CN102869587B - 物品输送设备 - Google Patents

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Abstract

中间搁架（5）配置在比物品交接部（4）靠上方且比顶棚输送车（2）靠下方，中间移载装置（6）通过使移载装置用把持部（7）相对于中间搁架（5）及物品交接部（4）升降而自如移载物品（W），所述中间移载装置（6）在与顶棚输送车（2）及物品交接部（4）上下重叠的状态下，遍及交接部用移载位置、中间搁架用移载位置、避免顶棚输送车（2）在与物品交接部（4）或中间搁架（5）之间移载物品时的干涉的交接时退避位置及临时放置时退避位置，以受导引支承体（17）导引支承的状态沿着行进方向移动自如地设置，导引支承体（17）构成为形成空间，当顶棚输送车（2）移载物品（W）时把持部（3）及物品（W）能够在上下方向上通过所述空间。

Description

物品输送设备
技术领域
本发明涉及一种物品输送设备，所述物品输送设备设有：顶棚输送车，沿着配置在顶棚侧的行进轨道行进自如，且升降自如地具备支承物品的把持部，在与设在地板侧的物品交接部之间自如移载物品；中间搁架，配置在比上述物品交接部靠上方且比上述顶棚输送车靠下方，将相对于上述物品交接部移载的物品临时放置。
背景技术
如果通过顶棚输送车在与物品交接部之间交接物品的处理连续，则因该物品交接部处的物流处理量增大等，要进行相对于该物品交接部的物品的交接的顶棚输送车形成等待队列，在行进轨道上可能发生顶棚输送车拥堵的状况。所以，以往为了顶棚输送车的拥堵防止，设有将在与物品交接部之间交接的物品临时放置的中间搁架（例如，参照专利文献1）。
在上述专利文献1的物品输送设备中，作为顶棚输送车的输送台车16通过使作为把持部的指164升降，能够相对于作为中间搁架的保管搁架3－1～3－8移载物品。这样，在专利文献1的物品输送设备中，通过用顶棚输送车在与中间搁架之间移载物品，能够防止顶棚输送车的拥堵，但顶棚输送车仅在与中间搁架之间自如移载物品。即，由于中间搁架在顶棚输送车与物品交接部之间配置在与它们上下重叠的位置上，所以中间搁架对于被上下升降操作的把持部成为障碍，不能相对于作为物品交接部的运入端口（port）51a及运出端口51b直接移载物品。相对于物品交接部的物品的移载通过移载装置2进行。移载装置2具备使物品在上下方向上升降的升降机构23、使物品在横宽方向上移动的伸缩机构24、把持物品的把持机构25等，在输送台车16的行进方向观察，配置在从输送台车16、运入端口51a及运出端口51b位于的场所在横宽方向上离开的位置上，构成为，通过由伸缩机构24使物品在横宽方向上移动，向中间搁架及物品交接部的两者自如地移载物品。
作为设有中间搁架并且构成为顶棚输送车能够相对于物品交接部直接移载物品的物品输送设备，已知有在从物品交接部的俯视位置在横宽方向上离开的位置上将两台顶棚输送车上下重叠配置、将中间搁架设在下层的顶棚输送车的行进轨道的上部的结构（例如，参照专利文献2的图4）。
在专利文献2的物品输送设备中，在顶棚输送车的行进方向观察，在从物品交接部在横宽方向上离开的位置上上下重叠配置中间搁架及两台顶棚输送车，在顶棚输送车上设置将把持部在横宽方向上横动操作的横动操作单元，由此能够通过上层的顶棚输送车在与中间搁架之间移载物品，并且在与物品交接部之间也能够直接移载物品。
专利文献1：特开2005－150129号公报（图3及图4）
专利文献2：特开2007－331906号公报（图4）。
发明内容
在上述专利文献1的物品输送设备中，如上述那样，不能由顶棚输送车直接进行相对于物品交接部的物品的移载，在相对于物品交接部移载物品的情况下，必定伴随着由移载装置2进行的物品的移载，频繁地发生物品的换持，不能进行平顺的物品输送，在输送效率这一点上并不优选。
在上述专利文献2的物品输送设备中，虽然能够通过顶棚输送车在与物品交接部之间直接移载物品，但需要在顶棚输送车上设置将把持部在横宽方向上横动操作的横动操作单元，顶棚输送车的结构变复杂。
此外，在上述专利文献1的物品输送设备中，移载装置2在顶棚输送车的行进方向观察配置在从顶棚输送车及物品交接部位于的场所在横宽方向上离开的位置上，所以在横宽方向上占用较大的范围。在专利文献2的物品输送设备中，上层的顶棚输送车、下层的顶棚输送车和中间搁架在上下重叠的状态下配置，它们的俯视下的位置为从物品交接部的俯视位置在顶棚输送车的横宽方向上离开的位置，在比物品交接部靠上方侧的空间中，在顶棚输送车的横宽方向上占用较大的范围。这样，在专利文献1及专利文献2的物品输送设备的哪个中，都在比物品交接部靠上方侧的空间中、在顶棚输送车的横宽方向上占用较大的范围，在物品交接部的周边需要较大的设置空间。因而，有可能发生在物品交接部的周边不能确保设置其他装置的空间等的问题，在设置空间这一点上是不利的。
另外，关于物品交接部的上方空间的效率的利用，如专利文献2的图2所示，可以考虑将两台顶棚输送车与物品交接部上下重叠配置。在此情况下，上层的顶棚输送车能够将物品临时放置到设在下层的顶棚输送车的行进轨道上的中间搁架（下缓冲区26）上，但下层的顶棚输送车的行进轨道成为障碍，所以不能用上层的顶棚输送车相对于物品交接部直接移载物品。
本发明是鉴于上述实际情况而做出的，其目的是提供一种在避免顶棚输送车的结构的复杂化的同时、在设置空间的方面较有利、并且能够将物品平顺地输送的物品输送设备。
为了达到该目的，有关本发明的物品输送设备的第1特征结构，是一种物品输送设备，设有：顶棚输送车，沿着配置在顶棚侧的行进轨道行进自如，且升降自如地具备支承物品的把持部、在与设在地板侧的物品交接部之间自如移载物品；中间搁架，配置在比上述物品交接部靠上方且比上述顶棚输送车靠下方，临时放置相对于上述物品交接部移载的物品；其中，上述中间搁架在上述顶棚输送车的行进方向上配置在与上述物品交接部不同的位置上；上述顶棚输送车通过在停止在交接部用停止位置处的状态下使上述把持部升降，相对于上述物品交接部自如移载物品而构成，并且通过在停止在中间搁架用停止位置处的状态下使上述把持部升降，相对于上述中间搁架自如移载物品而构成，所述交接部用停止位置设定在与上述物品交接部在上下方向上重叠的位置上，所述中间搁架用停止位置设定在与上述中间搁架在上下方向上重叠的位置上；中间移载装置升降自如地具备保持物品的移载装置用把持部，在与上述中间搁架之间及与上述物品交接部之间自如移载物品，所述中间移载装置以与上述顶棚输送车及上述物品交接部上下重叠的状态，并且遍及在与上述物品交接部之间移载物品的交接部用移载位置、在与上述中间搁架之间移载物品的中间搁架用移载位置、当上述顶棚输送车在与上述物品交接部之间移载物品时避免与上述把持部及物品的干涉的交接时退避位置、以及当上述顶棚输送车在与上述中间搁架之间移载物品时避免与上述把持部及物品的干涉的临时放置时退避位置，在上述物品交接部与上述顶棚输送车之间的高度中沿着上述行进方向移动自如地设置；设有支承上述中间移载装置而导引沿着上述行进方向的移动的导引支承体；上述导引支承体构成为形成空间，当停止在上述交接部用停止位置及上述中间搁架用停止位置上的状态的上述顶棚输送车移载物品时上述把持部及物品能够沿上下方向通过所述空间。
根据本特征结构，中间搁架在顶棚输送车的行进方向上配置在与物品交接部不同的位置上，交接部用停止位置设定在与物品交接部在上下方向上重叠的位置上，中间搁架用停止位置设定在与中间搁架在上下方向上重叠的位置上，所以当顶棚输送车相对于物品交接部或中间搁架移载物品时，在顶棚输送车的行进方向观察，成为顶棚输送车、中间移载装置及物品交接部上下重叠的状态。由此，顶棚输送车在其行进方向观察横宽方向的位置与物品交接部的位置一致，顶棚输送车及物品交接部的横宽方向的占用宽度紧凑地收敛。因而，能够将物品交接部的上方空间遍及上下效率良好地利用，在设置空间的方面是有利的。
此外，中间移载装置在物品交接部与顶棚输送车之间的高度中沿着行进方向移动自如地设置，该中间移载装置的沿着行进方向的移动被导引支承体导引，所以中间移载装置及将其沿着行进方向移动自如地导引支承的导引支承体位于顶棚输送车的下方。这样，如果是中间移载装置及导引支承体位于顶棚输送车的下方的配置，则当用顶棚输送车使把持部下降以在与物品交接部之间移载物品时，把持部及物品有可能与位于顶棚输送车的下方的中间移载装置及导引支承体干涉。关于这一点，在本申请发明中，由于中间移载装置向交接时退避位置及临时放置时退避位置移动自如，所以当用顶棚输送车相对于物品交接部或中间搁架移载物品时，通过使中间移载装置退避到交接时退避位置或临时放置时退避位置，能够使得顶棚输送车的把持部及物品与中间移载装置不会干涉。此外，在支承中间移载装置而导引沿着行进方向的移动的导引支承体上形成有空间，当停止在交接部用停止位置及中间搁架用停止位置的状态的顶棚输送车移载物品时把持部及物品能够沿上下方向通过所述空间，所以当在停止在设定在与物品交接部在上下方向上重叠的位置上的交接部用停止位置、或设定在与中间搁架在上下方向上重叠的位置上的中间搁架用停止位置上的状态下使把持部升降时，把持部及物品不会与导引用支承体干涉。因而，在用顶棚输送车使把持部升降以相对于物品交接部或中间搁架移载物品的情况下，能够使把持部及物品升降以使其不与中间移载装置及导引支承体干涉。
这样，顶棚输送车通过在停止在交接部用停止位置上的状态下使把持部升降，能够不与中间移载装置及导引支承体干涉而相对于物品交接部移载物品，此外，通过在停止在中间搁架用停止位置上的状态下使把持部升降，能够不与中间移载装置及导引支承体干涉而相对于中间搁架移载物品。因而，为了避免与中间移载装置及导引支承体的干涉，不设置例如用来使把持部向顶棚输送车的外侧方突出以使把持部位于在顶棚输送车的行进方向观察处于在下方重叠的位置上的中间移载装置的存在范围的外侧的结构就足够，能够通过简单的结构的顶棚输送车避免与中间移载装置及导引支承体的干涉。
此外，中间移载装置通过在停止在交接部用移载位置上的状态下使移载装置用把持部升降，能够在与物品交接部之间移载物品，通过在停止在中间搁架用移载位置上的状态下使移载装置用把持部升降，能够在与中间搁架之间移载物品。因而，在顶棚输送车将物品临时放置在中间搁架上之后，中间移载装置能够将该物品交接给物品交接部，或者能够由中间移载装置从物品交接部承接物品、预先临时放置在中间搁架上、由顶棚输送车承接该物品。并且，能够通过顶棚输送车在与物品交接部之间直接移载物品。因而，能够驱使顶棚输送车及中间移载装置，根据顶棚输送车的运转状况、中间搁架上的物品的存在与否状况及物品交接部上的物品的存在与否状况等，选择适当的移载形态而平顺地进行物品输送。
如以上这样，根据本申请发明，能够得到避免顶棚输送车的结构的复杂化、并且在设置空间的方面是有利的、并且能够将物品平顺地输送的物品输送设备。
有关本发明的物品输送设备的第2特征结构是，上述导引支承体由一对下部导引轨道构成，所述一对下部导引轨道在形成保持着物品的上述把持部沿上下方向通过自如的间隙的状态下，在上述中间移载装置的移载装置横宽方向上隔开间隔配置。
根据本特征结构，当用顶棚输送车使把持部升降以在与物品交接部之间移载物品时，保持着物品的把持部能够沿上下方向通过在中间移载装置的移载装置横宽方向上隔开间隔配置的一对下部导引轨道间形成的间隙。一对下部导引轨道由于在移载装置横宽方向上隔开间隔配置，所以顶棚输送车的把持部能够在一对下部导引轨道的沿着行进方向的任意的部位沿上下方向通过。并且，通过用一对下部导引轨道导引中间移载装置的沿着行进方向的移动，能够将中间移载装置的移动稳定良好地导引。因而，虽然是简单的结构，但能够将中间移载装置的移动稳定良好地导引支承，并且不论顶棚输送车停止在哪个停止位置，都能够使把持部适当地通过。
有关本发明的物品输送设备的第3特征结构是，上述交接部用移载位置及上述中间搁架用移载位置以在上述行进方向上相邻的状态设定；控制上述中间移载装置的移动动作的控制单元构成为，控制中间移载装置的移动动作，以便当上述顶棚输送车在与上述物品交接部之间移载物品时使上述中间移载装置作为上述交接时退避位置而在上述中间搁架用移载位置待机，并且，当上述顶棚输送车在与上述中间搁架之间移载物品时使上述中间移载装置作为上述临时放置时退避位置而在上述交接部用移载位置待机。
根据本特征结构，由于交接部用移载位置及中间搁架用移载位置在行进方向上相邻，所以成为交接部用移载位置及中间搁架用移载位置在行进方向上集中设定，所以在交接部用移载位置与中间搁架用移载位置之间不产生沿着行进方向的浪费的空间。因此，能够使行进方向上的中间移载装置的移动范围尽可能变紧凑。
此外，控制单元能够当顶棚输送车在与物品交接部之间移载物品时使中间移载装置作为交接时退避位置而在中间搁架用移载位置待机、此外当顶棚输送车在与中间搁架之间移载物品时使中间移载装置作为临时放置时退避位置在交接部用移载位置待机，所以通过不特殊设置用于退避的位置而利用为了移载设定的位置作为退避用的位置，能够使行进方向上的中间移载装置的移动范围尽可能紧凑。因而，行进方向上的中间移载装置的移动距离较短就足够，所以中间移载装置的作业效率提高。
有关本发明的物品输送设备的第4特征结构是，上述中间移载装置通过上述移载装置用把持部自如地悬挂保持物品而构成；上述中间搁架以支承的物品的上端位于比由上述中间移载装置的上述移载装置用把持部保持的物品的下端靠下方的方式自如地载置支承物品而构成。
根据本特征结构，由于由移载装置用把持部悬挂保持的物品的下端为比由中间搁架支承的物品的上端高的位置，所以能够使保持着物品的中间移载装置相对于关于支承着物品的中间搁架的中间搁架用移载位置移动。因而，在使中间移载装置退避到中间搁架用移载位置以避免与顶棚输送车的移载动作的干涉的情况下，即使在中间搁架上保持着物品，也能够使用移载装置用把持部悬挂保持着物品的中间移载装置退避到关于该中间搁架的中间搁架用移载位置。这样，在中间搁架上保持着物品时和没有保持时没有变化，能够使中间移载装置退避到中间搁架用移载位置，所以使用方便性较好。
有关本发明的物品输送设备的第5特征结构是，上述交接部用移载位置以沿着上述行进方向排列的状态设定有多个；上述中间搁架对应于上述多个交接部用移载位置的上述行进方向上一侧及另一侧的两者而设置；上述中间搁架用移载位置设定在上述多个交接部用移载位置的上述行进方向上一侧及另一侧的两者上；上述交接部用停止位置在沿着上述行进方向排列的状态下、以与上述多个交接部用移载位置上下重叠的状态设定有多个；上述中间搁架用停止位置设定在上述多个交接部用停止位置的上述行进方向上一侧及另一侧的两者上。
根据本特征结构，由于交接部用移载位置以沿着行进方向排列的状态设定有多个，所以中间移载装置能够停止在多个交接部用移载位置的某个上而在与物品交接部之间移载物品。因而，中间移载装置能够在与物品交接部之间移载物品的机会变多，能够平顺地处理与物品交接部之间的物品的移载。并且，由于中间搁架对应于多个交接部用移载位置的行进方向上一侧及另一侧的两者而设置，所以中间搁架在行进方向上被分散配置。因此，不论中间移载装置位于行进方向上的哪个位置上，都能够使中间移载装置相对于关于某个中间搁架的中间搁架用移载位置迅速地移动，促进了利用中间搁架的平顺的物品输送。
此外，由于交接部用停止位置在沿着行进方向排列的状态下设定有多个，所以顶棚输送车能够停止在多个交接部用停止位置的某个上而在与物品交接部之间直接移载物品。因而，顶棚输送车能够在与物品交接部之间直接移载物品的机会变多，能够平顺地处理与物品交接部之间的物品的移载而促进顶棚输送车的拥堵的预防。并且，由于中间搁架对应于多个交接部用移载位置的行进方向上一侧及另一侧的两者而设置，所以在不能用顶棚输送车将物品相对于物品交接部直接移载的情况下能够相对于中间搁架临时放置物品的机会增加。相反，顶棚输送车承接中间移载装置临时放置在中间搁架上的物品的机会也增加。这样，能够驱使中间搁架而平顺地进行通过顶棚输送车的物品输送。
有关本发明的物品输送设备的第6特征结构是，在上述中间移载装置的移载装置横宽方向上相邻于上述中间搁架的位置上，沿着上述中间移载装置的移动方向排列设置有多个支承物品的备用中间搁架；上述中间移载装置具备将上述移载装置用把持部在上述移载装置横宽方向上横动操作的横动操作单元，通过上述移载装置用把持部的横动及升降，相对于上述备用中间搁架自如移载物品而构成。
根据本特征结构，通过在使中间移载装置停止的状态下由横动操作单元使移载装置用把持部横动操作，能够使移载装置用把持部在俯视下位于与中间搁架在移载装置横宽方向上相邻的位置。并且，通过在此状态下使移载装置用把持部升降操作，能够相对于备用中间搁架移载物品。因而，中间移载装置能够将顶棚输送车临时放置在中间搁架上的物品移载到备用中间搁架上。此外，通过将中间移载装置从物品交接部承接的物品临时放置到备用中间搁架上直到向顶棚输送车交接的时机到来，将中间搁架尽可能维持空闲状态，能够尽量维持顶棚输送车何时都能够临时放置物品的状态。因而，驱使中间搁架的缓冲能力提高，进一步促进了由顶棚输送车进行的平顺的物品输送。
有关本发明的物品输送设备的第7特征结构是，上述物品交接部交接物品处理装置的处理对象的物品而构成；上述物品处理装置沿着上述顶棚输送车的行进方向排列设置有多个；关于上述物品处理装置的一组移载对象群具备上述物品交接部及上述中间搁架而构成；对上述多个物品处理装置分别设置上述一组移载对象群；上述导引支承体构成为，在上述顶棚输送车的上述行进方向上导引移载对象群彼此之间的上述中间移载装置的移动。
根据本特征结构，由于中间移载装置通过导引支承体的导引，能够在关于多个物品处理装置的各自的移载对象群彼此之间移动，所以不仅是特定的移载对象群，也能够相对于其他移载对象群的物品交接部及中间搁架移动而移载物品。因此，即使不对多个移载对象群分别单独设置中间移载装置，也仅通过设置比多个移载对象群少的数量的中间移载装置，就能够对于多个移载对象群的物品交接部及中间搁架的全部进行物品的移载。这样，能够节约设定了多个移载对象群的情况下的中间移载装置的设置数。
此外，由于中间移载装置能够在关于多个物品处理装置的各自的移载对象群彼此之间移动，所以例如在将某个物品处理装置进行的处理完成后的物品向其他物品处理装置的移载对象群输送的情况下，能够代替将该输送对象的物品用顶棚输送车输送、而用中间移载装置输送。由此，能够减轻顶棚输送车的输送负担。
有关本发明的物品输送设备的第8特征结构是，上述物品交接部交接物品处理装置的处理对象的物品而构成；上述物品处理装置沿着上述顶棚输送车的行进方向排列设置有多个；关于上述物品处理装置的一组移载对象群具备上述物品交接部及上述中间搁架而构成；对上述多个物品处理装置分别设置上述一组移载对象群；上述中间移载装置以负责相对于关于上述多个物品处理装置的各移载对象群的物品的移载的形态，对上述多个移载对象群分别设置；上述导引支承体构成为，在上述中间移载装置在上述中间移载装置负责的上述移载对象群和其他中间移载装置负责的上述移载对象群之间相互驶入自如的状态下，导引上述中间移载装置的移动。
根据本特征结构，由于在各移载对象群中设有负责相对于该移载对象群的物品交接部及中间搁架的物品的移载的中间移载装置，所以能够将各移载对象群中的物品的移载通过负责各个移载对象群的中间移载装置进行。并且，由于导引支承体在中间移载装置在中间移载装置负责的移载对象群与其他中间移载装置负责的移载对象群之间相互驶入自如的状态下导引这些中间移载装置的移动，所以中间移载装置能够移动到与负责的移载对象群不同的其他移载对象群。因而，使多个中间移载装置移动到多个移载对象群中的移载需要较高者，通过多个中间移载装置相对于该移载对象群的物品交接部及中间搁架集中进行物品的移载，由此能够迅速地进行相对于移载需要较高的移载对象群的物品交接部及中间搁架的物品的移载。
进而，由于中间移载装置能够从关于负责的物品处理装置的移载对象群向关于其他物品处理装置的移载对象群移动，所以例如在将某个物品处理装置进行的处理完成的物品向其他物品处理装置的移载对象群输送的情况下，能够代替将该输送对象的物品用顶棚输送车输送、而用负责关于处理完成的物品处理装置的移载对象群的中间移载装置向其他物品处理装置的移载对象群输送。由此，能够减轻顶棚输送车的输送负担。
附图说明
图1是有关本发明的第1实施方式的物品输送设备的侧视图。
图2是有关本发明的第1实施方式的物品输送设备的主视图。
图3是图1的III－III向视俯视图。
图4是表示有关本发明的第1实施方式的顶棚输送车的停止位置及中间移载装置的移载位置的侧视图。
图5是图2的V－V向视侧视图。
图6是表示由有关本发明的第1实施方式的顶棚输送车进行的相对于物品交接部的移载动作的纵剖主视图。
图7是表示由有关本发明的第1实施方式的中间移载装置进行的相对于备用中间搁架的移载动作的纵剖主视图。
图8是表示由有关本发明的第1实施方式的中间移载装置进行的相对于中间搁架的移载动作的纵剖主视图。
图9是有关本发明的第1实施方式的控制框图。
图10是有关本发明的第2实施方式的物品输送设备的侧视图。
图11是图10的XI－XI向视俯视图。
图12是表示有关本发明的第2实施方式的中间移载装置的移载位置的侧视图。
图13是有关本发明的第3实施方式的物品输送设备的侧视图。
图14是图13的XIV－XIV向视俯视图。
具体实施方式
〔第1实施方式〕
基于附图说明有关本发明的物品输送设备的第1实施方式。如图1及图2所示，在物品输送设备中，设有沿着配置在顶棚侧的行进轨道1行进自如的顶棚输送车2。顶棚输送车2升降自如地具备支承物品W的把持部3，构成为，在停止在与设在地板侧的作为物品交接部的站点4在上下方向上重叠的位置上的交接部用停止位置Q1（Q1a～Q1c，参照图4）上的状态下，通过使把持部3升降，将物品W相对于站点4自如移载。行进轨道1具备直线区间和图外的曲线区间，但如图1及图2所示，在顶棚输送车2的行进方向（以下，单称作行进方向）上位于关于站点4的交接部用停止位置Q1的前后的区间为直线区间。
在比站点4靠上方、比顶棚输送车2的行进路径靠下方，以在行进方向观察与向站点4移载物品W的顶棚输送车2及站点4上下重叠的状态设有临时放置相对于站点4移载的物品W的中间搁架5。中间搁架5在行进方向上隔开间隔设有两个，配置在相同的高度。两个中间搁架5在顶棚输送车2的行进方向观察位于站点4的正上方，并且在俯视下在顶棚输送车2的行进方向上设在与站点4不同的位置上。
在比中间搁架5靠上方且比顶棚输送车2的行进路径靠下方，以在行进方向观察与顶棚输送车2及站点4上下重叠的状态设有沿着顶棚输送车2的行进方向移动自如的中间移载装置6。中间移载装置6升降自如地具备悬挂保持物品W的移载装置用把持部7，在与中间搁架5之间以及与站点4之间自如移载物品W而构成。
站点4在进行对物品W的检查及加工等处理的物品处理装置8（参照图2）的端部上，以比物品处理装置8的高度低的高度载置支承自如地设置物品W。由顶棚输送车2或中间移载装置6将交接给站点4的物品W取入到物品处理装置8的内部，将处理完成的物品W再次向站点4送出，由顶棚输送车2或中间移载装置6承接。另外，在本实施方式中，例示了顶棚输送车2将收存半导体基板的基板收存容器作为物品W输送的物品输送设备，物品处理装置8对收存在基板收存容器中的半导体基板进行检查及加工等处理。
在本实施方式中，站点4以能够将3个物品W以在行进方向上相邻排列的状态载置支承的方式设定行进方向的长度。即，在站点4上设定3个物品交接位置，作为当顶棚输送车2相对于这些物品交接位置交接物品W时停止的交接部用停止位置Q1，如图4所示，从顶棚输送车2的行进方向的上游起依次分别对应于3个物品交接位置而设定有第1交接部用停止位置Q1a、第2交接部用停止位置Q1b、及第3交接部用停止位置Q1c这3个。
行进轨道1具备在与行进方向在水平方向上正交的横宽方向上隔开间隔配置的一对轨道部件1a、1b而构成。一对轨道部件1a、1b由设在顶棚上的一对轨道支承部件9悬挂支承。
顶棚输送车2具备具有行进用马达51（参照图9）而在行进轨道1上行进的行进部10、和悬挂支承在行进部10上且升降移动及旋绕移动自如地支承物品W的主体部11而构成，在将行进部10与主体部11连结的连结体位于一对轨道部件1a、1b之间的状态下设置。主体部11具备保持物品W的把持部3、使支承把持部3的升降用支承体22升降移动的升降操作单元12、按照升降用支承体22使把持部3绕纵轴心旋绕的图外的旋绕操作单元、和将由把持部3保持的物品W的上方、前后两方及左右一方覆盖的盖体13而构成。此外，在主体部11上，以位于一对轨道部件1a、1b之间的方式设有受电线圈14，构成为，通过对沿着行进轨道1配设的供电线15通电交流电流而产生磁场，通过该磁场使受电线圈14产生在顶棚输送车2侧需要的电力，对顶棚输送车2以非接触状态进行供电。
升降操作单元12具备升降用马达52（参照图9）及旋转滚筒而构成，构成为，通过由升降用马达52的旋转动作将旋转滚筒向正反方向旋转驱动、将卷取带16卷取及放出，将升降用支承体22上下自如地升降操作。旋绕操作单元具备旋绕用马达53（参照图9），通过该旋绕用马达53的旋转驱动，将升降用支承体22绕纵轴心旋绕操作。在升降用支承体22上，支承着通过把持用马达54（参照图9）的动作将把持部3的姿势切换操作为把持物品W的把持姿势和将把持解除的把持解除姿势的切换机构。
并且，顶棚输送车2构成为，在停止在交接部用停止位置Q1上的状态下，通过由升降操作单元12将升降用支承体22升降操作、由旋绕操作单元将升降用支承体22旋绕操作、由切换机构将把持部3切换操作为把持姿势和把持解除姿势，相对于站点4自如移载物品W。
如图1及图2所示，中间搁架5以从缓冲用框体23的下部向下方侧突出的状态设置，所述缓冲用框体23被从顶棚悬挂支承。缓冲用框体23受9条搁架悬挂件24悬挂支承，所述9条搁架悬挂件24在沿行进方向排列的3个部位分别隔开比顶棚输送车2的行进路径的横宽宽度宽的间隔在横宽方向上排列3条的状态下设在顶棚上。搁架悬挂件24比悬挂支承行进轨道1的轨道支承部件9长相当于顶棚输送车2的上下高度的长度量。由此，如图2所示，在顶棚输送车2的行进路径在行进方向观察被一对搁架悬挂件24夹着的状态下，缓冲用框体23位于顶棚输送车2的行进路径的下方。
缓冲用框体23也如图3所示，将沿着行进方向的横水平部件25Y及沿着横宽方向的纵水平部件25T的多个水平部件25、和沿着上下方向的多个纵部件26等构成为框架结构。在位于缓冲用框体23的下部的水平部件25中的、在俯视下位于顶棚输送车2的行进路径的两外侧的一对横水平部件25Y上，在行进方向上在一侧和另一侧的端部部位的各自上，设有形成中间搁架5的中间搁架部件27。
如图3所示，中间搁架部件27具备：水平朝向的载置面部分27a，具有卡合到形成在物品W的底面上的定位用的3个卡合槽中而将物品W定位的3根定位销28；连接板部分27b，从该载置面部分27a的一侧的端部朝向上方；和连接板部分27c，从另一侧的端部朝向上方。通过将一侧的连接板部分27b的上端连接在横水平部件25Y上、将另一侧的连接板部分27c的上端用连结托架29对横宽方向上与一侧的横水平部件25Y相邻的另一横水平部件25Y连结，中间搁架部件27在载置面部分27a位于比缓冲用框体23的下端靠下方对应于物品W的高度的量的状态下固定在缓冲用框体23上（参照图8）。另外，所谓“对应于物品W的高度的量”，既可以为与物品W的高度相同的值，也可以为对物品W的高度加以调整的值。在本例中，如图8所示，载置面部分27a位于比缓冲用框体23的下端靠下方稍低于物品W的高度的高度量。通过这样的结构，以物品W的正面（基板收存容器的前面开口位于的面）朝向一侧的连接板部分27b的姿势（在图3中是朝向纸面左方的姿势）用载置面部分27a载置支承物品W。
如图3所示，由一对中间搁架部件27和将这些中间搁架部件27连接的一对横水平部件25Y（以下，设为中间搁架支承用横水平部件25Y）形成用来进行相对于站点4的3个物品交接部位的移载的开口。由此，顶棚输送车2如图1及图6所示，在停止在3个交接部用停止位置Q1（参照图4）的某个的状态下，通过使把持部3升降，能够对站点4移载物品W。此外，如图4所示，在顶棚输送车2的行进方向上，从上游起依次作为顶棚输送车2在相对于中间搁架5交接物品W时停止的中间搁架用停止位置Q2而设定第1中间搁架用停止位置Q2a及第2中间搁架用停止位置Q2b，通过在停止于设在与一对中间搁架5在上下方向上重叠的位置上的两个中间搁架用停止位置Q2的某个上的状态下使把持部3升降，能够相对于位于停止位置的正下方的中间搁架5移载物品W。
中间移载装置6也在停止在与站点4之间移载物品W的交接部用移载位置P1（参照图4）上的状态下，通过使移载装置用把持部7升降，能够相对于站点4移载物品W，此外，如图5及图8所示，通过在停止在设定于与中间搁架5在上下方向上重叠的位置上的中间搁架用移载位置P2处的状态下使移载装置用把持部7升降，能够相对于位于移载位置的正下方的中间搁架5移载物品W。关于中间移载装置6的交接部用移载位置P1也与顶棚输送车2的3个交接部用停止位置Q1同样，分别对应于站点4的3个物品交接位置而设定第1交接部用移载位置P1a、第2交接部用移载位置P1b及第3交接部用移载位置P1c这3个，关于中间移载装置6的中间搁架用移载位置P2也与顶棚输送车2的两个中间搁架用停止位置Q2同样，分别对应于一对中间搁架5，设定第1中间搁架用移载位置P2a和第2中间搁架用移载位置P2b这两个。
这样，将交接部用移载位置P1在沿着行进方向排列的状态下设定多个，中间搁架5对应于这些多个交接部用移载位置P1（第1交接部用移载位置P1a、第2交接部用移载位置P1b及第3交接部用移载位置P1c）的行进方向上一侧及另一侧的两者而设置，中间搁架用移载位置P2设定在多个交接部用移载位置P1的行进方向上一侧及另一侧的两者上（参照图4）。
如图2、图3及图4所示，在连接连结托架29的横水平部件25Y、与关于该横水平部件25Y位于连接着连接板部分27b的上端的横水平部件25Y的相反侧的横水平部件25Y（在图3中是位于纸面右端的横水平部件25Y）之间，以在行进方向上排列的状态设有多个备用中间搁架30。在备用中间搁架30的各自上，与中间搁架部件27的载置面部分27a同样，具备3根定位销28，以与在物品W的正面朝向连接板部分27b的姿势下载置支承在载置面部分27a上的物品W相同的姿势，将物品W用备用中间搁架30载置支承。
详细情况后述，但在顶棚输送车2的行进路径的正下方沿着行进方向移动自如的中间移载装置6具备将升降自如地设置的移载装置用把持部7在移载装置横宽方向上横动操作的横动操作单元31，在停止在对备用中间搁架30分别预先设定的移载用的停止位置的某个处的状态下，使移载装置用把持部7横动及升降，相对于备用中间搁架30移载物品W。这样，在中间移载装置6的移载装置横宽方向上相邻于中间搁架5的位置上，沿着中间移载装置6的移动方向排列设置有多个支承物品W的备用中间搁架30，中间移载装置6具备将移载装置用把持部7在移载装置横宽方向横动操作的横动操作单元31，通过移载装置用把持部7的横动及升降相对于备用中间搁架30自如移载物品W而构成。另外，在本实施方式中，备用中间搁架30的俯视的关于行进方向的位置与下述位置一致，所述位置是关于与该备用中间搁架30在横宽方向上相邻的中间搁架5及站点4的物品交接位置的俯视的关于行进方向的位置，所以中间移载装置6的关于各备用中间搁架30的移载用的停止位置在俯视下与关于与该备用中间搁架30在横宽方向上相邻的中间搁架5及站点4的物品交接位置的移载用的停止位置是共通的。即，多个交接部用移载位置P1（第1交接部用移载位置P1a、第2交接部用移载位置P1b及第3交接部用移载位置P1c）及多个中间搁架用移载位置P2（第1中间搁架用移载位置P2a及第2中间搁架用移载位置P2b）分别为关于各备用中间搁架30的移载用的停止位置。
如上所述，中间移载装置6作为交接部用移载位置P1而向第1交接部用移载位置P1a、第2交接部用移载位置P1b及第3交接部用移载位置P1c这3个移载位置、作为中间搁架用移载位置P2而向第1中间搁架用移载位置P2a及第2中间搁架用移载位置P2b这两个移载位置移动自如，在停止在这些移载位置的某个处的状态下进行相对于站点4的移载及相对于中间搁架5的移载。以下，对中间移载装置6的移动动作及移载动作进行说明。
中间移载装置6遍及在与站点4之间移载物品W的交接部用移载位置P1、在与中间搁架5之间移载物品W的中间搁架用移载位置P2、在顶棚输送车2在与站点4之间移载物品W时避免与把持部3及物品W的干涉的交接时退避位置P3、及在顶棚输送车2在与中间搁架5之间移载物品W时避免与把持部3及物品W的干涉的临时放置时退避位置P4，在站点4与顶棚输送车2之间的高度中沿着行进方向移动自如地设置。
在缓冲用框体23上，设有支承中间移载装置6而导引沿着行进方向的移动的导引支承体17。该导引支承体17构成为，形成当停止在交接部用停止位置Q1及中间搁架用停止位置Q2处的状态的顶棚输送车2移载物品W时把持部3及物品W能够沿上下方向通过的空间。具体而言，导引支承体17在形成保持着物品W的把持部3沿上下方向通过自如的间隙的状态下，由在中间移载装置6的移载装置横宽方向上隔开间隔配置的一对下部导引轨道18、19构成。
如图2、图5、图7及图8所示，一对下部导引轨道18、19安装在两根轨道安装部件20、21的下表面上，所述两根轨道安装部件20、21在缓冲用框体23的上部将在行进方向上位于两端部的一对纵水平部件25T连结。在设在中间移载装置6的上部的移动基材32的移载装置横宽方向的两端部上，以固定状态设有滑动自如地卡合到一对下部导引轨道18、19上的滑块34、35。在行进方向观察，在移动基材32的一侧的端部上安装有被操作托架33。被操作托架33具备将下端部弯曲形成的水平部分33a，在卷挂在横轴心的带齿驱动带轮36a及从动带轮36b上的纵向卷绕面的移动操作用同步带38的上侧卷绕部分的上表面上，连接着被操作托架33的水平部分33a。
并且，通过将使移动操作用同步带38卷绕动作的移动操作用马达37向正反方向旋转驱动，能够将移动基材32沿着一对下部导引轨道18、19往复直线移动操作。即，通过控制移动操作用马达37的旋转动作，能够控制中间移载装置6的沿着行进方向的移动动作。另外，关于中间移载装置6的沿着行进方向的移动动作的定位控制，既可以使用伺服马达作为移动操作用马达37通过伺服控制来进行，也可以作为检测中间移载装置6的沿着行进方向的移动路径上的位置的位置检测单元而对应于中间移载装置6的第1交接部用移载位置P1a、第2交接部用移载位置P1b、第3交接部用移载位置P1c及第1中间搁架用移载位置P2a、第2中间搁架用移载位置P2ba的各位置而设置多个光电传感器，基于这些传感器的检测信息进行定位控制。
在本实施方式中，以在行进方向上相邻的状态设定交接部用移载位置P1及中间搁架用移载位置P2，以使中间移载装置6能够沿着一对下部导引轨道18、19效率良好地移动。形成中间搁架5的中间搁架部件27如上述那样，在载置面部分27a位于比缓冲用框体23的下端靠下方对应于物品W的高度的量的状态下固定在缓冲用框体23上，中间搁架5构成为，能够以支承的物品W的上端位于比由中间移载装置6的移载装置用把持部7保持的物品W的下端靠下方的方式载置支承物品W。由此，即使在中间搁架5上临时放置物品W，物品保持状态的中间移载装置6也能够移动到关于该中间搁架5的中间搁架用移载位置P2。因而，能够使用中间搁架用移载位置P2作为交接时退避位置P3。
在本实施方式中，在顶棚输送车2停止在3个交接部用停止位置Q1的某个处的状态下在与站点4之间进行物品W的移载的情况下，选择第1中间搁架用移载位置P2a及第2中间搁架用移载位置P2b以及交接部用移载位置P1（3个中的两个）的某个作为退避用的移载位置，所述交接部用移载位置P1处于与该顶棚输送车2停止的交接部用停止位置Q1在行进方向上不同的位置上。因而，在本实施方式中，交接部用移载位置P1及中间搁架用移载位置P2的两者能够作为交接时退避位置P3发挥功能（参照图4）。
此外，在顶棚输送车2停止在两个中间搁架用停止位置Q2的某个处的状态下在与中间搁架5之间进行物品W的移载的情况下，选择第1交接部用移载位置P1a、第2交接部用移载位置P1b及第3交接部用移载位置P1c以及中间搁架用移载位置P2（两个中的1个）的某个作为退避用的移载位置，所述中间搁架用移载位置P2处于与该顶棚输送车2停止的中间搁架用停止位置Q2在行进方向上不同的位置上。因而，在本实施方式中，交接部用移载位置P1及中间搁架用移载位置P2的两者能够作为临时放置时退避位置P4发挥功能（参照图4）。这样，在本实施方式中，交接部用移载位置P1及中间搁架用移载位置P2的两者作为交接时退避位置P3及临时放置时退避位置P4的哪个都能够发挥功能。
如图7及图8所示，在中间移载装置6的移动基材32的上表面上，设有将导引块39在移载装置横宽方向上移动操作自如的滚珠丝杠40。导引块39连结在多段式的滑动叉42具备的底叉的进退方向的后退侧端部上，所述多段式的滑动叉42将升降支承体41在移载装置横宽方向上进退操作。滑动叉42的各段在通过直线运动导引机构相互卡合的状态下通过联系带43连动连结，构成为，通过相对于底叉的进退操作，能够使经由升降操作单元45及旋绕操作单元46连结在主叉上的升降支承体41进退。并且，通过将使滚珠丝杠40的螺杆40a旋转驱动的横动操作用马达44向正反方向旋转驱动，能够将导引块39沿着移载装置横宽方向往复移动操作。这样，由横动操作用马达44、滚珠丝杠40及滑动叉42构成将中间移载装置6的移载装置用把持部7在移载装置横宽方向上横动操作的横动操作单元31。
升降操作单元45构成为，通过使升降用马达47向正反方向旋转驱动，使旋转滚筒48旋转动作，将卷取带49放出及卷取，由此能够将升降支承体41上下升降操作。旋绕操作单元46使旋绕用马达50旋转驱动，将移载装置用把持部7绕纵轴心旋绕操作。由此，能够将物品W相对于站点4、中间搁架5及备用中间搁架30的俯视姿势调节为适当的姿势。
如图9所示，在顶棚输送车2上，搭载有控制行进部10的行进动作及主体部11的物品移载动作的顶棚输送车控制器VCq，在中间移载装置6上，搭载有控制移动动作及物品移载动作的中间移载装置控制器VCp。顶棚输送车控制器VCq及中间移载装置控制器VCp基于来自设置在地上侧的主控制器HC的控制指令控制各种动作。即，控制中间移载装置6的移动动作的控制单元由主控制器HC及中间移载装置控制器VCp构成。
主控制器HC及中间移载装置控制器VCp在顶棚输送车2在与站点4的物品交接位置或中间搁架5之间移载物品W的情况下，当中间移载装置6在下方位于成为障碍的位置时，为了使中间移载装置6从顶棚输送车2的升降用支承体22的升降路径退避，使中间移载装置6移动到处于与该顶棚输送车2的移载目标的物品交接位置及中间搁架5在行进方向不同的位置上的移载位置中的、基于中间移载装置6的当前的作业状态及今后的作业计划判断为物品W的输送效率尽可能不下降的移载位置。此外，当中间移载装置6在顶棚输送车2的下方没有位于成为障碍的位置时，基于中间移载装置6的当前的作业状态及今后的作业计划，使中间移载装置6在当前的位置待机、或者移动到处于与顶棚输送车2的移载目标的物品交接位置及中间搁架5在行进方向上不同的位置上的移载位置。
例如，在顶棚输送车2停止在第1交接部用停止位置Q1a处的状态下在与站点4之间进行物品W的移载的情况下，中间移载装置6为了避免与顶棚输送车2的移载动作的干涉而移动到第1交接部用移载位置P1a以外的移载位置，但如果此时中间移载装置6没有保持物品W、并且已处理的物品W被排出到物品处理装置8的站点4的3个物品交接位置中的位于第3交接部用移载位置P1c的正下方的物品交接位置，则为了用中间移载装置6承接该物品W，选择第3交接部用移载位置P1c作为交接时退避位置P3。或者，在顶棚输送车2停止在第1交接部用停止位置Q1a处的状态下在与站点4之间进行物品W的移载的情况下，如果中间移载装置6没有保持物品W、并且有对于临时放置在对应于第1中间搁架用移载位置P2a的中间搁架5上的物品W的承接请求，则为了用中间移载装置6承接该物品W，选择第1中间搁架用移载位置P2a作为交接时退避位置P3。
此外，例如在顶棚输送车2停止在第1中间搁架用停止位置Q2a处的状态下在与中间搁架5之间进行物品W的移载的情况下，中间移载装置6为了避免与顶棚输送车2的移载动作的干涉而移动到第1中间搁架用移载位置P2a以外的移载位置，但如果此时中间移载装置6没有保持物品W、并且已处理的物品W被排出到物品处理装置8的站点4的3个物品交接位置中的位于第3交接部用移载位置P1c的正下方的物品交接位置，则为了用中间移载装置6承接该物品W，选择第3交接部用移载位置P1c作为临时放置时退避位置P4。或者，在顶棚输送车2停止在第1中间搁架用停止位置Q2a处的状态下在与中间搁架5之间进行物品W的移载的情况下，如果中间移载装置6没有保持物品W、并且有对于临时放置在对应于第2中间搁架用移载位置P2b的中间搁架5（两个中间搁架5中的与作为顶棚输送车2的移载对象的中间搁架5不同的中间搁架5）上的物品W的承接要求，则为了用中间移载装置6承接该物品W，选择第2中间搁架用移载位置P2b作为临时放置时退避位置P4。
如以上这样，在顶棚输送车2在与站点4的物品交接位置之间或与中间搁架5之间移载物品W的情况下，如果中间移载装置6在顶棚输送车2的下方位于成为障碍的位置、并且有应由中间移载装置6承接的物品W，则根据该应承接的物品W的位置，选择交接部用移载位置P1或中间搁架用移载位置P2作为退避位置（交接时退避位置P3或临时放置时退避位置P4）。
并且，在本实施方式中，主控制器HC及中间移载装置控制器VCp构成为，在中间移载装置6在顶棚输送车2的下方位于成为障碍的位置、但没有应由中间移载装置6承接的物品W的情况下，基本上以下述方式控制中间移载装置6的移动动作，即：当顶棚输送车2在与站点4的物品交接位置之间移载物品W时使中间移载装置6作为交接时退避位置P3而在中间搁架用移载位置P2待机（选择中间搁架用移载位置P2作为交接时退避位置P3而使中间移载装置6退避）、并且当顶棚输送车2在与中间搁架5之间移载物品W时使中间移载装置6作为临时放置时退避位置P4而在交接部用移载位置P1待机（选择交接部用移载位置P1作为临时放置时退避位置P4而使中间移载装置6退避）。
即，在本实施方式中，构成为，在中间移载装置6在顶棚输送车2的下方位于成为障碍的位置、但没有应由中间移载装置6承接的物品W的情况下，基本上在选择交接时退避位置P3时选择中间搁架用移载位置P2、在选择临时放置时退避位置P4时选择交接部用移载位置P1。另外，也可以做成不论是否有应由中间移载装置6承接的物品W、都在选择交接时退避位置P3时选择中间搁架用移载位置P2、在选择临时放置时退避位置P4时选择交接部用移载位置P1的结构。
根据本实施方式，由于具备中间搁架5、具备能够在与该中间搁架5之间及与站点4之间移载物品W的中间移载装置6，所以在站点4成为满状态而不能由顶棚输送车2相对于站点4直接交接物品W的情况下，可以由顶棚输送车2将物品W临时放置到中间搁架5上、由中间移载装置6使临时放置的物品W移动到备用中间搁架30上然后事后使该物品W移载到站点4、或者将由顶棚输送车2临时放置在中间搁架5上的物品W原样用中间移载装置6移载到站点4。因而，保持着物品W的顶棚输送车2不待机直到站点4成为空闲状态就足够，所以能够预防顶棚输送车2的拥堵。
并且，构成为，支承中间移载装置6而导引沿着行进方向的移动的作为导引支承体17的一对下部导引轨道18、19形成在停止在交接部用停止位置Q1及中间搁架用停止位置Q2上的状态的顶棚输送车2移载物品W时把持部3及物品W能够沿上下方向通过的空间，所以只要使中间移载装置6退避，就能够使物品W通过一对下部导引轨道18、19之间，由顶棚输送车2相对于站点4直接移载物品W。这样，成为能够进行对应于从站点4发出的各种形态的交接请求的平顺的物品输送的物品输送设备。
〔第2实施方式〕
接着，对有关本发明的物品输送设备的第2实施方式进行说明。本实施方式除了第1实施方式中的缓冲用框体23的结构及中间移载装置6的移动范围不同以外，是与第1实施方式同样的结构。因此，以下省略顶棚输送车2、中间移载装置6的详细的说明，关于没有特别说明的点，假设与上述第1实施方式是同样的。
如图10所示，在本实施方式中，物品处理装置8沿着顶棚输送车2的行进方向排列设置有两台。顶棚输送车2的行进方向在图10中是从纸面左方朝向右方的方向。在图10中位于纸面左侧（行进方向上游侧）的物品处理装置8是第1处理装置8a，位于右侧（行进方向下流侧）的物品处理装置8是第2处理装置8b。第1处理装置8a中的处理完成的物品W由第2处理装置8b进行下个工序的处理。
在第1处理装置8a及第2处理装置8b的各自中，与第1实施方式同样，设有作为交接物品处理装置8的处理对象的物品W的物品交接部的站点4，在站点4中能够在行进方向上将物品W排列载置到最大3个。即，在站点4中设定3个物品交接位置。
如图10所示，遍及第1处理装置8a及第2处理装置8b的各自的上方侧部分，配设有缓冲用框体55。缓冲用框体55将水平部件25在上下隔开间隔配置、在顶棚输送车2的横宽方向及行进方向的多个部位处用纵部件26连接而构成，由多根搁架悬挂件24从顶棚悬挂支承。水平部件25如图11所示由框体构成，所述框体是将并行配置在行进方向上的前端部、中间部、后端部的3处的纵水平部件25T与多个横水平部件25Y相互连接而成的。这样，缓冲用框体55的基本的结构与第1实施方式的缓冲用框体23是同样的，但行进方向的长度为第1实施方式的缓冲用框体23的两倍多，扩大了中间移载装置6的移动范围。
也如图12所示，缓冲用框体55在行进方向上位于上游侧的上游侧部分55a、和位于下流侧的下流侧部分55b的各自上，具备两个中间搁架5及5个备用中间搁架30，为将第1实施方式的缓冲用框体23在行进方向上排列两个那样的结构。
如图10及图12所示，由缓冲用框体55的上游侧部分55a的两个中间搁架5及5个备用中间搁架30及第1处理装置8a的站点4构成作为关于第1处理装置8a的一组的移载对象群的第1移载对象群G1。同样，由缓冲用框体55的下流侧部分55b的两个中间搁架5及5个备用中间搁架30及第2处理装置8b的站点4构成作为关于第2处理装置8b的一组移载对象群的第2移载对象群G2。即，对第1处理装置8a及第2处理装置8b分别设有一组移载对象群。
如图12所示，导引中间移载装置6的行进方向的移动的作为导引支承体17的一对下部导引轨道18、19遍及上游侧部分55a和下流侧部分55b而配设。即，导引支承体17构成为，在顶棚输送车2的行进方向上、导引第1移载对象群G1及第2移载对象群G2之间的中间移载装置6的移动。即，导引支承体17构成为，在多个（在本例中是两个）移载对象群的各自中导引中间移载装置6的移动，并且还导引在行进方向上相邻的两个移载对象群之间的中间移载装置6的移动。
中间移载装置6在相对于构成第1移载对象群G1的移载对象中的第1处理装置8a的站点4移载物品W的情况下，停止在缓冲用框体55的上游侧部分55a的交接部用移载位置P1上而进行物品W的移载。此外，中间移载装置6在相对于构成第2移载对象群G2的移载对象中的第2处理装置8b的站点4移载物品W的情况下，停止在缓冲用框体55的下流侧部分55b的交接部用移载位置P1上而进行物品W的移载。
另外，与第1实施方式同样，作为缓冲用框体55的上游侧部分55a的交接部用移载位置P1及下流侧部分55b的交接部用移载位置P1，对应于站点4的3个物品交接位置而分别设定了第1交接部用移载位置P1a～第3交接部用移载位置P1c这3个位置，但停止在它们中的、与作为移载对象的物品交接位置对应的交接部用移载位置上。
中间移载装置6在相对于构成第1移载对象群G1的移载对象中的上游侧部分55a的中间搁架5移载物品W的情况下，停止在缓冲用框体55的上游侧部分55a的中间搁架用移载位置P2上而进行物品W的移载。此外，中间移载装置6在相对于构成第2移载对象群G2的移载对象中的下流侧部分55b的中间搁架5移载物品W的情况下，停止在缓冲用框体55的下流侧部分55b的中间搁架用移载位置P2上而进行物品W的移载。
另外，与第1实施方式同样，作为缓冲用框体55的上游侧部分55a及下流侧部分55b的中间搁架用移载位置P2，对应于各中间搁架5而分别设定了第1中间搁架用移载位置P2a及第2中间搁架用移载位置P2b这两个位置，但停止在它们中的、与作为移载对象的中间搁架5对应的中间搁架用移载位置P2上。
在顶棚输送车2相对于构成第1移载对象群G1的移载对象中的第1处理装置8a的站点4交接物品W的情况下、或者在对缓冲用框体55的上游侧部分55a的中间搁架5临时放置物品W的情况下，中间移载装置6作为退避位置，选择处于缓冲用框体55的上游侧部分55a及下流侧部分55b的交接部用移载位置P1或中间搁架用移载位置P2中的、与该顶棚输送车2停止的上游侧部分55a的交接部用停止位置Q1或中间搁架用停止位置Q2在行进方向上不同的移载位置作为退避用的移载位置。即，上游侧部分55a及下流侧部分55b的交接部用移载位置P1及中间搁架用移载位置P2分别作为交接时退避位置P3及临时放置时退避位置P4的哪个都能够发挥功能。
这样，根据本实施方式，中间移载装置6能够在分别关于两台物品处理装置8的移载对象群G1、G2彼此之间移动，所以不仅是第1移载对象群G1，还能够相对于第2移载对象群G2的站点4及中间搁架5移载物品W。因此，即使不对多个移载对象群（在本例中是第1移载对象群G1及第2移载对象群G2）分别单独设置中间移载装置6，仅通过设置比移载对象群的个数（在本例中是两个）少的数量（在本例中是1台）的中间移载装置6，也能够对多个移载对象群的各自的站点4及中间搁架5的全部进行物品W的移载。这样，通过不对第1移载对象群G1及第2移载对象群G2的两个移载对象群分别单独设置中间移载装置6，而仅设置兼用于两个移载对象群的1台中间移载装置6，节约了中间移载装置6的设置数。
此外，中间移载装置6由于能够在分别关于第1处理装置8a及第2处理装置8b的移载对象群G1、G2彼此之间移动，所以在将第1处理装置8a的处理完成的物品W向第2处理装置8b的移载对象群的移载对象（例如站点4）输送的情况下，能够代替将该输送对象的物品W用顶棚输送车2输送、而用中间移载装置6输送。由此，能够减轻顶棚输送车2的输送负担。
〔第3实施方式〕
接着，对有关本发明的物品输送设备的第3实施方式进行说明。本实施方式在缓冲用框体55上设有两台中间移载装置这一点上与上述第2实施方式不同。
如图13及图14所示，设有：第1中间移载装置6a，负责相对于关于第1处理装置8a的移载对象群G1的物品W的移载；以及第2中间移载装置6b，负责相对于关于第2处理装置8b的移载对象群G2的物品W的移载。第1中间移载装置6a及第2中间移载装置6b都被设在缓冲用框体55上的作为导引支承体17的一对下部导引轨道18、19支承并导引行进方向的移动。这样，导引支承体17构成为，在各自的中间移载装置6a、6b相对于第1中间移载装置6a负责的第1移载对象群G1、和作为与第1中间移载装置6a不同的中间移载装置6的第2中间移载装置6b负责的第2移载对象群G2相互驶入自如的状态下导引中间移载装置6a、6b的移动。即，导引支承体17构成为，在多个（在本例中是两个）移载对象群的各自中，导引为各移载对象群用设置的中间移载装置6的移动，并且还导引在行进方向上相邻的两个移载对象群之间的各中间移载装置6的移动。
将第1中间移载装置6a及第2中间移载装置6b的各自移动操作的结构与第1实施方式的结构是同样的。将移动操作第1中间移载装置6a的纵向卷绕面的移动操作用同步带38、和移动操作第2中间移载装置6b的纵向卷绕面的移动操作用同步带38设在不同的高度，构成为，通过分别旋转驱动关于各自的横轴心的带齿驱动带轮36a，能够将第1中间移载装置6a及第2中间移载装置6b分别移动操作。
根据该实施方式，当第2移载对象群G2的移载需要较多时，使负责第1移载对象群G1的第1中间移载装置6a移动到缓冲用框体55的下流侧部分55b，将相对于第2移载对象群G2的站点4及中间搁架5的物品W的移载通过两台中间移载装置6集中进行，由此能够迅速地进行相对于移载需要较高的第2移载对象群G2的站点4及中间搁架5的物品W的移载。此外，相反在第1移载对象群G1的移载需要较多时，使第2中间移载装置6b移动到上游侧部分55a，将相对于第1移载对象群G1的站点4及中间搁架5的物品W的移载通过两台中间移载装置6集中进行，由此能够迅速地进行相对于移载需要较高的第1移载对象群G1的站点4及中间搁架5的物品W的移载。
〔其他实施方式〕
以下，对本发明的其他实施方式进行说明。
（1）在上述第1、第2、及第3实施方式中，例示了将交接部用移载位置P1及中间搁架用移载位置P2以在行进方向上相邻的状态设定的结构，但也可以是将交接部用移载位置P1及中间搁架用移载位置P2在行进方向上隔开间隔设定的结构。在此情况下，也可以将交接时退避位置P3及临时放置时退避位置P4设定在与交接部用移载位置P1及中间搁架用移载位置P2在行进方向上不同的位置上。
（2）在上述第1、第2、及第3实施方式中，例示了设定了多个交接部用停止位置Q1及中间搁架用停止位置Q2、以及交接部用移载位置P1及中间搁架用移载位置P2 的结构，但也可以将这些停止位置及移载位置的一部分或全部设定在一个位置上。
（3）在上述第1、第2、及第3实施方式中，例示了顶棚输送车2在横宽方向上配置有1台的结构，但并不限定于此，例如也可以将与上述实施方式的行进轨道1不同的行进轨道在与上述实施方式的行进轨道相同的高度上平行地、并且在与备用中间搁架30上下重叠的位置上设置，设置沿着该不同的行进轨道行进自如的第2顶棚输送车2。在此情况下，第2顶棚输送车只要相对于备用中间搁架30自如移载物品W而构成就可以。
（4）在上述第2及第3实施方式中，例示了作为多个物品处理装置8而设有两台物品处理装置8的结构，但也可以将物品处理装置8在行进方向上排列设置3台以上，构成为，导引关于这些全部物品处理装置8的移载对象群彼此之间的单个或多个中间移载装置6的移动。
（5）在上述第2及第3实施方式中，作为多个物品处理装置8而例示了对物品W进行不同工序的处理的物品处理装置8，但并不限定于此，也可以是作为多个物品处理装置8而对物品W进行相同工序的处理的结构。
（6）在上述第3实施方式中，例示了将第1中间移载装置6a及第2中间移载装置6b通过相同的导引支承体17在相同的高度导引移动的结构，但也可以代替它而是对第1中间移载装置6a及第2中间移载装置6b分别设置专用的导引支承体17、在不同的高度导引各自的移动的结构。在此情况下，通过容许将第1中间移载装置6a及第2中间移载装置6b设为在俯视下重叠的相对位置，通过第1中间移载装置6a及第2中间移载装置6b的哪个，都能够对第1移载对象群G1及第2移载对象群G2的全部的移载对象移载物品W。
（7）在上述第3实施方式中，例示了作为多个中间移载装置而设有第1中间移载装置6a及第2中间移载装置6b这两台中间移载装置的结构，但并不限定于此，也可以是作为多个中间移载装置而设有3台以上的中间移载装置的结构。
产业上的可利用性
本发明能够在物品输送设备中适当地使用，所述物品输送设备设有：顶棚输送车，沿着配置在顶棚侧的行进轨道行进自如，且升降自如地具备支承物品的把持部，在与设在地板侧的物品交接部之间自如移载物品；和中间搁架，配置在比物品交接部靠上方且比顶棚输送车靠下方，临时放置相对于物品交接部移载的物品。
附图标记说明
W 物品
Q1、Q1a、Q1b、Q1c 交接部用停止位置
Q2、Q2a、Q2b 中间搁架用停止位置
P1、P1a、P1b、P1c 交接部用移载位置
P2、P2a、P2b 中间搁架用移载位置
P3 交接时退避位置
P4 临时放置时退避位置
HC、VCp 控制单元
G1、G2 移载对象群
1 行进轨道
2 顶棚输送车
3 把持部
4 物品交接部
5 中间搁架
6 中间移载装置
7 移载装置用把持部
17 导引支承体
18、19 一对下部导引轨道
30 备用中间搁架
31 横动操作单元。

Claims (17)

1.一种物品输送设备，设有：
顶棚输送车，沿着配置在顶棚侧的行进轨道行进自如，且升降自如地具备支承物品的把持部、在与设在地板侧的物品交接部之间自如移载物品；
中间搁架，配置在比上述物品交接部靠上方且比上述顶棚输送车靠下方，临时放置相对于上述物品交接部移载的物品；
其特征在于，
上述中间搁架在上述顶棚输送车的行进方向上配置在与上述物品交接部不同的位置上；
上述顶棚输送车通过在停止在交接部用停止位置处的状态下使上述把持部升降，相对于上述物品交接部自如移载物品而构成，并且通过在停止在中间搁架用停止位置处的状态下使上述把持部升降，相对于上述中间搁架自如移载物品而构成，所述交接部用停止位置设定在与上述物品交接部在上下方向上重叠的位置上，所述中间搁架用停止位置设定在与上述中间搁架在上下方向上重叠的位置上；
中间移载装置升降自如地具备支承物品的移载装置用把持部，在与上述中间搁架之间及与上述物品交接部之间自如移载物品，所述中间移载装置以在上述行进方向观察与上述顶棚输送车及上述物品交接部上下重叠的状态，并且遍及在与上述物品交接部之间移载物品的交接部用移载位置、在与上述中间搁架之间移载物品的中间搁架用移载位置、当上述顶棚输送车在与上述物品交接部之间移载物品时避免与上述把持部及物品的干涉的交接时退避位置、以及当上述顶棚输送车在与上述中间搁架之间移载物品时避免与上述把持部及物品的干涉的临时放置时退避位置，在上述物品交接部与上述顶棚输送车之间的高度中沿着上述行进方向移动自如地设置；
设有支承上述中间移载装置而导引沿着上述行进方向的移动的导引支承体；
上述导引支承体构成为形成空间，当停止在上述交接部用停止位置及上述中间搁架用停止位置上的状态的上述顶棚输送车移载物品时上述把持部及物品能够沿上下方向通过所述空间。
2.如权利要求1所述的物品输送设备，其特征在于，上述导引支承体由一对下部导引轨道构成，所述一对下部导引轨道在形成支承着物品的上述把持部沿上下方向通过自如的间隙的状态下，在上述中间移载装置的移载装置横宽方向上隔开间隔配置。
3.如权利要求1所述的物品输送设备，其特征在于，
上述交接部用移载位置及上述中间搁架用移载位置以在上述行进方向上相邻的状态设定；
控制上述中间移载装置的移动动作的控制单元构成为，控制中间移载装置的移动动作，以便
当上述顶棚输送车在与上述物品交接部之间移载物品时使上述中间移载装置作为上述交接时退避位置而在上述中间搁架用移载位置待机，并且，
当上述顶棚输送车在与上述中间搁架之间移载物品时使上述中间移载装置作为上述临时放置时退避位置而在上述交接部用移载位置待机。
4.如权利要求2所述的物品输送设备，其特征在于，
上述交接部用移载位置及上述中间搁架用移载位置以在上述行进方向上相邻的状态设定；
控制上述中间移载装置的移动动作的控制单元构成为，控制中间移载装置的移动动作，以便
当上述顶棚输送车在与上述物品交接部之间移载物品时使上述中间移载装置作为上述交接时退避位置而在上述中间搁架用移载位置待机，并且，
当上述顶棚输送车在与上述中间搁架之间移载物品时使上述中间移载装置作为上述临时放置时退避位置而在上述交接部用移载位置待机。
5.如权利要求3所述的物品输送设备，其特征在于，
上述中间移载装置通过上述移载装置用把持部自如地悬挂支承物品而构成；
上述中间搁架以支承的物品的上端位于比由上述中间移载装置的上述移载装置用把持部支承的物品的下端靠下方的方式自如地载置支承物品而构成。
6.如权利要求4所述的物品输送设备，其特征在于，
上述中间移载装置通过上述移载装置用把持部自如地悬挂支承物品而构成；
上述中间搁架以支承的物品的上端位于比由上述中间移载装置的上述移载装置用把持部支承的物品的下端靠下方的方式自如地载置支承物品而构成。
7.如权利要求1～6中任一项所述的物品输送设备，其特征在于，
上述交接部用移载位置以沿着上述行进方向排列的状态设定有多个；
上述中间搁架对应于上述多个交接部用移载位置的上述行进方向上一侧及另一侧的两者而设置；
上述中间搁架用移载位置设定在上述多个交接部用移载位置的上述行进方向上一侧及另一侧的两者上；
上述交接部用停止位置在沿着上述行进方向排列的状态下、以与上述多个交接部用移载位置上下重叠的状态设定有多个；
上述中间搁架用停止位置设定在上述多个交接部用停止位置的上述行进方向上一侧及另一侧的两者上。
8.如权利要求1～6中任一项所述的物品输送设备，其特征在于，
在上述中间移载装置的移载装置横宽方向上相邻于上述中间搁架的位置上，沿着上述中间移载装置的移动方向排列设置有多个支承物品的备用中间搁架；
上述中间移载装置具备将上述移载装置用把持部在上述移载装置横宽方向上横动操作的横动操作单元，通过上述移载装置用把持部的横动及升降，相对于上述备用中间搁架自如移载物品而构成。
9.如权利要求7所述的物品输送设备，其特征在于，
在上述中间移载装置的移载装置横宽方向上相邻于上述中间搁架的位置上，沿着上述中间移载装置的移动方向排列设置有多个支承物品的备用中间搁架；
上述中间移载装置具备将上述移载装置用把持部在上述移载装置横宽方向上横动操作的横动操作单元，通过上述移载装置用把持部的横动及升降，相对于上述备用中间搁架自如移载物品而构成。
10.如权利要求1～6中任一项所述的物品输送设备，其特征在于，
上述物品交接部交接物品处理装置的处理对象的物品而构成；
上述物品处理装置沿着上述顶棚输送车的行进方向排列设置有多个；
关于上述物品处理装置的一组移载对象群具备上述物品交接部及上述中间搁架而构成；
对上述多个物品处理装置分别设置上述一组移载对象群；
上述导引支承体构成为，在上述顶棚输送车的上述行进方向上导引移载对象群彼此之间的上述中间移载装置的移动。
11.如权利要求7所述的物品输送设备，其特征在于，
上述物品交接部交接物品处理装置的处理对象的物品而构成；
上述物品处理装置沿着上述顶棚输送车的行进方向排列设置有多个；
关于上述物品处理装置的一组移载对象群具备上述物品交接部及上述中间搁架而构成；
对上述多个物品处理装置分别设置上述一组移载对象群；
上述导引支承体构成为，在上述顶棚输送车的上述行进方向上导引移载对象群彼此之间的上述中间移载装置的移动。
12.如权利要求8所述的物品输送设备，其特征在于，
上述物品交接部交接物品处理装置的处理对象的物品而构成；
上述物品处理装置沿着上述顶棚输送车的行进方向排列设置有多个；
关于上述物品处理装置的一组移载对象群具备上述物品交接部及上述中间搁架而构成；
对上述多个物品处理装置分别设置上述一组移载对象群；
上述导引支承体构成为，在上述顶棚输送车的上述行进方向上导引移载对象群彼此之间的上述中间移载装置的移动。
13.如权利要求9所述的物品输送设备，其特征在于，
上述物品交接部交接物品处理装置的处理对象的物品而构成；
上述物品处理装置沿着上述顶棚输送车的行进方向排列设置有多个；
关于上述物品处理装置的一组移载对象群具备上述物品交接部及上述中间搁架而构成；
对上述多个物品处理装置分别设置上述一组移载对象群；
上述导引支承体构成为，在上述顶棚输送车的上述行进方向上导引移载对象群彼此之间的上述中间移载装置的移动。
14.如权利要求1～6中任一项所述的物品输送设备，其特征在于，
上述物品交接部交接物品处理装置的处理对象的物品而构成；
上述物品处理装置沿着上述顶棚输送车的行进方向排列设置有多个；
关于上述物品处理装置的一组移载对象群具备上述物品交接部及上述中间搁架而构成；
对上述多个物品处理装置分别设置上述一组移载对象群；
上述中间移载装置以负责相对于关于上述多个物品处理装置的各移载对象群的物品的移载的形态，对上述多个移载对象群分别设置；
上述导引支承体构成为，在各自的中间移载装置相对于上述中间移载装置负责的上述移载对象群和其他中间移载装置负责的上述移载对象群相互驶入自如的状态下，导引上述中间移载装置的移动。
15.如权利要求7所述的物品输送设备，其特征在于，
上述物品交接部交接物品处理装置的处理对象的物品而构成；
上述物品处理装置沿着上述顶棚输送车的行进方向排列设置有多个；
关于上述物品处理装置的一组移载对象群具备上述物品交接部及上述中间搁架而构成；
对上述多个物品处理装置分别设置上述一组移载对象群；
上述中间移载装置以负责相对于关于上述多个物品处理装置的各移载对象群的物品的移载的形态，对上述多个移载对象群分别设置；
上述导引支承体构成为，在各自的中间移载装置相对于上述中间移载装置负责的上述移载对象群和其他中间移载装置负责的上述移载对象群相互驶入自如的状态下，导引上述中间移载装置的移动。
16.如权利要求8所述的物品输送设备，其特征在于，
上述物品交接部交接物品处理装置的处理对象的物品而构成；
上述物品处理装置沿着上述顶棚输送车的行进方向排列设置有多个；
关于上述物品处理装置的一组移载对象群具备上述物品交接部及上述中间搁架而构成；
对上述多个物品处理装置分别设置上述一组移载对象群；
上述中间移载装置以负责相对于关于上述多个物品处理装置的各移载对象群的物品的移载的形态，对上述多个移载对象群分别设置；
上述导引支承体构成为，在各自的中间移载装置相对于上述中间移载装置负责的上述移载对象群和其他中间移载装置负责的上述移载对象群相互驶入自如的状态下，导引上述中间移载装置的移动。
17.如权利要求9所述的物品输送设备，其特征在于，
上述物品交接部交接物品处理装置的处理对象的物品而构成；
上述物品处理装置沿着上述顶棚输送车的行进方向排列设置有多个；
关于上述物品处理装置的一组移载对象群具备上述物品交接部及上述中间搁架而构成；
对上述多个物品处理装置分别设置上述一组移载对象群；
上述中间移载装置以负责相对于关于上述多个物品处理装置的各移载对象群的物品的移载的形态，对上述多个移载对象群分别设置；
上述导引支承体构成为，在各自的中间移载装置相对于上述中间移载装置负责的上述移载对象群和其他中间移载装置负责的上述移载对象群相互驶入自如的状态下，导引上述中间移载装置的移动。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109110361A (zh) * 2017-06-26 2019-01-01 株式会社大福 物品输送设备以及物品输送车

Families Citing this family (49)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5549757B2 (ja) * 2010-11-04 2014-07-16 村田機械株式会社 搬送システム
JP5382470B2 (ja) * 2010-11-04 2014-01-08 村田機械株式会社 搬送システム及び搬送方法
KR101533366B1 (ko) 2010-11-04 2015-07-02 무라다기카이가부시끼가이샤 반송 시스템 및 반송 방법
JP5229363B2 (ja) 2010-11-04 2013-07-03 村田機械株式会社 搬送システム及び搬送方法
KR101664238B1 (ko) 2012-06-08 2016-10-10 무라다기카이가부시끼가이샤 반송 시스템 및 반송 시스템에서의 물품의 일시 보관 방법
WO2013183384A1 (ja) * 2012-06-08 2013-12-12 村田機械株式会社 搬送システム及び搬送車システムでの排他制御方法
US9385019B2 (en) * 2012-06-21 2016-07-05 Globalfoundries Inc. Overhead substrate handling and storage system
KR101680271B1 (ko) * 2012-07-26 2016-11-28 무라다기카이가부시끼가이샤 천정 주행차 시스템 및 천정 주행차 시스템에서의 이재 제어 방법
US8881297B2 (en) * 2012-09-06 2014-11-04 Brooks Automation, Inc. Access arbitration module and system for semiconductor fabrication equipment and methods for using and operating the same
NO335839B1 (no) * 2012-12-10 2015-03-02 Jakob Hatteland Logistics As Robot for transport av lagringsbeholdere
JP6007880B2 (ja) * 2013-10-10 2016-10-12 株式会社ダイフク 天井搬送車
SG11201605180TA (en) * 2014-01-07 2016-08-30 Murata Machinery Ltd Transfer device and control method of transfer device
NO340313B1 (no) * 2014-01-08 2017-03-27 Jakob Hatteland Logistics As Fjernstyrt kjøretøy for å plukke opp lagringsbeholdere fra et lagringssystem, lagringssystem for lagring av beholdere og fremgangsmåte for å bytte en strømkilde
US9415934B2 (en) * 2014-05-14 2016-08-16 Murata Machinery, Ltd. Transport system and transport method
CN106663649B (zh) * 2014-06-19 2019-05-21 村田机械株式会社 载具的搬运系统以及搬运方法
CN106463442B (zh) * 2014-06-19 2019-11-05 村田机械株式会社 载具的临时保管装置以及临时保管方法
NO337544B1 (no) 2014-06-19 2016-05-02 Jakob Hatteland Logistics As Fjernstyrt kjøretøysammenstilling for å plukke opp lagringsbeholdere fra et lagringssystem
EP3159921B1 (en) * 2014-06-19 2021-06-16 Murata Machinery, Ltd. Carrier buffering device and storage method
JP6260697B2 (ja) * 2014-06-19 2018-01-17 村田機械株式会社 キャリアの一時保管装置と一時保管方法
JP6256783B2 (ja) * 2014-09-10 2018-01-10 村田機械株式会社 一時保管システムと、これを用いた搬送システム、及び一時保管方法
JP6048686B2 (ja) * 2014-09-25 2016-12-21 村田機械株式会社 一時保管装置と搬送システム及び一時保管方法
SG11201700643UA (en) * 2014-09-25 2017-04-27 Murata Machinery Ltd Purging device and purging method
JP6132165B2 (ja) * 2014-09-25 2017-05-24 村田機械株式会社 一時保管装置及び一時保管方法
JP6327124B2 (ja) * 2014-11-12 2018-05-23 株式会社ダイフク 物品搬送車
JP6330714B2 (ja) * 2015-04-09 2018-05-30 株式会社ダイフク 物品搬送設備及び物品搬送設備の保守作業方法
JP6505851B2 (ja) * 2015-08-28 2019-04-24 株式会社Ｋｏｋｕｓａｉ Ｅｌｅｃｔｒｉｃ 基板処理装置および半導体装置の製造方法
CN106809735A (zh) * 2015-11-30 2017-06-09 谢建奎 一种用于货物运输的新型室内小型天车
JP6447747B2 (ja) * 2015-12-08 2019-01-09 村田機械株式会社 搬送システム
SG11201804593PA (en) * 2015-12-08 2018-06-28 Murata Machinery Ltd Conveyance system and conveyance method
JP6471702B2 (ja) * 2016-01-12 2019-02-20 株式会社ダイフク 物品搬送装置
JP6512127B2 (ja) * 2016-02-16 2019-05-15 株式会社ダイフク 物品搬送装置及びそれを備えた物品搬送設備
WO2017150005A1 (ja) * 2016-03-03 2017-09-08 村田機械株式会社 搬送システム
JP6520797B2 (ja) * 2016-04-11 2019-05-29 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP6717121B2 (ja) * 2016-08-29 2020-07-01 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP6601385B2 (ja) * 2016-12-27 2019-11-06 株式会社ダイフク 学習用支持装置
CN106882163A (zh) * 2017-01-13 2017-06-23 上海蔚来汽车有限公司 电动汽车换电站的模块化控制系统及其控制方法
KR102302099B1 (ko) * 2017-05-19 2021-09-13 무라다기카이가부시끼가이샤 보관 시스템
US11443268B2 (en) 2017-11-28 2022-09-13 Tulips Corporation System and method for intermodal materials delivery
US10418263B2 (en) * 2018-01-20 2019-09-17 Boris Kesil Overhead transportation system for transporting objects between multiple work stations
KR102321857B1 (ko) * 2018-08-10 2021-11-09 베이징 긱플러스 테크놀러지 씨오. 엘티디 고밀도 보관 기반의 물품 이송 방법과 기기, 보관 매체 및 고밀도 보관 시스템
SG11202106551XA (en) * 2018-12-26 2021-07-29 Murata Machinery Ltd Storage system
JP7093318B2 (ja) * 2019-02-18 2022-06-29 台湾大福高科技設備股▲分▼有限公司 物品保管設備
TWI701445B (zh) * 2019-06-14 2020-08-11 鴻勁精密股份有限公司 作業裝置之移載機構及其應用之作業分類設備
JP7337372B2 (ja) * 2019-07-19 2023-09-04 株式会社イシダ 移載装置
US11912608B2 (en) 2019-10-01 2024-02-27 Owens-Brockway Glass Container Inc. Glass manufacturing
CN111605923A (zh) * 2020-04-26 2020-09-01 中国瑞林工程技术股份有限公司 一种废物填埋装置、刚性填埋场及废物填埋方法
WO2021220621A1 (ja) * 2020-04-30 2021-11-04 村田機械株式会社 搬送車システム
US11848222B2 (en) * 2020-07-09 2023-12-19 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Ltd. System for a semiconductor fabrication facility and method for operating the same
KR20230058777A (ko) * 2021-10-25 2023-05-03 삼성전자주식회사 기판 이송 시스템

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10109887A (ja) * 1996-09-30 1998-04-28 Murata Mach Ltd ワーク搬送システム
JPH10250835A (ja) * 1997-03-13 1998-09-22 Murata Mach Ltd 天井走行車システム
EP1683745A1 (en) * 2005-01-20 2006-07-26 Murata Kikai Kabushiki Kaisha Carriage system
CN1891582A (zh) * 2005-07-05 2007-01-10 株式会社大福 物品收纳设备
CN101565122A (zh) * 2008-04-22 2009-10-28 株式会社大福 物品搬送装置

Family Cites Families (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SE393585B (sv) * 1975-09-12 1977-05-16 Salen & Wicander Ab For hantering av enhetslaster avsedd kran
TW348162B (en) * 1996-09-30 1998-12-21 Murada Kikai Kk Work carrying system
US6135698A (en) * 1999-04-30 2000-10-24 Asyst Technologies, Inc. Universal tool interface and/or workpiece transfer apparatus for SMIF and open pod applications
EP1202325A1 (en) * 2000-10-25 2002-05-02 Semiconductor300 GmbH & Co KG Arrangement for transporting a semiconductor wafer carrier
JP2003051527A (ja) 2001-08-02 2003-02-21 Takehide Hayashi 半導体自動搬送対応ｅｆｅｍ（密閉容器からウエハーを出し入れし、製造装置に供給、回収する装置）用ｆｏｕｐ（密閉容器）移載ロボット
US6726429B2 (en) * 2002-02-19 2004-04-27 Vertical Solutions, Inc. Local store for a wafer processing station
FR2844258B1 (fr) * 2002-09-06 2005-06-03 Recif Sa Systeme de transport et stockage de conteneurs de plaques de semi-conducteur, et mecanisme de transfert
JP3991852B2 (ja) * 2002-12-09 2007-10-17 村田機械株式会社 天井搬送車システム
JP2005136294A (ja) 2003-10-31 2005-05-26 Murata Mach Ltd 移載装置
JP2005150129A (ja) 2003-11-11 2005-06-09 Asyst Shinko Inc 移載装置及び移載システム
JP2006096427A (ja) * 2004-09-28 2006-04-13 Murata Mach Ltd 物品保管設備
JP4632091B2 (ja) * 2005-08-30 2011-02-16 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP2007331906A (ja) 2006-06-16 2007-12-27 Murata Mach Ltd 天井走行車システム
JP4893425B2 (ja) * 2007-03-30 2012-03-07 東京エレクトロン株式会社 枚葉式の基板処理装置、枚葉式の基板処理装置の運転方法及び記憶媒体
JP4796024B2 (ja) * 2007-08-30 2011-10-19 東京エレクトロン株式会社 容器交換システム及び容器交換方法
JP4887332B2 (ja) * 2007-09-20 2012-02-29 東京エレクトロン株式会社 基板の処理装置
US8043039B2 (en) * 2007-09-20 2011-10-25 Tokyo Electron Limited Substrate treatment apparatus
KR101015225B1 (ko) * 2008-07-07 2011-02-18 세메스 주식회사 기판 처리장치 및 이의 기판 이송 방법
JP5369560B2 (ja) * 2008-09-10 2013-12-18 村田機械株式会社 搬送装置
JP2010184760A (ja) * 2009-02-10 2010-08-26 Muratec Automation Co Ltd 移載システム
JP5212165B2 (ja) * 2009-02-20 2013-06-19 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置
JP5445015B2 (ja) * 2009-10-14 2014-03-19 シンフォニアテクノロジー株式会社 キャリア移載促進装置
JP5229363B2 (ja) * 2010-11-04 2013-07-03 村田機械株式会社 搬送システム及び搬送方法
JP5382470B2 (ja) * 2010-11-04 2014-01-08 村田機械株式会社 搬送システム及び搬送方法
JP5316907B2 (ja) * 2011-03-17 2013-10-16 株式会社ダイフク 物品搬送設備

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10109887A (ja) * 1996-09-30 1998-04-28 Murata Mach Ltd ワーク搬送システム
JPH10250835A (ja) * 1997-03-13 1998-09-22 Murata Mach Ltd 天井走行車システム
EP1683745A1 (en) * 2005-01-20 2006-07-26 Murata Kikai Kabushiki Kaisha Carriage system
CN1891582A (zh) * 2005-07-05 2007-01-10 株式会社大福 物品收纳设备
CN101565122A (zh) * 2008-04-22 2009-10-28 株式会社大福 物品搬送装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109110361A (zh) * 2017-06-26 2019-01-01 株式会社大福 物品输送设备以及物品输送车

Also Published As

Publication number Publication date
EP2546173A4 (en) 2016-11-30
TW201507950A (zh) 2015-03-01
CN102869587A (zh) 2013-01-09
EP2546173B1 (en) 2017-10-25
TW201139240A (en) 2011-11-16
JP5429570B2 (ja) 2014-02-26
US9004840B2 (en) 2015-04-14
KR20130014542A (ko) 2013-02-07
US20150307277A1 (en) 2015-10-29
TWI545069B (zh) 2016-08-11
EP2546173A1 (en) 2013-01-16
US9592959B2 (en) 2017-03-14
US20130142597A1 (en) 2013-06-06
TWI462862B (zh) 2014-12-01
WO2011111283A1 (ja) 2011-09-15
KR101531936B1 (ko) 2015-07-06
JP2011207621A (ja) 2011-10-20
SG183442A1 (en) 2012-09-27
TWI607937B (zh) 2017-12-11
TW201704121A (zh) 2017-02-01

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