KR20160067850A - 천정 반송차 - Google Patents

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Abstract

큰 물품을 반송 대상으로 하는 경우라도, 천정 반송차의 대형화를 억제하면서, 승강체의 하방의 장애물을 적절히 검출 가능한 천정 반송차를 실현한다. 장애물 검출부(S1)가, 반송용 위치에 위치하는 승강체(30)에 지지된 물품(B)보다 상방이면서 또한 평면에서 볼 때 물품(B)의 존재 범위 내에 위치하는 개소에, 검출 광 등의 방사 방향이 물품(B)의 외측으로 경사지는 상태로 본체부(21)에 대하여 고정된다. 제어부가, 승강체(30)를 반송용 위치와 수수용 위치(Pd)와의 사이에서 승강시키는 경우에, 승강체(30)가 대상 범위에 위치하는 동안은 장애물 검출부(S1)의 검출 정보에 따른 장애물(W)의 유무를 판별하지 않고, 대상 범위에 위치하지 않는 동안에는 장애물(W)의 유무를 판별하도록 구성된다. 장애물 검출부(S1)의 검출 광 등이 승강체(30)에 지지되어 있는 물품(B)에 검출 작용하는 범위를 검출 작용 범위로 하여, 대상 범위가 검출 작용 범위를 포함하도록 설정되어 있다.

Description

천정 반송차{CEILING TRANSPORT VEHICLE}
본 발명은, 천정으로부터 현수(懸垂)된 주행 레일을 따라 주행 가능한 주행부와, 상기 주행부로부터 현수 지지되어 상기 주행부와 일체로 주행하는 본체부와, 반송(搬送) 대상의 물품을 지지 가능하고 또한 상기 본체부의 내부에 위치하는 반송용 위치와 상기 본체부보다 하방의 수수용(授受用) 위치와의 사이에서 상기 본체부에 대하여 승강 가능한 승강체를 구비하여, 상기 반송용 위치에 위치하는 상기 승강체에 의해 물품을 지지한 상태로 상기 주행부의 주행 작동에 의해 주행 레일을 따라 물품을 반송하고, 상기 반송용 위치와 상기 수수용 위치와의 사이에서의 상기 승강체의 승강 작동에 의해 물품 수수 개소(箇所)와의 사이에서 물품을 이송탑재(移載; transfer) 가능한 천정 반송차(ceiling transport vehicle)에 관한 것이다.
상기와 같은 천정 반송차는, 승강체에 의해 지지하여 반송용 위치에 위치하는 물품을 수수용 위치로 하강시키는 내려놓는 동작이나 수수용 위치에 위치하는 반송 대상의 물품을 반송하기 위해 승강체에 의해 지지하고 반송용 위치까지 상승시키는 들어올리는 동작을 행하도록 구성되어 있다.
이와 같은 천정 반송차에 있어서, 승강체의 하방에 장애물이 존재하는 상태로 승강체를 하강 이동시킨 경우, 승강체에 의해 지지되어 있는 물품과 그 하방에 존재하는 장애물이 간섭할 우려가 있다. 그러므로, 승강체의 하방의 장애물에 검출 작용할 수 있도록, 하방향으로 검출 광을 방사(放射)하여 장애물을 검출하는 장애물 검출부를 설치한 천정 반송차가 알려져 있다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조).
특허 문헌 1의 천정 반송차에서는, 장애물 검출부가, 본체부에 있어서 평면에서 볼 때 반송 대상인 물품의 존재 영역의 외측으로 되는 개소에 설치되어, 바로 아래 쪽을 향해 검출 작용하도록 구성되어 있다. 그리고, 상기 장애물 검출부에 의해 승강체의 하방에 장애물이 존재하는 것을 검출한 경우에는, 상기 승강체의 승강 작동을 정지시키는 등의 이상(異常) 대응 작동을 시키도록 구성되어 있다.
일본 특허 제3371897호 공보
그러나, 특허 문헌 1의 천정 반송차에서의 장애물 검출부의 설치 위치는, 평면에서 볼 때 물품의 존재 영역의 외측에 위치하고 있으므로, 반송 대상의 물품이 대형화되면 장애물 검출부의 설치 위치는 물품의 평면에서 볼 때의 크기에 따라 평면에서 볼 때 차체의 중심으로부터 멀어지게 된다.
그러므로, 장애물 검출부를 평면에서 볼 때 천정 반송차의 범위 내에 위치시키는 경우에는, 천정 반송차의 평면에서 볼 때의 외형이 물품의 크기에 따라 커져 버릴 우려가 있다.
그래서, 큰 물품을 반송 대상으로 하는 경우라도, 천정 반송차의 대형화를 억제하면서, 승강체의 하방의 장애물을 적절히 검출 가능한 천정 반송차의 실현이 요구된다.
상기 문제점을 해결하기 위한 본 발명에 관한 천정 반송차는, 천정으로부터 현수된 주행 레일을 따라 주행 가능한 주행부와, 상기 주행부로부터 현수 지지되어 상기 주행부와 일체로 주행하는 본체부와, 반송 대상의 물품을 지지 가능하고 또한 상기 본체부의 내부에 위치하는 반송용 위치와 상기 본체부보다 하방의 수수용 위치와의 사이에서 상기 본체부에 대하여 승강 가능한 승강체를 구비하여, 상기 반송용 위치에 위치하는 상기 승강체에 의해 물품을 지지한 상태로 상기 주행부의 주행 작동에 의해 주행 레일을 따라 물품을 반송하고, 상기 반송용 위치와 상기 수수용 위치와의 사이에서의 상기 승강체의 승강 작동에 의해 물품 수수 개소와의 사이에서 물품을 이송탑재 가능한 천정 반송차로서,
상기 물품 수수 개소와의 사이에서의 물품의 이송탑재에 있어서 장애로 되는 장애물에 검출 작용할 수 있도록 하방향으로 검출 광 또는 검출 음파를 방사하여 상기 장애물을 검출하는 장애물 검출부와, 상기 승강체의 승강 위치를 검출하는 승강 위치 검출부와, 상기 승강 위치 검출부의 검출 정보에 기초하여 상기 승강체의 승강 작동을 제어하는 제어부가 설치되고, 상기 장애물 검출부는, 상기 반송용 위치에 위치하는 상기 승강체에 의해 지지된 물품보다 상방이면서 또한 평면에서 볼 때 상기 물품의 존재 범위 내에 위치하는 개소에 있어서, 상기 검출 광 또는 상기 검출 음파의 방사 방향이 상기 물품의 외측으로 경사지는 상태로 상기 본체부에 대하여 고정되고, 상기 제어부는, 상기 승강체를 상기 반송용 위치와 상기 수수용 위치와의 사이에서 승강시키는 경우에, 상기 승강체가 대상 범위에 위치하는 동안은 상기 장애물 검출부의 검출 정보에 따른 장애물의 유무를 판별하지 않고, 상기 승강체가 상기 대상 범위에 위치하지 않는 동안에는 상기 장애물 검출부의 검출 정보에 따른 장애물의 유무를 판별하도록 구성되며, 상기 장애물 검출부의 상기 검출 광 또는 상기 검출 음파가 상기 승강체에 지지되어 있는 물품에 검출 작용하는 범위를 검출 작용 범위로 하여, 상기 대상 범위는 상기 검출 작용 범위를 포함하도록 설정되어 있는 점에 특징을 가진다.
즉, 천정 반송차에는, 승강체를 하강시키는 경우에 상기 승강체의 하방에 존재하는 장애물을 검출하기 위한 장애물 검출부가, 본체부에 고정되어 설치되어 있다.
장애물 검출부는, 반송용 위치에 위치하는 승강체에 의해 지지된 물품보다 상방이면서 또한 평면에서 볼 때 상기 물품의 존재 범위 내에 위치하는 개소에 있어서, 검출 광 또는 검출 음파의 방사 방향이 상기 물품의 외측으로 경사지는 상태로 설치되므로, 승강체에 의해 큰 물품을 지지한 경우에도, 그 물품이 있는 높이 이하의 위치에 있는 경우에 대해서는 상기 물품이 장애물 검출부의 검출 작용 범위로부터 벗어나게 된다. 이로써, 장애물 검출부의 검출 광 또는 검출 음파는, 상기 물품에 검출 작용하지 않고, 장애물이 존재하는 경우에는, 그 장애물에 검출 작용하게 된다.
그래서, 승강체를 반송용 위치와 수수용 위치와의 사이에서 승강시키는 경우에, 장애물 검출부의 검출 광 또는 검출 음파가 승강체에 지지되어 있는 물품에 검출 작용하는 범위를 검출 작용 범위로 하여, 승강체가 상기 검출 작용 범위를 포함하도록 설정되는 대상 범위에 위치하는 동안은 장애물 검출부의 검출 정보에 따른 장애물의 유무를 판별하지 않고, 승강체가 대상 범위에 위치하지 않는 동안에는 장애물 검출부의 검출 정보에 따른 장애물의 유무를 판별하도록 구성함으로써, 장애물 검출부가 물품을 장애물로서 검출하여 버리는 사태를 피하면서, 승강체의 하방의 장애물을 적절히 검출할 수 있다.
또한, 장애물 검출부는, 반송용 위치에 위치하는 승강체에 의해 지지된 물품보다 평면에서 볼 때 상기 물품의 존재 범위 내에 위치하는 개소에 설치되므로, 천정 반송차의 평면에서 볼 때의 크기가 대형화되는 것을 억제할 수 있다.
이와 같이, 큰 물품을 반송 대상으로 하는 경우라도, 천정 반송차의 대형화를 억제하면서, 승강체의 하방의 장애물을 적절히 검출 가능한 천정 반송차를 실현할 수 있게 되었다.
이하, 본 발명에 관한 천정 반송차의 바람직한 실시형태의 예에 대하여 설명한다.
본 발명에 관한 천정 반송차 실시형태에 있어서는, 상기 장애물이 상기 본체부의 하방에서 작업을 행하는 작업자이며, 상기 주행 레일과 직교하는 상기 주행부의 가로 폭 방향에서 상기 물품 수수 개소의 한쪽 측에 상기 작업자에 의한 작업이 행해지는 작업자 작업 영역이 설정되고, 다른 쪽 측에 상기 작업자에 의한 작업이 행해지지 않는 작업자 비작업 영역이 설정되고, 상기 장애물 검출부가, 상기 주행부의 가로 폭 방향에 있어서 상기 작업자 작업 영역 측으로 편위(偏位)되어 설치되어 있는 것이 바람직하다.
즉, 장애물 검출부가, 주행 레일과 직교하는 주행부의 가로 폭 방향에 있어서, 작업자 작업 영역과 작업자 비작업 영역 측 중 작업자 작업 영역에 근접하여 설치되므로, 본체부의 하방으로 되는 물품 수수 개소의 주변에 있어서 작업을 행하는 작업자를 적절히 검출할 수 있다.
본 발명에 관한 천정 반송차 실시형태에 있어서는, 상기 대상 범위의 하한값이, 상기 장애물의 높이로서 설정되는 장애물 높이보다도, 높게 설정되는 판정 기준 높이이며, 상기 제어부는, 상기 판정 기준 높이보다 높은 높이에 상기 승강체가 위치하고 있는 것을 조건으로, 상기 승강체가 상기 대상 범위에 위치하는 것으로 판별하는 것이 바람직하다.
즉, 제어부가, 장애물 높이보다 높게 설정되는 판정 기준 높이보다도, 높은 높이에 승강체가 위치하고 있는 것을 조건으로, 승강체가 대상 범위에 위치하는 것으로 판별함으로써, 장애물이 존재할 가능성이 있는 높이에 승강체가 위치하는 동안은 장애물 검출부의 검출 정보에 기초하여 장애물의 유무를 판별할 수 있다. 그러므로, 장애물을 적절히 검출할 수 있다.
본 발명에 관한 천정 반송차 실시형태에 있어서는, 상기 장애물이 상기 본체부의 하방에서 작업을 행하는 작업자이며, 상기 장애물 높이가, 상기 작업자의 신장으로서 설정되는 작업자 신장 높이인 것이 바람직하다.
즉, 장애물 높이가, 본체부의 하방으로 되는 물품 수수 개소의 주변에 있어서 작업을 행하는 작업자의 신장으로서 설정되는 작업자 신장 높이이므로, 바닥면을 보행하는 등하여 작업을 하고 있는 작업자가 존재할 가능성이 있는 높이에 승강체가 위치하는 동안은, 장애물 검출부의 검출 정보에 따른 장애물의 유무를 판별할 수 있다. 그러므로, 물품 수수 개소에 있어서 작업을 행하는 작업자를 적절히 검출할 수 있다.
본 발명에 관한 천정 반송차 실시형태에 있어서는, 상기 판정 기준 높이가, 상기 장애물 높이보다도, 상기 승강체에 의해 지지되는 물품의 높이 이상 높게 설정되는 것이 바람직하다.
즉, 판정 기준 높이가, 장애물 높이보다도, 승강체에 의해 지지되는 물품의 높이 이상 높게 설정되므로, 물품의 높이를 적절히 고려하여, 승강체에 의해 지지되어 있는 물품과, 그 하방에 존재하는 장애물과의 간섭을 억제할 수 있다.
본 발명에 관한 천정 반송차 실시형태에 있어서는, 상기 반송 대상의 물품은, 평면에서 볼 때의 존재 범위의 외측 에지가 상기 장애물 검출부의 장착 위치보다 내측인 소물품을 포함하고, 상기 승강체에 의해 지지된 상기 반송 대상의 물품이 상기 소물품인지의 여부를 식별하는 물품 식별 정보를 취득하는 물품 식별 정보 취득부가 설치되고, 상기 제어부가, 상기 물품 식별 정보 취득부에 의해 취득한 상기 물품 식별 정보에 기초하여, 상기 반송 대상의 물품이 소물품인 것으로 판별한 경우에는, 상기 승강체가 상기 대상 범위에 위치하는 동안이라도 상기 장애물 검출부의 검출 정보에 따른 장애물의 유무를 판별하도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.
즉, 소물품이 아닌 물품, 즉 평면에서 볼 때의 존재 범위의 외측 에지가 장애물 검출부의 장착 위치보다 외측인 물품에 대해서는, 전술한 바와 같이, 승강체가 검출 작용 범위에 위치하는 동안은 장애물 검출부가 방사하는 검출 광 또는 검출 음파가 상기 물품에 의해 차단된다.
그러므로, 전술한 바와 같이, 승강체가 검출 작용 범위를 포함하도록 설정되는 대상 범위에 위치하는 동안, 장애물 검출부의 검출 정보에 따른 장애물의 유무를 판별하지 않는다는 제어를 행할 필요가 있다.
한편, 평면에서 볼 때의 존재 범위의 외측 에지가 장애물 검출부의 장착 위치보다 내측인 소물품에 대해서는, 승강체가 대상 범위에 위치할 때도, 장애물 검출부가 방사하는 검출 광 또는 검출 음파가 상기 소물품에 의해 차단되지 않는다. 따라서, 이 경우에는 승강체가 대상 범위에 위치하는 동안 장애물 검출부의 검출 정보에 따른 장애물의 유무를 판별하지 않는다는 제어를 행할 필요는 없다.
그래서, 물품 식별 정보 취득부에 의해 취득한 물품 식별 정보에 기초하여 반송 대상의 물품이 소물품인 것으로 판별한 경우에는, 승강체가 대상 범위에 위치하는 동안이라도 장애물 검출부의 검출 정보에 따른 장애물의 유무를 판별함으로써, 승강체에 의해 지지되어 있는 물품의 치수에 따라 보다 적절하게 장애물을 검출할 수 있는 천정 반송차를 제공할 수 있다.
도 1은 실시형태의 천정 반송차 및 그것이 구비되는 반도체 기판 처리 설비의 입면도
도 2는 천정 반송차의 일부 절결(切缺) 정면도
도 3은 종래의 장애물 검출부를 구비한 천정 반송차에서의 소물품 및 대물품과 검출 광과의 관계를 나타낸 도면
도 4는 본 실시형태의 천정 반송차에서의 장애물 검출부의 검출 광 방사 방향을 나타낸 도면
도 5는 물품을 승강시켰을 때에 있어서의 장애물 검출부의 검출 광과 물품과의 관계를 나타낸 도면
도 6은 제어 블록도
도 7은 제어부가 실행하는 제어를 나타낸 플로우차트
도 8은 다른 실시형태의 천정 반송차 및 그것이 구비되는 반도체 기판 처리 설비의 입면도
도 9는 판정 기준 높이의 별개의 설정예를 나타낸 도면
본 발명의 천정 반송차를 반도체 기판 처리 설비에 적용한 경우에 대하여, 도면을 참조하여 설명한다.
반도체 기판 처리 설비에는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 처리 장치(3)의 스테이션(3S)을 경유하는 상태로 주행 레일(2)이 천정측에 설치되고, 주행 레일(2)을 따라 이동 가능한 천정 반송차(1)가 설치되어 있다. 천정 반송차(1)는, 반도체 기판을 수납한 용기(B)를 반송 대상의 물품으로서, 천정 반송차(1)가 복수의 처리 장치(3)의 사이에서 용기(B)를 반송하도록 구성되어 있다. 예를 들면, 처리 장치에서는, 반도체 기판의 제조 도중에서의 반제품 등에 대하여 소정의 처리를 행하도록 구성되어 있다. 주행 레일(2)은, 주행 레일용 브래킷(bracket)에 의해 천정부에 고정 상태로 설치되어 있다.
천정 반송차(1)는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 주행 레일(2) 상을 전동(轉動)하는 한 쌍의 주행 차륜(52)과 상기 한 쌍의 주행 차륜(52)을 구동하는 주행 구동부(51)를 구비한 주행부(50)와, 주행부(50)에 현수된 상태로 지지된 본체부(21)와, 용기(B)의 플랜지부(Bf)를 현수한 상태로 파지하는 파지부(把持部)(32)를 구비하여 승강 구동부(19)에 의해 승강 구동되는 승강체(30)와, 본체부(21)의 상부에 고정되어 승강체(30)를 승강 구동하는 승강 구동부(19)를 구비하여 구성되어 있다. 승강 구동부(19)는, 일단이 승강체(30)에 접속된 와이어(19a)가 감겨져 걸쳐지는 와이어 권취 드럼과 드럼 구동용 모터를 구비하고, 드럼 구동용 모터를 정회전시켜 와이어(19a)를 권취함으로써 승강체(30)를 상승시켜, 드럼 구동용 모터를 역회전시켜 와이어(19a)를 송출함으로써 승강체(30)를 하강시킬 수 있도록 되어 있다. 승강 구동부(19)에서의 드럼 구동용 모터의 근방에는, 드럼 구동용 모터의 회전수를 검출함으로써 승강체(30)의 승강 위치를 검출하는 승강 위치 검출부로서의 로터리 인코더(S2)가 설치되어 있다.
본체부는 본체 커버(C)로 덮혀 있고, 승강체(30)가 승강 상한 위치에 위치할 때, 상기 승강체(30) 및 그에 지지되는 용기(B)가 측면에서 볼 때 상기 본체 커버(C)의 내부에 위치하게 되어 있다. 또한, 본체 커버(C)는, 평면에서 볼 때 주행부(50)의 주행 방향에 직교하는 가로 폭 방향의 양측이 개구되어 있다.
승강 구동부(19)는, 용기(B)가 물품 수수 개소로서의 스테이션(3S)에서의 탑재대(3D)에 지지되는 위치(수수용 위치 Pd)와, 상기 승강 상한 위치(반송용 위치 Pu)와의 사이에서 용기를 승강시키기 위해, 승강체(30)를 승강 이동시킨다.
즉, 천정 반송차(1)는, 천정으로부터 현수된 주행 레일(2)을 따라 주행 가능한 주행부(50)와, 주행부(50)로부터 현수 지지되어 주행부(50)와 일체로 주행하는 본체부(21)와, 반송 대상의 용기(B)를 지지 가능하고, 또한 본체부(21)의 내부에 위치하는 반송용 위치 Pu와 본체부(21)보다 하방의 수수용 위치 Pd와의 사이에서 본체부(21)에 대하여 승강 가능한 승강체(30)를 구비하여, 반송용 위치 Pu에 위치하는 승강체(30)에 의해 용기(B)를 지지한 상태로 주행부(50)의 주행 작동에 의해 주행 레일(2)을 따라 용기(B)를 반송하고, 반송용 위치 Pu와 수수용 위치 Pd 사이에서의 승강체(30)의 승강 작동에 의해 탑재대(3D)와의 사이에서 용기(B)를 이송탑재 가능하게 구성되어 있다.
본 실시형태에 있어서의 반도체 기판 처리 설비에서는, 450㎜ 웨이퍼를 처리 가능하게 구성되어 있다. 그러나, 종전의 300㎜ 웨이퍼용의 처리 설비의 레이아웃(layout)을 변경하면 설비의 갱신 비용의 상승을 초래하므로, 설비 레이아웃이나 천정 반송차(1)의 설계를 300㎜ 웨이퍼용의 처리 설비와 공통화시키고 있다.
여기서, 종래의 300㎜ 웨이퍼용의 처리 설비에서의 천정 반송차(1B)를 비교예로서 도 3에 나타낸다. 도 3에 있어서, 부호 B1으로 나타낸 것이 300㎜ 웨이퍼용의 용기[이후, 소용기(B1)라고 함]이다.
천정 반송차(1B)에 있어서는, 장애물 검지 센서(S1)가, 자체의 바로 아래 쪽으로 검출 광(L1)을 방사하여 장애물을 검출하게 되어 있다.
또한, 도 3에는, 450㎜ 웨이퍼용의 용기[이후, 대용기(B2)라고 함]를 동 천정 반송차(1B)의 승강체(30)에 지지한 상태를 2점 쇄선으로 나타내고 있다.
도 3으로부터 알 수 있는 바와 같이, 종래의 천정 반송차(1B)에 있어서 대용기(B2)를 반송하도록 하면, 장애물 검지 센서(S1)의 검출 광이 대용기(B2)에 의해 차단되어, 대용기(B2)의 하방에 존재하는 장애물을 검출할 수 없다.
그래서, 본 실시형태에서는, 도 1 및 도 4, 도 5에 나타낸 바와 같이, 승강 구동부(19)의 가로측부이며 또한 본체 커버(C)의 내측에, 탑재대(3D) 사이에서의 용기(B)의 이송탑재에 있어서 장애로 되는 장애물에 검출 작용할 수 있도록 하방향으로 검출 광을 방사하여 상기 장애물을 검출하는 장애물 검출부로서의 장애물 검지 센서(S1)를 설치하고 있다.
장애물 검지 센서(S1)는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 반송용 위치 Pu에 위치하는 승강체(30)에 의해 지지된 대용기(B2)[이후, 용기(B)로서 설명함]보다 상방이면서 또한 평면에서 볼 때 용기(B)의 존재 범위 내에 위치하는 개소에 설치되어 있다. 장애물 검지 센서(S1)의 설치 개소는, 평면에서 볼 때 승강체(30)의 존재 범위 밖에 위치하고 있다. 또한, 도 4에 있어서 연직(沿直) 하방으로 인출한 선을 L1으로 하여, 검출 광의 방사 방향이, 도 4의 L2로 나타낸 바와 같이, 용기(B)의 외측을 향해 각도 θ만큼 경사지는 상태로 본체부(21)에 대하여 고정되어 있다.
본 실시형태에 있어서는, 장애물로서, 본체부(21)의 하방에서 작업을 행하는 작업자(W)를 검출하도록 하고 있다.
또한, 본 실시형태에 있어서는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 주행 레일(2)과 직교하는 주행부(50)의 가로 폭 방향에서 스테이션(3S)의 한쪽 측에 작업자(W)에 의한 작업이 행해지는 작업자 작업 영역(E)이 설정되고, 다른 쪽 측에 작업자(W)에 의한 작업이 행해지지 않는 작업자 비작업 영역이 설정되고, 장애물 검지 센서(S1)가, 주행부(50)의 가로 폭 방향에 있어서 작업자 작업 영역(E) 측으로 편위되어 설치되어 있다.
도 6에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태의 천정 반송차(1)의 작동을 제어하는 제어부(H)가 본체부(21)에 장비되어 있다. 제어부(H)에는, 주행 구동부(51), 승강 구동부(19), 장애물 검지 센서(장애물 검출부)(S1), 로터리 인코더(승강 위치 검출부)(S2), 및 상기 제어부(H)에 용기(B)의 반송을 지령하는 상위 관리 장치(H2)가 통신 가능하게 접속되어 있다. 제어부(H)는, 장애물 검지 센서(S1) 및 로터리 인코더(S2)의 검출 정보를 입력 가능하게 구성되는 동시에, 주행 구동부(51) 및 승강 구동부(19)의 작동을 제어하게 되어 있다.
제어부(H)는, 로터리 인코더(S2)의 검출 정보에 기초하여 승강 구동부(19)의 작동을 제어함으로써 승강체(30)의 승강 작동을 제어하게 되어 있다.
그리고, 이 제어부(H)는, 로터리 인코더(S2)의 검출 정보에 기초하여, 도 5의 (a)에 나타낸 바와 같이, 용기(B)의 용기 본체부(Bh)의 상단(上端)이, 바닥(F)의 상면(이후, 바닥면이라고 함)으로부터 높이 h0 이상의 높이에 위치하는 것으로 판별한 경우에는, 장애물 검지 센서(S1)의 검출 정보에 따른 장애물의 유무를 판별하지 않고, 용기(B)의 용기 본체부(Bh)의 상단이 바닥면으로부터 높이 h0보다 낮은 위치에 위치하는 것으로 판별한 경우에는, 상기 장애물 검출부의 검출 정보에 따른 장애물의 유무를 판별하도록 구성되어 있다. 그리고, 높이 h0는, 장애물의 높이로서 설정되는 장애물 높이보다도, 높게 설정된다. 장애물 높이는, 예를 들면, 상정하고 있는 장애물의 최대 높이나, 장애물의 표준적인 높이(상정하고 있는 장애물의 높이의 평균값 등) 등으로 설정된다. 본 실시형태에서는 장애물이 작업자(W)이므로, 장애물 높이는, 작업자(W)의 신장으로서 설정되는 작업자 신장 높이이다.
여기서, 높이 h0가 판정 기준 높이에 상당하고, 승강체(30)의 승강 위치가 반송용 위치 Pu로 되는 위치로부터 용기(B)의 용기 본체부(Bh)의 상단이 바닥면으로부터 높이 h0로 되는 위치의 사이인 범위가 대상 범위에 상당한다. 본 실시형태에서는, 도 5의 (a)에 나타낸 바와 같이, 높이 h0는, 장애물 검지 센서(S1)의 검출 광이 용기(B)에 검출 작용하는 하한의 높이이다. 즉, 장애물 검지 센서(S1)의 검출 광이 승강체(30)에 지지되어 있는 용기(B)에 검출 작용하는 범위를 검출 작용 범위라고 하면, 높이 h0는, 검출 작용 범위의 하한값으로 설정되어 있다. 따라서, 검출 작용 범위를 포함하도록 설정되는 대상 범위는, 본 실시형태에서는, 검출 작용 범위와 동일한 범위로 설정되어 있다. 그리고, 여기서는, 승강체(30)에 의해 지지되어 있는 용기(B)의 용기 본체부(Bh)의 상단의 위치를 승강체(30)의 승강 위치로 하여, 높이 h0를 정의하고 있지만, 파지부(32)의 위치나 승강체(30)의 본체부(31)[파지부(32)를 지지하는 부분]의 위치 등을 승강체(30)의 승강 위치로 하여, 높이 h0를 정의해도 된다.
즉, 제어부(H)는, 승강체(30)를 반송용 위치 Pu와 수수용 위치 Pd와의 사이에서 승강시키는 경우에, 승강체(30)가 대상 범위에 위치하는 동안은 장애물 검지 센서(S1)의 검출 정보에 따른 장애물의 유무를 판별하지 않고, 승강체(30)가 대상 범위에 위치하지 않는 동안에는 장애물 검지 센서(S1)의 검출 정보에 따른 장애물의 유무를 판별하도록 구성되어 있다.
승강체(30)의 승강 위치가 검출 작용 범위에 있는 동안은, 도 5의 (b)에 나타낸 바와 같이, 장애물 검지 센서가 용기(B)의 상면을 검출하여 버린다. 제어부(H)는, 대상 범위를, 장애물 검지 센서(S1)의 검출 광이 승강체(30)에 지지되어 있는 용기(B)에 검출 작용하는 검출 작용 범위를 포함하도록 설정함으로써, 도 5의 (a)에 나타낸 바와 같이, 승강체(30)가 검출 작용 범위에 위치하지 않는 동안만, 즉 장애물 검지 센서가 용기(B)의 상면을 검출하지 않는 동안만, 장애물 검지 센서(S1)의 검출 정보에 따른 장애물의 유무를 판별하도록 구성하고 있다.
또한, 제어부(H)는, 작업자(W)의 신장으로서 설정된 작업자 신장 높이보다 높게 설정된 판정 기준 높이보다 높은 높이에 승강체(30)가 위치하고 있는 상태일 때, 승강체(30)가 대상 범위에 위치하는 것으로 판별하게 되어 있다.
즉, 장애물 검지 센서(S1)에서의 검출 광의 방사 방향의 연직선으로부터의 경사 각도 θ는, 승강체(30)를 하강시킬 때 하방의 작업자 작업 영역(E)에 있어서 작업을 행하는 작업자(W)를 검출 가능한 각도로서 설정되어 있다.
또한, 상기 경사 각도 θ는, 승강체(30)가 판정 기준 높이보다 낮은 위치에 위치할 때 승강체(30) 및 그에 지지된 용기(B)가 상기 검출 광의 검출 범위에 들어가지 않는 각도로서 설정되어 있다. 본 실시형태에서는, 상기 판정 기준 높이는, 작업자의 신장으로서 설정된 작업자 신장 높이보다 높은 높이로 하고 있다. 이로써, 승강체(30)의 하방의 작업자 작업 영역(E)에 있어서 작업을 행하는 작업자(W)를 적절히 검출하는 것이 가능해진다. 그리고, 도 9에, 도 1과는 상이한 판정 기준 높이(높이 h0)의 설정예를 나타낸 바와 같이, 판정 기준 높이를, 장애물 높이(본 예에서는 작업자 신장 높이)보다, 승강체(30)에 의해 지지되는 물품[용기(B)]의 높이 이상 높게 설정해도 된다.
다음에, 도 7의 플로우차트에 기초하여, 제어부(H)가 실행하는 제어에 대하여 설명한다.
제어부(H)는, 먼저, 승강체(30)의 승강 높이를 검출하고(스텝 #1), 이어서, 승강체(30)가 대상 범위(본 예에서는 검출 작용 범위와 동일한 범위)에 속하는지의 여부를 판별한다(스텝 #2). 스텝 #2에 의해 승강체(30)가 대상 범위(검출 작용 범위)에 속하지 않는 것으로 판별하면(스텝 #2: No), 장애물 검지 센서(S1)의 검지 기능을 ON로 하고(스텝 #3), 장애물 검지 센서(S1)가 장애물을 검지하지 않으면(스텝 #4: No), 승강 구동부(19)를 구동시키고(스텝 #7), 장애물 검지 센서(S1)가 장애물을 검지하면(스텝 #4: Yes), 승강 구동부(19)의 구동을 정지시킨다(스텝 #5).
한편, 스텝 #2에서 승강체(30)가 대상 범위(검출 작용 범위)에 속하는 것으로 판별하면(스텝 #2: Yes), 장애물 검지 센서(S1)의 검지 기능을 OFF로 하여(스텝 #6), 승강 구동부(19)를 구동시킨다(스텝 #7).
스텝 #7의 처리를 행한 경우, 계속 로터리 인코더(S2)의 검출 정보에 기초하여 승강체(30)가 목표 승강 위치에 도달했는지의 여부를 판별하고(스텝 #8), 목표 승강 위치에 도달한 것으로 판별한 경우(스텝 #8: Yes)에는, 승강 구동부(19)의 구동을 정지시킨다(스텝 #5). 또한, 스텝 #8에서 목표 승강 위치에 도달하고 있지 않은 것으로 판별한 경우(스텝 #8: No)에는, 스텝 #1의 처리로 회귀한다.
이와 같이 하여, 큰 물품[대용기(B2)]를 반송 대상으로 하는 경우라도, 천정 반송차(1)의 대형화를 억제하면서, 승강체(30)의 하방의 작업자(W)를 적절히 검출 가능한 천정 반송차(1)를 제공할 수 있다.
[다른 실시형태]
(1) 상기 실시형태에서는, 천정 반송차(1)가, 반송 대상의 물품으로서 반도체 기판을 수용하는 용기(B)를 반송하도록 구성된 예를 나타냈으나, 이와 같은 구성에 한정되지 않고, 예를 들면, 반도체 기판을 수용하는 용기(B) 대신에, 반도체 기판에 대한 패턴 전사(轉寫)를 위한 레티클(reticle)을 수용하는 레티클 용기를 반송하는 것이라도 된다. 또한, 반도체 기판을 수용하는 용기(B)와 레티클 용기와의 양쪽을 반송하도록 구성해도 된다.
(2) 상기 실시형태에서는, 천정 반송차(1)에 의한 반송 대상의 용기(B)를, 평면에서 볼 때의 존재 범위의 외측 에지가 장애물 검출부의 장착 위치보다 외측인 대용기(B2)로 하는 예를 나타냈으나, 반송 대상의 용기(B)로서, 평면에서 볼 때의 존재 범위의 외측 에지가 장애물 검출부의 장착 위치보다 내측인 소용기(B1)를 포함하도록 구성해도 된다.
이 경우, 승강체(30)에 의해 지지한 반송 대상의 용기(B)가 소물품으로서의 소용기(B1)인지의 여부를 식별하는 물품 식별 정보[예를 들면, 상위 관리 장치(H2)로부터의 반송 지령 정보나, 용기(B)에 장착된 RFID에 기억된 정보 등]를 취득하는 물품 식별 정보 취득부[물품 식별 정보가 상위 관리 장치(H2)로부터의 반송 지령 정보의 경우에는 제어부(H)의 통신 모듈 등이 상당, 물품 식별 정보가 RFID의 경우에는 무선 판독 장치 등이 상당]를 설치하고, 제어부(H)가, 물품 식별 정보 취득부에 의해 취득한 물품 식별 정보에 기초하여, 반송 대상의 용기(B)가 소용기(B1)인 것으로 판별한 경우에는, 승강체(30)가 대상 범위에 위치하는 동안이라도 장애물 검지 센서(S1)의 검출 정보에 따른 장애물의 유무를 판별하도록 구성해도 된다.
(3) 상기 실시형태에서는, 장애물 검지 센서(S1)가, 검출 광을 방사하여 상기 장애물을 검출하는 예를 나타냈으나, 장애물 검지 센서(S1)를, 초음파 등의 검출 음파를 방사하여 장애물을 검출하는 것으로 해도 된다. 이외에도, 지향성이 있는 검출 매체를 방사하여 검출 대상의 존부(存否)를 검출하는 센서를 적용할 수 있다.
(4) 상기 실시형태에서는, 로터리 인코더(S2)에 의해 승강체(30)의 승강 위치를 검출하는 예를 설명하였으나, 이와 같은 구성에 한정되지 않고, 예를 들면, 레이저 측거계(測距計)나 초음파 측거계 등의 무접촉 측거 센서를 사용하거나, 승강체(30)를 현수하는 와이어(19a)에 형성한 눈금을 판독하는 등, 다른 방식을 이용하여 승강체(30)의 승강 위치를 검출하도록 해도 된다. 또한, 장애물 검지 센서(S1)를 검출 대상물의 형상이나 속성이 판별 가능한 것, 예를 들면, 카메라 등으로서 구성하고, 제어부(H)가, 카메라가 촬상(撮像)한 화상 정보에 기초하여 장애물과 승강체(30)를 판별하는 동시에 승강체(30)인 경우에, 그 승강 위치를 계측하도록 구성해도 된다.
(5) 상기 실시형태에서는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 승강체(30)에 지지된 용기(B)를, 본체 커버(C)의 바로 아래 쪽의 수수용 위치 Pd와 본체 커버(C) 내부의 반송용 위치 Pu(도 2 참조)와의 사이에서 승강 이동시키는 예를 나타냈으나, 이와 같은 구성에 한정되지 않고, 예를 들면, 도 8에 나타낸 바와 같이, 주행부(50)의 주행 방향을 따른 방향에서 볼 때 본체 커버(C)와 중복되는 퇴피 위치와, 본체 커버(C)의 외측이면서 또한 처리 장치(3)의 비존재측(작업자 작업 영역 측)으로 돌출하는 돌출 위치로 전환 가능하고, 또한 승강체(30)의 승강 구동부(19)를 지지한 슬라이딩부(20)를 설치하고, 상기 슬라이딩부(20)가 돌출 위치에 있을 때 승강체(30)를 승강 작동시키도록 구성해도 된다. 이 경우, 장애물 검지 센서(S1)를, 슬라이딩부(20)의 작업자 작업 영역 측 단부에서, 또한 슬라이딩부(20)가 퇴피 위치에 위치할 때 상기 장애물 검지 센서(S1)가 주행부(50)의 주행 방향을 따른 방향에서 볼 때 본체 커버(C)와 중복되는 위치로 되도록 설치한다. 이와 같이, 본체부(21)에 장애물 검지 센서(S1)를 고정시키는 구성으로서는, 본체부(21)에 슬라이딩 가능하게 장착되는 슬라이딩부(20)에 고정시키는 구성도 포함하는 것이다.
(6) 상기 실시형태에서는, 장애물 검지 센서(S1)가 장애물을 검지한 경우에, 승강 구동부(19)의 구동을 정지시키는 구성을 설명하였으나, 이와 같은 구성에 한정되지 않고, 장애물 검지 센서(S1)가 장애물을 검지한 경우에, 승강체(30)의 승강 속도를 감속하도록 승강 구동부(19)의 작동을 제어하도록 구성해도 된다.
(7) 상기 실시형태에서는, 높이 h0가 검출 작용 범위의 하한값으로 설정되는 구성, 즉 대상 범위가 검출 작용 범위와 동일한 범위인 구성을 예로서 설명하였으나, 이와 같은 구성에 한정되지 않고, 높이 h0가 검출 작용 범위의 하한값보다 낮은 높이로 설정되는 구성, 즉 대상 범위가 검출 작용 범위보다 낮은 범위를 포함하도록 설정되는 구성으로 해도 된다.
1: 천정 반송차
2: 주행 레일
21: 본체부
30: 승강체
50: 주행부
B: 물품
B1: 소물품
E: 작업자 작업 영역
H: 제어부
L1: 검출 광
Pd: 수수용 위치
Pu: 반송용 위치
S1: 장애물 검출부
W: 장애물

Claims (6)

  1. 천정으로부터 현수(懸垂)된 주행 레일을 따라 주행 가능한 주행부와, 상기 주행부로부터 현수 지지되어 상기 주행부와 일체로 주행하는 본체부와, 반송(搬送) 대상의 물품을 지지 가능하고 또한 상기 본체부의 내부에 위치하는 반송용 위치와 상기 본체부보다 하방의 수수용(授受用) 위치 사이에서 상기 본체부에 대하여 승강 가능한 승강체를 구비하여, 상기 반송용 위치에 위치하는 상기 승강체에 의해 물품을 지지한 상태로 상기 주행부의 주행 작동에 의해 주행 레일을 따라 물품을 반송하고, 상기 반송용 위치와 상기 수수용 위치 사이에서의 상기 승강체의 승강 작동에 의해 물품 수수 개소(箇所) 사이에서 물품을 이송탑재(移載; transfer) 가능한 천정 반송차(ceiling transport vehicle)로서,
    상기 물품 수수 개소와의 사이에서의 물품의 이송탑재에 있어서 장애(obstruction)로 되는 장애물에 검출 작용할 수 있도록 하방향으로 검출 광 또는 검출 음파를 방사(放射)하여 상기 장애물을 검출하는 장애물 검출부;
    상기 승강체의 승강 위치를 검출하는 승강 위치 검출부; 및
    상기 승강 위치 검출부의 검출 정보에 기초하여 상기 승강체의 승강 작동을 제어하는 제어부;
    를 포함하고,
    상기 장애물 검출부는, 상기 반송용 위치에 위치하는 상기 승강체에 의해 지지된 물품보다 상방이면서 또한 평면에서 볼 때 상기 물품의 존재 범위 내에 위치하는 개소에 있어서, 상기 검출 광 또는 상기 검출 음파의 방사 방향이 상기 물품의 외측으로 경사지는 상태로 상기 본체부에 대하여 고정되고,
    상기 제어부는, 상기 승강체를 상기 반송용 위치와 상기 수수용 위치 사이에서 승강시키는 경우에, 상기 승강체가 대상 범위에 위치하는 동안은 상기 장애물 검출부의 검출 정보에 따른 장애물의 유무를 판별하지 않고, 상기 승강체가 상기 대상 범위에 위치하지 않는 동안에는 상기 장애물 검출부의 검출 정보에 따른 상기 장애물의 유무를 판별하도록 구성되며,
    상기 장애물 검출부의 상기 검출 광 또는 상기 검출 음파가 상기 승강체에 지지되어 있는 물품에 검출 작용하는 범위를 검출 작용 범위로 하여, 상기 대상 범위는 상기 검출 작용 범위를 포함하도록 설정되어 있는,
    천정 반송차.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 장애물이 상기 본체부의 하방에서 작업을 행하는 작업자이며,
    상기 주행 레일과 직교하는 상기 주행부의 가로 폭 방향에서 상기 물품 수수 개소의 한쪽 측에 상기 작업자에 의한 작업이 행해지는 작업자 작업 영역이 설정되고, 다른 쪽 측에 상기 작업자에 의한 작업이 행해지지 않는 작업자 비작업 영역이 설정되고,
    상기 장애물 검출부가, 상기 주행부의 가로 폭 방향에 있어서 상기 작업자 작업 영역 측으로 편위(偏位)되어 설치되어 있는, 천정 반송차.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 대상 범위의 하한값이, 상기 장애물의 높이로서 설정되는 장애물 높이보다도, 높게 설정되는 판정 기준 높이이며,
    상기 제어부는, 상기 판정 기준 높이보다 높은 높이에 상기 승강체가 위치하고 있는 것을 조건으로, 상기 승강체가 상기 대상 범위에 위치하는 것으로 판별하는, 천정 반송차.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 장애물이 상기 본체부의 하방에서 작업을 행하는 작업자이며,
    상기 장애물 높이가, 상기 작업자의 신장으로서 설정되는 작업자 신장 높이인, 천정 반송차.
  5. 제3항 또는 제4항에 있어서,
    상기 판정 기준 높이가, 상기 장애물 높이보다도, 상기 승강체에 의해 지지되는 물품의 높이 이상 높게 설정되는, 천정 반송차.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 반송 대상의 물품은, 평면에서 볼 때의 존재 범위의 외측 에지가 상기 장애물 검출부의 장착 위치보다 내측인 소물품을 포함하고,
    상기 승강체에 의해 지지된 상기 반송 대상의 물품이 상기 소물품인지의 여부를 식별하는 물품 식별 정보를 취득하는 물품 식별 정보 취득부가 설치되고,
    상기 제어부가, 상기 물품 식별 정보 취득부에 의해 취득한 상기 물품 식별 정보에 기초하여, 상기 반송 대상의 물품이 소물품인 것으로 판별한 경우에는, 상기 승강체가 상기 대상 범위에 위치하는 동안이라도 상기 장애물 검출부의 검출 정보에 따른 장애물의 유무를 판별하도록 구성되어 있는, 천정 반송차.
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