KR20200096709A - 반송 시스템 - Google Patents

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타카시 스즈키
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무라다기카이가부시끼가이샤
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Abstract

본 발명의 반송 시스템(100)은, 복수의 제1 레일(9)과, 복수의 제2 레일(11)을 가지며, 복수의 제1 레일(9)과 복수의 제2 레일(11)이 동일 면 상에 격자 형상으로 배치된 주행 레일(4)과, 주행 레일(4) 위를 제1 방향 및 제2 방향으로 주행할 수 있는 주행부(24)와, 캐리어(50)를 유지하는 유지부(46A) 및 유지부(46A)를 승강시키는 승강부(45)를 포함하는 이재부(26)를 갖는 복수의 대차(8)를 구비하고, 주행 레일(4)은, 소정의 공정의 처리를 실시하는 제1 처리 장치 그룹에 있어서의 각 이재 포트의 바로 위에 이재부(26)가 배치되는 제1 정지 위치로 대차(8)가 들어올 수 있으며, 또한, 제1 정지 위치로부터 소정의 공정과는 다른 공정의 처리를 실시하는 제2 처리 장치 그룹에 있어서의 각 이재 포트의 바로 위에 이재부(26)가 배치되는 제2 정지 위치로 대차(8)가 들어올 수 있도록 배치되어 있다.

Description

반송 시스템{CONVEYANCE SYSTEM}
[0001] 본 발명은, 반송 시스템에 관한 것이다.
[0002] 종래의 반송 시스템으로서, 예컨대, 특허문헌 1에 기재된 시스템이 알려져 있다. 특허문헌 1에 기재된 반송 시스템은, 처리 장치의 로드 포트(load port)의 상부를 통과하는 제1 궤도와, 제1 궤도를 따라 주행하며 또한 호이스트를 구비하는 천정 주행차와, 제1 궤도의 하방에서, 로드 포트의 상방을 통과하고, 또한 제1 궤도와 평행하게 배치된 제2 궤도와, 제2 궤도의 하방에서, 로드 포트보다 높은 위치에, 로드 포트의 수직상방부(直上部)를 캐리어가 연직 방향으로 통과할 수 있게 설치된, 캐리어를 두기 위한 버퍼와, 버퍼 및 로드 포트의 사이에서 캐리어를 주고 받는 호이스트를 구비하며, 또한 제2 궤도를 따라 주행하는 로컬 대차(台車)를 구비하고 있다.
[0003] 일본 특허공개공보 제2012-111635호
[0004] 종래의 기술에 있어서, 제1 궤도는 공정 사이에 설치되어, 천정 주행차에 의해 공정 간에서의 캐리어의 반송을 행하는 것이 일반적이었다. 그러나, 상기 궤도에 있어서, 천정 주행차가 취할 수 있는 주행 경로는 한정되어 있으며, 다른 천정 주행차가 주행 경로를 막는 등으로 인해 후속(後續)의 천정 주행차의 주행을 방해하여, 공정 간에서의 반송 효율이 저하될 우려가 있었다.
[0005] 본 발명의 일 측면은, 공정 간에서의 캐리어의 반송 효율의 향상을 도모할 수 있는 반송 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.
[0006] 본 발명의 일 측면과 관련되는 반송 시스템은, 기판을 수용하는 캐리어를, 기판의 처리를 행하는 복수의 처리 장치 각각에 있어서의 이재(移載) 포트 상호 간에서 반송하는 반송 시스템으로서, 제1 방향으로 직선 형상으로 연장되는 복수의 제1 레일과, 제1 방향과 직교하는 제2 방향으로 연장되는 복수의 제2 레일을 가지고, 복수의 제1 레일과 복수의 제2 레일이 동일 면 상에 격자 형상으로 배치된 주행 레일과, 주행 레일을 제1 방향 및 제2 방향으로 주행할 수 있는 주행부와, 캐리어를 유지하는 유지부 및 유지부를 승강시키는 승강부를 포함하는 이재부를 갖는 복수의 대차를 구비하며, 주행 레일은, 소정의 공정의 처리를 실시하는 제1 처리 장치 그룹에 있어서의 각 이재 포트의 바로 위(直上)에 이재부가 배치되는 제1 정지 위치로 상기 대차가 들어올 수 있으며, 또한, 제1 정지 위치로부터 소정의 공정과는 다른 공정의 처리를 실시하는 제2 처리 장치 그룹에 있어서의 각 이재 포트의 바로 위에 이재부가 배치되는 제2 정지 위치로 대차가 들어올 수 있도록 배치되어 있다.
[0007] 본 발명의 일 측면과 관련되는 반송 시스템에서는, 주행 레일은, 소정의 공정의 처리를 실시하는 제1 처리 장치 그룹에 있어서의 각 이재 포트의 바로 위에 이재부가 배치되는 정지 위치로 대차가 들어올 수 있고, 또한, 소정의 공정과는 다른 공정의 처리를 실시하는 제2 처리 장치 그룹에 있어서의 각 이재 포트의 바로 위에 이재부가 배치되는 정지 위치로 대차가 들어올 수 있도록 배치되어 있다. 이로써, 반송 시스템에서는, 제1 처리 장치 그룹의 이재 포트와 제2 처리 장치 그룹의 이재 포트의 사이에 있어서 대차로 캐리어를 반송할 경우, 제1 방향 및 제2 방향의 조합에 의해 복수의 주행 경로를 취할 수 있기 때문에, 정지하여 이재 동작을 실시하고 있는 진행 방향 전방(前方)의 다른 대차를 추월해 가는 주행 경로를 선택하여 캐리어를 반송할 수가 있다. 따라서, 반송 시스템에서는, 공정 간에서의 캐리어의 반송 효율의 향상을 도모할 수가 있다.
[0008] 일 실시형태에 있어서는, 복수의 이재 포트는, 제1 처리 장치 그룹 및 제2 처리 장치 그룹의 각각에 있어서, 제1 방향 또는 제2 방향을 따라 서로 인접하여 배치되어 있고, 주행 레일은, 제1 처리 장치 그룹 및 제2 처리 장치 그룹에 있어서 배열 방향이 평행이 되도록 설치된 복수의 이재 포트의 바로 위에 이재부가 배치되는 제1 정지 위치로부터 제2 정지 위치로 대차가 들어올 수 있도록 배치되어 있어도 된다. 이 구성에서는, 제1 처리 장치 그룹과 제2 처리 장치 그룹 사이의 캐리어의 반송 효율을 향상시킬 수가 있다.
[0009] 일 실시형태에 있어서는, 주행 레일은, 제1 처리 장치 그룹과 제2 처리 장치 그룹에 있어서 서로 대향하여 배치된 복수의 이재 포트의 바로 위에 이재부가 배치되는 제1 정지 위치로부터 제2 정지 위치로 대차가 들어올 수 있도록 배치되어 있어도 된다. 이 구성에서는, 제1 처리 장치 그룹과 제2 처리 장치 그룹 사이의 캐리어의 반송 효율을 보다 한층 향상시킬 수가 있다.
[0010] 일 실시형태에 있어서는, 복수의 이재 포트의 배열 방향이 평행이 되도록 설치된 제1 처리 장치 그룹 및 제2 처리 장치 그룹을 복수로 구비하며, 주행 레일은, 하나의 제1 처리 장치 그룹 및 제2 처리 장치 그룹의 이재 포트의 바로 위에 이재부가 배치되는 제1 정지 위치로 대차가 들어올 수 있으며, 또한, 제1 정지 위치로부터 다른 제1 처리 장치 그룹 및 제2 처리 장치 그룹의 이재 포트의 바로 위에 이재부가 배치되는 제2 정지 위치로 대차가 들어올 수 있도록 배치되어 있어도 된다. 이 구성에서는, 제1 처리 장치 그룹 및 제2 처리 장치 그룹으로 구성되는 그룹끼리의 캐리어의 반송 효율을 보다 한층 향상시킬 수가 있다.
[0011] 일 실시형태에 있어서는, 제1 처리 장치 그룹 및 제2 처리 장치 그룹의 각각은, 제1 방향을 따라 배치된 복수의 이재 포트와, 제2 방향을 따라 배치된 복수의 이재 포트를 가지며, 제1 처리 장치 그룹 및 제2 처리 장치 그룹의 각각에 있어서, 제1 방향 또는 제2 방향을 따라 배치된 복수의 이재 포트는, 서로 일직선 상에는 배치되어 있지 않고 또한 제1 방향 또는 제2 방향으로 어긋난 위치에 배치된 것을 포함하며, 주행 레일은, 제1 처리 장치 그룹에 있어서의 각 이재 포트의 바로 위에 이재부가 배치되는 제1 정지 위치로 대차가 들어올 수 있고, 또한, 제1 정지 위치로부터 제2 처리 장치 그룹에 있어서의 각 이재 포트의 바로 위에 이재부가 배치되는 제2 정지 위치로 대차가 들어올 수 있도록 배치되어도 된다. 이 구성에서는, 이재 포트의 배치의 자유도, 나아가서는 처리 장치의 배치의 자유도를 높일 수가 있다.
[0012] 일 실시형태에 있어서는, 대차는, 이재부가 주행 레일보다 상측에 위치한 상태에서 주행 레일 위를 주행하고, 주행 레일은, 상방에서 볼 때(平面視)에 있어서 이재 포트를 포함하는 영역이 개구부로 되어 있으며, 대차는, 개구부를 통해 이재부에 의해 이재 포트에 대해서 캐리어의 이재를 실시해도 된다. 이로써, 이재부가 주행 레일보다 상측에 위치한 상태에서 주행 레일 위를 주행하는 대차의 구성에 있어서, 상방에서 볼 때에 있어서의 이재 포트의 주위에 주행 레일을 설치하여도, 대차가 이재 포트에 대해서 캐리어를 이재할 수가 있다.
[0013] 일 실시형태에 있어서는, 캐리어를 보관하는 보관부를 구비하며, 주행 레일은, 보관부의 바로 위에 이재부가 배치되는 정지 위치로 대차가 들어올 수 있게 되도록 배치되어 있어도 된다. 이 구성에서는, 주행 레일을 주행하는 대차에 의해 캐리어를 이재 포트로 반송할 수 있는 위치에 캐리어를 일시(一時) 보관할 수가 있다.
[0014] 일 실시형태에 있어서는, 주행 레일은, 복수의 제1 레일과 복수의 제2 레일이, 각각 캐리어가 연직 방향으로 통과할 수 있는 간격을 두고 배치되어 있고, 보관부는, 제1 레일과 제2 레일에 의해 구획되는 공간의 바로 아래에 설치되어 있으며, 대차는, 공간을 통해 이재부에 의해 보관부에 대해서 캐리어의 이재를 실시해도 된다. 이 구성에서는, 이재부가 주행 레일보다 상측에 위치한 상태에서 주행 레일 위를 주행하는 대차의 구성에 있어서, 대차의 주행을 방해하지 않는 위치에 많은 캐리어를 보관할 수가 있다.
[0015] 일 실시형태에 있어서는, 개구부는, 1개의 처리 장치에 설치되는 복수의 이재 포트를 포함하는 영역을 가지고 있어도 된다. 이 구성에서는, 상방에서 볼 때에 있어서의 주행 레일과 이재 포트 간의 상대 위치의 자유도를 확보할 수가 있다.
*[0016] 일 실시형태에 있어서는, 이재부는, 승강부를 제1 방향 및 상기 제2 방향을 따른 평면과 평행한 방향에 있어서 진퇴시킬 수 있는 이동부를 가지며, 대차는, 개구부를 형성하는 제1 레일 및 제2 레일의 적어도 일방(一方)의 위에서 정지하여, 이동부를 진출시킴으로써, 개구부를 통해 이재 포트에 캐리어를 이재해도 된다. 이 구성에서는, 개구부의 영역을 넓게 할 수 있게 된다. 따라서, 상방에서 볼 때에 있어서의 주행 레일과 이재 포트 간의 상대 위치의 자유도를 확보할 수가 있다.
[0017] 일 실시형태에 있어서는, 주행 레일은, 이재 포트의 바로 위에서 대차가 정지할 수 있도록 배치되어 있고, 대차는, 이재 포트의 바로 위에서 정지하며, 개구부를 통해 캐리어를 이재 포트에 이재해도 된다. 이 구성에서는, 이재 포트에 대해서 캐리어를 신속히 이재할 수가 있다.
[0018] 일 실시형태에 있어서는, 대차는, 이재부가 주행 레일보다 하측에 위치한 상태에서 주행 레일을 주행해도 된다. 이 구성에서는, 주행 레일에 개구부를 형성하지 않아도, 이재 포트에 캐리어를 이재할 수가 있다.
[0019] 일 실시형태에 있어서는, 주행 레일에는, 이재 포트에 대한 대차의 정지 위치에 피검출체가 설치되어 있으며, 대차는, 피검출체를 검출하는 검출부를 구비하고, 주행부는, 검출부에 의한 검출 결과에 근거하여, 정지 위치에 있어서 대차를 정지시켜도 된다. 이 구성에서는, 대차를, 이재 포트에 대한 정지 위치에 있어서 양호한 정밀도로 정지시킬 수가 있다.
[0020] 본 발명의 일 측면에 의하면, 공정 간에서의 캐리어의 반송 효율의 향상을 도모할 수가 있다.
[0021] 도 1은 일 실시형태와 관련되는 반송 시스템의 평면도이다.
도 2는, 도 1에 나타내는 반송 시스템의 일부를 나타내는 사시도이다.
도 3은, 도 1에 나타내는 반송 시스템의 주행 레일의 하방에 설치된 처리 장치를 나타낸 도면이다.
도 4는, 주행 레일을 나타낸 도면이다.
도 5는, 대차를 나타낸 도면이다.
도 6은, 대차를 바닥 면 측에서 본 도면이다.
도 7은, 대차의 이재부가 슬라이드 포크를 신장시킨 상태를 나타낸 도면이다.
도 8은, 바코드가 설치된 주행 레일을 나타낸 도면이다.
도 9는, 주행 레일을 나타낸 도면이다.
도 10은, 로드 포트의 바로 위에 이재부가 배치되는 정지 위치에 대차가 위치하고 있는 도면이다.
도 11은, 대차의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 12는, 대차의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 13은, 대차의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 14는, 다른 실시형태와 관련되는 반송 시스템의 주행 레일을 나타낸 도면이다.
도 15는, 다른 실시형태와 관련되는 반송 시스템의 대차를 나타낸 도면이다.
도 16은, 다른 실시형태와 관련되는 반송 시스템의 대차를 나타낸 도면이다.
도 17은, 다른 실시형태와 관련되는 반송 시스템의 주행 레일을 나타낸 도면이다.
도 18은, 다른 실시형태와 관련되는 반송 시스템의 주행 레일을 나타낸 도면이다.
[0022] 이하, 첨부 도면을 참조하여, 본 발명의 적합한 실시형태에 대해 상세하게 설명한다. 또한, 도면의 설명에 있어서 동일하거나 또는 그에 상당하는 요소에는 동일 부호를 부여하고, 중복되는 설명은 생략한다.
[0023] 도 1에 나타내어지는 반송 시스템(100)은, 예컨대, 복수의 처리 장치를 구비하는 반도체 제조 공장의 클린 룸(clean room) 내에서, 복수의 반도체 웨이퍼 등의 기판이 수용된 카세트를 반송하기 위한 시스템이다. 카세트는, 반도체 웨이퍼용의 반송 및 보관 등을 목적으로 한 캐리어이며, FOUP(Front Opening Unified Pod), FOSB(Front Opening Shipping Box), SmifPod 등이다. 본 실시형태에서는, FOUP(50)를 반송하는 반송 시스템을 일례로 설명한다. FOUP(50)는, 본체부(51)와, 본체부(51)의 개구부에 부착된 덮개(52)와, 본체부(51)의 상부에 설치된 플랜지부(53)를 구비하고 있다. 반송 시스템(100)은, FOUP(50)를 일시적으로 보관하는 일시 보관 시스템으로서의 기능도 가지고 있다.
[0024] 도 1 또는 도 2에 도시된 바와 같이, 반송 시스템(100)은, 주행 레일(4)과, 주행 레일(4)을 주행하는 복수의 대차(8)와, 궤도(R)와, 궤도(R)를 주행하는 천정 반송차(V)를 구비하고 있다. 궤도(R)는, 클린 룸의 천정 부근에 부설(敷設)되어 있다. 궤도(R)는, 반송 시스템(100)과 다른 반송 시스템에 걸쳐 설치되어 있다. 궤도(R)의 일부는, 주행 레일(4)의 상방에 배치되어 있다. 즉, 천정 반송차(V)는, 주행 레일(4)의 상방을 주행한다. 천정 반송차(V)는, FOUP(50)의 반송원(元)과 반송처가 모두 궤도(R)의 바로 아래(直下)에 있는 경우에는, 주행 레일(4)을 주행하는 대차(8)보다 신속하게 FOUP(50)를 반송할 수 있기 때문에, 이러한 조건에 있어서, 대차(8)보다 신속하게 반송하고자 하는 FOUP(50)의 반송에 이용된다. 또한, 궤도(R)는, 주행 레일(4)과 같은 높이, 혹은 주행 레일(4)보다 하방에 설치되어 있어도 된다.
[0025] 천정 반송차(V)는, OHT(Over Head Transfer)이다. 천정 반송차(V)는, 주행 레일(4)에 설치된 셀 버퍼(22, 후술함)에 대해서 FOUP(50)를 반송하는 동시에, 셀 버퍼(22)로부터 FOUP(50)를 픽업하여 다른 반송 시스템에 FOUP(50)를 반송한다.
[0026] 도 1에 도시된 바와 같이, 주행 레일(4)의 하방에는, 처리 장치가 설치되어 있다. 구체적으로는, 주행 레일(4)의 하방에는, 도 3에 도시된 바와 같이, 제1 처리 장치(M1)를 복수로 가지는 제1 처리 장치 그룹(G1)과, 제2 처리 장치(M2)를 복수로 가지는 제2 처리 장치 그룹(G2)과, 제3 처리 장치(M3)를 복수로 가지는 제3 처리 장치 그룹(G3)과, 제4 처리 장치(M4)를 복수로 구비하는 제4 처리 장치 그룹(G4)과, 제5 처리 장치(M5)를 복수로 가지는 제5 처리 장치 그룹(G5)과, 제6 처리 장치(M6)를 복수로 가지는 제6 처리 장치 그룹(G6)과, 제7 처리 장치(M7)를 복수로 가지는 제7 처리 장치 그룹(G7)과, 제8 처리 장치(M8)를 복수로 가지는 제8 처리 장치 그룹(G8)과, 제9 처리 장치(M9)를 복수로 가지는 제9 처리 장치 그룹(G9)이 설치되어 있다. 제1~제9 처리 장치 그룹(G1~G9)은, 각각 반도체의 제조와 관련되는 각 공정(제조 프로세스)의 처리를 행하는 것이다. 제1~제9 처리 장치 그룹(G1~G9)은, 예컨대, 반도체 웨이퍼에 대한 막 형성(成膜), 반도체 웨이퍼의 세정 등을 행한다. 반도체의 제조와 관련되는 처리는, 1개의 처리 장치 그룹으로는 완결되지 않고, 1개의 처리 장치 그룹에 의해 처리가 행해진 후, 다른 처리 장치 그룹에 의해 행해진다.
[0027] 제1 처리 장치 그룹(G1)과 제2 처리 장치 그룹(G2)은, Y방향에 있어서 인접하여 배치되어 있다. 제1 처리 장치 그룹(G1)과 제3 처리 장치 그룹(G3)은, Y방향에 있어서 인접하여 배치되어 있다. 제1 처리 장치 그룹(G1)과 제4 처리 장치 그룹(G4)은, X방향에 있어서 인접하여 배치되어 있다. 제4 처리 장치 그룹(G4)과 제5 처리 장치 그룹(G5)은, Y방향에 있어서 인접하여 배치되어 있다. 제3 처리 장치 그룹(G3)과 제5 처리 장치 그룹(G5)은, X방향에 있어서 인접하여 배치되어 있다. 제4 처리 장치 그룹(G4)과 제7 처리 장치 그룹(G7)은, Y방향에 있어서 인접하여 배치되어 있다. 제4 처리 장치 그룹(G4)과 제6 처리 장치 그룹(G6)은, X방향에 있어서 인접하여 배치되어 있다. 제6 처리 장치 그룹(G6)과 제7 처리 장치 그룹(G7)은, Y방향에 있어서 인접하여 배치되어 있다. 제6 처리 장치 그룹(G6)과 제8 처리 장치 그룹(G8)은, X방향에 있어서 인접하여 배치되어 있다. 제8 처리 장치 그룹(G8)과 제9 처리 장치 그룹(G9)은, Y방향에 있어서 인접하여 배치되어 있다. 제7 처리 장치 그룹(G7)과 제9 처리 장치 그룹(G9)은, X방향에 있어서 인접하여 배치되어 있다.
[0028] 제1~제9 처리 장치(M1~M9)는, 반도체 웨이퍼에 대해서 다른 처리를 실시하는 장치이다. 즉, 제1~제9 처리 장치 그룹(G1~G9)의 각각은, 서로 다른 공정의 처리를 실시한다. 제1~제9 처리 장치(M1~M9)의 수는, 설계에 따라 적절히 설정되면 된다.
[0029] 제1 처리 장치(M1)는, FOUP(50) 내의 반도체 웨이퍼를 제1 처리 장치(M1)에 출입시키는 인터페이스인 제1 로드 포트(이재 포트)(이하, 단순히 「로드 포트」라 칭함; P1)를 갖는다. 제1 처리 장치(M1)에는, 예컨대, 제1 로드 포트(P1)가 3개 설치되어 있다. 제2 처리 장치(M2)는, 제2 로드 포트(P2)를 갖는다. 제3 처리 장치(M3)는, 제3 로드 포트(P3)를 갖는다. 제4 처리 장치(M4)는, 제4 로드 포트(P4)를 갖는다. 제5 처리 장치(M5)는, 제5 로드 포트(P5)를 갖는다. 제6 처리 장치(M6)는, 제6 로드 포트(P6)를 갖는다. 제7 처리 장치(M7)는 제7 로드 포트(P7)를 갖는다. 제8 처리 장치(M8)는, 제8 로드 포트(P8)를 갖는다. 제9 처리 장치(M9)는, 제9 로드 포트(P9)를 갖는다. 제1~제9 처리 장치(M1~M9)에 있어서의 제1~제9 로드 포트(P1~P9)의 수는, 적절히 설정되면 된다.
[0030] 제1 처리 장치 그룹(G1)에서는, 제1 처리 장치(M1)가 Y방향에 있어서 소정의 간격을 두고 배치되어 있다. 제1 로드 포트(P1)의 각각은, Y방향을 따라 배치되어 있다. 마찬가지로, 제2~제9 처리 장치 그룹(G2~G9)의 각각에서는, 제2~제9 처리 장치(M2~M9)가 Y방향으로 소정의 간격을 두고 배치되어 있다. 제2~제9 로드 포트(P2~P9)의 각각은, Y방향을 따라 배치되어 있다.
[0031] 제1 처리 장치 그룹(G1)의 제1 처리 장치(M1)와 제4 처리 장치 그룹(G4)의 제4 처리 장치(M4)는, 제1 로드 포트(P1)와 제4 로드 포트(P4)가 대향하도록 배치되어 있다. 제1 로드 포트(P1)와 제4 로드 포트(P4)의 사이에는, 통로(A1)가 설치되어 있다. 통로(A1)는, 예컨대, 작업자가 보행 가능한 폭을 갖는다. 제2 처리 장치 그룹(G2)과 제3 처리 장치 그룹(G3)의 사이에는, 통로(A2)가 설치되어 있다. 제3 처리 장치 그룹(G3)과 제5 처리 장치 그룹(G5)의 사이에는, 통로(A3)가 설치되어 있다. 제6 처리 장치 그룹(G6)과 제8 처리 장치 그룹(G8)의 사이에는, 통로(A4)가 설치되어 있다. 제7 처리 장치 그룹(G7)과 제9 처리 장치 그룹(G9)의 사이에는, 통로(A5)가 설치되어 있다.
[0032] 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 주행 레일(4)은, 상방에서 볼 때에 있어서 격자 형상으로 설치되어 있다. 주행 레일(4)은, 예컨대, 클린 룸의 천정에 지지 기둥(도시생략)에 의해 지지되어 있다. 도 4에 도시된 바와 같이, 주행 레일(4)은, 복수의 제1 레일(9)과, 복수의 제2 레일(11)에 의해 구성되어 있다.
[0033] 제1 레일(9)은, X방향(제1 방향)으로 직선 형상으로 연장되어 있다. 제1 레일(9)에는, 가이드(10)가 설치되어 있다. 가이드(10)는, 홈이며, 제1 레일(9)의 연장 방향을 따라 설치되어 있다. 제2 레일(11)은, 제1 레일(9)이 연장되는 X방향과 직교하는 Y방향(제2 방향)으로 직선 형상으로 연장되어 있다. 제2 레일(11)에는, 가이드(12)가 설치되어 있다. 가이드(12)는, 홈이며, 제2 레일(11)의 연장 방향을 따라 설치되어 있다. 제1 레일(9)의 가이드(10)와 제2 레일(11)의 가이드(12)가 교차하는 부분에는, 크로스 포인트(14)가 설치되어 있다.
[0034] 도 5에 도시된 바와 같이, 주행 레일(4)의 하방이며 또한 제1~제9 처리 장치(M1~M9)의 상방에는, 버퍼(6)가 설치되어 있다. 버퍼(6)는, FOUP(50)가 재치(載置)되는 선반이며, FOUP(50)를 수용한다. 버퍼(6)는, 지지 부재(20)에 의해 주행 레일(4)에 지지되어 있다. 버퍼(6)는, 복수의 셀 버퍼(보관부; 22)에 의해 구성되어 있다. 셀 버퍼(22)는, 주행 레일(4)에 있어서 제1 레일(9) 및 제2 레일(11)에 의해 구획되는 직사각형의 셀(공간; 16)마다 설정되어 있다. 셀 버퍼(22)의 각각은, 1개의 FOUP(50)를 보관한다. 셀 버퍼(22)에서는, 셀(16)을 통해 FOUP(50)가 이재된다. 즉, FOUP(50)는, 셀(16)을 연직 방향에 있어서 통과하여 셀 버퍼(22)에 이재된다. 도 5에 도시된 바와 같이, 버퍼(6)는, 그 버퍼(6) 상에 재치된 FOUP(50)의 일부가, 측면에서 볼 때에 있어서 주행 레일(4)과 겹치는 위치에 설치되어 있다.
[0035] 도 2 및 도 5에 도시된 바와 같이, 주행 레일(4) 상에는, 대차(8)가 설치되어 있다. 대차(8)는, 주행 레일(4) 상에 복수로 설치되어 있다. 대차(8)는, 주행부(24)와, 이재부(26)를 구비하고 있다. 또, 대차(8)는, 주행부(24) 및 이재부(26)의 동작을 제어하는 제어부, 상위 컨트롤러와 통신 가능한 통신부 등을 더 구비하고 있다. 제어부는, 예컨대, CPU(Central Processing Unit), ROM(Read Only Memory) 및 RAM(Random Access Memory) 등으로 이루어지는 전자 제어 유닛이다. 대차(8)는, 상위 컨트롤러로부터의 명령에 의해, FOUP(50)를 반송한다.
[0036] 주행부(24)는, 직육면체 형상을 띄고 있다. 주행부(24)는, 상방에서 볼 때에 있어서 셀(16)과 같은 사이즈이다. 도 6에 도시된 바와 같이, 주행부(24)는, 복수(본 실시형태에서는 4개)의 주행 유닛(35)을 가지고 있다. 각 주행 유닛(35)은, 복수(본 실시형태에서는 2개)의 차륜(32a) 또는 차륜(32b)과, 주행 모터(34)와, 상하 기구(전환부; 30)를 각각 갖는다. 차륜(32a)은, 주행부(24)에 있어서 서로 대향하는 2변에 2개씩 설치되어 있다. 차륜(32b)은, 주행부(24)에 있어서, 차륜(32a)이 설치된 변과 직교하고, 또한 서로 대향하는 2변에 2개씩 설치되어 있다. 차륜(32a)은, 제1 레일(9)의 가이드(10)에 의해 가이드되어, 제1 레일(9)에 있어서의 주행 면 위를 주행한다. 차륜(32b)은, 제2 레일(11)의 가이드(12)에 의해 가이드되어, 제2 레일(11)에 있어서의 주행 면 위를 주행한다. 주행 모터(34)는, 차륜(32a, 32b)을 구동시킨다. 상하 기구(30)는, 차륜(32a, 32b) 및 주행 모터(34)를 상하방향으로 이동시킨다. 상하 기구(30)는, 예컨대, 팬터그래프(pantograph), 캠 등이다.
[0037] 주행부(24)는, 상하 기구(30)에 의한 차륜(32a, 32b)의 상하방향의 이동에 의해, 차륜(32a) 또는 차륜(32b)이 제1 레일(9)의 가이드(10) 또는 제2 레일(11)의 가이드(12)에 접촉하며, 제1 레일(9) 또는 제2 레일(11)을 따라 주행한다. 즉, 상하 기구(30)는, 차륜(32) 또는 차륜(32b)을 상하방향으로 이동시킴으로써, 차륜(32a)이 제1 레일(9)을 따라 주행하는 제1 주행 상태와, 차륜(32b)이 제2 레일(11)을 따라 주행하는 제2 주행 상태로 주행 상태를 전환한다.
[0038] 주행부(24)는, 센서(36)와, 바코드 리더(검출부; 38)를 갖는다. 센서(36)는, 주행부(24)의 네 모서리에 있어서 바닥 면에 배치되어 있다. 센서(36)는, 주행 레일(4)의 크로스 포인트(14)를 검출한다. 주행부(24)는, 센서(36)에 의해 검출된 크로스 포인트(14)에 근거하여, 주행부(24)의 중심이 주행 레일(4)의 셀(16)의 중심에 위치하도록 정지한다.
[0039] 바코드 리더(38)는, 바코드(피검출체; B, 도 8 참조)를 읽어낸다. 바코드 리더(38)는, 각 주행 유닛(35)에 각각 설치되어, 주행부(24)의 바닥 면에 배치되어 있다. 도 8에 도시된 바와 같이, 제1 레일(9)(제2 레일(11))에는, 바코드(B)가 설치되어 있다. 상세하게는, 바코드(B)는, 제1~제9 처리 장치(M1~M9)의 제1~제9 로드 포트(P1~P9)의 바로 위에 이재부(26)가 배치 가능해지는 대차(8)의 정지 위치에 배치되어 있다. 주행부(24)는, 바코드 리더(38)에 의해 검출된 바코드(B)에 근거하여, 제1~제9 로드 포트(P1~P9)에 대한 정지 위치에서 정지한다.
[0040] 이재부(26)는, 주행부(24)로부터 돌출되어 있다. 이재부(26)는, 슬라이드 포크(이동부; 40)와, 턴테이블(44)과, 승강 장치(승강부; 45)와, 승강대(46)와, 룩 다운 센서(look down sensor; 47, 48)를 구비하고 있다.
[0041] 슬라이드 포크(40)는, 주행부(24)에 지지되는 지지체(26A)에 의해 지지되어 있다. 슬라이드 포크(40)는, 베이스부(41)와, 미들부(42)와, 탑부(43)를 갖는다. 베이스부(41)는, 이재부(26)의 지지체(26A)에 설치되어 있다. 슬라이드 포크(40)는, 승강 장치(45)를, X방향 및 Y방향을 따른 평면과 평행한 방향에 있어서 진퇴시킨다. 도 7에 도시된 바와 같이, 탑부(43)는, 베이스부(41)에 대해, 예컨대 셀(16)의 한 변에 상당하는 스트로크(stroke)로, 이재부(26)의 양측으로 진출한다.
[0042] 턴테이블(44)은, 탑부(43)의 하부에 설치되어 있다. 턴테이블(44)은, 해당 턴테이블(44)의 하부에 설치되어 있는 승강 장치(45)를 회전시킨다. 턴테이블(44)은, 예컨대, 180° 회전 가능하게 설치되어 있다. 승강 장치(45)는, 벨트, 로프, 와이어 등에 의해 승강대(46)를 승강시킨다. 승강대(46)는, FOUP(50)의 플랜지부(53)를 유지(파지(把持))하는 그립퍼(유지부; 46A)를 갖는다.
[0043] 룩 다운 센서(47, 48)는, 승강대(46)를 승강시킬 때, 승강대(46) 주위의 물체를 검출한다. 룩 다운 센서(47, 48)는, 도 6에 도시된 바와 같이, 탑부(43)에 있어서, 승강 장치(45)를 사이에 두는 위치에 배치되어 있다. 구체적으로는, 룩 다운 센서(47, 48)는, 승강대(46)에 FOUP(50)가 유지된 상태에서 FOUP(50)가 물체 검출의 방해가 되지 않는 위치에 배치되어 있다. 이재부(26)는, 셀 버퍼(22)에 있어서의 FOUP(50)의 유무를 검출하는 센서, FOUP(50)에 설치된 ID 등을 읽어 들이는 ID 리더 등을 더 구비하고 있어도 된다. 또, 이재부(26)는, 천정 반송차(V)와의 접촉을 회피하기 위하여, 대차(8)의 주위의 물체(장애물)를 검출하는 센서를 더 구비하고 있어도 된다.
[0044] 대차(8)는, 카운터 웨이트(49)를 가지고 있다. 카운터 웨이트(49)는, 주행부(24)에 설치되어 있다. 카운터 웨이트(49)는, 이재부(26)로부터 차륜(32)에 가해지는 힘의 모멘트를 상쇄하는 기능을 갖는다. 카운터 웨이트(49)는, 대차(8)의 중심(重心)을, 복수의 차륜(32)으로 둘러싸이는 범위 내에 유지한다.
[0045] 계속해서, 주행 레일(4)에 대해, 더욱 상세하게 설명한다. 도 1에 도시된 바와 같이, 주행 레일(4)은, 제1~제9 처리 장치 그룹(G1~G9) 상에 설치되어 있다. 주행 레일(4)은, 복수의 처리 장치 그룹에 걸쳐 제1~제9 처리 장치 그룹(G1~G9)이 설치되어 있는 영역의 전면(全面)에 배치되어 있다. 구체적인 일례로서는, 격자 형상의 주행 레일(4)은, 예컨대, 제1 처리 장치 그룹(G1)과 제4 처리 장치 그룹(G4)의 사이에 걸쳐 설치되어 있다. 즉, 주행 레일(4)은, 제1 처리 장치 그룹(G1)과 제4 처리 장치 그룹(G4)의 사이에 설치된 통로(A1) 상에도 설치되어 있다.
[0046] 도 9에 도시된 바와 같이, 주행 레일(4)에는, 개구부(K)가 설치되어 있다. 도 9에 나타내는 예에서는, 개구부(K)는, 제1 처리 장치(M1)의 제1 로드 포트(P1)의 바로 위(연직 상방)에 설치되어 있다. 개구부(K)는, 제1 레일(9)과 제2 레일(11)에 의해 구획된 영역이다. 개구부(K)에 의해, 제1 로드 포트(P1)의 상방은, 개방된 공간으로 되어 있다. 즉, 개구부(K)의 영역의 하방에는, 버퍼(6)가 설치되어 있지 않다. 개구부(K)는, 복수(여기에서는 3개)의 제1 로드 포트(P1)를 포함하는 영역으로 설정되어 있다. 개구부(K)의 길이방향(Y방향)의 사이즈는, 동일 방향에 있어서의 제1 로드 포트(P1)의 일방(一方)의 단부로부터 타방(他方)의 단부까지의 사이즈보다 크다. 개구부(K)는, 제1~제9 처리 장치(M1~M9)의 제1~제9 로드 포트(P1~P9)의 상방에 설치되어 있다.
[0047] 주행 레일(4)은, 대차(8)가 제1~제9 로드 포트(P1~P9)의 바로 위에 이재부(26)가 배치되는 정지 위치로 들어올 수 있도록 배치되어 있다. 구체적으로는, 주행 레일(4)은, 소정 공정의 처리를 실시하는 하나의 처리 장치 그룹(제1 처리 장치 그룹)에 있어서의 각 로드 포트의 바로 위에 이재부(26)가 배치되는 제1 정지 위치로 대차(8)가 들어올 수 있으며, 또한, 제1 정지 위치로부터 소정의 공정과는 다른 공정의 처리를 실시하는 다른 처리 장치 그룹(제2 처리 장치 그룹)에 있어서의 각 로드 포트의 바로 위에 이재부(26)가 배치되는 제2 정지 위치로 대차(8)가 들어올 수 있도록 배치되어 있다. 도 10에 도시된 바와 같이, 대차(8)는, 예컨대, 제1 로드 포트(P1)로 FOUP(50)를 이재할 경우에는, 제1 로드 포트(P19)의 바로 위에 이재부(26)가 위치하는 정지 위치에 정지하고, 개구부(K)를 통해 승강대(46)를 승강시킨다.
[0048] 대차(8)의 동작에 대해, 도 11~도 13을 참조하여 설명한다. 도 11~도 13에서는, 개구부(K)의 영역 내에 있어서 로드 포트(제1 로드 포트(P1), 제4 로드 포트(P4))가 중앙보다 약간 제2 레일(11)에 치우쳐 있으며, 대차(8)가 제1 로드 포트(P1)에 대해서 도면을 마주할 때 좌측에 정지한 상태이고, 제4 로드 포트(P4)에 대해서 도면을 마주할 때 우측에 정지한 상태이며, 각각 슬라이드 포크(40)에 의해 이재부(26)를 제1 로드 포트(P1), 제4 로드 포트(P4)의 바로 위로 이동시켜 FOUP(50)의 이재를 행하는 양태에 대해 설명한다.
[0049] 맨 먼저, 도 11에 도시된 바와 같이, 예컨대, 제1 처리 장치 그룹(G1)의 제1 처리 장치(M1)의 제1 로드 포트(P1)로부터, 제4 처리 장치 그룹(G4)의 제4 처리 장치(M4)의 제4 로드 포트(P4)로 FOUP(50)를 반송하는 경우에 대해 설명한다. 도 11에 도시된 바와 같이, 대차(8)는, 제1 로드 포트(P1)의 바로 위에 이재부(26)가 배치되는 제1 정지 위치에 정지하여, FOUP(50)를 픽업한다. FOUP(50)를 픽업하면, 대차(8)는, Y방향을 따라 도시된 하측의 「1」로 나타내는 위치까지 이동하고, 그 후, X방향을 따라 도시된 우측의 「2」까지 위치까지 이동한다. 계속해서, 대차(8)는, 「2」로 나타내는 위치로부터, 제4 로드 포트(P4)의 바로 위에 이재부(26)가 배치되는 제2 정지 위치까지 이동하여 정지하며, 제4 로드 포트(P4)에 FOUP(50)를 이재한다. 이상과 같이, 대차(8)는, 제1 로드 포트(P1)로부터 제4 로드 포트(P4)까지, 최단의 주행 경로로 FOUP(50)를 반송한다.
[0050] 계속해서, 도 12에 도시된 바와 같이, 예컨대, 제1 처리 장치 그룹(G1)의 제1 처리 장치(M1)의 제1 로드 포트(P1)로부터, 제4 처리 장치 그룹(G4)의 제4 처리 장치(M4)의 제4 로드 포트(P4)로 FOUP(50)를 반송하는 경우에 있어서, 주행 레일(4) 상에 다른 대차(8)가 예컨대 셀 버퍼(22)에 대한 FOUP(50)의 이재를 위해 정지하고 있는 경우에 대해 설명한다. 도 12에 도시된 바와 같이, 대차(8)는, 제1 로드 포트(P1)의 바로 위에 이재부(26)가 배치되는 제1 정지 위치에 정지하여, FOUP(50)를 픽업한다. FOUP(50)를 픽업하면, 대차(8)는, Y방향을 따라 도시된 하측의 「1」로 나타내는 위치까지 이동하고, 그 후, X방향을 따라 도시된 우측의 「2」까지 위치까지 이동한다. 다음으로, 대차(8)는, Y방향을 따라 도시된 상측의 「3」으로 나타내는 위치까지 이동하고, 그 후, X방향을 따라 도시된 우측의 「4」로 나타내는 위치까지 이동한다. 다음으로, 대차(8)는, Y방향을 따라 도시된 하측의 「5」로 나타내는 위치까지 이동하고, 그 후, X방향을 따라 도시된 우측의 「6」으로 나타내는 위치까지 이동한다. 그리고, 대차(8)는, 「6」으로 나타내는 위치로부터, 제4 로드 포트(P4)의 바로 위에 이재부(26)가 배치되는 제2 정지 위치까지 이동하여 정지하고, 제4 로드 포트(P4)에 FOUP(50)를 이재한다.
[0051] 계속해서, 도 13에 도시된 바와 같이, 예컨대, 제1 처리 장치 그룹(G1)의 제1 처리 장치(M1)의 제1 로드 포트(P1)로부터, 제4 처리 장치 그룹(G4)의 제4 처리 장치(M4)의 제4 로드 포트(P4)로 FOUP(50)를 반송하는 경우에 있어서, 주행 레일(4) 상에 다른 대차(8)가 정지하고 있는 경우에 대해 설명한다. 도 13에 도시된 바와 같이, 대차(8)는, 제1 로드 포트(P1)의 바로 위에 이재부(26)가 배치되는 제1 정지 위치에 정지하여, FOUP(50)를 픽업한다. FOUP(50)를 픽업하면, 대차(8)는, Y방향을 따라 도시된 하측의 「1」로 나타내는 위치까지 제1 처리 장치(M1) 상을 통과해 이동하고, 그 후, X방향을 따라 도시된 우측의 「2」까지 위치까지 이동한다. 계속해서, 대차(8)는, 「2」로 나타내는 위치로부터, 제4 로드 포트(P4)의 바로 위에 이재부(26)가 배치되는 제2 정지 위치까지 이동하여 정지하고, 제4 로드 포트(P4)에 FOUP(50)를 이재한다.
[0052] 이상 설명한 바와 같이, 본 실시형태와 관련되는 반송 시스템(100)에서는, 주행 레일(4)은, 소정의 공정의 처리를 실시하는 제1 처리 장치 그룹에 있어서의 각 이재 포트의 바로 위에 이재부(26)가 배치되는 정지 위치로 대차(8)가 들어올 수 있으며, 또한, 소정의 공정과는 다른 공정의 처리를 실시하는 제2 처리 장치 그룹에 있어서의 각 이재 포트의 바로 위에 이재부(26)가 배치되는 정지 위치로 대차(8)가 들어올 수 있도록 배치되어 있다. 이로써, 반송 시스템(100)에서는, 제1 처리 장치 그룹의 이재 포트와 제2 처리 장치 그룹의 이재 포트의 사이에 있어서 FOUP(50)를 대차(8)로 반송하는 경우, X방향 및 Y방향의 조합에 의해 복수의 주행 경로를 취할 수 있기 때문에, 정지하여 이재 동작을 실시하고 있는 진행 방향 전방의 다른 대차(8)를 추월해 가는 주행 경로를 선택하여 캐리어를 반송할 수가 있다. 따라서, 반송 시스템(100)에서는, 공정 간에서의 FOUP(50)의 반송 효율의 향상을 도모할 수가 있다.
[0053] 본 실시형태와 관련되는 반송 시스템(100)에서는, 제1~제9 처리 장치 그룹(G1~G9)의 각각은, 서로 다른 처리를 실시하는 제1~제9 처리 장치(M1~M9)를 구비한다. 이 구성에 있어서, 반송 시스템(100)에서는, 다른 종류의 처리 장치 간에서 대차(8)가 FOUP(50)를 반송할 때, X방향 및 Y방향의 조합에 의해 복수의 주행 경로를 취할 수 있기 때문에, 정지하여 이재 동작을 실시하고 있는 진행 방향 전방의 다른 대차(8)를 추월해 가는 주행 경로를 선택하여 FOUP(50)를 반송할 수가 있다. 따라서, 반송 시스템(100)에서는, 공정 간에서의 FOUP(50)의 반송 효율의 향상을 도모할 수가 있다.
[0054] 본 실시형태와 관련되는 반송 시스템(100)에서는, 제1~제9 처리 장치(M1~M9)의 제1~제9 로드 포트(P1~P9)는, 제1~제9 처리 장치 그룹(G1~G9)에 있어서, Y방향을 따라 서로 인접하여 배치되어 있다. 주행 레일(4)은, 제1~제9 처리 장치 그룹(G1~G9)에 있어서 배열 방향이 평행이 되도록 설치된 제1~제9 로드 포트(P1~P9)의 바로 위에 이재부(26)가 배치되는 제1 정지 위치 또는 제2 정지 위치로 대차(8)가 들어올 수 있도록 배치되어 있다. 이 구성에서는, 제1~제9 처리 장치 그룹(G1~G9) 사이의 FOUP(50)의 반송 효율을 향상시킬 수가 있다.
[0055] 본 실시형태와 관련되는 반송 시스템(100)에서는, 대차(8)는, 이재부(26)가 주행 레일(4)보다 상측에 위치한 상태에서 주행 레일 위를 주행한다. 주행 레일(4)은, 상방에서 볼 때에 있어서 제1~제9 로드 포트(P1~P9)를 포함하는 영역이 개구부(K)로 되어 있다. 대차(8)는, 개구부(K)를 통해 이재부(26)에 의해 제1~제9 로드 포트(P1~P9)에 대해서 FOUP(50)의 이재를 행한다. 이로써, 이재부(26)가 주행 레일(4)보다 상측에 위치한 상태에서 주행 레일(4) 위를 주행하는 대차(8)의 구성에 있어서, 상방에서 볼 때에 있어서의 제1~제9 로드 포트(P1~P9)의 주위에 주행 레일(4)을 설치하여도, 대차(8)가 제1~제9 로드 포트(P1~P9)에 대해서 FOUP(50)를 이재할 수가 있다.
[0056] 본 실시형태와 관련되는 반송 시스템(100)에서는, 주행 레일(4)은, 복수의 제1 레일(9)과 복수의 제2 레일(11)이, 각각 FOUP(50)가 연직 방향으로 통과할 수 있는 간격을 두고 배치되어 있다. 셀 버퍼(22)는, 제1 레일(9)과 제2 레일(11)에 의해 구획되는 셀(16)의 바로 아래에 설치되어 있다. 대차(8)는, 셀(16)을 통해 이재부(26)에 의해 셀 버퍼(22)에 대해서 FOUP(50)의 이재를 행한다. 이 구성에서는, 이재부(26)가 주행 레일(4)보다 상측에 위치한 상태에서 주행 레일(4) 위를 주행하는 대차(8)의 구성에 있어서, 대차(8)의 주행을 방해하지 않는 위치에 많은 FOUP(50)를 보관할 수가 있다.
[0057] 본 실시형태와 관련되는 반송 시스템(100)에서는, 셀 버퍼(22)는, 제1~제9 로드 포트(P1~P9)보다 상방에 설치되어 있다. 이로써, 대차(8)가 셀 버퍼(22)에 있어서 FOUP(50)를 이재하는 시간의 단축을 도모할 수가 있다. 그 결과, FOUP(50)의 반송 효율의 향상을 보다 한층 도모할 수 있다. 또, 반송 시스템(100)에 있어서 바닥 위의 스페이스를 전유(專有)하는 일 없이 FOUP(50)의 보관량을 늘릴 수가 있다.
[0058] 본 실시형태와 관련되는 반송 시스템(100)에서는, 제1~제9 로드 포트(P1~P9)는, 제1~제9 처리 장치(M1~M9)에 설치되어 있으며, 개구부(K)는, 제1~제9 처리 장치(M1~M9)에 설치되는 복수의 제1~제9 로드 포트(P1~P9)를 포함하는 영역을 가지고 있다. 이 구성에서는, 상방에서 볼 때에 있어서의 주행 레일(4)과 제1~제9 로드 포트(P1~P9) 간의 상대 위치의 자유도를 확보할 수가 있다.
[0059] 본 실시형태와 관련되는 반송 시스템(100)에서는, 대차(8)의 이재부(26)는, 승강 장치(45)를 X방향 및 Y방향을 따른 평면과 평행한 방향에 있어서 진퇴시킬 수 있는 슬라이드 포크(40)를 갖는다. 대차(8)는, 개구부(K)를 형성하는 제1 레일(9) 및 제2 레일(11)의 적어도 일방(一方)의 위에서 정지하며, 슬라이드 포크(40)를 진출시킴으로써, 개구부(K)를 통해 제1~제9 로드 포트(P1~P9)에 FOUP(50)를 이재한다. 이 구성에서는, 개구부(K)의 영역을 넓게 할 수 있게 된다. 따라서, 상방에서 볼 때에 있어서의 주행 레일(4)과 제1~제9 로드 포트(P1~P9) 간의 상대 위치의 자유도를 보다 한층 확보할 수가 있다.
[0060] 본 실시형태와 관련되는 반송 시스템(100)에서는, 주행 레일(4)에는, 제1~제9 로드 포트(P1~P9)에 대한 대차(8)의 정지 위치에 바코드(B)가 설치되어 있다. 대차(8)는, 바코드(B)를 검출하는 바코드 리더(38)를 구비한다. 대차(8)의 주행부(24)는, 바코드 리더(38)에 의한 검출 결과에 근거하여, 정지 위치에 있어서 대차(8)를 정지시킨다. 이 구성에서는, 대차(8)를 제1~제9 로드 포트(P1~P9)에 대한 정지 위치에 있어서 양호한 정밀도로 정지시킬 수가 있다.
[0061] 이상, 본 발명의 일 실시형태에 대해 설명하였으나, 본 발명은, 상기 실시형태로 한정되는 것은 아니다.
[0062] 상기 실시형태에서는, 궤도(R) 및 천정 반송차(V)를 구비하는 형태를 일례로 설명하였으나, 궤도(R) 및 천정 반송차(V)는 구비하지 않아도 된다.
[0063] 상기 실시형태에서는, 제1~제9 로드 포트(P1~P9)가, Y방향을 따라 배치되어 있는 형태를 일례로 설명하였다. 그러나, 제1~제9 로드 포트(P1~P9)의 배치 형태는 이것으로 한정되지 않는다. 제1~제9 로드 포트(P1~P9)는, 설계에 따라 적절히 설치되면 된다. 예컨대, 도 14에 도시된 바와 같이, 제1 처리 장치 그룹(G1)에 있어서, 각 제1 처리 장치(M1)의 제1 로드 포트(P1)는, Y방향 또는 X방향을 따라 각각 배치되어 있다. 제1 로드 포트(P1)는, 그 배열 방향이 일직선 상에는 설치되지 않고, Y방향 또는 X방향으로 어긋나 배치되어 있다. 마찬가지로, 제2 처리 장치 그룹(G2)에 있어서, 각 제2 처리 장치(M2)의 제2 로드 포트(P2)는, Y방향 또는 X방향을 따라 각각 배치되어 있다. 제2 로드 포트(P2)는, 그 배열 방향이 일직선 상에는 설치되지 않고, Y방향 또는 X방향으로 어긋나 배치되어 있다. 이러한 구성이어도, 반송 시스템(100)에서는, 주행 레일(4)에 있어서의 X방향 및 Y방향의 조합에 의해 대차(8)가 복수의 주행 경로를 취할 수 있기 때문에, 평행하지 않게 설치된 복수의 로드 포트 상호 간에서 효율적으로 FOUP(50)를 반송할 수가 있다. 또, 이 구성에서는, 제1~제9 로드 포트(P1~P9)의 배치의 자유도, 나아가서는 제1~제9 처리 장치(M1~M9)의 배치의 자유도를 높일 수가 있다.
[0064] 상기 실시형태에서는, 버퍼(6)가, 그 버퍼(6) 상에 재치된 FOUP(50)의 일부가, 측면에서 볼 때에 있어서 주행 레일(4)과 겹치는 위치에 설치되어 있는 형태를 일례로 설명하였다. 그러나, 버퍼(6)(셀 버퍼(22))는, 주행 레일(4)과 같은 높이, 혹은 주행 레일(4)보다 상방에 FOUP(50)의 재치면(載置面)을 구비하고 있어도 된다.
[0065] 상기 실시형태에서는, 주행 레일(4)에 설치된 바코드(B)를 바코드 리더(38)로 읽어내는 형태를 일례로 설명하였다. 그러나, 주행 레일(4)에 설치되는 피검출체는, 예컨대, 자기 마크, 광학 마크, 리니어 스케일(linear scale) 등이어도 된다. 검출부는, 이들 피검출체를 검출할 수 있는 것이면 된다.
[0066] 상기 실시형태에서는, 셀 버퍼(22)에 1개의 FOUP(50)가 수용되는 형태를 일례로 설명하였다. 그러나, 셀 버퍼(22)에는, 복수의 FOUP(50)가 수용되어도 된다.
[0067] 상기 실시형태에서는, 대차(8)의 이재부(26)가 슬라이드 포크(40)를 구비하는 형태를 일례로 설명하였다. 그러나, 슬라이드 포크(40) 대신에 스카라 아암 등의 수평방향으로 진퇴하는 아암을 구비하고 있어도 된다.
[0068] 상기 실시형태에서는, 대차(8)가 주행부(24) 및 이재부(26)를 구비하며, 이재부(26)가 주행부(24)로부터 돌출되어 있는 형태를 일례로 설명하였다. 그러나, 대차의 형태는 이것으로 한정되지 않는다. 예컨대, 도 15에 도시된 바와 같이, 대차(70)는, 주행부(72)에 슬라이드 포크(40)를 구비하고 있다. 또, 대차는, 아암 형상의 이재부가 주행부의 중심(重心) 주위로 회전하는 구성이어도 된다. 이 구성에서는, 이재부는, 슬라이드 포크를 구비하지 않아도 된다.
[0069] 또, 도 16에 도시된 바와 같이, 대차(80)는, 주행부(84) 및 이재부(86)를 가지고 있다. 대차(80)는, 주행 레일(4)의 하방에 위치하며, 주행부(84)가 주행 레일(4)에 매달린 상태로 주행하는 형태여도 된다. 이 구성에서는, 주행 레일(4)에 개구부를 설치하지 않아도, 제1~제9 로드 포트(P1~P9)에 FOUP(50)를 이재할 수가 있다. 또, 대차는, 주행 레일(4)의 셀(16)의 바로 위에 정지하며, 해당 셀(16)을 통해 FOUP(50)를 이재할 수 있는 형태여도 된다. 즉, 대차의 이재부가 슬라이드 포크를 구비하고 있지 않아도 된다. 이 구성에서는, 제1~제9 로드 포트(P1~P9)에 대해서 FOUP(50)를 이재할 때에, 이재부를 진출시킬 필요가 없기 때문에, 제1~제9 로드 포트(P1~P9)에 대해 FOUP(50)를 신속하게 이재할 수가 있다.
[0070] 상기 실시형태에서는, 대차(8)의 주행부(24)가 상하 기구(30)를 구비하는 형태를 일례로 설명하였다. 그러나, 제1 레일(9)을 따라 주행하는 제1 주행 상태와, 제2 레일(11)을 따라 주행하는 제2 주행 상태로 주행 상태를 전환하는 전환부의 구성은 이것으로 한정되지 않는다. 전환부는, 다양한 기구를 채용할 수가 있다. 예컨대, 전환부는, 주행부에 대해서 차륜(주행 유닛)을 이동 가능하게 하는 기구여도 된다. 이 구성에서는, 차륜을 전환부에 의해 이동시킴으로써, Y방향을 따라 주행부가 주행하는 경우에는, 차륜이 Y방향을 따르도록 배치되고, X방향을 따라 주행부가 주행하는 경우에는, 차륜이 X방향을 따르도록 배치된다.
[0071] 상기 실시형태에서는, 주행 레일(4)에 설치된 개구부(K)의 영역 내에 복수의 로드 포트가 위치하는 형태를 일례로 설명하였다. 그러나, 도 17에 도시된 바와 같이, 개구부(K)는, 1대의 제1 로드 포트(P1)를 영역 내에 포함하도록 설치되어 있어도 된다. 이 구성에서는, 대차(8)가, 주행 레일(4)의 개구부(K) 상에 위치하며, 해당 개구부(K)를 통해 FOUP(50)를 이재할 수 있는 구성이어도 된다. 이 구성에서는, 제1~제9 로드 포트(P1~P9)에 대해서 FOUP(50)를 보다 신속히 이재할 수가 있다.
[0072] 상기 실시형태에서는, 가이드(10)가 설치된 제1 레일(9) 및 가이드(12)가 설치된 제2 레일(11)로 구성되는 주행 레일(4)을 일례로 설명하였다. 그러나, 주행 레일은, 예컨대, 도 18에 나타내어지는 형태여도 된다. 도 18에 도시된 바와 같이, 주행 레일(17)은, 제1 레일(18) 및 제2 레일(19)로 구성되어 있다. 제1 레일(18)에는, 2개의 가이드(10, 10)가 설치되어 있다. 제2 레일(19)에는, 2개의 가이드(12, 12)가 설치되어 있다. 가이드(10)와 가이드(12)의 사이, 가이드(12)와 가이드(12)의 사이에는, 분리대가 설치되어 있다. 분리체(21)는, 볼록한 형상이며, 가이드(10)와 가이드(10), 가이드(12)와 가이드(12)를 분리한다. 주행 레일(17)을 구비하는 반송 시스템에서는, 2대의 대차(8)가, 제1 레일(18) 또는 제2 레일(19) 상에 동시에 위치할 수 있다.
[0073] 4; 주행 레일
6; 버퍼
8; 대차
9; 제1 레일
11; 제2 레일
22; 셀 버퍼(보관부)
24; 주행부
26; 이재부
38; 바코드 리더(검출부)
5; 승강 장치(승강부)
46A; 그립퍼(유지부)
50; FOUP(캐리어)
100; 반송 시스템
B; 바코드(피검출체)
P1~P9; 제1~제9 로드 포트

Claims (13)

  1. 기판을 수용하는 캐리어를, 상기 기판의 처리를 행하는 복수의 처리 장치 각각에 있어서의 이재(移載) 포트 상호 간에서 반송하는 반송 시스템으로서,
    제1 방향으로 직선 형상으로 연장되는 복수의 제1 레일과, 상기 제1 방향과 직교하는 제2 방향으로 연장되는 복수의 제2 레일을 가지며, 복수의 상기 제1 레일과 복수의 상기 제2 레일이 동일 면 상에 격자 형상으로 배치된 주행 레일과,
    상기 주행 레일을 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향으로 주행할 수 있는 주행부와, 상기 캐리어를 유지하는 유지부 및 상기 유지부를 승강시키는 승강부를 포함하는 이재부를 갖는 복수의 대차(台車)를 구비하며,
    상기 주행 레일은, 소정의 공정의 처리를 실시하는 제1 처리 장치 그룹에 있어서의 각 상기 이재 포트의 바로 위(直上)에 상기 이재부가 배치되는 제1 정지 위치로 상기 대차가 들어올 수 있고, 또한, 상기 제1 정지 위치로부터 상기 소정의 공정과는 다른 공정의 처리를 실시하는 제2 처리 장치 그룹에 있어서의 각 상기 이재 포트의 바로 위에 상기 이재부가 배치되는 제2 정지 위치로 상기 대차가 들어올 수 있도록 배치되어 있는,
    반송 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    복수의 상기 이재 포트는, 상기 제1 처리 장치 그룹 및 상기 제2 처리 장치 그룹의 각각에 있어서, 상기 제1 방향 또는 상기 제2 방향을 따라 서로 인접하여 배치되어 있고,
    상기 주행 레일은, 상기 제1 처리 장치 그룹 및 상기 제2 처리 장치 그룹에 있어서 배열 방향이 평행이 되도록 설치된 복수의 상기 이재 포트의 바로 위에 상기 이재부가 배치되는 상기 제1 정지 위치로부터 상기 제2 정지 위치로 상기 대차가 들어올 수 있도록 배치되어 있는,
    반송 시스템.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 주행 레일은, 상기 제1 처리 장치 그룹과 상기 제2 처리 장치 그룹에 있어서 서로 대향하여 배치된 복수의 상기 이재 포트의 바로 위에 상기 이재부가 배치되는 상기 제1 정지 위치로부터 상기 제2 정지 위치로 상기 대차가 들어올 수 있도록 배치되어 있는,
    반송 시스템.
  4. 제2항 또는 제3항에 있어서,
    복수의 상기 이재 포트의 배열 방향이 평행이 되도록 설치된 상기 제1 처리 장치 그룹 및 상기 제2 처리 장치 그룹을 복수로 구비하며,
    상기 주행 레일은, 하나의 상기 제1 처리 장치 그룹 및 상기 제2 처리 장치 그룹의 상기 이재 포트의 바로 위에 상기 이재부가 배치되는 상기 제1 정지 위치로 상기 대차가 들어올 수 있으며, 또한, 상기 제1 정지 위치로부터 다른 상기 제1 처리 장치 그룹 및 상기 제2 처리 장치 그룹의 상기 이재 포트의 바로 위에 상기 이재부가 배치되는 상기 제2 정지 위치로 상기 대차가 들어올 수 있도록 배치되어 있는,
    반송 시스템.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 제1 처리 장치 그룹 및 상기 제2 처리 장치 그룹의 각각은, 상기 제1 방향을 따라 배치된 복수의 상기 이재 포트와, 상기 제2 방향을 따라 배치된 복수의 상기 이재 포트를 가지고,
    상기 제1 처리 장치 그룹 및 상기 제2 처리 장치 그룹의 각각에 있어서, 상기 제1 방향 또는 상기 제2 방향을 따라 배치된 복수의 상기 이재 포트는, 서로 일직선 상에는 배치되지 않고 또한 상기 제1 방향 또는 상기 제2 방향으로 어긋난 위치에 배치된 것을 포함하며,
    상기 주행 레일은, 상기 제1 처리 장치 그룹에 있어서의 각 상기 이재 포트의 바로 위에 상기 이재부가 배치되는 상기 제1 정지 위치로 상기 대차가 들어올 수 있고, 또한, 상기 제1 정지 위치로부터 상기 제2 처리 장치 그룹에 있어서의 각 상기 이재 포트의 바로 위에 상기 이재부가 배치되는 상기 제2 정지 위치로 상기 대차가 들어올 수 있도록 배치되어 있는,
    반송 시스템.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 대차는, 상기 이재부가 상기 주행 레일보다 상측에 위치한 상태에서 상기 주행 레일 위를 주행하고,
    상기 주행 레일은, 상방에서 볼 때(平面視)에 있어서 상기 이재 포트를 포함하는 영역이 개구부로 되어 있으며,
    상기 대차는, 상기 개구부를 통해 상기 이재부에 의해 상기 이재 포트에 대해서 상기 캐리어의 이재를 행하는,
    반송 시스템.
  7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 캐리어를 보관하는 보관부를 구비하고,
    상기 주행 레일은, 상기 보관부의 바로 위에 상기 이재부가 배치되는 정지 위치로 상기 대차가 들어올 수 있게 되도록 배치되어 있는,
    반송 시스템.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 주행 레일은, 복수의 상기 제1 레일과 복수의 상기 제2 레일이, 각각 상기 캐리어가 연직 방향으로 통과할 수 있는 간격을 두고 배치되어 있고,
    상기 보관부는, 상기 제1 레일과 상기 제2 레일에 의해 구획되는 공간의 바로 아래에 설치되어 있으며,
    상기 대차는, 상기 공간을 통해 상기 이재부에 의해 상기 보관부에 대해서 상기 캐리어의 이재를 행하는,
    반송 시스템.
  9. 제6항에 있어서,
    상기 개구부는, 1개의 처리 장치에 설치되는 복수의 상기 이재 포트를 포함하는 영역을 가지고 있는,
    반송 시스템.
  10. 제6항에 있어서,
    상기 이재부는, 상기 승강부를 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향을 따른 평면과 평행한 방향에 있어서 진퇴시킬 수 있는 이동부를 가지며,
    상기 대차는, 상기 개구부를 형성하는 상기 제1 레일 및 상기 제2 레일의 적어도 일방(一方)의 위에서 정지하고, 상기 이동부를 진출시킴으로써, 상기 개구부를 통해 상기 이재 포트에 상기 캐리어를 이재하는,
    반송 시스템.
  11. 제6항에 있어서,
    상기 주행 레일은, 상기 이재 포트의 바로 위에서 상기 대차가 정지할 수 있도록 배치되어 있고,
    상기 대차는, 상기 이재 포트의 바로 위에서 정지하여, 상기 개구부를 통해 상기 캐리어를 상기 이재 포트에 이재하는,
    반송 시스템.
  12. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 대차는, 상기 이재부가 상기 주행 레일보다 하측에 위치한 상태에서 상기 주행 레일을 주행하는,
    반송 시스템.
  13. 제1항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 주행 레일에는, 상기 이재 포트에 대한 상기 대차의 정지 위치에 피(被)검출체가 설치되어 있고,
    상기 대차는, 상기 피검출체를 검출하는 검출부를 구비하며,
    상기 주행부는, 상기 검출부에 의한 검출 결과에 근거하여, 상기 정지 위치에 있어서 상기 대차를 정지시키는,
    반송 시스템.
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