JPH10250835A - 天井走行車システム - Google Patents

天井走行車システム

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JPH10250835A
JPH10250835A JP8214097A JP8214097A JPH10250835A JP H10250835 A JPH10250835 A JP H10250835A JP 8214097 A JP8214097 A JP 8214097A JP 8214097 A JP8214097 A JP 8214097A JP H10250835 A JPH10250835 A JP H10250835A
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conveyor
traveling vehicle
overhead traveling
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work
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保 塩飽
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 クリーンルーム内の空きスペースを利用し
て、処理装置間のワークの先入れ先だし型の保管用バッ
ファーを設け、かつ保管用バッファーに対する天井走行
車の停止制御を簡単にする。 【構成】 天井走行車のレール1でコンベア42を吊持
し、コンベア42の一端付近に入庫ステーション49を
他端付近に出庫ステーション50を設け、天井走行車か
ら受け取ったワークを入庫ステーション49側から出庫
ステーション50側へ移動させる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の利用分野】この発明は、ワーク搬送用の天井走
行車システムに関する。
【0002】
【従来技術】天井走行車システムは、工場や倉庫などで
ワークを搬送するためのものである。このシステムで
は、これらの建物の天井に沿ってレールを敷設し、この
レールに沿って天井走行車を走行させ、所望の位置間で
ワークを搬送する。天井走行車がワークを荷積みあるい
は荷降ろしする位置はステーションと呼ばれ、天井走行
車はこのステーションの直上部で停止するように制御さ
れる。ところでステーションがワークで一杯でこれ以上
ワークを収容できない場合、ワークを一時的に保管する
バッファが必要になる。そしてバッファを設けると、そ
の分だけスペースが占有される。このことは例えばクリ
ーンルームの場合、スペースが貴重なため問題となる。
【0003】
【発明の課題】この発明の課題は、以下の点にある(請
求項1〜3)。 1) レール下部の空きスペースにコンベアを設けてワー
クの保管に利用し、スペースを有効に利用すること。 2) 上記のコンベアに対する天井走行車の停止位置の数
を減少させ、天井走行車の停止制御を簡単にすること。
請求項2での追加の課題は、 3) コンベアを用いて先入れ先出しでワークを保管でき
るようにし、先に受け入れたワークから搬出されるよう
にすることにある。請求項3での追加の課題は、 4) クリーンルーム内のスペースを有効に利用し、上記
のコンベアをワークの処理装置間のバッファとして処理
装置間の作業タイミングのずれを吸収し、かつ天井走行
車システムのレールをコンベアの吊持に利用して、コン
ベアの設置を簡単にすることにある。
【0004】
【発明の構成】この発明は、建物の天井に沿ってレール
を敷設し、該レールに沿ってワーク搬送用の天井走行車
を走行させるようにした天井走行車システムにおいて、
前記レールと建物の床面との間にワーク保管用のコンベ
アを吊持すると共に、該コンベア上の前記レール直下の
所定位置をワークの受渡しステーションに割り当て、該
ステーションで前記コンベアと天井走行車との間でワー
クを受渡しするようにしたことを特徴とする。コンベア
の種類はベルトコンベアに限らず、スラットコンベア,
ローラコンベア等の、上面にワークを載置して搬送でき
るものであれば、任意のコンベアを用いることができ
る。またコンベアの所定位置をワークの受渡しステーシ
ョンに割り当てるとは、受渡しステーションの直上部で
停止し得るように天井走行車を構成し、かつ天井走行車
からワークを受け取る際に当該ステーションを空きに
し、天井走行車へワークを渡す際に当該ステーションに
渡すべきワークを配置するように、ワークを構成するこ
とを意味する。
【0005】受渡しステーションは、例えばコンベア当
たり1〜3箇所程度設け、好ましくはステーションをコ
ンベアに一対設けて、一方のステーションで受け取った
ワークを、コンベアにより他方のステーションへと移動
させて、他方のステーションから天井走行車で搬出する
ようにする。
【0006】また好ましくは、天井走行車システムをク
リーンルーム内に設けて、前記レールに沿ってワーク処
理装置を設けると共に、前記コンベアを前記ワーク処理
装置に対応させて配置しかつ前記レールにより吊持す
る。
【0007】
【発明の作用と効果】この発明では、レールと建物の床
面との間にワーク保管用のコンベアをレール等で吊持す
るので、レール下部の空きスペースをワークの保管に利
用できる。そしてコンベアのレール直下の所定位置をワ
ークの受渡しステーションに割り当てるので、受け取っ
たワークをコンベアの受渡しステーション以外の位置へ
移動できる。この結果、天井走行車は受渡しステーショ
ンの直上部でのみ停止すれば良いので、天井走行車の停
止位置が減少し、停止制御が容易になる。
【0008】好ましくは受渡しステーションをコンベア
に一対設け、一方のステーションで受け取ったワーク
を、コンベアで他方のステーション側へと移動させる。
このようにすれば先に受け取ったワークから先に搬出さ
れ、工場での製造順にあるいは倉庫での入庫順にワーク
が搬出されることになる。
【0009】ここでこの発明の天井走行車システムをク
リーンルーム内に設置すると、クリーンルーム内の貴重
なスペースを有効利用できる。そして前記コンベアをワ
ークの処理装置と対応させて配置すると、コンベアで処
理装置間の作業タイミングのずれを吸収できる。またコ
ンベアをレールで吊持すると、コンベアの設置が簡単に
なる。
【0010】
【実施例】図1〜図10に実施例を示す。図1はワーク
保管用のコンベアを除いた天井走行車システムの概要を
示し、1はレールで例えばクリーンルームの天井に沿っ
て敷設し、2はこのレール1に沿って走行する天井走行
車で、3,3は一対の台車である。4は台車3の下部の
巻き上げユニットで、昇降台5をベルトやロープ等の吊
持材で昇降させ、6は搬送対象のワークである。なおこ
こにワークは、物品そのものやあるいは物品を収容した
ケース等を意味する。そして実施例の場合、ワーク6は
半導体基板や液晶基板等を収容したケースからなる。図
2に台車3の構造を示すと、10は走行モータで、ギア
12を介して走行車輪14を駆動し、16は台車3をレ
ール1に沿ってスムーズに走行させるためのガイドロー
ラである。台車3の底部にはピボット軸18があり、巻
き上げユニット4等の天井走行車本体をピボット連結し
ている。
【0011】図3に移り、20はレール支持部材で、2
2はボルト、24はそのカバーで、ボルト22によりレ
ール支持部材20をクリーンルームの天井26に固着す
る。そしてレール1の上部の位置に、後述のベルトコン
ベア42の支持フレーム30が固着されている。なおこ
の明細書では、レール支持部材20をレール1の一部と
して扱い、支持フレーム30を文字通りにレール1に固
着するか、レール支持部材20に固着するかは任意であ
る。32はレール1に設けた架線で、34は台車3の集
電子である。36は通信ケーブルで、天井走行車2と後
述のホストコンピュータ52間の通信並びにベルトコン
ベア42とホストコンピュータ間の通信に用いる。なお
通信ケーブル36からは図示しない分岐線等により、フ
レーム30を介してベルトコンベア42へと信号線が送
られているものとする。同様に架線32からも図示しな
い分岐線等により、ベルトコンベア42へ電源が供給さ
れているものとする。38は停止位置を示すマーク、4
0はマーク38の読み取りセンサである。
【0012】図4に、クリーンルーム内でのベルトコン
ベア42の配置を示す。前記のようにレール1の上部で
支持フレーム30によりベルトコンベア42が吊持さ
れ、44はコンベア軸で、ベルトコンベア42は例えば
5個程度のワーク6を収容できるものとする。
【0013】図5にベルトコンベア42の構成を示す
と、46はコントローラで、通信ケーブル36を介して
ホストコンピュータ52と接続され、48は架線32と
接続されたモータである。そしてホストコンピュータ5
2からの指令によりコントローラ46が動作し、この信
号でモータ48を介してベルトコンベア42を図の矢印
方向に運動させる。ベルトコンベア42の図での右端が
入庫ステーション49となり、左端が出庫ステーション
50となる。52は前記のホストコンピュータで、天井
走行車2やベルトコンベア42と通信してこれらを制御
する。図6にベルトコンベア42の動作を示すと、天井
走行車2の昇降台5はワーク6を把持して入庫ステーシ
ョン49へと降下し、ここでベルトコンベア42上にワ
ーク6を着床させて荷降ろしする。荷降ろしされたワー
ク6はベルトコンベア42により出庫ステーション50
側へと搬送され、出庫ステーション50から昇降台5に
より把持されて搬出される。
【0014】図7に、変形例の循環型のコンベア54を
示す。このコンベア54では、レール1の直下の位置5
5,56を入出庫ステーションとし、ステーション55
へ荷降ろしされたワーク6はコンベア54によりステー
ション56へと送られ、ステーション56に荷降ろしさ
れたワークはステーション55へと送られる。なおコン
ベア42,54はベルトコンベアとしたが、これ以外に
チェーンコンベアやスラットコンベア、あるいはローラ
コンベア等でも良い。
【0015】図8,図9に天井走行車システムの配置を
示すと、60は成膜装置や不純物注入装置あるいは洗浄
装置等のワークの処理装置で、61,62はそのステー
ションで、例えばステーション61で天井走行車2から
ワーク6を受け取り、処理装置60内に搬送して、ケー
スを外した後に内部の基板等を取り出して処理を行う。
そして再度処理装置60内でケースに収容し、ステーシ
ョン62から搬出する。このようにステーション61,
62は工程間でのバッファを兼ねている。ベルトコンベ
ア42は例えば処理装置60,60間にレール1に沿っ
て配置し、例えば図の場合、左右の処理装置間のバッフ
ァにベルトコンベア42を用い、右側の処理装置で処理
が終った後、左側の処理装置に移す前のバッファとして
用いる。このようにすれば、処理装置60のステーショ
ン61,62の収容能力を小さくでき、それだけクリー
ンルームの容積を有効利用できる。
【0016】コンベア42は例えば図9に示すように処
理装置60と対応付けて配置され、図9のコンベア42
aは処理装置60aの手前のバッファとして用い、コン
ベア42bは処理装置60aの出口側のバッファとして
用いる。同様にコンベア42cは処理装置60bの手前
側のバッファとして用い、コンベア42dは処理装置6
0b,60c間のバッファとして用いる。このようにコ
ンベア42は処理装置60と1:1に対応するもの(コ
ンベア42a,b,c)及び処理装置60と1:2に対
応するもの(コンベア42d)の2種類がある。
【0017】図10にコンベア42の動作を示すと、ホ
ストコンピュータ52からワーク6の入庫が指令される
と、コントローラ46はコンベア42内のワーク6の在
庫数を調べ、あと1個でフルになるかどうかをチェック
する。いずれの場合も予め空けておいた入庫ステーショ
ン49に昇降台5からワーク6を荷降ろしさせて、ワー
ク6の荷降ろしが終了したことを確認する着床信号が到
着するのを待ち、コントローラ46の在庫数のカウンタ
ーを1アップする。コンベア42がワーク6の着床によ
りフルになった場合、フル信号をホストコンピュータ5
2に報告する。これ以外の場合は、コンベア42をワー
ク6の1個分前進させて、ワーク6を出庫ステーション
50側に各々1ステップずつ移動させる。
【0018】ホストコンピュータ52から出庫の指令が
到着すると、出庫ステーション50にワーク6が存在す
るかどうかをチェックし、存在しない場合、出庫ステー
ション50まで先頭のワーク6を前進させる。次に昇降
台5でワーク6のチャックが完了したことを示す信号が
ホストコンピュータ52を介して到着するのを待ち、そ
の後コンベア42をワーク1個分進め、コントローラ4
6内の在庫数を示すカウンターを1減算する。
【0019】実施例では、クリーンルーム内の空きスペ
ースを有効に利用でき、特にレール1の下部の空きスペ
ースを有効に利用できる。そしてベルトコンベア42は
処理装置60,60間のバッファとして用いることがで
きるので、処理装置60のステーション61,62の規
模を小さくしても、処理装置間の工程のタイムラグを吸
収できる。ベルトコンベア42はレール1に支持フレー
ム32により吊持され、ベルトコンベア42の設置や位
置合わせは簡単である。そしてベルトコンベア42は入
庫ステーション49と出庫ステーション50の2点に対
して天井走行車2を停止させれば良いので、停止位置が
減少する。そのためレール1に設けるマーク38の数を
減少でき、停止制御が簡単になる。またコンベア42で
は、先入れ先出しで先に受け入れたワーク6から先に搬
出されるので、古いワークほど先に次の工程に送られる
ことになる。またコントローラ46はコンベア42での
ワーク6の在庫数をカウントし、常に入庫ステーション
49を空きにして、他は各ワーク6が連続して並ぶよう
に管理すればよく、個々のワーク6がコンベア42のど
の位置にあるかの管理は不要になる。このためコンベア
42の管理も簡単になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 実施例の天井走行車の斜視図
【図2】 実施例の天井走行車の台車の要部正面図
【図3】 実施例の天井走行車の台車部の鉛直面での
要部断面図
【図4】 実施例の要部側面図
【図5】 実施例でのコンベアの周囲の正面図
【図6】 実施例でのコンベアの動作を示す図
【図7】 変形例でのコンベアを示す平面図
【図8】 実施例でのコンベアと処理装置の配置を示
す正面図
【図9】 実施例の配置を示す平面図
【図10】 実施例の動作フローチャート
【符号の説明】
1 レール 2 天井走行車 3 台車 4 巻き上げユニット 5 昇降台 6 ワーク 10 走行モータ 12 ギア 14 走行車輪 16 ガイドローラ 18 ピボット軸 20 レール支持部材 22 ボルト 24 カバー 26 天井 30 支持フレーム 32 架線 34 集電子 36 通信ケーブル 38 マーク 40 読み取りセンサ 42 ベルトコンベア 44 コンベア軸 46 コントローラ 48 モータ 49 入庫ステーション 50 出庫ステーション 52 ホストコンピュータ 54 コンベア 55,56 入出庫ステーション 60 処理装置 61,62 ステーション

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 建物の天井に沿ってレールを敷設し、該
    レールに沿ってワーク搬送用の天井走行車を走行させる
    ようにした天井走行車システムにおいて、 前記レールと建物の床面との間にワーク保管用のコンベ
    アを吊持すると共に、該コンベア上の前記レール直下の
    所定位置をワークの受渡しステーションに割り当て、該
    ステーションで前記コンベアと天井走行車との間でワー
    クを受渡しするようにしたことを特徴とする、天井走行
    車システム。
  2. 【請求項2】 前記ステーションを前記コンベアに一対
    設けて、一方のステーションで受け取ったワークを、前
    記コンベアにより他方のステーションへと移動させて、
    他方のステーションから天井走行車で搬出するようにし
    たことを特徴とする、請求項1の天井走行車システム。
  3. 【請求項3】 天井走行車システムをクリーンルーム内
    に設けて、前記レールに沿ってワーク処理装置を設ける
    と共に、前記コンベアを前記ワーク処理装置に対応させ
    て配置しかつ前記レールにより吊持したことを特徴とす
    る、請求項1または2の天井走行車システム。
JP9082140A 1996-09-30 1997-03-13 天井走行車システム Expired - Lifetime JP3067682B2 (ja)

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