JPH0697262A - 半導体ウエハ搬送装置 - Google Patents
半導体ウエハ搬送装置Info
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- JPH0697262A JPH0697262A JP4267890A JP26789092A JPH0697262A JP H0697262 A JPH0697262 A JP H0697262A JP 4267890 A JP4267890 A JP 4267890A JP 26789092 A JP26789092 A JP 26789092A JP H0697262 A JPH0697262 A JP H0697262A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 半導体ウエハをウエハカセットに収納した状
態で、またはウエハカセットから抜き出して、外部装置
に対して自動投入または払出しを実現可能にする。 【構成】 半導体ウエハ２を収納するウエハカセット３
を載置するカセットステージ１２を台車１３上に設け、
カセットハンド１５およびロボット１４を、上記台車１
３上に設ける。また、上記カセットハンド１５により台
車１３上のカセットステージ１２へ移載したウエハカセ
ット３を一方のウエハ処理装置２０へ搬送するととも
に、ウエハハンド１６により上記カセットステージ１２
上の半導体ウエハ２を把持して他のウエハ処理装置１７
ａ，１７ｂへ搬送する。
態で、またはウエハカセットから抜き出して、外部装置
に対して自動投入または払出しを実現可能にする。 【構成】 半導体ウエハ２を収納するウエハカセット３
を載置するカセットステージ１２を台車１３上に設け、
カセットハンド１５およびロボット１４を、上記台車１
３上に設ける。また、上記カセットハンド１５により台
車１３上のカセットステージ１２へ移載したウエハカセ
ット３を一方のウエハ処理装置２０へ搬送するととも
に、ウエハハンド１６により上記カセットステージ１２
上の半導体ウエハ２を把持して他のウエハ処理装置１７
ａ，１７ｂへ搬送する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、半導体ウエハをウエ
ハ処理装置に対し自動投入および払出しする半導体ウエ
ハ搬送装置に関するものである。
ハ処理装置に対し自動投入および払出しする半導体ウエ
ハ搬送装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図８は従来の半導体ウエハ搬送装置を示
す平面図であり、図において、２０ａ，２０ｂはウエハ
処理装置で半導体ウエハ２を収納したウエハカセット３
を載置するためのカセットローダ２１，カセットアンロ
ーダ２２を有する。５ａ，５ｂはウエハカセット３を載
置するカセット置き台である。
す平面図であり、図において、２０ａ，２０ｂはウエハ
処理装置で半導体ウエハ２を収納したウエハカセット３
を載置するためのカセットローダ２１，カセットアンロ
ーダ２２を有する。５ａ，５ｂはウエハカセット３を載
置するカセット置き台である。
【０００３】また、６はカセット置き台５ａとカセット
置き台５ｂとの間でウエハカセット３を搬送するウエハ
カセット搬送装置、７はカセット置き台５ａ，５ｂおよ
びウエハ処理装置２０ａ，２０ｂの間でウエハカセット
３を搬送するロボット、８はウエハカセット３に収納さ
れた半導体ウエハ２の全部もしくは一部を、空カセット
ストッカ９に保管されている空のウエハカセット３に移
し替えるウエハ移し替え装置である。
置き台５ｂとの間でウエハカセット３を搬送するウエハ
カセット搬送装置、７はカセット置き台５ａ，５ｂおよ
びウエハ処理装置２０ａ，２０ｂの間でウエハカセット
３を搬送するロボット、８はウエハカセット３に収納さ
れた半導体ウエハ２の全部もしくは一部を、空カセット
ストッカ９に保管されている空のウエハカセット３に移
し替えるウエハ移し替え装置である。
【０００４】次に動作について説明する。まず、図９は
上記ウエハカセット３のウエハ処理装置２０ａへの投入
までのフローを示す。ここでは、ウエハカセット搬送装
置６によりカセット置き台５に投入されたウエハカセッ
ト３がロボット７によりウエハ処理装置２０ａのカセッ
トローダ２１まで搬送される。
上記ウエハカセット３のウエハ処理装置２０ａへの投入
までのフローを示す。ここでは、ウエハカセット搬送装
置６によりカセット置き台５に投入されたウエハカセッ
ト３がロボット７によりウエハ処理装置２０ａのカセッ
トローダ２１まで搬送される。
【０００５】また、ウエハカセット３をカセット搬送装
置６によりカセット置き台５から取り出すには、図１０
に示すように、ロボット７によりウエハカセット３をウ
エハ処理装置２０ａのカセットアンローダ２２からカセ
ット置き台５ａまで搬送した後、ウエハカセット搬送装
置６によりそのウエハカセット３をカセット置き台５ａ
から取り出し、次のカセット置き台５ｂまで搬送する。
置６によりカセット置き台５から取り出すには、図１０
に示すように、ロボット７によりウエハカセット３をウ
エハ処理装置２０ａのカセットアンローダ２２からカセ
ット置き台５ａまで搬送した後、ウエハカセット搬送装
置６によりそのウエハカセット３をカセット置き台５ａ
から取り出し、次のカセット置き台５ｂまで搬送する。
【０００６】さらに、カセット置き台５ａに投入された
ウエハカセット３内の半導体ウエハ２の１部を、他と違
う装置に投入する場合は、図１１に示すように投入され
たウエハカセット３中の一部を、ウエハ移し替え装置８
により空カセットストッカ９から取り出された空のウエ
ハカセット３に移し替え、そのウエハカセット３をウエ
ハ処理装置２０ａへ、もう一方をウエハ処理装置２０ｂ
へ、それぞれロボット７により投入する。
ウエハカセット３内の半導体ウエハ２の１部を、他と違
う装置に投入する場合は、図１１に示すように投入され
たウエハカセット３中の一部を、ウエハ移し替え装置８
により空カセットストッカ９から取り出された空のウエ
ハカセット３に移し替え、そのウエハカセット３をウエ
ハ処理装置２０ａへ、もう一方をウエハ処理装置２０ｂ
へ、それぞれロボット７により投入する。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】従来の半導体ウエハ搬
送装置は以上の様に構成されているので、ウエハ処理装
置２０ａ，２０ｂへの半導体ウエハ２の投入は、ウエハ
カセット３に収納された状態で行われ、従って、１つの
ウエハカセット３の中に収納された複数枚の半導体ウエ
ハ２に対し個々に投入されるべきウエハ処理装置２０
ａ，２０ｂが異なる場合には、各々別のウエハカセット
３に移し替える必要があり、従って、ウエハカセット３
の数の増大にともない、保管場所やウエハカセット搬送
装置６の台数の増大及びウエハ移し替え装置８が必要と
なり、システムの設置スペース及び投資金額が大きくな
るなどの問題点があった。
送装置は以上の様に構成されているので、ウエハ処理装
置２０ａ，２０ｂへの半導体ウエハ２の投入は、ウエハ
カセット３に収納された状態で行われ、従って、１つの
ウエハカセット３の中に収納された複数枚の半導体ウエ
ハ２に対し個々に投入されるべきウエハ処理装置２０
ａ，２０ｂが異なる場合には、各々別のウエハカセット
３に移し替える必要があり、従って、ウエハカセット３
の数の増大にともない、保管場所やウエハカセット搬送
装置６の台数の増大及びウエハ移し替え装置８が必要と
なり、システムの設置スペース及び投資金額が大きくな
るなどの問題点があった。
【０００８】請求項１の発明は上記のような問題点を解
消するためになされたもので、自動走行によって、半導
体ウエハをウエハカセットに収納した状態で、あるいは
ウエハカセットから取り出した状態で、外部装置に対し
自動投入や払出しができる半導体ウエハ搬送装置を得る
ことを目的とする。
消するためになされたもので、自動走行によって、半導
体ウエハをウエハカセットに収納した状態で、あるいは
ウエハカセットから取り出した状態で、外部装置に対し
自動投入や払出しができる半導体ウエハ搬送装置を得る
ことを目的とする。
【０００９】請求項２の発明はロボットにより半導体ウ
エハを収納したままのウエハカセットあるいはこのウエ
ハカセット内の半導体ウエハを抜き出して、カセット置
き台からそれぞれ所定のウエハ処理装置に搬送したり、
逆に払出したりすることができる半導体ウエハ搬送装置
を得ることを目的とする。
エハを収納したままのウエハカセットあるいはこのウエ
ハカセット内の半導体ウエハを抜き出して、カセット置
き台からそれぞれ所定のウエハ処理装置に搬送したり、
逆に払出したりすることができる半導体ウエハ搬送装置
を得ることを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明に係る半
導体ウエハ搬送装置は、半導体ウエハを収納するウエハ
カセットを載置するカセットステージを台車上に設け、
上記ウエハカセットを把持するカセットハンドおよび上
記ウエハカセット内の半導体ウエハを把持するウエハハ
ンドを有するロボットを、上記台車上に設けたものであ
る
導体ウエハ搬送装置は、半導体ウエハを収納するウエハ
カセットを載置するカセットステージを台車上に設け、
上記ウエハカセットを把持するカセットハンドおよび上
記ウエハカセット内の半導体ウエハを把持するウエハハ
ンドを有するロボットを、上記台車上に設けたものであ
る
【００１１】請求項２の発明に係る半導体ウエハ搬送装
置は、台車上のロボットに設けられたカセットハンドに
より、台車上のカセットステージへカセット置き台上の
ウエハカセットを移載するとともに、該移載したウエハ
カセットを半導体ウエハを収納したまま把持して一方の
ウエハ処理装置へ搬送し、一方、ウエハハンドにより上
記カセットステージ上におけるウエハカセット内の半導
体ウエハを把持して他のウエハ処理装置へ搬送するよう
にしたものである。
置は、台車上のロボットに設けられたカセットハンドに
より、台車上のカセットステージへカセット置き台上の
ウエハカセットを移載するとともに、該移載したウエハ
カセットを半導体ウエハを収納したまま把持して一方の
ウエハ処理装置へ搬送し、一方、ウエハハンドにより上
記カセットステージ上におけるウエハカセット内の半導
体ウエハを把持して他のウエハ処理装置へ搬送するよう
にしたものである。
【００１２】
【作用】請求項１の発明におけるロボットは、カセット
ハンドによって台車のカセットステージ上のウエハカセ
ットを把持して、これを外部装置へ搬送し、また、ウエ
ハハンドによってカセットステージ上のウエハカセット
の中から半導体ウエハを取り出して、これを外部装置へ
搬送する。
ハンドによって台車のカセットステージ上のウエハカセ
ットを把持して、これを外部装置へ搬送し、また、ウエ
ハハンドによってカセットステージ上のウエハカセット
の中から半導体ウエハを取り出して、これを外部装置へ
搬送する。
【００１３】請求項２の発明におけるロボットは、台車
のカセットステージ上へ、カセット置き台上のウエハカ
セットをカセットハンドによって移載し、このカセット
ステージ上のウエハカセットまたはこのウエハカセット
内の半導体ウエハを、上記カセットハンドおよびウエハ
ハンドによって把持しながら各一つのウエハ処理装置へ
搬送する。
のカセットステージ上へ、カセット置き台上のウエハカ
セットをカセットハンドによって移載し、このカセット
ステージ上のウエハカセットまたはこのウエハカセット
内の半導体ウエハを、上記カセットハンドおよびウエハ
ハンドによって把持しながら各一つのウエハ処理装置へ
搬送する。
【００１４】
【実施例】実施例１．以下、この発明の一実施例を図に
ついて説明する。図１において、１０はロボット付無人
搬送車であり、これが上位計算機との通信を行う通信ユ
ニット１１と、複数個のウエハカセット３を載置可能な
カセットステージ１２を有した自動走行が可能な台車１
３と、その台車１３上に設置された旋回可能で垂直多関
節のロボット１４と、このロボット１４の先端に設けら
れたウエハカセット３把持用のカセットハンド１５およ
び半導体ウエハ２把持用のウエハハンド１６とを有す
る。
ついて説明する。図１において、１０はロボット付無人
搬送車であり、これが上位計算機との通信を行う通信ユ
ニット１１と、複数個のウエハカセット３を載置可能な
カセットステージ１２を有した自動走行が可能な台車１
３と、その台車１３上に設置された旋回可能で垂直多関
節のロボット１４と、このロボット１４の先端に設けら
れたウエハカセット３把持用のカセットハンド１５およ
び半導体ウエハ２把持用のウエハハンド１６とを有す
る。
【００１５】次に動作を説明する。まず、図２におい
て、台車１３上のロボット１４の先端に設けられたカセ
ットハンド１５は、ウエハカセット３をカセット置き台
５上からカセットステージ１２上へ矢印Ａ方向に搬送し
たり、カセットステージ１２上からカセット置き台５上
へ矢印Ｂ方向に搬送する。
て、台車１３上のロボット１４の先端に設けられたカセ
ットハンド１５は、ウエハカセット３をカセット置き台
５上からカセットステージ１２上へ矢印Ａ方向に搬送し
たり、カセットステージ１２上からカセット置き台５上
へ矢印Ｂ方向に搬送する。
【００１６】また、図３において、ロボット１４の先端
に設けられたウエハハンド１６は、カセットステージ１
２上のウエハカセット３内から半導体ウエハ２を抜き取
り、処理装置１７のウエハローダ１８上へ矢印Ｃ方向に
搬送したり、処理装置１７のウエハアンローダ１９上の
半導体ウエハ２をカセットステージ１２上のウエハカセ
ット３内へ矢印Ｄ方向に搬送する。
に設けられたウエハハンド１６は、カセットステージ１
２上のウエハカセット３内から半導体ウエハ２を抜き取
り、処理装置１７のウエハローダ１８上へ矢印Ｃ方向に
搬送したり、処理装置１７のウエハアンローダ１９上の
半導体ウエハ２をカセットステージ１２上のウエハカセ
ット３内へ矢印Ｄ方向に搬送する。
【００１７】さらに、図４において、台車１３上のロボ
ット１４の先端に設けられたカセットハンド１５は、カ
セットステージ１２上のウエハカセット３を、処理装置
２０のカセットローダ２１へ矢印Ｅ方向に搬送したり、
処理装置２０のカセットアンローダ２２上のウエハカセ
ット３をカセットステージ１２へ矢印Ｆ方向に搬送す
る。
ット１４の先端に設けられたカセットハンド１５は、カ
セットステージ１２上のウエハカセット３を、処理装置
２０のカセットローダ２１へ矢印Ｅ方向に搬送したり、
処理装置２０のカセットアンローダ２２上のウエハカセ
ット３をカセットステージ１２へ矢印Ｆ方向に搬送す
る。
【００１８】実施例２．図５は図１に示した半導体ウエ
ハ搬送装置としてのロボット付無人搬送車１０により、
３つのウエハ処理装置２０，１７ａ，１７ｂへ半導体ウ
エハ２やウエハカセット３を搬送する場合について説明
する。同図において、１８ａ，１８ｂはウエハ処理装置
１７ａ，１７ｂ上のウエハローダ、１９ａ，１９ｂはウ
エハ処理装置１７ａ，１７ｂ上のウエハアンローダ、２
１，２２はウエハ処理装置２０上のカセットローダおよ
びカセットアンローダである。
ハ搬送装置としてのロボット付無人搬送車１０により、
３つのウエハ処理装置２０，１７ａ，１７ｂへ半導体ウ
エハ２やウエハカセット３を搬送する場合について説明
する。同図において、１８ａ，１８ｂはウエハ処理装置
１７ａ，１７ｂ上のウエハローダ、１９ａ，１９ｂはウ
エハ処理装置１７ａ，１７ｂ上のウエハアンローダ、２
１，２２はウエハ処理装置２０上のカセットローダおよ
びカセットアンローダである。
【００１９】また、５はカセット置き台であり、ウエハ
カセット搬送装置６上のウエハカセット３をロボット付
無人搬送車１０上に移し替える作業において、このロボ
ット付無人搬送車１０が別の作業を行っている場合に
は、ウエハカセット搬送装置６が動作を待つことなく、
ウエハカセット３を一旦カセット置き台５上に載せてお
き、ロボット付無人搬送車１０は直接このカセット置き
台５にアクセスしてウエハカセット３を受けとれるよう
にし、この間、ウエハカセット搬送装置６は所期の動作
を続行できるようにしている。
カセット搬送装置６上のウエハカセット３をロボット付
無人搬送車１０上に移し替える作業において、このロボ
ット付無人搬送車１０が別の作業を行っている場合に
は、ウエハカセット搬送装置６が動作を待つことなく、
ウエハカセット３を一旦カセット置き台５上に載せてお
き、ロボット付無人搬送車１０は直接このカセット置き
台５にアクセスしてウエハカセット３を受けとれるよう
にし、この間、ウエハカセット搬送装置６は所期の動作
を続行できるようにしている。
【００２０】さらに、各ウエハ処理装置１７ａ，１７ｂ
および２０はそれぞれ外部からウエハローダ１８ａ，１
８ｂおよびカセットローダ２１に投入されたウエハを内
部で処理した後、図３，図４に一点鎖線の矢印で示すよ
うに、ウエハアンローダ１９ａ，１９ｂおよびカセット
アンローダ２２に取り出される。
および２０はそれぞれ外部からウエハローダ１８ａ，１
８ｂおよびカセットローダ２１に投入されたウエハを内
部で処理した後、図３，図４に一点鎖線の矢印で示すよ
うに、ウエハアンローダ１９ａ，１９ｂおよびカセット
アンローダ２２に取り出される。
【００２１】次に動作について説明する。いま、図６に
示すように、ウエハカセット搬送装置６により、ウエハ
カセット３をカセット置き台５へ矢印Ｇ方向に搬入する
と、このウエハカセット３を、さらにロボット付無人搬
送車１０がそのステージ１２上へ矢印Ｈ方向に搬送した
後、そのウエハカセット３内に収納された半導体ウエハ
２ａを、ウエハ処理装置１７ａのウエハローダ１８ａへ
矢印Ｉ方向に搬送する。
示すように、ウエハカセット搬送装置６により、ウエハ
カセット３をカセット置き台５へ矢印Ｇ方向に搬入する
と、このウエハカセット３を、さらにロボット付無人搬
送車１０がそのステージ１２上へ矢印Ｈ方向に搬送した
後、そのウエハカセット３内に収納された半導体ウエハ
２ａを、ウエハ処理装置１７ａのウエハローダ１８ａへ
矢印Ｉ方向に搬送する。
【００２２】次に、ウエハカセット３内に収納された半
導体ウエハ２ｂをウエハ処理装置１７ｂのウエハローダ
１８ｂへ矢印Ｊ方向に搬送し、最後に残りの半導体ウエ
ハをウエハカセット３に収納したままの状態でウエハ処
理装置２０のカセットローダ２１まで矢印Ｋ方向に搬送
する。なお、ここではウエハ処理装置２０，１７ａ，１
７ｂへの半導体ウエハ２ａ，２ｂの搬送を示したが、ウ
エハ処理装置２０，１７ａ，１７ｂからの半導体ウエハ
２ａ，２ｂの搬送は、上記動作説明とは逆のフローで行
われる。
導体ウエハ２ｂをウエハ処理装置１７ｂのウエハローダ
１８ｂへ矢印Ｊ方向に搬送し、最後に残りの半導体ウエ
ハをウエハカセット３に収納したままの状態でウエハ処
理装置２０のカセットローダ２１まで矢印Ｋ方向に搬送
する。なお、ここではウエハ処理装置２０，１７ａ，１
７ｂへの半導体ウエハ２ａ，２ｂの搬送を示したが、ウ
エハ処理装置２０，１７ａ，１７ｂからの半導体ウエハ
２ａ，２ｂの搬送は、上記動作説明とは逆のフローで行
われる。
【００２３】また、図７に示すように、ウエハカセット
搬送装置６により、２個のウエハカセット３ａ，３ｂを
カセット置き台５へ矢印Ｌ方向，Ｍ方向に搬入し、こう
して搬入されたこれら２個のウエハカセット３ａ，３ｂ
をロボット付無人搬送車１０が、そのステージ１２上へ
矢印Ｎ方向，Ｏ方向に搬送する。
搬送装置６により、２個のウエハカセット３ａ，３ｂを
カセット置き台５へ矢印Ｌ方向，Ｍ方向に搬入し、こう
して搬入されたこれら２個のウエハカセット３ａ，３ｂ
をロボット付無人搬送車１０が、そのステージ１２上へ
矢印Ｎ方向，Ｏ方向に搬送する。
【００２４】次に、ウエハカセット３ａに対して、その
ウエハカセット３ａ内に収納された半導体ウエハ２ａを
ウエハ処理装置１７ａのウエハローダ１８ａへ矢印Ｐ方
向に搬送し、次に、ウエハカセット３ｂ内に収納された
半導体ウエハ２ｂをウエハ処理装置１７ｂのウエハロー
ダ１８ｂへ矢印Ｑ方向に搬送する。
ウエハカセット３ａ内に収納された半導体ウエハ２ａを
ウエハ処理装置１７ａのウエハローダ１８ａへ矢印Ｐ方
向に搬送し、次に、ウエハカセット３ｂ内に収納された
半導体ウエハ２ｂをウエハ処理装置１７ｂのウエハロー
ダ１８ｂへ矢印Ｑ方向に搬送する。
【００２５】さらに、ウエハカセット３ｂに対し、残り
の半導体ウエハをウエハカセット３に収納したままの状
態でウエハ処理装置２０のカセットローダ２１まで矢印
Ｒ方向へ搬送する。なお、ここではウエハ処理装置２
０，１７ａ，１７ｂへの半導体ウエハ２ａ，２ｂの搬送
を示したが、ウエハ処理装置２０，１７ａ，１７ｂから
の半導体ウエハ２ａ，２ｂの搬送は、上記動作説明とは
逆のフローで行われる。
の半導体ウエハをウエハカセット３に収納したままの状
態でウエハ処理装置２０のカセットローダ２１まで矢印
Ｒ方向へ搬送する。なお、ここではウエハ処理装置２
０，１７ａ，１７ｂへの半導体ウエハ２ａ，２ｂの搬送
を示したが、ウエハ処理装置２０，１７ａ，１７ｂから
の半導体ウエハ２ａ，２ｂの搬送は、上記動作説明とは
逆のフローで行われる。
【００２６】
【発明の効果】以上のように、請求項１の発明によれば
半導体ウエハを収納するウエハカセットを載置するカセ
ットステージを台車上に設け、上記ウエハカセットを把
持するカセットハンドおよび上記ウエハカセット内の半
導体ウエハを把持するウエハハンドを有するロボット
を、上記台車上に設けるように構成したので、自動走行
によって半導体ウエハをウエハカセットに収納した状態
で、あるいはウエハカセットから取り出した状態で、外
部装置に対して自動投入や払出しが行えるものが得ら
れ、従って、多品種少量の半導体ウエハの生産の場合に
も、ウエハカセットの種類や数、さらには保管場所を少
なく抑えることができ、結果として、設置時の占有スペ
ースや投資金額を抑制できるものが得られる効果があ
る。
半導体ウエハを収納するウエハカセットを載置するカセ
ットステージを台車上に設け、上記ウエハカセットを把
持するカセットハンドおよび上記ウエハカセット内の半
導体ウエハを把持するウエハハンドを有するロボット
を、上記台車上に設けるように構成したので、自動走行
によって半導体ウエハをウエハカセットに収納した状態
で、あるいはウエハカセットから取り出した状態で、外
部装置に対して自動投入や払出しが行えるものが得ら
れ、従って、多品種少量の半導体ウエハの生産の場合に
も、ウエハカセットの種類や数、さらには保管場所を少
なく抑えることができ、結果として、設置時の占有スペ
ースや投資金額を抑制できるものが得られる効果があ
る。
【００２７】また、請求項２の発明によれば台車上のロ
ボットに設けられたカセットハンドにより、台車上のカ
セットステージへカセット置き台上のウエハカセットを
移載するとともに、該移載したウエハカセットを半導体
ウエハを収納したまま把持して一方のウエハ処理装置へ
搬送し、一方、ウエハハンドにより上記カセットステー
ジ上におけるウエハカセット内の半導体ウエハを把持し
て他のウエハ処理装置へ搬送するように構成したので、
１つのウエハカセット内の複数枚の半導体ウエハの中か
ら、所定のウエハを１つのウエハ処理装置へ、また、他
の半導体ウエハをもう１つのウエハ処理装置へ直接搬送
する事ができるとともに、さらに、半導体ウエハをウエ
ハカセットに収納した状態で、上記とは別のウエハ処理
装置にも搬送することができるものが得られる効果があ
る。
ボットに設けられたカセットハンドにより、台車上のカ
セットステージへカセット置き台上のウエハカセットを
移載するとともに、該移載したウエハカセットを半導体
ウエハを収納したまま把持して一方のウエハ処理装置へ
搬送し、一方、ウエハハンドにより上記カセットステー
ジ上におけるウエハカセット内の半導体ウエハを把持し
て他のウエハ処理装置へ搬送するように構成したので、
１つのウエハカセット内の複数枚の半導体ウエハの中か
ら、所定のウエハを１つのウエハ処理装置へ、また、他
の半導体ウエハをもう１つのウエハ処理装置へ直接搬送
する事ができるとともに、さらに、半導体ウエハをウエ
ハカセットに収納した状態で、上記とは別のウエハ処理
装置にも搬送することができるものが得られる効果があ
る。
【図１】この発明の一実施例による半導体ウエハ搬送装
置を示す斜視図である。
置を示す斜視図である。
【図２】図１におけるロボット付無人搬送車の動作状態
を示す斜視図である。
を示す斜視図である。
【図３】図１におけるロボット付無人搬送車の他の動作
状態を示す斜視図である。
状態を示す斜視図である。
【図４】図１におけるロボット付無人搬送車のさらに他
の動作状態を示す斜視図である。
の動作状態を示す斜視図である。
【図５】図１におけるロボット付無人搬送車のウエハ処
理装置に対する配置関係を示す平面図である。
理装置に対する配置関係を示す平面図である。
【図６】図１におけるロボット付無人搬送車のウエハ処
理装置に対するウエハ投入動作を示す平面図である。
理装置に対するウエハ投入動作を示す平面図である。
【図７】図１におけるロボット付無人搬送車のウエハ処
理装置に対する他のウエハ投入動作を示す平面図であ
る。
理装置に対する他のウエハ投入動作を示す平面図であ
る。
【図８】従来の半導体ウエハ搬送装置を示す平面図であ
る。
る。
【図９】図８におけるロボットの動作状態を示す平面図
である。
である。
【図１０】図８におけるロボットの他の動作状態を示す
平面図である。
平面図である。
【図１１】図８におけるロボットのさらに他の動作状態
を示す平面図である。
を示す平面図である。
２ 半導体ウエハ ３ ウエハカセット ５ カセット置き台 １２ カセットステージ １３ 台車 １４ ロボット １５ カセットハンド １６ ウエハハンド １７，１７ａ，１７ｂ ウエハ処理装置 ２０ ウエハ処理装置
Claims (2)
- 【請求項１】 自動走行可能な台車と、該台車上に設け
られて、半導体ウエハを収納するウエハカセットを載置
するカセットステージと、上記台車上に設けられて、上
記ウエハカセットを把持するカセットハンドおよび上記
ウエハカセット内の半導体ウエハを把持するウエハハン
ドを有するロボットとを備えた半導体ウエハ搬送装置。 - 【請求項２】 自動走行可能な台車と、半導体ウエハを
収納するウエハカセットを載置するカセット置き台と上
記台車上に設けられて、該台車上のカセットステージへ
上記カセット置き台上のウエハカセットを移載するとと
もに、該移載したウエハカセットを、半導体ウエハを収
納したまま把持して一方のウエハ処理装置へ搬送するカ
セットハンド、および上記カセットステージ上における
ウエハカセット内の半導体ウエハを把持して他のウエハ
処理装置へ搬送するウエハハンドを有するロボットとを
備えた半導体ウエハ搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4267890A JPH0697262A (ja) | 1992-09-11 | 1992-09-11 | 半導体ウエハ搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4267890A JPH0697262A (ja) | 1992-09-11 | 1992-09-11 | 半導体ウエハ搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0697262A true JPH0697262A (ja) | 1994-04-08 |
Family
ID=17451049
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4267890A Pending JPH0697262A (ja) | 1992-09-11 | 1992-09-11 | 半導体ウエハ搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0697262A (ja) |
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- 1992-09-11 JP JP4267890A patent/JPH0697262A/ja active Pending
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