JP6693481B2 - 物品搬送設備、及び、物品搬送車 - Google Patents

物品搬送設備、及び、物品搬送車 Download PDF

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Description

本発明は、軌道に沿って走行して物品を搬送する物品搬送車、及び、この物品搬送車を備えた物品搬送設備に関する。
軌道に沿って複数の物品搬送車を走行させて、複数の移載対象箇所の間で物品を搬送する物品搬送設備の一例が、特開2009−35403号公報(特許文献1)に開示されている。この物品搬送設備は、天井に設けられた軌道(100)に吊り下げられた物品搬送車(200)を利用して、物品(520)を自動的に運搬する(背景技術において括弧付きで示す符号は特許文献1のもの。)。物品(520)を吊り下げる支持部(230)は、特許文献1の図2に示すように軌道(100)の直下に位置した状態で物品(520)を吊り下げて昇降させて当該物品(520)を移載するだけでなく、特許文献1の図3に示すように軌道(100)の延在方向に直交する幅方向に移動した位置で物品(520)を吊り下げて昇降させて当該物品(520)を移載することもできる。
特開2009−35403号公報
ところで、物品搬送設備では、多くの場合、軌道が並行する部分を有するが、空間使用効率を高くするなどの目的で、並行する軌道を走行する物品搬送車が接触することなくすれ違うことが可能な程度まで、並行する軌道の間隔が狭く設定される場合がある。このように並行する軌道の間隔が狭い場合には、一方の軌道上に位置する1台の物品搬送車が上述した支持部(230)を幅方向に突出させている状態で、他方の軌道上を別の物品搬送車が走行すると、支持部(230)と当該別の物品搬送車とが接触する可能性がある。
上記背景に鑑みて、他の物品搬送車に接触することを抑制することができる物品搬送車、及び、それを備えた物品搬送設備の提供が望まれる。
上記に鑑みた、物品搬送設備の特徴構成は、軌道に沿って複数の物品搬送車を走行させて物品を搬送し、
上下方向視で前記軌道の延在方向に対して直交する方向を幅方向として、前記物品搬送車は、物品を支持する支持部と、前記支持部を前記幅方向に移動させる駆動部と、前方検出部と、制御部と、を備え、前記駆動部は、前記物品搬送車から前記幅方向に突出させた突出位置と、前記突出位置より前記物品搬送車側に引退させた引退位置と、に前記支持部を移動させ、前記物品搬送車の一つである自車が走行中の前記軌道を走行中軌道とし、前記走行中軌道に対して並行する前記軌道を対象軌道とし、前記走行中軌道に沿って前記自車が走行する軌跡を走行軌跡とし、前記対象軌道を走行する他の前記物品搬送車を対象車とし、当該対象車の前記支持部を対象支持部として、前記前方検出部は、第一検出エリアに位置する前記対象車を検出すると共に、第二検出エリアに位置する前記対象支持部を検出し、前記第一検出エリアは、前記自車に対して前方側で且つ前記走行軌跡に対して前記幅方向の外側に設定され、前記第二検出エリアは、前記自車に対して前方側で且つ前記走行軌跡内に設定され、前記制御部は、第一制御と第二制御と第三制御とを実行し、前記第一制御は、前記前方検出部が前記第一検出エリアにおいて前記対象車を検出せず且つ前記第二検出エリアにおいて前記対象支持部を検出しない場合に、前記自車を第一設定速度で走行させる制御であり、前記第二制御は、前記前方検出部が前記第一検出エリアに存在する前記対象車を検出した場合に、前記自車を前記第一設定速度より低速の第二設定速度で走行させる制御であり、前記第三制御は、前記前方検出部が前記第二検出エリアに存在する前記対象支持部を検出した場合に、前記自車を停止させる制御である点にある。
この構成によれば、対象軌道を走行する対象車の対象支持部が、自車の前方側の走行軌跡に進入した場合は、その進入した支持対象部が第二検出エリアに進入することで、支持対象部を前方検出部により検出できる。そして、前方検出部が、第二検出エリアに存在する対象支持部を検出した場合は、制御部が第三制御を実行することで自車が停止するため、自車が対象支持部に接触することを防止できる。
また、対象軌道を走行する対象車が、自車の前方側に存在する場合は、その対象車が第一検出エリアに進入することで、その対象車を前方検出部により検出できる。そして、前方検出部が、第一検出エリアに存在する対象車を検出した場合は、制御部は、自車を第一設定速度より低速の第二設定速度で走行させる第一制御を実行する。そのため、対象車が対象支持部を突出位置に向けて突出させて対象支持部が自車の前方側の走行軌跡に進入した場合において、第三制御を実行して自車を停止させる場合に制動距離を短くできるため、自車が対象支持部に接触することを防止し易い。
このように、本構成によれば、物品搬送車が他の物品搬送車に接触することを抑制できる物品搬送設備を提供できる。
また、上記に鑑みた物品搬送車の特徴構成は、軌道に沿って走行する走行部と、物品を支持する支持部と、物品を収容する収容部と、前記支持部を前記幅方向に移動させる駆動部と、前方検出部と、を備え、
自車が走行中の前記軌道を走行中軌道とし、前記走行中軌道に沿って前記自車が走行する軌跡を走行軌跡とし、上下方向視で前記軌道の延在方向に対して直交する方向を幅方向として、前記駆動部は、前記収容部から前記幅方向に突出させた突出位置と、前記突出位置より前記収容部側に引退させた引退位置と、に前記支持部を移動させ、前記前方検出部は、第一検出エリアの他の物品搬送車である第一対象車と第二検出エリアの前記第一対象車の前記支持部とを検出する第一センサと、第三検出エリアの他の物品搬送車である第二対象車を検出する第二センサと、を有し、前記第一検出エリアは、前記自車に対して前方側で且つ前記走行軌跡に対して前記幅方向の外側に設定され、前記第二検出エリアは、前記自車に対して前方側で且つ前記走行軌跡内に設定され、前記第三検出エリアは、前記第二検出エリアとは上下方向に異なるエリアであって前記自車に対して前方側で且つ前記走行軌跡内に設定されている点にある。
この構成によれば、対象軌道を走行する対象車の対象支持部が、自車の前方側の走行軌跡に進入した場合は、その進入した支持対象部が第二検出エリアに進入することで、支持対象部を第一センサにより検出できる。そのため、第一センサが、第二検出エリアに存在する対象支持部を検出した場合に、自車を停止させて自車が対象支持部に接触することを防止する等の対応が可能となる。
また、対象軌道を走行する第一対象車が、自車の前方側に存在する場合は、その対象車が第一検出エリアに進入することで、その対象車を第一センサにより検出できる。そのため、第一センサが、第一検出エリアに存在する対象車を検出した場合に、自車を予め減速させておき、対象支持部が走行軌跡に進入した場合に自車を迅速に停止させる等の対応が可能となる。
また、走行中軌道を走行する先行車が、自車の前方側に存在する場合は、その先行車が第三検出エリアに進入することで、その先行車を第二センサにより検出できる。そして、第二センサが、第三検出エリアに存在する第二対象車を検出した場合は、自車を停止させて自車が第二対象車に接触することを防止する等の対応が可能となる。
更に、前方検出部の機能を、第一センサと第二センサとに振り分けることができるため、第一検出エリア、第二検出エリア及び第三検出エリアの夫々の検出を一つのセンサにより行う場合に比べて、例えば、各センサの機能を簡素化したり、各センサの検出精度を高めたりすることができる。
このように、本構成によれば、比較的簡素な構成により、他の物品搬送車に接触することを抑制できる物品搬送車を提供できる。
物品搬送設備の平面図 物品搬送車の前面図 物品搬送車の後面図 物品搬送車の側面図 制御ブロック図 第一センサの検出エリアを示す平面図 第二センサの検出エリアを示す平面図 第二センサの検出エリアを示す平面図 第三検出エリア及び第四検出エリアに先行車が存在している状態を示す平面図 第一検出エリアに対象車が存在している状態を示す平面図 第二検出エリアに対象支持部が存在している状態を示す平面図 フローチャート 別実施形態の第一センサの検出エリアを示す平面図
1.実施形態
物品搬送設備の実施形態について図面に基づいて説明する。
図1に示すように、物品搬送設備は、軌道1に沿って複数の物品搬送車2を走行させて物品Wを搬送する。物品搬送設備には、処理装置に対応する位置に物品Wを支持する移載対象箇所Pが備えられており、物品搬送車2は、物品Wを移載対象箇所Pに搬送すると共に物品Wを移載対象箇所Pから搬送する。尚、本実施形態では、物品搬送車2は、レチクル(フォトマスク)を収容するレチクルポッドを物品Wとして搬送する。
物品搬送車2は、軌道1を予め設定された方向に走行する。尚、図1においては、物品搬送車2の走行方向を矢印で示している。また、物品搬送車2の走行方向を分かり易くするために物品搬送車2を三角形状のシンボルで示している。軌道1は、上下方向Z視で直線状に設置された直線形状の直線部4と、上下方向Z視で曲線状に設置された曲線形状の曲線部5と、を備えている。図2及び図3に示すように、軌道1は、左右一対のレール部3により構成されている。以下、軌道1に沿う方向を延在方向Xと称し、上下方向Z視で、延在方向Xに対して直交する方向を幅方向Yと称して説明する。
図1に示すように、軌道1は、複数の直線部4が幅方向Yに第一設定間隔以下で且つ第二設定間隔以上で並行する区間である並行区間Gを有している。並行区間Gでは、幅方向Yに並ぶ直線部4は、同じ高さに平行状で設置されている。第一設定間隔は、幅方向Yに隣接する一対の直線部4のうちの一方の直線部4(対象軌道1B)を走行する物品搬送車2(対象車2B)が支持部26(対象支持部26B)を突出位置に突出させた場合に、支持部26が他方の直線部4を走行する物品搬送車2(自車2A)の軌跡(走行軌跡T)に進入する間隔に設定されている。また、第二設定間隔は、直線部4を走行する物品搬送車2の軌跡が重ならない間隔に設定されている。
次に、物品搬送車2について説明する。尚、物品搬送車2を説明するにあたり、物品搬送車2が走行する方向を前方側、その反対側を後方側と称して説明する。ちなみに、例えば、物品搬送車2が軌道1の直線部4を走行している場合は、物品搬送車2の前後方向と軌道1の延在方向Xとは同じ方向となり、物品搬送車2の左右方向と軌道1の幅方向Yとは同じ方向となる。
図2から図4に示すように、物品搬送車2は、天井から吊り下げ支持された軌道1上をその軌道1に沿って走行する走行部6と、軌道1の下方に位置して走行部6に吊り下げ支持された本体部7と、を備えている。尚、図2は、延在方向Xに沿って前方から後方に向かって物品搬送車2を見た前面図であり、図3は、延在方向Xに沿って後方から前方に向かって物品搬送車2を見た後面図である。また、図4は、幅方向Yに沿って物品搬送車2を見た側面図である。
図4に示すように、走行部6は、電動式の走行用モータ9と、この走行用モータ9により回転駆動される左右一対の走行輪10と、が備えられている。この左右一対の走行輪10は、軌道1(左右一対のレール部3)の上面を転動する。また、図2及び図3に示すように、走行部6には、上下方向Zに沿う上下軸心周りで回転自在な左右一対の案内輪11が備えられている。この左右一対の案内輪11は、左右一対のレール部3の間に位置して左右一対のレール部3の互いに対向する側面を転動する。走行部6は、案内輪11が一対のレール部3により案内されることによって、幅方向Yでの位置が規制されながら、走行輪10が走行用モータ9により回転駆動されることで、軌道1に沿って走行する。
図2から図4に示すように、本体部7は、物品Wを支持する支持機構13と、支持機構13を支持すると共に支持機構13を昇降移動させる昇降操作機構14と、昇降操作機構14を走行部6の直下の引退位置(図2参照)及び当該引退位置から左右方向に移動させた突出位置(図3参照)に移動させるスライド操作機構15と、支持機構13を上昇高さに位置させ且つ昇降操作機構14を引退位置に位置させた状態で支持機構13に支持された物品Wの上方及び前後方向Xを覆うカバー体16と、を備えている。
図3に示すように、支持機構13は、ベルト21の先端部が連結された昇降体18と、物品Wを把持する姿勢と物品Wに対する把持を解除する姿勢とに姿勢変更自在な支持爪19と、支持爪19を姿勢変更させる支持用モータ20(図5参照)と、を備えている。
昇降操作機構14は、ベルト21を巻回した巻回体22と、巻回体22を回転駆動させる昇降用モータ23と、を備えている。昇降操作機構14は、昇降用モータ23の駆動により巻回体22を回転させることで、支持機構13を上昇高さとこの上昇高さより低い下降高さとに昇降させる。
スライド操作機構15は、昇降操作機構14を支持すると共に幅方向Yに移動自在なスライド体24と、スライド体24を走行部6に対して幅方向Yに移動させるスライド用モータ25(図5参照)と、を備えている。スライド操作機構15は、スライド用モータ25の駆動によりスライド体24を幅方向Yに移動させることで、物品搬送車2のカバー体16から幅方向Yに突出させた突出位置(図3参照)と、突出位置より物品搬送車2のカバー体16側に引退させた引退位置(図2参照)と、にスライド体24、昇降操作機構14及び支持機構13を移動させる。
なお、物品搬送車2が走行する場合は、支持機構13は上昇高さに位置し且つ引退位置に位置している。
物品搬送車2は、軌道1の真下に位置する移載対象箇所Pに搬送する場合は、当該移載対象箇所Pに対応する設定位置まで走行部6を走行させた状態で、昇降操作機構14により支持機構13を上昇高さから下降させて物品Wを移載対象箇所Pに降ろした後、支持機構13により物品Wに対する把持を解除する。
移載対象箇所Pは、軌道1の真下に設置される場合に加えて、図1に示すように、上下方向Zに見て軌道1に対して軌道1の幅方向Yにずれた位置に設定される場合がある。物品搬送車2は、このように軌道1の真下に対して幅方向Yにずれた位置の移載対象箇所Pに搬送する場合は、当該移載対象箇所Pに対応する設定位置まで走行部6を走行させた状態で、図3に示すように、スライド操作機構15により昇降操作機構14を突出位置まで突出させた後、昇降操作機構14により支持機構13を上昇高さから下降させて物品Wを移載対象箇所Pに降ろし、その後、支持機構13により物品Wに対する把持を解除する。
尚、スライド体24、昇降操作機構14及び支持機構13が、物品Wを支持する支持部26に相当し、カバー体16が、物品Wを収容する収容部に相当する。また、スライド用モータ25が、支持部26を幅方向Yに移動させる駆動部に相当する。
物品搬送車2は、前方検出部S、反射体M、及び制御部Hを備えている。次に、前方検出部S、反射体M、及び制御部Hについて説明する。尚、図10及び図11に示すように、物品搬送車2の一つである自車2Aが走行中の軌道1を走行中軌道1Aとし、走行中軌道1Aに対して幅方向Yに並んで配置された軌道1を対象軌道1Bとする。また、対象軌道1Bを走行する他の物品搬送車2を対象車2B(第一対象車)とし、当該対象車2Bの支持部26を対象支持部26Bとして説明し、走行中軌道1Aにおける自車2Aの前方側に存在する他の物品搬送車2を先行車2C(第二対象車)とする。また、走行中軌道1Aに沿って自車2Aが走行する軌跡を走行軌跡Tとする。
図2から図4に示すように、物品搬送車2は、反射体Mとして第一反射体M1と第二反射体M2とを備えている。
第一反射体M1は、物品搬送車2の前方を向く前面部及び後方を向く後面部、並びに、支持部26の前方を向く前面部及び後方を向く後面部に備えられている。説明を加えると、第一センサS1は、カバー体16の前面部に備えられており、第一反射体M1は、カバー体16の前面部及び後面部、並びに、スライド体24の前面部及び後面部に備えられている。
第二反射体M2は、物品搬送車2の後方を向く後面部に備えられている。説明を加えると、第二センサS2は、カバー体16の前面部における第一センサS1より上方に備えられている。第二反射体M2は、カバー体16の後面部における第一反射体M1より上方に備えられている。
このように、物品搬送車2は、当該物品搬送車2の前方を向く前面部及び後方を向く後面部と、支持部26の前方を向く前面部及び後方を向く後面部と、に第一反射体M1を備えている。
前方検出部Sは、第一検出エリアE1の対象車2Bと第二検出エリアE2の対象支持部26Bとを検出する第一センサS1と、第三検出エリアE3及び第四検出エリアE4の先行車2Cを検出する第二センサS2と、を備えている。前方検出部Sは、第一センサS1と第二センサS2とを備えることで、第一検出エリアE1に位置する対象車2Bを検出すると共に、第二検出エリアE2に位置する対象支持部26Bを検出し、更に、第三検出エリアE3及び第四検出エリアE4に位置する先行車2Cを検出する。
第一センサS1は、物品搬送車2の前方を向く前面部に設置されており、前方側に向けて検出光を投光し、第一反射体M1からの反射光を検出することで、第一反射体M1(第一反射体M1を備えた対象車2Bや対象支持部26B)を検出する。第一センサS1は、幅方向Yにおいて走行部6の中央(軌道1の中央に位置)に対して一方側に片寄った位置に設置されている。
第二センサS2は、物品搬送車2の前方を向く前面部に設置されており、前方側に向けて検出光を投光し、第二反射体M2からの反射光を検出することで、第二反射体M2(第二反射体M2を備えた先行車2C)を検出する。第二センサS2は、幅方向Yにおいて走行部6の中央(軌道1の中央に位置)と同じ位置となるように設置されている。
図4に示すように、第一センサS1は、検出光を前方側に向けて投光し、第二センサS2は、第一センサS1よりも高い位置で、検出光を前方側に向けて投光している。そのため、第一センサS1の検出エリアEは、第二センサS2の検出エリアEの上下幅から下方に外れた箇所に位置している。つまり、第二センサS2の検出エリアE(第三検出エリアE3及び第四検出エリアE4)は、第一センサS1の検出エリアE(第一検出エリアE1及び第二検出エリアE2)とは上下方向Zに異なるエリアである。
そして、自車2Aと対象車2Bとが同じ高さに位置している場合において、第一反射体M1は、第一センサS1が投光する検出光を反射可能な高さに設置され、且つ、第二センサS2が投光する検出光を反射可能な高さより低い位置に設置されており、第一反射体M1は、第一センサS1の検出光は反射するが、第二センサS2の検出光は反射しない。これに対して、自車2Aと対象車2Bとが同じ高さに位置している場合において、第二反射体M2は、第一センサS1が投光する検出光を反射可能な高さより高い位置に設置され、且つ、第二センサS2が投光する検出光を反射可能な高さに設置されており、第二反射体M2は、第一センサS1の検出光は反射しないが、第二センサS2の検出光は反射する。
そのため、自車2Aの第一センサS1は、対象車2Bの第一反射体M1を検出するが、対象車2Bの第二反射体M2を検出しないようになっている。また、自車2Aの第二センサS2は、対象車2Bの第二反射体M2を検出するが、対象車2Bの第一反射体M1を検出しないようになっている。
図6に示すように、第一センサS1の検出エリアEは、自車2Aに対して前方に形成されると共に、自車2Aに対して幅方向Yの両側に広がるように形成されている。第一センサS1の検出エリアEは、延在方向Xの長さが第一長さL1に設定されており、幅方向Yの長さが第二長さL2に設定されている。第一センサS1の検出エリアEは、第一検出エリアE1とこの第一検出エリアE1に対して幅方向Yの両側に設定された第二検出エリアE2とに区分けされている。
図6に示すように、第二検出エリアE2の幅方向Yの長さである第三長さL3は、物品搬送車2の幅方向Yの長さである第四長さL4より長い。つまり、第二検出エリアE2は、自車2Aに対して前方側で且つ走行軌跡T内に設定されていると共に、走行軌跡Tの幅方向Yの全幅に加えて走行軌跡Tの左右両側に走行軌跡Tに連続する状態で設定されている。また、第二検出エリアE2の延在方向Xの長さは第一長さL1に設定されている。
第一検出エリアE1は、第一センサS1の検出エリアEにおける第二検出エリアE2以外の部分であり、自車2Aに対して前方側で且つ走行軌跡Tに対して幅方向Yの外側に設定されている。この第一検出エリアE1は、走行軌跡Tから間隔を空けた状態で設定されている。第二長さL2及び第三長さL3は、並行区間Gにおいて、対象車2Bが走行する軌跡内まで第一検出エリアE1が設定されるが、第二検出エリアE2は対象車2Bが走行する軌跡内に設定されない長さとなっている。
図7に示すように、第二センサS2の検出エリアEは、自車2Aに対して前方に形成されると共に、自車2Aに対して幅方向Yの両側に広がるように形成されている。第二センサS2の検出エリアEは、延在方向Xの長さが第五長さL5に設定されており、幅方向Yの長さが第六長さL6に設定されている。第二センサS2の検出エリアEは、第三検出エリアE3とこの第三検出エリアE3に対して前方側に設定された第四検出エリアE4とに区分けされている。
第三検出エリアE3の延在方向Xの長さは、第七長さL7に設定されており、第四検出エリアE4の延在方向Xの長さは、第八長さL8に設定されている。第六長さL6は、第四長さL4より長く、第二長さL2より短い。また、第五長さL6は、並行区間Gにおいて、第三検出エリアE3や第四検出エリアE4が、対象車2Bが走行する軌跡内に設定されない長さとなっている。そして、第五長さL5及び第八長さL8は、第一長さL1より長く、第七長さL7は、第一長さL1より短い。
第二センサS2の検出エリアEは、自車2Aが直線部4を走行する場合は、上述のような長さの形状に形成されているが、自車2Aが曲線部5を走行する場合は、図8に示すように、直線部4で走行する場合の形状とは異なる形状となる。つまり、制御部Hは、物品搬送車2に備えられたロータリーエンコーダ等の走行距離センサの検出情報や、軌道1に沿って設置されているアドレス情報を示す表示体を検出するアドレス検出センサの検出情報に基づいて、自車2Aが軌道1の直線部4を走行しているか曲線部5を走行しているかを判別可能であるとともに、自車2Aの前方側の走行中軌道1Aの形状を判別可能に構成されている。そして、第二センサS2は、制御部Hの制御により、自車2Aの前方側の走行中軌道1Aの形状に合わせて、第三検出エリアE3の形状及び第四検出エリアE4の形状を変化させる。また、第一センサS1は、制御部Hの制御により、自車2Aが曲線部5に位置している場合は対象車2B及び対象支持部26Bの検出を無効にし、自車2Aが直線部4に位置している場合のみ対象車2B及び対象支持部26Bの検出を有効にする。
図9に示すように、第二センサS2は、第三検出エリアE3や第四検出エリアE4に進入した場合に、先行車2Cに備えられている第二反射体M2を検出する。尚、自車2Aと先行車2Cとは同じ方向を向いており、第二センサS2は、先行車2Cのカバー体16における後面部に備えられている第二反射体M2を検出する。
図10に示すように、第一センサS1は、第一検出エリアE1に対象車2Bが進入した場合に、対象車2Bのカバー体16に設置された第一反射体M1を検出する。尚、自車2Aと対象車2Bとが反対の方向に向いている場合は、第一センサS1は、対象車2Bのカバー体16における前面部に備えられている第一反射体M1を検出し、自車2Aと対象車2Bとが同じ方向を向いている場合は、第一センサS1は、対象車2Bのカバー体16における後面部に備えられている第一反射体M1を検出する。
また、図11に示すように、第一センサS1は、第二検出エリアE2に対象支持部26Bが進入した場合に、対象支持部26Bに備えられている第一反射体M1を検出する。尚、自車2Aと対象車2Bとが反対の方向に向いている場合は、第一センサS1は、対象支持部26Bの前面部に備えられている第一反射体M1を検出し、自車2Aと対象車2Bとが同じ方向を向いている場合は、第一センサS1は、対象支持部26Bの後面部に備えられている第一反射体M1を検出する。
図12のフローチャートに示すように、制御部Hは、第一センサS1により第一検出エリアE1において反射体Mが検出された場合、及び、第二センサS2により第四検出エリアE4において反射体Mが検出された場合は、自車2Aを第一設定速度より低速の第二設定速度で走行させる減速制御を実行する。また、制御部Hは、第一センサS1により第二検出エリアE2において反射体Mが検出された場合、及び、第二センサS2により第三検出エリアE3において反射体Mが検出された場合は、自車2Aを停止させる停止制御を実行する。そして、制御部Hは、第一センサS1により第一検出エリアE1及び第二検出エリアE2において反射体Mが検出されず、第二センサS2により第三検出エリアE3及び第四検出エリアE4において反射体Mが検出されない場合は、自車2Aを第一設定速度で走行させる通常制御を実行する。
具体例を挙げて説明すると、図9に示すように、自車2Aの第二センサS2の第四検出エリアE4に先行車2C(図9に示す2台の先行車2Cのうちの前方側の先行車2C)が侵入すると、先行車2Cの第二反射体M2が自車2Aの第二センサS2により検出される。自車2Aの制御部Hは、自車2Aの第二センサS2により第四検出エリアE4において反射体Mが検出された場合は、自車2Aを第二設定速度で走行させる減速制御を実行する。
また、図9に示すように、自車2Aの第二センサS2の第三検出エリアE3に先行車2C(図9に示す2台の先行車2Cのうちの後方側の先行車2C)が侵入すると、先行車2Cの第二反射体M2が自車2Aの第二センサS2により検出される。自車2Aの制御部Hは、自車2Aの第二センサS2により第三検出エリアE3において反射体Mが検出された場合は、自車2Aを停止させる停止制御を実行する。尚、このように、第二センサS2により第三検出エリアE3において反射体Mが検出された場合の停止制御は、前方検出部Sが第三検出エリアE3に存在する先行車2Cを検出した場合に自車2Aを停止させる第四制御に相当する。
また、図10に示すように、自車2Aの第一センサS1の第一検出エリアE1に対象車2Bが進入すると、対象車2Bの第一反射体M1が自車2Aの第一センサS1により検出される。自車2Aの制御部Hは、自車2Aの第一センサS1により第一検出エリアE1において反射体Mが検出された場合は、自車2Aを第二設定速度で走行させるように減速制御を実行する。尚、このように、第一センサS1により第一検出エリアE1において反射体Mが検出された場合の減速制御は、前方検出部Sが第一検出エリアE1に存在する対象車2Bを検出した場合に、自車2Aを第二設定速度で走行させる第二制御に相当する。
また、図11に示すように、自車2Aの第一センサS1の第二検出エリアE2に対象支持部26Bが進入すると、対象支持部26Bの第一反射体M1が自車2Aの第一センサS1により検出される。自車2Aの制御部Hは、自車2Aの第一センサS1により第二検出エリアE2において反射体Mが検出された場合は、自車2Aを停止させるように停止制御を実行する。尚、このように、第一センサS1により第二検出エリアE2において反射体Mが検出された場合の停止制御は、前方検出部Sが第二検出エリアE2に存在する対象支持部26Bを検出した場合に、自車2Aを停止させる第三制御に相当する。
そして、自車2Aの制御部Hは、自車2Aの第一センサS1の第一検出エリアE1及び第二検出エリアE2において反射体Mが検出されず、且つ、自車2Aの第二センサS2の第三検出エリアE3及び第四検出エリアE4において反射体Mが検出されない場合は、自車2Aを第一設定速度で走行させる通常制御を実行する。尚、通常制御は、前方検出部Sが第一検出エリアE1において対象車2Bを検出せず且つ第二検出エリアE2において対象支持部26Bを検出しない場合に、自車2Aを第一設定速度で走行させる第一制御に相当する。
2.その他の実施形態
次に、物品搬送設備及び物品搬送車のその他の実施形態について説明する。
(1)上記実施形態では、前方検出部Sが、第一センサS1と第二センサS2とを有したが、前方検出部Sが、第一センサS1と第二センサS2とのうちの第一センサS1のみを有してもよい。そして、前方検出部Sが第一センサS1のみを有する場合において、第一センサS1に、第二センサS2の機能を備えてもよい。
(2)上記実施形態では、第一検出エリアE1、第二検出エリアE2、第三検出エリアE3、及び第四検出エリアE4の形状や大きさは適宜変更してもよい。具体的には、例えば、図13に示すように、第二検出エリアE2の延在方向Xの長さL9を第一センサS1の検出エリアEの延在方向Xの長さL1より短くしてもよく、また、第二検出エリアE2の幅方向Yの長さL3を、物品搬送車2の幅方向Yの長さL4と同じ又は短くしてもよい。
(3)上記実施形態では、第一センサS1を、自車2Aが直線部4に位置している場合のみ対象車2B及び対象支持部26Bの検出を有効にしたが、第一センサS1を、自車2Aが直線部4に位置している場合に加えて曲線部5に位置している場合も、対象車2B及び対象支持部26Bの検出を有効にしてもよい。この場合、第一センサS1の検出エリアEの形状を、自車2Aの前方側の走行中軌道1Aの形状に応じて変形させるようにしてもよい。
(4)上記実施形態では、スライド操作機構15のスライド体24に第一反射体M1を設置したが、支持機構13の昇降体18に第一反射体M1を設置する等、支持部26におけるスライド体24以外の箇所に第一反射体M1を設置してもよい。
(5)上記実施形態では、物品Wをレチクルポッドとしたが、物品Wとしては、ウェハを収容するFOUP等の他の容器や、容器以外の搬送物であってもよい。
(6)なお、上述した各実施形態で開示された構成は、矛盾が生じない限り、他の実施形態で開示された構成と組み合わせて適用することも可能である。その他の構成に関しても、本明細書において開示された実施形態は全ての点で単なる例示に過ぎない。従って、本開示の趣旨を逸脱しない範囲内で、適宜、種々の改変を行うことが可能である。
3.上記実施形態の概要
以下、上記において説明した物品搬送車及び物品搬送設備の概要について説明する。
物品搬送設備は、軌道に沿って複数の物品搬送車を走行させて物品を搬送し、上下方向視で前記軌道の延在方向に対して直交する方向を幅方向として、前記物品搬送車は、物品を支持する支持部と、前記支持部を前記幅方向に移動させる駆動部と、前方検出部と、制御部と、を備え、前記駆動部は、前記物品搬送車から前記幅方向に突出させた突出位置と、前記突出位置より前記物品搬送車側に引退させた引退位置と、に前記支持部を移動させ、前記物品搬送車の一つである自車が走行中の前記軌道を走行中軌道とし、前記走行中軌道に対して並行する前記軌道を対象軌道とし、前記走行中軌道に沿って前記自車が走行する軌跡を走行軌跡とし、前記対象軌道を走行する他の前記物品搬送車を対象車とし、当該対象車の前記支持部を対象支持部として、前記前方検出部は、第一検出エリアに位置する前記対象車を検出すると共に、第二検出エリアに位置する前記対象支持部を検出し、前記第一検出エリアは、前記自車に対して前方側で且つ前記走行軌跡に対して前記幅方向の外側に設定され、前記第二検出エリアは、前記自車に対して前方側で且つ前記走行軌跡内に設定され、前記制御部は、第一制御と第二制御と第三制御とを実行し、前記第一制御は、前記前方検出部が前記第一検出エリアにおいて前記対象車を検出せず且つ前記第二検出エリアにおいて前記対象支持部を検出しない場合に、前記自車を第一設定速度で走行させる制御であり、前記第二制御は、前記前方検出部が前記第一検出エリアに存在する前記対象車を検出した場合に、前記自車を前記第一設定速度より低速の第二設定速度で走行させる制御であり、前記第三制御は、前記前方検出部が前記第二検出エリアに存在する前記対象支持部を検出した場合に、前記自車を停止させる制御である。
この構成によれば、対象軌道を走行する対象車の対象支持部が、自車の前方側の走行軌跡に進入した場合は、その進入した支持対象部が第二検出エリアに進入することで、支持対象部を前方検出部により検出できる。そして、前方検出部が、第二検出エリアに存在する対象支持部を検出した場合は、制御部が第三制御を実行することで自車が停止するため、自車が対象支持部に接触することを防止できる。
また、対象軌道を走行する対象車が、自車の前方側に存在する場合は、その対象車が第一検出エリアに進入することで、その対象車を前方検出部により検出できる。そして、前方検出部が、第一検出エリアに存在する対象車を検出した場合は、制御部は、自車を第一設定速度より低速の第二設定速度で走行させる第一制御を実行する。そのため、対象車が対象支持部を突出位置に向けて突出させて対象支持部が自車の前方側の走行軌跡に進入した場合において、第三制御を実行して自車を停止させる場合に制動距離を短くできるため、自車が対象支持部に接触することを防止し易い。
このように、本構成によれば、物品搬送車が他の物品搬送車に接触することを抑制できる物品搬送設備を提供できる。
ここで、前記自車に対して前方側で且つ前記走行軌跡内に第三検出エリアが設定され、
前記前方検出部は、前記第三検出エリアに位置する他の前記物品搬送車である先行車を検出し、前記制御部は、前記第一制御、前記第二制御及び前記第三制御に加えて、前記前方検出部が前記第三検出エリアに存在する前記先行車を検出した場合に前記自車を停止させる第四制御を実行すると好適である。
この構成によれば、走行中軌道を走行する先行車が、自車の前方側に存在する場合は、その先行車が第三検出エリアに進入することで前方検出部により先行車を検出できる。そして、前方検出部が、第三検出エリアに存在する先行車を検出した場合は、制御部が第四制御を実行することで自車が停止するため、自車が先行車に接触することを抑制できる。
また、前記前方検出部は、前記第一検出エリアの前記対象車と前記第二検出エリアの前記対象支持部とを検出する第一センサと、前記第三検出エリアの前記物品搬送車を検出する第二センサと、を有すると好適である。
この構成によれば、前方検出部の機能を、第一センサと第二センサとに振り分けることができるため、第一検出エリア、第二検出エリア及び第三検出エリアの夫々の検出を一つのセンサにより行う場合に比べて、例えば、各センサの機能を簡素化したり、各センサの検出精度を高めたりすることができる。
また、前記軌道は、直線形状の直線部と曲線形状の曲線部とを有し、前記第二センサは、前記自車の前方側の前記走行中軌道の形状に合わせて前記第三検出エリアの形状を変化させ、前記第一センサは、前記自車が前記直線部に位置している場合のみ前記対象車及び前記対象支持部の検出を有効にすると好適である。
この構成によれば、自車の前方側の走行中軌道の形状に合わせて第三検出エリアの形状を変化させることで、自車が直線部に位置する場合及び曲線部に位置する場合の双方において第二センサにより先行車を適切に検出し易くなるため、自車が先行車に接触することを防止し易くなる。
また、曲線部において複数の軌道が並行することは少ないため、その直線部においてのみ第一センサによる検出を有効にすることで、第一センサについて第一検出エリアや第二検出エリアの形状を走行中軌道の形状に合わせて変化させる必要がない。このため、第一センサの機能を簡素化したり、検出精度を高めたりすることができる。
また、前記第二検出エリアの前記幅方向の長さは、前記物品搬送車の前記幅方向の長さより長いと好適である。
この構成によれば、対象車が対象支持部を自車の走行軌跡に向けて突出させた場合に、対象支持部が走行軌跡に進入する前に第一センサにより対象支持部を検出できる。そのため、走行軌跡に進入する対象支持部を早期に検出して第三制御を実行でき、自車が対象支持部に接触することを防止し易くなる。
また、前記物品搬送車が走行する方向を前方、その反対側を後方として、前記物品搬送車は、当該物品搬送車の前記前方を向く前面部及び前記後方を向く後面部と、前記支持部の前記前方を向く前面部及び前記後方を向く後面部と、に配置された反射体を備え、前記前方検出部は、前記反射体からの反射光を検出することで前記物品搬送車及び前記支持部を検出すると好適である。
この構成によれば、自車の前方検出部は、反射体を備えた対象車や対象支持部を適切に検出し易くなる。また、反射体を物品搬送車や支持部の前面部や後面部に備えることで、対象車が自車と同じ方向に走行している場合と反対方向に走行している場合との双方において、自車の前方検出部により、反射体を備えた対象車や対象支持部を適切に検出し易くなる。
物品搬送車は、軌道に沿って走行する走行部と、物品を支持する支持部と、物品を収容する収容部と、前記支持部を移動させる駆動部と、前方検出部と、を備え、自車が走行中の前記軌道を走行中軌道とし、前記走行中軌道に沿って前記自車が走行する軌跡を走行軌跡とし、上下方向視で前記軌道の延在方向に対して直交する方向を幅方向として、前記駆動部は、前記収容部から前記幅方向に突出させた突出位置と、前記突出位置より前記収容部側に引退させた引退位置と、に前記支持部を前記幅方向に移動させ、前記前方検出部は、第一検出エリアの他の物品搬送車である第一対象車と第二検出エリアの前記第一対象車の前記支持部とを検出する第一センサと、第三検出エリアの他の物品搬送車である第二対象車を検出する第二センサと、を有し、前記第一検出エリアは、前記自車に対して前方側で且つ前記走行軌跡に対して前記幅方向の外側に設定され、前記第二検出エリアは、前記自車に対して前方側で且つ前記走行軌跡内に設定され、前記第三検出エリアは、前記第二検出エリアとは上下方向に異なるエリアであって前記自車に対して前方側で且つ前記走行軌跡内に設定されている。
この構成によれば、対象軌道を走行する対象車の対象支持部が、自車の前方側の走行軌跡に進入した場合は、その進入した支持対象部が第二検出エリアに進入することで、支持対象部を第一センサにより検出できる。そのため、第一センサが、第二検出エリアに存在する対象支持部を検出した場合に、自車を停止させて自車が対象支持部に接触することを防止する等の対応が可能となる。
また、対象軌道を走行する第一対象車が、自車の前方側に存在する場合は、その対象車が第一検出エリアに進入することで、その対象車を第一センサにより検出できる。そのため、第一センサが、第一検出エリアに存在する対象車を検出した場合に、自車を予め減速させておき、対象支持部が走行領域に進入した場合に自車を迅速に停止させる等の対応が可能となる。
また、走行中軌道を走行する先行車が、自車の前方側に存在する場合は、その先行車が第三検出エリアに進入することで、その先行車を第二センサにより検出できる。そして、第二センサが、第三検出エリアに存在する第二対象車を検出した場合は、自車を停止させて自車が第二対象車に接触することを防止する等の対応が可能となる。
更に、前方検出部の機能を、第一センサと第二センサとに振り分けることができるため、第一検出エリア、第二検出エリア及び第三検出エリアの夫々の検出を一つのセンサにより行う場合に比べて、例えば、各センサの機能を簡素化したり、各センサの検出精度を高めたりすることができる。
このように、本構成によれば、比較的簡素な構成により、他の物品搬送車に接触することを防止できる物品搬送車を提供できる。
本開示に係る技術は、軌道に沿って走行して物品を搬送する物品搬送車、及び、当該物品搬送車を備えた物品搬送設備に利用することができる。
1:軌道
1A:走行中軌道
1B:対象軌道
2:物品搬送車
2A:自車
2B:対象車(第一対象車)
2C:先行車(第二対象車)
4:直線部
5:曲線部
16:カバー体(収容部)
25:スライド用モータ(駆動部)
26:支持部
26B:対象支持部
E1:第一検出エリア
E2:第二検出エリア
E3:第三検出エリア
H:制御部
M:反射体
S:前方検出部
S1:第一センサ
S2:第二センサ
T:走行軌跡
W:物品
X:延在方向
Y:幅方向
Z:上下方向

Claims (7)

  1. 軌道に沿って複数の物品搬送車を走行させて物品を搬送する物品搬送設備であって、
    上下方向視で前記軌道の延在方向に対して直交する方向を幅方向として、
    前記物品搬送車は、物品を支持する支持部と、前記支持部を前記幅方向に移動させる駆動部と、前方検出部と、制御部と、を備え、
    前記駆動部は、前記物品搬送車から前記幅方向に突出させた突出位置と、前記突出位置より前記物品搬送車側に引退させた引退位置と、に前記支持部を移動させ、
    前記物品搬送車の一つである自車が走行中の前記軌道を走行中軌道とし、前記走行中軌道に対して並行する前記軌道を対象軌道とし、前記走行中軌道に沿って前記自車が走行する軌跡を走行軌跡とし、前記対象軌道を走行する他の前記物品搬送車を対象車とし、当該対象車の前記支持部を対象支持部として、
    前記前方検出部は、第一検出エリアに位置する前記対象車を検出すると共に、第二検出エリアに位置する前記対象支持部を検出し、
    前記第一検出エリアは、前記自車に対して前方側で且つ前記走行軌跡に対して前記幅方向の外側に設定され、
    前記第二検出エリアは、前記自車に対して前方側で且つ前記走行軌跡内に設定され、
    前記制御部は、第一制御と第二制御と第三制御とを実行し、
    前記第一制御は、前記前方検出部が前記第一検出エリアにおいて前記対象車を検出せず且つ前記第二検出エリアにおいて前記対象支持部を検出しない場合に、前記自車を第一設定速度で走行させる制御であり、
    前記第二制御は、前記前方検出部が前記第一検出エリアに存在する前記対象車を検出した場合に、前記自車を前記第一設定速度より低速の第二設定速度で走行させる制御であり、
    前記第三制御は、前記前方検出部が前記第二検出エリアに存在する前記対象支持部を検出した場合に、前記自車を停止させる制御である物品搬送設備。
  2. 前記自車に対して前方側で且つ前記走行軌跡内に第三検出エリアが設定され、
    前記前方検出部は、前記第三検出エリアに位置する他の前記物品搬送車である先行車を検出し、
    前記制御部は、前記第一制御、前記第二制御及び前記第三制御に加えて、前記前方検出部が前記第三検出エリアに存在する前記先行車を検出した場合に前記自車を停止させる第四制御を実行する請求項1に記載の物品搬送設備。
  3. 前記前方検出部は、前記第一検出エリアの前記対象車と前記第二検出エリアの前記対象支持部とを検出する第一センサと、前記第三検出エリアの前記物品搬送車を検出する第二センサと、を有する請求項2に記載の物品搬送設備。
  4. 前記軌道は、直線形状の直線部と曲線形状の曲線部とを有し、
    前記第二センサは、前記自車の前方側の前記走行中軌道の形状に合わせて前記第三検出エリアの形状を変化させ、
    前記第一センサは、前記自車が前記直線部に位置している場合のみ前記対象車及び前記対象支持部の検出を有効にする請求項3に記載の物品搬送設備。
  5. 前記第二検出エリアの前記幅方向の長さは、前記物品搬送車の前記幅方向の長さより長い請求項1から4のいずれか一項に記載の物品搬送設備。
  6. 前記物品搬送車が走行する方向を前方、その反対側を後方として、
    前記物品搬送車は、当該物品搬送車の前記前方を向く前面部及び前記後方を向く後面部と、前記支持部の前記前方を向く前面部及び前記後方を向く後面部と、に配置された反射体を備え、
    前記前方検出部は、前記反射体からの反射光を検出することで前記物品搬送車及び前記支持部を検出する請求項1から5のいずれか一項に記載の物品搬送設備。
  7. 軌道に沿って走行する走行部と、物品を支持する支持部と、物品を収容する収容部と、前記支持部を移動させる駆動部と、前方検出部と、を備えた物品搬送車であって、
    自車が走行中の前記軌道を走行中軌道とし、前記走行中軌道に沿って前記自車が走行する軌跡を走行軌跡とし、上下方向視で前記軌道の延在方向に対して直交する方向を幅方向として、
    前記駆動部は、前記収容部から前記幅方向に突出させた突出位置と、前記突出位置より前記収容部側に引退させた引退位置と、に前記支持部を前記幅方向に移動させ、
    前記前方検出部は、第一検出エリアの他の物品搬送車である第一対象車と第二検出エリアの前記第一対象車の前記支持部とを検出する第一センサと、第三検出エリアの他の物品搬送車である第二対象車を検出する第二センサと、を有し、
    前記第一検出エリアは、前記自車に対して前方側で且つ前記走行軌跡に対して前記幅方向の外側に設定され、
    前記第二検出エリアは、前記自車に対して前方側で且つ前記走行軌跡内に設定され、
    前記第三検出エリアは、前記第二検出エリアとは上下方向に異なるエリアであって前記自車に対して前方側で且つ前記走行軌跡内に設定されている物品搬送車。
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