JP2000203421A

JP2000203421A - 無人搬送装置及び搬送方法

Info

Publication number: JP2000203421A
Application number: JP11007779A
Authority: JP
Inventors: Daisuke Saito; 大介齋藤
Original assignee: NEC Yamagata Ltd
Current assignee: NEC Yamagata Ltd
Priority date: 1999-01-14
Filing date: 1999-01-14
Publication date: 2000-07-25

Abstract

(57)【要約】【課題】作業領域内にデッドスペースを生じる事な
く、搬送効率を低下させない無人搬送装置及び搬送方法
を提供することにある。【解決手段】搬送物を掴む事のできるロボットアーム
と、このロボットアームを支える支持台座と、この支持
台座を回転可能に支持する回転スライド機構と、該支持
台座と回転スライド機構を水平に移動可能なスライド機
構とを備えた事を特徴とするので、搬送効率を低下させ
る事なく干渉物を避ける事が出来る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造ライン
等で使用される搬送装置に関し、特にデッドスペースを
生じる事のない無人搬送装置及び搬送方法に関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】従来の搬送装置は、例えば図６に示す様
に半導体の製造ラインのクリーンルーム等においてウエ
ハを処理する種々の製造装置５やウエハを一時的に保管
する為の自動棚６等が搬送軌道７に沿って生産性や搬送
の効率を考慮して合理的に配置されている。製造装置５
の手前には、ローダー用ステーション５ｃ、５ｂが配置
されており、ここから搬送物を積み下ろしする。また、
ここでは、ウエハが複数枚収納されたウエハキャリア８
を一つの搬送物としてロボットアーム９を有した無人搬
送装置ＡＧＶ（Automated Guided Vehicle）１０で搬送
していた。

【０００３】この搬送物であるウエハキャリア８の搬送
及び移載は、無人搬送装置１０及びこの無人搬送装置に
取り付けられたロボットアーム９によってウエハキャリ
ア８を搬送装置上の荷台１０ａ上に移載し軌道上を走行
する。無人搬送装置１０は、製造装置５のローダー用ス
テーション５ｃの前で停止する。そして、ロボットアー
ム９によりウエハキャリア８を搬送装置１０の荷台１０
ａからローダー用ステーション５ｃの所定の位置にウエ
ハキャリア８を移載する。

【０００４】また、図６に示すように製造装置５と干渉
物１１とが接近している場合、製造装置５を干渉物１１
からデッドスペース１２だけ離してロボットアーム９が
移載場所であるステーション５ｂに届く様に配置する
か、特開平７−４４２３８号のように無人搬送装置をサ
ブ搬送軌道７で回転（スピンターン）させる事により、
ロボットアーム９と荷台１０ａの位置を逆転させてから
搬送を行い移載していた。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】然しながら、上述のよ
うな従来の無人搬送装置では、それぞれ問題点を有して
いる。即ち、第１の問題点は、図６に示すように製造装
置５と干渉物１１との間にデッドスペース１２が発生し
てしまう。その理由は、図７に示す移載姿勢Ａで自動棚
６等からの搬送物を製造装置５のステーション５ｃ、５
ｂに移載しようとすると、ロボットアーム９が干渉物１
１に当ってしまい、移載できない。これを避けるために
は、干渉物１１と製造装置５との間にデッドスペース１
２を設ける必要があった。

【０００６】また、第２の問題は、デッドスペースを設
ける代りに搬送装置を軌道上で回転（スピンターン）さ
せ、図７に示す移載姿勢Ａから図８に示す移載姿勢Ｂに
変更する場合、搬送物の搬送効率が著しく低下すると云
う欠点が存在した。その理由は、搬送軌道７上で無人搬
送装置を回転させると、製造装置５等に干渉するため
に、これを避けるために搬送軌道７から干渉しないサブ
搬送軌道７ｂに移動する必要があった。この移動する為
の動作が増えるために結果として搬送効率が低下する。

【０００７】また、特開昭６３−２３７８８０号公報の
第７図に開示された無人搬送装置は、アームを駆動部１
８によってθ方向に回転するものであるが、アームの回
転軸の位置が変わらないので、前述したように作業領域
内にデッドスペースが生じてしまう。

【０００８】本発明の目的は、上記した従来技術の欠点
を改良しデッドスペースを無くする事のできる無人搬送
装置及び搬送方法を提供するものである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は上記した目的を
達成する為、以下に示す様な基本的な技術構成を採用す
るものである。即ち、本発明に係る第１の態様として
は、搬送物を掴む事のできるロボットアームと、このロ
ボットアームを支える支持台座と、この支持台座を回転
可能に支持する回転スライド機構と、該支持台座と回転
スライド機構を水平に移動可能なスライド機構とを備え
た事を特徴とするものである。

【００１０】

【発明の実施の形態】本発明の無人搬送装置は、上記し
た従来技術に於ける問題点を解決する為、搬送物を掴む
事のできるロボットアームと、このロボットアームを支
える支持台座と、該支持台座を保持したまま水平に移動
可能な搬送装置とを有し、前記支持台座と基端部とを回
転スライド機構を介して接続したので、搬送動作を中止
する事なく、ロボットアームの支持台座を回転させて干
渉物を避ける事が出来る。

【００１１】

【実施例】以下に、本発明に係る無人搬送装置の具体的
構成を図面を用いながら説明する。図１は、本発明の一
実施例を示す無人搬送装置を示す平面図、図４は本発明
の無人搬送装置に使用されるアーム機構の一例を示す説
明図である。ここで、無人搬送装置は、搬送物を掴む事
のできるロボットアーム１２と、このロボットアーム１
２を支える支持台座１３と、該支持台座１３を保持した
まま水平に移動可能な搬送装置１４とを有し、前記支持
台座１３と基端部１４ａとを回転スライド機構１５を介
して接続したものである。

【００１２】ロボットアーム１２は、先端に搬送物を掴
むハンド部１６と、このハンド部１６に接続された第一
の腕１７と、この第一の腕１７と接続された第二の腕１
８を有している。第一の腕１７と第二の腕１８とは、角
度α方向に回動可能に接続されている。また、第二の腕
１８は、支持台座１３に対してθ方向に回動可能に取り
付けられている。更に、第二の腕１８は、図２，３に示
すように支持台座１３の旋回中心Ｙから偏心した位置に
配置されている。

【００１３】また、支持台座１３と搬送装置１４は、回
転スライド機構１５を介して接続されている。したがっ
て、回転スライド機構１５を回転させる事により図２に
示す移載姿勢Ａと、図３に示す移載姿勢Ｂを採る事がで
きる。図２に示す移載姿勢では、第二の腕１８は上端に
有り、下端にウエハキャリア１９が配置されている。ウ
エハキャリア１９は、ハンド部１６で掴んでここに載置
して搬送する。

【００１４】更に、図５に示すようにロボットアームの
支持台座１３と回転スライド機構１５は、スライド機構
２０によって搬送装置１４の基端部１４ａから側方にス
ライド可能である。スライド機構２０は、スライドレー
ル２０ａとボールネジ２０ｂとによって、ロボットアー
ム１２と支持台座１３を側方Ｘに移動する事ができる。

【００１５】また、搬送装置１４は、図１に示すように
搬送軌道７上を地図データを元に走行する。そして、搬
送軌道７に沿って配置されている製造装置５及び自動棚
６の前にはそれぞれステーション５ａ、５ｂ、６ａ、６
ｂが配置されている。無人搬送装置１０は、夫々のステ
ーション５ａ〜６ｂへ荷物を搬送する場合、内蔵したコ
ンピュータでロボットアーム１２の可動範囲と地図デー
タ、干渉物の位置データ、無人搬送装置の停止位置デー
タから移載できるか否か判断する。

【００１６】もし、ロボットアーム１２の可動範囲外の
移載姿勢のとき回転スライド機構１５が回転して、移載
可動な移載姿勢に搬送中、干渉物を避けながらロボット
アーム１２の位置を回転させる。また、ロボットアーム
１２が可動範囲内の移載姿勢の場合は、そのまま移動し
て移動姿勢をとる。

【００１７】次に、以上のように構成された無人搬送装
置の動作について説明する。図１において、製造装置５
からウエハキャリア１９がアンロードされると、無人搬
送装置はステーション５ａの前に停止する。そして、ロ
ボットアーム１２で掴んで無人搬送装置上の荷台１０ａ
に移動する。ウエハキャリア１９を積んだ無人搬送装置
は、搬送軌道７上を自動棚６に向かって出発し、自動棚
６のステーションである６ａと干渉物との関係を内蔵の
コンピュータで判断する。図１に示す場合、そのままの
状態で回転スライド機構１５を操作すると、干渉物に当
接してしまうので、図５に示すようにスライド機構によ
って支持台座１３及び回転スライド機構１５を側方Ｘに
スライドさせてからβ方向に回転する。

【００１８】図１に示す例では、製造装置５のステーシ
ョン５ａにおいて無人搬送装置は、図３に示す移載姿勢
Ｂであるが、自動棚６のステーション６ａの前では、図
２に示す移載姿勢Ａになる。本発明では、移載姿勢をＢ
からＡに変更する動作を無人搬送装置を移動したままで
行う事ができる。したがって、移載姿勢の変更によって
搬送効率が低下する事がない。また、従来のように移載
姿勢の変更の為に無人搬送装置をサブ搬送軌道７ｂに移
動する必要もない。

【００１９】尚、本発明は以上の実施例に限ることなく
本発明の技術思想に基づいて種々の設計変更が可能であ
る。

【００２０】

【発明の効果】第１の効果は、無人搬送装置を作業領域
であるクリーンルーム内に設置した場合に、デッドスペ
ースを生じる事なく有効に利用する事が出来る。その理
由は、無人搬送装置が荷物を搬送中に干渉物を避けなが
ら移載姿勢を搬送先の状態で判断し、回転させる事によ
り作業アームの届かないデッドスペースが生じない。第
２の効果は、無人搬送装置がウエハキャリア等の荷物を
搬送中に干渉物を避けられるようにしたために搬送効率
が低下しない。その理由は、回転スライド機構を二つの
回転部に分割したので軌道変更する事なく荷物の移載姿
勢を変える事ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明の一実施例を示す無人搬送装置
を示す平面図ある。

【図２】図２は、本発明の無人搬送装置の移載姿勢Aを
示す説明図である。

【図３】図３は、本発明の無人搬送装置の移載姿勢Ｂを
示す説明図である。

【図４】図４は、本発明の無人搬送装置に使用されるア
ーム機構の一例を示す説明図である。

【図５】図５は、同無人搬送装置の移載姿勢変換機構の
一例を示す説明図である。

【図６】図６は、従来の無人搬送装置の使用状態を示す
平面図である。

【図７】図７は、従来の無人搬送装置の使用状態を示す
平面図である。

【図８】図８は、従来の無人搬送装置の使用状態を示す
平面図である。

【図９】図９は、従来の無人搬送装置に使用されるアー
ム機構を示す説明図である。

【符号の説明】

５製造装置５ｃローダー用ステーション６自動棚７搬送軌道７ｂサブ搬送軌道８ウエハキャリア９ロボットアーム１０無人搬送装置１０ａ荷台１１干渉物１２ロボットアーム１３支持台座１４搬送装置１４ａ基端部１５回転スライド機構１６ハンド部１７第一の腕１８第二の腕１９ウエハキャリア２０スライド機構２１駆動機構

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】搬送物を掴む事のできるロボットアーム
と、このロボットアームを支える支持台座と、この支持
台座を回転及びスライド可能に支持する回転スライド機
構と、該回転スライド機構を載置して移動する基端部と
を備え、前記回転スライド機構によって前記支持台座を
水平方向に移動すると共に、支持台座を基端部に対して
旋回できる事を特徴とする無人搬送装置。
【請求項２】前記ロボットアームは、前記支持台座の
旋回中心から偏心した位置に配設されたことを特徴とす
る請求項１記載の無人搬送装置。
【請求項３】前記支持台座は、長方形であることを特
徴とする請求項１記載の無人搬送装置。
【請求項４】前記支持台座は、搬送物を載置する荷台
部を有することを特徴とする請求項１記載の無人搬送装
置。
【請求項５】前記ロボットアームは、水平面内で旋回
可能であることを特徴とする請求項１記載の無人搬送装
置。
【請求項６】前記回転スライド機構は、スライド機構
によって搬送装置の進行方向に対して直径角方向に移動
できることを特徴とする請求項１記載の無人搬送装置。
【請求項７】前記回転スライド機構は、搬送装置の移
動中に旋回できることを特徴とする請求項１記載の無人
搬送装置。
【請求項８】ロボットアームを有する無人搬送装置に
よって荷物を引き取り、決められた場所へ搬送し移載す
る方法において、ロボットアームの可動範囲と地図デー
タと干渉物の位置データと無人搬送装置の停止位置デー
タから現在のロボットアームの移載姿勢で荷物の移載が
可能か否かを判断する判断工程と、前記判断工程で移動
可能と判断した場合には、そのまま荷物の移載位置まで
移動し、移載不可能と判断した場合には回転スライド機
構によって移載姿勢を搬送装置の移動中に変更する工程
と備えたことを特徴とする無人搬送装置による搬送方
法。