KR102569190B1 - 물품 반송 설비 - Google Patents

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료지 모리시타
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Abstract

제1 안내체(M1)와 제2 안내체(M2)가 제1 이동체(T1)의 제1 이동 궤적의 상단측 부분과 제2 이동체(T2)의 제2 이동 궤적의 하단측 부분과의 상하 방향의 위치가 중복되도록 한 위치 관계로 배치된다. 제1 이동체(T1)는 제1 이송탑재 장치(TS1)를 포함하고, 또한 제2 이동체(T2)는 제2 이송탑재 장치(TS2)를 포함한다. 물품(B)을 지지 가능한 중계용 지지대(N)가, 제1 이동 궤적 및 제2 이동 궤적과는 중복되지 않는 위치에서, 또한 제1 이송탑재 장치(TS1) 및 제2 이송탑재 장치(TS2)의 양쪽으로부터 물품(B)을 이송탑재 가능한 위치에 배치되어 있다.

Description

물품 반송 설비{ARTICLE TRANSPORT FACILITY}
본 발명은, 상하 방향을 따라 이동하는 물품 반송용(搬送用)의 이동체를 구비한 물품 반송 설비에 관한 것이다.
일본 공개특허 제2011-066046호 공보에는, 상하 방향으로 복수의 층(1, 2, 1)을 가지는 반도체 제조 공장에 있어서, 상이한 층에 설정된 반송 대상 개소(箇所)에 걸쳐 물품을 반송하는 상하 방향 반송 장치(4)를 복수 가지는 물품 반송 설비의 일례가 개시되어 있다[배경에 있어서 괄호 내의 부호는 참조하는 문헌(예를 들면, 도 1)의 것]. 상기 문헌에서는, 스토커(stocker) 전용층(2)과 그보다 상층의 2층(1)과의 사이에서 물품을 반송하는 상하 방향 반송 장치(4)와, 스토커 전용층(2)과 그보다 하층의 1층(1)과의 사이에서 물품을 반송하는 상하 방향 반송 장치(4)가, 별개로 설치되어 있다. 즉, 2층용의 상하 방향 반송 장치(4)와 1층용의 상하 방향 반송 장치(4)는, 상하 방향에서 볼 때, 상이한 위치에 설치되어 있다.
여기서, 물품 반송 설비를 상하 방향에서 볼 때 컴팩트한 설치 영역에 설치하기 위해서는, 상하 방향 반송 장치(4)를, 스토커 전용층(2)을 협지(sandwich)하여 1층(1)과 2층(1)을 연결하는 단일의 장치로서 구성하는 것이 바람직하다. 그러나, 물품 반송용의 이동체를 상하 방향으로 긴 거리로 이동시키는 경우, 예를 들면, 벨트 구동 방식을 채용하면, 장척(長尺)의 구동 벨트가 사행(蛇行)하는 문제가 생기는 등, 반송 거리의 장거리화에 따른 각종 문제가 발생한다. 그러므로, 상하 방향에 있어서 비교적 긴 거리에 걸쳐 물품을 반송하는 물품 반송 설비에서는, 상하 방향의 반송 구간을 복수의 상하 방향 반송 장치로 분할하여 분담시키는 경우가 있다.
이와 같은 상하 방향 반송 설비의 일례를 도 8에 나타낸다. 도 8에 나타낸 바와 같이, 복수의 상하 방향 반송 장치로서, 하층측의 층을 담당하는 것[도 8의 하층측 반송 장치(K21)]과, 상층측의 층을 담당하는 것[도 8의 상층측 반송 장치(K22)]가 설치되어 있다. 하층측 반송 장치(K21)와 상층측 반송 장치(K22)는, 하층측 반송 장치(K21)의 상하 방향의 반송 범위에서의 상단측 부분과, 상층측 반송 장치(K22)의 상하 방향의 반송 범위에서의 하단(下端)측 부분이 상하 방향에서 중복되도록 한 위치 관계(상하 방향으로 직교하는 측면에서 볼 때 중복되도록 한 위치 관계)와, 또한 상하 방향에서 볼 때 서로 이격되는 위치 관계로 설치되어 있다.
하층측 반송 장치(K21)와 상층측 반송 장치(K22)가 상하 방향에서 중복되는 범위에 속하는 층에는, 상층측 반송 장치(K22)의 이동체(T)와 상층측 반송 장치(K22)의 이동체(T)와의 사이에서 물품을 수평 방향으로 반송하는 수평 방향 반송 장치(V)[대차(臺車; carriage)나 롤러 컨베이어 등]가 설치되어 있다. 즉, 하층측 반송 장치(K21)가 수평 방향 반송 장치(V)에 물품을 건네고, 수평 방향 반송 장치(V)가 물품을 반송하여 상층측 반송 장치(K22)에 물품을 건네는 것에 의해, 하층측의 층으로부터 상층측의 층에 걸쳐 물품을 반송할 수 있다. 또한, 반대로, 상층측 반송 장치(K22)가 수평 방향 반송 장치(V)에 물품을 건네고, 수평 방향 반송 장치(V)가 물품을 반송하여 하층측 반송 장치(K21)에 물품을 건네는 것에 의해, 상층측의 층에서 하층측의 층에 걸쳐 물품을 반송할 수 있다.
이와 같이, 2개의 상하 방향 반송 장치의 사이를 수평 방향 반송 장치(V)에 의해 반송함으로써, 반송 대상인 물품의 상하 방향의 반송 거리가 긴 경우라도 물품을 적절히 반송할 수 있다. 그러나, 도 8과 같은 구성에서는, 상하 방향으로 물품을 반송하는 반송 장치에 더하여 수평 방향으로 물품을 반송하는 반송 장치도 설치하지 않으면 안되므로, 이들 반송 장치를 설치하기 위해 넓은 설치 스페이스를 필요로 한다.
일본 공개특허 제2011-066046호
그래서, 상하 방향의 반송 거리가 긴 경우라도 물품을 적절히 반송할 수 있고, 또한 설치 스페이스의 점에서 유리한 물품 반송 설비가 요구된다.
전술한 문제를 해결하기 위하여, 상하 방향을 따라 물품을 반송하는 물품 반송 설비는, 일 태양(態樣)으로서,
상하 방향을 따라 설치되는 제1 안내체와,
상하 방향을 따라 설치되는 제2 안내체와,
상기 제1 안내체에 안내되어 상기 제1 안내체를 따라 이동하는 물품 반송용의 제1 이동체와,
상기 제2 안내체에 안내되어 상기 제2 안내체를 따라 이동하는 물품 반송용의 제2 이동체와,
물품을 지지 가능한 중계용 지지대를 포함하고,
상기 제1 이동체는 이송탑재(移載; transfer) 대상 개소와의 사이에서 물품을 이송탑재하는 제1 이송탑재 장치를 구비하고,
상기 제2 이동체는 이송탑재 대상 개소와의 사이에서 물품을 이송탑재하는 제2 이송탑재 장치를 구비하고,
상기 제1 이동체의 이동 궤적을 제1 이동 궤적으로 하고, 상기 제2 이동체의 이동 궤적을 제2 이동 궤적으로 하여,
상기 제1 이동 궤적의 상단측 부분과 상기 제2 이동 궤적의 하단측 부분과의 상하 방향의 위치가 중복되도록 한 위치 관계로, 상기 제1 안내체와 상기 제2 안내체가 배치되고,
상기 중계용 지지대가, 상기 제1 이동 궤적 및 상기 제2 이동 궤적의 양쪽과 중복되지 않는 위치에서, 또한 상기 제1 이송탑재 장치 및 상기 제2 이송탑재 장치의 양쪽으로부터 물품을 이송탑재 가능한 위치에 배치되어 있다.
즉, 제1 이동체와 제2 이동체가, 중계용 지지대를 통하여 물품을 수수(授受) 가능하므로, 제1 이동 궤적과 제2 이동 궤적에 이르는 장거리라도, 반송 대상의 물품을 상하 방향으로 적절히 반송할 수 있다. 또한, 물품 반송 설비에 수평 방향으로 물품을 반송하기 위한 반송 장치를 설치하지 않고, 제1 이동체와 제2 이동체는, 중계용 지지대를 통하여 반송 대상의 물품을 중계할 수 있다. 그러므로, 설치 스페이스의 공간 절약화를 실현할 수 있다. 이와 같이, 본 구성에 의하면, 상하 방향의 반송 거리가 긴 경우라도 물품을 적절히 반송할 수 있고, 또한 설치 스페이스의 점에서 유리한 물품 반송 설비를 제공할 수 있다.
그리고, 중계용 지지대는, 상하 방향에서 제1 이동 궤적과 제2 이동 궤적과의 중복 범위 내에 설치되는 것이 바람직하다. 즉, 제1 이동체 및 제2 이동체의 각각은, 모두 상기 중복 범위 내에 위치하는 경우가 가능하므로, 중계용 지지대의 상하 방향에서의 위치를 상기 중복 범위 내에 설정하여 두면, 제1 이송탑재 장치와 제2 이송탑재 장치가 모두 중계용 지지대에 액세스하기 쉽다.
물품 반송 설비의 새로운 특징과 장점은, 도면을 참조하여 설명하는 실시형태에 대한 이하의 기재로부터 명확해진다.
도 1은 층간(inter-floor) 반송 장치의 주요부를 나타낸 측면에서 볼 때의 단면도(斷面圖)
도 2는 층간 반송 장치의 상하 방향에서 볼 때의 단면도
도 3a는 중계용 지지대를 나타낸 측면도
도 3b는 중계용 지지대를 나타낸 측면도
도 4는 제어 블록도
도 5는 제어를 나타낸 플로우차트
도 6은 제어를 나타낸 플로우차트
도 7은 제어를 나타낸 플로우차트
도 8은 종래의 층간 반송 장치를 나타낸 측면에서 볼 때의 단면도
본 발명의 물품 반송 설비를 층간 반송 장치에 적용한 경우에 대하여, 도면을 참조하여 설명한다. 도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태의 층간 반송 장치(K)는, 복수의 층 F[실시형태에서는, 1층(F1)∼5층(F5)의 5개의 층]를 가지는 반도체 제조 공장에 있어서, 반도체 기판을 수용한 용기(B)(FOUP나 FOSB라고 하는 것)를 반송 대상의 물품으로서, 상기 용기(B)를 상이한 층에 걸쳐 반송하기 위해 사용된다. 도시는 생략하지만, 본 실시형태의 반도체 제조 공장에서는, 각 층에 용기(B)의 보관 장치나 용기(B)로부터 인출된 반도체 기판의 처리를 행하는 처리 장치가 설치되어 있다.
층간 반송 장치(K)는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 상하 방향에서 볼 때 직사각형으로 형성된 영역의 외주(外周)가 벽체(W)로 포위되고, 상하 방향을 따라 중공부(中空部)가 연장되는 단일의 통체(U)를 구비하고 있다. 벽체(W)의 내부 공간(E1)에는, 안내 마스트(guiding mast)(M)가 연직(沿直) 방향(상하 방향)을 따라 설치되어 있다. 안내 마스트(M)는, 대향하는 벽체(W)의 각각의 근방에 위치하는 형태로, 또한 상하 방향으로 설치 높이를 어긋나게 하여 한 쌍 설치되어 있다. 구체적으로는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 안내 마스트(M)로서, 1층(F1)의 바닥 근방의 높이를 하단으로 하고, 3층(F3)의 천정 근방의 높이를 상단(上端)으로 하는 제1 안내 마스트(M1)(제1 안내체)와, 3층(F3)의 바닥 근방의 높이를 하단으로 하고, 5층(F5)의 천정 근방의 높이를 상단으로 하는 제2 안내 마스트(M2)(제2 안내체)가 설치되어 있다. 즉, 제1 안내 마스트(M1)는, 최하층[하층층, 여기서는 1층(F1)]과 접속층[여기서는 3층(F3)]을 접속하고, 제2 안내 마스트(M2)는, 상기 접속층과 최상층[상층 층, 여기서는 5층(F5)]을 접속하고 있다.
또한, 통체(U)에서의 1층(F1), 2층(F2), 4층(F4), 및 5층(F5)에 상당하는 개소에는, 상기 통체(U)의 내부 공간(E1)과 외부 공간(E2)을 연통시키는 개구부(Ko)가 형성되는 동시에, 개구부(Ko)를 통하여 용기(B)를 내부 공간(E1)과 외부 공간(E2)에서 출입하는 반출입(搬出入) 장치(C)가 설치되어 있다. 그리고, 반출입 장치(C)는 바닥면 상에 근접하여 설치해도 되고, 바닥면으로부터 이격된 위치(예를 들면, 천정 근방)에 설치해도 된다.
도 2에 나타낸 바와 같이, 제1 안내 마스트(M1) 및 제2 안내 마스트(M2)에는, 각각, 그 길이 방향을 따른 안내부(G)가 설치되어 있다. 제1 안내 마스트(M1)에는, 제1 안내 마스트(M1)를 따라 상하 방향으로 승강 이동 가능한 제1 이동체(T1)가 설치되고, 제2 안내 마스트(M2)에는, 제2 안내 마스트(M2)를 따라 상하 방향으로 승강 이동 가능한 제2 이동체(T2)가 설치되어 있다. 제1 이동체(T1) 및 제2 이동체(T2)는, 각각, 안내부(G)에 안내되는 피안내륜(A)을 구비하고 있다. 그리고, 특히 구별할 필요가 없는 경우에는, 제1 안내 마스트(M1) 및 제2 안내 마스트(M2)를 총칭하여 단지 안내 마스트(M)(안내체)라고 하고, 제1 이동체(T1) 및 제2 이동체(T2)를 총칭하여 단지 이동체(T)라고 한다.
제1 이동체(T1)는, 제1 승강 본체부(TH1)와, 스카라 암(scara arm)식의 출퇴암(TA)과, 용기(B)를 탑재 상태로 지지하는 용기 지지체(TY)를 구비하고 있다. 제1 승강 본체부(TH1)는, 제1 안내 마스트(M1)의 상단 부근에 권취한 승강 벨트(도시하지 않음)를 길이 방향으로 이동시키는 제1 승강 구동부(DRV1)(Tm1)(도 4 참조)에 의해 승강 구동된다. 본 실시형태에서는, 출퇴암과 용기 지지체(TY)에 의해 제1 이송탑재 장치(TS1)가 구성된다. 즉, 제1 이동체(T1)는 이송탑재 대상 개소와의 사이에서 물품을 이송탑재하는 제1 이송탑재 장치(TS1)를 구비하고 있다.
제2 이동체(T2)도 마찬가지로, 제2 승강 본체부(TH2)와, 스카라암식의 출퇴암과 용기(B)를 탑재 상태로 지지하는 용기 지지체(TY)를 구비하고 있다. 제2 승강 본체부(TH2)는, 제2 안내 마스트(M2)의 상단 부근에 권취한 승강 벨트(도시하지 않음)를 길이 방향으로 이동시키는 제2 승강 구동부(DRV2)(Tm2)(도 4 참조)에 의해 승강 구동된다. 본 실시형태에서는, 출퇴암과 용기 지지체(TY)에 의해 제2 이송탑재 장치(TS2)가 구성된다. 즉, 제2 이동체(T2)는 이송탑재 대상 개소와의 사이에서 물품을 이송탑재하는 제2 이송탑재 장치(TS2)를 구비하고 있다. 그리고, 이후의 설명에 있어서는, 제1 승강 본체부(TH1)과 제2 승강 본체부(TH2)를 함께 설명하는 경우에는 승강 본체부(TH)라고 한다.
도 3a 및 도 3b에 나타낸 바와 같이, 출퇴암의 기단(基端)은, 상하 방향을 따르는 회동축(回動軸)(J1)을 통하여 승강 본체부(TH)에 접속되고, 출퇴암의 선단은, 상하 방향을 따르는 회동축(J3)을 통하여 용기 지지체(TY)에 접속되어 있다. 또한, 출퇴암은 상하 방향을 따르는 회동축(J2) 주위의 회동(回動)에 의해 굴신(屈伸) 작동 가능하게 구성되어 있는 동시에, 회동축(J3) 주위의 회동에 의해 용기 지지체(TY)의 상하 방향에서 볼 때의 자세를 변경할 수 있다. 이와 같은 구성에 의해, 용기 지지체(TY)는 반송용 위치와 이송탑재용 위치로 전환할 수 있도록 구성되어 있다.
반송용 위치는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 용기 지지체(TY)에 지지시킨 용기(B)가 상하 방향에서 볼 때 제1 안내 마스트(M1)와 제2 안내 마스트(M2)와의 사이로 되는 위치이다. 그리고, 용기 지지체(TY)를 반송용 위치로 전환한 상태로 승강 본체부(TH)를 승강시킴으로써, 용기(B)를 상이한 층(F)의 사이에서 반송하게 된다.
또한, 도 2에 나타낸 바와 같이, 상하 방향에서 볼 때 반송용 위치의 용기 지지체(TY)를 에워싸는 상태로 중계용 지지대(N)가 분산 배치되어 있다(본 실시형태에서는 4개로 하고 있지만, 배치하는 수량은 임의이다). 중계용 지지대(N)는, 상하 방향에서의 설치 위치가 제1 이동 궤적의 상단측 부분과 제2 이동 궤적의 하단측 부분과의 중복 부분[도 1에서 부호 "L"를 부여한 부분, 후술하는 중복 영역 L]에 포함되는 위치에서, 상하 방향에서 볼 때의 위치가 고정되어 설치되어 있다.
이송탑재용 위치는, 용기 지지체(TY)가 중계용 지지대(N)에 설치된 절결(切缺)(NK)을 상하로 통과할 수 있는 위치로 하여 설정되어 있다. 그리고, 용기 지지체(TY)가 반송용 위치로 전환된 상태로 승강 본체부(TH)를 승강시킴으로써, 용기 지지체(TY)와 중계용 지지대(N)와의 사이에서 용기(B)를 수수하게 된다(도 3a 및 도 3b를 참조).
그리고, 용기(B)의 바닥부에는 3개의 위치결정용 홈(도시하지 않음)이 형성되어 있다. 용기 지지체(TY)의 상면에는, 3개의 위치결정용 홈의 각각과 걸어맞추어지는 3개의 위치결정핀(Q)이 형성되어 있고, 용기 지지체(TY)가 용기(B)를 상하 방향에서 볼 때 소정의 자세로 지지할 수 있도록 되어 있다. 또한, 중계용 지지대(N)의 상면에도, 3개의 위치결정용 홈의 각각과 걸어맞추어지는 3개의 위치결정핀(P)이 형성되어 있고, 중계용 지지대(N)가 용기(B)를 상하 방향에서 볼 때 소정의 자세로 지지할 수 있도록 되어 있다.
즉, 본 발명의 물품 반송 설비를 적용한 층간 반송 장치(K)는, 상하 방향을 따라 설치되는 안내 마스트(M)와, 안내 마스트(M)에 안내되어 상기 안내 마스트(M)를 따라 이동하는 물품 반송용의 이동체(T)를 구비하고 있다. 또한, 층간 반송 장치(K)는, 안내 마스트(M)로서, 제1 안내 마스트(M1)와 제2 안내 마스트(M2)를 구비하는 동시에, 이동체(T)로서, 제1 안내 마스트(M1)에 안내되어 이동하는 제1 이동체(T1)와 제2 안내 마스트(M2)에 안내되어 이동하는 제2 이동체(T2)를 구비하고 있다. 또한, 제1 이동체(T1)는, 이송탑재 대상 개소와의 사이에서 용기(B)를 이송탑재하는 제1 이송탑재 장치(TS1)를 구비하고, 제2 이동체(T2)는, 이송탑재 대상 개소와의 사이에서 용기(B)를 이송탑재하는 제2 이송탑재 장치(TS2)를 구비하고 있다.
여기서, 제1 안내 마스트(M1)에 안내되는 제1 이동체(T1)의 이동 궤적이 제1 이동 궤적에, 제2 안내 마스트(M2)에 안내되는 제2 이동체(T2)의 이동 궤적이 제2 이동 궤적에 상당한다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 제1 이동 궤적의 하단 부분과 제2 이동 궤적의 상단 부분과의 상하 방향의 위치가 중복 영역 L에 있어서 중복되도록 한 위치 관계로, 제1 안내 마스트(M1)와 제2 안내 마스트(M2)가 배치되어 있다. 또한, 중계용 지지대(N)는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 제1 이동 궤적 및 제2 이동 궤적의 양쪽과 중복되지 않는 위치에서, 또한 제1 이송탑재 장치(TS1) 및 제2 이송탑재 장치(TS2)의 양쪽으로부터 용기(B)를 이송탑재 가능한 위치에 배치되어 있다. 그리고, 도 2에서는 상하 방향에서 볼 때의 중계용 지지대(N)의 설치수를 4개로 하고 있지만, 이에 한정되는 것은 아니다. 단, 상하 방향에서 동일한 높이에 복수의 중계용 지지대(N)를 설치하는 경우에는, 상하 방향에서 볼 때의 용기(B)의 점유 영역이 중복되지 않도록 배치할 필요가 있으므로, 제1 이동 궤적과 제2 이동 궤적과의 배치 관계를 감안하여, 상하 방향에서 동일한 높이의 중계용 지지대(N)의 설치수를 설정하는 것이 바람직하다.
또한, 도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 제1 안내 마스트(M1), 제1 이동체(T1), 제1 이송탑재 장치(TS1), 제2 안내 마스트(M2), 제2 이동체(T2), 제2 이송탑재 장치(TS2), 및 중계용 지지대(N)는, 통체(U)의 내부에 배치되어 있다.
도 2에 나타낸 바와 같이, 제1 안내 마스트(M1)와 제2 안내 마스트(M2)는 상하 방향에서 볼 때 서로 이격되어 설치되어 있다. 또한, 제1 안내 마스트(M1)와 제2 안내 마스트(M2)는, 제1 이동체(T1)의 이동 궤적과 제2 이동체(T2)의 이동 궤적이, 상하 방향에서 볼 때 중복 부분[중복 영역 L]을 가지는 상태로 되도록 배치되어 있다.
도 1, 도 3a, 도 3b에 나타낸 바와 같이, 제1 이동체(T1)의 승강 본체부(TH)는, 상하 방향에서 볼 때, 용기 지지체(TY)가 반송용 위치에 위치할 때 용기 지지체(TY)가 지지하고 있는 용기(B)가 존재하는 영역의 위쪽에, 천정판(TC)을 고정 상태로 구비하고 있다. 천정판(TC)의 상단에는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 제2 이동체(T2)의 승강 본체부(TH)의 하단 부분까지의 거리를 검출하는 제1 접근 센서(S1)가 장착되어 있다. 또한, 제1 이동체(T1)의 승강 본체부(TH)의 하단 부분에는, 그 아래쪽의 간섭물을 검출하는 영역 센서(G1)가 장착되어 있다.
또한, 도 1, 도 3a, 도 3b에 나타낸 바와 같이, 제2 이동체(T2)의 승강 본체부(TH)는, 상하 방향에서 볼 때, 용기 지지체(TY)가 반송용 위치에 위치할 때 용기 지지체(TY)가 지지하고 있는 용기(B)가 존재하는 영역의 위쪽에, 천정판(TC)을 고정 상태로 구비하고 있다. 도 1에 나타낸 바와 같이, 제2 이동체(T2)의 승강 본체부(TH)의 하단 부분에는, 제1 이동체(T1)의 천정판(TC)의 상단까지의 거리를 검출하는 제2 접근 센서(S2)가 장착되어 있다.
반출입 장치(C)는, 롤러를 좌우로 분산시켜 구비한 롤러 컨베이어에 의해 구성되어 있고, 상기 반출입 장치(C)의 내부 공간(E1) 측의 단부(端部)의 좌우 한 쌍의 롤러는 용기 지지체(TY)의 좌우 방향의 폭보다 크게 구성되어, 한 쌍의 롤러의 사이를 용기 지지체(TY)가 상하로 통과 가능하게 구성되어 있다. 또한, 반출입 장치(C)의 외부 공간(E2)측의 단부는, 상기 층에서 작업을 행하는 반송 대차(도시하지 않음)나 작업자와의 사이에서 용기(B)를 수수 가능하게 되어 있다. 이로써, 반출입 장치(C)를 통하여 그 층에 의해 작업을 행하는 반송 대차나 작업자와 이동체(T)와의 사이에서 용기(B)의 수수가 가능해진다.
다음에, 도 4의 블록도에 기초하여, 본 실시형태의 층간 반송 장치(K)의 제어 구성을 설명한다. 제어 장치(M-CTRL)(H1)는, 예를 들면, 중앙 처리 장치와 하드디스크 등의 기억 장치를 구비한 퍼스널 컴퓨터나 PC 서버 등의 범용 컴퓨터에 의해 구성되어 있다. 그리고, 제어 장치(H1)는, 반도체 제조 공장에서의 반도체 기판의 처리 단계를 관리하는 도시하지 않은 단계 관리 장치가 요구하는 반송 요구에 따라 반송원(搬送元)으로 되는 처리 장치가 설치되어 있는 층(F)의 반출입 장치(C)와, 반송처(搬送處)로 되는 처리 장치가 설치되어 있는 층(F)의 반출입 장치(C) 사이에서의 용기(B)의 반송을 지령하게 된다.
제어 장치(H1)에는, 제1 이동체(T1)에 대응하는 제1 승강 구동부(DRV1)(Tm1)와, 1층(F1)의 바닥면에 장착되어 제1 이동체(T1)의 승강 본체부(TH)의 하단 부분까지의 거리를 검출하는 레이저식의 제1 측거계(測距計)(RF1)(D1)와, 제1 접근 센서(PS1)(S1)가 접속되어 있다. 본 실시형태에서는, 제1 측거계(D1)가 제1 위치 검출부에 상당한다. 즉, 층간 반송 장치(K)에는, 제1 이동체(T1)의 이동 궤적에 따른 방향에서의 상기 제1 이동체(T1)의 위치를 검출하는 제1 측거계(D1)가 설치되어 있다.
제어 장치(H1)는, 제1 측거계(D1)의 계측 정보와 단계 관리 장치로부터의 반송 요구에 기초하여, 제1 승강 구동부(Tm1)를 구동시켜 제1 이동체(T1)를 반송원의 목표 위치와 반송처의 목표 위치와의 사이에서 승강 이동시키는 동시에, 각각의 목표 위치에 있어서, 출퇴암 등으로 이루어지는 이송탑재 장치를 구동시켜 용기(B)의 수수를 행하도록 제1 이동체(T1)의 작동을 제어한다. 본 실시형태에서는, 단계 관리 장치로부터의 요구가, 반송 대상의 용기(B)의 반송원 및 반송처의 정보를 포함하는 반송 요구에 상당한다.
또한, 제1 이동체(T1)에는, 제1 접근 센서(S1)의 검출 정보에 기초하여 제1 승강 구동부(Tm1)에 작동을 지령하는 제1 로컬 제어부(S-CTRL)(HL1)가 구비되어 있다. 제1 로컬 제어부(HL1)는, 제어 장치(H1)로부터의 제어 지령의 유무를 확인하여, 제어 장치(H1)가 정상(正常)으로 작동하고 있는지의 여부를 판별하게 되어 있다.
제1 로컬 제어부(HL1)는, 제1 접근 센서(S1)의 검출 정보에 기초하여, 제2 이동체(T2)까지의 상하 방향의 거리가 제1 설정 거리 이하인 제1 접근 상태인 것으로 판별하면, 충돌 회피용 작동으로서 제1 승강 구동부(Tm1)를 작동시킨다. 제1 로컬 제어부(HL1)는, 충돌 회피용 작동에서는, 제1 이동체(T1)와 제2 이동체(T2)와의 충돌을 회피하기 위해, 제1 이동체(T1)의 이동 속도를 감속시키도록 제1 승강 구동부(Tm1)를 작동시켜 제1 이동체(T1)의 이동을 제어한다. 즉, 본 실시형태에서는, 제1 접근 센서(S1)와 제1 로컬 제어부(HL1)에 의해 제1 접근 검출부가 구성되어 있다. 또한, 제1 로컬 제어부(HL1)에 의한 충돌 회피용 작동으로의 전환 제어는, 제어 장치(H1)의 제어에 우선하여 행해진다. 그리고, 제1 설정 거리는, 후술하는 중복 영역 L(도 1 참조)의 상하 방향의 길이와 동등한 거리로 설정되어 있다.
제어 장치(H1)에는, 제2 이동체(T2)에 대응하는 제2 승강 구동부(DRV2)(Tm2)와, 5층(F5)(최상층)의 천정에 장착되어 제2 이동체(T2)의 천정판(TC)의 상단 부분까지의 거리를 검출하는 레이저식의 제2 측거계(RF2)(D2)와, 제2 접근 센서(PS2)(S2)가 접속되어 있다. 본 실시형태에서는, 제2 측거계(D2)가 제2 위치 검출부에 상당한다. 즉, 층간 반송 장치(K)에는, 제2 이동체(T2)의 이동 궤적에 따른 방향에서의 상기 제2 이동체(T2)의 위치를 검출하는 제2 측거계(D2)가 설치되어 있다.
제어 장치(H1)는, 제2 측거계(D2)의 계측 정보와 단계 관리 장치로부터의 반송 요구에 기초하여, 제2 승강 구동부(Tm2)를 구동시켜 제2 이동체(T2)를 반송원의 목표 위치와 반송처의 목표 위치와의 사이에서 승강 이동시키는 동시에, 각각의 목표 위치에 있어서, 출퇴암 등으로 이루어지는 이송탑재 장치를 구동시켜 용기(B)의 수수를 행하도록 제2 이동체(T2)의 작동을 제어한다.
즉, 제어 장치(H1)는, 반송 대상의 용기(B)의 반송원 및 반송처의 정보를 포함하는 반송 요구와, 제1 측거계(D1) 및 제2 측거계(D2)의 검출 정보에 기초하여, 제1 이동체(T1) 및 제2 이동체(T2)에 제어 지령을 지령하여 제1 이동체(T1) 및 제2 이동체(T2)의 이동을 제어한다.
제2 이동체(T2)에는, 제2 접근 센서(S2)의 검출 정보에 기초하여 제2 승강 구동부(Tm2)에 작동을 지령하는 제2 로컬 제어부(HL2)가 구비되어 있다. 제2 로컬 제어부(HL2)는 제어 장치(H1)로부터의 제어 지령의 유무를 확인하여, 제어 장치(H1)가 정상으로 작동하고 있는지의 여부를 판별하게 되어 있다.
제2 로컬 제어부(HL2)는, 제2 접근 센서(S2)의 검출 정보에 기초하여, 제1 이동체(T1)까지의 상하 방향의 거리가 제2 설정 거리 이하인 제2 접근 상태인 것으로 판별하면, 충돌 회피용 작동으로서 제2 승강 구동부(Tm2)를 작동시킨다. 제2 로컬 제어부(HL2)는, 충돌 회피 작동에서는, 제2 이동체(T2)와 제1 이동체(T1)와의 충돌을 회피하기 위해, 제2 이동체(T2)의 이동 속도를 감속시키도록 제2 승강 구동부(Tm2)를 작동시켜 제2 이동체(T2)의 이동을 제어한다. 즉, 본 실시형태에서는, 제2 접근 센서(S2)와 제2 로컬 제어부(HL2)에 의해 제2 접근 검출부가 구성되어 있다. 또한, 제2 로컬 제어부(HL2)에 의한 충돌 회피용 작동으로의 전환 제어는, 제어 장치(H1)의 제어에 우선하여 행해진다. 그리고, 제2 설정 거리는, 후술하는 중복 영역 L(도 1 참조)의 상하 방향의 길이와 동등한 거리로 설정되어 있다.
제어 장치(H1)는, 제1 이동체(T1)의 이동 경로의 상단 부분과 제2 이동체(T2)의 이동 경로의 하단 부분과의 중복 영역 L(도 1 참조)을 나타내는 위치 정보를 간섭 구간으로서 기억하고 있다. 즉, 제어 장치(H1)는, 제1 이동 궤적, 제2 궤도 궤적, 및 중복 영역 L(간섭 구간)의 구간 정보를 기억하고 있다. 이 중복 영역 L은, 제1 이동체(T1)가 제1 이동 궤적의 상단에 위치할 때 상기 제1 이동체(T1)의 상단[천정판(TC)]이 위치하는 높이를 상단으로 하고, 제2 이동체(T2)가 제2 이동 궤적의 하단에 위치할 때 상기 제2 이동체(T2)의 하단이 위치하는 높이를 하단으로 하는 구간을 포함하도록 설정되어 있다. 또한, 중계용 지지대(N)는, 상하 방향에서 이 중복 영역 L의 범위 내에 설치된다.
또한, 제어 장치(H1)는, 1층(F1) 및 2층(F2)의 반출입 장치(C)와 중계용 지지대(N)를 제1 이동체(T1)에 대한 이송탑재 대상 개소로서 기억하고, 4층(F4) 및 5층(F5)의 반출입 장치(C)와 중계용 지지대(N)를 제2 이동체(T2)에 대한 이송탑재 대상 개소로서 기억하고 있다.
이어서, 제어 장치(H1), 제1 로컬 제어부(HL1), 및 제2 로컬 제어부(HL2)가 실행하는 제어에 대하여, 도 5∼도 7의 플로우차트에 기초하여 설명한다.
그리고, 제어 장치(H1)는, 제1 이동체(T1) 및 제2 이동체(T2)에 대하여, 단계 관리 장치에 의해 요구된 반송 요구에 대한 반송이 완료되어 다음의 반송 요구를 대기하고 있는 상태에서는, 상기 반송 요구 대기 상태의 제1 이동체(T1) 및 제2 이동체(T2)가 중복 영역 L 내에 위치하지 않도록 하기 위해, 제1 승강 구동부(Tm1) 및 제2 승강 구동부(Tm2)의 작동을 제어하고 있다. 즉, 제1 이동체(T1)에 대하여는 상하 방향에서 중복 영역 L의 하방측의 위치를 퇴피 위치로 하고, 제2 이동체(T2)에 대하여는 상하 방향에서 중복 영역 L의 상방측의 위치를 퇴피 위치로 하여, 완료되지 않은 반송 요구가 없는 상태에서는, 제1 이동체(T1) 및 제2 이동체(T2)가 상기 퇴피 위치에 위치하도록 제1 승강 구동부(Tm1) 및 제2 승강 구동부(Tm2)의 작동을 제어한다.
이하, 도 5 및 도 6의 플로우차트에 기초하여 설명한다. 제어 장치(H1)는, 단계 관리 장치의 반송 요구에 따라 반송원과 반송처가, 상하 방향에서 동일한 이동체(T)의 이동 궤적에 속하는 위치인지의 여부[본 실시형태에서는, 1층(F1)과 2층(F2)과의 사이의 반송, 또는 4층(F4)과 5층(F5)과의 사이의 반송인지의 여부]를판별한다(스텝 #1). 스텝 #1에 있어서 반송원과 반송처가 상하 방향에서 동일한 이동체(T)의 이동 궤적에 속하는 위치가 아닌 것으로 판별하면(스텝 #1: No), 이어서, 반송처의 이동체(T)가 중복 영역 L에 위치하는지의 여부를 판별한다(스텝 #2). 스텝 #2에서, 반송처의 이동체(T)가 중복 영역 L에 위치하는 것으로 판별하면(스텝 #2: Yes), 반송원 측의 이동체(T)의 목표 위치를 반송원 측의 이동체(T)의 퇴피 위치로 설정(스텝 #3)하여, 반송원 측의 이동체(T)를 이동시킨다.
제어 장치(H1)는, 반송처 측의 이동체(T)가 중복 영역 L을 퇴출한(moved out) 것으로 판별하면(스텝 #4: Yes), 반송원 측의 이동체(T)의 목표 위치를 중계용 지지대(N)로 설정하고(스텝 #5), 반송원 측의 이동체(T)에 대하여 이동 처리(자세한 것은 도 7의 스텝 #20을 참조하여 후술함)를 실행한다(스텝 #6). 스텝 #6의 이동 처리가 완료되면, 반송원 측의 이동체(T)를 퇴피 위치로 이동시킨다(스텝 #7).
이어서, 반송처 측의 이동체(T)의 목표 위치를 중계용 지지대(N)로 설정하고(스텝 #8), 반송처 측의 이동체(T)에 대하여 이동 처리를 실행한다[스텝 #9(#20)]. 스텝 #9의 이동 처리가 완료되면, 반송처 측의 이동체(T)를 퇴피 위치로 이동시킨다(스텝 #10).
그리고, 제어 장치(H1)는, 스텝 #2에서, 반송처의 이동체(T)가 중복 영역 L에 위치하고 있지 않은 것으로 판별하면, 중복 영역 L에서의 이동체(T)끼리의 충돌의 우려는 없기 때문에 스텝 #5의 처리로 이행한다.
또한, 제어 장치(H1)는, 스텝 #1에서, 반송원과 반송처가 상하 방향에서 동일한 이동체(T)의 이동 궤적에 속하는 위치인 것으로 판별하면(스텝 #1: Yes), 반송원 측의 이동체(T)와 반송처 측의 이동체(T)는 동일하므로, 목표 위치를 반송처로 설정하고(스텝 #11), 상기 이동체에 대하여 이동 처리를 실행한다[스텝 #12(#20)]. 스텝 #12의 이동 처리가 완료되면, 이동체(T)를 퇴피 위치로 이동시킨다(스텝 #13).
다음에, 도 7에 기초하여 이동 처리의 루틴을 설명한다. 제어 장치(H1)는, 목표 위치와 제1 측거계(D1) 또는 제2 측거계(D2)에 의해 검출한 이동체(T)의 현재 위치와의 거리를 산출하고(스텝 #21), 목표 위치에 도달했는지의 여부를 판별한다(스텝 #22). 스텝 #22에서, 목표 위치에 도달하고 있지 않은 것으로 판별하면, 제1 승강 구동부(Tm1) 또는 제2 승강 구동부(Tm2)를 구동시켜 이동체(T)를 이동시키게 된다(스텝 #23). 한편, 제1 로컬 제어부(HL1), 또는 제2 로컬 제어부(HL2)는, 제1 접근 센서(S1) 또는 제2 접근 센서(S2)가 간섭물을 검출하면(스텝 #24: Yes), 제어 장치(H1)에 의한 제어에 우선하여 제1 승강 구동부(Tm1) 및 제2 승강 구동부(Tm2)의 작동을 감속 상태를 거쳐 정지시킨다(스텝 #25). 즉, 제1 로컬 제어부(HL1)에 의한 충돌 회피용 작동으로의 전환 제어, 및 제2 로컬 제어부(HL2)에 의한 충돌 회피용 작동으로의 전환 제어는, 제어 장치(H1)의 제어에 우선하여 행해진다.
제어 장치(H1)는, 제1 이동 궤적의 중의 간섭 구간[중복 영역 L]을 제외한 구간(비간섭 구간, 제1 비간섭 구간 L1)에 제1 이동체(T1)가 위치하는 경우에서의 제1 이송탑재 장치(TS1)의 이송탑재 대상 개소와, 제2 이동 궤적 중의 간섭 구간(중복 영역 L)을 제외한 구간(비간섭 구간, 제2 비간섭 구간 L2)에 제2 이동체(T2)가 위치하는 경우에서의 제2 이송탑재 장치(TS2)의 이송탑재 대상 개소 중 한쪽을 반송원으로 하고, 다른 쪽을 반송처로 하는 반송 지령이 지령된 경우에는, 다음과 같은 제어를 실행한다. 즉, 제어 장치(H1)는, 제1 이동체(T1) 및 제2 이동체(T2) 중, 반송원이 존재하는 쪽을 우선하여 간섭 구간에 진입시키는 동시에, 제1 이동체(T1)와 제2 이동체(T2)와의 양쪽이 간섭 구간에 위치하는 상태를 규제하도록 제1 이동체(T1) 및 제2 이동체(T2)의 이동을 제어한다.
상기와 같은 구성에 의해, 제1 이동체(T1)의 이동 궤적과 제2 이동체(T2)의 이동 궤적을, 상하 방향에서 볼 때 중복되는 위치로 될 때까지 접근하여, 설비의 설치 스페이스를 삭감하면서, 제1 이동체(T1)와 제2 이동체(T2)와의 충돌을 적절히 회피하는 것이 가능해진다.
[다른 실시형태]
(1) 상기에서는, FOUP나 FOSB 등의 반도체 기판을 수용하는 용기를 반송 대상의 물품으로 하는 예를 나타냈으나, 이와 같은 구성에 한정되지 않고, 예를 들면, 레티클(reticle) 용기나 유리 기판을 반송 대상의 물품으로 해도 된다. 또한, 상기 실시형태에서는, 본 발명에 관한 물품 반송 설비를 반도체 제조 공장에 있어서 사용하는 예를 나타냈으나, 물품 반송 설비를 반도체 제조 공장 이외의 설비, 예를 들면, 식품 공장 등에 사용해도 되고, 반송 대상의 물품을 어떠한 것으로 할 것인가는 임의이다.
(2) 상기에서는, 반도체 제조 공장이 가지는 층의 수를 5층으로 하고, 제1 안내 마스트(M1)를 1층 내지 3층, 제2 안내 마스트(M2)를 3층 내지 5층까지 물품을 반송 가능하게 구성하고, 3층 부분에 중복 부분을 설치하는 구성으로 하였으나, 제1 안내 마스트(M1)와 제2 안내 마스트(M2)와의 설치 높이는 상기한 층에 상당하는 높이에 한정되는 것은 아니다.
(3) 상기에서는, 중계용 지지대(N)를, 상하 방향에서 볼 때의 위치를 고정한 형태로 설치하는 구성을 설명하였으나, 이와 같은 구성에 한정되지 않고, 예를 들면, 상하 방향에서 볼 때의 위치를 변경 가능한 지지대로 해도 된다.
(4) 상기에서는, 제1 이동 궤적과 제2 이동 궤적을, 상하 방향에서 볼 때 서로 중복되는 부분을 가지도록 배치하였으나, 제1 이동 궤적과 제2 이동 궤적을 상하 방향에서 볼 때 서로 이격시켜 설치해도 된다. 그리고, 이 경우에도, 제1 이동 궤적과 제2 이동 궤적과의 상하 방향에서 볼 때의 위치는 최대한 근접시키는 것이 바람직하다.
(5) 상기에서는, 제1 위치 검출부와 제2 위치 검출부를 레이저식의 측거계로 하는 구성을 나타냈으나, 이와 같은 구성에 한정되지 않고, 제1 위치 검출부와 제2 위치 검출부를, 예를 들면, 안내 마스트(M)를 따라 형성된 도그나 바코드(dogs or barcodes) 등의 식별체를 검출함으로써 위치 검출하는 기구로 하는 등, 각종 구성을 적용할 수 있다. 또한, 제1 위치 검출부와 제2 위치 검출부를 다른 종류의 위치 검출 기구로 해도 된다.
(6) 상기에서는, 반송원 측의 이동체(T)와 반송처 측의 이동체(T)가 상이한 경우에 있어서, 반송처 측의 이동체(T)가 중복 영역 L에 위치할 때는, 반송원 측의 이동체의 목표 위치를 반송원 측의 이동체(T)에서의 퇴피 위치로 하는 구성을 설명하였으나, 이와 같은 구성에 한정되지 않고, 반송원 측의 이동체의 목표 위치를 최초로부터 중계용 지지대(N)에 설정해 두고, 반송처 측의 이동체(T)가 중복 영역 L에 위치할 때는 반송원 측의 이동체(T)가 중복 영역 L에 접근하는 이동을 규제하도록 구성해도 된다.
(7) 상기에서는, 제1 안내 마스트(M1), 제1 이동체(T1), 제1 이송탑재 장치(TS1), 제2 안내 마스트(M2), 제2 이동체(T2), 제2 이송탑재 장치(TS2), 및 중계용 지지대(N)가, 통체(U)의 내부에 배치하는 구성을 설명하였으나, 통체(U)를 설치하지 않는 구성으로 해도 된다. 또한, 상기 실시형태에서는, 통체(U)를, 상하 방향에서 볼 때 직사각형으로 형성하였으나, 통체(U)의 상하 방향에서 볼 때의 형상은, 3각형이나 5각형 이상, 또는 원형, 또한 요철(凹凸)이 있는 이형(異型) 단면(斷面) 형상 등, 어떠한 형상이라도 된다.
(8) 상기에서는, 제1 설정 거리 및 제2 설정 거리를, 중복 영역 L의 상하 방향의 길이와 동등한 거리로 설정하는 구성을 설명하였으나, 제1 설정 거리 및 제2 설정 거리를 중복 영역 L의 상하 방향의 거리보다 짧게 설정해도 된다. 또한, 제1 설정 거리와 제2 설정 거리를 상이한 거리로 설정해도 된다. 이 경우, 예를 들면, 이동체가 하강 이동하는 경우의 쪽이 이동체의 제동 거리가 길어지는 경향이 있는 것을 감안하여, 제2 설정 거리의 쪽을 긴 거리로 하는 것을 생각할 수 있다.
[실시형태의 개요]
이하, 상기에 있어서 설명한 물품 반송 설비의 개요에 대하여 간단하게 설명한다.
전술한 문제를 해결하기 위하여, 상하 방향을 따라 물품을 반송하는 물품 반송 설비는, 일 태양으로서,
상하 방향을 따라 설치되는 제1 안내체와,
상하 방향을 따라 설치되는 제2 안내체와,
상기 제1 안내체에 안내되어 상기 제1 안내체를 따라 이동하는 물품 반송용의 제1 이동체와,
상기 제2 안내체에 안내되어 상기 제2 안내체를 따라 이동하는 물품 반송용의 제2 이동체와,
물품을 지지 가능한 중계용 지지대를 포함하고,
상기 제1 이동체는 이송탑재 대상 개소와의 사이에서 물품을 이송탑재하는 제1 이송탑재 장치를 구비하고,
상기 제2 이동체는 이송탑재 대상 개소와의 사이에서 물품을 이송탑재하는 제2 이송탑재 장치를 구비하고,
상기 제1 이동체의 이동 궤적을 제1 이동 궤적으로 하고, 상기 제2 이동체의 이동 궤적을 제2 이동 궤적으로 하여,
상기 제1 이동 궤적의 상단측 부분과 상기 제2 이동 궤적의 하단측 부분과의 상하 방향의 위치가 중복되도록 한 위치 관계로, 상기 제1 안내체와 상기 제2 안내체가 배치되고,
상기 중계용 지지대가, 상기 제1 이동 궤적 및 상기 제2 이동 궤적의 양쪽과 중복되지 않는 위치에서, 또한 상기 제1 이송탑재 장치 및 상기 제2 이송탑재 장치의 양쪽으로부터 물품을 이송탑재 가능한 위치에 배치되어 있다.
즉, 제1 이동체와 제2 이동체가, 중계용 지지대를 통하여 물품을 수수 가능하므로, 제1 이동 궤적과 제2 이동 궤적에 이르는 장거리라도, 반송 대상의 물품을 상하 방향으로 적절히 반송할 수 있다. 또한, 물품 반송 설비에 수평 방향으로 물품을 반송하기 위한 반송 장치를 설치하지 않고, 제1 이동체와 제2 이동체는, 중계용 지지대를 통하여 반송 대상의 물품을 중계할 수 있다. 그러므로, 설치 스페이스의 공간 절약화를 실현할 수 있다. 이와 같이, 본 구성에 의하면, 상하 방향의 반송 거리가 긴 경우라도 물품을 적절히 반송할 수 있고, 또한 설치 스페이스의 점에서 유리한 물품 반송 설비를 제공할 수 있다.
그리고, 중계용 지지대는, 상하 방향에서 제1 이동 궤적과 제2 이동 궤적과의 중복 범위 내에 설치되는 것이 바람직하다. 즉, 제1 이동체 및 제2 이동체의 각각은, 모두 상기 중복 범위 내에 위치하는 경우가 가능하므로, 중계용 지지대의 상하 방향에서의 위치를 상기 중복 범위 내로 설정하여 두면, 제1 이송탑재 장치와 제2 이송탑재 장치가 모두 중계용 지지대에 액세스하기 쉽다.
본 발명에 관한 물품 반송 설비에 있어서는, 상기 중계용 지지대는, 상하 방향에서 볼 때의 위치가 고정되어 있는 것이 바람직하다.
이 구성에 의하면, 중계용 지지대의 상하 방향에서 볼 때의 위치가 이동 가능한 경우와 비교하여, 상하 방향에서 볼 때의 설치 영역을 작게 할 수 있다. 따라서, 설치 스페이스의 점에서 보다 유리한 물품 반송 설비를 제공할 수 있다.
본 발명에 관한 물품 반송 설비에 있어서는, 상기 제1 안내체와 상기 제2 안내체는, 상하 방향에서 볼 때 서로 이격되어 설치되고, 상기 제1 이동 궤적과 상기 제2 이동 궤적은, 상하 방향에서 볼 때서로 중복되는 부분을 가지는 것이 바람직하다.
제1 이동 궤적과 제2 이동 궤적이 상하 방향에서 볼 때 서로 중복되지 않을 경우와 비교하여, 제1 이동 궤적과 제2 이동 궤적이 상하 방향에서 볼 때 서로 중복되는 경우에는, 상하 방향에서 볼 때 제1 이동체 및 제2 이동체가 존재하는 영역을 작게 할 수 있다. 따라서, 본 구성에 의하면 설치 스페이스의 점에서 보다 유리한 물품 반송 설비를 제공할 수 있다.
또한, 물품 반송 설비는 일 태양으로서,
상기 제1 이동체의 위치를 검출하는 제1 위치 검출부와,
상기 제2 이동체의 위치를 검출하는 제2 위치 검출부와,
반송 대상인 물품의 반송원 및 반송처의 정보를 포함하는 반송 요구와, 상기 제1 위치 검출부 및 상기 제2 위치 검출부의 검출 정보에 기초하여, 상기 제1 이동체 및 상기 제2 이동체에 제어 지령을 지령하여 상기 제1 이동체 및 상기 제2 이동체의 이동을 제어하는 제어 장치를 더 포함하고,
상하 방향에 있어서, 상기 제1 이동체가 상기 제1 이동 궤적의 상단에 위치할 때 상기 제1 이동체의 상단이 위치하는 높이를 상단으로 하고, 상기 제2 이동체가 상기 제2 이동 궤적의 하단에 위치할 때 상기 제2 이동체의 하단이 위치하는 높이를 하단으로 하는 구간을 포함하는 구간을 간섭 구간으로 하고,
상기 제1 이동 궤적 중, 상하 방향에 있어서 상기 간섭 구간에 대응하는 구간을 제외한 구간을 제1 비간섭 구간으로 하고,
상기 제2 이동 궤적 중, 상하 방향에 있어서 상기 간섭 구간에 대응하는 구간을 제외한 구간을 제2 비간섭 구간으로 하고,
상기 제1 비간섭 구간에 상기 제1 이동체가 위치하는 경우에서의 상기 제1 이송탑재 장치의 이송탑재 대상 개소와, 상기 제2 비간섭 구간에 상기 제2 이동체가 위치하는 경우에서의 상기 제2 이송탑재 장치의 이송탑재 대상 개소 중 한쪽이 상기 반송 요구에 포함되는 상기 반송원이며, 다른 쪽이 상기 반송처인 경우에는,
상기 제어 장치는, 상기 제1 이동체 및 상기 제2 이동체 중, 상기 반송원이 이동 궤적에 포함되는 쪽의 이동체를 우선하여 상기 간섭 구간에 진입시키는 동시에, 상기 제1 이동체와 상기 제2 이동체와의 양쪽이 상기 간섭 구간에 위치하는 상태를 규제하도록 상기 제1 이동체 및 상기 제2 이동체의 이동을 제어하는 것이 바람직하다.
본 구성에 의하면, 제1 이동체 및 제2 이동체 중 반송원에서 수취한 반송 대상물을 지지하고 있는 이동체를 우선하여 간섭 구간에 진입시켜, 중계용 지지대에 대하여 물품을 지지시키고, 상기 이동체를 간섭 구간으로부터 퇴피시키면서, 물품을 지지하고 있지 않은 쪽의 이동체를 간섭 구간에 진입시켜, 중계용 지지대에 지지되어 있는 물품을 수취하여 반송처에 반송할 수 있다. 즉, 제1 이동체 및 제2 이동체에 의해, 중계용 지지대를 통하여 물품을 반송하는데 있어서, 제1 이동체와 제2 이동체와의 양쪽이 간섭 구간에 위치하는 상태가 발생하지 않도록 제1 이동체 및 제2 이동체의 이동이 제어된다. 그러므로, 제1 이동체와 제2 이동체가 접촉하도록 한 가능성을 저감할 수 있다.
또한, 물품 반송 설비는 일 태양으로서, 상기 제1 이동체가, 상기 제2 이동체까지의 상하 방향의 거리가 제1 설정 거리 이하인 제1 접근 상태를 검출하는 제1 접근 검출부와, 상기 제1 접근 검출부의 검출 정보에 기초하여 상기 제1 이동체의 작동을 제어하는 제1 이동체 제어부를 구비하고, 상기 제2 이동체가, 상기 제1 이동체까지의 상하 방향의 거리가 제2 설정 거리 이하인 제2 접근 상태를 검출하는 제2 접근 검출부와, 상기 제2 접근 검출부의 검출 정보에 기초하여 상기 제2 이동체의 작동을 제어하는 제2 이동체 제어부를 구비하고, 상기 제1 이동체 제어부는, 상기 제1 접근 검출부가 상기 제1 접근 상태를 검출한 경우에는, 상기 제어 장치에 의한 제어에 우선하여 상기 제1 이동체의 작동을 상기 제2 이동체와의 충돌을 회피하는 충돌 회피용 작동으로 전환하고, 상기 제2 이동체 제어부는, 상기 제2 접근 검출부가 상기 제2 접근 상태를 검출한 경우에는, 상기 제어 장치에 의한 제어에 우선하여 상기 제2 이동체의 작동을 상기 제1 이동체와의 충돌을 회피하는 충돌 회피용 작동으로 전환하는 것이 바람직하다.
이 구성에 의하면, 제1 이동체 제어부는, 제1 이동체로부터 제2 이동체까지의 거리가 제1 설정 거리 이하로 된 경우, 제어 장치의 제어에 우선하여, 제1 이동체의 작동을 충돌 회피용 작동으로 전환한다. 또한, 제2 이동체 제어부는, 제2 이동체로부터 제1 이동체까지의 거리가 제2 설정 거리 이하로 된 경우, 제어 장치의 제어에 우선하여, 제2 이동체의 작동을 충돌 회피용 작동으로 전환한다. 그러므로, 예를 들면, 제어 장치에 문제점이 발생하거나, 제어에 지연이 생기거나 하여, 제어 장치가 제1 이동체 및 제2 이동체를 적절히 제어할 수 없는 경우라도, 제1 이동체와 제2 이동체가 접촉하도록 한 사태를 적절히 회피할 수 있다. 그리고, 제1 설정 거리 및 제2 설정 거리는, 간섭 구간의 길이 또는 그 이하의 길이로 설정하는 것이 바람직하다.
본 발명에 관한 물품 반송 설비에 있어서는, 상기 제1 이동체 제어부는, 상기 충돌 회피용 작동으로서, 적어도 상기 제1 이동체의 이동 속도를 감속시키도록 상기 제1 이동체의 작동을 제어하고, 상기 제2 이동체 제어부는, 상기 충돌 회피용 작동으로서, 적어도 상기 제2 이동체의 이동 속도를 감속시키도록 상기 제2 이동체의 작동을 제어하는 것이 바람직하다.
제1 이동체 제어부 및 제2 이동체 제어부가, 충돌 회피용 작동으로서 각각 제1 이동체 및 제2 이동체의 이동 속도를 감속시키므로, 제2 이동체와 제1 이동체가 접촉하는 것을 회피하기 쉽다. 또한, 만일 접촉해도 그 충격을 최대한 작게 할 수 있다.
또한, 물품 반송 설비는, 일 태양으로서, 상기 제1 안내체, 상기 제1 이동체, 상기 제1 이송탑재 장치, 상기 제2 안내체, 상기 제2 이동체, 상기 제2 이송탑재 장치, 및 상기 중계용 지지대가, 상하 방향을 따라 중공부가 연장되는 통체의 내부에 배치되어 있는 것이 바람직하다.
제1 안내체, 제1 이동체, 제1 이송탑재 장치, 제2 안내체, 제2 이동체, 제2 이송탑재 장치, 및 중계용 지지대를, 동일한 통체의 내부에 수용함으로써, 물품 반송 설비를 스페이스 절약으로 구성할 수 있다. 그러므로, 물품 반송 장치가 설치되는 공장 등에 있어서 물품 반송 설비가 점유하는 면적을 작게 할 수 있다.
B: 물품(용기)
D1: 제1 위치 검출부(제1 측거계)
H1: 제어 장치
HL1: 제1 이동체 제어부(제1 로컬 제어부)
HL2: 제2 이동체 제어부(제2 로컬 제어부)
L: 간섭 구간(중복 영역)
L1: 제1 비간섭 구간
L2: 제2 비간섭 구간
M: 안내체(안내 마스트)
M1: 제1 안내체(제1 안내 마스트)
M2: 제2 안내체(제2 안내 마스트)
N: 중계용 지지대
S1: 제1 접근 검출부(제1 접근 센서)
S2: 제2 접근 검출부(제2 접근 센서)
T: 이동체
T1: 제1 이동체
T2: 제2 이동체
TS1: 제1 이송탑재 장치
TS2: 제2 이송탑재 장치
U: 통체

Claims (12)

  1. 상하 방향을 따라 물품을 반송(搬送)하는 물품 반송 설비로서,
    상하 방향을 따라 설치되는 제1 안내체;
    상하 방향을 따라 설치되는 제2 안내체;
    상기 제1 안내체에 안내되어 상기 제1 안내체를 따라 이동하는 물품 반송용의 제1 이동체;
    상기 제2 안내체에 안내되어 상기 제2 안내체를 따라 이동하는 물품 반송용의 제2 이동체; 및
    물품을 지지 가능한 중계용 지지대;
    를 포함하고,
    상기 제1 이동체는, 이송탑재(移載; transfer) 대상 개소(箇所)와의 사이에서 물품을 이송탑재하는 제1 이송탑재 장치를 구비하고,
    상기 제2 이동체는, 이송탑재 대상 개소와의 사이에서 물품을 이송탑재하는 제2 이송탑재 장치를 구비하고,
    상기 제1 이동체의 이동 궤적을 제1 이동 궤적으로 하고, 상기 제2 이동체의 이동 궤적을 제2 이동 궤적으로 하여,
    상기 제1 이동 궤적의 하단측 부분이, 상기 제2 이동 궤적의 하단측 부분보다도 하측에 배치되고, 상기 제2 이동 궤적의 상단측 부분이, 상기 제1 이동 궤적의 상단측 부분보다도 상단에 배치되고,
    상기 제1 이동 궤적의 상단측 부분과 상기 제2 이동 궤적의 하단측 부분과의 상하 방향의 위치가 중복되도록 한 위치 관계로, 상기 제1 안내체와 상기 제2 안내체가 배치되고,
    상기 중계용 지지대가, 상기 제1 이동 궤적 및 상기 제2 이동 궤적의 양쪽과 중복되지 않는 위치에서, 또한 상기 제1 이송탑재 장치 및 상기 제2 이송탑재 장치의 양쪽으로부터 물품을 이송탑재 가능한 위치에 배치되어 있는,
    물품 반송 설비.
  2. 상하 방향을 따라 물품을 반송(搬送)하는 물품 반송 설비로서,
    상하 방향을 따라 설치되는 제1 안내체;
    상하 방향을 따라 설치되는 제2 안내체;
    상기 제1 안내체에 안내되어 상기 제1 안내체를 따라 이동하는 물품 반송용의 제1 이동체;
    상기 제2 안내체에 안내되어 상기 제2 안내체를 따라 이동하는 물품 반송용의 제2 이동체; 및
    물품을 지지 가능한 중계용 지지대;
    를 포함하고,
    상기 제1 안내체와 상기 제2 안내체의 각각은, 상기 중계용 지지대에 대한 위치가 고정되고,
    상기 제1 이동체는, 이송탑재(移載; transfer) 대상 개소(箇所)와의 사이에서 물품을 이송탑재하는 제1 이송탑재 장치를 구비하고,
    상기 제2 이동체는, 이송탑재 대상 개소와의 사이에서 물품을 이송탑재하는 제2 이송탑재 장치를 구비하고,
    상기 제1 이동체의 이동 궤적을 제1 이동 궤적으로 하고, 상기 제2 이동체의 이동 궤적을 제2 이동 궤적으로 하여,
    상기 제1 이동 궤적의 상단측 부분과 상기 제2 이동 궤적의 하단측 부분과의 상하 방향의 위치가 중복되도록 한 위치 관계로, 상기 제1 안내체와 상기 제2 안내체가 배치되고,
    상기 중계용 지지대가, 상기 제1 이동 궤적 및 상기 제2 이동 궤적의 양쪽과 중복되지 않는 위치에서, 또한 상기 제1 이송탑재 장치 및 상기 제2 이송탑재 장치의 양쪽으로부터 물품을 이송탑재 가능한 위치에 배치되어 있는,
    물품 반송 설비.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 중계용 지지대는, 상하 방향에서 볼 때의 위치가 고정되어 있는, 물품 반송 설비.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 제1 안내체와 상기 제2 안내체는, 상하 방향에서 볼 때 서로 이격되어 설치되고,
    상기 제1 이동 궤적과 상기 제2 이동 궤적은, 상하 방향에서 볼 때 서로 중복되는 부분을 가지는, 물품 반송 설비.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제1 이동체의 위치를 검출하는 제1 위치 검출부;
    상기 제2 이동체의 위치를 검출하는 제2 위치 검출부;
    반송 대상인 물품의 반송원(搬送元) 및 반송처(搬送處)의 정보를 포함하는 반송 요구와, 상기 제1 위치 검출부 및 상기 제2 위치 검출부의 검출 정보에 기초하여, 상기 제1 이동체 및 상기 제2 이동체에 제어 지령을 지령하여 상기 제1 이동체 및 상기 제2 이동체의 이동을 제어하는 제어 장치;를 더 포함하고,
    상하 방향에 있어서, 상기 제1 이동체가 상기 제1 이동 궤적의 상단(上端)에 위치할 때 상기 제1 이동체의 상단이 위치하는 높이를 상단으로 하고, 상기 제2 이동체가 상기 제2 이동 궤적의 하단에 위치할 때 상기 제2 이동체의 하단이 위치하는 높이를 하단으로 하는 구간을 포함하는 구간을 간섭 구간으로 하고,
    상기 제1 이동 궤적 중, 상하 방향에 있어서 상기 간섭 구간에 대응하는 구간을 제외한 구간을 제1 비간섭 구간으로 하고,
    상기 제2 이동 궤적 중, 상하 방향에 있어서 상기 간섭 구간에 대응하는 구간을 제외한 구간을 제2 비간섭 구간으로 하고,
    상기 제1 비간섭 구간에 상기 제1 이동체가 위치하는 경우에서의 상기 제1 이송탑재 장치의 이송탑재 대상 개소와, 상기 제2 비간섭 구간에 상기 제2 이동체가 위치하는 경우에서의 상기 제2 이송탑재 장치의 이송탑재 대상 개소 중, 한쪽이 상기 반송 요구에 포함되는 상기 반송원이며, 다른 쪽이 상기 반송처인 경우에는,
    상기 제어 장치는, 상기 제1 이동체 및 상기 제2 이동체 중, 상기 반송원이 이동 궤적에 포함되는 쪽의 이동체를 우선하여 상기 간섭 구간에 진입시키는 동시에, 상기 제1 이동체와 상기 제2 이동체와의 양쪽이 상기 간섭 구간에 위치하는 상태를 규제하도록 상기 제1 이동체 및 상기 제2 이동체의 이동을 제어하는, 물품 반송 설비.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 제1 이동체는, 상기 제2 이동체까지의 상하 방향의 거리가 제1 설정 거리 이하인 제1 접근 상태를 검출하는 제1 접근 검출부와, 상기 제1 접근 검출부의 검출 정보에 기초하여 상기 제1 이동체의 작동을 제어하는 제1 이동체 제어부를 구비하고,
    상기 제2 이동체는, 상기 제1 이동체까지의 상하 방향의 거리가 제2 설정 거리 이하인 제2 접근 상태를 검출하는 제2 접근 검출부와, 상기 제2 접근 검출부의 검출 정보에 기초하여 상기 제2 이동체의 작동을 제어하는 제2 이동체 제어부를 구비하고,
    상기 제1 이동체 제어부는, 상기 제1 접근 검출부가 상기 제1 접근 상태를 검출한 경우에는, 상기 제어 장치에 의한 제어에 우선하여 상기 제1 이동체의 작동을 상기 제2 이동체와의 충돌을 회피하는 충돌 회피용 작동으로 전환하고,
    상기 제2 이동체 제어부는, 상기 제2 접근 검출부가 상기 제2 접근 상태를 검출한 경우에는, 상기 제어 장치에 의한 제어에 우선하여 상기 제2 이동체의 작동을 상기 제1 이동체와의 충돌을 회피하는 충돌 회피용 작동으로 전환하는, 물품 반송 설비.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제1 이동체 제어부는, 상기 충돌 회피용 작동으로서, 적어도 상기 제1 이동체의 이동 속도를 감속시키도록 상기 제1 이동체의 작동을 제어하고,
    상기 제2 이동체 제어부는, 상기 충돌 회피용 작동으로서, 적어도 상기 제2 이동체의 이동 속도를 감속시키도록 상기 제2 이동체의 작동을 제어하는, 물품 반송 설비.
  8. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 제1 안내체, 상기 제1 이동체, 상기 제1 이송탑재 장치, 상기 제2 안내체, 상기 제2 이동체, 상기 제2 이송탑재 장치, 및 상기 중계용 지지대가, 상하 방향을 따라 중공부(中空部)가 연장되는 통체의 내부에 배치되어 있는, 물품 반송 설비.
  9. 제3항에 있어서,
    상기 제1 안내체, 상기 제1 이동체, 상기 제1 이송탑재 장치, 상기 제2 안내체, 상기 제2 이동체, 상기 제2 이송탑재 장치, 및 상기 중계용 지지대가, 상하 방향을 따라 중공부가 연장되는 통체의 내부에 배치되어 있는, 물품 반송 설비.
  10. 제4항에 있어서,
    상기 제1 안내체, 상기 제1 이동체, 상기 제1 이송탑재 장치, 상기 제2 안내체, 상기 제2 이동체, 상기 제2 이송탑재 장치, 및 상기 중계용 지지대가, 상하 방향을 따라 중공부가 연장되는 통체의 내부에 배치되어 있는, 물품 반송 설비.
  11. 제5항에 있어서,
    상기 제1 안내체, 상기 제1 이동체, 상기 제1 이송탑재 장치, 상기 제2 안내체, 상기 제2 이동체, 상기 제2 이송탑재 장치, 및 상기 중계용 지지대가, 상하 방향을 따라 중공부가 연장되는 통체의 내부에 배치되어 있는, 물품 반송 설비.
  12. 제6항에 있어서,
    상기 제1 안내체, 상기 제1 이동체, 상기 제1 이송탑재 장치, 상기 제2 안내체, 상기 제2 이동체, 상기 제2 이송탑재 장치, 및 상기 중계용 지지대가, 상하 방향을 따라 중공부가 연장되는 통체의 내부에 배치되어 있는, 물품 반송 설비.
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