JP7173291B2 - 搬送車システム - Google Patents

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Description

本発明は、搬送車システムに関する。
搬送車システムは、半導体製造工場等で用いられている。搬送車システムは、半導体ウエハを収容するＦＯＵＰあるいはレチクルを収容するレチクルＰｏｄ等の物品を天井搬送車により搬送して、処理装置のロードポート等の移載場所に対して物品の移載を行う。このような搬送車システムにおいて、移載場所は、天井搬送車が走行する軌道の延在方向に沿って複数配置されている。天井搬送車は、軌道に沿って走行し、移載場所に対応した位置に停止した後に物品を保持する保持部を昇降させることで移載場所に対する物品の移載を行う。また、物品の搬送効率を向上させるために、上下二段に軌道を敷設し、各軌道を走行する天井搬送車から移載場所に対して物品の移載を行う構成が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
国際公開第２０１７／０２９８７１号
搬送車システムにおいて、隣り合う移載場所に対して同時又は同時期に物品を移載することができれば物品の搬送効率をさらに向上させることが可能となる。ここで、同一の軌道において２台の天井搬送車から、隣り合う移載場所に対して同時に物品を移載させる際、隣り合う移載場所の配置間隔であるポートピッチが、天井搬送車の延在方向における全長より小さいと、２台の天井搬送車が、隣り合う移載場所のそれぞれに対応した位置に同時に停止できず、同時又は同時期に物品を移載させることができない。
本発明は、隣り合う移載場所のポートピッチが天井搬送車の延在方向における全長より小さいときでも、隣り合う移載場所に対して天井搬送車が同時又は同時期に物品の移載を行うことが可能な搬送車システムを提供することを目的とする。
本発明の態様に係る搬送車システムは、第１軌道と、第１軌道の下方に設けられ且つその第１軌道と共通の延在方向に延在する第２軌道と、第１軌道及び第２軌道を走行し、延在方向において隣り合う第１移載場所及び第２移載場所に物品を移載する天井搬送車と、を備える搬送車システムであって、天井搬送車は、本体部と、物品を保持する保持部と、保持部を昇降させる昇降駆動部と、本体部から昇降駆動部を横方向へ移動させる横出し機構と、を備え、第１移載場所と第２移載場所との配置間隔であるポートピッチが、天井搬送車の延在方向における全長より小さく、第１軌道において第１移載場所に物品を移載するための第１位置に停止した天井搬送車において、横出し機構により横方向へ移動させられた昇降駆動部により昇降する第１部分と、第２軌道において第２移載場所に物品を移載するための第２位置に停止した天井搬送車において、横出し機構の駆動により横方向へ移動した第２部分とが、延在方向においてずれている。
また、第１部分が、保持部に保持された物品を含んでもよい。また、平面視において、第１部分は、第２部分の外縁の内側に収まってもよい。また、天井搬送車は、横出し機構が昇降駆動部を横方向へ移動させる際、共に横方向へ移動させられる附属部を備え、附属部は、第２部分に含まれてもよい。また、延在方向において、第１位置に停止した天井搬送車における第２部分の範囲と、第２位置に停止した天井搬送車における第２部分の範囲とが一部重なってもよい。
上記した搬送車システムによれば、ポートピッチが天井搬送車の延在方向における全長より小さい第１移載場所及び第２移載場所に対して、第１軌道の天井搬送車と第２軌道の天井搬送車とが同時又は同時期に物品を移載する際、延在方向において第１軌道の天井搬送車における第１部分と、第２軌道の天井搬送車における第２部分とがずれているため、天井搬送車同士の干渉、すなわち第１軌道の天井搬送車の第１部分と、第２軌道の天井搬送車の第２部分との干渉を防止することができる。その結果、隣り合う第１移載場所及び第２移載場所に対して天井搬送車が同時又は同時期に物品を移載することができ、物品の搬送効率を向上させることができる。
また、第１部分が、保持部に保持された物品を含む構成では、保持部に保持された物品が第２軌道の天井搬送車の第２部分と干渉することを防止できる。また、平面視において、第１部分が、第２部分の外縁の内側に収まる構成では、平面視において第１部分が第２部分からはみ出ないので、第１軌道の天井搬送車の第２部分と、第２軌道の天井搬送車の第２部分とが平面視で隣接する又は一部重なるようなポートピッチの第１移載場所及び第２移載場所に対して、天井搬送車が同時又は同時期に物品を移載することができる。また、横出し機構が昇降駆動部を横方向へ移動させる際、共に横方向へ移動させられる附属部を天井搬送車が備え、附属部が、第２部分に含まれる構成では、横方向へ移動させられる附属部も含めて第２部分とすることで、第１軌道の天井搬送車における第１部分と、第２軌道の天井搬送車における第２部分とが干渉することを確実に防止できる。また、延在方向において、第１位置に停止した天井搬送車における第２部分の範囲と、第２位置に停止した天井搬送車における第２部分の範囲とが一部重なる構成では、ポートピッチが第２部分の寸法より小さい第１移載場所及び第２移載場所に対して、第１軌道の天井搬送車及び第２軌道の天井搬送車が同時又は同時期に物品を移載することができる。
第１実施形態に係る搬送車システムの一例をＹ方向に視た図である。 天井搬送車の一例を示す図である。 第１軌道及び第２軌道と移載場所との位置関係の一例を示す平面図である。 移載場所に対して物品を移載する一例を示す図である。 第１位置及び第２位置に停止した天井搬送車の一例を示す平面図である。 第２実施形態に係る搬送車システムの一例をＹ方向に視た図である。 第２実施形態に係る搬送車システムにおいて、第１位置及び第２位置に停止した天井搬送車の一例を示す図である。
以下、実施形態について図面を参照しながら説明する。ただし、本発明はこの実施形態に限定されない。また、図面においては実施形態を説明するため、一部分を大きく又は強調して記載する等、適宜縮尺を変更して表現している。以下の各図において、ＸＹＺ座標系を用いて図中の方向を説明する。このＸＹＺ座標系においては、鉛直方向をＺ方向とし、水平方向をＸ方向、Ｙ方向とする。Ｘ方向は、水平方向内における一方向であって、後述する第１軌道及び第２軌道に沿った延在方向Ｄである。Ｙ方向は、Ｘ方向と直交する方向である。また、Ｘ、Ｙ、Ｚ方向の各方向について、適宜、矢印が指す向きを＋方向（例えば、＋Ｘ方向）と表現し、その反対方向を－方向（例えば、－Ｘ方向）と表現する。以下の実施形態では、天井搬送車３０の走行方向をＸ方向として説明し、横方向をＹ方向として説明している。なお、天井搬送車３０の走行方向（Ｘ方向）は任意の向きである。
［第１実施形態］
図１は、第１実施形態に係る搬送車システムＳＹＳ１の一例をＹ方向に視た図である。図１に示す搬送車システムＳＹＳ１は、例えば、半導体デバイスの製造工場等に設けられ、レチクル等を収容したレチクルポッド、あるいは半導体デバイスの製造に用いられる半導体ウエハを収容したＦＯＵＰ等の物品Ｗを搬送する。搬送車システムＳＹＳ１は、天井搬送車３０により、物品Ｗを載置可能な移載場所（例えば、後述する第１移載場所Ｓ１等）との間で物品Ｗを搬送する。本実施形態では、物品Ｗがレチクルポッドである例を用いて説明するが、物品Ｗは、レチクルポッド以外であってもよい。また、搬送車システムＳＹＳ１は、半導体製造分野以外の設備に適用可能であり、物品Ｗは、搬送車システムＳＹＳ１で搬送可能な他の物品でもよい。
搬送車システムＳＹＳ１は、第１軌道１０と、第２軌道２０と、天井搬送車３０とを備える。第１軌道１０及び第２軌道２０は、例えば、天井Ｃ又は天井Ｃに設けられる不図示のシステム天井から吊り金具により吊り下げられた状態で設けられ、天井Ｃ又は不図示のシステム天井の近傍等に配置される。図１において、第２軌道２０の吊り金具の記載を省略している。
第１軌道１０及び第２軌道２０は、共通の延在方向Ｄに沿って設けられる。第１軌道１０と第２軌道２０とは、同一又はほぼ同一の部材によって形成されており、延在方向Ｄに直交する断面形状が同一又はほぼ同一である。第２軌道２０は、第１軌道１０の下方に配置される。本実施形態では、第２軌道２０が第１軌道１０の直下に配置される構成を例に挙げて説明しているが、この構成に限定されず、第２軌道２０が第１軌道１０の直下から横方向（Ｙ方向）にずれて配置される構成であってもよい。
図２は、天井搬送車３０の一例を示す図である。図２では、天井搬送車３０を走行方向（Ｘ方向）から視た図を示している。天井搬送車３０は、走行部３１と、本体部３２とを有する。走行部３１は、不図示の走行駆動部及び複数の駆動輪３１ａ及び従動輪３１ｂを備え、第１軌道１０及び第２軌道２０等に沿って走行する。不図示の走行駆動部としては、例えば、走行部３１に備えられて駆動輪３１ａを駆動する電動モータであってもよいし、リニアモータであってもよい。
本体部３２は、取付部３２ａを介して走行部３１の下部に取り付けられている。本体部３２は、物品Ｗを保持する保持部３３と、保持部３３を吊り下げて昇降させる昇降駆動部３４と、本体部３２から昇降駆動部３４を軌道の側方（横方向）に移動させる横出し機構３５と、横出し機構３５が昇降駆動部３４を横方向へ移動させる際に共に横方向へ移動させられる附属部３６と、上記の保持部３３、昇降駆動部３４、横出し機構３５及び附属部３６を走行方向の前後においてカバーするカバー部３７とを有する。
保持部３３は、物品Ｗのフランジ部Ｗａを上方からつかんで保持することにより、物品Ｗを吊り下げて保持する。保持部３３は、例えば、水平方向に進退可能な複数の爪部３３ｍを有するチャックであり、爪部３３ｍを物品Ｗのフランジ部Ｗａの下方に進入させ、保持部３３を上昇させることにより物品Ｗを吊り下げて保持する。保持部３３は、ワイヤあるいはベルト等の吊り下げ部材３３ｎと接続されている。保持部３３は、昇降駆動部３４から吊り下げられ、昇降駆動部３４の駆動により昇降させられる。本実施形態において、保持部３３は、昇降駆動部３４により駆動させられる第１部分３８に含まれる。また、物品Ｗは、昇降駆動部３４が保持部３３を駆動する（昇降させる）際、保持部３３に保持されて保持部３３と共に昇降するので、保持部３３に保持された物品Ｗも第１部分３８に含まれる。
昇降駆動部３４は、例えばホイストであり、吊り下げ部材３３ｎを繰り出すことにより保持部３３を下降させ、吊り下げ部材３３ｎを巻き取ることにより保持部３３を上昇させる。昇降駆動部３４は、不図示の制御装置等に制御され、所定の速度で保持部３３を下降又は上昇させる。また、昇降駆動部３４は、制御装置等により制御され、保持部３３を目標の高さに保持する。
横出し機構３５は、例えば上下方向に重ねて配置された複数の可動板３５ｓを有する。可動板３５ｓは、走行部３１の走行方向の側方（走行方向に直交する方向）に移動可能である。複数の可動板３５ｓのうち最も下側に設けられた可動板３５ｓには、昇降駆動部３４が取り付けられている。本体部３２は、横出し機構３５（可動板３５ｓ）を案内する不図示のガイド、及び横出し機構３５を駆動する不図示の駆動部等を有する。
横出し機構３５は、電動モータ等の駆動部からの駆動力によって、昇降駆動部３４及び保持部３３をガイドに沿って、突出位置と格納位置との間で移動させる。具体的には、可動板３５ｓを側方に移動させることで、その可動板３５ｓに取り付けられた昇降駆動部３４を突出位置へ移動させ、可動板３５ｓを本体部３２内へ格納することで、その可動板３５ｓに取り付けられた昇降駆動部３４を格納位置へ移動させる。突出位置は、本体部３２から保持部３３を側方に突出する位置である。格納位置は、本体部３２内に保持部３３を格納する位置である。なお、横出し機構３５と昇降駆動部３４との間には、昇降駆動部３４（保持部３３）を上下方向の軸周りに回転させるための回転機構が設けられてもよいし、昇降駆動部３４と保持部３３の間には、保持部３３を上下方向の軸周りに回転させるための回転機構が設けられてもよい。
附属部３６は、平面視において、横出し機構３５の－Ｘ側又は＋Ｘ側に設けられる。附属部３６は、例えば、横出し機構３５の一部である。附属部３６は、例えば、ケーブル、パイプ等を収容し、伸縮可能又は展開可能な収容部である。この収容部は、例えば、筒状体を互いに揺動可能に連結した構成を有しており、この筒状体の内側にケーブル等が配置される。このような収容部は、一方の端部が横出し機構３５の基部側（固定側）に取り付けられ、中間部分が折り曲げられた状態で、他方の端部が可動板３５ｓに取り付けられる。可動板３５ｓが移動すると、収容部の折り曲げ部分が移動することで、可動板３５ｓに取り付けられた側が可動板３５ｓと共に横方向へ移動させられる。
本実施形態において、横出し機構３５の可動板３５ｓは、横出し機構３５の駆動により横方向へ移動させられる第２部分３９に含まれる。また、附属部３６も上記のように可動板３５ｓと共に横方向に移動させられるので、第２部分３９に含まれる。
図３は、第１軌道１０及び第２軌道２０と移載場所であるロードポートＬＰ又は保管部４０との位置関係の一例を示す平面図である。図４は、物品Ｗの移載場所であるロードポートＬＰ又は保管部４０に対して物品Ｗを移載する一例を示す図である。図４では、天井搬送車３０の走行方向（Ｘ方向）から視た一例を示している。図３に示すように、本実施形態において、処理装置ＴＬのロードポートＬＰ及び保管部４０の棚部４１は、それぞれ直線方向（Ｘ方向）に並んでいる。複数のロードポートＬＰ及び棚部４１が並ぶ直線方向は、第１軌道１０及び第２軌道２０の延在方向Ｄである。
第１軌道１０及び第２軌道２０のそれぞれは、平面視でインターベイルート（ベイ間軌道）Ｒ１とインターベイルートＲ２との間に配置されている。第１軌道１０及び第２軌道２０は、いずれもベイ内（イントラベイ内）にそれぞれ設けられたイントラベイルートである。インターベイルートＲ１等は、それぞれ異なるベイに対応して設けられた複数の第１軌道１０及び第２軌道２０を相互に接続するために設けられている。本実施形態において、ベイ（イントラベイ）とは、例えば、平面視において、複数の処理装置ＴＬにおけるロードポートＬＰが互いに対向するように設けられ、その間に作業者用通路ＰＳが設けられている範囲（領域）を指す。第１軌道１０及び第２軌道２０のそれぞれは、インターベイルートＲ１に対して進入用又は退出用の２本の支線Ｑ１を介して接続され、インターベイルートＲ２に対して進入用又は退出用の２本の支線Ｑ２を介して接続されている。
なお、図示していないが、第１軌道１０と第２軌道２０との間で天井搬送車３０が相互に乗り入れるための軌道切替部がインターベイルートＲ１、Ｒ２のいずれか一方又は双方に設けられてもよい。また、第１軌道１０及び第２軌道２０の一部に、第１軌道１０と第２軌道２０との間で天井搬送車３０が相互に乗り入れるための軌道切替部が設けられてもよい。すなわち、第１軌道１０を走行する天井搬送車３０が第２軌道２０に乗り入れ可能に、且つ第２軌道２０を走行する天井搬送車３０が第１軌道１０に乗り入れ可能に構成されていてもよい。
第１軌道１０及び第２軌道２０のそれぞれは、直線部１１、２１と、接続部１２、２２とを有する。直線部１１、２１は、ロードポートＬＰの上方かつ側方において、複数のロードポートＬＰに沿ってＸ方向に配置される。言い換えれば、物品Ｗの移載場所である複数のロードポートＬＰは、第１軌道１０及び第２軌道２０の延在方向Ｄ（Ｘ方向）に沿って並んで配置されている。なお、図３では、説明を容易にするため、第１軌道１０、第２軌道２０、及び上下のインターベイルートＲ１、Ｒ２、支線Ｑ１、Ｑ２をずらして示しているが、いずれも平面視で上下に重なって配置されている。ただし、上下に重なった第１軌道１０及び第２軌道２０が平面視でずらされて配置されてもよいことは上記のとおりである。
接続部１２、２２は、曲線部を含んで＋Ｘ側及び－Ｘ側の両端に配置され、直線部１１、２１同士を接続する。第１軌道１０及び第２軌道２０は、直線部１１、２１及び接続部１２、２２により周回軌道となっている。天井搬送車３０は、直線部１１、２１及び接続部１２、２２に沿って一方向（例えば平面視で時計回りの方向）に第１軌道１０又は第２軌道２０を周回走行することが可能である。
天井搬送車３０は、インターベイルートＲ１、Ｒ２から支線Ｑ１、Ｑ２を介して第１軌道１０又は第２軌道２０に進入し、第１軌道１０又は第２軌道２０から支線Ｑ１、Ｑ２を介してインターベイルートＲ１、Ｒ２に退出する。天井搬送車３０は、第１軌道１０及び第２軌道２０に沿って移動し、例えば、処理装置ＴＬのロードポートＬＰと保管部４０との間で物品Ｗを搬送する。
図３に示すように、複数のロードポートＬＰは、平面視において、第１軌道１０及び第２軌道２０の外側に配置される。また、複数の棚部４１は、平面視において、第１軌道１０及び第２軌道２０の内側に配置される。図３の例では、１台の処理装置ＴＬにおいて３か所のロードポートＬＰが配置されているが、１台の処理装置ＴＬにおけるロードポートＬＰの数は処理装置ＴＬごとに設定され、例えば、１台の処理装置ＴＬにおいて２カ所又は１カ所のロードポートＬＰが配置される形態であってもよいし、１台の処理装置ＴＬにおいて４カ所以上のロードポートＬＰが配置される形態であってもよい。
ロードポートＬＰ及び棚部４１は、第１軌道１０及び第２軌道２０の直下からずれて配置されている。天井搬送車３０は、第１軌道１０又は第２軌道２０において、ロードポートＬＰ又は棚部４１に対応する位置に停止した後、図４に示すように、横出し機構３５により昇降駆動部３４を軌道の側方に横出しした状態で保持部３３を昇降させることで、ロードポートＬＰ又は棚部４１との間で物品Ｗの受け渡しを行うことができる。
本実施形態では、図１に示すように、１台の処理装置ＴＬに設けられる３か所のロードポートＬＰのうち、延在方向Ｄ（Ｘ方向）に隣り合うロードポートＬＰ同士を、それぞれ第１移載場所Ｓ１及び第２移載場所Ｓ２、第２移載場所Ｓ２及び第１移載場所Ｓ３とする。以下の例では、１台の処理装置ＴＬに設けられる３か所のロードポートＬＰのうち、Ｘ方向の両端に配置されるロードポートＬＰがそれぞれ第１移載場所Ｓ１、Ｓ３であり、Ｘ方向における中央に配置されるロードポートＬＰが第２移載場所Ｓ２である場合について説明する。つまり、３カ所のロードポートＬＰにおいて、－Ｘ側から順に第１移載場所Ｓ１、第２移載場所Ｓ２、第１移載場所Ｓ３と並んで配置された例について説明する。３か所のロードポートＬＰは、所定のポートピッチＰで延在方向Ｄ（Ｘ方向）に沿って並んで配置されている。ポートピッチＰは、第１移載場所Ｓ１と第２移載場所Ｓ２との配置間隔、第２移載場所Ｓ２と第１移載場所Ｓ３との配置間隔である。ポートピッチＰは、天井搬送車３０における走行方向（延在方向Ｄ）の全長ＶＬ（図１参照）より小さい。なお、第１移載場所Ｓ１と第２移載場所Ｓ２とのポートピッチＰと、第２移載場所Ｓ２と第１移載場所Ｓ３とのポートピッチＰとは同一であってもよいし、互いに異なっていてもよい。
また、本実施形態では、図１に示すように、第１移載場所Ｓ１、Ｓ３に対して物品Ｗを移載する場合は、第１軌道１０の第１位置Ｐ１に停止した天井搬送車３０を用いることとし、第２移載場所Ｓ２に対して物品Ｗを移載する場合は、第２軌道２０の第２位置Ｐ２に停止した天井搬送車３０を用いることとしている。すなわち、第１位置Ｐ１は、第１軌道１０において第１移載場所Ｓ１、Ｓ３に対して物品Ｗを移載するために天井搬送車３０が停止する位置である。第２位置Ｐ２は、第２軌道２０において第２移載場所Ｓ２に対して物品Ｗを移載するために天井搬送車３０が停止する位置である。
図５は、第１実施形態に係る搬送車システムＳＹＳ１において、第１位置Ｐ１及び第２位置Ｐ２に停止した天井搬送車３０の一例を示す図である。図５では、第１移載場所Ｓ１及び第２移載場所Ｓ２に対して物品Ｗを移載する場合について示している。以下、第１移載場所Ｓ１に対応する第１位置Ｐ１に停止する天井搬送車３０を天井搬送車３０Ａと表記し、第２位置Ｐ２に停止する天井搬送車３０を天井搬送車３０Ｂと表記して区別して説明する場合がある。なお、天井搬送車３０同士を区別する場合、天井搬送車３０における各構成についても各符号にＡ又はＢを付して区別する。
図５に示すように、天井搬送車３０Ａが第１位置Ｐ１に停止し、天井搬送車３０Ｂが第２位置Ｐ２に停止する場合、天井搬送車３０Ａの本体部３２Ａの一部（＋Ｘ側の部分）と、天井搬送車３０Ｂの本体部３２Ｂの一部（－Ｘ側の部分）とが、平面視において重なった状態となる。すなわち、第１移載場所Ｓ１と第２移載場所Ｓ２とのポートピッチＰが、延在方向Ｄにおける天井搬送車３０Ａ、３０Ｂの全長ＶＬより小さいので、第１位置Ｐ１の天井搬送車３０Ａの一部と、第２位置Ｐ２の天井搬送車３０Ｂの一部とが重なった状態となる。ただし、第１軌道１０と第２軌道２０とは、上下方向において異なる高さに配置されているため、天井搬送車３０Ａと天井搬送車３０Ｂとは、互いに干渉することなく第１位置Ｐ１及び第２位置Ｐ２に停止することができる。
第１位置Ｐ１に停止した天井搬送車３０Ａは、横出し機構３５Ａを駆動して可動板３５ｓ（図２参照）を－Ｙ方向に移動させることにより、昇降駆動部３４（図５では図示を省略）を含めて保持部３３Ａ（物品Ｗ）を第１移載場所Ｓ１の直上に配置させることができる。なお、図５では、横出し機構３５Ａ及び物品Ｗを破線で示し、保持部３３Ａを実線で示している。また、第２位置Ｐ２に停止した天井搬送車３０Ｂは、横出し機構３５Ｂを駆動して可動板３５ｓ（図２参照）を－Ｙ方向に移動させることにより、昇降駆動部３４（図５では図示を省略）を含めて保持部３３Ｂ（物品Ｗ）を第２移載場所Ｓ２の直上に配置させることができる。なお、図５では、横出し機構３５Ｂを実線で示し、保持部３３Ｂ及び物品Ｗを破線で示している。
本実施形態において、第１部分３８Ａは、天井搬送車３０Ａにおける昇降駆動部３４Ａにより昇降させられる部分であり、保持部３３Ａ及び保持部３３Ａに保持された物品Ｗである。また、第２部分３９Ｂは、天井搬送車３０Ｂにおける横出し機構３５Ｂの駆動により横方向へ移動させられる部分であり、横出し機構３５Ｂの可動板３５ｓ（図２参照）及び附属部３６Ｂである。なお、第２部分３９Ｂは、保持部３３Ｂ、昇降駆動部３４Ｂ、及び保持部３３Ｂに保持された物品Ｗを含む。
図５に示すように、第１軌道１０において、第１移載場所Ｓ１に物品Ｗを移載するための第１位置Ｐ１に停止した天井搬送車３０Ａにおける昇降駆動部３４Ａにより昇降させられる第１部分３８Ａと、第２軌道２０において第２移載場所Ｓ２に物品Ｗを移載するための第２位置Ｐ２に停止した天井搬送車３０Ｂにおける横出し機構３５Ｂの駆動により横方向へ移動させられる第２部分３９Ｂとが、平面視においてずれている。つまり、図５において実線で示すように、第１位置Ｐ１に停止する天井搬送車３０Ａの第１部分３８Ａと、第２位置Ｐ２に停止する天井搬送車３０Ｂの第２部分３９Ｂとが、平面視において重ならないように延在方向Ｄ（走行方向、Ｘ方向）にずれている。換言すれば、延在方向Ｄにおいて、第１位置Ｐ１に停止する天井搬送車３０Ａの第１部分３８Ａにおける一方（＋Ｘ方向側）の端部が、第２位置Ｐ２に停止する天井搬送車３０Ｂの第２部分３９Ｂにおける他方（－Ｘ方向側）の端部よりも他方の側となるように設定されている。
このため、天井搬送車３０Ａの昇降駆動部３４Ａから第１部分３８Ａを下降させても、この第１部分３８Ａが天井搬送車３０Ｂの第２部分３９Ｂと干渉しないので、第１軌道１０の天井搬送車３０Ａによる第１移載場所Ｓ１に対する物品Ｗの移載と、第２軌道２０の天井搬送車３０Ｂによる第２移載場所Ｓ２に対する物品Ｗの移載とを同時又は同時期に行うことができる。
また、図５に示すように、第１部分３８Ａの延在方向Ｄの寸法Ｌ１が、第２部分３９Ａの延在方向Ｄの寸法Ｌ２よりも小さく、平面視において、天井搬送車３０Ａにおける第１部分３８Ａが、第２部分３９Ａの外縁の内側に収まっている。同様に、天井搬送車３０Ｂにおける第１部分３８Ｂが、第２部分３９Ｂの外縁の内側に収まっている。この構成により、天井搬送車３０Ａ、３０Ｂの第２部分３９Ａ、３９Ｂ同士が平面視で隣接するような又は一部重なるような短いポートピッチＰの第１移載場所Ｓ１及び第２移載場所Ｓ２の双方に対して、天井搬送車３０Ａの第１部分３８Ａと天井搬送車３０Ｂの第２部分３９Ｂとが干渉することなく、同時又は同時期に物品Ｗを移載することができる。
また、本実施形態のように、物品Ｗの延在方向Ｄの寸法ＷＬが、保持部３３Ａの延在方向Ｄの寸法Ｌ１よりも小さく、平面視で物品が保持部３３の外縁の内側に収まる場合、保持部３３Ａの寸法Ｌ１が第１部分３８Ａの延在方向Ｄの寸法となり、保持部３３Ａが物品Ｗを保持しているか否かにかかわらず、第１部分３８Ａと第２部分３９Ｂとの干渉を防止できる。
なお、附属部３６は、横出し機構３５の駆動により横方向へ移動させられた際に、平面視において、可動板３５ｓ等の外縁から延在方向Ｄの外側にはみ出しているときに第２部分３９に含められる。従って、例えば、附属部３６が横出し機構３５により横方向へ移動させられても、平面視において横出し機構３５の一部（例えば可動板３５ｓ）と重なる場合は、附属部３６を含めずに第２部分３９としてもよい。
また、図５に示すように、平面視において、第１位置Ｐ１に停止した天井搬送車３０Ａにおける第２部分３９Ａの範囲と、第２位置Ｐ２に停止した天井搬送車３０Ｂにおける第２部分３９Ｂの範囲とが一部重なっている。この構成により、第１移載場所Ｓ１と第２移載場所Ｓ２とのポートピッチＰが第２部分３９の寸法Ｌ２より小さい場合であっても、第１部分３８Ａと第２部分３９Ｂとが干渉することなく、第１軌道１０の天井搬送車３０Ａによる第１移載場所Ｓ１に対する物品Ｗの移載と、第２軌道２０の天井搬送車３０Ｂによる第２移載場所Ｓ２に対する物品Ｗの移載とを同時又は同時期に行うことができる。
次に、上記した搬送車システムＳＹＳ１の動作を説明する。まず、保管部４０の物品ＷをロードポートＬＰに渡す動作について説明する。搬送車システムＳＹＳ１の動作は、不図示の制御装置によって制御される。不図示の制御装置は、保管部４０から物品Ｗを受け取るように、第１軌道１０又は第２軌道２０を走行する天井搬送車３０を制御する。この制御により、天井搬送車３０は、第１軌道１０又は第２軌道２０に沿って走行し、保管部４０の棚部４１の上方且つ側方まで移動して停止し、横出し機構３５を駆動して昇降駆動部３４を横出しさせ、昇降駆動部３４により保持部３３を下降させて保持部３３により物品Ｗを受け取る。その後、天井搬送車３０は、昇降駆動部３４により保持部３３を上昇させ、横出し機構３５を駆動して昇降駆動部３４（保持部３３）を格納位置に戻すことにより、物品Ｗは、本体部３２内に収容される。
次に、不図示の制御装置は、ロードポートＬＰに物品Ｗを渡すように天井搬送車３０を制御する。この制御により、天井搬送車３０は、保持部３３により物品Ｗを保持したまま第１軌道１０又は第２軌道２０に沿って走行し、ロードポートＬＰの上方且つ側方に移動して停止し、横出し機構３５を駆動して昇降駆動部３４を横出しさせ、ロードポートＬＰの直上に保持部３３（物品Ｗ）を配置させる。続いて、昇降駆動部３４を駆動して保持部３３及び物品Ｗを下降させて物品ＷをロードポートＬＰに載置させた後に、保持部３３による物品Ｗの保持を解放することで、物品Ｗは、ロードポートＬＰに渡される。
このような動作において、第１軌道１０を走行する天井搬送車３０Ａと、第２軌道２０を走行する天井搬送車３０Ｂとが、隣り合うロードポートＬＰの第１移載場所Ｓ１及び第２移載場所Ｓ２に同時又はほぼ同時に物品Ｗを渡すように制御されることがある。この場合、第１軌道１０を走行する天井搬送車３０Ａは、第１移載場所Ｓ１に物品Ｗを移載可能な第１位置Ｐ１で停止する。また、第２軌道２０を走行する天井搬送車３０Ｂは、第２移載場所Ｓ２に物品Ｗを移載可能な第２位置Ｐ２で停止する。
続いて、天井搬送車３０Ａ、３０Ｂは、それぞれ横出し機構３５Ａ、３５Ｂを駆動して昇降駆動部３４Ａ、３４Ｂを横出しさせる。このとき、天井搬送車３０Ａにおける第２部分３９Ａの範囲と、天井搬送車３０Ｂにおける第２部分３９Ｂの範囲とが一部重なる点は上記のとおりである（図５参照）。この状態で、昇降駆動部３４Ａ、３４Ｂにより保持部３３（物品Ｗ）を下降させる。このとき、天井搬送車３０Ａにおける第１部分３８Ａと、天井搬送車３０Ｂの第２部分３９Ｂとが、平面視においてずれているので、第１部分３８Ａと第２部分３９Ｂとが干渉せず、天井搬送車３０Ａ、３０Ｂの双方から同時又は同時期に、隣り合う第１移載場所Ｓ１及び第２移載場所Ｓ２にそれぞれ物品Ｗを載置することができる。
なお、上記では第１移載場所Ｓ１及び第２移載場所Ｓ２の双方に物品Ｗを載置する場合について説明しているが、第１移載場所Ｓ１及び第２移載場所Ｓ２の双方からそれぞれ物品Ｗを受け取る場合についても、同様に第１部分３８Ａと第２部分３９Ｂとが干渉せず、天井搬送車３０Ａ、３０Ｂの双方が同時又は同時期に、隣り合う第１移載場所Ｓ１及び第２移載場所Ｓ２から物品Ｗを受け取ることができる。
また、第１移載場所Ｓ１及び第２移載場所Ｓ２の一方に物品Ｗを載置させ、他方から物品Ｗを受け取る場合についても、同様に第１部分３８Ａと第２部分３９Ｂとが干渉せず、同時又は同時期に、例えば天井搬送車３０Ａが第１移載場所Ｓ１に物品Ｗを載置させると同時又は同時期に、天井搬送車３０Ｂが第２移載場所Ｓ２から物品Ｗを受け取ることができる。
また、上記した同時は、天井搬送車３０Ａ、３０Ｂが停止して、物品Ｗの移載動作の開始タイミング及び終了タイミングの一方又は双方が一致していることを含む。また、上記した同時期は、天井搬送車３０Ａによる物品Ｗの移載動作に要する時間と、天井搬送車３０Ｂによる物品Ｗの移載動作に要する時間との少なくとも一部が重複することを含む。例えば、図１に示すように、第１移載場所Ｓ１と第２移載場所Ｓ２とが同一の高さである場合、天井搬送車３０Ａの方が天井搬送車３０Ｂよりも高い位置に停止しているため、天井搬送車３０Ａによる物品Ｗの移載動作に要する時間の方が、天井搬送車３０Ｂによる物品Ｗの移載動作に要する時間より長くなる。上記した同時期は、天井搬送車３０Ａによる物品Ｗの移載動作に要する時間内に、天井搬送車３０Ｂによる物品Ｗの移載動作が終了する場合も含む。
以上のように、搬送車システムＳＹＳ１によれば、ポートピッチＰが天井搬送車３０の延在方向Ｄにおける全長ＶＬより小さい第１移載場所Ｓ１及び第２移載場所Ｓ２に対して、第１軌道１０の天井搬送車３０Ａと第２軌道２０の天井搬送車３０Ｂとが同時又は同時期に物品Ｗを移載する場合であっても、平面視において第１部分３８Ａと第２部分３９Ｂとがずれているため、天井搬送車３０同士の干渉、すなわち第１部分３８Ａと第２部分３９Ｂとの干渉を防止することができる。その結果、隣り合う第１移載場所Ｓ１及び第２移載場所Ｓ２に対して同時又は同時期に物品Ｗを移載することができ、物品Ｗの搬送効率を向上させることができる。
なお、図５では、第１移載場所Ｓ１及び第２移載場所Ｓ２に対して物品Ｗを移載する場合について説明しているが、第２移載場所Ｓ２及び第１移載場所Ｓ３に対して物品Ｗを移載する場合についても上記と同様に説明することができる。すなわち、第１移載場所Ｓ３に対応する第１位置Ｐ１に停止した天井搬送車３０Ａと、第２位置Ｐ２に停止した天井搬送車３０Ｂとが、隣り合う第２移載場所Ｓ２及び第１移載場所Ｓ３に対して同時又は同時期に物品Ｗを移載することができる。
また、図１に示すように、第１移載場所Ｓ１、Ｓ３及び第２移載場所Ｓ２の３カ所の移載場所に対して、３台の天井搬送車３０が同時又は同時期に物品Ｗを移載することができる。なお、図１に示す例では、第１軌道１０（上側の軌道）に停止した２台の天井搬送車３０Ａが２カ所の第１移載場所Ｓ１、Ｓ３に対してそれぞれ物品Ｗの移載を行い、第２軌道２０（下側の軌道）に停止した１台の天井搬送車３０Ｂが１カ所の第２移載場所Ｓ２に対して物品Ｗの移載を行っているが、この形態に限定されない。例えば、図１とは逆に、３カ所のロードポートＬＰのうち両側の２カ所が第２移載場所Ｓ２であり、中央の１カ所が第１移載場所Ｓ１である場合は、第２軌道２０に停止した２台の天井搬送車３０Ｂが２カ所の第２移載場所Ｓ２に対してそれぞれ物品Ｗの移載を行い、第１軌道１０に停止した１台の天井搬送車３０Ａが１カ所の第１移載場所Ｓ１に対して物品Ｗの移載を行うような形態であってもよい。
［第２実施形態］
図６は、第２実施形態に係る搬送車システムＳＹＳ２の一例をＹ方向に視た図である。図６に示す搬送車システムＳＹＳ２は、例えば、半導体デバイスの製造に用いられる半導体ウエハを収容したＦＯＵＰ等の物品Ｆを搬送する。物品Ｆは、第１実施形態の物品Ｗ（レチクルポッド）よりも大きく、平面視において保持部３３よりも大きい。
また、物品Ｆを移載する第１移載場所Ｓ１及び第２移載場所Ｓ２は、延在方向Ｄの寸法が物品Ｆに対応して大きくなっており、第１実施形態の第１移載場所Ｓ１及び第２移載場所Ｓ２に比べて大きい。なお、他の構成については、第１実施形態と同様である。また、第１移載場所Ｓ１と第２移載場所Ｓ２との間隔であるポートピッチＰは、第１実施形態と同様に示しているが、物品Ｆの大きさによって、又は処理装置ＴＬの設定によって変えられてもよい。また、第１位置Ｐ１及び第２位置Ｐ２は第１移載場所Ｓ１及び第２移載場所Ｓ２に応じて設定されるため、ポートピッチＰが変わると（すなわち、第１移載場所Ｓ１及び第２移載場所Ｓ２の位置が変わると）、その第１移載場所Ｓ１及び第２移載場所Ｓ２に応じて変えられる。
図７は、第２実施形態に係る搬送車システムＳＹＳ２において、第１位置Ｐ１及び第２位置Ｐ２に停止した天井搬送車３０の一例を示す図である。本実施形態では、平面視において、物品Ｆの延在方向Ｄの寸法ＦＬが保持部３３の延在方向Ｄの寸法よりも大きいので、平面視の延在方向Ｄにおいて保持部３３に保持される物品Ｆの外縁は、保持部３３の外縁の外側に張り出すことになる。従って、本実施形態において、第１部分３８の延在方向Ｄの寸法Ｌ１１は、物品Ｆの延在方向Ｄの寸法ＦＬと同一となる。
図７に示すように、第１軌道１０において、第１移載場所Ｓ１に物品Ｆを移載するための第１位置Ｐ１に停止した天井搬送車３０Ａにおける昇降駆動部３４Ａにより昇降させられる第１部分３８Ａと、第２軌道２０において第２移載場所Ｓ２に物品Ｆを移載するための第２位置Ｐ２に停止した天井搬送車３０Ｂにおける横出し機構３５Ｂの駆動により横方向へ移動させられる第２部分３９Ｂとが、平面視においてずれている。
本実施形態において、第１部分３８Ａは、第１実施形態と同様に、保持部３３Ａ及び保持部３３Ａに保持された物品Ｆである。また、第２部分３９Ｂは、第１実施形態と同様に、横出し機構３５Ｂの可動板３５ｓ（図２参照）及び附属部３６Ｂである。図７では、天井搬送車３０Ａにおける横出し機構３５Ａを破線で示し、保持部３３Ａ及び物品Ｆを実線で示しており、天井搬送車３０Ｂにおける横出し機構３５Ｂを実線で示し、保持部３３Ｂ及び物品Ｆを破線で示している。
第１実施形態と同様に、第１位置Ｐ１に停止する天井搬送車３０Ａの第１部分３８Ａと、第２位置Ｐ２に停止する天井搬送車３０Ｂの第２部分３９Ｂとが、平面視において重ならないように延在方向Ｄ（Ｘ方向）にずれている。このため、天井搬送車３０Ａの昇降駆動部３４Ａにより第１部分３８Ａを下降させる場合に、天井搬送車３０Ｂの第２部分３９Ｂと干渉することがなく、第１軌道１０の天井搬送車３０Ａと第２軌道２０の天井搬送車３０Ｂとが同時又は同時期に物品Ｆを移載することができる。
なお、第１部分３８Ａの延在方向Ｄの寸法Ｌ１１は、第２部分３９Ａの延在方向Ｄの寸法Ｌ２よりも小さく、平面視において、第１部分３８Ａが、第２部分３９Ａの外縁の内側に収まっている点は、第１実施形態と同様である。
このように、搬送車システムＳＹＳ２では、物品Ｆの延在方向Ｄの寸法ＦＬが、保持部３３の延在方向Ｄの寸法よりも大きい場合であっても、物品Ｆを含めて第１部分３８Ａとし、平面視において第１部分３８Ａと第２部分３９Ｂとがずれた状態となっている。その結果、天井搬送車３０同士の干渉、すなわち第１軌道１０の天井搬送車３０Ａの第１部分３８Ａと、第２軌道２０の天井搬送車３０Ｂの第２部分３９Ｂとの干渉を防止でき、隣り合う第１移載場所Ｓ１及び第２移載場所Ｓ２に対して、天井搬送車３０Ａ及び天井搬送車３０Ｂの双方から同時又は同時期に物品Ｆを移載できるので、物品Ｆの搬送効率を向上させることができる。
以上、実施形態について説明したが、本発明は、上述した説明に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。また、法令で許容される限りにおいて、日本特許出願である特願２０１９－０５５６０１、及び上述の実施形態等で引用した全ての文献の開示を援用して本文の記載の一部とする。例えば、上記した搬送車システムＳＹＳ１、ＳＹＳ２では、第１移載場所Ｓ１及び第２移載場所Ｓ２として、ロードポートＬＰを例に挙げて説明したが、この構成に限定されない。第１移載場所Ｓ１及び第２移載場所Ｓ２として、保管部４０の棚部４１についても同様の説明を適用可能である。
例えば、図３に示すように、保管部４０において延在方向Ｄに隣り合う棚部４１がそれぞれ第１移載場所と第２移載場所であり、その間隔であるポートピッチＰが天井搬送車３０の全長ＶＬより小さい場合についても、上記したロードポートＬＰにおける第１移載場所Ｓ１及び第２移載場所Ｓ２と同様の説明を適用可能である。すなわち、第１軌道１０の天井搬送車３０Ａ、及び第２軌道２０の天井搬送車３０Ｂの双方から同時又は同時期に、隣り合う棚部４１のそれぞれに対して物品Ｆを移載することができる。
Ｄ・・・延在方向
Ｆ、Ｗ・・・物品
Ｐ・・・ポートピッチ
Ｐ１・・・第１位置
Ｐ２・・・第２位置
Ｓ１、Ｓ３・・・第１移載場所
Ｓ２・・・第２移載場所
ＳＹＳ１、ＳＹＳ２・・・搬送車システム
１０・・・第１軌道
２０・・・第２軌道
３０、３０Ａ、３０Ｂ・・・天井搬送車
３１・・・走行部
３２・・・本体部
３３・・・保持部
３４・・・昇降駆動部
３５・・・横出し機構
３６・・・附属部
３８、３８Ａ、３８Ｂ・・・第１部分
３９、３９Ａ、３９Ｂ・・・第２部分

Claims (4)

  1. 第１軌道と、
    前記第１軌道の下方に設けられ且つその第１軌道と共通の延在方向に延在する第２軌道と、
    前記第１軌道及び前記第２軌道を走行し、前記延在方向において隣り合う第１移載場所及び第２移載場所に物品を移載する天井搬送車と、を備える搬送車システムであって、
    前記天井搬送車は、本体部と、物品を保持する保持部と、前記保持部を昇降させる昇降駆動部と、前記本体部から前記昇降駆動部を横方向へ移動させる横出し機構と、を備え、
    前記第１移載場所と前記第２移載場所との配置間隔であるポートピッチが、前記天井搬送車の前記延在方向における全長より小さく、
    前記第１軌道において前記第１移載場所に物品を移載するための第１位置に停止した前記天井搬送車における前記昇降駆動部により昇降させられる第１部分と、前記第２軌道において前記第２移載場所に物品を移載するための第２位置に停止した前記天井搬送車における前記横出し機構の駆動により横方向へ移動させられる第２部分とが、前記延在方向においてずれている、搬送車システム。
  2. 前記第１部分は、前記保持部に保持された物品を含む、請求項１に記載の搬送車システム。
  3. 平面視において、前記第１部分は、前記第２部分の外縁の内側に収まる、請求項１又は請求項２に記載の搬送車システム。
  4. 前記天井搬送車は、前記横出し機構が前記昇降駆動部を横方向へ移動させる際、共に横方向へ移動させられる附属部を備え、
    前記附属部は、前記第２部分に含まれる、請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の搬送車システム。
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20230058777A (ko) * 2021-10-25 2023-05-03 삼성전자주식회사 기판 이송 시스템
JP2024011483A (ja) * 2022-07-14 2024-01-25 株式会社ダイフク 搬送システム

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012025573A (ja) 2010-07-27 2012-02-09 Muratec Automation Co Ltd 搬送システム
WO2018088089A1 (ja) 2016-11-08 2018-05-17 村田機械株式会社 天井搬送車、及び天井搬送車の制御方法
WO2019035286A1 (ja) 2017-08-16 2019-02-21 村田機械株式会社 天井搬送車、搬送システム、及び天井搬送車の制御方法

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100882376B1 (ko) * 2002-06-19 2009-02-05 브룩스 오토메이션, 인크. 수직형 회전저장선반 및 오버헤드 호이스트의 조합에 기초한 반도체 제조용 자동식 재료 처리 시스템
EP2615625B2 (en) * 2002-10-11 2017-05-31 Murata Machinery, Ltd. Overhead vehicle for an automated material handling system
JP4221603B2 (ja) * 2005-03-31 2009-02-12 村田機械株式会社 天井走行車システム
JP2007191235A (ja) * 2006-01-17 2007-08-02 Murata Mach Ltd 天井走行車システム
JP4805286B2 (ja) * 2008-02-06 2011-11-02 シャープ株式会社 搬送装置
JP5382470B2 (ja) * 2010-11-04 2014-01-08 村田機械株式会社 搬送システム及び搬送方法
SG11201407386YA (en) * 2012-06-08 2015-03-30 Murata Machinery Ltd Conveyance system and temporary storage method of articles in conveyance system
US10256129B2 (en) * 2014-06-19 2019-04-09 Murata Machinery, Ltd. Carrier buffering device and buffering method
CN107922113B (zh) * 2015-08-14 2019-08-27 村田机械株式会社 输送车系统
EP3336018B1 (en) * 2015-08-14 2021-12-15 Murata Machinery, Ltd. Conveyance system
CN109155269B (zh) * 2016-05-20 2023-04-21 村田机械株式会社 搬送车及搬送方法
JP6766584B2 (ja) * 2016-10-19 2020-10-14 株式会社ダイフク 物品搬送設備
KR102227453B1 (ko) * 2016-11-14 2021-03-12 무라다기카이가부시끼가이샤 천장 반송 시스템과 이에 이용하는 중계 반송 장치 및 반송 방법
JP6769336B2 (ja) * 2017-02-23 2020-10-14 株式会社ダイフク 物品搬送車
JP6652106B2 (ja) * 2017-05-10 2020-02-19 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP6693481B2 (ja) * 2017-06-26 2020-05-13 株式会社ダイフク 物品搬送設備、及び、物品搬送車
JP6654260B2 (ja) 2019-01-16 2020-02-26 笹徳印刷株式会社 書類綴具

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012025573A (ja) 2010-07-27 2012-02-09 Muratec Automation Co Ltd 搬送システム
WO2018088089A1 (ja) 2016-11-08 2018-05-17 村田機械株式会社 天井搬送車、及び天井搬送車の制御方法
WO2019035286A1 (ja) 2017-08-16 2019-02-21 村田機械株式会社 天井搬送車、搬送システム、及び天井搬送車の制御方法

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