KR102463268B1

KR102463268B1 - 물품 반송 설비, 및 물품 반송차

Info

Publication number: KR102463268B1
Application number: KR1020180072727A
Authority: KR
Inventors: 다이치 도미다
Original assignee: 가부시키가이샤 다이후쿠
Priority date: 2017-06-26
Filing date: 2018-06-25
Publication date: 2022-11-03
Also published as: CN113428593A; TW201904833A; JP6693481B2; JP2019006567A; CN109110361B; CN109110361A; KR20190001553A; TWI781180B; CN113428593B

Abstract

물품 반송차(2)는, 물품(W)을 지지하는 지지부(26)와, 지지부(26)를 폭 방향 Y로 이동시키는 구동부와, 전방 검출부(S)와, 제어부를 구비하고, 구동부는, 물품 반송차(2)로부터 폭 방향으로 돌출된 돌출 위치와, 돌출 위치보다도 물품 반송차(2) 측으로 퇴피시킨 퇴피 위치로 지지부(26)를 이동시키고, 제어부는, 전방 검출부(S)가 제1 검출 영역(E1)에 존재하는 대상차(2B)를 검출한 경우에, 자차(2A)를 제1 설정 속도보다 저속의 제2 설정 속도로 주행시키고, 전방 검출부(S)가 제2 검출 영역(E2)에 존재하는 대상 지지부(26B)를 검출한 경우에, 자차(2A)를 정지시킨다.

Description

물품 반송 설비, 및 물품 반송차{ARTICLE TRANSPORT FACILITY AND ARTICLE TRANSPORT VEHICLE}

본 발명은, 궤도를 따라서 주행하여 물품을 반송(transport)하는 물품 반송차, 및 이 물품 반송차를 구비한 물품 반송 설비에 관한 것이다.

궤도를 따라서 복수의 물품 반송차를 주행시켜, 복수의 이송탑재(移載; transfer) 대상 개소(箇所)의 사이에서 물품을 반송하는 물품 반송 설비의 일례가, 일본 공개특허 제2009―35403호 공보(특허문헌 1)에 개시되어 있다. 이 물품 반송 설비는, 천정에 설치된 궤도(100)에 현수된(suspended) 물품 반송차(200)를 이용하여, 물품(520)을 자동적으로 운반한다(배경 기술에 있어서 괄호를 붙여 나타내는 부호는 특허문헌 1의 것). 물품 반송차(200)는, 물품(520)을 현수하는 지지부(230)를 구비하고 있다. 물품 반송차(200)는, 특허문헌 1의 도 2에 나타낸 바와 같이, 궤도(100)의 바로 아래에 지지부(230)가 위치한 상태에서 지지부(230)를 승강시켜 물품(520)을 이송탑재할뿐아니라, 특허문헌 1의 도 3에 나타낸 바와 같이, 궤도(100)의 연장 방향과 직교하는 폭 방향으로 이동한 위치로 지지부(230)가 위치한 상태로 지지부(230)를 승강시켜 물품(520)을 이송탑재할 수도 있다.

일본 공개특허 제2009―35403호 공보

그런데, 물품 반송 설비에서는, 대부분의 경우, 궤도가 병행하는 부분을 가지지만, 공간 사용 효율을 높게 하려는 등의 목적으로, 병행하는 궤도를 주행하는 물품 반송차가 접촉하지 않고 엇갈리는 것이 가능한 정도까지, 병행하는 궤도의 간격이 좁게 설정되는 경우가 있다. 이와 같이, 병행하는 궤도의 간격이 좁은 경우에는, 한쪽의 궤도 상에 위치하는 1대의 물품 반송차가 전술한 지지부를 폭 방향으로 돌출시키고 있는 상태에서, 다른 쪽의 궤도 상을 다른 물품 반송차가 주행하면, 지지부와 상기 다른 물품 반송차가 접촉할 가능성이 있다.

상기 문제점을 해결하기 위해, 다른 물품 반송차에 접촉하는 것을 억제할 수 있는 물품 반송차, 및 이것을 구비한 물품 반송 설비의 제공이 요구된다.

상기 문제점을 해결하기 위하여, 물품 반송 설비의 특징적 구성은, 궤도를 따라서 복수의 물품 반송차를 주행시켜 물품을 반송하고,

상하 방향에서 볼 때 상기 궤도의 연장 방향에 대하여 직교하는 방향을 폭 방향으로 하여, 상기 물품 반송차는, 물품을 지지하는 지지부와, 상기 지지부를 상기 폭 방향으로 이동시키는 구동부와, 전방 검출부와, 제어부를 구비하고, 상기 구동부는, 상기 물품 반송차로부터 상기 폭 방향으로 돌출된 돌출 위치와, 상기 돌출 위치보다도 상기 물품 반송차 측으로 퇴피시킨 퇴피 위치로 상기 지지부를 이동시키고, 복수의 상기 물품 반송차 중 하나인 자차(自車)가 주행 중인 상기 궤도를 주행 중 궤도로 하고, 상기 주행 중 궤도에 대하여 병행하는 상기 궤도를 대상 궤도로 하고, 상기 주행 중 궤도를 따라서 상기 자차가 주행하는 궤적을 주행 궤적으로 하고, 상기 대상 궤도를 주행하는 다른 상기 물품 반송차를 대상차로 하고, 상기 대상차의 상기 지지부를 대상 지지부로 하여, 상기 전방 검출부는, 제1 검출 영역에 위치하는 상기 대상차를 검출하고, 또한 제2 검출 영역에 위치하는 상기 대상 지지부를 검출하여, 상기 제1 검출 영역은, 상기 자차에 대하여 전방측이며 또한 상기 주행 궤적에 대하여 상기 폭 방향의 외측으로 설정되고, 상기 제2 검출 영역은, 상기 자차에 대하여 전방측이며 또한 상기 주행 궤적 내로 설정되고, 상기 제어부는, 제1 제어와 제2 제어와 제3 제어를 실행하고, 상기 제1 제어는, 상기 전방 검출부가 상기 제1 검출 영역에 있어서 상기 대상차를 검출하지 않고 또한 상기 제2 검출 영역에 있어서 상기 대상 지지부를 검출하지 않은 경우에, 상기 자차를 제1 설정 속도로 주행시키는 제어이며, 상기 제2 제어는, 상기 전방 검출부가 상기 제1 검출 영역에 존재하는 상기 대상차를 검출한 경우에, 상기 자차를 상기 제1 설정 속도보다 저속의 제2 설정 속도로 주행시키는 제어이며, 상기 제3 제어는, 상기 전방 검출부가 상기 제2 검출 영역에 존재하는 상기 대상 지지부를 검출한 경우에, 상기 자차를 정지시키는 제어인 점에 있다.

이 구성에 의하면, 대상 궤도를 주행하는 대상차의 대상 지지부가, 자차의 전방측의 주행 궤적에 진입한 경우에는, 그 진입한 지지 대상부가 제2 검출 영역에 진입함으로써, 지지 대상부를 전방 검출부에 의해 검출할 수 있다. 그리고, 전방 검출부가, 제2 검출 영역에 존재하는 대상 지지부를 검출한 경우에는, 제어부가 제3 제어를 실행함으로써 자차가 정지하므로, 자차가 대상 지지부에 접촉하는 것을 방지할 수 있다.

또한, 대상 궤도를 주행하는 대상차가, 자차의 전방측에 존재하는 경우에는, 그 대상차가 제1 검출 영역에 진입함으로써, 그 대상차를 전방 검출부에 의해 검출할 수 있다. 그리고, 전방 검출부가, 제1 검출 영역에 존재하는 대상차를 검출한 경우에는, 제어부는, 자차를 제1 설정 속도보다 저속의 제2 설정 속도로 주행시키는 제2 제어를 실행한다. 그러므로, 대상차가 대상 지지부를 돌출 위치를 향해 돌출시켜 대상 지지부가 자차의 전방측의 주행 궤적에 진입한 경우에 있어서, 제3 제어를 실행하여 자차를 정지시키는 경우에 제동 거리를 짧게 할 수 있으므로, 자차가 대상 지지부에 접촉하는 것을 방지하기 쉽다.

이와 같이, 본 구성에 의하면, 물품 반송차가 다른 물품 반송차에 접촉하는 것을 억제할 수 있는 물품 반송 설비를 제공할 수 있다.

또한, 상기 문제점을 해결하기 위하여 물품 반송차의 특징적 구성은, 궤도를 따라서 주행하는 주행부와, 물품을 지지하는 지지부와, 물품을 수용하는 수용부와, 상기 지지부를 상기 폭 방향으로 이동시키는 구동부와, 전방 검출부를 구비하고,

자차가 주행 중인 상기 궤도를 주행 중 궤도로 하고, 상기 주행 중 궤도를 따라서 상기 자차가 주행하는 궤적을 주행 궤적으로 하고, 상하 방향에서 볼 때 상기 궤도의 연장 방향에 대하여 직교하는 방향을 폭 방향으로 하여, 상기 구동부는, 상기 수용부로부터 상기 폭 방향으로 돌출된 돌출 위치와, 상기 돌출 위치보다도 상기 수용부 측으로 퇴피시킨 퇴피 위치로 상기 지지부를 이동시키고, 상기 전방 검출부는, 제1 검출 영역의 다른 물품 반송차인 제1 대상차와 제2 검출 영역의 상기 제1 대상차의 상기 지지부를 검출하는 제1 센서와, 제3 검출 영역의 다른 물품 반송차인 제2 대상차를 검출하는 제2 센서를 가지고, 상기 제1 검출 영역은, 상기 자차에 대하여 전방측이며 또한 상기 주행 궤적에 대하여 상기 폭 방향의 외측으로 설정되고, 상기 제2 검출 영역은, 상기 자차에 대하여 전방측이며 또한 상기 주행 궤적 내로 설정되고, 상기 제3 검출 영역은, 상기 제2 검출 영역과는 상하 방향으로 상이한 영역으로서 상기 자차에 대하여 전방측이며 또한 상기 주행 궤적 내로 설정되어 있는 점에 있다.

이 구성에 의하면, 대상 궤도를 주행하는 대상차의 대상 지지부가, 자차의 전방측의 주행 궤적에 진입한 경우에는, 그 진입한 지지 대상부가 제2 검출 영역에 진입함으로써, 지지 대상부를 제1 센서에 의해 검출할 수 있다. 그러므로, 제1 센서가, 제2 검출 영역에 존재하는 대상 지지부를 검출한 경우에, 자차를 정지시켜 자차가 대상 지지부에 접촉하는 것을 방지하는 등의 대응이 가능해진다.

또한, 대상 궤도를 주행하는 제1 대상차가, 자차의 전방측에 존재하는 경우에는, 그 대상차가 제1 검출 영역에 진입함으로써, 그 대상차를 제1 센서에 의해 검출할 수 있다. 그러므로, 제1 센서가, 제1 검출 영역에 존재하는 대상차를 검출한 경우에, 자차를 미리 감속시켜 두고, 대상 지지부가 주행 궤적에 진입한 경우에 자차를 신속히 정지시키는 등의 대응이 가능해진다.

또한, 주행 중 궤도를 주행하는 선행차가, 자차의 전방측에 존재하는 경우에는, 그 선행차가 제3 검출 영역에 진입함으로써, 그 선행차를 제2 센서에 의해 검출할 수 있다. 그리고, 제2 센서가, 제3 검출 영역에 존재하는 제2 대상차를 검출한 경우에는, 자차를 정지시켜 자차가 제2 대상차에 접촉하는 것을 방지하는 등의 대응이 가능해진다.

또한, 전방 검출부의 기능을, 제1 센서와 제2 센서에 배분(sorting)하는 것이 가능하므로, 제1 검출 영역, 제2 검출 영역 및 제3 검출 영역의 각각의 검출을 1개의 센서에 의해 행하는 경우와 비교하여, 예를 들면, 각 센서의 기능을 간소화하거나, 각 센서의 검출 정밀도를 높이거나 할 수 있다.

이와 같이, 본 구성에 의하면, 비교적 간단한 구성에 의해, 다른 물품 반송차에 접촉하는 것을 억제할 수 있는 물품 반송차를 제공할 수 있다.

도 1은 물품 반송 설비의 평면도
도 2는 물품 반송차의 전면도(前面圖)
도 3은 물품 반송차의 배면도
도 4는 물품 반송차의 측면도
도 5는 제어 블록도
도 6은 제1 센서의 검출 영역을 나타낸 평면도
도 7은 제2 센서의 검출 영역을 나타낸 평면도
도 8은 제2 센서의 검출 영역을 나타낸 평면도
도 9는 제3 검출 영역 및 제4 검출 영역에 선행차가 존재하고 있는 상태를 나타낸 평면도
도 10은 제1 검출 영역에 대상차가 존재하고 있는 상태를 나타낸 평면도
도 11은 제2 검출 영역에 대상 지지부가 존재하고 있는 상태를 나타낸 평면도
도 12는 플로우차트
도 13은 다른 실시형태의 제1 센서의 검출 영역을 나타낸 평면도

1. 실시형태

물품 반송 설비의 실시형태에 대하여 도면을 참조하여 설명한다.

도 1에 나타낸 바와 같이, 물품 반송 설비는, 궤도(1)를 따라 복수의 물품 반송차(2)를 주행시켜 물품(W)을 반송한다. 물품 반송 설비에는, 처리 장치에 대응하는 위치에 물품(W)을 지지하는 이송탑재 대상 개소(P)가 구비되어 있고, 물품 반송차(2)는, 물품(W)을 이송탑재 대상 개소(P)로 반송하고, 또한 물품(W)을 이송탑재 대상 개소(P)로부터 반송한다. 그리고, 본 실시형태에서는, 물품 반송차(2)는, 레티클(reticle)(포토마스크)을 수용하는 레티클 포드(reticle pod)를 물품(W)으로서 반송한다.

물품 반송차(2)는, 궤도(1)를 미리 설정된 방향으로 주행한다. 그리고, 도 1에 있어서는, 물품 반송차(2)의 주행 방향을 화살표로 나타내고 있다. 또한, 물품 반송차(2)의 주행 방향을 알기 쉽게 하기 위해 물품 반송차(2)를 삼각형상의 심볼로 나타내고 있다. 궤도(1)는, 상하 방향 Z에서 볼 때 직선형으로 설치된 직선 형상의 직선부(4)와, 상하 방향 Z에서 볼 때 곡선형으로 설치된 곡선 형상의 곡선부(5)를 구비하고 있다. 도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 궤도(1)는, 좌우 한 쌍의 레일부(3)에 의해 구성되어 있다. 이하, 궤도(1)에 따른 방향을 연장 방향 X라고 하고, 상하 방향 Z에서 볼 때, 연장 방향 X에 대하여 직교하는 방향을 폭 방향 Y라고 하여 설명한다.

도 1에 나타낸 바와 같이, 궤도(1)는, 복수의 직선부(4)가 폭 방향 Y로 제1 설정 간격 이하이면서 또한 제2 설정 간격 이상에서 병행하는 구간인 병행 구간(G)을 가지고 있다. 병행 구간(G)에서는, 폭 방향 Y로 배열되는 직선부(4)는, 같은 높이로 평행상(平行狀)으로 설치되어 있다. 제1 설정 간격은, 폭 방향 Y로 인접하는 한 쌍의 직선부(4) 중 한쪽의 직선부(4)[대상 궤도(1b)]를 주행하는 물품 반송차(2)[대상차(2B)]가 지지부(26)[대상 지지부(26B)]를 돌출 위치로 돌출시킨 경우에, 지지부(26)가 다른 쪽의 직선부(4)를 주행하는 물품 반송차(2)[자차(2A)]의 궤적(주행 궤적 T)에 진입하는 간격으로 설정되어 있다. 또한, 제2 설정 간격은, 한쪽의 직선부(4)를 주행하는 물품 반송차(2)의 궤적과 다른 쪽의 직선부(4)를 주행하는 물품 반송차(2)의 궤적이 중첩되지 않는 간격으로 설정되어 있다.

다음에, 물품 반송차(2)에 대하여 설명한다. 그리고, 물품 반송차(2)를 설명하는데 있어서, 물품 반송차(2)가 주행하는 방향을 전방측, 그 반대측을 후방측이라고 하여 설명한다. 또한, 예를 들면, 물품 반송차(2)가 궤도(1)의 직선부(4)를 주행하고 있는 경우에는, 물품 반송차(2)의 전후 방향과 궤도(1)의 연장 방향 X와는 같은 방향으로 되고, 물품 반송차(2)의 좌우 방향과 궤도(1)의 폭 방향 Y와는 같은 방향으로 된다.

도 2 내지 도 4에 나타낸 바와 같이, 물품 반송차(2)는, 천정으로부터 현수 지지된(suspended and supported) 궤도(1) 상을 그 궤도(1)를 따라 주행하는 주행부(6)와, 궤도(1)의 아래쪽에 위치하여 주행부(6)에 현수 지지된 본체부(7)를 구비하고 있다. 그리고, 도 2는, 연장 방향 X를 따라 전방으로부터 후방을 향해 물품 반송차(2)를 본 전면도이며, 도 3은, 연장 방향 X를 따라 후방으로부터 전방을 향해 물품 반송차(2)를 본 배면도이다. 또한, 도 4는, 폭 방향 Y를 따라 물품 반송차(2)를 본 측면도이다.

도 4에 나타낸 바와 같이, 주행부(6)는, 전동식(電動式)의 주행용 모터(9)와, 이 주행용 모터(9)에 의해 회전 구동되는 좌우 한 쌍의 주행륜(10)이 구비되어 있다. 이 좌우 한 쌍의 주행륜(10)은, 궤도(1)[좌우 한 쌍의 레일부(3)의 상면]을 전동(轉動)한다. 또한, 도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 주행부(6)에는, 상하 방향 Z를 따르는 상하 축심(軸心; axis) 주위에서 회전 가능한 좌우 한 쌍의 안내륜(guiding wheel)(11)이 구비되어 있다. 이 좌우 한 쌍의 안내륜(11)은, 좌우 한 쌍의 레일부(3)의 사이에 위치하여 좌우 한 쌍의 레일부(3)의 서로 대향하는 측면을 전동한다. 주행부(6)는, 안내륜(11)이 한 쌍의 레일부(3)에 의해 안내됨으로써, 폭 방향 Y에서의 위치가 규제되고, 주행륜(10)이 주행용 모터(9)에 의해 회전 구동됨으로써, 궤도(1)를 따라 주행한다.

도 2 내지 도 4에 나타낸 바와 같이, 본체부(7)는, 물품(W)을 지지하는 지지 기구(機構)(13)와, 지지 기구(13)를 지지하고, 또한 지지 기구(13)를 승강 이동시키는 승강 조작 기구(14)와, 승강 조작 기구(14)를 주행부(6)의 바로 아래의 퇴피 위치(도 2 참조) 및 상기 퇴피 위치로부터 좌우 방향으로 이동시킨 돌출 위치(도 3 참조)로 이동시키는 슬라이딩 조작 기구(15)와, 지지 기구(13)를 상승 높이에 위치시키고 또한 승강 조작 기구(14)를 퇴피 위치에 위치시킨 상태에서 지지 기구(13)에 지지된 물품(W)의 위쪽 및 전후 방향 X를 덮는 커버체(16)를 구비하고 있다.

도 3에 나타낸 바와 같이, 지지 기구(13)는, 벨트(21)의 선단부가 연결된 승강체(18)와, 물품(W)을 파지(把持)하는 자세와 물품(W)에 대한 파지를 해제하는 자세로 자세 변경 가능한 지지 클로우(claw)(19)와, 지지 클로우(19)를 자세 변경시키는 지지용 모터(20)(도 5 참조)을 구비하고 있다.

승강 조작 기구(14)는, 벨트(21)를 권취한 권취체(22)와, 권취체(22)를 회전 구동시키는 승강용 모터(23)를 구비하고 있다. 승강 조작 기구(14)는, 승강용 모터(23)의 구동에 의해 권취체(22)를 회전시킴으로써, 지지 기구(13)를 상승 높이와 이 상승 높이보다도 낮은 하강 높이로 승강시킨다.

슬라이딩 조작 기구(15)는, 승강 조작 기구(14)를 지지하고, 또한 폭 방향 Y로 이동 가능한 슬라이딩체(24)와, 슬라이딩체(24)를 주행부(6)에 대하여 폭 방향 Y로 이동시키는 슬라이딩용 모터(25)(도 5 참조)를 구비하고 있다. 슬라이딩 조작 기구(15)는, 슬라이딩용 모터(25)의 구동에 의해 슬라이딩체(24)를 폭 방향 Y로 이동시킴으로써, 물품 반송차(2)의 커버체(16)로부터 폭 방향 Y로 돌출된 돌출 위치(도 3 참조)와, 돌출 위치보다도 물품 반송차(2)의 커버체(16) 측으로 퇴피시킨 퇴피 위치(도 2 참조)로 슬라이딩체(24), 승강 조작 기구(14) 및 지지 기구(13)를 이동시킨다.

그리고, 물품 반송차(2)가 주행하는 경우에는, 지지 기구(13)는 상승 높이에 위치하고 또한 퇴피 위치에 위치하고 있다.

물품 반송차(2)는, 궤도(1)의 바로 아래에 위치하는 이송탑재 대상 개소(P)로 반송하는 경우에는, 상기 이송탑재 대상 개소(P)에 대응하는 설정 위치까지 주행부(6)를 주행시킨 상태에서, 승강 조작 기구(14)에 의해 지지 기구(13)를 상승 높이로부터 하강시켜 물품(W)을 이송탑재 대상 개소(P)로 하강시킨 후, 지지 기구(13)에 의해 물품(W)에 대한 파지를 해제한다.

이송탑재 대상 개소(P)는, 궤도(1)의 바로 아래에 설치되는 경우에 더하여, 도 1에 나타낸 바와 같이, 상하 방향 Z에서 볼 때 궤도(1)에 대하여 궤도(1)의 폭 방향 Y로 어긋난 위치로 설정되는 경우가 있다. 물품 반송차(2)는, 이와 같이, 궤도(1)의 바로 아래에 대하여 폭 방향 Y로 어긋난 위치의 이송탑재 대상 개소(P)로 반송하는 경우에는, 상기 이송탑재 대상 개소(P)에 대응하는 설정 위치까지 주행부(6)를 주행시킨 상태에서, 도 3에 나타낸 바와 같이, 슬라이딩 조작 기구(15)에 의해 승강 조작 기구(14)를 돌출 위치까지 돌출시킨 후, 승강 조작 기구(14)에 의해 지지 기구(13)를 상승 높이로부터 하강시켜 물품(W)을 이송탑재 대상 개소(P)로 하강시키고, 그 후, 지지 기구(13)에 의해 물품(W)에 대한 파지를 해제한다. 그리고, 슬라이딩체(24), 승강 조작 기구(14) 및 지지 기구(13)가, 물품(W)을 지지하는 지지부(26)에 상당하고, 커버체(16)가, 물품(W)을 수용하는 수용부에 상당한다. 또한, 슬라이딩용 모터(25)가, 지지부(26)를 폭 방향 Y로 이동시키는 구동부에 상당한다.

물품 반송차(2)는, 전방 검출부(S), 반사체(M), 및 제어부(H)를 구비하고 있다. 다음에, 전방 검출부(S), 반사체(M), 및 제어부(H)에 대하여 설명한다. 그리고, 도 10 및 도 11에 나타낸 바와 같이, 물품 반송차(2) 중 하나인 자차(2A)가 주행 중인 궤도(1)를 주행 중 궤도(1a)로 하고, 주행 중 궤도(1a)에 대하여 폭 방향 Y로 나란히 배치된 궤도(1)를 대상 궤도(1b)로 한다. 또한, 대상 궤도(1b)를 주행하는 다른 물품 반송차(2)를 대상차(2B)(제1 대상차)로 하고, 상기 대상차(2B)의 지지부(26)를 대상 지지부(26B)로 하여 설명한다. 또한, 도 9에 나타낸 바와 같이, 주행 중 궤도(1a)에서의 자차(2A)의 전방측에 존재하는 다른 물품 반송차(2)를 선행차(2C)(제2 대상차)라고 한다. 또한, 주행 중 궤도(1a)를 따라 자차(2A)가 주행하는 궤적을 주행 궤적 T라고 한다.

도 2 내지 도 4에 나타낸 바와 같이, 물품 반송차(2)는, 반사체(M)로서 제1 반사체(M1)와 제2 반사체(M2)를 구비하고 있다.

제1 반사체(M1)는, 물품 반송차(2)의 전방을 향하는 전면부 및 후방을 향하는 후면부, 및 지지부(26)의 전방을 향하는 전면부 및 후방을 향하는 후면부의 각각에 구비되어 있다. 설명을 추가하면, 제1 센서(S1)는, 커버체(16)의 전면부에 구비되어 있고, 제1 반사체(M1)는, 커버체(16)의 전면부 및 후면부, 및 슬라이딩체(24)의 전면부 및 후면부에 구비되어 있다.

제2 반사체(M2)는, 물품 반송차(2)의 후방을 향하는 후면부에 구비되어 있다. 설명을 추가하면, 제2 센서(S2)는, 커버체(16)의 전면부에서의 제1 센서(S1)보다도 위쪽에 구비되어 있다. 제2 반사체(M2)는, 커버체(16)의 후면부에서의 제1 반사체(M1)보다도 위쪽에 구비되어 있다.

이와 같이, 물품 반송차(2)는, 상기 물품 반송차(2)의 전방을 향하는 전면부 및 후방을 향하는 후면부와, 지지부(26)의 전방을 향하는 전면부 및 후방을 향하는 후면부와의 각각에 제1 반사체(M1)를 구비하고 있다.

전방 검출부(S)는, 제1 검출 영역(E1)의 대상차(2B)와 제2 검출 영역(E2)의 대상 지지부(26B)를 검출하는 제1 센서(S1)와, 제3 검출 영역(E3) 및 제4 검출 영역(E4)의 선행차(2C)를 검출하는 제2 센서(S2)를 구비하고 있다. 전방 검출부(S)는, 제1 센서(S1)와 제2 센서(S2)를 구비함으로써, 제1 검출 영역(E1)에 위치하는 대상차(2B)를 검출하고, 또한 제2 검출 영역(E2)에 위치하는 대상 지지부(26B)를 검출하고, 또한 제3 검출 영역(E3) 및 제4 검출 영역(E4)에 위치하는 선행차(2C)를 검출한다.

제1 센서(S1)는, 물품 반송차(2)의 전방을 향하는 전면부에 설치되어 있고, 전방측을 향해 검출광을 투광(投光)하여, 제1 반사체(M1)로부터의 반사광을 검출함으로써, 제1 반사체(M1)(제1 반사체(M1)를 구비한 대상차(2B)나 대상 지지부(26B)를 검출한다. 제1 센서(S1)는, 폭 방향 Y에 있어서 주행부(6)의 중앙[궤도(1)의 중앙에 위치]에 대하여 한쪽 측으로 치우친 위치에 설치되어 있다.

제2 센서(S2)는, 물품 반송차(2)의 전방을 향하는 전면부에 설치되어 있고, 전방측을 향해 검출광을 투광하여, 제2 반사체(M2)로부터의 반사광을 검출함으로써, 제2 반사체(M2)[제2 반사체(M2)]를 구비한 선행차(2C)를 검출한다. 제2 센서(S2)는, 폭 방향 Y에 있어서 주행부(6)의 중앙[궤도(1)의 중앙에 위치]과 같은 위치로 되도록 설치되어 있다.

도 4에 나타낸 바와 같이, 제1 센서(S1)는, 검출광을 전방측을 향해 투광하고, 제2 센서(S2)는, 제1 센서(S1)보다도 높은 위치에서, 검출광을 전방측을 향해 투광하고 있다. 그러므로, 제1 센서(S1)의 검출 영역(E)은, 제2 센서(S2)의 검출 영역(E)의 상하 폭으로부터 아래쪽으로 벗어난 개소에 위치하고 있다. 즉, 제2 센서(S2)의 검출 영역(E)[제3 검출 영역(E3) 및 제4 검출 영역(E4)]은, 제1 센서(S1)의 검출 영역(E)[제1 검출 영역(E1) 및 제2 검출 영역(E2)]은 상하 방향 Z로 상이한 영역이다.

그리고, 자차(2A)와 대상차(2B)가 같은 높이에 위치하고 있는 경우에 있어서, 대상차(2B)의 제1 반사체(M1)는, 자차(2A)의 제1 센서(S1)가 투광하는 검출광을 반사 가능한 높이에 설치되고, 또한 자차(2A)의 제2 센서(S2)가 투광하는 검출광을 반사 가능한 높이보다도 낮은 위치에 설치되어 있고, 대상차(2A)의 제1 반사체(M1)는, 자차(2A)의 제1 센서(S1)의 검출광은 반사하지만, 자차(2A)의 제2 센서(S2)의 검출광은 반사하지 않는다. 이에 대하여, 자차(2A)와 대상차(2B)가 같은 높이에 위치하고 있는 경우에 있어서, 대상차(2B)의 제2 반사체(M2)는, 자차(2A)의 제1 센서(S1)가 투광하는 검출광을 반사 가능한 높이보다도 높은 위치에 설치되고, 또한 자차(2A)의 제2 센서(S2)가 투광하는 검출광을 반사 가능한 높이에 설치되어 있고, 대상차(2B)의 제2 반사체(M2)는, 자차(2A)의 제1 센서(S1)의 검출광은 반사하지 않지만, 자차(2A)의 제2 센서(S2)의 검출광은 반사한다.

그러므로, 자차(2A)의 제1 센서(S1)는, 대상차(2B)의 제1 반사체(M1)를 검출하지만, 대상차(2B)의 제2 반사체(M2)를 검출하지 않게 되어 있다. 또한, 자차(2A)의 제2 센서(S2)는, 대상차(2B)의 제2 반사체(M2)를 검출하지만, 대상차(2B)의 제1 반사체(M1)를 검출하지 않게 되어 있다.

도 6에 나타낸 바와 같이, 제1 센서(S1)의 검출 영역(E)은, 자차(2A)에 대하여 전방에 형성되고, 또한 자차(2A)에 대하여 폭 방향 Y의 양측으로 넓어지도록 형성되어 있다. 제1 센서(S1)의 검출 영역(E)은, 연장 방향 X의 길이가 제1 길이 L1으로 설정되어 있고, 폭 방향 Y의 길이가 제2 길이 L2로 설정되어 있다. 제1 센서(S1)의 검출 영역(E)은, 제2 검출 영역(E2)과 이 제2 검출 영역(E2)에 대하여 폭 방향 Y의 양측에 설정된 제1 검출 영역(E1)으로 구분되어 있다.

도 6에 나타낸 바와 같이, 제2 검출 영역(E2)의 폭 방향 Y의 길이인 제3 길이 L3은, 물품 반송차(2)의 폭 방향 Y의 길이인 제4 길이 L4보다도 길다. 즉, 제2 검출 영역(E2)은, 자차(2A)에 대하여 전방측이며 또한 적어도 일부가 주행 궤적 T 내로 설정되어 있고, 또한 주행 궤적 T의 폭 방향 Y의 전체 폭에 더하여 주행 궤적 T의 좌우 양측에 주행 궤적 T에 연속하는 상태로 설정되어 있다. 또한, 제2 검출 영역(E2)의 연장 방향 X의 길이는 제1 길이 L1으로 설정되어 있다.

제1 검출 영역(E1)은, 제1 센서(S1)의 검출 영역(E)에서의 제2 검출 영역(E2) 이외의 부분이며, 자차(2A)에 대하여 전방측이며 또한 주행 궤적 T에 대하여 폭 방향 Y의 외측으로 설정되어 있다. 이 제1 검출 영역(E1)은, 주행 궤적 T로부터 간격을 둔 상태로 설정되어 있다. 제2 길이 L2 및 제3 길이 L3은, 병행 구간(G)에 있어서, 대상차(2B)가 주행하는 궤적 내까지 제1 검출 영역(E1)이 설정되지만, 제2 검출 영역(E2)은 대상차(2B)가 주행하는 궤적 내로 설정되지 않는 길이로 되어 있다.

도 7에 나타낸 바와 같이, 제2 센서(S2)의 검출 영역(E)은, 자차(2A)에 대하여 전방에 형성되고, 또한 자차(2A)에 대하여 폭 방향 Y의 양측으로 넓어지도록 형성되어 있다. 제2 센서(S2)의 검출 영역(E)은, 연장 방향 X의 길이가 제5 길이 L5로 설정되어 있고, 폭 방향 Y의 길이가 제6 길이 L6로 설정되어 있다. 제2 센서(S2)의 검출 영역(E)은, 제3 검출 영역(E3)과 이 제3 검출 영역(E3)에 대하여 전방측에 설정된 제4 검출 영역(E4)으로 구분되어 있다.

제3 검출 영역(E3)의 연장 방향 X의 길이는, 제7 길이 L7로 설정되어 있고, 제4 검출 영역(E4)의 연장 방향 X의 길이는, 제8 길이 L8로 설정되어 있다. 제6 길이 L6는, 제4 길이 L4보다도 길고, 제2 길이 L2보다도 짧다. 또한, 제5 길이 L6는, 병행 구간(G)에 있어서, 제3 검출 영역(E3)나 제4 검출 영역(E4)이, 대상차(2B)가 주행하는 궤적 내로 설정되지 않는 길이로 되어 있다. 그리고, 제5 길이 L5 및 제8 길이 L8는, 제1 길이 L1보다도 길고, 제7 길이 L7는, 제1 길이 L1보다도 짧다.

제2 센서(S2)의 검출 영역(E)은, 자차(2A)가 직선부(4)를 주행하는 경우에는, 전술한 바와 같은 길이의 형상으로 형성되어 있지만, 자차(2A)가 곡선부(5)를 주행하는 경우에는, 도 8에 나타낸 바와 같이, 직선부(4)에서 주행하는 경우의 형상과는 상이한 형상으로 된다. 즉, 제어부(H)는, 물품 반송차(2)에 구비된 로터리 인코더 등의 주행 거리 센서의 검출 정보나, 궤도(1)를 따라 설치되어 있는 어드레스 정보를 나타내는 표시체를 검출하는 어드레스 검출 센서의 검출 정보에 기초하여, 자차(2A)가 궤도(1)의 직선부(4)를 주행하고 있는지 곡선부(5)를 주행하고 있는지를 판별 가능한 동시에, 자차(2A)의 전방측의 주행 중 궤도(1a)의 형상을 판별 가능하게 구성되어 있다. 그리고, 제2 센서(S2)는, 제어부(H)의 제어에 의해, 자차(2A)의 전방측의 주행 중 궤도(1a)의 형상에 맞추어, 제3 검출 영역(E3)의 형상 및 제4 검출 영역(E4)의 형상을 변화시킨다. 또한, 제1 센서(S1)는, 제어부(H)의 제어에 의해, 자차(2A)가 곡선부(5)에 위치하고 있는 경우에는 대상차(2B) 및 대상 지지부(26B)의 검출을 무효로 하고, 자차(2A)가 직선부(4)에 위치하고 있는 경우에만 대상차(2B) 및 대상 지지부(26B)의 검출을 유효하게 한다.

도 9에 나타낸 바와 같이, 제2 센서(S2)는, 제3 검출 영역(E3)이나 제4 검출 영역(E4)에 진입한 경우에, 선행차(2C)에 구비되어 있는 제2 반사체(M2)를 검출한다. 그리고, 자차(2A)와 선행차(2C)는 같은 방향을 향하고 있고, 제2 센서(S2)는, 선행차(2C)의 커버체(16)에서의 후면부에 구비되어 있는 제2 반사체(M2)를 검출한다.

도 10에 나타낸 바와 같이, 제1 센서(S1)는, 제1 검출 영역(E1)에 대상차(2B)가 진입한 경우에, 대상차(2B)의 커버체(16)에 설치된 제1 반사체(M1)를 검출한다. 그리고, 자차(2A)와 대상차(2B)가 반대의 방향을 향하고 있는 경우에는, 제1 센서(S1)는, 대상차(2B)의 커버체(16)에서의 전면부에 구비되어 있는 제1 반사체(M1)를 검출하여, 자차(2A)와 대상차(2B)가 같은 방향을 향하고 있는 경우에는, 제1 센서(S1)는, 대상차(2B)의 커버체(16)에서의 후면부에 구비되어 있는 제1 반사체(M1)를 검출한다.

또한, 도 11에 나타낸 바와 같이, 제1 센서(S1)는, 제2 검출 영역(E2)에 대상 지지부(26B)가 진입한 경우에, 대상 지지부(26B)에 구비되어 있는 제1 반사체(M1)를 검출한다. 그리고, 자차(2A)와 대상차(2B)가 반대의 방향을 향하고 있는 경우에는, 제1 센서(S1)는, 대상 지지부(26B)의 전면부에 구비되어 있는 제1 반사체(M1)를 검출하여, 자차(2A)와 대상차(2B)가 같은 방향을 향하고 있는 경우에는, 제1 센서(S1)는, 대상 지지부(26B)의 후면부에 구비되어 있는 제1 반사체(M1)를 검출한다.

도 12의 플로우차트에 나타낸 바와 같이, 제어부(H)는, 제1 센서(S1)에 의해 제1 검출 영역(E1)에 있어서 반사체(M)가 검출된 경우, 및 제2 센서(S2)에 의해 제4 검출 영역(E4)에 있어서 반사체(M)가 검출된 경우에는, 자차(2A)를 제1 설정 속도보다 저속의 제2 설정 속도로 주행시키는 감속 제어를 실행한다. 또한, 제어부(H)는, 제1 센서(S1)에 의해 제2 검출 영역(E2)에 있어서 반사체(M)가 검출된 경우, 및 제2 센서(S2)에 의해 제3 검출 영역(E3)에 있어서 반사체(M)가 검출된 경우에는, 자차(2A)를 정지(停止)시키는 정지 제어를 실행한다. 그리고, 제어부(H)는, 제1 센서(S1)에 의해 제1 검출 영역(E1) 및 제2 검출 영역(E2)에 있어서 반사체(M)가 검출되지 않고, 제2 센서(S2)에 의해 제3 검출 영역(E3) 및 제4 검출 영역(E4)에 있어서 반사체(M)가 검출되지 않은 경우에는, 자차(2A)를 제1 설정 속도로 주행시키는 통상 제어를 실행한다.

구체예를 예로 들어 설명하면, 도 9에 나타낸 바와 같이, 자차(2A)의 제2 센서(S2)의 제4 검출 영역(E4)에 선행차(2C)[도 9에 나타낸 2대의 선행차(2C) 중 전방측의 선행차(2C)]가 침입하면, 선행차(2C)의 제2 반사체(M2)가 자차(2A)의 제2 센서(S2)에 의해 검출된다. 자차(2A)의 제어부(H)는, 자차(2A)의 제2 센서(S2)에 의해 제4 검출 영역(E4)에 있어서 반사체(M)가 검출된 경우에는, 자차(2A)를 제2 설정 속도로 주행시키는 감속 제어를 실행한다.

또한, 도 9에 나타낸 바와 같이, 자차(2A)의 제2 센서(S2)의 제3 검출 영역(E3)에 선행차(2C)[도 9에 나타낸 2대의 선행차(2C) 중 후방측의 선행차(2C)]가 침입하면, 선행차(2C)의 제2 반사체(M2)가 자차(2A)의 제2 센서(S2)에 의해 검출된다. 자차(2A)의 제어부(H)는, 자차(2A)의 제2 센서(S2)에 의해 제3 검출 영역(E3)에 있어서 반사체(M)가 검출된 경우에는, 자차(2A)를 정지시키는 정지 제어를 실행한다. 그리고, 이와 같이, 제2 센서(S2)에 의해 제3 검출 영역(E3)에 있어서 반사체(M)가 검출된 경우의 정지 제어는, 전방 검출부(S)가 제3 검출 영역(E3)에 존재하는 선행차(2C)를 검출한 경우에 자차(2A)를 정지시키는 제4 제어에 상당한다.

또한, 도 10에 나타낸 바와 같이, 자차(2A)의 제1 센서(S1)의 제1 검출 영역(E1)에 대상차(2B)가 진입하면, 대상차(2B)의 제1 반사체(M1)가 자차(2A)의 제1 센서(S1)에 의해 검출된다. 자차(2A)의 제어부(H)는, 자차(2A)의 제1 센서(S1)에 의해 제1 검출 영역(E1)에 있어서 반사체(M)가 검출된 경우에는, 자차(2A)를 제2 설정 속도로 주행시키도록 감속 제어를 실행한다. 그리고, 이와 같이, 제1 센서(S1)에 의해 제1 검출 영역(E1)에 있어서 반사체(M)가 검출된 경우의 감속 제어는, 전방 검출부(S)가 제1 검출 영역(E1)에 존재하는 대상차(2B)를 검출한 경우에, 자차(2A)를 제2 설정 속도로 주행시키는 제2 제어에 상당한다.

또한, 도 11에 나타낸 바와 같이, 자차(2A)의 제1 센서(S1)의 제2 검출 영역(E2)에 대상 지지부(26B)가 진입하면, 대상 지지부(26B)의 제1 반사체(M1)가 자차(2A)의 제1 센서(S1)에 의해 검출된다. 자차(2A)의 제어부(H)는, 자차(2A)의 제1 센서(S1)에 의해 제2 검출 영역(E2)에 있어서 반사체(M)가 검출된 경우에는, 자차(2A)를 정지시키도록 정지 제어를 실행한다. 그리고, 이와 같이, 제1 센서(S1)에 의해 제2 검출 영역(E2)에 있어서 반사체(M)가 검출된 경우의 정지 제어는, 전방 검출부(S)가 제2 검출 영역(E2)에 존재하는 대상 지지부(26B)를 검출한 경우에, 자차(2A)를 정지시키는 제3 제어에 상당한다.

그리고, 자차(2A)의 제어부(H)는, 자차(2A)의 제1 센서(S1)의 제1 검출 영역(E1) 및 제2 검출 영역(E2)에 있어서 반사체(M)가 검출되지 않고, 또한 자차(2A)의 제2 센서(S2)의 제3 검출 영역(E3) 및 제4 검출 영역(E4)에 있어서 반사체(M)가 검출되지 않은 경우에는, 자차(2A)를 제1 설정 속도로 주행시키는 통상 제어를 실행한다. 그리고, 통상 제어는, 전방 검출부(S)가 제1 검출 영역(E1)에 있어서 대상차(2B)를 검출하지 않고 또한 제2 검출 영역(E2)에 있어서 대상 지지부(26B)를 검출하지 않은 경우에, 자차(2A)를 제1 설정 속도로 주행시키는 제1 제어에 상당한다.

2. 그 외의 실시형태

다음에, 물품 반송 설비 및 물품 반송차의 그 외의 실시형태에 대하여 설명한다.

(1) 상기 실시형태에서는, 전방 검출부(S)가, 제1 센서(S1)와 제2 센서(S2)를 가졌지만, 전방 검출부(S)가, 제1 센서(S1)와 제2 센서(S2) 중의 제1 센서(S1)만을 가져도 된다. 그리고, 전방 검출부(S)가 제1 센서(S1)만을 가지는 경우에 있어서, 제1 센서(S1)에, 제2 센서(S2)의 기능을 구비해도 된다.

(2) 상기 실시형태에서는, 제1 검출 영역(E1), 제2 검출 영역(E2), 제3 검출 영역(E3), 및 제4 검출 영역(E4)의 형상이나 크기는 적절히 변경해도 된다. 구체적으로는, 예를 들면, 도 13에 나타낸 바와 같이, 제2 검출 영역(E2)의 연장 방향 X의 길이 L9를 제1 센서(S1)의 검출 영역(E)의 연장 방향 X의 길이 L1보다도 짧게 해도 되고, 또한 제2 검출 영역(E2)의 폭 방향 Y의 길이 L3을, 물품 반송차(2)의 폭 방향 Y의 길이 L4와 같거나 또는 짧게 해도 된다.

(3) 상기 실시형태에서는, 제1 센서(S1)를, 자차(2A)가 직선부(4)에 위치하고 있는 경우에만 대상차(2B) 및 대상 지지부(26B)의 검출을 유효하게 했지만, 제1 센서(S1)를, 자차(2A)가 직선부(4)에 위치하고 있는 경우에 더하여 곡선부(5)에 위치하고 있는 경우에도, 대상차(2B) 및 대상 지지부(26B)의 검출을 유효하게 해도 된다. 이 경우, 제1 센서(S1)의 검출 영역(E)의 형상을, 자차(2A)의 전방측의 주행 중 궤도(1a)의 형상을 따라 변형시키도록 해도 된다.

(4) 상기 실시형태에서는, 슬라이딩 조작 기구(15)의 슬라이딩체(24)에 제1 반사체(M1)를 설치했지만, 지지 기구(13)의 승강체(18)에 제1 반사체(M1)를 설치하는 등, 지지부(26)에서의 슬라이딩체(24) 이외의 개소에 제1 반사체(M1)를 설치해도 된다.

(5) 상기 실시형태에서는, 물품(W)을 레티클 포드로 하였으나, 물품(W)으로서는, 웨이퍼를 수용하는 FOUP 등의 다른 용기나, 용기 이외의 반송물(搬送物)이라도 된다.

(6) 그리고, 전술한 각각의 실시형태에서 개시된 구성은, 모순이 생기지 않는 한, 다른 실시형태에서 개시된 구성과 조합시켜 적용할 수도 있다. 그 외의 구성에 관해서도, 본 명세서에 있어서 개시된 실시형태는 모든 점에서 단순한 예시에 지나지 않는다. 따라서, 본 발명의 취지를 벗어나지 않는 범위 내에서, 적절히, 각종 개변(改變; modification)을 행할 수 있다.

3. 상기 실시형태의 개요

이하, 상기에 있어서 설명한 물품 반송차 및 물품 반송 설비의 개요에 대하여 설명한다.

물품 반송 설비는, 궤도를 따라서 복수의 물품 반송차를 주행시켜 물품을 반송하고, 상하 방향에서 볼 때 상기 궤도의 연장 방향에 대하여 직교하는 방향을 폭 방향으로 하여, 상기 물품 반송차는, 물품을 지지하는 지지부와, 상기 지지부를 상기 폭 방향으로 이동시키는 구동부와, 전방 검출부와, 제어부를 구비하고, 상기 구동부는, 상기 물품 반송차로부터 상기 폭 방향으로 돌출된 돌출 위치와, 상기 돌출 위치보다도 상기 물품 반송차 측으로 퇴피시킨 퇴피 위치로 상기 지지부를 이동시키고, 상기 물품 반송차 중 하나인 자차가 주행 중인 상기 궤도를 주행 중 궤도로 하고, 상기 주행 중 궤도에 대하여 병행하는 상기 궤도를 대상 궤도로 하고, 상기 주행 중 궤도를 따라서 상기 자차가 주행하는 궤적을 주행 궤적으로 하고, 상기 대상 궤도를 주행하는 다른 상기 물품 반송차를 대상차로 하고, 상기 대상차의 상기 지지부를 대상 지지부로 하여, 상기 전방 검출부는, 제1 검출 영역에 위치하는 상기 대상차를 검출하고, 또한 제2 검출 영역에 위치하는 상기 대상 지지부를 검출하여, 상기 제1 검출 영역은, 상기 자차에 대하여 전방측이며 또한 상기 주행 궤적에 대하여 상기 폭 방향의 외측으로 설정되고, 상기 제2 검출 영역은, 상기 자차에 대하여 전방측이며 또한 상기 주행 궤적 내로 설정되고, 상기 제어부는, 제1 제어와 제2 제어와 제3 제어를 실행하고, 상기 제1 제어는, 상기 전방 검출부가 상기 제1 검출 영역에 있어서 상기 대상차를 검출하지 않고 또한 상기 제2 검출 영역에 있어서 상기 대상 지지부를 검출하지 않은 경우에, 상기 자차를 제1 설정 속도로 주행시키는 제어이며, 상기 제2 제어는, 상기 전방 검출부가 상기 제1 검출 영역에 존재하는 상기 대상차를 검출한 경우에, 상기 자차를 상기 제1 설정 속도보다 저속의 제2 설정 속도로 주행시키는 제어이며, 상기 제3 제어는, 상기 전방 검출부가 상기 제2 검출 영역에 존재하는 상기 대상 지지부를 검출한 경우에, 상기 자차를 정지시키는 제어이다.

여기서, 상기 자차에 대하여 전방측이며 또한 상기 주행 궤적 내에 제3 검출 영역이 설정되고,

상기 전방 검출부는, 상기 제3 검출 영역에 위치하는 다른 상기 물품 반송차인 선행차를 검출하여, 상기 제어부는, 상기 제1 제어, 상기 제2 제어 및 상기 제3 제어에 더하여, 상기 전방 검출부가 상기 제3 검출 영역에 존재하는 상기 선행차를 검출한 경우에 상기 자차를 정지시키는 제4 제어를 실행하는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 주행 중 궤도를 주행하는 선행차가, 자차의 전방측에 존재하는 경우에는, 그 선행차가 제3 검출 영역에 진입함으로써 전방 검출부에 의해 선행차를 검출할 수 있다. 그리고, 전방 검출부가, 제3 검출 영역에 존재하는 선행차를 검출한 경우에는, 제어부가 제4 제어를 실행함으로써 자차가 정지하므로, 자차가 선행차에 접촉하는 것을 억제할 수 있다.

또한, 상기 전방 검출부는, 상기 제1 검출 영역의 상기 대상차와 상기 제2 검출 영역의 상기 대상 지지부를 검출하는 제1 센서와, 상기 제3 검출 영역의 상기 물품 반송차를 검출하는 제2 센서를 가지면 바람직하다.

이 구성에 의하면, 전방 검출부의 기능을, 제1 센서와 제2 센서에 배분하는 것이 가능하므로, 제1 검출 영역, 제2 검출 영역 및 제3 검출 영역의 각각의 검출을 1개의 센서에 의해 행하는 경우와 비교하여, 예를 들면, 각 센서의 기능을 간소화하거나, 각 센서의 검출 정밀도를 높이거나 할 수 있다.

또한, 상기 궤도는, 직선 형상의 직선부와 곡선 형상의 곡선부를 가지고, 상기 제2 센서는, 상기 자차의 전방측의 상기 주행 중 궤도의 형상에 맞추어 상기 제3 검출 영역의 형상을 변화시키고, 상기 제1 센서는, 상기 자차가 상기 직선부에 위치하고 있는 경우에만 상기 대상차 및 상기 대상 지지부의 검출을 유효하게 하는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 자차의 전방측의 주행 중 궤도의 형상에 맞추어 제3 검출 영역의 형상을 변화시킴으로써, 자차가 직선부에 위치하는 경우 및 곡선부에 위치하는 경우의 양쪽에서 제2 센서에 의해 선행차를 적절히 검출하기 쉬워지기 때문에, 자차가 선행차에 접촉하는 것을 방지하기 용이해진다.

또한, 곡선부에 있어서 복수의 궤도가 병행하는 것은 적기 때문에, 그 직선부에 있어서만 제1 센서에 의한 검출을 유효하게 함으로써, 제1 센서에 대하여 제1 검출 영역이나 제2 검출 영역의 형상을 주행 중 궤도의 형상에 맞추어 변화시킬 필요가 없다. 그러므로, 제1 센서의 기능을 간소화하거나, 검출 정밀도를 높이거나 할 수 있다.

또한, 상기 제2 검출 영역의 상기 폭 방향의 길이는, 상기 물품 반송차의 상기 폭 방향의 길이보다 긴 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 대상차가 대상 지지부를 자차의 주행 궤적을 향해 돌출된 경우에, 대상 지지부가 주행 궤적에 진입하기 전에 제1 센서에 의해 대상 지지부를 검출할 수 있다. 그러므로, 주행 궤적에 진입하는 대상 지지부를 조기에 검출하여 제3 제어를 실행할 수 있어, 자차가 대상 지지부에 접촉하는 것을 방지하기 용이해진다.

또한, 상기 물품 반송차는, 반사체를 구비하고, 상기 반사체는, 상기 물품 반송차의 전방을 향하는 전면부 및 후방을 향하는 후면부와, 상기 지지부의 전방을 향하는 전면부 및 후방을 향하는 후면부와의 각각에 배치되고, 상기 전방 검출부는, 상기 반사체로부터의 반사광을 검출함으로써 상기 물품 반송차 및 상기 지지부를 검출하는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 자차의 전방 검출부는, 반사체를 구비한 대상차나 대상 지지부를 적절히 검출하기 용이해진다. 또한, 반사체를 물품 반송차나 지지부의 전면부나 후면부에 구비함으로써, 대상차가 자차와 같은 방향으로 주행하고 있는 경우와 반대 방향으로 주행하고 있는 경우와의 양쪽에서, 자차의 전방 검출부에 의해, 반사체를 구비한 대상차나 대상 지지부를 적절히 검출하기 용이해진다.

물품 반송차는, 궤도를 따라서 주행하는 주행부와, 물품을 지지하는 지지부와, 물품을 수용하는 수용부와, 상기 지지부를 이동시키는 구동부와, 전방 검출부를 구비하고, 자차가 주행 중인 상기 궤도를 주행 중 궤도로 하고, 상기 주행 중 궤도를 따라서 상기 자차가 주행하는 궤적을 주행 궤적으로 하고, 상하 방향에서 볼 때 상기 궤도의 연장 방향에 대하여 직교하는 방향을 폭 방향으로 하여, 상기 구동부는, 상기 수용부로부터 상기 폭 방향으로 돌출된 돌출 위치와, 상기 돌출 위치보다도 상기 수용부 측으로 퇴피시킨 퇴피 위치에 상기 지지부를 상기 폭 방향으로 이동시키고, 상기 전방 검출부는, 제1 검출 영역의 다른 물품 반송차인 제1 대상차와 제2 검출 영역의 상기 제1 대상차의 상기 지지부를 검출하는 제1 센서와, 제3 검출 영역의 다른 물품 반송차인 제2 대상차를 검출하는 제2 센서를 가지고, 상기 제1 검출 영역은, 상기 자차에 대하여 전방측이며 또한 상기 주행 궤적에 대하여 상기 폭 방향의 외측으로 설정되고, 상기 제2 검출 영역은, 상기 자차에 대하여 전방측이며 또한 상기 주행 궤적 내로 설정되고, 상기 제3 검출 영역은, 상기 제2 검출 영역과는 상하 방향으로 상이한 영역으로서 상기 자차에 대하여 전방측이며 또한 상기 주행 궤적 내로 설정되어 있다.

또한, 대상 궤도를 주행하는 제1 대상차가, 자차의 전방측에 존재하는 경우에는, 그 대상차가 제1 검출 영역에 진입함으로써, 그 대상차를 제1 센서에 의해 검출할 수 있다. 그러므로, 제1 센서가, 제1 검출 영역에 존재하는 대상차를 검출한 경우에, 자차를 미리 감속시켜 두고, 대상 지지부가 주행 영역에 진입한 경우에 자차를 신속히 정지시키는 등의 대응이 가능해진다.

또한, 전방 검출부의 기능을, 제1 센서와 제2 센서에 배분하는 것이 가능하므로, 제1 검출 영역, 제2 검출 영역 및 제3 검출 영역의 각각의 검출을 1개의 센서에 의해 행하는 경우와 비교하여, 예를 들면, 각 센서의 기능을 간소화하거나, 각 센서의 검출 정밀도를 높이거나 할 수 있다.

이와 같이, 본 구성에 의하면, 비교적 간단한 구성에 의해, 다른 물품 반송차에 접촉하는 것을 방지할 수 있는 물품 반송차를 제공할 수 있다.

본 개시에 관한 기술은, 궤도를 따라서 주행하여 물품을 반송하는 물품 반송차, 및 상기 물품 반송차를 구비한 물품 반송 설비에 이용할 수 있다.

1: 궤도
1A: 주행 중 궤도
1B: 대상 궤도
2: 물품 반송차
2A: 자차
2B: 대상차(제1 대상차)
2C: 선행차(제2 대상차)
4: 직선부
5: 곡선부
16: 커버체(수용부)
25: 슬라이딩용 모터(구동부)
26: 지지부
26B: 대상 지지부
E1: 제1 검출 영역
E2: 제2 검출 영역
E3: 제3 검출 영역
H: 제어부
M: 반사체
S: 전방 검출부
S1: 제1 센서
S2: 제2 센서
T: 주행 궤적
W: 물품
X: 연장 방향
Y: 폭 방향
Z: 상하 방향

Claims

궤도를 따라서 복수의 물품 반송차(article transport vehicle)를 주행시켜 물품을 반송하는 물품 반송 설비로서,
상하 방향에서 볼 때 상기 궤도의 연장 방향에 대하여 직교하는 방향을 폭 방향으로 하여,
상기 물품 반송차는, 상기 물품을 지지하는 지지부와, 상기 지지부를 상기 폭 방향으로 이동시키는 구동부와, 전방 검출부와, 제어부를 구비하고,
상기 구동부는, 상기 물품 반송차로부터 상기 폭 방향으로 돌출된 돌출 위치와, 상기 돌출 위치보다도 상기 물품 반송차 측으로 퇴피시킨 퇴피 위치로 상기 지지부를 이동시키고,
복수의 상기 물품 반송차 중 하나인 자차(自車)가 주행 중인 상기 궤도를 주행 중 궤도로 하고, 상기 주행 중 궤도에 대하여 병행하는 상기 궤도를 대상 궤도로 하고, 상기 주행 중 궤도를 따라서 상기 자차가 주행하는 궤적을 주행 궤적으로 하고, 상기 대상 궤도를 주행하는 다른 상기 물품 반송차를 대상차로 하고, 상기 대상차의 상기 지지부를 대상 지지부로 하여,
상기 전방 검출부는, 제1 검출 영역에 위치하는 상기 대상차를 검출하고, 또한 제2 검출 영역에 위치하는 상기 대상 지지부를 검출하고,
상기 제1 검출 영역은, 상기 자차에 대하여 전방측이며 또한 상기 주행 궤적에 대하여 상기 폭 방향의 외측으로 설정되고,
상기 제2 검출 영역은, 상기 자차에 대하여 전방측이며 또한 상기 주행 궤적 내로 설정되고,
상기 제어부는, 제1 제어와 제2 제어와 제3 제어를 실행하고,
상기 제1 제어는, 상기 전방 검출부가 상기 제1 검출 영역에 있어서 상기 대상차를 검출하지 않고 또한 상기 제2 검출 영역에 있어서 상기 대상 지지부를 검출하지 않은 경우에, 상기 자차를 제1 설정 속도로 주행시키는 제어이며,
상기 제2 제어는, 상기 전방 검출부가 상기 제1 검출 영역에 존재하는 상기 대상차를 검출한 경우에, 상기 자차를 상기 제1 설정 속도보다 저속의 제2 설정 속도로 주행시키는 제어이며,
상기 제3 제어는, 상기 전방 검출부가 상기 제2 검출 영역에 존재하는 상기 대상 지지부를 검출한 경우에, 상기 자차를 정지시키는 제어인,
물품 반송 설비.
제1항에 있어서,
상기 자차에 대하여 전방측이며 또한 상기 주행 궤적 내에 제3 검출 영역이 설정되고,
상기 전방 검출부는, 상기 제3 검출 영역에 위치하는 다른 상기 물품 반송차인 선행차를 검출하고,
상기 제어부는, 상기 제1 제어, 상기 제2 제어, 및 상기 제3 제어에 더하여, 상기 전방 검출부가 상기 제3 검출 영역에 존재하는 상기 선행차를 검출한 경우에 상기 자차를 정지시키는 제4 제어를 실행하는, 물품 반송 설비.
제2항에 있어서,
상기 전방 검출부는, 상기 제1 검출 영역의 상기 대상차와 상기 제2 검출 영역의 상기 대상 지지부를 검출하는 제1 센서와, 상기 제3 검출 영역의 상기 물품 반송차를 검출하는 제2 센서를 구비하는, 물품 반송 설비.
제3항에 있어서,
상기 궤도는, 직선 형상의 직선부와 곡선 형상의 곡선부를 구비하고,
상기 제2 센서는, 상기 자차의 전방측의 상기 주행 중 궤도의 형상에 맞추어 상기 제3 검출 영역의 형상을 변화시키고,
상기 제1 센서는, 상기 자차가 상기 직선부에 위치하고 있는 경우에만 상기 대상차 및 상기 대상 지지부의 검출을 유효하게 하는, 물품 반송 설비.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제2 검출 영역의 상기 폭 방향의 길이는, 상기 물품 반송차의 상기 폭 방향의 길이보다 긴, 물품 반송 설비.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 물품 반송차는, 반사체를 구비하고,
상기 반사체는, 상기 물품 반송차의 전방을 향하는 전면부 및 후방을 향하는 후면부와, 상기 지지부의 전방을 향하는 전면부 및 후방을 향하는 후면부와의 각각에 배치되고,
상기 전방 검출부는, 상기 반사체로부터의 반사광을 검출함으로써 상기 물품 반송차 및 상기 지지부를 검출하는, 물품 반송 설비.
궤도를 따라서 주행하는 주행부;
물품을 지지하는 지지부;
상기 물품을 수용하는 수용부;
상기 지지부를 이동시키는 구동부; 및
전방 검출부;
를 포함하고,
자차가 주행 중인 상기 궤도를 주행 중 궤도로 하고, 상기 주행 중 궤도를 따라서 상기 자차가 주행하는 궤적을 주행 궤적으로 하고, 상하 방향에서 볼 때 상기 궤도의 연장 방향에 대하여 직교하는 방향을 폭 방향으로 하여,
상기 구동부는, 상기 수용부로부터 상기 폭 방향으로 돌출된 돌출 위치와, 상기 돌출 위치보다도 상기 수용부 측으로 퇴피시킨 퇴피 위치로 상기 지지부를 상기 폭 방향으로 이동시키고,
상기 전방 검출부는, 제1 검출 영역의 다른 물품 반송차인 제1 대상차와 제2 검출 영역의 상기 제1 대상차의 상기 지지부를 검출하는 제1 센서와, 제3 검출 영역의 다른 물품 반송차인 제2 대상차를 검출하는 제2 센서를 구비하고,
상기 제1 검출 영역은, 상기 주행 중 궤도에 대하여 병행하는 상기 궤도의 위치에 따라 설정되는 영역으로서, 상기 자차에 대하여 전방측이며 또한 상기 주행 궤적에 대하여 상기 폭 방향의 외측으로 설정되고,
상기 제2 검출 영역은, 상기 자차에 대하여 전방측이며 또한 상기 주행 궤적 내로 설정되고,
상기 제3 검출 영역은, 상기 제2 검출 영역과는 상하 방향으로 상이한 영역으로서 상기 자차에 대하여 전방측이며 또한 상기 주행 궤적 내로 설정되어 있는, 물품 반송 설비.