JPS60166554A - クリ−ンル−ム用運搬車 - Google Patents
クリ−ンル−ム用運搬車Info
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- JPS60166554A JPS60166554A JP59022439A JP2243984A JPS60166554A JP S60166554 A JPS60166554 A JP S60166554A JP 59022439 A JP59022439 A JP 59022439A JP 2243984 A JP2243984 A JP 2243984A JP S60166554 A JPS60166554 A JP S60166554A
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- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 5
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 7
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 3
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 2
- 241000219094 Vitaceae Species 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 239000002775 capsule Substances 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 239000006071 cream Substances 0.000 description 1
- 235000021021 grapes Nutrition 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Control Of Position, Course, Altitude, Or Attitude Of Moving Bodies (AREA)
- Platform Screen Doors And Railroad Systems (AREA)
- Auxiliary Methods And Devices For Loading And Unloading (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、半導体製造工場や医療用設備等におけるクリ
ーンルーム内での物品運搬を行なうための運搬車に関し
、詳しくは、ルーム内空気の排出用口部を床壁面部ある
いはそれの上方近くに設けたクリーンルール内を走行さ
せるクリーンルーム用達＊ｌ［Ｋ関する。
ーンルーム内での物品運搬を行なうための運搬車に関し
、詳しくは、ルーム内空気の排出用口部を床壁面部ある
いはそれの上方近くに設けたクリーンルール内を走行さ
せるクリーンルーム用達＊ｌ［Ｋ関する。
かかるクリーンルーム用運搬車においては、クリーンル
ーム内の汚染を可及的に抑Ｉ］させる必要上、車体自体
からの微粒子飛散を抑ＩＩＪさせる必要があるが、従来
では、それを回避する手段ヲ悶じていない定め、運搬車
のためにりＩＪ −ンルーム内が汚染される不利があり
、改善の余地があった。
ーム内の汚染を可及的に抑Ｉ］させる必要上、車体自体
からの微粒子飛散を抑ＩＩＪさせる必要があるが、従来
では、それを回避する手段ヲ悶じていない定め、運搬車
のためにりＩＪ −ンルーム内が汚染される不利があり
、改善の余地があった。
さらに詳述すれば、運搬車には、走行用電動モータ等の
走行用駆動装Ｗ１あるいは、荷役用ロボットの駆動装置
等の各種駆動部が装備されることになシ、その結果、駆
動部において発生する摩耗粉等の微粒子が運搬車から飛
散される虞れがある。 もちろん、運搬車においては一
般に、上述の駆動部を覆う車体ケーシングを設けている
のであるが、車軸挿通孔や走行ｔｌｉｌＪ御のための各
種のセンサーに対する露出あるいは挿通の几めの孔等を
ケーシングに形成する点に起因して、車体からの微粒子
飛散を無くすことはできないものであつ友。 そして、
特に、走行１御のコントロールボックスを上記ケーシン
グ内に装備する場合においては、コントロールボックス
冷却用のファンをケーシング内に設ける点に起因して、
上述の微粒子飛散の不都合が顕著となるものであった。
走行用駆動装Ｗ１あるいは、荷役用ロボットの駆動装置
等の各種駆動部が装備されることになシ、その結果、駆
動部において発生する摩耗粉等の微粒子が運搬車から飛
散される虞れがある。 もちろん、運搬車においては一
般に、上述の駆動部を覆う車体ケーシングを設けている
のであるが、車軸挿通孔や走行ｔｌｉｌＪ御のための各
種のセンサーに対する露出あるいは挿通の几めの孔等を
ケーシングに形成する点に起因して、車体からの微粒子
飛散を無くすことはできないものであつ友。 そして、
特に、走行１御のコントロールボックスを上記ケーシン
グ内に装備する場合においては、コントロールボックス
冷却用のファンをケーシング内に設ける点に起因して、
上述の微粒子飛散の不都合が顕著となるものであった。
尚、ダウン７０−型式のクリーンルームにおいては、車
体から飛散きれる微粒子を下方側に流動させながら排出
する機能を有するものであるが、上Ｐ排出を適確に行な
わせるＫは、クリーンルームに対する浄化設備そのもの
を浄化性能の優れ念大掛りな設備に改□造しなければな
らない不利があり、実用できないものであった。
体から飛散きれる微粒子を下方側に流動させながら排出
する機能を有するものであるが、上Ｐ排出を適確に行な
わせるＫは、クリーンルームに対する浄化設備そのもの
を浄化性能の優れ念大掛りな設備に改□造しなければな
らない不利があり、実用できないものであった。
本発明は、上Ｐ実状に鑑みて為されたものであって、そ
の目的は、クリーンルームの本来構成を有効利用した簡
単な改造によって、運搬車に起因するクリーンルーム内
の汚染を抑１１ｒｌＪする点にある。
の目的は、クリーンルームの本来構成を有効利用した簡
単な改造によって、運搬車に起因するクリーンルーム内
の汚染を抑１１ｒｌＪする点にある。
本発明によるクリーンルーム用達搬皿の特徴構成は、前
記運搬車内空気を前記排出用口部に向けて排出する送風
装置を、前記運搬■の底部に設けた点にあり、その作用
効果は次の通りである。
記運搬車内空気を前記排出用口部に向けて排出する送風
装置を、前記運搬■の底部に設けた点にあり、その作用
効果は次の通りである。
すなわち、送風装置によって、運搬車内の空気’ｔｌ−
吸引させながらその空気を排出用口部に向けて排出づせ
ることによって、車体内に発生する摩耗粉等の微粒子を
上４の如く排出される空気と一諸に排出用口部に確実に
排出させて、１体内に発生する微粒子がクリーンルーム
内を汚染することを抑制させるようにしである。
吸引させながらその空気を排出用口部に向けて排出づせ
ることによって、車体内に発生する摩耗粉等の微粒子を
上４の如く排出される空気と一諸に排出用口部に確実に
排出させて、１体内に発生する微粒子がクリーンルーム
内を汚染することを抑制させるようにしである。
従って、クリーンルームにおける床壁面部あるいけそれ
の上方近くに位置する排出用口部を有効利用しながら、
送風装置を運搬車底部に設けるだけの実施製作面におり
て有利な構成で、運搬＊によるクリーンルームの汚染全
抑制できるようになった。
の上方近くに位置する排出用口部を有効利用しながら、
送風装置を運搬車底部に設けるだけの実施製作面におり
て有利な構成で、運搬＊によるクリーンルームの汚染全
抑制できるようになった。
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第１図に示すように、天井部側に設けたフィルタｆｉｌ
？通して浄化空気をルーム内に送風させると共に、床
壁面部（１）をグレーチングにて形成して、ルーム内空
気の排出口部＠を床壁面部（１）に設け、もって、天井
部側から送風する浄化空気を床壁面部＋１１ ｆｆｉ通
して流動させる、いわゆる、ダウン７０−形式のクリー
ンルーム（Ａ）を構成しである。
？通して浄化空気をルーム内に送風させると共に、床
壁面部（１）をグレーチングにて形成して、ルーム内空
気の排出口部＠を床壁面部（１）に設け、もって、天井
部側から送風する浄化空気を床壁面部＋１１ ｆｆｉ通
して流動させる、いわゆる、ダウン７０−形式のクリー
ンルーム（Ａ）を構成しである。
運搬■走行用路面全形成する帯状体（２）の３枚を、前
記床壁面部に設け、何役用ステーション（３）の複数個
を、帯状体（２）の長手方向に間隔を隔てる状態で帯状
体（２）の横側方に設けると共に、荷役用ロボット（４
）を備えた運搬車（Ｂｌを、前記帯状体（２）Ｋ沿って
走行自在に設け、もって、例えば半導体製造工場におい
てクエハ収納カプセル（幻を運搬きせる等、各種の物品
運搬全行なえるようにｔ！ＩＪ、成しである。
記床壁面部に設け、何役用ステーション（３）の複数個
を、帯状体（２）の長手方向に間隔を隔てる状態で帯状
体（２）の横側方に設けると共に、荷役用ロボット（４
）を備えた運搬車（Ｂｌを、前記帯状体（２）Ｋ沿って
走行自在に設け、もって、例えば半導体製造工場におい
てクエハ収納カプセル（幻を運搬きせる等、各種の物品
運搬全行なえるようにｔ！ＩＪ、成しである。
前記荷役用ロボット＋４１’ｔ ａ成するに、物品支持
Ｘ （’ ” ）ｆｔ％基喘基枠側枠体ｂ）に対して出
退駆動自在なアーム（４ｃ）の先端に、縦軸芯周りで駆
動回転自在に収付けると共に、前記基端側枠体（４ｂ）
を、昇降駆動及び旋回駆動自在に運搬車ｆｉｌの上部に
収付けである。
Ｘ （’ ” ）ｆｔ％基喘基枠側枠体ｂ）に対して出
退駆動自在なアーム（４ｃ）の先端に、縦軸芯周りで駆
動回転自在に収付けると共に、前記基端側枠体（４ｂ）
を、昇降駆動及び旋回駆動自在に運搬車ｆｉｌの上部に
収付けである。
前記運搬車（Ｂｌについて詳述すれば、左右一対の推進
車輪（５）を、変速自在な電動モータにて各別に駆動き
せるように設けると共に、前後一対の遊転輪（６）？、
縦軸芯周りで自由回動自在に設けて、左右推進車輪（５
）の回転速度を異ならせることにより操向できるように
構成しである。
車輪（５）を、変速自在な電動モータにて各別に駆動き
せるように設けると共に、前後一対の遊転輪（６）？、
縦軸芯周りで自由回動自在に設けて、左右推進車輪（５
）の回転速度を異ならせることにより操向できるように
構成しである。
そして、走行のための各種駆動装置、荷役用ロボットｆ
４１に対する各種駆動装置、自動走行や荷役用ロボット
（４）の自動運転を行なわせるためのコントロールボッ
クス（７）、及び、それに対する冷却ファン（８）等の
各種機器を覆う夏休ケーシング（９）ヲ設けると共に、
夏休ケーシング（９）の上々に、スリット状等の通気孔
（１０ａ）、（１０ｂ）を多数形成すると共に、運搬車
内空！Ａを排出用口部に向けて排出する送風装置として
の電ｖＪファン（川の複数個ｔ、運搬車（Ｂｌの底部に
設け、もって、運搬車ＣＢ＋内において発生する摩耗粉
等の微粒子がクリーンルーム内に飛散することを抑制さ
せるようにしである。
４１に対する各種駆動装置、自動走行や荷役用ロボット
（４）の自動運転を行なわせるためのコントロールボッ
クス（７）、及び、それに対する冷却ファン（８）等の
各種機器を覆う夏休ケーシング（９）ヲ設けると共に、
夏休ケーシング（９）の上々に、スリット状等の通気孔
（１０ａ）、（１０ｂ）を多数形成すると共に、運搬車
内空！Ａを排出用口部に向けて排出する送風装置として
の電ｖＪファン（川の複数個ｔ、運搬車（Ｂｌの底部に
設け、もって、運搬車ＣＢ＋内において発生する摩耗粉
等の微粒子がクリーンルーム内に飛散することを抑制さ
せるようにしである。
前記運搬ＩＩ ＣＢ＋を自動走行させるＩＪ御構成につ
いて説明すれば、縦長スリット状のレーデ−光線（Ｋｌ
を運搬車走行径路に沿って投射するレーザ−発生装置α
匂を、運＊、ｍ走行径路の端部に設けると共に、７オト
ダイオード等のレーザー光線受光米子の複数個を車体横
巾方向に並べた追従用センサー（１３）を、レーデ−発
生装置α匂に対向するゲージング壁面部に設け、そして
、前記追従用センサー０３）における受光素子のうちの
中央側のものが受光する状態を維持するように、左右推
進■輪１１ 、 ｆ５ｉの回転速度を自制変速させて、
運搬車（Ｂｌ １に走行径路に沿って自動走行させるよ
うに構成しである。
いて説明すれば、縦長スリット状のレーデ−光線（Ｋｌ
を運搬車走行径路に沿って投射するレーザ−発生装置α
匂を、運＊、ｍ走行径路の端部に設けると共に、７オト
ダイオード等のレーザー光線受光米子の複数個を車体横
巾方向に並べた追従用センサー（１３）を、レーデ−発
生装置α匂に対向するゲージング壁面部に設け、そして
、前記追従用センサー０３）における受光素子のうちの
中央側のものが受光する状態を維持するように、左右推
進■輪１１ 、 ｆ５ｉの回転速度を自制変速させて、
運搬車（Ｂｌ １に走行径路に沿って自動走行させるよ
うに構成しである。
但し、例示けしないが、行先データ等の各種情報を出力
するコントローラを固定設置し、運搬車（Ｂｌの停止位
置を表示するマークを走行路面に設けると共に、前記コ
ントローラからの情報を前記コン）ロールボックス（７
）に伝達する受信器、及び、運搬車停止位置を前記コン
トロールボックス（７）に伝達するマーク読取用センサ
ーの夫々を、甫体側に設けて、運搬＊ ｔＢｌを荷役の
ために所望のステーションで停止すること、及び、荷役
後の運搬Ｊ［（Ｂｌ ｉ次のステーション側に向けて発
進することを、コントローラの情報に基づいて自動的に
行なわせるようにしである。
するコントローラを固定設置し、運搬車（Ｂｌの停止位
置を表示するマークを走行路面に設けると共に、前記コ
ントローラからの情報を前記コン）ロールボックス（７
）に伝達する受信器、及び、運搬車停止位置を前記コン
トロールボックス（７）に伝達するマーク読取用センサ
ーの夫々を、甫体側に設けて、運搬＊ ｔＢｌを荷役の
ために所望のステーションで停止すること、及び、荷役
後の運搬Ｊ［（Ｂｌ ｉ次のステーション側に向けて発
進することを、コントローラの情報に基づいて自動的に
行なわせるようにしである。
ステーション側に突出移噌自在か杆状部材Ｈの３本を、
皿体前後方向に並べる状態で、且つ、１体ゲージング（
９）全貫通させる状態で設けると共に、ステーション（
３）の運搬甫側壁面部に、杆状部材（１４）が接触作用
する基準面形成用部材θｆｉ）を設け、そして、前記杆
状部材０４）の夫々を各別に突出操作する電磁ソレノイ
ド等の駆動装置α６）を設けると共に、前記杆状部材（
１４１の突出量？各別に検出するポテンショメータａ′
７）ヲ、ラックピニオン式伝動機構により杆状部材（１
葡に連動連結させる状態で設け、もって、運搬車（Ｂｌ
ｋステーション脇に停止させ念状態において突出作動
させる杆状部材θ萄の突出量の検出情報に基づいて、ス
テーション（３）に対する運搬車（Ｂｌの前後位置、横
間隔、及び、水平面内での傾斜角度夫々を前記コントロ
ールボックス（７）によって演算判別させるように構成
しである。 そして、その演算’ｌ’ｌＪ別結果に基づ
いて、予め記憶させ几荷役用ロボット作動情報を自ｗＪ
修正させて、運＊ １ｍ （Ｂｌのステーション（３）
に対する停止状態の変動に拘らず、適正通りの荷役作業
全行なわせるように構成しである。
皿体前後方向に並べる状態で、且つ、１体ゲージング（
９）全貫通させる状態で設けると共に、ステーション（
３）の運搬甫側壁面部に、杆状部材（１４）が接触作用
する基準面形成用部材θｆｉ）を設け、そして、前記杆
状部材０４）の夫々を各別に突出操作する電磁ソレノイ
ド等の駆動装置α６）を設けると共に、前記杆状部材（
１４１の突出量？各別に検出するポテンショメータａ′
７）ヲ、ラックピニオン式伝動機構により杆状部材（１
葡に連動連結させる状態で設け、もって、運搬車（Ｂｌ
ｋステーション脇に停止させ念状態において突出作動
させる杆状部材θ萄の突出量の検出情報に基づいて、ス
テーション（３）に対する運搬車（Ｂｌの前後位置、横
間隔、及び、水平面内での傾斜角度夫々を前記コントロ
ールボックス（７）によって演算判別させるように構成
しである。 そして、その演算’ｌ’ｌＪ別結果に基づ
いて、予め記憶させ几荷役用ロボット作動情報を自ｗＪ
修正させて、運＊ １ｍ （Ｂｌのステーション（３）
に対する停止状態の変動に拘らず、適正通りの荷役作業
全行なわせるように構成しである。
前記運搬車（Ｂｌの横外側部を囲む状態で空気を下方に
排出する管状体（国を設けると共に、クリーンルーム国
内の空気を前記管状体（国に供給するプロワ（１→を、
車体ゲージング（９）内に設け、もって、推進■輪（５
）及び遊転輪（６）の装着部をエアカーテンによって覆
って、走行に伴い発生する微粒子がクリームルーム（Ａ
ｌ内に飛散すること全抑制させるように構成しである。
排出する管状体（国を設けると共に、クリーンルーム国
内の空気を前記管状体（国に供給するプロワ（１→を、
車体ゲージング（９）内に設け、もって、推進■輪（５
）及び遊転輪（６）の装着部をエアカーテンによって覆
って、走行に伴い発生する微粒子がクリームルーム（Ａ
ｌ内に飛散すること全抑制させるように構成しである。
但し、図中（２０）は、プロワ０９）に連■続させた
吸引用ダクトである。
吸引用ダクトである。
次に、別の実施例？説明する。
床壁面上に通気孔付管状体を設けて、ルーム内空気の排
出用口部＠を床壁面部［１）の上方に設けるようにする
等、排出用口部（６）の具体構成は各種変更できる。
出用口部＠を床壁面部［１）の上方に設けるようにする
等、排出用口部（６）の具体構成は各種変更できる。
運搬］ｉ！ （Ｂｌを構成するに、走行用駆動構成は各
種変更でき、そして、運搬＊ （Ｂｌ ｗ自助走行制御
する具体構成も各種変更できる。
種変更でき、そして、運搬＊ （Ｂｌ ｗ自助走行制御
する具体構成も各種変更できる。
又、本発明の運搬’ｉｆ、 （Ｂｌは、車体そのものに
物品収納部（Ｃ１ｋ （ｆａ＋える形式の他、物品収納
用古里部分を牽引する１し式のもの等、各種形式のもの
を対象とするものである。
物品収納部（Ｃ１ｋ （ｆａ＋える形式の他、物品収納
用古里部分を牽引する１し式のもの等、各種形式のもの
を対象とするものである。
図面は本発明に係るクリーンルーム用運搬車の実施の態
様？例示し、第１図はクリーンルーム内全走行する運搬
車の側面図、第２図はステーション脇に停止させた運搬
車の一部切欠正面図、第８図は運搬車の一部切欠側面図
、第４図はステーションに対する運搬亘停止状態を検出
するための構成を示す概略平面図である。 （１）・・・・・・床壁面部、ｔｏ）・・・・・・送風
装誼、（４）・・・・・・クリーンルーム、（Ｂ）・・
・・・・運搬車、（６）・・・・・・排出用口部。 代理人 弁理士 北 村 修
様？例示し、第１図はクリーンルーム内全走行する運搬
車の側面図、第２図はステーション脇に停止させた運搬
車の一部切欠正面図、第８図は運搬車の一部切欠側面図
、第４図はステーションに対する運搬亘停止状態を検出
するための構成を示す概略平面図である。 （１）・・・・・・床壁面部、ｔｏ）・・・・・・送風
装誼、（４）・・・・・・クリーンルーム、（Ｂ）・・
・・・・運搬車、（６）・・・・・・排出用口部。 代理人 弁理士 北 村 修
Claims (1)
- ルーム内空気の排出用口部＠を床壁面部（１）あるいけ
それの上方近くに設けたクリーンルーム国内を走行させ
るクリーンルーム用運搬車であって、前記運搬Ｊｉ ｆ
Ｂｌ内空気を前記排出用口部（６）に向けて排出する送
風装置＋１１）１ｋＳ前記運搬車（Ｂｌの底部に設けで
あるクリーンルーム用運搬車。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59022439A JPS60166554A (ja) | 1984-02-07 | 1984-02-07 | クリ−ンル−ム用運搬車 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59022439A JPS60166554A (ja) | 1984-02-07 | 1984-02-07 | クリ−ンル−ム用運搬車 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60166554A true JPS60166554A (ja) | 1985-08-29 |
| JPH0366186B2 JPH0366186B2 (ja) | 1991-10-16 |
Family
ID=12082731
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59022439A Granted JPS60166554A (ja) | 1984-02-07 | 1984-02-07 | クリ−ンル−ム用運搬車 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60166554A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01123213U (ja) * | 1988-02-12 | 1989-08-22 | ||
| JP2000203421A (ja) * | 1999-01-14 | 2000-07-25 | Nec Yamagata Ltd | 無人搬送装置及び搬送方法 |
| JP2009147163A (ja) * | 2007-12-14 | 2009-07-02 | Hitachi Plant Technologies Ltd | 搬送台車 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56110117U (ja) * | 1980-01-18 | 1981-08-26 |
-
1984
- 1984-02-07 JP JP59022439A patent/JPS60166554A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56110117U (ja) * | 1980-01-18 | 1981-08-26 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01123213U (ja) * | 1988-02-12 | 1989-08-22 | ||
| JP2000203421A (ja) * | 1999-01-14 | 2000-07-25 | Nec Yamagata Ltd | 無人搬送装置及び搬送方法 |
| JP2009147163A (ja) * | 2007-12-14 | 2009-07-02 | Hitachi Plant Technologies Ltd | 搬送台車 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0366186B2 (ja) | 1991-10-16 |
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