JPH01155640A - 半導体ウエハカセツト搬送ロボツト - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は半鐘体ウェハカセット搬送ロボットに関する
ものである。

〔従来の技術〕

第４図は従来の半導体ウェハカセット搬送ロボット（カ
セットハンド部は除く）の概略斜視図である。図中、（
１）は半導体ウェハ（以下ウェハと称する）、（２）は
半導体ウェハカセット（以下カセットと称する）　、　
［３１はカセットｔ１Ｍき台、（４）は搬送車、（５）
は搬送車が沿って走る誘導テープ、（６）はマニピュレ
ータであり、図に示している通り、ハンド部を除き上下
方向の２軸１回転方向の０１、θ！、θ３軸を有してい
る。

第５図は従来のマニピュレータ（６）の先端に取り付け
られるハンド機構部の概略斜視図である。図中、（７）
はハンド爪で、右型（７ａ）と左型（７ｂ）から成る。

（８）はハンド爪（７）を開閉するハンド爪開閉機構部
、（９）はハンド爪開閉機簿部（８）を取付ける取付板
、αＧは取付板（９）を回転させ、把持するカセット（
２）を回転させる回転機構部である。これにより、カセ
ット（２）を縦置き状態（ウェハ（１）が、水平方向に
並んでいる状態）、または横置き状態（ウェハ（１１が
、垂直方向に並んでいる状態）にすることができる。Ｉ
はハンド取付板、＠はマニピュレータ（６）の一部であ
るθ３モータで、これによりカセットハンド機構部全体
が回転させられる。

次に動作について説明する。上記の半導体ウェハカセッ
ト搬送ロボットは処理装置とカセットのやり取りを行う
が、処理装置のタイプによって。

ウェハが縦置きの状態、または、横置きの状態でカセッ
トのやりとりを行わなければならない。処理袋−から縦
重きのカセットを取り込み、次の処理装置に横置きで載
せる場合について説明する。

搬送車（４）を動かし、Ｍ導テープ（５）に沿って移動
し、カセット（２）を取り込む処理袋＆（図示せず）の
Ｒ＋ｒに停止する。次に、θ１、θ禦、θ３軸を動かし
。

目的とするカセット（２）の真上にカセットハンドを停
止させる。次に１回転［構部（Ｉｆ）を動かし、ハンド
爪（７）を軸を中心に回転させ、横置きのカセット（２
）を取れる状態にハンド爪（７）を動かしく図示はハン
ド爪（７）は縦置きのカセット（２）を取れる状態なの
で、横置きのものを取るには、α軸の図示矢印の方向と
は逆の方向へ９０°回転させる）、また−ハンド爪開閉
機構部（８）を用いて、ハンド爪（７）を開状態とする
。この状態のまま、Ｚ軸を動かして、マニピュレータ（
６）全体を動かすことにより、ハンド爪（７）かカセッ
ト（２）を取れる位置まで下降させる。

次に、ハンド爪開閉機構部（８）によりハンド爪（７）
を閉状態にして、′カセット（２）を把持する。この状
態のまま、Ｚ軸を動かして、マニピュレータ（６）を上
へ動かし、先程の位置で停止する。次に、回転機構部α
１により、α軸を中心に先程とは逆の方向へハンド爪（
７）を回転させ、把持したカセット（２）を、搬送し易
い機置き状態とする。それに続いて、マニピュレータ（
６）の０１．θ諺、６３細を動かして、把持したカセッ
ト（２）をカセット置き台（３）の真上にて停止させる
。次に２軸を動かして、マニピュレータ（６）を下降さ
せ、カセット（２）を縦置き状態で、カセット置き台（
３）の上へ載せ、ハンド開閉機構部（８）によりハンド
爪（７）を開く。その後マニピュレータ（６）は上へ上
昇し、走行中に１人や物と干渉しない様な状態になる。

これで、カセット（２）を処理装置（図示せず）から取
り込む作業は完了したこととなる。

続いて、搬送車（４）は、誘導テープ（５）に沿って、
搬シ：先の処理袋＠（図示せず）へと向い移動する。

移動か完了すると、まず、カセット置き台（３）上にあ
るカセット（２）を、ハンド爪（７）により取りに行く
。

ます、マニピュレータ（６）を動かすことにより、ノ１
ンド爪（７）か、カセット（２）を取れる位置まで動く
。

ハンド爪（７）は横置きのカセット（２）が敗れる状態
なので、そのままＺ軸を動かし、マニピュレータ（６）
は下降する。カセット（２）か取れる位置で停止し、ハ
ンド開閉機構 態とし、カセット（２）を把持する。そのまま状態を保
持しなから、Ｚ軸が駆動され一カセット（２）は。

上昇する。適当な位置で停止し、処理装置！ｌ（図示せ
ず）の移載ポイントの真上へ、カセット（２）をマニピ
ュレータ（６）を動かすことにより持っていく。

次に、カセット（２）は横りきの状態で処理装置ｉｔ（
図示せず）に置くので、そのまま、Ｚ軸が駆動され下降
しカセット（２）は移載ポイントへ置かれる。続いて、
ハンド爪（３）は、ハンド爪開閉機構部（８）により開
状態とされ、カセット（２）はハンド爪（３）から離れ
る。このまま、Ｚ軸が駆動され、マニピュレータ（６）
は上昇し−また。θ１．θ雪、θ３軸を動かすことによ
り適当な人や物に当らない形状に縮め、次の搬送元の処
理袋＾（図示せず）へと向う。

〔発明が解決しようとする間融点〕

従来の半導体ウェハカセット搬送ロボットは以上の様に
構成されていたので、ハンド機構部にハンドの開閉と、
カセットを把持したまま回転させるａ能か必要で、ハン
ド機構部が複雑となり、電量が蔦くｔす、ハンド機輛す
はアーム先端に取付けられるため、アームへの負担も大
きく、また、カセットの上方で、ハンドｍｉｓか動くた
め、塵をカセットに収納されたウェハに、巻き散らすな
どの問題点かあった。

この発明は上記の様な問題点を解消するためになされた
もので、ハンド機構部をハンドの開閉機構のみとし、か
つ、カセットの縦置き、横置きができる半導体ウェハカ
セット搬送ロボットを得ることを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明に係る半導体ウェハカセット搬送ロボットは走
行機構部上部に設けられたカセット置き台に、カセット
回転機構を設け、また、ハンド機構部におけるカセット
を直接把持する爪部を縦置き用と横置き用を別個に設は
一同一の開閉機構に取り付けたものである。

〔作用〕

この発明におけるハンド機構部は縦置き用または横置き
用のカセットを、それぞれに対応する爪によりカセット
を把持し、また、カセット重き台上のカセット回転機構
部は、マニピユレータ部により直かれたカセットを、縦
置き用または横置き用の状態にする。

〔実施例〕

以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図において１図中符号（１）〜（６）は前記従来のもの
と同一なので説明は省略する。図において、α３はカセ
ット回転機構部で、縦置きカセットを横置きカセットに
、またその逆にする機構部である。

第２図はこの発明の一実施例であるカセットハンド部で
あり、図示は横置き状態のカセット（２）を把持してい
る。図において、（１４１は縦重き状態のカセット（２
）を把持するための縦置きカセットハンド爪で、右型（
１４ａ）、左型（１４ｂ）’ｔ［ｌｆｆ１される。Ｃｌ
５１は横置きカセットハンド爪で、これも同様に右型（
１５ｍ　）、左型（１５ｂ）で構成される。

ｗＩ３図は、１３２図から一ハンド爪開閉機構部を図示
　１回に１８０°回転させ、また、縦置きハンド爪ｕ４
）に鞭置き状態のカセット（２）を把示させている状態
を示している。

次に動作について説明する。前記従来の搬込ロボットで
説明したのと同様に、処理装置から、縦置きのカセット
を取り込み１次の処理装置に、横置で載せる場合につい
て説明する。

搬送車（４）を動かし、誘導テープ（５）に沿って移動
し、移送元の処理装置１（図示せず）へ向い、停止ポイ
ントにて停止する。縦置きのカセットを取り込むため、
縦置きハンド爪α滲か、カセット（２）上の目的とする
位置へ移動する様に、θ１．θｇ、θ３軸を駆使して、
マニピュレータ（６）を動かす。続いてＺ軸を動かし、
マニピュレータ（６）全体を下降させ。

縦置きハンド爪（１４ｍ）かカセット（２）を取れる位
置にて停止し、ハンド爪開閉機構部（８）により縦置き
ハンド爪α滲を閉状態とし、カセット（２）を把持する
。次に、Ｚ軸を駆動させ、カセット（２）を上昇させ、
引き続いて、カセット（２）をカセット回転機構部０３
上に置く様に、Ｚ、θｌ、θ雪、θ３軸により。

マニピュレータ（６）を動かす。次に、ハンドル開閉ａ
構部（８）により縦置きハンド爪４１４１を開状態にし
、カセット（２）を辱し、カセット回転ａ！構部（１３
に載せ。

マニピュレータ（６）は上へ上昇する。続いて、カセッ
ト回転機構部αｊは、カセット（２）を縦置き状態から
横置き状態に回転させる（第１図中、１点鎖線は縦置き
状態のカセットであり、図示矢印の方向に、カセット（
２）は回転させられる）。これで−処理装置ｉｔ（図示
せず）から、カセット（２）の取り込み作業か完了した
こととなる。

続いて、搬送車（４）は誘導テープ（５）に沿って、搬
送先の処理装置（図示せず）へと向い移動する。

移動完了後、横置きハンド爪［１！ｉｌでカセット（２
）が取れる柿な位動へＺ、０１−θ意、θ３軸を駆使し
て、マニピュレータ（６）を動かす。横置きハンド爪ｕ
９を用いるのは、処理装置ｉｔ（図示せず）へは、横置
きで濾くためである。次に、ハンド爪開閉機構部（８）
を動かし、横置きハンド爪（Ｉｓを閉じ、カセット（２
）を把持する。次に、マニピュレータ（６）は上昇し、
引き続いて、カセット（２）を、処理装置ｌｌ（図示せ
ず）の移載ポイント上の目的とする位置へと動かす。

そして、マニピュレータ（６）は下降し、移植ポイント
へカセット（２）を載せる。続いて、ハンド開閉機構部
（８）により横１きハンド爪（ｉＳを開き、カセット（
２）を、処理装置移載ポイント（図示せ丁）へ置き。

マニピュレータ（６）は上昇する。マニピュレータ（６
）はθｌ、θ２、θ３軸を駆使して人や物に当らない形
になり１次の搬送先の処理装置へと向う。

〔発明の効果〕

以上の様にこの発明によれば、カセットの回転機構部を
走行機構部上部のカセット置き台に設け。

ハンド機構部は開閉機構のみとし、爪部で縦置き、横置
きのカセットを把持できる様に構成したので。

ハンド機構部を軽蓋化することかでき、それに伴いマニ
ピユレータ部も小型化することか可能となり、また、カ
セット回転時にカセット上部で機構部を動かす必要かな
くなり、塵埃などの影響を少くする等の効果かある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例による半導体ウェハカセッ
ト移送ロボットの概略斜視図、第２図はｍｔｔｉｔきの
カセットを把持したカセットハンド機構部の概略斜視図
、第３図は＆［！Ｅきのカセットを把持したカセットハ
ンド機構部の概略斜視図、ｊ８４図は従来の半音体ウェ
ハカセット移送ロボットの概略斜視図、＄５図は、従来
のカセットハンド機構部の概略斜視図である。 図において、（１）は半導体ウェハ、（２）はカセット
、（６）はマニピュレータ、（８）はハンド爪開閉機構
部、（１３は、カセット回転機構部、（１４１は縦置き
ハンド爪−０９は横置きハンド爪を示す。 なお−図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）走行路、この走行路を走行する走行機構部、この
   走行機構部上に載せられ、複数の軸を有するマニピュレ
   ータ機構部、このマニピュレータ機構部の先端に取り付
   けられる半導体ウェハカセットを把持するハンド機構部
   及び上記走行機構部の上部に設けられた半導体ウェハカ
   セット置き台から成る半導体ウェハカセット搬送装置に
   おいて、上記半導体ウェハカセット置き台に、カセット
   を回転させる回転機構部を設け、上記ハンド機構部は開
   閉機構のみを有することを特徴とする半導体ウェハカセ
   ット搬送ロボット。
2. （２）ハンド機構部を、半導体ウェハカセットを縦置き
   の状態（半導体ウェハが水平方向に並んだ状態）、横置
   き状態（半導体ウェハが垂直方向に並んだ状態）のそれ
   ぞれの状態のカセットが把持できる爪を、別個に有し、
   １つの開閉機構部に取り付けられていることを特徴とす
   る特許請求の範囲第１項記載の半導体ウェハカセット搬
   送ロボット。