JP6007880B2 - 天井搬送車 - Google Patents
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Description
このような天井搬送車において、昇降体の下方に障害物が存在する状態で昇降体を下降移動させた場合、昇降体にて支持されている物品とその下方に存在する障害物とが干渉する虞がある。このため、昇降体の下方の障害物に検出作用するべく、下向きに検出光を放射して障害物を検出する障害物検出部を設けた天井搬送車が知られている(例えば、特許文献1参照)。
特許文献1の天井搬送車では、障害物検出部が、本体部において平面視で搬送対象の物品の存在領域の外方となる箇所に設けられて、直下方に向けて検出作用するように構成されている。そして、当該障害物検出部にて昇降体の下方に障害物が存在することを検出した場合には、当該昇降体の昇降作動を停止させる等の異常対応作動をさせるように構成されている。
そのため、障害物検出部を平面視で天井搬送車の範囲内に位置させる場合は、天井搬送車の平面視の外形が物品の大きさに応じて大きくなってしまう虞がある。
前記物品授受部との間での物品の移載にあたり障害となる障害物に検出作用するべく下向きに検出光又は検出音波を放射して当該障害物を検出する障害物検出部と、前記昇降体の昇降位置を検出する昇降位置検出部と、前記昇降位置検出部の検出情報に基づいて前記昇降体の昇降作動を制御する制御部とが設けられ、前記障害物検出部は、前記搬送用位置に位置する前記昇降体にて支持された物品よりも上方でかつ平面視で当該物品の存在範囲内に位置する箇所において、前記検出光又は前記検出音波の放射方向が当該物品の外側に傾斜する状態で前記本体部に対して固定され、前記制御部は、前記昇降体を前記搬送用位置と前記授受用位置との間で昇降させる場合に、前記昇降体が検出作用範囲に位置する間は前記障害物検出部の検出情報に基づく障害物の有無を判別せず、前記昇降体が検出作用範囲に位置しない間は前記障害物検出部の検出情報に基づく障害物の有無を判別するように構成され、前記検出作用範囲は、前記障害物検出部の前記検出光又は前記検出音波が前記昇降体に支持されている物品に検出作用する範囲に設定されている点に特徴を有する。
障害物検出部は、搬送用位置に位置する昇降体にて支持された物品よりも上方でかつ平面視で当該物品の存在範囲内に位置する箇所において、検出光又は検出音波の放射方向が当該物品の外側に傾斜する状態で設けられるので、昇降体にて大きな物品を支持した場合においても、その物品がある高さ以下の位置にある場合については当該物品が障害物検出部の検出作用範囲から外れることになる。これにより、障害物検出部の検出光又は検出音波は、当該物品に検出作用することなく、障害物が存在する場合には、その障害物に検出作用することになる。
この為、上述のように、昇降体が検出作用範囲に位置する間、障害物検出部の検出情報に基づく障害物の有無を判別しないという制御を行う必要がある。
一方、平面視での存在範囲の外縁が障害物検出部の取付位置よりも内方である小物品については、昇降体が検出作用範囲に位置するときにも、障害物検出部の放射する検出光又は検出音波が当該小物品によって遮られない。したがって、この場合には昇降体が検出作用範囲に位置する間障害物検出部の検出情報に基づく障害物の有無を判別しないという制御を行う必要はない。
そこで、物品識別情報取得部にて取得した物品識別情報に基づいて搬送対象の物品が小物品であると判別した場合には、昇降体が検出作用範囲に位置する間であっても障害物検出部の検出情報に基づく障害物の有無を判別することによって、昇降体にて支持されている物品の寸法に応じてより適切に障害物を検出することが可能な天井搬送車を提供できる。
半導体基板処理設備には、図1に示すように、処理装置3のステーション3Sを経由する状態で走行レール2が天井側に設置され、走行レール2に沿って移動自在な天井搬送車1が設けられている。天井搬送車1は、半導体基板を収納した容器Bを搬送対象の物品として、天井搬送車1が複数の処理装置3の間で容器Bを搬送するように構成されている。例えば、処理装置では、半導体基板の製造途中での半製品等に対して所定の処理を行うように構成されている。走行レール2は、走行レール用ブラケットにより天井部に固定状態で設置されている。
昇降駆動部19は、容器Bが物品授受箇所としてのステーション3Sにおける載置台3Dに支持される位置(授受用位置Pd)と、上記昇降上限位置(搬送用位置Pu)との間で容器を昇降させるべく、昇降体30を昇降移動させる。
ここで、従来の300mmウェハ用の処理設備における天井搬送車1Bを比較例として図3に示す。図3において、符号B1で示すのが300mmウェハ用の容器(以降、小容器B1と称する)である。
天井搬送車1Bにおいては、障害物検知センサS1が、自己の直下方に検出光L1を放射して障害物を検出するようになっている。
また、図3には、450mmウェハ用の容器(以降、大容器B2と称する)を同天井搬送車1Bの昇降体30に支持した状態を二点鎖線で示している。
図3よりわかるように、従来の天井搬送車1Bにおいて大容器B2を搬送しようとすると、障害物検知センサS1の検出光が大容器B2によって遮られ、大容器B2の下方に存在する障害物を検出することができない。
障害物検知センサS1は、図2に示すように、搬送用位置Puに位置する昇降体30にて支持された大容器B2(以降、容器Bとして説明する)よりも上方でかつ平面視で容器Bの存在範囲内に位置する箇所に設けられている。また、図4において鉛直下方に引いた線をL1として、検出光の放射方向が、図4のL2に示すように、容器Bの外側に向けて角度θだけ傾斜する状態で本体部21に対して固定されている。
本実施形態においては、障害物として、本体部21の下方において作業を行う作業者Wを検出するようにしている。
そして、この制御部Hは、ロータリエンコーダS2の検出情報に基づいて、図5(a)に示すように、容器Bの容器本体部Bhの上端が、床Fの上面(以降、床面と称する)から、作業者Wの身長として設定された高さである高さh0以上の高さに位置すると判別した場合は、障害物検知センサS1の検出情報に基づく障害物の有無を判別せず、容器Bの容器本体部Bhの上端が床面から高さh0より低い位置に位置すると判別した場合は、昇降体が検出作用範囲に位置しない間は前記障害物検出部の検出情報に基づく障害物の有無を判別するように構成されている。
すなわち、制御部Hは、昇降体30を搬送用位置Puと授受用位置Pdとの間で昇降させる場合に、昇降体30が検出作用範囲に位置する間は障害物検知センサS1の検出情報に基づく障害物の有無を判別せず、昇降体30が検出作用範囲に位置しない間は障害物検知センサS1の検出情報に基づく障害物の有無を判別するように構成されている。
さらに、制御部Hは、作業者Wの身長として設定された作業者身長高さよりも高く設定された判定基準高さより低い高さに昇降体30が位置している状態であるときに、昇降体30が検出作用範囲に位置すると判別するようになっている。
すなわち、障害物検知センサS1における検出光の放射方向の鉛直線からの傾斜角度θは、昇降体30を下降させるに当たり下方の作業者作業領域Eにおいて作業を行う作業者Wを検出可能な角度として設定されている。
また、上記傾斜角度θは、昇降体30が判定基準高さより低い位置に位置するときに昇降体30が当該検出光の検出範囲に入らない角度として設定されている。本実施形態では、上記判定基準高さは、作業者の身長として設定された作業者身長高さとしている。これにより、昇降体30の下方の作業者作業領域Eにおいて作業を行う作業者Wを適切に検出することが可能となる。
制御部Hは、まず、昇降体30の昇降高さを検出し(ステップ#1)、続いて、昇降体30が検出作用範囲に属するか否かを判別する(ステップ#2)。ステップ#2にて昇降体30が検出作用範囲に属しないと判別すると(ステップ#2:No)、障害物検知センサS1の検知機能をONとし(ステップ#3)、障害物検知センサS1が障害物を検知しなければ(ステップ#4:No)、昇降駆動部19を駆動させ(ステップ#7)、障害物検知センサS1が障害物を検知すれば(ステップ#4:Yes)、昇降駆動部19の駆動を停止させる(ステップ#5)。
ステップ#7の処理を行った場合、引き続きロータリエンコーダS2の検出情報に基づいて昇降体30が目標昇降位置に到達したか否かを判別し(ステップ#8)、目標昇降位置に到達したと判別した場合(ステップ#8:Yes)には、昇降駆動部19の駆動を停止させる(ステップ#5)。また、ステップ#8にて目標昇降位置に到達していないと判別した場合(ステップ#8:No)には、ステップ#1の処理に回帰する。
(1)上記実施形態では、天井搬送車1が、搬送対象の物品として半導体基板を収容する容器Bを搬送するように構成された例を示したが、このような構成に限定されるものではなく、例えば半導体基板を収容する容器Bに代えて、半導体基板へのパターン転写のためのレチクルを収容するレチクル容器を搬送するものであってもよい。また、半導体基板を収容する容器Bとレチクル容器との双方を搬送するように構成してもよい。
この場合、昇降体30により支持した搬送対象の容器Bが小物品としての小容器B1であるか否かを識別する物品識別情報(例えば、上位管理装置Huからの搬送指令情報や、容器Bに取り付けられたRFIDに記憶された情報等)を取得する物品識別情報取得部(物品識別情報が上位管理装置Huからの搬送指令情報の場合には制御部Hの通信モジュール等が相当、物品識別情報がRFIDの場合には無線読取装置等が相当)を設け、制御部Hが、物品識別情報取得部にて取得した物品識別情報に基づいて、搬送対象の容器Bが小容器B1であると判別した場合には、昇降体30が検出作用範囲に位置する間であっても障害物検知センサS1の検出情報に基づく障害物の有無を判別するように構成してもよい。
2 走行レール
21 本体部
30 昇降体
50 走行部
B 物品
B1 小物品
E 作業者作業領域
H 制御部
L1 検出光
Pd 授受用位置
Pu 搬送用位置
S1 障害物検出部
W 障害物
Claims (4)
- 天井から吊下げられた走行レールに沿って走行自在な走行部と、前記走行部から吊下げ支持されて前記走行部と一体走行する本体部と、搬送対象の物品を支持自在でかつ前記本体部の内部に位置する搬送用位置と前記本体部より下方の授受用位置との間で前記本体部に対して昇降自在な昇降体とを備えて、前記搬送用位置に位置する前記昇降体にて物品を支持した状態で前記走行部の走行作動により走行レールに沿って物品を搬送し、前記搬送用位置と前記授受用位置との間での前記昇降体の昇降作動により物品授受箇所との間で物品を移載自在な天井搬送車であって、
前記物品授受箇所との間での物品の移載にあたり障害となる障害物に検出作用するべく下向きに検出光又は検出音波を放射して当該障害物を検出する障害物検出部と、
前記昇降体の昇降位置を検出する昇降位置検出部と、
前記昇降位置検出部の検出情報に基づいて前記昇降体の昇降作動を制御する制御部とが設けられ、
前記障害物検出部は、前記搬送用位置に位置する前記昇降体にて支持された物品よりも上方でかつ平面視で当該物品の存在範囲内に位置する箇所において、前記検出光又は前記検出音波の放射方向が当該物品の外側に傾斜する状態で前記本体部に対して固定され、
前記制御部は、前記昇降体を前記搬送用位置と前記授受用位置との間で昇降させる場合に、前記昇降体が検出作用範囲に位置する間は前記障害物検出部の検出情報に基づく障害物の有無を判別せず、前記昇降体が検出作用範囲に位置しない間は前記障害物検出部の検出情報に基づく障害物の有無を判別するように構成され、
前記検出作用範囲は、前記障害物検出部の前記検出光又は前記検出音波が前記昇降体に支持されている物品に検出作用する範囲に設定されている天井搬送車。 - 前記障害物が前記本体部の下方において作業を行う作業者であり、
前記走行レールと直交する前記走行部の横幅方向で前記物品授受箇所の一方側に前記作業者による作業が行われる作業者作業領域が設定され、他方側に前記作業者による作業が行われない作業者非作業領域が設定され、
前記障害物検出部が、前記走行部の横幅方向において前記作業者作業領域側に偏位して配設されている請求項1に記載の天井搬送車。 - 前記障害物が前記本体部の下方において作業を行う作業者であり、
前記制御部が、前記作業者の身長として設定された作業者身長高さよりも高く設定された判定基準高さより高い高さに前記昇降体が位置している状態であるときに、前記昇降体が検出作用範囲に位置すると判別する請求項1又は2に記載の天井搬送車。 - 前記搬送対象の物品は、平面視での存在範囲の外縁が前記障害物検出部の取付位置よりも内方である小物品を含み、
前記昇降体により支持した前記搬送対象の物品が前記小物品であるか否かを識別する物品識別情報を取得する物品識別情報取得部が設けられ、
前記制御部が、前記物品識別情報取得部にて取得した前記物品識別情報に基づいて、前記搬送対象の物品が小物品であると判別した場合には、前記昇降体が検出作用範囲に位置する間であっても前記障害物検出部の検出情報に基づく障害物の有無を判別するように構成されている請求項1〜3の何れか1項に記載の天井搬送車。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013213059A JP6007880B2 (ja) | 2013-10-10 | 2013-10-10 | 天井搬送車 |
CN201480055679.2A CN105593142B (zh) | 2013-10-10 | 2014-10-06 | 顶棚输送车 |
PCT/JP2014/076679 WO2015053214A1 (ja) | 2013-10-10 | 2014-10-06 | 天井搬送車(ceiling transport vehicle) |
KR1020167008870A KR102214427B1 (ko) | 2013-10-10 | 2014-10-06 | 천정 반송차 |
US15/028,037 US10083847B2 (en) | 2013-10-10 | 2014-10-06 | Ceiling transport vehicle |
SG11201602623WA SG11201602623WA (en) | 2013-10-10 | 2014-10-06 | Ceiling transport vehicle |
TW103135183A TWI630165B (zh) | 2013-10-10 | 2014-10-09 | 天花板搬送車 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013213059A JP6007880B2 (ja) | 2013-10-10 | 2013-10-10 | 天井搬送車 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015074547A JP2015074547A (ja) | 2015-04-20 |
JP6007880B2 true JP6007880B2 (ja) | 2016-10-12 |
Family
ID=52813030
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013213059A Active JP6007880B2 (ja) | 2013-10-10 | 2013-10-10 | 天井搬送車 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10083847B2 (ja) |
JP (1) | JP6007880B2 (ja) |
KR (1) | KR102214427B1 (ja) |
CN (1) | CN105593142B (ja) |
SG (1) | SG11201602623WA (ja) |
TW (1) | TWI630165B (ja) |
WO (1) | WO2015053214A1 (ja) |
Families Citing this family (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015194266A1 (ja) * | 2014-06-19 | 2015-12-23 | 村田機械株式会社 | キャリアの一時保管装置と保管方法 |
JP6358142B2 (ja) * | 2015-03-26 | 2018-07-18 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
JP6330714B2 (ja) * | 2015-04-09 | 2018-05-30 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備及び物品搬送設備の保守作業方法 |
JP6304122B2 (ja) * | 2015-05-13 | 2018-04-04 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
CA3018438C (en) * | 2015-10-08 | 2024-01-30 | Verton Technologies Australia Pty Ltd | Materials management systems and methods |
JP6617832B2 (ja) * | 2016-05-20 | 2019-12-11 | 村田機械株式会社 | 搬送車及び搬送方法 |
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-
2013
- 2013-10-10 JP JP2013213059A patent/JP6007880B2/ja active Active
-
2014
- 2014-10-06 CN CN201480055679.2A patent/CN105593142B/zh active Active
- 2014-10-06 KR KR1020167008870A patent/KR102214427B1/ko active IP Right Grant
- 2014-10-06 WO PCT/JP2014/076679 patent/WO2015053214A1/ja active Application Filing
- 2014-10-06 SG SG11201602623WA patent/SG11201602623WA/en unknown
- 2014-10-06 US US15/028,037 patent/US10083847B2/en active Active
- 2014-10-09 TW TW103135183A patent/TWI630165B/zh active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN105593142B (zh) | 2018-01-30 |
CN105593142A (zh) | 2016-05-18 |
JP2015074547A (ja) | 2015-04-20 |
KR20160067850A (ko) | 2016-06-14 |
WO2015053214A1 (ja) | 2015-04-16 |
US10083847B2 (en) | 2018-09-25 |
SG11201602623WA (en) | 2016-05-30 |
TW201529463A (zh) | 2015-08-01 |
US20160240417A1 (en) | 2016-08-18 |
TWI630165B (zh) | 2018-07-21 |
KR102214427B1 (ko) | 2021-02-08 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20151120 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160816 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160829 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |