JP5434417B2 - 基板を加工処理する生産ライン - Google Patents
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Description
ただ1種類の製品を生産するラインであって、各処理工程の内容や順序が常に一定であれば、単にこれらの処理工程ラインを直列に配置すれば済むが、製品の種類が多く、しかも品種によって各処理工程の内容や順序が変更されるような生産ラインにおいては、このような直列配置では、段取り変更に伴う待ち時間が増大し、生産効率が極端に低下する。そこで、これらの生産ラインにおいては、各処理工程間に、バッファを設ける目的で、処理工程間の基板あるいは中間製品または製品(以下これらを総称して単に基板と称する)を一時的にストックするために、基板を収納するカセットを用いた工程内ストッカーが一般的に用いられている。
(1)確保すべき棚数を一定とした場合、棚を複列並列配置とし、走行式昇降クレーンやRGVの台数を増やして対応せざるを得ない。
(2)走行式昇降クレーンやRGV周辺へのローダー/アンローダーの集中配置が困難となるため、別のカセット搬送台車(もしくは長距離の枚葉製品搬送装置)の追加が必要となる。
いずれにしても、搬送設備の無用な増加を招き、結果として工場延べ床面積の増加に陥る。これは、工場新設のための初期投資や維持費用を増加させる大きな問題である。特に、設備や建屋が高価なクリーンルームを必要とする生産工場においては、影響が大である。
ス基板などが挙げられる。
して、RGV7に対して、所定のカセット5を搬送するよう命令を送る(1)。すると、RGV7が、走行路8に沿って走行し、ストッカー専用階内のカセット収納棚にあるカセット5を取りに行く(2)。RGV7が、カセット収納棚からカセット5を取出し、指定されたローダー/アンローダー4に搬送する(3)。この時、1台のRGVで搬送できる範囲を超えるような場合は、他のRGVとカセットの授受を行って対応する。RGV7が指定されたローダー/アンローダー4に到着後カセット5の授受を行い、RGV7の動作は完了する(4)。図3に示したように、ローダー/アンローダー4に搬入されたカセット5から移載ロボット10によって基板6を抜き取り、枚葉リフターユニット13に受け渡す(5)。枚葉リフターユニット13は、処理工程ライン3に基板6を移送する(6)。
図4(1)は、最もシンプルな配置例であって、1階が処理工程ライン階1であり、この上にストッカー専用階2を設けたものである。
図4(2)は、ストッカー専用階2を挟んで、この上階および下階に、処理工程ライン階1を設けた場合であり、基本的にこの3層構造が最もコストメリットが期待できる。この構成では、1階から2階への基板の移送に必要な手順が減り、移送に要する時間が短縮される。
図4(3)は、3層の処理工程ライン階1と2層のストッカー専用階2とを交互に重ねた5層構造の建屋である。
図4(4)は、図4(2)の3層構造を2段重ねた構造となっている。
2・・・ストッカー専用階(STK専用階)
3・・・処理工程ライン
4・・・ローダー/アンローダー(LD/ULD)
5・・・カセット(CST)
6・・・基板
7・・・RGV
8・・・RGVの走行路
9・・・操作端末
10・・・移載ロボット
11・・・移載処理
12・・・垂直搬送経路
13・・・枚葉リフターユニット
Claims (2)
- 基板を加工処理する生産ラインであって、
少なくとも、
前記基板を収納するカセットと、
前記カセットを収納するカセット収納棚を有する工程内ストッカーと、
前記カセットを前記工程内ストッカーに搬送するカセット搬送手段と、
を前記基板を加工処理する処理工程ラインの設置された建屋の階層と異なる階層に設置し、
前記処理工程ラインは、前記基板を垂直方向に移送する基板移送手段と結合し、
加工処理後の前記基板を前記基板移送手段により前記工程内ストッカーを設置した階層へ移送し、前記カセットに収納した後、前記カセット搬送手段により前記工程内ストッカへ搬送することを特徴とする基板を加工処理する生産ライン。 - 前記基板移送手段および前記カセット搬送手段を用いて、所定の前記カセットと所定の前記処理工程ラインを指定し、前記所定の前記カセットを前記所定の前記処理工程ラインへ搬送して、前記所定の前記カセットに収納した前記基板を前記処理工程ラインへ投入することを特徴とする請求項1に記載の基板を加工処理する生産ライン。
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