KR102501700B1 - 천장 반송차 및 천장 반송차 시스템 - Google Patents

천장 반송차 및 천장 반송차 시스템 Download PDF

Info

Publication number
KR102501700B1
KR102501700B1 KR1020217012924A KR20217012924A KR102501700B1 KR 102501700 B1 KR102501700 B1 KR 102501700B1 KR 1020217012924 A KR1020217012924 A KR 1020217012924A KR 20217012924 A KR20217012924 A KR 20217012924A KR 102501700 B1 KR102501700 B1 KR 102501700B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
article
track
lateral mechanism
transport vehicle
unit
Prior art date
Application number
KR1020217012924A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20210069682A (ko
Inventor
하루키 오고
야스히사 이토
Original Assignee
무라다기카이가부시끼가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 무라다기카이가부시끼가이샤 filed Critical 무라다기카이가부시끼가이샤
Publication of KR20210069682A publication Critical patent/KR20210069682A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102501700B1 publication Critical patent/KR102501700B1/ko

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B61RAILWAYS
    • B61BRAILWAY SYSTEMS; EQUIPMENT THEREFOR NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B61B3/00Elevated railway systems with suspended vehicles
    • B61B3/02Elevated railway systems with suspended vehicles with self-propelled vehicles
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02Storage devices
    • B65G1/04Storage devices mechanical
    • B65G1/0457Storage devices mechanical with suspended load carriers
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G67/00Loading or unloading vehicles
    • B65G67/02Loading or unloading land vehicles
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B66HOISTING; LIFTING; HAULING
    • B66CCRANES; LOAD-ENGAGING ELEMENTS OR DEVICES FOR CRANES, CAPSTANS, WINCHES, OR TACKLES
    • B66C11/00Trolleys or crabs, e.g. operating above runways
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B66HOISTING; LIFTING; HAULING
    • B66CCRANES; LOAD-ENGAGING ELEMENTS OR DEVICES FOR CRANES, CAPSTANS, WINCHES, OR TACKLES
    • B66C13/00Other constructional features or details
    • B66C13/04Auxiliary devices for controlling movements of suspended loads, or preventing cable slack
    • B66C13/08Auxiliary devices for controlling movements of suspended loads, or preventing cable slack for depositing loads in desired attitudes or positions
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B66HOISTING; LIFTING; HAULING
    • B66CCRANES; LOAD-ENGAGING ELEMENTS OR DEVICES FOR CRANES, CAPSTANS, WINCHES, OR TACKLES
    • B66C19/00Cranes comprising trolleys or crabs running on fixed or movable bridges or gantries
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B66HOISTING; LIFTING; HAULING
    • B66CCRANES; LOAD-ENGAGING ELEMENTS OR DEVICES FOR CRANES, CAPSTANS, WINCHES, OR TACKLES
    • B66C7/00Runways, tracks or trackways for trolleys or cranes
    • B66C7/02Runways, tracks or trackways for trolleys or cranes for underhung trolleys or cranes
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706Mechanical details, e.g. roller, belt
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67715Changing the direction of the conveying path
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67724Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations by means of a cart or a vehicule
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773Conveying cassettes, containers or carriers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733Overhead conveying
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02Articles
    • B65G2201/0297Wafer cassette

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Transportation (AREA)
  • Aviation & Aerospace Engineering (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Carriers, Traveling Bodies, And Overhead Traveling Cranes (AREA)
  • Vehicle Step Arrangements And Article Storage (AREA)
  • Automobile Manufacture Line, Endless Track Vehicle, Trailer (AREA)
  • Loading Or Unloading Of Vehicles (AREA)

Abstract

[과제] 원하는 방향으로 래터럴(lateral) 기구(機構)를 슬라이드 이동시킴으로써, 물품의 이재(移載: 옮겨 싣기) 위치를 용이하게 조정하는 것이 가능한 천장 반송차(搬送車) 및 천장 반송차 시스템을 제공한다.
[해결 수단] 천장 반송차(100)는, 제1 궤도(R1) 및 제2 궤도(R2)를 포함하는 궤도(R) 상을 굴러서 이동(轉動)하는 주행 차륜(21)과, 궤도(R)의 하방(下方)에 배치되고 주행 차륜(21)에 연결되는 본체부(10)를 가지며, 궤도(R)에 대한 본체부(10)의 방향이 유지된 상태에서, 주행 차륜(21)이 제1 궤도(R1) 상을 굴러서 이동하는 제1 상태와, 제2 궤도(R2) 상을 굴러서 이동하는 제2 상태를 전환하는 방향 전환 기구(34)와, 물품(M)을 지지할 수 있는 물품 지지부(保持部)(13)와, 물품 지지부(13)를 승강(昇降)시키는 승강 구동부(14)와, 승강 구동부(14)를 수평인 일직선 방향으로 슬라이드 이동시키는 래터럴 기구(11)와, 본체부(10)에 대해 래터럴 기구(11)를 제1 수직축(AX1) 둘레로 회전 구동하는 제1 회전 구동부(15)를 구비한다.

Description

천장 반송차 및 천장 반송차 시스템
[0001] 본 발명은, 천장 반송차(搬送車) 및 천장 반송차 시스템에 관한 것이다.
[0002] 반도체 제조 공장 등에서는, 예컨대, 반도체 웨이퍼를 수용하는 FOUP, 혹은 레티클을 수용하는 레티클 Pod 등의 물품을 반송(搬送)하는 천장 반송차 시스템이 이용되고 있다. 이 천장 반송차 시스템에서 이용되는 천장 반송차로서는, 제1 방향으로 연장되어 있는 제1 궤도 및 제1 방향과는 다른 제2 방향으로 연장되어 있는 제2 궤도를 포함하는 궤도 상을 굴러서 이동(轉動)하는 주행 차륜과, 궤도의 하방(下方)에 배치되고 주행 차륜에 연결되는 본체부를 갖는 구성이 알려져 있다(예컨대, 특허문헌 1 참조). 이 천장 반송차에 있어서, 본체부는, 궤도에 대한 본체부의 방향이 유지된 상태에서, 주행 차륜이 제1 궤도 상을 굴러서 이동하는 제1 상태와, 제2 궤도 상을 굴러서 이동하는 제2 상태를 전환하는 방향 전환 기구(機構)와, 물품을 지지할 수 있는 물품 지지부(保持部)와, 물품 지지부를 승강(昇降)시키는 승강 구동부와, 승강 구동부를 수평면에 있어서의 일직선 방향으로 슬라이드 이동시키는 래터럴(lateral) 기구를 구비하고 있다.
국제공개 제2018/037762호
[0004] 특허문헌 1에 기재된 천장 반송차에서는, 궤도에 대한 본체부의 방향이 유지된 상태에서 본체부의 주행 방향을 전환하는 구성이기 때문에, 제1 궤도와 제2 궤도 사이에서 주행 방향을 전환하더라도 본체부의 방향이 바뀌지 않은 채로 유지된다. 따라서, 래터럴 기구에 의한 슬라이드 이동의 방향이 본체부의 주행 방향과 일치해 버리면, 주행 방향 이외의 방향(예컨대 주행 방향에 직교하는 방향)으로 물품 지지부를 이동시킬 수 없어, 물품의 이재(移載: 옮겨 싣기) 위치를 조정할 수 없다는 문제가 생긴다.
[0005] 본 발명은, 원하는 방향으로 래터럴 기구를 슬라이드 이동시킴으로써, 물품의 이재 위치를 용이하게 조정하는 것이 가능한 천장 반송차 및 천장 반송차 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.
[0006] 본 발명의 양태에 따른 천장 반송차는, 제1 방향으로 연장되어 있는 제1 궤도 및 제1 방향과는 다른 제2 방향으로 연장되어 있는 제2 궤도를 포함하는 궤도 상을 굴러서 이동하는 주행 차륜과, 궤도의 하방에 배치되고 주행 차륜에 연결되는 본체부를 갖는 천장 반송차이고, 궤도에 대한 본체부의 방향이 유지된 상태에서, 주행 차륜이 제1 궤도 상을 굴러서 이동하는 제1 상태와, 제2 궤도 상을 굴러서 이동하는 제2 상태를 전환하는 방향 전환 기구와, 물품을 지지할 수 있는 물품 지지부와, 물품 지지부를 승강시키는 승강 구동부와, 승강 구동부를 수평인 일직선 방향으로 슬라이드 이동시키는 래터럴 기구와, 본체부에 대해 래터럴 기구를 제1 수직축 둘레로 회전 구동하는 제1 회전 구동부를 구비한다.
[0007] 또한, 래터럴 기구에 대해 물품 지지부 또는 승강 구동부를 제2 수직축 둘레로 회전 구동하는 제2 회전 구동부를 구비해도 된다. 또한, 제2 회전 구동부는, 일직선 방향을 기준으로 하여, 제2 수직축 둘레로 적어도 180도의 범위에서 물품 지지부 또는 승강 구동부를 회전시켜도 된다. 또한, 궤도는, 제1 방향과 제2 방향이 직교하는 격자형상 궤도이고, 래터럴 기구는, 승강 구동부를 일직선 방향 중 일방향으로 편방향 인출(片出) 슬라이드 이동시키고, 제1 회전 구동부는, 제1 방향 또는 제2 방향에 래터럴 기구의 편방향 인출 슬라이드 이동의 방향을 맞춘 상태로부터, 제1 수직축 둘레로 270도의 범위에서 래터럴 기구를 회전시켜도 된다.
[0008] 또한, 이재처(移載處)에 대해 물품의 이재를 행하기 위한 이재 위치로 향하고 있는 동안에, 제1 회전 구동부를 구동하여 래터럴 기구를 제1 수직축 둘레로 회전시키는 제어부를 구비해도 된다. 또한, 제어부는, 본체부가 이재 위치에 정지했을 때, 래터럴 기구가 슬라이드 이동하는 일직선 방향과 이재처가 평면 뷰(平面視)에서 겹치도록 래터럴 기구의 회전 위치를 설정해도 된다.
[0009] 본 발명의 양태에 따른 천장 반송차 시스템은, 제1 방향으로 연장되어 있는 제1 궤도 및 제1 방향과는 다른 제2 방향으로 연장되어 있는 제2 궤도를 포함하는 궤도와, 궤도를 따라 주행하는 천장 반송차를 구비하는 천장 반송차 시스템이고, 천장 반송차는, 상기의 천장 반송차이다.
[0010] 상기한 천장 반송차 및 천장 반송차 시스템에 따르면, 본체부에 대해 래터럴 기구가 제1 수직축 둘레로 회전 가능하기 때문에, 본체부의 주행 방향이 제1 궤도 또는 제2 궤도 중 어느 것이더라도 원하는 방향으로 래터럴 기구를 슬라이드 이동시킬 수 있다. 그 결과, 래터럴 기구에 의한 슬라이드 이동의 방향이 본체부의 주행 방향과 일치하고 있을 때에도, 주행 방향에 직교하는 방향 등의 주행 방향 이외의 방향으로 물품 지지부를 이동시킬 수 있어, 물품의 이재 위치를 용이하게 조정할 수 있다.
[0011] 또한, 래터럴 기구에 대해 물품 지지부 또는 승강 구동부를 제2 수직축 둘레로 회전 구동하는 제2 회전 구동부를 구비하는 구성에서는, 승강 구동부에 의해 지지하는 물품의 방향을 바꿀 수 있어, 이재처에서 물품의 방향이 특정되어 있는 경우에 있어서도 대응할 수 있다. 또한, 제2 회전 구동부가, 일직선 방향을 기준으로 하여, 제2 수직축 둘레로 적어도 180도의 범위에서 물품 지지부 또는 승강 구동부를 회전시키는 구성에서는, 물품 지지부에 의해 지지되는 물품을 제2 수직축 둘레로 반대 방향으로 향하게 할 수 있다. 또한, 궤도가, 제1 방향과 제2 방향이 직교하는 격자형상 궤도이고, 래터럴 기구가, 승강 구동부를 일직선 방향 중 일방향으로 편방향 인출 슬라이드 이동시키고, 제1 회전 구동부가, 제1 방향 또는 제2 방향에 래터럴 기구의 편방향 인출 슬라이드 이동의 방향을 맞춘 상태로부터, 제1 수직축 둘레로 270도의 범위에서 래터럴 기구를 회전시키는 구성에서는, 래터럴 기구가 편방향 인출 슬라이드 이동인 경우에, 격자형상 궤도에 정지해 있는 본체부로부터 제1 방향 및 제2 방향 중 어느 방향에 대해서도 물품 지지부를 슬라이드 이동시킬 수 있다.
[0012] 또한, 이재처에 대해 물품의 이재를 행하기 위한 이재 위치로 향하고 있는 동안에, 제1 회전 구동부를 구동하여 래터럴 기구를 제1 수직축 둘레로 회전시키는 제어부를 구비하는 구성에서는, 본체부의 주행 중에 래터럴 기구를 회전시키므로, 물품의 이재에 요하는 시간을 단축할 수 있다. 또한, 제어부가, 본체부가 이재 위치에 정지했을 때, 래터럴 기구가 슬라이드 이동하는 일직선 방향과 이재처가 평면 뷰에서 겹치도록 래터럴 기구의 회전 위치를 설정하는 구성에서는, 본체부가 이재 위치에 도달하고 나서 물품의 이재 동작을 신속하게 행할 수 있다.
[0013] 도 1은, 제1 실시형태에 따른 천장 반송차의 일례를 나타내는 측면도이다.
도 2는, 도 1에 나타내는 천장 반송차의 사시도이다.
도 3은, 본 실시형태에 따른 천장 반송차 시스템의 일례를 나타내는 사시도이다.
도 4는, 본체부를 상방(上方)에서 본 상태를 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 5의 (A) 및 (B)는, 본체부의 주행 방향과 래터럴 기구의 슬라이드 이동 방향 간의 관계의 일례를 나타내는 평면도이다.
도 6의 (A) 및 (B)는, 본체부의 주행 방향과 래터럴 기구의 슬라이드 이동 방향 간의 관계의 다른 예를 나타내는 평면도이다.
도 7의 (A) 및 (B)는, 래터럴 기구의 슬라이드 이동의 방향과 물품의 방향 간의 관계의 일례를 나타내는 평면도이다.
도 8의 (A) 및 (B)는, 래터럴 기구의 슬라이드 이동의 방향과 물품의 방향 간의 관계의 다른 예를 나타내는 평면도이다.
도 9의 (A) 및 (B)는, 래터럴 기구의 슬라이드 이동의 방향과 물품의 방향 간의 관계의 다른 예를 나타내는 평면도이다.
도 10의 (A) 및 (B)는, 래터럴 기구의 슬라이드 이동의 방향과 물품의 방향 간의 관계의 다른 예를 나타내는 평면도이다.
도 11은, 래터럴 기구의 슬라이드 이동의 방향과 물품의 방향 간의 관계의 다른 예를 나타내는 평면도이다.
도 12는, 제2 실시형태에 따른 천장 반송차의 일례를 나타내는 측면도이다.
도 13의 (A) 및 (B)는, 본체부의 주행 시에 래터럴 기구를 회전시키는 일례를 나타내는 평면도이다.
[0014] 이하, 본 발명의 실시형태에 대해 도면을 참조하면서 설명한다. 단, 본 발명은 이하에 설명하는 형태에 한정되지 않는다. 또한, 도면에 있어서는 실시형태를 설명하기 위해, 일부분을 크게 또는 강조하여 기재하는 등 적절히 축척을 변경하여 표현하고 있다. 이하의 각 도면에 있어서, XYZ 좌표계를 이용하여 도면 중의 방향을 설명한다. 이 XYZ 좌표계에 있어서는, 수평면에 평행한 평면을 XY 평면으로 한다. 이 XY 평면을 따른 일직선 방향을 X방향이라고 표기하고, X방향에 직교하는 방향을 Y방향이라고 표기한다. 또한, 천장 반송차(100)의 주행 방향은, 이하의 도면에 나타난 상태로부터 다른 방향으로 변화 가능하고, 예컨대 곡선 방향으로 주행하는 경우도 있다. 또한, XY 평면에 수직인 방향은 Z방향이라고 표기한다. X방향, Y방향 및 Z방향의 각각은, 도면 중의 화살표가 가리키는 방향이 +방향이고, 반대의 방향이 -방향인 것으로 하여 설명한다. 또한, Z축 둘레의 회전 방향을 θZ방향이라고 표기한다.
[0015] <제1 실시형태>
도 1은, 제1 실시형태에 따른 천장 반송차(100)의 일례를 나타내는 측면도이다. 도 2는, 도 1에 나타내는 천장 반송차(100)의 사시도이다. 도 3은, 본 실시형태에 따른 천장 반송차 시스템(SYS)의 일례를 나타내는 사시도이다. 도 1 내지 도 3에 나타내는 바와 같이, 천장 반송차(100)는, 천장 반송차 시스템(SYS)의 궤도(R)를 따라 이동하며, 반도체 웨이퍼를 수용하는 FOUP, 혹은 레티클을 수용하는 레티클 Pod 등의 물품(M)을 반송한다. 천장 반송차(100)는, 건물(建屋)의 천장 근방을 주행하기 때문에, 천장 주행차라고 칭하는 경우가 있다.
[0016] 천장 반송차 시스템(SYS)은, 예컨대 반도체 제조 공장의 클린 룸에 있어서, 물품(M)을 천장 반송차(100)에 의해 반송하기 위한 시스템이다. 천장 반송차 시스템(SYS)에 있어서, 천장 반송차(100)는, 예컨대 복수 대(臺) 이용되어도 된다. 복수의 천장 반송차(100)에 의해 물품(M)을 반송함으로써, 고밀도의 반송이 가능해져, 물품(M)의 반송 효율을 향상시키는 것이 가능해진다.
[0017] 궤도(R)는, 궤도의 일 형태이다. 궤도(R)는, 클린 룸 등의 건물의 천장 또는 천장 부근에 부설(敷設)되어 있다. 궤도(R)는, 제1 궤도(R1)와, 제2 궤도(R2)와, 접속 궤도(R3)를 갖는 격자형상 궤도이다(도 3 참조). 이하, 궤도(R)를 격자형상 궤도(R)라고 칭한다. 제1 궤도(R1)는, X방향(제1 방향(D1))을 따라 설치된다. 제2 궤도(R2)는, Y방향(제2 방향(D2))을 따라 설치된다. 본 실시형태에서는, 제1 방향(D1)과 제2 방향(D2)이 직교하고 있고, 복수의 제1 궤도(R1)와 복수의 제2 궤도(R2)는, 서로 직교하는 방향을 따라 설치되지만, 서로 직접 교차하지 않도록 설치되어 있다. 접속 궤도(R3)는, 제1 궤도(R1)와 제2 궤도(R2)의 교차 부분에 배치된다. 격자형상 궤도(R)는, 제1 궤도(R1)와 제2 궤도(R2)가 직교하는 방향을 따라 설치됨으로써, 평면 뷰에서 복수의 셀(C)(구획)이 서로 이웃하는 상태가 되어 있다. 또한, 도 3에서는 격자형상 궤도(R)의 일부에 대해 나타내고 있고, 격자형상 궤도(R)는, 도시하고 있는 구성으로부터 제1 방향(D1)(X방향) 및 제2 방향(D2)(Y방향)으로 동일한 구성이 연속해서 형성되어 있다.
[0018] 제1 궤도(R1), 제2 궤도(R2), 및 접속 궤도(R3)는, 서스펜딩(suspending) 부재(H)(도 3 참조)에 의해 미도시된 천장에 매달려 있다. 서스펜딩 부재(H)는, 제1 궤도(R1)를 매달기 위한 제1 부분(H1)과, 제2 궤도(R2)를 매달기 위한 제2 부분(H2)과, 접속 궤도(R3)를 매달기 위한 제3 부분(H3)을 갖는다. 제1 부분(H1) 및 제2 부분(H2)은, 각각 제3 부분(H3)을 사이에 둔 두군데에 설치되어 있다.
[0019] 제1 궤도(R1), 제2 궤도(R2), 및 접속 궤도(R3)는, 각각, 천장 반송차(100)의 후술하는 주행 차륜(21)이 주행하는 주행면(R1a, R2a, R3a)을 갖는다. 제1 궤도(R1)와 접속 궤도(R3) 사이, 제2 궤도(R2)와 접속 궤도(R3) 사이에는, 각각 틈새(隙間)(D)가 형성된다. 틈새(D)는, 천장 반송차(100)가 제1 궤도(R1)를 주행하다가 제2 궤도(R2)를 가로지를 때, 혹은 제2 궤도(R2)를 주행하다가 제1 궤도(R1)를 가로지를 때, 천장 반송차(100)의 일부인 후술하는 연결부(30)가 통과하는 부분이다. 따라서, 틈새(D)는, 연결부(30)가 통과 가능한 폭으로 형성되어 있다. 제1 궤도(R1), 제2 궤도(R2), 및 접속 궤도(R3)는, 동일 또는 거의 동일한 수평면을 따라 설치된다. 본 실시형태에 있어서, 제1 궤도(R1), 제2 궤도(R2), 및 접속 궤도(R3)는, 주행면(R1a, R2a, R3a)이 동일 또는 거의 동일한 수평면 상에 배치된다.
[0020] 도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 천장 반송차(100)는, 본체부(10)와, 주행부(20)와, 연결부(30)와, 제어부(50)를 갖는다. 제어부(50)는, 천장 반송차(100)의 각 부분의 동작을 통괄적으로 제어한다. 제어부(50)는, 본체부(10)에 설치되지만, 본체부(10)의 외부에 설치되어도 된다. 본체부(10)는, 격자형상 궤도(R)의 하방(-Z측)에 배치된다. 본체부(10)는, 평면 뷰에서 예컨대 직사각형상으로 형성된다. 본체부(10)는, 평면 뷰에서 궤도(R)에 있어서의 1개의 셀(C)에 수용되는 사이즈로 형성된다. 이 때문에, 서로 이웃하는 제1 궤도(R1) 또는 제2 궤도(R2)를 주행하는 다른 천장 반송차(100)와 엇갈려 지나가는 스페이스가 확보된다.
[0021] 본체부(10)는, 상부 유닛(17)과, 이재 장치(18)를 구비한다. 상부 유닛(17)은, 연결부(30)를 통해 주행부(20)에 매달린다. 상부 유닛(17)은, 예컨대 평면 뷰에서 직사각형상이며, 상면(17a)에 4개의 코너부를 갖는다. 본체부(10)는, 4개의 코너부의 각각에 주행 차륜(21), 연결부(30), 및 방향 전환 기구(34)를 갖는다.
[0022] 이재 장치(18)는, 상부 유닛(17)의 하방에 설치된다. 이재 장치(18)는, 연직 방향의 제1 수직축(AX1) 둘레로 회전 가능하다. 이재 장치(18)는, 물품(M)을 지지하는 물품 지지부(13)와, 물품 지지부(13)를 연직 방향으로 승강시키는 승강 구동부(14)와, 승강 구동부(14)를 슬라이드 이동시키는 래터럴 기구(11)와, 래터럴 기구(11)를 지지하는 회동부(回動部)(12)와, 본체부(10)에 대해 래터럴 기구(11)를 제1 수직축(AX1) 둘레로 회전 구동하는 제1 회전 구동부(15)와, 래터럴 기구(11)에 대해 승강 구동부(14)를 제2 수직축(AX2) 둘레로 회전 구동하는 제2 회전 구동부(16)를 갖는다.
[0023] 래터럴 기구(11)는, 예컨대 Z방향으로 겹쳐 배치된 복수의 가동판(可動板)을 갖는다. 가동판은, Y방향으로 이동 가능하다. 최하층의 가동판에는, 제2 회전 구동부(16)가 부착되어 있다. 래터럴 기구(11)는, 미도시된 구동 장치에 의해 가동판을 이동시켜, 최하층의 가동판에 부착된 승강 구동부(14) 및 물품 지지부(13)를 주행 방향에 대해 일방향으로, 즉, 일직선 방향 중 일방향으로 편방향 인출 슬라이드 이동시킬 수 있다. 회동부(12)는, 래터럴 기구(11)와 상부 유닛(17) 사이에 있어서 제1 회전 구동부(15)에 부착되며, 래터럴 기구(11)를 지지한다.
[0024] 물품 지지부(13)는, 물품(M)의 플랜지부(Ma)를 파지(把持)함으로써, 물품(M)을 매달아 지지한다. 물품 지지부(13)는, 예컨대, 수평 방향으로 이동 가능한 클로부(claw部)(13a)를 갖는 척(chuck)이며, 클로부(13a)를 물품(M)의 플랜지부(Ma)의 하방으로 진입시켜, 물품 지지부(13)를 상승시킴으로써, 물품(M)을 지지한다. 물품 지지부(13)는, 와이어 혹은 벨트 등의 서스펜딩 부재(13b)에 접속되어 있다.
[0025] 승강 구동부(14)는, 제2 회전 구동부(16)에 부착되어 있다. 승강 구동부(14)는, 예컨대 호이스트(hoist)이며, 서스펜딩 부재(13b)를 풀어냄으로써 물품 지지부(13)를 하강시키고, 서스펜딩 부재(13b)를 감음으로써 물품 지지부(13)를 상승시킨다. 승강 구동부(14)는, 제어부(50)에 의해 제어되며, 소정의 속도로 물품 지지부(13)를 하강 혹은 상승시킨다. 또한, 승강 구동부(14)는, 제어부(50)에 의해 제어되며, 물품 지지부(13)를 목표 높이로 유지한다.
[0026] 제1 회전 구동부(15)는, 전동 모터 등이 이용되며, 회동부(12)를 제1 수직축(AX1) 둘레로 회전시킨다. 제1 회전 구동부(15)는, 회동부(12)의 회전과 함께, 래터럴 기구(11)를 제1 수직축(AX1) 둘레로 회전시킬 수 있다. 제1 회전 구동부(15)에 의해 래터럴 기구(11)가 제1 수직축(AX1) 둘레로 회전하는 경우, 래터럴 기구(11)의 하측에 부착되는 제2 회전 구동부(16), 승강 구동부(14), 및 물품 지지부(13)가 일체로 제1 수직축(AX1) 둘레로 회전한다. 제2 회전 구동부(16)는, 전동 모터 등이 이용되며, 승강 구동부(14)를 제2 수직축(AX2) 둘레로 회전시킨다.
[0027] 도 4는, 본체부(10)를 상방에서 본 상태를 모식적으로 나타내는 도면이다. 도 4는, 래터럴 기구(11) 및 승강 구동부(14)의 회전 이동의 일례를 나타내고 있다. 도 4에 나타내는 바와 같이, 제1 회전 구동부(15)는, 제1 방향(D1) 또는 제2 방향(D2)에 래터럴 기구(11)의 편방향 인출 슬라이드 이동의 방향을 맞춘 상태로부터, 제1 수직축(AX1) 둘레로 270도의 범위에서 래터럴 기구(11)를 회전시킬 수 있다. 이에 의해, 래터럴 기구(11)의 편방향 인출 슬라이드 이동의 방향은, 래터럴 기구(11)가 회전한 각도만큼 회전한다. 이 경우, 격자형상 궤도(R)에 정지해 있는 본체부(10)로부터 제1 방향(D1) 및 제2 방향(D2) 중 어느 방향에 대해서도 물품 지지부(13)를 편방향 인출 슬라이드 이동시키는 것이 가능해진다. 또한, 회전 범위를 360도가 아니라, 270도로 제한함으로써, 제1 회전 구동부(15)에 대한 메커니컬 스토퍼(mechanical stopper)를 설치하기 쉬워진다. 또한, 제1 회전 구동부(15)에 접속되어 있는 배선(미도시)이 회전 시에 받는 데미지를 작게 할 수 있다.
[0028] 또한, 래터럴 기구(11)는, 승강 구동부(14) 및 물품 지지부(13)를 일직선 방향 중 양방향으로 슬라이드 이동시키는 것이 가능한 구성이어도 된다. 이 구성에 있어서, 제1 회전 구동부(15)는, 제1 방향(D1) 또는 제2 방향(D2)에 래터럴 기구(11)의 슬라이드 이동의 방향을 맞춘 상태로부터, 제1 수직축(AX1) 둘레로 90도의 범위에서 래터럴 기구(11)를 회전시키도록 해도 된다. 이 경우, 격자형상 궤도(R)에 정지해 있는 본체부(10)로부터 제1 방향(D1) 및 제2 방향(D2) 중 어느 방향에 대해서도 물품 지지부(13)를 슬라이드 이동시키는 것이 가능해진다.
[0029] 이재 장치(18)는, 래터럴 기구(11)를 구동함으로써, 승강 구동부(14) 및 물품 지지부(13)를 상부 유닛(17)의 하방인 이재 위치(P1)로부터 돌출 위치(P2a, P2b, P2c, P2d) 중 어느 한쪽으로 돌출시킬 수 있다. 돌출 위치(P2a)는, 래터럴 기구(11)에 의해 승강 구동부(14) 및 물품 지지부(13)를 +Y방향으로 슬라이드 이동시켰을 때의 돌출 위치이다. 돌출 위치(P2b)는, 제1 회전 구동부(15)에 의해 래터럴 기구(11)를 제1 수직축(AX1) 둘레로 90도(예컨대 시계 방향으로 90도) 회전시키고, 래터럴 기구(11)에 의해 승강 구동부(14) 및 물품 지지부(13)를 +X방향으로 슬라이드 이동시켰을 때의 돌출 위치이다. 돌출 위치(P2c)는, 제1 회전 구동부(15)에 의해 래터럴 기구(11)를 제1 수직축(AX1) 둘레로 180도 회전시키고, 래터럴 기구(11)에 의해 승강 구동부(14) 및 물품 지지부(13)를 -Y방향으로 슬라이드 이동시켰을 때의 돌출 위치이다. 돌출 위치(P2d)는, 제1 회전 구동부(15)에 의해 래터럴 기구(11)를 제1 수직축(AX1) 둘레로 270도 회전시키고, 래터럴 기구(11)에 의해 승강 구동부(14) 및 물품 지지부(13)를 -X방향으로 슬라이드 이동시켰을 때의 돌출 위치이다.
[0030] 이와 같이, 래터럴 기구(11)는, 승강 구동부(14) 및 물품 지지부(13)를 일직선 방향 중 일방향으로 편방향 인출 슬라이드 이동하는 구성이지만, 제1 회전 구동부(15)를 구동시켜 래터럴 기구(11)의 회동 위치를 90도 간격으로 설정함으로써, +X방향(제1 방향(D1)), +Y방향(제2 방향(D2)), -X방향(제1 방향(D1)), -Y방향(제2 방향(D2))의 4방향의 각각으로 승강 구동부(14) 및 물품 지지부(13)를 슬라이드 이동시키는 것이 가능하다.
[0031] 또한, 제2 회전 구동부(16)는, 전동 모터 등이 이용되며, 래터럴 기구(11)에 의해 편방향 인출 슬라이드 이동시키는 일직선 방향을 기준으로 하여, 제2 수직축(AX2) 둘레로 적어도 180도의 범위에서 승강 구동부(14)(물품 지지부(13))를 회전시킨다. 도 4에서는, 제2 수직축(AX2)을 지나는 일점 쇄선으로 나타내는 방향(일직선 방향에 직교하는 방향)의 범위에서, 제2 수직축(AX2) 둘레로 승강 구동부(14)(물품 지지부(13))를 180도 회전할 수 있는 형태를 나타내고 있지만, 이 형태에 한정되지 않는다. 예컨대, 도 4의 일점 쇄선으로 나타내는 방향이, 래터럴 기구(11)에 의해 편방향 인출 슬라이드 이동시키는 일직선 방향에 일치하는 형태여도 된다. 도 4에 나타내는 형태에 따르면, 예컨대, 제2 회전 구동부(16)를 구동함으로써, 물품(M)의 정면측을 +X방향으로 향하게 한 상태로부터 제2 수직축(AX2) 둘레로 180도 회전시킴으로써, 물품(M)의 정면측을 -X방향(즉, 반대 방향)으로 향하게 할 수 있다. 또한, 제2 회전 구동부(16)에 의해 승강 구동부(14)(물품 지지부(13))를 90도 회전시킴으로써, 물품(M)의 정면측을 +X방향으로 향하게 한 상태로부터, +Y방향 또는 -Y방향으로 향하게 한 상태로 할 수 있다.
[0032] 주행부(20)는, 도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 주행 차륜(21)과, 보조 차륜(22)을 갖는다. 주행 차륜(21)은, 상부 유닛(17)(본체부(10))의 상면(17a)의 4개의 코너부에 각각 배치된다. 주행 차륜(21)의 각각은, 연결부(30)에 설치된 미도시된 차축에 부착되어 있다. 차축은, XY 평면을 따라 평행 또는 거의 평행하게 설치되어 있다. 주행 차륜(21)의 각각은, 후술하는 주행 구동부(33)의 구동력에 의해 회전 구동한다. 주행 차륜(21)의 각각은, 격자형상 궤도(R)에 있어서, 제1 궤도(R1), 제2 궤도(R2), 및 접속 궤도(R3)의 주행면(R1a, R2a, R3a)을 굴러서 이동하며, 천장 반송차(100)를 주행시킨다. 또한, 4개의 주행 차륜(21) 모두가 주행 구동부(33)의 구동력에 의해 회전 구동하는 것에 한정되지 않고, 4개의 주행 차륜(21) 중 일부에 대해 회전 구동시키는 구성이어도 된다.
[0033] 주행 차륜(21)은, 선회축(AX3)을 중심으로 하여 θZ방향으로 선회 가능하게 설치된다. 주행 차륜(21)은, 후술하는 방향 전환 기구(34)에 의해 θZ방향으로 선회하고, 그 결과, 천장 반송차(100)의 주행 방향을 변경할 수 있다. 보조 차륜(22)은, 주행 차륜(21)의 주행 방향의 전후에 각각 1개씩 배치된다. 보조 차륜(22)의 각각은, 주행 차륜(21)과 마찬가지로, θZ방향으로 회전 가능하게 되어 있다. 보조 차륜(22)의 하단(下端)은, 주행 차륜(21)의 하단보다 높아지도록 설정되어 있다. 따라서, 주행 차륜(21)이 주행면(R1a, R2a, R3a)을 주행하고 있을 때는, 보조 차륜(22)은, 주행면(R1a, R2a, R3a)에 접촉하지 않는다. 또한, 주행 차륜(21)이 틈새(D)(도 3 참조)를 통과할 때에는, 보조 차륜(22)이 주행면(R1a, R2a, R3a)에 접촉하여, 주행 차륜(21)이 빠지는 것을 억제하고 있다. 또한, 1개의 주행 차륜(21)에 2개의 보조 차륜(22)을 설치하는 것에 한정되지 않고, 예컨대, 1개의 주행 차륜(21)에 1개의 보조 차륜(22)이 설치되어도 되고, 보조 차륜(22)이 설치되지 않아도 된다.
[0034] 또한, 도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 이재 장치(18) 및 이재 장치(18)에 의해 지지하고 있는 물품(M)을 둘러싸도록 커버(W)가 설치되어도 된다. 커버(W)는, 하단을 개방한 통형상이며, 또한, 래터럴 기구(11)의 가동판이 돌출되는 부분(슬라이드 이동하는 부분)을 잘라 낸 형상을 갖고 있다. 커버(W)는, 상단(上端)이 회동부(12)에 부착되어 있고, 회동부(12)의 회동에 따라 제1 수직축(AX1) 둘레로 회동한다.
[0035] 연결부(30)는, 본체부(10)의 상부 유닛(17)과 주행부(20)를 연결한다. 연결부(30)는, 상부 유닛(17)(본체부(10))의 상면(17a)의 4개의 코너부에 각각 설치된다. 이 연결부(30)에 의해 본체부(10)는, 매달린 상태가 되어, 격자형상 궤도(R)보다 하방에 배치된다. 연결부(30)는, 지지 부재(支持部材)(31)와, 접속 부재(32)를 갖는다. 지지 부재(31)는, 주행 차륜(21)의 회전축 및 보조 차륜(22)의 회전축을 회전 가능하게 지지한다. 지지 부재(31)에 의해, 주행 차륜(21)과 보조 차륜(22) 간의 상대 위치를 유지한다. 지지 부재(31)는, 예컨대 판형상으로 형성되며, 틈새(D)를 통과할 수 있는 두께로 형성된다.
[0036] 접속 부재(32)는, 지지 부재(31)로부터 하방으로 연장되어 상부 유닛(17)의 상면(17a)에 연결되며, 상부 유닛(17)을 지지한다. 접속 부재(32)는, 후술하는 주행 구동부(33)의 구동력을 주행 차륜(21)에 전달하는 전달 기구를 내부에 구비한다. 이 전달 기구는, 체인 또는 벨트가 이용되는 구성이어도 되고, 기어열이 이용되는 구성이어도 된다. 접속 부재(32)는, 선회축(AX3)을 중심으로 하여 θZ방향으로 회전 가능하게 설치된다. 이 접속 부재(32)가 선회축(AX3)을 중심으로 하여 회전함으로써, 주행 차륜(21)을 θZ방향으로 선회시킬 수 있다.
[0037] 연결부(30)에는, 주행 구동부(33)와, 방향 전환 기구(34)가 설치된다. 주행 구동부(33)는, 접속 부재(32)에 장착된다. 주행 구동부(33)는, 주행 차륜(21)을 구동하는 구동원(驅動源)이고, 예컨대 전동 모터 등이 이용된다. 4개의 주행 차륜(21)은, 각각 주행 구동부(33)에 의해 구동되어 구동륜이 된다. 4개의 주행 차륜(21)은, 동일 또는 거의 동일한 회전수가 되도록 제어부(50)에 의해 제어된다. 또한, 4개의 주행 차륜(21) 중 어느 것을 구동륜으로서 사용하지 않는 경우는, 그 접속 부재(32)에 주행 구동부(33)는 장착되지 않는다.
[0038] 방향 전환 기구(34)는, 본체부(10)에 대해 연결부(30)의 접속 부재(32)를, 선회축(AX3)을 중심으로 하여 선회시킴으로써, 주행 차륜(21)을 θZ방향으로 선회시킨다. 주행 차륜(21)을 θZ방향으로 선회시킴으로써, 천장 반송차(100)의 주행 방향을 제1 방향(D1)으로 하는 제1 상태로부터 주행 방향을 제2 방향(D2)으로 하는 제2 상태로, 또는 주행 방향을 제2 방향(D2)으로 하는 제2 상태로부터 주행 방향을 제1 방향(D1)으로 하는 제1 상태로 전환하는 것이 가능하다.
[0039] 방향 전환 기구(34)는, 구동원(35)과, 피니언 기어(36)와, 랙(rack)(37)을 갖는다. 구동원(35)은, 주행 구동부(33)에 있어서 선회축(AX3)에서 떨어진 측면에 부착되어 있다. 구동원(35)은, 예컨대 전동 모터 등이 이용된다. 피니언 기어(36)는, 구동원(35)의 하면측에 부착되어 있고, 구동원(35)에서 발생한 구동력에 의해 θZ방향으로 회전 구동한다. 피니언 기어(36)는, 평면 뷰에서 원형상이며, 외주(外周)의 둘레 방향(周方向, circumferential direction)으로 복수의 톱니를 갖는다. 랙(37)은, 상부 유닛(17)의 상면(17a)에 고정된다. 랙(37)은, 상부 유닛(17)의 상면(17a)의 4개의 코너부에 각각 설치되고, 주행 차륜(21)의 선회축(AX3)을 중심으로 한 원호형상(부채꼴형상)으로 설치된다. 랙(37)은, 외주의 둘레 방향으로, 피니언 기어(36)의 톱니와 맞물리는 복수의 톱니를 갖는다.
[0040] 피니언 기어(36) 및 랙(37)은, 서로의 톱니가 맞물린 상태로 배치된다. 피니언 기어(36)가 θZ방향으로 회전함으로써, 랙(37)의 외주를 따르도록 피니언 기어(36)가 선회축(AX3)을 중심으로 하는 원주 방향(圓周方向, circumferential direction)으로 이동한다. 이 피니언 기어(36)의 이동에 따라, 접속 부재(32)가 선회하며, 주행 구동부(33) 및 방향 전환 기구(34)가 피니언 기어(36)와 함께 선회축(AX3)을 중심으로 하는 원주 방향으로 선회한다.
[0041] 방향 전환 기구(34)의 선회에 따라, 상면(17a)의 4개의 코너부에 배치된 주행 차륜(21) 및 보조 차륜(22)의 각각이 선회축(AX3)을 중심으로 하여 θZ방향으로 90도의 범위에서 선회한다. 방향 전환 기구(34)의 구동은, 제어부(50)에 의해 제어된다. 제어부(50)는, 4개의 주행 차륜(21)의 선회 동작을 동일한 타이밍에 행하도록 지시해도 되고, 다른 타이밍에 행하도록 지시해도 된다. 주행 차륜(21) 및 보조 차륜(22)을 선회시킴으로써, 주행 차륜(21)이 제1 궤도(R1) 및 제2 궤도(R2) 중 한쪽에 접촉한 상태로부터 다른 쪽에 접촉한 상태로 이행된다. 이 때문에, 천장 반송차(100)의 주행 방향을 제1 방향(D1)(X방향)으로 하는 제1 상태와, 주행 방향을 제2 방향(D2)(Y방향)으로 하는 제2 상태 사이에서 전환할 수 있다.
[0042] 도 5 및 도 6은, 본체부(10)의 주행 방향과 래터럴 기구(11)의 슬라이드 이동 방향 간의 관계의 일례를 나타내는 평면도이다. 도 5 및 도 6에 있어서, 제1 궤도(R1), 제2 궤도(R2), 접속 궤도(R3)는 간략화하여 나타내고 있다. 도 5는, 본체부(10)가 제1 방향(D1)으로 이동하는 경우의 예를 나타낸다. 또한, 도 6은, 본체부(10)가 제2 방향(D2)으로 이동하는 경우의 예를 나타낸다. 도 5 및 도 6에 있어서, 물품(M)은, 평면 뷰에서 제1 궤도(R1)와 제2 궤도(R2)로 둘러싸이는 영역(도 3의 셀(C) 참조)의 중앙부로부터 벗어나 놓여 있다. 물품(M)이 평면 뷰에 있어서 셀(C)의 중앙부로부터 벗어나 있다는 것은, 물품(M)이 거의 셀(C)의 중앙에 있지만, 약간 한쪽 레일에 치우친 위치에 배치되어 있는 경우도 포함한다. 즉, 본체부(10)의 중앙부가 셀(C)의 중앙부와 일치하는 위치에 천장 반송차(100)가 정지한 상태에서, 물품 지지부(13)를 승강시켜 물품(M)을 주고받을 수 있는 경우, 물품(M)이 셀(C)의 중앙부에 있는(물품(M)이 중앙부로부터 벗어나 있지 않은) 상태이고, 그 이외의 경우에서는, 물품 지지부(13)를 승강시켜 물품(M)을 주고받을 때에 래터럴 기구(11)의 슬라이드 이동이 필요해지고, 물품(M)이 평면 뷰에 있어서 셀(C)의 중앙부로부터 벗어나 있는 상태에 포함된다.
[0043] 또한, 도 5 및 도 6에서는, 물품(M)의 일변(一邊)이 만곡된 상태로 나타내고 있다. 물품(M)에 있어서, 이 만곡된 부분이 물품(M)의 배면측을 나타내고, 만곡 부분과 대향하는 변(邊)이 정면측을 나타내고 있다. 물품(M)은, 도 5의 (A)에 나타내는 바와 같이, 처리 장치(PA)의 로드 포트(LP)에 놓여 있다. 로드 포트(LP)는, 물품(M)의 이재처의 일례이다. 처리 장치(PA) 및 로드 포트(LP)는, 격자형상 궤도(R)의 하방에 배치되어 있다. 또한, 처리 장치(PA) 및 로드 포트(LP)는, 도 5의 (A)에 있어서 표기하고, 다른 도면에 있어서는 생략하고 있다.
[0044] 도 5의 (A)에 나타내는 바와 같이, 천장 반송차(100)는, 물품(M)을 받기 위해, 본체부(10)가 이재 위치(P11)를 향해 제1 방향(D1)(+X방향)으로 주행하고 있는 상태이다. 본체부(10)는, 이재 위치(P1)에 도달한 경우, 주행을 정지한다. 또한, 이재 위치(P11)를 향해 -X방향으로 주행하는 경우도 마찬가지이다. 또한, 본 실시형태에 있어서, 이재 위치란, 물품(M)의 이재를 위한 천장 반송차(100)의 정지 위치이다. 본체부(10)가 이재 위치(P11)에서 주행을 정지한 상태에 있어서, 물품(M)은, 제1 방향(D1)에 대해서는 본체부(10)의 중앙부에 대응하고, 제2 방향(D2)에 대해서는 본체부(10)의 중앙부에 대해 +Y측으로 벗어난 위치가 된다. 따라서, 본체부(10)는, 이재 위치(P11)로부터 래터럴 기구(11)를 +Y측으로 슬라이드 이동 가능하도록 제1 회전 구동부(15)에 의해 래터럴 기구(11)를 회전시킨다.
[0045] 래터럴 기구(11)를 회전시킨 후, 도 5의 (B)에 나타내는 바와 같이, 본체부(10)는, 래터럴 기구(11)를 +Y측으로 슬라이드 이동시켜, 승강 구동부(14)가 물품(M)의 상방(+Z측)에 배치되도록 한다. 이 상태에서, 본체부(10)는, 승강 구동부(14)에 의해 물품 지지부(13)를 하강시키고, 물품(M)을 지지하게 한다. 그 후, 본체부(10)는, 물품 지지부(13)를 상승시키고, 래터럴 기구(11)를 -Y측으로 슬라이드 이동시킴으로써, 승강 구동부(14), 물품 지지부(13), 및 물품(M)을 수용할 수 있게 된다.
[0046] 또한, 도 6의 (A)에 나타내는 바와 같이, 천장 반송차(100)는, 물품(M)을 받기 위해, 본체부(10)가 이재 위치(P12)를 향해 제2 방향(D2)(-Y방향)으로 주행하고 있는 상태이다. 본체부(10)는, 이재 위치(P12)에 도달한 경우, 주행을 정지한다. 또한, 이재 위치(P12)를 향해 +Y방향으로 주행하는 경우도 마찬가지이다. 본체부(10)가 이재 위치(P12)에서 주행을 정지한 상태에 있어서, 물품(M)은, 제2 방향(D2)에 대해서는 본체부(10)의 중앙부에 대응하고, 제1 방향(D1)에 대해서는 본체부(10)의 중앙부에 대해 -X측으로 벗어난 위치가 된다. 본체부(10)는, 이재 위치(P12)로부터 래터럴 기구(11)를 -X측으로 슬라이드 이동 가능하도록 제1 회전 구동부(15)에 의해 래터럴 기구(11)를 회전시킨다.
[0047] 래터럴 기구(11)를 회전시킨 후, 도 6의 (B)에 나타내는 바와 같이, 본체부(10)는, 래터럴 기구(11)를 -X측으로 슬라이드 이동시켜, 승강 구동부(14)가 물품(M)의 상방(+Z측)에 배치되도록 한다. 이 상태에서, 본체부(10)는, 승강 구동부(14)에 의해 물품 지지부(13)를 하강시키고, 물품(M)을 지지하게 한다. 그 후, 본체부(10)는, 물품 지지부(13)를 상승시키고, 래터럴 기구(11)를 +X측으로 슬라이드 이동시킴으로써, 승강 구동부(14), 물품 지지부(13), 및 물품(M)을 수용할 수 있게 된다.
[0048] 이와 같이, 본체부(10)는, 제1 회전 구동부(15)에 의해 래터럴 기구(11)를 회전시킴으로써, 평면 뷰에 있어서 셀(C)의 중앙부로부터 벗어나 놓여 있는 물품(M)에 대해, 제1 궤도(R1)를 이재 위치(P11)로 하는 경우와, 제2 궤도(R2)를 이재 위치(P12)로 하는 경우 양쪽 모두에서 물품(M)의 이재처인 로드 포트(LP)에 대한 주고받기가 가능하게 되어 있다. 따라서, 천장 반송차(100)가 물품(M)을 향해 접근하는 방향에 따라, 이재 위치(P11) 또는 이재 위치(P12) 중 어느 하나를 선택하면 되고, 물품(M)의 이재에 요하는 시간을 단축하여 물품의 반송 효율을 향상시킬 수 있다. 또한, 물품(M)을 이재처(로드 포트(LP))에 건네주는 경우는, 상기한 동작의 반대의 동작을 행한다.
[0049] 또한, 만약, 천장 반송차(100)에 있어서 래터럴 기구(11)를 회전시킬 수 없는 구성이라고 하면, 예컨대, 도 5의 (A)의 구성에서 래터럴 기구(11)의 슬라이드 이동의 방향이 제1 방향(D1)인 경우, 제1 궤도(R1)를 따라 주행하고 있는 상태에서는 천장 반송차(100)는 물품(M)을 주고받을 수 없어, 제1 궤도(R1)로부터 제2 궤도(R2)로 주행 방향을 전환한 후에, 제2 궤도(R2)를 따라 주행하는 상태가 되고 나서 래터럴 기구(11)를 제1 방향(D1)으로 슬라이드 이동시키지 않으면 물품(M)을 주고받을 수 없다. 이와 같이, 물품(M)의 이재 시에 천장 반송차(100)의 주행 방향의 전환이 필요해지면, 그 전환에 시간을 요하여, 물품(M)의 반송 효율을 저하시키게 된다.
[0050] 도 7 내지 도 11은, 래터럴 기구(11)의 슬라이드 이동의 방향과 물품(M)의 방향 간의 관계를 나타내는 평면도이다. 도 7 내지 도 11에 있어서, 제1 궤도(R1), 제2 궤도(R2), 접속 궤도(R3)는 간략화하여 나타내고 있다. 도 7 내지 도 11에서는, 물품(M)은, 평면 뷰에서 제1 궤도(R1)와 제2 궤도(R2)로 둘러싸이는 영역(도 3의 셀(C) 참조)의 중앙부로부터 벗어난 이재처에 건네주는 예에 대해 나타내고 있다. 또한, 도 7 내지 도 11에 나타내는 물품(M)은, 상기와 마찬가지로, 만곡된 부분이 물품(M)의 배면측이고, 만곡 부분과 대향하는 변이 정면측이다.
[0051] 도 7의 (A) 및 (B)에 나타내는 예에 있어서, 물품(M)은, 평면 뷰에서 셀(C)의 중앙부로부터 +X측 및 +Y측으로 벗어난 위치에 놓인다. 또한, 도 7의 (A)에 나타내는 이재처(예컨대 처리 장치(PA)의 로드 포트(LP))에서는, 물품(M)의 정면측을 -X측으로 향하게 하여 올려놓도록 미리 지정되어 있고, 도 7의 (B)에 나타내는 이재처(예컨대 처리 장치(PA)의 로드 포트(LP))에서는, 물품(M)의 정면측을 +X측으로 향하게 하여 올려놓도록 미리 지정되어 있다.
[0052] 도 7의 (A)에 나타내는 예에 있어서, 본체부(10)는, 제2 궤도(R2)를 주행하다가 이재 위치(P13)에서 주행을 정지한 후, 래터럴 기구(11)가 +X측으로 슬라이드 이동 가능하도록 제1 회전 구동부(15)(도 1 참조)에 의해 래터럴 기구(11)를 제1 수직축(AX1) 둘레로 회전시키고, 이어서, 래터럴 기구(11)를 +X측으로 슬라이드 이동시킨다. 이 경우, 물품 지지부(13)에 의해 지지된 물품(M)의 정면측이 -X방향을 향하고 있으므로(도 7의 (A)의 좌측 도면 참조), 승강 구동부(14)에 의해 물품 지지부(13)를 하강시킴으로써, 물품(M)의 정면측이 -X방향을 향한 상태로 이재처에 물품(M)을 올려놓는 것이 가능하다.
[0053] 도 7의 (B)에 나타내는 예에 있어서, 본체부(10)는, 도 7의 (A)와 마찬가지로, 이재 위치(P13)에서 래터럴 기구(11)를 제1 수직축(AX1) 둘레로 회전시키고, 이어서, 래터럴 기구(11)를 +X측으로 슬라이드 이동시킨다. 이 경우, 물품 지지부(13)에 의해 지지된 물품(M)의 정면측이 -X방향을 향하고 있지만(도 7의 (B)의 좌측 도면 참조), 이재처에서는 물품(M)의 정면측을 +X방향으로 향하게 하도록 지정되어 있다. 따라서, 제2 회전 구동부(16)(도 1 참조)에 의해 승강 구동부(14)(물품 지지부(13))를 제2 수직축(AX2) 둘레로 180도 회전시킴으로써, 물품(M)의 정면측이 +X방향을 향한 상태가 된다. 그 후, 승강 구동부(14)에 의해 물품 지지부(13)를 하강시킴으로써, 물품(M)의 정면측이 +X방향을 향한 상태로 이재처에 물품(M)을 올려놓는 것이 가능하다.
[0054] 도 8의 (A) 및 (B)에 나타내는 예에 있어서, 물품(M)은, 평면 뷰에서 셀(C)의 중앙부로부터 -X측 및 +Y측으로 벗어난 위치에 놓인다. 또한, 도 8의 (A)에 나타내는 이재처(예컨대 처리 장치(PA)의 로드 포트(LP))에서는, 물품(M)의 정면측을 +X측으로 향하게 하여 올려놓도록 미리 지정되어 있고, 도 8의 (B)에 나타내는 이재처(예컨대 처리 장치(PA)의 로드 포트(LP))에서는, 물품(M)의 정면측을 -X측으로 향하게 하여 올려놓도록 미리 지정되어 있다.
[0055] 도 8의 (A)에 나타내는 예에 있어서, 본체부(10)는, 제2 궤도(R2)를 주행하다가 이재 위치(P13)에서 주행을 정지한 후, 래터럴 기구(11)가 -X측으로 슬라이드 이동 가능하도록 제1 회전 구동부(15)(도 1 참조)에 의해 래터럴 기구(11)를 제1 수직축(AX1) 둘레로 회전시키고, 이어서, 래터럴 기구(11)를 -X측으로 슬라이드 이동시킨다. 이 경우, 물품 지지부(13)에 의해 지지된 물품(M)의 정면측이 +X방향을 향하고 있으므로(도 8의 (A)의 좌측 도면 참조), 승강 구동부(14)에 의해 물품 지지부(13)를 하강시킴으로써, 물품(M)의 정면측이 +X방향을 향한 상태로 이재처에 물품(M)을 올려놓는 것이 가능하다.
[0056] 도 8의 (B)에 나타내는 예에 있어서, 본체부(10)는, 도 8의 (A)와 마찬가지로, 이재 위치(P13)에서 래터럴 기구(11)를 제1 수직축(AX1) 둘레로 회전시키고, 이어서, 래터럴 기구(11)를 -X측으로 슬라이드 이동시킨다. 이 경우, 물품 지지부(13)에 의해 지지된 물품(M)의 정면측이 +X방향을 향하고 있지만(도 8의 (B)의 좌측 도면 참조), 이재처에서는 물품(M)의 정면측을 -X방향으로 향하게 하도록 지정되어 있다. 따라서, 제2 회전 구동부(16)(도 1 참조)에 의해 승강 구동부(14)(물품 지지부(13))를 제2 수직축(AX2) 둘레로 180도 회전시킴으로써, 물품(M)의 정면측이 -X방향을 향한 상태가 된다. 그 후, 승강 구동부(14)에 의해 물품 지지부(13)를 하강시킴으로써, 물품(M)의 정면측이 -X방향을 향한 상태로 이재처에 물품(M)을 올려놓는 것이 가능하다.
[0057] 도 9의 (A) 및 (B)에 나타내는 예에 있어서, 물품(M)은, 평면 뷰에서 셀(C)의 중앙부로부터 +X측 및 +Y측으로 벗어난 위치에 놓인다. 또한, 도 9의 (A)에 나타내는 이재처(예컨대 처리 장치(PA)의 로드 포트(LP))에서는, 물품(M)의 정면측을 +Y측으로 향하게 하여 올려놓도록 미리 지정되어 있고, 도 9의 (B)에 나타내는 이재처(예컨대 처리 장치(PA)의 로드 포트(LP))에서는, 물품(M)의 정면측을 -Y측으로 향하게 하여 올려놓도록 미리 지정되어 있다.
[0058] 도 9의 (A)에 나타내는 예에 있어서, 본체부(10)는, 제1 궤도(R1)를 주행하다가 이재 위치(P14)에서 주행을 정지한 후, 래터럴 기구(11)가 +Y측으로 슬라이드 이동 가능하도록 제1 회전 구동부(15)(도 1 참조)에 의해 래터럴 기구(11)를 제1 수직축(AX1) 둘레로 회전시키고, 이어서, 래터럴 기구(11)를 +Y측으로 슬라이드 이동시킨다. 이 경우, 물품 지지부(13)에 의해 지지된 물품(M)의 정면측이 +Y방향을 향하고 있으므로(도 9의 (A)의 좌측 도면 참조), 승강 구동부(14)에 의해 물품 지지부(13)를 하강시킴으로써, 물품(M)의 정면측이 +Y방향을 향한 상태로 이재처에 물품(M)을 올려놓는 것이 가능하다.
[0059] 도 9의 (B)에 나타내는 예에 있어서, 본체부(10)는, 도 9의 (A)와 마찬가지로, 이재 위치(P14)에서 래터럴 기구(11)를 제1 수직축(AX1) 둘레로 회전시키고, 이어서, 래터럴 기구(11)를 +Y측으로 슬라이드 이동시킨다. 이 경우, 물품 지지부(13)에 의해 지지된 물품(M)의 정면측이 +Y방향을 향하고 있지만(도 9의 (B)의 좌측 도면 참조), 이재처에서는 물품(M)의 정면측을 -Y방향으로 향하게 하도록 지정되어 있다. 따라서, 제2 회전 구동부(16)(도 1 참조)에 의해 승강 구동부(14)(물품 지지부(13))를 제2 수직축(AX2) 둘레로 180도 회전시킴으로써, 물품(M)의 정면측이 -Y방향을 향한 상태가 된다. 그 후, 승강 구동부(14)에 의해 물품 지지부(13)를 하강시킴으로써, 물품(M)의 정면측이 -Y방향을 향한 상태로 이재처에 물품(M)을 올려놓는 것이 가능하다.
[0060] 도 10의 (A) 및 (B)에 나타내는 예에 있어서, 물품(M)은, 평면 뷰에서 셀(C)의 중앙부로부터 +X측 및 -Y측으로 벗어난 위치에 놓인다. 또한, 도 10의 (A)에 나타내는 이재처(예컨대 처리 장치(PA)의 로드 포트(LP))에서는, 물품(M)의 정면측을 -Y측으로 향하게 하여 올려놓도록 미리 지정되어 있고, 도 10의 (B)에 나타내는 이재처(예컨대 처리 장치(PA)의 로드 포트(LP))에서는, 물품(M)의 정면측을 +Y측으로 향하게 하여 올려놓도록 미리 지정되어 있다.
[0061] 도 10의 (A)에 나타내는 예에 있어서, 본체부(10)는, 제1 궤도(R1)를 주행하다가 이재 위치(P14)에서 주행을 정지한 후, 래터럴 기구(11)가 -Y측으로 슬라이드 이동 가능하도록 제1 회전 구동부(15)(도 1 참조)에 의해 래터럴 기구(11)를 제1 수직축(AX1) 둘레로 회전시키고, 이어서, 래터럴 기구(11)를 -Y측으로 슬라이드 이동시킨다. 이 경우, 물품 지지부(13)에 의해 지지된 물품(M)의 정면측이 -Y방향을 향하고 있으므로(도 10의 (A)의 좌측 도면 참조), 승강 구동부(14)에 의해 물품 지지부(13)를 하강시킴으로써, 물품(M)의 정면측이 -Y방향을 향한 상태로 이재처에 물품(M)을 올려놓는 것이 가능하다.
[0062] 도 10의 (B)에 나타내는 예에 있어서, 본체부(10)는, 도 10의 (A)와 마찬가지로, 이재 위치(P14)에서 래터럴 기구(11)를 제1 수직축(AX1) 둘레로 회전시키고, 이어서, 래터럴 기구(11)를 -Y측으로 슬라이드 이동시킨다. 이 경우, 물품 지지부(13)에 의해 지지된 물품(M)의 정면측이 -Y방향을 향하고 있지만(도 10의 (B)의 좌측 도면 참조), 이재처에서는 물품(M)의 정면측을 +Y방향으로 향하게 하도록 지정되어 있다. 따라서, 제2 회전 구동부(16)(도 1 참조)에 의해 승강 구동부(14)(물품 지지부(13))를 제2 수직축(AX2) 둘레로 180도 회전시킴으로써, 물품(M)의 정면측이 +Y방향을 향한 상태가 된다. 그 후, 승강 구동부(14)에 의해 물품 지지부(13)를 하강시킴으로써, 물품(M)의 정면측이 +Y방향을 향한 상태로 이재처에 물품(M)을 올려놓는 것이 가능하다.
[0063] 도 11에 나타내는 예에 있어서, 물품(M)은, 평면 뷰에서 셀(C)(지면(紙面)의 왼쪽 아래의 셀(C))의 중앙부로부터 +X측 및 -Y측으로 벗어난 위치에 놓인다. 도 11에서는, 처리 장치(PA)가 제1 방향(D1) 또는 제2 방향(D2)에 대해 기울어진 상태로 배치되어 있고, 이 처리 장치(PA)의 로드 포트(LP)도 제1 방향(D1) 또는 제2 방향(D2)에 대해 기울어진 상태로 되어 있다. 또한, 로드 포트(LP)는, 물품(M)의 정면측을 처리 장치(PA)측으로 향하게 하여 올려놓도록 미리 지정되어 있는 점은 상기와 동일하다.
[0064] 본체부(10)는, 도 11에 나타내는 바와 같이, 제2 궤도(R2)를 주행하다가 이재 위치(P15)에서 주행을 정지한 후, 래터럴 기구(11)가 로드 포트(LP)의 상방인 -X측이자 +Y측으로 슬라이드 이동 가능하도록 제1 회전 구동부(15)(도 1 참조)에 의해 래터럴 기구(11)를 제1 수직축(AX1) 둘레로 회전시키고, 이어서, 래터럴 기구(11)를 -X측이자 +Y측으로 슬라이드 이동시킨다. 이 경우, 물품 지지부(13)에 의해 지지된 물품(M)의 정면측은, 도 11에 나타내는 로드 포트(LP)에서 지정되는 방향으로부터 벗어나 있다. 따라서, 제2 회전 구동부(16)(도 1 참조)에 의해 승강 구동부(14)(물품 지지부(13))를 제2 수직축(AX2) 둘레로 회전시킴으로써, 물품(M)의 정면측을 처리 장치(PA)측으로 향하게 하도록 한다. 그 후, 승강 구동부(14)에 의해 물품 지지부(13)를 하강시킴으로써, 물품(M)의 정면측이 처리 장치(PA)측을 향한 상태로 로드 포트(LP)에 물품(M)을 올려놓는 것이 가능하다.
[0065] 또한, 도 11에 나타내는 예에서는, 제1 회전 구동부(15)에 의한 래터럴 기구(11)의 회전, 및 제2 회전 구동부(16)에 의한 승강 구동부(14)의 회전 양쪽 모두를 이용하여 물품(M)의 방향을 로드 포트(LP)의 방향에 맞추고 있지만, 이 형태에 한정되지 않는다. 예컨대, 도 11에 나타내는 로드 포트(LP)에 있어서, 본체부(10)가 정지하는 이재 위치(P15)를 조정함으로써, 제1 회전 구동부(15)에 의한 래터럴 기구(11)의 회전만을 이용하여 물품(M)의 방향을 로드 포트(LP)의 방향에 맞추는 것이 가능한 경우가 있다. 예컨대, 도 11에 있어서, 본체부(10)의 이재 위치(P15)를 도 11에 나타내는 위치로부터 +Y측으로 시프트시키고, 래터럴 기구(11)의 슬라이드 이동의 방향과, 로드 포트(LP)에 있어서 지정되는 물품(M)의 방향을 일치시킴으로써, 승강 구동부(14)를 회전시키지 않고 로드 포트(LP)에 물품(M)을 올려놓는 것이 가능한 경우가 있다.
[0066] 도 7 내지 도 11은, 이재처가 지정하는 방향에 물품(M)의 방향을 맞춰 이재처에 올려놓을 수 있는 일례를 나타내고 있고, 도시되지 않은 케이스에 있어서도 마찬가지이다. 즉, 제1 회전 구동부(15)에 의해 래터럴 기구(11)를 제1 수직축(AX1) 둘레로 회전시키는 것, 및 제2 회전 구동부(16)에 의해 승강 구동부(14)(물품 지지부(13))를 제2 수직축(AX2) 둘레로 회전시키는 것에 의해, 평면 뷰에서 셀(C)의 중앙부로부터 벗어난 이재처에 지정된 방향으로 물품(M)을 올려놓는 것이 가능하다. 따라서, 본 실시형태에 따르면, 격자형상 궤도(R)(궤도)와 로드 포트(LP)(처리 장치(PA)) 간의 상대 위치의 자유도를 향상시킬 수 있고, 나아가서는 처리 장치(PA)를 설치하는 위치 및 방향(로드 포트(LP)의 위치 및 방향)에 대해서도 자유도를 향상시킬 수 있다. 즉, 처리 장치(PA)처럼 로드 포트(LP)에 놓이는 물품(M)의 방향이 미리 결정되어 있는 경우, 물품(M)의 이재처인 로드 포트(LP)의 위치 및 방향(처리 장치(PA)의 위치 및 방향)을 격자형상 궤도(R)에 대해 비교적 임의로 설정하는 것이 가능해져, 바닥면(床面) 상에 있어서의 처리 장치(PA)의 설치에 대해 제약이 완화되는 등, 스페이스 효율을 향상시킬 수 있다.
[0067] 또한, 상기한 실시형태에 있어서, 제2 회전 구동부(16)에 의해 승강 구동부(14)(물품 지지부(13))를 회전시키는 타이밍은, 본체부(10)가 격자형상 궤도(R)를 주행 중이어도 되고, 래터럴 기구(11)가 슬라이드 이동하고 있는 동안이어도 된다. 제1 회전 구동부(15)에 의해 래터럴 기구(11)를 회전시키는 타이밍의 다른 예에 대해서는 후술한다.
[0068] 이와 같이, 본 실시형태에 따른 천장 반송차(100) 및 천장 반송차 시스템(SYS)에 따르면, 본체부(10)에 대해 래터럴 기구(11)가 제1 수직축(AX1) 둘레로 회전 가능하기 때문에, 본체부(10)의 주행 방향이 제1 궤도(R1) 또는 제2 궤도(R2) 중 어느 것이더라도 원하는 방향으로 래터럴 기구(11)를 슬라이드 이동시킬 수 있다. 그 결과, 래터럴 기구(11)에 의한 슬라이드 이동의 방향이 본체부(10)의 주행 방향과 일치하고 있을 때에도, 주행 방향에 직교하는 방향 등의 주행 방향 이외의 방향으로 물품 지지부(13)를 이동시킬 수 있어, 물품(M)의 이재 위치를 용이하게 조정할 수 있다.
[0069] <제2 실시형태>
도 12는, 제2 실시형태에 따른 천장 반송차(200)의 일례를 나타내는 측면도이다. 제1 실시형태에서는, 제2 회전 구동부(16)에 의해 승강 구동부(14)를 제2 수직축(AX2) 둘레로 회전시키는 경우를 예로 들어 설명하였지만, 이 형태에 한정되지 않고, 물품 지지부(13)를 회전시키는 구성이어도 된다. 도 11에 나타내는 바와 같이, 제2 실시형태에 따른 천장 반송차(200)에서는, 본체부(10)는, 제2 수직축(AX2) 둘레로 물품 지지부(13)를 회전시키는 제2 회전 구동부(116)를 갖는다. 또한, 천장 반송차(200)에 있어서, 상기한 제1 실시형태의 천장 반송차(100)와 동일한 구성에 대해서는, 동일한 부호를 달고, 설명을 생략 또는 간략화한다.
[0070] 제2 회전 구동부(116)는, 서스펜딩 부재(13b)의 하단부(下端部)에 접속되고, 물품 지지부(13)의 상부에 배치된다. 또한, 제2 회전 구동부(116)는, 예컨대 전동 모터 등이 이용되며, 래터럴 기구(11)가 슬라이드 이동하는 일직선 방향에 직교하는 방향 중 일방향으로부터, 제2 수직축(AX2) 둘레로 적어도 180도의 범위에서 물품 지지부(13)를 회전시킨다. 그 결과, 물품 지지부(13)에 의해 지지되는 물품(M)을 제2 수직축(AX2) 둘레로 180도의 범위에서 회전시켜, 물품(M)의 정면측을 반대 방향으로 향하게 하는 것이 가능하게 되어 있다.
[0071] 본 실시형태의 천장 반송차(200)에 따르면, 상기한 천장 반송차(100)와 마찬가지로, 물품(M)의 이재 위치를 용이하게 조정할 수 있다. 또한, 제2 회전 구동부(116)가, 제2 수직축(AX2) 둘레로 물품 지지부(13)를 회전시키기 때문에, 승강 구동부(14)를 회전시키는 경우에 비해, 물품(M)을 회전시키는 경로가 짧으므로, 특히 물품 지지부(13)의 하강 후에 물품(M)을 회전시키는 경우에는 제2 회전 구동부(116)의 구동 시에 있어서의 물품(M)의 회전의 응답성이 높아, 물품(M)의 방향을 단시간에 조정할 수 있다.
[0072] 또한, 상기한 제1 및 제2 실시형태에 있어서는, 본체부(10)가 이재 위치에 정지한 후에 래터럴 기구(11)의 슬라이드 이동을 행하는 예를 설명하고 있지만, 이 동작에 한정되지 않는다. 도 13은, 본체부(10)의 주행과 래터럴 기구(11)의 슬라이드 이동 간의 타이밍에 대한 일례를 나타내는 평면도이다. 도 13의 (A)에 나타내는 바와 같이, 제어부(50)는, 본체부(10)가 이재처(P)에 대해 물품(M)의 이재를 행하기 위해, 이재 위치(P16)를 향해 격자형상 궤도(궤도)(R)를 주행하고 있는 동안에, 제1 회전 구동부(15)를 구동하여 래터럴 기구(11)를 제1 수직축(AX1) 둘레로 회전시켜도 된다.
[0073] 제어부(50)는, 이재 위치(P16)의 정보를 취득할 때, 이재처(P)에 관한 정보를 상위 컨트롤러 등으로부터 취득한다. 그 이재처(P)에 관한 정보로부터, 이재 위치(P16)에 정지 후, 래터럴 기구(11)에 의한 슬라이드 이동의 방향을 취득하고 있다. 따라서, 제어부(50)는, 본체부(10)의 주행 중에 래터럴 기구(11)를 회전시킴으로써, 본체부(10)의 정지 후, 단시간에, 혹은 정지와 동시에 래터럴 기구(11)의 슬라이드 이동을 개시(開始)시킬 수 있어, 물품(M)의 이재에 요하는 시간을 단축할 수 있다. 특히, 래터럴 기구(11)가 편방향 인출 슬라이드 이동을 채용하고 있는 경우는, 래터럴 기구(11)를 270도의 범위에서 회전시키므로, 본체부(10)의 주행 중에 래터럴 기구(11)의 회전을 실행시킴으로써, 물품(M)의 이재 시간의 단축을 실현할 수 있다.
[0074] 또한, 제어부(50)는, 래터럴 기구(11)에 의한 슬라이드 이동의 방향을 정확히 취득할 필요는 없다. 예컨대, 제어부(50)는, 이재 위치(P16)와 이재처(P)의 좌표로부터 개략적으로 슬라이드 이동의 방향을 산출하고, 그 방향을 향해 래터럴 기구(11)를 회전시켜도 된다. 이 경우라 하더라도, 이재 위치(P16)의 정지 후에 래터럴 기구(11)의 회전 위치의 조정이 단시간에 완료되기 때문에, 물품(M)의 이재에 요하는 시간을 단축할 수 있다. 또한, 제어부(50)는, 본체부(10)가 이재 위치(P16)에 정지했을 때, 래터럴 기구(11)가 슬라이드 이동하는 일직선 방향과 이재처(P)가 평면 뷰에서 겹치도록 래터럴 기구(11)의 회전 위치를 설정해도 된다. 이 구성에서는, 도 13의 (B)에 나타내는 바와 같이, 본체부(10)가 이재 위치(P16)에 도달한 후, 래터럴 기구(11)에 의한 슬라이드 이동(편방향 인출 슬라이드 이동)을 즉시 개시할 수 있어, 본체부(10)가 이재 위치(P16)에 도달하고 나서 물품(M)의 이재 동작을 신속하게 행할 수 있다.
[0075] 이상, 실시형태에 대해 설명하였지만, 본 발명은, 상술한 설명에 한정되지 않고, 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위에 있어서 다양한 변경이 가능하다. 상기한 실시형태에서는, 본체부(10)에 제2 회전 구동부(16, 116)를 구비하는 구성을 예로 들어 설명하고 있지만, 이 구성에 한정되지 않고, 본체부(10)에 제2 회전 구동부(16, 116)를 구비하지 않는 구성이어도 된다. 예컨대, 물품(M)에 지향성(指向性)이 없는 경우(어느 방향에 있어서나 동일한 물품인 경우), 또는, 이재처에 있어서 물품(M)의 방향을 지정하고 있지 않는 경우 등에서는, 제2 회전 구동부(16, 116)를 구비하지 않는 천장 반송차(100)이더라도, 상기한 실시형태와 마찬가지로, 물품(M)의 이재 위치를 용이하게 조정할 수 있다.
[0076] 또한, 상기한 실시형태에서는, 방향 전환 기구(34)가, 본체부(10)에 대해 연결부(30)를 선회축(AX3) 둘레로 회전시킴으로써, 주행 차륜(21)이 제1 궤도(R1)를 주행하는 제1 상태와, 주행 차륜(21)이 제2 궤도(R2)를 주행하는 제2 상태를 전환하는 구성을 예로 들어 설명하였지만, 이 구성에 한정되지 않는다. 예컨대, 제1 궤도(R1)를 주행하는 제1 주행 차륜과, 제2 궤도(R2)를 주행하는 제2 주행 차륜을 별개로 설치해 두고, 본체부(10)의 주행 방향에 따라 제1 주행 차륜과 제2 주행 차륜을 전환하여 사용하는 구성이어도 된다.
[0077] 또한, 상기한 실시형태에서는, 제1 궤도(R1)(제1 방향(D1))와 제2 궤도(R2)(제2 방향(D2))가 직교하는 격자형상 궤도(R)를 예로 들어 설명하고 있지만, 이 구성에 한정되지 않는다. 예컨대, 궤도(R)는, 제1 궤도(R1)와 제2 궤도(R2)가 직교하지 않는 형태여도 된다. 또한, 제1 궤도(R1)와 제2 궤도(R2)가 교차하는 격자형상 궤도(R)인 형태에 한정되지 않고, 궤도(R)로서는, 예컨대, 제1 궤도(R1)의 단부(端部)로부터 절곡된 상태로 제2 궤도(R2)가 배치되는 형태여도 된다. 또한, 법령에서 허용되는 한도 내에서, 일본 특허출원인 일본 특허출원 제2018-203024호, 및 본 명세서에서 인용한 모든 문헌의 내용을 원용하여 본문의 기재의 일부로 한다.
AX1…제1 수직축
AX2…제2 수직축
SYS…천장 반송차 시스템
D1…제1 방향
D2…제2 방향
M…물품
P…이재처
P1, P11, P12, P13, P14, P15, P16…이재 위치
R…궤도
R1…제1 궤도
R2…제2 궤도
R3…접속 궤도
10…본체부
11…래터럴 기구
13…물품 지지부
14…승강 구동부
15…제1 회전 구동부
16, 116…제2 회전 구동부
21…주행 차륜
34…방향 전환 기구
50…제어부
100, 200…천장 반송차

Claims (7)

  1. 제1 방향으로 연장되어 있는 제1 궤도 및 상기 제1 방향과는 다른 제2 방향으로 연장되어 있는 제2 궤도를 포함하는 궤도 상을 굴러서 이동(轉動)하는 주행 차륜과, 상기 궤도의 하방(下方)에 배치되고 상기 주행 차륜에 연결되는 본체부를 갖는 천장 반송차(搬送車)로서,
    상기 궤도에 대한 상기 본체부의 방향이 유지된 상태에서, 상기 주행 차륜이 상기 제1 궤도 상을 굴러서 이동하는 제1 상태와, 상기 제2 궤도 상을 굴러서 이동하는 제2 상태를 전환하는 방향 전환 기구(機構)와,
    물품을 지지할 수 있는 물품 지지부(保持部)와,
    상기 물품 지지부를 승강(昇降)시키는 승강 구동부와,
    상기 승강 구동부를 수평인 일직선 방향으로 슬라이드 이동시키는 래터럴(lateral) 기구와,
    상기 본체부에 대해 상기 래터럴 기구를 제1 수직축 둘레로 회전 구동하는 제1 회전 구동부를 구비하고,
    상기 제1 회전 구동부는, 상기 래터럴 기구를 회전시키는 각도를 조정함으로써 복수의 이재 위치로부터 물품의 주고받기가 가능하며, 상기 천장 반송차가 물품을 향해 접근하는 방향에 따라 상기 복수의 이재 위치 중 어느 하나를 선택하는,
    천장 반송차.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 래터럴 기구에 대해 상기 물품 지지부 또는 상기 승강 구동부를 제2 수직축 둘레로 회전 구동하는 제2 회전 구동부를 구비하는, 천장 반송차.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제2 회전 구동부는, 상기 일직선 방향을 기준으로 하여, 상기 제2 수직축 둘레로 적어도 180도의 범위에서 상기 물품 지지부 또는 상기 승강 구동부를 회전시키는, 천장 반송차.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 궤도는, 상기 제1 방향과 상기 제2 방향이 직교하는 격자형상 궤도이고,
    상기 래터럴 기구는, 상기 승강 구동부를 상기 일직선 방향 중 일방향으로 편방향 인출(片出) 슬라이드 이동시키고,
    상기 제1 회전 구동부는, 상기 제1 방향 또는 상기 제2 방향에 상기 래터럴 기구의 편방향 인출 슬라이드 이동의 방향을 맞춘 상태로부터, 상기 제1 수직축 둘레로 270도의 범위에서 상기 래터럴 기구를 회전시키는, 천장 반송차.
  5. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    이재처(移載處)에 대해 물품의 이재를 행하기 위한 이재 위치로 향하고 있는 동안에, 상기 제1 회전 구동부를 구동하여 상기 래터럴 기구를 제1 수직축 둘레로 회전시키는 제어부를 구비하는, 천장 반송차.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 제어부는, 상기 본체부가 상기 이재 위치에 정지했을 때, 상기 래터럴 기구가 슬라이드 이동하는 상기 일직선 방향과 상기 이재처가 평면 뷰(平面視)에서 겹치도록 상기 래터럴 기구의 회전 위치를 설정하는, 천장 반송차.
  7. 제1 방향으로 연장되어 있는 제1 궤도 및 상기 제1 방향과는 다른 제2 방향으로 연장되어 있는 제2 궤도를 포함하는 궤도와, 상기 궤도를 따라 주행하는 천장 반송차를 구비하는 천장 반송차 시스템으로서,
    상기 천장 반송차는, 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 기재된 천장 반송차인, 천장 반송차 시스템.
KR1020217012924A 2018-10-29 2019-09-24 천장 반송차 및 천장 반송차 시스템 KR102501700B1 (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018203024 2018-10-29
JPJP-P-2018-203024 2018-10-29
PCT/JP2019/037290 WO2020090288A1 (ja) 2018-10-29 2019-09-24 天井搬送車及び天井搬送車システム

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20210069682A KR20210069682A (ko) 2021-06-11
KR102501700B1 true KR102501700B1 (ko) 2023-02-17

Family

ID=70463424

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020217012924A KR102501700B1 (ko) 2018-10-29 2019-09-24 천장 반송차 및 천장 반송차 시스템

Country Status (9)

Country Link
US (1) US11417555B2 (ko)
EP (1) EP3875332B1 (ko)
JP (1) JP7040638B2 (ko)
KR (1) KR102501700B1 (ko)
CN (1) CN113056405A (ko)
IL (1) IL282745B (ko)
SG (1) SG11202104305YA (ko)
TW (1) TWI808275B (ko)
WO (1) WO2020090288A1 (ko)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2021053989A1 (ja) 2019-09-18 2021-03-25 村田機械株式会社 走行車システム
WO2021220582A1 (ja) * 2020-04-27 2021-11-04 村田機械株式会社 天井搬送車及び天井搬送システム
WO2022114241A1 (ja) * 2020-11-30 2022-06-02 パナソニック インテレクチュアル プロパティ コーポレーション オブ アメリカ 荷物運搬装置及び制御方法
KR102499282B1 (ko) * 2020-12-28 2023-02-14 주식회사 케이텍이엔지 도체 이송용 레일의 방향 전환 장치
JP7347695B2 (ja) * 2021-01-05 2023-09-20 村田機械株式会社 天井保管システム
JP7487842B2 (ja) 2021-03-31 2024-05-21 村田機械株式会社 回転機構及び天井搬送車
KR102636976B1 (ko) * 2022-04-05 2024-02-14 시너스텍 주식회사 Oht 장치용 로테이트 유닛
WO2024070299A1 (ja) * 2022-09-29 2024-04-04 村田機械株式会社 天井搬送車
WO2024070303A1 (ja) * 2022-09-29 2024-04-04 村田機械株式会社 天井搬送車
WO2024070298A1 (ja) * 2022-09-29 2024-04-04 村田機械株式会社 有軌道台車システム

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8628289B1 (en) 2003-05-06 2014-01-14 Charles E. Benedict Material handling and storage/warehouse system
WO2018037762A1 (ja) * 2016-08-26 2018-03-01 村田機械株式会社 有軌道台車システム、及び有軌道台車

Family Cites Families (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1111860A (ja) * 1997-06-17 1999-01-19 Shinko Electric Co Ltd 天井搬送装置及び天井搬送車
US6530735B1 (en) * 2000-06-22 2003-03-11 Amkor Technology, Inc. Gripper assembly
JP4831521B2 (ja) * 2002-06-19 2011-12-07 村田機械株式会社 縦型輪状コンベヤ及びオーバーヘッドホイストを基にした半導体製造のためのマテリアルの自動化処理システム
JP2005194009A (ja) * 2004-01-05 2005-07-21 Asyst Shinko Inc 懸垂型搬送台車
JP4702693B2 (ja) 2004-02-12 2011-06-15 ムラテックオートメーション株式会社 搬送台車及び搬送装置
JP4688824B2 (ja) * 2007-01-12 2011-05-25 村田機械株式会社 天井走行車システム及び天井走行車システムの周囲の処理装置の搬出入方法
JP2008280149A (ja) * 2007-05-11 2008-11-20 Asyst Technologies Japan Inc 搬送装置
JP2011029550A (ja) * 2009-07-29 2011-02-10 Muratec Automation Co Ltd 搬送システム及びその設定方法
JP5590422B2 (ja) * 2012-06-13 2014-09-17 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP6007880B2 (ja) * 2013-10-10 2016-10-12 株式会社ダイフク 天井搬送車
JP6052143B2 (ja) * 2013-11-20 2016-12-27 株式会社ダイフク 直動回動装置
KR101829650B1 (ko) * 2014-01-07 2018-02-19 무라다기카이가부시끼가이샤 이동 재치 장치 및 이동 재치 장치의 제어 방법
US9415934B2 (en) * 2014-05-14 2016-08-16 Murata Machinery, Ltd. Transport system and transport method
WO2015194267A1 (ja) * 2014-06-19 2015-12-23 村田機械株式会社 キャリアの搬送システムと搬送方法
MX2017002387A (es) * 2014-08-22 2017-05-17 Bec Companies Inc Sistemas de vias de guias elevadas para manipulacion automatizada de materiales.
JP6304084B2 (ja) * 2015-03-16 2018-04-04 株式会社ダイフク 物品搬送設備及び検査用治具
JP6477439B2 (ja) * 2015-11-17 2019-03-06 株式会社ダイフク 物品搬送設備
GB201521488D0 (en) * 2015-12-06 2016-01-20 Ocado Innovation Ltd Sequencing systems and methods
NO20160118A1 (en) * 2016-01-26 2017-07-27 Autostore Tech As Remotely operated vehicle
JP6614330B2 (ja) * 2016-03-03 2019-12-04 村田機械株式会社 一時保管システム
JP6586936B2 (ja) * 2016-09-21 2019-10-09 株式会社ダイフク 物品搬送設備
WO2018088089A1 (ja) * 2016-11-08 2018-05-17 村田機械株式会社 天井搬送車、及び天井搬送車の制御方法
JP6769336B2 (ja) * 2017-02-23 2020-10-14 株式会社ダイフク 物品搬送車
JP6884343B2 (ja) 2017-06-02 2021-06-09 曙ブレーキ工業株式会社 脱線予兆検知システム、制御装置、脱線予兆検知方法、および脱線予兆検知プログラム
SG11202100868PA (en) * 2018-08-09 2021-03-30 Murata Machinery Ltd Overhead traveling vehicle system

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8628289B1 (en) 2003-05-06 2014-01-14 Charles E. Benedict Material handling and storage/warehouse system
WO2018037762A1 (ja) * 2016-08-26 2018-03-01 村田機械株式会社 有軌道台車システム、及び有軌道台車

Also Published As

Publication number Publication date
US11417555B2 (en) 2022-08-16
CN113056405A (zh) 2021-06-29
EP3875332A4 (en) 2022-07-06
KR20210069682A (ko) 2021-06-11
EP3875332A1 (en) 2021-09-08
IL282745B (en) 2022-06-01
IL282745A (en) 2021-06-30
JP7040638B2 (ja) 2022-03-23
SG11202104305YA (en) 2021-05-28
TW202017787A (zh) 2020-05-16
US20220020621A1 (en) 2022-01-20
WO2020090288A1 (ja) 2020-05-07
TWI808275B (zh) 2023-07-11
JPWO2020090288A1 (ja) 2021-09-30
EP3875332B1 (en) 2023-10-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102501700B1 (ko) 천장 반송차 및 천장 반송차 시스템
JP5316907B2 (ja) 物品搬送設備
KR102206058B1 (ko) 반송 시스템
KR102501698B1 (ko) 천장 주행차, 천장 주행차 시스템, 및 장애물의 검출 방법
US20230118995A1 (en) Overhead carrier and overhead carrying system
TW201943638A (zh) 搬送裝置
CN113165671B (zh) 行驶车系统
KR102451691B1 (ko) 주행차 시스템
CN116419877A (zh) 空中保管系统
WO2024070300A1 (ja) 回転機構及び天井搬送車

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant