転を調整する構成であってもよい。
　
　また、上記した実施形態では、センサ部５６の検出結果に応じて駆動源５１の回転を制御する制御部５７を設けた構成を例に挙げて説明したが、これに限定されるものではなく、例えば、レール１０、天井走行車２０及び移載装置４０を統括的に制御する主制御部にこの動作を行わせる構成であってもよい。また、上記した実施形態において、第１センサ６１～第４センサ６４のいずれかにおいて検出不良等が生じた場合、上記主制御部によって各部の動作を停止させ、制御部５７によって駆動源５１の動作を停止させる構成であってもよい。
　また、上記した実施形態では、移動部４２を移動させる構成として、ベルト機構３０が用いられた構成を例に挙げて説明したが、これに限定されるものではなく、例えばギア機構など他の駆動系が用いられてもよい。
Ｄ１…第１方向　Ｄ２…第２方向　ＦＰ…物品　Ｌ…所定範囲　Ｐ１…基準位置　Ｐ２、Ｐ３…突出位置　ＡＸ…回転中心軸　１…処理室　１０…レール　２０…天井走行車　３０…ベルト機構　４０…移載装置　４１…ベース部（本体部）　４２…移動部　４３…移動規制部　４４…ミドル部　４５…トップ部　４５ａ…係合部　４７…昇降駆動部　４８…昇降台　４８ａ…ベルト　４９…グリッパ　５４…回転体　５４ａ…第１ストッパ部（ストッパ部）　５４ｂ…第２ストッパ部（ストッパ部）　５４ｃ…第３ストッパ部（外側ストッパ部）　５４ｄ…第４ストッパ部（外側ストッパ部）　５４ｍ．５４ｎ…間隙　５５…指標部　５５ｂ…遮光部　５６…センサ部　５７…制御部　６１…第１センサ　６２…第２センサ　６３…第３センサ　６４…第４センサ

Claims (9)

  1. 　本体部に対して移動可能な移動部を備え、前記移動部が前記本体部から突出した状態で物品を移載する移載装置であって、
    　前記移動部を基準位置に規制する第１状態と、前記基準位置から第１方向及び前記第１方向と反対の第２方向のいずれか一方への前記移動部の移動を許容しかつ他方への前記移動部の移動を規制する第２状態と、を切り替え可能な移動規制部を備える移載装置。
  2. 　前記移動規制部は、前記第１状態及び前記第２状態に加えて、前記第１方向及び前記第２方向への前記移動部の移動を所定範囲だけ許容する第３状態に切り替え可能に形成される請求項１記載の移載装置。
  3. 　前記移動規制部は、前記移動部に設けられた係合部の移動方向において前記係合部に当接するストッパ部を持つ回転体を備え、前記回転体の回転位置により少なくとも前記第１状態と前記第２状態とを切り替える請求項１または請求項２記載の移載装置。
  4. 　前記回転体は、前記係合部の移動を所定範囲だけ許容する外側ストッパ部を前記ストッパ部の外側に備える請求項３記載の移載装置。
  5. 　前記移動規制部は、前記回転体の回転に伴って回転する指標部と、前記指標部を検出するセンサ部と、前記センサ部からの検出結果に基づいて前記回転体の回転位置を制御する制御部と、を備える請求項３または請求項４記載の移載装置。
  6. 　前記センサ部は、前記指標部の回転方向に沿って複数配置され、
    　前記制御部は、前記複数のセンサ部からの検出結果に基づいて前記回転体の回転位置を制御する請求項５記載の移載装置。
  7. 　前記本体部は、天井走行車に連結され、
    　前記移動部は、物品を保持可能なグリッパと、前記グリッパを昇降させる昇降駆動部とを備える請求項１～請求項６のいずれか１項に記載の移載装置。
  8. 　前記第１方向及び前記第２方向は、水平方向のうち前記天井走行車の走行方向と交差する方向である請求項７記載の移載装置。
  9. 　本体部に対して移動可能な移動部を備え、前記移動部が前記本体部から突出した状態で物品を移載する移載装置の制御方法であって、
    　前記移動部を基準位置に規制する第１状態と、前記基準位置から第１方向及び前記第１方向と反対の第２方向のいずれか一方への前記移動部の移動を許容しかつ他方への前記移動部の移動を規制する第２状態と、を移動規制部により切り替えることを含む移載装置の制御方法。
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