JPH0647220B2

JPH0647220B2 - ダイシング装置におけるワ−ク搬送方法及び装置

Info

Publication number: JPH0647220B2
Application number: JP12057287A
Authority: JP
Inventors: 富夫君島; 庄三高井
Original assignee: Tokyo Seimitsu Co Ltd
Current assignee: Tokyo Seimitsu Co Ltd
Priority date: 1987-05-18
Filing date: 1987-05-18
Publication date: 1994-06-22
Anticipated expiration: 2009-06-22
Also published as: JPS63288642A

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明はダイシング装置におけるワーク搬送方法及び装
置に係り、特にワーク切断部、ワーク洗浄部等に効率よ
くワークを搬送するダイシング装置におけるワーク搬送
方法及び装置に関する。

〔従来の技術〕

従来のこの種のダイシング装置としては、特開昭６０−
２１４９１１号公報に記載されたものがある。このダイ
シング装置は、ウエハを多数収納したカートリッジから
ウエハが供給され、そのウエハをプリアライメントする
第１の位置、ウエハをカッティングテーブルにロード及
びアンロードする第２の位置、切断されたウエハを洗浄
する第３の位置、及び洗浄されたウエハがアンローディ
ングされる第４の位置を有しており、前記第２の位置で
カッティングテーブルにローディングされたウエハは、
カッティングテーブルごと移動してファインアライント
され、その後ダイヤモンドカッタによって所要の半導体
チップに切断され、又このようにして切断されたウエハ
は第３の位置に搬送され、ここで洗浄される。

そして、前記第１乃至第４の位置は、それぞれ正方形の
各頂点位置となる関係で配置されており、これらの位置
に於けるウエハの搬送は、前記正方形の中心に回転軸を
有し、且つその４つの頂点に延出する十字状の回転アー
ム（十字アーム）によって同時に行うようにしている。

即ち、十字アームの各先端部にはそれぞれウエハチャッ
クが設けられ、この十字アームを９０゜回転させること
により、第１乃至第３の位置上のウエハをそれぞれ次工
程の第２乃至第４の位置に同時に搬送するようにしてい
る。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記従来のダイシング装置におけるウエハ搬送装置は、
上記各位置上のウエハを同時搬送することができるため
搬送効率がよいが、十字アームの各チャック部が常にウ
エハ上にあるため、メンテナンスが行いにくく、その都
度チャック部或いは十字アームを取り外さなければなら
なかった。

本発明はこのような事情に鑑みて成されたもので、上記
従来の十字アームによる搬送効率と変わらず、且つメン
テナンス時にチャック部等が邪魔にならないダイシング
装置におけるワーク搬送方法及び装置を提供することを
目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明は前記目的を達成するために、ワーク供給部から
ワークが供給される第１の位置、ワーク切断部へワーク
を供給するための基準となる第２の位置、及び切断され
たワークを洗浄する第３の位置を有し、ワークを前記第
１の位置から第２の位置、第２の位置から第３の位置、
及び第３の位置から所定のアンロード位置に搬送するダ
イシング装置におけるワーク搬送装置に於いて、前記第
１、第２及び第３の位置を同一円周上の等分割した位置
に配置し、前記円周の中心に回転軸を有すると共にワー
クを着脱する２つのチャック部を有し、該回転軸を一定
角回転させることにより隣接する２つの位置上のワーク
を同時に搬送可能な回転アームを備えたことを特徴とし
ている。

又、前記回転アームによって前記第１及び第２の位置上
のワークをそれぞれ第２及び第３の位置に同時に搬送す
ると共に、ワークの切断時間中に前記第３の位置で洗浄
が完了したワークを該第３の位置から前記所定のアンロ
ード位置に搬送することを特徴としている。

〔作用〕本発明によれば、回転アームのワーク着脱用のチャック
部を２つにしたため、メンテナンスを行う位置にチャッ
ク部等がある場合には、回転アームを回転させることに
よって容易にチャック部等を退避させメンテナンススペ
ースを確保することができる。又、この回転アームは２
つのチャック部を有し、一定角回転することにより前記
第１及び第２の位置上のワークをそれぞれ第２及び第３
の位置に同時に搬送することができ、又第３の位置上で
洗浄が完了したワークは後続のワークの切断中の適時に
搬送される。従って、前記第２の位置からワークがロー
ドアンロードされるワークの切断部ではワーク待ちの時
間がなく、実質的に従来の十字アームと何ら搬送効率は
変わらず、１個のワークの加工に要する時間を同じにす
ることができる。

〔実施例〕

以下添付図面に従って本発明に係るダイシング装置にお
けるワーク搬送方法及び装置の好ましい実施例を詳説す
る。

第１図は本発明が適用されたダイシング装置の斜視図で
あり、第２図はその平面図である。このダイシング装置
は、主としてワーク（ウエハ）Ｗを直交する方向に切断
して最終的に碁盤の目のように切断する切断部１０、切
断されたウエハＷを洗浄する洗浄部２０、加工前のウエ
ハＷを収納するエレベータ３１から加工後のウエハＷを
収納するエレベータ３２まで各工程を経由してウエハＷ
を搬送する搬送装置等から構成されている。

上記搬送装置によるウエハＷの搬送位置としては、第２
図に示すように４つの位置Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４があ
り、これらの位置Ｐ１〜Ｐ４は正方形の各頂点に位置す
る関係で配置されている。尚、位置Ｐ１はウエハＷをプ
リアライメントする位置であり、位置Ｐ２は切断部１０
にウエハＷを搬送するカッティングテーブル１２にウエ
ハＷをロード及びアンロードする位置であり、位置Ｐ３
は洗浄部２０のスピナテーブルにウエハＷをロード及び
アンロードする位置であり、位置Ｐ４は洗浄後のウエハ
Ｗをアンローディングする位置である。

切断部１０は、ブレード１４を備えたスピンドル１６、
ウエハＷ上のパターンを画像認識することによってファ
インアライメントするファインアライメント部１８等か
らなる。この切断部１０のスピンドル１６、ファインア
ライメント部１８は矢印Ａ、Ｂ方向に移動可能であり、
又ウエハＷを搭載したカッティングテーブル１２は矢印
Ｃ、Ｄ方向に移動可能であると共に回転可能である。従
って、ファインアライメント部１８は、画像認識に基づ
いてカッティングテーブル１２を適宜回転させると共
に、切断部１０のスピンドル１６、ファインアライメン
ト部１８を矢印Ａ、Ｂ方向に移動させることによりカッ
ティングテーブル１２上のウエハＷのファインアライメ
ントを行う。このようにしてファインアライメントされ
たウエハＷは、カッティングテーブル１２の移動に伴
い、スピンドル１６によって回転するブレード１４によ
り切断される。そして、上記切断を順次実行することに
よりウエハＷは碁盤の目のように切断される。

洗浄部２０は上記切断されたウエハＷを洗浄するもの
で、まずウエハＷを搭載したスピナテーブルを下降さ
せ、ここでスピナと清浄水により洗浄を行い、洗浄後エ
アブローによって乾燥させ、再びスピナテーブルを上昇
させる。

又、搬送装置は、ベルト搬送部３３、３４と、２つのチ
ャック部３５、３６を有する回転アーム３７による搬送
部から構成されており、ベルト搬送部３３はウエハＷを
エレベータ３１から位置Ｐ１までベルト搬送し、ベルト
搬送部３４はウエハＷを位置Ｐ４からエレベータ３２ま
でベルト搬送する。

次に、本発明に係る回転アーム３７について詳説する。

この回転アーム３７は、前記４つの位置Ｐ１〜Ｐ４の中
心に配設される回転軸３７Ａと、この回転軸３７Ａから
隣接する２つの位置に向かってＶ字状に延出するＶ字状
のアーム部３７Ｂと、このアーム部３７Ｂの各先端部に
配設され、それぞれウエハＷを着脱するチャック部３
５、３６とから構成されている。

チャック部３５、３６は、十字状のフィンガ部３５Ａ、
３６Ａと、これらのフィンガ部３５Ａ、３６Ａの各先端
部に配設されたチャック３５Ｂ、３６Ｂとから成り、チ
ャック部３５Ｂ、３６ＢはエアによりウエハＷを吸着及
び離脱することができる。又、チャック部３５、３６
は、チャック部自体或いは回転軸３７Ａがその軸方向に
移動することにより上下動可能で、ウエハＷの着脱時に
下降する。更に、チャック部３５、３６は回転アーム３
７の回転に同期して回転し、ウエハＷの向きを一定に保
つように構成されている。即ち、チャック部３５、３６
は、ギア等を介して回転アーム３７の回転を利用する機
構或いは、単独のモータ等により、回転アーム３７の回
転速度と同速度で逆方向に回転するようになっている。

次に、上記回転アーム３７を用いたウエハの搬送手順に
ついて説明する。

第３図（Ａ）乃至（Ｊ）はそれぞれウエハの各搬送工程
に於けるダイシング装置の平面図である。いま、初期状
態として、第３図（Ａ）に示すようにウエハＷが位置Ｐ
１にプリアライメントされ、回転アーム３７のチャック
部３５、３６がそれぞれ位置Ｐ１、Ｐ２上にある場合に
ついて考える。

この位置Ｐ１からウエハＷ１を搬送する場合、まず回転
アーム３７のチャック部３５によってウエハＷ１を吸着
し、回転アーム３７を時計回り方向に９０゜回転させる
（第３図（Ｂ））。これにより、ウエハＷ１は位置Ｐ２
に移動し、ここでカッティングテーブル上に搭載され
る。その後このウエハＷ１は、前述したようにカッティ
ングテーブルと共に切断部１０に移動して、ファインア
ライメントされたのち切断される。

一方、回転アーム３７はチャック部３５からウエハＷ１
を離脱させた後、ウエハＷ１の切断中に時計回り方向に
２７０゜回転して第３図（Ａ）と同じ位置に戻り（第３
図（Ｃ））、又エレベータ３１からは次のウエハＷ２が
位置Ｐ１に供給され、ここでプリアライメントされる
（第３図（Ｄ））。

ウエハＷ１の切断が完了してウエハＷ１が位置Ｐ２に戻
されると（第３図（Ｅ））、回転アーム３７はチャック
部３５、３６によってそれぞれウエハＷ２、Ｗ１を吸着
して時計回り方向に９０゜回転する（第３図（Ｆ））。
これにより、ウエハＷ１、Ｗ２はそれぞれ位置Ｐ３、Ｐ
２に同時に移動する。

続いて、回転アーム３７はチャック部３５、３６からウ
エハＷ２、Ｗ１を離脱させた後、時計回り方向に９０゜
回転する（第３図（Ｇ））。そして、ウエハＷ２は切断
部１０で切断が開始され、ウエハＷ１は位置Ｐ３の洗浄
部２０でスピナ洗浄される。

このウエハＷ１の洗浄中に、エレベータ３１からは次の
ウエハＷ３が位置Ｐ１に供給され、ここでプリアライメ
ントされ、又ウエハＷ１の洗浄が完了すると、回転アー
ム３７のチャック部３５は洗浄部２０からウエハＷ１を
受取る（第３図（Ｈ））。そして、回転アーム３７が時
計回り方向に９０゜回転することによりウエハＷ１は位
置Ｐ３から位置Ｐ４に移動し、ここでチャック部３５か
ら離脱してアンローディングされる（第３図（Ｉ））。

ウエハＷ１をアンローディングしたのち、回転アーム３
７は時計回り方向に再び９０゜回転し、ここでウエハＷ
２が切断されて位置Ｐ２に戻されるまで待機する（第３
図（Ｊ））。

その後、この第３図（Ｊ）に示す工程から再び第３図
（Ｅ）に示す工程に戻り、以下上記と同様にして第３図
（Ｅ）から（Ｊ）までの工程を繰り返し実行する。尚、
第３図（Ｇ）に示すようにウエハのスピナ洗浄中に、既
にスピナ洗浄されて位置Ｐ４にアンローディングされた
ウエハはベルト搬送によりエレベータ３２に収納され
る。

又、上記実施例の説明からも明らかなように、回転アー
ム３７は一方向（時計回り方向）のみ回転し、３６０゜
回転することにより１サイクル分のウエハ搬送が行われ
る。更に、位置Ｐ２から位置Ｐ３への切断されたウエハ
の搬送時には回転アーム３７のチャック部３６を使用
し、位置Ｐ３から位置Ｐ４への洗浄されたウエハの搬送
時には回転アーム３７のチャック部３５を使用するよう
にしている。即ち、切断によって汚れたウエハはチャッ
ク部３６のみを使用し、洗浄された清浄なウエハはチャ
ック部３５のみを使用し、このように２つのチャック部
３５、３６を使い分けることによりウエハが再び汚れる
のを防止するようにしている。

尚、回転アームの形状は、本実施のようにＶ字状に限ら
ず、例えば三角形状、Ｔ字状でもよく、要は２つの先端
部にそれぞれチャック部を配設できる形状であればいか
なる形状でもよい。

また、本実施例では、加工前のウエハを収納するエレベ
ータ３１と加工後のウエハを収納するエレベータ３２と
をそれぞれ別々に設けるようにしたが、これに限らず、
いずれか一方のエレベータのみを設け、これに両方を兼
用させるようにしてもよい。例えば、エレベータ３１の
みを設けるようにした場合には、ウエハをプリアライメ
ントする位置Ｐ１に加工後のウエハをアンロードし、こ
の位置Ｐ１にアンロードされたウエハをベルト搬送部３
３での逆転移送によりエレベータ３１に収納し、その後
エレベータ３１内の加工前のウエハをベルト搬送部３３
での正転移送により位置Ｐ１に搬送する。勿論、エレベ
ータ３２のみを設けるようにしてもよく、この場合には
エレベータ３２からベルト搬送部３４での逆転移送によ
って位置Ｐ４に搬送された加工前のウエハを回転アーム
３７によって位置Ｐ１に搬送し、位置Ｐ４に搬送された
加工後のウエハをベルト搬送部３４での正転移送によっ
てエレベータ３２に収納する。更に、上記２つのエレベ
ータを設け、それぞれエレベータ内のウエハの交換中
に、他方のエレベータを動作可能にしてウエハの送出及
び収納を行うようにしてもよい。尚、エレベータからの
ウエハの送出及びエレベータへの収納は、ウエハの切断
中に行われることは言うまでもない。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明に係るダイシング装置におけ
るワーク搬送方法及び装置によれば、回転アームのワー
ク着脱用のチャック部を２つにしたため、回転アームの
下方のメンテナンスを行う場合には、回転アームを適宜
回転させることによりメンテナンススペースを確保する
ことができる。尚、隣接する２つの位置のワークをそれ
ぞれ次段の位置に同時に搬送でき、且つ洗浄済みのワー
クは後続のワークの切断中の適時に搬送するため、ワー
クの切断部ではワーク待ちの時間がなく、実質的に従来
の十字アームと何ら搬送効率は変わらない。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明が適用されたダイシング装置の一実施例
を示す斜視図、第２図は第１図に示したダイシング装置
の平面図、第３図（Ａ）乃至（Ｊ）はそれぞれ本発明に
係る搬送シーケンスを説明するために用いたダイシング
装置の概略平面図である。１０……切断部、２０……洗浄部、３５、３６……チャ
ック部、３７……回転アーム、３７Ａ……回転軸、Ｐ１
〜Ｐ４……位置、Ｗ、Ｗ１〜Ｗ３……ワーク（ウエ
ハ）。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ワーク供給部からワークが供給される第１
の位置、ワーク切断部へワークを供給するための基準と
なる第２の位置、及び切断されたワークを洗浄する第３
の位置を有し、ワークを前記第１の位置から第２の位
置、第２の位置から第３の位置、及び第３の位置から所
定のアンロード位置に搬送するダイシング装置における
ワーク搬送方法に於いて、前記第１、第２及び第３の位置を同一円周上の等分割し
た位置に配置し、前記円周の中心に配設された回転軸と、該回転軸を中心
にして回転すると共に隣接する２つの位置上に対峙可能
な第１、第２のアーム先端部を有するアーム部と、該第
１、第２のアーム先端部に配設されワークを着脱する第
１、第２のチャック部とかなる回転アームであって、前
記回転軸を一定角回転させることにより隣接する２つの
位置上のワークを同時に搬送可能な回転アームを備え、（ａ）前記回転アームの第１、第２のチャック部を使用
して前記第１及び第２の位置上のワークをそれぞれ第２
及び第３の位置に同時に搬送し、（ｂ）ワークの切断時間中に前記回転アームの第１のチ
ャック部を使用して前記第３の位置で洗浄が完了したワ
ークを該第３の位置から前記所定のアンロード位置に搬
送し、前記（ａ）及び（ｂ）の搬送工程を繰り返し実行するこ
とを特徴とするダイシング装置におけるワーク搬送方
法。
【請求項２】前記第１の位置は、ワーク供給部から供給
されたワークをプリアライメントする位置である特許請
求の範囲第(1)項記載のダイシング装置におけるワーク
搬送方法。
【請求項３】前記第２の位置は、ワークをカッティング
テーブルにロード及びアンロードする位置である特許請
求の範囲第(1)項記載のダイシング装置におけるワーク
搬送方法。
【請求項４】ワーク供給部からワークが供給されると共
に該ワークがプリアライメントされる第１の位置、ワー
ク切断部へワークを供給するための基準となる第２の位
置、及び切断されたワークを洗浄する第３の位置を有
し、ワークを前記第１の位置から第２の位置、第２の位
置から第３の位置、及び第３の位置から所定のアンロー
ド位置に搬送するダイシング装置におけるワーク搬送装
置に於いて、前記第１、第２及び第３の位置を同一円周上の等分割し
た位置に配置し、前記円周の中心に配設された回転軸と、該回転軸を中心
にして回転すると共に隣接する２つの位置上に対峙可能
な第１、第２のアーム先端部を有するアーム部と、該第
１、第２のアーム先端部に配設され前記回転軸の軸方向
に移動してワークを着脱する第１、第２のチャック部と
かなる回転アームと、前記回転アームの回転軸の回転角と同角度だけ前記第
１、第２のチャック部をそれぞれ逆方向に回転させるチ
ャック回転機構と、前記回転アームの回転角及び前記第１、第２のチャック
部でのワークの着脱を制御する制御手段とを備え、前記制御手段は、前記回転アームを一定角回転させるこ
とにより前記第１、第２のチャック部を使用して前記第
１及び第２の位置上のワークをそれぞれ第２及び第３の
位置に同時に搬送させ、ワークの切断時間中に前記回転
アームの第１のチャック部を使用して前記第３の位置で
洗浄が完了したワークを前記第３の位置から前記所定の
アンロード位置に搬送させることを特徴とするダイシン
グ装置におけるワーク搬送装置。
【請求項５】前記回転アームのアーム部は、前記回転軸
からＶ字状に延出するＶ字型アームである特許請求の範
囲第(4)項記載のダイシング装置におけるワーク搬送装
置。