TW201732991A - 搬運系統 - Google Patents

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Abstract

搬運系統(100)，具備：行走軌道(4)，具有：設有複數第1軌道(9)及複數第2軌道(11)，使複數第1軌道(9)及複數第2軌道(11)在同一面上被配置成格子狀；及複數台車(8)，具有：可朝第1方向及第2方向行走於行走軌道(4)上的行走部(24)；及包含將載體(50)保持的保持部(46A)及將保持部(46A)昇降的昇降部(45)之移載部(26)；行走軌道(4)，是配置成使台車(8)朝在實施規定的過程的處理的第1處理裝置群中的各移載通口的正上方配置有移載部(26)的第1停止位置可移入自如，且，使台車(8)從第1停止位置朝在實施與規定的過程不同的過程的處理的第2處理裝置群中的各移載通口的正上方配置有移載部(26)的第2停止位置可移入自如。

Description

搬運系統
本發明，是有關於搬運系統。
習知的搬運系統，例如，已知專利文獻1的系統。專利文獻1的搬運系統，具備：通過處理裝置的裝載埠的上部的第1軌道、及沿著第1軌道行走且具備吊車的高架行走車、及在第1軌道的下方通過裝載埠的上方且與第1軌道平行配置的第2軌道、及在第2軌道的下方在比裝載埠更高的位置朝裝載埠的正上方部使載體朝垂直方向可通過自如地設置的放置載體用的暫存區、及在暫存區及裝載埠之間具備將載體交接的吊車且沿著第2軌道行走的區域台車。
[習知技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本特開2012-111635號公報
在先前技術中一般，第1軌道是設在過程間，藉由高架行走車進行過程間的載體的搬運。但是，在前述軌道中，高架行走車可取得的行走路徑的話，會塞住其他的高架行走車行走路徑等妨害後續的高架行走車的行走，具有過程間的搬運效率下降的可能。
本發明的一側面的目的是提供一種可達成過程間的載體的搬運效率的提高的搬運系統。
本發明的一側面的搬運系統，是將收容基板的載體，在進行基板的處理的複數處理裝置中的各移載通口彼此之間搬運的搬運系統，具備：行走軌道，具有：朝第1方向呈直線狀延伸的複數第1軌道、及朝與第1方向垂直交叉的第2方向延伸的複數第2軌道，複數第1軌道及複數第2軌道是在同一面上被配置成格子狀；及複數台車，具有：可朝第1方向及第2方向行走於行走軌道的行走部、及包含將載體保持的保持部及將保持部昇降的昇降部的移載部；行走軌道，是配置成使台車朝在實施規定的過程的處理的第1處理裝置群中的各移載通口的正上方配置有移載部的第1停止位置可移入自如，且，使台車從第1停止位置朝在實施與規定的過程不同的過程的處理的第2處理裝置群中的各移載通口的正上方配置有移載部的第2停止位置可移入自如。
在本發明的一側面的搬運系統中，行走軌道，是朝在將規定的過程的處理實施的第1處理裝置群中的各移載通口的正上方配置有移載部的停止位置使台車可移入自如，且，朝在將與規定的過程不同的過程的處理實施的第2處理裝置群中的各移載通口的正上方配置有移載部的停止位置使台車可移入自如地配置。由此，在搬運系統中，在第1處理裝置群的移載通口及第2處理裝置群的移載通口之間由台車將載體搬運的情況，因為藉由第1方向及第2方向的組合取得複數行走路徑，所以可以選擇超越在停止中正進行移載動作的進行方向前方的其他的台車的行走路徑將載體搬運。因此，在搬運系統中，可達成過程間的載體的搬運效率的提高。
在一實施例中，複數移載通口，是在第1處理裝置群及第2處理裝置群中，各別沿著第1方向或是第2方向彼此鄰接配置，行走軌道，即使配置成使台車從在第1處理裝置群及第2處理裝置群中在配列方向成為平行地設置的複數移載通口的正上方配置有移載部的第1停止位置朝第2停止位置可移入自如也可以。在此構成中，可以提高第1處理裝置群及第2處理裝置群之間的載體的搬運效率。
在一實施例中，行走軌道，是配置成使台車從在第1處理裝置群及第2處理裝置群中彼此相面對配置的複數移載通口的正上方配置有移載部的第1停止位置朝第2停止位置可移入自如也可以。在此構成中，第1處理 裝置群及第2處理裝置群之間的載體的搬運效率可以更提高。
在一實施例中，具備複數使複數移載通口的配列方向成為平行地設置的第1處理裝置群及第2處理裝置群，行走軌道，是配置成使台車朝在一第1處理裝置群及第2處理裝置群的移載通口的正上方配置有移載部的第1停止位置可移入自如，且，使台車從第1停止位置朝在其他的第1處理裝置群及第2處理裝置群的移載通口的正上方配置有移載部的第2停止位置可移入自如也可以。在此構成中，可以更提高由第1處理裝置群及第2處理裝置群所構成的群彼此的載體的搬運效率。
在一實施例中，第1處理裝置群及第2處理裝置群，是各別具有：沿著第1方向配置的複數移載通口、及沿著第2方向配置的複數移載通口，在第1處理裝置群及第2處理裝置群中，各別沿著第1方向或是第2方向配置的複數移載通口，是包含彼此未被配置在一直線上且朝第1方向或是第2方向被偏離配置者，行走軌道，是配置成使台車朝在第1處理裝置群中的各移載通口的正上方配置有移載部的第1停止位置可移入自如，且，使台車從第1停止位置朝在第2處理裝置群中的各移載通口的正上方配置有移載部的第2停止位置可移入自如也可以。在此構成中，可以提高移載通口的配置的自由度，進一步提高處理裝置的配置的自由度。
在一實施例中，台車，是在移載部位於比行 走軌道更上側的狀態下行走於行走軌道上，行走軌道，是在從俯視看包含移載通口的領域設有開口部，台車，是透過開口部藉由移載部對於移載通口進行載體的移載也可以。由此，在移載部位於比行走軌道更上側的狀態下行走於行走軌道上的台車的構成中，即使在從俯視看的移載通口的周圍設置行走軌道，台車仍可以對於移載通口移載載體。
在一實施例中，具備保管載體的保管部，行走軌道，是朝在保管部的正上方配置有移載部的停止位置使台車可移入自如地配置也可以。在此構成中，在可以藉由行走於行走軌道的台車將載體朝移載通口搬運的位置，可以將載體暫時保管。
在一實施例中，行走軌道，其複數第1軌道及複數第2軌道，是隔有使各載體可以朝垂直方向通過的間隔地配置，保管部，是設在藉由第1軌道及第2軌道被區劃的空間的正下方，台車，是透過空間藉由移載部對於保管部進行載體的移載也可以。在此構成中，在移載部位於比行走軌道更上側的狀態下行走於行走軌道上的台車的構成中，可以在不會妨害台車的行走的位置保管大多數的載體。
在一實施例中，開口部，是具有包含設於1個處理裝置的複數移載通口的領域也可以。在此構成中，可以確保從俯視看的行走軌道及移載通口的相對位置的自由度。
在一實施例中，移載部，是具有將昇降部朝與沿著第1方向及前述第2方向的平面平行的方向可進退的移動部，台車，是在形成開口部的第1軌道及第2軌道的至少一方上停止，藉由將移動部進出，透過開口部朝移載通口移載載體也可以。在此構成中，開口部的領域可變寬。因此，可以確保從俯視看的行走軌道及移載通口的相對位置的自由度。
在一實施例中，行走軌道，是在移載通口的正上方使台車可以停止地配置，台車，是在移載通口的正上方停止，透過開口部朝移載通口移載載體也可以。在此構成中，可以對於移載通口將載體迅速地移載。
在一實施例中，台車，是在移載部位於比行走軌道更下側的狀態下行走於行走軌道也可以。在此構成中，在行走軌道即使不設置開口部，仍可以朝移載通口移載載體。
在一實施例中，在行走軌道中，被檢出體是被設置在台車對於移載通口的停止位置，台車，是具備檢出被檢出體的檢出部，行走部，是依據由檢出部所獲得的檢出結果，將台車停止在停止位置也可以。在此構成中，可以將台車，精度佳地停止在對於移載通口的停止位置。
依據本發明的一側面的話，可達成過程間的載體的搬運效率的提高。
4‧‧‧行走軌道
6‧‧‧暫存區
8‧‧‧台車
9‧‧‧第1軌道
10‧‧‧導件
11‧‧‧第2軌道
12‧‧‧導件
14‧‧‧交叉點
16‧‧‧單元
17‧‧‧行走軌道
18‧‧‧第1軌道
19‧‧‧第2軌道
20‧‧‧支撐構件
21‧‧‧分離體
22‧‧‧單元暫存區(保管部)
24‧‧‧行走部
26‧‧‧移載部
26A‧‧‧支撐體
30‧‧‧上下機構
32a、32b‧‧‧車輪
34‧‧‧行走馬達
35‧‧‧行走單元
36‧‧‧感測器
38‧‧‧條碼讀出器(檢出部)
40‧‧‧滑動式叉
41‧‧‧基座部
42‧‧‧中間部
43‧‧‧頂部
44‧‧‧旋轉台
45‧‧‧昇降裝置(昇降部)
46‧‧‧昇降台
46A‧‧‧夾子(保持部)
47、48‧‧‧俯瞰感測器
49‧‧‧配重
50‧‧‧FOUP(前開口式通用容器、載體)
51‧‧‧本體部
52‧‧‧蓋
53‧‧‧凸緣部
70‧‧‧台車
72‧‧‧行走部
80‧‧‧台車
84‧‧‧行走部
86‧‧‧移載部
100‧‧‧搬運系統
B‧‧‧條碼(被檢出體)
P1~P9‧‧‧第1~第9裝載埠
V‧‧‧高架搬運車
[第1圖]一實施例的搬運系統的俯視圖。
[第2圖]顯示第1圖所示的搬運系統的一部分的立體圖。
[第3圖]顯示設在第1圖所示的搬運系統的行走軌道的下方的處理裝置的圖。
[第4圖]顯示行走軌道的圖。
[第5圖]顯示台車的圖。
[第6圖]將台車從底面側所見的圖。
[第7圖]顯示台車的移載部將滑動式叉伸長的狀態的圖。
[第8圖]顯示設有條碼的行走軌道的圖。
[第9圖]顯示行走軌道的圖。
[第10圖]台車位置於在裝載埠的正上方配置有移載部的停止位置的圖。
[第11圖]說明台車的動作用的圖。
[第12圖]說明台車的動作用的圖。
[第13圖]說明台車的動作用的圖。
[第14圖]顯示其他的實施例的搬運系統的行走軌道的圖。
[第15圖]顯示其他的實施例的搬運系統的台車的圖。
[第16圖]顯示其他的實施例的搬運系統的台車的圖。
[第17圖]顯示其他的實施例的搬運系統的行走軌道的圖。
[第18圖]顯示其他的實施例的搬運系統的行走軌道的圖。
以下，參照添付圖面，詳細說明本發明的最佳的實施例。又，在圖面的說明中對於同一或是相當要素附加同一符號，省略重複的說明。
如第1圖所示的搬運系統100，是例如，在具備複數處理裝置的半導體製造工場的清淨室內，將複數半導體晶圓等的基板被收容的卡匣搬運用的系統。卡匣，是將半導體晶圓用的搬運及保管等為目的載體，如FOUP(前開口式通用容器、Front Opening Unified Pod)、FOSB(前開口裝運容器、Front Opening Shipping Box)、SmifPod(標準機械接口容器)等。在本實施例中，說明將FOUP50搬運的搬運系統的一例。FOUP50，是具備：本體部51、及被安裝於本體部51的開口部的蓋52、及設在本體部51的上部的凸緣部53。搬運系統100，也具有將FOUP50暫時地保管的暫時保管系統的功能。
如第1圖或是第2圖所示，搬運系統100，是 具備：行走軌道4、及行走於行走軌道4的複數台車8、及軌道R、及行走於軌道R的高架搬運車V。軌道R，是被舖設在清淨室的頂棚附近。軌道R，是橫跨搬運系統100及其他的搬運系統地設置。軌道R的一部分，是被配置於行走軌道4的上方。即，高架搬運車V，是行走於行走軌道4的上方。高架搬運車V，是FOUP50的搬運起點及搬運目的地的其中任一是位於軌道R的正下方的情況時，在為了使可以比行走於行走軌道4的台車8更迅速地將FOUP50搬運的條件下，使用於欲比台車8更迅速地搬運FOUP50的搬運。又，軌道R，是設在與行走軌道4相同高度，或是比行走軌道4更下方也可以。
高架搬運車V，是OHT(懸掛式搬運系統、Over Head Transfer)。高架搬運車V，是朝設在行走軌道4的單元暫存區22(後述)將FOUP50搬運，並且從單元暫存區22將FOUP50拾取朝其他的搬運系統將FOUP50搬運。
如第1圖所示，在行走軌道4的下方，設有處理裝置。具體而言，在行走軌道4的下方，如第3圖所示，設有：具有複數第1處理裝置M1的第1處理裝置群G1、及具有複數第2處理裝置M2的第2處理裝置群G2、及具有複數第3處理裝置M3的第3處理裝置群G3、及具有複數第4處理裝置M4的第4處理裝置群G4、及具有複數第5處理裝置M5的第5處理裝置群G5、及具有複數第6處理裝置M6的第6處理裝置群 G6、及具有複數第7處理裝置M7的第7處理裝置群G7、及具有複數第8處理裝置M8的第8處理裝置群G8、及具有複數第9處理裝置M9的第9處理裝置群G9。第1~第9處理裝置群G1~G9，各別是進行半導體的製造的各過程(製造程序)的處理。第1~第9處理裝置群G1~G9，是例如，進行朝半導體晶圓的鍍膜、半導體晶圓的洗淨等。半導體的製造的處理，不是在1個處理裝置群中完結，而在1個處理裝置群處理被進行之後，在其他的處理裝置群進行。
第1處理裝置群G1及第2處理裝置群G2，是在Y方向被鄰接配置。第1處理裝置群G1及第3處理裝置群G3，是在Y方向被鄰接配置。第1處理裝置群G1及第4處理裝置群G4，是在X方向被鄰接配置。第4處理裝置群G4及第5處理裝置群G5，是在Y方向被鄰接配置。第3處理裝置群G3及第5處理裝置群G5，是在X方向被鄰接配置。第4處理裝置群G4及第7處理裝置群G7，是在Y方向被鄰接配置。第4處理裝置群G4及第6處理裝置群G6，是在X方向被鄰接配置。第6處理裝置群G6及第7處理裝置群G7，是在Y方向被鄰接配置。第6處理裝置群G6及第8處理裝置群G8，是在X方向被鄰接配置。第8處理裝置群G8及第9處理裝置群G9，是在Y方向被鄰接配置。第7處理裝置群G7及第9處理裝置群G9，是在X方向被鄰接配置。
第1~第9處理裝置M1~M9，是對於半導體 晶圓實施不同處理的裝置。即，第1~第9處理裝置群G1~G9，是各別實施彼此不同的過程的處理。第1~第9處理裝置M1~M9的數量，是對應設計被適宜設定即可。
第1處理裝置M1，是具有將FOUP50內的半導體晶圓朝第1處理裝置M1出入的介面也就是第1裝載埠(移載通口)(以下只稱為「裝載埠」)P1。在第1處理裝置M1中，例如，第1裝載埠P1是被設置3個。第2處理裝置M2，是具有第2裝載埠P2。第3處理裝置M3，是具有第3裝載埠P3。第4處理裝置M4，是具有第4裝載埠P4。第5處理裝置M5，是具有第5裝載埠P5。第6處理裝置M6，是具有第6裝載埠P6。第7處理裝置M7是具有第7裝載埠P7。第8處理裝置M8，是具有第8裝載埠P8。第9處理裝置M9，是具有第9裝載埠P9。第1~第9處理裝置M1~M9中的第1~第9裝載埠P1~P9的數量，是被適宜設定即可。
在第1處理裝置群G1中，第1處理裝置M1是在Y方向隔有規定間隔地配置。第1裝載埠P1，是各別沿著Y方向被配置。同樣地，在第2~第9處理裝置群G2~G9中，第2~第9處理裝置M2~M9是各別在Y方向隔有規定間隔地配置。第2~第9裝載埠P2~P9，是各別沿著Y方向被配置。
第1處理裝置群G1的第1處理裝置M1及第4處理裝置群G4的第4處理裝置M4，是使第1裝載埠P1及第4裝載埠P4相面對地配置。在第1裝載埠P1及 第4裝載埠P4之間，是設有通路A1。通路A1，是例如，具有作業者可步行的寬度。在第2處理裝置群G2及第3處理裝置群G3之間，是設有通路A2。在第3處理裝置群G3及第5處理裝置群G5之間，是設有通路A3。在第6處理裝置群G6及第8處理裝置群G8之間，是設有通路A4。在第7處理裝置群G7及第9處理裝置群G9之間，是設有通路A5。
如第1圖及第2圖所示，行走軌道4，是從俯視看被設成格子狀。行走軌道4，是例如，藉由支柱(圖示省略)被支撐在清淨室的頂棚。如第4圖所示，行走軌道4，是由：複數第1軌道9、及複數第2軌道11所構成。
第1軌道9，是朝X方向(第1方向)呈直線狀延伸。在第1軌道9中，設有導件10。導件10，是溝，且沿著第1軌道9的延伸方向設置。第2軌道11，是朝與第1軌道9延伸的X方向垂直交叉的Y方向(第2方向)呈直線狀延伸。在第2軌道11中，設有導件12。導件12，是溝，且沿著第2軌道11的延伸方向被設置。在第1軌道9的導件10及第2軌道11的導件12交叉的部分中，設有交叉點14。
如第5圖所示，在行走軌道4的下方且第1~第9處理裝置M1~M9的上方中，設有暫存區6。暫存區6，是載置FOUP50的棚，收容FOUP50。暫存區6，是藉由支撐構件20被支撐在行走軌道4。暫存區6，是由複數 單元暫存區(保管部)22所構成。單元暫存區22，是各被設定在行走軌道4中藉由第1軌道9及第2軌道11被區劃的矩形狀的單元(空間)16。單元暫存區22，是各別保管1個FOUP50。在單元暫存區22中，透過單元16FOUP50被移載。即，FOUP50，是將單元16朝垂直方向通過的方式被移載至單元暫存區22。如第5圖所示，暫存區6，是被設置於使被載置於該暫存區6上的FOUP50的一部分在側面視與行走軌道4重疊的位置。
如第2圖及第5圖所示，在行走軌道4上，設有台車8。台車8，是在行走軌道4上被設置複數。台車8，是具備：行走部24、及移載部26。且，台車8，是進一步具備將行走部24及移載部26的動作控制的控制部、可與上位控制器通訊的通訊部等。控制部，是例如，由：CPU(中央處理器、Central Processing Unit)，ROM(唯讀記憶體、Read Only Memory)及RAM(動態隨機存取記憶體、Random Access Memory)等所構成的電子控制單元。台車8，是依據來自上位控制器的指令，將FOUP50搬運。
行走部24，是呈長方體狀。行走部24，是從俯視看與單元16同等的尺寸。如第6圖所示，行走部24，是具有複數(在本實施例中為4個)行走單元35。各行走單元35，是各別具有：複數(在本實施例中為2個)車輪32a或是車輪32b、及行走馬達34、及上下機構(切換部)30。車輪32a，是在行走部24中在彼此相面 對的2邊各設置2個。車輪32b，是在行走部24中，與設有車輪32a的邊垂直交叉，且在彼此相面對的2邊各設置2個。車輪32a，是被第1軌道9的導件10導引，行走於第1軌道9中的行走面上。車輪32b，是被第2軌道11的導件12導引，行走於第2軌道11中的行走面上。行走馬達34，是將車輪32a、32b驅動。上下機構30，是使車輪32a、32b及行走馬達34朝上下方向移動。上下機構30，是例如，縮放裝置(pantograph)、凸輪等。
行走部24，是藉由由上下機構30所產生的車輪32a、32b的上下方向的移動，使車輪32a或是車輪32b與第1軌道9的導件10或是第2軌道11的導件12接觸，沿著第1軌道9或是第2軌道11行走。即，上下機構30，是藉由將車輪32或是車輪32b朝上下方向移動，而將行走狀態切換成：將車輪32a沿著第1軌道9行走的第1行走狀態、及將車輪32b沿著第2軌道11行走的第2行走狀態。
行走部24，是具有：感測器36、及條碼讀出器(檢出部)38。感測器36，是在行走部24的四隅被配置於底面。感測器36，是檢出行走軌道4的交叉點14。行走部24，是依據藉由感測器36被檢出的交叉點14，使行走部24的中心停止於行走軌道4的單元16的中心的位置。
條碼讀出器38，是將條碼(被檢出體)B(第8圖參照)讀取。條碼讀出器38，是各別被設置在 各行走單元35，被配置於行走部24的底面。如第8圖所示，在第1軌道9(第2軌道11)中，設有條碼B。詳細的話，條碼B，是被配置於成為在第1~第9處理裝置M1~M9的第1~第9裝載埠P1~P9的正上方可配置移載部26的台車8的停止位置。行走部24，是依據藉由條碼讀出器38被檢出的條碼B，在對於第1~第9裝載埠P1~P9的停止位置停止。
移載部26，是從行走部24伸出。移載部26，是具備：滑動式叉(移動部)40、及旋轉台44、及昇降裝置(昇降部)45、及昇降台46、及俯瞰感測器47、48。
滑動式叉40，是被支撐在被支撐於行走部24的支撐體26A。滑動式叉40，是具有：基座部41、及中間部42、及頂部43。基座部41，是被設置在移載部26的支撐體26A。滑動式叉40，是將昇降裝置45，朝與沿著X方向及Y方向的平面平行的方向進退。如第7圖所示，頂部43，是對於基座部41，由相當於例如單元16的一邊的行程，朝移載部26的兩側進出。
旋轉台44，是被設置在頂部43的下部。旋轉台44，是將被設置在該旋轉台44下部的昇降裝置45旋轉。旋轉台44，是例如，可旋轉180°地設置。昇降裝置45，是藉由皮帶、纜線、拉線等將昇降台46昇降。昇降台46，是具有將FOUP50的凸緣部53保持(把持)的夾子(保持部)46A。
俯瞰感測器47、48，是將昇降台46昇降時，檢出昇降台46的周圍的物體。俯瞰感測器47、48，是如第6圖所示，在頂部43，被配置於將昇降裝置45挾持的位置。具體而言，俯瞰感測器47、48，是被配置於在FOUP50被保持於昇降台46的狀態下FOUP50不會妨害物體檢出的位置。移載部26，是進一步具備：檢出單元暫存區22中的FOUP50的有無的感測器、將設在FOUP50的ID等讀入的ID讀出器等也可以。且，移載部26，是為了迴避高架搬運車V的接觸，進一步具備檢出台車8的周圍的物體(障礙物)的感測器也可以。
台車8，是具有配重49。配重49，是被設置在行走部24。配重49，是具有抵消從移載部26施加於車輪32的力的力矩的功能。配重49，是將台車8的重心，維持在由複數車輪32被包圍的範圍內。
接著，對於行走軌道4，進一步詳細說明。如第1圖所示，行走軌道4，是被設置在第1~第9處理裝置群G1~G9上。行走軌道4，是被配置於橫跨複數處理裝置群設有第1~第9處理裝置群G1~G9的區域的全面。具體的其中一例，是格子狀的行走軌道4，例如，橫跨第1處理裝置群G1及第4處理裝置群G4之間地設置。即，行走軌道4，是也被設在第1處理裝置群G1及第4處理裝置群G4之間的通路A1上。
如第9圖所示，在行走軌道4中，設有開口部K。在第9圖所示的例中，開口部K，是被設置在第1 處理裝置M1的第1裝載埠P1的正上方(垂直上方)。開口部K，是藉由第1軌道9及第2軌道11被區劃的領域。藉由開口部K，第1裝載埠P1的上方，是成為被開放的空間。即，在開口部K的領域的下方，未設有暫存區6。開口部K，是設定於包含複數(在此為3個)第1裝載埠P1的領域。開口部K的長度方向(Y方向)的尺寸，是比從同方向中的第1裝載埠P1的一方的端部至另一方的端部為止的尺寸更大。開口部K，是被設置在第1~第9處理裝置M1~M9的第1~第9裝載埠P1~P9的上方。
行走軌道4，是被配置於使台車8朝在第1~第9裝載埠P1~P9的正上方配置有移載部26的停止位置可移入自如。具體而言，行走軌道4，是朝在將規定的過程的處理實施的一處理裝置群(第1處理裝置群)中的各裝載埠的正上方配置有移載部26的第1停止位置使台車8可移入自如，且，從第1停止位置朝在將與規定的過程不同的過程的處理實施的其他的處理裝置群(第2處理裝置群)中的各裝載埠的正上方配置有移載部26的第2停止位置使台車8可移入自如地被配置。如第10圖所示，台車8，是例如，朝第1裝載埠P1移載FOUP50的情況時，在第1裝載埠P19的正上方移載部26位置的停止位置停止，透過開口部K將昇降台46昇降。
對於台車8的動作，參照第11圖~第13圖進行說明。在第11圖~第13圖中說明，在開口部K的領 域內，裝載埠(第1裝載埠P1、第4裝載埠P4)是比中央更稍為靠近第2軌道11，各別在台車8對於第1裝載埠P1停止於面向圖的左側的狀態下、在對於第4裝載埠P4停止於面向圖的右側的狀態下，藉由滑動式叉40將移載部26各別朝第1裝載埠P1、第4裝載埠P4的正上方進行移動使FOUP50的移載的態樣。
最初，如第11圖所示說明，例如，從第1處理裝置群G1的第1處理裝置M1的第1裝載埠P1，朝第4處理裝置群G4的第4處理裝置M4的第4裝載埠P4將FOUP50搬運的情況。如第11圖所示，台車8，是在第1裝載埠P1的正上方配置有移載部26的第1停止位置停止，將FOUP50拾取。將FOUP50拾取的話，台車8，是沿著Y方向至圖示下側的「1」的位置為止移動，其後，沿著X方向至圖示右側的「2」的位置為止移動。接著，台車8，是從「2」的位置，至在第4裝載埠P4的正上方配置有移載部26的第2停止位置為止移動並停止，朝第4裝載埠P4移載FOUP50。如以上，台車8，是從第1裝載埠P1至第4裝載埠P4為止，由最短的行走路徑將FOUP50搬運。
接著，如第12圖所示說明，例如，從第1處理裝置群G1的第1處理裝置M1的第1裝載埠P1，朝第4處理裝置群G4的第4處理裝置M4的第4裝載埠P4將FOUP50搬運的情況時，在行走軌道4上，其他的台車8是例如為了對於單元暫存區22移載FOUP50而停止的情 況。如第12圖所示，台車8，是在第1裝載埠P1的正上方配置有移載部26的第1停止位置停止，將FOUP50拾取。將FOUP50拾取的話，台車8，是沿著Y方向至圖示下側的「1」的位置為止移動，其後，沿著X方向至圖示右側的「2」的位置為止移動。接著，台車8，是沿著Y方向至圖示上側的「3」的位置為止移動，其後，沿著X方向至圖示右側的「4」的位置為止移動。接著，台車8，是沿著Y方向至圖示下側的「5」的位置為止移動，其後，沿著X方向至圖示右側的「6」的位置為止移動。且，台車8，是從「6」的位置，至在第4裝載埠P4的正上方配置有移載部26的第2停止位置為止移動並停止，朝第4裝載埠P4移載FOUP50。
接著，如第13圖所示說明，例如，從第1處理裝置群G1的第1處理裝置M1的第1裝載埠P1，朝第4處理裝置群G4的第4處理裝置M4的第4裝載埠P4將FOUP50搬運的情況時，在行走軌道4上其他的台車8停止的情況。如第13圖所示，台車8，是在第1裝載埠P1的正上方配置有移載部26的第1停止位置停止，將FOUP50拾取。將FOUP50拾取的話，台車8，是沿著Y方向至圖示下側的「1」的位置為止通過第1處理裝置M1上地移動，其後，沿著X方向至圖示右側的「2」的位置為止移動。接著，台車8，是從「2」的位置，至在第4裝載埠P4的正上方配置有移載部26的第2停止位置為止移動並停止，朝第4裝載埠P4移載FOUP50。
如以上說明，在本實施例的搬運系統100中，行走軌道4，是朝在將規定的過程的處理實施的第1處理裝置群中的各移載通口的正上方配置有移載部26的停止位置使台車8可移入自如，且，朝在將與規定的過程不同的過程的處理實施的第2處理裝置群中的各移載通口的正上方配置有移載部26的停止位置使台車8可移入自如地配置。由此，在搬運系統100中，在第1處理裝置群的移載通口及第2處理裝置群的移載通口之間將FOUP50由台車8搬運的情況，因為藉由X方向及Y方向的組合而採用複數行走路徑，所以可以選擇超越在停止中正進行移載動作的進行方向前方的其他的台車8的行走路徑將載體搬運。因此，在搬運系統100中，可達成過程間的FOUP50的搬運效率的提高。
在本實施例的搬運系統100中，第1~第9處理裝置群G1~G9，是各別具備實施彼此不同的處理的第1~第9處理裝置M1~M9。在此構成中，在搬運系統100中，將不同種類的處理裝置間由台車8將FOUP50搬運時，因為藉由X方向及Y方向的組合而取得複數行走路徑，所以可以選擇超越在停止中正進行移載動作的進行方向前方的其他的台車8的行走路徑將FOUP50搬運。因此，在搬運系統100中，可達成過程間的FOUP50的搬運效率的提高。
在本實施例的搬運系統100中，第1~第9處理裝置M1~M9的第1~第9裝載埠P1~P9，是在第1~ 第9處理裝置群G1~G9中，沿著Y方向彼此鄰接配置。行走軌道4，是朝在第1~第9處理裝置群G1~G9中配列方向成為平行地設置的第1~第9裝載埠P1~P9的正上方配置有移載部26的第1停止位置或是第2停止位置使台車8可移入自如地被配置。在此構成中，可以提高第1~第9處理裝置群G1~G9之間的FOUP50的搬運效率。
在本實施例的搬運系統100中，台車8，是在移載部26位於比行走軌道4更上側的狀態下行走於行走軌道上。行走軌道4，是在從俯視看包含第1~第9裝載埠P1~P9的領域設有開口部K。台車8，是透過開口部K藉由移載部26對於第1~第9裝載埠P1~P9進行FOUP50的移載。由此，在移載部26位於比行走軌道4更上側的狀態下行走於行走軌道4上的台車8的構成中，即使在從俯視看的第1~第9裝載埠P1~P9的周圍設置行走軌道4，台車8仍可以對於第1~第9裝載埠P1~P9移載FOUP50。
在本實施例的搬運系統100中，行走軌道4，其複數第1軌道9及複數第2軌道11，是各別隔有使FOUP50可以朝垂直方向通過的間隔地配置。單元暫存區22，是被設置在藉由第1軌道9及第2軌道11被區劃的單元16的正下方。台車8，是透過單元16藉由移載部26對於單元暫存區22進行FOUP50的移載。在此構成中，在移載部26位於比行走軌道4更上側的狀態下行走於行 走軌道4上的台車8的構成，可以在不會妨害台車8行走的位置保管大多的FOUP50。
在本實施例的搬運系統100中，單元暫存區22，是被設置於比第1~第9裝載埠P1~P9更上方。由此可以達成，台車8在單元暫存區22中移載FOUP50的時間的短縮。其結果，更達成FOUP50的搬運效率的提高。且，在搬運系統100中不需要專有地上的空間可以將FOUP50的保管量增加。
在本實施例的搬運系統100中，第1~第9裝載埠P1~P9，是設在第1~第9處理裝置M1~M9，開口部K，是具有包含被設於第1~第9處理裝置M1~M9的複數第1~第9裝載埠P1~P9的領域。在此構成中，可以確保從俯視看的行走軌道4及第1~第9裝載埠P1~P9的相對位置的自由度。
在本實施例的搬運系統100中，台車8的移載部26，是具有將昇降裝置45沿著與X方向及Y方向的平面平行的方向可進退的滑動式叉40。台車8，是藉由在形成開口部K的第1軌道9及第2軌道11的至少一方上停止，將滑動式叉40進出，透過開口部K朝第1~第9裝載埠P1~P9移載FOUP50。在此構成中，成為可將開口部K的領域變寬。因此，更可以確保從俯視看的行走軌道4及第1~第9裝載埠P1~P9的相對位置的自由度。
在本實施例的搬運系統100中，在行走軌道4中，在對於第1~第9裝載埠P1~P9的台車8的停止位 置設有條碼B。台車8，是具備檢出條碼B的條碼讀出器38。台車8的行走部24，是依據由條碼讀出器38所獲得的檢出結果，在停止位置停止台車8。在此構成中，可以將台車8精度佳地停止於第1~第9裝載埠P1~P9的停止位置。
以上，雖說明了本發明的一實施例，但是本發明，不限定於上述實施例。
在上述實施例中，雖說明了具備軌道R及高架搬運車V的形態的一例，但是不具備軌道R及高架搬運車V也可以。
在上述實施例中說明了，第1~第9裝載埠P1~P9，是沿著Y方向被配置的形態的一例。但是，第1~第9裝載埠P1~P9的配置形態不限定於此。第1~第9裝載埠P1~P9，是對應設計被適宜設置即可。例如，如第14圖所示，在第1處理裝置群G1中，各第1處理裝置M1的第1裝載埠P1，是各別沿著Y方向或是X方向被配置。第1裝載埠P1，其配列方向未設置在一直線上，且朝Y方向或是X方向被偏離配置。同樣地，在第2處理裝置群G2中，各第2處理裝置M2的第2裝載埠P2，是各別沿著Y方向或是X方向被配置。第2裝載埠P2，其配列方向未設置在一直線上，且朝Y方向或是X方向被偏離配置。此構成，在搬運系統100中，因為也藉由行走軌道4中的X方向及Y方向的組合使台車8取得複數行走路徑，所以可以在非平行設置的複數裝載埠彼此之間有 效率地將FOUP50搬運。且，在此構成中，可以提高第1~第9裝載埠P1~P9的配置的自由度，進一步提高第1~第9處理裝置M1~M9的配置的自由度。
在上述實施例中說明了，暫存區6，是使被載置於該暫存區6上的FOUP50的一部分被設置於在側面視與行走軌道4重疊的位置的形態的一例。但是，暫存區6(單元暫存區22)，是在與行走軌道4相同高度，或是比行走軌道4更上方具備FOUP50的載置面也可以。
在上述實施例中說明了，將設在行走軌道4的條碼B由條碼讀出器38讀取的形態的一例。但是，設於行走軌道4的被檢出體，是例如，磁性記號、光學記號、線性刻度等也可以。檢出部，是可以將這些的被檢出體檢出即可。
在上述實施例中說明了，在單元暫存區22收容1個FOUP50的形態的一例。但是，在單元暫存區22中，收容複數FOUP50也可以。
在上述實施例中說明了，台車8的移載部26具備滑動式叉40的形態的一例。但是，改變滑動式叉40而具備平面關節型機械手臂(Selective Compliance Assembly Robot Arm)等的水平方向進退的臂也可以。
在上述實施例中說明了，台車8是具備行走部24及移載部26，移載部26是從行走部24伸出的形態的一例。但是，台車的形態不限定於此。例如，如第15圖所示，台車70，是在行走部72具備滑動式叉40。且， 台車，是臂狀的移載部繞行走部的重心周圍旋轉的構成也可以。在此構成中，移載部，不具備滑動式叉也可以。
且如第16圖所示，台車80，是具有行走部84及移載部86。台車80，是位於行走軌道4的下方，在行走部84被行走軌道4吊下的狀態下行走的形態也可以。在此構成中，在行走軌道4即使不設置開口部，仍可以朝第1~第9裝載埠P1~P9移載FOUP50。且，台車，是在行走軌道4的單元16的正上方停止，可以透過該單元16移載FOUP50的形態也可以。即，台車的移載部不具備滑動式叉也可以。在此構成中，對於第1~第9裝載埠P1~P9移載FOUP50時，因為不必要將移載部進出，所以可以對於第1~第9裝載埠P1~P9將FOUP50迅速地移載。
在上述實施例中說明了，台車8的行走部24是具備上下機構30的形態的一例。但是，朝：沿著第1軌道9行走的第1行走狀態、及沿著第2軌道11行走的第2行走狀態，將行走狀態切換的切換部的構成不限定於此。切換部，可以採用各種的機構。例如，切換部，是作成對於行走部將車輪(行走單元)可移動的機構也可以。在此構成中，藉由將車輪由切換部移動，當行走部沿著Y方向行走的情況時，車輪是沿著Y方向配置，當沿著X方向行走部行走的情況時，車輪是沿著X方向配置。
在上述實施例中說明了，複數裝載埠是位置在被設在行走軌道4的開口部K的領域內的形態的一例。 但是，如第17圖所示，開口部K，是將1台的第1裝載埠P1包含在領域內的方式設置也可以。在此構成中，台車8，是位於行走軌道4的開口部K上，可以透過該開口部K移載FOUP50的構成也可以。在此構成中，可以對於第1~第9裝載埠P1~P9將FOUP50更迅速地移載。
在上述實施例中說明了，由設有導件10的第1軌道9及設有導件12的第2軌道11所構成的行走軌道4的一例。但是，行走軌道，是例如，如第18圖所示的形態也可以。如第18圖所示，行走軌道17，是由第1軌道18及第2軌道19所構成。在第1軌道18中，設有2條的導件10、10。在第2軌道19中，設有2條的導件12、12。在導件10及導件12之間、導件12及導件12之間，設有分離帶。分離體21，是凸狀，將導件10及導件10、導件12及導件12分離。在具備行走軌道17的搬運系統中，2台的台車8，可以同時位置在第1軌道18或是第2軌道19上。
4‧‧‧行走軌道
8‧‧‧台車
50‧‧‧FOUP(載體)
100‧‧‧搬運系統
A5‧‧‧通路
G7‧‧‧第7處理裝置群
G9‧‧‧第9處理裝置群
K‧‧‧開口部
M7‧‧‧第7處理裝置
M9‧‧‧第9處理裝置
P7‧‧‧第7裝載埠
P9‧‧‧第9裝載埠
R‧‧‧軌道
V‧‧‧高架搬運車

Claims (13)

  1. 一種搬運系統，是將收容基板的載體，在進行前述基板的處理的複數處理裝置中的各移載通口彼此之間搬運的搬運系統，具備：行走軌道，具有：朝第1方向呈直線狀延伸的複數第1軌道、及朝與前述第1方向垂直交叉的第2方向延伸的複數第2軌道，使複數前述第1軌道及複數前述第2軌道在同一面上被配置成格子狀；及複數台車，具有：可朝前述第1方向及前述第2方向將行走於前述行走軌道上的行走部、及包含將前述載體保持的保持部及將前述保持部昇降的昇降部之移載部；前述行走軌道，是配置成使前述台車朝在實施規定的過程的處理的第1處理裝置群中的各前述移載通口的正上方配置有前述移載部的第1停止位置可移入自如，且，使前述台車從前述第1停止位置朝在實施與前述規定的過程不同的過程的處理的第2處理裝置群中的各前述移載通口的正上方配置有前述移載部的第2停止位置可移入自如。
  2. 如申請專利範圍第1項的搬運系統，其中，複數前述移載通口，是在前述第1處理裝置群及前述第2處理裝置群中，各別沿著前述第1方向或是前述第2方向彼此鄰接配置，前述行走軌道，是配置成使前述台車從在前述第1處理裝置群及前述第2處理裝置群中在配列方向成為平行地 設置的複數前述移載通口的正上方配置有前述移載部的前述第1停止位置朝前述第2停止位置可移入自如。
  3. 如申請專利範圍第2項的搬運系統，其中，前述行走軌道，是配置成使前述台車從在前述第1處理裝置群及前述第2處理裝置群中彼此相面對配置的複數前述移載通口的正上方配置有前述移載部的前述第1停止位置朝前述第2停止位置可移入自如。
  4. 如申請專利範圍第2或3項的搬運系統，其中，具備複數使複數前述移載通口的配列方向成為平行地設置的前述第1處理裝置群及前述第2處理裝置群，前述行走軌道，是配置成使前述台車朝在一前述第1處理裝置群及前述第2處理裝置群的前述移載通口的正上方配置有前述移載部的前述第1停止位置可移入自如，且，使前述台車從前述第1停止位置朝在其他的前述第1處理裝置群及前述第2處理裝置群的前述移載通口的正上方配置有前述移載部的前述第2停止位置可移入自如。
  5. 如申請專利範圍第1或2項的搬運系統，其中，前述第1處理裝置群及前述第2處理裝置群，是各別具有：沿著前述第1方向被配置的複數前述移載通口、及沿著前述第2方向被配置的複數前述移載通口，在前述第1處理裝置群及前述第2處理裝置群中，各別沿著前述第1方向或是前述第2方向被配置的複數前述移載通口，包含：彼此未被配置在一直線上且在前述第1方向或是前述第2方向被偏離配置者， 前述行走軌道，是配置成使前述台車朝在前述第1處理裝置群中的各前述移載通口的正上方配置有前述移載部的前述第1停止位置可移入自如，且，使前述台車從前述第1停止位置朝在前述第2處理裝置群中的各前述移載通口的正上方配置有前述移載部的前述第2停止位置可移入自如。
  6. 如申請專利範圍第1至5項中任一項的搬運系統，其中，前述台車，是在前述移載部位於比前述行走軌道更上側的狀態下行走於前述行走軌道上，前述行走軌道，是在從俯視看包含前述移載通口的領域設有開口部，前述台車，是透過前述開口部藉由前述移載部對於前述移載通口進行前述載體的移載。
  7. 如申請專利範圍第1至6項中任一項的搬運系統，其中，具備保管前述載體的保管部，前述行走軌道，是朝在前述保管部的正上方配置有前述移載部的停止位置使前述台車可移入自如地配置。
  8. 如申請專利範圍第7項的搬運系統，其中，前述行走軌道，其複數前述第1軌道及複數前述第2軌道，是隔有使各前述載體可以朝垂直方向通過的間隔地配置，前述保管部，是設在藉由前述第1軌道及前述第2軌 道被區劃的空間的正下方，前述台車，是透過前述空間藉由前述移載部對於前述保管部進行前述載體的移載。
  9. 如申請專利範圍第6項的搬運系統，其中，前述開口部，是具有包含設於1個處理裝置的複數前述移載通口的領域。
  10. 如申請專利範圍第6項的搬運系統，其中，前述移載部，是具有將前述昇降部朝與沿著前述第1方向及前述第2方向的平面平行的方向可進退的移動部，前述台車，是在形成前述開口部的前述第1軌道及前述第2軌道的至少一方上停止，藉由將前述移動部進出，而透過前述開口部朝前述移載通口移載前述載體。
  11. 如申請專利範圍第6項的搬運系統，其中，前述行走軌道，是在前述移載通口的正上方使前述台車可以停止地配置，前述台車，是在前述移載通口的正上方停止，透過前述開口部將前述載體移載至前述移載通口。
  12. 如申請專利範圍第1至5項中任一項的搬運系統，其中，前述台車，是在前述移載部位於比前述行走軌道更下側的狀態下行走於前述行走軌道。
  13. 如申請專利範圍第1至12項中任一項的搬運系統，其中，在前述行走軌道中，在對於前述移載通口的前述台車 的停止位置設置被檢出體，前述台車，是具備檢出前述被檢出體的檢出部，前述行走部，是依據由前述檢出部所獲得的檢出結果，將前述台車停止在前述停止位置。
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