JP2915864B2 - ウエハ検査装置 - Google Patents
ウエハ検査装置Info
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- JP2915864B2 JP2915864B2 JP292397A JP292397A JP2915864B2 JP 2915864 B2 JP2915864 B2 JP 2915864B2 JP 292397 A JP292397 A JP 292397A JP 292397 A JP292397 A JP 292397A JP 2915864 B2 JP2915864 B2 JP 2915864B2
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、キヤリア内から供
給されるウエハをマクロ観察、ミクロ観察するためのウ
エハ検査装置に関する。
給されるウエハをマクロ観察、ミクロ観察するためのウ
エハ検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のウエハ検査装置は、ウエハを収納
するキャリアとミクロ観察するための顕微鏡装置とをウ
エハ搬送装置を介して連結することにより構成されてい
る。そして、ウエハ搬送装置は、そもそもウエハをキャ
リアから取り出して顕微鏡ステージに送り、顕微鏡観察
の済んだウエハをキャリアに能率良く戻すように構成さ
れている。
するキャリアとミクロ観察するための顕微鏡装置とをウ
エハ搬送装置を介して連結することにより構成されてい
る。そして、ウエハ搬送装置は、そもそもウエハをキャ
リアから取り出して顕微鏡ステージに送り、顕微鏡観察
の済んだウエハをキャリアに能率良く戻すように構成さ
れている。
【０００３】図９は従来のウエハ検査装置を示すの斜視
図、図１０は同装置のウエハ搬送部を示す平面図であ
る。１はウエハ２を収納するキャリア、３はキャリア１
をウエハ２の収納ピッチ間隔で上下動して所定位置に移
動するエレベータ、４はキャリア１からウエハ２を押し
出すウエハ押し出し部材、５は押し出されたウエハ２を
後述の回転台の方へ搬送したり、該回転台上のウエハ２
をキャリア１の方へ搬送するコンベアベルトである。
図、図１０は同装置のウエハ搬送部を示す平面図であ
る。１はウエハ２を収納するキャリア、３はキャリア１
をウエハ２の収納ピッチ間隔で上下動して所定位置に移
動するエレベータ、４はキャリア１からウエハ２を押し
出すウエハ押し出し部材、５は押し出されたウエハ２を
後述の回転台の方へ搬送したり、該回転台上のウエハ２
をキャリア１の方へ搬送するコンベアベルトである。
【０００４】６，６はコンベアベルト５により搬送され
てきたウエハ２を矢印方向の往復動により回転台に芯合
わせするセンタ出しガイド、７はウエハ２を真空吸着し
て回転せしめる回転台、８はウエハ２の外周部より若干
内側に位置するように配置されていてウエハ２のオリフ
ラ位置を検出するオリフラセンサである。
てきたウエハ２を矢印方向の往復動により回転台に芯合
わせするセンタ出しガイド、７はウエハ２を真空吸着し
て回転せしめる回転台、８はウエハ２の外周部より若干
内側に位置するように配置されていてウエハ２のオリフ
ラ位置を検出するオリフラセンサである。
【０００５】９は上昇により回転台７上のウエハ２を載
置し真空吸着してから１８０°回転し、その後真空吸着
を解除し下降して後述のホルダにウエハ２を渡したり、
同様な動作によりホルダ上のウエハ２を回転台７上へ受
け渡す交換アーム、１０はコンベアベルト５により搬送
されてきたウエハ２をキャリア１内へ押し込むウエハ押
し込み部材、１１はその際のウエハ２の有無を検出する
ウエハ検出センサである。
置し真空吸着してから１８０°回転し、その後真空吸着
を解除し下降して後述のホルダにウエハ２を渡したり、
同様な動作によりホルダ上のウエハ２を回転台７上へ受
け渡す交換アーム、１０はコンベアベルト５により搬送
されてきたウエハ２をキャリア１内へ押し込むウエハ押
し込み部材、１１はその際のウエハ２の有無を検出する
ウエハ検出センサである。
【０００６】１２はＸＹステージ１２ａを有する顕微
鏡、１３は交換アーム９の上下死点の中間に位置するよ
うにしてステージ１２ａ上にＸ方向に摺動可能に取り付
けられていて交換アーム９からウエハ２を受取って顕微
鏡観察部に移動せしめたり、観察済みのウエハ２を交換
アーム９に戻すホルダである。
鏡、１３は交換アーム９の上下死点の中間に位置するよ
うにしてステージ１２ａ上にＸ方向に摺動可能に取り付
けられていて交換アーム９からウエハ２を受取って顕微
鏡観察部に移動せしめたり、観察済みのウエハ２を交換
アーム９に戻すホルダである。
【０００７】１４はホルダ検知スイッチ、１５はキャリ
ア１内の全ウエハ２を搬送するか後述のウエハＮｏ．指
定スイッチにより指定されたウエハ２を搬送するかを決
める全数／抜取切替えスイッチ、１６はオリフラ合わせ
の方向を決めるオリフラ位置選択スイッチ、１７はクリ
ーニングスイッチ、１８はエラー表示ＬＥＤ、１９は抜
取りするウエハのＮｏ．を指定するウエハＮｏ．指定ス
イッチ、２０は動作の開始を入力する開始スイッチ、２
１は途中で装置を初期状態にするリセットスイッチ、２
２は緊急に装置を停止させる非常停止スイッチであっ
て、これらのスイッチは図示しない制御回路を介して上
記の各部材と接続されている。
ア１内の全ウエハ２を搬送するか後述のウエハＮｏ．指
定スイッチにより指定されたウエハ２を搬送するかを決
める全数／抜取切替えスイッチ、１６はオリフラ合わせ
の方向を決めるオリフラ位置選択スイッチ、１７はクリ
ーニングスイッチ、１８はエラー表示ＬＥＤ、１９は抜
取りするウエハのＮｏ．を指定するウエハＮｏ．指定ス
イッチ、２０は動作の開始を入力する開始スイッチ、２
１は途中で装置を初期状態にするリセットスイッチ、２
２は緊急に装置を停止させる非常停止スイッチであっ
て、これらのスイッチは図示しない制御回路を介して上
記の各部材と接続されている。
【０００８】そして、上記の各部材からキャリア１及び
顕微鏡１２を除いたコンベアベルト５、回転台７、交換
アーム９によりウエハ搬送部を構成している。
顕微鏡１２を除いたコンベアベルト５、回転台７、交換
アーム９によりウエハ搬送部を構成している。
【０００９】次に、上記ウエハ搬送部の動作について説
明する。まず、エレベータ３にキャリア１を載せ、開始
スイッチ２０をＯＮにすると、エレベータ３が１番目
（キャリア１の下から１番目、２番目と呼ぶ）のウエハ
２がベルトコンベア５の搬出または搬入位置と一致する
位置まで下降し、１番目のウエハ２がウエハ押し出し部
材４によりコンベアベルト５上に押し出される。
明する。まず、エレベータ３にキャリア１を載せ、開始
スイッチ２０をＯＮにすると、エレベータ３が１番目
（キャリア１の下から１番目、２番目と呼ぶ）のウエハ
２がベルトコンベア５の搬出または搬入位置と一致する
位置まで下降し、１番目のウエハ２がウエハ押し出し部
材４によりコンベアベルト５上に押し出される。
【００１０】このウエハ２はコンベアベルト５により回
転台７上に搬送されセンタ出しガイド６，６により回転
台７に芯合わせされる。その後、回転台７はウエハ２を
真空吸着した状態で回転する。続いて、オリフラセンサ
８によりウエハ２のオリフラ位置を検出し、オリフラ位
置選択スイッチ１６により設定されたオリフラ位置でウ
エハ２を停止させる。
転台７上に搬送されセンタ出しガイド６，６により回転
台７に芯合わせされる。その後、回転台７はウエハ２を
真空吸着した状態で回転する。続いて、オリフラセンサ
８によりウエハ２のオリフラ位置を検出し、オリフラ位
置選択スイッチ１６により設定されたオリフラ位置でウ
エハ２を停止させる。
【００１１】このオリフラ合わせが終了すると、回転台
７の載置面より下方に待機していた交換アーム９が上昇
し、その一端にウエハ２を載せて真空吸着し、１８０°
回転する。その後、交換アーム９は真空吸着を解除し再
び下降する。この交換アーム９の下降途中でホルダ１３
がウエハ２を受け取り、顕微鏡観察部に送る。
７の載置面より下方に待機していた交換アーム９が上昇
し、その一端にウエハ２を載せて真空吸着し、１８０°
回転する。その後、交換アーム９は真空吸着を解除し再
び下降する。この交換アーム９の下降途中でホルダ１３
がウエハ２を受け取り、顕微鏡観察部に送る。
【００１２】続いて、キャリア１内の２番目のウエハ２
がウエハ押し出し部材４によりコンベアベルト５上に押
し出され、以下上記と同様にしてオリフラ合わせされ、
回転台７上で待機する。
がウエハ押し出し部材４によりコンベアベルト５上に押
し出され、以下上記と同様にしてオリフラ合わせされ、
回転台７上で待機する。
【００１３】顕微鏡１２によるホルダ１３上に載置され
たウエハ２のミクロ検査が終了して開始スイッチ２０が
ＯＮされると、交換アーム９が上昇し、その両端に１，
２番目のウエハ２，２が真空吸着される。この状態で交
換アーム９が１８０°回転し、真空吸着を解除した後に
下降し、１番目のウエハ２と２番目のウエハ２との入れ
替えが行われる。
たウエハ２のミクロ検査が終了して開始スイッチ２０が
ＯＮされると、交換アーム９が上昇し、その両端に１，
２番目のウエハ２，２が真空吸着される。この状態で交
換アーム９が１８０°回転し、真空吸着を解除した後に
下降し、１番目のウエハ２と２番目のウエハ２との入れ
替えが行われる。
【００１４】ミクロ検査の終了した１番目のウエハ２
は、コンベアベルト５によりキャリア１内の元のスロッ
トに入り、ウエハ押し込み部材１０によりスロット内に
完全に押し込まれる。
は、コンベアベルト５によりキャリア１内の元のスロッ
トに入り、ウエハ押し込み部材１０によりスロット内に
完全に押し込まれる。
【００１５】その後、３番目のウエハ２がウエハ押し出
し部材４によりコンベアベルト５の上に押し出され、上
記と同様にしてオリフラ合わせされ、回転台７上で待機
する。 以下、同様にして順次ウエハ２が顕微鏡１２の
ホルダ１３に搬送され、最後のウエハ２のミクロ検査が
終了し、全てのウエハ２がキャリア１内に収納される
と、エレベータ３は上昇して初期位置に復帰する。
し部材４によりコンベアベルト５の上に押し出され、上
記と同様にしてオリフラ合わせされ、回転台７上で待機
する。 以下、同様にして順次ウエハ２が顕微鏡１２の
ホルダ１３に搬送され、最後のウエハ２のミクロ検査が
終了し、全てのウエハ２がキャリア１内に収納される
と、エレベータ３は上昇して初期位置に復帰する。
【００１６】尚、上記動作において、全数／抜取切替ス
ッチ１５によりキャリア１内の全てのウエハ２を搬送す
る（全数検査）か、ウエハＮｏ．指定スイッチ１９で指
定したウエハ２のみを搬送する（抜取検査）かを設定す
ることができる。
ッチ１５によりキャリア１内の全てのウエハ２を搬送す
る（全数検査）か、ウエハＮｏ．指定スイッチ１９で指
定したウエハ２のみを搬送する（抜取検査）かを設定す
ることができる。
【００１７】
【発明が解決しようとする課題】ところが、一般に顕微
鏡によるミクロ観察を行う場合、前処理としてウエハ表
面のキズ、汚れ、ゴミを目視で観察するマクロ検査が行
われている。従来のウエハ検査装置には、マクロ検査装
置とミクロ検査装置の両方を備えたものが無く、図９に
示すようにコンベアベルト５を備えたウエハ搬送装置に
隣接してミクロ観察するための顕微鏡１２が配置されて
いる。マクロ観察を行う場合には、コンベアベルト式の
ウエハ搬送路に隣接してマクロ検査装置とミクロ検査装
置を配置し、コンベアベルトにより搬送されてきたウエ
ハを吸着アームを用いて各検査装置に引き渡すことが行
われる。このように従来のウエハ検査装置では、マクロ
検査装置とミクロ検査装置が別々に構成されているため
に、各検査装置ごとにウエハの位置決部が必要になり構
成が複雑になると共に、各検査工程ごとにウエハの位置
決めをしなければならないために、検査工程時間を短縮
することが困難であった。また、マクロ検査部とミクロ
検査部を同一ライン上に配置しようとしても、ウエハ位
置決め部とマクロ検査部とが別構造になっているため
に、ウエハ位置決部からマクロ検査部にウエハを搬送す
る搬送路が必要になり、装置が大型化すると共に、ウエ
ハ位置決め部からマクロ検査部にウエハを搬送する時間
が必要となり検査工程時間を短縮することが困難であっ
た。
鏡によるミクロ観察を行う場合、前処理としてウエハ表
面のキズ、汚れ、ゴミを目視で観察するマクロ検査が行
われている。従来のウエハ検査装置には、マクロ検査装
置とミクロ検査装置の両方を備えたものが無く、図９に
示すようにコンベアベルト５を備えたウエハ搬送装置に
隣接してミクロ観察するための顕微鏡１２が配置されて
いる。マクロ観察を行う場合には、コンベアベルト式の
ウエハ搬送路に隣接してマクロ検査装置とミクロ検査装
置を配置し、コンベアベルトにより搬送されてきたウエ
ハを吸着アームを用いて各検査装置に引き渡すことが行
われる。このように従来のウエハ検査装置では、マクロ
検査装置とミクロ検査装置が別々に構成されているため
に、各検査装置ごとにウエハの位置決部が必要になり構
成が複雑になると共に、各検査工程ごとにウエハの位置
決めをしなければならないために、検査工程時間を短縮
することが困難であった。また、マクロ検査部とミクロ
検査部を同一ライン上に配置しようとしても、ウエハ位
置決め部とマクロ検査部とが別構造になっているため
に、ウエハ位置決部からマクロ検査部にウエハを搬送す
る搬送路が必要になり、装置が大型化すると共に、ウエ
ハ位置決め部からマクロ検査部にウエハを搬送する時間
が必要となり検査工程時間を短縮することが困難であっ
た。
【００１８】本発明は、上記問題点に鑑み、キャリアと
ミクロ検査部との間に設けられたウエハ位置決め部の回
転台を回転・傾斜可能にせしめマクロ検査機能をもたせ
ることにより、構成を簡略化し、且つ検査工程時間を容
易に短縮できるウエハ検査装置を提供することを目的と
する。
ミクロ検査部との間に設けられたウエハ位置決め部の回
転台を回転・傾斜可能にせしめマクロ検査機能をもたせ
ることにより、構成を簡略化し、且つ検査工程時間を容
易に短縮できるウエハ検査装置を提供することを目的と
する。
【００１９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、複数のウエハを所定ピッチで収納するキ
ャリアと、このキャリアから選択供給されるウエハをミ
クロ観察するミクロ検査部と、前記キャリアと前記ミク
ロ検査部との間に配置され前記キャリア内から搬送され
たウエハを回転台に真空吸着して回転せしめウエハの周
縁に形成された位置決用切欠部を検出して位置決めを行
なうウエハ位置決め部とを有するウエハ検査装置におい
て、前記回転台は上下方向に移動する回転軸を有すると
共に、この回転軸を電気的又は機械的に連結されジョイ
ステイックにより任意の方向に傾斜揺動可能な揺動機構
とを有し、前記ウエハ位置決め部にマクロ検査部を一体
化させたことを特徴とする。本発明によれば、ウエハ位
置決め部の回転台にウエハを真空吸着した後、ジョイス
テイックを操作してウエハを傾斜揺動させることにより
マクロ観察を行なうことができる。
に、本発明は、複数のウエハを所定ピッチで収納するキ
ャリアと、このキャリアから選択供給されるウエハをミ
クロ観察するミクロ検査部と、前記キャリアと前記ミク
ロ検査部との間に配置され前記キャリア内から搬送され
たウエハを回転台に真空吸着して回転せしめウエハの周
縁に形成された位置決用切欠部を検出して位置決めを行
なうウエハ位置決め部とを有するウエハ検査装置におい
て、前記回転台は上下方向に移動する回転軸を有すると
共に、この回転軸を電気的又は機械的に連結されジョイ
ステイックにより任意の方向に傾斜揺動可能な揺動機構
とを有し、前記ウエハ位置決め部にマクロ検査部を一体
化させたことを特徴とする。本発明によれば、ウエハ位
置決め部の回転台にウエハを真空吸着した後、ジョイス
テイックを操作してウエハを傾斜揺動させることにより
マクロ観察を行なうことができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。なお、上記従来例と同一の
部材には同一符号を付して説明を省略する。図１は本発
明の実施の形態に係るウエハ検査装置の全体構成を示す
斜視図、図２は同装置の平面図である。
て図面を参照して説明する。なお、上記従来例と同一の
部材には同一符号を付して説明を省略する。図１は本発
明の実施の形態に係るウエハ検査装置の全体構成を示す
斜視図、図２は同装置の平面図である。
【００２１】２３は後述の駆動機構により駆動されるよ
うになっていて、エレベータ３の上下動によりウエハ２
を載置した後に真空吸着し、キャリア１より水平移動せ
しめて回転台７０に渡したり、回転台７０上のウエハ２
をキャリア１へ戻す吸着アームである。２４は回転台７
０を揺動する手段と電気的又は機械的に連結されている
ジョイステイック、２５は操作パネルである。
うになっていて、エレベータ３の上下動によりウエハ２
を載置した後に真空吸着し、キャリア１より水平移動せ
しめて回転台７０に渡したり、回転台７０上のウエハ２
をキャリア１へ戻す吸着アームである。２４は回転台７
０を揺動する手段と電気的又は機械的に連結されている
ジョイステイック、２５は操作パネルである。
【００２２】回転台７０はキャリア１とミクロ観察のた
めの顕微鏡１２との間に配置されており、回転台７０に
は後述の回転速度設定スイッチ４９により設定された速
度で回転する回転軸７０ａが設けられており、交換アー
ム９または吸着アーム２３により供給されたウエハ２を
真空吸着する機能を有する。この回転台７０の周囲には
従来例と同様にキャリア１から選択供給されたウエハ２
の芯出しを行うセンタ出しガイド６が図２の矢印方向に
往復移動可能に一対設けられている。また、センタ出し
ガイド６により芯出しがなされたウエハの周縁より若干
内側に位置しウエハ位置決め用の切欠部（図示例では、
ウエハ２の周縁部の一部を直線状に切欠いたオリフラ）
の位置を検出するオリフラセンサ８が配置されている。
これらによりキャリア１から供給されたウエハ２の位置
決めを行うウエハ位置決め部が構成されている。
めの顕微鏡１２との間に配置されており、回転台７０に
は後述の回転速度設定スイッチ４９により設定された速
度で回転する回転軸７０ａが設けられており、交換アー
ム９または吸着アーム２３により供給されたウエハ２を
真空吸着する機能を有する。この回転台７０の周囲には
従来例と同様にキャリア１から選択供給されたウエハ２
の芯出しを行うセンタ出しガイド６が図２の矢印方向に
往復移動可能に一対設けられている。また、センタ出し
ガイド６により芯出しがなされたウエハの周縁より若干
内側に位置しウエハ位置決め用の切欠部（図示例では、
ウエハ２の周縁部の一部を直線状に切欠いたオリフラ）
の位置を検出するオリフラセンサ８が配置されている。
これらによりキャリア１から供給されたウエハ２の位置
決めを行うウエハ位置決め部が構成されている。
【００２３】更に、回転軸７０ａは上下方向に移動可能
になっており、後述のシーケンス設定スイッチ４８によ
り揺動マクロモードが設定されると回転軸７０ａが上昇
し、ジョイステイック２４の操作に応じて回転軸７０ａ
が任意の角度に傾斜揺動するようになっている。また、
マクロ回転モードが設定されると回転軸７０ａが上昇
し、ジョイステイック２４の操作に応じで回転軸７０ａ
が所定の角度に傾斜した状態で回転するようになってい
る。尚、後述のシーケンス設定スイッチ４８により水平
マクロモードが設定された場合は、回転軸７０ａは上昇
せずに垂直な状態に維持されて回転するようになってい
る。
になっており、後述のシーケンス設定スイッチ４８によ
り揺動マクロモードが設定されると回転軸７０ａが上昇
し、ジョイステイック２４の操作に応じて回転軸７０ａ
が任意の角度に傾斜揺動するようになっている。また、
マクロ回転モードが設定されると回転軸７０ａが上昇
し、ジョイステイック２４の操作に応じで回転軸７０ａ
が所定の角度に傾斜した状態で回転するようになってい
る。尚、後述のシーケンス設定スイッチ４８により水平
マクロモードが設定された場合は、回転軸７０ａは上昇
せずに垂直な状態に維持されて回転するようになってい
る。
【００２４】図３は吸着アーム２３の駆動機構の平面
図、図４は該駆動機構の一部破断正面図、図５は図４Ｖ
−Ｖ線に沿う断面図であって、図３中の（I），（I
I），（III）は夫々吸着アーム２３の回転台７０上にあ
る位置，ウエハ２をキャリア１に収納後次のウエハ２を
受取る前の待機位置，キャリア１内に挿入した位置を示
している。
図、図４は該駆動機構の一部破断正面図、図５は図４Ｖ
−Ｖ線に沿う断面図であって、図３中の（I），（I
I），（III）は夫々吸着アーム２３の回転台７０上にあ
る位置，ウエハ２をキャリア１に収納後次のウエハ２を
受取る前の待機位置，キャリア１内に挿入した位置を示
している。
【００２５】２６は搬送装置本体に固定されたフレー
ム、２７はフレーム２６の左右（図２では前後）壁間に
横架された一対の水平ガイド軸、２８はリニア軸受２９
を介して水平ガイド軸２７に摺動可能に装架されたアー
ムブロック、３０はリニア軸受３１を介してアームブロ
ック２８に上下方向に摺動可能に支持された一対の支持
軸、３２は支持軸３０の上端に固着され且つ先端部に吸
着アーム２３が固定されていると共に支持軸３０の下方
への抜けも防止する支持腕、３３は支持軸３０の下端に
固着されていて支持軸３０の上方への抜けを防止すると
共に後述のエアシリンダのピストンロッドに係合し得る
係合片、３４は支持軸３０に嵌められ上方への移動習性
を付与しているバネ、３５は支持腕３２に固定されてい
てアームブロック２８が上下方向に動いた時後述の上点
センサ，下点センサに検知される被検知片、３６はアー
ムブロック２８に固定されていてアームブロツク２８が
水平方向に移動した時後述の位置センサに検知される被
検知片である。３７及び３８はフレーム２６の左右端近
傍に枢着されたプーリー、３９はプーリー３７，３８間
に掛けられ且つアームブロック２８に接続されたベル
ト、４０はプーリー３７を駆動する正逆回転可能なモー
タであって、これらがアームブロック水平駆動機構を構
成している。
ム、２７はフレーム２６の左右（図２では前後）壁間に
横架された一対の水平ガイド軸、２８はリニア軸受２９
を介して水平ガイド軸２７に摺動可能に装架されたアー
ムブロック、３０はリニア軸受３１を介してアームブロ
ック２８に上下方向に摺動可能に支持された一対の支持
軸、３２は支持軸３０の上端に固着され且つ先端部に吸
着アーム２３が固定されていると共に支持軸３０の下方
への抜けも防止する支持腕、３３は支持軸３０の下端に
固着されていて支持軸３０の上方への抜けを防止すると
共に後述のエアシリンダのピストンロッドに係合し得る
係合片、３４は支持軸３０に嵌められ上方への移動習性
を付与しているバネ、３５は支持腕３２に固定されてい
てアームブロック２８が上下方向に動いた時後述の上点
センサ，下点センサに検知される被検知片、３６はアー
ムブロック２８に固定されていてアームブロツク２８が
水平方向に移動した時後述の位置センサに検知される被
検知片である。３７及び３８はフレーム２６の左右端近
傍に枢着されたプーリー、３９はプーリー３７，３８間
に掛けられ且つアームブロック２８に接続されたベル
ト、４０はプーリー３７を駆動する正逆回転可能なモー
タであって、これらがアームブロック水平駆動機構を構
成している。
【００２６】４１，４２，４３は夫々上記位置（Ｉ），
（II），（III）に対応してフレーム２６に固定されて
いて被検知片３６を検知することによりアームブロック
２８の水平方向位置を検出する位置センサである。４４
はフレーム２６の左端近傍に固定されていてアームブロ
ック２８が上記位置（Ｉ）にある時ピストンロッド４４
ａが係合片３３に係合してアームブロック２８を引き下
げたりするエアシリンダー、４５，４６はフレーム２６
の左壁に固定されていてアームブロック２８が上記位置
（Ｉ）にある時被検知片３５を検知することによりアー
ムブロック２８の上下方向位置を検出する上点センサ，
下点センサである。
（II），（III）に対応してフレーム２６に固定されて
いて被検知片３６を検知することによりアームブロック
２８の水平方向位置を検出する位置センサである。４４
はフレーム２６の左端近傍に固定されていてアームブロ
ック２８が上記位置（Ｉ）にある時ピストンロッド４４
ａが係合片３３に係合してアームブロック２８を引き下
げたりするエアシリンダー、４５，４６はフレーム２６
の左壁に固定されていてアームブロック２８が上記位置
（Ｉ）にある時被検知片３５を検知することによりアー
ムブロック２８の上下方向位置を検出する上点センサ，
下点センサである。
【００２７】図６は操作パネル２５の正面図である。４
７は自動／手動切替えスイッチであって、自動モードの
時は開始スイッチ２０を一回押すだけで全ウエハ２が連
続的に搬送され、手動モードの時は開始スイッチ２０を
一回押すたびに一枚のウエハ２が搬送されるようになっ
ている。４８はシーケンス設定スイッチであって、ホル
ダ搬送スイッチがＯＮの時は顕微鏡観察（ミクロ観察）
のためにウエハ２がホルダ１３まで搬送され、オリフラ
合わせスイッチがＯＮの時は回転台７０上でオリフラ合
わせが行なわれ、揺動マクロスイッチがＯＮの時は揺動
マクロ観察のために回転台７０に真空吸着されているウ
エハ２が上昇した状態でジョイステック２４の操作に応
じて回転軸７０ａが傾斜揺動せしめられ、水平マクロス
イッチがＯＮの時は水平マクロ観察のために回転台７０
に真空吸着されているウエハ２が上昇しない初期位置に
停止した状態で回転軸７０ａが回転せしめられ、マクロ
回転スイッチがＯＮの時は揺動マクロ観察と同様にジョ
イステック２４を用いて回転軸７０ａを所望の角度に傾
斜させた状態で回転軸７０ａが回転せしめられるように
なっている。
７は自動／手動切替えスイッチであって、自動モードの
時は開始スイッチ２０を一回押すだけで全ウエハ２が連
続的に搬送され、手動モードの時は開始スイッチ２０を
一回押すたびに一枚のウエハ２が搬送されるようになっ
ている。４８はシーケンス設定スイッチであって、ホル
ダ搬送スイッチがＯＮの時は顕微鏡観察（ミクロ観察）
のためにウエハ２がホルダ１３まで搬送され、オリフラ
合わせスイッチがＯＮの時は回転台７０上でオリフラ合
わせが行なわれ、揺動マクロスイッチがＯＮの時は揺動
マクロ観察のために回転台７０に真空吸着されているウ
エハ２が上昇した状態でジョイステック２４の操作に応
じて回転軸７０ａが傾斜揺動せしめられ、水平マクロス
イッチがＯＮの時は水平マクロ観察のために回転台７０
に真空吸着されているウエハ２が上昇しない初期位置に
停止した状態で回転軸７０ａが回転せしめられ、マクロ
回転スイッチがＯＮの時は揺動マクロ観察と同様にジョ
イステック２４を用いて回転軸７０ａを所望の角度に傾
斜させた状態で回転軸７０ａが回転せしめられるように
なっている。
【００２８】４９は回転台７０の回転速度を設定する回
転速度設定スイッチ、５０は停止時間設定スイッチであ
って、マクロ観察シーケンスの時はウエハ２の回転台７
０上での停止時間を設定し、ホルダ搬送シーケンスの時
はウエハ２のホルダ１３上での停止時間を設定する（但
し、自動モードの時）ようになっている。５１は一時停
止スイッチであって、これがＯＮの時は停止時間設定ス
イッチ５０を無効にして連続停止を行わせるようになっ
ている。５２は処理中のウエハ２のＮｏ．又はエラーコ
ードを表示するウエハＮｏ．／エラーコード表示部、５
３はＮｏ．／コード表示ＬＥＤ、５４は自動／手動表示
ＬＥＤ、５５は全数／抜取表示ＬＥＤである。
転速度設定スイッチ、５０は停止時間設定スイッチであ
って、マクロ観察シーケンスの時はウエハ２の回転台７
０上での停止時間を設定し、ホルダ搬送シーケンスの時
はウエハ２のホルダ１３上での停止時間を設定する（但
し、自動モードの時）ようになっている。５１は一時停
止スイッチであって、これがＯＮの時は停止時間設定ス
イッチ５０を無効にして連続停止を行わせるようになっ
ている。５２は処理中のウエハ２のＮｏ．又はエラーコ
ードを表示するウエハＮｏ．／エラーコード表示部、５
３はＮｏ．／コード表示ＬＥＤ、５４は自動／手動表示
ＬＥＤ、５５は全数／抜取表示ＬＥＤである。
【００２９】次に本発明の実施の形態の動作について説
明する。 ウエハの搬送について： （ａ）自動モードでホルダ搬送・オリフラ合わせシーケ
ンスの場合 まず、エレベータ３にキャリア１を載せて開始スイッチ
２０を押すと、エレベータ３が１番目のウエハ２の取り
出し位置まで下降する。次に、位置（II）で待機してい
る第１の吸着アーム２３が水平駆動機構により図７中の
一点鎖線で示す如く１番目のウエハ２の下に挿入され
（位置（III））、この状態でエレベータ３を若干下降
せしめることにより吸着アーム２３にウエハ２が載せら
れて真空吸着される。その後、吸着アーム２３は水平駆
動機構によりそのまま図７の実線図で示す如く回転台７
０の上方（位置（I））まで水平移動し、真空吸着を解
除しエアシリンダ４４により下降して回転台７０上にウ
エハ２を載せる。
明する。 ウエハの搬送について： （ａ）自動モードでホルダ搬送・オリフラ合わせシーケ
ンスの場合 まず、エレベータ３にキャリア１を載せて開始スイッチ
２０を押すと、エレベータ３が１番目のウエハ２の取り
出し位置まで下降する。次に、位置（II）で待機してい
る第１の吸着アーム２３が水平駆動機構により図７中の
一点鎖線で示す如く１番目のウエハ２の下に挿入され
（位置（III））、この状態でエレベータ３を若干下降
せしめることにより吸着アーム２３にウエハ２が載せら
れて真空吸着される。その後、吸着アーム２３は水平駆
動機構によりそのまま図７の実線図で示す如く回転台７
０の上方（位置（I））まで水平移動し、真空吸着を解
除しエアシリンダ４４により下降して回転台７０上にウ
エハ２を載せる。
【００３０】次に、一対のセンタ出しガイド６の往復動
（図２中の矢印方向）によりウエハ２が回転台７０に芯
合わせされ、その後ウエハ２を回転台７０に真空吸着し
回転させる。次に、オリフラセンサ８によりウエハ２の
オリフラを検出し、オリフラ位置選択スイッチ１６によ
り設定されたオリフラ位置でウエハ２を停止させる。
（図２中の矢印方向）によりウエハ２が回転台７０に芯
合わせされ、その後ウエハ２を回転台７０に真空吸着し
回転させる。次に、オリフラセンサ８によりウエハ２の
オリフラを検出し、オリフラ位置選択スイッチ１６によ
り設定されたオリフラ位置でウエハ２を停止させる。
【００３１】次に，回転台７０より下方位置に待機して
いた交換アーム９（第２の吸着アーム）が上昇してウエ
ハ２を該アーム９に載せ真空吸着し、１８０°回転す
る。続いて、交換アーム９は真空吸着を解除して再び下
降し、ホルダ１３は交換アーム９の下降途中でウエハ２
を受取る。交換アーム９の下降後、キャリア１内の２番
目のウエハ２が吸着アーム２３により回転台７上に搬送
され、オリフラ合わせされる。
いた交換アーム９（第２の吸着アーム）が上昇してウエ
ハ２を該アーム９に載せ真空吸着し、１８０°回転す
る。続いて、交換アーム９は真空吸着を解除して再び下
降し、ホルダ１３は交換アーム９の下降途中でウエハ２
を受取る。交換アーム９の下降後、キャリア１内の２番
目のウエハ２が吸着アーム２３により回転台７上に搬送
され、オリフラ合わせされる。
【００３２】次に，停止時間設定スイッチ５０により設
定された停止時間後、交換アーム９が上昇してホルダ１
３上及び回転台７０上の１番目，２番目のウエハ２，２
を真空吸着し、１８０°回転する。続いて、交換アーム
９は真空吸着解除後に降し、１番目と２番目のウエハ
２，２の交換を完了する。尚、上記停止時間は、ホルダ
１３が顕微鏡側にセットされている場合は、ホルダ１３
がホルダ検知スイッチ１４に検知された時即ち顕微鏡観
察が終了しホルダ１３が戻されたことが検知された時か
ら計時される。その後、１番目のウエハ２は吸着アーム
２３によりキャリア１内の元のスロット内に戻され、続
いて３番目のウエハ２が吸着アーム９により回転台７０
上に搬送され、再びオリフラ合わせされて待機せしめら
れる。
定された停止時間後、交換アーム９が上昇してホルダ１
３上及び回転台７０上の１番目，２番目のウエハ２，２
を真空吸着し、１８０°回転する。続いて、交換アーム
９は真空吸着解除後に降し、１番目と２番目のウエハ
２，２の交換を完了する。尚、上記停止時間は、ホルダ
１３が顕微鏡側にセットされている場合は、ホルダ１３
がホルダ検知スイッチ１４に検知された時即ち顕微鏡観
察が終了しホルダ１３が戻されたことが検知された時か
ら計時される。その後、１番目のウエハ２は吸着アーム
２３によりキャリア１内の元のスロット内に戻され、続
いて３番目のウエハ２が吸着アーム９により回転台７０
上に搬送され、再びオリフラ合わせされて待機せしめら
れる。
【００３３】以下同様に順次ウエハ２がホルダ１３まで
搬送されるが、最後のウエハ２がホルダ１３内に収納さ
れると、エレベータ３，吸着アーム２３は初期位置に戻
って停止せしめられる。
搬送されるが、最後のウエハ２がホルダ１３内に収納さ
れると、エレベータ３，吸着アーム２３は初期位置に戻
って停止せしめられる。
【００３４】（ｂ）オリフラ合わせのシーケンスが設定
されていない場合 オリフラ合わせは省略される。 （ｃ）手動モードの場合 停止時間による動作の制御がなく、常に開始スイッチ２
０による制御となる。
されていない場合 オリフラ合わせは省略される。 （ｃ）手動モードの場合 停止時間による動作の制御がなく、常に開始スイッチ２
０による制御となる。
【００３５】マクロ観察について： （ａ）自動モードで揺動マクロシーケンスが設定されて
いる場合 まず、エレベータ３にキャリア１を載せて開始スイッチ
２０を押すと、前述と同様にして吸着アーム２３により
１番目のウエハ２が回転台７０上に搬送された後センタ
出しガイド６，６により回転台７０に芯合わせされる。
次に回転台７０にウエハ２を真空吸着し、回転台７０と
一緒に上昇させる。次に、回転台７０は下降時以外はジ
ョイステック２４の操作により図８中のａで示すように
全方向に傾斜せしめられ、その状態でウエハ２の揺動マ
クロ観察が行われる。
いる場合 まず、エレベータ３にキャリア１を載せて開始スイッチ
２０を押すと、前述と同様にして吸着アーム２３により
１番目のウエハ２が回転台７０上に搬送された後センタ
出しガイド６，６により回転台７０に芯合わせされる。
次に回転台７０にウエハ２を真空吸着し、回転台７０と
一緒に上昇させる。次に、回転台７０は下降時以外はジ
ョイステック２４の操作により図８中のａで示すように
全方向に傾斜せしめられ、その状態でウエハ２の揺動マ
クロ観察が行われる。
【００３６】尚、マクロ回転のシーケンスが設定されて
いる場合は、回転速度設定スイッチ４９によって設定さ
れた速度で回転台７０が回転せしめられ、その状態でウ
エハ２のマクロ回転観察が行われる。次に停止時間設定
スイッチ５０により設定された時間回転台７０が上昇状
態を保った後、回転台７０は再び下降する。そして、吸
着アーム２３が、１番目のウエハ２をキャリア１内に戻
し、２番目のウエハ２を１番目と同様に揺動検知位置ま
で搬送する。以上の繰り返しが行われ、最後のウエハ２
がキャリア１内に収納されると、吸着アーム２３，エレ
ベータ３は初期位置に戻り停止する。
いる場合は、回転速度設定スイッチ４９によって設定さ
れた速度で回転台７０が回転せしめられ、その状態でウ
エハ２のマクロ回転観察が行われる。次に停止時間設定
スイッチ５０により設定された時間回転台７０が上昇状
態を保った後、回転台７０は再び下降する。そして、吸
着アーム２３が、１番目のウエハ２をキャリア１内に戻
し、２番目のウエハ２を１番目と同様に揺動検知位置ま
で搬送する。以上の繰り返しが行われ、最後のウエハ２
がキャリア１内に収納されると、吸着アーム２３，エレ
ベータ３は初期位置に戻り停止する。
【００３７】（ｂ）水平マクロシーケンスが設定されて
いる場合 基本動作は揺動マクロシーケンスと同様であるが、回転
台７０が上昇せず図８中のｂで示すように水平な状態で
ウエハ２の水平マクロ観察が行われる。尚、マクロ回転
のシーケンスが設定されている時は、揺動マクロ観察の
場合と同じである。
いる場合 基本動作は揺動マクロシーケンスと同様であるが、回転
台７０が上昇せず図８中のｂで示すように水平な状態で
ウエハ２の水平マクロ観察が行われる。尚、マクロ回転
のシーケンスが設定されている時は、揺動マクロ観察の
場合と同じである。
【００３８】（ｃ）シーケンス設定スイッチ４８の全て
が設定されていない場合 吸着アーム２３によるウエハ２のキャリア１に対する抜
き出し収納動作のみとなり、観察位置は図８中のｃ位置
となる。
が設定されていない場合 吸着アーム２３によるウエハ２のキャリア１に対する抜
き出し収納動作のみとなり、観察位置は図８中のｃ位置
となる。
【００３９】（ｄ）手動モードの場合 一枚のウエハ毎に開始スイッチ２０を押して行うことに
なり、吸着アーム２３はキャリア１内にウエハ２を収納
した後に次のウエハ２を取り出し、準備完了状態で開始
スイッチ２０の動作待ちで待機する。揺動マクロ又は水
平マクロのシーケンス設定でオリフラ合わせシーケンス
が設定されている時は、搬送途中又は収納途中でオリフ
ラ合わせされる。
なり、吸着アーム２３はキャリア１内にウエハ２を収納
した後に次のウエハ２を取り出し、準備完了状態で開始
スイッチ２０の動作待ちで待機する。揺動マクロ又は水
平マクロのシーケンス設定でオリフラ合わせシーケンス
が設定されている時は、搬送途中又は収納途中でオリフ
ラ合わせされる。
【００４０】（ｅ）シーケンスの途中変更の場合 一枚のウエハ毎にシーケンスの変更ができる。例えば水
平マクロシーケンスの状態で検査中に、顕微鏡１２で更
に詳細にミクロ観察したい場合、まず一時停止スイッチ
５１を押して停止時間設定スイッチ５０を無効にし、ホ
ルダ搬送（オリフラ合わせの必要ある場合は更にオリフ
ラ合わせ）のシーケンス設定スイッチを押すと、該当ウ
エハ２がホルダ１３まで搬送される。
平マクロシーケンスの状態で検査中に、顕微鏡１２で更
に詳細にミクロ観察したい場合、まず一時停止スイッチ
５１を押して停止時間設定スイッチ５０を無効にし、ホ
ルダ搬送（オリフラ合わせの必要ある場合は更にオリフ
ラ合わせ）のシーケンス設定スイッチを押すと、該当ウ
エハ２がホルダ１３まで搬送される。
【００４１】以上のように、本発明の実施の形態は、各
種の操作・観察を検査工程の中で自在に適合し得るよう
にしているので、操作性が良く、検査の多様性への適合
が容易である。具体的には、（１）複数種のマクロ観察
に対応できる、（２）マクロ観察と顕微鏡観察の切替え
にワンタッチで対応できる、（３）一枚のウエハ毎に上
記観察の変更ができる、（４）揺動せずに水平状態で回
転なしで検査の場合に揺動，回転を排除できるので搬送
時間が短くて済むなどの利点がある。又、ウエハ位置決
め部の回転軸を上下方向に移動可能にすると共に、ジョ
イステイックにより傾斜揺動可能にすることにより、ウ
エハ位置決部をマクロ検査部として兼用できるので、マ
クロ検査部の設置スペースを新たに設ける必要がなくな
り装置の小型化を容易に図ることができる。又、ウエハ
位置決め部をマクロ検査部として兼用することにより、
ウエハ位置決部からマクロ検査部にウエハを搬送するた
めの搬送路を省略できるので、ウエハの搬送時間を短縮
できる。更に、ジョイステイックにより回転軸を所望の
角度に傾斜させ回転軸を回転させることにより、観察者
の観察しやすい角度にウエハを傾斜させた状態で回転マ
クロ観察ができ使い勝手が良くなる。
種の操作・観察を検査工程の中で自在に適合し得るよう
にしているので、操作性が良く、検査の多様性への適合
が容易である。具体的には、（１）複数種のマクロ観察
に対応できる、（２）マクロ観察と顕微鏡観察の切替え
にワンタッチで対応できる、（３）一枚のウエハ毎に上
記観察の変更ができる、（４）揺動せずに水平状態で回
転なしで検査の場合に揺動，回転を排除できるので搬送
時間が短くて済むなどの利点がある。又、ウエハ位置決
め部の回転軸を上下方向に移動可能にすると共に、ジョ
イステイックにより傾斜揺動可能にすることにより、ウ
エハ位置決部をマクロ検査部として兼用できるので、マ
クロ検査部の設置スペースを新たに設ける必要がなくな
り装置の小型化を容易に図ることができる。又、ウエハ
位置決め部をマクロ検査部として兼用することにより、
ウエハ位置決部からマクロ検査部にウエハを搬送するた
めの搬送路を省略できるので、ウエハの搬送時間を短縮
できる。更に、ジョイステイックにより回転軸を所望の
角度に傾斜させ回転軸を回転させることにより、観察者
の観察しやすい角度にウエハを傾斜させた状態で回転マ
クロ観察ができ使い勝手が良くなる。
【００４２】
【発明の効果】以上説明した本発明によれば、ウエハの
位置決めを行うウエハ位置決め部の回転軸を上下方向に
移動可能にすると共に、ジョイステイックにより傾斜揺
動可能にすることにより、ウエハ位置決部にマクロ観察
部を一体化させて装置全体の小型化を容易に図ることが
できると共に、ウエハ位置決め部からマクロ検査部にウ
エハを搬送するための搬送路を省略してウエハの搬送時
間を短縮することができる。
位置決めを行うウエハ位置決め部の回転軸を上下方向に
移動可能にすると共に、ジョイステイックにより傾斜揺
動可能にすることにより、ウエハ位置決部にマクロ観察
部を一体化させて装置全体の小型化を容易に図ることが
できると共に、ウエハ位置決め部からマクロ検査部にウ
エハを搬送するための搬送路を省略してウエハの搬送時
間を短縮することができる。
【図１】本発明の実施の形態に係るウエハ検査装置全体
の構成を示す斜視図である。
の構成を示す斜視図である。
【図２】同装置の平面図である。
【図３】同装置の吸着アームの駆動機構の平面図であ
る。
る。
【図４】同装置の吸着アームの駆動機構の一部破断正面
図である。
図である。
【図５】図４Ｖ−Ｖ線に沿う断面図である。
【図６】同装置の操作パネルの正面図である。
【図７】同装置の吸着アームの動作を示す図である。
【図８】同装置の回転台の動作を示す図である。
【図９】従来のウエハ検査装置全体の構成を示す斜視図
である。
である。
【図１０】同従来装置の平面図である。
１ キャリア ２ ウエハ ３ エレベータ ６ センタ出しガイド ７ 回転台 ８ オリフラセンサ ９ 交換アーム １１ ウエハ検出センサ １２ 顕微鏡 １３ ホルダ １４ ホルダ検知スイッチ １６ オリフラ位置選択スイッチ ２３ 吸着アーム ２４ ジョイステイック ４８ シーケンス設定スイッチ ４９ 回転速度設定スイスッチ ７０ 回転台 ７０ａ 回転軸
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｍ (72)発明者 楡井 辰夫 東京都渋谷区幡ヶ谷２丁目43番２号 オ リンパス光学工業株式会社内 (72)発明者 茨木 秀文 東京都渋谷区幡ヶ谷２丁目43番２号 オ リンパス光学工業株式会社内 審査官 松田 成正 (56)参考文献 特開 昭59−10231（ＪＰ，Ａ) 特開 昭56−116638（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−100806（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−128319（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01L 21/66 G01B 21/00 G01N 21/84 G01N 21/88 H01L 21/68
Claims (3)
- 【請求項１】 複数のウエハを所定ピッチで収納するキ
ャリアと、このキャリアから選択供給されるウエハをミ
クロ観察するミクロ検査部と、前記キャリアと前記ミク
ロ検査部との間に配置され前記キャリア内から搬送され
たウエハを回転台に真空吸着して回転せしめウエハの周
縁に形成された位置決用切欠部を検出して位置決めを行
なうウエハ位置決め部とを有するウエハ検査装置におい
て、前記回転台は上下方向に移動する回転軸を有すると
共に、この回転軸を電気的又は機械的に連結されジョイ
ステイックにより任意の方向に傾斜揺動可能な揺動機構
とを有し、前記ウエハ位置決め部にマクロ検査部を一体
化させたことを特徴とするウエハ検査装置。 - 【請求項２】前記回転台は、前記ウエハを水平に回転せ
しめて水平マクロ観察することができることを特徴とす
る請求項１記載のウエハ検査装置。 - 【請求項３】前記回転台は、前記ウエハを所定の方向に
傾斜した状態で回転せしめてマクロ回転観察をすること
ができることを特徴とする請求項１記載のウエハ検査装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP292397A JP2915864B2 (ja) | 1997-01-10 | 1997-01-10 | ウエハ検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP292397A JP2915864B2 (ja) | 1997-01-10 | 1997-01-10 | ウエハ検査装置 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3336288A Division JP2659384B2 (ja) | 1988-02-16 | 1988-02-16 | ウエハ検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09186209A JPH09186209A (ja) | 1997-07-15 |
| JP2915864B2 true JP2915864B2 (ja) | 1999-07-05 |
Family
ID=11542875
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP292397A Expired - Lifetime JP2915864B2 (ja) | 1997-01-10 | 1997-01-10 | ウエハ検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2915864B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012023255A1 (en) * | 2010-08-18 | 2012-02-23 | Canon Kabushiki Kaisha | Microscope |
| JP2012123416A (ja) * | 2012-03-12 | 2012-06-28 | Canon Inc | 対象物の処理方法 |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3636814B2 (ja) * | 1996-03-30 | 2005-04-06 | 株式会社ニデック | 外観検査装置 |
| JP3958852B2 (ja) * | 1997-12-22 | 2007-08-15 | 株式会社日本マイクロニクス | 被測定基板の検査装置 |
| KR100416791B1 (ko) * | 2001-03-19 | 2004-01-31 | 삼성전자주식회사 | 반도체 웨이퍼 검사용 현미경장치 및 그 검사방법 |
| JP2003090803A (ja) | 2001-09-19 | 2003-03-28 | Mitsubishi Electric Corp | 被処理基板欠陥検査装置、これを用いた半導体製造装置、及び被処理基板欠陥検査方法 |
| JP7368141B2 (ja) | 2019-08-20 | 2023-10-24 | 東レエンジニアリング株式会社 | ウエーハ外観検査装置および方法 |
| CN118566240A (zh) * | 2024-07-29 | 2024-08-30 | 柯尔微电子装备(厦门)有限公司 | 半自动晶圆表面检查机以及晶圆检查方法 |
-
1997
- 1997-01-10 JP JP292397A patent/JP2915864B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012023255A1 (en) * | 2010-08-18 | 2012-02-23 | Canon Kabushiki Kaisha | Microscope |
| JP2012042657A (ja) * | 2010-08-18 | 2012-03-01 | Canon Inc | 顕微鏡 |
| JP2012123416A (ja) * | 2012-03-12 | 2012-06-28 | Canon Inc | 対象物の処理方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH09186209A (ja) | 1997-07-15 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19990406 |
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| EXPY | Cancellation because of completion of term |