JP2538589B2

JP2538589B2 - 半導体ウエハ処理装置

Info

Publication number: JP2538589B2
Application number: JP8381787A
Authority: JP
Inventors: 憲昭京都
Original assignee: Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1987-04-07
Filing date: 1987-04-07
Publication date: 1996-09-25
Anticipated expiration: 2011-09-25
Also published as: JPS63250130A

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］本発明は、半導体ウエハの表面処理装置、例えばウエ
ハ表面を洗浄する洗浄装置に関するものである。

［従来の技術］従来の半導体ウエハの洗浄装置は、複数の処理槽と乾
燥装置とを有し、搬送ロボットにより、ウエハを収納し
たキャリアをこの処理槽および乾燥装置に搬送するもの
である。

［従来技術の問題点］従来の洗浄装置によると、搬送ロボットは、ある特定
のサイズのキャリアのみしか搬送することができない。

このため、種々のサイズのキャリアに対しては、搬送
ロボット及び乾燥装置の、部品交換や再調整が必要だっ
た。

この部品交換や再調整には多大な時間を必要とし、ま
た人的誤差が発生し易く、装置のトラブルが発生するこ
とがあった。

［問題を解決するための手段および作用］本発明は、搬送手段のチャック部（キャリア保持部）
に、多種のキャリアを保持搬送できる構造を取り、かつ
乾燥装置は多種のクレードル（キャリア収納部）を設け
る。

そして、キャリア検知手段によりキャリアのサイズを
検知し、キャリアのサイズに合せ、前述のチャック部の
駆動を制御し、かつクレードルを切り替える。

このため、多種のキャリアを効率的に処理槽及び乾燥
装置へ搬送することができ、処理能率が向上する。

また従来、チャック部やクレードルの、部品交換や際
調整の際発生していた、人的誤差による装置のトラブル
がなくなる。

［実施例］本発明の一実施例装置を、図を用いて説明する。

本装置は、半導体ウエハの洗浄装置であり、第１図に
その構成を示す。

本装置の前段には、半導体ウエハが複数収納されたキ
ャリア１をキャリアチャック位置2aへ搬入するローダ
（ベルトコンベア）２が設けられている。そしてこのロ
ーダ２のキャリア移送方向延長線上には、複数の処理槽
３（薬液槽3a、水洗槽3b、キャリア保管槽3c）、乾燥装
置４、および乾燥の済んだウエハを収納したキャリア１
を搬出するアンローダ（ベルトコンベア）５が設けられ
ている。なおチャック位置2aと、アンローダ５前段のア
ンローダチャージ位置5aにはキャリア１のサイズを検出
する、図示しないキャリア識別センサが設けられてい
る。

そしてチャック位置2aから処理槽３へ、矢印Ａ、Ｂで
示すようにガイドスリットに沿ってキャリア１を搬送す
る第１の搬送手段６、および最終処理槽（保管槽）3cか
ら乾燥装置４へキャリア１を搬送する第２の搬送手段
７、および乾燥装置４からアンローダチャージ位置5aへ
矢印Ｅ、Ｆで示すようにキャリア１を搬送する第３の搬
送手段８が設けられている。

次に本洗浄装置の動作について説明する。

半導体ウエハを複数収納したキャリア１がローダ２に
より、キャリアチャック位置2aへ搬入される。このチャ
ック位置2aの図示しないキャリア識別センサ（複数の反
射センサより成る）により、キャリアのサイズの違い
（例えば、直径５インチのウエハ用のキャリアなのか、
直径６インチのウエハ用のキャリアなのかの違い）が識
別され、その識別信号は、図示しない装置コントローラ
へ送られ記憶される。この装置コントローラの指令に従
い、第１の搬送手段６はチャック位置2aにてキャリア１
を保持する。

この搬送手段６を第２図（ａ）、（ｂ）に示す。

この搬送手段は、第２図（ａ）にその側面図に示すよ
うに、キャリアの前面を保持するアーム6a、およびキャ
リアの後面を保持するアーム6bより成る。そして、アー
ム駆動レバー6cを矢印Ｇの方向に回転させることにより
アーム6aは軸6dと共にこの軸を中心に、矢印Ｈの方向に
回転する。一方、アーム6bは、アーム6aと連結されてお
り、このアーム6aの矢印Ｈの方向への回転により、軸6e
と共にこの軸6eを中心に矢印Ｉで示される。アーム6aと
は反対の方向へ回転する。

このアーム6aとアーム6bの対向する方向への回転によ
り、キャリア１は保持される。

このアーム6a、（およびアーム6b）は第２図（ｂ）に
示すように、軸6d（6e）上に、離間して、同一の方向に
伸びるように形成された、２つのキャリア保持部材6fと
この２つを繋ぐ連結部材6gから成る。そして、この保持
部材6fの先端には、５インチウエハ用キャリアを保持す
るための爪（チャック部）6hを有している。更にこの爪
の上方外側には６インチウエハ用キャリアを保持するた
めの爪（チャック部）6iを有している。

尚この爪6h、6h、（6i、6i）は、キャリア１の前面の
２つの上端部、（および後面の２つの上端部）に夫々形
成された突起に係合するものであり、キャリア１の寸法
形状に合せた位置に設けられている。つまり、６インチ
ウエハ用キャリアは、５インチウエハ用キャリアよりサ
イズが大きいため、爪6iは、爪6hより高くかつ外側に形
成されている。従って、キャリアの側面の幅に合せて駆
動レバー6cの回転量を制御するだけで異なるサイズのキ
ャリアを搬送することができる。

このように第１の搬送手段６により保持されたキャリ
ア１は、所定の処理槽３に搬送され、所定の時間洗浄さ
れた後、最終槽（保管槽）3cに保管される。

例えば、薬品槽（NC−２液）3aにて５分、純水槽3bに
て４分、薬品槽（フッ酸液）3aにて１分、最後に純水槽
3bにて４分処理（洗浄）される。尚ウエハによって使用
する処理槽３や処理時間は異なる。

最終槽（保管槽）3cにキャリアが２つ保管されたら、
第２の搬送手段７は、順次キャリア１を乾燥装置４へ搬
送する。

この乾燥装置４の斜視図を第３図に示す。

この乾燥装置は、異なるサイズのキャリアを収納する
キャリア収納部4a,4bをターンテーブル4cの対角線上に
夫々２つずつ有している。

また、ターンテーブル4cの下方にはキャリア収納位置
補正用センサ4dを有している。

このセンサ4dは、キャリア収納部4a、4bを図示しない
キャリア収納位置へ移動させるためのものであり、ター
ンテーブル4cの回転軸に固定された検出用ドグ4eと、こ
のドグ4eに形成してある２つの突出部4fを検出する５イ
ンチウエハ用センサ4g、および６インチウエハ用センサ
4hを有している。

尚、ドグの２つの突出部4fは、夫々のサイズのキャリ
アに対し設けられた夫々２つの収納部に対応して設けら
れたものである。

第２の搬送手段７により５インチウエハ用キャリアが
乾燥装置４のキャリア収納位置へ搬送されてきたら、ド
グの第１の突出部を５インチウエハ用センサ4gにて検出
し、ここに第１の突出部を停止させることにより、５イ
ンチウエハ用キャリア収納部4aはキャリア収納位置へ移
動される。続いて５インチウエハ用キャリアが搬送され
てきたら、ドグの第２の突出部を５インチウエハ用セン
サ4gにて検出し、ここに第２の突出部を停止させること
により、もう１つの５インチウエハ用キャリア収納部4a
は、キャリア収納位置へ移動される。

６インチウエハの場合も同様に、ドグの第１、第２の
突出部を６インチウエハ用センサ4hにて検出し、ここに
第１、第２の突出部を停止させることにより、６インチ
ウエハ用キャリア収納部4bはキャリア収納位置へ移動さ
れる。

続いて、キャリア収納部4aにキャリアが収納されたら
図示しない駆動手段により、矢印Ｊで示される方向にキ
ャリア収納部は90度倒され、ウエハはこの収納部4aに横
倒しに保持される。

同じサイズのキャリアが２つ対角線状に保持された
ら、ターンテーブル4cは、図示しない駆動手段により、
矢印Ｋで示される方向に高速回転され、ウエハは乾燥さ
れる。

乾燥が終了したら、キャリア収納部は、キャリア搬送
位置へ移動され、図示しない駆動手段により90度倒され
収納部開口を上方へ向られる。

そして第３の搬送手段８によりキャリア１は収納部よ
り取り出され、アンローダ５へ搬送される。ここでキャ
リア１のサイズの最終チェックが行なわれた後、キャリ
ア１はアンローダ５にて搬送される。

本発明は、上記一実施例に限定されるものではなく、
例えば、第１第２第３の搬送手段は第図に示すように爪
を連結棒状Ｘにしてもよい。

また、キャリアのサイズも上記２種類に限定されるも
のではない。

また、洗浄装置に限定されるものではない。

［効果］本発明によると、搬送手段や乾燥装置の、部品交換や
再調整無しに、異なるサイズのウエハを収納したキャリ
アを使用することができる。

このため、（１）装置の稼働率が大幅に向上する。

（２）人的誤差がなくなり、安定した処理ができる。

という効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第４図は本発明の一実施例装置を示すもので
あり、第１図は全体の構成を示す正面図、第２図
（ａ）、（ｂ）は搬送手段の正面図及び側面図、第３図
は乾燥手段斜視図、第４図は他の実施例装置の搬送手段
斜視図である。１……キャリア３……処理槽４……乾燥装置 4a、4b……キャリア収納部６……搬送手段 6h、6i……チャック部（爪）

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】被処理用ウエハを複数収納したキャリアの
サイズを検知するキャリア検知部と、前記ウエハを処理
する複数の処理槽と、処理の済んだウエハを乾燥する乾
燥装置と、前記キャリアを前記処理槽及び前記乾燥装置
に搬送する搬送手段とを有し、前記搬送手段は、種々の
サイズのキャリアを保持する複数のチャック部を有し、
かつ前記乾燥装置も、種々のサイズのキャリアを収納す
る複数の異なる大きさのキャリア収納部を有することを
特徴とする半導体ウエハ処理装置。
【請求項２】前記チャック部は、種々のサイズのキャリ
アの高さに対応した異なる位置に設けられ、夫々キャリ
アの上端部に係合する爪であることを特徴とする特許請
求の範囲第１項記載の半導体ウエハ処理装置。
【請求項３】前記乾燥装置は、同じ大きさの収納部が対
向して２つずつ設けられていることを特徴とする特許請
求の範囲第１項記載の半導体ウエハ処理装置。