TW201810496A - 搬送系統 - Google Patents

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Abstract

本發明之課題，在於提供可於與處理裝置之間迅速地交接物品之搬送系統。
本發明之搬送系統(1A)具備有：高架搬送車(12)，其於第1軌道(11)移行，可與處理裝置(2)之負載埠(4)進行物品(3)之交接；收納棚架(13)，其沿著鉛垂方向排列有收納物品之複數個棚架(41、42)；起重機(15)，其於與第1軌道平行之第2軌道(14)移行，可分別與負載埠及收納棚架進行物品之交接；以及第1緩衝區(16)，其係配置於在與負載埠進行物品之交接之位置停止移行之起重機可進行物品之交接的位置。

Description

搬送系統
本發明係關於搬送系統。
搬送系統例如在半導體器件之製造工廠等中，被利用於搬送收容有半導體晶圓或光罩之物品(例如參照後述之專利文獻1)。該搬送系統具備有搬送物品之高架搬送車、及與收納棚架交接物品之堆高式起重機。高架搬送車例如將物品搬入至半導體製造裝置等處理裝置之負載埠。收納棚架係配置於半導體製造裝置等處理裝置之附近，於在負載埠已存在有物品之情形時，高架搬送車例如將物品搬入至收納棚架最上段之棚架。堆高起重機例如將被搬入至收納棚架最上段之棚架的物品收納於其他棚架，或者在收納棚架與負載埠移載物品。
[先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]國際公開第2013/150859號
如前述之搬送系統，在與負載埠交接物品所需之時間較長之情形時，會導致處理裝置稼動率之下降。例如，處理裝置若 等待搬出之物品佔滿負載埠而無法將新的物品搬入至負載埠，稼動率便會下降。又，處理裝置在前進至下一個處理時負載埠中不存在物品之情形時，會因為在物品被搬送至負載埠之前進行待機，而導致稼動率下降。
本發明鑒於前述之實情，而以提供可於與處理裝置之間迅速地交接物品之搬送系統為目的。
本發明之搬送系統具備有：高架搬送車，其於第1軌道移行，可與處理裝置之負載埠進行物品之交接；收納棚架，其沿著鉛垂方向排列有收納物品之複數個棚架；起重機，其於與第1軌道平行之第2軌道移行，可分別與負載埠及收納棚架進行物品之交接；以及第1緩衝區，其係配置於在與負載埠進行物品之交接之位置停止移行之起重機可進行物品之交接的位置。
又，高架搬送車亦可具備有使物品沿水平方向移動之橫向伸出機構，第1緩衝區係配置於高架搬送車可使用橫向伸出機構進行物品之交接的位置。又，第1緩衝區亦可被配置於在與負載埠進行物品之交接之位置停止移行之高架搬送車可使用橫向伸出機構進行物品之交接的位置。又，亦可具備有鄰接於第1緩衝區，且起重機可進行物品之交接的第2緩衝區。又，高架搬送車亦可具備有使物品沿水平方向移動之橫向伸出機構，第2緩衝區係配置於高架搬送車可使用橫向伸出機構進行物品之交接的位置。又，收納棚架亦可與處理裝置鄰接地被配置，高架搬送車可與收納棚架之複數個棚架中最上段之棚架進行物品之交接。又，第1軌道亦可被設置於負載埠之正上方。
於本發明中，第1緩衝區係配置於在與負載埠進行物品之交接之位置停止移行之起重機可交接物品的位置。因此，起重機可於停止移行之狀態下，在第1緩衝區與負載埠移載物品。因此，搬送系統可於與處理裝置之間迅速地交接物品。
又，在高架搬送車具備有使物品沿水平方向移動之橫向伸出機構，第1緩衝區被配置於高架搬送車可使用橫向伸出機構來進行物品之交接的位置之情形時，高架搬送車可於第1緩衝區與負載埠移載物品，例如即便在起重機使用中時，亦可藉由高架搬送車於與處理裝置之間迅速地交接物品。又，在第1緩衝區被配置於在與負載埠進行物品之交接之位置停止移行之高架搬送車可使用橫向伸出機構進行物品之交接的位置之情形時，由於在高架搬送車停止移行之狀態下，可於第1緩衝區與負載埠移載物品，因此可於與處理裝置之間迅速地交接物品。又，在具備有鄰接於第1緩衝區且起重機可進行物品之交接的第2緩衝區之情形時，可增加可保管與處理裝置所交接之物品的數量。又，由於第2緩衝區與第1緩衝區相鄰接，因此起重機可於負載埠與第2緩衝區迅速地移載物品，從而可於與處理裝置之間迅速地交接物品。又，在高架搬送車具備使物品沿水平方向移動之橫向伸出機構，且第2緩衝區被配置於高架搬送車可使用橫向伸出機構進行物品之交接的位置之情形時，高架搬送車可於第2緩衝區與負載埠移載物品，例如即便在起重機使用中時，亦可藉由高架搬送車於與處理裝置之間迅速地交接物品。又，在收納棚架鄰接於處理裝置地被配置，且高架搬送車可與收納棚架之複數個棚架中最上段之棚架進行物品之交接之情形時，可增 加可保管與處理裝置所交接之物品的數量。又，在第1軌道被設置於負載埠之正上方之情形時，由於高架搬送車可藉由使物品自負載埠之正上方升降來交接物品，因此可於與處理裝置之間迅速地交接物品。
1A、1B、1C‧‧‧搬送系統
2‧‧‧處理裝置
3‧‧‧物品
4‧‧‧負載埠
11‧‧‧第1軌道
12‧‧‧高架搬送車
13‧‧‧收納棚架
14‧‧‧第2軌道
15‧‧‧起重機
16‧‧‧第1緩衝區
17‧‧‧第2緩衝區
18‧‧‧天花板
21‧‧‧本體部
22‧‧‧凸緣部
23‧‧‧保持部
24‧‧‧柱狀部
25‧‧‧板狀部
26‧‧‧移行驅動部
27‧‧‧升降驅動部
28‧‧‧橫向伸出機構
29、49‧‧‧控制部
30‧‧‧外罩
31‧‧‧驅動部
32‧‧‧爪部
33‧‧‧懸掛構件
34‧‧‧支撐軸
35‧‧‧固定部
36‧‧‧上板
37‧‧‧下板
41、42‧‧‧棚架
43‧‧‧地板面
45‧‧‧移行台車
46‧‧‧支撐柱
47‧‧‧升降部
48‧‧‧移載部
50‧‧‧導件
51‧‧‧臂部
52‧‧‧保持部
55‧‧‧支撐部
56‧‧‧載置部
AR1‧‧‧範圍
AR2‧‧‧範圍
AR3‧‧‧範圍
P1‧‧‧停止移行位置
SP‧‧‧收容空間
X、Y‧‧‧水平方向
Z‧‧‧鉛垂方向
圖1(A)及(B)係表示第1實施形態之搬送系統之圖。
圖2係表示物品及高架搬送車之圖。
圖3係高架搬送車之橫向伸出機構之說明圖。
圖4係表示收納棚架之立體圖。
圖5係表示第1緩衝區及第2緩衝區之圖。
圖6(A)及(B)係表示移載部之動作及配置有第1緩衝區之範圍之圖。
圖7(A)及(B)係表示第2實施形態之搬送系統之圖。
圖8(A)及(B)係表示第3實施形態之搬送系統之圖。
以下，一邊參照圖式一邊對實施形態進行說明。於以下之各圖中，使用XYZ座標系統對圖中之方向進行說明。於該XYZ座標系統中，將鉛垂方向設為Z方向，將水平方向設為X方向、Y方向。又，於X、Y、Z之各方向上，適當地將箭頭之側稱為+側(例如+X側)，而將其相反側稱為-側(例如-Y側)。
[第1實施形態]
對第1實施形態進行說明。圖1係表示本實施形態之搬送系統 之圖。圖1(A)係自+Z側所觀察之俯視圖，圖1(B)係自-Y側所觀察之側視圖。搬送系統1A例如被設置於半導體器件之製造工廠，而在處理裝置2與保管物品之倉儲(未圖示)之間、或者處理裝置2與其他處理裝置之間等搬送物品3(下文中亦表示於圖2)。處理裝置2例如為曝光裝置、塗佈顯影機(coater-developer)、成膜裝置、或者蝕刻裝置等。處理裝置2例如於跨區域(Interbay)等排列有複數個。
物品3例如為收容有半導體器件之製造所使用之半導體晶圓之FOUP(前開式晶圓盒；Front Opening Unified Pod)、或者收容有光罩等加工用構件之光罩盒等之容器等。處理裝置2具備有供物品3配置之負載埠4。可配置於負載埠4(參照+Y側之處理裝置2)之物品3之數量例如為2個，其中一個(以實線表示)係要被搬入處理裝置2之物品3，另一個(以虛線表示)係要自處理裝置2被搬出之物品3。再者，可配置於負載埠4之物品3之數量既可為1個，亦可為3個以上。
搬送系統1A具備第1軌道11、高架搬送車12、收納棚架13、第2軌道14、起重機15、第1緩衝區16、及第2緩衝區17。第1軌道11係設置於無塵室等之設備之天花板18(參照圖1(B))等。第1軌道11例如沿著複數個處理裝置2排列之方向被設置，並朝Y方向延伸。高架搬送車12於第1軌道11移行，可與處理裝置2之負載埠4進行物品3之交接。
於本實施形態中，第1軌道11係設置於負載埠4之正上方。亦即，第1軌道11係以通過負載埠4之正上方之方式被鋪設。高架搬送車12於將物品3移交給負載埠4時，保持物品3且於負載埠4之正上方停止移行，並使物品3朝向負載埠4下降。 又，高架搬送車12於自負載埠4接收物品3時，於負載埠4之正上方停止移行，並使物品3自負載埠4上升。
圖2係表示物品及高架搬送車之圖。物品3具有：本體部21，其收容搬送對象之半導體晶圓等；及連接部(此處設為凸緣部22)，其係設置於本體部21之上方(+Z側)，被使用於搬送系統1A所進行之物品3之保持。高架搬送車12藉由把持物品3之凸緣部22，來保持物品3。凸緣部22具有自本體部21朝上方(+Z側)延伸之柱狀部24、及被設置於柱狀部24之前端側之板狀部25。板狀部25例如為矩形板狀，但亦可為圓板狀。板狀部25較柱狀部24朝外側突出。
高架搬送車12被稱為OHT(懸吊式搬運車；Overhead Hoist Transport)、或者OHV；(懸吊式搬運車輛；Overhead Hoist Vehicle)等。高架搬送車12具備有移行驅動部26、升降驅動部27、橫向伸出機構28、及控制部29。升降驅動部27使物品3沿鉛垂方向(Z方向)升降。移行驅動部26保持升降驅動部27，可沿著第1軌道11朝水平方向移動。橫向伸出機構28可使升降驅動部27朝相對於第1軌道11之側向(X方向)移動。控制部29控制高架搬送車12之各部。
高架搬送車12藉由移行驅動部26之驅動力而沿著第1軌道11移行。高架搬送車12具備有被配置於物品3之側向之外罩30。外罩30係相對於高架搬送車12上保持物品3之位置，被設置於高架搬送車12之移行方向(圖2中為-Y側、+Y側)。外罩30之間係於高架搬送車12之移行中保持有(收容)物品3之收容空間SP。移行驅動部26具有電動馬達、減速機、驅動輪、編碼器等。 驅動輪係以與第1軌道11相接之方式被配置，並經由減速機被連接於電動馬達之輸出軸。電動馬達之輸出軸之旋轉係經由減速機被傳遞至驅動輪，使高架搬送車12藉由驅動輪之旋轉而移行。編碼器檢測電動馬達之輸出軸之轉數等，並將其檢測結果輸出至控制部29。控制部29根據編碼器之檢測結果來控制電動馬達之旋轉，而進行高架搬送車12之速度或停止位置之控制。再者，高架搬送車12之停止位置之設定，亦可藉由識別沿著第1軌道11所預先設置之指標板等來進行。
升降驅動部27係經由橫向伸出機構28而被支撐於移行驅動部26。升降驅動部27具備有保持物品3之保持部23、及使保持部23沿鉛垂方向移動之驅動部31。保持部23藉由把持物品3之凸緣部22，而將物品3懸掛地加以保持。保持部23例如為具有可沿水平方向移動之爪部32的夾具，藉由將爪部32插入凸緣部22之板狀部25之下，來保持物品3。保持部23與金屬線或皮帶等懸掛構件33(參照圖3)相連接。驅動部31例如為吊車，藉由將懸掛構件33捲出而使保持部23下降，並藉由將懸掛構件33捲取而使保持部23上升。控制部29控制升降驅動部27，使保持部23以既定之速度下降或上升。又，控制部29控制升降驅動部27，使保持部23保持於目標之高度。
橫向伸出機構28係於移行驅動部26之下方被配置於外罩30之間。橫向伸出機構28係經由支撐軸34與移行驅動部26相連接。支撐軸34自移行驅動部26朝下方延伸，移行驅動部26係安裝於支撐軸34之下部。橫向伸出機構28具備有固定部35及可動部(上板36、下板37)。固定部35係由支撐軸34所支撐，且被 固定於移行驅動部26。上板36係配置於固定部35之下方，於圖2中係與固定部35重疊。上板36可沿著與X方向平行之導件而相對於固定部35朝X方向移動(參照圖3)。上板36藉由自驅動部所供給之驅動力進行移動。下板37係配置於上板36之下方，於圖2中係與上板36重疊。下板37可沿著與X方向平行之導件而相對於上板36朝X方向移動(參照圖3)。下板37藉由自驅動部所供給之驅動力進行移動。
橫向伸出機構28，例如上板36之驅動部與下板37之驅動部被個別地設置，且上板36與下板37可獨立地朝X方向移動。例如，橫向伸出機構28既可僅使上板36與下板37之一者朝X方向移動，亦可使上板36及下板37雙方朝X方向移動，且可動部之行程(X方向之移動量)為可變。
再者，橫向伸出機構28既可為驅動部於上板36與下板37共通，亦可為可藉由連桿機構等使其等並排地朝X方向移動。又，前述之橫向伸出機構28之構成為一例，且可適當變更。例如，可動部既可僅為上板36，亦可具備有3個以上朝X方向可動之構件。又，高架搬送車12亦可不具備橫向伸出機構28。又，高架搬送車12亦可具備有使升降驅動部27繞與Z方向平行之軸旋轉之轉動部(未圖示)。該轉動部藉由使升降驅動部27旋轉，來調整被保持於保持部23之物品3之朝向。
於高架搬送車12藉由橫向伸出機構28來移交物品3之情形時，如圖3所示，橫向伸出機構28之驅動部使上板36相對於固定部35朝+X側移動，並使下板37相對於上板36朝+X側移動，藉此使由下板37所支撐之升降驅動部27移動至目標位置。升 降驅動部27藉由將懸掛構件33朝下方送出而使保持部23下降，從而將物品3載置於目標位置。
又，於高架搬送車12藉由橫向伸出機構28而接收物品3之情形時，於橫向伸出機構28使升降驅動部27移動至+X側之狀態下，升降驅動部27藉由將懸掛構件33朝下方送出來使保持部23下降，並藉由保持部23把持物品3之凸緣部22。又，升降驅動部27藉由捲取懸掛構件33而使物品3上升至既定高度。橫向伸出機構28之驅動部於物品3上升至既定高度之狀態下，使上板36相對於固定部35朝-X側移動，並使下板37相對於上板36朝-X側移動。藉此，橫向伸出機構28使由下板37所支撐之升降驅動部27移動至目標位置，並將由升降驅動部27之保持部23所保持之物品3收容於外罩30之間之收容空間SP。
其次，參照圖1及圖4對收納棚架13進行說明。圖4係表示收納棚架之立體圖。如圖1所示，收納棚架13於與負載埠4之間存在間隙、或與負載埠4接觸、而鄰接於負載埠4地被配置。收納棚架13係相對於負載埠4被設置於-Y側與+Y側之至少一者，例如被配置於負載埠4之間。於圖4中，雖鄰接於負載埠4地設置有2個收納棚架13，但收納棚架13之數量既可為1個，亦可為3個以上。又，收納棚架13只要被併設於複數個負載埠4中之至少1者即可，而亦可存在未併設有收納棚架13之負載埠4。
收納棚架13具備有複數個棚架(41、42)(參照圖4)。棚架41、42係沿鉛垂方向(Z方向)被排列。棚架41係收納棚架13中最上段之棚架，棚架42係較棚架41更下方(-Z側)之棚架。最上段之棚架41係收納棚架13之頂板部，且朝上方開放。最上段之棚 架41係設置於第1軌道11之正下方，高架搬送車12與處理裝置2之負載埠4同樣地，可與最上段之棚架41進行物品3之交接。最上段之棚架41可作為暫時保管高架搬送車12所要搬送之物品3的緩衝區(例如UTB(軌道下緩衝區；Under Track Buffer))來利用。收納棚架13所具備之棚架之數量，係2以上之任意的數量。例如，於圖4中，收納棚架13所具備之棚架之數量係1個最上段之棚架41與4個棚架42之合計5個，但亦可為1個最上段之棚架41與1個棚架42之合計2個，且棚架42之數量亦可為2以上。
再者，收納棚架13亦可不將其頂板部作為棚架41來利用，於該情形時，棚架42之數量係設定為2以上。又，搬送系統1A亦可於收納棚架13之上方具備有UTB(軌道下緩衝區)。於圖4中，棚架41、42雖可分別沿Y方向並排地載置3個物品3，但於1個棚架可載置之物品3之數量既可為1個，亦可為2以上之任意的數量。
其次，參照圖1，對第2軌道14及起重機15進行說明。第2軌道14係設置為其至少一部分與第1軌道11大致平行。例如，第2軌道14亦可沿著負載埠4及收納棚架13所鋪設之部分與第1軌道11大致平行，而其他部分不與第1軌道11平行。例如，第2軌道14亦可為跑道狀(橢圓狀)之環繞軌道，而其直線部亦可與第1軌道11大致平行。第2軌道14於圖1(B)中雖被鋪設於地板面43，但亦可被鋪設於天花板18。
起重機15於第2軌道14移行，可分別與負載埠4及收納棚架13進行物品3之交接。起重機15可朝X方向、Y方向、及Z方向之各方向搬送物品3。如圖1(B)所示，起重機15具備有 移行台車45、支撐柱46、升降部47、移載部48、及控制部49。
移行台車45例如具有複數個車輪(未圖示)，而沿著第2軌道14朝水平方向(Y方向)移動。支撐柱46係桅桿等，且自移行台車45之上表面朝鉛垂方向(Z方向)延伸。支撐柱46係固定於移行台車45，且由移行台車45所支撐。支撐柱46亦由被設置於天花板18之導件50所支撐，而與移行台車45一起朝Y方向移動。升降部47係由支撐柱46所支撐，可沿著支撐柱46朝Z方向滑動。移載部48(參照圖1(A))例如具備有多關節之臂部51、及被設置於臂部51之前端側之保持部52。
移載部48藉由使臂部51於關節處彎折，而可將保持部52朝水平方向(X方向及Y方向)移動。移載部48藉由保持部52來保持物品3之凸緣部22(參照圖2)。保持部52例如為U字狀，移載部48藉由將保持部52插入凸緣部22之板狀部25之下，來保持物品3。又，移載部48藉由升降部47在由保持部52保持著物品3之狀態下進行升降，來使物品3升降。又，移載部48藉由在由保持部23保持著物品3之狀態下使臂部51於關節處彎折，而使物品3於保持部52之可動範圍內朝X方向移動。再者，前述之移載部48為一例，亦可為其他構成。又，起重機15藉由移行台車45在保持部52保持著物品3之狀態下朝Y方向移行，而使物品3朝Y方向移動。再者，移載部48既可採用支撐物品3之底面來搬送物品3之構成，亦可採用在側面把持物品3來加以搬送之構成。
起重機15可自負載埠4接收物品3，並將該物品3移交給收納棚架13之棚架41或者棚架42。又，起重機15可自收納棚架13之棚架41或棚架42接收物品3，並將該物品3移交給負 載埠4。又，起重機15亦可將物品3自收納棚架13之1個棚架(例如最上段之棚架41)移載至其他棚架(例如下方之棚架42)。控制部49控制起重機15之各部。控制部49控制移行台車45，使移行台車移行或者停止移行。又，控制部49控制升降部47及移載部48，使保持部52移動至目標位置，藉此進行使保持部52將物品3加以保持、將由保持部52所保持之物品3載置於既定位置之操作等。
其次，參照圖1、圖5，對第1緩衝區16及第2緩衝區17進行說明。圖5係表示第1緩衝區16及第2緩衝區17之概念圖。第1緩衝區16例如為STB(側軌道緩衝區；Side Track Buffer)，且如圖1(A)所示，被設置於第1軌道11之側向(+X側)。第1緩衝區16係利用於暫時性地保管例如等待搬入負載埠4之物品3、或者等待利用高架搬送車12之搬送開始之物品3。第1緩衝區16係配置於高架搬送車12可使用橫向伸出機構28(參照圖3)進行物品3之交接的位置。
如圖5所示，第1緩衝區16具備有支撐部55、及載置部56。支撐部55例如被固定於天花板18，自天花板18朝下方延伸。支撐部55雖為例如側板狀，但亦可為柱狀等其他形狀。載置部56係固定於支撐部55之下端側，物品3係載置於載置部56之上表面。載置部56係配置於較高架搬送車12將物品3保持於收容空間SP內之位置更下方(參照圖1(B))。第2緩衝區17係與第1緩衝區16相同之構成，且鄰接於第1緩衝區16地被設置。第2緩衝區17係配置於起重機15可進行物品3之交接之位置。又，第2緩衝區17係配置於高架搬送車12可使用橫向伸出機構28進行物品3之交接的位置。再者，搬送系統1A亦可不具備第2緩衝區17。
高架搬送車12於藉由橫向伸出機構28(參照圖3)將物品3移交給第1緩衝區16之情形時，藉由橫向伸出機構28使升降驅動部27朝+X側移動，而將升降驅動部27配置於第1緩衝區16之正上方。於該狀態下，升降驅動部27藉由將懸掛構件33朝下方送出而使物品3下降，從而將物品3載置於載置部56。又，高架搬送車12於藉由橫向伸出機構28(參照圖3)自第1緩衝區16接收物品3之情形時，藉由橫向伸出機構28使升降驅動部27朝+X側移動，而將升降驅動部27配置於第1緩衝區16之正上方。於該狀態下，升降驅動部27藉由將懸掛構件33朝下方送出而使保持部23下降，並藉由保持部23把持物品3之凸緣部22。又，升降驅動部27藉由將懸掛構件33捲取而使物品3上升至既定高度。橫向伸出機構28於物品3上升至既定高度之狀態下使升降驅動部27朝-X側移動，而將物品3收容於外罩30之間之收容空間SP。
又，高架搬送車12亦可於停止移行之狀態下，於負載埠4與第1緩衝區16移載物品3。高架搬送車12由控制部29所控制，而於在負載埠4之正上方停止移行後，使用橫向伸出機構28，將被載置於第1緩衝區16之物品3收容於收容空間SP。然後，高架搬送車12由控制部29所控制，而自收容空間SP將物品3懸掛於正下方，藉此將該物品3載置於負載埠4。高架搬送車12亦可以相同之方式，在將物品3自負載埠4朝向收容空間SP吊起後，使用橫向伸出機構28將該物品3載置於第1緩衝區16。
又，第1緩衝區16係配置於在與負載埠4進行物品3之交接之位置停止移行之起重機15可進行物品3之交接的位置。圖5之符號P1係起重機15進行與負載埠4之物品3之交接時起重 機15之停止移行位置。第1緩衝區16係配置於在位置P1停止移行之起重機15可進行物品3之交接之位置。亦即，起重機15亦可於在位置P1停止移行之狀態下，進行自負載埠4接收物品3、將物品3移交給負載埠4、自第1緩衝區16接收物品3、以及將物品3移交給第1緩衝區16之任一者。
起重機15例如於在負載埠4載置有物品3之狀態下，為了空出供高架搬送車12朝向負載埠4搬入物品3之空間，而於在位置P1停止移行之狀態下自負載埠4朝向第1緩衝區16移載物品3。此時，控制部49控制移行台車45，使移行台車45於位置P1停止移行。又，控制部49於移行台車45在位置P1停止移行之狀態下，控制升降部47及移載部48，使保持部52移動至要被載置於負載埠4之物品3之位置，而使保持部52保持物品3。又，控制部49控制升降部47及移載部48，一邊將物品3提升一邊使其朝水平方向移動，而將物品3保持於升降部47之上方。又，控制部49於藉由升降部47使物品3上升至第1緩衝區16之高度後，控制升降部47及移載部48，使其等將物品3載置於第1緩衝區16之載置部56。
又，起重機15例如於在負載埠4未載置有物品3之狀態下，為了供給處理裝置2要進行處理之物品3，而將物品3自第1緩衝區16移載至負載埠4。控制部49例如以與將物品3自負載埠4移載至第1緩衝區16時相反之順序，來使起重機15之各部動作，藉此使其將物品3自第1緩衝區16移載至負載埠4。如此，起重機15即便不使移行台車45移行，亦可將物品3自負載埠4移載至第1緩衝區16。因此，搬送系統1A可節省於移載物品3時使 移行台車45移動所需之時間，而可迅速地交接物品3。
圖6係表示移載部48之動作及第1緩衝區16之位置之圖。於移載部48中，臂部51藉由利用連結機構等進行彎折，可使保持部52朝與第2軌道14垂直之方向(X方向)移動，而使保持部52相對於負載埠4前進後退。以下，將移載部48對容器3進行時連結移載來源之位置與移載目的地之位置之方向稱為移載方向。於圖6中，移載方向係與第2軌道14大致垂直之方向(X方向)。
圖6(A)係臂部51伸長從而使保持部52於負載埠4上進出之狀態，而保持部52保持負載埠4上之容器3之凸緣部22。又，圖6(B)係臂部51收縮而使保持部52自負載埠4退避之狀態，而保持部52保持第1緩衝區16上之容器3之凸緣部22。於圖6(B)中，符號AR1係於與第2軌道14平行之方向(Y方向)上負載埠4上之容器3之範圍。又，符號AR2係於與第2軌道14平行之方向(Y方向)上可於第1緩衝區16載置容器3之範圍。第1緩衝區16之位置係以範圍AR1包含於範圍AR2內之方式來設定。又，第1緩衝區16係於與第2軌道14垂直之方向(X方向)上，被配置在移載部48可移載容器3之範圍AR3內。
再者，於在負載埠4容器3之載置位置存在有複數個之情形時，第1緩衝區16只要被設置為對應於複數個載置位置中之至少1個即可。例如，於如圖1般載置位置有2處之情形時，第1緩衝區16亦可以可自2處之載置位置分別移載容器3之方式，而載置2個以上之容器3。又，第1緩衝區16亦可分別被設置於可自一載置位置移載容器3之位置、及可自另一載置位置移載容器3之位置。又，第1緩衝區16亦可被設置於可自一載置位置移載容器3 之位置，而不被設置於可自另一載置位置移載容器3之位置。
[第2實施形態]
對第2實施形態進行說明。於本實施形態中，對於與前述之實施形態相同之構成，標示相同符號並省略或者簡化其說明。圖7係表示本實施形態之搬送系統之圖。搬送系統1B其處理裝置2之負載埠4與第1軌道11之位置關係、及第1緩衝區16與第1軌道11之位置關係與第1實施形態不同。第1軌道11係鋪設於自負載埠4之正上方朝X方向偏移之位置。第1軌道11係配置於相對於負載埠4與第2軌道14之相同側。第1軌道11係以通過第1緩衝區16之正上方之方式被鋪設。第1緩衝區16、第2緩衝區17例如為UTB(軌道下緩衝區)。第1緩衝區16係設置為不妨礙高架搬送車12於第1軌道11上之移行。如圖7(B)所示，第1緩衝區16雖以相對於高架搬送車12之X方向外側之部分被安裝於天花板18，但亦可被設置於由地板面43所支撐之框架等。
高架搬送車12於與第1緩衝區16之物品3之交接時，會於第1緩衝區16之正上方停止移行，使物品3相對於收容空間SP朝正下方升降。於本實施形態中，高架搬送車12之橫向伸出機構28，可將升降驅動部27(參照圖3)朝-X側移動。高架搬送車12於進行與負載埠4之物品3之交接時，會於第1緩衝區16之正上方停止移行，藉由橫向伸出機構28使升降驅動部27移動至負載埠4之正上方，並使物品3升降。高架搬送車12亦可於在第1緩衝區16之正上方停止移行之狀態下，進行與第1緩衝區16之物品3之交接、及與負載埠4之物品之交接。藉此，高架搬送車12亦可 於停止移行之狀態下，在負載埠4與第1緩衝區16移載物品3。再者，搬送系統1B亦可具備有供高架搬送車12可使用橫向伸出機構28進行物品3之交接的STB。
[第3實施形態]
對第3實施形態進行說明。於本實施形態中，對於與前述之實施形態相同之構成，標示相同符號並省略或者簡化其說明。圖8係表示本實施形態之搬送系統之圖。搬送系統1C其處理裝置2之負載埠4與第1軌道11之位置關係、及第1緩衝區16與起重機15之位置關係，與第1實施形態、第2實施形態不同。第1軌道11係鋪設於自負載埠4之正上方朝X方向偏移之位置。第1軌道11係配置於相對於負載埠4與第2軌道14之相反側。第1軌道11係以第1軌道11上之高架搬送車12可藉由橫向伸出機構28與負載埠4進行物品3之交接之方式，被鋪設於處理裝置2之上方。第1緩衝區16例如為UTB(軌道下緩衝區)，且被配置於第1軌道11之正下方。如此搬送系統1C由於利用處理裝置2上方之空間，因此可於X方向上節省空間。再者，搬送系統1C亦可具備有供高架搬送車12可使用橫向伸出機構28進行物品3之交接之STB。
再者，本發明之技術範圍並不限定於前述之實施形態等所說明之態樣。前述之實施形態等所說明之要件之1個以上，有時會被省略。又，前述之實施形態等所說明之要件可適當地加以組合。又，於法令所允許之範圍內，可援用日本專利申請案之日本專利特願2016-126180、及本說明書中所引用之所有文獻之揭示，來作為本說明書之記載之一部分。
1A‧‧‧搬送系統
2‧‧‧處理裝置
3‧‧‧物品
4‧‧‧負載埠
11‧‧‧第1軌道
12‧‧‧高架搬送車
13‧‧‧收納棚架
14‧‧‧第2軌道
15‧‧‧起重機
16‧‧‧第1緩衝區
17‧‧‧第2緩衝區
18‧‧‧天花板
27‧‧‧升降驅動部
28‧‧‧橫向伸出機構
41、42‧‧‧棚架
43‧‧‧地板面
45‧‧‧移行台車
46‧‧‧支撐柱
47‧‧‧升降部
48‧‧‧移載部
49‧‧‧控制部
50‧‧‧導件
51‧‧‧臂部
52‧‧‧保持部
SP‧‧‧收容空間
X、Y‧‧‧水平方向
Z‧‧‧鉛垂方向

Claims (7)

  1. 一種搬送系統，其具備有：高架搬送車，其於第1軌道移行，可與處理裝置之負載埠進行物品之交接；收納棚架，其沿著鉛垂方向排列有收納上述物品之複數個棚架；起重機，其於與上述第1軌道平行之第2軌道移行，可分別與上述負載埠及上述收納棚架進行上述物品之交接；以及第1緩衝區，其係配置於在與上述負載埠進行上述物品之交接之位置停止移行之上述起重機可進行上述物品之交接的位置。
  2. 如請求項1之搬送系統，其中，上述高架搬送車具備有使上述物品沿水平方向移動之橫向伸出機構，上述第1緩衝區係配置於上述高架搬送車可使用上述橫向伸出機構進行上述物品之交接的位置。
  3. 如請求項2之搬送系統，其中，上述第1緩衝區係配置於，在與上述負載埠進行上述物品之交接之位置停止移行之上述高架搬送車可使用上述橫向伸出機構進行上述物品之交接的位置。
  4. 如請求項1至3中任一項之搬送系統，其中，其具備有，鄰接於上述第1緩衝區，且供上述起重機可進行上述物品之交接的第2緩衝區。
  5. 如請求項4之搬送系統，其中，上述高架搬送車具備有使上述物品沿水平方向移動之橫向伸出機構， 上述第2緩衝區係配置於上述高架搬送車可使用上述橫向伸出機構進行上述物品之交接的位置。
  6. 如請求項1至5中任一項之搬送系統，其中，上述收納棚架被配置成鄰接於上述處理裝置，上述高架搬送車可與上述收納棚架之複數個棚架中最上段之棚架進行上述物品之交接。
  7. 如請求項1至6中任一項之搬送系統，其中，上述第1軌道係設置於上述負載埠之正上方。
TW106120382A 2016-06-27 2017-06-19 搬送系統 TWI722208B (zh)

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