TWI751129B - 物品搬送設備 - Google Patents

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TWI751129B
TWI751129B TW105142691A TW105142691A TWI751129B TW I751129 B TWI751129 B TW I751129B TW 105142691 A TW105142691 A TW 105142691A TW 105142691 A TW105142691 A TW 105142691A TW I751129 B TWI751129 B TW I751129B
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吉岡秀郎
田中謙一
森下良治
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日商大福股份有限公司
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Abstract

第1引導體與第2引導體以第1移動體的第1移動軌跡的上端側部分與第2移動體的第2移動軌跡的下端側部分在上下方向的位置形成重複之形式的位置關係來配置。第1移動體具備第1移載裝置，且第2移動體具備第2移載裝置。可支撐物品的中繼用支撐台是配置在第1移動軌跡及第2移動軌跡均不重複的位置，且可從第1移載裝置及第2移載裝置的雙方移載物品之位置上。

Description

物品搬送設備
發明領域
本發明是有關於一種具備有沿上下方向而移動之物品搬送用的移動體之物品搬送設備。
發明背景
於日本專利特開第2011-066046號公報中，已揭示有物品搬送設備之一例，該物品搬送設備具有可在上下方向上具有複數個樓層(1、2、1)的半導體製造工廠中，將物品橫跨設定於不同樓層之搬送對象地點來搬送的複數個上下方向搬送裝置(4)(在背景中括弧內的符號為參照之文獻之(例如圖1)之符號。)。在上述文獻中，分別設置有在儲藏庫專用樓層(2)與較其上樓層之第2樓層(1)之間搬送物品之上下方向搬送裝置(4)、與在儲藏庫專用樓層(2)與較其下樓層之第1樓層(1)之間搬送物品之上下方向搬送裝置(4)。即，將第2樓層用的上下方向搬送裝置(4)與第1樓層用的上下方向搬送裝置(4)是設置在上下方向視角下不同的位置上。
此處，為了將物品搬送設備設置在上下方向 視角下較緊湊的設置區域中，較理想的是將上下方向搬送裝置(4)作為夾持儲藏庫專用樓層(2)而連結第1樓層(1)與第2樓層(1)的單一裝置來構成。然而，使物品搬送用的移動體在上下方向上以長距離來移動的情況下，例如採用皮帶驅動方式時，會發生長條的驅動皮帶產生蛇行之問題等伴隨著搬送距離之長距離化的種種的問題。因此，要在上下方向上橫跨比較長的距離來搬送物品的物品搬送設備上，有將上下方向的搬送區間分割並使其分擔到複數個上下方向搬送裝置之作法。
將這樣的上下方向搬送設備之一例顯示於圖8。如圖8所示，作為複數個上下方向搬送裝置，而設置有負責下層側之樓層的搬送裝置(圖8的下層側搬送裝置K21)，與負責上層側之樓層之搬送裝置(圖8的上層側搬送裝置K22)。下層側搬送裝置K21與上層側搬送裝置K22是以使下層側搬送裝置K21的上下方向的搬送範圍中的上端側部分、與上層側搬送裝置K22的上下方向的搬送範圍中的下端側部分於上下方向上重複的形式之位置關係(正交於上下方向的側面視角下重複的位置關係)，且在上下方向視角下互相分開的位置關係來設置。
在使下層側搬送裝置K21與上層側搬送裝置K22屬於在上下方向上重複的範圍之樓層中，設置有於水平方向上在上層側搬送裝置K22的移動體T、與上層側搬送裝置K22的移動體T之間搬送物品的水平方向搬送裝置V(台車或滾輪式輸送機)。亦即，下層側搬送裝置K21將物 品移交給水平方向搬送裝置V，水平方向搬送裝置V搬送物品並且將物品移交給上層側搬送裝置K22，藉此可以從下層側之樓層橫跨到上層側之樓層來搬送物品。又，相反地，上層側搬送裝置K22將物品移交給水平方向搬送裝置V，水平方向搬送裝置V搬送物品並且將物品移交給下層側搬送裝置K21，藉此可以從上層側之樓層橫跨到下層側之樓層來搬送物品。
如此一來，藉由在2個上下方向搬送裝置之間以水平方向搬送裝置V來進行搬送，即使是搬送對象的物品的上下方向之搬送距離較長的情況下，也可以適當地搬送物品。然而，在如圖8的構成中，除了於上下方向上搬送物品之搬送裝置之外，還必須設置於水平方向上搬送物品的搬送裝置，為了設置這些搬送裝置，必須有寬廣的設置空間。
發明概要
於是，即使在上下方向上的搬送距離較長的情況下仍可適當地搬送物品，而且在設置空間之點上有利的物品搬送設備是備受期望的。
有鑑於上述內容，沿著上下方向搬送物品之物品搬送設備作為1個態樣而具備：沿著上下方向配設之第1引導體；沿著上下方向配設之第2引導體；受前述第1引導體引導且沿著該第1引導體而移動之 物品搬送用的第1移動體；受前述第2引導體引導且沿著該第2引導體移動之物品搬送用的第2移動體；及可支撐物品之中繼用支撐台，前述第1移動體具備在與移載對象地點之間移載物品的第1移載裝置，前述第2移動體具備在與移載對象地點之間移載物品的第2移載裝置，將前述第1移動體的移動軌跡設為第1移動軌跡，將前述第2移動體的移動軌跡設為第2移動軌跡，前述第1引導體與前述第2引導體以前述第1移動軌跡的上端側部分與前述第2移動軌跡的下端側部分的上下方向的位置為重複之形式的位置關係來配置，前述中繼用支撐台配置在與前述第1移動軌跡及前述第2移動軌跡之雙方均不重複的位置，且可從前述第1移載裝置及前述第2移載裝置的雙方中移載物品之位置上。
亦即，由於第1移動體與第2移動體可透過中繼用支撐台來交接物品，所以即使是橫跨第1移動軌跡與第2移動軌跡之長距離，也可以在上下方向上適當地搬送搬送對象之物品。又，在物品搬送設備上沒有設置用於在水平方向上搬送物品的搬送裝置之情形下，第1移動體與第2移動體可以透過中繼用支撐台來中繼搬送對象之物品。因此可以實現設置空間的省空間化。像這樣，根據本構成，可以提供一種即使是上下方向的搬送距離較長的情 況下仍可適當地搬送物品，且在設置空間之點上有利的物品搬送設備。
再者，較理想的是，中繼用支撐台是設置在上下方向上第1移動軌跡與第2移動軌跡的重複範圍內。亦即，由於第1移動體及第2移動體的每一個無論何者均可以位於上述重複範圍內，所以只要將中繼用支撐台的上下方向上的位置預先設定在上述重複範圍內，就可使第1移載裝置與第2移載裝置均易於在中繼用支撐台進行存取。
物品搬送設備的進一步的特徵及優點，透過以下之參照圖式來說明的實施形態之記載將變得明確。
A:被引導輪
B:物品(容器)
C:搬出入裝置
D1:第1位置檢測部(第1測距儀)
D2:第2位置檢測部(第2測距儀)
E1:內部空間
E2:外部空間
F:樓層
F1:第1樓層
F2:第2樓層
F3:第3樓層
F4:第4樓層
F5:第5樓層
G:引導部
G1:區域感測器
H1:控制裝置
HL1:第1移動體控制部(第1局部控制部)
HL2:第2移動體控制部(第2局部控制部)
J1、J2、J3:轉動軸
K:樓層間搬送裝置
K0:開口部
K21:下層側搬送裝置
K22:上層側搬送裝置
L:干涉區間(重複區)
L1:第1非干涉區間
L2:第2非干涉區間
M:引導體(引導桅桿)
M1:第1引導體(第1引導桅桿)
M2:第2引導體(第2引導桅桿)
N:中繼用支撐台
NK:缺口
P、Q:定位銷
S1:第1接近檢測部(第1接近感測器)
S2:第2接近檢測部(第2接近感測器)
T:移動體
T1:第1移動體
T2:第2移動體
TA:進退臂
TC:頂板
TH:升降本體部
TH1:第1升降本體部
TH2:第2升降本體部
Tm:升降驅動部
Tm1:第1升降驅動部
Tm2:第2升降驅動部
TS:移載裝置
TS1:第1移載裝置
TS2:第2移載裝置
TY:容器支撐體
U:筒體
V:水平方向搬送裝置
W:壁體
#1~#13、#20~#25:步驟
圖1為顯示樓層間搬送裝置的主要部位之側面視角下的剖面圖。
圖2為樓層間搬送裝置的上下方向視角下的剖面圖。
圖3A為顯示中繼用支撐台之側面圖。
圖3B為顯示中繼用支撐台之側面圖。
圖4是控制方塊圖。
圖5是顯示控制的流程圖。
圖6是顯示控制的流程圖。
圖7是顯示控制的流程圖。
圖8是顯示以往的樓層搬送裝置之側面視角下的剖面圖。
用以實施發明之形態
根據圖式來針對將本發明的物品搬送設備適用於樓層間搬送裝置之情況作說明。如圖1及圖2所示，本實施形態之樓層間搬送裝置K是在具有複數個樓層F(在實施形態中為第1樓層F1~第5樓層F5的5個樓層)的半導體製造工廠中，為了將收容有半導體基板之容器B(被稱為FOUP或FOSB之容器)作為搬送對象的物品，並將該容器B橫跨不同的樓層來搬送而使用。圖示雖然省略，但在本實施形態的半導體製造工廠中，設置有進行於各樓層從容器B的保管裝置或容器B取出之半導體基板的處理的處理裝置。
如圖2所示，樓層間搬送裝置K具備有在上下方向視角下將形成為矩形之區域的外周以壁體W包圍，且沿著上下方向延伸有中空部之單一的筒體U。在壁體W的內部空間E1中，是將引導桅桿M沿著鉛直方向(上下方向)而設置。引導桅桿M是以位於相向的壁體W的每一個的附近的形態，將於上下方向上設置之高度錯開而設置有一對。具體而言，如圖1所示，作為引導桅桿M，設置有將第1樓層F1的地板附近的高度設為下端，且將第3樓層F3的天花板附近的高度設為上端之第1引導桅桿M1(第1引導體)、與將第3樓層F3的地板附近的高度設為下端，且將第5樓層F5的天花板附近的高度設為上端之第2引導桅桿M2(第2引導體)。亦即，第1引導桅桿M1是於最下樓層(下層樓層，此處為第1樓層F1)與接續樓層(此處為第3樓層F3)連續形成，第2引導桅桿M2是於該接續樓層與最上樓層(上層樓層，此處為第5樓層F5)連續形成。
又，筒體U中的相當於第1樓層F1、第2樓層F2、第4樓層F4及第5樓層F5之地點，形成有連通該筒體U的內部空間E1與外部空間E2之開口部Ko，並且設置有透過開口部Ko將容器B在內部空間E1與外部空間E2出入之搬出入裝置C。又，搬出入裝置C可接近於地板面上來設置，亦可設置在遠離地板面之位置(例如天花板附近)上。
如圖2所示，於第1引導桅桿M1及第2引導桅桿M2中，分別設有沿其長度方向之引導部G。在第1引導桅桿M1中，設有可於第1引導桅桿M1上沿著上下方向升降移動之第1移動體T1，在第2引導桅桿M2中，設有可於第2引導桅桿M2上沿著上下方向升降移動之第2移動體T2。第1移動體T1及第2移動體T2各自具備有受引導部G所引導的被引導輪A。又，在毋須特別區別時，是將第1引導桅桿M1及第2引導桅桿M2統稱而簡稱為引導桅桿M(引導體)，並且將第1移動體T1及第2移動體T2統稱而簡稱為移動體T。
第1移動體T1具備有第1升降本體部TH1、水平多關節機械手臂(SCARA arm)式之進退臂TA、及以載置狀態來支撐容器B之容器支撐體TY。第1升降本體部TH1是藉由使捲掛於第1引導桅桿M1的上端附近之升降皮帶(圖示省略)於長度方向上移動之第1升降驅動部(DRV1)Tm1(參照圖4)而被升降驅動。在本實施形態中，是藉由進退臂TA與容器支撐體TY而構成第1移載裝置TS1。亦即，第1移動體T1具備有在與移載對象地點之間 移載物品之第1移載裝置TS1。
第2移動體T2也是同樣，並具備第2升降本體部TH2、水平多關節機械手臂式之進退臂TA、及以載置狀態來支撐容器B之容器支撐體TY。第2升降本體部TH2是藉由使捲掛於第2引導桅桿M2的上端附近之升降皮帶(圖示省略)於長度方向上移動之第2升降驅動部(DRV2)Tm2(參照圖4)而被升降驅動。在本實施形態中，藉由進退臂TA與容器支撐體TY而構成第2移載裝置TS2。亦即，第2移動體T2具備有在與移載對象地點之間移載物品之第2移載裝置TS2。又，在之後的說明中，將第1升降本體部TH1與第2升降本體部TH2彙整來說明的情況下，會稱為升降本體部TH。
如圖3A及如圖3B所示，進退臂TA的基端是透過沿著上下方向的轉動軸J1而連接到升降本體部TH，而進退臂TA的前端是透過沿著上下方向的轉動軸J3而連接到容器支撐體TY。又，進退臂TA是藉由環繞沿著上下方向的轉動軸J2的轉動，而以可屈伸作動的形式被構成，並且可以藉由環繞轉動軸J3的轉動而變更容器支撐體TY的上下方向視角下的姿勢。依據這樣的構成，將容器支撐體TY以可切換到搬送用位置與移載用位置的方式構成。
如圖2所示，搬送用位置是使支撐於容器支撐體TY之容器B於上下方向視角下成為在第1引導桅桿M1與第2引導桅桿M2之間的位置。並且，藉由在將容器支撐體TY切換到搬送用位置之狀態下使升降本體部TH升 降，而變得可在不同的樓層F之間搬送容器B。
又，如圖2所示，以在上下方向視角下環繞搬送用位置的容器支撐體TY的狀態分散配置有中繼用支撐台N(在本實施形態中雖然是4個，但配置的數量是任意的)。中繼用支撐台N在上下方向上的設置位置為包含在第1移動軌跡的上端側部分與第2移動軌跡的下端側部分的重複部分(圖1中附上了符號“L”的部分，後述之重複區L)的位置，且在上下方向視角下之位置是固定而設置。
移載用位置是設為可使容器支撐體TY朝上下通過設置於中繼用支撐台N之缺口NK的位置而設定。並且，藉由在將容器支撐體TY切換到搬送用位置的狀態下使升降本體部TH升降，而變得可在容器支撐體TY與中繼用支撐台N之間交接容器B(參照圖3A及圖3B)。
又，於容器B的底部形成有3個定位用溝(圖示省略)。容器支撐體TY的上表面設置有與3個定位用溝的每一個卡合之3個定位銷Q，且變得可以使容器支撐體TY以在上下方向視角下預定的姿勢來支撐容器B。又，在中繼用支撐台N的上表面也設置有與3個定位用溝的每一個卡合之3個定位銷P，且變得可以使中繼用支撐台N以在上下方向視角下預定的姿勢來支撐容器B。
亦即，應用本發明之物品搬送設備之樓層間搬送裝置K具備有沿著上下方向配設之引導桅桿M、與受引導桅桿M所引導而沿著該引導桅桿M移動之物品搬送用的移動體T。又，樓層間搬送裝置K作為引導桅桿M而具備 第1引導桅桿M1與第2引導桅桿M2，並且作為移動體T而具備有受第1引導桅桿M1所引導並移動之第1移動體T1、與受第2引導桅桿M2所引導並移動之第2移動體T2。此外，第1移動體T1具備在與移載對象地點之間移載容器B之第1移載裝置TS1，第2移動體T2具備在與移載對象地點之間移載容器B之第2移載裝置TS2。
於此，受第1引導桅桿M1所引導之第1移動體T1的移動軌跡相當於第1移動軌跡，受第2引導桅桿M2所引導之第2移動體T2的移動軌跡相當於第2移動軌跡。
如圖1所示，是將第1引導桅桿M1與第2引導桅桿M2，以使第1移動軌跡的下端部分與第2移動軌跡的上端部分之上下方向的位置為在重複區L重複之形式的位置關係，來進行配置。藉此，第1移動軌跡的下端側部分配置於比第2移動軌跡的下端側部分還要下側，第2移動軌跡的上端側部分配置於比第1移動軌跡的上端側部分還要上側。此外，如圖2所示，中繼用支撐台N是配置在與第1移動軌跡及第2移動軌跡的雙方均不重複之位置，且可從第1移載裝置TS1及第2移載裝置TS2的雙方移載容器B之位置上。再者，雖然在圖2中將上下方向視角下之中繼用支撐台N的設置數量設為4個，但並非限定於此。但是，在上下方向上於同一高度設置複數個中繼用支撐台N的情況下，因為必須配置成與在上下方向視角下之容器B的占有區域不重複，所以較理想的是鑒於第1移動軌跡與第2移動軌跡之配置關係，來設定在上下方向上同一高度的中繼用支撐 台N的設置數量。
又，如1及圖2所示，第1引導桅桿M1、第1移動體T1、第1移載裝置TS1、第2引導桅桿M2、第2移動體T2、第2移載裝置TS2、及中繼用支撐台N是配置於筒體U的內部。
如圖2所示，第1引導桅桿M1與第2引導桅桿M2在上下方向視角下是互相分開而設置。又，第1引導桅桿M1與第2引導桅桿M2是配置成使第1移動體T1的移動軌跡與第2移動體T2的移動軌跡成為在上下方向視角下具有重複部分(重複區L)的狀態。
如圖1、圖3A、圖3B所示，第1移動體T1之升降本體部TH在上下方向視角下，當容器支撐體TY位於搬送用位置時，於容器支撐體TY所支撐之容器B存在的區域之上方以固定狀態設置有頂板TC。如圖1所示，於頂板TC的上端安裝有檢測至第2移動體T2的升降本體部TH的下端部分為止的距離之第1接近感測器S1。又，於第1移動體T1的升降本體部TH的下端部分安裝有檢測其下方的干渉物之區域感測器G1。
又，如圖1、圖3A、圖3B所示，第2移動體T2之升降本體部TH在上下方向視角下，當容器支撐體TY位於搬送用位置時，於容器支撐體TY所支撐之容器B存在的區域之上方以固定狀態設置有頂板TC。如圖1所示，在第2移動體T2的升降本體部TH的下端部分安裝有檢測至第1移動體T1的頂板TC的上端為止的距離之第2接近感測 器S2。
搬出入裝置C是構成為藉由使滾輪分散於左右而設置之滾輪式輸送機所構成，且將該搬出入裝置C的內部空間E1側的端部的左右一對的滾輪構成得比容器支撐體TY的左右方向的寬度更寬，以使容器支撐體TY可朝上下通過於一對滾輪之間。又，搬出入裝置C的外部空間E2側的端部是形成為可在與於該樓層進行作業之搬送台車(圖示省略)或作業者之間交接容器B。藉此，變得可透過搬出入裝置C，而在於該樓層進行作業的搬送台車或作業者、與移動體T之間交接容器B。
接著，根據圖4的方塊圖來說明本實施形態的樓層間搬送裝置K的控制構成。控制裝置(M-CTRL)H1是由具備有例如中央處理裝置與硬體元件等的記憶裝置的個人電腦或PC伺服器等的通用電腦所構成。並且，控制裝置H1會根據半導體製造工廠中的管理半導體基板的處理工序之圖外的工序管理裝置所要求之搬送要求，指示在設置有成為搬送起點之處理裝置之樓層F的搬出入裝置C、與設置有成為搬送目的地之處理裝置之樓層F的搬出入裝置C之間的容器B的搬送之指令。
於控制裝置H1中連接有對應於第1移動體T1之第1升降驅動部(DRV1)Tm1、安裝於第1樓層F1的地板面以檢測至第1移動體T1的升降本體部TH的下端部分為止的距離之雷射式的第1測距儀(RF1)D1、及第1接近感測器(PS1)S1。本實施形態中，第1測距儀D1相當於第1位 置檢測部。亦即，於樓層間搬送裝置K中設置有檢測沿著第1移動體T1的移動軌跡之方向上的該第1移動體T1的位置之第1測距儀D1。
控制裝置H1會根據第1測距儀D1的量測資訊與來自工序管理裝置的搬送要求，來將第1移動體T1的作動控制成使其驅動第1升降驅動部Tm1而使第1移動體T1在搬送起點的目標位置與搬送目的地的目標位置之間升降移動，並且在各自的目標位置中，使進退臂TA等所構成之移載裝置驅動來進行容器B的交接。在本實施形態中，來自工序管理裝置的要求是相當於含有搬送對象的容器B的搬送起點及搬送目的地之資訊的搬送要求。
又，於第1移動體T1中具備有根據第1接近感測器S1的檢測資訊，對第1升降驅動部Tm1指示作動之指令的第1局部控制部(S-CTRL)HL1。第1局部控制部HL1是構成為確認來自控制裝置H1的控制指令之有無，以判別控制裝置H1是否正常地作動。
當第1局部控制部HL1根據第1接近感測器S1的檢測資訊，判別至第2移動體T2為止的上下方向的距離為第1設定距離以下之第1接近狀態時，使第1升降驅動部Tm1作動作為碰撞回避用作動。第1局部控制部HL1在碰撞回避用作動中，會為了回避第1移動體T1與第2移動體T2的碰撞，而使第1升降驅動部Tm1作動成使第1移動體T1的移動速度減速，以控制第1移動體T1的移動。亦即，在本實施形態中，是藉由第1接近感測器S1與第1局部控制 部HL1而構成第1接近檢測部。又，藉由第1局部控制部HL1所進行的對碰撞回避用作動之切換控制會優先於控制裝置H1之控制而進行。再者，第1設定距離是設定為與後述之重複區L(參照圖1)的上下方向的長度同等的距離。
於控制裝置H1中連接有對應第2移動體T2之第2升降驅動部(DRV2)Tm2、安裝於第5樓層F5(最上方樓層)的天花板以檢測至第2移動體T2的頂板TC的上端部分為止的距離之雷射式的第2測距儀(RF2)D2、及第2接近感測器(PS2)S2。在本實施形態中，第2測距儀D2相當於第2位置檢測部。亦即，於樓層間搬送裝置K中設置有檢測沿著第2移動體T2的移動軌跡之方向上的該第2移動體T2的位置之第2測距儀D2。
控制裝置H1會根據第2測距儀D2的量測資訊與來自工序管理裝置的搬送要求，來將第2移動體T2的作動控制成使其驅動第2升降驅動部Tm2而使第2移動體T2在搬送起點的目標位置與搬送目的地的目標位置之間升降移動，並且在各自的目標位置中，使進退臂TA等所構成之移載裝置驅動來進行容器B的交接。
亦即，控制裝置H1會根據含有搬送對象的容器B的搬送起點及搬送目的地的資訊之搬送要求、第1測距儀D1及第2測距儀D2的檢測資訊，而對第1移動體T1及第2移動體T2指示控制指令，以控制第1移動體T1及第2移動體T2的移動。
於第2移動體T2中具備有根據第2接近感測 器S2的檢測資訊對第2升降驅動部Tm2指示作動之指令的第2局部控制部HL2。第2局部控制部HL2是構成為確認來自控制裝置H1的控制指令之有無，以判別控制裝置H1是否正常地作動。
當第2局部控制部HL2根據第2接近感測器S2的檢測資訊，判別至第1移動體T1為止的上下方向的距離為第2設定距離以下之第2接近狀態時，使第2升降驅動部Tm2作動作為碰撞回避用作動。第2局部控制部HL2在碰撞回避作動中，會為了回避第2移動體T2與第1移動體T1的碰撞，而使第2升降驅動部Tm2作動成使第2移動體T2的移動速度減速，以控制第2移動體T2的移動。亦即，在本實施形態中，是藉由第2接近感測器S2與第2局部控制部HL2而構成第2接近檢測部。又，藉由第2局部控制部HL2所進行的對碰撞回避用作動之切換控制會優先於控制裝置H1之控制而進行。再者，第2設定距離是設定為與後述之重複區L(參照圖1)的上下方向的長度同等的距離。
控制裝置H1會將表示第1移動體T1的移動路徑的上端部分與第2移動體T2的移動路徑的下端部分之重複區L(參照圖1)的位置資訊，作為干渉區間而儲存。亦即，控制裝置H1會儲存有第1移動軌跡、第2軌道軌跡、及重複區L(干渉區間)之區間資訊。此重複區L是設定為包含：將第1移動體T1位於第1移動軌跡的上端時該第1移動體T1的上端(頂板TC)所在之高度設為上端，且將第2移動體T2位於第2移動軌跡的下端時該第2移動體T2的下端所 在之高度設為下端之區間。又，中繼用支撐台N是設置於在上下方向上此重複區L的範圍內。
又，控制裝置H1會將第1樓層F1及第2樓層F2的搬出入裝置C、與中繼用支撐台N作為針對第1移動體T1的移載對象地點來儲存，並將第4樓層F4及第5樓層F5的搬出入裝置C、與中繼用支撐台N作為針對第2移動體T2的移載對象地點來儲存。
接著，根據圖5~圖7的流程圖來針對控制裝置H1、第1局部控制部HL1與第2局部控制部HL2所執行之控制作說明。
再者，控制裝置H1，在關於藉由工序管理裝置針對第1移動體T1及第2移動體T2所要求之搬送要求已完成且正在等待下一個搬送要求的狀態下，會控制第1升降驅動部Tm1及第2升降驅動部Tm2的作動，以免使在該搬送要求等待之狀態的第1移動體T1及第2移動體T2位於重複區L內。亦即，針對第1移動體T1將在上下方向上重複區L的下方側的位置設為退避位置，針對第2移動體T2將在上下方向上重複區L的上方側的位置設為退避位置，在沒有未完成的搬送要求的状態下，會將第1升降驅動部Tm1及第2升降驅動部Tm2的作動控制成使第1移動體T1及第2移動體T2位於該退避位置。
以下，根據圖5及圖6的流程圖來作說明。控制裝置H1會根據工序管理裝置的搬送要求，判別搬送起點與搬送目的地是否為在上下方向上屬於同一移動體T的移 動軌跡之位置(在本實施形態中，為是否為第1樓層F1與第2樓層F2之間的搬送、或第4樓層F4與第5樓層F5之間的搬送)(步驟#1)。若步驟#1中判別為搬送起點與搬送目的地並非在上下方向上屬於同一移動體T的移動軌跡之位置(步驟#1：否)，接著，會判別搬送目的地的移動體T是否位於重複區L(步驟#2)。在步驟#2中，若判別為搬送目的地的移動體T位於重複區L時(步驟#2：是)，則將搬送起點側的移動體T的目標位置設定於搬送起點側的移動體T的退避位置(步驟#3)，並使搬送起點側的移動體T移動。
控制裝置H1若判別為搬送目的地側的移動體T已退出重複區L時(步驟#4：是)，則將搬送起點側的移動體T的目標位置設定於中繼用支撐台N(步驟#5)，並針對搬送起點側的移動體T執行移動處理(詳細內容可參照圖7之步驟#20並容後敘述)(步驟#6)。當步驟#6的移動處理完成時，會使搬送起點側的移動體T移動至退避位置(步驟#7)。
接著，將搬送目的地側的移動體T的目標位置設定於中繼用支撐台N(步驟#8)，並針對搬送目的地側的移動體T執行移動處理(步驟#9(#20))。當步驟#9的移動處理完成時，會使搬送目的地側的移動體T移動至退避位置(步驟#10)。
再者，控制裝置H1在步驟#2中，當判別為搬送目的地的移動體T不在重複區L時，因為不會有在重複區L的移動體T彼此之碰撞的疑慮，所以會轉移到步驟#5的處 理。
又，控制裝置H1在步驟#1中，當判別為搬送起點與搬送目的地為在上下方向上屬於同一移動體T的移動軌跡之位置時(步驟#1：是)，會因為搬送起點側的移動體T與搬送目的地側的移動體T為同一個，而將目標位置設定於搬送目的地(步驟#11)，並對該移動體執行移動處理(步驟#12(#20))。當步驟#12的移動處理完成時，會使移動體T移動至退避位置(步驟#13)。
接著，根據圖7說明移動處理的例行作業。控制裝置H1會算出目標位置與以第1測距儀D1或第2測距儀D2檢測出之移動體T的現在位置之間的距離(步驟#21)，來判別是否已到達目標位置(步驟#22)。在步驟#22中，當判別為尚未到達目標位置時，會驅動第1升降驅動部Tm1或第2升降驅動部Tm2而使移動體T移動(步驟#23)。另一方面，第1局部控制部HL1、或第2局部控制部HL2，當第1接近感測器S1或第2接近感測器S2檢測出干渉物時(步驟#24：是)，會優先於藉由控制裝置H1所進行之控制，來將第1升降驅動部Tm1及第2升降驅動部Tm2的作動經由減速狀態而使其停止(步驟#25)。亦即，藉由第1局部控制部HL1所進行之對碰撞回避用作動的切換控制、及藉由第2局部控制部HL2所進行之對碰撞回避用作動的切換控制，均優先於控制裝置H1的控制而進行。
控制裝置H1在指示出將第1移動體T1位於已將第1移動軌跡之中的干渉區間(重複區L)排除的區間 (非干渉區間，第1非干渉區間L1)的情況下的第1移載裝置TS1的移載對象地點、與第2移動體T2位於已將第2移動軌跡之中的干渉區間(重複區L)排除的區間(非干渉區間，第2非干渉區間L2)的情況下的第2移載裝置TS2的移載對象地點之中的任一者設為搬送起點，並將另一者設為搬送目的地之搬送指令的情況下，會執行如以下的控制。亦即，控制裝置H1會以第1移動體T1及第2移動體T2之中搬送起點存在之一者為優先來使其進入干渉區間，並且將第1移動體T1及第2移動體T2的移動控制成限制第1移動體T1與第2移動體T2雙方均位於干渉區間的狀態。
藉由如上述之構成，變得可將第1移動體T1的移動軌跡與第2移動體T2的移動軌跡靠近到成為在上下方向視角下重複的位置為止，以減縮設備的設置空間，並且適當地回避第1移動體T1與第2移動體T2之碰撞。
[其他實施形態]
(1)在上述中，雖然所示為將FOUP或FOSB等的收容半導體基板的容器作為搬送對象之物品的例子，但並非限定於這樣的構成，亦可將例如光罩容器(reticle container)或玻璃基板作為搬送對象之物品。又，在上述實施形態中，雖然所示為將本發明之物品搬送設備使用於半導體製造工廠的例子，但亦可將物品搬送設備使用於半導體製造工廠以外的設備，例如食品工廠等，且搬送對象的物品無論是什麼均可而可為任意的。
(2)在上述中，雖然是設成下述之構成：將半 導體製造工廠具有的樓層數設為5個樓層，且將第1引導桅桿M1以可從第1樓層至第3樓層搬送物品的方式構成，將第2引導桅桿M2以可從第3樓層到第5樓層搬送物品的方式構成，並於第3樓層的部分設置重複部分，但第1引導桅桿M1與第2引導桅桿M2的設置高度並非限定為相當於上述的樓層的高度。
(3)在上述中，雖然說明了將中繼用支撐台N以已將上下方向視角下的位置固定的形態來設置之構成，但並不限定為這樣的構成，亦可做成例如可變更上下方向視角下的位置之支撐台。
(4)在上述中，雖然將第1移動軌跡與第2移動軌跡配置成在上下方向視角下具有互相重複的部分，但亦可將第1移動軌跡與第2移動軌跡在上下方向視角下互相分開來設置。再者，即便於此情況下，第1移動軌跡與第2移動軌跡的上下方向視角下的位置仍然以盡量靠近為宜。
(5)在上述中，雖然所示為將第1位置檢測部與第2位置檢測部做成雷射式的測距儀之構成，但並不限定於此種構成，可將第1位置檢測部與第2位置檢測部做成例如藉由檢測沿著引導桅桿M而設置之制動爪(dog)或條碼等的識別體來進行位置檢測之機構等，而適用各種的構成。又，亦可將第1位置檢測部與第2位置檢測部做成相異種類的位置檢測機構。
(6)在上述中，雖然說明了在搬送起點側的移 動體T與搬送目的地側的移動體T為不相同的情況下，當搬送目的地側的移動體T位於重複區L時，將搬送起點側的移動體的目標位置設為搬送起點側的移動體T中的退避位置之構成，但並不限定為此種構成，亦可構成為將搬送起點側的移動體的目標位置從最初開始就預先設定於中繼用支撐台N，並於搬送目的地側的移動體T位於重複區L時限制搬送起點側的移動體T往重複區L接近之移動。
(7)在上述中，雖然說明了將第1引導桅桿M1、第1移動體T1、第1移載裝置TS1、第2引導桅桿M2、第2移動體T2、第2移載裝置TS2、及中繼用支撐台N配置於筒體U的內部之構成，亦可為做成不設置筒體U之構成。又，雖然在上述實施形態中將筒體U在上下方向視角下形成為矩形，但筒體U的上下方向視角下的形狀，亦可為三角形或五角形以上、或圓形、甚至可為有凹凸之異型剖面形狀等，任何的形狀均可。
(8)在上述中，雖然說明了將第1設定距離及第2設定距離設定為與重複區L的上下方向的長度同等的距離之構成，但亦可將第1設定距離及第2設定距離設定得比重複區L的上下方向的距離更短。又，亦可將第1設定距離與第2設定距離設定為不同的距離。在這種情況下，有鑒於例如移動體下降移動的情況下的一者之移動體的制動距離有變長的傾向，可考慮將第2設定距離的一者設為較長之距離。
[實施形態之概要]
以下，簡單地說明在上述所說明之物品搬送設備的概要。
有鑑於上述內容，沿著上下方向搬送物品之物品搬送設備作為1個態樣而具備：沿著上下方向配設之第1引導體；沿著上下方向配設之第2引導體；受前述第1引導體引導且沿著該第1引導體而移動之物品搬送用的第1移動體；受前述第2引導體引導且沿著該第2引導體移動之物品搬送用的第2移動體；及可支撐物品之中繼用支撐台，前述第1移動體具備在與移載對象地點之間移載物品的第1移載裝置，前述第2移動體具備在與移載對象地點之間移載物品的第2移載裝置，將前述第1移動體的移動軌跡設為第1移動軌跡，將前述第2移動體的移動軌跡設為第2移動軌跡，前述第1引導體與前述第2引導體以前述第1移動軌跡的上端側部分與前述第2移動軌跡的下端側部分的上下方向的位置為重複之形式的位置關係來進行配置，前述中繼用支撐台配置在與前述第1移動軌跡及前述第2移動軌跡之雙方均不重複的位置，且可從前述第1移載裝置及前述第2移載裝置的雙方中移載物品之位置上。
亦即，由於第1移動體與第2移動體可透過中 繼用支撐台來交接物品，所以即使是橫跨第1移動軌跡與第2移動軌跡之長距離，也可以在上下方向上適當地搬送搬送對象之物品。又，在物品搬送設備上沒有設置用於在水平方向上搬送物品的搬送裝置之情形下，第1移動體與第2移動體可以透過中繼用支撐台來中繼搬送對象之物品。因此可以實現設置空間的省空間化。像這樣，根據本構成，可以提供一種即使是上下方向的搬送距離較長的情況下仍可適當地搬送物品，且在設置空間之點上有利的物品搬送設備。
再者，較理想的是，中繼用支撐台是設置在上下方向上第1移動軌跡與第2移動軌跡的重複範圍內。亦即，由於第1移動體及第2移動體的每一個無論何者均可以位於上述重複範圍內，所以只要將中繼用支撐台的上下方向上的位置預先設定在上述重複範圍內，就可使第1移載裝置與第2移載裝置均易於在中繼用支撐台進行存取。
在本發明之物品搬送設備中，較理想的是，前述中繼用支撐台在上下方向視角下的位置為已固定的。
根據此構成，相較於中繼用支撐台的上下方向視角下的位置為可移動之情況，可以縮小在上下方向視角下的設置區域。因此，可以提供在設置空間之點上更有利的物品搬送設備。
在本發明之物品搬送設備中，較理想的是，前述第1引導體與前述第2引導體在上下方向視角下是互相分開而設置，且前述第1移動軌跡與前述第2移動軌跡具 有在上下方向視角下互相重複的部分。
相較於第1移動軌跡與第2移動軌跡在上下方向視角下並未互相重複的情況，使第1移動軌跡與第2移動軌跡在上下方向視角下互相重複的情況，可以縮小在上下方向視角下第1移動體及第2移動體存在的區域。從而，可以根據本構成提供在設置空間之點上更有利的物品搬送設備。
又，較理想的是，物品搬送設備作為1個態樣而更具備：第1位置檢測部，檢測前述第1移動體的位置；第2位置檢測部，檢測前述第2移動體的位置；及控制裝置，根據含有搬送對象之物品的搬送起點及搬送目的地的資訊之搬送要求、與前述第1位置檢測部及前述第2位置檢測部的檢測資訊，對前述第1移動體及前述第2移動體指示控制指令來控制前述第1移動體及前述第2移動體的移動，將在上下方向上包含於前述第1移動體位於前述第1移動軌跡的上端時將該第1移動體的上端所在位置之高度設為上端，於前述第2移動體位於前述第2移動軌跡的下端時將該第2移動體的下端所在位置之高度設為下端之區間的區間設為干渉區間，將前述第1移動軌跡內，已將在上下方向上對應於前述干渉區間之區間排除的區間設為第1非干渉區間，將前述第2移動軌跡內，已將在上下方向上對應於前 述干渉區間之區間排除的區間設為第2非干渉區間，在前述第1移動體位於前述第1非干渉區間的情況中的前述第1移載裝置的移載對象地點、與前述第2移動體位於前述第2非干渉區間的情況中的前述第2移載裝置的移載對象地點之中的一者為包含於前述搬送要求中的前述搬送起點，且另一者為前述搬送目的地的情況下，前述控制裝置會將前述第1移動體及前述第2移動體之中，於移動軌跡中包含前述搬送起點之一者的移動體設為優先來使其進入前述干渉區間，並且將前述第1移動體及前述第2移動體的移動控制成限制前述第1移動體與前述第2移動體之雙方均位於前述干渉區間的狀態。
根據本構成，可以將第1移動體及該第2移動體之中支撐有在搬送起點接收之搬送對象物之移動體設為優先來使其進入干涉區間，並針對中繼用支撐台來使其支撐物品，且使該移動體從干涉區間退避，並且使未支撐有物品的一者的移動體進入干涉區間，以將被支撐於中繼用支撐台的物品接收並往搬送目的地搬送。亦即，當藉由第1移動體及第2移動體，並透過中繼用支撐台搬送物品的當下，可將第1移動體及第2移動體之移動控制成不發生第1移動體與第2移動體之雙方均位於干涉區間的狀態。因此，可以降低使第1移動體及第2移動體相接觸之類的可能性。
又，較理想的是，物品搬送設備作為1個態樣是使前述第1移動體具備第1接近檢測部及第1移動體控 制部，該第1接近檢測部會檢測至前述第2移動體為止的上下方向的距離為第1設定距離以下之第1接近狀態，該第1移動體控制部會根據前述第1接近檢測部的檢測資訊來控制該第1移動體的作動，並使前述第2移動體具備第2接近檢測部及第2移動體控制部，該第2接近檢測部會檢測至前述第1移動體為止的上下方向的距離為第2設定距離以下之第2接近狀態，該第2移動體控制部會根據前述第2接近檢測部的檢測資訊來控制該第2移動體的作動，前述第1移動體控制部在前述第1接近檢測部檢測出前述第1接近狀態時，會優先於藉由前述控制裝置所進行之控制，而將前述第1移動體的作動切換成回避與前述第2移動體之碰撞之碰撞回避用作動，前述第2移動體控制部在前述第2接近檢測部檢測出前述第2接近狀態時，會優先於藉由前述控制裝置所進行之控制，而將前述第2移動體的作動切換成回避與前述第1移動體之碰撞之碰撞回避用作動。
根據此構成，第1移動體控制部會在從第1移動體到第2移動體為止的距離成為第1設定距離以下時，優先於控制裝置的控制，而將第1移動體的作動切換為碰撞回避用作動。又，第2移動體控制部會在從第2移動體到第1移動體為止的距離成為第2設定距離以下時，優先於控制裝置的控制，而將第2移動體的作動切換為碰撞回避用作動。因此，即便例如，於控制裝置發生了不良狀況、或是在控制上產生延遲，而使控制裝置無法適當地控制第1移動體及第2移動體的情況下，仍然可以適當地回避第1移動 體及第2移動體相接觸之類的事態。再者，較理想的是，將第1設定距離及第2設定距離設定為干涉區間的長度或其以下的長度。
較理想的是，在本發明之物品搬送設備中，前述第1移動體控制部會作為前述碰撞回避用作動，而將前述第1移動體的作動控制成至少使前述第1移動體的移動速度減速，前述第2移動體控制部會作為前述碰撞回避用作動，而將前述第2移動體的作動控制成至少使前述第2移動體的移動速度減速。
由於第1移動體控制部及第2移動體控制部會作為碰撞回避用作動而分別使第1移動體及第2移動體的移動速度減速，所以易於回避導致第2移動體與第1移動體接觸之情形。又，假設有接觸的話，也可以儘量將其碰撞減輕。
又，較理想的是，物品搬送裝置是作為1個態樣而將前述第1引導體、前述第1移動體、前述第1移載裝置、前述第2引導體、前述第2移動體、前述第2移載裝置、及前述中繼用支撐台均配置在沿著上下方向延伸有中空部之筒體的內部。
第1引導體、第1移動體、第1移載裝置、第2引導體、第2移動體、第2移載裝置及中繼用支撐台均收納於同一筒體的內部，藉此可以將物品搬送設備構成為省空間。因此，在設置有物品搬送裝置的工廠等中可以縮小物品搬送設備所佔有的面積。
B‧‧‧物品(容器)
C‧‧‧搬出入裝置
D1‧‧‧第1位置檢測部(第1測距儀)
D2‧‧‧第2位置檢測部(第2測距儀)
E1‧‧‧內部空間
E2‧‧‧外部空間
F‧‧‧樓層
F1‧‧‧第1樓層
F2‧‧‧第2樓層
F3‧‧‧第3樓層
F4‧‧‧第4樓層
F5‧‧‧第5樓層
G1‧‧‧區域感測器
K‧‧‧樓層間搬送裝置
Ko‧‧‧開口部
L‧‧‧干涉區間(重複區)
L1‧‧‧第1非干涉區間
L2‧‧‧第2非干涉區間
M‧‧‧引導體(引導桅桿)
M1‧‧‧第1引導體(第1引導桅桿)
M2‧‧‧第2引導體(第2引導桅桿)
N‧‧‧中繼用支撐台
S1‧‧‧第1接近檢測部(第1接近感測器)
S2‧‧‧第2接近檢測部(第2接近感測器)
T‧‧‧移動體
T1‧‧‧第1移動體
T2‧‧‧第2移動體
TC‧‧‧頂板
TS‧‧‧移載裝置
TS1‧‧‧第1移載裝置
TS2‧‧‧第2移載裝置
U‧‧‧筒體

Claims (11)

  1. 一種物品搬送設備，為沿著上下方向搬送物品之物品搬送設備，其具備：沿著上下方向配設之第1引導體；沿著上下方向配設之第2引導體；受前述第1引導體引導且沿著該第1引導體移動之物品搬送用的第1移動體；以及受前述第2引導體引導且沿著該第2引導體移動之物品搬送用的第2移動體；前述物品搬送設備之特徵在於：更具備可支撐物品之中繼用支撐台，前述第1移動體具備在與移載對象地點之間移載物品的第1移載裝置，前述第2移動體具備在與移載對象地點之間移載物品的第2移載裝置，將前述第1移動體的移動軌跡設為第1移動軌跡，將前述第2移動體的移動軌跡設為第2移動軌跡，前述第1移動軌跡的下端側部分配置於比前述第2移動軌跡的下端側部分還要下側，前述第2移動軌跡的上端側部分配置於比前述第1移動軌跡的上端側部分還要上側，前述第1引導體與前述第2引導體以前述第1移動軌跡的前述上端側部分與前述第2移動軌跡的前述下端側部分的上下方向的位置重複之形式的位置關係來進行配置， 前述中繼用支撐台配置在與前述第1移動軌跡及前述第2移動軌跡之雙方均不重複的位置，且可從前述第1移載裝置及前述第2移載裝置的雙方移載物品之位置上。
  2. 如請求項1之物品搬送設備，其中該中繼用支撐台在上下方向視角下的位置是固定的。
  3. 如請求項1或2之物品搬送設備，其中該第1引導體與該第2引導體是在上下方向視角下互相分開而設置，且前述第1移動軌跡與前述第2移動軌跡具有在上下方向視角下互相重複的部分。
  4. 如請求項3之物品搬送設備，其更具備：第1位置檢測部，檢測前述第1移動體的位置；第2位置檢測部，檢測前述第2移動體的位置；及控制裝置，根據含有搬送對象之物品的搬送起點及搬送目的地的資訊之搬送要求、與前述第1位置檢測部及前述第2位置檢測部的檢測資訊，對前述第1移動體及前述第2移動體指示控制指令來控制前述第1移動體及前述第2移動體的移動，將在上下方向上包含於前述第1移動體位於前述第1移動軌跡的上端時將該第1移動體的上端所在位置之高度設為上端，於前述第2移動體位於前述第2移動軌跡的下端時將該第2移動體的下端所在位置之高度設為下端之區間的區間設為干渉區間， 將前述第1移動軌跡內，已將在上下方向上對應於前述干渉區間之區間排除的區間設為第1非干渉區間，將前述第2移動軌跡內，已將在上下方向上對應於前述干渉區間之區間排除的區間設為第2非干渉區間，在前述第1移動體位於前述第1非干渉區間的情況中的前述第1移載裝置的移載對象地點、與前述第2移動體位於前述第2非干渉區間的情況中的前述第2移載裝置的移載對象地點之中的一者為包含於前述搬送要求中的前述搬送起點，且另一者為前述搬送目的地的情況下，前述控制裝置會將前述第1移動體及前述第2移動體之中，於移動軌跡中包含前述搬送起點之一者的移動體設為優先來使其進入前述干渉區間，並且將前述第1移動體及前述第2移動體的移動控制成限制前述第1移動體與前述2移動體之雙方均位於前述干渉區間的狀態。
  5. 如請求項4之物品搬送設備，其中，前述第1移動體具備：第1接近檢測部，檢測至前述第2移動體為止的上下方向的距離為第1設定距離以下之第1接近狀態；以及第1移動體控制部，根據前述第1接近檢測部的檢測資訊來控制該第1移動體的作動，前述第2移動體具備：第2接近檢測部，檢測至前述第1移動體為止的上下方向的距離為第2設定距離以下之第2接近狀態；以及第2移動體控制部，根據前述第2接近檢測部的檢測資 訊來控制該第2移動體的作動，前述第1移動體控制部在前述第1接近檢測部檢測出前述第1接近狀態時，會優先於藉由前述控制裝置所進行之控制，而將前述第1移動體的作動切換成回避與前述第2移動體之碰撞的碰撞回避用作動，前述第2移動體控制部在前述第2接近檢測部檢測出前述第2接近狀態時，會優先於藉由前述控制裝置所進行之控制，而將前述第2移動體的作動切換成回避與前述第1移動體之碰撞的碰撞回避用作動。
  6. 如請求項5之物品搬送設備，其中，前述第1移動體控制部將前述第1移動體的作動控制成至少使前述第1移動體的移動速度減速，作為前述碰撞回避用作動，前述第2移動體控制部將前述第2移動體的作動控制成至少使前述第2移動體的移動速度減速，作為前述碰撞回避用作動。
  7. 如請求項1或2之物品搬送設備，其中，前述第1引導體、前述第1移動體、前述第1移載裝置、前述第2引導體、前述第2移動體、前述第2移載裝置、及前述中繼用支撐台均配置在沿著上下方向延伸有中空部之筒體的內部。
  8. 如請求項3之物品搬送設備，其中，前述第1引導體、前述第1移動體、前述第1移載裝置、前述第2引導體、前述第2移動體、前述第2移載裝置、及 前述中繼用支撐台均配置在沿著上下方向延伸有中空部之筒體的內部。
  9. 如請求項4之物品搬送設備，其中，前述第1引導體、前述第1移動體、前述第1移載裝置、前述第2引導體、前述第2移動體、前述第2移載裝置、及前述中繼用支撐台均配置在沿著上下方向延伸有中空部之筒體的內部。
  10. 如請求項5之物品搬送設備，其中，前述第1引導體、前述第1移動體、前述第1移載裝置、前述第2引導體、前述第2移動體、前述第2移載裝置、及前述中繼用支撐台均配置在沿著上下方向延伸有中空部之筒體的內部。
  11. 如請求項6之物品搬送設備，其中，前述第1引導體、前述第1移動體、前述第1移載裝置、前述第2引導體、前述第2移動體、前述第2移載裝置、及前述中繼用支撐台均配置在沿著上下方向延伸有中空部之筒體的內部。
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