JPH03133151A - 基板カセット用搬送車 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概　要〕 基半反を収納するカセットを搭載してａ亥カセットを運
搬する基板カセット用搬送車に関し、カセットからカセ
ットへの基板移し替え作業時間を短縮することのできる
基板カセット用搬送車を提供することを目的とし、 基板のそれぞれ面を相対且つ離間させて該基板の端面を
支持して収納するカセットを載置できる載置台と、カセ
ットを把持し、空間内で移動するハンドと、該ハンドを
先端に備え伸縮回転するアームとを有する移替機構と、
カセットに収納されて載置台上に載置した基板の端面を
支持し、該基板をカセットより押し上げる基板ホルダー
を有する基板押上機構とを含んで構成する。

〔産業上の利用分野〕

本発明は、基板を収納するカセットを搭載して該カセッ
トを運搬する基板カセット用搬送車、特にカセットから
カセットへの基板移し替え作業時間を短縮することので
きる基板力セント用搬送車に関する。

半導体工場のウェーハプロセス工程においては、通常、
複数の半導体ウェーハを一括して同時に処理するバッチ
処理方法が広く採用されている。

そして、半導体ウェーハをバッチ処理する際や保管する
際は、カセットが多く使用されている。

このカセットは半導体ウェーハ表面を相対且つ離間させ
て、半導体ウェーハの下端面を支持するとともに両端を
挟持して収納するものである。

直径の寸法が６インチ（１５２，４ｍｍ）の半導体ウェ
ーハ用のカセットは、普通、２０〜３０枚程度収納する
ように作られているため、大きさはかなり高張るととも
に、その重量も重くなる。

この為、床面上を移動する無人搬送車に、カセットを把
持して移動させる移替機構を備えた移替機構付き無人搬
送車がウェーハプロセス工程では広く使用されている。

〔従来の技術〕

次に、ウェーハプロセス工程で使用されて来た従来の移
替機構付き無人搬送車を第２図及び第３図を参照しなが
ら説明する。

第２図は、半導体ウェーハを収納したカセットを示す図
であって、同図（ａ）は平面図、同図（ｂ）はＡ−Ａ線
断面図である。

第３図は、従来の移替機構付き無人搬送車を説明するた
めの斜視図である。

第２図のカセッ１−２１は、ガイド溝２１ｃを設けた側
面板２１ａと、正面板２１ｂと、及び開口部２１ｄを設
けた底板２１ｅとを有して構成されている。

そして、カセット２１は、その使用条件等に適合する特
性の合成樹脂、例えば塩酸や弗酸等の酸系の液体中で使
用する場合には、ＰＦＡ　（四弗化エチレンパーフロロ
アルキルビニルエーテル）樹脂等を、また単に半導体ウ
ェーハの収納や運搬用としては、軽くて成型性の良いＰ
Ｐ（ポリプロピレン）等をそれぞれ一体的にモールド成
型して作られている。

第３図の従来の移替機構付き無人搬送車は、床面上に配
設した信号線が放射する電波を検出しながら、この信号
線に沿って移動する無人搬送車３１に、第２図のカセッ
ト２１を把持して移動させる移替機構３２を付加して構
成したものである。

この移替機構３２は、無人搬送車３１内に搭載された制
御・駆動装置（図示せず）と、θ方向に回動する回転台
座３２ａと、ψ方向に回動するアーム回動機構３２ｂと
、ｒ方向に伸縮するアーム３２ｃと、ｇ方向に開閉する
ハンド３２ｄで構成されている。

なお、回転台座３２ａ等は前記制御・駆動装置により制
御・駆動されてそれぞれの運動をするように構成されて
いる。

即ち、斯かる構成をした移替機構付き無人搬送車は、制
御・駆動装置により回転台座３２ａ等を制御・駆動する
とともに、ハンド３２ｄを制御・駆動し、カセット２１
を把持して所定の場所に移動するものである。

〔発明が解決しようとする課題〕

カセットを成る場所から成る場所に移動させるだけであ
れば、従来の移替機構付き無人搬送車でも特別な問題は
なかった。

しかし、半導体工場のウェーハプロセス工程では、処理
条件がそれぞれ異なる工程が数多く存在するため、半導
体ウェーハをＰＰ製のカセット２１からＰＦＡ製のカセ
ット２１に、またその逆に移し替えしなければならない
ことも少な（ない。

ところが、カセットからカセットへの半導体ウェーハの
移し替えは、真空チャックに半導体ウェーハ２０の表面
若しくは裏面を真空吸着により保持して、−枚づつカセ
ット２１のガイド？ｎ　２１　ｃに差し込むようにして
行っていた。

従って、半導体ウェーハ２０のカセット２１への収納に
は、多くの工数が掛かる問題があった。

本発明は、斯かる問題に鑑みて行われたもので、その目
的は基板をカセットからカセットに移し替えする作業時
間を短縮することのできる基板カセット用搬送車を提供
することにある。

〔課題を解決するための手段〕

前記目的は第１図及び第２図に示すように、基板２０の
それぞれ面を相対且つ離間させて該基板の端面を支持し
て収納するカセット２１を載置できる載置台３１ａと、
カセットを把持し、空間内で移動するハンド３２ｄと、
該ハンド３２ｄを先端に備え伸縮回転するアーム３２ｃ
とを有する移替機構３２と、カセットに収納されて載置
台上に載置した基板の端面を支持し、該基板をカセット
より押し上げる基板ホルダー１１ｂを有する基板押上機
構１１とを含んで構成し、カセットの移動及びカセット
間の基板の移し替えを行うことを特徴とする基板カセッ
ト用搬送車により達成される。

〔作　用〕

本発明の基板カセット用搬送車は、基板２０の端面を支
持して収納するカセット２１を載置する載置台３１ａと
、カセットを把持して空間内で移動するハンド３２ｄと
該ハンド３２ｄを先端に備え伸縮回転するアーム３２ｃ
とを有する移替機構３２と、カセットに収納されて載置
台上に載置した基板端面を支持して基板をカセットより
押し上げる基板ホルダーｆｌｂを有する基板押上機構１
１とを含んで構成している。

従って、基板カセット用搬送車は、カセットの移動は固
よりカセットに収納された基板を別のカセットに複数同
時に移し替えすることができるために、基板のカセット
間の移し替え工数が大幅に短縮される。

〔実　施　例〕

以下、本発明の実施例を第１図〜第３図を参照しながら
詳細に説明する。

第１図は、本発明の基板カセット用搬送車の一実施例を
説明するための斜視図である。

即ち、第１図の基板カセット用搬送車の一実施例は、第
３図に示す従来の移替機構付き無人搬送車に、基板押上
機構１１を搭載したもので、バッテリー動力源として床
面上に配設した導線が放射する特定周波数の電波を検出
し、該導線に沿って無人で移動するものである。

基板押上機構１１は、無人搬送車３１内に搭載された駆
動装置（図示せず）と、この駆動装置により駆動されて
載置台３１ａに設けた開口部３１ｂを挿通して上下に移
動する昇降支棹１１ａと、昇降支棹１１ａの上端に固着
された基板ホルダー１１ｂとを含んで構成されている。

基板ホルダー１１ｂは、カセット２１の開口部２１ｄ（
第２図参照）を通過できるような大きさで構成されてい
る。

なお、第１図に示す載置台３１ａ上に、二つのカセット
２１が示されているが、紙面上方のものはＰＰ製、紙面
下方はＰＦＡ製のカセットである。

斯かる構成をした本発明の一実施例は、カセット２１を
成る場所から別の場所に移動させることは固より、カセ
ット２１に収納された半導体ウェーハ２０を短時間で別
のカセット２１に移し替えすることができる。

次に、載置台３１ａ上のＰＦＡ製のカセット２１に収納
された半導体ウェーハ２０を、同じく載置台３１ａ上の
ＰＰ製のカセット２１に移し替えする作業を取り上げて
、本発明の基板カセット用搬送車の一実施例の機能を説
明する。

先ず、移替機構３２を操作し、半導体ウェーハ２０半導
体ウェーハを収納したＰＦＡ製のカセット２１をハンド
３２ｄにより把持・移動させ、基板ホルダー１１ｂ上に
載置する。

この時、基板ホルダー１１ｂがＰＦＡ製のカセット２１
の開口部２１ｄ（第２図参照）を挿通できるように、注
意深く前記載置を行うことが必要である。

この後、アーム３２ｃやハンド３２ｄを、半導体つ工−
ハ２０の移し替え作業に邪魔にならない所に移動させる
。

さらに、基板押上機構１１を操作し昇降支棹１１ａを垂
直に上昇させると、基板ホルダー１１ｂは、半導体ウェ
ーハ２０を収納したＦＰＡ製のカセット２１の開口部２
１ｄを通過し、半導体ウェーハ２０だけを押し上げる。

なお、図示してないが、基板ホルダー１１ｂには半導体
ウェーハ２０の支持部が備えられている。

そして、この上昇が所定高さに達したら基板押上機構１
１を、そのまま停止する。

斯かる状態において再び移替機構３２を操作し、ハンド
３２ｄで半導体ウェーハ２０の両端面を把持した後、ハ
ンド３２ｄを空のＰＰ製のカセット２１の所まで移動す
る。

そして、ハンド３２ｄを下降させて半導体ウェーハ２０
を、このカセット２１のガイド溝２１ｃ（第２図参照）
に挿入することにより、半導体ウェーハ２０のカセット
間の移し替え作業は完了する。

〔発明の効果〕

以上の説明から明らかなように本発明によれば、カセッ
トの移動は固より複数の基板をカセットからカセットに
移し替えすることが可能である。

従って、本発明の基板カセット用搬送車を使用すること
により、基板のカセットからカセットへの移し替の時間
は、従来の手作業による移し替えの時間と比較して大幅
に短縮されることとなる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の基板カセット用搬送車の一実施例を
説明するための斜視図、 第２図は、基板を収納したカセットを示す図、第３図は
、従来の移替機構付き無人搬送車を説明するための斜視
図である。 図において、 １１は基板押上機構、 １１ａは昇降支棹、 １１ｂは基板ホルダー ２０は基板（半導体ウェーハ）、 ２１はカセット、 ３１は無人搬送車、 ３１ａは載置台、 ３１ｂは！３！置装の開口部、 ３２は移替機構、 ３２ａは回転台座、 ３２ｂはアーム回動機構、 ３２ｃはアーム、 ３２ｄはハンドをそれぞれ示す。 ＜０３平面図 卆り４ｎ役１社ッ訓看琺輻−失鰺塾除ｆｌＴ？Ａ−一糾
狸ｒ第　１　図 ＜ｂ＋　Ａ−Ａ線＃１ｔ７０ ｘｉ窒収雫肉ＬｎｐＩ？ットシヲｉｆｆゴ第２ｗＪ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 　基板（２０）のそれぞれ面を相対且つ離間させて該基
   板の端面を支持して収納するカセット（２１）を載置で
   きる載置台（３１ａ）と、 前記カセットを把持し、空間内で移動するハンド（３２
   ｄ）と、該ハンド（３２ｄ）を先端に備え伸縮回転する
   アーム（３２ｃ）とを有する移替機構（３２）と、前記
   カセットに収納されて前記載置台上に載置した前記基板
   の端面を支持し、該基板を前記カセットより押し上げる
   基板ホルダー（１１ｂ）を有する基板押上機構（１１）
   とを含んで構成し、 カセットの移動及びカセット間の基板の移し替えを行う
   ことを特徴とする基板カセット用搬送車。