JP7238859B2 - 物品搬送車 - Google Patents
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Description
前記移動経路に沿って前記物品を搬送する方向を搬送方向とし、前記搬送方向に対して上下方向に沿う上下方向視で交差する方向を交差方向として、
前記物品を収容する収容部と、前記収容部の外部に位置する移載対象箇所との間で前記物品の移載動作を行う移載機構と、前記移載機構を制御する制御装置と、を備え、
前記移載機構は、前記物品を保持する保持部と、前記保持部を昇降させる昇降機構と、前記収容部の内部と外部との間で前記保持部を前記交差方向に沿ってスライドさせるスライド機構と、前記保持部を上下軸心まわりに旋回させる旋回機構と、を備え、
前記物品には、第1種物品と第2種物品との2種類が少なくとも含まれ、
前記第1種物品を前記旋回機構により旋回させずに前記スライド機構によりスライドさせた場合の当該第1種物品の移動軌跡を第1スライド軌跡とし、前記第1種物品を前記旋回機構により旋回させつつ前記スライド機構によりスライドさせた場合の当該第1種物品の移動軌跡を第1旋回移動軌跡とし、前記第2種物品を前記旋回機構により旋回させずに前記スライド機構によりスライドさせた場合の当該第2種物品の移動軌跡を第2スライド軌跡とし、前記第2種物品を前記旋回機構により旋回させつつ前記スライド機構によりスライドさせた場合の当該第2種物品の移動軌跡を第2旋回移動軌跡として、
前記第1種物品は、前記第1スライド軌跡が前記収容部に設けられた対象部材と重複せず、前記第1旋回移動軌跡が前記対象部材と重複する物品であり、前記第2種物品は、前記第2スライド軌跡及び前記第2旋回移動軌跡が前記収容部に設けられた前記対象部材と重複しない物品であり、
前記制御装置は、
前記保持部に保持された前記物品が前記第1種物品であると判断した場合に、前記旋回機構による旋回動作と前記スライド機構によるスライド動作とを互いの動作期間を重複させずに行うように前記移載機構を制御し、
前記保持部に保持された前記物品が前記第2種物品であると判断した場合に、前記旋回動作と前記スライド動作とを互いの動作期間を重複させて行うように前記移載機構を制御する。
また本構成によれば、旋回半径が第1種物品よりも小さい第2種物品に合わせて、物品搬送車の大きさ、特に収容部周辺の空間の大きさを設計することができる。従って、第1種物品に合わせてそれらを設計した場合に比べて、物品搬送車を小型化し易いという利点もある。
以上のように、本構成によれば、複数種類の物品を搬送可能な物品搬送車において、物品搬送車の大型化を抑制しつつ、物品の種類に応じて動作の効率化を図ることが可能となる。
次に、物品搬送車のその他の実施形態について説明する。
以下、上記において説明した物品搬送車について説明する。
前記移動経路に沿って前記物品を搬送する方向を搬送方向とし、前記搬送方向に対して上下方向に沿う上下方向視で交差する方向を交差方向として、
前記物品を収容する収容部と、前記収容部の外部に位置する移載対象箇所との間で前記物品の移載動作を行う移載機構と、前記移載機構を制御する制御装置と、を備え、
前記移載機構は、前記物品を保持する保持部と、前記保持部を昇降させる昇降機構と、前記収容部の内部と外部との間で前記保持部を前記交差方向に沿ってスライドさせるスライド機構と、前記保持部を上下軸心まわりに旋回させる旋回機構と、を備え、
前記物品には、第1種物品と第2種物品との2種類が少なくとも含まれ、
前記第1種物品を前記旋回機構により旋回させずに前記スライド機構によりスライドさせた場合の当該第1種物品の移動軌跡を第1スライド軌跡とし、前記第1種物品を前記旋回機構により旋回させつつ前記スライド機構によりスライドさせた場合の当該第1種物品の移動軌跡を第1旋回移動軌跡とし、前記第2種物品を前記旋回機構により旋回させずに前記スライド機構によりスライドさせた場合の当該第2種物品の移動軌跡を第2スライド軌跡とし、前記第2種物品を前記旋回機構により旋回させつつ前記スライド機構によりスライドさせた場合の当該第2種物品の移動軌跡を第2旋回移動軌跡として、
前記第1種物品は、前記第1スライド軌跡が前記収容部に設けられた対象部材と重複せず、前記第1旋回移動軌跡が前記対象部材と重複する物品であり、前記第2種物品は、前記第2スライド軌跡及び前記第2旋回移動軌跡が前記収容部に設けられた前記対象部材と重複しない物品であり、
前記制御装置は、
前記保持部に保持された前記物品が前記第1種物品であると判断した場合に、前記旋回機構による旋回動作と前記スライド機構によるスライド動作とを互いの動作期間を重複させずに行うように前記移載機構を制御し、
前記保持部に保持された前記物品が前記第2種物品であると判断した場合に、前記旋回動作と前記スライド動作とを互いの動作期間を重複させて行うように前記移載機構を制御する。
また本構成によれば、旋回半径が第1種物品よりも小さい第2種物品に合わせて、物品搬送車の大きさ、特に収容部周辺の空間の大きさを設計することができる。従って、第1種物品に合わせてそれらを設計した場合に比べて、物品搬送車を小型化し易いという利点もある。
以上のように、本構成によれば、複数種類の物品を搬送可能な物品搬送車において、物品搬送車の大型化を抑制しつつ、物品の種類に応じて動作の効率化を図ることが可能となる。
前記保持部に保持された前記物品の種類を検出する物品種類検出部を備え、
前記制御装置は、
前記物品種類検出部によって検出された前記物品の種類が前記第1種物品である場合に、前記保持部に保持された前記物品が前記第1種物品であると判断し、
前記物品種類検出部によって検出された前記物品の種類が前記第2種物品である場合に、前記保持部に保持された前記物品が前記第2種物品であると判断する、と好適である。
前記物品の搬送指令を上位制御装置から取得する指令取得部を備え、
前記指令取得部が取得する前記搬送指令には、当該搬送指令に係る前記物品の種類を示す物品種類情報が含まれ、
前記制御装置は、
前記指令取得部が取得した前記物品種類情報に示された前記物品の種類が前記第1種物品である場合に、前記保持部に保持された前記物品が前記第1種物品であると判断し、
前記指令取得部が取得した前記物品種類情報に示された前記物品の種類が前記第2種物品である場合に、前記保持部に保持された前記物品が前記第2種物品であると判断する、と好適である。
前記物品の搬送指令を上位制御装置から取得する指令取得部を備え、
前記指令取得部が取得する前記搬送指令には、当該搬送指令に係る前記物品の種類を示す物品種類情報が含まれ、
前記制御装置は、
前記指令取得部が取得した前記物品種類情報に示された前記物品の種類が前記第1種物品であって、且つ、前記物品種類検出部によって検出された前記物品の種類が前記第1種物品である場合に、前記保持部に保持された前記物品が前記第1種物品であると判断し、
前記指令取得部が取得した前記物品種類情報に示された前記物品の種類が前記第2種物品であって、且つ、前記物品種類検出部によって検出された前記物品の種類が前記第2種物品である場合に、前記保持部に保持された前記物品が前記第2種物品であると判断し、
前記指令取得部が取得した前記物品種類情報に示された前記物品の種類と前記物品種類検出部によって検出された前記物品の種類とが一致していない場合には、前記旋回動作と前記スライド動作とを互いの動作期間を重複させずに行うように前記移載機構を制御する、と好適である。
前記移載機構が行う前記移載動作には、前記物品を前記移載対象箇所から前記収容部の内部へ移動させる掬い動作と、前記物品を前記収容部の内部から前記移載対象箇所へ移動させる卸し動作と、が含まれ、
前記物品種類検出部は、前記収容部に収容された状態の前記物品の種類を検出するように構成され、
前記制御装置は、
前記移載機構に前記掬い動作を行わせる場合には、前記物品の種類を判断することなく、前記旋回動作と前記スライド動作とを互いの動作期間を重複させずに行わせ、
前記移載機構に前記卸し動作を行わせる場合には、前記物品種類検出部により検出された前記物品の種類に応じて、前記旋回動作と前記スライド動作とを、互いの動作期間を重複させて行わせるか、互いの動作期間を重複させずに行わせるかを選択する、と好適である。
2 :収容部
4 :移載機構
41 :保持部
42 :昇降機構
43 :スライド機構
44 :旋回機構
5 :在荷センサ
6 :指令取得部
8 :物品
81 :第1種物品
82 :第2種物品
9 :移載対象箇所
Cv :下位制御装置(制御装置)
Ct :上位制御装置
O :対象部材
S :物品種類検出部
Tr1 :第1旋回移動軌跡
Tr2 :第2旋回移動軌跡
Ts1 :第1スライド軌跡
Ts2 :第2スライド軌跡
R :移動経路
X :搬送方向
Y :交差方向
Claims (5)
- 移動経路に沿って移動して複数種類の物品を搬送する物品搬送車であって、
前記移動経路に沿って前記物品を搬送する方向を搬送方向とし、前記搬送方向に対して上下方向に沿う上下方向視で交差する方向を交差方向として、
前記物品を収容する収容部と、前記収容部の外部に位置する移載対象箇所との間で前記物品の移載動作を行う移載機構と、前記移載機構を制御する制御装置と、を備え、
前記移載機構は、前記物品を保持する保持部と、前記保持部を昇降させる昇降機構と、前記収容部の内部と外部との間で前記保持部を前記交差方向に沿ってスライドさせるスライド機構と、前記保持部を上下軸心まわりに旋回させる旋回機構と、を備え、
前記物品には、第1種物品と第2種物品との2種類が少なくとも含まれ、
前記第1種物品を前記旋回機構により旋回させずに前記スライド機構によりスライドさせた場合の当該第1種物品の移動軌跡を第1スライド軌跡とし、前記第1種物品を前記旋回機構により旋回させつつ前記スライド機構によりスライドさせた場合の当該第1種物品の移動軌跡を第1旋回移動軌跡とし、前記第2種物品を前記旋回機構により旋回させずに前記スライド機構によりスライドさせた場合の当該第2種物品の移動軌跡を第2スライド軌跡とし、前記第2種物品を前記旋回機構により旋回させつつ前記スライド機構によりスライドさせた場合の当該第2種物品の移動軌跡を第2旋回移動軌跡として、
前記第1種物品は、前記第1スライド軌跡が前記収容部に設けられた対象部材と重複せず、前記第1旋回移動軌跡が前記対象部材と重複する物品であり、前記第2種物品は、前記第2スライド軌跡及び前記第2旋回移動軌跡が前記収容部に設けられた前記対象部材と重複しない物品であり、
前記制御装置は、
前記保持部に保持された前記物品が前記第1種物品であると判断した場合に、前記旋回機構による旋回動作と前記スライド機構によるスライド動作とを互いの動作期間を重複させずに行うように前記移載機構を制御し、
前記保持部に保持された前記物品が前記第2種物品であると判断した場合に、前記旋回動作と前記スライド動作とを互いの動作期間を重複させて行うように前記移載機構を制御する、物品搬送車。 - 前記保持部に保持された前記物品の種類を検出する物品種類検出部を備え、
前記制御装置は、
前記物品種類検出部によって検出された前記物品の種類が前記第1種物品である場合に、前記保持部に保持された前記物品が前記第1種物品であると判断し、
前記物品種類検出部によって検出された前記物品の種類が前記第2種物品である場合に、前記保持部に保持された前記物品が前記第2種物品であると判断する、請求項1に記載の物品搬送車。 - 前記物品の搬送指令を上位制御装置から取得する指令取得部を備え、
前記指令取得部が取得する前記搬送指令には、当該搬送指令に係る前記物品の種類を示す物品種類情報が含まれ、
前記制御装置は、
前記指令取得部が取得した前記物品種類情報に示された前記物品の種類が前記第1種物品である場合に、前記保持部に保持された前記物品が前記第1種物品であると判断し、
前記指令取得部が取得した前記物品種類情報に示された前記物品の種類が前記第2種物品である場合に、前記保持部に保持された前記物品が前記第2種物品であると判断する、請求項1に記載の物品搬送車。 - 前記物品の搬送指令を上位制御装置から取得する指令取得部を備え、
前記指令取得部が取得する前記搬送指令には、当該搬送指令に係る前記物品の種類を示す物品種類情報が含まれ、
前記制御装置は、
前記指令取得部が取得した前記物品種類情報に示された前記物品の種類が前記第1種物品であって、且つ、前記物品種類検出部によって検出された前記物品の種類が前記第1種物品である場合に、前記保持部に保持された前記物品が前記第1種物品であると判断し、
前記指令取得部が取得した前記物品種類情報に示された前記物品の種類が前記第2種物品であって、且つ、前記物品種類検出部によって検出された前記物品の種類が前記第2種物品である場合に、前記保持部に保持された前記物品が前記第2種物品であると判断し、
前記指令取得部が取得した前記物品種類情報に示された前記物品の種類と前記物品種類検出部によって検出された前記物品の種類とが一致していない場合には、前記旋回動作と前記スライド動作とを互いの動作期間を重複させずに行うように前記移載機構を制御する、請求項2に記載の物品搬送車。 - 前記移載機構が行う前記移載動作には、前記物品を前記移載対象箇所から前記収容部の内部へ移動させる掬い動作と、前記物品を前記収容部の内部から前記移載対象箇所へ移動させる卸し動作と、が含まれ、
前記物品種類検出部は、前記収容部に収容された状態の前記物品の種類を検出するように構成され、
前記制御装置は、
前記移載機構に前記掬い動作を行わせる場合には、前記物品の種類を判断することなく、前記旋回動作と前記スライド動作とを互いの動作期間を重複させずに行わせ、
前記移載機構に前記卸し動作を行わせる場合には、前記物品種類検出部により検出された前記物品の種類に応じて、前記旋回動作と前記スライド動作とを、互いの動作期間を重複させて行わせるか、互いの動作期間を重複させずに行わせるかを選択する、請求項2に記載の物品搬送車。
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Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007217076A (ja) | 2006-02-14 | 2007-08-30 | Murata Mach Ltd | 搬送車 |
JP5700255B2 (ja) | 2012-03-27 | 2015-04-15 | 株式会社ダイフク | 物品保管設備及び物品搬送設備 |
JP6586936B2 (ja) | 2016-09-21 | 2019-10-09 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57255A (en) | 1980-06-02 | 1982-01-05 | Hitachi Ltd | Clean room |
JP4841183B2 (ja) * | 2005-06-28 | 2011-12-21 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置,搬送装置,搬送装置の制御方法 |
JP4389181B2 (ja) * | 2007-03-07 | 2009-12-24 | 株式会社ダイフク | 物品処理設備 |
JP5713203B2 (ja) * | 2012-03-27 | 2015-05-07 | 株式会社ダイフク | 物品収納設備 |
JP6217598B2 (ja) * | 2014-11-12 | 2017-10-25 | 株式会社ダイフク | 物品収納設備 |
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JP5700255B2 (ja) | 2012-03-27 | 2015-04-15 | 株式会社ダイフク | 物品保管設備及び物品搬送設備 |
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