JP2659384B2 - ウエハ検査装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、キャリア内から供給されるウエハをマクロ
観察、ミクロ観察するためのウエハ検査装置に関する。

〔従来の技術〕

従来ウエハ検査装置は、ウエハを収納するキャリアと
ミクロ観察するための顕微鏡装置とをウエハ搬送装置を
介して連結することにより構成されている。そして、ウ
エハ搬送装置は、そもそもウエハをキャリアから取出し
て顕微鏡ステージに送り、顕微鏡観察の済んだウエハを
キャリアに能率良く戻すように構成されている。

第９図は従来のウエハ搬送装置を含むウエハ検査装置
の斜視図、第10図は同装置の平面図であって、１はウエ
ハ２を収納するキャリアである。３はキャリア１をウエ
ハ２の収納ピッチ間隔で上下動して所定位置に移動する
エレベータ、４はキャリア１からウエハ２を押し出すウ
エハ押し出し、５は押し出されたウエハ２を後述の回転
台の方へ搬送したり該回転台上のウエハ２をキャリア１
の方へ搬送するコンベアベルト、６は搬送されてきたウ
エハ２を矢印方向の往復動より回転台に芯合わせするセ
ンタ出しガイド、７はウエハ２を真空吸着して回転せし
める回転台、８はウエハ２の外周部より若干内側に位置
するように配置されていてウエハ２のオリフラ位置を検
出するオリフラセンサー、９は上昇により回転台７上の
ウエハ２を載置し真空吸着してから180゜回転し、その
後真空吸着を解除し下降して後述のホルダにウエハ２を
渡したり、同様な動作によりホルダ上のウエハ２を回転
台７上へ受け渡す交換アーム、10はコンベアベルト５に
よりキャリア１の方へ戻されてきたウエハ２をキャリア
１内へ押し込むウエハ押し込み、11はその際のウエハ２
の有無を検出するウエハ検出センサーである。12はXYス
テージ12aを有する顕微鏡、13は交換アーム９の上下死
点の中間に位置するようにしてステージ12a上にＸ方向
に摺動可能に取付けられていて交換アーム９からウエハ
２を受取って顕微鏡観察部に移動せしめたり、観察図み
のウエハを交換アーム９に戻すホルダである。14はホル
ダ検知スイッチ、15はキャリア１内の全ウエハ２を搬送
する後述のウエハNO.指定スイッチにより指定されたウ
エハ２を搬送するかを決める全数／抜取切替えスイッ
チ、16はオリフラ合わせの方向を決めるオリフラ位置選
択スイッチ、17はクリーニングスイッチ、18はエラー表
示LED、19は抜取りするウエハ２のNo.を指定するウエハ
No.指定スイッチ、20は動作の開始を入力する開始スイ
ッチ、21は途中で装置を初期状態にするリセットスイッ
チ、22は緊急に装置の動作を停止させる非常停止スイッ
チであって、これは図示しない制御回路を介して上記部
材と接続されている。そして、上記部材からキャリア１
及び顕微鏡12を除いた部材がウエハ搬送装置を構成して
いた。

又、このウエハ搬送装置の動作は次のようであった。

まず、エレベータ３にキャリア１を載せ、開始スイッ
チ20をONにすると、エレベータ３が１番目（キャリア１
の下から１番目,2番目と呼ぶ）のウエハ２の搬送位置と
一致する位置まで下降し、１番目のウエハ２がウエハ押
し出し部材４によりコンベアベルト５の上に押し出され
る。ウエハ２はコンベアベルト５により回転台７上に搬
送されたセンタ出しガイド６により回転台７に芯合わせ
される。その後回転台７はウエハ２を真空吸着した状態
で回転する。次にオリフラセンサー８によりウエハ２の
オリフラ位置を検出し、オリフラ位置選択スイッチ16に
より設定されたオリフラ位置でウエハ２を停止させる。
次に、回転台７より下方位置に待機していた交換アーム
９が上昇し、その一端にウエハ２を載せて真空吸着し、
180゜回転する。その後交換アーム９は真空吸着を解除
して再び下降する。この交換アーム９の下降途中でホル
ダ13がウエハを受け取り、顕微鏡観察部に送る。又、交
換アーム９の下降後、キャリア１内の２番目のウエハ２
がウエハ押し出し４によりコンベアベルト５上に押し出
され、以下上記と同様にしてオリフラ合わせされ、回転
台７上で待機する。

顕微鏡12によるホルダ13上のウエハ２の検査が終了
後、開始スイッチ20をONにすると、交換アーム９が上昇
し、1,2番目のウエハ２を真空吸着して180゜回転し、真
空吸着解除後下降し、よって１番目と２番目のウエハ２
を入れ換える。１番目のウエハ２は、コンベアベルト５
によりキャリア１内の元のスロットに入り、ウエハ押し
込み10により完全に押し込まれる。その後、３番目のウ
エハ２がウエハ押し出し部材４によりコンベアベルト５
の上に押し出され、上記と同様にしてオリフラ合わせを
回転台７上で待機する。

以下同様にして順次ウエハ２をキャリア１に搬送す
る。最後のウエハ２がホルダ13内に収納されると、エレ
ベータ３は上昇し、初期位置で停止する。

又、上記動作において、全数／抜取切替えスイッチ15
で、キャリア１内の全てのウエハ２を搬送する（全数検
査）か、ウエハNo.指定スイッチ19で指定したウエハ２
のみを搬送する（抜取検査）かを設定する。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところが、ウエハ検査では、必ずしも顕微鏡観察をす
るまでもなく、搬送過程でウエハ２をマクロ観察と呼ば
れる肉眼観察をしてすぐキャリア１に戻したり、時には
オリフラ合わせをしただけでウエハ２をキャリア１へ戻
すという操作もあった。

しかし、上記従来のウエハ検査装置は、一連の流れの
中で機能を選択して対処するようにはなっていなかっ
た。そのためウエハ検査の工程で顕微鏡観察，マクロ観
察，オリフラ合わせ操作を適宜行うために、夫々の観
察，操作に応じた搬送装置を個別に用意して項目に応じ
た装置に移し変えたり、顕微鏡観察への過程の途中で非
常停止してマクロ観察に入るなどしなければならず、操
作性が悪くて検査の多様性への適合が困難であった。

本発明は、上記問題点を鑑み、操作性を良くし、検査
の多様性への適合を容易にしたウエハ検査装置を提供す
ることを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的を達成するために、本発明に係るウエハ検査
装置は、請求項（１）に記載の発明によれば、複数のウ
エハを収納するキャリアと、このキャリアから選択供給
されたウエハをマクロ観察するマクロ観察手段と、マク
ロ観察手段にて観察されたウエハをミクロ観察するミク
ロ観察手段と、前記キャリアと前記マクロ観察手段との
間で選択されたウエハを搬送する第１の搬送手段と、前
記マクロ観察手段と前記ミクロ観察手段との間で前記選
択されたウエハを搬送する第２の搬送手段とを備え、前
記マクロ観察手段、ミクロ観察手段、第１の搬送手段、
第２の搬送手段の各手段を個々に制御し、かつ各種モー
ドの設定に応じシーケンス制御する制御手段と、この制
御手段のシーケンス制御を各モードに応じて変更する変
更手段とを備えたことを特徴としている。

また、請求項（２）に記載の発明によれば、前記マク
ロ観察手段は、キャリアから選択供給されたウエハの芯
出し機能とオリフラ合わせ機能と水平マクロ観察機能ま
たは揺動マクロ観察機能とを備え、これらの各機能を選
択的に制御可能にしたことを特徴としている。

また、請求項（３）に記載の発明によれば、前記マク
ロ観察手段は、さらにウエハの回転速度を制御する手段
を備えていることを特徴としている。

〔実施例〕

以下、図示した一実施例に基づき、上記従来例と同一
の部材には同一符号を付して本発明を詳細に説明する。

第１図は本発明に係るウエハ検査装置の一実施例の全
体を示す斜視図、第２図は上記実施例の平面図である。
23は後述の駆動機構により駆動されるようになってい
て、エレベータ３の上下動によりウエハ２を載置した後
真空吸着し、キャリア１より水平移動せしめて回転台70
に渡したり、回転台70上のウエハ２をキャリア１へ戻す
吸着アームである。24は回転台70を揺動する手段と電気
的又は機械的に連結されているジョイステイック、25は
操作パネルである。

回転台70には後述の回転速度設定スイッチ49により設
定された速度で回転する回転軸70aが設けられており、
交換アーム９または吸着アーム23により供給されたウエ
ハ２を真空吸着する機能を有する。この回転台70の周囲
には従来例と同様にキャリア１から選択供給されたウエ
ハ２の芯出しを行うセンタ出しガイド６が図２の矢印方
向に往復移動可能に一対設けられている。また、センタ
出しガイド６により芯出しがなされたウエハ２の周縁よ
り若干内側に位置しウエハ位置決用の切欠部（図示例で
は、ウエハ２の周縁部の一部を直線状に切欠いてオリフ
ラ）の位置を検出するオリフラセンサー８が配置されて
いる。これらによりキャリア１から供給されたウエハ２
の位置決めを行うウエハ位置決部が構成されている。更
に、回転軸70aは上下方向に移動可能になっており、後
述のシーケンス設定スイッチ48により揺動マクロモード
が設定されると回転軸70aが上昇し、ジョイスティック2
4の操作に応じて回転軸70aが任意の角度に傾斜揺動する
ようになっている。また、マクロ回転モードが設定され
ると回転軸70aが上昇し、ジョイスティック24の操作に
応じて回転軸70aが所定の角度に傾斜した状態で回転す
るようになっている。尚、後述のシーケンス設定スイッ
チ48により水平マクロモードが設定された場合は、回転
軸70aは上昇せずに垂直な状態に維持されて回転するよ
うになっている。

第３図は吸着アーム23の駆動機構の平面図、第４図は
該駆動機構の一部破断正面図、第５図は第４図Ｖ−Ｖ線
に沿う断面図であって、第３図中の（Ｉ），（II），
（III）は夫々吸着アーム23の回転台７上にある位置，
ウエハ２をキャリア１に収納後次のウエハを受け取る前
の待機位置，キャリア１内に挿入した位置を示してい
る。

26は搬送装置本体に固定されたフレーム、27はフレー
ム26の左右（第２図では前後）壁間に横架された一対の
ガイド軸、28はリニア軸受29を介して水平ガイド軸27に
摺動可能に装架されたアームブロック、30はリニア軸受
１を介してアームブロック28に上下方向に摺動可能に支
持された一対の支持軸、32は支持軸30の上端に固着され
且つ先端部に吸着アーム23が固定されていると共に支持
軸30の下方への抜けも防止する支持腕、33は支持軸30の
下端に固着されていて支持軸30の上方への抜けを防止す
ると共に後述のエアシリンダのピストンロッドに係合し
得る係合片、34は支持軸30に上方への移動習性を付与し
ているバネ、35は支持腕32に固定されていてアームブロ
ック28が上下方向に動いた時後述の上点センサー，下点
センサーを検知される被検知片、36はアームブロック28
に固定されていてアームブロック28が水平方向に移動し
た時後述の位置センサーに位置される被検知片である。
37及び38はフレーム26の左右端近傍に枢着されたプーリ
ー、39はプーリー37,38間に掛けられ且つアームブロッ
ク28に接続されたベルト、40はプーリー37を駆動する正
逆回転可能なモータであって、これらがアームブロック
水平駆動機構を構成している。41,42,43は夫々上記位置
（Ｉ），（II），（III）に対応してフレーム26に固定
されていて被検知片36を検知することによりアームブロ
ック28の水平方向位置を検出する位置センサーである。
44はフレーム26の左端近傍に固定されていてアームブロ
ック28が上記位置（Ｉ）にある時ピストンロッド44aが
係合片33に係合してアームブロック28を引き下げたりす
るエアシリンダー45,46はフレーム26の左壁に固定され
ていてアームブロック28が上記位置（Ｉ）にある時被検
片35を検知することによりアームブロック28の上下方向
位置を検出する上点センサー，下点センサーである。

第６図は操作パネル25の正面図である。47は自動／手
動切換えスイッチであって、自動モードの時は開始スイ
ッチ20を一回押すだけで全ウエハ２が連続的に搬送さ
れ、手動モードの時は開始スイッチ20を一回押すたびに
一枚のウエハ２が搬送されるようになっている。48はケ
ーシング設定スイッチであって、ホルダ搬送スイッチが
ONの時は顕微鏡観察のためにウエハ２がホルダ13まで搬
送され、オリフラ合わせスイッチがONの時は回転台70上
でオリフラ合わせが行なわれ、揺動マクロスイッチONの
時は揺動マクロ観察のために回転台70に真空吸着されて
いるウエハ２が上昇した状態でジョイスティック24の操
作に応じて回転軸70aが傾斜揺動せしめられ、水平マク
ロスイッチがONの時は水平マクロ観察のために回転台70
上に真空吸着されているウエハ２が上昇しない初期位置
に停止した状態で回転軸70aが回転せしめられ、マクロ
回転スイッチONの時は揺動マクロ観察と同様にジョイス
ティック24を用いて回転軸70aを所望の角度に傾斜させ
た状態で回転軸70aが回転せしめられるようになってい
る。49は回転台70の回転速度を設定する回転速度設定ス
イッチ、50は停止時間設定スイッチあって、マクロ観察
シーケンスの時はウエハ２の回転台70上での停止時間を
設定し、ホルダ搬送シーケンスの時はウエハ２のホルダ
13上での停止時間を設定する（但し、自動モードの時）
ようになっている。51は一時停止スイッチであって、こ
れがONの時は停止時間設定スイッチ50を無効にして連続
停止を行わせるようになっている。52は処理中のウエハ
２のNo.又はエラーコードを表示するウエハNo./エラー
コード表示部、53はNo./コード表示LED、54は自動／手
動表示LED、55は全数／抜取表示LEDである。

次に本実施例の動作について説明する。

ウエハの搬送について： （ｉ） 自動モードでホルダ搬送・オリフラ合わせシー
ケンスの場合 まず、エレベータ３にキャリア１の載せて開始スイッ
チ20を押すと、エレベータ３が１番目のウエハ２の取り
出し位置まで下降する。次に、位置（II）にあった吸着
アーム23が水平駆動機構により第７図一点鎖線図示の如
く１番目のウエハ２の下に挿入され（位置（III））、
エレベータ３を若干下降せしめることにより吸着アーム
23にウエハ２が載せられて真空吸着され、吸着アーム23
は水平駆動機構によりそのまま第７図実線図示の如く回
転台70の上方（位置（Ｉ））まで水平移動し、真空吸着
を解除しエアシリンダ44により下降して回転台70上にウ
エハ２を載せる。次に、一対のセンタ出しガイド６の第
２図矢印方向の往復動によりウエハ２が回転台70に芯合
わせされる。その後ウエハ２を回転台70に真空吸着し回
転させる。次に、オリフラセンサー８によりウエハ２の
オリフラを検出し、オリフラ位置選択スイッチ16により
設定されたオリフラ位置でウエハを停止させる。

次に回転台70より下方位置に待機していた交換アーム
９が上昇してウエハ２を該アーム９に載せ真空吸着し、
180゜回転する。続いて、交換アーム９は真空吸着を解
除して再び下降し、ホルダ13は交換アーム９の下降途中
でウエハ２を受け取る。交換アーム９の下降後、キャリ
ア１内の２番目のウエハ２が吸着アーム23により回転台
70上に搬送され、オリフラ合わせされる。

次に停止時間設定スイッチ50により設定された停止時
間後、交換アーム９が上昇し、ホルダ13上及び回転台70
上の入1,2番目のウエハ２を真空吸着し、180゜回転す
る。続いて、交換アーム９は真空吸着解除下降し、１番
目と２番目ウエハ２の交換を完了する。尚、上記停止時
間は、ホルダ13が顕微鏡装置束にセットされていたとき
は、ホルダ13がホルダ検知スイッチ14に検知された時即
ち顕微鏡観察（ミクロ観察）が終了しホルダ13が戻され
たことが検知された時から計時される。その後１番目の
ウエハ２は、吸着アーム23によりキャリア１内の元のス
ロット内に戻される。その後３番目のウエハ２が吸着ア
ーム９により回転台70上に搬送され、再びオリフラ合わ
されて待機せしめられる。

以下同様に順次ウエハ２がホルダ13まで搬送される
が、最後のウエハ２がキャリア１内に収納されると、エ
レベータ3,吸着アーム23は初期位置に戻って停止せしめ
られる。

（ii） オリフラ合わせのシーケンスが設定されていな
い場合 オリフラ合わせは省略される。

（iii） 手動モードの場合 停止時間による動作の制御がなく、常に開始スイッチ
20による制御となる。

マクロ観察について： （Ｉ） 自動モードで揺動マクロシーケンスが設定され
ている場合 まず、エレベータ３にキャリア１を載せて開始スイッ
チ20を押すと、前述と同様にして吸着アーム23により１
番目のウエハ２が回転台70上に搬送された後センタ出し
ガイド６により回転台70に芯合わせされる。次に回転台
70にウエハ２を真空吸着し、回転台70と一緒に上昇させ
る。次に、回転台70は下降時以外はジョイスティック24
の操作により第８図のａのように全方向に傾斜せしめら
れ、その状態でウエハ２の揺動マクロ観察が行われる。
尚、マクロ回転のシーケンスが設定されている場合は、
回転速度設定スイッチ49によって設定された速度で回転
台70が回転せしめられ、その状態でウエハ２のマクロ回
転観察が行われる。次に停止時間設定スイッチ50により
設定された時間回転台70が上昇状態を保った後、回転台
70は再び下降する。そして、吸着アーム23が、１番目の
ウエハ２をキャリア１内に戻し、２番目のウエハ２を１
番目と同様に摺動検知位置まで搬送する。

以上の繰り返しが行なわれ、最後のウエハ２がキャリ
ア１内に収納されると、吸着アーム23,エレベータ３は
初期位置に戻り停止する。

（ii） 水平マクロシーケンスが設定されている場合 基本動作は揺動マクロシーケンスと同様であるが、回
転台70が上昇せず第８図のｂで示す水平な状態でウエハ
２の水平マクロ観察が行われる。尚、マクロ回転のシー
ケンスが設定されている時は、揺動マクロ観察の場合と
同じである。

（iii） シーケンス設定スイッチ48の全てが設定され
ていない場合 吸着アーム23によるウエハ２のキャリア１に対する抜
き出し収納動作のみとなり、観察位置は第８図のｃとな
る。

（iv） 手動モードの場合 一枚のウエハ毎に開始スイッチ20を押して行うことに
なり、吸着アーム23はキャリア１内にウエハ２を収納し
た後次のウエハ２を取り出し、順次完了状態で開始スイ
ッチ20の動作待ちで待機する。

揺動マクロ又は水平マクロのシーケンス設定でオリフ
ラ合わせシーケンスが設定されている時は、搬送途中又
は収納途中でオリフラ合わせされる。

（ｖ） シーケンスの途中変更の場合 一枚のウエハ毎にシーケンスの変更ができる。例えば
水平マクロシーケンスの状態で検査中に、顕微鏡で詳細
にミクロ観察したい場合、先ず一時停止スイッチ51を押
して停止時間設定スイッチ50を無効にし、ホルダ搬送
（オリフラ合わせの必要ある場合は更にオリフラ合わ
せ）のシーケンス設定スイッチを押すと、該当ウエハ２
がホルダ13まで搬送される。

以上のように、本実施例は、各種の操作・観察を検査
工程の中で自在に適合し得るようにしているので、操作
性が良く、検査の多様性への適合が容易である。具体的
には、（１）複数種のマクロ観察に対応できる、（２）
マクロ観察と顕微鏡観察の切替えにワッタッチで対応で
きる、（３）一枚のウエハ毎に上記観察の変更ができ
る、（４）揺動せずに水平上体で回転なしで検査の場合
に揺動，回転を排除できるので搬送時間が短くて済むな
どの利点がある。

尚、本発明は以上の実施例にとらわれず、例えばシー
ケンスの設定スイッチをシーケンス個々にもつのではな
く、予め組合わされたシーケンス毎にまとめて複数種を
用意しても同様な効果が得られる。又、マクロ観察専用
機に限定した装置においても、種々のマクロ観察に対応
できることも言うまでもない。

〔発明の効果〕

上述の如く、本発明によるウエハ検査装置は、以上説
明したように構成されているので、以下に記載されるよ
うな効果を奏する。

同一の装置でマクロモード（水平モード、揺動マクロ
モード、マクロ回転モードおよびこれらのモードの組み
合わせ）、マクロ／ミクロモード等、観察条件や検査項
目に応じてシーケンスを適宜選択でき、検査の多用性へ
容易に適合可能な実用性に優れ、且つシーケンス設定ス
イッチによりシーケンスの変更が極めて容易にできる。

また、マクロ観察機能を構成する回転台の回転速度を
制御することにより、水平マクロ観察、揺動マクロ観
察、更にマクロ回転観察の各観察時の観察条件や観察項
目により回転数を設定できるので、最適な条件でマクロ
観察ができる。たとえば、熟練度に応じて回転数を変更
できれば、観察者が最適と思われるスピードに自由に設
定できるので、初心者でも熟練者でも熟練度に係わらず
良好な検査ができると共に、熟練度および検査項目に応
じてスピードを変更することにより、検査時間の短縮を
図ることができる。さらに、必要なモードを省略して必
要な観察モードと操作のシーケンスを検査項目等に応じ
て自由に設定できるので、無駄な動作がなくなり検査時
間を短縮することもできる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係るウエハ検査装置の一実施例の全体
を示す斜視図、第２図は上記実施例の平面図、第３図及
び第４図は夫々上記実施例の吸着アームの駆動機構の平
面図及び一部破断正面図、第５図は第４図Ｖ−Ｖ線に沿
う断面図、第６図は上記実施例の操作パネルの正面図、
第７図及び第８図は夫々上記実施例の吸着アーム及び回
転台の動作を示す図、第９図は従来例を含むウエハ検査
装置全体の斜視図、第10図は従来例の平面図である。 １……キャリア、２……ウエハ、３……エレベータ、６
……センタ出しガイド、７……回転台、８……オリフラ
センサー、９……交換アーム、11……ウエハ検出センサ
ー、12……顕微鏡装置、13……ホルダ、14……ホルダ検
知スイッチ、15……全数／切替えスイッチ、16……オリ
フラ位置選択スイッチ、19……ウエハNo.指定スイッ
チ、20……開始スイッチ、21……リセットスイッチ、22
……非常停止スイッチ、23……吸着アーム、24……ジョ
イスティック、25……操作パネル、26……フレーム、27
……水平ガイド軸、28……アームブロック、29,31……
リニア軸、30……支持軸、32……支持腕、33……係合
片、34……バネ、35,36……被検知片、37,38……プーリ
ー、39……ベルト、40……モータ、41,42,43……位置セ
ンサー、44……エアシリンダー、45……上点センサー、
46……下点センサー、47……自動／手動切替えスイッ
チ、48……シーケンス設定スイッチ、49……回転速度設
定スイッチ、50……停止時間設定スイッチ、51……一時
停止スイッチ、52……ウエハNo./エラーコード表示部、
53……No./コード表示LED、54……自動／手動表示LED、
55……全数／抜取表示LED、70……回転台、70a……回転
軸。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/66 Ｈ０１Ｌ 21/66 Ｊ (72)発明者 瓜生田 明 東京都渋谷区幡ケ谷２―43―２ オリン パス光学工業株式会社内 (72)発明者 楡井 辰夫 東京都渋谷区幡ケ谷２―43―２ オリン パス光学工業株式会社内 (72)発明者 茨木 秀文 東京都渋谷区幡ケ谷２―43―２ オリン パス光学工業株式会社内 (56)参考文献 特開 昭61−179549（ＪＰ，Ａ) 特開 昭56−116638（ＪＰ，Ａ)

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】複数のウエハを収納するキャリアと、 このキャリアから選択供給されたウエハをマクロ観察す
   るマクロ観察手段と、 マクロ観察手段にて観察されたウエハをミクロ観察する
   ミクロ観察手段と、 前記キャリアと前記マクロ観察手段との間で選択された
   ウエハを搬送する第１の搬送手段と、 前記マクロ観察手段と前記ミクロ観察手段との間で前記
   選択されたウエハを搬送する第２の搬送手段とを備え、 前記マクロ観察手段、ミクロ観察手段、第１の搬送手
   段、第２の搬送手段の各手段を個々に制御し、かつ各種
   モードの設定に応じシーケンス制御する制御手段と、 この制御手段のシーケンス制御を各モードに応じて変更
   する変更手段とを備えたことを特徴とするウエハ検査装
   置。
2. 【請求項２】前記マクロ観察手段は、キャリアから選択
   供給されたウエハの芯出し機能とオリフラ合わせ機能と
   水平マクロ観察機能または揺動マクロ観察機能とを備
   え、これらの各機能を選択的に制御可能にしたことを特
   徴とする請求項（１）に記載のウエハ検査装置。
3. 【請求項３】前記マクロ観察手段は、さらにウエハの回
   転速度を制御する手段を備えていることを特徴とする請
   求項（１）に記載のウエハ検査装置。