WO2024034175A1 - 天井搬送車 - Google Patents

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WO2024034175A1
WO2024034175A1 PCT/JP2023/012190 JP2023012190W WO2024034175A1 WO 2024034175 A1 WO2024034175 A1 WO 2024034175A1 JP 2023012190 W JP2023012190 W JP 2023012190W WO 2024034175 A1 WO2024034175 A1 WO 2024034175A1
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WO
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transport vehicle
article
unit
sensors
load port
Prior art date
Application number
PCT/JP2023/012190
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English (en)
French (fr)
Inventor
誠 小林
Original Assignee
村田機械株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Application filed by 村田機械株式会社 filed Critical 村田機械株式会社
Publication of WO2024034175A1 publication Critical patent/WO2024034175A1/ja

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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical

Definitions

  • One aspect of the present invention relates to an overhead transport vehicle.
  • Patent Document 1 describes an overhead transport device that includes a track installed on the ceiling and a hoist-equipped cart (overhead transport vehicle) that travels along the track. There is.
  • a traveling cart with a hoist is stopped above a load port of a manufacturing device, a hand hanging portion is lowered, a hand is lowered, and an article is held by the hand.
  • An obstacle detection sensor is provided on the hoisted truck side to detect the presence or absence of an obstacle by optically searching the ascending and descending path between the hoisted truck and the load port.
  • the article has a lid on one side, and the load port needs to receive the lid in a particular orientation relative to it. That is, in the above-mentioned technique, in order to match the direction of the article to be transferred to and from the load port in a prescribed direction, there is a possibility that the direction in which the overhead transport vehicle accesses the load port may be restricted. Specifically, in order to satisfy the above-mentioned conditions, only a track extending in the left-right direction of the load port was provided. Furthermore, in this case, since the orientation of the overhead transport vehicle with respect to the load port is always constant, the sensor that ensures safety around the load port only detects a predetermined area in one direction. From the above, in the above-mentioned technology, the degree of freedom in the layout of the track is low, and the track may require the overhead transport vehicle to take a detour to access the load port, which may reduce transport efficiency.
  • one aspect of the present invention aims to provide an overhead transport vehicle that can increase the degree of freedom in track layout and improve transport efficiency.
  • An overhead transport vehicle is an overhead transport vehicle that travels along a track and transports articles, and includes a transfer section that transfers articles to and from a load port of an apparatus, and a transfer section that transfers articles to and from a load port of an apparatus.
  • a control unit that controls a plurality of sensors that emit detection waves downward to detect the presence or absence of obstacles when transferring an article by the loading unit, and that has mutually different detection ranges, and an overhead transport vehicle;
  • the transfer unit includes a gripping part that grips the article, a rotating part that rotates the gripping part about a rotation axis along the vertical direction, and an elevating part that raises and lowers the gripping part, and the control part includes: When transferring an article by the transfer section, the rotating section is controlled according to the direction of access to the load port so that the article is transferred in a specified direction, and the Detection processing is not performed for one or more sensors that include the device in the detection range depending on the positional relationship.
  • the article when transferring an article, the article can be rotated so that the article is transferred in a prescribed direction to the load port.
  • the detection processing of one or more sensors including the device within the detection range is not performed, the device will not be erroneously detected as an obstacle by the sensor. Therefore, regardless of the direction in which the overhead transport vehicle accesses the load port, the safety of the area around the load port is ensured by sensors, and the goods are aligned in the specified direction for the load port, and the ceiling transport vehicle and the load port are connected to each other. Goods can be transferred between. For example, there is no need for a track that requires a detour for the overhead transport vehicle to access the load port, which increases the degree of freedom in track layout and improves transport efficiency.
  • the elevating part may raise and lower the rotating part together with the gripping part, and the rotating part may rotate only the gripping part. In this case, rotation to change the orientation of the article during transfer can be realized with a small mechanism.
  • the rotating part is arranged such that the rotational position of the gripping part about the rotation axis is at least at a first position and a second position different from the first position by +90 degrees;
  • the gripping portion may be rotated to switch between a third position that is ⁇ 90° different from the first position.
  • a device such as an encoder for adjusting the angle of rotation by the rotating part becomes unnecessary.
  • the sensor may have a detection range of at least three directions, front, rear, and one side of the traveling direction of the ceiling transport vehicle, in plan view.
  • the transfer unit rotates the elevating part together with the gripping part and the rotating part about the rotation axis, and adjusts the rotational position of the gripping part, the rotating part, and the elevating part about the rotation axis. It may also include an adjustment section for adjustment. In this case, the article can be rotated in two stages: the adjusting section and the rotating section.
  • the control unit stores usage sensor information in which the rotational position of the gripping unit around the rotation axis and one or more sensors used among the plurality of sensors are associated.
  • the sensor is stored in advance, and when the transfer unit transfers the article, one or more sensors that are not subjected to the detection process are determined based on the sensor information used and the rotational position around the rotation axis of the gripping unit. Good too.
  • using sensor information stored in advance it is possible to not perform detection processing using one or more sensors that include the device within the detection range.
  • the ceiling transport vehicle runs along a track, the track passes over the device, and runs over the load port of the device in the front and back direction of the load port. It may also include a passing trajectory along which it passes. Since the trajectory includes a passing trajectory in this way, it is possible to improve the transport efficiency compared to the case where the trajectory includes a trajectory that detours to access the load port.
  • control unit controls not to emit a detection wave when not performing detection processing for one or more sensors whose detection range includes the device among the plurality of sensors. Good too. You can disable it by stopping it. In this case, no extra power is used.
  • the control unit controls the rotating unit so that the article is held in a prescribed orientation with respect to the gripping unit when transferring the article from the load port to the gripping unit. It's okay.
  • the overhead transport vehicle can always grip the article in a fixed direction, and subsequent rotation adjustment becomes easy.
  • the center of gravity remains constant, the load applied to the vehicle when traveling is reduced.
  • an overhead transport vehicle that can increase the degree of freedom in track layout and improve transport efficiency.
  • FIG. 1 is a schematic side view showing an overhead transport vehicle according to an embodiment.
  • FIG. 2 is a plan view showing an example of a track layout.
  • FIG. 3 is a diagram showing an example of transferring articles from a load port to an overhead transport vehicle.
  • FIG. 4 is a diagram showing another example of transferring articles from a load port to an overhead transport vehicle.
  • FIG. 5 is a diagram showing still another example of transferring articles from a load port to an overhead transport vehicle.
  • FIG. 6(a) is a diagram showing a detection range of the second sensor according to a modification.
  • FIG. 6(b) is a diagram showing the detection range of the second sensor according to another modification.
  • the ceiling transport vehicle 1 travels along a track 20 laid near the ceiling of a clean room in which semiconductor devices are manufactured, for example.
  • the ceiling transport vehicle 1 transports articles 100.
  • the article 100 is, for example, a FOUP (Front Opening Unified Pod) that accommodates a plurality of semiconductor wafers.
  • FOUP Front Opening Unified Pod
  • the X direction corresponds to one horizontal direction
  • the Y direction corresponds to a horizontal direction perpendicular to the X direction
  • the Z direction corresponds to a vertical direction.
  • the ceiling transport vehicle 1 transfers the articles 100 to and from the load ports 210 of the plurality of processing devices (devices) 200.
  • the processing apparatus 200 is, for example, an apparatus that performs various processes on semiconductor wafers.
  • the plurality of processing devices 200 are arranged in a clean room so as to be lined up in the X direction at predetermined intervals.
  • the track 20 is suspended from the ceiling, for example.
  • the track 20 is a predetermined one-way travel path on which the overhead transport vehicle 1 travels.
  • the track 20 passes over a plurality of load ports 210.
  • Trajectory 20 includes a passing trajectory 25 .
  • the passing trajectory 25 is a trajectory that passes over the processing device 200 and also passes over the load port 210 of the processing device 200 along the front-rear direction of the load port 210.
  • the load port 210 is a mounting table in the processing device 200.
  • One or more articles 100 are placed on the load port 210.
  • the load port 210 is arranged on the passage side (outer edge side) of the processing device 200 in plan view.
  • the direction of the load port 210 is set, for example, the passage side of the load port 210 is oriented to the front side (front side).
  • the article 100 is transferred to the load port 210 in a prescribed orientation.
  • the article 100 is placed on the load port 210 so that the front side of the article 100 (the side opposite to the lid side) and the front side of the load port 210 match.
  • the load port 210 includes a first load port 201, a second load port 202, and a third load port 203.
  • the first load port 201 is a mounting table whose front-rear direction intersects (orthogonally) with the travel direction of the track 20.
  • the second and third load ports 202 and 203 are mounting tables through which the passage track 25 passes along the front-rear direction.
  • the direction from the front side to the rear side corresponds to the direction of passage of the passage track 25.
  • the third load port 203 the direction from the rear side to the front side corresponds to the passing direction of the passing track 25.
  • the second and third load ports 202 and 203 are provided so as to enter the processing device 200 in plan view.
  • the second and third load ports 202 and 203 are arranged in a space that is open on the passage side and the upper side of the processing device 200.
  • the ceiling transport vehicle 1 includes a frame unit 2, a traveling unit 3, a lateral unit 4, a theta unit (adjusting section) 5, an elevating drive unit (elevating section) 6, a rotating unit (rotating section) 7, and a gripping unit. It includes a unit (gripping section) 8 and a carrier controller (control section) 9.
  • the frame unit 2 includes a center frame 15, a front frame 16, and a rear frame 17.
  • the front frame 16 extends downward from the front end of the center frame 15 (the front end in the traveling direction of the ceiling transport vehicle 1).
  • the rear frame 17 extends downward from the rear end of the center frame 15 (the rear side in the traveling direction of the ceiling transport vehicle 1).
  • the traveling unit 3 is arranged above the center frame 15. For example, the traveling unit 3 travels along the track 20 by receiving power from a high-frequency current line laid along the track 20 in a non-contact manner.
  • the lateral unit 4 is arranged below the center frame 15. The lateral unit 4 moves the theta unit 5, the lift drive unit 6, the rotation unit 7, and the gripping unit 8 in the lateral direction (to the side in the traveling direction of the ceiling transport vehicle 1).
  • the theta unit 5 is arranged below the lateral unit 4.
  • the theta unit 5 rotates the lifting drive unit 6 along with the gripping unit 8 and the rotation unit 7 about a central axis (rotation axis) along the Z direction, and rotates the lifting drive unit 6 along the central axis of the gripping unit 8, the rotation unit 7, and the lifting drive unit 6. Adjust the rotation position of the surroundings.
  • the elevating drive unit 6 is arranged below the theta unit 5.
  • the elevating drive unit 6 raises and lowers the rotation unit 7 together with the gripping unit 8 .
  • the lifting drive unit 6 is moved up and down by winding or letting out a belt B connected to the rotation unit 7.
  • the rotating unit 7 is suspended from the lifting drive unit 6 by a plurality of belts B.
  • the rotation unit 7 rotates only the gripping unit 8 about a central axis (rotation axis) along the Z direction.
  • the rotation unit 7 constitutes a slip ring type turning mechanism.
  • the rotation unit 7 includes a slip ring disposed on a central axis, and a motor disposed away from the central axis and connected to the slip ring through a gear.
  • the rotational unit 7 is configured such that the rotational position of the gripping unit 8 around the central axis is at least a first position which is an initial position, a second position different by +90 degrees from the first position, and a ⁇ 90° difference from the first position. °
  • the gripping unit 8 is rotated so as to switch between a different third position.
  • the grip unit 8 is arranged below the rotation unit 7.
  • the gripping unit 8 grips (holds) the article 100 in a prescribed direction.
  • the gripping unit 8 has a pair of grippers 12, 12.
  • the pair of grippers 12, 12 are opened and closed by, for example, a drive motor and a link mechanism.
  • the rotation unit 7 and the gripping unit 8 are raised and lowered by winding or letting out of the belt B by the raising and lowering drive unit 6.
  • the lateral unit 4, theta unit 5, the lift drive unit 6, the rotation unit 7, and the gripping unit 8 constitute a transfer unit that transfers the article 100 to and from the load port 210.
  • the lateral unit 4, theta unit 5, elevation drive unit 6, rotation unit 7, and gripping unit 8 will also be simply referred to as a "transfer unit".
  • the carrier controller 9 is arranged within the frame unit 2, for example.
  • the conveyance vehicle controller 9 is an electronic control unit composed of a CPU (Central Processing Unit), a ROM (Read Only Memory), a RAM (Random Access Memory), and the like.
  • the carrier controller 9 controls each part of the ceiling carrier 1 .
  • the ceiling transport vehicle 1 of this embodiment includes a plurality of sensors S.
  • the sensor S directs a directional detection wave downward when the article 100 is transferred by the transfer unit (lateral unit 4, theta unit 5, lifting drive unit 6, rotation unit 7, and gripping unit 8). It emits light and detects the presence or absence of obstacles.
  • the sensor S is a so-called lookdown sensor.
  • the sensor S is not particularly limited, but a laser range finder may be used, for example.
  • the sensor S may be configured to emit other detection waves such as ultrasonic waves.
  • the sensor S emits a laser beam toward the vicinity of the lowering destination of the gripping unit 8 and receives the reflected light.
  • the sensor S detects whether or not an obstacle exists around the load port 210 based on the reflected light of the received laser light.
  • the sensor S detects whether or not there is an obstacle such as a worker in front of the load port 210 (on the aisle side).
  • the sensor S is connected to the carrier controller 9.
  • the plurality of sensors S include a first sensor S1, a second sensor S2, and a third sensor S3.
  • the first sensor S1 is installed on one side of the ceiling transport vehicle 1 in the traveling direction in plan view.
  • the first sensor S1 is provided at the lower part of the lifting drive unit 14.
  • the first sensor S1 detects the presence or absence of an obstacle within the detection range R1.
  • the detection range R1 is a range that extends two-dimensionally downward along the XZ plane from the first sensor S1 as a starting point.
  • the detection range R1 is a range in which the detection result of the first sensor S1 is valid.
  • the detection range R1 only needs to be along the XZ plane, and may be inclined with respect to the XZ plane.
  • the second sensor S2 is installed at the rear of the ceiling transport vehicle 1 in the traveling direction in plan view.
  • the second sensor S2 is provided at the bottom of the rear frame 17.
  • the detection range R2 is a range that extends two-dimensionally downward along the YZ plane from the second sensor S2 as a starting point.
  • the detection range R2 is a range in which the detection result of the second sensor S2 is valid.
  • the detection range R2 only needs to be along the YZ plane, and may be inclined with respect to the YZ plane.
  • the third sensor S3 is installed at the front of the ceiling transport vehicle 1 in the traveling direction in plan view.
  • the third sensor S3 is provided at the lower part of the front frame 16.
  • the detection range R3 is a range that extends two-dimensionally downward along the YZ plane from the third sensor S3 as a starting point.
  • the detection range R3 is a range in which the detection result of the third sensor S3 is valid.
  • the detection range R3 only needs to be along the YZ plane, and may be inclined with respect to the YZ plane.
  • the transport vehicle controller 9 stores map data regarding the positions and orientations of the plurality of load ports 210 in advance. For example, when the conveyance vehicle controller 9 receives a conveyance command to convey the article 100 from a higher-level controller, the conveyance vehicle controller 9 acquires port information regarding the position and specified orientation of the load port 210 of the conveyance source and conveyance destination from the map data. The carrier controller 9 controls the traveling unit 3 based on the port information, and causes the ceiling carrier 1 to travel to the position corresponding to the load port 210. Then, the carrier controller 9 controls the transfer section and transfers the article 100 between the load ports 210.
  • the conveyance vehicle controller 9 controls the rotation unit 7 so that the article 100 is transferred in a prescribed orientation when the article 100 is transferred by the transfer section. Specifically, when transferring the article 100 by the transfer unit, the carrier controller 9 controls the rotation unit 7 based on the port information, and controls the rotation unit 7 based on the port information and the specified orientation specified for the load port 210 and the gripping unit 8. The gripping unit 8 is rotated around the central axis so that the orientation of the article 100 to be gripped matches.
  • the carrier controller 9 disables one or more sensors S whose detection range includes the processing device 200 among the plurality of sensors S. Specifically, the carrier controller 9 stores in advance sensor usage information in which the rotational position of the gripping unit 8 around the central axis and one or more sensors used among the plurality of sensors S are associated. . Although the detection processing of all the sensors S is not performed while the vehicle is traveling, when the article 100 is transferred by the transfer section, the carrier controller 9 uses the sensor information to be used and the rotation around the central axis of the gripping unit 8. Detection processing of the sensor S to be used is executed based on the rotational position. Executing the detection process specifically means emitting a laser beam toward the vicinity of the descent destination of the gripping unit 8 and receiving the reflected light. As described above, at the time of transfer, one or more sensors S whose detection range includes the processing device 200 do not perform detection processing.
  • the used sensor information here includes a first position, a second position, and a third position as the rotational positions of the grip unit 8, and for each of these rotational positions, the first to third positions, which are the sensors S to be used, are included. Any one of the third sensors S1 to S3 is associated.
  • the first position where the rotational position of the gripping unit 8 is the initial position is associated with the first sensor S1 as the sensor S to be used, and the rotational position of the gripping unit 8 is +90° of the first position.
  • a second sensor S2 is associated with the second position as the sensor S to be used
  • a third sensor S3 is associated with the third position where the rotational position of the gripping unit 8 is ⁇ 90° of the first position. is associated.
  • the ceiling transport vehicle 1 configured as described above operates as follows, as an example.
  • the ceiling transport vehicle 1 can move the rotation unit 7 and the gripping unit 8 by driving the lateral unit 4 and theta unit 5. Adjust the horizontal position and horizontal angle of
  • the ceiling transport vehicle 1 when transferring the article 100, one or more sensors S whose detection range includes the processing device 200 among the plurality of sensors S does not perform the detection process. Specifically, the ceiling transport vehicle 1 refers to the usage sensor information and uses the first sensor S1 based on the fact that the rotational position around the central axis of the gripping unit 8 is the first position, which is the initial position. It is determined not to perform detection processing for the second and third sensors S2 and S3. Then, the ceiling transport vehicle 1 detects the presence or absence of an obstacle around the first load port 201 (on the front side) using only the first sensor S1.
  • the ceiling transport vehicle 1 lowers the rotating unit 7 and the gripping unit 8 using the lifting drive unit 6, and the gripping unit 8 grips the flange of the article 100 placed on the first load port 201. Thereafter, the ceiling transport vehicle 1 becomes able to travel after the rotation unit 7 and the gripping unit 8 are raised to the highest position by the lifting drive unit 6.
  • the overhead carrier 1 holding the article 100 first obtains port information regarding the position and orientation of the first load port 201 from map data. get.
  • the overhead transport vehicle 1 travels based on the port information, travels along the track 20 to a position corresponding to the first load port 201, and stops.
  • the overhead transport vehicle 1 rotates the rotation unit 7 and adjusts the direction of the gripping unit 8 so that the orientation of the article 100 to be transferred matches the specified orientation based on the port information.
  • the rotational position of the gripping unit 8 around the central axis can be transferred while remaining at the first position, so the rotational unit is not rotated.
  • the ceiling transport vehicle 1 can move the rotation unit 7 and the gripping unit 8 by driving the lateral unit 4 and theta unit 5. Adjust the horizontal position and horizontal angle of
  • the ceiling transport vehicle 1 when transferring the article 100, one or more sensors S whose detection range includes the processing device 200 among the plurality of sensors S is configured not to perform the detection process.
  • the ceiling transport vehicle 1 refers to the usage sensor information and uses the first sensor S1 and the second and second sensors based on the fact that the rotational position of the gripping unit 8 about the central axis is the first position. It is decided not to perform the detection processing of the three sensors S2 and S3. Then, the ceiling transport vehicle 1 detects the presence or absence of an obstacle around the first load port 201 (on the front side) using only the first sensor S1.
  • the ceiling transport vehicle 1 lowers the rotation unit 7 and the gripping unit 8 by the lifting drive unit 6, places the article 100 on the first load port 201, and releases the gripping of the flange by the gripping unit 8. Thereafter, the ceiling transport vehicle 1 becomes able to travel after the rotation unit 7 and the gripping unit 8 are raised to the highest position by the lifting drive unit 6.
  • the overhead conveyance vehicle 1 controls the rotation unit 7 to set the rotational position of the gripping unit 8 around the central axis to a second position different by +90° from the first position, and the article 100 is rotated with respect to the gripping unit 8. Ensure that it is gripped in the specified direction. At this time, if the position of the gripping unit 8 to be lowered is shifted from the second load port 202, the ceiling transport vehicle 1 drives the lateral unit 4 and theta unit 5 to horizontally move the rotation unit 7 and gripping unit 8. Adjust the position and horizontal angle.
  • the ceiling transport vehicle 1 when transferring the article 100, one or more sensors S whose detection range includes the processing device 200 among the plurality of sensors S is configured not to perform the detection process.
  • the ceiling transport vehicle 1 refers to the usage sensor information and uses the second sensor S2 and uses the first and second sensors based on the fact that the rotational position of the gripping unit 8 about the central axis is the second position. It is decided not to perform the detection processing of the three sensors S1 and S3. Then, the ceiling transport vehicle 1 detects the presence or absence of obstacles around the second load port 202 (on the front side) using only the second sensor S2, and outputs detection waves from the first and third sensors S1 and S3. stop.
  • the ceiling transport vehicle 1 lowers the rotating unit 7 and the gripping unit 8 using the lifting drive unit 6, and the gripping unit 8 grips the flange of the article 100 placed on the second load port 202. After that, the ceiling transport vehicle 1 raises the rotation unit 7 and the gripping unit 8 to the highest position by the lifting drive unit 6, and then the rotation unit moves the rotational position of the gripping unit 8 back to the first position, which is the initial position. Rotate 7. After the rotational position of the gripping unit 8 returns to the initial position, the ceiling transport vehicle 1 becomes able to travel.
  • the overhead carrier 1 holding the article 100 first obtains port information regarding the position and orientation of the second load port 202 from map data. get.
  • the overhead transport vehicle 1 travels based on the port information, travels along the track 20 to a position corresponding to the second load port 202, and stops.
  • the overhead transport vehicle 1 rotates the rotation unit 7 based on the port information so that the orientation of the article 100 to be transferred matches the specified orientation.
  • the overhead transport vehicle 1 controls the rotation unit 7, sets the rotation position of the gripping unit 8 around the central axis as the second position, and places the article 100 in a prescribed direction with respect to the second load port 202.
  • the ceiling transport vehicle 1 drives the lateral unit 4 and theta unit 5 to horizontally move the rotation unit 7 and gripping unit 8. Adjust the position and horizontal angle.
  • the ceiling transport vehicle 1 when transferring the article 100, one or more sensors S whose detection range includes the processing device 200 among the plurality of sensors S does not perform the detection process. Specifically, the ceiling transport vehicle 1 refers to the usage sensor information and uses the second sensor S2 and uses the first and second sensors based on the fact that the rotational position of the gripping unit 8 about the central axis is the second position. It is decided not to perform the detection processing of the three sensors S1 and S3. Then, the ceiling transport vehicle 1 detects the presence or absence of an obstacle around the second load port 202 (on the front side) using only the second sensor S2.
  • the ceiling transport vehicle 1 lowers the rotation unit 7 and the gripping unit 8 by the lifting drive unit 6, places the article 100 on the second load port 202, and releases the gripping of the flange by the gripping unit 8.
  • the ceiling transport vehicle 1 raises the rotation unit 7 and the gripping unit 8 to the highest position by the lifting drive unit 6, and then the rotation unit moves the rotational position of the gripping unit 8 back to the first position, which is the initial position. Rotate 7. After the rotational position of the gripping unit 8 returns to the initial position, the ceiling transport vehicle 1 becomes able to travel.
  • the ceiling transport vehicle 1 can move the rotation unit 7 and gripping unit 8 horizontally by driving the lateral unit 4 and theta unit 5. Adjust the position and horizontal angle.
  • the ceiling transport vehicle 1 when transferring the article 100, one or more sensors S whose detection range includes the processing device 200 among the plurality of sensors S does not perform the detection process. Specifically, the ceiling transport vehicle 1 refers to the usage sensor information, and based on the fact that the rotational position around the central axis of the gripping unit 8 is the third position, uses the third sensor S3 and It is decided not to perform the detection processing of the two sensors S1 and S2. Then, the ceiling transport vehicle 1 detects the presence or absence of an obstacle around the third load port 203 (on the front side) using only the third sensor S3.
  • the overhead transport vehicle 1 lowers the rotating unit 7 and the gripping unit 8 by the lifting drive unit 6, and the gripping unit 8 grips the flange of the article 100 placed on the third load port 203.
  • the ceiling transport vehicle 1 raises the rotation unit 7 and the gripping unit 8 to the highest position by the lifting drive unit 6, and then the rotation unit moves the rotational position of the gripping unit 8 back to the first position, which is the initial position. Rotate 7. After the rotational position of the gripping unit 8 returns to the initial position, the ceiling transport vehicle 1 becomes able to travel.
  • the overhead carrier 1 holding the article 100 first obtains port information regarding the position and orientation of the third load port 203 from map data. get.
  • the overhead transport vehicle 1 travels based on the port information, travels along the track 20 to a position corresponding to the third load port 203, and stops.
  • the overhead transport vehicle 1 rotates the rotation unit 7 and adjusts the direction of the gripping unit 8 so that the orientation of the article 100 to be transferred matches the specified orientation based on the port information.
  • the overhead conveyance vehicle 1 controls the rotation unit 7, sets the rotation position of the gripping unit 8 around the central axis to the third position, and places the article 100 in a specified direction with respect to the third load port 203. so that At this time, if the position of the gripping unit 8 to be lowered is shifted from the third load port 203, the ceiling conveyance vehicle 1 can move the rotation unit 7 and gripping unit 8 horizontally by driving the lateral unit 4 and theta unit 5. Adjust the position and horizontal angle.
  • the ceiling transport vehicle 1 when transferring the article 100, one or more sensors S whose detection range includes the processing device 200 among the plurality of sensors S does not perform the detection process.
  • the ceiling transport vehicle 1 refers to the usage sensor information, and based on the fact that the rotational position around the central axis of the gripping unit 8 is the third position, uses the third sensor S3 and It is decided not to perform the detection processing of the two sensors S1 and S2. Then, the ceiling transport vehicle 1 detects the presence or absence of an obstacle around the third load port 203 (on the front side) using only the third sensor S3.
  • the ceiling transport vehicle 1 lowers the rotation unit 7 and the gripping unit 8 by the lifting drive unit 6, places the article 100 on the third load port 203, and releases the gripping unit 8 from gripping the flange. After that, the ceiling transport vehicle 1 raises the rotation unit 7 and the gripping unit 8 to the highest position by the lifting drive unit 6, and then the rotation unit moves the rotational position of the gripping unit 8 back to the first position, which is the initial position. Rotate 7. After the rotational position of the gripping unit 8 returns to the initial position, the ceiling transport vehicle 1 becomes able to travel.
  • the article 100 when transferring the article 100, the article 100 can be rotated so that the article 100 is transferred in a prescribed direction. At this time, since the detection process of one or more sensors S including the processing device 200 in the detection range is not performed, the processing device 200 is not erroneously detected as an obstacle by the sensor S. Therefore, regardless of the direction in which the overhead transport vehicle 1 accesses the load port 210, the ceiling transport vehicle 1 The article 100 can be transferred between the load port 210 and the load port 210.
  • the processing device 200 may be included in the detection range of the sensor S depending on the direction in which the overhead transport vehicle 1 accesses the load port 210.
  • this false detection can be avoided and there is no restriction on the layout of the track 20.
  • the direction in which the overhead carrier 1 accesses the load port 210 may be determined in order to align the orientation of the article 100 with a specified orientation. , there are no restrictions on the layout of the track 20.
  • the overhead transport vehicle 1 there is no need for the track 20 that allows the overhead transport vehicle 1 to take a detour to access the load port 210, for example, which increases the degree of freedom in the layout of the track 20 and improves the transport efficiency. It becomes possible.
  • the lifting drive unit 6 raises and lowers the rotation unit 7 together with the gripping unit 8, and the rotation unit 7 rotates only the gripping unit 8. In this case, rotation to change the orientation of the article 100 during transfer can be realized with a small mechanism.
  • the rotation unit 7 has a first position in which the rotational position of the gripping unit 8 around the central axis is different from the first position by +90°, and a second position which is different from the first position by -90°. °
  • the gripping unit 8 is rotated so as to switch between a different third position.
  • a device such as an encoder for adjusting the angle of rotation by the rotation unit 7 is not required.
  • the sensor S includes first to third sensors S1 to S3 whose detection ranges are the front, rear, and one side of the traveling direction of the ceiling transport vehicle 1 in plan view.
  • the transfer section includes a theta unit 5 that adjusts the rotational positions of the gripping unit 8, the rotation unit 7, and the elevating drive unit 6 around the rotation axis.
  • the article 100 can be rotated in two stages, the theta unit 5 and the rotation unit 7.
  • the transport vehicle controller 9 performs no detection processing based on the sensor information used and the rotational position around the central axis of the gripping unit 8 when the transfer unit transfers the article 100. Or a plurality of sensors S are determined. In this case, using sensor information stored in advance, one or more sensors S including the processing device 200 within the detection range may not perform the detection process.
  • the track 20 passes over the processing device 200, and also passes over the first and second load ports 201, 202 of the processing device 200. It includes a passing track 25 that passes along the front-rear direction. Since the track 20 includes the passing track 25 in this way, it is possible to improve the conveyance efficiency compared to the case where the track 20 includes a turning track that accesses the first and second load ports 201 and 202 in a detour manner. Become.
  • the guided vehicle controller 9 controls so as not to emit a detection wave when one or more sensors S among the plurality of sensors S1 to S3 whose detection range includes the processing device 200 is not performing detection processing. do. In this case, unnecessary detection waves are not emitted, making it possible to save labor.
  • the manner in which the detection process of the sensor S is not performed is not limited to not emitting a detection wave, and for example, the manner in which the sensor S is stopped (turns off the power supply), or the detection result of the sensor S is It is also possible to process it so that it is not used, physically block the detection wave of the sensor S, etc.
  • the conveyance vehicle controller 9 controls the rotation unit 7 so that the article 100 is gripped in a prescribed direction with respect to the gripping unit 8. Control. In this case, the overhead transport vehicle 1 can always grip the article 100 in a fixed direction, and subsequent rotation adjustment becomes easy.
  • the object is the article 100, but the article is not particularly limited, and may be various objects as long as it is an object that is transported by the overhead transport vehicle 1.
  • the guided vehicle controller 9 is provided as the control section, but instead of this, one or more controllers different from the guided vehicle controller 9 may be provided as the control section.
  • the number and position of the sensors S are not limited. A plurality of sensors S may be installed on the ceiling transport vehicle 1, and the sensor S may be installed at various locations.
  • the first position where it is least necessary to rotate the gripping part in terms of the layout of the trajectory is set as the initial position, but this is not limited to this.
  • the second position and the third position may be the initial position, or may be any other position.
  • the detection ranges R1 to R3 of the first to third sensors S1 to S3 are not particularly limited.
  • the first to third sensors S1 to S3 may be sensors whose detection ranges R1 to R3 can be changed (switched) as appropriate.
  • the second sensor S2 when articles 100A and 100B are placed in the second load port 202 side by side in the Y direction, the second sensor S2 has a detection range corresponding to article 100A.
  • the detection range R2A is a range that includes the article 100A but does not include the article 100B (that is, covers only the article 100A) when viewed from the front side of the second load port 202.
  • FIG. 6(a) when articles 100A and 100B are placed in the second load port 202 side by side in the Y direction, the second sensor S2 has a detection range corresponding to article 100A.
  • the detection range R2A is a range that includes
  • Range R2B may be switched as detection range R2.
  • the detection range R2B is a range that includes the article 100B but does not include the article 100A (that is, covers only the article 100B) when viewed from the front side of the second load port 202.
  • the second sensor S2 may, of course, have a detection range that corresponds to both the articles 100A and 100B (a range that includes the articles 100A and 100B, a range that covers the articles 100A and 100B).
  • the rotation unit 7 rotates the gripping unit 8 and the rotational position of the gripping unit 8 is switched between the first to third positions, but the rotation of the gripping unit 8 by the rotation unit 7 is not particularly limited.
  • the rotation unit 7 may rotate the gripping unit 8 so that the rotational position of the gripping unit 8 around the central axis is an arbitrary position.
  • the gripping unit 8 may be rotated by the rotation unit 7 so that the rotational position of the gripping unit 8 changes between at least two of the first to fifth positions.
  • the fourth position is a rotational position that is +180° different from the first position
  • the fifth position is a rotational position that is ⁇ 180° different from the first position.
  • another sensor S is located on the other side of the moving direction (first sensor S1 and may be further installed on the opposite side).
  • port information is acquired from map data, but it may also be acquired by receiving it from, for example, a higher-level controller (not shown).
  • a higher-level controller not shown
  • the layout of the track 20 is not limited to the example shown in FIG. 2, and various layouts can be adopted.
  • Each configuration in the above embodiments is not limited to the materials and shapes described above, and various materials and shapes can be applied.
  • Each configuration in the above embodiment or modified example can be arbitrarily applied to each configuration in other embodiments or modified examples. Some of the configurations in the above embodiments or modified examples can be omitted as appropriate without departing from the gist of one aspect of the present invention.
  • An overhead transport vehicle that travels along a track and transports goods, a transfer unit that transfers the article to and from a load port included in the device; a plurality of sensors that emit detection waves downward to detect the presence or absence of an obstacle when the article is transferred by the transfer unit, and that have mutually different detection ranges;
  • a control unit that controls the ceiling transport vehicle,
  • the transfer unit includes a gripping part that grips the article, a rotating part that rotates the gripping part about a rotation axis along a vertical direction, and an elevating part that raises and lowers the gripping part,
  • the control unit includes: When the transfer section transfers the article, the rotating section is controlled according to the direction of access onto the load port so that the article is transferred in a prescribed direction, and the plurality of sensors
  • the ceiling transport vehicle is configured to prevent one or more sensors including the device within the detection range from performing detection processing depending on the positional relationship with respect to
  • ⁇ Invention 2> The elevating part raises and lowers the rotating part together with the gripping part,
  • the rotational part is configured such that the rotational position of the gripping part about the rotational axis is at least a first position, a second position different from the first position by +90°, and a second position different from the first position by -90°.
  • the ceiling conveyance vehicle according to invention 1 or 2 wherein the grip portion is rotated so as to be switched between a different third position.
  • the transfer section is Invention 1, comprising an adjustment section that rotates the lifting section about the rotation axis together with the gripping section and the rotating section, and adjusting the rotational positions of the gripping section, the rotating section, and the lifting section around the rotational axis.
  • the ceiling transport vehicle according to any one of items 4 to 4.
  • the control unit includes: Pre-stored used sensor information in which a rotational position of the gripping part around the rotation axis and one or more sensors used among the plurality of sensors are associated, Invention 1, when the transfer unit transfers the article, one or more of the sensors to be disabled is determined based on the used sensor information and the rotational position of the gripping unit about the rotation axis.
  • the ceiling transport vehicle according to any one of items 5 to 5.
  • the trajectory includes a passing trajectory that passes over the device and passes over the load port included in the device along the front-rear direction of the load port. Ceiling carrier.
  • the control unit includes: Any one of inventions 1 to 8, wherein when transferring the article from the load port to the gripping part, the rotating part is controlled so that the article is gripped in a prescribed direction with respect to the gripping part. Ceiling transport vehicle described in .

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Abstract

軌道に沿って走行し、物品を搬送する天井搬送車であって、装置が有するロードポートとの間で物品を移載する移載部と、移載部による物品の移載の際に、下方へ向けて検出波を出射して障害物の有無を検知し、互いに異なる検知範囲を有する複数のセンサと、天井搬送車を制御する制御部と、を備える。移載部は、物品を把持する把持部と、鉛直方向に沿う回転軸を基軸に把持部を回転させる回転部と、把持部を昇降させる昇降部と、を含む。制御部は、移載部による物品の移載の際に、規定の向きで物品が移載されるようにロードポート上へアクセスする方向に応じて回転部を制御すると共に、複数のセンサの中でロードポートに対する位置関係によって装置を検知範囲に含む１又は複数のセンサの検出処理を行わないようにする。

Description

天井搬送車
　本発明の一側面は、天井搬送車に関する。
　天井搬送車に関する技術として、例えば特許文献１には、天井に設置された軌道と、該軌道に沿って走行するホイスト付台車（天井搬送車）と、を備えた天井走行搬送装置が記載されている。特許文献１に記載された天井走行搬送装置では、走行するホイスト付台車を製造装置のロードポートの上方に停止させ、ハンド吊り下げ部を巻下げてハンドを下降させ、該ハンドにより物品を保持する。ホイスト付台車側には、ホイスト付台車とロードポートとの間の昇降経路を光探索して障害物の有無を検知する障害物検知センサ（センサ）が設けられている。
特許第３３７１８９７号公報
　物品は側面の１方向に蓋を有し、ロードポートは自身に対して蓋が特定の方向となるように受け取る必要がある。すなわち、上述した技術では、ロードポートとの間で移載する物品の向きを規定された向きに合わせるために、天井搬送車がロードポート上へアクセスする方向が制限されるおそれがある。具体的には、上述した条件を満たすために、ロードポートの左右方向に延在する軌道しか設けられなかった。さらにこの場合、ロードポートに対する天井搬送車の向きは常に一定であるため、ロードポート周辺の安全性を確保するセンサは１方向の定められたエリアのみを検知している。以上のことから、上述した技術では、軌道のレイアウトの自由度が低く、ロードポート上へアクセスするために天井搬送車が遠回りするような軌道となり得るため、搬送効率が低下する可能性がある。
　そこで、本発明の一側面は、軌道のレイアウトの自由度を高め、搬送効率を向上することが可能な天井搬送車を提供することを目的とする。
　本発明の一側面に係る天井搬送車は、軌道に沿って走行し、物品を搬送する天井搬送車であって、装置が有するロードポートとの間で物品を移載する移載部と、移載部による物品の移載の際に、下方へ向けて検出波を出射して障害物の有無を検知し、互いに異なる検知範囲を有する複数のセンサと、天井搬送車を制御する制御部と、を備え、移載部は、物品を把持する把持部と、鉛直方向に沿う回転軸を基軸に把持部を回転させる回転部と、把持部を昇降させる昇降部と、を含み、制御部は、移載部による物品の移載の際に、規定の向きで物品が移載されるようにロードポート上へアクセスする方向に応じて回転部を制御すると共に、複数のセンサの中でロードポートに対する位置関係によって装置を検知範囲に含む１又は複数のセンサの検出処理を行わないようにする。
　この天井搬送車では、物品の移載の際に、ロードポートに規定された向きで物品が移載されるように当該物品を回転させることができる。このとき、装置を検知範囲に含む１又は複数のセンサの検出処理を行わないことから、装置がセンサにより障害物として誤検知されることもない。したがって、ロードポートへ天井搬送車がアクセスする方向によらずに、ロードポート周辺の安全性をセンサで確保しながら物品をロードポートに規定された向きに合わせて、天井搬送車とロードポートとの間で物品を移載することができる。例えばロードポートへ天井搬送車が遠回りしてアクセスするような軌道が不要となり、軌道のレイアウトの自由度を高め、搬送効率を向上することが可能となる。
　本発明の一側面に係る天井搬送車では、昇降部は、把持部とともに回転部を昇降させ、回転部は、把持部のみを回転させてもよい。この場合、移載の際に物品の向きを変える回転を、小型の機構で実現可能となる。
　本発明の一側面に係る天井搬送車では、回転部は、把持部の回転軸回りの回転位置が、少なくとも、第１位置と、第１位置に対して＋９０°異なる第２位置と、第１位置に対して－９０°異なる第３位置と、の間で切り替わるように、把持部を回転させてもよい。この場合、回転部による回転の角度を調整するための機器（エンコーダー等）が不要となる。
　本発明の一側面に係る天井搬送車では、センサは、平面視において、天井搬送車における進行方向の前方、後方及び一側方の三方向を少なくとも検知範囲としてもよい。これにより、天井搬送車が三方向からロードポートにアクセスしても、三方向に設置されたセンサの何れかをロードポート上へのアクセス方向に応じて適宜に用いることで、障害物の有無を検知することができる。また、用いるセンサの数を抑えて、障害物の有無を検知可能となる。
　本発明の一側面に係る天井搬送車では、移載部は、把持部及び回転部とともに昇降部を回転軸を基軸に回転させ、把持部、回転部及び昇降部の回転軸回りの回転位置を調整する調整部を含んでいてもよい。この場合、調整部と回転部との２段階で物品を回転可能となる。
　本発明の一側面に係る天井搬送車では、制御部は、把持部の回転軸回りの回転位置と、複数のセンサの中で使用する１又は複数のセンサと、が関連付けられた使用センサ情報を予め記憶しており、移載部による物品の移載の際に、使用センサ情報と把持部の回転軸回りの回転位置とに基づいて、検出処理を行わない１又は複数のセンサを決定してもよい。この場合、予め記憶した使用センサ情報を用いて、装置を検知範囲に含む１又は複数のセンサで検出処理を行わないことができる。
　本発明の一側面に係る天井搬送車では、天井搬送車は、軌道に沿って走行し、軌道は、装置上を通過し、且つ、当該装置が有するロードポート上を当該ロードポートの前後方向に沿って通過する通過軌道を含んでいてもよい。このように軌道が通過軌道を含むことから、当該ロードポートへ回り込むようにしてアクセスする軌道を含む場合に比べて、搬送効率を向上することが可能となる。
　本発明の一側面に係る天井搬送車では、制御部は、複数のセンサの中で装置を検知範囲に含む１又は複数のセンサの検出処理を行わないとき、検出波を出射しないよう制御してもよい。停止することで無効にしてもよい。この場合、余分な電力を使用しない。
　本発明の一側面に係る天井搬送車では、制御部は、ロードポートから把持部へ物品を移載する場合、把持部に対して物品が規定の向きで把持されるように回転部を制御してもよい。この場合、天井搬送車は常に一定の方向で物品を把持することができ、以降の回転の調整が容易となる。また、重心が常に一定となるため、走行にかかる負荷が少なくてすむ。
　本発明の一側面によれば、軌道のレイアウトの自由度を高め、搬送効率を向上することが可能な天井搬送車を提供することが可能となる。
図１は、実施形態に係る天井搬送車を示す概略側面図である。 図２は、軌道のレイアウトの例を示す平面図である。 図３は、ロードポートから天井搬送車へ物品を移載する例を示す図である。 図４は、ロードポートから天井搬送車へ物品を移載する他の例を示す図である。 図５は、ロードポートから天井搬送車へ物品を移載する更に他の例を示す図である。 図６（ａ）は、変形例に係る第２センサの検知範囲を示す図である。図６（ｂ）は、他の変形例に係る第２センサの検知範囲を示す図である。
　以下、図面を参照して、一実施形態を詳細に説明する。同一又は相当要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。
　図１、図２及び図３に示されるように、天井搬送車１は、例えば半導体デバイスが製造されるクリーンルームの天井付近に敷設された軌道２０に沿って走行する。天井搬送車１は、物品１００を搬送する。物品１００は、例えば複数の半導体ウェハが収容されたＦＯＵＰ（Front　Opening　Unified　Pod）である。図中において、Ｘ方向は一の水平方向に対応し、Ｙ方向はＸ方向に垂直な水平方向に対応し、Ｚ方向は鉛直方向に対応する。
　天井搬送車１は、複数の処理装置（装置）２００が有するロードポート２１０との間で物品１００の移載を行う。処理装置２００は、例えば半導体ウェハに各種処理を施す装置である。複数の処理装置２００は、図２に示される例では、クリーンルームにおいて所定間隔をあけてＸ方向に並ぶように配置されている。
　軌道２０は、例えば天井から吊り下げられている。軌道２０は、天井搬送車１を走行させるための予め定められた一方通行の走行路である。軌道２０は、複数のロードポート２１０上を通過する。軌道２０は、通過軌道２５を含む。通過軌道２５は、処理装置２００上を通過し、且つ、当該処理装置２００が有するロードポート２１０上を当該ロードポート２１０の前後方向に沿って通過する軌道である。
　ロードポート２１０は、処理装置２００における載置台である。ロードポート２１０には、１又は複数の物品１００が載置される。ロードポート２１０は、平面視において処理装置２００の通路側（外縁側）に配置される。ロードポート２１０には、向きが設定されており、例えばロードポート２１０の通路側が前側（正面側）の向きとされている。ロードポート２１０には、物品１００が規定の向きで移載される。例えば、物品１００の前側（蓋側と反対側）とロードポート２１０の前側とが合うように、物品１００がロードポート２１０上に載置される。
　ロードポート２１０は、第１ロードポート２０１、第２ロードポート２０２及び第３ロードポート２０３を含む。第１ロードポート２０１は、その前後方向と軌道２０の通行方向とが交差（直交）する載置台である。第２及び第３ロードポート２０２，２０３は、その前後方向に沿って通過軌道２５が通過する載置台である。第２ロードポート２０２では、その前側から後側へ向く方向が通過軌道２５の通行方向に対応する。第３ロードポート２０３では、その後側から前側へ向く方向が通過軌道２５の通行方向に対応する。第２及び第３ロードポート２０２，２０３は、平面視において処理装置２００に入り込むように設けられている。第２及び第３ロードポート２０２，２０３は、処理装置２００における通路側及び上側に開けた空間内に配置されている。
　天井搬送車１は、フレームユニット２と、走行ユニット３と、ラテラルユニット４と、シータユニット（調整部）５と、昇降駆動ユニット（昇降部）６と、回転ユニット（回転部）７と、把持ユニット（把持部）８と、搬送車コントローラ（制御部）９と、を備える。
　フレームユニット２は、センターフレーム１５と、フロントフレーム１６と、リアフレーム１７と、を有する。フロントフレーム１６は、センターフレーム１５における前側（天井搬送車１の進行方向における前側）の端部から下側に延在している。リアフレーム１７は、センターフレーム１５における後側（天井搬送車１の進行方向における後側）の端部から下側に延在している。
　走行ユニット３は、センターフレーム１５の上側に配置されている。走行ユニット３は、例えば、軌道２０に沿って敷設された高周波電流線から非接触で電力の供給を受けることで、軌道２０に沿って走行する。ラテラルユニット４は、センターフレーム１５の下側に配置されている。ラテラルユニット４は、シータユニット５、昇降駆動ユニット６、回転ユニット７及び把持ユニット８を横方向（天井搬送車１の進行方向における側方）に移動させる。
　シータユニット５は、ラテラルユニット４の下側に配置されている。シータユニット５は、把持ユニット８及び回転ユニット７とともに昇降駆動ユニット６をＺ方向に沿う中心軸（回転軸）を基軸に回転させ、把持ユニット８、回転ユニット７及び昇降駆動ユニット６の当該中心軸回りの回転位置を調整する。昇降駆動ユニット６は、シータユニット５の下側に配置されている。昇降駆動ユニット６は、把持ユニット８とともに回転ユニット７を昇降させる。昇降駆動ユニット６は、回転ユニット７に接続されたベルトＢの巻取りないし繰出しによって昇降させる。
　回転ユニット７は、複数のベルトＢで昇降駆動ユニット６に吊り下げられている。回転ユニット７は、Ｚ方向に沿う中心軸（回転軸）を基軸に把持ユニット８のみを回転させる。回転ユニット７は、スリップリング方式の旋回機構を構成する。例えば回転ユニット７は、中心軸に配置されたスリップリングと、中心軸から離れて配置され当該スリップリングにギヤで接続されたモータと、を含む。回転ユニット７は、把持ユニット８の中心軸回りの回転位置が、少なくとも、初期位置である第１位置と、第１位置に対して＋９０°異なる第２位置と、第１位置に対して－９０°異なる第３位置と、の間で切り替わるように、把持ユニット８を回転させる。
　把持ユニット８は、回転ユニット７の下側に配置されている。把持ユニット８は、物品１００を規定の向きで把持（保持）する。把持ユニット８は、一対のグリッパ１２，１２を有する。一対のグリッパ１２，１２は、例えば駆動モータ及びリンク機構によって開閉させられる。回転ユニット７及び把持ユニット８は、昇降駆動ユニット６によるベルトＢの巻取りないし繰出しによって昇降する。ラテラルユニット４、シータユニット５、昇降駆動ユニット６、回転ユニット７及び把持ユニット８は、ロードポート２１０との間で物品１００を移載する移載部を構成する。以下、ラテラルユニット４、シータユニット５、昇降駆動ユニット６、回転ユニット７及び把持ユニット８を、単に「移載部」ともいう。
　搬送車コントローラ９は、例えばフレームユニット２内に配置されている。搬送車コントローラ９は、ＣＰＵ（Central　Processing　Unit）、ＲＯＭ（Read　only　memory）及びＲＡＭ(Random　access　memory)等によって構成された電子制御ユニットである。搬送車コントローラ９は、天井搬送車１の各部を制御する。
　ここで、本実施形態の天井搬送車１は、複数のセンサＳを備える。センサＳは、移載部（ラテラルユニット４、シータユニット５、昇降駆動ユニット６、回転ユニット７及び把持ユニット８）による物品１００の移載の際に、指向性を有する検出波を下方へ向けて出射して障害物の有無を検知する。センサＳは、いわゆるルックダウンセンサである。センサＳとしては、特に限定されないが、例えばレーザレンジファインダーが用いられる。センサＳは、超音波等の他の検出波を照射する構成であってもよい。
　例えばセンサＳは、把持ユニット８の降下先の近傍に向けてレーザ光を出射し、その反射光を受光する。センサＳは、受光したレーザ光の反射光に基づいて、ロードポート２１０の周辺に障害物が存在するか否かを検出する。例えば、センサＳは、ロードポート２１０の前側（通路側）に、作業者等の障害物が存在するか否かを検出する。センサＳは、搬送車コントローラ９に接続されている。複数のセンサＳは、第１センサＳ１、第２センサＳ２及び第３センサＳ３を含む。
　第１センサＳ１は、平面視において、天井搬送車１における進行方向の一側方に設置されている。第１センサＳ１は、昇降駆動部１４の下部に設けられている。第１センサＳ１は、検知範囲Ｒ１内の障害物の有無を検知する。検知範囲Ｒ１は、第１センサＳ１を起点として、下方にＸＺ面に沿って二次元状に拡がる範囲である。検知範囲Ｒ１は、第１センサＳ１の検知結果を有効とする範囲である。検知範囲Ｒ１の範囲は、ＸＺ面に沿っていればよく、ＸＺ面に対して傾斜していてもよい。
　第２センサＳ２は、平面視において、天井搬送車１における進行方向の後方に設置されている。第２センサＳ２は、リアフレーム１７の下部に設けられている。検知範囲Ｒ２は、第２センサＳ２を起点として、下方にＹＺ面に沿って二次元状に拡がる範囲である。検知範囲Ｒ２は、第２センサＳ２の検知結果を有効とする範囲である。検知範囲Ｒ２の範囲は、ＹＺ面に沿っていればよく、ＹＺ面に対して傾斜していてもよい。
　第３センサＳ３は、平面視において、天井搬送車１における進行方向の前方に設置されている。第３センサＳ３は、フロントフレーム１６の下部に設けられている。検知範囲Ｒ３は、第３センサＳ３を起点として、下方にＹＺ面に沿って二次元状に拡がる範囲である。検知範囲Ｒ３は、第３センサＳ３の検知結果を有効とする範囲である。検知範囲Ｒ３の範囲は、ＹＺ面に沿っていればよく、ＹＺ面に対して傾斜していてもよい。
　搬送車コントローラ９は、複数のロードポート２１０の位置及び向き等に関するマップデータを予め記憶する。搬送車コントローラ９は、例えば物品１００を搬送する搬送指令を上位コントローラから受信した場合、その搬送元及び搬送先のロードポート２１０の位置及び規定の向きに関するポート情報を、マップデータから取得する。搬送車コントローラ９は、ポート情報に基づき走行ユニット３を制御し、当該ロードポート２１０に対応する位置へ天井搬送車１を走行させる。そして、搬送車コントローラ９は、移載部を制御し、当該ロードポート２１０の間で物品１００の移載を行う。
　搬送車コントローラ９は、移載部による物品１００の移載の際に、規定の向きで物品１００が移載されるように回転ユニット７を制御する。具体的には、搬送車コントローラ９は、移載部により物品１００を移載する場合、ポート情報に基づき回転ユニット７を制御し、当該ロードポート２１０に規定された規定の向きと把持ユニット８で把持する物品１００の向きとが合うように、把持ユニット８を中心軸回りに回転させる。
　搬送車コントローラ９は、移載部による物品１００の移載の際に、複数のセンサＳの中で処理装置２００を検知範囲に含む１又は複数のセンサＳを無効にする。具体的には、搬送車コントローラ９は、把持ユニット８の中心軸回りの回転位置と、複数のセンサＳの中で使用する１又は複数のセンサと、が関連付けられた使用センサ情報を予め記憶する。走行中はすべてのセンサSの検出処理は行わないようになっているが、移載部により物品１００を移載する場合、搬送車コントローラ９は、使用センサ情報と把持ユニット８の中心軸回りの回転位置とに基づいて、使用するセンサＳの検出処理を実行する。検出処理を実行するとは、具体的には把持ユニット８の降下先の近傍に向けてレーザ光を出射し、その反射光を受光することである。以上により移載時において、処理装置２００を検知範囲に含む１又は複数のセンサＳは、検出処理を行わない。
　ここでの使用センサ情報では、把持ユニット８の回転位置として第１位置と第２位置と第３位置とが含まれ、これらの回転位置のそれぞれに対して、使用するセンサＳである第１～第３センサＳ１～Ｓ３の何れかが関連付けられている。例えば使用センサ情報では、把持ユニット８の回転位置が初期位置の第１位置には、使用するセンサＳとして第１センサＳ１が関連付けられ、把持ユニット８の回転位置が第１位置の＋９０°である第２位置には、使用するセンサＳとして第２センサＳ２が関連付けられ、把持ユニット８の回転位置が第１位置の－９０°である第３位置には、使用するセンサＳとして第３センサＳ３が関連付けられている。
　以上のように構成された天井搬送車１は、一例として、次のように動作する。
［第１ロードポート２０１と天井搬送車１との間の移載］
　例えば、図３に示されるように、第１ロードポート２０１から天井搬送車１に物品１００を移載する場合、まず、物品１００を保持していない天井搬送車１は、第１ロードポート２０１の位置及び向きに関するポート情報をマップデータから取得する。天井搬送車１は、ポート情報に基づき走行し、第１ロードポート２０１に対応する位置まで軌道２０に沿って走行して停止する。これと共に、天井搬送車１は、ポート情報に基づいて、移載する物品１００の向きが規定された向きに合うように回転ユニット７を回転させ、把持ユニット８の方向を調整する。なお、第１ロードポート２０１への移載の場合は、天井搬送車１では、把持ユニット８の中心軸回りの回転位置が初期位置である第１位置のままで移載可能であるため、回転ユニット７を回転させない。ただしこのとき、天井搬送車１は、下降させる把持ユニット８の位置が第１ロードポート２０１からずれている場合は、ラテラルユニット４及びシータユニット５を駆動することにより、回転ユニット７及び把持ユニット８の水平位置及び水平角度を調整する。
　本実施形態の天井搬送車１では、物品１００の移載の際、複数のセンサＳの中で処理装置２００を検知範囲に含む１又は複数のセンサＳの検出処理を行わない。具体的には、天井搬送車１は、使用センサ情報を参照し、把持ユニット８の中心軸回りの回転位置が初期位置である第１位置であることに基づき、第１センサＳ１を使用し且つ第２及び第３センサＳ２，Ｓ３の検出処理を行わないことを決定する。そして、天井搬送車１は、第１センサＳ１のみを用いて第１ロードポート２０１の周辺（前側）の障害物の有無を検知する。続いて、天井搬送車１は、昇降駆動ユニット６により回転ユニット７及び把持ユニット８を下降させ、第１ロードポート２０１に載置されている物品１００のフランジを把持ユニット８で把持する。その後、天井搬送車１は、昇降駆動ユニット６により回転ユニット７及び把持ユニット８を最上昇位置まで上昇させたのち、走行可能となる。
　一方、天井搬送車１から第１ロードポート２０１に物品１００を移載する場合、まず、物品１００を保持した天井搬送車１は、第１ロードポート２０１の位置及び向きに関するポート情報をマップデータから取得する。天井搬送車１は、ポート情報に基づき走行し、第１ロードポート２０１に対応する位置まで軌道２０に沿って走行して停止する。これと共に、天井搬送車１は、ポート情報に基づいて、移載する物品１００の向きが規定された向きに合うように回転ユニット７を回転させ、把持ユニット８の方向を調整する。ここでは、天井搬送車１では、把持ユニット８の中心軸回りの回転位置が第１位置のままで移載可能であるため、回転ユニットを回転させない。ただしこのとき、天井搬送車１は、下降させる把持ユニット８の位置が第１ロードポート２０１からずれている場合は、ラテラルユニット４及びシータユニット５を駆動することにより、回転ユニット７及び把持ユニット８の水平位置及び水平角度を調整する。
　本実施形態の天井搬送車１では、物品１００の移載の際、複数のセンサＳの中で処理装置２００を検知範囲に含む１又は複数のセンサＳの検出処理を行わないようにする。具体的には、天井搬送車１は、使用センサ情報を参照し、把持ユニット８の中心軸回りの回転位置が第１位置であることに基づき、第１センサＳ１を使用し且つ第２及び第３センサＳ２，Ｓ３の検出処理を行わないことを決定する。そして、天井搬送車１は、第１センサＳ１のみを用いて第１ロードポート２０１の周辺（前側）の障害物の有無を検知する。続いて、天井搬送車１は、昇降駆動ユニット６により回転ユニット７及び把持ユニット８を下降させ、第１ロードポート２０１に物品１００を載置し、把持ユニット８によるフランジの把持を解放する。その後、天井搬送車１は、昇降駆動ユニット６により回転ユニット７及び把持ユニット８を最上昇位置まで上昇させたのち、走行可能となる。
［第２ロードポート２０２と天井搬送車１との間の移載］
　例えば、図４に示されるように、第２ロードポート２０２から天井搬送車１に物品１００を移載する場合、まず、物品１００を保持していない天井搬送車１は、第２ロードポート２０２の位置及び向きに関するポート情報をマップデータから取得する。天井搬送車１は、ポート情報に基づき走行し、第２ロードポート２０２に対応する位置まで軌道２０に沿って走行して停止する。これと共に、天井搬送車１は、ポート情報に基づいて、移載する物品１００の向きが規定された向きに合うように回転ユニット７を回転させ、把持ユニット８の方向を調整する。ここでは、天井搬送車１は、回転ユニット７を制御し、把持ユニット８の中心軸回りの回転位置を第１位置に対して＋９０°異なる第２位置とし、把持ユニット８に対して物品１００が規定の向きで把持されるようにする。このとき、天井搬送車１は、下降させる把持ユニット８の位置が第２ロードポート２０２からずれている場合、ラテラルユニット４及びシータユニット５を駆動することにより、回転ユニット７及び把持ユニット８の水平位置及び水平角度を調整する。
　本実施形態の天井搬送車１では、物品１００の移載の際、複数のセンサＳの中で処理装置２００を検知範囲に含む１又は複数のセンサＳの検出処理を行わないようにする。具体的には、天井搬送車１は、使用センサ情報を参照し、把持ユニット８の中心軸回りの回転位置が第２位置であることに基づき、第２センサＳ２を使用し且つ第１及び第３センサＳ１，Ｓ３の検出処理を行わないことを決定する。そして、天井搬送車１は、第２センサＳ２のみを用いて第２ロードポート２０２の周辺（前側）の障害物の有無を検知し、第１及び第３センサＳ１，Ｓ３からの検出波の出力を停止する。続いて、天井搬送車１は、昇降駆動ユニット６により回転ユニット７及び把持ユニット８を下降させ、第２ロードポート２０２に載置されている物品１００のフランジを把持ユニット８で把持する。その後、天井搬送車１は、昇降駆動ユニット６により回転ユニット７及び把持ユニット８を最上昇位置まで上昇させたのち、把持ユニット８の回転位置を初期位置である第１位置に戻るように回転ユニット７を回転させる。把持ユニット８の回転位置が初期位置に戻ったのち、天井搬送車１は走行可能となる。
　一方、天井搬送車１から第２ロードポート２０２に物品１００を移載する場合、まず、物品１００を保持した天井搬送車１は、第２ロードポート２０２の位置及び向きに関するポート情報をマップデータから取得する。天井搬送車１は、ポート情報に基づき走行し、第２ロードポート２０２に対応する位置まで軌道２０に沿って走行して停止する。これと共に、天井搬送車１は、ポート情報に基づいて、移載する物品１００の向きが規定された向きに合うように回転ユニット７を回転させる。ここでは、天井搬送車１は、回転ユニット７を制御し、把持ユニット８の中心軸回りの回転位置を第２位置とし、第２ロードポート２０２に対して物品１００が規定の向きで載置されるようにする。このとき、天井搬送車１は、下降させる把持ユニット８の位置が第２ロードポート２０２からずれている場合、ラテラルユニット４及びシータユニット５を駆動することにより、回転ユニット７及び把持ユニット８の水平位置及び水平角度を調整する。
　本実施形態の天井搬送車１では、物品１００の移載の際、複数のセンサＳの中で処理装置２００を検知範囲に含む１又は複数のセンサＳの検出処理を行わない。具体的には、天井搬送車１は、使用センサ情報を参照し、把持ユニット８の中心軸回りの回転位置が第２位置であることに基づき、第２センサＳ２を使用し且つ第１及び第３センサＳ１，Ｓ３の検出処理を行わないことを決定する。そして、天井搬送車１は、第２センサＳ２のみを用いて第２ロードポート２０２の周辺（前側）の障害物の有無を検知する。続いて、天井搬送車１は、昇降駆動ユニット６により回転ユニット７及び把持ユニット８を下降させ、第２ロードポート２０２に物品１００を載置し、把持ユニット８によるフランジの把持を解放する。その後、天井搬送車１は、昇降駆動ユニット６により回転ユニット７及び把持ユニット８を最上昇位置まで上昇させたのち、把持ユニット８の回転位置を初期位置である第１位置に戻るように回転ユニット７を回転させる。把持ユニット８の回転位置が初期位置に戻ったのち、天井搬送車１は走行可能となる。
［第３ロードポート２０３と天井搬送車１との間の移載］
　例えば、図５に示されるように、第３ロードポート２０３から天井搬送車１に物品１００を移載する場合、まず、物品１００を保持していない天井搬送車１は、第３ロードポート２０３の位置及び向きに関するポート情報をマップデータから取得する。天井搬送車１は、ポート情報に基づき走行し、第３ロードポート２０３に対応する位置まで軌道２０に沿って走行して停止する。これと共に、天井搬送車１は、ポート情報に基づいて、移載する物品１００の向きが規定された向きに合うように回転ユニット７を回転させ、把持ユニット８の方向を調整する。ここでは、天井搬送車１は、回転ユニット７を制御し、把持ユニット８の中心軸回りの回転位置を第１位置に対して－９０°異なる第３位置とし、把持ユニット８に対して物品１００が規定の向きで把持されるようにする。このとき、天井搬送車１は、下降させる把持ユニット８の位置が第３ロードポート２０３からずれている場合、ラテラルユニット４及びシータユニット５を駆動することにより、回転ユニット７及び把持ユニット８の水平位置及び水平角度を調整する。
　本実施形態の天井搬送車１では、物品１００の移載の際、複数のセンサＳの中で処理装置２００を検知範囲に含む１又は複数のセンサＳの検出処理を行わない。具体的には、天井搬送車１は、使用センサ情報を参照し、把持ユニット８の中心軸回りの回転位置が第３位置であることに基づき、第３センサＳ３を使用し且つ第１及び第２センサＳ１，Ｓ２の検出処理を行わないことを決定する。そして、天井搬送車１は、第３センサＳ３のみを用いて第３ロードポート２０３の周辺（前側）の障害物の有無を検知する。続いて、天井搬送車１は、昇降駆動ユニット６により回転ユニット７及び把持ユニット８を下降させ、第３ロードポート２０３に載置されている物品１００のフランジを把持ユニット８で把持する。その後、天井搬送車１は、昇降駆動ユニット６により回転ユニット７及び把持ユニット８を最上昇位置まで上昇させたのち、把持ユニット８の回転位置を初期位置である第１位置に戻るように回転ユニット７を回転させる。把持ユニット８の回転位置が初期位置に戻ったのち、天井搬送車１は走行可能となる。
　一方、天井搬送車１から第３ロードポート２０３に物品１００を移載する場合、まず、物品１００を保持した天井搬送車１は、第３ロードポート２０３の位置及び向きに関するポート情報をマップデータから取得する。天井搬送車１は、ポート情報に基づき走行し、第３ロードポート２０３に対応する位置まで軌道２０に沿って走行して停止する。これと共に、天井搬送車１は、ポート情報に基づいて、移載する物品１００の向きが規定された向きに合うように回転ユニット７を回転させ、把持ユニット８の方向を調整する。ここでは、天井搬送車１は、回転ユニット７を制御し、把持ユニット８の中心軸回りの回転位置を第３位置とし、第３ロードポート２０３に対して物品１００が規定の向きで載置されるようにする。このとき、天井搬送車１は、下降させる把持ユニット８の位置が第３ロードポート２０３からずれている場合、ラテラルユニット４及びシータユニット５を駆動することにより、回転ユニット７及び把持ユニット８の水平位置及び水平角度を調整する。
　特に、本実施形態の天井搬送車１では、物品１００の移載の際、複数のセンサＳの中で処理装置２００を検知範囲に含む１又は複数のセンサＳの検出処理を行わない。具体的には、天井搬送車１は、使用センサ情報を参照し、把持ユニット８の中心軸回りの回転位置が第３位置であることに基づき、第３センサＳ３を使用し且つ第１及び第２センサＳ１，Ｓ２の検出処理を行わないことを決定する。そして、天井搬送車１は、第３センサＳ３のみを用いて第３ロードポート２０３の周辺（前側）の障害物の有無を検知する。続いて、天井搬送車１は、昇降駆動ユニット６により回転ユニット７及び把持ユニット８を下降させ、第３ロードポート２０３に物品１００を載置し、把持ユニット８によるフランジの把持を解放する。その後、天井搬送車１は、昇降駆動ユニット６により回転ユニット７及び把持ユニット８を最上昇位置まで上昇させたのち、把持ユニット８の回転位置を初期位置である第１位置に戻るように回転ユニット７を回転させる。把持ユニット８の回転位置が初期位置に戻ったのち、天井搬送車１は走行可能となる。
　以上、天井搬送車１では、物品１００の移載の際に、規定の向きで物品１００が移載されるように当該物品１００を回転させることができる。このとき、処理装置２００を検知範囲に含む１又は複数のセンサＳの検出処理を行わないことから、処理装置２００がセンサＳにより障害物として誤検知されることもない。したがって、ロードポート２１０へ天井搬送車１がアクセスする方向によらずに、ロードポート２１０周辺の安全性をセンサＳで確保しながら物品１００の向きを規定された向きに合わせて、天井搬送車１とロードポート２１０との間で物品１００を移載することができる。
　したがって、例えば、１方向を検知範囲とするセンサＳで障害物の有無を検知する場合、ロードポート２１０へ天井搬送車１がアクセスする方向によっては、当該センサＳの検知範囲に処理装置２００が含まれて障害物が誤検知されるおそれがあるが、天井搬送車１では、当該誤検知を回避でき、軌道２０のレイアウトの制限もない。また例えば、物品１００を移載する際に物品１００の向きを規定の向きに合わせるために、ロードポート２１０へ天井搬送車１がアクセスする方向が決まってしまう場合があるが、天井搬送車１では、そのような軌道２０のレイアウトの制限もない。よって、天井搬送車１によれば、例えばロードポート２１０へ天井搬送車１が遠回りしてアクセスするような軌道２０が不要となり、軌道２０のレイアウトの自由度を高め、搬送効率を向上することが可能となる。
　天井搬送車１では、昇降駆動ユニット６は、把持ユニット８とともに回転ユニット７を昇降させ、回転ユニット７は、把持ユニット８のみを回転させる。この場合、移載の際に物品１００の向きを変える回転を、小型の機構で実現可能となる。
　天井搬送車１では、回転ユニット７は、把持ユニット８の中心軸回りの回転位置が、第１位置と、第１位置に対して＋９０°異なる第２位置と、第１位置に対して－９０°異なる第３位置と、の間で切り替わるように、把持ユニット８を回転させる。この場合、回転ユニット７による回転の角度を調整するための機器（エンコーダー等）が不要となる。
　天井搬送車１では、センサＳは、平面視において、天井搬送車１における進行方向の前方、後方及び一側方の三方向を検知範囲とした第１～第３センサＳ１～Ｓ３を含む。これにより、天井搬送車１が三方向からロードポート２１０にアクセスしても、これらの三方向を検知範囲とする第１～第３センサＳ１～Ｓ３の何れかをロードポート２１０上へのアクセス方向に応じて適宜に用いることで、障害物の有無を検知することができる。また、用いるセンサＳの数を抑えて、障害物の有無を検知可能となる。
　天井搬送車１では、移載部は、把持ユニット８、回転ユニット７及び昇降駆動ユニット６の回転軸回りの回転位置を調整するシータユニット５を含む。この場合、シータユニット５と回転ユニット７との２段階で物品１００を回転可能となる。
　天井搬送車１では、搬送車コントローラ９は、移載部による物品１００の移載の際に、使用センサ情報と把持ユニット８の中心軸回りの回転位置とに基づいて、検出処理を行わない１又は複数のセンサＳを決定する。この場合、予め記憶した使用センサ情報を用いて、処理装置２００を検知範囲に含む１又は複数のセンサＳで検出処理を行わないことができる。
　天井搬送車１では、軌道２０は、処理装置２００上を通過し、且つ、当該処理装置２００が有する第１及び第２ロードポート２０１，２０２上を当該第１及び第２ロードポート２０１，２０２の前後方向に沿って通過する通過軌道２５を含む。このように軌道２０が通過軌道２５を含むことから、当該第１及び第２ロードポート２０１，２０２へ回り込むようにしてアクセスする転回軌道を含む場合に比べて、搬送効率を向上することが可能となる。
　天井搬送車１では、搬送車コントローラ９は、複数のセンサＳ１～Ｓ３の中で処理装置２００を検知範囲に含む１又は複数のセンサＳの検出処理を行わないとき、検出波を出射しないよう制御する。この場合、不要な検出波を出射せず、省力化が可能となる。なお、センサＳの検出処理を行わないようにする態様は、検出波を射出しないことに特に限定されず、例えば、センサＳを停止させる（電源をオフにする）こと、センサＳの検知結果を用いないように処理すること、及び、センサＳの検出波を物理的に遮断すること等であってもよい。
　天井搬送車１では、搬送車コントローラ９は、ロードポート２１０から把持ユニット８へ物品１００を移載する場合、把持ユニット８に対して物品１００が規定の向きで把持されるように回転ユニット７を制御する。この場合、天井搬送車１は常に一定の方向で物品１００を把持することができ、以降の回転の調整が容易となる。
　以上、実施形態について説明したが、本発明の一態様は、上記実施形態に限られず、発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
　上記実施形態では、物品として物品１００を対象としているが、物品は特に限定されず、天井搬送車１で搬送される物体であれば、様々な物体であってもよい。上記実施形態では、搬送車コントローラ９を制御部として備えているが、これに代えて、搬送車コントローラ９とは別の１又は複数のコントローラを制御部として備えていてもよい。上記実施形態では、センサＳの数及び位置は限定されない。センサＳは、天井搬送車１に複数設置されていればよく、その設置箇所も種々の箇所であってもよい。
　上記実施形態では、軌道のレイアウト的に最も把持部を回転させる必要がない第１位置を初期位置としているが、その限りではない。第２位置、第３位置が初期位置であってもよいし、それ以外の位置であっても勿論よい。
　上記実施形態では、第１～第３センサＳ１～Ｓ３の検知範囲Ｒ１～Ｒ３は特に限定されない。第１～第３センサＳ１～Ｓ３は、検知範囲Ｒ１～Ｒ３を適宜に変更可能（切替え可能）なセンサであってもよい。例えば図６（ａ）に示されるように、第２センサＳ２は、第２ロードポート２０２に物品１００Ａ，１００ＢがＹ方向に並んで載置されている場合には、物品１００Ａに対応する検知範囲Ｒ２Ａを検知範囲Ｒ２として切り替えてもよい。検知範囲Ｒ２Ａは、第２ロードポート２０２の前側から見て、物品１００Ａを含み且つ物品１００Ｂを含まない（つまり、物品１００Ａのみをカバーする）範囲である。また例えば図６（ｂ）に示されるように、第２センサＳ２は、第２ロードポート２０２に物品１００Ａ，１００ＢがＹ方向に並んで載置されている場合には、物品１００Ｂに対応する検知範囲Ｒ２Ｂを検知範囲Ｒ２として切り替えてもよい。検知範囲Ｒ２Ｂは、第２ロードポート２０２の前側から見て、物品１００Ｂを含み且つ物品１００Ａを含まない（つまり、物品１００Ｂのみをカバーする）範囲である。なお、第２センサＳ２は、物品１００Ａ，１００Ｂの双方に対応する検知範囲（物品１００Ａ，１００Ｂを含む範囲、物品１００Ａ，１００Ｂをカバーする範囲）であっても勿論よい。
　上記実施形態では、回転ユニット７により把持ユニット８を回転させ、把持ユニット８の回転位置を第１～第３位置の間で切り替えたが、回転ユニット７による把持ユニット８の回転は特に限定されない。例えば上記実施形態では、回転ユニット７は、把持ユニット８の中心軸回りの回転位置が任意の位置となるように、把持ユニット８を回転させてもよい。また例えば上記実施形態では、把持ユニット８の回転位置が第１～第５位置のうちの少なくとも２つの間で替わるように、回転ユニット７により把持ユニット８を回転させてもよい。第４位置は、第１位置に対して＋１８０°異なる回転位置であり、第５位置は、第１位置に対して－１８０°異なる回転位置である。把持ユニット８の回転位置に第４及び第５回転位置の少なくとも何れかが含まれる場合、別のセンサＳが天井搬送車１の昇降駆動部１４における進行方向の他側方（第１センサＳ１とは反対側の側方）に更に設置されていてもよい。
　上記実施形態では、ポート情報についてマップデータから取得したが、例えば上位コントローラ（不図示）から受信することにより取得してもよい。上記実施形態では、軌道２０のレイアウトは図２に示される例に限定されず、種々のレイアウトを採用することができる。
　上記実施形態における各構成には、上述した材料及び形状に限定されず、様々な材料及び形状を適用することができる。上記実施形態又は変形例における各構成は、他の実施形態又は変形例における各構成に任意に適用することができる。上記実施形態又は変形例における各構成の一部は、本発明の一態様の要旨を逸脱しない範囲で適宜に省略可能である。
（■以下、マルチマルチ対応の記載を含めております。■）
　なお、以下、本発明の一態様の構成要件を記載する。
＜発明１＞
　軌道に沿って走行し、物品を搬送する天井搬送車であって、
　装置が有するロードポートとの間で前記物品を移載する移載部と、
　前記移載部による前記物品の移載の際に、下方へ向けて検出波を出射して障害物の有無を検知し、互いに異なる検知範囲を有する複数のセンサと、
　前記天井搬送車を制御する制御部と、を備え、
　前記移載部は、前記物品を把持する把持部と、鉛直方向に沿う回転軸を基軸に前記把持部を回転させる回転部と、前記把持部を昇降させる昇降部と、を含み、
　前記制御部は、
　　前記移載部による前記物品の移載の際に、規定の向きで前記物品が移載されるように前記ロードポート上へアクセスする方向に応じて前記回転部を制御すると共に、複数の前記センサの中で前記ロードポートに対する位置関係によって前記装置を前記検知範囲に含む１又は複数のセンサの検出処理を行わないようにする、天井搬送車。
＜発明２＞
　前記昇降部は、前記把持部とともに前記回転部を昇降させ、
　前記回転部は、前記把持部のみを回転させる、発明１に記載の天井搬送車。
＜発明３＞
　前記回転部は、前記把持部の前記回転軸回りの回転位置が、少なくとも、第１位置と、前記第１位置に対して＋９０°異なる第２位置と、前記第１位置に対して－９０°異なる第３位置と、の間で切り替わるように、前記把持部を回転させる、発明１又は２に記載の天井搬送車。
＜発明４＞
　前記センサは、平面視において、前記天井搬送車における進行方向の前方、後方及び一側方の三方向を少なくとも前記検知範囲としている、発明１～３の何れか一項に記載の天井搬送車。
＜発明５＞
　前記移載部は、
　　前記把持部及び前記回転部とともに前記昇降部を前記回転軸を基軸に回転させ、前記把持部、前記回転部及び前記昇降部の前記回転軸回りの回転位置を調整する調整部を含む、発明１～４の何れか一項に記載の天井搬送車。
＜発明６＞
　前記制御部は、
　　前記把持部の前記回転軸回りの回転位置と、複数の前記センサの中で使用する１又は複数のセンサと、が関連付けられた使用センサ情報を予め記憶しており、
　　前記移載部による前記物品の移載の際に、前記使用センサ情報と前記把持部の前記回転軸回りの回転位置とに基づいて、無効にする１又は複数の前記センサを決定する、発明１～５の何れか一項に記載の天井搬送車。
＜発明７＞
　前記軌道は、前記装置上を通過し、且つ、当該装置が有する前記ロードポート上を当該ロードポートの前後方向に沿って通過する通過軌道を含む、発明１～６の何れか一項に記載の天井搬送車。
＜発明８＞
　前記制御部は、複数の前記センサの中で前記装置を検知範囲に含む１又は複数のセンサの検出処理を行わないとき、射出波を射出しないよう制御する、発明１～７の何れか一項に記載の天井搬送車。
＜発明９＞
　前記制御部は、
　　前記ロードポートから前記把持部へ前記物品を移載する場合、前記把持部に対して前記物品が規定の向きで把持されるように前記回転部を制御する、発明１～８の何れか一項に記載の天井搬送車。
　１…天井搬送車、４…ラテラルユニット（移載部）、５…シータユニット（移載部，調整部）、６…昇降駆動ユニット（移載部，昇降部）、７…回転ユニット（移載部，回転部）、８…把持ユニット（移載部，把持部）、９…搬送車コントローラ（制御部）、２０…軌道、１００…物品、２００…処理装置（装置）、２０１…第１ロードポート（ロードポート）、２０２…第２ロードポート（ロードポート）、２０３…第３ロードポート（ロードポート）、２１０…ロードポート、Ｓ…センサ、Ｓ１…第１センサ（センサ）、Ｓ２…第２センサ、Ｓ３…第３センサ。

Claims (9)

  1. 　軌道に沿って走行し、物品を搬送する天井搬送車であって、
    　装置が有するロードポートとの間で前記物品を移載する移載部と、
    　前記移載部による前記物品の移載の際に、下方へ向けて検出波を出射して障害物の有無を検知し、互いに異なる検知範囲を有する複数のセンサと、
    　前記天井搬送車を制御する制御部と、を備え、
    　前記移載部は、前記物品を把持する把持部と、鉛直方向に沿う回転軸を基軸に前記把持部を回転させる回転部と、前記把持部を昇降させる昇降部と、を含み、
    　前記制御部は、
    　　前記移載部による前記物品の移載の際に、規定の向きで前記物品が移載されるように前記ロードポート上へアクセスする方向に応じて前記回転部を制御すると共に、複数の前記センサの中で前記ロードポートに対する位置関係によって前記装置を前記検知範囲に含む１又は複数のセンサの検出処理を行わないようにする、天井搬送車。
  2. 　前記昇降部は、前記把持部とともに前記回転部を昇降させ、
    　前記回転部は、前記把持部のみを回転させる、請求項１に記載の天井搬送車。
  3. 　前記回転部は、前記把持部の前記回転軸回りの回転位置が、少なくとも、第１位置と、前記第１位置に対して＋９０°異なる第２位置と、前記第１位置に対して－９０°異なる第３位置と、の間で切り替わるように、前記把持部を回転させる、請求項１又は２に記載の天井搬送車。
  4. 　前記センサは、平面視において、前記天井搬送車における進行方向の前方、後方及び一側方の三方向を少なくとも前記検知範囲としている、請求項１又は２に記載の天井搬送車。
  5. 　前記移載部は、
    　　前記把持部及び前記回転部とともに前記昇降部を前記回転軸を基軸に回転させ、前記把持部、前記回転部及び前記昇降部の前記回転軸回りの回転位置を調整する調整部を含む、請求項１又は２に記載の天井搬送車。
  6. 　前記制御部は、
    　　前記把持部の前記回転軸回りの回転位置と、複数の前記センサの中で使用する１又は複数のセンサと、が関連付けられた使用センサ情報を予め記憶しており、
    　　前記移載部による前記物品の移載の際に、前記使用センサ情報と前記把持部の前記回転軸回りの回転位置とに基づいて、無効にする１又は複数の前記センサを決定する、請求項１又は２に記載の天井搬送車。
  7. 　前記軌道は、前記装置上を通過し、且つ、当該装置が有する前記ロードポート上を当該ロードポートの前後方向に沿って通過する通過軌道を含む、請求項１又は２に記載の天井搬送車。
  8. 　前記制御部は、複数の前記センサの中で前記装置を検知範囲に含む１又は複数のセンサの検出処理を行わないとき、射出波を射出しないよう制御する、請求項１又は２に記載の天井搬送車。
  9. 　前記制御部は、
    　　前記ロードポートから前記把持部へ前記物品を移載する場合、前記把持部に対して前記物品が規定の向きで把持されるように前記回転部を制御する、請求項１又は２に記載の天井搬送車。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2014017222A1 (ja) * 2012-07-26 2014-01-30 村田機械株式会社 天井走行車システム及び天井走行車システムの制御方法
WO2015104887A1 (ja) * 2014-01-07 2015-07-16 村田機械株式会社 移載装置及び移載装置の制御方法

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