JP6693481B2 - 物品搬送設備、及び、物品搬送車 - Google Patents
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Description
上下方向視で前記軌道の延在方向に対して直交する方向を幅方向として、前記物品搬送車は、物品を支持する支持部と、前記支持部を前記幅方向に移動させる駆動部と、前方検出部と、制御部と、を備え、前記駆動部は、前記物品搬送車から前記幅方向に突出させた突出位置と、前記突出位置より前記物品搬送車側に引退させた引退位置と、に前記支持部を移動させ、前記物品搬送車の一つである自車が走行中の前記軌道を走行中軌道とし、前記走行中軌道に対して並行する前記軌道を対象軌道とし、前記走行中軌道に沿って前記自車が走行する軌跡を走行軌跡とし、前記対象軌道を走行する他の前記物品搬送車を対象車とし、当該対象車の前記支持部を対象支持部として、前記前方検出部は、第一検出エリアに位置する前記対象車を検出すると共に、第二検出エリアに位置する前記対象支持部を検出し、前記第一検出エリアは、前記自車に対して前方側で且つ前記走行軌跡に対して前記幅方向の外側に設定され、前記第二検出エリアは、前記自車に対して前方側で且つ前記走行軌跡内に設定され、前記制御部は、第一制御と第二制御と第三制御とを実行し、前記第一制御は、前記前方検出部が前記第一検出エリアにおいて前記対象車を検出せず且つ前記第二検出エリアにおいて前記対象支持部を検出しない場合に、前記自車を第一設定速度で走行させる制御であり、前記第二制御は、前記前方検出部が前記第一検出エリアに存在する前記対象車を検出した場合に、前記自車を前記第一設定速度より低速の第二設定速度で走行させる制御であり、前記第三制御は、前記前方検出部が前記第二検出エリアに存在する前記対象支持部を検出した場合に、前記自車を停止させる制御である点にある。
また、対象軌道を走行する対象車が、自車の前方側に存在する場合は、その対象車が第一検出エリアに進入することで、その対象車を前方検出部により検出できる。そして、前方検出部が、第一検出エリアに存在する対象車を検出した場合は、制御部は、自車を第一設定速度より低速の第二設定速度で走行させる第一制御を実行する。そのため、対象車が対象支持部を突出位置に向けて突出させて対象支持部が自車の前方側の走行軌跡に進入した場合において、第三制御を実行して自車を停止させる場合に制動距離を短くできるため、自車が対象支持部に接触することを防止し易い。
このように、本構成によれば、物品搬送車が他の物品搬送車に接触することを抑制できる物品搬送設備を提供できる。
自車が走行中の前記軌道を走行中軌道とし、前記走行中軌道に沿って前記自車が走行する軌跡を走行軌跡とし、上下方向視で前記軌道の延在方向に対して直交する方向を幅方向として、前記駆動部は、前記収容部から前記幅方向に突出させた突出位置と、前記突出位置より前記収容部側に引退させた引退位置と、に前記支持部を移動させ、前記前方検出部は、第一検出エリアの他の物品搬送車である第一対象車と第二検出エリアの前記第一対象車の前記支持部とを検出する第一センサと、第三検出エリアの他の物品搬送車である第二対象車を検出する第二センサと、を有し、前記第一検出エリアは、前記自車に対して前方側で且つ前記走行軌跡に対して前記幅方向の外側に設定され、前記第二検出エリアは、前記自車に対して前方側で且つ前記走行軌跡内に設定され、前記第三検出エリアは、前記第二検出エリアとは上下方向に異なるエリアであって前記自車に対して前方側で且つ前記走行軌跡内に設定されている点にある。
また、対象軌道を走行する第一対象車が、自車の前方側に存在する場合は、その対象車が第一検出エリアに進入することで、その対象車を第一センサにより検出できる。そのため、第一センサが、第一検出エリアに存在する対象車を検出した場合に、自車を予め減速させておき、対象支持部が走行軌跡に進入した場合に自車を迅速に停止させる等の対応が可能となる。
また、走行中軌道を走行する先行車が、自車の前方側に存在する場合は、その先行車が第三検出エリアに進入することで、その先行車を第二センサにより検出できる。そして、第二センサが、第三検出エリアに存在する第二対象車を検出した場合は、自車を停止させて自車が第二対象車に接触することを防止する等の対応が可能となる。
更に、前方検出部の機能を、第一センサと第二センサとに振り分けることができるため、第一検出エリア、第二検出エリア及び第三検出エリアの夫々の検出を一つのセンサにより行う場合に比べて、例えば、各センサの機能を簡素化したり、各センサの検出精度を高めたりすることができる。
このように、本構成によれば、比較的簡素な構成により、他の物品搬送車に接触することを抑制できる物品搬送車を提供できる。
物品搬送設備の実施形態について図面に基づいて説明する。
図1に示すように、物品搬送設備は、軌道1に沿って複数の物品搬送車2を走行させて物品Wを搬送する。物品搬送設備には、処理装置に対応する位置に物品Wを支持する移載対象箇所Pが備えられており、物品搬送車2は、物品Wを移載対象箇所Pに搬送すると共に物品Wを移載対象箇所Pから搬送する。尚、本実施形態では、物品搬送車2は、レチクル(フォトマスク)を収容するレチクルポッドを物品Wとして搬送する。
昇降操作機構14は、ベルト21を巻回した巻回体22と、巻回体22を回転駆動させる昇降用モータ23と、を備えている。昇降操作機構14は、昇降用モータ23の駆動により巻回体22を回転させることで、支持機構13を上昇高さとこの上昇高さより低い下降高さとに昇降させる。
スライド操作機構15は、昇降操作機構14を支持すると共に幅方向Yに移動自在なスライド体24と、スライド体24を走行部6に対して幅方向Yに移動させるスライド用モータ25(図5参照)と、を備えている。スライド操作機構15は、スライド用モータ25の駆動によりスライド体24を幅方向Yに移動させることで、物品搬送車2のカバー体16から幅方向Yに突出させた突出位置(図3参照)と、突出位置より物品搬送車2のカバー体16側に引退させた引退位置(図2参照)と、にスライド体24、昇降操作機構14及び支持機構13を移動させる。
なお、物品搬送車2が走行する場合は、支持機構13は上昇高さに位置し且つ引退位置に位置している。
移載対象箇所Pは、軌道1の真下に設置される場合に加えて、図1に示すように、上下方向Zに見て軌道1に対して軌道1の幅方向Yにずれた位置に設定される場合がある。物品搬送車2は、このように軌道1の真下に対して幅方向Yにずれた位置の移載対象箇所Pに搬送する場合は、当該移載対象箇所Pに対応する設定位置まで走行部6を走行させた状態で、図3に示すように、スライド操作機構15により昇降操作機構14を突出位置まで突出させた後、昇降操作機構14により支持機構13を上昇高さから下降させて物品Wを移載対象箇所Pに降ろし、その後、支持機構13により物品Wに対する把持を解除する。
尚、スライド体24、昇降操作機構14及び支持機構13が、物品Wを支持する支持部26に相当し、カバー体16が、物品Wを収容する収容部に相当する。また、スライド用モータ25が、支持部26を幅方向Yに移動させる駆動部に相当する。
第一反射体M1は、物品搬送車2の前方を向く前面部及び後方を向く後面部、並びに、支持部26の前方を向く前面部及び後方を向く後面部に備えられている。説明を加えると、第一センサS1は、カバー体16の前面部に備えられており、第一反射体M1は、カバー体16の前面部及び後面部、並びに、スライド体24の前面部及び後面部に備えられている。
第二反射体M2は、物品搬送車2の後方を向く後面部に備えられている。説明を加えると、第二センサS2は、カバー体16の前面部における第一センサS1より上方に備えられている。第二反射体M2は、カバー体16の後面部における第一反射体M1より上方に備えられている。
このように、物品搬送車2は、当該物品搬送車2の前方を向く前面部及び後方を向く後面部と、支持部26の前方を向く前面部及び後方を向く後面部と、に第一反射体M1を備えている。
第二センサS2は、物品搬送車2の前方を向く前面部に設置されており、前方側に向けて検出光を投光し、第二反射体M2からの反射光を検出することで、第二反射体M2(第二反射体M2を備えた先行車2C)を検出する。第二センサS2は、幅方向Yにおいて走行部6の中央(軌道1の中央に位置)と同じ位置となるように設置されている。
そのため、自車2Aの第一センサS1は、対象車2Bの第一反射体M1を検出するが、対象車2Bの第二反射体M2を検出しないようになっている。また、自車2Aの第二センサS2は、対象車2Bの第二反射体M2を検出するが、対象車2Bの第一反射体M1を検出しないようになっている。
図6に示すように、第二検出エリアE2の幅方向Yの長さである第三長さL3は、物品搬送車2の幅方向Yの長さである第四長さL4より長い。つまり、第二検出エリアE2は、自車2Aに対して前方側で且つ走行軌跡T内に設定されていると共に、走行軌跡Tの幅方向Yの全幅に加えて走行軌跡Tの左右両側に走行軌跡Tに連続する状態で設定されている。また、第二検出エリアE2の延在方向Xの長さは第一長さL1に設定されている。
第一検出エリアE1は、第一センサS1の検出エリアEにおける第二検出エリアE2以外の部分であり、自車2Aに対して前方側で且つ走行軌跡Tに対して幅方向Yの外側に設定されている。この第一検出エリアE1は、走行軌跡Tから間隔を空けた状態で設定されている。第二長さL2及び第三長さL3は、並行区間Gにおいて、対象車2Bが走行する軌跡内まで第一検出エリアE1が設定されるが、第二検出エリアE2は対象車2Bが走行する軌跡内に設定されない長さとなっている。
第三検出エリアE3の延在方向Xの長さは、第七長さL7に設定されており、第四検出エリアE4の延在方向Xの長さは、第八長さL8に設定されている。第六長さL6は、第四長さL4より長く、第二長さL2より短い。また、第五長さL6は、並行区間Gにおいて、第三検出エリアE3や第四検出エリアE4が、対象車2Bが走行する軌跡内に設定されない長さとなっている。そして、第五長さL5及び第八長さL8は、第一長さL1より長く、第七長さL7は、第一長さL1より短い。
図10に示すように、第一センサS1は、第一検出エリアE1に対象車2Bが進入した場合に、対象車2Bのカバー体16に設置された第一反射体M1を検出する。尚、自車2Aと対象車2Bとが反対の方向に向いている場合は、第一センサS1は、対象車2Bのカバー体16における前面部に備えられている第一反射体M1を検出し、自車2Aと対象車2Bとが同じ方向を向いている場合は、第一センサS1は、対象車2Bのカバー体16における後面部に備えられている第一反射体M1を検出する。
また、図11に示すように、第一センサS1は、第二検出エリアE2に対象支持部26Bが進入した場合に、対象支持部26Bに備えられている第一反射体M1を検出する。尚、自車2Aと対象車2Bとが反対の方向に向いている場合は、第一センサS1は、対象支持部26Bの前面部に備えられている第一反射体M1を検出し、自車2Aと対象車2Bとが同じ方向を向いている場合は、第一センサS1は、対象支持部26Bの後面部に備えられている第一反射体M1を検出する。
また、図9に示すように、自車2Aの第二センサS2の第三検出エリアE3に先行車2C(図9に示す2台の先行車2Cのうちの後方側の先行車2C)が侵入すると、先行車2Cの第二反射体M2が自車2Aの第二センサS2により検出される。自車2Aの制御部Hは、自車2Aの第二センサS2により第三検出エリアE3において反射体Mが検出された場合は、自車2Aを停止させる停止制御を実行する。尚、このように、第二センサS2により第三検出エリアE3において反射体Mが検出された場合の停止制御は、前方検出部Sが第三検出エリアE3に存在する先行車2Cを検出した場合に自車2Aを停止させる第四制御に相当する。
また、図11に示すように、自車2Aの第一センサS1の第二検出エリアE2に対象支持部26Bが進入すると、対象支持部26Bの第一反射体M1が自車2Aの第一センサS1により検出される。自車2Aの制御部Hは、自車2Aの第一センサS1により第二検出エリアE2において反射体Mが検出された場合は、自車2Aを停止させるように停止制御を実行する。尚、このように、第一センサS1により第二検出エリアE2において反射体Mが検出された場合の停止制御は、前方検出部Sが第二検出エリアE2に存在する対象支持部26Bを検出した場合に、自車2Aを停止させる第三制御に相当する。
次に、物品搬送設備及び物品搬送車のその他の実施形態について説明する。
以下、上記において説明した物品搬送車及び物品搬送設備の概要について説明する。
また、対象軌道を走行する対象車が、自車の前方側に存在する場合は、その対象車が第一検出エリアに進入することで、その対象車を前方検出部により検出できる。そして、前方検出部が、第一検出エリアに存在する対象車を検出した場合は、制御部は、自車を第一設定速度より低速の第二設定速度で走行させる第一制御を実行する。そのため、対象車が対象支持部を突出位置に向けて突出させて対象支持部が自車の前方側の走行軌跡に進入した場合において、第三制御を実行して自車を停止させる場合に制動距離を短くできるため、自車が対象支持部に接触することを防止し易い。
このように、本構成によれば、物品搬送車が他の物品搬送車に接触することを抑制できる物品搬送設備を提供できる。
前記前方検出部は、前記第三検出エリアに位置する他の前記物品搬送車である先行車を検出し、前記制御部は、前記第一制御、前記第二制御及び前記第三制御に加えて、前記前方検出部が前記第三検出エリアに存在する前記先行車を検出した場合に前記自車を停止させる第四制御を実行すると好適である。
また、曲線部において複数の軌道が並行することは少ないため、その直線部においてのみ第一センサによる検出を有効にすることで、第一センサについて第一検出エリアや第二検出エリアの形状を走行中軌道の形状に合わせて変化させる必要がない。このため、第一センサの機能を簡素化したり、検出精度を高めたりすることができる。
また、対象軌道を走行する第一対象車が、自車の前方側に存在する場合は、その対象車が第一検出エリアに進入することで、その対象車を第一センサにより検出できる。そのため、第一センサが、第一検出エリアに存在する対象車を検出した場合に、自車を予め減速させておき、対象支持部が走行領域に進入した場合に自車を迅速に停止させる等の対応が可能となる。
また、走行中軌道を走行する先行車が、自車の前方側に存在する場合は、その先行車が第三検出エリアに進入することで、その先行車を第二センサにより検出できる。そして、第二センサが、第三検出エリアに存在する第二対象車を検出した場合は、自車を停止させて自車が第二対象車に接触することを防止する等の対応が可能となる。
更に、前方検出部の機能を、第一センサと第二センサとに振り分けることができるため、第一検出エリア、第二検出エリア及び第三検出エリアの夫々の検出を一つのセンサにより行う場合に比べて、例えば、各センサの機能を簡素化したり、各センサの検出精度を高めたりすることができる。
このように、本構成によれば、比較的簡素な構成により、他の物品搬送車に接触することを防止できる物品搬送車を提供できる。
1A:走行中軌道
1B:対象軌道
2:物品搬送車
2A:自車
2B:対象車(第一対象車)
2C:先行車(第二対象車)
4:直線部
5:曲線部
16:カバー体(収容部)
25:スライド用モータ(駆動部)
26:支持部
26B:対象支持部
E1:第一検出エリア
E2:第二検出エリア
E3:第三検出エリア
H:制御部
M:反射体
S:前方検出部
S1:第一センサ
S2:第二センサ
T:走行軌跡
W:物品
X:延在方向
Y:幅方向
Z:上下方向
Claims (7)
- 軌道に沿って複数の物品搬送車を走行させて物品を搬送する物品搬送設備であって、
上下方向視で前記軌道の延在方向に対して直交する方向を幅方向として、
前記物品搬送車は、物品を支持する支持部と、前記支持部を前記幅方向に移動させる駆動部と、前方検出部と、制御部と、を備え、
前記駆動部は、前記物品搬送車から前記幅方向に突出させた突出位置と、前記突出位置より前記物品搬送車側に引退させた引退位置と、に前記支持部を移動させ、
前記物品搬送車の一つである自車が走行中の前記軌道を走行中軌道とし、前記走行中軌道に対して並行する前記軌道を対象軌道とし、前記走行中軌道に沿って前記自車が走行する軌跡を走行軌跡とし、前記対象軌道を走行する他の前記物品搬送車を対象車とし、当該対象車の前記支持部を対象支持部として、
前記前方検出部は、第一検出エリアに位置する前記対象車を検出すると共に、第二検出エリアに位置する前記対象支持部を検出し、
前記第一検出エリアは、前記自車に対して前方側で且つ前記走行軌跡に対して前記幅方向の外側に設定され、
前記第二検出エリアは、前記自車に対して前方側で且つ前記走行軌跡内に設定され、
前記制御部は、第一制御と第二制御と第三制御とを実行し、
前記第一制御は、前記前方検出部が前記第一検出エリアにおいて前記対象車を検出せず且つ前記第二検出エリアにおいて前記対象支持部を検出しない場合に、前記自車を第一設定速度で走行させる制御であり、
前記第二制御は、前記前方検出部が前記第一検出エリアに存在する前記対象車を検出した場合に、前記自車を前記第一設定速度より低速の第二設定速度で走行させる制御であり、
前記第三制御は、前記前方検出部が前記第二検出エリアに存在する前記対象支持部を検出した場合に、前記自車を停止させる制御である物品搬送設備。 - 前記自車に対して前方側で且つ前記走行軌跡内に第三検出エリアが設定され、
前記前方検出部は、前記第三検出エリアに位置する他の前記物品搬送車である先行車を検出し、
前記制御部は、前記第一制御、前記第二制御及び前記第三制御に加えて、前記前方検出部が前記第三検出エリアに存在する前記先行車を検出した場合に前記自車を停止させる第四制御を実行する請求項1に記載の物品搬送設備。 - 前記前方検出部は、前記第一検出エリアの前記対象車と前記第二検出エリアの前記対象支持部とを検出する第一センサと、前記第三検出エリアの前記物品搬送車を検出する第二センサと、を有する請求項2に記載の物品搬送設備。
- 前記軌道は、直線形状の直線部と曲線形状の曲線部とを有し、
前記第二センサは、前記自車の前方側の前記走行中軌道の形状に合わせて前記第三検出エリアの形状を変化させ、
前記第一センサは、前記自車が前記直線部に位置している場合のみ前記対象車及び前記対象支持部の検出を有効にする請求項3に記載の物品搬送設備。 - 前記第二検出エリアの前記幅方向の長さは、前記物品搬送車の前記幅方向の長さより長い請求項1から4のいずれか一項に記載の物品搬送設備。
- 前記物品搬送車が走行する方向を前方、その反対側を後方として、
前記物品搬送車は、当該物品搬送車の前記前方を向く前面部及び前記後方を向く後面部と、前記支持部の前記前方を向く前面部及び前記後方を向く後面部と、に配置された反射体を備え、
前記前方検出部は、前記反射体からの反射光を検出することで前記物品搬送車及び前記支持部を検出する請求項1から5のいずれか一項に記載の物品搬送設備。 - 軌道に沿って走行する走行部と、物品を支持する支持部と、物品を収容する収容部と、前記支持部を移動させる駆動部と、前方検出部と、を備えた物品搬送車であって、
自車が走行中の前記軌道を走行中軌道とし、前記走行中軌道に沿って前記自車が走行する軌跡を走行軌跡とし、上下方向視で前記軌道の延在方向に対して直交する方向を幅方向として、
前記駆動部は、前記収容部から前記幅方向に突出させた突出位置と、前記突出位置より前記収容部側に引退させた引退位置と、に前記支持部を前記幅方向に移動させ、
前記前方検出部は、第一検出エリアの他の物品搬送車である第一対象車と第二検出エリアの前記第一対象車の前記支持部とを検出する第一センサと、第三検出エリアの他の物品搬送車である第二対象車を検出する第二センサと、を有し、
前記第一検出エリアは、前記自車に対して前方側で且つ前記走行軌跡に対して前記幅方向の外側に設定され、
前記第二検出エリアは、前記自車に対して前方側で且つ前記走行軌跡内に設定され、
前記第三検出エリアは、前記第二検出エリアとは上下方向に異なるエリアであって前記自車に対して前方側で且つ前記走行軌跡内に設定されている物品搬送車。
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