JPH09226721A - 箱体搬送装置 - Google Patents
箱体搬送装置Info
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- JPH09226721A JPH09226721A JP8033884A JP3388496A JPH09226721A JP H09226721 A JPH09226721 A JP H09226721A JP 8033884 A JP8033884 A JP 8033884A JP 3388496 A JP3388496 A JP 3388496A JP H09226721 A JPH09226721 A JP H09226721A
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- Japan
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- claws
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
- H01L21/68707—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a robot blade, or gripped by a gripper for conveyance
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Power Engineering (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Supplying Of Containers To The Packaging Station (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】ウェハを収納するキャリア３２を搬送する箱体
搬送装置において、機構が簡単でスペースを狭くても設
置できるとともにキャリアの移載時に塵埃に汚染されな
くかつ安価にする。 【解決手段】ボックス３１の蓋を掴み保持する第１の爪
１とキャリア３２を掴み保持する第２の爪２とを爪２の
開閉時に互に干渉しない程度に近づけて上下２段にコン
パクトに配置し、爪の開閉機構である４も単純なリンク
機構にし、これら一体化された機構４を一本のコラム８
に上下できるようにすることによって、蓋３０の開け閉
め移動とキャリア３２の取出し取入れが一つの機構部で
行なえる。
搬送装置において、機構が簡単でスペースを狭くても設
置できるとともにキャリアの移載時に塵埃に汚染されな
くかつ安価にする。 【解決手段】ボックス３１の蓋を掴み保持する第１の爪
１とキャリア３２を掴み保持する第２の爪２とを爪２の
開閉時に互に干渉しない程度に近づけて上下２段にコン
パクトに配置し、爪の開閉機構である４も単純なリンク
機構にし、これら一体化された機構４を一本のコラム８
に上下できるようにすることによって、蓋３０の開け閉
め移動とキャリア３２の取出し取入れが一つの機構部で
行なえる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、複数枚の基板を収
納する小さい箱体（以下キャリアと記す）を搬送する箱
体搬送装置に関する。
納する小さい箱体（以下キャリアと記す）を搬送する箱
体搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、半導体製造においては、多品種少
量生産化が進みロットサイズが小さくなるものの、少品
種多量生産と同じように生産量を達成することが望まれ
ている。このため、基板など部品の搬送の効率化や搬送
速度を早めることなど種々の施策が試みられてきた。ま
た、半導体装置の微細化および高集積化により、脆弱な
基板であるウェハやペレットなどの取扱いや、塵埃の付
着が無く搬送することなどの制約が搬送装置に担わされ
ている。さらに、商品価値を生み出さない搬送装置のよ
うな装置はコストもできるだけ安く設置スペースをとら
ないという課題を背負っている。
量生産化が進みロットサイズが小さくなるものの、少品
種多量生産と同じように生産量を達成することが望まれ
ている。このため、基板など部品の搬送の効率化や搬送
速度を早めることなど種々の施策が試みられてきた。ま
た、半導体装置の微細化および高集積化により、脆弱な
基板であるウェハやペレットなどの取扱いや、塵埃の付
着が無く搬送することなどの制約が搬送装置に担わされ
ている。さらに、商品価値を生み出さない搬送装置のよ
うな装置はコストもできるだけ安く設置スペースをとら
ないという課題を背負っている。
【０００３】例えば、ウェハを搬送するのにウェハの複
数枚を収納したキャリアによって搬送していたが、キャ
リアはウェハを露呈した状態で収納しているので搬送中
に塵埃粒子が付着し易い。そこで、搬送の効率が悪くて
も、キャリアの搬送にはキャリアを入れるボックスを使
用するのに至った。しかしながら、ボックすを開けキャ
リアを取り出し所定の場所に置くという作業は、人手を
必要とするばかりかウェハにゴミを付着させたり破損さ
せたりすることが多々あった。
数枚を収納したキャリアによって搬送していたが、キャ
リアはウェハを露呈した状態で収納しているので搬送中
に塵埃粒子が付着し易い。そこで、搬送の効率が悪くて
も、キャリアの搬送にはキャリアを入れるボックスを使
用するのに至った。しかしながら、ボックすを開けキャ
リアを取り出し所定の場所に置くという作業は、人手を
必要とするばかりかウェハにゴミを付着させたり破損さ
せたりすることが多々あった。
【０００４】このような問題を解消するために自動化し
た箱体搬送装置が種々提案されている。例えば、実開昭
６３一７３９３５号公報に半導体製造装置用搬送装置と
して開示されている。このキャリア搬送装置は、キャリ
アを一方向に移送する移送装置と、ボックスの蓋を開い
たり閉たりするとともに前記一方向と垂直方向の他の位
置に蓋を該置く蓋の移動装置とを設け、人手を介さずに
自動的にボックスからキャリアの取り出し搬送すること
を特徴とするものであった。
た箱体搬送装置が種々提案されている。例えば、実開昭
６３一７３９３５号公報に半導体製造装置用搬送装置と
して開示されている。このキャリア搬送装置は、キャリ
アを一方向に移送する移送装置と、ボックスの蓋を開い
たり閉たりするとともに前記一方向と垂直方向の他の位
置に蓋を該置く蓋の移動装置とを設け、人手を介さずに
自動的にボックスからキャリアの取り出し搬送すること
を特徴とするものであった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の箱体搬
送装置では、蓋の移動装置とキャリアの移動装置とが独
立して設けられているので、互に干渉しないようにシー
ケンシャルに別々に動作しなければならず時間がかかる
という欠点がある。また、互に直交する方向に移動する
機構部を設けることにより装置が大掛かりになり大きな
床スペースを必要とする欠点がある。さらに、二方向の
移動機構が複雑な機構のため頻繁なメンテナンスを必要
とし、しかも大掛かりと機構の複雑さに加えてコストが
高くなる欠点もある。
送装置では、蓋の移動装置とキャリアの移動装置とが独
立して設けられているので、互に干渉しないようにシー
ケンシャルに別々に動作しなければならず時間がかかる
という欠点がある。また、互に直交する方向に移動する
機構部を設けることにより装置が大掛かりになり大きな
床スペースを必要とする欠点がある。さらに、二方向の
移動機構が複雑な機構のため頻繁なメンテナンスを必要
とし、しかも大掛かりと機構の複雑さに加えてコストが
高くなる欠点もある。
【０００６】一方、キャリアの搬送では、キャリアの開
口を開けたまま移動するので、キャリアから露呈するウ
ェハの面に埃が付着し品質に重大な欠陥をもたらすとい
う問題がある。
口を開けたまま移動するので、キャリアから露呈するウ
ェハの面に埃が付着し品質に重大な欠陥をもたらすとい
う問題がある。
【０００７】従って、本発明の目的は、機構が簡単でス
ペースを狭くても設置できるとともにキャリアの移載時
に塵埃に汚染されない安価な箱体搬送装置を提供するこ
とである。
ペースを狭くても設置できるとともにキャリアの移載時
に塵埃に汚染されない安価な箱体搬送装置を提供するこ
とである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の特徴は、テーブ
ルに置かれたボックスの蓋を掴み上下することで該蓋を
開閉する一対の第１の爪と、この第１の爪より所定の距
離をおいて下側に配設されるとともに前記ボックスより
露呈するキャリアを掴み上下することで該ボックスより
取り出したり収納したりする一対の第２の爪と、前記第
１の爪と前記第２の爪２を独立に開きあるいは閉じる動
作を仕さどる保持連動機構部と、前記第１の爪および前
記第２の爪を伴なって前記保持連動機構を上下動させる
昇降機構部と、この昇降機構部を取付ける柱部材を一方
向に走行させ前記キャリアあるいは前記蓋または前記蓋
と前記キャリアを搬送する走行機構部とを備える箱体搬
送装置である。また、前記キャリアを搬送中に前記キャ
リアの開口を前記蓋で閉じることが望ましい。
ルに置かれたボックスの蓋を掴み上下することで該蓋を
開閉する一対の第１の爪と、この第１の爪より所定の距
離をおいて下側に配設されるとともに前記ボックスより
露呈するキャリアを掴み上下することで該ボックスより
取り出したり収納したりする一対の第２の爪と、前記第
１の爪と前記第２の爪２を独立に開きあるいは閉じる動
作を仕さどる保持連動機構部と、前記第１の爪および前
記第２の爪を伴なって前記保持連動機構を上下動させる
昇降機構部と、この昇降機構部を取付ける柱部材を一方
向に走行させ前記キャリアあるいは前記蓋または前記蓋
と前記キャリアを搬送する走行機構部とを備える箱体搬
送装置である。また、前記キャリアを搬送中に前記キャ
リアの開口を前記蓋で閉じることが望ましい。
【０００９】
【発明の実施の形態】次に、本発明について図面を参照
して説明する。
して説明する。
【００１０】図１（ａ）および（ｂ）は本発明の一実施
の形態における箱体搬送装置を示す正面図および側面図
である。この箱体搬送装置は、図１に示すように、テー
ブル６に置かれたボックス３１の蓋３０を掴み上下する
ことで蓋３０を開閉する一対の第１の爪１と、この第１
の爪１より所定の距離をおいて下側に配設されるととも
にボックス３１より露呈するキャリア３２を掴み上下す
ることでボックス３１より取り出したり収納したりする
一対の第２の爪２と、この第１の爪１と第２の爪２とを
開きあるいは閉じる動作を仕さどる保持連動機構部４
と、第１の爪１および第２の爪を伴なって保持連動機構
４を上下動させる昇降機構部３と、昇降機構部３を取付
けるコラム８をベース７上を走行し第１の爪および第２
の爪により掴み保持されるキャリア３２および蓋３０な
らびにキャリア３２と蓋のいずれかを搬送する走行機構
部５とを備えている。
の形態における箱体搬送装置を示す正面図および側面図
である。この箱体搬送装置は、図１に示すように、テー
ブル６に置かれたボックス３１の蓋３０を掴み上下する
ことで蓋３０を開閉する一対の第１の爪１と、この第１
の爪１より所定の距離をおいて下側に配設されるととも
にボックス３１より露呈するキャリア３２を掴み上下す
ることでボックス３１より取り出したり収納したりする
一対の第２の爪２と、この第１の爪１と第２の爪２とを
開きあるいは閉じる動作を仕さどる保持連動機構部４
と、第１の爪１および第２の爪を伴なって保持連動機構
４を上下動させる昇降機構部３と、昇降機構部３を取付
けるコラム８をベース７上を走行し第１の爪および第２
の爪により掴み保持されるキャリア３２および蓋３０な
らびにキャリア３２と蓋のいずれかを搬送する走行機構
部５とを備えている。
【００１１】走行機構部５は、ベース７上のレール９の
上を走行するコラム８のベアリング部１０と、コラム８
のベアリング部１０に連結されるチェーン１２とチェー
ン１２と噛み合うスプロケット１１を備えている。そし
て、キャリアの置き場所とテーブル６との間をコラム８
および爪１，２と昇降機構部３を移動させる。
上を走行するコラム８のベアリング部１０と、コラム８
のベアリング部１０に連結されるチェーン１２とチェー
ン１２と噛み合うスプロケット１１を備えている。そし
て、キャリアの置き場所とテーブル６との間をコラム８
および爪１，２と昇降機構部３を移動させる。
【００１２】図２（ａ）および（ｂ）は図１の昇降機構
部および保持連動機構部を示す正面図およびＡＡ断面図
である。昇降機構部３は、図２に示すように、爪１，２
および爪１，２を開閉する保持連動機構部４のベース１
８が摺動するレール１３と、コラム８に取り付けられた
モータ１５と、モータ１５の回転により回転するスプロ
ケット１４，１７と、このスプロケット１４，１７と噛
み合いベース１８をコラム８を上下するチェーン１６と
を備えている。
部および保持連動機構部を示す正面図およびＡＡ断面図
である。昇降機構部３は、図２に示すように、爪１，２
および爪１，２を開閉する保持連動機構部４のベース１
８が摺動するレール１３と、コラム８に取り付けられた
モータ１５と、モータ１５の回転により回転するスプロ
ケット１４，１７と、このスプロケット１４，１７と噛
み合いベース１８をコラム８を上下するチェーン１６と
を備えている。
【００１３】また、保持連動機構部４は、リンク１９
ａ，１９ｂにより爪１を開閉するリンク機構とこのリン
ク機構を動作させるエアシリンダ２１と、リンク２０
ａ，２０ｂによる爪２を開閉するリンク機構とこのリン
ク機構を動作させるエアシリンダ２２とを備えている。
図２（ａ）では爪１，２が最も開いた状態である。エア
シリンダ２２のピストンロッドが伸びてリンク１９ａ，
１９ｂがピン２５を中心に押し上げられると、爪１のロ
ッド２３はガイド２２を摺動し爪１はコラム８内に引込
まれるように閉る方向に移動する。また、エアシリンダ
２１のピストンロッドが引込むと、リンク２０ａ，２０
ｂがピン２６を中心に引き下げられて、爪２のロッドは
ガイドを摺動し爪２はコラム８内に引込まれるように閉
る方向に移動する。
ａ，１９ｂにより爪１を開閉するリンク機構とこのリン
ク機構を動作させるエアシリンダ２１と、リンク２０
ａ，２０ｂによる爪２を開閉するリンク機構とこのリン
ク機構を動作させるエアシリンダ２２とを備えている。
図２（ａ）では爪１，２が最も開いた状態である。エア
シリンダ２２のピストンロッドが伸びてリンク１９ａ，
１９ｂがピン２５を中心に押し上げられると、爪１のロ
ッド２３はガイド２２を摺動し爪１はコラム８内に引込
まれるように閉る方向に移動する。また、エアシリンダ
２１のピストンロッドが引込むと、リンク２０ａ，２０
ｂがピン２６を中心に引き下げられて、爪２のロッドは
ガイドを摺動し爪２はコラム８内に引込まれるように閉
る方向に移動する。
【００１４】図３および図４（ａ）〜（ｆ）は図１の箱
体搬送装置の動作順に示す図である。次に、この箱体搬
送装置の動作を説明する。まず、図２のモータ１５によ
りベース１８を下降させることで、図３（ａ）の矢印に
示すように、爪１，２を下降させ、図３（ｂ）のよう
に、爪１，２をともに蓋３０の縁より下に位置させる。
体搬送装置の動作順に示す図である。次に、この箱体搬
送装置の動作を説明する。まず、図２のモータ１５によ
りベース１８を下降させることで、図３（ａ）の矢印に
示すように、爪１，２を下降させ、図３（ｂ）のよう
に、爪１，２をともに蓋３０の縁より下に位置させる。
【００１５】次に、図３（ｃ）に示すように、図２のエ
アシリンダ２２のピストンロッドを伸ばし、爪１を閉め
蓋３０の縁を保持する。次に、図３（ｄ）に示すよう
に、昇降機構部３により爪１および爪２を上昇させ、ボ
ックス３１の蓋３０を持上げる。次に、図３（ｅ）に示
すように、図２のエアシリンダ２１のピストンロッドを
引込み、爪２を閉じ先端をキャリア３２の側面と接触さ
せる。そして、図３のように、蓋３０とともにキャリア
３２を爪１と爪２とで持上げボックス３１より取出す。
このとき、キャリア３２の開口は蓋３０で閉じられた状
態を保っているので、キャリア３２内のウェハは塵埃か
らの汚染は防止される。
アシリンダ２２のピストンロッドを伸ばし、爪１を閉め
蓋３０の縁を保持する。次に、図３（ｄ）に示すよう
に、昇降機構部３により爪１および爪２を上昇させ、ボ
ックス３１の蓋３０を持上げる。次に、図３（ｅ）に示
すように、図２のエアシリンダ２１のピストンロッドを
引込み、爪２を閉じ先端をキャリア３２の側面と接触さ
せる。そして、図３のように、蓋３０とともにキャリア
３２を爪１と爪２とで持上げボックス３１より取出す。
このとき、キャリア３２の開口は蓋３０で閉じられた状
態を保っているので、キャリア３２内のウェハは塵埃か
らの汚染は防止される。
【００１６】次に、図４（ａ）に示すように、蓋３０で
開口を閉じられたキャリア３２を図１の走行機構部５に
よりキャリアの置き場所まで移動させ、昇降機構部３に
より爪１，爪２を下降させてキャリア３２と蓋３０を降
す。次に、図４（ｂ）に示すように、図２のエアシリン
ダ２１のピストンロッドを伸ばし爪２を開き、図４
（ｃ）に示すように、爪１，２を上げ、蓋３０を持ち上
げる。そして、図４（ｄ）に示すように、爪１，２を移
動させ、ボックス３１の上に蓋３０を乗せる。さらに、
図２のエアシリダ２２のピストンロッドを引込ませ、図
４（ｅ）のように、爪１を開き、図４（ｆ）に示すよう
に、爪１，２が上昇し空のボックス３１に蓋３０をした
状態になる。また、蓋３０を爪１で持ち上げ移動し、次
のキャリア３２を爪２で持ち上げ空いているボックスに
収納し、所定の場所に蓋３０とともにキャリア３２を移
すこともできる。
開口を閉じられたキャリア３２を図１の走行機構部５に
よりキャリアの置き場所まで移動させ、昇降機構部３に
より爪１，爪２を下降させてキャリア３２と蓋３０を降
す。次に、図４（ｂ）に示すように、図２のエアシリン
ダ２１のピストンロッドを伸ばし爪２を開き、図４
（ｃ）に示すように、爪１，２を上げ、蓋３０を持ち上
げる。そして、図４（ｄ）に示すように、爪１，２を移
動させ、ボックス３１の上に蓋３０を乗せる。さらに、
図２のエアシリダ２２のピストンロッドを引込ませ、図
４（ｅ）のように、爪１を開き、図４（ｆ）に示すよう
に、爪１，２が上昇し空のボックス３１に蓋３０をした
状態になる。また、蓋３０を爪１で持ち上げ移動し、次
のキャリア３２を爪２で持ち上げ空いているボックスに
収納し、所定の場所に蓋３０とともにキャリア３２を移
すこともできる。
【００１７】なお、上記の各モータおよびエアシリンダ
の動作とタイミング等は、ボックスあるいはキャリアな
らびに蓋の移動距離および位置によって随時決定される
ものである。そして、これらの動作シーケンスはシーケ
ンス制御部で種々に変えることができる。
の動作とタイミング等は、ボックスあるいはキャリアな
らびに蓋の移動距離および位置によって随時決定される
ものである。そして、これらの動作シーケンスはシーケ
ンス制御部で種々に変えることができる。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、ボックス
の蓋を掴み保持する第１の爪とキャリアを掴み保持する
第２の爪とを爪の開閉時に互に干渉しない程度に近づけ
て上下２段にコンパクトに配置し、爪の開閉機構も単純
なリンク機構にし、これら一体化された機構を一方向に
走行する一本の柱に上下できるようにすることによっ
て、蓋の開け閉め移動とキャリアの取出し取入れが一つ
の機構部で行なえるので小型化ができるとともに設置面
積が少なくて済むという効果がある。さらにその上、価
格も安くメンテナンスの費用も少なくても済むという効
果がある。
の蓋を掴み保持する第１の爪とキャリアを掴み保持する
第２の爪とを爪の開閉時に互に干渉しない程度に近づけ
て上下２段にコンパクトに配置し、爪の開閉機構も単純
なリンク機構にし、これら一体化された機構を一方向に
走行する一本の柱に上下できるようにすることによっ
て、蓋の開け閉め移動とキャリアの取出し取入れが一つ
の機構部で行なえるので小型化ができるとともに設置面
積が少なくて済むという効果がある。さらにその上、価
格も安くメンテナンスの費用も少なくても済むという効
果がある。
【００１９】また、従来例のように、蓋を開け蓋を移動
してからキャリアをボックスから取出す動作がシリーズ
に行なわれることなく動作を平行して行なえるので、キ
ャリアの搬送時間が短くなるという効果がある。さら
に、キャリアを搬送する際に、キャリアの開口を塞ぐ蓋
をしたままできるので、キャリアに収納されたウェハは
塵埃に汚染されることがないという品質向上の効果があ
る。
してからキャリアをボックスから取出す動作がシリーズ
に行なわれることなく動作を平行して行なえるので、キ
ャリアの搬送時間が短くなるという効果がある。さら
に、キャリアを搬送する際に、キャリアの開口を塞ぐ蓋
をしたままできるので、キャリアに収納されたウェハは
塵埃に汚染されることがないという品質向上の効果があ
る。
【図１】本発明の一実施の形態における箱体搬送装置を
示す正面図および側面図である。
示す正面図および側面図である。
【図２】図１の昇降機構部および保持連動機構部を示す
正面図およびＡＡ断面図である。
正面図およびＡＡ断面図である。
【図３】図１の箱体搬送装置の動作順に示す図である。
【図４】図１の箱体搬送装置の動作順に示す図である。
【符号の説明】 １，２ 爪 ３ 昇降機構部 ４ 保持連動機構部 ５ 走行機構部 ６ テーブル ７，１８ ベース ８ コラム ９，１３ レール １０ ベアリング部 １１，１４，１７ スプロケット １２，１６ チェーン １５ モータ １９ａ，１９ｂ，２０ａ，２０ｂ リンク ２１，２２ エアシリンダ ２３，２４ ロッド ２５，２６ ピン ３０ 蓋 ３１ ボックス ３２ キャリア
Claims (2)
- 【請求項１】 テーブルに置かれたボックスの蓋を掴み
上下することで該蓋を開閉する一対の第１の爪と、この
第１の爪より所定の距離をおいて下側に配設されるとと
もに前記ボックスより露呈するキャリアを掴み上下する
ことで該ボックスより取り出したり収納したりする一対
の第２の爪と、前記第１の爪と前記第２の爪２を独立に
開きあるいは閉じる動作を仕さどる保持連動機構部と、
前記第１の爪および前記第２の爪を伴なって前記保持連
動機構を上下動させる昇降機構部と、この昇降機構部を
取付ける柱部材を一方向に走行させ前記キャリアあるい
は前記蓋または前記蓋と前記キャリアを搬送する走行機
構部とを備えることを特徴とする箱体搬送装置。 - 【請求項２】 前記キャリアを搬送中に前記キャリアの
開口を前記蓋で閉じることを特徴とする請求項１記載の
箱体搬送装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8033884A JP2747269B2 (ja) | 1996-02-21 | 1996-02-21 | 箱体搬送装置 |
| US08/803,668 US5983479A (en) | 1996-02-21 | 1997-02-21 | Apparatus and method of automatically removing a wafer carrier from a container |
| GB9703660A GB2310537B (en) | 1996-02-21 | 1997-02-21 | Apparatus and method of automatically removing a wafer carrier from a container |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8033884A JP2747269B2 (ja) | 1996-02-21 | 1996-02-21 | 箱体搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09226721A true JPH09226721A (ja) | 1997-09-02 |
| JP2747269B2 JP2747269B2 (ja) | 1998-05-06 |
Family
ID=12398959
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
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