KR102637694B1 - 주행차 시스템 - Google Patents

주행차 시스템 Download PDF

Info

Publication number
KR102637694B1
KR102637694B1 KR1020227009761A KR20227009761A KR102637694B1 KR 102637694 B1 KR102637694 B1 KR 102637694B1 KR 1020227009761 A KR1020227009761 A KR 1020227009761A KR 20227009761 A KR20227009761 A KR 20227009761A KR 102637694 B1 KR102637694 B1 KR 102637694B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
traveling
traveling vehicle
command
track
orbit
Prior art date
Application number
KR1020227009761A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20220051379A (ko
Inventor
히데토시 후지와라
Original Assignee
무라다기카이가부시끼가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 무라다기카이가부시끼가이샤 filed Critical 무라다기카이가부시끼가이샤
Publication of KR20220051379A publication Critical patent/KR20220051379A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102637694B1 publication Critical patent/KR102637694B1/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733—Overhead conveying
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B65G1/0457—Storage devices mechanical with suspended load carriers
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D1/00—Control of position, course or altitude of land, water, air, or space vehicles, e.g. automatic pilot
    • G05D1/02—Control of position or course in two dimensions
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67276—Production flow monitoring, e.g. for increasing throughput
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67727—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations using a general scheme of a conveying path within a factory
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0297—Wafer cassette

Abstract

주행차 시스템(1)은 주행용 궤도(4)와, 작업용 궤도(41)와, 주행용 궤도(4)에 있어서의 제 1 위치(P1)와 작업용 궤도(41)와의 사이에서 주행차(6)를 이동시키는 이동 장치(60)와, 적어도 주행차(6)와 이동 장치(60)를 제어하는 반송 컨트롤러(90)를 구비한다. 반송 컨트롤러(90)는, 제 1 위치(P1)까지 주행시키는 제 1 지령을 주행차(6)에 송신하고, 이동 장치(60)에 의한 이동을 가능한 상태로 하는 제 2 지령을 제 1 위치(P1)에 정지한 주행차(6)에 송신한 후 또는 송신함과 동시에, 제 1 위치(P1)에 정지한 주행차(6)를 작업용 궤도(41)까지 이동시키는 제 3 지령을 이동 장치(60)에 송신한다.

Description

주행차 시스템
본 발명의 일측면은, 주행차 시스템에 관한 것이다.
궤도를 주행하여 물품을 반송하는 천장 주행차가 알려져 있다. 특허 문헌 1에는, 천장에 부설된 궤도를 주행차가 주행할 시에 발생하는 티끌 등을 효율적으로 청소하는 주행차 시스템(반송차 시스템)이 개시되어 있다. 특허 문헌 1의 주행차 시스템에 있어서 주행차를 청소하는 경우에는, 주행차를 궤도를 따라 정해진 발취 개소까지 이동시킨 후, 당해 발취 개소에 배비된 승강 장치에 의해 주행차를 바닥측에 강하시켜, 바닥측에 배치된 청소 장치에서 주행차의 청소를 실시하고 있다. 이 주행차 시스템에 있어서 주행차를 청소하는 경우, 궤도를 따라 주행차를 발취 개소까지 이동시키고, 그 후의 승강 장치로의 주행차의 이동은, 작업자에 의한 수동 운전용 지령 수단(이른바 리모콘)의 조작에 의해 행해진다.
일본특허공개공보 2015-107880호
상기의 주행차 시스템에서는, 승강 장치를 구성하는 궤도에는 전력이 공급되고 있지만, 전력이 공급되지 않는 무급전 궤도의 승강 장치에 주행차를 진입시키고자 하는 경우가 있다. 이러한 시스템에서는, 작업자가 인력으로 승강 장치에 주행차를 진입시킨다. 그러나, 이러한 방법은, 작업자가 현장에 입회할 필요가 있어 부담이 크다. 또한, 무인화가 요구되고 있는 요즈음, 급전 궤도로부터 무급전 궤도로의 주행차의 이동을, 작업자의 손을 거치지 않고 자동화하고자 하는 요망이 있다.
따라서, 본 발명의 일측면의 목적은, 급전 궤도로부터 무급전 궤도로의 주행차의 이동을 자동화할 수 있는 주행차 시스템을 제공하는 것에 있다.
본 발명의 일측면에 따른 주행차 시스템은, 주행차의 주행 구동부에 전력을 공급하는 급전부가 마련되어 있는 급전 궤도와, 급전 궤도에 접속되고, 또한 급전부가 마련되어 있지 않은 무급전 궤도와, 급전 궤도에 있어서의 제 1 위치와 무급전 궤도와의 사이에서 주행차를 이동시키는 이동 장치와, 적어도 주행차와 이동 장치를 제어하는 컨트롤러를 구비하는 주행차 시스템으로서, 컨트롤러는, 제 1 위치까지 주행시키는 제 1 지령을 주행차에 송신하고, 이동 장치에 의한 이동을 가능한 상태로 하는 제 2 지령을 제 1 위치에 정지한 주행차에 송신한 후 또는 송신함과 동시에, 제 1 위치에 정지한 주행차를 무급전 궤도까지 이동시키는 제 3 지령을 이동 장치에 송신한다.
이 구성의 주행차 시스템에서는, 주행차를 무급전 궤도에 진입하기 직전의 위치에 있어서, 이동 장치에 의해 자유롭게 이동할 수 있는 상태로 하여, 이동 장치에 의한 주행차의 이동을 개시시킨다. 이에 의해, 급전 궤도로부터 무급전 궤도로의 주행차의 이동을 자동화할 수 있다.
본 발명의 일측면에 따른 주행차 시스템에서는, 컨트롤러는, 적어도 주행 구동부에 있어서의 외부로부터의 제어를 불가능하게 하는 제 2 지령을 주행차에 송신해도 된다. 이 구성에서는, 간이한 제어로, 주행차를 이동 장치에 의해 자유롭게 이동할 수 있는 상태로 할 수 있다.
본 발명의 일측면에 따른 주행차 시스템은, 주행 구동부는, 무급전 시에, 브레이크가 걸리는 주행륜과 자유롭게 회전하는 주행 보조륜을 가지고 있고, 급전 궤도에 있어서의 제 1 위치와 무급전 궤도와의 사이, 및 무급전 궤도는, 주행륜 및 주행 보조륜을 하방으로부터 지지하는 하방 지지부를 가지고 있고, 하방 지지부는, 연직 방향에 있어서, 주행 보조륜에 대향하는 제 1 부분이, 주행륜에 대향하는 제 2 부분보다 상방에 위치하도록 형성되어 있고, 컨트롤러는, 적어도 주행 구동부에 대한 전력 공급을 차단하는 제 4 지령을 제 1 위치에 정지한 주행차에 송신해도 된다. 이 구성의 주행차에 있어서의 주행륜은, 주행 구동부에 전력이 공급되고 있지 않은 상태에 있어서 용이하게 회전하지 않도록 구성되어 있다. 이 때문에, 주행 구동부에 대한 전력의 공급이 차단된 상태, 및 작업용 궤도에 위치함으로써 전력이 공급되지 않는 상태에 있어서, 주행륜을 접촉시킨 상태로 주행차를 이동시키는 것이 어렵다. 이 점, 이 구성의 주행차 시스템에서는, 전력의 공급이 차단 또는 전력이 공급되지 않는 상태가 되어도, 자유롭게 회전하는 주행 보조륜만이 작업용 궤도에 접촉하므로, 주행차를 용이하게 이동시키는 것이 가능해진다. 즉, 주행차를 이동 장치에 의해 자유롭게 이동할 수 있는 상태로 할 수 있다.
본 발명의 일측면에 따른 주행차 시스템에서는, 컨트롤러는, 무급전 궤도로부터 제 1 위치까지, 또는, 제 1 위치를 가지는 급전 궤도에 대하여 무급전 궤도를 개재하여 접속되는 급전 궤도에 있어서의 제 2 위치까지, 주행차를 이동시키는 제 5 지령을 이동 장치에 송신해도 된다. 이 구성에서는, 무급전 궤도로부터 급전 궤도로의 주행차의 이동을 자동화할 수 있다. 즉, 무급전 궤도와 급전 궤도와의 사이의 주행차의 이동을 자동화할 수 있다.
본 발명의 일측면에 따른 주행차 시스템에서는, 주행 구동부는, 전력이 공급되고 있지 않은 상태로부터 전력이 공급되는 상태가 되면, 외부로부터의 제어가 가능해지도록 구성되어 있어도 된다. 이 구성에서는, 이동 장치에 의한 주행차의 이동에 의해 무급전 궤도로부터 급전 궤도로 이동되면, 자동적으로 외부로부터의 주행차의 제어가 가능해진다.
본 발명의 일측면에 따른 주행차 시스템에서는, 무급전 궤도로 이동한 주행차를 청소하는 청소 장치를 더 구비하고, 컨트롤러는, 이동 장치에 상기 제 3 지령을 송신한 후에, 청소 장치에 주행차를 청소시키는 제 6 지령을 송신해도 된다. 이 구성의 주행차 시스템에서는, 급전 궤도로부터 무급전 궤도로의 주행차의 이동과 더불어, 청소 장치의 청소 처리도 자동화할 수 있다.
본 발명의 일측면에 따르면, 급전 궤도로부터 무급전 궤도로의 주행차의 이동을 자동화할 수 있다.
도 1은 일실시 형태에 따른 주행차 시스템을 나타내는 개략 평면도이다.
도 2는 도 1의 주행차를 주행 방향에서 본 정면도이다.
도 3은 일실시 형태의 작업용 궤도를 나타낸 사시도이다.
도 4는 도 3의 작업용 궤도와 주행차의 주행부를 나타낸 단면도이다.
도 5는 일실시 형태의 이동 장치를 나타낸 평면도이다.
도 6은 도 5의 이동 장치를 나타낸 측면도이다.
도 7은 일실시 형태의 작업 에어리어에 배치되는 이동 장치 및 흡인 장치를 작업용 궤도의 연장 방향에서 본 단면도이다.
도 8은 주행차 시스템의 기능 구성을 나타낸 블록도이다.
도 9는 주행차 시스템에 있어서 주행차를 청소할 때의 각 부의 동작을 나타내는 순서도이다.
도 10은 주행차 시스템에 있어서 주행차를 청소할 때의 각 부의 동작을 나타내는 순서도이다.
도 11의 (a) ~ 도 12의 (d)는 도 5의 이동 장치의 동작을 나타내는 설명도이다.
도 12의 (a) ~ 도 12의 (d)는 도 5의 이동 장치의 동작을 나타내는 설명도이다.
이하, 도면을 참조하여, 본 발명의 일측면의 적합한 일실시 형태에 대하여 상세하게 설명한다. 또한, 도면의 설명에 있어서, 동일 요소에는 동일 부호를 부여하여, 중복되는 설명을 생략한다. 도 2, 도 4 및 도 7에서는, 설명의 편의를 위하여 '상', '하', '좌', '우', '전', '후' 방향을 정의한다.
도 1 및 도 2에 나타나는 바와 같이, 주행차 시스템(1)은, 주행용 궤도(4)를 따라 이동 가능한 천장 주행차(6)(이하, '주행차(6)'라 칭함)를 이용하여, 물품(10)을 재치부(載置部)(9) 간에서 반송하기 위한 시스템이다. 물품(10)에는, 예를 들면, 복수의 반도체 웨이퍼를 저장하는 FOUP(Front Opening Unified Pod) 및 글라스 기판을 저장하는 레티클 포드 등과 같은 용기, 그리고 일반 부품 등이 포함된다. 주행차 시스템(1)은 주행용 궤도(급전 궤도)(4), 복수의 주행차(6), 복수의 재치부(9), 작업용 궤도(무급전 궤도)(41) 및 청소 유닛(100)(도 7 참조)을 구비한다.
주행용 궤도(4)는, 예를 들면, 작업자의 머리 위 스페이스인 천장 부근에 부설되어 있다. 주행용 궤도(4)는, 예를 들면 천장으로부터 현수되어 있다. 주행용 궤도(4)는, 주행차(6)를 주행시키기 위한 미리 정해진 주행로이다. 주행용 궤도(4)는, 지지 기둥(40A, 40A)에 의해 지지된다. 주행차 시스템(1)의 주행용 궤도(4)는, 정해진 에어리어를 일방향으로 순회하는 본선부(4A)와, 주행차(6)를 메인터넌스하기 위한 작업 에어리어(160)가 마련된 작업용 궤도(41)에 주행차(6)를 도입시키는 퇴피부(4B)를 가지고 있다. 또한, 퇴피부(4B)에 있어서도, 주행차(6)는, 미리 정해진 일방향으로 이동한다.
주행용 궤도(4)는, 한 쌍의 하면부(40B, 40B)와 한 쌍의 측면부(40C, 40C)와 천면부(40D)로 이루어지는 통 형상의 레일 본체부(40)와, 급전부(40E)와, 자기 플레이트(40F)를 가지고 있다. 레일 본체부(40)는, 주행차(6)의 주행부(주행 구동부)(50)를 수용한다. 하면부(40B)는, 주행차(6)의 주행 방향으로 연장되어, 레일 본체부(40)의 하면을 구성한다. 하면부(40B)는, 주행차(6)의 주행 롤러(51)를 전동(轉動)시켜 주행시키는 판 형상 부재이다. 측면부(40C)는, 주행차(6)의 주행 방향으로 연장되어, 레일 본체부(40)의 측면을 구성한다. 천면부(40D)는, 주행차(6)의 주행 방향으로 연장되어, 레일 본체부(40)의 상면을 구성한다.
급전부(급전선)(40E)는, 주행차(6)의 급전 코어(57)에 전력을 공급하고, 또한 급전 코어(57)와 신호의 송수신을 행하는 부위이다. 급전부(40E)는, 한 쌍의 측면부(40C, 40C)의 각각에 고정되어, 주행 방향을 따라 연장되어 있다. 급전부(40E)는, 급전 코어(57)(도 4 참조)에 대하여 비접촉의 상태로 전력을 공급한다. 자기 플레이트(40F)는, 주행차(6)의 LDM(Linear DC Motor)(59)에 주행 또는 정지를 위한 자력을 발생시킨다. 자기 플레이트(40F)는, 천면부(40D)에 고정되어, 주행 방향을 따라 연장되어 있다.
주행차(6)는, 주행용 궤도(4)를 따라 주행하여, 물품(10)을 반송한다. 주행차(6)는, 물품(10)을 이동 재치 가능하게 구성되어 있다. 주행차(6)는, 천장 주행식 무인 주행차이다. 주행차 시스템(1)이 구비하는 주행차(6)의 대수는 특별히 한정되지 않으며, 복수이다. 주행차(6)는 본체부(7)와, 주행부(50)와, 본체 컨트롤러(35)를 가진다. 본체부(7)는 본체 프레임(22)과, 횡방향 이송부(24)와, θ 드라이브(26)와, 승강 구동부(28)와, 승강대(30)와, 커버(33)를 가진다.
본체 프레임(22)은 주행부(50)와 접속되어 있고, 횡방향 이송부(24)와, θ 드라이브(26)와, 승강 구동부(28)와, 승강대(30)와, 커버(33)를 지지한다. 횡방향 이송부(24)는 θ 드라이브(26), 승강 구동부(28) 및 승강대(30)를 일괄하여, 주행용 궤도(4)의 주행 방향과 직각인 방향으로 횡측 이송한다. θ 드라이브(26)는, 승강 구동부(28) 및 승강대(30) 중 적어도 어느 하나를 수평면 내에서 정해진 각도 범위 내에서 회동시킨다. 승강 구동부(28)는 와이어, 로프 및 벨트 등의 적지재를 감거나 또는 풂으로써 승강대(30)를 승강시킨다. 승강대(30)에는, 척이 마련되어 있어, 물품(10)의 파지 또는 해방이 가능하게 되어 있다. 커버(33)는, 예를 들면 주행차(6)의 주행 방향의 전후에 한 쌍 마련되어 있다. 커버(33)는, 도시하지 않는 클로 등을 출몰시켜, 반송 중에 물품(10)이 낙하하는 것을 방지한다.
주행부(50)는, 주행차(6)를 주행용 궤도(4)를 따라 주행시킨다. 도 4에 나타나는 바와 같이, 주행부(50)는 주행 롤러(51), 사이드 롤러(52), 분기 롤러(53), 보조 롤러(54), 경사 롤러(55), 급전 코어(57) 및 LDM(59)을 가지고 있다. 도 2에서는, 분기 롤러(53), 보조 롤러(54) 및 경사 롤러(55)의 도시는 생략한다.
주행 롤러(51)는, 주행륜으로서의 외륜(51A) 및 주행 보조륜으로서의 내륜(51B)으로 이루어지는 롤러쌍이다. 주행 롤러(51)는, 주행부(50)의 전후의 좌우 양단에 배치되어 있다. 주행 롤러(51)는, 주행용 궤도(4)의 한 쌍의 하면부(40B, 40B)(도 2 참조) 또는 후술하는 도 4의 하방 지지부(43)를 전동한다. 본 실시 형태의 외륜(51A)은, 주행부(50)에 전력이 공급되고 있지 않은 상태에 있어서 용이하게 회전하지 않도록 구성되어 있다. 즉, 외륜(51A)은, 급전 코어(57)에 전력이 공급되지 않는 상태에 있어서 회전하지 않도록 브레이크가 걸린다.
사이드 롤러(52)는, 주행 롤러(51)의 외륜(51A)의 각각을 전후 방향으로 개재하도록 배치되어 있다. 사이드 롤러(52)는, 주행용 궤도(4)의 측면부(40C)(도 2 참조) 또는 후술하는 도 4의 측방 지지부(45)에 접촉 가능하게 마련되어 있다. 분기 롤러(53)는, 사이드 롤러(52)의 각각을 상하 방향으로 개재하도록 배치되어 있다. 사이드 롤러(52)는, 주행용 궤도(4)의 접속부 또는 분기부 등에 배치되어 있는 가이드(도시하지 않음)에 접촉 가능하게 마련되어 있다.
보조 롤러(54)는, 주행부(50)의 전후에 마련되어 있는 3 개 1 조의 롤러군이다. 보조 롤러(54)는, 주행부(50)가 가감 속도 등에 의해 주행 중에 전후로 기울었을 때에, LDM(59) 및 급전 코어(57) 등이 주행용 궤도(4)의 상면에 배치된 자기 플레이트(40F)(도 2 참조)에 접촉하는 것을 방지하기 위하여 마련되어 있다. 경사 롤러(55)는, LDM(59)의 네 모퉁이에 마련되어 있다. 경사 롤러(55)는, 전후 방향으로부터 기운 상태로 배치되어 있다. 경사 롤러(55)는, 주행부(50)가 커브 구간을 주행할 시의 원심력에 의한 기울어짐을 방지하기 위하여 마련되어 있다.
급전 코어(57)는, 주행부(50)의 전후에, 좌우 방향으로 LDM(59)을 개재하도록 배치되어 있다. 주행용 궤도(4)에 배치된 급전부(40E)(도 2 참조)와의 사이에서 비접촉에 의한 급전과, 비접촉에 의한 각종 신호의 송수신을 행한다. 급전 코어(57)는 본체 컨트롤러(35)와의 사이에서 신호를 교환한다. LDM(59)은, 주행부(50)의 전후에 마련되어 있다. LDM(59)은, 전자석에 의해 주행용 궤도(4)의 상면에 배치된 자기 플레이트(40F)(도 2 참조)와의 사이에서, 주행 또는 정지를 위한 자력을 발생시킨다.
주행부(50)는, 후단에서 상술하는 반송 컨트롤러(컨트롤러)(90)에 의해 본체 컨트롤러(35)를 개재한 상태로 제어된다. 구체적으로, 반송 컨트롤러(90)로부터의 지령이 본체 컨트롤러(35)로 송신되고, 당해 지령을 수신한 본체 컨트롤러(35)가 주행부(50)를 제어한다. 주행부(50)는, 전력이 공급되고 있는 상태에 있어서, 주행차(6)의 외부의 반송 컨트롤러(90)로부터의 제어가 가능하게 되어 있다. 또한, 주행부(50)는, 전력이 공급되고 있지 않은 상태로부터 전력이 공급되는 상태가 되면, 반송 컨트롤러(90)로부터의 지령이 본체 컨트롤러(35)로 송신되고, 당해 지령을 수신한 본체 컨트롤러(35)가 주행부(50)를 제어하는 상태가 된다.
도 1에 나타나는 바와 같이, 재치부(9)는, 주행용 궤도(4)를 따라 배치되고, 주행차(6)가 물품(10)을 전달 가능한 위치에 마련되어 있다. 재치부(9)에는, 버퍼 및 전달 포트가 포함된다. 버퍼는, 물품(10)이 일시적으로 재치되는 재치부이다. 버퍼는, 예를 들면, 목적으로 하는 전달 포트에 다른 물품(10)이 재치되어 있는 등의 이유에 의해, 주행차(6)가 반송하고 있는 물품(10)을 그 전달 포트에 이동 재치할 수 없는 경우에, 물품(10)이 임시 배치되는 재치부이다. 전달 포트는, 예를 들면 세정 장치, 성막 장치, 리소그래피 장치, 에칭 장치, 열 처리 장치, 평탄화 장치를 비롯한 반도체의 처리 장치(도시하지 않음)에 대하여 물품(10)의 전달을 행하기 위한 재치부이다. 또한, 처리 장치는 특별히 한정되지 않으며, 각종 장치여도 된다.
예를 들면, 재치부(9)는, 주행용 궤도(4)의 측방에 배치되어 있다. 이 경우, 주행차(6)는, 횡방향 이송부(24)로 승강 구동부(28) 등을 횡방향 이송하고, 승강대(30)를 약간 승강시킴으로써, 재치부(9)와의 사이에서 물품(10)을 전달한다. 또한, 도시는 하지 않지만 재치부(9)는, 주행용 궤도(4)의 직하(直下)에 배치되어도 된다. 이 경우, 주행차(6)는, 승강대(30)를 승강시킴으로써, 재치부(9)와의 사이에서 물품(10)을 전달한다.
본체 컨트롤러(35)는 CPU(Central Processing Unit), ROM(Read Only Memory) 및 RAM(Random Access Memory) 등으로 이루어지는 전자 제어 유닛이다. 본체 컨트롤러(35)는, 주행차(6)에 있어서의 각종 동작을 제어한다. 구체적으로, 본체 컨트롤러(35)는 주행부(50)와, 횡방향 이송부(24)와, θ 드라이브(26)와, 승강 구동부(28)와, 승강대(30)를 제어한다. 본체 컨트롤러(35)는, 예를 들면 ROM에 저장되어 있는 프로그램이 RAM 상에 로드되어 CPU로 실행되는 소프트웨어로서 구성할 수 있다. 본체 컨트롤러(35)는, 전자 회로 등에 의한 하드웨어로서 구성되어도 된다. 본체 컨트롤러(35)는, 주행용 궤도(4)의 급전부(40E)(피더선) 등을 이용하여, 반송 컨트롤러(90)(도 1 참조)와 통신을 행한다.
도 1에 나타나는 바와 같이, 작업 에어리어(160)는, 퇴피부(4B)의 일부에 마련되어, 주행차(6)에 포함되는 주행부(50)의 주행 롤러(51) 및 급전 코어(57) 등의 메인터넌스를 실시하는 에어리어이다. 작업 에어리어(160)에는, 작업용 궤도(41)(도 3 참조)와, 이동 장치(60)(도 5 및 도 6 참조)와, 흡인 장치(80)(도 7 참조)가 마련되어 있다.
작업용 궤도(41)는, 그 양단이 주행용 궤도(4, 4)에 연속하도록 일방향(이하, '연장 방향(X)'이라 칭함)으로 연장되고, 도 3 및 도 4에 나타나는 바와 같이, 주행부(50)의 적어도 일부(예를 들면, 급전 코어(57))를 노출시키는 개방부(47)를 형성하고 있다. 환언하면, 작업용 궤도(41)에는, 도 2에 나타나는 주행용 궤도(4)에 마련되어 있는 것과 같은 급전부(40E) 및 천면부(40D)가 마련되어 있지 않고, 주행용 궤도(4)의 급전부(40E) 및 천면부(40D)에 대응하는 부분이 개방부(47)로 되어 있다.
작업용 궤도(41)는 작업용 궤도(41)의 양단에 배치되는 프레임(42, 42)과, 한 쌍의 하방 지지부(43, 43)와, 한 쌍의 측방 지지부(45, 45)를 가지고 있다.
프레임(42)은 한 쌍의 측면부(42A, 42A)와, 천면부(42B)를 가지고 있다. 한 쌍의 측면부(42A, 42A)는, 좌우 방향으로 대향하여 배치되고, 연직 방향으로 연장되는 판 형상 부재이다. 측면부(42A)는, 브래킷(도시하지 않음) 및 지지 기둥(도시하지 않음)을 개재하여 천장에 고정된다. 천면부(42B)는, 한 쌍의 측면부(42A, 42A)를, 한 쌍의 측면부(42A, 42A)의 상단에서 접속하는 판 형상 부재이다.
하방 지지부(43)는, 주행부(50)를 하방으로부터 지지한다. 보다 상세하게는, 하방 지지부(43)는, 주행차(6)의 주행 롤러(51)의 내륜(51B)을 전동시켜 주행시키는 부재이다. 하방 지지부(43)는, 프레임(42)의 측면부(42A)의 하단에 고정되고, 한 쌍의 프레임(42, 42)에 연장 방향(X)을 따라 걸쳐져 있다. 하방 지지부(43)는, 연직 방향에 있어서, 내륜(51B)에 대향하는 제 1 부분(43B)이, 외륜(51A)에 대향하는 제 2 부분(43A)보다 상방에 위치하도록 형성되어 있다. 하방 지지부(43)의 제 1 부분(43B)(즉, 내륜(51B)의 전동면)은, 주행용 궤도(4)에 접속되는 부위에 있어서, 주행용 궤도(4)의 하면부(40B)(도 2 참조)의 상면과 면일(面一)로 접속된다.
측방 지지부(45)는, 주행차(6)의 사이드 롤러(52)가 접촉하는 부재이다. 측방 지지부(45)는, 프레임(42)의 측면부(42A)에 고정되고, 한 쌍의 프레임(42, 42)에 걸쳐져 있다.
도 5 ~ 도 8에 나타나는 바와 같이, 청소 유닛(100)은, 이동 장치(60)와 흡인 장치(청소 장치)(80)와 유닛 컨트롤러(95)를 가지고 있다. 청소 유닛(100)은, 작업용 궤도(41)에 위치하는 주행차(6)를 청소한다. 이동 장치(60)는, 작업용 궤도(41)를 따라 주행차(6)를 이동시킨다. 작업용 궤도(41)의 양 단에는, 주행용 궤도(4, 4)가 접속되어 있으므로, 이동 장치(60)는, 일방의 주행용 궤도(4)로부터 작업용 궤도(41)를 경유하여 타방의 주행용 궤도(4)와의 사이에서 주행차(6)를 이동시킨다. 이동 장치(60)는 베이스 플레이트(70)와, 이동 플레이트(71)와, 제 1 암부(61) 및 제 2 암부(65)로 이루어지는 한 쌍의 암부와, 제 1 회동 구동부(62)와, 제 2 회동 구동부(66)와, 제 1 이동 구동부(64)와, 제 2 이동 구동부(68)를 구비한다.
베이스 플레이트(70)는 이동 플레이트(71), 제 1 암부(61), 제 2 암부(65), 제 1 회동 구동부(62), 제 2 회동 구동부(66), 제 1 이동 구동부(64) 및 제 2 이동 구동부(68)를 지지하는, 판 형상의 부재이다. 베이스 플레이트(70)는, 현수 부재(75)에 의해 천장으로부터 현수되어 있다.
이동 플레이트(71)는 제 1 암부(61), 제 2 암부(65), 제 1 회동 구동부(62), 제 2 회동 구동부(66), 제 1 이동 구동부(64) 및 제 2 이동 구동부(68)를 지지하는, 판 형상의 부재이다. 이동 플레이트(71)는, 베이스 플레이트(70)에 대하여 연장 방향(X)으로 이동 가능하게 마련되어 있다. 보다 상세하게는, 이동 플레이트(71)는, LM 가이드(Linear Motion Guide)(68A) 및 구동 모터(68B) 등으로 이루어지는 제 2 이동 구동부(68)에 의해, 베이스 플레이트(70)에 대하여 연장 방향(X)으로 이동 가능하게 마련되어 있다.
제 1 암부(61)는, 주행차(6)의 주행 방향에 있어서의 상류측에 배치되어 있다. 즉, 제 1 암부(61)는, 주행차(6)를 이동시킬 때, 주행차(6)의 후단(커버(33))에 접촉한다. 제 1 암부(61)는, 제 1 회동 구동부(62)에 의해, 주행차(6)를 개재하는 위치(접촉 위치)와 주행차(6)로부터 퇴피하는 위치(퇴피 위치)와의 사이에서 이동한다. 제 1 암부(61) 및 제 1 회동 구동부(62)는, 제 1 이동 구동부(64)에 의해, 이동 플레이트(71)에 대하여 연장 방향(X)으로 이동 가능하게 마련되어 있다. 보다 상세하게는, 제 1 암부(61) 및 제 1 회동 구동부(62)는 LM 가이드(64A) 및 구동 모터(64B) 등으로 이루어지는 제 1 이동 구동부(64)에 의해, 이동 플레이트(71)에 대하여 연장 방향(X)으로 이동 가능하게 마련되어 있다.
제 2 암부(65)는, 주행차(6)의 주행 방향에 있어서의 하류측에 배치되어 있다. 즉, 제 2 암부(65)는, 주행차(6)를 이동시킬 때, 주행차(6)의 전단에 접촉한다. 제 2 암부(65)는, 제 2 회동 구동부(66)에 의해, 주행차(6)를 개재하는 위치와 주행차(6)로부터 퇴피하는 위치와의 사이에서 이동한다. 제 2 암부(65) 및 제 2 회동 구동부(66)는, 제 1 암부(61) 및 제 1 회동 구동부(62)와는 달리, 이동 플레이트(71)에 대하여 연장 방향(X)으로 이동 불가능하게 마련되어 있다.
흡인 장치(80)는, 작업 에어리어(160)(작업용 궤도(41))에 위치하는 주행차(6)에, 개방부(47)를 개재하여, 주행부(50)의 적어도 일부에 청소 작업을 실행한다. 보다 상세하게는, 흡인 장치(80)는, 주행부(50)의 적어도 일부(예를 들면, 급전 코어(57))에 부착된 부착물을 흡인한다. 흡인 장치(80)는, 천장으로부터 현수된 지지 플레이트(85)에 마련되어 있다. 흡인 장치(80)는 6 개(6 축)의 관절에 의해 구성되는 수직 다관절형 로봇(81)이며, 그 선단에는, 부착물을 흡인하는 흡인부(82)가 마련되어 있다.
유닛 컨트롤러(95)는 CPU, ROM 및 RAM 등으로 이루어지는 전자 제어 유닛이다. 유닛 컨트롤러(95)는, 예를 들면 ROM에 저장되어 있는 프로그램이 RAM 상에 로드되어 CPU로 실행되는 소프트웨어로서 구성할 수 있다. 유닛 컨트롤러(95)는, 전자 회로 등에 의한 하드웨어로서 구성되어도 된다. 유닛 컨트롤러(95)는, 이동 장치(60) 및 흡인 장치(80)의 동작을 제어한다. 유닛 컨트롤러(95)는, 반송 컨트롤러(90)와 통신 가능하게 접속되어 있다.
반송 컨트롤러(90)는 CPU, ROM 및 RAM 등으로 이루어지는 전자 제어 유닛이다. 반송 컨트롤러(90)는, 예를 들면 ROM에 저장되어 있는 프로그램이 RAM 상에 로드되어 CPU로 실행되는 소프트웨어로서 구성할 수 있다. 반송 컨트롤러(90)는, 전자 회로 등에 의한 하드웨어로서 구성되어도 된다. 반송 컨트롤러(90)는, 주행차(6)에 물품(10)을 반송시키는 반송 지령을 송신한다. 반송 컨트롤러(90)는, 복수의 주행차(6)의 각각 및 청소 유닛(100)의 유닛 컨트롤러(95)와 통신 가능하게 접속되어 있다.
여기서, 도 1에 나타나는 바와 같이, 주행차(6)의 주행 방향에 있어서 작업용 궤도(41)의 상류측 단부에 인접하는 주행용 궤도(4)의 정해진 위치를 제 1 위치(P1)로 하고, 작업용 궤도(41)의 하류측 단부에 인접하는 주행용 궤도(4)의 정해진 위치를 제 2 위치(P2)로 한다.
반송 컨트롤러(90)는 제 1 지령, 제 2 지령, 제 3 지령, 제 5 지령 및 제 6 지령을 송신한다. 제 1 지령은, 주행차(6)에 송신하는 지령이며, 주행용 궤도(4)를 주행하는 주행차(6)를 제 1 위치(P1)까지 주행시키는 지령이다. 제 1 지령을 수신한 주행차(6)는, 제 1 위치(P1)까지 주행하고, 정지한다. 제 2 지령은, 주행차(6)에 송신하는 지령이며, 이동 장치(60)에 의한 이동을 가능한 상태로 하는 지령이다. 보다 상세하게는, 제 2 지령은, 적어도 주행차(6)의 주행부(50)에 있어서의 외부로부터의 제어를 불가능(셧다운)하게 하는 지령이다. 제 2 지령을 수신한 주행차(6)는, 외부와의 통신이 차단되어, 외부로부터 주행부(50)가 제어되는 일이 없어진다. 또한, 반송 컨트롤러(90)의 이동 장치(60) 및 흡인 장치(80)로의 지령의 송신은, 유닛 컨트롤러(95)를 개재하여 행해진다.
제 3 지령은, 제 2 지령을 제 1 위치(P1)에 정지한 주행차(6)에 송신한 후 또는 송신함과 동시에, 이동 장치(60)에 송신하는 지령이다. 제 3 지령은, 제 1 위치(P1)에 정지한 주행차(6)를 작업용 궤도(41)까지 이동시키는 지령이다. 제 3 지령을 수신한 이동 장치(60)는, 제 1 위치(P1)에 정지하고 있는 주행차(6)를 작업용 궤도(41)까지 반송한다. 제 5 지령은, 이동 장치(60)에 송신하는 지령이며, 작업용 궤도(41)로부터 제 2 위치(P2)까지 주행차(6)를 이동시키는 지령이다. 제 5 지령을 수신한 이동 장치(60)는, 작업용 궤도(41)에 정지하고 있는 주행차(6)를 제 2 위치(P2)까지 반송한다.
제 6 지령은, 주행차(6)에 제 3 지령을 송신한 후에, 흡인 장치(80)에 송신하는 지령이다. 제 6 지령은, 작업용 궤도(41)에 정지하는 주행차(6)를 흡인 장치(80)에 청소시키는 지령이다. 제 6 지령을 수신한 이동 장치(60)는, 작업용 궤도(41)에 정지하는 주행차(6)의 청소를 개시한다.
이어서, 주행용 궤도(4)를 주행하는 주행차(6)를 작업용 궤도(41)에 입장시켜, 청소 유닛(100)에 있어서 주행차(6)를 청소한 후, 다시 주행용 궤도(4)에 주행차(6)를 복귀시킬 때까지의 동작에 대하여, 도 9 및 도 10에 따라 설명한다.
유닛 컨트롤러(95)는, 청소 유닛(100)에 있어서 주행차(6)의 청소가 가능한지 여부를 판정한다(단계(S1)). 유닛 컨트롤러(95)는, 이동 장치(60)가 정해진 위치(예를 들면, 제 1 위치(P1)에 위치하는 주행차(6)를 이동시키는 것이 가능한 위치)에 위치하고 있는지 여부를 판정한다. 여기서는, 이동 장치(60)가 상기 정해진 위치에 위치하고 있는 것을 검지하면, 주행차(6)의 청소가 가능하다고 판정한다. 또한, 유닛 컨트롤러(95)는, 작업용 궤도(41)에 주행차(6)가 위치하고 있는지 여부를 판정함으로써, 주행차(6)의 청소가 가능하다고 판정해도 된다.
유닛 컨트롤러(95)는, 청소 유닛(100)에 있어서 주행차(6)의 청소가 가능한 것을 판정하면, 반송 컨트롤러(90)에 그 취지의 통지인 가능 통지를 송신한다(단계(S2)). 가능 통지를 수신한 반송 컨트롤러(90)는, 주행차(6)에 제 1 지령을 송신한다(단계(S3)). 제 1 지령을 수신한 주행차(6)는, 제 1 위치(P1)까지 주행하여, 제 1 위치(P1)에 도착한다(단계(S4)). 제 1 위치(P1)에 도착한 주행차(6)는, 반송 컨트롤러(90)에 도착 통지를 송신한다(단계(S5)). 또한, 반송 컨트롤러(90)는, 주행차(6)로부터의 도착 통지를 수신하면, 도착한 주행차(6)의 형식 등을 유닛 컨트롤러(95)에 송신한다(단계(S6)). 이에 의해, 주행차(6)의 형식(사이즈) 등에 맞추어 이동 장치(60)를 동작시키는 것이 가능해진다.
도착 통지를 수신한 반송 컨트롤러(90)는, 제 2 지령을 주행차(6)에 송신한다(단계(S7)). 제 2 지령을 수신한 주행차(6)는, 이동 장치(60)에 의해 이동이 가능한 상태가 된다. 보다 상세하게는, 제 2 지령을 수신한 주행차(6)는, 주행차(6)의 주행부(50)에 있어서의 외부로부터의 제어가 불가능(셧다운)하게 된다(단계(S8)). 이에 의해, 주행차(6)는, 이동 장치(60)에 의해 자유롭게 이동되는 상태가 된다. 반송 컨트롤러(90)는, 주행차(6)가 셧다운된 타이밍에, 이동 장치(60)에 제 3 지령을 송신한다(단계(S10)). 예를 들면, 반송 컨트롤러(90)는, 제 2 지령을 송신한 후, 정해진 시간 경과 후에 제 3 지령을 이동 장치(60)에 송신하도록 해도 된다. 또한, 상술했던 대로, 반송 컨트롤러(90)로부터 이동 장치(60)로의 제 3 지령의 송신은, 유닛 컨트롤러(95)를 개재하여 행해진다.
제 3 지령을 수신한 이동 장치(60)는, 제 1 위치(P1)에 정지하고 있는 주행차(6)를 작업용 궤도(41)까지 이동시킨다(단계(S11)). 여기서, 이동 장치(60)가 주행차(6)를 제 1 위치(P1)로부터 작업용 궤도(41)까지 이동시키는 동작에 대하여 상세하게 설명한다.
작업용 궤도(41)에 주행차(6)가 존재하지 않을 때, 도 11의 (a)에 나타나는 바와 같이, 제 1 암부(61)가 퇴피 위치에 위치하고, 제 2 암부(65)가 접촉 위치에 위치하고 있다. 이러한 상태에 있어서, 제 1 지령을 수신한 주행차(6)가 작업용 궤도(41)에 입장해 오면, 도 11의 (b)에 나타나는 바와 같이, 주행차(6)는, 제 2 암부(65)에 접촉하는 위치에서 일단 정지한다. 이 위치가 제 1 위치(P1)가 된다.
주행차(6)가 제 2 암부(65)에 접촉하는 위치에서 일단 정지하면, 제 3 지령을 수신한 이동 장치(60)의 제 1 회동 구동부(62)는, 제 1 암부(61)을 접촉 위치로 회동시키고, 제 1 이동 구동부(64)는, 제 1 암부(61) 및 제 1 회동 구동부(62)를 전진(주행차(6)의 주행 방향에 있어서의 하류측으로 이동)시킨다. 이에 의해, 도 11의 (c)에 나타나는 바와 같이, 주행차(6)는, 제 1 암부(61)와 제 2 암부(65)에 의해 개재된 상태가 된다.
이어서, 제 2 이동 구동부(68)는, 이동 플레이트(71)를 전진시킨다. 즉, 제 2 이동 구동부(68)는, 제 1 암부(61)와 제 2 암부(65)와의 사이의 거리를 유지한 채로, 제 1 암부(61), 제 1 회동 구동부(62), 제 2 암부(65) 및 제 2 회동 구동부(66)를 전진시킨다. 이동 장치(60)에 의한 주행차(6)의 전진의 도중에, 주행차(6)는, 주행용 궤도(4)로부터 작업용 궤도(41)로 갈아탄다. 즉, 주행차(6)는, 급전 구간으로부터 무급전 구간으로 갈아탄다. 이 타이밍(단계(S12))에, 주행차(6)에 대한 급전이 끊어져, 주행차(6)에 대한 급전이 OFF가 된다(단계(S13)). 주행차(6)는, 제 1 암부(61)와 제 2 암부(65)에 의해 개재된 상태로 전진되어, 도 11의 (d)에 나타나는 바와 같이, 작업용 궤도(41)의 정해진 위치에서 정지된다. 이 위치는, 주행차(6)가 흡인 장치(80)에 의해 청소가 실시되는 위치이다.
이어서, 반송 컨트롤러(90)는, 흡인 장치(80)에 제 6 지령을 송신한다(단계(S15)). 또한, 상술했던 대로, 반송 컨트롤러(90)로부터 흡인 장치(80)로의 제 6 지령의 송신은, 유닛 컨트롤러(95)를 개재하여 행해진다. 제 6 지령을 수신한 흡인 장치(80)는, 작업용 궤도(41)의 정해진 위치에 정지하는 주행차(6)의 청소를 개시한다(단계(S16)). 반송 컨트롤러(90)는, 흡인 장치(80)에 의한 주행차(6)의 청소가 종료된 타이밍에, 제 5 지령을 이동 장치(60)에 송신한다(단계(S17). 또한, 반송 컨트롤러(90)는, 제 6 지령을 흡인 장치(80)에 송신하고 나서 정해진 시간 경과 후에 이동 장치(60)에 제 5 지령을 송신해도 된다. 제 5 지령을 수신한 이동 장치(60)는, 작업용 궤도(41)의 정해진 위치로부터 제 2 위치(P2)까지 주행차(6)를 이동시킨다(단계(S18)). 여기서, 이동 장치(60)가 주행차(6)를 작업용 궤도(41)의 정해진 위치로부터 제 2 위치(P2)까지 이동시키는 동작에 대하여 상세하게 설명한다.
주행차(6)는, 제 1 암부(61)와 제 2 암부(65)에 의해 개재된 상태로 전진되어, 도 12의 (a)에 나타나는 바와 같이, 작업용 궤도(41)의 정해진 위치로부터 주행용 궤도(4)의 제 2 위치(P2)까지 이동된다. 이 이동 장치(60)에 의한 주행차(6)의 전진의 도중에, 주행차(6)는, 작업용 궤도(41)로부터 주행용 궤도(4)로 갈아탄다. 즉, 주행차(6)는, 무급전 구간으로부터 급전 구간으로 갈아탄다. 이 타이밍(단계(S21))에, 주행차(6)에 대한 급전이 개시되어, 주행차(6)에 대한 급전이 ON이 된다(단계(S22)). 주행차(6)의 주행부(50)는, 전력이 공급되고 있지 않은 상태로부터 전력이 공급되는 상태가 되면, 외부로부터의 제어가 가능(기동)(단계(S23))하게 된다.
주행차(6)는, 주행부(50)에 있어서의 외부로부터의 제어가 가능해지도록 기동하면, 반송 컨트롤러(90)에 기동 통지를 송신한다(단계(S24)). 기동 통지를 수신한 반송 컨트롤러(90)는, 기동 통지를 송신한 주행차(6)에, 본선부(4A)의 정해진 위치로 이동하는 것과 같은 이동 지령을 송신한다(단계(S25)). 이에 의해, 주행차(6)는, 본선부(4A)로 복귀한다.
이동 장치(60)는, 주행차(6)를 제 2 위치(P2)까지 이동시키면, 도 12의 (b)에 나타나는 바와 같이, 제 2 회동 구동부(66)는, 제 2 암부(65)를 퇴피 위치로 회동시킨다. 이 후, 주행차(6)는, 주행부(50)의 급전 코어(57)에 공급되는 전력에 의해, 자신의 주행부(50)가 가지는 구동부에 의해 전진을 개시한다. 동시에, 반송 컨트롤러(90)는, 유닛 컨트롤러(95)에 이동 장치(60)를 정해진 위치(예를 들면, 제 1 위치(P1)에 위치하는 주행차(6)를 이동시키는 것이 가능한 위치)로 되돌리는 것과 같은 지시를 통지한다(단계(S26)).
이어서, 도 12의 (c)에 나타나는 바와 같이, 제 2 회동 구동부(66)는, 제 2 암부(65)를 접촉 위치로 회동시킨다. 그리고, 제 2 이동 구동부(68)는, 이동 플레이트(71)를 후퇴시킨다. 즉, 제 2 이동 구동부(68)는, 제 1 암부(61)와 제 2 암부(65)와의 사이의 거리를 유지한 채로, 제 1 암부(61), 제 1 회동 구동부(62), 제 2 암부(65) 및 제 2 회동 구동부(66)를 후퇴시킨다. 이 후, 제 1 이동 구동부(64)는, 제 1 암부(61) 및 제 1 회동 구동부(62)를 후퇴시킨다. 이에 의해, 도 12의 (d)에 나타나는 바와 같이, 제 1 암부(61) 및 제 2 암부(65)는, 다음으로 입장해 오는 주행차(6)를 기다리는 위치까지 돌아온다. 그리고, 도 11의 (a)에 나타나는 바와 같이, 제 1 암부(61)가 퇴피 위치에 위치하고, 제 2 암부(65)가 접촉 위치에 위치하고 있는 상태에서, 다음의 주행차(6)의 도착을 기다린다(단계(S27)).
이어서, 상기 실시 형태의 주행차 시스템(1)의 작용 효과에 대하여 설명한다. 상기 실시 형태의 주행차 시스템(1)에서는, 주행차(6)를 작업용 궤도(41)에 진입하기 직전의 위치(제 1 위치(P1))에 있어서, 이동 장치(60)에 의해 자유롭게 이동할 수 있는 상태로 하여, 이동 장치(60)에 의한 주행차(6)의 이동을 개시시킨다. 이에 의해, 주행용 궤도(4)로부터 작업용 궤도(41)로의 주행차(6)의 이동을 자동화할 수 있다.
상기 실시 형태의 주행차 시스템(1)에서는, 반송 컨트롤러(90)는, 적어도 주행부(50)에 있어서의 외부(반송 컨트롤러(90))로부터의 제어를 불가능하게 하는 제 2 지령을 주행차(6)에 송신하고 있다. 이 구성에서는, 주행차(6)는, 외부(반송 컨트롤러(90))로부터의 제어를 불가능하게 하나, 주행용 궤도(4)를 주행하고 있는 동안은 전력이 공급되므로, 외륜(51A)에는 브레이크가 걸리지 않는다. 즉, 본 실시 형태에서는, 간이한 제어로, 주행차(6)를 이동 장치(60)에 의해 자유롭게 이동할 수 있는 상태로 할 수 있다.
상기 실시 형태의 주행차 시스템(1)에서는, 반송 컨트롤러(90)는, 무급전 궤도의 정해진 위치로부터 제 2 위치(P2)까지 주행차(6)를 이동시키는 제 5 지령을 이동 장치(60)에 송신하고 있다. 이 구성에서는, 주행용 궤도(4)로부터 작업용 궤도(41)로의 주행차(6)의 이동과 더불어, 작업용 궤도(41)로부터 주행용 궤도(4)로의 주행차(6)의 이동을 자동화할 수 있다. 즉, 주행용 궤도(4)와 작업용 궤도(41)와의 사이의 주행차(6)의 이동을 자동화할 수 있다.
상기 실시 형태의 주행차 시스템(1)에서는, 주행부(50)는, 전력이 공급되고 있지 않은 상태로부터 전력이 공급되는 상태가 되면, 외부(반송 컨트롤러(90))로부터의 제어가 가능해지도록 구성되어 있다. 이에 의해, 이동 장치(60)에 의한 주행차(6)의 이동에 의해 작업용 궤도(41)로부터 주행용 궤도(4)로 이동되면, 자동적으로 외부로부터의 주행차(6)의 제어가 가능해진다.
상기 실시 형태의 주행차 시스템(1)에서는, 반송 컨트롤러(90)는, 제 3 지령을 송신한 후에, 유닛 컨트롤러(95)를 개재하여 흡인 장치(80)에 주행차를 청소시키는 제 6 지령을 송신하고 있다. 이에 의해, 주행용 궤도(4)로부터 작업용 궤도(41)로의 주행차(6)의 이동과 더불어, 흡인 장치(80)의 청소 처리도 자동화할 수 있다.
이상, 본 발명의 일측면의 일실시 형태에 대하여 설명했지만, 본 발명의 일측면은 상기 실시 형태에 한정되는 것은 아니며, 발명의 취지를 일탈하지 않는 범위에서 각종 변경이 가능하다.
상기 실시 형태에서는, 제 1 위치(P1)로 이동해 온 주행차(6)에 대하여, 반송 컨트롤러(90)는, 적어도 주행부(50)에 있어서의 외부(반송 컨트롤러(90))로부터의 제어를 불가능하게 하는 제 2 지령을 송신하는 예를 들어 설명했지만 이에 한정되지 않는다. 예를 들면, 반송 컨트롤러(90)는, 제 2 지령을 송신하는 예 대신에, 적어도 주행부(50)에 대한 전력 공급을 차단하는 제 4 지령을 제 1 위치(P1)에 정지한 주행차(6)에 송신해도 된다. 이 경우도, 가령, 주행차(6)가 외부로부터의 제어가 가능했다 하더라도, 주행부(50)에는 전력이 공급되지 않으므로 주행차(6)는 주행할 수 없다. 따라서, 주행용 궤도(4)에 있어서도, 제 1 위치(P1)와 작업용 궤도(41)와의 사이, 및 작업용 궤도와 제 2 위치(P2)와의 사이에도, 작업용 궤도(41)에 형성되는 제 1 부분(43B) 및 제 2 부분(43A)을 형성한다(도 4 참조). 즉, 주행용 궤도(4)의 주행면에는, 연직 방향에 있어서, 내륜(51B)에 대향하는 제 1 부분이, 외륜(51A)에 대향하는 제 2 부분보다 상방에 위치하도록 형성되어 있다. 이러한 변형예에 있어서도, 주행차(6)를 이동 장치(60)에 의해 자유롭게 이동할 수 있는 상태로 할 수 있다.
상기 실시 형태에서는 작업 에어리어(160)(즉, 작업용 궤도(41))가 주행용 궤도(4)와 주행용 궤도(4)와의 사이에 배치되어 있는 예를 들어 설명했지만, 작업 에어리어(160)는, 주행용 궤도(4)의 종단부에 배치되어도 된다. 이 경우, 제 3 지령에 의한 이동 장치(60)의 이동 방향과 제 5 지령에 의한 이동 장치(60)의 이동 방향은 서로 반대의 방향이 된다. 즉, 제 3 지령에 의해, 주행용 궤도(4)로부터 작업용 궤도(41)로 주행차(6)를 진입시키고, 제 5 지령에 의해, 작업용 궤도(41)로부터 주행용 궤도(4)로 주행차(6)를 퇴출시킨다.
상기 실시 형태의 이동 장치(60)는, 제 1 암부(61)와 제 2 암부(65)가 이동 플레이트(71)에 마련되고, 일체적으로 연장 방향(X)으로 이동하는 예를 들어 설명했지만, 이에 한정되지 않는다. 예를 들면, 제 1 암부(61) 및 제 2 암부(65)는, 베이스 플레이트(70)에 마련되고, 베이스 플레이트(70)에 대하여 각각 독립하여 연장 방향(X)으로 이동 가능하게 마련되어도 된다.
상기 실시 형태의 작업용 궤도(41)에서는, 하방 지지부(43)는, 연직 방향에 있어서 제 1 부분(43B)이 제 2 부분(43A)보다 상방에 위치하도록 형성되어 있는 예를 들어 설명했지만 이에 한정되지 않는다. 예를 들면, 주행부(50)의 주행륜이 내륜(51B)으로서 형성되고, 주행 보조륜이 외륜(51A)으로서 구성되어 있는 경우에는, 제 2 부분(43A)이 제 1 부분(43B)보다 상방에 위치하도록 형성되어도 된다.
1 : 주행차 시스템
4 : 주행용 궤도(급전 궤도)
41 : 작업용 궤도(무급전 궤도)
40E : 급전부
6 : 천장 주행차(주행차)
35 : 본체 컨트롤러
50 : 주행부
60 : 이동 장치
80 : 흡인 장치
90 : 반송 컨트롤러
95 : 유닛 컨트롤러
100 : 청소 유닛
P1 : 제 1 위치
P2 : 제 2 위치

Claims (6)

  1. 주행차의 주행 구동부에 전력을 공급하는 급전부가 마련되어 있는 급전 궤도와, 상기 급전 궤도에 접속되고 또한 상기 급전부가 마련되어 있지 않은 무급전 궤도와, 상기 급전 궤도에 있어서의 제 1 위치와 상기 무급전 궤도와의 사이에서 상기 주행차를 이동시키는 이동 장치와, 적어도 상기 주행차와 상기 이동 장치를 제어하는 컨트롤러를 구비하는 주행차 시스템으로서,
    상기 컨트롤러는, 상기 제 1 위치까지 주행시키는 제 1 지령을 상기 주행차에 송신하고, 상기 이동 장치에 의한 이동을 가능한 상태로 하는 제 2 지령을 상기 제 1 위치에 정지한 상기 주행차에 송신한 후 또는 송신함과 동시에, 상기 제 1 위치에 정지한 상기 주행차를 상기 무급전 궤도까지 이동시키는 제 3 지령을 상기 이동 장치에 송신하고, 적어도 상기 주행 구동부에 있어서의 외부로부터의 제어를 불가능하게 하는 상기 제 2 지령을 상기 주행차에 송신하는, 주행차 시스템.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 주행 구동부는, 무급전 시에, 브레이크가 걸리는 주행륜과 자유롭게 회전하는 주행 보조륜을 가지고 있고,
    상기 급전 궤도에 있어서의 상기 제 1 위치와 상기 무급전 궤도와의 사이 및 상기 무급전 궤도는, 상기 주행륜 및 상기 주행 보조륜을 하방으로부터 지지하는 하방 지지부를 가지고 있고,
    상기 하방 지지부는, 연직 방향에 있어서, 상기 주행 보조륜에 대향하는 제 1 부분이 상기 주행륜에 대향하는 제 2 부분보다 상방에 위치하도록 형성되어 있고,
    상기 컨트롤러는, 적어도 상기 주행 구동부에 대한 전력 공급을 절단하는 제 4 지령을 상기 제 1 위치에 정지한 상기 주행차에 송신하는, 주행차 시스템.
  4. 제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,
    상기 컨트롤러는, 상기 무급전 궤도로부터 상기 제 1 위치까지, 또는, 상기 제 1 위치를 가지는 상기 급전 궤도에 대하여 상기 무급전 궤도를 개재하여 접속되는 상기 급전 궤도에 있어서의 제 2 위치까지, 상기 주행차를 이동시키는 제 5 지령을 상기 이동 장치에 송신하는, 주행차 시스템.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 주행 구동부는, 전력이 공급되고 있지 않은 상태로부터 전력이 공급되는 상태가 되면, 외부로부터의 제어가 가능해지도록 구성되어 있는, 주행차 시스템.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 무급전 궤도로 이동한 상기 주행차를 청소하는 청소 장치를 더 구비하고,
    상기 컨트롤러는, 상기 이동 장치에 상기 제 3 지령을 송신한 후에, 상기 청소 장치에 상기 주행차를 청소시키는 제 6 지령을 송신하는, 주행차 시스템.
KR1020227009761A 2019-08-29 2020-07-01 주행차 시스템 KR102637694B1 (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019157169 2019-08-29
JPJP-P-2019-157169 2019-08-29
PCT/JP2020/025892 WO2021039105A1 (ja) 2019-08-29 2020-07-01 走行車システム

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20220051379A KR20220051379A (ko) 2022-04-26
KR102637694B1 true KR102637694B1 (ko) 2024-02-19

Family

ID=74683662

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020227009761A KR102637694B1 (ko) 2019-08-29 2020-07-01 주행차 시스템

Country Status (7)

Country Link
US (1) US20220344189A1 (ko)
EP (1) EP4023571A4 (ko)
JP (1) JP7276468B2 (ko)
KR (1) KR102637694B1 (ko)
CN (1) CN114269668B (ko)
IL (1) IL290648A (ko)
WO (1) WO2021039105A1 (ko)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017068455A (ja) * 2015-09-29 2017-04-06 株式会社エヌエステイー 搬送車システム

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS518270A (en) * 1974-07-11 1976-01-23 Sumitomo Chemical Co 22 okiso imidazorijin 4*55 jikarubonsanruino seiho
JPH07123520A (ja) * 1993-10-20 1995-05-12 Daifuku Co Ltd 電車利用の搬送装置
JPH09252501A (ja) * 1996-03-18 1997-09-22 Hitachi Cable Ltd 自走式台車の非常停止装置
JP2001197603A (ja) * 2000-01-13 2001-07-19 Toyota Autom Loom Works Ltd 非接触給電システム及びそのシステムに用いられる車両
JP4860420B2 (ja) * 2006-10-12 2012-01-25 株式会社日立プラントテクノロジー 天井搬送車の投入離脱装置
JP5110405B2 (ja) * 2010-04-07 2012-12-26 村田機械株式会社 走行台車システム
JP5720954B2 (ja) * 2012-03-06 2015-05-20 株式会社ダイフク 天井搬送車の清掃装置
DE102013218394A1 (de) * 2013-09-13 2015-03-19 Krones Ag Vorrichtung und Verfahren zur Wartung von Transportelementen in einer Behälterbehandlungsanlage
JP2015107880A (ja) * 2015-02-02 2015-06-11 株式会社ダイフク 天井搬送車の清掃装置
JP6507897B2 (ja) * 2015-07-10 2019-05-08 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP6642577B2 (ja) * 2015-08-14 2020-02-05 村田機械株式会社 搬送システム
JP6728735B2 (ja) * 2016-02-08 2020-07-22 株式会社ダイフク 物品搬送設備
KR20190009371A (ko) * 2016-06-27 2019-01-28 무라다기카이가부시끼가이샤 반송 시스템
JP7123520B2 (ja) 2016-07-22 2022-08-23 株式会社タイトー 動画記録装置、動画生成方法、及びプログラム
JP6776889B2 (ja) * 2016-12-27 2020-10-28 株式会社ダイフク 搬送台車

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017068455A (ja) * 2015-09-29 2017-04-06 株式会社エヌエステイー 搬送車システム

Also Published As

Publication number Publication date
JP7276468B2 (ja) 2023-05-18
CN114269668A (zh) 2022-04-01
EP4023571A4 (en) 2023-10-04
TW202116647A (zh) 2021-05-01
IL290648A (en) 2022-04-01
JPWO2021039105A1 (ko) 2021-03-04
KR20220051379A (ko) 2022-04-26
WO2021039105A1 (ja) 2021-03-04
EP4023571A1 (en) 2022-07-06
CN114269668B (zh) 2023-04-18
US20220344189A1 (en) 2022-10-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101463473B1 (ko) 이송 장치
US7887278B2 (en) Overhead travelling carriage system
TW200409721A (en) Overhead traveling carriage system
CN109415163B (zh) 输送系统
JP2012111635A (ja) 搬送システム及び搬送方法
WO2017029873A1 (ja) 搬送車システム
JP4200387B2 (ja) 搬送システム
JP7224725B2 (ja) 搬送システム
JP5549757B2 (ja) 搬送システム
JPH10250835A (ja) 天井走行車システム
TWI817000B (zh) 搬送系統
KR102637694B1 (ko) 주행차 시스템
CN113557186B (zh) 行驶车系统
TWI839565B (zh) 行走車系統
WO2024038671A1 (ja) 走行車システム
JP2000124284A (ja) 搬送装置
JP7480797B2 (ja) 天井搬送車システム
WO2022149305A1 (ja) 天井保管システム
WO2023218818A1 (ja) 天井搬送車
CN116605602A (zh) 保管架及搬送车系统
CN115427329A (zh) 输送车系统
JP2003261026A (ja) 搬送システム

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant