WO2017150005A1 - 搬送システム - Google Patents

搬送システム Download PDF

Info

Publication number
WO2017150005A1
WO2017150005A1 PCT/JP2017/002313 JP2017002313W WO2017150005A1 WO 2017150005 A1 WO2017150005 A1 WO 2017150005A1 JP 2017002313 W JP2017002313 W JP 2017002313W WO 2017150005 A1 WO2017150005 A1 WO 2017150005A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
transfer
carriage
rail
unit
processing device
Prior art date
Application number
PCT/JP2017/002313
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
鈴木　高志
Original Assignee
村田機械株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 村田機械株式会社 filed Critical 村田機械株式会社
Priority to JP2018502587A priority Critical patent/JP7054379B2/ja
Priority to SG11201806899XA priority patent/SG11201806899XA/en
Priority to KR1020187028539A priority patent/KR20180121582A/ko
Priority to US16/080,414 priority patent/US10497594B2/en
Priority to EP17759477.7A priority patent/EP3424844A4/en
Priority to CN201780012172.2A priority patent/CN108698757B/zh
Priority to KR1020207022723A priority patent/KR102165426B1/ko
Publication of WO2017150005A1 publication Critical patent/WO2017150005A1/ja

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67727—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations using a general scheme of a conveying path within a factory
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J5/00—Manipulators mounted on wheels or on carriages
    • B25J5/007—Manipulators mounted on wheels or on carriages mounted on wheels
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/02—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type
    • B25J9/04—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type by rotating at least one arm, excluding the head movement itself, e.g. cylindrical coordinate type or polar coordinate type
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/10—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements
    • B25J9/104—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements with cables, chains or ribbons
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B65G1/0457—Storage devices mechanical with suspended load carriers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67259—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67724—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations by means of a cart or a vehicule
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733—Overhead conveying
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67736—Loading to or unloading from a conveyor
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67769—Storage means
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B65G1/0464—Storage devices mechanical with access from above
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B65G1/0478—Storage devices mechanical for matrix-arrangements
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0297—Wafer cassette
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers

Definitions

  • the present invention relates to a transport system.
  • a system described in Patent Document 1 As a conventional transport system, for example, a system described in Patent Document 1 is known.
  • the transport system described in Patent Document 1 includes a first track that passes through an upper portion of a load port of a processing device, an overhead traveling vehicle that travels along the first track and includes a hoist, and a lower portion of the first track. Then, the second track that passes above the load port and is arranged in parallel with the first track, and the lower portion of the second track that is directly above the load port at a position higher than the load port.
  • the first track is generally provided between processes, and the carrier is generally transported between processes by an overhead traveling vehicle.
  • the traveling route that the overhead traveling vehicle can take on the track is limited, and other overhead traveling vehicles block the traveling route to prevent the subsequent overhead traveling vehicle from traveling, and the conveyance efficiency between processes is reduced. There was a risk of decline.
  • An object of one aspect of the present invention is to provide a transport system capable of improving carrier transport efficiency between processes.
  • a transport system is a transport system that transports a carrier that accommodates a substrate between transfer ports in each of a plurality of processing apparatuses that process the substrate, and is linear in the first direction.
  • a plurality of first rails extending; and a plurality of second rails extending in a second direction orthogonal to the first direction, wherein the plurality of first rails and the plurality of second rails are on the same plane.
  • a traveling rail arranged in a grid, a traveling unit capable of traveling the traveling rail in the first direction and the second direction, a holding unit that holds the carrier, and a transfer unit that includes a lifting unit that raises and lowers the holding unit,
  • a traveling rail is provided at a first stop position where a transfer unit is disposed immediately above each transfer port in a first processing device group that performs processing of a predetermined process.
  • the dolly is free to enter, and the first stop position Are arranged freely carriage to a second stop position transfer portion directly above each transfer port in the second processing unit group for performing the processing of the different steps are arranged rode the predetermined process from.
  • the traveling rail is inserted into a stop position where the transfer unit is disposed immediately above each transfer port in the first processing device group that performs processing of a predetermined process.
  • the carriage is arranged freely at a stop position where the transfer unit is arranged immediately above each transfer port in the second processing device group that performs a process different from a predetermined process.
  • the plurality of transfer ports are arranged adjacent to each other along the first direction or the second direction in each of the first processing device group and the second processing device group, and travel In the first processing apparatus group and the second processing apparatus group, the rails are arranged from the first stop position where the transfer section is arranged directly above the plurality of transfer ports provided so that the arrangement directions are parallel to each other.
  • the carriage may be arranged so that it can enter the two stop positions. In this configuration, the carrier transport efficiency between the first processing device group and the second processing device group can be improved.
  • the traveling rail includes a first transfer unit disposed directly above a plurality of transfer ports disposed opposite to each other in the first processing unit group and the second processing unit group.
  • the carriage may be arranged so as to be freely entered from the stop position to the second stop position.
  • the traveling rail includes a plurality of first processing device groups and second processing device groups provided so that the arrangement directions of the plurality of transfer ports are parallel to each other.
  • the carriage can enter the first stop position where the transfer unit is disposed immediately above the transfer port of the apparatus group and the second processing apparatus group, and another first process is performed from the first stop position.
  • the carriage may be disposed in a second stop position where the transfer unit is disposed immediately above the transfer port of the apparatus group and the second processing apparatus group. In this configuration, it is possible to further improve the carrier transport efficiency between the groups constituted by the first processing apparatus group and the second processing apparatus group.
  • each of the first processing device group and the second processing device group includes a plurality of transfer ports arranged along the first direction and a plurality of transfer ports arranged along the second direction.
  • the plurality of transfer ports arranged along the first direction or the second direction are in a straight line with each other.
  • the traveling rail includes a portion that is not disposed and is disposed at a position shifted in the first direction or the second direction, and the traveling rail has a transfer portion disposed immediately above each transfer port in the first processing device group.
  • the carriage can enter the first stop position, and the carriage is moved from the first stop position to the second stop position where the transfer unit is arranged immediately above each transfer port in the second processing unit group. You may arrange
  • the carriage travels on the travel rail with the transfer portion positioned above the travel rail, and the travel rail has an opening including a transfer port in plan view.
  • the carriage may transfer the carrier to the transfer port by the transfer unit through the opening.
  • a storage unit for storing the carrier may be provided, and the traveling rail may be arranged so that the carriage can enter the stop position where the transfer unit is arranged immediately above the storage unit.
  • the carrier can be temporarily stored at a position where the carrier can be transported to the transfer port by the carriage traveling on the traveling rail.
  • the traveling rail includes a plurality of first rails and a plurality of second rails that are spaced apart from each other so that the carrier can pass in the vertical direction. It is provided directly under the space defined by the two rails, and the carriage may transfer the carrier to the storage unit by the transfer unit via the space.
  • the carriage may transfer the carrier to the storage unit by the transfer unit via the space.
  • the opening may have a region including a plurality of transfer ports provided in one processing apparatus.
  • the transfer part has a moving part capable of moving the elevating part back and forth in a direction parallel to the first direction and the plane along the second direction, and the carriage forms a first part that forms an opening.
  • the carrier may be transferred to the transfer port through the opening by stopping on at least one of the rail and the second rail and advancing the moving part.
  • the traveling rail is arranged so that the carriage can be stopped immediately above the transfer port, the carriage stops immediately above the transfer port, and the carrier is transferred to the transfer port through the opening. You may transfer. In this configuration, the carrier can be quickly transferred to the transfer port.
  • the carriage may travel on the traveling rail in a state where the transfer unit is located below the traveling rail.
  • the carrier can be transferred to the transfer port without providing an opening in the traveling rail.
  • the traveling rail is provided with a detection object at a stop position of the carriage relative to the transfer port
  • the carriage includes a detection unit that detects the detection object
  • the traveling part is determined by the detection unit.
  • the carriage may be stopped at the stop position based on the detection result. In this configuration, the carriage can be accurately stopped at the stop position with respect to the transfer port.
  • FIG. 1 is a plan view of a transport system according to an embodiment.
  • FIG. 2 is a perspective view showing a part of the transport system shown in FIG.
  • FIG. 3 is a diagram illustrating a processing apparatus provided below the traveling rail of the transport system illustrated in FIG. 1.
  • FIG. 4 is a diagram illustrating a traveling rail.
  • FIG. 5 is a diagram showing a carriage.
  • FIG. 6 is a view of the carriage as seen from the bottom side.
  • FIG. 7 is a diagram illustrating a state where the transfer part of the carriage extends the slide fork.
  • FIG. 8 is a diagram showing a traveling rail provided with a barcode.
  • FIG. 9 is a diagram illustrating a traveling rail.
  • FIG. 1 is a plan view of a transport system according to an embodiment.
  • FIG. 2 is a perspective view showing a part of the transport system shown in FIG.
  • FIG. 3 is a diagram illustrating a processing apparatus provided below the traveling rail of the transport system illustrated in FIG. 1.
  • FIG. 10 is a diagram in which the carriage is located at a stop position where the transfer unit is arranged immediately above the load port.
  • FIG. 11 is a diagram for explaining the operation of the carriage.
  • FIG. 12 is a diagram for explaining the operation of the carriage.
  • FIG. 13 is a diagram for explaining the operation of the carriage.
  • FIG. 14 is a diagram illustrating a traveling rail of a transport system according to another embodiment.
  • FIG. 15 is a diagram illustrating a carriage of a transport system according to another embodiment.
  • FIG. 16 is a diagram illustrating a carriage of a transport system according to another embodiment.
  • FIG. 17 is a diagram illustrating a traveling rail of a transport system according to another embodiment.
  • FIG. 18 is a diagram illustrating a traveling rail of a transport system according to another embodiment.
  • the cassette is a carrier for the purpose of transporting and storing semiconductor wafers, and is FOUP (Front Opening Unified Pod), FOSB (Front Opening Shipping Box), SmifPod, or the like.
  • FOUP Front Opening Unified Pod
  • FOSB Front Opening Shipping Box
  • SmifPod SmifPod
  • a transport system that transports the FOUP 50 will be described as an example.
  • the FOUP 50 includes a main body 51, a lid 52 attached to the opening of the main body 51, and a flange 53 provided on the upper portion of the main body 51.
  • the transport system 100 also has a function as a temporary storage system that temporarily stores the FOUP 50.
  • the transport system 100 includes a travel rail 4, a plurality of carriages 8 that travel on the travel rail 4, a track R, and a ceiling transport vehicle V that travels on the track R. ing.
  • the track R is laid near the ceiling of the clean room.
  • the track R is provided across the transport system 100 and other transport systems.
  • a part of the track R is disposed above the traveling rail 4. That is, the ceiling transport vehicle V travels above the travel rail 4.
  • the ceiling transport vehicle V can transport the FOUP 50 more quickly than the cart 8 that travels on the traveling rail 4. It is used for transporting the FOUP 50 that is to be transported more quickly than 8.
  • the track R may be provided at the same height as the traveling rail 4 or below the traveling rail 4.
  • the ceiling transport vehicle V is an OHT (Over Head Transfer).
  • the overhead transport vehicle V transports the FOUP 50 to a cell buffer 22 (described later) provided on the traveling rail 4 and picks up the FOUP 50 from the cell buffer 22 and transports the FOUP 50 to another transport system.
  • a processing device is provided below the traveling rail 4. Specifically, below the traveling rail 4, as shown in FIG. 3, a first processing device group G1 having a plurality of first processing devices M1 and a second processing device group having a plurality of second processing devices M2. G2, a third processing device group G3 having a plurality of third processing devices M3, a fourth processing device group G4 having a plurality of fourth processing devices M4, and a fifth processing device group G5 having a plurality of fifth processing devices M5.
  • the first to ninth processing device groups G1 to G9 each perform processing of each process (manufacturing process) related to semiconductor manufacturing.
  • the first to ninth processing apparatus groups G1 to G9 perform, for example, film formation on a semiconductor wafer, cleaning of the semiconductor wafer, and the like. Processing related to semiconductor manufacturing is not completed in one processing device group, and processing is performed in one processing device group and then performed in another processing device group.
  • the first processing device group G1 and the second processing device group G2 are arranged adjacent to each other in the Y direction.
  • the first processing device group G1 and the third processing device group G3 are arranged adjacent to each other in the Y direction.
  • the first processing device group G1 and the fourth processing device group G4 are arranged adjacent to each other in the X direction.
  • the fourth processing device group G4 and the fifth processing device group G5 are arranged adjacent to each other in the Y direction.
  • the third processing device group G3 and the fifth processing device group G5 are arranged adjacent to each other in the X direction.
  • the fourth processing device group G4 and the seventh processing device group G7 are arranged adjacent to each other in the Y direction.
  • the fourth processing device group G4 and the sixth processing device group G6 are arranged adjacent to each other in the X direction.
  • the sixth processing device group G6 and the seventh processing device group G7 are arranged adjacent to each other in the Y direction.
  • the sixth processing device group G6 and the eighth processing device group G8 are arranged adjacent to each other in the X direction.
  • the eighth processing unit group G8 and the ninth processing unit group G9 are arranged adjacent to each other in the Y direction.
  • the seventh processing device group G7 and the ninth processing device group G9 are arranged adjacent to each other in the X direction.
  • the first to ninth processing apparatuses M1 to M9 are apparatuses that perform different processes on the semiconductor wafer. That is, each of the first to ninth processing device groups G1 to G9 performs processing in different steps. The number of the first to ninth processing devices M1 to M9 may be set as appropriate according to the design.
  • the first processing apparatus M1 has a first load port (transfer port) (hereinafter simply referred to as “load port”) P1 which is an interface for taking in and out the semiconductor wafer in the FOUP 50 to and from the first processing apparatus M1.
  • the first processing device M1 is provided with three first load ports P1.
  • the second processing device M2 has a second load port P2.
  • the third processing device M3 has a third load port P3.
  • the fourth processing device M4 has a fourth load port P4.
  • the fifth processing apparatus M5 has a fifth load port P5.
  • the sixth processing device M6 has a sixth load port P6.
  • the seventh processing device M7 has a seventh load port P7.
  • the eighth processing device M8 has an eighth load port P8.
  • the ninth processing device M9 has a ninth load port P9.
  • the number of the first to ninth load ports P1 to P9 in the first to ninth processing devices M1 to M9 may be set as appropriate.
  • the first processing devices M1 are arranged at a predetermined interval in the Y direction. Each of the first load ports P1 is disposed along the Y direction.
  • the second to ninth processing devices M2 to M9 are arranged at a predetermined interval in the Y direction. Each of the second to ninth load ports P2 to P9 is arranged along the Y direction.
  • the first processing device M1 of the first processing device group G1 and the fourth processing device M4 of the fourth processing device group G4 are arranged so that the first load port P1 and the fourth load port P4 face each other.
  • a passage A1 is provided between the first load port P1 and the fourth load port P4.
  • the passage A1 has, for example, a width that allows an operator to walk.
  • a passage A2 is provided between the second processing device group G2 and the third processing device group G3.
  • a passage A3 is provided between the third processing device group G3 and the fifth processing device group G5.
  • a passage A4 is provided between the sixth processing unit group G6 and the eighth processing unit group G8.
  • a passage A5 is provided between the seventh processing device group G7 and the ninth processing device group G9.
  • the traveling rails 4 are provided in a lattice shape in plan view.
  • the traveling rail 4 is supported by, for example, a column (not shown) on the ceiling of the clean room.
  • the traveling rail 4 includes a plurality of first rails 9 and a plurality of second rails 11.
  • the first rail 9 extends linearly in the X direction (first direction).
  • a guide 10 is provided on the first rail 9.
  • the guide 10 is a groove and is provided along the extending direction of the first rail 9.
  • the second rail 11 extends linearly in the Y direction (second direction) orthogonal to the X direction in which the first rail 9 extends.
  • a guide 12 is provided on the second rail 11.
  • the guide 12 is a groove and is provided along the extending direction of the second rail 11.
  • a cross point 14 is provided at a portion where the guide 10 of the first rail 9 and the guide 12 of the second rail 11 intersect.
  • a buffer 6 is provided below the traveling rail 4 and above the first to ninth processing devices M1 to M9.
  • the buffer 6 is a shelf on which the FOUP 50 is placed and accommodates the FOUP 50.
  • the buffer 6 is supported on the traveling rail 4 by a support member 20.
  • the buffer 6 includes a plurality of cell buffers (storage units) 22.
  • the cell buffer 22 is set for each rectangular cell (space) 16 partitioned by the first rail 9 and the second rail 11 in the traveling rail 4.
  • Each cell buffer 22 stores one FOUP 50.
  • the FOUP 50 is transferred via the cell 16. That is, the FOUP 50 passes through the cell 16 in the vertical direction and is transferred to the cell buffer 22.
  • the buffer 6 is provided at a position where a part of the FOUP 50 placed on the buffer 6 overlaps the traveling rail 4 in a side view.
  • the cart 8 includes a traveling unit 24 and a transfer unit 26.
  • the carriage 8 further includes a control unit that controls operations of the traveling unit 24 and the transfer unit 26, a communication unit that can communicate with the host controller, and the like.
  • the control unit is, for example, an electronic control unit including a CPU (Central Processing Unit), a ROM (Read Only Memory), a RAM (Random Access Memory), and the like.
  • the cart 8 conveys the FOUP 50 in accordance with a command from the host controller.
  • the traveling unit 24 has a rectangular parallelepiped shape.
  • the traveling unit 24 has the same dimensions as the cell 16 in plan view.
  • the traveling unit 24 includes a plurality (four in the present embodiment) of traveling units 35.
  • Each traveling unit 35 includes a plurality of (two in the present embodiment) wheels 32a or wheels 32b, a traveling motor 34, and a vertical mechanism (switching unit) 30.
  • Two wheels 32 a are provided on two sides of the traveling unit 24 facing each other.
  • Two wheels 32b are provided on each of two sides of the traveling unit 24 that are orthogonal to the side on which the wheel 32a is provided and that face each other.
  • the wheel 32 a is guided by the guide 10 of the first rail 9 and travels on the travel surface of the first rail 9.
  • the wheel 32 b is guided by the guide 12 of the second rail 11 and travels on the travel surface of the second rail 11.
  • the traveling motor 34 drives the wheels 32a and 32b.
  • the vertical mechanism 30 moves the wheels 32a and 32b and the traveling motor 34 in the vertical direction.
  • the vertical mechanism 30 is, for example, a pantograph, a cam or the like.
  • the traveling unit 24 moves the wheels 32 a and 32 b in the vertical direction by the vertical mechanism 30 so that the wheels 32 a or 32 b come into contact with the guide 10 of the first rail 9 or the guide 12 of the second rail 11. Travel along the second rail 11. That is, the vertical mechanism 30 moves the wheel 32 or the wheel 32 b in the vertical direction, so that the wheel 32 a travels along the first rail 9, and the wheel 32 b travels along the second rail 11.
  • the running state is switched to the second running state.
  • the traveling unit 24 includes a sensor 36 and a barcode reader (detection unit) 38.
  • the sensors 36 are disposed on the bottom surface at the four corners of the traveling unit 24.
  • the sensor 36 detects the cross point 14 of the traveling rail 4.
  • the traveling unit 24 stops based on the cross point 14 detected by the sensor 36 so that the center of the traveling unit 24 is positioned at the center of the cell 16 of the traveling rail 4.
  • the barcode reader 38 reads the barcode (detected object) B (see FIG. 8).
  • the barcode reader 38 is provided in each traveling unit 35 and is disposed on the bottom surface of the traveling unit 24. As shown in FIG. 8, a bar code B is provided on the first rail 9 (second rail 11). Specifically, the barcode B is disposed at the stop position of the carriage 8 where the transfer unit 26 can be disposed immediately above the first to ninth load ports P1 to P9 of the first to ninth processing apparatuses M1 to M9. ing.
  • the traveling unit 24 stops at the stop position with respect to the first to ninth load ports P1 to P9 based on the barcode B detected by the barcode reader 38.
  • the transfer unit 26 protrudes from the traveling unit 24.
  • the transfer unit 26 includes a slide fork (moving unit) 40, a turntable 44, an elevating device (elevating unit) 45, an elevating table 46, and look-down sensors 47 and 48.
  • the slide fork 40 is supported by a support 26 ⁇ / b> A supported by the traveling unit 24.
  • the slide fork 40 has a base part 41, a middle part 42, and a top part 43.
  • the base portion 41 is provided on the support body 26 ⁇ / b> A of the transfer portion 26.
  • the slide fork 40 moves the lifting device 45 back and forth in a direction parallel to a plane along the X direction and the Y direction. As shown in FIG. 7, the top portion 43 advances to both sides of the transfer portion 26 with a stroke corresponding to, for example, one side of the cell 16 with respect to the base portion 41.
  • the turntable 44 is provided below the top portion 43.
  • the turntable 44 rotates an elevating device 45 provided at the lower part of the turntable 44.
  • the turntable 44 is provided so as to be rotatable by 180 °, for example.
  • the elevating device 45 elevates and lowers the elevating table 46 with a belt, a rope, a wire or the like.
  • the lifting platform 46 includes a gripper (holding portion) 46 ⁇ / b> A that holds (holds) the flange portion 53 of the FOUP 50.
  • the look-down sensors 47 and 48 detect objects around the lifting platform 46 when the lifting platform 46 is moved up and down. As shown in FIG. 6, the look-down sensors 47 and 48 are arranged in the top portion 43 at a position sandwiching the lifting device 45. Specifically, the look-down sensors 47 and 48 are arranged at positions where the FOUP 50 does not interfere with object detection in a state where the FOUP 50 is held on the lifting platform 46.
  • the transfer unit 26 may further include a sensor that detects the presence or absence of the FOUP 50 in the cell buffer 22, an ID reader that reads an ID or the like provided in the FOUP 50, and the like. Further, the transfer unit 26 may further include a sensor for detecting an object (obstacle) around the carriage 8 in order to avoid contact with the ceiling transport vehicle V.
  • the carriage 8 has a counterweight 49.
  • the counterweight 49 is provided in the traveling unit 24.
  • the counterweight 49 has a function of canceling out the moment of force applied to the wheel 32 from the transfer unit 26.
  • the counterweight 49 maintains the center of gravity of the carriage 8 within a range surrounded by the plurality of wheels 32.
  • the traveling rail 4 is provided on the first to ninth processing device groups G1 to G9.
  • the traveling rail 4 is arranged over the entire area where the first to ninth processing device groups G1 to G9 are provided across a plurality of processing device groups.
  • the grid-like traveling rail 4 is provided, for example, between the first processing device group G1 and the fourth processing device group G4. That is, the traveling rail 4 is also provided on the passage A1 provided between the first processing device group G1 and the fourth processing device group G4.
  • the traveling rail 4 has an opening K.
  • the opening K is provided directly above (vertically above) the first load port P1 of the first processing apparatus M1.
  • the opening K is a region partitioned by the first rail 9 and the second rail 11. Due to the opening K, the space above the first load port P1 is an open space. That is, the buffer 6 is not provided below the area of the opening K.
  • the opening K is set in a region including a plurality (here, three) of first load ports P1.
  • the dimension in the longitudinal direction (Y direction) of the opening K is larger than the dimension from one end of the first load port P1 to the other end in the same direction.
  • the opening K is provided above the first to ninth load ports P1 to P9 of the first to ninth processing apparatuses M1 to M9.
  • the traveling rail 4 is disposed so that the carriage 8 can enter the stop position where the transfer section 26 is disposed immediately above the first to ninth load ports P1 to P9.
  • the traveling rail 4 is a first stop in which the transfer unit 26 is arranged immediately above each load port in one processing device group (first processing device group) that performs processing of a predetermined process. Directly above each load port in another processing device group (second processing device group) that can perform the processing of a process different from the predetermined process from the first stop position.
  • the carriage 8 is disposed so as to freely enter the second stop position where the transfer unit 26 is disposed. As shown in FIG. 10, for example, when the FOUP 50 is transferred to the first load port P1, the carriage 8 stops at the stop position where the transfer unit 26 is located immediately above the first load port P19.
  • the lifting platform 46 is moved up and down through the opening K.
  • the load ports (first load port P1, fourth load port P4) are slightly closer to the second rail 11 from the center, and the carriage 8 is connected to the first load port P1.
  • the transfer unit 26 is moved to the first load port P1 and the fourth load by the slide fork 40 while stopped on the right side of the fourth load port P4.
  • a mode in which the FOUP 50 is transferred by moving it directly above the port P4 will be described.
  • the carriage 8 stops at the first stop position where the transfer unit 26 is disposed immediately above the first load port P ⁇ b> 1 and picks up the FOUP 50.
  • the carriage 8 moves to the position indicated by “1” on the lower side in the figure along the Y direction, and then moves to the position “2” on the right side in the figure along the X direction.
  • the carriage 8 moves from the position indicated by “2” to the second stop position where the transfer unit 26 is disposed immediately above the fourth load port P4 and stops, and the FOUP 50 is moved to the fourth load port P4. Is transferred. As described above, the carriage 8 conveys the FOUP 50 from the first load port P1 to the fourth load port P4 through the shortest travel route.
  • the carriage 8 stops at the first stop position where the transfer unit 26 is disposed immediately above the first load port P ⁇ b> 1 and picks up the FOUP 50.
  • the carriage 8 moves to the position indicated by “1” on the lower side in the figure along the Y direction, and then moves to the position “2” on the right side in the figure along the X direction.
  • the carriage 8 moves along the Y direction to the position indicated by “3” on the upper side in the drawing, and then moves along the X direction to the position indicated by “4” on the right side in the drawing.
  • the carriage 8 moves along the Y direction to the position indicated by “5” on the lower side in the drawing, and then moves along the X direction to the position indicated by “6” on the right side in the drawing.
  • the carriage 8 moves from the position indicated by “6” to the second stop position where the transfer unit 26 is disposed immediately above the fourth load port P4 and stops, and the FOUP 50 is moved to the fourth load port P4. Transfer.
  • the carriage 8 stops at the first stop position where the transfer unit 26 is disposed immediately above the first load port P ⁇ b> 1 and picks up the FOUP 50.
  • the carriage 8 moves on the first processing apparatus M1 to the position indicated by “1” on the lower side in the figure along the Y direction, and then moves to “2” on the right side in the figure along the X direction.
  • the carriage 8 moves from the position indicated by “2” to the second stop position where the transfer unit 26 is disposed immediately above the fourth load port P4 and stops, and the FOUP 50 is moved to the fourth load port P4. Is transferred.
  • the traveling rail 4 has the transfer unit 26 disposed immediately above each transfer port in the first processing device group that performs processing of a predetermined process. Stop position at which the transfer unit 26 is disposed immediately above each transfer port in the second processing device group that allows the carriage 8 to enter the stop position that is different from the predetermined process.
  • a heavy truck 8 is arranged so as to be freely accessible.
  • the carrier can be transported by selecting a travel route that overtakes another cart 8 in front of the traveling direction that is stopped and performing the transfer operation. Therefore, the transport system 100 can improve the transport efficiency of the FOUP 50 between processes.
  • each of the first to ninth processing apparatus groups G1 to G9 includes first to ninth processing apparatuses M1 to M9 that perform different processes.
  • a plurality of travel routes can be taken by a combination of the X direction and the Y direction.
  • the FOUP 50 can be transported by selecting a travel route overtaking another cart 8 ahead in the traveling direction. Therefore, the transport system 100 can improve the transport efficiency of the FOUP 50 between processes.
  • the first to ninth load ports P1 to P9 of the first to ninth processing apparatuses M1 to M9 are along the Y direction in the first to ninth processing apparatus groups G1 to G9. Are arranged adjacent to each other.
  • the traveling rail 4 includes a transfer unit 26 disposed immediately above the first to ninth load ports P1 to P9 provided in the first to ninth processing device groups G1 to G9 so that the arrangement directions thereof are parallel to each other.
  • the carriage 8 is disposed so as to be freely enterable at the first stop position or the second stop position. With this configuration, the conveyance efficiency of the FOUP 50 between the first to ninth processing device groups G1 to G9 can be improved.
  • the carriage 8 travels on the travel rail with the transfer unit 26 positioned above the travel rail 4.
  • the travel rail 4 has an opening K in a region including the first to ninth load ports P1 to P9 in plan view.
  • the carriage 8 transfers the FOUP 50 to the first to ninth load ports P1 to P9 by the transfer unit 26 through the opening K.
  • the traveling rail is disposed around the first to ninth load ports P1 to P9 in plan view. 4, the carriage 8 can transfer the FOUP 50 to the first to ninth load ports P1 to P9.
  • the traveling rail 4 has a plurality of first rails 9 and a plurality of second rails 11 arranged at intervals at which the FOUP 50 can pass in the vertical direction.
  • the cell buffer 22 is provided immediately below the cell 16 defined by the first rail 9 and the second rail 11.
  • the carriage 8 transfers the FOUP 50 to the cell buffer 22 by the transfer unit 26 via the cell 16.
  • many FOUPs 50 can be stored at positions that do not hinder the traveling of the carriage 8.
  • the cell buffer 22 is provided above the first to ninth load ports P1 to P9. As a result, it is possible to shorten the time for the carriage 8 to transfer the FOUP 50 in the cell buffer 22. As a result, the conveyance efficiency of the FOUP 50 can be further improved. Further, the storage amount of the FOUP 50 can be increased without occupying the space on the floor in the transport system 100.
  • the first to ninth load ports P1 to P9 are provided in the first to ninth processing devices M1 to M9, and the opening K is provided to the first to ninth processing devices.
  • the region includes a plurality of first to ninth load ports P1 to P9 provided in M1 to M9.
  • the transfer unit 26 of the carriage 8 includes the slide fork 40 that can advance and retract the lifting device 45 in a direction parallel to a plane along the X direction and the Y direction.
  • the carriage 8 stops on at least one of the first rail 9 and the second rail 11 forming the opening K, and advances the slide fork 40 so that the first to ninth load ports are opened through the opening K.
  • the FOUP 50 is transferred to P1 to P9. In this configuration, the area of the opening K can be widened. Therefore, it is possible to further secure the degree of freedom of the relative position between the traveling rail 4 and the first to ninth load ports P1 to P9 in plan view.
  • the travel rail 4 is provided with a barcode B at the stop position of the carriage 8 with respect to the first to ninth load ports P1 to P9.
  • the carriage 8 includes a barcode reader 38 that detects the barcode B.
  • the traveling unit 24 of the carriage 8 stops the carriage 8 at the stop position based on the detection result by the barcode reader 38. In this configuration, the carriage 8 can be accurately stopped at the stop positions with respect to the first to ninth load ports P1 to P9.
  • the mode including the track R and the ceiling transport vehicle V has been described as an example, but the track R and the ceiling transport vehicle V may not be included.
  • the first to ninth load ports P1 to P9 are described as an example in which the first to ninth load ports P1 to P9 are arranged along the Y direction.
  • the arrangement of the first to ninth load ports P1 to P9 is not limited to this.
  • the first to ninth load ports P1 to P9 may be appropriately installed according to the design. For example, as shown in FIG. 14, in the first processing device group G1, the first load ports P1 of the first processing devices M1 are arranged along the Y direction or the X direction, respectively.
  • the first load ports P1 are not arranged in a straight line, but are shifted in the Y direction or the X direction.
  • the second load port P2 of each second processing device M2 is arranged along the Y direction or the X direction, respectively.
  • the second load port P2 is not arranged in a straight line, but is displaced in the Y direction or the X direction.
  • the carriage 8 can take a plurality of traveling paths by a combination of the X direction and the Y direction in the traveling rail 4, so that the efficiency between the plurality of load ports provided in non-parallel can be improved.
  • FOUP 50 can be transported. Further, with this configuration, it is possible to increase the degree of freedom of arrangement of the first to ninth load ports P1 to P9, and thus the degree of freedom of arrangement of the first to ninth processing devices M1 to M9.
  • the buffer 6 may include a mounting surface for the FOUP 50 at the same height as the traveling rail 4 or above the traveling rail 4.
  • the mode in which the barcode B provided on the traveling rail 4 is read by the barcode reader 38 has been described as an example.
  • the detected object provided on the traveling rail 4 may be, for example, a magnetic mark, an optical mark, a linear scale, or the like.
  • the detection part should just be what can detect these to-be-detected bodies.
  • the mode in which one FOUP 50 is accommodated in the cell buffer 22 has been described as an example.
  • a plurality of FOUPs 50 may be accommodated in the cell buffer 22.
  • the transfer unit 26 of the carriage 8 includes the slide fork 40 .
  • an arm that advances and retreats in the horizontal direction such as a scalar arm may be provided.
  • the cart 8 includes the traveling unit 24 and the transfer unit 26 and the transfer unit 26 projects from the traveling unit 24 as an example.
  • the form of the carriage is not limited to this.
  • the carriage 70 includes a slide fork 40 in the traveling unit 72.
  • the carriage may be configured such that the arm-shaped transfer portion rotates around the center of gravity of the traveling portion. In this configuration, the transfer unit may not include the slide fork.
  • the carriage 80 has a traveling unit 84 and a transfer unit 86.
  • the carriage 80 may be located below the traveling rail 4 and travel in a state where the traveling unit 84 is suspended from the traveling rail 4.
  • the FOUP 50 can be transferred to the first to ninth load ports P1 to P9 without providing an opening in the traveling rail 4.
  • the carriage may be configured to stop immediately above the cell 16 of the traveling rail 4 and transfer the FOUP 50 via the cell 16. That is, the transfer part of the carriage may not have the slide fork. In this configuration, when the FOUP 50 is transferred to the first to ninth load ports P1 to P9, it is not necessary to advance the transfer section. Therefore, the FOUP 50 to the first to ninth load ports P1 to P9. Can be transferred quickly.
  • the traveling unit 24 of the carriage 8 includes the vertical mechanism 30
  • the configuration of the switching unit that switches the traveling state between the first traveling state that travels along the first rail 9 and the second traveling state that travels along the second rail 11 is not limited thereto.
  • the switching unit can employ various mechanisms.
  • the switching unit may be a mechanism that allows the wheels (traveling units) to move with respect to the traveling unit. In this configuration, when the traveling unit travels along the Y direction by moving the wheel by the switching unit, the wheels are arranged along the Y direction, and the traveling unit travels along the X direction. The wheel is arranged along the X direction.
  • the opening K may be provided so as to include one first load port P1 in the region.
  • the carriage 8 may be positioned on the opening K of the traveling rail 4 and transfer the FOUP 50 through the opening K.
  • the FOUP 50 can be transferred more quickly to the first to ninth load ports P1 to P9.
  • the traveling rail 4 including the first rail 9 provided with the guide 10 and the second rail 11 provided with the guide 12 has been described as an example.
  • the traveling rail may be in the form shown in FIG. 18, for example.
  • the traveling rail 17 includes a first rail 18 and a second rail 19.
  • Two guides 10 are provided on the first rail 18.
  • Two guides 12 are provided on the second rail 19.
  • Separation bands are provided between the guide 10 and the guide 12 and between the guide 12 and the guide 12.
  • the separating body 21 is convex and separates the guide 10 and the guide 10 and the guide 12 and the guide 12.
  • the two carriages 8 can be simultaneously positioned on the first rail 18 or the second rail 19.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)
  • Non-Mechanical Conveyors (AREA)

Abstract

搬送システム１００は、複数の第１レール９と、複数の第２レール１１と、を有し、複数の第１レール９と複数の第２レール１１とが同一面上に格子状に配置された走行レール４と、走行レール４上を第１方向及び第２方向に走行可能な走行部２４と、キャリア５０を保持する保持部４６Ａ及び保持部４６Ａを昇降させる昇降部４５を含む移載部２６と、を有する複数の台車８と、を備え、走行レール４は、所定の工程の処理を実施する第１の処理装置群における各移載ポートの直上に移載部２６が配置される第１の停止位置に台車８が乗り入れ自在であり、且つ、第１の停止位置から所定の工程とは異なる工程の処理を実施する第２の処理装置群における各移載ポートの直上に移載部２６が配置される第２の停止位置へ台車８が乗り入れ自在に配置されている。

Description

搬送システム
　本発明は、搬送システムに関する。
　従来の搬送システムとして、例えば、特許文献１に記載のシステムが知られている。特許文献１に記載の搬送システムは、処理装置のロードポートの上部を通過する第１の軌道と、第１の軌道に沿って走行し且つホイストを備える天井走行車と、第１の軌道の下方で、ロードポートの上方を通過し、且つ第１の軌道と平行に配置された第２の軌道と、第２の軌道の下方で、ロードポートよりも高い位置に、ロードポートの直上部をキャリアが鉛直方向に通過自在に設けられた、キャリアを置くためのバッファと、バッファ及びロードポートとの間でキャリアを受け渡しするホイストを備え、且つ第２の軌道に沿って走行するローカル台車と、を備えている。
特開２０１２－１１１６３５号公報
　従来の技術において、第１の軌道は工程間に設けられ、天井走行車により工程間でのキャリアの搬送を行うのが一般的であった。しかし、前記軌道において、天井走行車が取り得る走行経路は限られており、他の天井走行車が走行経路を塞ぐ等して後続の天井走行車の走行を妨げ、工程間での搬送効率が低下するおそれがあった。
　本発明の一側面は、工程間でのキャリアの搬送効率の向上を図れる搬送システムを提供することを目的とする。
　本発明の一側面に係る搬送システムは、基板を収容するキャリアを、基板の処理を行う複数の処理装置それぞれにおける移載ポート相互間で搬送する搬送システムであって、第１方向に直線状に延在する複数の第１レールと、第１方向に直交する第２方向に延在する複数の第２レールと、を有し、複数の第１レールと複数の第２レールとが同一面上に格子状に配置された走行レールと、走行レールを第１方向及び第２方向に走行可能な走行部と、キャリアを保持する保持部及び保持部を昇降させる昇降部を含む移載部と、を有する複数の台車と、を備え、走行レールは、所定の工程の処理を実施する第１の処理装置群における各移載ポートの直上に移載部が配置される第１の停止位置に前記台車が乗り入れ自在であり、且つ、第１の停止位置から所定の工程とは異なる工程の処理を実施する第２の処理装置群における各移載ポートの直上に移載部が配置される第２の停止位置へ台車が乗り入れ自在に配置されている。
　本発明の一側面に係る搬送システでは、走行レールは、所定の工程の処理を実施する第１の処理装置群における各移載ポートの直上に移載部が配置される停止位置に台車が乗り入れ自在であり、且つ、所定の工程とは異なる工程の処理を実施する第２の処理装置群における各移載ポートの直上に移載部が配置される停止位置へ台車が乗り入れ自在に配置されている。これにより、搬送システムでは、第１の処理装置群の移載ポートと第２の処理装置群の移載ポートとの間において台車でキャリアを搬送する場合、第１方向及び第２方向の組み合せにより複数の走行経路を取り得るため、停止して移載動作を行っている進行方向前方の他の台車を追い越していく走行経路を選択してキャリアを搬送できる。したがって、搬送システムでは、工程間でのキャリアの搬送効率の向上を図れる。
　一実施形態においては、複数の移載ポートは、第１の処理装置群及び第２の処理装置群のそれぞれにおいて、第１方向又は第２方向に沿って互いに隣接して配置されており、走行レールは、第１の処理装置群及び第２の処理装置群において配列方向が平行となるように設けられた複数の移載ポートの直上に移載部が配置される第１の停止位置から第２の停止位置へ台車が乗り入れ自在に配置されていてもよい。この構成では、第１の処理装置群と第２の処理装置群との間のキャリアの搬送効率を向上させることができる。
　一実施形態においては、走行レールは、第１の処理装置群と第２の処理装置群とにおいて互いに対向して配置された複数の移載ポートの直上に移載部が配置される第１の停止位置から第２の停止位置へ台車が乗り入れ自在に配置されていてもよい。この構成では、第１の処理装置群と第２の処理装置群との間のキャリアの搬送効率をより一層向上させることができる。
　一実施形態においては、複数の移載ポートの配列方向が平行となるように設けられた第１の処理装置群及び第２の処理装置群を複数備え、走行レールは、一の第１の処理装置群及び第２の処理装置群の移載ポートの直上に移載部が配置される第１の停止位置に台車が乗り入れ自在であり、且つ、第１の停止位置から他の第１の処理装置群及び第２の処理装置群の移載ポートの直上に移載部が配置される第２の停止位置に台車が乗り入れ自在に配置されていてもよい。この構成では、第１の処理装置群及び第２の処理装置群で構成される群同士のキャリアの搬送効率をより一層向上させることができる。
　一実施形態においては、第１の処理装置群及び第２の処理装置群のそれぞれは、第１方向に沿って配置された複数の移載ポートと、第２方向に沿って配置された複数の移載ポートとを有し、第１の処理装置群及び第２の処理装置群のそれぞれにおいて、第１方向又は第２方向に沿って配置された複数の移載ポートは、互いに一直線上には配置されておらず且つ第１方向又は第２方向にずれた位置に配置されたものを含み、走行レールは、第１の処理装置群における各移載ポートの直上に移載部が配置される第１の停止位置に台車が乗り入れ自在であり、且つ、第１の停止位置から第２の処理装置群における各移載ポートの直上に移載部が配置される第２の停止位置へ台車が乗り入れ自在に配置されてもよい。この構成では、移載ポートの配置の自由度、ひいては処理装置の配置の自由度を高めることができる。
　一実施形態においては、台車は、移載部が走行レールよりも上側に位置した状態で走行レール上を走行し、走行レールは、平面視において移載ポートを含む領域が開口部とされており、台車は、開口部を介して移載部により移載ポートに対してキャリアの移載を行ってもよい。これにより、移載部が走行レールよりも上側に位置した状態で走行レール上を走行する台車の構成において、平面視における移載ポートの周囲に走行レールを設けても、台車が移載ポートに対してキャリアを移載することができる。
　一実施形態においては、キャリアを保管する保管部を備え、走行レールは、保管部の直上に移載部が配置される停止位置へ台車が乗り入れ自在となるように配置されていてもよい。この構成では、走行レールを走行する台車によりキャリアを移載ポートへ搬送できる位置にキャリアを一時保管できる。
　一実施形態においては、走行レールは、複数の第１レールと複数の第２レールとが、それぞれキャリアが鉛直方向に通過できる間隔をあけて配置されており、保管部は、第１レールと第２レールとにより区画される空間の直下に設けられており、台車は、空間を介して移載部により保管部に対してキャリアの移載を行ってもよい。この構成では、移載部が走行レールよりも上側に位置した状態で走行レール上を走行する台車の構成において、台車の走行を妨げない位置に多くのキャリアを保管できる。
　一実施形態においては、開口部は、１つの処理装置に設けられる複数の移載ポートを含む領域を有していてもよい。この構成では、平面視における走行レールと移載ポートとの相対位置の自由度を確保できる。
　一実施形態においては、移載部は、昇降部を第１方向及び前記第２方向に沿った平面に平行な方向において進退可能な移動部を有し、台車は、開口部を形成する第１レール及び第２レールの少なくとも一方の上で停止し、移動部を進出させることにより、開口部を介して移載ポートにキャリアを移載してもよい。この構成では、開口部の領域を広くすることが可能となる。したがって、平面視における走行レールと移載ポートとの相対位置の自由度を確保できる。
　一実施形態においては、走行レールは、移載ポートの直上で台車が停止できるように配置されており、台車は、移載ポートの直上で停止し、開口部を介してキャリアを移載ポートに移載してもよい。この構成では、移載ポートに対してキャリアを迅速に移載することができる。
　一実施形態においては、台車は、移載部が走行レールよりも下側に位置した状態で走行レールを走行してもよい。この構成では、走行レールに開口部を設けなくとも、移載ポートにキャリアを移載できる。
　一実施形態においては、走行レールには、移載ポートに対する台車の停止位置に被検出体が設けられており、台車は、被検出体を検出する検出部を備え、走行部は、検出部による検出結果に基づいて、停止位置において台車を停止させてもよい。この構成では、台車を、移載ポートに対する停止位置において精度良く停止させることができる。
　本発明の一側面によれば、工程間でのキャリアの搬送効率の向上を図れる。
図１は、一実施形態に係る搬送システムの平面図である。 図２は、図１に示す搬送システムの一部を示す斜視図である。 図３は、図１に示す搬送システムの走行レールの下方に設けられた処理装置を示す図である。 図４は、走行レールを示す図である。 図５は、台車を示す図である。 図６は、台車を底面側から見た図である。 図７は、台車の移載部がスライドフォークを伸長した状態を示す図である。 図８は、バーコードが設けられた走行レールを示す図である。 図９は、走行レールを示す図である。 図１０は、ロードポートの直上に移載部が配置される停止位置に台車が位置している図である。 図１１は、台車の動作を説明するための図である。 図１２は、台車の動作を説明するための図である。 図１３は、台車の動作を説明するための図である。 図１４は、他の実施形態に係る搬送システムの走行レールを示す図である。 図１５は、他の実施形態に係る搬送システムの台車を示す図である。 図１６は、他の実施形態に係る搬送システムの台車を示す図である。 図１７は、他の実施形態に係る搬送システムの走行レールを示す図である。 図１８は、他の実施形態に係る搬送システムの走行レールを示す図である。
　以下、添付図面を参照して、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明において同一又は相当要素には同一符号を付し、重複する説明は省略する。
　図１に示される搬送システム１００は、例えば、複数の処理装置を備える半導体製造工場のクリーンルーム内で、複数の半導体ウェハ等の基板が収容されたカセットを搬送するためのシステムである。カセットは、半導体ウェハ用の搬送及び保管等を目的としたキャリアであり、ＦＯＵＰ（Front　Opening　Unified Pod）、ＦＯＳＢ（Front　Opening　Shipping　Box）、ＳｍｉｆＰｏｄ等である。本実施形態では、ＦＯＵＰ５０を搬送する搬送システムを一例に説明する。ＦＯＵＰ５０は、本体部５１と、本体部５１の開口部に取り付けられる蓋５２と、本体部５１の上部に設けられたフランジ部５３と、を備えている。搬送システム１００は、ＦＯＵＰ５０を一時的に保管する一時保管システムとしての機能も有している。
　図１又は図２に示されるように、搬送システム１００は、走行レール４と、走行レール４を走行する複数の台車８と、軌道Ｒと、軌道Ｒを走行する天井搬送車Ｖと、を備えている。軌道Ｒは、クリーンルームの天井付近に敷設されている。軌道Ｒは、搬送システム１００と他の搬送システムとに亘って設けられている。軌道Ｒの一部は、走行レール４の上方に配置されている。すなわち、天井搬送車Ｖは、走行レール４の上方を走行する。天井搬送車Ｖは、ＦＯＵＰ５０の搬送元と搬送先とが何れも軌道Ｒの直下にある場合には、走行レール４を走行する台車８よりも速やかにＦＯＵＰ５０を搬送できるため、かかる条件において、台車８よりも速やかに搬送したいＦＯＵＰ５０の搬送に用いられる。なお、軌道Ｒは、走行レール４と同じ高さ、或いは走行レール４よりも下方に設けられていてもよい。
　天井搬送車Ｖは、ＯＨＴ（Over　Head　Transfer）である。天井搬送車Ｖは、走行レール４に設けられたセルバッファ２２（後述）に対してＦＯＵＰ５０を搬送すると共に、セルバッファ２２からＦＯＵＰ５０をピックアップして他の搬送システムにＦＯＵＰ５０を搬送する。
　図１に示されるように、走行レール４の下方には、処理装置が設けられている。具体的には、走行レール４の下方には、図３に示されるように、第１処理装置Ｍ１を複数有する第１処理装置群Ｇ１と、第２処理装置Ｍ２を複数有する第２処理装置群Ｇ２と、第３処理装置Ｍ３を複数有する第３処理装置群Ｇ３と、第４処理装置Ｍ４を複数備える第４処理装置群Ｇ４と、第５処理装置Ｍ５を複数有する第５処理装置群Ｇ５と、第６処理装置Ｍ６を複数有する第６処理装置群Ｇ６と、第７処理装置Ｍ７を複数有する第７処理装置群Ｇ７と、第８処理装置Ｍ８を複数有する第８処理装置群Ｇ８と、第９処理装置Ｍ９を複数有する第９処理装置群Ｇ９と、が設けられている。第１～第９処理装置群Ｇ１～Ｇ９は、それぞれ半導体の製造に係る各工程（製造プロセス）の処理を行うものである。第１～第９処理装置群Ｇ１～Ｇ９は、例えば、半導体ウェハへの成膜、半導体ウェハの洗浄等を行う。半導体の製造に係る処理は、１つの処理装置群では完結せず、１つの処理装置群で処理が行われた後、他の処理装置群で行われる。
　第１処理装置群Ｇ１と第２処理装置群Ｇ２とは、Ｙ方向において隣接して配置されている。第１処理装置群Ｇ１と第３処理装置群Ｇ３とは、Ｙ方向において隣接して配置されている。第１処理装置群Ｇ１と第４処理装置群Ｇ４とは、Ｘ方向において隣接して配置されている。第４処理装置群Ｇ４と第５処理装置群Ｇ５とは、Ｙ方向において隣接して配置されている。第３処理装置群Ｇ３と第５処理装置群Ｇ５とは、Ｘ方向において隣接して配置されている。第４処理装置群Ｇ４と第７処理装置群Ｇ７とは、Ｙ方向において隣接して配置されている。第４処理装置群Ｇ４と第６処理装置群Ｇ６とは、Ｘ方向において隣接して配置されている。第６処理装置群Ｇ６と第７処理装置群Ｇ７とは、Ｙ方向において隣接して配置されている。第６処理装置群Ｇ６と第８処理装置群Ｇ８とは、Ｘ方向において隣接して配置されている。第８処理装置群Ｇ８と第９処理装置群Ｇ９とは、Ｙ方向において隣接して配置されている。第７処理装置群Ｇ７と第９処理装置群Ｇ９とは、Ｘ方向において隣接して配置されている。
　第１～第９処理装置Ｍ１～Ｍ９は、半導体ウェハに対して異なる処理を実施する装置である。すなわち、第１～第９処理装置群Ｇ１～Ｇ９のそれぞれは、互いに異なる工程の処理を実施する。第１～第９処理装置Ｍ１～Ｍ９の数は、設計に応じて適宜設定されればよい。
　第１処理装置Ｍ１は、ＦＯＵＰ５０内の半導体ウェハを第１処理装置Ｍ１に出し入れするインターフェースである第１ロードポート（移載ポート）（以下、単に「ロードポート」と称する）Ｐ１を有する。第１処理装置Ｍ１には、例えば、第１ロードポートＰ１が３個設けられている。第２処理装置Ｍ２は、第２ロードポートＰ２を有する。第３処理装置Ｍ３は、第３ロードポートＰ３を有する。第４処理装置Ｍ４は、第４ロードポートＰ４を有する。第５処理装置Ｍ５は、第５ロードポートＰ５を有する。第６処理装置Ｍ６は、第６ロードポートＰ６を有する。第７処理装置Ｍ７は第７ロードポートＰ７を有する。第８処理装置Ｍ８は、第８ロードポートＰ８を有する。第９処理装置Ｍ９は、第９ロードポートＰ９を有する。第１～第９処理装置Ｍ１～Ｍ９における第１～第９ロードポートＰ１～Ｐ９の数は、適宜設定されればよい。
　第１処理装置群Ｇ１では、第１処理装置Ｍ１がＹ方向において所定の間隔をあけて配置されている。第１ロードポートＰ１のそれぞれは、Ｙ方向に沿って配置されている。同様に、第２～第９処理装置群Ｇ２～Ｇ９のそれぞれでは、第２～第９処理装置Ｍ２～Ｍ９がＹ方向に所定の間隔をあけて配置されている。第２～第９ロードポートＰ２～Ｐ９のそれぞれは、Ｙ方向に沿って配置されている。
　第１処理装置群Ｇ１の第１処理装置Ｍ１と第４処理装置群Ｇ４の第４処理装置Ｍ４とは、第１ロードポートＰ１と第４ロードポートＰ４とが対向するように配置されている。第１ロードポートＰ１と第４ロードポートＰ４との間には、通路Ａ１が設けられている。通路Ａ１は、例えば、作業者が歩行可能な幅を有する。第２処理装置群Ｇ２と第３処理装置群Ｇ３との間には、通路Ａ２が設けられている。第３処理装置群Ｇ３と第５処理装置群Ｇ５との間には、通路Ａ３が設けられている。第６処理装置群Ｇ６と第８処理装置群Ｇ８との間には、通路Ａ４が設けられている。第７処理装置群Ｇ７と第９処理装置群Ｇ９との間には、通路Ａ５が設けられている。
　図１及び図２に示されるように、走行レール４は、平面視において格子状に設けられている。走行レール４は、例えば、クリーンルームの天井に支柱（図示省略）により支持されている。図４に示されるように、走行レール４は、複数の第１レール９と、複数の第２レール１１と、により構成されている。
　第１レール９は、Ｘ方向（第１方向）に直線状に延在している。第１レール９には、ガイド１０が設けられている。ガイド１０は、溝であり、第１レール９の延在方向に沿って設けられている。第２レール１１は、第１レール９が延在するＸ方向に直交するＹ方向（第２方向）に直線状に延在している。第２レール１１には、ガイド１２が設けられている。ガイド１２は、溝であり、第２レール１１の延在方向に沿って設けられている。第１レール９のガイド１０と第２レール１１のガイド１２とが交差する部分には、クロスポイント１４が設けられている。
　図５に示されるように、走行レール４の下方で且つ第１～第９処理装置Ｍ１～Ｍ９の上方には、バッファ６が設けられている。バッファ６は、ＦＯＵＰ５０が載置される棚であり、ＦＯＵＰ５０を収容する。バッファ６は、支持部材２０により走行レール４に支持されている。バッファ６は、複数のセルバッファ（保管部）２２により構成されている。セルバッファ２２は、走行レール４において第１レール９及び第２レール１１により区画される矩形状のセル（空間）１６毎に設定されている。セルバッファ２２のそれぞれは、１個のＦＯＵＰ５０を保管する。セルバッファ２２では、セル１６を介してＦＯＵＰ５０が移載される。すなわち、ＦＯＵＰ５０は、セル１６を鉛直方向において通過してセルバッファ２２に移載される。図５に示されるように、バッファ６は、そのバッファ６上に載置されたＦＯＵＰ５０の一部が、側面視において走行レール４と重なる位置に設けられている。
　図２及び図５に示されるように、走行レール４上には、台車８が設けられている。台車８は、走行レール４上に複数設けられている。台車８は、走行部２４と、移載部２６と、を備えている。また、台車８は、走行部２４及び移載部２６の動作を制御する制御部、上位コントローラと通信可能な通信部等を更に備えている。制御部は、例えば、ＣＰＵ（Central　Processing　Unit）、ＲＯＭ（Read　Only　Memory）及びＲＡＭ（Random　Access　Memory）などからなる電子制御ユニットである。台車８は、上位コントローラからの指令により、ＦＯＵＰ５０を搬送する。
　走行部２４は、直方体状を呈している。走行部２４は、平面視においてセル１６と同等の寸法である。図６に示されるように、走行部２４は、複数（本実施形態では４個）の走行ユニット３５を有している。各走行ユニット３５は、複数（本実施形態では２個）の車輪３２ａ又は車輪３２ｂと、走行モータ３４と、上下機構（切替部）３０と、をそれぞれ有する。車輪３２ａは、走行部２４において互いに対向する２辺に２個ずつ設けられている。車輪３２ｂは、走行部２４において、車輪３２ａが設けられた辺と直交し、且つ互いに対向する２辺に２個ずつ設けられている。車輪３２ａは、第１レール９のガイド１０にガイドされ、第１レール９における走行面上を走行する。車輪３２ｂは、第２レール１１のガイド１２にガイドされ、第２レール１１における走行面上を走行する。走行モータ３４は、車輪３２ａ，３２ｂを駆動させる。上下機構３０は、車輪３２ａ，３２ｂ及び走行モータ３４を上下方向に移動させる。上下機構３０は、例えば、パンタグラフ、カム等である。
　走行部２４は、上下機構３０による車輪３２ａ，３２ｂの上下方向の移動により、車輪３２ａ又は車輪３２ｂが第１レール９のガイド１０又は第２レール１１のガイド１２に接触し、第１レール９又は第２レール１１に沿って走行する。すなわち、上下機構３０は、車輪３２又は車輪３２ｂを上下方向に移動させることにより、車輪３２ａが第１レール９に沿って走行する第１走行状態と、車輪３２ｂが第２レール１１に沿って走行する第２走行状態とに走行状態を切り替える。
　走行部２４は、センサ３６と、バーコードリーダ（検出部）３８と、を有する。センサ３６は、走行部２４の四隅において底面に配置されている。センサ３６は、走行レール４のクロスポイント１４を検出する。走行部２４は、センサ３６によって検出されたクロスポイント１４に基づいて、走行部２４の中心が走行レール４のセル１６の中心に位置するように停止する。
　バーコードリーダ３８は、バーコード（被検出体）Ｂ（図８参照）を読み取る。バーコードリーダ３８は、各走行ユニット３５にそれぞれ設けられ、走行部２４の底面に配置されている。図８に示されるように、第１レール９（第２レール１１）には、バーコードＢが設けられている。詳細には、バーコードＢは、第１～第９処理装置Ｍ１～Ｍ９の第１～第９ロードポートＰ１～Ｐ９の直上に移載部２６が配置可能となる台車８の停止位置に配置されている。走行部２４は、バーコードリーダ３８によって検出されたバーコードＢに基づいて、第１～第９ロードポートＰ１～Ｐ９に対する停止位置で停止する。
　移載部２６は、走行部２４から張り出している。移載部２６は、スライドフォーク（移動部）４０と、ターンテーブル４４と、昇降装置（昇降部）４５と、昇降台４６と、ルックダウンセンサ４７，４８と、を備えている。
　スライドフォーク４０は、走行部２４に支持される支持体２６Ａに支持されている。スライドフォーク４０は、ベース部４１と、ミドル部４２と、トップ部４３と、を有する。ベース部４１は、移載部２６の支持体２６Ａに設けられている。スライドフォーク４０は、昇降装置４５を、Ｘ方向及びＹ方向に沿った平面に平行な方向において進退させる。図７に示されるように、トップ部４３は、ベース部４１に対し、例えばセル１６の一辺に相当するストロークで、移載部２６の両側に進出する。
　ターンテーブル４４は、トップ部４３の下部に設けられている。ターンテーブル４４は、当該ターンテーブル４４の下部に設けられている昇降装置４５を回転させる。ターンテーブル４４は、例えば、１８０°回転可能に設けられている。昇降装置４５は、ベルト、ロープ、ワイヤ等により昇降台４６を昇降させる。昇降台４６は、ＦＯＵＰ５０のフランジ部５３を保持（把持）するグリッパ（保持部）４６Ａを有する。
　ルックダウンセンサ４７，４８は、昇降台４６を昇降させるときに、昇降台４６の周囲の物体を検出する。ルックダウンセンサ４７，４８は、図６に示されるように、トップ部４３において、昇降装置４５を挟む位置に配置されている。具体的は、ルックダウンセンサ４７，４８は、昇降台４６にＦＯＵＰ５０が保持された状態でＦＯＵＰ５０が物体の検出の妨げとならない位置に配置されている。移載部２６は、セルバッファ２２におけるＦＯＵＰ５０の有無を検出するセンサ、ＦＯＵＰ５０に設けられたＩＤ等を読み込むＩＤリーダ等を更に備えていてもよい。また、移載部２６は、天井搬送車Ｖとの接触を回避するために、台車８の周囲の物体（障害物）を検出するセンサを更に備えていてもよい。
　台車８は、カウンターウェイト４９を有している。カウンターウェイト４９は、走行部２４に設けられている。カウンターウェイト４９は、移載部２６から車輪３２に加わる力のモーメントを相殺する機能を有する。カウンターウェイト４９は、台車８の重心を、複数の車輪３２で囲まれる範囲内に維持する。
　続いて、走行レール４について、更に詳細に説明する。図１に示されるように、走行レール４は、第１～第９処理装置群Ｇ１～Ｇ９上に設けられている。走行レール４は、複数の処理装置群に亘って第１～第９処理装置群Ｇ１～Ｇ９が設けられているエリアの全面に配置されている。具体的な一例としては、格子状の走行レール４は、例えば、第１処理装置群Ｇ１と第４処理装置群Ｇ４との間に亘って設けられている。すなわち、走行レール４は、第１処理装置群Ｇ１と第４処理装置群Ｇ４との間に設けられた通路Ａ１上にも設けられている。
　図９に示されるように、走行レール４には、開口部Ｋが設けられている。図９に示す例では、開口部Ｋは、第１処理装置Ｍ１の第１ロードポートＰ１の直上（鉛直上方）に設けられている。開口部Ｋは、第１レール９と第２レール１１とにより区画された領域である。開口部Ｋにより、第１ロードポートＰ１の上方は、開放された空間となっている。つまり、開口部Ｋの領域の下方には、バッファ６が設けられていない。開口部Ｋは、複数（ここでは３個）の第１ロードポートＰ１を含む領域に設定されている。開口部Ｋの長手方向（Ｙ方向）の寸法は、同方向における第１ロードポートＰ１の一方の端部から他方の端部までの寸法よりも大きい。開口部Ｋは、第１～第９処理装置Ｍ１～Ｍ９の第１～第９ロードポートＰ１～Ｐ９の上方に設けられている。
　走行レール４は、台車８が第１～第９ロードポートＰ１～Ｐ９の直上に移載部２６が配置される停止位置に乗り入れ自在に配置されている。具体的には、走行レール４は、所定の工程の処理を実施する一の処理装置群（第１の処理装置群）における各ロードポートの直上に移載部２６が配置される第１の停止位置に台車８が乗り入れ自在であり、且つ、第１の停止位置から所定の工程とは異なる工程の処理を実施する他の処理装置群（第２の処理装置群）における各ロードポートの直上に移載部２６が配置される第２の停止位置へ台車８が乗り入れ自在に配置されている。図１０に示されるように、台車８は、例えば、第１ロードポートＰ１にＦＯＵＰ５０を移載する場合には、第１ロードポートＰ１９の直上に移載部２６が位置する停止位置に停止し、開口部Ｋを介して昇降台４６を昇降させる。
　台車８の動作について、図１１～図１３を参照して説明する。図１１～図１３では、開口部Ｋの領域内においてロードポート（第１ロードポートＰ１、第４ロードポートＰ４）が中央よりやや第２レール１１に寄っており、台車８が第１ロードポートＰ１に対して図面向って左側に停止した状態で、第４ロードポートＰ４に対して図面向って右側に停止した状態で、それぞれスライドフォーク４０により移載部２６を第１ロードポートＰ１、第４ロードポートＰ４の直上へ移動させてＦＯＵＰ５０の移載を行う態様について説明する。
　最初に、図１１に示されるように、例えば、第１処理装置群Ｇ１の第１処理装置Ｍ１の第１ロードポートＰ１から、第４処理装置群Ｇ４の第４処理装置Ｍ４の第４ロードポートＰ４にＦＯＵＰ５０を搬送する場合について説明する。図１１に示されるように、台車８は、第１ロードポートＰ１の直上に移載部２６が配置される第１の停止位置に停止し、ＦＯＵＰ５０をピックアップする。ＦＯＵＰ５０をピックアップすると、台車８は、Ｙ方向に沿って図示下側の「１」で示す位置まで移動し、その後、Ｘ方向に沿って図示右側の「２」まで位置まで移動する。続いて、台車８は、「２」で示す位置から、第４ロードポートＰ４の直上に移載部２６が配置される第２の停止位置まで移動して停止し、第４ロードポートＰ４にＦＯＵＰ５０を移載する。以上のように、台車８は、第１ロードポートＰ１から第４ロードポートＰ４まで、最短の走行経路でＦＯＵＰ５０を搬送する。
　続いて、図１２に示されるように、例えば、第１処理装置群Ｇ１の第１処理装置Ｍ１の第１ロードポートＰ１から、第４処理装置群Ｇ４の第４処理装置Ｍ４の第４ロードポートＰ４にＦＯＵＰ５０を搬送する場合において、走行レール４上に他の台車８が例えばセルバッファ２２に対するＦＯＵＰ５０の移載のために停止している場合について説明する。図１２に示されるように、台車８は、第１ロードポートＰ１の直上に移載部２６が配置される第１の停止位置に停止し、ＦＯＵＰ５０をピックアップする。ＦＯＵＰ５０をピックアップすると、台車８は、Ｙ方向に沿って図示下側の「１」で示す位置まで移動し、その後、Ｘ方向に沿って図示右側の「２」まで位置まで移動する。次に、台車８は、Ｙ方向に沿って図示上側の「３」で示す位置まで移動し、その後、Ｘ方向に沿って図示右側の「４」で示す位置まで移動する。次に、台車８は、Ｙ方向に沿って図示下側の「５」で示す位置まで移動し、その後、Ｘ方向に沿って図示右側の「６」で示す位置まで移動する。そして、台車８は、「６」で示す位置から、第４ロードポートＰ４の直上に移載部２６が配置される第２の停止位置まで移動して停止し、第４ロードポートＰ４にＦＯＵＰ５０を移載する。
　続いて、図１３に示されるように、例えば、第１処理装置群Ｇ１の第１処理装置Ｍ１の第１ロードポートＰ１から、第４処理装置群Ｇ４の第４処理装置Ｍ４の第４ロードポートＰ４にＦＯＵＰ５０を搬送する場合において、走行レール４上に他の台車８が停止している場合について説明する。図１３に示されるように、台車８は、第１ロードポートＰ１の直上に移載部２６が配置される第１の停止位置に停止し、ＦＯＵＰ５０をピックアップする。ＦＯＵＰ５０をピックアップすると、台車８は、Ｙ方向に沿って図示下側の「１」で示す位置まで第１処理装置Ｍ１上を通過して移動し、その後、Ｘ方向に沿って図示右側の「２」まで位置まで移動する。続いて、台車８は、「２」で示す位置から、第４ロードポートＰ４の直上に移載部２６が配置される第２の停止位置まで移動して停止し、第４ロードポートＰ４にＦＯＵＰ５０を移載する。
　以上説明したように、本実施形態に係る搬送システム１００では、走行レール４は、所定の工程の処理を実施する第１の処理装置群における各移載ポートの直上に移載部２６が配置される停止位置に台車８が乗り入れ自在であり、且つ、所定の工程とは異なる工程の処理を実施する第２の処理装置群における各移載ポートの直上に移載部２６が配置される停止位置へ台車８が乗り入れ自在に配置されている。これにより、搬送システム１００では、第１の処理装置群の移載ポートと第２の処理装置群の移載ポートとの間においてＦＯＵＰ５０を台車８で搬送する場合、Ｘ方向及びＹ方向の組み合せにより複数の走行経路を取り得るため、停止して移載動作を行っている進行方向前方の他の台車８を追い越していく走行経路を選択してキャリアを搬送できる。したがって、搬送システム１００では、工程間でのＦＯＵＰ５０の搬送効率の向上を図れる。
　本実施形態に係る搬送システム１００では、第１～第９処理装置群Ｇ１～Ｇ９のそれぞれは、互いに異なる処理を実施する第１～第９処理装置Ｍ１～Ｍ９を備える。この構成において、搬送システム１００では、異なる種類の処理装置間を台車８がＦＯＵＰ５０を搬送する際、Ｘ方向及びＹ方向の組み合せにより複数の走行経路を取り得るため、停止して移載動作を行っている進行方向前方の他の台車８を追い越していく走行経路を選択してＦＯＵＰ５０を搬送できる。したがって、搬送システム１００では、工程間でのＦＯＵＰ５０の搬送効率の向上を図れる。
　本実施形態に係る搬送システム１００では、第１～第９処理装置Ｍ１～Ｍ９の第１～第９ロードポートＰ１～Ｐ９は、第１～第９処理装置群Ｇ１～Ｇ９において、Ｙ方向に沿って互いに隣接して配置されている。走行レール４は、第１～第９処理装置群Ｇ１～Ｇ９において配列方向が平行となるように設けられた第１～第９ロードポートＰ１～Ｐ９の直上に移載部２６が配置される第１の停止位置又は第２の停止位置へ台車８が乗り入れ自在に配置されている。この構成では、第１～第９処理装置群Ｇ１～Ｇ９の間のＦＯＵＰ５０の搬送効率を向上させることができる。
　本実施形態に係る搬送システム１００では、台車８は、移載部２６が走行レール４よりも上側に位置した状態で走行レール上を走行する。走行レール４は、平面視において第１～第９ロードポートＰ１～Ｐ９を含む領域が開口部Ｋとされている。台車８は、開口部Ｋを介して移載部２６により第１～第９ロードポートＰ１～Ｐ９に対してＦＯＵＰ５０の移載を行う。これにより、移載部２６が走行レール４よりも上側に位置した状態で走行レール４上を走行する台車８の構成において、平面視における第１～第９ロードポートＰ１～Ｐ９の周囲に走行レール４を設けても、台車８が第１～第９ロードポートＰ１～Ｐ９に対してＦＯＵＰ５０を移載することができる。
　本実施形態に係る搬送システム１００では、走行レール４は、複数の第１レール９と複数の第２レール１１とが、それぞれＦＯＵＰ５０が鉛直方向に通過できる間隔をあけて配置されている。セルバッファ２２は、第１レール９と第２レール１１とにより区画されるセル１６の直下に設けられている。台車８は、セル１６を介して移載部２６によりセルバッファ２２に対してＦＯＵＰ５０の移載を行う。この構成では、移載部２６が走行レール４よりも上側に位置した状態で走行レール４上を走行する台車８の構成において、台車８の走行を妨げない位置に多くのＦＯＵＰ５０を保管できる。
　本実施形態に係る搬送システム１００では、セルバッファ２２は、第１～第９ロードポートＰ１～Ｐ９よりも上方に設けられている。これにより、台車８がセルバッファ２２においてＦＯＵＰ５０を移載する時間の短縮を図ることができる。その結果、ＦＯＵＰ５０の搬送効率の向上をより一層図れる。また、搬送システム１００において床上のスペースを専有することなくＦＯＵＰ５０の保管量を増やすことができる。
　本実施形態に係る搬送システム１００では、第１～第９ロードポートＰ１～Ｐ９は、第１～第９処理装置Ｍ１～Ｍ９に設けられており、開口部Ｋは、第１～第９処理装置Ｍ１～Ｍ９に設けられる複数の第１～第９ロードポートＰ１～Ｐ９を含む領域を有している。この構成では、平面視における走行レール４と第１～第９ロードポートＰ１～Ｐ９との相対位置の自由度を確保できる。
　本実施形態に係る搬送システム１００では、台車８の移載部２６は、昇降装置４５をＸ方向及びＹ方向に沿った平面に平行な方向において進退可能なスライドフォーク４０を有する。台車８は、開口部Ｋを形成する第１レール９及び第２レール１１の少なくとも一方の上で停止し、スライドフォーク４０を進出させることにより、開口部Ｋを介して第１～第９ロードポートＰ１～Ｐ９にＦＯＵＰ５０を移載する。この構成では、開口部Ｋの領域を広くすることが可能となる。したがって、平面視における走行レール４と第１～第９ロードポートＰ１～Ｐ９との相対位置の自由度をより一層確保できる。
　本実施形態に係る搬送システム１００では、走行レール４には、第１～第９ロードポートＰ１～Ｐ９に対する台車８の停止位置にバーコードＢが設けられている。台車８は、バーコードＢを検出するバーコードリーダ３８を備える。台車８の走行部２４は、バーコードリーダ３８による検出結果に基づいて、停止位置において台車８を停止させる。この構成では、台車８を第１～第９ロードポートＰ１～Ｐ９に対する停止位置において精度良く停止させることができる。
　以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。
　上記実施形態では、軌道Ｒ及び天井搬送車Ｖを備える形態を一例に説明したが、軌道Ｒ及び天井搬送車Ｖは備えていなくてもよい。
　上記実施形態では、第１～第９ロードポートＰ１～Ｐ９が、Ｙ方向に沿って配置されている形態を一例に説明した。しかし、第１～第９ロードポートＰ１～Ｐ９の配置形態はこれに限定されない。第１～第９ロードポートＰ１～Ｐ９は、設計に応じて適宜設置されればよい。例えば、図１４に示されるように、第１処理装置群Ｇ１において、各第１処理装置Ｍ１の第１ロードポートＰ１は、Ｙ方向又はＸ方向に沿ってそれぞれ配置されている。第１ロードポートＰ１は、その配列方向が一直線上には設けられておらず、Ｙ方向又はＸ方向にずれて配置されている。同様に、第２処理装置群Ｇ２において、各第２処理装置Ｍ２の第２ロードポートＰ２は、Ｙ方向又はＸ方向に沿ってそれぞれ配置されている。第２ロードポートＰ２は、その配列方向が一直線上には設けられておらず、Ｙ方向又はＸ方向にずれて配置されている。この構成であっても、搬送システム１００では、走行レール４におけるＸ方向及びＹ方向の組み合わせにより台車８が複数の走行経路を取り得るため、非平行に設けられた複数のロードポート相互間で効率的にＦＯＵＰ５０を搬送できる。また、この構成では、第１～第９ロードポートＰ１～Ｐ９の配置の自由度、ひいては第１～第９処理装置Ｍ１～Ｍ９の配置の自由度を高めることができる。
　上記実施形態では、バッファ６が、そのバッファ６上に載置されたＦＯＵＰ５０の一部が、側面視において走行レール４と重なる位置に設けられている形態を一例に説明した。しかし、バッファ６（セルバッファ２２）は、走行レール４と同じ高さ、或いは走行レール４よりも上方にＦＯＵＰ５０の載置面を備えていてもよい。
　上記実施形態では、走行レール４に設けられたバーコードＢをバーコードリーダ３８で読み取る形態を一例に説明した。しかし、走行レール４に設けられる被検出体は、例えば、磁気マーク、光学マーク、リニアスケール等であってもよい。検出部は、これらの被検出体を検出できるものであればよい。
　上記実施形態では、セルバッファ２２に１個のＦＯＵＰ５０が収容される形態を一例に説明した。しかし、セルバッファ２２には、複数のＦＯＵＰ５０が収容されてもよい。
　上記実施形態では、台車８の移載部２６がスライドフォーク４０を備える形態を一例に説明した。しかし、スライドフォーク４０に変えてスカラーアーム等の水平方向に進退するアームを備えていてもよい。
　上記実施形態では、台車８が走行部２４及び移載部２６を備え、移載部２６が走行部２４から張り出している形態を一例に説明した。しかし、台車の形態はこれに限定されない。例えば、図１５に示されるように、台車７０は、走行部７２にスライドフォーク４０を備えている。また、台車は、アーム状の移載部が走行部の重心周りに回転する構成であってもよい。この構成では、移載部は、スライドフォークを備えていなくてもよい。
　また、図１６に示されるように、台車８０は、走行部８４及び移載部８６を有している。台車８０は、走行レール４の下方に位置し、走行部８４が走行レール４に吊り下げられた状態で走行する形態であってもよい。この構成では、走行レール４に開口部を設けなくとも、第１～第９ロードポートＰ１～Ｐ９にＦＯＵＰ５０を移載できる。また、台車は、走行レール４のセル１６の直上に停止し、当該セル１６を介してＦＯＵＰ５０を移載できる形態であってもよい。すなわち、台車の移載部がスライドフォークを備えていなくてもよい。この構成では、第１～第９ロードポートＰ１～Ｐ９に対してＦＯＵＰ５０を移載する際に、移載部を進出させる必要がないため、第１～第９ロードポートＰ１～Ｐ９に対してＦＯＵＰ５０を迅速に移載することができる。
　上記実施形態では、台車８の走行部２４が上下機構３０を備える形態を一例に説明した。しかし、第１レール９に沿って走行する第１走行状態と、第２レール１１に沿って走行する第２走行状態とに走行状態を切り替える切替部の構成はこれに限定されない。切替部は、種々の機構を採用することができる。例えば、切替部は、走行部に対して車輪（走行ユニット）を移動可能とする機構であってもよい。この構成では、車輪を切替部によって移動させることにより、Ｙ方向に沿って走行部が走行する場合には、車輪がＹ方向に沿うように配置され、Ｘ方向に沿って走行部が走行する場合には、車輪がＸ方向に沿うように配置される。
　上記実施形態では、走行レール４に設けられた開口部Ｋの領域内に複数のロードポートが位置する形態を一例に説明した。しかし、図１７に示されるように、開口部Ｋは、１台の第１ロードポートＰ１を領域内に含むように設けられていてもよい。この構成では、台車８が、走行レール４の開口部Ｋ上に位置して、当該開口部Ｋを介してＦＯＵＰ５０を移載できる構成であってもよい。この構成では、第１～第９ロードポートＰ１～Ｐ９に対してＦＯＵＰ５０をより迅速に移載することができる。
　上記実施形態では、ガイド１０が設けられた第１レール９及びガイド１２が設けられた第２レール１１から構成される走行レール４を一例に説明した。しかし、走行レールは、例えば、図１８に示される形態であってもよい。図１８に示されるように、走行レール１７は、第１レール１８及び第２レール１９から構成されている。第１レール１８には、２本のガイド１０，１０が設けられている。第２レール１９には、２本のガイド１２，１２が設けられている。ガイド１０とガイド１２との間、ガイド１２とガイド１２との間には、分離帯が設けられている。分離体２１は、凸状であり、ガイド１０とガイド１０、ガイド１２とガイド１２とを分離する。走行レール１７を備える搬送システムでは、２台の台車８が、第１レール１８又は第２レール１９上に同時に位置できる。
　４…走行レール、６…バッファ、８…台車、９…第１レール、１１…第２レール、２２…セルバッファ（保管部）、２４…走行部、２６…移載部、３８…バーコードリーダ（検出部）、４５…昇降装置（昇降部）、４６Ａ…グリッパ（保持部）、５０…ＦＯＵＰ（キャリア）、１００…搬送システム、Ｂ…バーコード（被検出体）、Ｐ１～Ｐ９…第１～第９ロードポート。

Claims (13)

  1. 　基板を収容するキャリアを、前記基板の処理を行う複数の処理装置それぞれにおける移載ポート相互間で搬送する搬送システムであって、
    　第１方向に直線状に延在する複数の第１レールと、前記第１方向に直交する第２方向に延在する複数の第２レールと、を有し、複数の前記第１レールと複数の前記第２レールとが同一面上に格子状に配置された走行レールと、
    　前記走行レールを前記第１方向及び前記第２方向に走行可能な走行部と、前記キャリアを保持する保持部及び前記保持部を昇降させる昇降部を含む移載部と、を有する複数の台車と、を備え、
    　前記走行レールは、所定の工程の処理を実施する第１の処理装置群における各前記移載ポートの直上に前記移載部が配置される第１の停止位置に前記台車が乗り入れ自在であり、且つ、前記第１の停止位置から前記所定の工程とは異なる工程の処理を実施する第２の処理装置群における各前記移載ポートの直上に前記移載部が配置される第２の停止位置へ前記台車が乗り入れ自在に配置されている、搬送システム。
  2. 　複数の前記移載ポートは、前記第１の処理装置群及び前記第２の処理装置群のそれぞれにおいて、前記第１方向又は前記第２方向に沿って互いに隣接して配置されており、
    　前記走行レールは、前記第１の処理装置群及び前記第２の処理装置群において配列方向が平行となるように設けられた複数の前記移載ポートの直上に前記移載部が配置される前記第１の停止位置から前記第２の停止位置へ前記台車が乗り入れ自在に配置されている、請求項１に記載の搬送システム。
  3. 　前記走行レールは、前記第１の処理装置群と前記第２の処理装置群とにおいて互いに対向して配置された複数の前記移載ポートの直上に前記移載部が配置される前記第１の停止位置から前記第２の停止位置へ前記台車が乗り入れ自在に配置されている、請求項２に記載の搬送システム。
  4. 　複数の前記移載ポートの配列方向が平行となるように設けられた前記第１の処理装置群及び前記第２の処理装置群を複数備え、
    　前記走行レールは、一の前記第１の処理装置群及び前記第２の処理装置群の前記移載ポートの直上に前記移載部が配置される前記第１の停止位置に前記台車が乗り入れ自在であり、且つ、前記第１の停止位置から他の前記第１の処理装置群及び前記第２の処理装置群の前記移載ポートの直上に前記移載部が配置される前記第２の停止位置に前記台車が乗り入れ自在に配置されている、請求項２又は３に記載の搬送システム。
  5. 　前記第１の処理装置群及び前記第２の処理装置群のそれぞれは、前記第１方向に沿って配置された複数の前記移載ポートと、前記第２方向に沿って配置された複数の前記移載ポートとを有し、
    　前記第１の処理装置群及び前記第２の処理装置群のそれぞれにおいて、前記第１方向又は前記第２方向に沿って配置された複数の前記移載ポートは、互いに一直線上には配置されておらず且つ前記第１方向又は前記第２方向にずれた位置に配置されたものを含み、
    　前記走行レールは、前記第１の処理装置群における各前記移載ポートの直上に前記移載部が配置される前記第１の停止位置に前記台車が乗り入れ自在であり、且つ、前記第１の停止位置から前記第２の処理装置群における各前記移載ポートの直上に前記移載部が配置される前記第２の停止位置へ前記台車が乗り入れ自在に配置されている、請求項１又は２に記載の搬送システム。
  6. 　前記台車は、前記移載部が前記走行レールよりも上側に位置した状態で前記走行レール上を走行し、
    　前記走行レールは、平面視において前記移載ポートを含む領域が開口部とされており、
    　前記台車は、前記開口部を介して前記移載部により前記移載ポートに対して前記キャリアの移載を行う、請求項１～５のいずれか一項に記載の搬送システム。
  7. 　前記キャリアを保管する保管部を備え、
    　前記走行レールは、前記保管部の直上に前記移載部が配置される停止位置へ前記台車が乗り入れ自在となるように配置されている、請求項１～６のいずれか一項に記載の搬送システム。
  8. 　前記走行レールは、複数の前記第１レールと複数の前記第２レールとが、それぞれ前記キャリアが鉛直方向に通過できる間隔をあけて配置されており、
    　前記保管部は、前記第１レールと前記第２レールとにより区画される空間の直下に設けられており、
    　前記台車は、前記空間を介して前記移載部により前記保管部に対して前記キャリアの移載を行う、請求項７に記載の搬送システム。
  9. 　前記開口部は、１つの処理装置に設けられる複数の前記移載ポートを含む領域を有している、請求項６に記載の搬送システム。
  10. 　前記移載部は、前記昇降部を前記第１方向及び前記第２方向に沿った平面に平行な方向において進退可能な移動部を有し、
    　前記台車は、前記開口部を形成する前記第１レール及び前記第２レールの少なくとも一方の上で停止し、前記移動部を進出させることにより、前記開口部を介して前記移載ポートに前記キャリアを移載する、請求項６に記載の搬送システム。
  11. 　前記走行レールは、前記移載ポートの直上で前記台車が停止できるように配置されており、
    　前記台車は、前記移載ポートの直上で停止し、前記開口部を介して前記キャリアを前記移載ポートに移載する、請求項６に記載の搬送システム。
  12. 　前記台車は、前記移載部が前記走行レールよりも下側に位置した状態で前記走行レールを走行する、請求項１～５のいずれか一項に記載の搬送システム。
  13. 　前記走行レールには、前記移載ポートに対する前記台車の停止位置に被検出体が設けられており、
    　前記台車は、前記被検出体を検出する検出部を備え、
    　前記走行部は、前記検出部による検出結果に基づいて、前記停止位置において前記台車を停止させる、請求項１～１２のいずれか一項に記載の搬送システム。
PCT/JP2017/002313 2016-03-03 2017-01-24 搬送システム WO2017150005A1 (ja)

Priority Applications (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018502587A JP7054379B2 (ja) 2016-03-03 2017-01-24 搬送システム
SG11201806899XA SG11201806899XA (en) 2016-03-03 2017-01-24 Conveyance system
KR1020187028539A KR20180121582A (ko) 2016-03-03 2017-01-24 반송 시스템
US16/080,414 US10497594B2 (en) 2016-03-03 2017-01-24 Conveyance system
EP17759477.7A EP3424844A4 (en) 2016-03-03 2017-01-24 TRANSPORT SYSTEM
CN201780012172.2A CN108698757B (zh) 2016-03-03 2017-01-24 输送系统
KR1020207022723A KR102165426B1 (ko) 2016-03-03 2017-01-24 반송 시스템

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016041532 2016-03-03
JP2016-041532 2016-03-03

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2017150005A1 true WO2017150005A1 (ja) 2017-09-08

Family

ID=59742859

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2017/002313 WO2017150005A1 (ja) 2016-03-03 2017-01-24 搬送システム

Country Status (8)

Country Link
US (1) US10497594B2 (ja)
EP (1) EP3424844A4 (ja)
JP (1) JP7054379B2 (ja)
KR (2) KR102165426B1 (ja)
CN (1) CN108698757B (ja)
SG (1) SG11201806899XA (ja)
TW (1) TWI729078B (ja)
WO (1) WO2017150005A1 (ja)

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108584264A (zh) * 2018-05-03 2018-09-28 华中科技大学无锡研究院 一种双向交互仓储装置及系统
WO2019087618A1 (ja) * 2017-10-31 2019-05-09 村田機械株式会社 搬送システム
NO20171874A1 (en) * 2017-11-23 2019-05-24 Autostore Tech As Automated storage and retrieval system and a method of operating the same.
NO20180409A1 (en) * 2018-03-23 2019-09-24 Autostore Tech As Automated storage and retrieval system comprising container identification means and methods of identyfying a container or a vehicle
WO2019229170A3 (en) * 2018-05-31 2020-01-16 Autostore Technology AS An automated storage and retrieval system comprising a storage container lift assembly
NO20200125A1 (en) * 2020-01-31 2021-08-02 Autostore Tech As System and method for performing measurements while containers are being handled by container handling vehicles
US20210347567A1 (en) * 2018-11-06 2021-11-11 Murata Machinery, Ltd. Ceiling suspended shelf
WO2022102265A1 (ja) 2020-11-13 2022-05-19 村田機械株式会社 走行車システム
JP2023517864A (ja) * 2020-03-03 2023-04-27 オカド・イノベーション・リミテッド 保管システムのためのグリッドフレームワーク構造

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB201509921D0 (en) * 2015-06-08 2015-07-22 Ocado Innovation Ltd Object storage, handling and retrieving system and method
KR102165190B1 (ko) 2016-08-26 2020-10-12 무라다기카이가부시끼가이샤 유궤도 대차 시스템 및 유궤도 대차
JP7049369B2 (ja) * 2017-05-16 2022-04-06 オートストアー テクノロジー アーエス 自動化貯蔵および回収システム
NO20180586A1 (en) * 2018-04-25 2019-10-28 Autostore Tech As Charging system for container handling vehicles and method of charging a power supply
NO346327B1 (en) 2017-05-16 2022-06-07 Autostore Tech As Automated storage and retrieval system
EP3431418B8 (en) * 2017-07-20 2020-04-01 Mikhail Voloskov Shuttle for use in a three-dimensional warehouse system
CN107792593B (zh) * 2017-12-03 2023-12-22 金胜昔 一种货位可四方向移动的立体仓库平面储运单元
GB201804867D0 (en) * 2018-03-27 2018-05-09 Ocado Innovation Ltd A transporting device
JP6969512B2 (ja) * 2018-07-05 2021-11-24 株式会社ダイフク 物品搬送装置
NO20181419A1 (en) * 2018-11-06 2020-05-07 Autostore Tech As Container handling vehicle with an open top, and method of handling product items into storage container carried by the vehicle
US12009241B2 (en) * 2019-10-14 2024-06-11 Asm Ip Holding B.V. Vertical batch furnace assembly with detector to detect cassette
WO2021090543A1 (ja) * 2019-11-07 2021-05-14 村田機械株式会社 搬送システム及びグリッドシステム
CN112908191B (zh) * 2019-12-04 2023-04-07 深圳蓝普科技有限公司 一种定位装置及拼接显示装置的自动化维护系统
US20230365333A1 (en) * 2020-11-30 2023-11-16 Autostore Technology AS A remotely operated vehicle for handling a storage container on a rail system of an automated storage and retrieval system
CN113753456A (zh) * 2021-01-05 2021-12-07 北京京东乾石科技有限公司 货箱存取车、货箱存取系统及货箱存取方法
CN115799139B (zh) * 2023-01-17 2023-05-12 苏州桔云科技有限公司 一种具有缓存功能的晶圆传输装置

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11189313A (ja) * 1997-12-26 1999-07-13 Daifuku Co Ltd 物品収納設備
JPH11214471A (ja) * 1998-01-23 1999-08-06 Nec Corp ワーク搬送方法およびワーク処理装置
JP2007017326A (ja) * 2005-07-08 2007-01-25 Siemens Kk 自走移動体の高精度位置決めのための位置検出方法とそのための機構
JP2009057117A (ja) * 2007-08-29 2009-03-19 Sharp Corp 搬送制御システム、搬送制御方法、及び搬送制御プログラム
WO2014203126A1 (en) * 2013-06-17 2014-12-24 Ocado Innovation Limited Systems and methods for order processing
WO2015019055A1 (en) * 2013-08-09 2015-02-12 Ocado Innovation Limited Apparatus for retrieving units from a storage system
WO2015174181A1 (ja) * 2014-05-14 2015-11-19 村田機械株式会社 搬送システム及び搬送方法
WO2016039023A1 (ja) * 2014-09-10 2016-03-17 村田機械株式会社 一時保管システムと、これを用いた搬送システム、及び一時保管方法

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NO972004D0 (no) * 1997-04-30 1997-04-30 Hatteland Electronic As Jacob Metode for organisering av vareflyt for en horisontalt lagdelt og dypstablet lagerbeholdning med uensartede komponenter, samt forflytningsutstyr for standariserte beholdere til formålet
JP3761012B2 (ja) * 1998-01-09 2006-03-29 株式会社ダイフク 物品保管設備
US6321138B1 (en) * 2000-09-15 2001-11-20 Woodson Incorporated Storage and retrieval system with automated order make up
JP2007217079A (ja) * 2006-02-14 2007-08-30 Asyst Shinko Inc ターンテーブル
DE102009017241B4 (de) * 2009-04-09 2016-12-01 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Lagersystem
JP5429570B2 (ja) * 2010-03-08 2014-02-26 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP5229363B2 (ja) 2010-11-04 2013-07-03 村田機械株式会社 搬送システム及び搬送方法
JP5527619B2 (ja) * 2011-11-24 2014-06-18 株式会社ダイフク 天井設置型の物品搬送設備
JP5630661B2 (ja) * 2011-12-19 2014-11-26 株式会社ダイフク 天井設置型の物品搬送設備
PT3653540T (pt) * 2012-05-11 2021-04-08 Ocado Innovation Ltd Sistemas de armazenamento e métodos para recuperar unidades de um sistema de armazenamento
JP2013237511A (ja) * 2012-05-14 2013-11-28 Murata Machinery Ltd カゴ台車用移載装置
JP2014190114A (ja) * 2013-03-28 2014-10-06 Daifuku Co Ltd 搬送用走行体の走行経路構造
JP6094331B2 (ja) * 2013-03-29 2017-03-15 株式会社ダイフク 物品搬送設備
CN203294644U (zh) * 2013-05-17 2013-11-20 昆明欧迈科技有限公司 一种密集式双向穿梭车自动存取仓储物流装置
GB201404870D0 (en) * 2014-03-18 2014-04-30 Ocado Ltd Robotic service device and handling method
JP6160711B2 (ja) * 2014-01-07 2017-07-12 村田機械株式会社 移載装置及び移載装置の制御方法
GB201409883D0 (en) * 2014-06-03 2014-07-16 Ocado Ltd Methods, systems, and apparatus for controlling movement of transporting devices
BR112017003587A2 (pt) 2014-08-22 2017-12-05 Bec Companies Inc ?sistemas de trilhos guia suspensos para manuseio automatizado de material?
CN105059811B (zh) * 2015-07-27 2017-12-26 南京航空航天大学 一种仓储系统及其控制方法

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11189313A (ja) * 1997-12-26 1999-07-13 Daifuku Co Ltd 物品収納設備
JPH11214471A (ja) * 1998-01-23 1999-08-06 Nec Corp ワーク搬送方法およびワーク処理装置
JP2007017326A (ja) * 2005-07-08 2007-01-25 Siemens Kk 自走移動体の高精度位置決めのための位置検出方法とそのための機構
JP2009057117A (ja) * 2007-08-29 2009-03-19 Sharp Corp 搬送制御システム、搬送制御方法、及び搬送制御プログラム
WO2014203126A1 (en) * 2013-06-17 2014-12-24 Ocado Innovation Limited Systems and methods for order processing
WO2015019055A1 (en) * 2013-08-09 2015-02-12 Ocado Innovation Limited Apparatus for retrieving units from a storage system
WO2015174181A1 (ja) * 2014-05-14 2015-11-19 村田機械株式会社 搬送システム及び搬送方法
WO2016039023A1 (ja) * 2014-09-10 2016-03-17 村田機械株式会社 一時保管システムと、これを用いた搬送システム、及び一時保管方法

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See also references of EP3424844A4 *

Cited By (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019087618A1 (ja) * 2017-10-31 2019-05-09 村田機械株式会社 搬送システム
JP2019081639A (ja) * 2017-10-31 2019-05-30 村田機械株式会社 搬送システム
NO345129B1 (en) * 2017-11-23 2020-10-12 Autostore Tech As Automated storage and retrieval system and a method of operating the same.
NO20171874A1 (en) * 2017-11-23 2019-05-24 Autostore Tech As Automated storage and retrieval system and a method of operating the same.
US11807452B2 (en) 2017-11-23 2023-11-07 Autostore Technology AS Automated storage and retrieval system
US12006145B2 (en) 2018-03-23 2024-06-11 Autostore Technology AS Automated storage and retrieval system comprising container identification means and methods of identifying a container or a vehicle
WO2019179856A1 (en) * 2018-03-23 2019-09-26 Autostore Technology AS Automated storage and retrieval system comprising container identification means and methods of identifying a container or a vehicle
NO20180409A1 (en) * 2018-03-23 2019-09-24 Autostore Tech As Automated storage and retrieval system comprising container identification means and methods of identyfying a container or a vehicle
EP4249406A3 (en) * 2018-03-23 2023-12-27 Autostore Technology AS Automated storage and retrieval system comprising container identification means and methods of identifying a container or a vehicle
CN108584264B (zh) * 2018-05-03 2020-05-08 华中科技大学无锡研究院 一种双向交互仓储装置及系统
CN108584264A (zh) * 2018-05-03 2018-09-28 华中科技大学无锡研究院 一种双向交互仓储装置及系统
WO2019229170A3 (en) * 2018-05-31 2020-01-16 Autostore Technology AS An automated storage and retrieval system comprising a storage container lift assembly
US20210347567A1 (en) * 2018-11-06 2021-11-11 Murata Machinery, Ltd. Ceiling suspended shelf
US11952213B2 (en) * 2018-11-06 2024-04-09 Murata Machinery, Ltd. Ceiling suspended shelf
NO345896B1 (en) * 2020-01-31 2021-10-04 Autostore Tech As System and method for performing measurements while containers are being handled by container handling vehicles
NO20200125A1 (en) * 2020-01-31 2021-08-02 Autostore Tech As System and method for performing measurements while containers are being handled by container handling vehicles
JP7362938B2 (ja) 2020-03-03 2023-10-17 オカド・イノベーション・リミテッド 保管システムのためのグリッドフレームワーク構造
JP2023517864A (ja) * 2020-03-03 2023-04-27 オカド・イノベーション・リミテッド 保管システムのためのグリッドフレームワーク構造
KR20230078797A (ko) 2020-11-13 2023-06-02 무라다기카이가부시끼가이샤 주행차 시스템
WO2022102265A1 (ja) 2020-11-13 2022-05-19 村田機械株式会社 走行車システム

Also Published As

Publication number Publication date
US10497594B2 (en) 2019-12-03
TW201732991A (zh) 2017-09-16
EP3424844A4 (en) 2019-10-30
CN108698757B (zh) 2020-11-24
KR20180121582A (ko) 2018-11-07
SG11201806899XA (en) 2018-09-27
US20190019707A1 (en) 2019-01-17
KR102165426B1 (ko) 2020-10-14
EP3424844A1 (en) 2019-01-09
CN108698757A (zh) 2018-10-23
JP7054379B2 (ja) 2022-04-13
KR20200096709A (ko) 2020-08-12
TWI729078B (zh) 2021-06-01
JPWO2017150005A1 (ja) 2018-12-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2017150005A1 (ja) 搬送システム
JP6614330B2 (ja) 一時保管システム
JP6256783B2 (ja) 一時保管システムと、これを用いた搬送システム、及び一時保管方法
JP5145686B2 (ja) 搬送システム
TWI722208B (zh) 搬送系統
US20150045937A1 (en) Conveyance system
JP4973747B2 (ja) 搬送車システム
JP4470576B2 (ja) 搬送システム
US7806648B2 (en) Transportation system and transportation method
WO2017141555A1 (ja) 保管装置及び搬送システム
JP7323059B2 (ja) 搬送車システム
JP2005136294A (ja) 移載装置
JP2611747B2 (ja) ウエハ収納箱搬送装置
TW202415571A (zh) 有軌道台車系統

Legal Events

Date Code Title Description
WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2018502587

Country of ref document: JP

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 11201806899X

Country of ref document: SG

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 20187028539

Country of ref document: KR

Kind code of ref document: A

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2017759477

Country of ref document: EP

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2017759477

Country of ref document: EP

Effective date: 20181004

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 17759477

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1