JP2740580B2 - 外観検査装置 - Google Patents
外観検査装置Info
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- JP2740580B2 JP2740580B2 JP3083690A JP8369091A JP2740580B2 JP 2740580 B2 JP2740580 B2 JP 2740580B2 JP 3083690 A JP3083690 A JP 3083690A JP 8369091 A JP8369091 A JP 8369091A JP 2740580 B2 JP2740580 B2 JP 2740580B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体等電子部品の製
造工程に於けるガラス板、シリコンウエハ、プリント基
板等の薄板部材（ワーク）の外観を検査するために使用
される外観検査装置に関する。
造工程に於けるガラス板、シリコンウエハ、プリント基
板等の薄板部材（ワーク）の外観を検査するために使用
される外観検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、半導体等電子部品の製造工程に
おいては、ガラス板、シリコンウエハ、プリント基板等
の薄板部材が使用される。これらの薄板部材は、その表
面（外観）の良否を検査する必要がある。このような薄
板部材を検査する場合には、薄板部材（ワーク）表面に
光を照射し、その反射光によってワークの外観の良否を
判別する装置が使用される。この装置では、ワーク表面
からの反射光の散乱状態に基づいて、ワーク上のパター
ン不良や損傷の有無が判別される。図４および図５に従
来の外観検査装置の構成を概略的に示す。該外観検査装
置は、検査台２１の正方形状をした上面の隅部には、ワ
ーク搬送機２４が配置されており、該ワーク搬送機２４
を中心にワーク収容部２２及び検査台２３が、例えば９
０度をなすように配設されている。ガラス板、シリコン
ウエハー、プリント基板等のワーク２５はワーク収容部
２２内に水平に積層された状態で収容されている。ワー
ク搬送機２４は、回転軸２４ａを中心にして９０度にわ
たって回動する搬送アーム２７を有しており、搬送アー
ム２７の回動により、その先端に設けられた仮保持部２
６は、前記ワーク収容部２２および検査台２３の上方に
位置される。ワーク２５は、仮保持部２６による真空吸
着等によって仮保持されて、ワーク収容部２２内から搬
出され、検査台２３の上に載置される。
おいては、ガラス板、シリコンウエハ、プリント基板等
の薄板部材が使用される。これらの薄板部材は、その表
面（外観）の良否を検査する必要がある。このような薄
板部材を検査する場合には、薄板部材（ワーク）表面に
光を照射し、その反射光によってワークの外観の良否を
判別する装置が使用される。この装置では、ワーク表面
からの反射光の散乱状態に基づいて、ワーク上のパター
ン不良や損傷の有無が判別される。図４および図５に従
来の外観検査装置の構成を概略的に示す。該外観検査装
置は、検査台２１の正方形状をした上面の隅部には、ワ
ーク搬送機２４が配置されており、該ワーク搬送機２４
を中心にワーク収容部２２及び検査台２３が、例えば９
０度をなすように配設されている。ガラス板、シリコン
ウエハー、プリント基板等のワーク２５はワーク収容部
２２内に水平に積層された状態で収容されている。ワー
ク搬送機２４は、回転軸２４ａを中心にして９０度にわ
たって回動する搬送アーム２７を有しており、搬送アー
ム２７の回動により、その先端に設けられた仮保持部２
６は、前記ワーク収容部２２および検査台２３の上方に
位置される。ワーク２５は、仮保持部２６による真空吸
着等によって仮保持されて、ワーク収容部２２内から搬
出され、検査台２３の上に載置される。
【０００３】検査台２３は揺動軸２３ａにより、図５に
矢印Ａで示す方向へ揺動するように構成されており、該
検査台２３上に載置されたワーク２５は、該検査台２３
と一体となって揺動される。検査台２３の上方には、ラ
ンプ等により構成された光源２９が配置されており、該
光源２９から照射される光は、ワーク２５の表面で反射
され、その反射光を作業者が観測するようになってぃ
る。揺動するワーク２５からの反射光が、均一状態で観
測される場合には、ワーク２５は良品であると判断さ
れ、反対にワーク２５からの反射光が散乱状態で観測さ
れる場合は、ワーク２５の表面にパターン不良や損傷が
あると判断される。
矢印Ａで示す方向へ揺動するように構成されており、該
検査台２３上に載置されたワーク２５は、該検査台２３
と一体となって揺動される。検査台２３の上方には、ラ
ンプ等により構成された光源２９が配置されており、該
光源２９から照射される光は、ワーク２５の表面で反射
され、その反射光を作業者が観測するようになってぃ
る。揺動するワーク２５からの反射光が、均一状態で観
測される場合には、ワーク２５は良品であると判断さ
れ、反対にワーク２５からの反射光が散乱状態で観測さ
れる場合は、ワーク２５の表面にパターン不良や損傷が
あると判断される。
【０００４】検査が終了すると、ワーク２５は、再び搬
送アーム２７に設けられた仮保持部２６により仮保持さ
れて、該搬送アーム２７が９０度にわたって回動され
る。そして、ワーク２５は仮保持部２６による仮保持を
解除されて、ワーク収容部２２に戻される。
送アーム２７に設けられた仮保持部２６により仮保持さ
れて、該搬送アーム２７が９０度にわたって回動され
る。そして、ワーク２５は仮保持部２６による仮保持を
解除されて、ワーク収容部２２に戻される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】このような外観検査装
置では、ワーク搬送機２４の搬送アーム２７が回転軸２
４ａを中心にして９０度にわたって回動することによ
り、ワーク２５をワーク収容部２２と検査台２３との間
に移動される。従って、ワーク２５の移動距離が長く、
装置全体が大型化するために、装置の占有面積が大きく
なるという問題がある。また、ワーク２５は、一旦、搬
送アーム２７にて仮保持され、搬送アーム２７が回動し
た後に検査台２３上にて仮保持が解除されて検査が行わ
れ、その後に、ワーク２５は、再度、搬送アーム２７に
て仮保持されて、搬送アーム２７の回動によりワーク収
容部２２へ移動されて仮保持を解除される。このよう
に、一枚のワーク２５に対して、仮保持動作が２回にわ
たって繰り返されるため、全体としてタクトタイムが長
くなり、スループット（処理能力）が悪くなる。その結
果、多数のワークを検査するためには、多大の時間を必
要とし、検査効率が低下するという問題もある。
置では、ワーク搬送機２４の搬送アーム２７が回転軸２
４ａを中心にして９０度にわたって回動することによ
り、ワーク２５をワーク収容部２２と検査台２３との間
に移動される。従って、ワーク２５の移動距離が長く、
装置全体が大型化するために、装置の占有面積が大きく
なるという問題がある。また、ワーク２５は、一旦、搬
送アーム２７にて仮保持され、搬送アーム２７が回動し
た後に検査台２３上にて仮保持が解除されて検査が行わ
れ、その後に、ワーク２５は、再度、搬送アーム２７に
て仮保持されて、搬送アーム２７の回動によりワーク収
容部２２へ移動されて仮保持を解除される。このよう
に、一枚のワーク２５に対して、仮保持動作が２回にわ
たって繰り返されるため、全体としてタクトタイムが長
くなり、スループット（処理能力）が悪くなる。その結
果、多数のワークを検査するためには、多大の時間を必
要とし、検査効率が低下するという問題もある。
【０００６】本発明は上記従来の問題を解決するもので
あり、その目的はワークの移動距離が小さく、しかも検
査に必要となる時間が大幅に短縮されるために、検査効
率が著しく向上する外観検査装置を提供することにあ
る。
あり、その目的はワークの移動距離が小さく、しかも検
査に必要となる時間が大幅に短縮されるために、検査効
率が著しく向上する外観検査装置を提供することにあ
る。
【０００７】本発明のさらに別の目的は検査装置全体が
小型化され、占有面積が小さくなる外観検査装置を提供
することにある。
小型化され、占有面積が小さくなる外観検査装置を提供
することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の外観検査装置
は、電子部品における薄板部材であるワークの外観を検
査すべく、該ワークの表面にて光が反射されるように光
を照射する外観検査装置であって、複数のワークを水平
状態で多段に積層して収納した状態で昇降可能になって
おり、各ワークが水平方向へ退出するように搬送口が設
けられたワーク収容部と、該ワーク収容部の搬送口を通
って内部に侵入および退出するように水平方向へ直線的
に往復移動するワーク搬送アームと、該ワーク収容部に
侵入した際に内部のワークを水平状態で仮保持するよう
に該ワーク搬送アームに取り付けられたワーク仮保持部
と、該ワーク搬送アームに設けられた、相互に直交し且
つ各々が往復回動可能な２つの軸を有し、該軸の少なく
とも１つが軸心回りに回動することにより、退出した状
態で該ワーク搬送アームを回動する軸の軸心を揺動中心
として揺動させて、仮保持されたワークを水平状態から
任意の方向に向かせる揺動手段と、該揺動手段にて揺動
されるワークに光を照射する光源とを具備してなり、そ
のことにより上記目的が達成される。
は、電子部品における薄板部材であるワークの外観を検
査すべく、該ワークの表面にて光が反射されるように光
を照射する外観検査装置であって、複数のワークを水平
状態で多段に積層して収納した状態で昇降可能になって
おり、各ワークが水平方向へ退出するように搬送口が設
けられたワーク収容部と、該ワーク収容部の搬送口を通
って内部に侵入および退出するように水平方向へ直線的
に往復移動するワーク搬送アームと、該ワーク収容部に
侵入した際に内部のワークを水平状態で仮保持するよう
に該ワーク搬送アームに取り付けられたワーク仮保持部
と、該ワーク搬送アームに設けられた、相互に直交し且
つ各々が往復回動可能な２つの軸を有し、該軸の少なく
とも１つが軸心回りに回動することにより、退出した状
態で該ワーク搬送アームを回動する軸の軸心を揺動中心
として揺動させて、仮保持されたワークを水平状態から
任意の方向に向かせる揺動手段と、該揺動手段にて揺動
されるワークに光を照射する光源とを具備してなり、そ
のことにより上記目的が達成される。
【０００９】
【作用】本発明の外観検査装置では、ワーク搬送アーム
がワーク収容部とワークの検査部との間を直線的に往復
移動することにより、その先端の仮保持部に仮保持され
たワークがワーク収容部と検査部との間を往復移動され
る。ワークの検査部では、揺動手段が有するワーク搬送
アームに設けられた相互に直交し、かつ往復回動可能な
２つの軸の内の少なくとも１つの軸が軸心回りに回動す
ることにより、退出した状態でワーク搬送アームが回動
する軸の軸心を揺動中心として揺動されて、仮保持され
たワークが水平状態から任意の方向を向くように揺動さ
れ、その表面に光源から光が照射される。従って、ワー
クの表面に照射された光は、種々の角度で反射し、その
反射光はワークの表面が良好な場合には、均一な反射光
として観測され、パターン不良や損傷等の不規則部があ
る場合には散乱光として観測される。このように、ワー
ク搬送アームがワークを搬送する機能とワークの姿勢を
任意に変える機能とを共用する構成としたので、検査工
程においてワークの載せ換えが不要となり、タクトタイ
ムが短縮されると共に不良ワークが確実に検出される。
また、共用できる構成部分が省略されて部品点数が減り
必要な機能が凝縮されて簡素な構成となる。 加えて、ワ
ーク搬送アームを回動する軸の軸心を揺動中心として揺
動させる構成としたことで、ワークの姿勢が変わるだけ
でワークが広範囲に渡って大きく揺れることがなくなり
検査がし易くなると共に、検査部周辺が小型化される。
その結果、検査装置全体が小型化され、設置に要する占
有面積も小さくなる。
がワーク収容部とワークの検査部との間を直線的に往復
移動することにより、その先端の仮保持部に仮保持され
たワークがワーク収容部と検査部との間を往復移動され
る。ワークの検査部では、揺動手段が有するワーク搬送
アームに設けられた相互に直交し、かつ往復回動可能な
２つの軸の内の少なくとも１つの軸が軸心回りに回動す
ることにより、退出した状態でワーク搬送アームが回動
する軸の軸心を揺動中心として揺動されて、仮保持され
たワークが水平状態から任意の方向を向くように揺動さ
れ、その表面に光源から光が照射される。従って、ワー
クの表面に照射された光は、種々の角度で反射し、その
反射光はワークの表面が良好な場合には、均一な反射光
として観測され、パターン不良や損傷等の不規則部があ
る場合には散乱光として観測される。このように、ワー
ク搬送アームがワークを搬送する機能とワークの姿勢を
任意に変える機能とを共用する構成としたので、検査工
程においてワークの載せ換えが不要となり、タクトタイ
ムが短縮されると共に不良ワークが確実に検出される。
また、共用できる構成部分が省略されて部品点数が減り
必要な機能が凝縮されて簡素な構成となる。 加えて、ワ
ーク搬送アームを回動する軸の軸心を揺動中心として揺
動させる構成としたことで、ワークの姿勢が変わるだけ
でワークが広範囲に渡って大きく揺れることがなくなり
検査がし易くなると共に、検査部周辺が小型化される。
その結果、検査装置全体が小型化され、設置に要する占
有面積も小さくなる。
【００１０】
【実施例】以下、本発明を実施例について説明する。
【００１１】本発明の外観検査装置は、図１に示すよう
に、上面が長方形の本体１を有する。該本体１の上面の
約半分の領域には、複数枚の薄板状のワーク５が多段に
水平に積層された状態で収容されたワーク収容部２が配
設されている。本体１の上面における残り半分の領域は
ワークの検査台３となっており、該検査台３上には、ワ
ーク収容部２内のワーク５を検査台３へと搬送するワー
ク搬送機４が配設されている。
に、上面が長方形の本体１を有する。該本体１の上面の
約半分の領域には、複数枚の薄板状のワーク５が多段に
水平に積層された状態で収容されたワーク収容部２が配
設されている。本体１の上面における残り半分の領域は
ワークの検査台３となっており、該検査台３上には、ワ
ーク収容部２内のワーク５を検査台３へと搬送するワー
ク搬送機４が配設されている。
【００１２】ワーク収容部２内に収容される各ワーク５
は、上下方向に適当な間隔があけられている。また、該
ワーク収容部２は、各ワーク５が水平状態で該ワーク収
容部２から退出するように、検査台３側の側面が開放さ
れた搬送口２ａとなっている。そして、ワーク収容部２
はその全体が昇降部（図示せず）により昇降されるよう
になっており、その昇降により、該ワーク収容部２は、
検査台３の上面から進出した状態および検査台３内に退
入した状態になる。
は、上下方向に適当な間隔があけられている。また、該
ワーク収容部２は、各ワーク５が水平状態で該ワーク収
容部２から退出するように、検査台３側の側面が開放さ
れた搬送口２ａとなっている。そして、ワーク収容部２
はその全体が昇降部（図示せず）により昇降されるよう
になっており、その昇降により、該ワーク収容部２は、
検査台３の上面から進出した状態および検査台３内に退
入した状態になる。
【００１３】検査台３の上面には、ワーク収容部２の配
設位置からワークの検査台３にかけて平行な一対のガイ
ドレール８および８が設けられている。各ガイドレール
８には、ワーク搬送機４における各ガイドレール８とは
直交状態になった第１揺動軸４Ｃの各端部がスライド可
能に係合されている。そして、この第１揺動軸４Ｃには
搬送アーム７が取付けられている。搬送アーム７ａは各
ガイドレール８と平行になってワーク収容部２側へ延び
る一対のアーム部を有するＵ字状をしており、その基端
部が、第１揺動軸４Ｃの中央部に取付けられている。
設位置からワークの検査台３にかけて平行な一対のガイ
ドレール８および８が設けられている。各ガイドレール
８には、ワーク搬送機４における各ガイドレール８とは
直交状態になった第１揺動軸４Ｃの各端部がスライド可
能に係合されている。そして、この第１揺動軸４Ｃには
搬送アーム７が取付けられている。搬送アーム７ａは各
ガイドレール８と平行になってワーク収容部２側へ延び
る一対のアーム部を有するＵ字状をしており、その基端
部が、第１揺動軸４Ｃの中央部に取付けられている。
【００１４】第１揺動軸４Ｃは、各端部をそれぞれ各ガ
イドレール８に係合された状態でワーク収容部２に接近
および離隔するように平行移動される。そして、該第１
揺動軸４Ｃがワーク収容部２に接近するように移動する
と搬送アーム７の各アーム７ａ部が、搬送口２ａからワ
ーク収容部２内に進入する。各アーム部７ａは、ワーク
収容部２内の上下に隣接するワーク５の間に位置され
る。
イドレール８に係合された状態でワーク収容部２に接近
および離隔するように平行移動される。そして、該第１
揺動軸４Ｃがワーク収容部２に接近するように移動する
と搬送アーム７の各アーム７ａ部が、搬送口２ａからワ
ーク収容部２内に進入する。各アーム部７ａは、ワーク
収容部２内の上下に隣接するワーク５の間に位置され
る。
【００１５】各搬送アーム７のアーム７ａ部には、ワー
ク収容部２内に進入した際に、該ワーク収容部２内の水
平状態のワーク５を、例えば真空吸着により水平状態で
仮保持する仮保持部６が設けられている。
ク収容部２内に進入した際に、該ワーク収容部２内の水
平状態のワーク５を、例えば真空吸着により水平状態で
仮保持する仮保持部６が設けられている。
【００１６】第１揺動軸４Ｃは、図示しないモータによ
り、その軸心回りに、３０度程度にわたって往復回動す
るようになっており、該第１揺動軸４Ｃの回動により、
搬送アーム７の各アーム部先端が上下方向に３０度にわ
たって揺動される。その結果、各アーム部に仮保持され
たワーク５も一体となって同方向に揺動される。
り、その軸心回りに、３０度程度にわたって往復回動す
るようになっており、該第１揺動軸４Ｃの回動により、
搬送アーム７の各アーム部先端が上下方向に３０度にわ
たって揺動される。その結果、各アーム部に仮保持され
たワーク５も一体となって同方向に揺動される。
【００１７】第１揺動軸４ｃには、該第１揺動軸４ｃを
貫通して搬送アーム７に連結された第２揺動軸４ｂが取
付けられている。該第２揺動軸４ｂは、第１揺動軸４ｃ
とは直交状態で、搬送アーム７の基端部中央に取り付け
られている。該第２揺動軸４ｂは、例えば、図示しない
モータにより３０度程度にわたって回動される。そし
て、第２揺動軸４ｂの回動により、搬送アーム７の各ア
ーム７ａが上下方向に交互に揺動する。これにより搬送
アーム７の各アーム部に仮保持されたワーク５は、３０
度程度にわたって往復揺動する。検査台３の上方には、
搬送アーム７に仮保持されたワーク５の表面に光を照射
する一対の光源９が配設されている。
貫通して搬送アーム７に連結された第２揺動軸４ｂが取
付けられている。該第２揺動軸４ｂは、第１揺動軸４ｃ
とは直交状態で、搬送アーム７の基端部中央に取り付け
られている。該第２揺動軸４ｂは、例えば、図示しない
モータにより３０度程度にわたって回動される。そし
て、第２揺動軸４ｂの回動により、搬送アーム７の各ア
ーム７ａが上下方向に交互に揺動する。これにより搬送
アーム７の各アーム部に仮保持されたワーク５は、３０
度程度にわたって往復揺動する。検査台３の上方には、
搬送アーム７に仮保持されたワーク５の表面に光を照射
する一対の光源９が配設されている。
【００１８】このような構成の本発明の外観検査では、
ワーク５の表面の検査は次のようにして行われる。
ワーク５の表面の検査は次のようにして行われる。
【００１９】ワーク収容部２には、複数のワーク５が水
平状態で収容された状態で、本体１上に進出した状態に
なっている。このような状態で、ワーク搬送機４におけ
る第１揺動軸４ｃがワーク収容部２に接近するように平
行移動されて、搬送アーム７のアーム部がワーク収容部
２の搬送口２ａから内部に進入する。各アーム部７ａは
ワーク収容部２の最下側のワーク５の下方へと進入し、
各アーム部７ａがワーク収容部２内に進入した状態にな
ると、第１揺動軸４ｃの移動が停止される。その後、ワ
ーク収容部２は、所定のピッチだけ下降して、最下側の
ワーク５はワーク仮保持部６上に当接した状態とされ
る。そして、そのワーク５は、各アーム部７ａに設けら
れた仮保持部６に、例えば真空吸着によって吸着され、
仮保持状態とされる。
平状態で収容された状態で、本体１上に進出した状態に
なっている。このような状態で、ワーク搬送機４におけ
る第１揺動軸４ｃがワーク収容部２に接近するように平
行移動されて、搬送アーム７のアーム部がワーク収容部
２の搬送口２ａから内部に進入する。各アーム部７ａは
ワーク収容部２の最下側のワーク５の下方へと進入し、
各アーム部７ａがワーク収容部２内に進入した状態にな
ると、第１揺動軸４ｃの移動が停止される。その後、ワ
ーク収容部２は、所定のピッチだけ下降して、最下側の
ワーク５はワーク仮保持部６上に当接した状態とされ
る。そして、そのワーク５は、各アーム部７ａに設けら
れた仮保持部６に、例えば真空吸着によって吸着され、
仮保持状態とされる。
【００２０】ワーク５が仮保持部６により仮保持された
状態になると、第１揺動軸４Ｃが移動され、搬送アーム
７の各アーム７ａ部が搬送口２ａから退出する。ワーク
５が検査位置に達すると第１揺動軸４ｃの移動が停止さ
れる。この状態でワーク５は、相互に直交する各揺動軸
４ｂおよび４ｃが回動することによって、各軸を中心に
それぞれ約３０度程度にわたって往復揺動される。この
ように揺動する間に、光源９からの光がワーク５の表面
に照射され、その反射光が作業者によって観測される。
このとき、ワーク５の表面からの反射光が散乱していれ
ば、ワーク５自体にパターン不良や損傷があると判別さ
れて仮保持部６から不良品として取り除かれる。また、
ワーク５からの反射光が、均一性がある場合には、ワー
ク５は良品と判別されて第１揺動軸４ｃがワーク収容部
２に向かって移動され、仮保持状態のワーク５が再びワ
ーク収容部２へ水平状態で搬送される。そして、ワーク
５がワーク収容部２内の所定位置に達すると、仮保持部
６による仮保持が解除されて、ワーク５はワーク収容部
２内に収容される。このようにして、１つのワーク５の
外観検査が終了すると、搬送アーム７は、一旦、検査台
３へ移動される。この間に、ワーク収容部２は所定量だ
け下降して、次に検査すべきワーク５が、搬送アーム７
の高さよりも若干上方に位置される。そして、再び、前
述の動作と同様の動作が繰り返され、次のワーク５の外
観の検査が行われる。
状態になると、第１揺動軸４Ｃが移動され、搬送アーム
７の各アーム７ａ部が搬送口２ａから退出する。ワーク
５が検査位置に達すると第１揺動軸４ｃの移動が停止さ
れる。この状態でワーク５は、相互に直交する各揺動軸
４ｂおよび４ｃが回動することによって、各軸を中心に
それぞれ約３０度程度にわたって往復揺動される。この
ように揺動する間に、光源９からの光がワーク５の表面
に照射され、その反射光が作業者によって観測される。
このとき、ワーク５の表面からの反射光が散乱していれ
ば、ワーク５自体にパターン不良や損傷があると判別さ
れて仮保持部６から不良品として取り除かれる。また、
ワーク５からの反射光が、均一性がある場合には、ワー
ク５は良品と判別されて第１揺動軸４ｃがワーク収容部
２に向かって移動され、仮保持状態のワーク５が再びワ
ーク収容部２へ水平状態で搬送される。そして、ワーク
５がワーク収容部２内の所定位置に達すると、仮保持部
６による仮保持が解除されて、ワーク５はワーク収容部
２内に収容される。このようにして、１つのワーク５の
外観検査が終了すると、搬送アーム７は、一旦、検査台
３へ移動される。この間に、ワーク収容部２は所定量だ
け下降して、次に検査すべきワーク５が、搬送アーム７
の高さよりも若干上方に位置される。そして、再び、前
述の動作と同様の動作が繰り返され、次のワーク５の外
観の検査が行われる。
【００２１】
【発明の効果】本発明の外観検査装置は、このように、
ワーク搬送アームがワークを搬送する機能とワークの姿
勢を任意に変える機能とを共用する構成としたので、検
査工程においてワークの載せ換えが不要となり、タクト
タイムが短縮されスループットを著しく向上させること
ができると共に不良ワークを確実に検出することができ
る。また、共用できる構成部分を省略して部品点数を減
らし必要な機能を凝縮して簡素な構成とすることができ
る。 加えて、ワーク搬送アームを回動する軸の軸心を揺
動中心として揺動させる構成としたことで、ワークの姿
勢が変わるだけでワークが広範囲に渡って大きく揺れる
ことがなくなり、検査をし易くすると共に検査部周辺を
小型化することができる。 その結果、検査装置全体を小
型化でき、設置に要する占有面積も小さくでき、限られ
たクリーンルーム内の面積を有効に活用することができ
るようになる。
ワーク搬送アームがワークを搬送する機能とワークの姿
勢を任意に変える機能とを共用する構成としたので、検
査工程においてワークの載せ換えが不要となり、タクト
タイムが短縮されスループットを著しく向上させること
ができると共に不良ワークを確実に検出することができ
る。また、共用できる構成部分を省略して部品点数を減
らし必要な機能を凝縮して簡素な構成とすることができ
る。 加えて、ワーク搬送アームを回動する軸の軸心を揺
動中心として揺動させる構成としたことで、ワークの姿
勢が変わるだけでワークが広範囲に渡って大きく揺れる
ことがなくなり、検査をし易くすると共に検査部周辺を
小型化することができる。 その結果、検査装置全体を小
型化でき、設置に要する占有面積も小さくでき、限られ
たクリーンルーム内の面積を有効に活用することができ
るようになる。
【図１】本発明の外観検査装置の一例を示す平面図。
【図２】図１に示す外観検査装置の正面図。
【図３】図１に示す外観検査装置の側面図。
【図４】従来の外観検査装置の一例を示す平面図。
【図５】図４に示す外観検査装置の正面図。
１ 本体 ２ ワーク収容部 ３ 検査台 ４ ワーク搬送機 ４ｂ 第１揺動軸 ４ｃ 第２揺動軸 ５ ワーク ６ 仮保持部 ７ 搬送アーム ８ レール ９ 光源
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平１−207942（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−54152（ＪＰ，Ａ) 特開 昭56−85834（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−270839（ＪＰ，Ａ) 特開 昭64−5029（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】 電子部品における薄板部材であるワーク
の外観を検査すべく、該ワークの表面にて光が反射され
るように光を照射する外観検査装置であって、 複数のワークを水平状態で多段に積層して収納した状態
で昇降可能になっており、各ワークが水平方向へ退出す
るように搬送口が設けられたワーク収容部と、 該ワーク収容部の搬送口を通って内部に侵入および退出
するように水平方向へ直線的に往復移動するワーク搬送
アームと、 該ワーク収容部に侵入した際に内部のワークを水平状態
で仮保持するように該ワーク搬送アームに取り付けられ
たワーク仮保持部と、該 ワーク搬送アームに設けられた、相互に直交し且つ各
々が往復回動可能な２つの軸を有し、該軸の少なくとも
１つが軸心回りに回動することにより、退出した状態で
該ワーク搬送アームを回動する軸の軸心を揺動中心とし
て揺動させて、仮保持されたワークを水平状態から任意
の方向に向かせる揺動手段と、 該揺動手段にて揺動されるワークに光を照射する光源と
を具備する外観検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3083690A JP2740580B2 (ja) | 1991-04-16 | 1991-04-16 | 外観検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3083690A JP2740580B2 (ja) | 1991-04-16 | 1991-04-16 | 外観検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04315948A JPH04315948A (ja) | 1992-11-06 |
| JP2740580B2 true JP2740580B2 (ja) | 1998-04-15 |
Family
ID=13809490
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3083690A Expired - Lifetime JP2740580B2 (ja) | 1991-04-16 | 1991-04-16 | 外観検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2740580B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3931111B2 (ja) * | 2002-05-30 | 2007-06-13 | オリンパス株式会社 | 基板保持装置及び基板検査装置 |
| JP2008116470A (ja) * | 2007-12-25 | 2008-05-22 | Olympus Corp | 基板検査装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2659384B2 (ja) * | 1988-02-16 | 1997-09-30 | オリンパス光学工業株式会社 | ウエハ検査装置 |
| JPH0254152A (ja) * | 1988-08-17 | 1990-02-23 | Nec Kyushu Ltd | 半導体基板の目視検査装置 |
-
1991
- 1991-04-16 JP JP3083690A patent/JP2740580B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04315948A (ja) | 1992-11-06 |
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