JP2000058622A

JP2000058622A - 基板洗浄装置における搬送機構

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Publication number: JP2000058622A
Application number: JP23945498A
Authority: JP
Inventors: Yasuhito Sasaki; 康仁佐々木; Hirobumi Sasaki; 博文佐々木
Original assignee: DAN CLEAN PROD KK; DAN CLEAN PRODUCT KK
Current assignee: DAN CLEAN PROD KK; DAN CLEAN PRODUCT KK
Priority date: 1998-08-12
Filing date: 1998-08-12
Publication date: 2000-02-25
Anticipated expiration: 2018-08-12
Also published as: JP4137244B2

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】ボックスキャリヤーに収納された基板を、同
時に複数、迅速かつ安定して、基板裏面の汚染なしに取
り出して洗浄槽等に搬送入、搬出して収納する搬送機構
を提供すること。【解決手段】第１の搬送手段５は、基板１を複数枚同
時に挟持し、回転治具２５とボックスキャリヤー３との
間を略水平面内で移送し、回転治具は、複数枚の基板を
収容でき、かつ回転手段２５ａにより略水平方向から略
垂直方向に、また略垂直方向から略水平方向に回転可能
であり、第２の搬送手段は、回転治具が垂直方向を向い
ているときに、回転治具の頂部開口２５ｂの上に昇降し
て一度にそこから基板を受け取り又はそこに基板を受け
渡すことができるものであることを特徴とする基板洗浄
乾燥装置における搬送機構。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体分野におけ
るシリコンウエハ等の基板の洗浄操作で用いられる基板
搬送機構に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、シリコンウエハ等の洗浄装置で
は、図８（ａ）に示されるような底無しキャリヤー（以
下オープンキャリヤー（２）と呼ぶ）が使用されてい
た。近ごろでは各種理由から図８（ｂ）に示されるよう
な底付ケース（以後ボックスキャリアーと呼ぶ）が多用
される情勢にある。このボックスキャリアー（３）は例
えば図９に示されるようなもので、基板収納部は動的カ
ップリングを有し基板（１）を水平方向から挿入するこ
とができる。基板２５枚入りオープンキャリヤーを２個
使用する自動洗浄過程においては、オープンキャリヤー
より基板を押上機構により同時に取出し、洗浄搬送機に
移し替えをしていた。底無しのため、オープンキャリヤ
ー下側より基板支持台を使用して基板を押し上げて移し
替えをすることができる。

【０００３】しかしながら、オープンキャリヤー（２）
から、基板２５枚入りボックスキャリヤー（３）に変わ
った場合には、従来技術による対応は難しい。オープン
キャリヤーから、また、今後は基板（１）の大口径化、
また、両面研磨された基板が標準となり、従来の真空チ
ャック方式の取り出しでは基板の裏面の汚染がある。基
板の裏側も極力使用しない基板の搬送手段が求められて
いる。また、自動洗浄装置（洗浄搬送タクトタイムは約
３００秒）において、２個のボックスキャリヤー（３）
より基板５０枚を取り出す場合、ボックスキャリヤー
（３）から基板を１枚ずつ移し替えた場合には洗浄時間
内に移し替えを終了させることができない。したがっ
て、同時に複数枚の基板を取り出せる機構が必要になっ
た。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、上記
従来技術の現状に鑑み、ボックスキャリヤーより基板を
多数枚例えば５０枚を取り出す場合、ボックスキャリヤ
ーに収納された基板を、同時に複数、迅速かつ安定し
て、基板裏面の汚染なしに取り出して洗浄槽等に搬送
し、及び／又は、洗浄槽等からの被洗浄物基板を搬送し
て収納する搬送機構を提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的は、本発明の
（１）「横向きに置かれたボックスキャリヤー（３）に
収納された被洗浄物基板（１）を該ボックスキャリヤー
（３）から洗浄槽（４０）に搬送し、及び／又は、洗浄
槽（４０）からの基板（１）をボックスキャリヤー
（３）に搬送して収納する搬送機構であって、該搬送機
構は基板（１）を、回転治具（２５）と前記ボックスキ
ャリヤー（３）との間を搬送する第１の搬送手段（５）
と、該回転治具（２５）と前記洗浄槽（４０）との間を
搬送する第２の搬送手段（２９）とを有し、前記第１の
搬送手段（５）は、基板（１）を複数枚同時に挟持し、
前記回転治具（２５）と前記ボックスキャリヤー（３）
との間を略水平面内で移送し、前記回転治具（２５）
は、複数枚の基板（１）を収容でき、かつ回転手段（２
５ａ）により略水平方向から略垂直方向に、また略垂直
方向から略水平方向に回転可能であり、前記第２の搬送
手段（２９）は、前記回転治具（２５）が垂直方向を向
いているときに、該回転治具（２５）の頂部開口（２５
ｂ）の上に昇降して一度にそこから基板（１）を受け取
り又はそこに基板（１）を受け渡すことができるもので
あることを特徴とする基板洗浄乾燥装置における搬送機
構。」、（２）「前記第１の搬送手段（５）が、基腕
（７）上に設けられツメ（１９）を有する長短二組の基
板挟持部材（９）（１１）と、該基板挟持部材（９）
（１１）を作動する挟持部材作動機構（１３）と、該基
板挟持部材（９）（１１）を支承する前記基腕（７）の
平面内レベルを上下方向に変換させる昇降機構（２１）
と、前記昇降機構（２１）全体の方向を回転させる回転
機構（２３）とを有し、かつ、前記挟持部材作動機構
（１３）が、該基板挟持部材（９）（１１）それぞれを
前記基腕（７）上で前後方向にスライドさせて相互の距
離を変換させるスライド機構（１５ａ）（１５ｂ）と、
該基板挟持部材（９）（１１）の内の少なくとも１方を
上下方向にピッチ移動させて他方との上下距離をステッ
プ状に変換させるピッチ昇降機構（１７）とからなるこ
とを特徴とする前記第（１）項に記載の基板洗浄乾燥装
置における搬送機構。」、（３）「前記回転治具（２
５）がその底部開口（２５ｃ）に、複数の基板（１）を
同時に頂部開口（２５ｂ）の上部に押し上げて前記第２
の搬送手段（２９）に受け渡し、又は頂部開口（２５
ｂ）の上部で前記第２の搬送手段（２９）から受け取る
昇降機構（２７）を備えたことを特徴とする前記第
（１）項又は第（２）項に記載の基板洗浄乾燥装置にお
ける搬送機構。」、（４）「前記第１の搬送手段（５）
の二組の基板挟持部材（９）（１１）がそれぞれ、先端
に基板保持用のツメ（１９）を備えた左右２本のヨーク
対（９ａ）（９ｂ）、及び左右２本のヨーク対（１１
ａ）（１１ｂ）を有し、かつ、各ヨーク対（９ａ）（９
ｂ）、（１１ａ）（１１ｂ）先端のツメ（１９）の前後
方向及び上下方向の間隔が可変となるように、各基板挟
持部材（９）（１１）は独立して前後に方向スライド可
能であり、上下方向にピッチ変動可能であることを特徴
とする前記第（１）項乃至前記第（３）項のいずれか１
に記載の基板洗浄乾燥装置における搬送機構。」により
達成される。

【０００６】

【発明の実施の形態】以下、本発明を図面によって詳細
に説明する。ここで、図１は、本発明の基板搬送機構を
理解し易くするため概念図であり、図２は本発明の基板
搬送機構における搬送手段および回転治具の動作を説明
するものであり、図３は本発明における第１の搬送手段
の挟持部材作動機構の１例を詳細に示すものであり、図
４は第１の搬送手段の上下レベルをピッチ変換するピッ
チ変換機構の１例を説明するものであり、図５は本発明
における回転治具から洗浄槽への基板移し換えのための
第２の搬送手段の１例を示すものであり、図６は本発明
における基板洗浄装置の全体構成例を示す図であり、図
７は本発明における基板洗浄機構の全体レイアウト例を
示す図であり、図８は従来のキャリアーを比較説明する
図であり、図９は本発明で用いるボックスキャリアーを
説明する図であり、図１０は従来の洗浄用キャリアーを
示す図である。

【０００７】図１の基板搬送機構において、横型配置状
態のボックスキャリヤー（３）に収納されている基板
（１）は、本発明による第１の搬送手段（５）の基板挟
持手段（９）（１１）により挟持され、ボックスキャリ
ヤー（３）から矢印Ａ方向に引き出された後、この第１
の搬送手段（５）がボックスキャリヤー（３）と同一平
面内に置かれた基板回転治具（２５）の方向に向きを矢
印Ｂ方向に９０°変えられ、つぎに矢印Ｃに沿って基板
回転治具（２５）に搬送される。その後、基板（１）を
収容した基板回転治具（２５）が回転手段（２５ａ）の
回転により、横型配置状態から回転して縦型配置状態に
なる。図１（ｂ）は、この状態変化を示し、基板回転治
具（２５）の頂部開口（２５ｂ）は横向きから上向きに
変わる。

【０００８】そして、図２（ｂ）に示されるように、こ
の縦型配置状態で、基板回転治具（２５）中の基板
（１）が、底部開口（２５ｃ）に備えられた昇降機構
（２７）の基板支持台（２７ａ）の上昇により頂部開口
（２５ｂ）の上に押し出され、そこに移動し下降してき
た第２の搬送手段（２９）に受け渡され、この第２の搬
送手段（２９）によって例えば洗浄槽（４０）（図６）
に搬送され洗浄される。

【０００９】すなわち、この搬送機構例において、第１
の搬送手段（５）は、基腕（７）に設けられた長手挟持
部材（９）と短手挟持部材（１１）とからなる基板挟持
機構により基板（１）を挟持する。長短２本の挟持部材
（９）（１１）の先端には基板保持用のツメ（１９）が
設けられている。挟持部材（９）（１１）は、挟持部材
作動機構（１３）中の前後移動機構（図３）および上下
移動機構（図４）により、前後および上下にそれぞれ移
動し、相互の間隔を調節することができる。すなわち挟
持部材（９）（１１）は、挟持部材作動機構（１３）中
のスライド機構（１５ａ）（１５ｂ）により基腕（７）
上で前後方向にスライド移動し、ピッチ昇降機構（１
７）により、上下レベルをステップ状に変えることがで
きる。この前後移動機構（１５ａ）（１５ｂ）の詳細は
後程、図３を参照し、昇降機構（１７）の詳細は後程、
図４を参照して詳述される。この昇降機構（１７）と別
に、第１の搬送手段（５）は、基板挟持部材（９）（１
１）を支承する前記基腕（７）の平面内レベルを上下方
向に変換させる昇降機構（２１）により、全体を昇降さ
せることができ、また、該昇降機構（２１）の方向を回
転させる回転機構（２３）により全体を所望の向きに変
えることができる。この例においては挟持部材（９）は
左右２本のヨーク対（９ａ）（９ｂ）に分かれ、また挟
持部材（１１）も左右２本のヨーク対（１１ａ）（１１
ｂ）に分かれており、これらのヨーク対（９ａ）（９
ｂ）は図４に示されるヨーク対開閉機構（１５ｃ）によ
り左右方向に開閉することができ、またヨーク対（１１
ａ）（１１ｂ）もヨーク対開閉機構（１５ｄ）により左
右方向に開閉することができる。しかし、本発明におい
てはヨーク対（９ａ）（９ｂ）は必ずしも左右方向に開
閉するように分かれている必要はなく、またヨーク対
（１１ａ）（１１ｂ）も必ずしも左右方向に開閉するよ
うに分かれている必要はない。つまり、ヨーク対開閉機
構（１５ｃ）及び（１５ｄ）を設けて左右方向に開閉し
なくても、挟持部材作動機構（１３）中のスライド機構
（１５ａ）（１５ｂ）、昇降機構（２１）及びピッチ昇
降機構（１７）の適切な作動により、基板（１）を挟持
し又は挟持状態を開放することができる。

【００１０】この図１、図２に示される装置例において
は、回転治具（２５）がボックスキャリヤー（３）と略
同一平面上で９０度ずれた中心上に配置されているが、
本発明は無論、回転治具（２５）を必ずしもボックスキ
ャリヤー（３）と略同一平面上で９０度ずれた位置に置
く必要はない。ピッチ昇降機構（１７）及び昇降機構
（２１）の作動範囲内においてボックスキャリヤー
（３）と異なるレベルにし、また例えば６０度の方角に
配置することができる。また上記図では、ボックスキャ
リヤー（３）に基板が、水平になるように置かれている
が、基板（１）が垂直になったままセットした場合に
は、ボックスキャリヤー（３）の基板（１）が平行にな
るような回転機構を設けることができる。

【００１１】ボックスキャリヤー（３）より基板（１）
を取り出す場合は、第１の搬送機構（５）は、挟持部材
（９）と（１１）の間隔が基板（１）を支承するに適し
た前後及び上下間隔に保持され、回転機構（２３）が逆
回転し、挟持部材作動機構（１３）中のスライド機構
（１５ａ）（１５ｂ）によりボックスキャリヤー（３）
内の基板中心まで移動し、挟持部材（９）（１１）が、
スライド機構（１５ａ）（１５ｂ）により前後方向にス
ライドし、昇降機構（２１）及びピッチ昇降機構（１
７）により上下方向に移動し、基板（１）の挟持位置ま
で達して、ヨーク対（９ａ）（９ｂ）、ヨーク対（１１
ａ）（１１ｂ）を閉じる。挟持部材作動機構（１３）に
より基板（１）をボックスキャリヤー（３）より取り出
し、回転機構（２１）により第１の搬送手段（１１）を
回転させ、挟持部材作動機構（１３）により回転治具
（２５）の中心まで挟持部材（９）（１１）が移動し、
挟持部材（９）のヨーク対（９ａ）（９ｂ）、挟持部材
（１１）のヨーク対（１１ａ）（１１ｂ）を左右に開
き、昇降機構（２１）により、及び必要ならばピッチ昇
降機構（１７）をも作動させて、挟持部の基腕（１２
ｄ）を下降させ、挟持部材作動機構（１３）により元に
戻す。

【００１２】基板（１）はボックスキャリヤー（３）の
下側より順次取り出し、回転治具（２５）には上側より
収納する。ピッチ昇降機構（１７）はこのための重要な
役割を負う。回転治具（２５）に基板（１）の移し替え
が完了したら、基板（１）が垂直になるように回転機構
（２５ａ）により回転治具（２５）を回転させ、押上げ
昇降機構（２７）により、基板支持台（２７ａ）を上昇
させ、回転治具（２５）より基板（１）を全て取り出
す。取り出された基板（１）は、本発明における第２の
搬送手段（２９）により挟持され、洗浄槽（４０）等に
搬送される。

【００１３】図３は、本発明における第１の搬送手段に
おける搬送機構の１例を詳細に示すものであり、回転機
構（２３）、昇降機構（２１）、挟持手段（９）（１
１）の挟持部材作動機構（１３）、特にスライド機構
（１５ａ）（１５ｂ）を図示している。長短２組の挟持
手段のヨーク対（９ａ）（９ｂ）、（１１ａ）（１１
ｂ）には、先端に基板保持用の４個のツメ（１９）が取
り付けてあり、各々矢印のように前後方向に移動する。
この例における駆動手段はシリンダであり、摺動部（１
５ｅ）は直動ベアリングである。（ｃ）図は図中符号Ｅ
部の詳細図である。この図に示されるように、ツメ（１
９）は挟持アーム（１１）のヨーク対（１１ａ）上にカ
ラー部（１９ａ）を有しまたカラー部（１９ａ）上に凸
部（１９ｂ）が立設され、上の基板（１）は端部裏面が
ツメ（１９）に、端部側面が凸部（１９ａ）の立壁に支
承され、下の基板（１）は端部裏面がヨーク対（１１
ａ）に、端部側面がカラー部（１９ａ）の立壁にそれぞ
れ支承される。基板（１）を挟持するツメ（１９）は、
基板に傷がつくのを防ぐため樹脂材料（ＰＴＦＥ、ＰＦ
Ａ、ＰＥＥＫ）等を使用するのが好ましいが、ツメ材料
はこれらに制限される訳ではなく、またツメ（１９）の
形状を制限するものではない。またこの例においては基
板２枚を挟持しているが、基板の挟持数量を制限するも
のではない。

【００１４】この図の例は、挟持部材作動機構（１３）
の駆動手段として、スライド機構（１５ａ）（１５ｂ）
は空圧シリンダ又はサーボモータを用いているため、挟
持部材作動機構（１３）により図中符号Ｂの位置、又は
Ｃの位置に移動できる。回転機構（２３）はＢ位置とＣ
位置の中心にあり、ボックスキャリヤー（３）と回転治
具（２５）は９０度ずれて配置されている。スライド機
構（１５ａ）（１５ｂ）の駆動手段をモータ等の方式に
した場合は、必ずしもＢ、Ｃ位置の中心に回転機構（２
３）の設置を制限するものではない。またヨーク対（９
ａ）（９ｂ）の開閉機構（１５ｃ）、ヨーク対（１１
ａ）（１１ｂ）の開閉機構（１５ｄ）には空圧シリンダ
を用い、昇降機構（２１）の駆動手段としてサーボモー
タを用い、回転機構（２３）の駆動手段として空圧シリ
ンダ又はサーボモータを用いる。

【００１５】上記のように、本発明における第１の搬送
手段（５）の挟持部材作動機構（１３）は、基腕（７）
上に設けられツメ（１９）を有する長短二組の基板挟持
部材（９）（１１）と、該基板挟持部材（９）（１１）
を作動する挟持部材作動機構（１３）と、該基板挟持部
材（９）（１１）を支承する前記基腕（７）の平面内レ
ベルを上下方向に変換させる昇降機構（２１）と、前記
昇降機構（１４）全体の方向を回転させる回転機構（２
３）とを有し、かつ、前記挟持部材作動機構（１３）
が、該基板挟持部材（９）（１１）それぞれを前記基腕
（７）上で前後方向にスライドさせて相互の距離を変換
させるスライド機構（１５ａ）（１５ｂ）と、該基板挟
持部材（９）（１１）の内の少なくとも１方を上下方向
にピッチ移動させて他方との上下距離をステップ状に変
換させるピッチ昇降機構（１７）とからなっている。ヨ
ーク対（９ａ）（９ｂ）の開閉機構（１５ｃ）、ヨーク
対（１１ａ）（１１ｂ）の開閉機構（１５ｄ）は設けて
も設けなくてもよい。つまりヨーク対の左右間隔を調節
可能なものとすることでき、固定式とすることができ
る。

【００１６】図４は、第１の搬送手段のレベルを上下に
ピッチ変換するピッチ変換機構（１７）、及びヨーク対
（９ａ）（９ｂ）の開閉機構（１５ｃ）、ヨーク対（１
１ａ）（１１ｂ）の開閉機構（１５ｄ）の１例を示す詳
細図であり、ピッチ変換機構（１７）は、ガイド板（１
７ａ）に穿孔されたガイド孔を上下するガイド軸（１７
ｂ）と空圧シリンダ（１７ｃ）を裏面に有し、基板挟持
部材（９）（１１）の前後方向スライド機構（１５ａ）
（１５ｂ）及びヨーク対開閉機構（１５ｃ）（１５ｄ）
を表側に有する台板（１７ｄ）から構成されている。台
板（１７ｄ）は移動台（１３ａ）中から延長している。
基板挟持部材（９）（１１）のヨーク対（９ａ）（９
ｂ）、（１１ａ）（１１ｂ）には先端に基板を１枚挟む
ツメが取り付けてあり、各々矢印の方向に移動する。

【００１７】例えば（ｂ）図のようにヨーク対が上下に
開いたとき、基板の間隔寸法は１０ｍｍであり、（ｃ）
図のように上下に閉じたときの基板間隔寸法は５ｍｍと
なる。この例においては上の基板（１）と下の基板
（１）の間の間隔調整は、空圧シリンダ（１７ｃ）で、
下の基板（１）のための基板挟持部材を上下にピッチ変
換することにより行なわれるが、本発明においては必ず
しも、下の基板（１）のための基板挟持部材を上下にピ
ッチ変換することに限られる訳ではなく、上の基板
（１）のための基板挟持部材を上下にピッチ変換しても
あるいは上下双方の基板挟持部材を上下にピッチ変換す
るようにしてもよい。

【００１８】例えばボックスキャリヤー（３）の基板収
納間隔が１０ｍｍであり、回転治具（２５）の基板収納
間隔が５ｍｍのときの移し替え動作は、ヨーク対を上下
に閉じた状態でボックスキャリヤー（３）のアーム投入
口よりヨーク対を挿入し、ヨーク対（９ａ）（９ｂ）の
ツメが２枚目の基板挟持位置まで上昇し停止した後、下
のヨーク対（１１ａ）（１１ｂ）を５ｍｍ下降させ上下
のスライド機構（１５ａ）（１５ｂ）を動作させ、基板
を挟持する。その後基板挟持部材（９）（１１）をボッ
クスキャリヤー（１）より引き出し、下のヨーク対（１
１ａ）（１１ｂ）を５ｍｍ上昇させ、挟持機構全体すな
わち第１の搬送手段（５）全体を９０度回転させ、回転
治具（２５）の基板挿入位置まで全体を上昇させ、回転
治具（２５）に上部開口（２５ｂ）からヨーク対を挿入
する。その後、挟持部材作動機構（１３）を動作させ基
板（１）を放した後、ヨーク対を引き出し位置まで下降
し引き出す。この繰り返しにて基板（１）を回転治具
（２５）に移し替える。なお、本発明は基板間隔を１
０．５ｍｍに制限するものではない。

【００１９】図５は、本発明における第２の搬送手段
（２９）により基板（１）を回転治具（２５）から図示
しない洗浄槽（４０）（図６参照）に移し替えし、又は
洗浄槽（４０）から回転治具（２５）に移し替えする詳
細を説明する図で、回転治具（２５）はその底部開口
（２５ｃ）に、基板支持台（２７ａ）を有する昇降機構
（２７）を備え、昇降機構（２７）は複数の基板（１）
を同時に頂部開口（２５ｂ）の上部に押し上げて前記第
２の搬送手段（２９）に受け渡し、又は頂部開口（２５
ｂ）の上部で前記第２の搬送手段（２９）から受け取
る。

【００２０】そしてこの第２の搬送手段（２９）は、基
板（１）の主面が重なり合うように直立し、一定間隔に
て配列された復数枚の基板（１）を挾持し、上下左右方
向に搬送する基板の洗浄搬送装置（３５）（図６）に併
設される基板挟持搬送装置であって、主面が重なり合う
ように直立し一定間隔にて配列された復数枚の基板
（１）を両側から挾持する溝付き横バー（３１ｅ）（３
１ｆ）を下方に有する挟持アーム（３１ａ）（３１
ｃ）、（３１ｂ）（３１ｄ）を有し（但しこの図におい
ては挟持アーム（３１ｃ）は（３１ａ）に重なり、挟持
アーム（３１ｄ）は（３１ｂ）に重なっているので見え
ない）、挟持アーム（３１ａ）、（３１ｂ）はロッド
（３１ｇ）を介してアーム開閉機構（３１ｈ）により開
閉される。

【００２１】図６は、洗浄搬送機全体の構成を示した図
である。この図において、洗浄搬送装置（３５）は、並
列して設けている複数の洗浄槽（４０）に沿って移動
し、第２の搬送手段（２９）を所望の洗浄槽（４０）に
誘導し、昇降機構（２７）で作動される支柱（３５ａ）
の上昇・下降により、一対の挟持アーム（３１ａ）（３
１ｃ）、（３１ｂ（（３１ｄ）の上昇・下降と連動する
ようになっている。昇降機構（２７）及びアーム開閉機
構（３１ｈ）の開閉により回転治具（２５）から受け渡
された基板（１）は、洗浄搬送装置（３５）により移送
され、例えば所定の洗浄槽（４０）に受け渡される。す
なわち、基板（１）を挟持する第２の搬送手段（２９）
は、洗浄搬送装置（３５）により搬送されて所定の洗浄
槽（４０）上に配置される。粋洗浄槽（４０）中の基板
保持台（４１）の純水（４２）中を上下に昇降する基板
保持台（４１）は、純水（４２）上に露出してその受け
溝（４１ａ）が基板（１）の下縁を支承するまで上昇
し、挟持アーム（３１ａ）（３１ｂ）が開き、直立する
複数の基板（１）を基板保持台（４１）に受け渡す。こ
の図においては基板を７枚挟持しているが、本発明は挟
持枚数を制限するものではない。また、本図は平行挟持
方式であるが、本発明は挟持方式を制限するものではな
い。

【００２２】図７は、本発明における基板洗浄装置全体
の構成例を示した図である。この図では洗浄槽（薬液、
水洗）が合計７槽であるが、本発明は槽の数量を限定す
るものではない。また、洗浄搬送装置（３５）が３台で
あるが、本発明は数量を限定するものではない。また本
発明は洗浄前の基板入りボックスキャリヤー（３ａ）の
保管数量を図のものに限定するものではない。（２ａ）
は洗浄前のオープンキャリヤーであるが、同様に保管数
量を限定するものではない。洗浄後の基板入りボックス
キャリヤー（３ｂ）、オープンキャリヤー（２ｂ）につ
いても同様であリ、保管数量を限定するものではない。
このように本発明の搬送機構はボックスキャリヤーの場
合に特に必要となるが、オープンキャリヤーの場合でも
使用できないものではない。洗浄槽（４０）へは、基板
（１）のみ投入、払出しをする。図中、符号（４０ａ）
は洗浄槽を、符号（４０ｂ）は乾燥槽を、符号（４１）
は排気ダクトを示す。

【００２３】

【発明の効果】以上、詳細且つ具体的な説明より明らか
なように、本発明の基板洗浄装置における搬送機構は、
被洗浄物基板を、略同一平面内で異なる方向、位置に置
かれたボックスキャリヤーと基板回転治具との間で汚れ
を生じることなく授受し、基板回転治具を横状態と縦状
態に自在に回転させて縦状態のときに、基板を一括して
該基板回転治具と洗浄槽との間で汚れ、傷を生じること
なく授受することができ、ボックスキャリヤーより基板
５０枚を取り出す場合、ボックスキャリヤーに収納され
た基板を、同時に複数、迅速かつ安定して、基板裏面の
汚染なしに取り出して洗浄槽等搬送し、及び／又は、洗
浄槽等からの被洗浄物基板を搬送して収納することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の基板搬送機構を理解し易く示す概念図
である。

【図２】本発明の基板搬送機構における搬送手段および
回転治具の動作を説明する図である。

【図３】本発明における第１の搬送手段の挟持部材作動
機構の１例を示す図である。

【図４】本発明における第１の搬送手段の上下レベルを
ピッチ変換するピッチ変換機構の１例を説明する図であ
る。

【図５】本発明における回転治具から洗浄槽への基板移
し換えのための第２の搬送手段の１例を示す図である。

【図６】本発明における基板洗浄装置の全体構成例を示
す図である。

【図７】本発明における基板洗浄機構の全体レイアウト
例を示す図である。

【図８】従来のキャリアーを比較説明する図である。

【図９】本発明で用いるボックスキャリアーを従来のオ
ープンキャリアート対比説明する図である。

【図１０】従来の洗浄用キャリアーを示す図である。

【符号の説明】

１被洗浄物基板２オープンキャリヤー２ａオープンキャリヤー２ｂボックスキャリヤー３ボックスキャリヤー３ａボックスキャリヤー３ｂボックスキャリヤー５第１の搬送手段７基腕９長手基板挟持部材９ａヨーク対９ｂヨーク対１１短手基板挟持部材１１ａヨーク対１１ｂヨーク対１３挟持部材作動機構１３ａ移動台１５ａスライド機構１５ｂスライド機構１５ｃヨーク対開閉機構１５ｄヨーク対開閉機構１５ｅ摺動部１７ピッチ昇降機構１７ａガイド板１７ｂガイド軸１７ｃ空圧シリンダ１７ｄ台板１９ツメ１９ａカラー部１９ｂ凸部２１昇降機構２３回転機構２５回転治具２５ａ回転手段２５ｂ頂部開口２５ｃ底部開口２７昇降機構２７ａ基板支持台２９第２の搬送手段３１ａ挟持アーム３１ｂ挟持アーム３１ｅ溝付き横バー３１ｆ溝付き横バー３１ｇロッド３１ｈアーム開閉機構３５洗浄搬送装置３５ａ支柱４０洗浄槽４０ａ洗浄槽４０ｂ乾燥槽４１基板保持台４１ａ受け溝４２純水４３）排気ダクト

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｂ６５Ｇ 49/07 Ｂ６５Ｇ 49/07 ＬＨ０１Ｌ 21/304 ６４８Ｈ０１Ｌ 21/304 ６４８ＢＦターム(参考） 3B116 AA03 AB03 AB23 AB44 BB02 3B201 AA03 AB03 AB23 AB44 BB02 CB12 3F022 AA08 BB09 CC02 DD01 DD03 DD06 EE05 HH11 KK02 KK05 KK12 KK18 NN05 NN08 NN12 5F031 CA02 DA01 FA01 FA09 FA11 FA12 FA15 FA19 FA22 FA24 GA04 GA06 GA07 GA10 GA13 GA14 GA15 GA32 GA42 GA47 GA48 GA49 MA15 MA23 NA13 PA23

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】横向きに置かれたボックスキャリヤー
（３）に収納された被洗浄物基板（１）を該ボックスキ
ャリヤー（３）から洗浄槽（４０）に搬送し、及び／又
は、洗浄槽（４０）からの基板（１）をボックスキャリ
ヤー（３）に搬送して収納する搬送機構であって、該搬
送機構は基板（１）を、回転治具（２５）と前記ボック
スキャリヤー（３）との間を搬送する第１の搬送手段
（５）と、該回転治具（２５）と前記洗浄槽（４０）と
の間を搬送する第２の搬送手段（２９）とを有し、前記第１の搬送手段（５）は、基板（１）を複数枚同時
に挟持し、前記回転治具（２５）と前記ボックスキャリ
ヤー（３）との間を略水平面内で移送し、前記回転治具（２５）は、複数枚の基板（１）を収容で
き、かつ回転手段（２５ａ）により略水平方向から略垂
直方向に、また略垂直方向から略水平方向に回転可能で
あり、前記第２の搬送手段（２９）は、前記回転治具（２５）
が垂直方向を向いているときに、該回転治具（２５）の
頂部開口（２５ｂ）の上に昇降して一度にそこから基板
（１）を受け取り又はそこに基板（１）を受け渡すこと
ができるものであることを特徴とする基板洗浄乾燥装置
における搬送機構。
【請求項２】前記第１の搬送手段（５）が、基腕
（７）上に設けられツメ（１９）を有する長短二組の基
板挟持部材（９）（１１）と、該基板挟持部材（９）
（１１）を作動する挟持部材作動機構（１３）と、該基
板挟持部材（９）（１１）を支承する前記基腕（７）の
平面内レベルを上下方向に変換させる昇降機構（２１）
と、前記昇降機構（２１）全体の方向を回転させる回転
機構（２３）とを有し、かつ、前記挟持部材作動機構
（１３）が、該基板挟持部材（９）（１１）それぞれを
前記基腕（７）上で前後方向にスライドさせて相互の距
離を変換させるスライド機構（１５ａ）（１５ｂ）と、
該基板挟持部材（９）（１１）の内の少なくとも１方を
上下方向にピッチ移動させて他方との上下距離をステッ
プ状に変換させるピッチ昇降機構（１７）とからなるこ
とを特徴とする請求項１に記載の基板洗浄乾燥装置にお
ける搬送機構。
【請求項３】前記回転治具（２５）がその底部開口
（２５ｃ）に、複数の基板（１）を同時に頂部開口（２
５ｂ）の上部に押し上げて前記第２の搬送手段（２９）
に受け渡し、又は頂部開口（２５ｂ）の上部で前記第２
の搬送手段（２９）から受け取る昇降機構（２７）を備
えたことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の基
板洗浄乾燥装置における搬送機構。
【請求項４】前記第１の搬送手段（５）の二組の基板
挟持部材（９）（１１）がそれぞれ、先端に基板保持用
のツメ（１９）を備えた左右２本のヨーク対（９ａ）
（９ｂ）、及び左右２本のヨーク対（１１ａ）（１１
ｂ）を有し、かつ、各ヨーク対（９ａ）（９ｂ）、（１
１ａ）（１１ｂ）先端のツメ（１９）の前後方向及び上
下方向の間隔が可変となるように、各基板挟持部材
（９）（１１）は独立して前後に方向スライド可能であ
り、上下方向にピッチ変動可能であることを特徴とする
請求項１乃至請求項３のいずれか１に記載の基板洗浄乾
燥装置における搬送機構。