JPH08203987A - ４分割ウエハにおける扇形ウエハ片の位置決め方法，マウント方法及びマウント装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 半導体ウエハを４分割切断してなる扇形ウエ
ハ片を自動的に所要の姿勢に位置決めできる４分割ウエ
ハにおける扇形ウエハ片の位置決め方法を提供する。 【構成】 円形の半導体ウエハをその中心若しくはその
近辺で直交するスクラブラインで４分割切断してなる各
扇形ウエハ片１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄに順番付けをす
る。これら扇形ウエハ片をその順番で決まる元の半導体
ウエハ上で占めていた姿勢で且つその直交する切断縁が
位置決め箇所の位置決め基準方向３ａに対して平行と直
交状態になるように位置決めする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体ウエハを４分割
してなる扇形ウエハ片を所定の場所に所要の姿勢で位置
決めする４分割ウエハにおける扇形ウエハ片の位置決め
方法、及び該扇形ウエハ片をウエハマウント保持体の接
着面に所要の姿勢で接着してマウントする４分割ウエハ
における扇形ウエハ片のマウント方法及びマウント装置
に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図１６は、従来の円形の半導体ウエハ１
をウエハマウント保持体２にマウントした状態を示す。
ウエハマウント保持体２は、リングフレーム３に接着シ
ート４が貼り付け固定された構造になっている。半導体
ウエハ１は、その結晶方向を示すオリエンテーションフ
ラット１ａが、接着シート４の位置決め箇所の位置決め
基準方向としてリングフレーム３の外周の一部を切り欠
いて設けられている切り欠けフラット部よりなる位置決
め基準方向３ａに平行する向きで該接着シート４に接着
されてマウントされている。半導体ウエハ１の表面に
は、半導体チップ５を形成するためのスクラブライン
（または、ストリート）６が所定のピッチで直交する向
きで設けられている。

【０００３】このように半導体ウエハ１をマウントした
ウエハマウント済み保持体７は、次のダイシング工程で
半導体ウエハ１がその各スクラブライン６に沿って切断
されて四角形の半導体チップ５として形成され、次にピ
ックアップ工程に運ばれる。ピックアップ工程では、各
半導体チップ５の認識と該半導体チップ５のピックアッ
プを確実にするため、接着シート４を各方向にエキスパ
ンドし、隣接する半導体チップ５の間の間隔を拡大す
る。

【０００４】このとき半導体ウエハ１が大型のものであ
り、この半導体ウエハ１を切断して形成される半導体チ
ップ５の大きさが非常に小さい場合には、チップ間隔を
大きくとるために接着シート４のエキスパンド量が大き
くなるので、半導体ウエハ１の外周がリングフレーム３
の内周に当たってしまうことになって、隣接する半導体
チップ５の間の間隔を所定の寸法まで拡大することが不
可能になる。

【０００５】このため半導体チップ５を、図１７（Ａ）
に示すように、その中心若しくはその近辺で直交するス
クラブライン６ａ，６ｂで４分割切断して、図１７
（Ｂ）に示すよう４つの扇形ウエハ片１Ａ，１Ｂ，１
Ｃ，１Ｄを得、これら扇形ウエハ片１Ａ〜１Ｄを１個づ
つウエハマウント保持体２の接着シート４に接着してマ
ウントすることが提案されている。

【０００６】このとき重要なことは、次工程で半導体チ
ップ５をピックアップしてリードフレームにボンディン
グする工程では、該リードフレームに対する半導体チッ
プ５の取付ける方向が決まっているため、各半導体チッ
プ５の方向が必ず同じであることが要求される。

【０００７】このため半導体ウエハ１から４分割した扇
形ウエハ片１Ａ〜１Ｄであっても、個々の扇形ウエハ片
１Ａ〜１Ｄにおける各半導体チップ５のパターン方向を
同じにしてウエハマウント保持体２の接着シート４にマ
ウントする必要がある。

【０００８】このときに、半導体ウエハ１から４分割さ
れた扇形ウエハ片１Ａ〜１Ｄをウエハマウント保持体２
の接着シート４に自動的にマウントするためには、各扇
形ウエハ片１Ａ〜１Ｄを正しい方向に合わせることが必
要になる。

【０００９】また、製造工程での品質管理は、ウエハ枚
数の管理であるため、半導体ウエハ１が４分割されて
も、工程品質管理のため、４分割された扇形ウエハ片１
Ａ〜１Ｄの順番を変えないように管理可能とするマウン
ト方法が必要になる。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うに半導体ウエハ１を４分割切断してなる各扇形ウエハ
片１Ａ〜１Ｄは、その最も中心に近いスクラブライン６
ａ，６ｂで切断した場合でも、半導体ウエハ１の円の中
心では分割されず、半導体チップ５が大きくなるとスク
ラブライン６ａ，６ｂの交点の位置も半導体ウエハ１の
中心から大きくずれるため、各扇形ウエハ片１Ａ〜１Ｄ
の大きさがそれぞれ異なってしまうことになる。従っ
て、各扇形ウエハ片１Ａ〜１Ｄをウエハマウント保持体
２の中心にパターン方向を合わせてマウントする際に
は、従来の自動マウント装置では対応できず、手作業に
頼らざるを得ない問題点があった。

【００１１】本発明の目的は、半導体ウエハを４分割切
断してなる扇形ウエハ片を自動的に所要の姿勢に位置決
めできる４分割ウエハにおける扇形ウエハ片の位置決め
方法を提供することにある。

【００１２】本発明の目的は、半導体ウエハを４分割切
断してなる扇形ウエハ片を自動的にウエハマウント保持
体に所要の姿勢に位置決めしてマウントすることができ
る４分割ウエハにおける扇形ウエハ片のマウント方法を
提供することにある。

【００１３】本発明の目的は、半導体ウエハを４分割切
断してなる扇形ウエハ片を自動的にウエハマウント保持
体に所要の姿勢に位置決めしてマウントすることができ
る４分割ウエハにおける扇形ウエハ片のマウント装置を
提供することにある。

【００１４】

【課題を解決するための手段】本発明に係る４分割ウエ
ハにおける扇形ウエハ片の位置決め方法は、半導体ウエ
ハをその中心若しくはその近辺で直交するスクラブライ
ンで４分割切断してなる各扇形ウエハ片に順番付けを
し、前記各扇形ウエハ片をその順番で決まる元の半導体
ウエハ上で占めていた姿勢になるように位置決めするこ
とを特徴とする。本発明に係る４分割ウエハにおける扇
形ウエハ片のマウント方法は、半導体ウエハをその中心
若しくはその近辺で直交するスクラブラインで４分割切
断してなる各扇形ウエハ片に順番付けをし、前記各扇形
ウエハ片をその順番で決まる元の半導体ウエハ上で占め
ていた姿勢になるように個々のウエハマウント保持体に
おける接着面にそれぞれ位置決め接着してマウントする
ことにより扇形ウエハ片マウント済み保持体を得ること
を特徴とする。

【００１５】この場合、前記ウエハマウント保持体にお
ける接着面に前記半導体ウエハの半径を一辺とする仮想
正方形を、その各辺が該ウエハマウント保持体における
位置決め基準方向に対して直交または平行になるように
設け、前記各扇形ウエハ片をその順番で決まる元の半導
体ウエハ上で占めていた姿勢で且つその直交する切断縁
が該仮想正方形の対応辺と平行になるように該仮想正方
形内の前記接着面にマウントすることが好ましい。

【００１６】また、前記仮想正方形は、前記ウエハマウ
ント保持体の前記接着面の中央部に定めることが好まし
い。

【００１７】本発明に係る４分割ウエハにおける扇形ウ
エハ片のマウント装置は、順番付けされた各扇形ウエハ
片をその順番に応じた場所にストックしていて、その順
番に応じて各扇形ウエハ片を取り出すことができるよう
になっている扇形ウエハ片ストック機構と、該扇形ウエ
ハ片ストック機構から順番に応じて取り出された各扇形
ウエハ片をその直交する切断縁の先端が同じ一定の方向
を向くように位置決めした後、該扇形ウエハ片の順番で
決まる元の半導体ウエハ上で占めていた姿勢になるよう
に位置決めする扇形ウエハ片自動位置決め機構と、該扇
形ウエハ片自動位置決め機構から位置決め完了状態で順
番に応じて取り出された各扇形ウエハ片をその位置決め
されている姿勢で個々のウエハマウント保持体における
接着面にそれぞれ接着してマウントする扇形ウエハ片自
動マウント機構と、前記扇形ウエハ片ストック機構から
各扇形ウエハ片をその順番に応じて取り出して前記扇形
ウエハ片自動位置決め機構に供給すると共に該扇形ウエ
ハ片自動位置決め機構で各扇形ウエハ片が順次位置決め
される毎に取り出してこれら扇形ウエハ片を前記扇形ウ
エハ片自動マウント機構の個々のウエハマウント保持体
における接着面に位置決めされた姿勢のままそれぞれ供
給する扇形ウエハ片自動ハンドリング機構とを備えて構
成されていることを特徴とする。

【００１８】

【作用】本発明に係る４分割ウエハにおける扇形ウエハ
片の位置決め方法は、半導体ウエハをその中心若しくは
その近辺で直交するスクラブラインで４分割切断してな
る各扇形ウエハ片に順番付けをするので、この順番によ
り元の半導体ウエハ上で占めていた姿勢が決まる。

【００１９】このため各扇形ウエハ片をその順番から決
まる姿勢にすることにより、各扇形ウエハ片を容易に元
の半導体ウエハ上で占めていた姿勢にすることができ
る。

【００２０】従って、各扇形ウエハ片の順番がわかれ
ば、各扇形ウエハ片をその順番で決まる元の半導体ウエ
ハ上で占めていた姿勢になるような位置決めの自動化を
容易に行うことができる。

【００２１】本発明に係る４分割ウエハにおける扇形ウ
エハ片のマウント方法は、半導体ウエハをその中心若し
くはその近辺で直交するスクラブラインで４分割切断し
てなる各扇形ウエハ片に順番付けをし、前記各扇形ウエ
ハ片をその順番で決まる元の半導体ウエハ上で占めてい
た姿勢になるように個々のウエハマウント保持体におけ
る接着面にそれぞれ位置決め接着してマウントするの
で、自動的に各扇形ウエハ片の姿勢を確定して個々のウ
エハマウント保持体に接着してマウントすることができ
る。

【００２２】この場合、ウエハマウント保持体における
接着面に半導体ウエハの半径を一辺とする仮想正方形
を、その各辺が該ウエハマウント保持体における位置決
め基準方向に対して直交または平行になるように設け、
各扇形ウエハ片をその順番で決まる元の半導体ウエハ上
で占めていた姿勢で且つその直交する切断縁が該仮想正
方形の対応辺と平行になるように該仮想正方形内の接着
面にマウントすると、各扇形ウエハ片は総て該仮想正方
形内に所定の姿勢で存在することになって、ダイシング
工程でのダイシングストロークを最小限に設定すること
ができる。

【００２３】また、仮想正方形をウエハマウント保持体
の接着面の中央部に定めると、接着面のエキスパンド時
に半導体チップがウエハマウント保持体の縁部に接近す
るような事態の発生を回避することができる。

【００２４】本発明に係る４分割ウエハにおける扇形ウ
エハ片のマウント装置は、順番付けされた各扇形ウエハ
片をその順番に応じた場所にストックしていて、その順
番に応じて各扇形ウエハ片を取り出すことができるよう
になっている扇形ウエハ片ストック機構を用いるので、
順番付けされた各扇形ウエハ片をその順番に応じて取り
出すことができる。

【００２５】また、該装置は、扇形ウエハ片ストック機
構から順番に応じて取り出された各扇形ウエハ片をその
直交する切断縁の先端が同じ一定の方向を向くように位
置決めした後、該扇形ウエハ片の順番で決まる元の半導
体ウエハ上で占めていた姿勢になるように位置決めする
扇形ウエハ片自動位置決め機構を備えているので、扇形
ウエハ片ストック機構から順番に応じて取り出される各
扇形ウエハ片の向きを該扇形ウエハ片の順番で決まる元
の半導体ウエハ上で占めていた姿勢になるように容易に
位置決めすることができる。

【００２６】特に、この扇形ウエハ片自動位置決め機構
では、各扇形ウエハ片を同じ向きに揃えた後、その姿勢
から各扇形ウエハ片をその順番で決まる元の半導体ウエ
ハ上で占めていた姿勢に変更するので、容易に目的の姿
勢に変更できる。

【００２７】また、該装置は、扇形ウエハ片自動位置決
め機構から位置決め完了状態で順番に応じて取り出され
た各扇形ウエハ片をその位置決めされている姿勢で個々
のウエハマウント保持体における接着面にそれぞれ接着
してマウントする扇形ウエハ片自動マウント機構を備え
ているので、各扇形ウエハ片をその順番で決まる所用の
姿勢でウエハマウント保持体の接着面に容易にマウント
することができる。

【００２８】また、該装置は、扇形ウエハ片ストック機
構から各扇形ウエハ片をその順番に応じて取り出して扇
形ウエハ片自動位置決め機構に供給すると共に該扇形ウ
エハ片自動位置決め機構で各扇形ウエハ片が順次位置決
めされる毎に取り出してこれら扇形ウエハ片を扇形ウエ
ハ片自動マウント機構の個々のウエハマウント保持体に
おける接着面に位置決めされた姿勢のままそれぞれ供給
する扇形ウエハ片自動ハンドリング機構を備えているの
で、これら扇形ウエハ片ストック機構，扇形ウエハ片自
動位置決め機構，扇形ウエハ片自動マウント機構に対す
る各扇形ウエハ片の所要のハンドリングを容易に行うこ
とができる。

【００２９】

【実施例】図１〜図４は、本発明に係る４分割ウエハに
おける扇形ウエハ片のマウント装置の一実施例を示した
ものである。

【００３０】本実施例では、図１７（Ｂ）に示すように
半導体ウエハ１を４分割切断してなる扇形ウエハ片１
Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１ＤをＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄなる順番で順番
付けをする。なお、この順番付けを、本実施例では反時
計回りにしたが、時計回りにしてもよいことは勿論であ
る。また、どの扇形ウエハ片を最初の順番に定めてもよ
い。

【００３１】本実施例の４分割ウエハにおける扇形ウエ
ハ片のマウント装置は、図１及び図２に示すように、順
番付けされた各扇形ウエハ片１Ａ〜１Ｄをその順番に応
じた場所にストックしていて、その順番に応じて各扇形
ウエハ片１Ａ〜１Ｄを取り出すことができるようになっ
ている扇形ウエハ片ストック機構８と、該扇形ウエハ片
ストック機構８から順番に応じて取り出された各扇形ウ
エハ片１Ａ〜１Ｄをその直交する切断縁の先端が同じ一
定の方向を向くように位置決めした後、該扇形ウエハ片
１Ａ〜１Ｄの順番で決まる元の半導体ウエハ上で占めて
いた姿勢で且つその直交する切断縁が位置決め箇所に置
かれたときその位置の位置決め基準方向に対して平行と
直交状態になるように位置決めする扇形ウエハ片自動位
置決め機構９と、該扇形ウエハ片自動位置決め機構９か
ら位置決め完了状態で順番に応じて取り出された各扇形
ウエハ片１Ａ〜１Ｄをその位置決めされている姿勢で個
々のウエハマウント保持体における接着面にそれぞれ接
着してマウントする扇形ウエハ片自動マウント機構１０
と、扇形ウエハ片ストック機構８から各扇形ウエハ片１
Ａ〜１Ｄをその順番に応じて取り出して扇形ウエハ片自
動位置決め機構９に供給すると共に該扇形ウエハ片自動
位置決め機構９で各扇形ウエハ片１Ａ〜１Ｄが順次位置
決めされる毎に取り出してこれら扇形ウエハ片１Ａ〜１
Ｄを扇形ウエハ片自動マウント機構１０の個々のウエハ
マウント保持体における接着面に位置決めされた姿勢の
ままそれぞれ供給する扇形ウエハ片自動ハンドリング機
構１１とを備えて構成されている。

【００３２】扇形ウエハ片ストック機構８は、図１〜図
３に示すように、ウエハ片ストッカー１２を備え、該ウ
エハ片ストッカー１２は扇形ウエハ片自動ハンドリング
機構１１側に面する手前側の部分が該手前側に末広がり
に広がるようにＶ形にカットされてＶ形空間１３が形成
されている。このＶ形空間１３の輪郭に沿ってウエハ片
ストッカー１２には、水平向きのＶ形ストック棚１４が
上下に多段に設けられている。これらＶ形ストック棚１
４には、各扇形ウエハ片１Ａ〜１Ｄを下から上にその順
番に応じて順に繰り返しストックするように各扇形ウエ
ハ片１Ａ〜１Ｄの順番Ａ〜Ｄに対応して番地付けがなさ
れ、対応する順番のものしか収納しないことと定める。
例えば、各扇形ウエハ片１Ａ〜１Ｄのうちの１つが万一
不良品となって除去されている場合には、その扇形ウエ
ハ片の順番のＶ形ストック棚１４には扇形ウエハ片をス
トックしないことと定める。このようなウエハ片ストッ
カー１２は、昇降テーブル１５上に支持されている。該
昇降テーブル１５の扇形ウエハ片自動ハンドリング機構
１１側に面する手前側の部分にもＶ形空間１３が延長し
て形成されている。昇降テーブル１５は、その下面に取
り付けられたナット部材１６と、該ナット部材１６に螺
合された垂直向きのボールネジ１７ａと、該ボールネジ
１７ａを回転する昇降用モータ１７ｂとからなる昇降機
構部１８で昇降されるようになっている。Ｖ形空間１３
に対応して床面１９上には、ウエハ片ストッカー１２の
各Ｖ形ストック棚１４に扇形ウエハ片が存在するか否か
を検出する光電センサ２０が設けられている。

【００３３】扇形ウエハ片自動位置決め機構９は、図１
及び図２に示すように、各扇形ウエハ片１Ａ〜１Ｄをそ
の直交する切断縁の先端が同じ一定の方向を向くように
位置決めする１対の板状の位置決めガイド２１ａ，２１
ｂを有する。これら位置決めガイド２１ａ，２１ｂは、
位置決めすべき扇形ウエハ片をその直交する切断縁の先
端から左右に等分割した形状の位置決め扇形凹部２２
ａ，２２ｂがその上面と相手側の位置決め扇形凹部に対
向する側とを開口させて設けられている。各位置決め扇
形凹部２２ａ，２２ｂは、位置決めすべき扇形ウエハ片
の一方の切断縁をガイドする切断縁ガイド部２３ａ，２
３ｂと、位置決めすべき扇形ウエハ片の円弧状部をガイ
ドする円弧状部ガイド部２４ａ，２４ｂとを備えて構成
されている。各位置決め扇形凹部２２ａ，２２ｂの底部
には、図１に示すように後述するウエハ片吸着テーブル
３４が当たらないように逃がす逃がし凹部２２ｃ，２２
ｄが設けられている。

【００３４】これら位置決めガイド２１ａ，２１ｂは、
相互に接近・離間する方向に１対のスライドガイド軸２
５ａ，２５ｂでスライド自在にガイドされるようになっ
ている。これらスライドガイド軸２５ａ，２５ｂは、ベ
ース台２６の両端に立設されたブラケット２７ａ，２７
ｂに水平向きで支持されている。これらスライドガイド
軸２５ａ，２５ｂとブラケット２７ａ，２７ｂにより両
位置決めガイド２１ａ，２１ｂのガイド機構部２８が構
成されている。

【００３５】位置決めガイド２１ａの下面には、スライ
ドガイド軸２５ａに平行する向きで１本のラック２９ａ
が取り付けられている。位置決めガイド２１ｂの下面に
は、スライドガイド軸２５ｂに平行する向きで１本のラ
ック２９ｂが取り付けられている。これらラック２９
ａ，２９ｂには、互いに向かい合う面側に歯がそれぞれ
刻設されている。各位置決めガイド２１ａ，２１ｂ側で
これらラック２９ａ，２９ｂ間にはピニオン３０ａ，３
０ｂが配置され、これらピニオン３０ａ，３０ｂは各ラ
ック２９ａ，２９ｂの歯に噛み合わされている。各ピニ
オン３０ａ，３０ｂは、ベース台２６に立設されたピニ
オン軸３１ａ，３１ｂに回転自在に支持されている。ベ
ース台２６上には、一方の位置決めガイド２１ａを他方
の位置決めガイド２１ｂに対して接近・離間する方向に
駆動するエアシリンダ３２が設けられている。これらラ
ック２９ａ，２９ｂ、ピニオン３０ａ，３０ｂ、ピニオ
ン軸３１ａ，３１ｂ、エアシリンダ３２により、両位置
決めガイド２１ａ，２１ｂを相互に接近・離間する方向
に同じ距離だけ移動させる位置決めガイド接近・離間駆
動機構部３３が構成されている。

【００３６】また、各位置決め扇形凹部２２ａ，２２ｂ
の底面には、位置決めすべき扇形ウエハ片にオリエンテ
ーションフラット１ａが存在するか否かを検出する第
１，第２の光電センサ６３ａ，６３ｂが設けられてい
る。

【００３７】両位置決め扇形凹部２２ａ，２２ｂ間の中
央の位置には、円盤状の位置決め用ウエハ片吸着テーブ
ル３４が昇降自在に且つ回転自在に配置されている。該
ウエハ片吸着テーブル３４の上面には吸引口３５が開口
され、図示しない吸引ポンプで吸引されるようになって
いる。該ウエハ片吸着テーブル３４は、昇降台３６に支
持された回転軸３７の上端に支持されている。該回転軸
３７は、昇降台３６の下面に支持されたモータよりなる
位置決め用ウエハ片吸着テーブル回転機構部３８により
回転駆動されるようになっている。このような位置決め
用ウエハ片吸着テーブル回転機構部３８は、位置決めガ
イド２１ａ，２１ｂと位置決めガイド接近・離間駆動機
構部３３とで直交する切断縁の先端が同じ一定の方向を
向くように位置決めされた各扇形ウエハ片１Ａ〜１Ｄ
を、その同じ姿勢から扇形ウエハ片１Ａ〜１Ｄの順番で
決まる元の半導体ウエハ上で占めていた姿勢で且つその
直交する切断縁が位置決め箇所に置かれたときその位置
の位置決め基準方向に対して平行と直交状態になるよう
に、図示しない中央処理装置（ＣＰＵ）からの指令で所
要の角度だけ回転駆動されるようになっている。昇降台
３６は、垂直向きのスライドガイド３９ａ，３９ｂと、
昇降台３６に支持されてスライドガイド３９ａ，３９ｂ
に沿ってスライドするスライダー４０ａ，４０ｂと、昇
降台３６を昇降するエアシリンダ４１とで昇降されるよ
うになっている。スライドガイド３９ａ，３９ｂの両端
は、ベース台２６とその下に配置された支持フレーム４
２により支持されている。これら昇降台３６、回転軸３
７、位置決め用ウエハ片吸着テーブル回転機構部３８、
スライドガイド３９ａ，３９ｂ、スライダー４０ａ，４
０ｂ、エアシリンダ４１、支持フレーム４２により位置
決め用ウエハ片吸着テーブル３４の回転・昇降機構部４
３が構成されている。

【００３８】扇形ウエハ片自動マウント機構１０は、図
１及び図４に示すように、Ｏリング４４を介して密閉さ
れる下部容器４５と上部容器４６とを備え、下部容器４
５の上端内周縁にはウエハマウント保持体２を係止する
係止段部４７が設けられている。この係止段部４７に
は、リングフレーム３に接着シート４が貼り付け固定さ
れたウエハマウント保持体２のリングフレーム３が係止
されている。下部容器４５内の中央には、円盤状のマウ
ント用ウエハ片吸着テーブル４８が昇降自在に配置され
ている。該ウエハ片吸着テーブル４８の上面には吸引口
４８ａが開口され、図示しない吸引ポンプで吸引される
ようになっている。該ウエハ片吸着テーブル４８は、エ
アシリンダよりなるマウント用ウエハ片吸着テーブル昇
降機構部４９で昇降されるようになっている。上部容器
４６内の中央には、円弧状の下面を有するゴムパットよ
りなる弾性体パット５０が昇降自在に配置されている。
該弾性体パット５０はパッドホルダー５１を介してエア
シリンダよりなるパット昇降機構部５２で昇降されるよ
うになっている。上部容器４６には、下部容器４５と上
部容器４６とがなす減圧室５３内を図示しない吸引ポン
プで吸引する吸引口５４が設けられている。

【００３９】扇形ウエハ片自動ハンドリング機構１１
は、図１及び図２に示すように、扇形ウエハ片を吸着す
る水平向きの吸着ハンド５５を備え、該吸着ハンド５５
の先端にはウエハ片吸着テーブル３４の外周に嵌合でき
る円弧凹部５６が設けられ、該吸着ハンド５５の先端側
上面には吸引口５７が開口され、図示しない吸引ポンプ
で吸引されるようになっている。該吸着ハンド５５の下
面には、図２に示すように、ウエハ片押圧段部５５ａが
設けられている。該吸着ハンド５５の基端側は、該吸着
ハンド５５をその軸芯の回りに回転自在にハンドホルダ
ー５８で支持されている。該ハンドホルダー５８には、
吸着ハンド５５をその軸芯の回りに回転させるロータリ
ーアクチュエータよりなる吸着ハンド回転機構部５９が
支持されている。これら吸着ハンド５５と吸着ハンド回
転機構部５９とはハンドホルダー５８を介してエアシリ
ンダよりなる吸着ハンド前後進機構部６０で扇形ウエハ
片ストック機構８に接近・離間する方向と扇形ウエハ片
自動位置決め機構９に接近・離間する方向とに駆動され
るようになっている。吸着ハンド前後進機構部６０は水
平向きの回転テーブル６１に支持されている。回転テー
ブル６１は、垂直向きのモータよりなる吸着ハンド回転
機構部６２で回転駆動されるようになっている。

【００４０】次に、このような４分割ウエハにおける扇
形ウエハ片のマウント装置を用いて行う各扇形ウエハ片
１Ａ〜１Ｄの位置決め方法及びマウント方法について説
明する。

【００４１】本実施例では、前述した図１７（Ｂ）に示
すように半導体ウエハ１を４分割切断してなる扇形ウエ
ハ片１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１ＤをＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄなる順番
で順番付けをする。これら扇形ウエハ片１Ａ〜１Ｄを図
１〜図３に示す扇形ウエハ片ストック機構８におけるウ
エハ片ストッカー１２の各Ｖ形ストック棚１４に、下か
ら上にその順番に応じて順に繰り返しストックしてお
く。

【００４２】かかる状態で自動運転を始めると、昇降機
構部１８の駆動でウエハ片ストッカー１２が図２の状態
から下降され、光電センサ２０が該ウエハ片ストッカー
１２の最下部の扇形ウエハ片１Ａを検出すると、昇降機
構部１８の駆動が停止されてウエハ片ストッカー１２の
下降が停止される。

【００４３】次に、扇形ウエハ片自動ハンドリング機構
１１の吸着ハンド前後進機構部６０が駆動されて、図５
に示すように、吸着ハンド５５がウエハ片ストッカー１
２側に前進され、一番下の扇形ウエハ片１Ａの下に挿入
され、図示の位置で吸引口５７からの吸引により扇形ウ
エハ片１Ａの裏面（スクラブライン６が施されていない
方の面）が吸着される。

【００４４】次に、吸着ハンド前後進機構部６０が駆動
されて吸着ハンド５５が後退され、扇形ウエハ片１Ａが
吸着ハンド５５でウエハ片ストッカー１２から引き出さ
れる。

【００４５】かかる状態になったならば、吸着ハンド回
転機構部６２が駆動されて回転テーブル６１の回転によ
り、扇形ウエハ片１Ａを吸着している吸着ハンド５５が
図１及び図２に示す状態から180 °回転されて扇形ウエ
ハ片自動位置決め機構９に向けられる。

【００４６】次に、吸着ハンド前後進機構部６０が駆動
されて該吸着ハンド５５が扇形ウエハ片自動位置決め機
構９側に前進され、図６（Ａ）に示すように、該吸着ハ
ンド５５に吸着されている扇形ウエハ片１Ａが、左右に
開いた状態にある位置決めガイド２１ａ，２１ｂの位置
決め扇形凹部２２ａ，２２ｂの上方に移動される。この
状態になると吸着ハンド前後進機構部６０の駆動が停止
される。

【００４７】次に、エアシリンダ４１が駆動されて位置
決め用ウエハ片吸着テーブル３４が図６（Ｂ）に示すよ
うに上昇され、該ウエハ片吸着テーブル３４が扇形ウエ
ハ片１Ａの裏面に当接する位置でその上昇が停止され
る。かかる状態で、扇形ウエハ片１Ａの裏面が該ウエハ
片吸着テーブル３４の上面で受けられる。該ウエハ片吸
着テーブル３４が上昇して扇形ウエハ片１Ａに当接され
たことが確認されると、吸着ハンド５５による扇形ウエ
ハ片１Ａの吸着が解除されると共に該吸着ハンド５５が
後退される。次に、吸着ハンド５５の高さより下に扇形
ウエハ片１Ａが存在するように該ウエハ片吸着テーブル
３４が下降された後、吸着ハンド５５が図７（Ａ）
（Ｂ）に示すように前進されて扇形ウエハ片１Ａが該吸
着ハンド５５のウエハ片押圧段部５５ａで押されて少し
移動される。この状態で、扇形ウエハ片１Ａが該ウエハ
片吸着テーブル３４に吸着される。

【００４８】次に、吸着ハンド５５が後退され、その状
態で待機する。

【００４９】次に、ウエハ片吸着テーブル３４が下降さ
れ、その上面に吸着されている扇形ウエハ片１Ａの裏面
が位置決めガイド２１ａ，２１ｂにおける位置決め扇形
凹部２２ａ，２２ｂの底面に当たった状態でウエハ片吸
着テーブル３４の下降が停止される。

【００５０】次に、この状態になると、位置決めガイド
接近・離間駆動機構部３３のエアシリンダ３２が縮まる
方向に作動し、これにより位置決めガイド２１ａが位置
決めガイド２１ｂに接近する方向に引かれ、この位置決
めガイド２１ａの移動でラック２９ａが一緒に移動し、
このラック２９ａに噛み合うピニオン３０ａ，３０ｂが
図１で時計回りに回転し、これにより位置決めガイド２
１ｂ側のラック２９ｂがラック２９ａの移動方向とは逆
方向に同じ距離移動され、これにつれて位置決めガイド
２１ｂも一緒に移動される。従って、位置決めガイド２
１ａ，２１ｂが、図８に示すような等距離の相互接近移
動をして相互間隔を狭くする移動を始める。この状態に
なると、ウエハ片吸着テーブル３４の吸着が解除され
る。

【００５１】このような位置決めガイド２１ａ，２１ｂ
の等距離の相互接近移動により、扇形ウエハ片１Ａの両
切断縁が先に、各位置決め扇形凹部２２ａ，２２ｂにお
ける切断縁ガイド部２３ａ，２３ｂに接触して滑ること
により、まず扇形ウエハ片１Ａの位置決め基準方向６４
に対する角度が揃う。両位置決めガイド２１ａ，２１ｂ
の等距離の相互接近移動は、扇形ウエハ片１Ａの円弧状
部が円弧状部ガイド部２４ａ，２４ｂに接触するまで続
く。扇形ウエハ片１Ａの円弧状部が円弧状部ガイド部２
４ａ，２４ｂに接触すると、位置決めガイド２１ａ，２
１ｂの相互接近動作が停止される。このとき、各位置決
め扇形凹部２２ａ，２２ｂの底部には、図１に示すよう
にウエハ片吸着テーブル３４が当たらないように逃がす
逃がし凹部２２ｃ，２２ｄが設けられているので、位置
決めガイド２１ａ，２１ｂの相互接近動作の障害にはな
らない。

【００５２】この状態になったとき、両位置決めガイド
２１ａ，２１ｂの各位置決め扇形凹部２２ａ，２２ｂの
底面の所定の位置に設けられている第１，第２の光電セ
ンサ６３ａ，６３ｂによって扇形ウエハ片１Ａにオリエ
ンテーションフラット１ａが存在するか否かの検出が行
われ、その検出結果に基づいて順番付けされたどの扇形
ウエハ片が存在しているのかの判定が表１に従って行わ
れる。

【００５３】この場合の扇形ウエハ片１Ａと第１，第２
の光電センサ６３ａ，６３ｂとの位置関係を示すと、図
９に示すとおりである。

【００５４】

【表１】 ただし、この場合には、扇形ウエハ片１Ａ，１Ｄにオリ
エンテーションフラット１ａが存在しないので、Ａ番の
扇形ウエハ片１Ａなのか、Ｄ番の扇形ウエハ片１Ｄなの
か区別できない。しかし、扇形ウエハ片はＡ，Ｂ，Ｃ，
Ｄの順に供給されるものであり、最初若しくはＤ番の扇
形ウエハ片１Ｄの後にきたものであればＡ番の扇形ウエ
ハ片１Ａであることがわかり、またＣ番の扇形ウエハ片
１Ｃの後にきたものであればＤ番の扇形ウエハ片１Ｄで
あることがわかる。

【００５５】ここで、現在位置決めしている扇形ウエハ
片の判定を行う理由は、半導体ウエハ１を４分割切断し
てなる各扇形ウエハ片１Ａ〜１Ｄは、あくまでも作業上
の理由で４分割されているだけであって、Ａ〜Ｄの４枚
のウエハ片１Ａ〜１Ｄが揃って１枚の半導体ウエハ１と
して品質管理される必要があり、その確認のためであ
る。従って、もし間違った順序で扇形ウエハ片がウエハ
マウント保持体２にマウントされ、そのまま次工程まで
流れてしまうと、再度マウントをやり直すことによって
生じる扇形ウエハ片の順序の乱れが、作業上大きな問題
になってしまうことになる。各扇形ウエハ片１Ａ〜１Ｄ
の確認ができていれば、このような問題を回避すること
ができる。

【００５６】順序が正しいと判定されると、位置決め基
準方向６４に位置決めされている扇形ウエハ片１Ａは、
その姿勢で裏面側からウエハ片吸着テーブル３４で吸着
されて該ウエハ片吸着テーブル３４の上昇によって上昇
される。

【００５７】しかる後、位置決め基準方向６４を基準姿
勢にして、その姿勢から該扇形ウエハ片１Ａの順番で決
まる元の半導体ウエハ１上で占めていた姿勢で且つその
直交する切断縁が位置決め箇所である扇形ウエハ片自動
マウント機構１０に置かれたときその位置の位置決め基
準方向に対して平行と直交状態になるように位置決め用
ウエハ片吸着テーブル回転機構部３８でウエハ片吸着テ
ーブル３４を所要の角度だけ回転することにより位置決
めする。このような位置決め用ウエハ片吸着テーブル回
転機構部３８の運転制御は、図示しない中央処理装置
（ＣＰＵ）からの指令で行われる。即ち、中央処理装置
には、直交する切断縁の先端が位置決め基準方向６４を
向けられている各扇形ウエハ片１Ａ〜１Ｄを、その位置
から何度回転したらこれら扇形ウエハ片１Ａ〜１Ｄの順
番で決まる元の半導体ウエハ上で占めていた姿勢で且つ
その直交する切断縁が位置決め箇所に置かれたときその
位置の位置決め基準方向６４に対して平行と直交状態に
なる角度が記憶されていて、各扇形ウエハ片１Ａ〜１Ｄ
がウエハ片吸着テーブル３４に供給される毎に対応する
角度信号を該位置決め用ウエハ片吸着テーブル回転機構
部３８に出すようになっている。

【００５８】もし、扇形ウエハ片の判定異常が発生した
場合には、順序間違い以外に、扇形ウエハ片の部分的な
破損等によって発生する場合も存在するため、本装置で
は図示しないブザー等の警報手段で警報（アラーム）を
発して作業者の判定を要求し、位置決めガイド２１ａ，
２１ｂを自動的に開く。かかる状態で、作業者自身が扇
形ウエハ片の状態を確認し、問題なければ扇形ウエハ片
自動位置決め機構９に設けられている図示しない方向選
択スイッチを押すことで扇形ウエハ片の位置決めすべき
方向を指定する。これは扇形ウエハ片の縁部が欠けてい
たりして、第１，第２の光電センサ６３ａ，６３ｂで該
扇形ウエハ片の誤判定がなされ、その扇形ウエハ片が元
の半導体ウエハ１上で占めていた姿勢ではない姿勢にな
っている場合に、これを修正する操作である。

【００５９】扇形ウエハ片が不良品であれば、その扇形
ウエハ片を位置決めガイド２１ａ，２１ｂ間から除去
し、運転を続行する際に、その情報をウエハ片収納工程
に発信することで、欠品による各扇形ウエハ片間の管理
上の乱れを防止する。

【００６０】以上の位置決め動作をまとめると、図１０
に示すフローチャートのステップST1 〜ST12のようにな
る。

【００６１】上記のようにして位置決めされた扇形ウエ
ハ片１Ａは、図１１のように再び前進した吸着ハンド５
５でその裏面が吸着されると共に位置決め用ウエハ片吸
着テーブル３４への吸着が解かれる。

【００６２】かかる状態で、吸着ハンド５５が後退さ
れ、該吸着ハンド５５は吸着ハンド回転機構部５９で該
吸着ハンド５５の軸芯の回りに180 °回転され、扇形ウ
エハ片１Ａがその表面を下に向けた状態にされる。

【００６３】次に、モータよりなる吸着ハンド回転機構
部６２が回転され、吸着ハンド５５が図１に示す扇形ウ
エハ片自動マウント機構１０の位置から水平面内で90°
回転されて扇形ウエハ片自動マウント機構１０側に向け
られる。

【００６４】このとき、扇形ウエハ片自動マウント機構
１０においては、図４に示す上部容器４６が図示しない
エアシリンダによって上昇されており、この可動の上部
容器４６と固定の下部容器４５との間の空間に扇形ウエ
ハ片１Ａが吸着ハンド５５の水平回転により移動され
て、該扇形ウエハ片１Ａはマウント用ウエハ片吸着テー
ブル４８の真上に位置決めされる。このとき扇形ウエハ
片１Ａはその表面が下向きとなっていて、上向きの裏面
が吸着ハンド５５で吸着された状態になっている。

【００６５】吸着ハンド５５の水平回転が停止される
と、下部容器４５内の該ウエハ片吸着テーブル４８が上
昇されてその上面が扇形ウエハ片１Ａの下向き表面に当
接される。かかる状態で、吸着ハンド５５による扇形ウ
エハ片１Ａの吸着が解除され、該ウエハ片吸着テーブル
４８に該扇形ウエハ片１Ａが吸着される。

【００６６】次に、下部容器４５の入口に内周における
係止段部４７に、図示しない操作ハンドによりウエハマ
ウント保持体２が、そのリングフレーム３を該係止段部
４７に載せ、その接着シート４が上面側に存在するよう
にして配置される。このときリングフレーム３は、図１
２に示すように、下部容器４５に対して所定の向きとな
るように、該リングフレーム３の外周に設けられた１対
のＶ形凹部６５を下部容器４５側のピン６６に嵌めるこ
とにより位置決めされる。

【００６７】次に、図４に示す上部容器４６が下降され
て、下部容器４５の入口がＯリング４４を介して該上部
容器４６で密閉される。かかる状態で、吸引口５４を介
して減圧室５３内が真空引きされる。

【００６８】真空引きが終了すると、パット昇降機構部
５２によってパットホルダー５１を介して弾性体パット
５０が下降され、この弾性体パット５０で接着シート４
が加圧されて該接着シート４に扇形ウエハ片１Ａが接着
される。このとき減圧室５３内は真空引きされて脱気状
態にあり、しかも弾性体パット５０の下面が円弧状にな
っているので、該弾性体パット５０の円弧状下面の中央
側から先に接着シート４を加圧して該円弧状下面の外周
方向に加圧部分が広がることにより、接着シート４と扇
形ウエハ片１Ａとの間に気泡を巻き込まずに接着を行う
ことができる。この接着時に、ウエハ片吸着テーブル４
８が押し上げられ、接着シート４に扇形ウエハ片１Ａが
強固に接着される。

【００６９】この場合のウエハマウント保持体２の接着
シート４に対する扇形ウエハ片１Ａの接着は、図１２に
示すように該接着シート４上の中央に仮想した半導体ウ
エハ１の半径を一辺とする仮想正方形６７内に、扇形ウ
エハ片１Ａの順番で決まる元の半導体ウエハ１上で占め
ていた姿勢で且つその直交する切断縁が該仮想正方形６
７の対応辺と平行になるようにして行われる。このよう
な扇形ウエハ片１Ａの姿勢の決定は、前述したように扇
形ウエハ片自動位置決め機構９で行われ、そのままの姿
勢で水平面内で90°回転されて扇形ウエハ片自動マウン
ト機構１０のウエハ片吸着テーブル４８の上に位置決め
されることに行われる。また、この場合の仮想正方形６
７は、その１つの辺がリングフレーム３の位置決め基準
方向３ａと平行になるように定められている。

【００７０】上記のようにウエハマウント保持体２の接
着シート４に扇形ウエハ片１Ａが接着されて形成された
ウエハマウント済み保持体７は、前述した図示しない操
作ハンドにより図示しないストッカーに収納される。

【００７１】このような作業が、扇形ウエハ片１Ｂ，１
Ｃ，１Ｄに対しても同様にして行われ、図１２に示すよ
うな姿勢で仮想正方形６７内に位置決めされて各ウエハ
マウント保持体２の接着シート４に接着され、図１３
（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）（Ｄ）に示すようなウエハマウント
済み保持体７が逐次形成される。

【００７２】このような作業が繰り返し行われ、図示し
ないストッカーに溜まったウエハマウント済み保持体７
は、ストッカーごと次工程に搬送される。

【００７３】図１４（Ａ）（Ｂ）は、位置決めガイド２
１ａ，２１ｂで扇形ウエハ片を特定方向に位置決めする
ときの摩擦抵抗を減らすための３種の例を示したもので
ある。

【００７４】図１４（Ａ）に示す位置決めガイド２１
ａ，２１ｂにおいては、その切断縁ガイド部２３ａ，２
３ｂと円弧状部ガイド部２４ａ，２４ｂにテトラフロロ
エチレンのような潤滑シート６８ａ，６８ｂを取り付け
た例を示したものである。

【００７５】図１４（Ｂ）に示す位置決めガイド２１
ａ，２１ｂにおいては、その切断縁ガイド部２３ａ，２
３ｂに複数のコロ型のフォロア６９ａ，６９ｂをそれぞ
れ取り付けた例を示したものである。

【００７６】図１５は、位置決めガイド２１ａ，２１ｂ
に扇形ウエハ片の位置決め角度規制強化手段として、扇
形ウエハ片の円弧状部が接触する円弧状部ガイド部２４
ａ，２４ｂに板バネの如き弾性体７０ａ，７０ｂを取り
付けた例を示したものである。

【００７７】なお、下部容器４５と上部容器４６とがな
す空間を吸引する吸引口５４は、下部容器４５側に設け
ることもでき、或いは双方の容器４５，４６に共に設け
ることもできる。

【００７８】また、各扇形ウエハ片をその順番で決まる
元の半導体ウエハ１上で占めていた姿勢で且つその直交
する切断縁が位置決め箇所の位置決め基準方向に対して
平行と直交状態になるような位置決めは、扇形ウエハ片
自動位置決め機構９で行う代わりに、扇形ウエハ片自動
ハンドリング機構１１で行うこともできる。

【００７９】また、扇形ウエハ片自動ハンドリング機構
１１の例えばハンドホルダー５８と吸着ハンド前後進機
構部６０との間にエアシリンダよりなる昇降機構部を設
けることもできる。このようにすると、扇形ウエハ片の
受け渡し時の扇形ウエハ片自動位置決め機構９側の昇降
を減らすことができる。

【００８０】また、位置決め用ウエハ片吸着テーブル回
転機構部３８は、各扇形ウエハ片１Ｂ〜１Ｄを位置決め
基準方向６４に対して同じ方向に一定角度αだけそれぞ
れずらして位置決めすることもできる。

【００８１】更に、上記実施例では、各扇形ウエハ片の
位置決め時に、各扇形ウエハ片をその順番で決まる元の
半導体ウエハ上で占めていた姿勢で且つその直交する切
断縁が位置決め箇所の位置決め基準方向に対して所要の
角度（０°も含む）になるように位置決めを行ったが、
本発明はこれに限定されるものではなく、単に各扇形ウ
エハ片をその順番で決まる元の半導体ウエハ上で占めて
いた姿勢に位置決めするだけでもよい。このような位置
決めでも、必要ならばダイシング工程で該扇形ウエハ片
の直交する切断縁が位置決め基準方向に対して所要の角
度（０°も含む）になるように調整を行えばよい。

【００８２】以下、本明細書に記載した複数の発明のう
ち、いくつかの発明についてその構成要件を以下に説明
する。

【００８３】（１） 半導体ウエハをその中心若しくは
その近辺で直交するスクラブラインで４分割切断してな
る各扇形ウエハ片に順番付けをし、前記各扇形ウエハ片
をその順番で決まる元の半導体ウエハ上で占めていた姿
勢で且つその直交する切断縁が位置決め箇所の位置決め
基準方向に対して所要の角度（０°も含む）になるよう
に位置決めすることを特徴とする４分割ウエハにおける
扇形ウエハ片の位置決め方法。

【００８４】（２） 半導体ウエハをその中心若しくは
その近辺で直交するスクラブラインで４分割切断してな
る各扇形ウエハ片に順番付けをし、前記各扇形ウエハ片
をその順番で決まる元の半導体ウエハ上で占めていた姿
勢で且つその直交する切断縁が位置決め箇所の位置決め
基準方向に対して所要の角度（０°も含む）になるよう
に個々のウエハマウント保持体における接着面にそれぞ
れ位置決め接着してマウントし、得られた扇形ウエハ片
マウント済み保持体を前記各扇形ウエハ片の順番に応じ
た順序でストック場所の対応場所にストックすることを
特徴とする４分割ウエハにおける扇形ウエハ片のマウン
ト方法。

【００８５】（３） 前記ウエハマウント保持体におけ
る接着面に前記半導体ウエハの半径を一辺とする仮想正
方形をその各辺が該ウエハマウント保持体における位置
決め基準方向に対して直交または平行になるように設
け、前記各扇形ウエハ片をその順番で決まる元の半導体
ウエハ上で占めていた姿勢で且つその直交する切断縁が
該仮想正方形の対応辺と平行になるように該仮想正方形
内の前記接着面にマウントすることを特徴とする第２項
に記載の４分割ウエハにおける扇形ウエハ片のマウント
方法。

【００８６】（４） 前記仮想正方形は前記ウエハマウ
ント保持体の前記接着面の中央部に定められていること
を特徴とする第３項に記載の４分割ウエハにおける扇形
ウエハ片のマウント方法。

【００８７】（５） 順番付けされた各扇形ウエハ片を
その順番に応じた場所にストックしていて、その順番に
応じて各扇形ウエハ片を取り出すことができるようにな
っている扇形ウエハ片ストック機構と、該扇形ウエハ片
ストック機構から順番に応じて取り出された各扇形ウエ
ハ片をその直交する切断縁の先端が同じ一定の方向を向
くように位置決めした後、該扇形ウエハ片の順番で決ま
る元の半導体ウエハ上で占めていた姿勢で且つその直交
する切断縁が位置決め箇所に置かれたときその位置の位
置決め基準方向に対して所要の角度（０°も含む）にな
るように位置決めする扇形ウエハ片自動位置決め機構
と、該扇形ウエハ片自動位置決め機構から位置決め完了
状態で順番に応じて取り出された各扇形ウエハ片をその
位置決めされている姿勢で個々のウエハマウント保持体
における接着面にそれぞれ接着してマウントする扇形ウ
エハ片自動マウント機構と、前記扇形ウエハ片ストック
機構から各扇形ウエハ片をその順番に応じて取り出して
前記扇形ウエハ片自動位置決め機構に供給すると共に該
扇形ウエハ片自動位置決め機構で各扇形ウエハ片が順次
位置決めされる毎に取り出してこれら扇形ウエハ片を前
記扇形ウエハ片自動マウント機構の個々のウエハマウン
ト保持体における接着面に位置決めされた姿勢のままそ
れぞれ供給する扇形ウエハ片自動ハンドリング機構とを
備えて構成されていることを特徴とする４分割ウエハに
おける扇形ウエハ片のマウント装置。

【００８８】（６） 前記扇形ウエハ片ストック機構
は、前記各扇形ウエハ片を下から上にその順番に応じて
順に繰り返しストックできるように下から上に番地付け
がなされた上下に多段のＶ形ストック棚を有するウエハ
片ストッカーと、該ウエハ片ストッカーを昇降させる昇
降機構部とを備えて構成されていることを特徴とする第
５項に記載の４分割ウエハにおける扇形ウエハ片のマウ
ント装置。

【００８９】（７） 扇形ウエハ片自動位置決め機構
は、位置決めすべき扇形ウエハ片をその直交する切断縁
の先端から左右に等分割した形状の位置決め扇形凹部が
その上面と相手側の位置決め扇形凹部に対向する側とを
開口させて設けられていて前記各扇形ウエハ片をその直
交する切断縁の先端が同じ一定の方向を向くように位置
決めする１対の位置決めガイドと、前記各位置決めガイ
ドを相互に接近・離間する方向にスライド自在にガイド
するガイド機構部と、前記各位置決めガイドを相互に接
近・離間する方向に同じ距離だけ移動させる位置決めガ
イド接近・離間駆動機構部と、前記位置決め扇形凹部に
存在する前記扇形ウエハ片にオリエンテーションフラッ
トが存在するか否かを検出する第１，第２の光電センサ
と、前記各位置決め扇形凹部間の中央の位置に昇降自在
に且つ回転自在に配置された位置決め用ウエハ片吸着テ
ーブルと、前記位置決め用ウエハ片吸着テーブル上に吸
着された前記各扇形ウエハ片をその順番で決まる元の半
導体ウエハ上で占めていた姿勢で且つその直交する切断
縁が位置決め箇所に置かれたときその位置の位置決め基
準方向に対して所要の角度（０°も含む）になるように
回転して位置決めすると共に該位置決め用ウエハ片吸着
テーブルを昇降させる回転・昇降機構部とを備えて構成
されていることを特徴とする第５項に記載の４分割ウエ
ハにおける扇形ウエハ片のマウント装置。

【００９０】（８） 前記扇形ウエハ片自動マウント機
構は、上端内周縁に前記ウエハマウント保持体を係止す
る係止段部を有する下部容器と、前記下部容器の開口部
を閉塞する上部容器と、前記下部容器内の中央に昇降自
在に配置されたマウント用ウエハ片吸着テーブルと、前
記マウント用ウエハ片吸着テーブルを昇降させるマウン
ト用ウエハ片吸着テーブル昇降機構部と、円弧状の下面
を有して前記上部容器内に昇降自在に配置された弾性体
パットと、前記弾性体パットを昇降させるパット昇降機
構部と、前記下部容器と前記上部容器とがなす空間を吸
引する吸引口とを備えて構成されていることを特徴とす
る第５項に記載の４分割ウエハにおける扇形ウエハ片の
マウント装置。

【００９１】（９） 扇形ウエハ片自動ハンドリング機
構は、前記扇形ウエハ片を吸着する水平向きの吸着ハン
ドと、前記吸着ハンドをその軸芯の回りに回転させる吸
着ハンド回転機構部と、前記吸着ハンドを水平方向に前
後させる吸着ハンド前後進機構部と、前記吸着ハンドを
水平面内で回転させる吸着ハンド回転機構部とを備えて
構成されていることを特徴とする第５項に記載の４分割
ウエハにおける扇形ウエハ片のマウント装置。

【００９２】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば下
記のような優れた効果を得ることができる。

【００９３】本発明に係る４分割ウエハにおける扇形ウ
エハ片の位置決め方法では、半導体ウエハをその中心若
しくはその近辺で直交するスクラブラインで４分割切断
してなる各扇形ウエハ片に順番付けをするので、この順
番で各扇形ウエハ片の元の半導体ウエハ上で占めていた
姿勢を決めることができる。このため、各扇形ウエハ片
をその順番から決まる姿勢にすることにより、各扇形ウ
エハ片を容易に元の半導体ウエハ上で占めていた姿勢に
することができる。

【００９４】従って、本発明によれば、各扇形ウエハ片
の順番がわかれば、各扇形ウエハ片をその順番で決まる
元の半導体ウエハ上で占めていた姿勢になるような位置
決めの自動化を容易に行うことができる。

【００９５】本発明に係る４分割ウエハにおける扇形ウ
エハ片のマウント方法では、半導体ウエハをその中心若
しくはその近辺で直交するスクラブラインで４分割切断
してなる各扇形ウエハ片に順番付けをし、前記各扇形ウ
エハ片をその順番で決まる元の半導体ウエハ上で占めて
いた姿勢になるように個々のウエハマウント保持体にお
ける接着面にそれぞれ位置決め接着してマウントするの
で、各扇形ウエハ片の姿勢を確定して自動マウント作業
を容易に行うことができる。

【００９６】この場合、ウエハマウント保持体における
接着面に半導体ウエハの半径を一辺とする仮想正方形
を、その各辺が該ウエハマウント保持体における位置決
め基準方向に対して直交または平行になるように設け、
各扇形ウエハ片をその順番で決まる元の半導体ウエハ上
で占めていた姿勢で且つその直交する切断縁が該仮想正
方形の対応辺と平行になるように該仮想正方形内の接着
面にマウントすることにより、各扇形ウエハ片は総て該
仮想正方形内に所定の姿勢で存在することになって、ダ
イシング工程でのダイシングストロークを最小限に設定
することができる。

【００９７】また、仮想正方形をウエハマウント保持体
の接着面の中央部に定めることにより、接着面のエキス
パンド時に半導体チップがウエハマウント保持体の縁部
に接近するような事態の発生を回避することができる。

【００９８】本発明に係る４分割ウエハにおける扇形ウ
エハ片のマウント装置では、順番付けされた各扇形ウエ
ハ片をその順番に応じた場所にストックしていて、その
順番に応じて各扇形ウエハ片を取り出すことができるよ
うになっている扇形ウエハ片ストック機構を用いるの
で、順番付けされた各扇形ウエハ片をその順番に応じて
容易に取り出すことができる。

【００９９】また、該装置は、扇形ウエハ片ストック機
構から順番に応じて取り出された各扇形ウエハ片をその
直交する切断縁の先端が同じ一定の方向を向くように位
置決めした後、該扇形ウエハ片の順番で決まる元の半導
体ウエハ上で占めていた姿勢になるように位置決めする
扇形ウエハ片自動位置決め機構を備えているので、扇形
ウエハ片ストック機構から順番に応じて取り出される各
扇形ウエハ片の向きを、該扇形ウエハ片の順番で決まる
元の半導体ウエハ上で占めていた姿勢になるように容易
に位置決めすることができる。

【０１００】特に、この扇形ウエハ片自動位置決め機構
では、各扇形ウエハ片を同じ向きに揃えた後、その姿勢
から各扇形ウエハ片をその順番で決まる元の半導体ウエ
ハ上で占めていた姿勢に変更するので、容易に目的の姿
勢にすることができる。

【０１０１】また、該装置は、扇形ウエハ片自動位置決
め機構から位置決め完了状態で順番に応じて取り出され
た各扇形ウエハ片をその位置決めされている姿勢で個々
のウエハマウント保持体における接着面にそれぞれ接着
してマウントする扇形ウエハ片自動マウント機構を備え
ているので、各扇形ウエハ片をその順番で決まる所用の
姿勢でウエハマウント保持体の接着面に容易にマウント
することができる。

【０１０２】また、該装置は、扇形ウエハ片ストック機
構から各扇形ウエハ片をその順番に応じて取り出して扇
形ウエハ片自動位置決め機構に供給すると共に該扇形ウ
エハ片自動位置決め機構で各扇形ウエハ片が順次位置決
めされる毎に取り出してこれら扇形ウエハ片を扇形ウエ
ハ片自動マウント機構の個々のウエハマウント保持体に
おける接着面に位置決めされた姿勢のままそれぞれ供給
する扇形ウエハ片自動ハンドリング機構を備えているの
で、これら扇形ウエハ片ストック機構，扇形ウエハ片自
動位置決め機構，扇形ウエハ片自動マウント機構に対す
る各扇形ウエハ片の所要のハンドリングを容易に行うこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る４分割ウエハにおける扇形ウエハ
片のマウント装置の一実施例を示す平面図である。

【図２】図１に示す装置の一部縦断正面図である。

【図３】本実施例で用いているウエハ片ストッカーの斜
視図である。

【図４】本実施例で用いている扇形ウエハ片自動マウン
ト機構の縦断正面図である。

【図５】本実施例でウエハ片ストッカーから扇形ウエハ
片を吸着ハンドで取り出す状態を示す平面図である。

【図６】（Ａ）（Ｂ）は本実施例で扇形ウエハ片を吸着
ハンドによって１対の位置決めガイド上に移動してきた
状態を示す平面図及びその縦断面図である。

【図７】（Ａ）（Ｂ）は１対の位置決めガイド上の扇形
ウエハ片を吸着ハンドによって更に押し出す状態を示す
平面図及びその縦断面図である。

【図８】扇形ウエハ片を１対の位置決めガイドの接近操
作で位置決めする工程を示す平面図である。

【図９】本実施例で扇形ウエハ片と第１，第２の光電セ
ンサとの位置関係を示す説明図である。

【図１０】本実施例で扇形ウエハ片の判定，位置決め工
程の動作を示すフローチャートである。

【図１１】本実施例で判定後の扇形ウエハ片を位置決め
ガイドから取り出す状態を示す平面図である。

【図１２】本実施例で扇形ウエハ片自動マウント機構の
下部容器内で扇形ウエハ片をウエハマウント保持体にマ
ウントした状態を示す説明図である。

【図１３】（Ａ）〜（Ｄ）は本実施例で各扇形ウエハ片
を個々のウエハマウント保持体にマウントした状態を示
す平面図である。

【図１４】（Ａ）（Ｂ）は本実施例で用いる位置決めガ
イドでガイド時の滑りを良くする２種の例を示す平面図
である。

【図１５】本実施例で用いる位置決めガイドでガイド時
の角度規制を強める例を示す平面図である。

【図１６】ウエハマウント保持体に円形ウエハをマウン
トした状態を示す斜視図である。

【図１７】（Ａ）は円形ウエハの分割前の状態を示す平
面図、（Ｂ）は円形ウエハの４分割後の状態を示す平面
図である。

【符号の説明】

１ 半導体ウエハ １ａ オリエンテーションフラット １Ａ〜１Ｄ扇形ウエハ片 ２ ウエハマウント保持体 ３ リングフレーム ３ａ 位置決め基準方向 ４ 接着シート ５ 半導体チップ ６，６ａ，６ｂ スクラブライン ７ ウエハマウント済み保持体 ８ 扇形ウエハ片ストック機構 ９ 扇形ウエハ片自動位置決め機構 １０ 扇形ウエハ片自動マウント機構 １１ 扇形ウエハ片自動ハンドリング機構 １２ ウエハ片ストッカー １３ Ｖ形空間 １４ Ｖ形ストック棚 １５ 昇降テーブル １６ ナット部材 １７ａ ボールネジ １７ｂ 昇降用モータ １８ 昇降機構部 １９ 床面 ２０ 光電センサ ２１ａ，２１ｂ 位置決めガイド ２２ａ，２２ｂ 位置決め扇形凹部 ２２ｃ，２２ｄ 逃がし凹部 ２３ａ，２３ｂ 切断縁ガイド部 ２４ａ，２４ｂ 円弧状部ガイド部 ２５ａ，２５ｂ スライドガイド軸 ２６ ベース台 ２７ａ，２７ｂ ブラケット ２８ ガイド機構部 ２９ａ，２９ｂ ラック ３０ａ，３０ｂ ピニオン ３１ａ，３１ｂ ピニオン軸 ３２ エアシリンダ ３３ 位置決めガイド接近・離間駆動機構部 ３４ ウエハ片吸着テーブル ３５ 吸引口 ３６ 昇降台 ３７ 回転軸 ３８ 位置決め用ウエハ片吸着テーブル回転機構部 ３９ａ，３９ｂ スライドガイド ４０ａ，４０ｂ スライダー ４１ エアシリンダ ４２ 支持フレーム ４３ 回転・昇降機構部 ４４ Ｏリング ４５ 下部容器 ４６ 上部容器 ４７ 係止段部 ４８ マウント用ウエハ片吸着テーブル ４８ａ 吸引口 ４９ マウント用ウエハ片吸着テーブル昇降機構部 ５０ 弾性体パット ５１ パッドホルダー ５２ パット昇降機構部 ５３ 減圧室 ５４ 吸引口 ５５ 吸着ハンド ５５ａ ウエハ片押圧段部 ５６ 円弧凹部 ５７ 吸引口 ５８ ハンドホルダー ５９ 吸着ハンド回転機構部 ６０ 吸着ハンド前後進機構部 ６１ 回転テーブル ６２ 吸着ハンド回転機構部 ６３ａ，６３ｂ 第１，第２の光電センサ ６４ 位置決め基準方向 ６５ Ｖ形凹部 ６６ ピン ６７ 仮想正方形 ６８ａ，６８ｂ 潤滑シート ６９ａ，６９ｂ フォロア ７０ａ，７０ｂ 弾性体

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 半導体ウエハをその中心若しくはその近
   辺で直交するスクラブラインで４分割切断してなる各扇
   形ウエハ片に順番付けをし、前記各扇形ウエハ片をその
   順番で決まる元の半導体ウエハ上で占めていた姿勢にな
   るように位置決めすることを特徴とする４分割ウエハに
   おける扇形ウエハ片の位置決め方法。
2. 【請求項２】 半導体ウエハをその中心若しくはその近
   辺で直交するスクラブラインで４分割切断してなる各扇
   形ウエハ片に順番付けをし、前記各扇形ウエハ片をその
   順番で決まる元の半導体ウエハ上で占めていた姿勢にな
   るように個々のウエハマウント保持体における接着面に
   それぞれ位置決め接着してマウントすることにより扇形
   ウエハ片マウント済み保持体を得ることを特徴とする４
   分割ウエハにおける扇形ウエハ片のマウント方法。
3. 【請求項３】 前記ウエハマウント保持体における接着
   面に、前記半導体ウエハの半径を一辺とする仮想正方形
   をその各辺が該ウエハマウント保持体における位置決め
   基準方向に対して直交または平行になるように設け、前
   記各扇形ウエハ片をその順番で決まる元の半導体ウエハ
   上で占めていた姿勢で且つその直交する切断縁が該仮想
   正方形の対応辺と平行になるように該仮想正方形内の前
   記接着面にマウントすることを特徴とする請求項２に記
   載の４分割ウエハにおける扇形ウエハ片のマウント方
   法。
4. 【請求項４】 前記仮想正方形は前記ウエハマウント保
   持体の前記接着面の中央部に定められていることを特徴
   とする請求項３に記載の４分割ウエハにおける扇形ウエ
   ハ片のマウント方法。
5. 【請求項５】 順番付けされた各扇形ウエハ片をその順
   番に応じた場所にストックしていて、その順番に応じて
   各扇形ウエハ片を取り出すことができるようになってい
   る扇形ウエハ片ストック機構と、該扇形ウエハ片ストッ
   ク機構から順番に応じて取り出された各扇形ウエハ片を
   その直交する切断縁の先端が同じ一定の方向を向くよう
   に位置決めした後、該扇形ウエハ片の順番で決まる元の
   半導体ウエハ上で占めていた姿勢になるように位置決め
   する扇形ウエハ片自動位置決め機構と、該扇形ウエハ片
   自動位置決め機構から位置決め完了状態で順番に応じて
   取り出された各扇形ウエハ片をその位置決めされている
   姿勢で個々のウエハマウント保持体における接着面にそ
   れぞれ接着してマウントする扇形ウエハ片自動マウント
   機構と、前記扇形ウエハ片ストック機構から各扇形ウエ
   ハ片をその順番に応じて取り出して前記扇形ウエハ片自
   動位置決め機構に供給すると共に該扇形ウエハ片自動位
   置決め機構で各扇形ウエハ片が順次位置決めされる毎に
   取り出してこれら扇形ウエハ片を前記扇形ウエハ片自動
   マウント機構の個々のウエハマウント保持体における接
   着面に位置決めされた姿勢のままそれぞれ供給する扇形
   ウエハ片自動ハンドリング機構とを備えて構成されてい
   ることを特徴とする４分割ウエハにおける扇形ウエハ片
   のマウント装置。