KR20180032172A - 물품 반송 설비 - Google Patents

Abstract

물품의 자세를 변경하기 위한 자세 변경 기구를 물품 반송차에 일체로 구비하면서, 물품 반송차의 대형화를 억제할 수 있는 물품 반송 설비를 제공한다. 이동 경로를 따라 이동하여 물품을 반송하는 물품 반송차와 물품 반송차를 제어하는 제어 장치를 구비하고, 물품 반송차는, 물품을 수용하는 수용부와, 수용부를 덮는 커버부와, 반송 대상 장소와 물품 반송차와의 사이의 물품의 이송탑재를 행하는 이송탑재 기구와, 반송 중인 물품의 자세를 변경하는 자세 변경 기구를 가지고, 자세 변경 기구는, 물품의 자세를 제1 자세와 제2 자세로 변경 가능하며, 커버부는, 중간 자세의 물품과 간섭하는 위치에 설치되고, 제어 장치는, 반송 경로의 도중에, 이송탑재 기구에 의해 수용부에 대하여 외측으로 물품을 이동시킨 상태에서 자세 변경 기구에 의해 물품을 제1 자세로부터 제2 자세로 변경한 후, 물품을 이송탑재 기구에 의해 수용부에 수용하는 제어인 자세 변경 제어를 실행한다.

Description

물품 반송 설비{ARTICLE TRANSPORT FACILITY}

본 발명은, 복수의 반송(搬送; transport) 대상 장소의 사이에서 이동 경로를 따라 이동하여 물품을 반송하는 물품 반송차(article transport vehicle)를 구비한 물품 반송 설비에 관한 것이다.

예를 들면, 하기의 특허문헌 1에 개시된 설비에서는, 물품 반송차의 이동 경로가 복수의 반송 대상 장소를 경유하는 상태로 설정되어 있다. 그리고, 복수의 반송 대상 장소 중 반송처(搬送處)로 되는 반송 대상 장소에 있어서, 물품이 이송탑재되기 위한 적절한 자세로 되도록, 상기 물품의 자세가 변경된다. 이와 같이, 물품의 자세가 반송원(搬送元)과 반송처에서 변경되는 이유는, 예를 들면, 물품이, 그 일측면에만 내용물을 출입시키기 위한 개구를 가지는 용기이며, 반송 대상 장소가, 그 내용물을 처리하는 처리부인 경우에는, 용기의 개구를 처리부에 대하여 대향시키지 않으면 안되는 것 등에 의한다. 그리고, 물품의 자세를 변경하기 위해, 특허문헌 1의 설비에는, 이동 경로 사이를 접속하는 상태로 설치되고, 또한 물품 반송차와는 별개로 설치된 자세 변경 기구(機構)가 구비되어 있다. 이 자세 변경 기구에 대하여 물품 반송차가 물품을 건네고, 자세 변경 기구가 이 물품을 선회(旋回)시킴으로써, 물품의 자세가 제1 자세로부터 제2 자세로 변경된다.

일본 공개특허 제2012-253070호 공보

상기한 바와 같이, 물품 반송차와는 별개로 자세 변경 기구가 설치된 설비에서는, 상기 자세 변경 기구의 배치 스페이스가 필요로 하는 동시에, 상기 자세 변경 기구가 설치되는 분만큼 설비의 비용이 증가하게 된다. 그래서, 본원의 발명자는, 자세 변경 기구를 물품 반송차에 일체로 구비하게 하는 것을 검토했다. 그러나, 물품 반송차에 의한 물품의 반송 중에는, 물품을 수용하는 수용부는 커버부에 의해 덮혀져 있다. 그리고, 물품 반송차의 대형화를 억제하기 위해, 커버부와 수용부에 수용된 물품과의 간극은 최소한으로 설정되어 있다. 이와 같은 수용부에 수용된 물품의 자세 변경을 행하기 위해서는, 물품과 커버부와의 간극을 넓힐 필요가 있고, 그 결과, 물품 반송차가 대형화되지 않을 수 없다는 문제가 있었다.

그래서, 물품의 자세를 변경하기 위한 자세 변경 기구를 물품 반송차에 일체로 구비하면서, 물품 반송차의 대형화를 억제할 수 있는 물품 반송 설비의 실현이 요구된다.

물품 반송 설비는, 복수의 반송 대상 장소의 사이에서 이동 경로를 따라 이동하여 물품을 반송하는 물품 반송차와, 상기 물품 반송차를 제어하는 제어 장치를 구비하고, 상기 물품 반송차는, 상기 물품을 수용하는 수용부와, 상기 수용부를 덮는 커버부와, 상기 수용부와 상기 수용부에 대하여 외측에 위치하는 상기 복수의 반송 대상 장소 중 하나와의 사이에서 상기 물품을 이동시켜 상기 반송 대상 장소와 상기 물품 반송차와의 사이의 상기 물품의 이송탑재(移載; transfer)를 행하는 이송탑재 기구와, 반송 중인 상기 물품의 자세를 변경하는 자세 변경 기구를 가지고, 상기 자세 변경 기구는, 상기 물품의 자세를, 반송원인 상기 반송 대상 장소에서의 이송탑재를 위한 자세인 제1 자세와, 반송처인 상기 반송 대상 장소에서의 이송탑재를 위한 자세인 제2 자세로 변경 가능하며, 상기 커버부는, 상기 수용부에 수용된 상태의 상기 물품이 상기 제1 자세인 경우 및 제2 자세인 경우에 상기 물품과 간섭하지 않고, 상기 물품의 자세가 상기 제1 자세와 상기 제2 자세와의 사이에서 변경되는 과정의 자세인 중간 자세인 경우에 상기 물품과 간섭하는 위치에 설치되고, 상기 제어 장치는, 상기 반송원으로부터 상기 반송처까지의 경로인 반송 경로의 도중에, 상기 이송탑재 기구에 의해 상기 수용부에 대하여 외측으로 상기 물품을 이동시킨 상태에서 상기 자세 변경 기구에 의해 상기 물품을 상기 제1 자세로부터 상기 제2 자세로 변경한 후, 상기 물품을 상기 이송탑재 기구에 의해 상기 수용부에 수용하는 제어인 자세 변경 제어를 실행한다.

본 구성에서는, 수용부를 덮는 커버부는, 제1 자세 또는 제2 자세의 물품이 수용부에 수용된 상태에서, 상기 물품과 간섭하지 않는 위치에 설치되어 있다. 한편, 이 커버부가 설치되는 위치는, 수용부에 수용된 상태의 물품이 중간 자세로 되었을 경우에, 상기 물품과 간섭하는 위치로 되어 있다. 즉, 수용부를 덮는 커버부와 물품과의 간극은 비교적 작게 설정되어 있다. 따라서, 본 구성에 관한 물품 반송 설비에 의하면, 물품 반송차의 대형화를 억제할 수 있다. 또한, 본 구성에서는, 물품 반송차가, 반송원으로부터 반송처까지의 경로인 반송 경로의 도중에, 이송탑재 기구에 의해 수용부에 대하여 외측으로 물품을 이동시킨 상태에서, 자세 변경 기구에 의해 물품의 자세를 제1 자세로부터 제2 자세로 변경한다. 따라서, 본 구성에 의하면, 물품 반송을 위한 시간 및 공간을 유효 이용하여, 물품의 자세 변경을 행할 수 있다. 그러므로, 물품 반송차와는 별개로 자세 변경 기구가 구비되는 경우와 비교하여, 설비의 소형화 및 저비용화를 도모하는 것이 용이하게 되어 있다.

본 개시에 관한 기술의 새로운 특징과 장점은, 도면을 참조하여 기술(記述)하는 이하의 예시적이고 비한정적인 실시형태의 설명에 따라서 더욱 명백해 질 것이다.

도 1은 물품 반송 설비의 전체 평면도
도 2는 물품의 이송탑재의 상태를 나타낸 도면
도 3은 물품 반송차를 반송 방향을 따라 본 도면
도 4는 물품의 자세를 변경시키는 상태를 나타낸 평면 모식도
도 5는 제어 구성을 나타낸 블록도
도 6은 자세 변경 제어를 실행할 때의 수순을 나타낸 플로우차트
도 7은 특정 반송 처리를 실행할 때의 수순을 나타낸 플로우차트
도 8은 제2 실시형태에 있어서 물품의 자세를 변경시키는 상태를 나타낸 평면 모식도
도 9는 제2 실시형태에 있어서 자세 변경 제어를 실행할 때의 수순을 나타낸 플로우차트

1. 제1 실시형태

물품 반송 설비의 제1 실시형태에 대하여, 도면을 참조하여 설명한다.

도 1에 나타낸 바와 같이, 물품 반송 설비(1)는, 복수의 반송 대상 장소(6)의 사이에서 이동 경로(R)를 따라 이동하여 물품(W)을 반송하는 물품 반송차(2)와, 상기 물품 반송차(2)를 제어하는 제어 장치(H)를 구비하고 있다(도 5도 참조). 그리고, 이 물품 반송 설비(1)는, 복수의 반송 대상 장소(6) 중 반송원으로 되는 반송 대상 장소(6)로부터 반송처로 되는 다른 반송 대상 장소(6)까지 물품(W)을 반송하는 도중에 상기 물품(W)의 자세를 변경할 수 있도록 되어 있다.

1-1. 물품 반송 설비의 기계적 구성

물품(W)은, 물품 반송차(2)에 의해 반송되는 대상이다. 여기서, 물품(W)은, 평면에서 볼 때 비원형상으로 형성되어 있다. 물품(W)은, 예를 들면, 평면에서 볼 때 다각형상, 보다 구체적으로는, 사각형상으로 형성되어 있다(도 4 참조). 그리고, 사각형상으로는, 엄밀하게는 사각형이 아니라도, 전체적으로 보면 사각형으로 간주할 수 있는 형상도 포함한다. 또한, 다각형상에는, 일부가 원호 등의 곡선으로 형성된 형상도 포함한다. 예를 들면, 물품(W)의 평면에서 볼 때의 형상은 D형이라도 된다. 이하, 「상태」라고 하는 표현을 사용하여 물건 등의 형상을 설명하는 경우에는, 상기 형상을 엄밀하게는 특정하지 않는 취지이다. 또한, 물품(W)의 입체적 형상에 관해서는, 여기서는, 기둥형체로 되어 있다. 물품(W)은, 예를 들면, 내용물이 수납되는 용기이다. 본 실시형태에서는, 물품(W)은, 반도체 기판이 수납되는 용기이다. 여기서는, 물품(W)은, 직육면체형으로 형성되어 있고, 복수 개의 반도체 기판을 복수 단(段; step)으로 나누어 수용 가능하다. 본 실시형태에서는, 물품(W)의 상면 및 바닥면은, 항상 닫힌 상태이다. 또한, 물품(W)의 상면에는, 물품(W)의 반송 시에 물품 반송차(2)에 의해 파지(把持)되기 위한 플랜지부(Wa)가 설치되어 있다. 또한, 물품(W)의 4개의 측면 중 일면에는, 반도체 기판을 출입시키기 위한 개구부(Wb)가 형성되어 있다.

반송 대상 장소(6)는, 물품(W)의 반송원으로 되는 장소이며, 또는 물품(W)의 반송처로 되는 장소이다. 반송 대상 장소(6)는, 물품 반송 설비(1) 중의 복수 개소에 설치되어 있다. 반송 대상 장소(6)에서는, 예를 들면, 물품(W)의 처리가 행해진다. 본 실시형태에서는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 반송 대상 장소(6)에는, 반도체 기판에 대한 처리를 행하는 처리 장치(6a)와 물품 반송차(2) 사이에서의 물품(W)의 수수(授受)를 위한 수수부(6b)가 포함되어 있다. 본 실시형태에서는, 수수부(6b)에는, 처리 장치(6a)에 대하여 개구부(Wb)를 대향시킨 상태의 물품(W)이 반송된다. 또한, 물품(W)에 수납된 반도체 기판이, 처리 장치(6a)가 구비하는 암(arm) 등에 의해 개구부(Wb)로부터 인출된다. 그리고, 반도체 기판은, 처리 장치(6a)에 의해 처리된다. 이와 같이, 처리 장치(6a)에 의해 반도체 기판이 처리되므로, 본 실시형태에서는, 물품(W)은, 개구부(Wb)가 처리 장치(6a)에 대하여 대향하는 적절한 자세로 된 후, 물품 반송차(2)에 의해 수수부(6b)로 반송된다.

이동 경로(R)는, 물품 반송 설비(1)에 있어서 물품 반송차(2)가 이동하는 경로이다. 도 1에 나타낸 바와 같이, 이동 경로(R)는, 복수의 반송 대상 장소(6)를 경유하고 있다. 이동 경로(R)는, 예를 들면, 바닥면 상에 설치되거나, 또는 바닥면으로부터 위쪽으로 거리를 둔 위치에 설치된다. 본 실시형태에서는, 이동 경로(R)는, 천정(99)으로부터 현수(懸垂) 지지된 레일(98)에 의해 정해져 있다(도 2 및 도 3 참조). 도 1에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에서는, 레일(98)은, 복수의 수수부(6b)를 경유하는 상태로 설치되어 있다. 또한, 레일(98)은, 이동 경로(R)를 따라 연장되는 동시에 가로 방향 Y로 이격된 상태로 설치되는 한 쌍의 장척(長尺) 부재에 의해 구성되어 있다(도 2 및 도 3 참조). 본 실시형태에서는, 이동 경로(R)는, 공정 내 경로(Ri)와 공정 간 경로(Rc)를 포함하여 구성되어 있다. 그리고, 복수의 수수부(6b)가 공정 내 경로(Ri)에 의해 연결되어 있는 동시에, 복수의 공정 내 경로(Ri)가 공정 간 경로(Rc)에 의해 연결되어 있다.

물품 반송차(2)는, 복수의 반송 대상 장소(6)의 사이에서 이동 경로(R)를 따라 이동하여 물품(W)을 반송한다. 본 실시형태에서는, 물품 반송차(2)는, 공정 간 경로(Rc)를 이동함으로써, 공정 간 경로(Rc)에 의해 연결된 복수의 공정 내 경로(Ri)의 각각으로 이동할 수 있다. 그러므로, 물품 반송차(2)는, 복수의 공정 내 경로(Ri)의 각각을 이동함으로써, 공정 내 경로(Ri)로 연결된 복수의 수수부(6b)의 각각으로 이동할 수 있다. 그리고, 본 실시형태에서는, 물품 반송차(2)는, 이동 경로(R)를 일방향으로만 이동할 수 있고, 역방향으로는 이동할 수 없도록 되어 있다. 또한, 물품 반송차(2)는, 이동 경로(R) 내에서의 상기 물품 반송차(2)의 현재 위치를 검출하는 위치 검출 센서(Se6)를 구비하고 있다(도 5 참조). 본 실시형태에서는, 이동 경로(R)에는, 복수의 위치 정보 기억부(도시하지 않음)가 분산된 상태로 배치되어 있다. 그리고, 위치 정보 기억부는, 이동 경로(R)를 구획한 복수의 영역의 각각에 할당되어 있다. 또한, 복수의 위치 정보 기억부의 각각은, 이동 경로(R) 내에 있어서 각각이 배치되어 있는 위치의 정보를 기억하고 있다. 본 실시형태에서는, 위치 검출 센서(Se6)는, 이동 경로(R) 내에 배치된 복수의 위치 정보 기억부의 각각에 기억된 위치 정보를 판독함으로써, 이동 경로(R) 내에서의 물품 반송차(2)의 현재 위치를 검출 가능하게 구성되어 있다. 예를 들면, 위치 정보 기억부로서는 바코드가 표시된 플레이트 등이라도 된다. 이 경우의 위치 검출 센서(Se6)는, 바코드 리더이면 된다.

도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 물품 반송차(2)는, 레일(98) 상을 주행 가능한 주행부(21)와, 주행부(21)에 현수 지지되는 본체부(22)를 가지고 있다. 그리고, 이하의 설명에 있어서, 「이동 경로(R)를 따라 물품 반송차(2)가 이동하는」과「이동 경로(R)를 따라 물품 반송차(2)가 주행하는」이란, 같은 의미이다. 또한, 도 3에서는, 설명의 편의를 위해, 후술하는 지지 부재(5)를 생략하고 있다. 물품 반송차(2)는, 물품(W)을 수용하는 수용부(22a)와, 상기 수용부(22a)를 덮는 커버부(22b)를 가지고 있다. 본 실시형태에서는, 수용부(22a) 및 커버부(22b)는, 본체부(22)의 일부로서 구성되어 있다.

물품 반송차(2)는, 상기 물품 반송차(2)와 반송 대상 장소(6)와의 사이에서 물품(W)의 이송탑재를 행하는 이송탑재 기구(3)를 가지고 있다. 이송탑재 기구(3)는, 수용부(22a)와 상기 수용부(22a)에 대하여 외측에 위치하는 복수의 반송 대상 장소(6) 중 1개와의 사이에서 물품(W)을 이동시켜 상기 반송 대상 장소(6)와 물품 반송차(2)와의 사이의 물품(W)의 이송탑재를 행한다. 또한, 물품 반송차(2)는, 반송 중인 물품(W)의 자세를 변경하는 자세 변경 기구(4)를 가지고 있다.

도 3에 나타낸 바와 같이, 이송탑재 기구(3)는, 물품(W)을 파지하는 파지부(把持部)(3Ga)와, 파지부(3Ga)를 연직(沿直) 방향 Z를 따라 승강시키는 승강 기구(3H)와, 반송 경로(Rt)를 따르는 반송 방향 X에 교차하는 동시에 수평 방향을 따르는 방향인 가로 방향 Y를 따라 파지부(3Ga)를 가로 이동시키는 가로 이동 기구(3S)를 구비하고 있다. 본 실시형태에서는, 파지부(3Ga)를 가로 이동시키는 가로 이동 기구(3S)로서, 파지부(3Ga)를 슬라이딩시키는 슬라이딩 기구(3S)를 예시하여 설명한다. 여기서, 본 명세서에 있어서, 어느 특정의 방향을 따르는 이란, 상기 특정한 방향으로 완전히 평행인 경우 외에, 설치나 조립 등의 제조 상의 오차의 범위 내에 있어서 상기 특정한 방향에 대하여 약간 경사져 있는 상태도 포함하는 개념이다. 보다 구체적으로는, 상기 특정한 방향에 대하여 ±15°이하의 범위로 경사져 있는 상태도 포함한다. 슬라이딩 기구(3S)는, 가로 방향 Y를 따라 파지부(3Ga)를 슬라이딩시키는 것이 가능하다. 본 실시형태에서는, 파지 기구(3G)와 승강 기구(3H)와 슬라이딩 기구(3S)에 의해, 물품 반송차(2)와 수수부(6b)와의 사이에서 물품(W)을 이송탑재한다. 그리고, 물품(W)의 이송탑재란, 물품 반송차(2)와 수수부(6b)와의 사이에서 물품을 이동시키는 것을 말한다. 즉, 수용부(22a)에 수용된 상태의 물품(W)을 수수부(6b)에 탑재할 때까지의 과정, 또는 수수부(6b)에 탑재된 상태의 물품(W)을 수용부(22a)에 수용할 때까지의 과정이, 물품(W)의 이송탑재이다. 또한, 물품(W)의 반송이란, 복수의 수수부(6b) 중, 반송원으로 되는 수수부(6b)로부터 반송처로 되는 다른 수수부(6b)까지 물품(W)을 이동시키는 것을 말한다. 즉, 물품(W)의 반송이란, 물품(W)의 이송탑재도 포함하는 개념이다. 또한, 반송 경로(Rt)는, 이동 경로(R)에서의, 반송원으로 되는 반송 대상 장소(6)로부터 반송처로 되는 다른 반송 대상 장소(6)까지의 경로이다. 즉, 이동 경로(R) 중에, 반송원과 반송처에 따라서, 그 때마다 반송 경로(Rt)가 설정된다.

도 2에 나타낸 바와 같이, 물품(W)의 이송탑재로서, 수수부(6b)에 탑재된 상태의 물품(W)을 수용부(22a)에 수용하는 경우에는, 파지 기구(3G)에 의해 물품(W)을 파지한 상태로 승강 기구(3H)에 의해 물품(W)을 상승시켜, 슬라이딩 기구(3S)에 의해 물품(W)을 수용부(22a)로 슬라이딩시킨다. 물품(W)의 이송탑재로서, 수용부(22a)에 수용된 상태의 물품(W)을 수수부(6b)에 탑재하는 경우에는, 상기와 반대의 공정을 행한다. 그리고, 이하에서는, 연직 방향 Z 중, 상측을 연직 방향 상측(Z1)이라고 하고, 하측을 연직 방향 하측(Z2)이라고 하여 설명한다. 또한, 가로 방향 Y 중, 물품(W)을 수용부(22a)로부터 수용부(22a)의 외측으로 돌출시키는 측(도 2 및 도 3에서의 좌측)을 가로 방향 제1 측(Y1)이라고 하고, 물품(W)을 수용부(22a)의 외측으로부터 수용부(22a)로 퇴피시키는 측을 가로 방향 제2 측(Y2)이라고 하여 설명한다. 이하에서는, 수용부(22a)에 수용되어 있는 상태의 물품(W)의 위치를 퇴피 위치 P1이라고 하고, 가로 방향 제1 측(Y1)과 돌출하는 한도에서의 물품(W)의 위치를 돌출 위치 P2라고 한다. 그리고, 본 실시형태에서는, 가로 방향 Y는, 반송 경로(Rt)와 직교하는 방향이다.

도 3에 나타낸 바와 같이, 물품 반송차(2)는, 주행부(21)를 가지고 있다. 주행부(21)는, 모터 등의 구동 수단에 의해 구동되어 이동 경로(R)를 따라 주행한다. 본 실시형태에서는, 주행부(21)는, 레일(98) 상을 주행한다. 도 3에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에서는, 주행부(21)는, 주행용 모터(21M)에 의해 구동되어 수평축 주위로 회전하는 동시에 레일(98)의 상면을 반송 방향 X를 따라 전동(轉動)하는 주행륜(21a)과, 레일(98)의 연직면(鉛直面)에 맞닿아 연직축 주위로 회전하는 동시에 주행부(21)를 레일(98)을 따라 안내하는 안내륜(guiding wheel)(21b)을 가지고 있다. 또한, 주행부(21)는, 물품 반송차(2)의 주행 속도를 검출하는 속도 검출 센서(Se1)(도 5 참조)를 구비하고 있다. 본 실시형태에서는, 속도 검출 센서(Se1)는, 소정 시간 내에서의 주행륜(21a)의 회전수나 레일(98)과의 상대(相對) 속도 등에 기초하여 물품 반송차(2)의 속도를 검출 가능하게 구성되어 있다.

물품 반송차(2)는, 본체부(22)를 가지고 있다. 본체부(22)는, 주행부(21)에 연결되어 있고, 주행부(21)의 주행에 의해 상기 주행부(21)와 일체로 이동 경로(R)를 이동한다. 본 실시형태에서는, 본체부(22)는, 레일(98)을 구성하는 한 쌍의 장척 부재에 의해 형성되는 간극을 통하여, 주행부(21)에 의해 매달려 지지되어 있다. 본 실시형태에서는, 본체부(22)는, 물품(W)을 수용하는 수용부(22a)와, 상기 수용부(22a)를 덮는 커버부(22b)를 가지고 있다. 수용부(22a)는, 커버부(22b)의 내측에 배치되어 있다. 본 실시형태에서는, 커버부(22b)는, 가로 방향 Y의 양쪽 및 아래쪽이 개방된 형상으로 되어 있다. 보다 구체적으로는, 커버부(22b)는, 가로 방향 Y에서 볼 때 각이진 역 U자형으로 형성되어 있다. 그러므로, 수용부(22a)는, 가로 방향 Y의 양쪽 및 아래쪽에서, 수용부(22a)의 외측과 연통되어 있다. 이로써, 수용부(22a)에 수용된 상태의 물품(W)을 슬라이딩 기구(3S)에 의해 가로 방향 Y로 슬라이딩시킴으로써, 상기 물품(W)을 수용부(22a)의 외측에 위치시킬 수 있다.

슬라이딩 기구(3S)는, 가로 방향 Y를 따라 신축(伸縮) 가능하다. 예를 들면, 슬라이딩 기구(3S)는, 수축된 상태로 전체가 커버부(22b)의 내측에 수용되고, 신장된 상태로 일부가 커버부(22b)의 외측으로 돌출하도록 구성되어 있다. 본 실시형태에서는, 슬라이딩 기구(3S)는, 수용부(22a)에 설치되어 있다. 또한, 본 실시형태에서는, 슬라이딩 기구(3S)는, 슬라이딩용 모터(3SM)에 의해 구동 또는 종동(從動)되는 한 쌍의 슬라이딩용 풀리(pully)(3Sc)와, 한 쌍의 슬라이딩용 풀리(3Sc)의 각각에 권취되는 슬라이딩용 벨트(3Sb)와, 슬라이딩용 벨트(3Sb)에 연결되어 가로 방향 Y로 슬라이딩 가능한 슬라이딩부(3Sa)를 가지고 있다. 그리고, 슬라이딩부(3Sa)는, 가로 방향 제1 측(Y1)으로 슬라이딩함으로써 수용부(22a)의 외측으로 이동할 수 있어, 가로 방향 제2 측(Y2)으로 슬라이딩함으로써 수용부(22a)로 이동할 수 있다. 또한, 슬라이딩 기구(3S)는, 슬라이딩부(3Sa)의 슬라이딩량을 검출하는 슬라이딩량 검출 센서(Se2)를 구비하고 있다(도 5도 참조). 본 실시형태에서는, 슬라이딩량 검출 센서(Se2)는, 슬라이딩부(3Sa)의 슬라이딩 시에서의 슬라이딩용 풀리(3Sc)의 회전수 등에 기초하여 슬라이딩부(3Sa)의 슬라이딩량을 검출 가능하게 구성되어 있다.

자세 변경 기구(4)는, 반송 중인 물품(W)의 자세를 변경한다. 예를 들면, 자세 변경 기구(4)는, 물품(W)을 특정한 축 주위로 선회시킴으로써, 상기 물품(W)의 자세를 변경한다. 보다 구체적으로는, 자세 변경 기구(4)는, 연직축 주위로 물품(W)을 선회시킴으로써, 상기 물품(W)의 자세를 변경한다. 본 실시형태에서는, 자세 변경 기구(4)는, 슬라이딩 기구(3S)의 슬라이딩부(3Sa)와 연결되어 있다. 그러므로, 자세 변경 기구(4)는, 슬라이딩 기구(3S)의 슬라이딩부(3Sa)와 일체로 가로 방향 Y를 따라 이동한다. 본 실시형태에서는, 자세 변경 기구(4)는, 연직 방향 Z를 따르는 선회축(旋回軸)(4b) 주위로 파지부(3Ga)를 선회시키는 선회부(旋回部)(4a)를 구비하고 있다. 여기서는, 선회부(4a)의 내부에 있어서, 선회축(4b)의 상부가 선회용 모터(4M)와 연결되어 있다. 그리고, 선회용 모터(4M)에 의해 선회축(4b)이 구동된다. 또한, 자세 변경 기구(4)는, 파지부(3Ga)의 선회량을 검출하는 선회량 검출 센서(Se5)를 구비하고 있다(도 5도 참조). 본 실시형태에서는, 선회량 검출 센서(Se5)는, 선회축(4b)의 회전 각도나 선회축(4b)이 회전하는 시간 등에 기초하여 파지부(3Ga)의 선회량을 검출 가능하게 구성되어 있다.

승강 기구(3H)는, 물품(W)을 승강시킨다. 본 실시형태에서는, 승강 기구(3H)는, 커버부(22b)가 배치되는 높이로부터, 적어도, 수수부(6b)가 배치되는 높이까지의 사이에서, 물품(W)을 승강시킨다. 본 실시형태에서는, 승강 기구(3H)는, 승강용 모터(3HM)에 의해 구동되는 승강용 풀리(3Hc)와, 승강용 드럼(3Hd)과, 승강용 풀리(3Hc) 및 승강용 드럼(3Hd)에 권취되는 승강용 벨트(3Hb)와, 승강용 모터(3HM)와 승강용 풀리(3Hc)와 승강용 드럼(3Hd)과 승강용 벨트(3Hb)를 유지하는 승강부(3Ha)를 가지고 있다. 그리고, 승강 기구(3H)는, 승강용 모터(3HM)에 의해 승강용 풀리(3Hc)를 구동시킴으로써, 승강용 벨트(3Hb)를 권취 또는 송출하여, 파지부(3Ga)를 승강시킨다. 또한, 본 실시형태에서는, 승강부(3Ha)는, 자세 변경 기구(4)가 가지는 선회축(4b)과 연결되어 있다. 그러므로, 승강 기구(3H)는, 선회축(4b)의 회전에 의해 연직축 주위로 선회한다. 승강 기구(3H)는, 자세 변경 기구(4)를 통하여 슬라이딩 기구(3S)와 연결되어 있으므로, 슬라이딩 기구(3S)와 일체로 가로 방향 Y를 따라 이동한다. 또한, 승강 기구(3H)는, 파지부(3Ga)의 승강량을 검출하는 승강량 검출 센서(Se3)를 구비하고 있다(도 5도 참조). 본 실시형태에서는, 승강량 검출 센서(Se3)는, 파지부(3Ga)의 승강 시에서의 승강용 풀리(3Hc)의 회전수나 승강용 풀리(3Hc)가 회전하는 시간 등에 기초하여 파지부(3Ga)의 승강량을 검출 가능하게 구성되어 있다.

파지 기구(3G)는, 물품(W)을 파지 가능하다. 예를 들면, 파지 기구(3G)는, 물품(W)을 위쪽으로부터 파지한다. 보다 구체적으로는, 파지 기구(3G)는, 평면에서 볼 때 물품(W)과 완전히 중복된 상태에서, 상기 물품(W)을 위쪽으로부터 파지한다. 본 실시형태에서는, 파지 기구(3G)는, 승강용 벨트(3Hb)에 연결되는 파지부(3Ga)와, 파지부(3Ga)의 내부에서 유지되는 파지용(把持用) 모터(3GM)(도 5 참조)와, 파지용 모터(3GM)에 의해 구동되어 파지 자세와 해제 자세와의 사이에서 전환 가능한 한 쌍의 파지 클로우(gripping claw)(3Gb)를 가지고 있다. 그리고, 한 쌍의 파지 클로우(3Gb)는, 서로 접근하는 방향으로 이동함으로써 파지 자세로 되고, 서로 이격되는 방향으로 이동함으로써 해제 자세로 된다. 본 실시형태에서는, 한 쌍의 파지 클로우(3Gb)는, 파지 자세로 물품(W)의 플랜지부(Wa)를 파지한다. 그리고, 한 쌍의 파지 클로우(3Gb)는, 플랜지부(Wa)를 파지한 상태로부터 해제 자세로 됨으로써, 플랜지부(Wa)의 파지를 해제한다. 또한, 파지 기구(3G)는, 한 쌍의 파지 클로우(3Gb)의 파지 자세와 해제 자세를 검출하는 파지 검출 센서(Se4)를 구비하고 있다(도 5 참조). 본 실시형태에서는, 파지 검출 센서(Se4)는, 한 쌍의 파지 클로우(3Gb)에 의한 광축의 차단의 유무 등에 기초하여 한 쌍의 파지 클로우(3Gb)가 파지 자세인지 해제 자세인지를 검출 가능하게 구성되어 있다. 파지부(3Ga)는, 승강용 벨트(3Hb)를 통하여 승강 기구(3H)와 연결되어 있으므로, 파지 기구(3G)는, 선회축(4b)의 회전에 의해 선회하는 승강 기구(3H)와 일체로 선회한다. 또한, 파지 기구(3G)는, 승강 기구(3H) 및 자세 변경 기구(4)를 통하여 슬라이딩 기구(3S)와 연결되어 있으므로, 승강 기구(3H), 자세 변경 기구(4) 및 슬라이딩 기구(3S)와 가로 방향 Y를 따라 일체로 이동한다. 그러므로, 파지 기구(3G)에 파지된 상태의 물품(W)의, 승강, 선회 및 슬라이딩의 각각의 동작이, 승강 기구(3H), 자세 변경 기구(4) 및 슬라이딩 기구(3S)에 의해 행해진다.

자세 변경 기구(4)는, 물품(W)의 자세를, 반송원인 반송 대상 장소(6)에서의 이송탑재를 위한 자세인 제1 자세(A1)와, 반송처인 반송 대상 장소(6)에서의 이송탑재를 위한 자세인 제2 자세(A2)로 변경할 수 있다. 전술한 바와 같이, 물품 반송 설비(1)에서는, 각각 상이한 장소에 배치되는 복수의 처리 장치(6a)에 의해, 물품(W)에 수납된 반도체 기판이 처리된다. 그러므로, 처리 장치(6a)의 수수부(6b)로 물품(W)이 반송될 때는, 처리 장치(6a)가 물품(W)으로부터 반도체 기판을 인출할 수 있도록 물품(W)의 개구부(Wb)가 처리 장치(6a)에 대향하는 상태로 되어 있지 않으면 안된다. 즉, 제2 자세(A2)는, 반송처인 반송 대상 장소(6)의 처리 장치(6a)에 대하여 물품(W)의 개구부(Wb)가 대향하고 있는 상태의 자세를 말한다. 따라서, 제2 자세(A2)는, 반송처에 대응하는 처리 장치(6a)의 방향을 따라 변화하는 것이다. 또한, 제1 자세(A1)는, 반송원에서의 물품(W)의 자세를 말한다. 예를 들면, 반송 대상이 되는 물품(W)이, 복수의 처리 장치(6a) 중 1개의 처리 장치(6a)에 의해 있는 처리 공정을 끝낸 물품(W)인 경우에는, 제1 자세(A1)는, 상기 물품(W)의 처리 공정을 행한 처리 장치(6a)에 대하여 개구부(Wb)가 대향하고 있는 상태의 자세로 된다. 단, 이와 같은 경우에 한정되지 않고, 예를 들면, 제1 자세(A1)는, 물품(W)이 물품 반송 설비(1)에 반입(搬入)된 시점에서의 자세라도 된다. 어느 것으로 해도, 물품(W)의 반송을 개시하는 시점에서의 물품(W)의 자세가 제1 자세(A1)로 된다.

본 실시형태에서는, 제1 자세(A1)와 제2 자세(A2) 사이에서의 물품(W)의 자세 변경은, 선회축(4b) 주위에서의 물품(W)의 선회에 의해 행해진다. 즉, 도 4에 나타낸 바와 같이, 물품(W)을 선회축(4b)의 연장 방향(본 예에서는 연직 방향 Z)을 따라 보았을 때, 물품(W)의 각(角) Wc가 선회축(4b)을 중심으로 하는 원호를 그리도록 물품(W)을 선회시킴으로써, 물품(W)을 자세 변경시킨다. 본 실시형태에서는, 제1 자세(A1)의 상태의 물품(W)을, 반송처에 대응하는 처리 장치(6a)에 대하여 개구부(Wb)가 대향하는 상태로 되도록, 자세 변경 기구(4)에 의해 선회축(4b) 주위에서 선회시킨다. 이로써, 물품(W)이 제1 자세(A1)로부터 제2 자세(A2)로 자세 변경된다.

도 4에 나타낸 바와 같이, 커버부(22b)는, 수용부(22a)에 수용된 상태의 물품(W)이 제1 자세(A1)인 경우 또는 제2 자세(A2)인 경우에 물품(W)과 간섭하지 않고, 물품(W)의 자세가 제1 자세(A1)와 제2 자세(A2)와의 사이에서 변경되는 과정의 자세인 중간 자세 Am인 경우에 물품(W)과 간섭하는 위치에 설치되어 있다. 본 실시형태에서는, 커버부(22b)는, 반송 방향 X과 서로 대향하는 한 쌍의 내측면(22f)을 가지고 있다. 또한, 수용부(22a)의 반송 방향 X에서의 영역은, 한 쌍의 내측면(22f)에 의해 구획되어 있다. 본 실시형태에서는, 수용부(22a)에 수용된 상태의 물품(W)의 자세가 중간 자세 Am인 경우에, 한 쌍의 내측면(22f) 중 1개 이상의 내측면(22f)에 물품(W)이 간섭하는 위치에, 커버부(22b)가 설치되어 있다. 보다 구체적으로는, 도 4에 나타낸 바와 같이, 물품(W)의 선회 시에서의 물품(W)의 회전 중심[본 예에서는 선회축(4b)]으로부터 가장 먼 부분[본 예에서는 물품(W)의 각 Wc]이 그리는 선회 궤적 TR이, 수용부(22a)보다 커지도록, 커버부(22b)의 크기가 설정되어 있다. 전술한 바와 같이 물품(W)은 평면에서 볼 때 사각형상이므로, 선회 궤적 TR의 직경은, 평면에서 볼 때 물품(W)의 대각(對角)을 연결하는 대각선에 의해 정해진다. 보다 구체적으로는, 한 쌍의 내측면(22f)의 반송 방향 X에서의 간격이, 평면에서 볼 때의 물품(W)의 대각선의 길이보다 짧아지도록 설정되어 있다.

1-2. 제어 장치의 구성

다음에, 물품 반송 설비(1)의 제어 구성에 대하여, 도 5를 참조하여 설명한다.

제어 장치(H)는, 물품 반송 설비(1) 전체의 제어를 행하는 상위 제어 장치(Hu)와, 물품 반송차(2)의 제어를 행하는 하위 제어 장치(Hd)를 포함하여 구성되어 있다. 상위 제어 장치(Hu)는, 물품 반송 설비(1) 중 어느 하나의 영역에 고정되는 상태로 배치되어 있다. 하위 제어 장치(Hd)는, 물품 반송차(2)에 배치되어 상기 물품 반송차(2)와 함께 이동 경로(R) 상을 이동한다. 본 실시형태에서는, 하위 제어 장치(Hd)는, 복수의 물품 반송차(2)의 각각에 배치되어, 각각의 물품 반송차(2)와 함께 이동 경로(R) 상을 이동한다. 제어 장치(H)는, 마이크로 컴퓨터 등의 프로세서, 메모리 등의 주변 회로 등을 구비하고 있다. 그리고, 이들 하드웨어와, 컴퓨터 등의 프로세서 상에서 실행되는 프로그램의 협동에 의해, 제어 장치(H)의 각 기능이 실현된다.

제어 장치(H)는, 복수의 반송 대상 장소(6)의 각각에 대한 물품(W)의 적정한 자세를 적정 자세 정보 Ja로서 기억하고 있다. 적정 자세 정보 Ja는, 상위 제어 장치(Hu)에 기억되어 있어도 되고, 복수의 하위 제어 장치(Hd)의 각각에 의해 별개로 기억되어 있어도 된다. 본 실시형태에서는, 상위 제어 장치(Hu)는, 기억부를 구비하고, 복수의 반송 대상 장소(6)의 각각에 대한 물품(W)의 적정한 자세를 적정 자세 정보 Ja로서 상기 기억부에 기억하고 있다. 즉, 상위 제어 장치(Hu)는, 복수의 반송 대상 장소(6)의 각각에 대응하는 물품(W)의 제2 자세(A2)를 기억부에 기억하고 있다. 상위 제어 장치(Hu)는, 자세 변경을 따르지 않고, 반송원인 반송 대상 장소(6)로부터 반송처인 다른 반송 대상 장소(6)로 물품(W)을 반송시키는 지령인 단순 반송 지령, 또는 자세 변경을 따라 반송원인 반송 대상 장소(6)로부터 반송처인 다른 반송 대상 장소(6)로 물품(W)을 반송시키는 지령인 특정 반송 지령을, 하위 제어 장치(Hd)에 지령한다.

하위 제어 장치(Hd)는, 단순 반송 지령을 받음으로써 단순 반송 처리를 실행하고, 특정 반송 지령을 받음으로써 특정 반송 처리를 실행한다. 하위 제어 장치(Hd)는, 이들 각각의 처리를 실행하기 위해, 각종 모터의 작동을 제어한다. 본 실시형태에서는, 하위 제어 장치(Hd)는, 속도 검출 센서(Se1)에 의해 검출되는 물품 반송차(2)의 주행 속도의 정보, 슬라이딩량 검출 센서(Se2)에 의해 검출되는 슬라이딩부(3Sa)의 슬라이딩량의 정보, 승강량 검출 센서(Se3)에 의해 검출되는 파지부(3Ga)의 승강량의 정보, 파지 검출 센서(Se4)에 의해 검출되는 한 쌍의 파지 클로우(3Gb)의 자세의 정보, 선회량 검출 센서(Se5)에 의해 검출되는 파지부(3Ga)의 선회량의 정보, 및 위치 검출 센서(Se6)에 의해 검출되는 물품 반송차(2)의 현재 위치의 정보를 취득한다. 그리고, 하위 제어 장치(Hd)는, 각 센서에 의해 검출된 정보에 기초하여, 주행용 모터(21M), 슬라이딩용 모터(3SM), 승강용 모터(3HM), 파지용 모터(3GM), 및 선회용 모터(4M)의 작동을 제어한다.

제어 장치(H)는, 반송원으로부터 반송처까지의 경로인 반송 경로(Rt)의 도중에, 이송탑재 기구(3)에 의해 수용부(22a)에 대하여 외측으로 물품(W)을 이동시킨 상태에서 자세 변경 기구(4)에 의해 물품(W)을 제1 자세(A1)로부터 제2 자세(A2)로 변경한 후, 물품(W)을 이송탑재 기구(3)에 의해 수용부(22a)에 수용하는 제어인 자세 변경 제어를 실행한다. 본 실시형태에서는, 상위 제어 장치(Hu)로부터 특정 반송 지령을 받은 하위 제어 장치(Hd)가, 반송원인 반송 대상 장소(6)로부터 반송처인 다른 반송 대상 장소(6)로 물품(W)을 반송하는 과정에 있어서 자세 변경 제어를 실행한다. 본 예에서는, 자세 변경 제어는, 슬라이딩 기구(3S)에 의해 물품(W)이 수용부(22a)에 대하여 외측에 위치하도록 파지부(3Ga)를 슬라이딩시킨 상태에서, 물품(W)을 선회축(4b) 주위로 선회시킴으로써 행해진다. 구체적으로는, 슬라이딩 기구(3S)에 의해 슬라이딩부(3Sa)를 가로 방향 제1 측(Y1)으로 돌출시킴으로써, 수용부(22a)에 배치된 자세 변경 기구(4), 승강 기구(3H), 파지 기구(3G) 및 파지부(3Ga)에 파지된 물품(W)을 돌출 위치 P2에 배치시킨다. 그리고, 돌출 위치 P2에 배치된 물품(W)을 파지 기구(3G) 및 승강 기구(3H)마다, 자세 변경 기구(4)에 의해 선회시킴으로써 물품(W)의 자세를 제1 자세(A1)로부터 제2 자세(A2)로 변경한다. 그 후, 슬라이딩 기구(3S)에 의해 슬라이딩부(3Sa)를 가로 방향 제2 측(Y2)으로 퇴피시킴으로써, 제2 자세(A2)로 된 물품(W)을, 파지 기구(3G), 승강 기구(3H) 및 자세 변경 기구(4)마다 퇴피 위치 P1[수용부(22a)]에 배치시킨다. 이와 같이 하여, 자세 변경 제어가 실행된다. 그리고, 본 실시형태에 있어서 물품(W)이 수용부(22a)에 대하여 외측에 위치하고 있는 상태에는, 물품(W)이 수용부(22a)에 대하여 완전히 외측에 위치하고 있는 상태 외에, 물품(W)의 일부가 수용부(22a)에 대하여 외측에 위치하고 있는 상태도 포함한다. 다시 말하자면, 평면에서 볼 때 물품(W)이 수용부(22a)에 중복되어 있지 않은 상태 외에, 평면에서 볼 때 물품(W)의 일부만이 수용부(22a)와 중복되어 있지 않은 상태도 포함한다.

본 실시형태에서는, 하위 제어 장치(Hd)는, 반송 경로(Rt)의 도중에서의 물품 반송차(2)의 정지(停止) 중에 자세 변경 제어를 실행한다. 반송 경로(Rt) 내에는, 복수의 물품 반송차(2)가 존재하고 있는 상태이며, 각각의 물품 반송차(2)가, 처리 장치(6a)에 반도체 기판의 처리를 행하기 위해, 반송 대상 장소(6)의 수수부(6b)를 향해 물품(W)을 반송하고 있다. 그러므로, 물품 반송차(2)가, 수수부(6b)에 대한 물품(W)의 이송탑재를 위해 반송 경로(Rt) 내에서 정지하면, 후속의 다른 물품 반송차(2)도 정지하게 된다. 즉, 물품 반송차(2)는, 반송 경로(Rt) 내를 주행 중에, 정체를 원인으로 하여 정지하는 경우가 있다. 그래서, 예를 들면, 하위 제어 장치(Hd)는, 반송 경로(Rt)의 도중에서의 물품 반송차(2)의 정체 정지 중에 자세 변경 제어를 실행한다. 이로써, 물품 반송차(2)가 뜻하지 않게 정지했을 때의 사이를 이용하여, 자세 변경 제어를 실행할 수 있다. 즉, 자세 변경 제어를 실행하기 위해 물품 반송차(2)를 정지시킬 필요가 없기 때문에, 자세 변경 제어를 실행할 때마다 물품 반송차(2)를 정지시키는 경우와 비교하여, 반송 시간을 단축할 수 있다.

본 실시형태에서는, 이송탑재 기구(3)에 의해 수용부(22a)에 대하여 외측에 물품(W)을 슬라이딩시킨 상태에서, 이송탑재 기구(3) 및 물품(W)이 반송 경로(Rt)의 주위에 존재하는 다른 부재와 간섭하지 않는 반송 경로(Rt)의 영역이, 자세 변경 허가 영역 Tp로서 설정되어 있다(도 1 참조). 보다 구체적으로는, 슬라이딩 기구(3S)에 의해 물품(W)을 돌출 위치 P2로 슬라이딩시키는 데 충분한 스페이스를 가지는 반송 경로(Rt)에서의 영역이, 자세 변경 허가 영역 Tp로서 설정되어 있다. 그리고, 하위 제어 장치(Hd)는, 물품 반송차(2)가 자세 변경 허가 영역 Tp 내에 있는 경우에, 자세 변경 제어를 실행한다. 본 실시형태에 있어서 자세 변경 허가 영역 Tp는, 물품(W)을 돌출 위치 P2로 슬라이딩시키는 데 충분한 스페이스를 가지고 있으므로, 자세 변경 허가 영역 Tp에 의해 자세 변경 제어를 실행함으로써, 자세 변경 제어의 실행 중에 이송탑재 기구(3) 및 물품(W)이 반송 경로(Rt)에 존재하는 다른 부재와 간섭하는 것을 억제할 수 있다. 그리고, 반송 경로(Rt)의 주위에 존재하는 다른 부재란, 예를 들면, 처리 장치(6a)나 물품(W)을 일시적으로 보관하기 위한 수납 선반 및 보관고(storage) 등(도시하지 않음)이다.

본 실시형태에서는, 자세 변경 허가 영역 Tp는, 이동 경로(R)에서의, 공정 내 경로(Ri)와 공정 간 경로(Rc)와의 접속 영역 Tc에 설정되어 있다. 본 실시형태에 있어서 접속 영역 Tc란, 공정 내 경로(Ri)와 공정 간 경로(Rc)가 접속되어 있는 영역 부근에 있어서, 물품 반송차(2)가 공정 내 경로(Ri)를 순환하기 위한 순환 경로에 상당하는 영역을 말한다(도 1 참조). 물품 반송 설비(1)에서는, 공정 내 경로(Ri)와 공정 간 경로(Rc)와의 각각에는, 각각의 처리 장치(6a)에 의해 처리를 행하는 반도체 기판을 반송하기 위해, 비교적 많은 물품 반송차(2)가 주행하고 있다. 이에 대하여, 공정 내 경로(Ri)와 공정 간 경로(Rc)와의 접속 영역 Tc를 주행하는 물품 반송차(2)의 수는 비교적 적다. 그러므로, 접속 영역 Tc를 자세 변경 허가 영역 Tp로 하여, 상기 접속 영역 Tc에 물품 반송차(2)가 있을 때 자세 변경 제어를 실행함으로써, 자세 변경 제어를 위한 물품 반송차(2)의 정지가 다른 물품 반송차(2)의 주행에 영향을 주는 것을 억제할 수 있다. 즉, 반송 경로(Rt) 중에서의 정체의 발생을 억제하여, 물품 반송 설비(1)의 전체의 반송 효율의 저하를 억제할 수 있다.

도 2에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에서는, 이송탑재 기구(3)는, 레일(98) 또는 천정(99)에 지지되는 동시에 이동 경로(R)에 인접하는 위치에 배치된 지지 부재(5)를 더 포함하고 있다. 도시한 예에서는, 지지 부재(5)는, 레일(98) 및 천정(99)의 양쪽에 지지되어 있다. 또한, 지지 부재(5)는, 물품(W)이 수용부(22a)에 대하여 외측에 위치하도록 파지부(3Ga)를 슬라이딩시킨 상태에서, 슬라이딩 기구(3S)를 연직 방향 Z으로 지지하도록 설치되어 있다. 지지 부재(5)는, 레일(98)보다 가로 방향 제1 측(Y1)에 있어서 천정으로 연결하는 천정 연결부(5a)와, 천정 연결부(5a)의 하단부에 연결하는 동시에 가로 방향 제1 측(Y1)으로부터 레일(98)로 연결하는 레일 연결부(5b)와, 슬라이딩 기구(3S)를 연직 방향 하측(Z2)으로부터 지지하는 지지부(5d)와, 레일 연결부(5b)와 지지부(5d)를 연결하는 프레임부(5c)를 가지고 있다. 물품(W)이 수용부(22a)에 대하여 외측에 위치하도록 파지부(3Ga)를 돌출 위치 P2로 슬라이딩시킨 상태에서, 지지부(5d)가, 슬라이딩 기구(3S)에 연결된 자세 변경 기구(4)를 연직 방향 하측(Z2)으로부터 지지한다. 즉, 지지부(5d)가, 자세 변경 기구(4)를 통하여 간접적으로 슬라이딩 기구(3S)를 지지하고 있다. 이로써, 지지부(5d)가, 파지부(3Ga) 및 이에 파지된 물품(W)을 지지할 수 있다. 그 결과, 슬라이딩 기구(3S)에서의 물품(W) 등을 지지한 부분을 역점(力点)으로 한 물품 반송차(2)를 중심으로 하는 모멘트에 의해 물품 반송차(2)나 레일(98) 등에 걸리는 부담을 경감할 수 있다. 또한, 지지 부재(5)는, 레일(98) 및 천정(99)의 양쪽에 지지되어 있으므로, 지지 부재(5)가 받는 물품(W) 등의 하중을 레일(98) 및 천정(99)의 양쪽으로 분산할 수 있어, 지지 부재(5) 자체에 걸리는 부담도 경감할 수 있다.

본 실시형태에서는, 지지부(5d)는, 가로 방향 Y를 따라 연장되는 판형 부재가 반송 방향 X로 이격되어 한 쌍 배치되는 상태로 구성되어 있다. 그리고, 지지부(5d)는, 한 쌍의 판형 부재에 의해 자세 변경 기구(4)를 아래쪽으로부터 지지한다. 보다 구체적으로는, 자세 변경 기구(4)의 선회부(4a)에는, 지지부(5d)에 의해 안내되는 슬라이딩용 안내륜(4c)이 형성되어 있고, 지지부(5d)는, 이 슬라이딩용 안내륜(4c)을 연직 방향 하측(Z2)으로부터 지지한다. 또한, 슬라이딩부(3Sa)가 지지 부재(5)를 향해 가로 방향 제1 측(Y1)으로 슬라이딩할 때 상기 슬라이딩부(3Sa)가 지지 부재(5)에 안내되기 쉽게, 지지부(5d)의 가로 방향 제2 측(Y2)의 단부(端部)에는, 가로 방향 제2 측(Y2)을 향해 연직 방향 하측(Z2)으로 경사지는 경사부(5e)가 형성되어 있다. 슬라이딩부(3Sa)가 가로 방향 제1 측(Y1)으로 슬라이딩하여 슬라이딩용 안내륜(4c)이 지지부(5d)에 지지되는 과정에서, 상기 슬라이딩용 안내륜(4c)은 경사부(5e)를 전동한다. 본 실시형태에서는, 이와 같은 지지 부재(5)가, 자세 변경 허가 영역 Tp에 설치되어 있다. 즉, 본 실시형태에서는, 자세 변경 제어를 실행하는 과정에서, 슬라이딩 기구(3S)를 지지 부재(5)에 지지하게 한다. 이로써, 자세 변경 제어의 실행 중에, 모멘트에 의해 물품 반송차(2)나 레일(98) 등에 걸리는 부담을 경감할 수 있다.

다음에, 자세 변경 제어가 실행되는 수순에 대하여, 도 6을 참조하여 설명한다.

하위 제어 장치(Hd)는, 이하의 수순에 따라 자세 변경 제어를 실행한다. 즉, 슬라이딩용 모터(3SM)를 제어하여 가로 방향 제1 측(Y1)으로의 물품(W)의 슬라이딩을 개시하게 한다(스텝 #10). 그 후, 슬라이딩량 검출 센서(Se2)에 의해 검출된 정보에 기초하여, 물품(W)이 돌출 위치 P2에 도달하였는지의 여부를 판단한다(스텝 #11). 규정 시간 내에 물품(W)이 돌출 위치 P2에 도달하지 않은 것으로 판단한 경우에는(스텝 #11: No, 스텝 #19: Yes), 각종 모터의 제어를 중지하고(스텝 #20), 에러 통지를 행하여(스텝 #21), 자세 변경 제어를 종료한다. 물품(W)이 돌출 위치 P2에 도달된 것으로 판단한 경우에는(스텝 #11: Yes), 슬라이딩용 모터(3SM)를 제어하여 물품(W)의 슬라이딩을 정지시킨다(스텝 #12). 그 후, 선회용 모터(4M)를 제어하여 물품(W)의 선회를 개시하게 한다(스텝 #13). 그 후, 선회량 검출 센서(Se5)에 의해 검출된 정보에 기초하여, 물품(W)이 제2 자세(A2)로 되었는지의 여부를 판단한다(스텝 #14). 규정 시간 내에 물품(W)이 제2 자세(A2)로 되어 있지 않는 것으로 판단한 경우에는(스텝 #14: No, 스텝 #22: Yes), 각종 모터의 제어를 중지하고(스텝 #20), 에러 통지를 행하여(스텝 #21), 자세 변경 제어를 종료한다. 물품(W)이 제2 자세(A2)로 된 것으로 판단한 경우에는(스텝 #14: Yes), 선회용 모터(4M)를 제어하여 물품(W)의 선회를 정지시킨다(스텝 #15). 그 후, 슬라이딩용 모터(3SM)를 제어하여 가로 방향 제2 측(Y2)으로의 물품(W)의 슬라이딩을 개시하게 한다(스텝 #16). 그 후, 슬라이딩량 검출 센서(Se2)에 의해 검출된 정보에 기초하여, 물품(W)이 퇴피 위치 P1에 도달하였는지의 여부를 판단한다(스텝 #17). 규정 시간 내에 물품(W)이 퇴피 위치 P1에 도달하지 않은 것으로 판단한 경우에는(스텝 #17: No, 스텝 #23: Yes), 각종 모터의 제어를 중지하고(스텝 #20), 에러 통지를 행하여(스텝 #21), 자세 변경 제어를 종료한다. 물품(W)이 퇴피 위치 P1에 도달된 것으로 판단한 경우에는(스텝 #17: Yes), 슬라이딩용 모터(3SM)를 제어하여 물품(W)의 슬라이딩을 정지시킨다(스텝 #18). 이상의 수순을 행함으로써, 하위 제어 장치(Hd)는, 자세 변경 제어를 실행한다.

하위 제어 장치(Hd)는, 상위 제어 장치(Hu)로부터 특정 반송 지령을 받았을 경우에(도 5 참조), 자세 변경 제어를 따른 물품(W)의 반송 처리로서의 특정 반송 처리를 실행한다. 자세 변경 제어는, 물품(W)을 반송하는 과정에서 실행된다. 이하, 특정 반송 처리가 실행되는 수순에 대하여, 도 7을 참조하여 설명한다.

하위 제어 장치(Hd)는, 이하의 수순에 따라 특정 반송 처리를 실행한다. 즉, 특정 반송 지령을 받은 후, 주행용 모터(21M)를 제어하여 물품 반송차(2)를 반송원으로 되는 반송 대상 장소(6)로 주행시킨다(스텝 #30). 그 후, 슬라이딩용 모터(3SM), 승강용 모터(3HM) 및 파지용 모터(3GM)를 제어하여 반송 대상 장소(6)의 수수부(6b)에 탑재된 물품(W)을 이송탑재한다. 즉, 상기 탑재된 물품(W)을 수용부(22a)에 수용한다(스텝 #31). 그 후, 주행용 모터(21M)를 제어하여 반송처로 되는 반송 대상 장소(6)를 향해 물품 반송차(2)를 주행시킨다(스텝 #32). 그 후, 속도 검출 센서(Se1)에 의해 검출된 정보에 기초하여, 물품 반송차(2)가 정체 등을 원인으로 정지했는지의 여부를 판단한다(스텝 #33). 물품 반송차(2)가 정지한 것으로 판단한 경우에는(스텝 #33: Yes), 위치 검출 센서(Se6)에 의해 검출된 정보에 기초하여, 물품 반송차(2)의 현재 위치가 자세 변경 허가 영역 Tp인지의 여부를 판단한다(스텝 #34). 물품 반송차(2)의 현재 위치가 자세 변경 허가 영역 Tp가 아닌 것으로 판단한 경우에는(스텝 #34: No), 정체가 해소되고 다시 주행을 개시하는 물품 반송차(2)에 대하여 스텝 #33의 처리를 행한다. 물품 반송차(2)의 현재 위치가 자세 변경 허가 영역 Tp인 것으로 판단한 경우에는(스텝 #34: Yes), 자세 변경 제어를 실행한다(스텝 #35). 자세 변경 제어를 실행한 후는, 주행용 모터(21M)를 제어하여 반송처로 되는 반송 대상 장소(6)를 향해 물품 반송차(2)를 다시 주행시킨다(스텝 #36).

스텝 #33의 처리에 있어서, 물품 반송차(2)가 정지하고 있지 않은 것으로 판단한 경우에는(스텝 #33: No), 물품 반송차(2)의 주행 중에, 물품 반송차(2)의 현재 위치가 자세 변경 허가 영역 Tp인 취지의 위치 정보를, 위치 검출 센서(Se6)가 판독했는지의 여부를 판단한다(스텝 #37). 전술한 바와 같이, 반송 경로(Rt)는, 복수의 위치 정보 기억부에 의해 복수의 영역으로 구획되어 있다. 복수의 위치 정보 기억부 중, 자세 변경 허가 영역 Tp에 배치되어 있는 위치 정보 기억부는, 상기 위치 정보 기억부의 배치 위치가 자세 변경 허가 영역 Tp인 취지의 위치 정보를 기억하고 있다. 그러므로, 물품 반송차(2)가 자세 변경 허가 영역 Tp에 있을 때는, 위치 검출 센서(Se6)에 의해 자세 변경 허가 영역 Tp에 배치되어 있는 위치 정보 기억부의 위치 정보를 판독함으로써, 하위 제어 장치(Hd)는, 물품 반송차(2)의 현재 위치가 자세 변경 허가 영역 Tp에 있는 것으로 판단할 수 있다. 하위 제어 장치(Hd)는, 물품 반송차(2)의 주행 중에, 물품 반송차(2)의 현재 위치가 자세 변경 허가 영역 Tp인 취지의 위치 정보를, 위치 검출 센서(Se6)가 판독하고 있지 않은 것으로 판단한 경우에는(스텝 #37: No), 스텝 #33의 처리를 행한다. 물품 반송차(2)의 현재 위치가 자세 변경 허가 영역 Tp인 취지의 정보를, 위치 검출 센서(Se6)가 판독한 것으로 판단한 경우에는(스텝 #37: Yes), 물품 반송차(2)의 현재 위치인 자세 변경 허가 영역 Tp가, 반송처로 되는 반송 대상 장소(6)까지 존재하는 복수의 자세 변경 허가 영역 Tp 중 최후의 자세 변경 허가 영역 Tp인지의 여부를 판단한다(스텝 #38). 물품 반송차(2)의 현재 위치인 자세 변경 허가 영역 Tp가 최후의 자세 변경 허가 영역 Tp가 아닌 것으로 판단한 경우에는(스텝 #38: No), 스텝 #33의 처리를 행한다. 물품 반송차(2)의 현재 위치인 자세 변경 허가 영역 Tp가 최후의 자세 변경 허가 영역 Tp인 것으로 판단한 경우에는(스텝 #38: Yes), 주행용 모터(21M)를 제어하여 물품 반송차(2)를 정지시킨다(스텝 #39). 그 후, 자세 변경 제어를 실행한다(스텝 #35). 자세 변경 제어를 실행한 후는, 주행용 모터(21M)를 제어하여 반송처로 되는 반송 대상 장소(6)를 향해 물품 반송차(2)를 다시 주행시킨다(스텝 #36).

물품 반송차(2)를 다시 주행시킨 후에는, 위치 검출 센서(Se6)에 의해 검출된 정보에 기초하여, 물품 반송차(2)가 반송처로 되는 반송 대상 장소(6)에 도달하였는지의 여부를 판단한다(스텝 #40). 물품 반송차(2)가 반송처로 되는 반송 대상 장소(6)에 도달하지 않은 것으로 판단한 경우에는(스텝 #40: No), 스텝 #40의 처리를 반복한다. 물품 반송차(2)가 반송처로 되는 반송 대상 장소(6)에 도달된 것으로 판단한 경우에는(스텝 #40: Yes), 주행용 모터(21M)를 제어하여 물품 반송차(2)의 주행을 정지시킨다(스텝 #41). 그 후, 슬라이딩용 모터(3SM), 승강용 모터(3HM) 및 파지용 모터(3GM)를 제어하여 수용부(22a)에 수용된 물품(W)을 이송탑재한다. 즉, 상기 수용된 물품(W)을 반송 대상 장소(6)의 수수부(6b)에 탑재한다(스텝 #42). 이상의 수순을 행함으로써, 하위 제어 장치(Hd)는, 특정 반송 처리를 실행한다.

이상에서는, 하위 제어 장치(Hd)가, 상위 제어 장치(Hu)로부터 특정 반송 지령을 받아, 특정 반송 처리를 실행하는 경우를 설명하였다. 그러나, 하위 제어 장치(Hd)는, 단순 반송 지령을 상위 제어 장치(Hu)로부터 받았을 경우에는(도 5 참조), 자세 변경 제어를 따르지 않는 반송 처리로서의 단순 반송 처리를 실행한다. 하위 제어 장치(Hd)는, 단순 반송 처리를 실행하는 데 있어서, 도 7의 플로우차트에서의 스텝 #30으로부터 스텝 #32까지의 처리를 실행한 후, 스텝 #40으로부터 스텝 #42까지의 처리를 실행한다. 이로써, 하위 제어 장치(Hd)는, 단순 반송 처리를 실행한다.

2. 제2 실시형태

다음에, 제2 실시형태에 관한 물품 반송 설비(1)에 대하여 설명한다. 제2 실시형태에서는, 자세 변경 제어의 수순만이 제1 실시형태와 상위하다. 이하에서는, 제1 실시형태와 상위한 점을 중심으로 설명한다. 특히 설명하지 않는 점에 대해서는, 제1 실시형태와 마찬가지이다.

도 8에 나타낸 바와 같이, 하위 제어 장치(Hd)는, 자세 변경 제어를, 물품(W)이 수용부(22a)의 외측에서의 커버부(22b)와 간섭하지 않는 범위 내에 있고, 또한 이송탑재 기구(3)에 의한 물품(W)의 이동 중에 실행한다. 제2 실시형태에서는, 하위 제어 장치(Hd)는, 물품(W)이 수용부(22a)의 외측에서의 커버부(22b)의 내측면(22f)과 간섭하지 않는 범위로서, 또한 슬라이딩 기구(3S)에 의한 물품(W)의 가로 방향 Y를 따르는 이동 중에, 자세 변경 제어를 실행한다. 보다 구체적으로는, 도 8에 나타낸 바와 같이, 물품(W)이 수용부(22a)에 수용된 상태로부터, 슬라이딩 기구(3S)에 의해 물품(W)을 가로 방향 제1 측(Y1)으로 슬라이딩시켜, 물품(W)이 돌출 위치 P2에 배치되기 전에, 물품(W)의 각 Wc가 내측면(22f)에 간섭하지 않는 범위에서 자세 변경 기구(4)에 의해 물품(W)의 선회를 개시한다. 그리고, 자세 변경 기구(4)에 의한 물품(W)의 선회를 계속시킨 채, 돌출 위치 P2에 배치된 물품(W)을 슬라이딩 기구(3S)에 의해 가로 방향 제2 측(Y2)으로 슬라이딩시켜, 물품(W)을 퇴피 위치 P1[수용부(22a)]에 배치시킨다. 적어도, 슬라이딩 기구(3S)에 의해 물품(W)을 가로 방향 제2 측(Y2)으로 슬라이딩하게 하고 있는 도중에 물품(W)의 제2 자세(A2)에 대한 자세 변경을 완료시킨다. 이로써, 자세 변경 제어에 필요로 하는 시간을 단축할 수 있다. 여기서, 자세 변경 제어의 시간은 짧을수록 바람직하다. 제2 실시형태에서는, 하위 제어 장치(Hd)는, 자세 변경 기구(4)에 의해 물품(W)을 제1 자세(A1)로부터 제2 자세(A2)로 변경하기 위해 상기 물품(W)을 선회시키는 시간과, 슬라이딩 기구(3S)에 의해 물품(W)을 수용부(22a)로부터 돌출시키고 다시 수용부(22a)에 수용할 때까지의 시간의 차이가 짧아지도록, 자세 변경 기구(4)(선회용 모터(4M) 및 슬라이딩 기구(3S)[슬라이딩용 모터(3SM)]를 제어한다. 상세하게는, 물품(W)을 가로 방향 제1 측(Y1)으로 슬라이딩시키는 과정에 있어서, 물품(W)이 커버부(22b)에 간섭하지 않는 비간섭 위치에 위치할 때까지는 물품(W)의 선회를 개시할 수 없다. 그러므로, 물품(W)을 수용부(22a)로부터 돌출시키고 다시 수용부(22a)에 수용할 때까지의 과정에서의 물품(W)이 커버부(22b)와 간섭하지 않는 범위에 있는 시간이, 물품(W)을 선회시키는 시간과 같은 정도로 되도록, 하위 제어 장치(Hd)는, 자세 변경 기구(4)[선회용 모터(4M)] 및 슬라이딩 기구(3S)[슬라이딩용 모터(3SM)]를 제어한다. 이로써, 자세 변경 제어에 필요로 하는 시간을 더욱 단축할 수 있다.

다음에, 제2 실시형태에 관한 자세 변경 제어의 수순에 대하여, 도 9를 참조하여 설명한다. 그리고, 이하의 설명에서는, 물품(W)을 수용부(22a)에 수용된 상태로부터 가로 방향 제1 측(Y1)으로 슬라이딩시킨 후, 상기 물품(W)을 가로 방향 제2 측(Y2)으로 슬라이딩하게 하여 상기 물품(W)을 수용부(22a)에 수용시킬 때까지의 일련의 동작을, 왕복 슬라이딩이라고 한다. 제2 실시형태에 관한 자세 변경 제어에서는, 왕복 슬라이딩의 개시로부터 종료까지의 동안으로서, 물품(W)이 커버부(22b)와 간섭하지 않는 범위 내에 있는 동안에, 상기 물품(W)의 자세를 제1 자세(A1)로부터 제2 자세(A2)로 변경한다.

하위 제어 장치(Hd)는, 이하의 수순에 따라 제2 실시형태에 관한 자세 변경 제어를 실행한다.

즉, 슬라이딩량 검출 센서(Se2)의 정보에 기초하여 물품(W)의 가로 방향 Y에서의 위치를 파악하면서 슬라이딩용 모터(3SM)를 제어함으로써, 물품(W)의 왕복 슬라이딩을 개시하게 한다(스텝 #50). 그 후, 슬라이딩량 검출 센서(Se2)에 의해 검출되는 정보에 기초하여, 중간 자세 Am의 물품(W)이 비간섭 위치에 위치하고 있는지의 여부를 판단한다(스텝 #51). 여기서, 비간섭 위치는, 물품(W)의 크기나 형상, 물품(W)의 선회량 및 물품(W)의 슬라이딩량의 조합에 따라 여러 가지이다. 제2 실시형태에서는, 미리 하위 제어 장치(Hd)는, 다양한 패턴에서의 복수의 비간섭 위치의 정보를 기억하고 있다. 제2 실시형태에서는, 하위 제어 장치(Hd)는, 이 미리 기억된 정보에 기초하여, 비간섭 위치에 물품(W)이 위치하고 있는지의 여부를 판단한다. 규정 시간 내에 물품(W)이 비간섭 위치에 없는 것으로 판단한 경우, 즉 중간 자세 Am의 물품(W)이 커버부(22b)와 간섭하는 위치인 것으로 판단한 경우에는(스텝 #51: No, 스텝 #56: Yes), 각종 모터의 제어를 중지하고(스텝 #57), 에러 통지를 행하여(스텝 #58), 자세 변경 제어를 종료한다. 물품(W)이 비간섭 위치에 있는 것으로 판단한 경우에는(스텝 #51: Yes), 선회용 모터(4M)를 제어하여 물품(W)의 선회를 개시하게 한다(스텝 #52). 그 후, 선회량 검출 센서(Se5)에 의해 검출되는 정보에 기초하여, 물품(W)이 제2 자세(A2)로 되었는지의 여부를 판단한다(스텝 #53). 규정 시간 내에 물품(W)이 제2 자세(A2)로 되어 있지 않는 것으로 판단한 경우에는(스텝 #53: No, 스텝 #59: Yes), 각종 모터의 제어를 중지하고(스텝 #57), 에러 통지를 행하여(스텝 #58), 자세 변경 제어를 종료한다. 물품(W)이 제2 자세(A2)로 된 것으로 판단한 경우에는(스텝 #53: Yes), 선회용 모터(4M)를 제어하여 물품(W)의 선회를 정지시킨다(스텝 #54). 그 후, 물품(W)의 왕복 슬라이딩을 종료시킨다(스텝 #55). 이상의 수순에 따라 하위 제어 장치(Hd)는, 제2 실시형태에 관한 자세 변경 제어를 실행한다.

3. 그 외의 실시형태

다음에, 물품 반송 설비의 그 외의 실시형태에 대하여 설명한다.

(1) 상기한 실시형태에서는, 자세 변경 허가 영역 Tp가, 이동 경로(R)에서의, 공정 내 경로(Ri)와 공정 간 경로(Rc)와의 접속 영역 Tc에 설정되어 있는 예에 대하여 설명하였다. 그러나, 물품 반송 설비(1)는, 이와 같은 구성에 한정되지 않는다. 즉, 도 1에 나타낸 바와 같이, 이동 경로(R) 내에, 물품 반송차(2)가 퇴피하는 퇴피 경로(Re)를 별도로 설치하고, 자세 변경 허가 영역 Tp는 퇴피 경로(Re)에 설정되어 있어도 된다. 이에 따르면, 물품 반송차(2)가 자세 변경 제어를 실행할 때, 이동 경로(R) 내에서의 퇴피 경로(Re) 이외의 경로를 주행하는 다른 물품 반송차(2)의 주행에 영향을 주는 것을 대폭 억제할 수 있다.

(2) 상기한 실시형태에서는, 지지 부재(5)가, 자세 변경 허가 영역 Tp에 형성되어 있고, 하위 제어 장치(Hd)가 자세 변경 제어를 실행하는 과정에서, 슬라이딩 기구(3S)를 지지 부재(5)에 지지하게 하는 예에 대하여 설명하였다. 그러나, 물품 반송 설비(1)는, 이와 같은 구성에 한정되지 않는다. 즉, 자세 변경 허가 영역 Tp에 지지 부재(5)를 형성하지 않아도 되고, 하위 제어 장치(Hd)는, 지지 부재(5)가 없는 영역에서 자세 변경 제어를 실행해도 된다.

(3) 상기한 실시형태에서는, 하위 제어 장치(Hd)는, 반송 경로(Rt)의 도중에서의 물품 반송차(2)의 정체 정지 중에 자세 변경 제어를 실행하는 예에 대하여 설명하였다. 그러나, 물품 반송 설비(1)는, 이와 같은 구성에 한정되지 않는다. 즉, 상위 제어 장치(Hu) 또는 하위 제어 장치(Hd)가 반송 경로(Rt)의 정체를 인지 가능하게 구성되며, 반송 경로(Rt)가 정체 중에 있는 것으로 판단한 경우에, 물품 반송차(2)를 바로 옆의 자세 변경 허가 영역 Tp에 이동시킨 상에서 자세 변경 제어를 실행해도 된다.

(4) 상기한 실시형태에서는, 하위 제어 장치(Hd)는, 반송 경로(Rt)의 도중에서의 물품 반송차(2)의 정지 중에 자세 변경 제어를 실행하는 예에 대하여 설명하였다. 그러나, 물품 반송 설비(1)는, 이와 같은 구성에 한정되지 않는다. 즉, 하위 제어 장치(Hd)는, 자세 변경 허가 영역 Tp 내를 물품 반송차(2)가 주행 중에 자세 변경 제어를 실행해도 된다. 이 경우에는, 안전하게 자세 변경 제어를 실행하기 위해, 물품 반송차(2)를 저속으로 주행시키도록 하면 된다.

(5) 상기한 실시형태에서는, 연직 방향 Z를 따르는 선회축(4b)의 회전에 의해 제1 자세(A1)로부터 제2 자세(A2)로 물품(W)의 자세를 변경하는 예에 대하여 설명하였다. 즉, 상기한 실시형태에서는, 물품(W)의 자세를 수평면 내에 있어서 2차원적으로 변경시키고 있었다. 그러나, 물품 반송 설비(1)는, 이와 같은 구성에 한정되지 않는다. 즉, 반송처 태양에 따라서 물품(W)의 자세를 3차원적으로 변경시켜도 된다. 예를 들면, 반송원에서는, 물품(W)의 개구부(Wb)가 수평 방향을 향한 상태인 것에 대하여, 반송처에서는, 물품(W)의 개구부(Wb)를 연직 방향 Z, 또는 연직 경사 방향을 향한 상태로 하지 않으면 안되는 경우에는, 물품(W)을 연직축 및 수평축 주위로 선회시킴으로써 물품(W)의 자세를 변경시켜도 된다.

(6) 상기한 실시형태에서는, 파지부(3Ga)를 가로 이동시키는 가로 이동 기구로서, 파지부(3Ga)를 슬라이딩시키는 슬라이딩 기구(3S)를 예시하여 설명하였다. 그러나, 물품 반송 설비(1)는, 이와 같은 구성에 한정되지 않는다. 즉, 가로 이동 기구(3S)로서, 암을 가지는 링크 기구 등이라도 되고, 상기 암에 의해 파지부(3Ga)를 가로 이동시켜도 된다.

(7) 상기한 실시형태에서는, 물품(W)의 플랜지부(Wa)를 파지하는 파지 기구(3G)가, 이송탑재 기구(3)의 일부로서 구성되어 있는 예에 대하여 설명하였다. 그러나, 물품 반송 설비(1)는, 이와 같은 구성에 한정되지 않는다. 즉, 물품(W)을 아래쪽으로부터 지지하는 포크 기구가 이송탑재 기구의 일부로서 구성되어 있어도 된다. 이 경우에는, 포크 기구가 물품(W)을 아래쪽으로부터 지지한 상태에서, 상기 포크 기구를 자세 변경 기구에 의해 선회시키도록 하면 된다.

(8) 상기한 실시형태에서는, 물품(W)의 자세를 제1 자세(A1)로부터 제2 자세(A2)로 변경하기 위해, 자세 변경 제어를 실행하는 과정에서, 슬라이딩 기구(3S)에 의해 물품(W)을 수용부(22a)의 외측으로 이동시키는 예에 대하여 설명하였다. 그러나, 물품 반송 설비(1)는, 이와 같은 구성에 한정되지 않는다. 즉, 승강 기구(3H)에 의해 물품(W)을 하강시킴으로써 상기 물품(W)을 수용부(22a)의 외측으로 이동시켜도 된다. 이 상태에서 자세 변경 기구(4)에 의해 물품(W)을 선회시킴으로써 상기 물품(W)의 자세 변경을 행한다. 이 경우에는, 슬라이딩 기구(3S)는 설치하지 않아도 되고, 슬라이딩 기구(3S)를 지지하는 지지 부재(5)도 설치하지 않아도 된다. 즉, 이송탑재 기구(3)는, 물품(W)을 파지하는 파지부(3Ga)와, 파지부(3Ga)를 연직 방향 Z를 따라 승강시키는 승강 기구(3H)를 구비하고, 자세 변경 기구(4)는, 연직 방향 Z를 따르는 선회축 주위에 파지부(3Ga)를 선회시키는 선회부(4a)를 구비하고, 제1 자세(A1)와 제2 자세(A2) 사이에서의 자세 변경은 선회축 주위에서의 물품(W)의 선회에 의해 행해지고, 자세 변경 제어는, 승강 기구(3H)에 의해 물품(W)이 수용부(22a)에 대하여 외측에 위치하도록 파지부(3Ga)를 하강시킨 상태에서, 물품(W)을 선회축 주위로 선회시킴으로써 행하면 된다.

(9) 그리고, 전술한 각각의 실시형태에서 개시된 구성은, 모순이 생기지 않는 한, 다른 실시형태에서 개시된 구성과 조합시켜 적용할 수도 있다. 그 외의 구성에 관해서도, 본 명세서에 있어서 개시된 실시형태는 모든 점에서 단순한 예시에 지나지 않는다. 따라서, 본 개시의 취지를 벗어나지 않는 범위 내에서, 적절히, 각종 개변(改變; modification)을 행할 수 있다.

4. 상기 실시형태의 개요

이하, 상기에 있어서 설명한 물품 반송 설비의 개요에 대하여 설명한다.

물품 반송 설비는, 복수의 반송 대상 장소의 사이에서 이동 경로를 따라 이동하여 물품을 반송하는 물품 반송차와, 상기 물품 반송차를 제어하는 제어 장치를 구비하고, 상기 물품 반송차는, 상기 물품을 수용하는 수용부와, 상기 수용부를 덮는 커버부와, 상기 수용부와 상기 수용부에 대하여 외측에 위치하는 상기 복수의 반송 대상 장소 중 하나와의 사이에서 상기 물품을 이동시켜 상기 반송 대상 장소와 상기 물품 반송차와의 사이의 상기 물품의 이송탑재를 행하는 이송탑재 기구와, 반송 중인 상기 물품의 자세를 변경하는 자세 변경 기구를 가지고, 상기 자세 변경 기구는, 상기 물품의 자세를, 반송원인 상기 반송 대상 장소에서의 이송탑재를 위한 자세인 제1 자세와, 반송처인 상기 반송 대상 장소에서의 이송탑재를 위한 자세인 제2 자세로 변경 가능하며, 상기 커버부는, 상기 수용부에 수용된 상태의 상기 물품이 상기 제1 자세인 경우 및 상기 제2 자세인 경우에 상기 물품과 간섭하지 않고, 상기 물품의 자세가 상기 제1 자세와 상기 제2 자세와의 사이에서 변경하는 과정의 자세인 중간 자세인 경우에 상기 물품과 간섭하는 위치에 설치되고, 상기 제어 장치는, 상기 반송원으로부터 상기 반송처까지의 경로인 반송 경로의 도중에, 상기 이송탑재 기구에 의해 상기 수용부에 대하여 외측으로 상기 물품을 이동시킨 상태에서 상기 자세 변경 기구에 의해 상기 물품을 상기 제1 자세로부터 상기 제2 자세로 변경한 후, 상기 물품을 상기 이송탑재 기구에 의해 상기 수용부에 수용하는 제어인 자세 변경 제어를 실행한다.

본 구성에서는, 수용부를 덮는 커버부는, 제1 자세 또는 제2 자세의 물품이 수용부에 수용된 상태에서, 상기 물품과 간섭하지 않는 위치에 설치되어 있다. 한편, 이 커버부가 설치되는 위치는, 수용부에 수용된 상태의 물품이 중간 자세로 되었을 경우에, 상기 물품과 간섭하는 위치로 되어 있다. 즉, 수용부를 덮는 커버부와 물품과의 간극은 비교적 작게 설정되어 있다. 따라서, 본 구성에 관한 물품 반송 설비에 의하면, 물품 반송차의 대형화를 억제할 수 있다. 또한, 본 구성에서는, 물품 반송차가, 반송원으로부터 반송처까지의 경로인 반송 경로의 도중에, 이송탑재 기구에 의해 수용부에 대하여 외측으로 물품을 이동시킨 상태에서, 자세 변경 기구에 의해 물품의 자세를 제1 자세로부터 제2 자세로 변경한다. 따라서, 본 구성에 의하면, 물품 반송을 위한 시간 및 공간을 유효 이용하여, 물품의 자세 변경을 행할 수 있다. 그러므로, 물품 반송차와는 별개로 자세 변경 기구가 구비되는 경우와 비교하여, 설비의 소형화 및 저비용화를 도모하는 것이 용이하게 되어 있다.

또한, 상기 이송탑재 기구는, 상기 물품을 파지하는 파지부와, 상기 파지부를 연직 방향을 따라 승강시키는 승강 기구와, 상기 반송 경로에 교차하는 동시에 수평 방향을 따르는 방향인 가로 방향을 따라 상기 파지부를 가로 이동시키는 가로 이동 기구를 구비하고, 상기 자세 변경 기구는, 상기 연직 방향을 따르는 선회축 주위로 상기 파지부를 선회시키는 선회부를 구비하고, 상기 제1 자세와 상기 제2 자세 사이에서의 자세 변경은 상기 선회축 주위에서의 상기 물품의 선회에 의해 행해지고, 상기 자세 변경 제어는, 상기 가로 이동 기구에 의해 상기 물품이 상기 수용부에 대하여 외측에 위치하도록 상기 파지부를 가로 이동시킨 상태에서, 상기 물품을 상기 선회축 주위로 선회시킴으로써 행해지면 바람직하다.

본 구성에 의하면, 물품의 연직 방향 및 가로 방향의 위치와 선회축 주위의 각도를 조정하여 반송처에 이송탑재할 수 있다. 또한, 그와 같은 조정을 위한 기구를 이용하여, 반송 경로의 도중에, 커버부에 간섭하지 않도록 수용부에 대하여 외측으로 물품을 이동시킨 상태에서, 물품의 자세를 제1 자세로부터 제2 자세로 변경할 수 있다.

또한, 상기한 구성에 더하여, 상기 이동 경로는, 천정으로부터 현수 지지된 레일에 의해 정해지고, 상기 이송탑재 기구는, 상기 레일 또는 상기 천정에 지지되는 동시에 상기 이동 경로에 인접하는 위치에 배치된 지지 부재를 더 포함하고, 상기 지지 부재는, 상기 물품이 상기 수용부에 대하여 외측에 위치하도록 상기 파지부를 가로 이동시킨 상태에서, 상기 가로 이동 기구를 상기 연직 방향으로 지지하도록 설치되어 있는 것이 바람직하다.

물품을 파지한 상태의 파지부가 수용부에 대하여 외측에 위치하도록, 상기 파지부를 이송탑재 기구에 의해 가로 이동시키면, 파지부가 가로 이동한 거리에 비례하여 물품 반송차를 중심으로 하는 모멘트가 커져, 물품 반송차나 레일 등에 부담이 걸리는 경우가 있다. 본 구성에서는, 물품이 수용부에 대하여 외측에 위치하도록 파지부를 가로 이동시킨 상태에서, 지지 부재가 가로 이동 기구를 연직 방향으로 지지한다. 즉, 지지 부재가, 가로 이동 기구를 통하여 간접적으로 파지부 및 이에 파지된 물품을 지지할 수 있고, 그 결과, 물품 반송차나 레일 등에 걸리는 부담을 경감할 수 있다.

또한, 상기 제어 장치는, 상기 반송 경로의 도중에서의 상기 물품 반송차의 정지 중에 상기 자세 변경 제어를 실행하는 것이 바람직하다.

본 구성에 의하면, 물품 반송차가 정지 중인 안정된 상태에서, 자세 변경 제어를 실행할 수 있다.

또한, 물품 반송차의 이동 중에 수용부에 대하여 외측으로 물품을 이동시키지 않으므로, 수용부에 대하여 외측에 있는 상기 물품과 이동 경로의 주위에 존재하는 다른 부재가 간섭하는 것을 억제할 수 있다.

또한, 상기 제어 장치는, 상기 자세 변경 제어를, 상기 물품이 상기 수용부의 외측에서의 상기 커버부와 간섭하지 않는 범위 내에 있고, 또한 상기 이송탑재 기구에 의한 상기 물품의 이동 중에 실행하는 것이 바람직하다.

본 구성에 의하면, 이송탑재 기구에 의한 수용부의 내측과 외측 사이에서의 물품의 이동 중에 자세 변경 제어를 실행 가능하므로, 이송탑재 기구에 의한 물품의 이동과 자세 변경을 별개로 행하는 경우와 비교하여, 자세 변경 제어에 필요로 하는 시간을 단축할 수 있다. 또한, 이와 같은 자세 변경 제어는, 물품이 수용부의 외측에서의 커버부와 간섭하지 않는 범위 내에서 행해지므로, 물품과 커버부가 간섭하는 것도 억제할 수 있다.

또한, 상기 이송탑재 기구에 의해 상기 수용부에 대하여 외측으로 상기 물품을 가로 이동시킨 상태에서, 상기 이송탑재 기구 및 상기 물품이 상기 반송 경로의 주위에 존재하는 다른 부재와 간섭하지 않는 상기 반송 경로의 영역이, 자세 변경 허가 영역으로서 설정되고, 상기 제어 장치는, 상기 물품 반송차가 상기 자세 변경 허가 영역 내에 있는 경우에, 상기 자세 변경 제어를 실행하는 것이 바람직하다.

본 구성에 의하면, 이송탑재 기구 및 물품이 반송 경로의 주위에 존재하는 다른 부재와 간섭하지 않는 영역인 자세 변경 허가 영역에 물품 반송차가 있을 때 자세 변경 제어가 실행되므로, 자세 변경 제어의 실행 중에 이송탑재 기구 및 물품이 반송 경로의 주위에 존재하는 다른 부재와 간섭하는 것을 억제할 수 있다.

또한, 상기 물품은, 반도체 기판이 수납되는 용기이며, 상기 반송 대상 장소에는, 상기 반도체 기판에 대한 처리를 행하는 처리 장치와 상기 물품 반송차와의 사이에서의 상기 물품의 수수를 위한 수수부가 포함되고, 상기 복수의 수수부가 공정 내 경로로 연결되어 있는 동시에, 복수의 공정 내 경로가 공정 간 경로로 연결되고 있고, 상기 자세 변경 허가 영역은, 상기 이동 경로에서의, 상기 공정 내 경로와 상기 공정 간 경로와의 접속 영역에 설정되어 있는 것이 바람직하다.

이와 같은 공정 내 경로 및 공정 간 경로를 구비하는 설비에 있어서, 공정 내 경로와 공정 간 경로와의 각각에는, 각각의 처리 장치로 처리를 행하는 반도체 기판을 반송하기 위해, 비교적 많은 물품 반송차가 주행하고 있다. 이에 대하여, 공정 내 경로와 공정 간 경로와의 접속 영역에서는, 비교적 물품 반송차의 수가 적다. 본 구성에서는, 이 접속 영역이 자세 변경 허가 영역에 설정되어 있으므로, 특정한 물품 반송차의 자세 변경 제어가, 다른 물품 반송차의 주행에 영향을 주는 것을 억제할 수 있다. 따라서, 물품 반송 설비의 전체의 반송 효율의 저하를 억제할 수 있다.

[산업 상의 이용 가능성]

본 개시에 관한 기술은, 복수의 반송 대상 장소의 사이에서 이동 경로를 따라 이동하여 물품을 반송하는 물품 반송차를 구비한 물품 반송 설비에 이용할 수 있다.

1 : 물품 반송 설비
2 : 물품 반송차
3 : 이송탑재 기구
3G : 파지 기구
3Ga : 파지부
3H : 승강 기구
3S : 가로 이동 기구(슬라이딩 기구)
4 : 자세 변경 기구
4a : 선회부
4b : 선회축
5 : 지지 부재
6 : 반송 대상 장소
6a : 처리 장치
6b : 수수부
22a : 수용부
22b : 커버부
98 : 레일
99 : 천정
A1 : 제1 자세
A2 : 제2 자세
Am : 중간 자세
H : 제어 장치
Hd : 하위 제어 장치
Hu : 상위 제어 장치
R : 이동 경로
Rc : 공정 간 경로
Re : 퇴피 경로
Ri : 공정 내 경로
Rt : 반송 경로
Tc : 접속 영역
Tp : 자세 변경 허가 영역
W : 물품
Y : 가로 방향
Z : 연직 방향

Claims (7)

1. 복수의 반송(transport) 대상 장소의 사이에서 이동 경로를 따라 이동하여 물품을 반송하는 물품 반송차(article transport vehicle); 및
   상기 물품 반송차를 제어하는 제어 장치;
   를 포함하고,
   상기 물품 반송차는, 상기 물품을 수용하는 수용부와, 상기 수용부를 덮는 커버부와, 상기 수용부와 상기 수용부에 대하여 외측에 위치하는 상기 복수의 반송 대상 장소 중 하나와의 사이에서 상기 물품을 이동시켜 상기 반송 대상 장소와 상기 물품 반송차 사이의 상기 물품의 이송탑재(transfer)를 행하는 이송탑재 기구와, 반송 중인 상기 물품의 자세를 변경하는 자세 변경 기구를 구비하고,
   상기 자세 변경 기구(機構)는, 상기 물품의 자세를, 반송원(搬送元)인 상기 반송 대상 장소에서의 이송탑재를 위한 자세인 제1 자세와, 반송처(搬送處)인 상기 반송 대상 장소에서의 이송탑재를 위한 자세인 제2 자세로 변경 가능하며,
   상기 커버부는, 상기 수용부에 수용된 상태의 상기 물품이 상기 제1 자세인 경우 및 상기 제2 자세인 경우에 상기 물품과 간섭하지 않고, 상기 물품의 자세가 상기 제1 자세와 상기 제2 자세 사이에서 변경하는 과정의 자세인 중간 자세인 경우에 상기 물품과 간섭하는 위치에 설치되고,
   상기 제어 장치는, 상기 반송원으로부터 상기 반송처까지의 경로인 반송 경로의 도중에 있어서, 상기 이송탑재 기구에 의해 상기 수용부에 대하여 외측으로 상기 물품을 이동시킨 상태에서 상기 자세 변경 기구에 의해 상기 물품을 상기 제1 자세로부터 상기 제2 자세로 변경한 후, 상기 물품을 상기 이송탑재 기구에 의해 상기 수용부에 수용하는 제어인 자세 변경 제어를 실행하는,
   물품 반송 설비.
2. 제1항에 있어서,
   상기 이송탑재 기구는, 상기 물품을 파지(把持)하는 파지부와, 상기 파지부를 연직(沿直) 방향을 따라 승강시키는 승강 기구와, 상기 반송 경로에 교차하는 동시에 수평 방향을 따르는 방향인 가로 방향을 따라 상기 파지부를 가로 이동시키는 가로 이동 기구를 구비하고,
   상기 자세 변경 기구는, 상기 연직 방향을 따르는 선회축(旋回軸) 주위로 상기 파지부를 선회시키는 선회부를 구비하고, 상기 제1 자세와 상기 제2 자세 사이에서의 자세 변경은 상기 선회축 주위에서의 상기 물품의 선회에 의해 행해지고,
   상기 자세 변경 제어는, 상기 가로 이동 기구에 의해 상기 물품이 상기 수용부에 대하여 외측에 위치하도록 상기 파지부를 가로 이동시킨 상태에서, 상기 물품을 상기 선회축 주위로 선회시킴으로써 행해지는, 물품 반송 설비.
3. 제2항에 있어서,
   상기 이동 경로는, 천정으로부터 현수(懸垂) 지지된 레일에 의해 정해지고,
   상기 이송탑재 기구는, 상기 레일 또는 상기 천정에 지지되는 동시에 상기 이동 경로에 인접하는 위치에 배치된 지지 부재를 더 구비하고,
   상기 지지 부재는, 상기 물품이 상기 수용부에 대하여 외측에 위치하도록 상기 파지부를 가로 이동시킨 상태에서, 상기 가로 이동 기구를 상기 연직 방향으로 지지하도록 설치되어 있는, 물품 반송 설비.
4. 제1항에 있어서,
   상기 제어 장치는, 상기 반송 경로의 도중에서의 상기 물품 반송차의 정지(停止) 중에 상기 자세 변경 제어를 실행하는, 물품 반송 설비.
5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 제어 장치는, 상기 자세 변경 제어를, 상기 물품이 상기 수용부의 외측에서의 상기 커버부와 간섭하지 않는 범위 내에 있고, 또한 상기 이송탑재 기구에 의한 상기 물품의 이동 중에 실행하는, 물품 반송 설비.
6. 제2항 또는 제3항에 있어서,
   상기 이송탑재 기구에 의해 상기 수용부에 대하여 외측으로 상기 물품을 가로 이동시킨 상태에서, 상기 이송탑재 기구 및 상기 물품이 상기 반송 경로의 주위에 존재하는 다른 부재와 간섭하지 않는 상기 반송 경로의 영역이, 자세 변경 허가 영역으로서 설정되고,
   상기 제어 장치는, 상기 물품 반송차가 상기 자세 변경 허가 영역 내에 있는 경우에, 상기 자세 변경 제어를 실행하는, 물품 반송 설비.
7. 제6항에 있어서,
   상기 물품은, 반도체 기판이 수납되는 용기이며,
   상기 반송 대상 장소에는, 상기 반도체 기판에 대한 처리를 행하는 처리 장치와 상기 물품 반송차 사이에서의 상기 물품의 수수(授受)를 위한 수수부가 포함되고,
   상기 복수의 수수부가 공정 내 경로에 의해 연결되어 있는 동시에, 복수의 공정 내 경로가 공정 간 경로에 의해 연결되고 있고,
   상기 자세 변경 허가 영역은, 상기 이동 경로에서의, 상기 공정 내 경로와 상기 공정 간 경로와의 접속 영역에 설정되어 있는, 물품 반송 설비.
   

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